JPH03211474A - イメージセンサの検査装置 - Google Patents
イメージセンサの検査装置Info
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- JPH03211474A JPH03211474A JP2006536A JP653690A JPH03211474A JP H03211474 A JPH03211474 A JP H03211474A JP 2006536 A JP2006536 A JP 2006536A JP 653690 A JP653690 A JP 653690A JP H03211474 A JPH03211474 A JP H03211474A
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 5
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
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- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
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- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、密着形のイメージセンサについて解像度、
明出力、暗出力および直線性を検査するのに利用するイ
メージセンサの検査装置に関するものである。
明出力、暗出力および直線性を検査するのに利用するイ
メージセンサの検査装置に関するものである。
第4図は従来のイメージセンサの検査装置を示す正面図
であり、図において、1は支持台3上にスライドベアリ
ング部4を介して設置した移動台。
であり、図において、1は支持台3上にスライドベアリ
ング部4を介して設置した移動台。
2a、2bは移動台1上に設置した2つのテスト用チャ
ートで、この移動台1はこれの後方に設けた第5図に示
すようなシリンダ5によって、往復移動されるようにな
っている。5aはこのシリンダ5を支持台3に取り付け
ている取付フレーム、6は支持台3上に移動台1を挾む
ようにして、ピン10上に回動自在に設けられた一対の
ワーク押えレバー、9はワーク押えレバー6の一端にピ
ン11にて枢支されたクレビス、8はクレビス9をピス
トン軸8a端に取り付けているシリンダ、12はこのシ
リンダ8端を取付フレーム5a上に枢支しているビンで
ある。また、14は支持台3上に移動台1を挾むように
して植設された一対のガイド棒で、このガイド捧14に
は、圧縮ばね16によって上方向へ付勢されたボス状の
ホルダ13がスライドブツシュ15を介して摺動自在に
嵌挿されている。14aはガイド棒14の上端に形成さ
れたホルダ13用のストッパである。さらに。
ートで、この移動台1はこれの後方に設けた第5図に示
すようなシリンダ5によって、往復移動されるようにな
っている。5aはこのシリンダ5を支持台3に取り付け
ている取付フレーム、6は支持台3上に移動台1を挾む
ようにして、ピン10上に回動自在に設けられた一対の
ワーク押えレバー、9はワーク押えレバー6の一端にピ
ン11にて枢支されたクレビス、8はクレビス9をピス
トン軸8a端に取り付けているシリンダ、12はこのシ
リンダ8端を取付フレーム5a上に枢支しているビンで
ある。また、14は支持台3上に移動台1を挾むように
して植設された一対のガイド棒で、このガイド捧14に
は、圧縮ばね16によって上方向へ付勢されたボス状の
ホルダ13がスライドブツシュ15を介して摺動自在に
嵌挿されている。14aはガイド棒14の上端に形成さ
れたホルダ13用のストッパである。さらに。
各ホルダ13にはイメージセンサ(以下、ワークという
)7を水平支持する切欠13aが設けられている。また
、第4図に示す移動台1の手前側には、第6図に示すよ
うなシリンダ18が台18a上に設けられ、このシリン
ダ18のピストンロンド端には、移動台1上のワーク7
のコネクタPに測定信号を供給するブローμ17が取り
付けられている。19はこのブローμ17を通じて得ら
れたデータを処理し、必要に応じワーク7にyJR整処
理を加える信号処理装置である。
)7を水平支持する切欠13aが設けられている。また
、第4図に示す移動台1の手前側には、第6図に示すよ
うなシリンダ18が台18a上に設けられ、このシリン
ダ18のピストンロンド端には、移動台1上のワーク7
のコネクタPに測定信号を供給するブローμ17が取り
付けられている。19はこのブローμ17を通じて得ら
れたデータを処理し、必要に応じワーク7にyJR整処
理を加える信号処理装置である。
次に動作について説明する。
まず、ワーク7をホルダ13の切欠13aに設置して、
これを水平支持する。次に、各シリンダ8を作動するこ
とによりピストン軸8aを収縮させ、クレビス9を介し
てワーク押えレバー6をビン10を中心に回動させる。
これを水平支持する。次に、各シリンダ8を作動するこ
とによりピストン軸8aを収縮させ、クレビス9を介し
てワーク押えレバー6をビン10を中心に回動させる。
このため、このワーク押えレバー6の一端が上記ワーク
7の上面を押圧し、このワーク7がチャート2aに密着
するまで、スライドブツシュ15を介して、ホルダ13
を圧縮ばね16に抗して押し下げる。このようにして、
ワーク7がa工程分子がったところで、シリンダ18に
より突出されたブローμ17がワーク7に設けられたコ
ネクタPに嵌合される。このため、このコネクタP、プ
ローバ17を通じてワーク7の測定データが出力され、
これが信号処理装置119に入力され、設定された基準
値と比較される。そして、この比較結果に従って、ワー
ク7に対する必要な調整を実施する。このようにして、
ワーク7の測定および調整が終了すると、今度はブロー
μ17が最初の位置に戻され、さらにシリンダ8を作動
して、ワーク押えレバー6を上記とは逆方向に回動し、
ワーク7に対する押圧力を解除する。このため、このワ
ーク7を支承しているホルダ13が圧縮ばね16の反発
力により上昇し、ストッパ14aの位置で停止する。次
に、この