CN1997902A - 推压构件及电子部件处理装置 - Google Patents

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Abstract

推压器(30)由推压器座(31)和可拆装地安装在推压器座(31)上的推压子(32)构成。具体的是，在推压子(32)的基部设置凸缘部(321)，在推压器座(31)设置平面视为コ字形的板(33)。然后，通过由板(33)支承推压子(32)的凸缘部(321)同时使推压子(32)相对推压器座(31)滑动，从而不需要工具就可以使推压子(32)相对于推压器(30)拆装。

Description

推压构件及电子部件处理装置
技术领域
本发明涉及在用于试验IC器件等的电子部件的装置中可以以适当的负荷推压电子部件的推压构件、和装有这种推压构件的电子部件处理装置。
背景技术
在IC器件等的电子部件的制造过程中，必须有电子部件试验装置，其试验在最终制造出的IC器件或在中间阶段的器件等的性能或功能。
使用电子部件试验装置的IC器件的试验如下面那样进行。由处理器向设有插座的试验头的上方运送被试验IC器件后，通过用推压器向插座推压被试验IC器件，使插座的连接端子和被试验IC器件的外部端子接触。结果，被试验IC器件通过插座、试验头及电缆与测试器本体电连接。之后，通过把从测试器本体经过电缆供给至试验头的试验信号加在被试验IC器件上，把从被试验IC器件读出的应答信号通过试验头及电缆送到测试器本体，测定被试验IC器件的电特性。
在上述处理器中，向插座推压被试验IC器件的推压器构成为，使得被试验IC器件的外部端子和插座的连接端子切实地接触，且被试验IC器件或插座的连接端子没有破损，以适当的负荷推压被试验IC器件。
因而，在改变被试验IC器件的品种、被试验IC器件的厚度变化时，必须更换成与其对应的推压器。
发明要解决的课题
可是，近年为了提高工作效率，例如同时试验32个、64个、进而128个被试验IC器件。与此相应，在处理器上设置与被试验IC器件同时测定的数量相同数量的推压器，推压器通常用螺栓固定在适配器上。因而，随着被试验IC器件品种变更的推压器更换作业必须使用扳手拆下多个推压器，之后安装，非常繁杂。特别若被试验IC器件变成多品种的话，则这样的推压器更换作业的负担就变得更大。
发明内容
本发明是鉴于这样的实际情况而提出的，其目的在于提供一种推压构件及电子部件处理装置，其可以很容易地适应电子部件的品种变更，能以适当的负荷推压电子部件。
解决课题的方法
为了达到上述目的，本发明的第一方面提供一种推压器，其用于在电子部件处理装置中将被试验电子部件的端子向试验头的接点部推压，其包括与被试验电子部件接触的推压子和支承所述推压子的推压器座，所述推压子能够无需工具即可进行装拆地安装于所述推压器座(发明1)。
根据上述发明(发明1)，由于可以不使用工具地更换推压子，故通过适当使用与电子部件的厚度相应的推压子，可以很容易地适应电子部件的品种变更，可以保持适当的负荷推压电子部件。
在上述发明(发明1)中，所述推压子最好由施力构件推压到为了将所述推压子支承于所述推压器座而设置在所述推压器座上的支承部件或所述推压器座(发明2)。根据该发明(发明2)，推压子可以切实地固定在推压器座上。
在上述发明(发明1、2)中，所述推压子最好用定位装置定位在所述推压器座上(发明3)。根据该发明(发明3)，可以切实地进行推压子相对于推压器座的定位，从而，能在合适的位置上推压电子部件。
在上述发明(发明1)中，所述推压子在基部具有凸缘部，在所述推压器座上设有能支承所述推压子的凸缘部的支承部，在所述支承部的一部分上形成开口部，所述推压子也可以通过从所述支承部的开口部向该支承部插入或从所述支承部拔出所述凸缘部，从而能够相对于所述推压器座进行装拆(发明4)。
在上述发明(发明4)中，最好在所述推压器座上设置能向所述推压子侧突出且能向所述推压器座的内部侧退避的突出构件，对其向所述推压子侧施力(发明5)。根据该发明(发明5)，可以把推压子的凸缘部按向设在推压器座上的支承部，因而，推压子可以切实地固定在推压器座上。作为突出构件，可以举球塞的球为例，但不限于此。
在上述发明(发明5)中，最好在所述推压子中形成可以与设在所述推压器座上的突出构件卡合的凹部(发明6)。在该发明(发明6)中，通过推压子的凹部和推压器座的突出构件卡合，可以切实进行推压子相对推压器座的定位。
在上述发明(发明4)中，也可以在所述推压子中设置能向所述推压器座侧突出、且能向所述推压子的内部侧退避的突出构件，对其向所述推压器座侧加力(发明7)。根据该发明(发明7)，可以将推压子的凸缘部按向设在推压器座上的支承部，从而，推压子可以切实地固定在推压器座上。
在上述发明(发明7)中，最好在所述推压器座上形成可以与设在所述推压子上的突出构件卡合的凹部(发明8)。在该发明(发明8)中，通过推压器座的凹部和推压子的突出构件卡合，可以切实进行推压子相对推压器座的定位。
在上述发明(发明4)中，也可以在所述推压器座上设置能从设有所述推压子一侧的面突出、且能向所述推压器座的内部侧退避的突出构件，对其向设有所述推压子一侧加力，所述突出构件能与在所述推压器座上位于规定位置的所述推压子的侧端部卡合(发明9)。
在上述发明(发明9)中，通过推压器座的侧端部和推压器座的突出构件卡合，可以切实地进行推压子相对推压器座的定位。
在上述发明(发明4)中，设在所述推压器座上的支承部也可以把所述推压子按向所述推压器座侧(发明10)。根据该发明(发明10)，可以将推压子切实地固定在推压器座上。
在上述发明(发明10)中，设在所述推压器座上的支承部由相对所述推压器座可动的支承构件构成，所述支承构件也可以由弹性体向所述推压器座侧加力(发明11)，设在所述推压器座上的支承部用由弹性体组成的支承构件构成，所述支承构件也可以用该支承构件自身的弹力把所述推压子固定在所述推压器座上(发明12)。
在上述发明(发明1)中，所述推压子具有向所述推压器座侧凸起的凸部，在所述推压器座上形成所述推压子的凸部可以嵌合的空间部，所述推压子也可以通过把所述推压子的凸部插入所述推压器座的空间部或从所述空间部拔出，从而能相对于所述推压器座拆装(发明13)。
在上述发明(发明13)中，最好在所述推压器座上设置能向所述空间部突出、且能向所述推压器座的内部侧退避的突出构件，对其向所述空间部中与所述突出部件相向的壁部侧加力(发明14)。根据该发明(发明14)，可以把推压子的凸部按向推压器座的空间部的一个壁部，从而推压子可以切实地固定在推压器座上。
在上述发明(发明14)中，最好在所述推压子的凸部上形成可以与设在所述推压器座上的突出构件卡合的凹部(发明15)。在该发明(发明15)中，通过推压子的凸部的凹部和推压器座的突出构件卡合，可以切实进行推压子相对推压器座的定位。
本发明的第二方面提供一种电子部件处理装置(发明16)，其用于进行电子部件的试验、可以把被试验的电子部件的端子按向试验头的接点部，其装有所述推压器(发明1～15)。
发明的效果
根据本发明的推压构件及电子部件处理装置，由于可以不使用工具更换推压子，故可以通过适当使用对应电子部件厚度的推压子，可以很容易地适应电子部件的品种的变更，可以保持适当的负荷推压电子部件。
附图说明
图1是包含本发明一实施方式的处理器的IC器件试验装置的整体侧面图；
图2是该实施方式的处理器的立体图；
图3是该实施方式的处理器的试验腔室内的主要部分的剖面图；
图4是表示该实施方式的处理器中的推压器及插座附近结构的分解立体图；
图5是该实施方式的处理器中的推压器的平面图(a)、部分剖面的正面图(b)、底面图(c)及剖面图(d)；
图6是表示该实施方式的处理器中的匹配板的立体图；
图7是表示该实施方式的处理器中的推压器及插座附近的剖面图；
图8是说明该实施方式的处理器中的匹配板的更换作业的立体图；
图9是本发明另一实施方式的推压器的平面图(a)及剖面图(b)；
图10是本发明另一实施方式的推压器的平面图(a)及剖面图(b)；
图11是本发明另一实施方式的推压器的平面图(a)、板的立体图(b)及推压器的剖面图(c)；
图12是本发明另一实施方式的推压器的平面图(a)及剖面图(b)；
图13是本发明另一实施方式的推压器的平面图(a)、推压子的立体图(b)及推压器的剖面图(c)。
具体实施方式
下面，根据附图详细说明本发明的实施方式。
图1是包含本发明一实施方式的电子部件处理装置(以下称为处理器)的IC器件试验装置的整体侧面图；图2是该实施方式的处理器的立体图；图3是该实施方式的处理器的试验腔室内的主要部分的剖面图；图4是表示该实施方式的处理器中的推压器及插座附近结构的分解立体图；图5是该实施方式的处理器中的推压器的平面图(a)、部分剖面的正面图(b)、底面图(c)及剖面图(d)；图6是表示该实施方式的处理器中的匹配板的立体图；图7是表示该实施方式的处理器中的推压器及插座附近的剖面图；图8是说明该实施方式的处理器中的匹配板的更换作业的立体图。
首先，对包含本发明的实施方式的处理器的IC器件试验装置的整体结构进行说明。如图1所示，IC器件试验装置10具有处理器1、试验头5和试验用主装置6。处理器1实施如下动作：将应该试验的IC器件(电子部件的一例)顺次运到设在试验头5上的插座上，将试验结束后的IC器件根据试验结果分类并向规定的托盘贮存。
设在试验头5上的插座通过电缆7与试验用主装置6电连接，使可拆装地安装在插座上的IC器件通过电缆7与试验用主装置6连接，根据来自试验用主装置6的试验用电信号试验IC器件。
在处理器1的下部主要内藏有控制处理器1的控制装置，在一部分设有空间部分8。在该空间部分8中更换自由地配置试验头5，通过在处理器1上形成的贯通孔可以将IC器件安装在试验头5上的插座中。
该处理器1是用于在比常温高的温度状态(高温)或低的温度状态(低温)下试验作为应该试验的电子部件的IC器件的装置，处理器1如图2所示，具有由恒温槽101、试验腔室102和除热槽103构成的腔室100。图1所示的试验头5的上部如图3所示，插入试验腔室102的内部，以在此进行IC器件2的试验。
如图2所示，本实施方式的处理器1由以下部件构成：贮存部200，其贮存以后进行试验的IC器件且将试验后的IC器件分类贮藏；装载部300，其将从IC贮存部200输送的被试验IC器件送入腔室部100；腔室部100，其包含试验头；卸载部400，其拆下在腔室部100中进行了试验的试验后的IC并进行分类。在处理器1的内部，IC器件被放在试验托盘上并被搬运。
被放在处理器1上之前的IC器件多数贮存在没有图示的用户托盘(カスタマトレイ)内，在该状态下，送向图2所示的处理器1的IC贮存部200，之后，IC器件2从用户托盘换置到在处理器1内搬运的试验托盘TST上。在处理器1内部，如图3所示，IC器件在换置到试验托盘TST的状态下移动，受到高温或低温的温度应力，试验(检查)是不是进行合适的动作，根据该试验结果进行分类。下面，对处理器1的内部逐个进行详细说明。
第一，对与IC贮存部200有关的部分进行说明。
如图2所示，在IC贮存部200中设有贮存试验前的IC器件的试验前IC储料器201、贮存根据试验结果分类后的IC器件的试验后IC储料器202。
这些试验前IC储料器201和试验后IC储料器202包括框状的托盘支承架203和从该托盘支承架203的下部进入、向上部可以升降的升降机204。在托盘支承架203上堆积支承多个用户托盘，只有这些堆积的用户托盘用升降机204上下移动。
在图2所示的试验前IC储料器201中，堆积保持有放置以后进行试验的IC器件的用户托盘。而在试验后IC储料器202中堆积保持有放置结束试验并分类了的IC器件的用户托盘。
第二，对与装载部300有关的部分进行说明。
如图2所示，贮存在试验前IC储料器201中的用户托盘，用设在IC贮存部200和装置基板105之间的托盘移送臂205从装置基板105的下侧运到装载部300的窗部306。之后，一旦在该装载部300中把装载在用户托盘上的被试验IC器件用X-Y搬运装置304移送到定位部(preciser)305，在此修正被试验IC器件的相互位置后，进一步使移送到该定位部305的被试验IC器件再次使用X-Y搬运装置304，转载到停止于装载部300的试验托盘TST上。
从用户托盘向试验托盘TST转运被试验IC器件的X-Y搬运装置304如图2所示，包括：架设在装置基板105上部的两根导轨301、可以用这两根导轨301在试验托盘TST和用户托盘之间往复运动(把该方向作为Y方向)的可动臂302、用该可动臂302支承并可以沿该可动臂302在X方向移动的可动头303。
在该X-Y搬运装置304的可动头303上，吸附头向下安装，通过该吸附头边吸引空气边移动，从用户托盘吸附被试验IC器件，并将该被试验IC器件转运到试验托盘TST上。
第三，对与腔室100有关的部分进行说明。
上述试验托盘TST在装载部300装载被试验IC器件后被送入腔室100中，在装载在该试验托盘TST的状态下，试验各个被试验IC器件。
如图2所示，腔室100由以下部件构成：恒温槽101，其对在试验托盘TST中装载的被试验IC器件提供作为目标的高温或低温的热应力；试验腔室102，其在用该恒温槽101赋予热应力的状态下的被试验IC器件安装在试验头上的插座中；除热槽103，其从在试验腔室102中试验的被试验IC器件中除去被赋予的热应力。
在除热槽103中，在恒温槽101中施加了高温时，使被试验IC器件通过鼓风而冷却，回到室温；而在恒温槽101中施加了低温时，用热风或加热器等加热被试验IC器件，使温度返回到不产生结露的程度。之后，将该除热后的被试验IC器件搬出到卸载部400上。
如图3所示，在试验腔室102中，在其下部配置有试验头5，试验托盘TST被运送到试验头5的上面。另外，在试验托盘TST上安装有收容IC器件2的嵌衬件16(参照图4)。因此，使由试验托盘TST保持的所有的IC器件2按顺序与试验头5电接触，对试验托盘TST内的所有的IC器件2进行试验。另一方面，试验结束后的试验托盘TST用除热槽103除热，使IC器件2的温度返回到室温后向图2所示的卸载部400排出。
另外，如图2所示，在恒温槽101和除热槽103的上部，分别形成用于从装置基板105送入试验托盘TST的入口用开口部和用于向装置基板105送出试验托盘TST的出口用开口部。在装置基板105上安装有用于使试验托盘TST从这些开口部出入的试验托盘搬运装置108。这些搬运装置108用例如回转滚等构成。利用设在该装置基板105上的试验托盘搬运装置108，从除热槽103排出的试验托盘TST被搬运到卸载部400上。
在本实施方式的嵌衬件16中，如图4所示，在中央部形成放置被试验IC器件2的矩形凹状的IC放置部19。另外，在嵌衬件16的两端中央部形成供后述的推压器30的导销35插入的导孔20，在嵌衬件16的两端角部形成试验托盘TST向安装片安装的安装用孔21。
如图4所示，在试验头5上配置有插座板50，在其上面固定具有作为连接端子的探针44的插座40。探针44以与IC器件2的连接端子对应的数量及间距设置，用图外的弹簧向上方施加弹力。
另外，如图4所示，在插座板50上固定有插座导向件41，使得设在插座40上的探针44露出。在插座导向件41的两侧设置有导向套筒411，用于插入形成在推压器30上的两个导向销35并在这两个导向销35之间进行定位。另外，在插座导向件41上形成四个可以用于规定推压器30的下限的止挡部412。
如图3和图4所示，在试验头5的上侧，与插座40的数量对应，设有推压器30。本实施方式的推压器30如图4和图5所示，由固定在后述的适配器62上的推压器座31和拆装自由地安装在推压器座31的下侧中央部的推压子32构成。
在推压器座31的下侧两端部设有插入嵌衬件16的导孔20及插座导向件41的导向套筒411的导向销35，在推压器座31的下侧四角，设有挡销36，当推压器30由于Z轴驱动装置70的驱动而下降移动时，挡销36可以与插座导向件41的止挡部412触接而规定下限。
另外，在推压器座31的下侧中央部，在推压器座31的正面侧(图5(c)中的上侧)形成平面看大致为矩形的凹部311。而沿着该凹部311的三边，平面看为コ字形的板33用四根销331固定在推压器座31上。板33设置成使其内侧的三边向凹部311侧伸出一些。这些推压器座31的凹部311和板33的间隙部构成推压子支承部，在推压器座31的正面侧开口。
在推压器座31的中央部，埋设有球塞34，使得前端的球341向凹部311内突出。球塞34的球341通过设在球塞34内部的弹簧的作用，可以向推压器座31的凹部311方向施力，用外力弹性地进入球塞34内(推压器座31的内部侧)。
另一方面，推压子32具有与被试验IC器件2的厚度相应的规定高度，在推压子32中的平面看为矩形的基部(位于推压器座31侧的部分)的四边形成凸缘部321。推压子32的基部的宽度设定得比推压器座31的凹部311的宽度稍小，推压子32的凸缘部321的宽度设定得与设在推压器座31上的板33在凹部311伸出的宽度大致相同，推压子32的凸缘部321的厚度设定得比推压器座31的凹部311的深度稍小。
另外，在推压子32基部的中央部形成可以卡合被设在推压器座31上的球塞34的球341的凹孔322。
为了把推压子32安装在推压器座31上，从推压器座31的推压子支承部的开口部(在推压器座31的正面侧的凹部311的开口部)向凹部311内插入推压子32的基部，边用板33将推压子32的凸缘部321保持在凹部311内，边使推压子32向推压器座31的中央部方向滑动。
当推压子32来到推压器座31的中央部时，球塞34的球341与推压子32的凹孔322卡合，由此使推压子32定位。另外，由于球塞34的球341被朝向推压子32侧施力，所以推压子32通过将凸缘部321压向板33而被固定。
为了从推压器座31拆下推压子32，只要与上述相反，使推压子32向推压器座31的推压子支承部的开口部方向(推压器座31的正面侧)滑动就行。这样，推压子32可以相对于推压器座31拆装。
如图3及图6所示，推压器30用两根螺栓63支承固定在适配器62上。如图6所示，各适配器62保持在匹配板60的安装孔61中，匹配板60支承在设在与Z轴驱动装置70连接的驱动板72的两端部下侧的导轨R上(参照图8)。该匹配板60被支承在驱动板72上，使得其位于试验头5的上部且试验托盘TST能插入推压器30和插座40之间。保持在该匹配板60上的推压器30在试验头5方向及驱动板72方向、即Z轴方向自由移动。
试验托盘TST在图3中从垂直于纸面的方向(X轴)向推压器30和插座40之间搬运。作为在腔室100内部的试验托盘TST搬运装置，可以使用搬运用滚等。在试验托盘TST搬运移动时，Z轴驱动装置70的驱动板沿Z轴方向上升，在推压器30和插座40之间形成可以插入试验托盘TST的足够的间隙。
如图3所示，在驱动板72的下面固定有推压部74，能推压保持在匹配板60上的适配器62的上面。在驱动板72上固定有驱动轴78，在驱动轴78上连结有电机等驱动源(未作图示)，能使驱动轴78沿Z轴方向上下移动，推压适配器62。
匹配板60构成为与应试验的IC器件2的形状及试验头5的插座数(同时测定的IC器件2的数量)等一致、且可与适配器62及推压器30一同自由更换的结构。这样，通过自由更换匹配板60，可以使Z轴驱动装置70成为通用装置。
本实施方式中，在上述构成的腔室100中，如图3所示，在构成试验腔室102的密闭的箱80的内部，装有温度调节用鼓风装置90。温度调节用鼓风装置90具有风扇92和热交换部94，通过用风扇92吸入箱内部的空气，通过热交换部94向箱80的内部排出而进行循环，使箱80的内部成为规定的温度条件(高温或低温)。
第四，对与卸载部400有关的部分进行说明。
在图2所示的卸载部400中也设有与设在装载部300中的X-Y搬运装置304相同结构的X-Y搬运装置404、404，试验结束的IC器件用该X-Y搬运装置404、404从运出到卸载部400的试验托盘TST转载到用户托盘上。
如图2所示，在卸载部400的装置基板105上开设两对成对的窗部406、406，其配置成运往该卸载部400的用户托盘面对装置基板105的上面。
在各个窗部406的下侧，设有用于升降用户托盘的升降机204，在此，使载置并使转运而装满有试验结束的被试验IC器件的用户托盘下降，将该装满托盘交接给托盘移送臂205。
其次，对在以上说明的IC器件试验装置10中试验IC器件2的方法进行阐述。
IC器件2在装载在试验托盘TST上的状态、即落入到如图4所示的嵌衬件16的IC收容部19中的状态下，在恒温槽101被加热到规定的设定温度后，搬送到试验腔室102内。
当搭载了IC器件2的试验托盘TST在试验头5上停止时，Z轴驱动装置驱动，固定在驱动板72上的推压部74借助适配器62对推压器30进行推压。这样，如图7所示，推压器30的推压子32把IC器件2的插件本体压向插座40侧，结果，IC器件2的连接端子与插座40的探针44连接。
在此，推压器30的下降移动通过推压器30的挡销36与插座导向件41的止挡部412触接被限制，由于推压器30的推压子32具有与被试验IC器件2的厚度相应的规定的高度，保持不使IC器件2或探针44破损的适当的负荷，故推压器30可以把IC器件2推向插座40。
在该状态下，从试验用主装置6经由试验头5的探针44对被试验IC器件2发送试验用电信号。从IC器件2读出的应答信号通过试验头5送到试验用主装置6，由此试验IC器件2的性能及功能等。
如果IC器件2的试验结束，X-Y搬运装置404根据试验结果将试验完成的IC器件2放置在用户托盘上。
在IC器件2变更品种的场合，当IC器件2的厚度改变时，如图8所示，打开设在处理器1的试验腔室102背面侧的门D，拉出支承在驱动板72的导轨R上的匹配板60。
之后，从推压器座31拆下保持在匹配板60上的推压器30的推压子32，取而代之地把与品种变更的IC器件2的厚度对应的推压子32安装在推压器座31上，把匹配板60推入处理器1内。由于推压子32的更换仅仅使推压子32相对推压器座31滑动就可以进行，不需要扳手等工具，故可以很容易适应IC器件2的品种变更。
以上说明的实施方式是为了容易理解本发明而记述的实施方式，不作为限定本发明而叙述。因而，上述实施方式所公开的各要素的意思也包含属于本发明技术的范围的所有的设计变更和相等物等。例如，本实施方式的推压器30也可以进行以下变更。
第一变更例
图9是本发明另一实施方式的推压器的平面图(a)及剖面图(b)。球塞34A也可以如图9所示的推压器30A那样埋设在推压子32A侧。在该推压器30A中，球塞34A的球341A从推压子32A的基部中央部向推压器座31A侧突出。另一方面，在推压器座31A的凹部311的中央部形成可以与设在推压子32A上的球塞34A的球341A卡合的凹孔312A。
为了把推压子32A安装在推压器座31A上，从在推压器座31A正面侧(图9(a)中的右侧)的凹部311开口部向凹部311内插入推压子32A的基部，使推压子32A向推压器座31A的中央部方向滑动。
当推压子32A来到推压器座31A的中央部时，设在推压子32A上的球塞34A的球341A与推压器座31A的凹孔312A卡合，由此，使推压子32A定位。另外，由于球塞34A的球341A被朝向推压器座31A侧施力，所以推压子32A通过将其凸缘部321压向板33而得到固定。
为了从推压器座31A拆下推压子32A，只要和上述相反，使推压子32A向推压器座31A的正面侧滑动就行。这样，推压子32A就可以相对于推压器31A拆装。
第二变更例
图10是本发明另一实施方式的推压器的平面图(a)及剖面图(b)。如图10所示的推压器30B那样，球塞34B也可以不在推压器座31B的凹部311的中央部，而埋设在与位于推压器座31B中的规定位置的推压子32B基部的侧端部卡合的位置上。在该推压器30B的推压子32B中，不需要球塞34B的球341B卡合的凹部。
为了把推压子32B安装在推压器座31B上，从在推压器座31B正面侧(图10(a)中的右侧)的凹部311开口部向凹部311内部插入推压子32B的基部，使推压子32B向推压器座31B的中央部方向滑动。
当推压子32B来到推压器座31B的中央部，推压子32B的基部的端部(位于推压器座31B的背面侧的端部)与推压器座31B的凹部311的最深处触接时，球塞34B的球341B与推压器座31B的基部的侧端部(推压器座31B的正面侧的端部)卡合，由此，使推压子32B定位。
为了从推压器座31B上拆下推压子32B，只要和上述相反，使推压子32B向推压器座31B的正面侧滑动就行。这样，推压子32B就可以相对于推压器31B拆装。
第三变更例
图11是本发明另一实施方式的推压器的平面图(a)、板的立体图(b)及推压器的剖面图(c)。也可以像图11所示的推压器30C那样不使用球塞，而使用由弹性体(例如板弹簧材料)组成的板33C。如图11(b)所示，本实施方式中的板33C平面看呈コ字形，同时，其两端部332C侧面看呈大致V字形。
另一方面，如图11(a)所示，推压器座31C的凹部311C在推压器座31C的正面侧(图11(c)中的右侧)，扩展到板33C的宽度。
板33C用四根销331固定在推压器座31C上，本实施方式中的板33C的端部332C位于扩展到板33C的宽度的推压器座31C的凹部311C内。
为了把推压子32C安装在推压器座31C上，从在推压器座31C正面侧的凹部311C开口部向凹部311C内插入推压子32C的基部，用板33C把推压子32C的凸缘部321保持在凹部311C内，同时使推压子32C向推压器座31C的中央部方向滑动。
当推压子32C来到推压器座31C的中央部，推压子32C的基部的端部(位于推压器座31C的背面侧的端部)与推压器座31C的凹部311C的最深处触接时，推压子32C的基部的侧端部(推压器座31C的正面侧的端部)就与板33C的端部332C卡合，由此，使推压子32C定位。此时，板33C的端部332C在其斜面上朝向推压器座31C的凹部311C的最深处方向及上方对推压子32C施力，由此，推压子32C固定在推压器座31C上。
为了从推压器座31C上拆下推压子32C，只要和上述相反，使推压子32C向推压器座31C的正面侧滑动就行。这样，推压子32C就可以相对于推压器座31C拆装。
本实施方式中，板33C的端部332C与推压子32C的基部的侧端部卡合，但本发明不限于此，例如，也可以在推压子32C的凸缘部321上设置槽部，使板33C的端部332C与该槽部卡合。
第四变更例
图12是本发明另一实施方式的推压器的平面图(a)及剖面图(b)。也可以像图12所示的推压器30D那样，不使用球塞，通过使板33D相对推压器座31D可动且弹性保持来固定推压子32D。如图12(b)所示，板33D由贯通推压器座31D并可沿推压器座31D的厚度方向滑动的四根销37D所支承。
销37D的上端部向推压器座31D的上侧突出，在销37D的上端部和推压器座31D的上面之间设有弹簧38D，其向使销37D的上端部向离开推压器座31D的方向加力。利用该弹簧38D的弹力，板33D被朝向推压器座31D侧施力。
本实施方式中的推压子32D的凸缘部321D的厚度设定得比推压器座31D的凹部311的深度稍大。
为了把推压子32D安装在推压器座31D上，从在推压器座31D的正面侧(图12(a)中的右侧)的凹部311D开口部向凹部311D内插入推压子32D的基部，用板33D把推压子32D的凸缘部321D保持在凹部311内，同时，使推压子32D向推压器座31D的中央部方向滑动。
当推压子32D来到推压器座31D的中央部时，推压子32D的基部的端部(位于推压器座31D的背面侧的端部)就与推压器座31D的凹部311的最深处触接，由此，使推压子32D定位。此时，由于板33D通过弹簧38D被向推压器座31D侧施力，推压子32D由板33D的作用力固定在推压器座31D上。
为了从推压器座31D上拆下推压子32D，只要和上述相反，使推压子32D向推压器座31D的正面侧滑动就行。这样，推压子32D就可以相对于推压器座31D拆装。
第五变更例
图13是本发明另一实施方式的推压器的平面图(a)、推压子的立体图(b)及推压器的剖面图(c)。如图13所示的推压器30E那样，球塞34E的球341E也可以埋设在水平方向，以使其向在推压器座31E的中央部形成的空间部313E(在本实施方式中为四棱柱状)突出。该推压器30E中的球塞34E的球341E可以退避到推压器座31E的内部侧。而在本实施方式中的推压器座31E的空间部313E的开口部周围成为推压子32E的基部可以嵌合的、平面看为矩形的凹部311E。
另一方面，推压子32E将能与推压器座31E的空间部313E嵌合的四棱柱状的凸部323E装在上部，在凸部323E的一个侧壁上形成可以与设在推压器座31E上的球塞34E的球341E卡合的凹孔322E。
为了把推压子32E安装在推压器座31E上，向推压器座31E的空间部313E插入推压子32E的凸部323E。推压子32E的基部一与推压器座31E的凹部311E触接，则设在推压器座31E上的球塞34E的球341E就与推压子32E的凸部323E的凹孔322E卡合，由此，使推压子32E定位。另外，由于球塞34E的球341E被朝向推压器座31E的空间部313E侧施力，所以推压子32E通过将推压子32E的凸部323E压向推压器座31E的空间部313E的一个侧壁而被固定。
为了从推压器座31E上拆下推压子32E，只要和上述相反，从推压器座31E的空间部313E拔出推压子32E的凸部323E就行。这样，推压子32E就可以相对于推压器座31E拆装。
产业上利用的可能性
本发明的推压构件及电子部件处理装置对高效率地进行多种电子部件的试验是有用的。

Claims (16)

1、一种推压器，其用于在电子部件处理装置中将被试验电子部件的端子向试验头的接点部推压，其特征在于，
具备与被试验电子部件接触的推压子、和支承所述推压子的推压器座，
所述推压子以无需工具即可进行装拆的方式安装在所述推压器座上。
2、如权利要求1所述的推压器，其特征在于，所述推压子被施力构件推压到支承部件或所述推压器座上，所述支承部件为了将所述推压子支承于所述推压器座而设置在所述推压器座上。
3、如权利要求1或2所述的推压器，其特征在于，所述推压子借助定位装置定位在所述推压器座上。
4、如权利要求1所述的推压器，其特征在于，所述推压子在基部有凸缘部，
在所述推压器座上设有能够支承所述推压子的凸缘部的支承部，在所述支承部的一部分上形成开口部，
所述推压子通过从所述支承部的开口部向该支承部插入或从所述支承部拔出所述凸缘部，从而能够相对于所述推压器座装拆。
5、如权利要求4所述的推压器，其特征在于，在所述推压器座上设置能够向所述推压子侧突出、且能够向所述推压器座的内部侧退避的突出构件，对其向所述推压子侧施力。
6、如权利要求5所述的推压器，其特征在于，在所述推压子中形成能够与设在所述推压器座上的突出构件卡合的凹部。
7、如权利要求4所述的推压器，其特征在于，在所述推压子中设置能够向所述推压器座侧突出、且能够向所述推压子的内部侧退避的突出构件，对其向所述推压器座侧施力。
8、如权利要求7所述的推压器，其特征在于，在所述推压器座上形成能够与设在所述推压子上的突出构件卡合的凹部。
9、如权利要求4所述的推压器，其特征在于，在所述推压器座上设置能够从设有所述推压子一侧的面突出、且能够向所述推压器座的内部侧退避的突出构件，对其向设有所述推压子一侧施力，
所述突出构件能够与在所述推压器座中位于规定位置的所述推压子的侧端部卡合。
10、如权利要求4所述的推压器，其特征在于，设在所述推压器座上的支承部把所述推压子推压向所述推压器座侧。
11、如权利要求10所述的推压器，其特征在于，设在所述推压器座上的支承部由能够相对所述推压器座运动的支承构件构成，
所述支承构件由弹性体朝向所述推压器座侧施力。
12、如权利要求10的推压器，其特征在于，设在所述推压器座上的支承部由包括弹性体的支承构件构成，
所述支承构件利用该支承构件自身的弹力把所述推压子固定在所述推压器座上。
13、如权利要求1所述的推压器，其特征在于，所述推压子具有朝向所述推压器座侧呈凸状的凸部，
在所述推压器座上形成有能够与所述推压子的凸部嵌合的空间部，
所述推压子通过把所述推压子的凸部插入所述推压器座的空间部或从所述空间部拔出，从而能够相对于所述推压器座拆装。
14、如权利要求13所述的推压器，其特征在于，在所述推压器座上设置能够向所述空间部突出、且能够向所述推压器座的内部侧退避的突出构件，对其向所述空间部中与所述突出部件相向的壁部侧施力。
15、如权利要求14所述的推压器，其特征在于，在所述推压子的凸部上形成有能够与设在所述推压器座上的突出构件卡合的凹部。
16、一种电子部件处理装置，其用于进行电子部件的试验，能够把被试验电子部件的端子推压向试验头的接点部，其特征在于，装备有权利要求1～15中任一项所述的推压器。
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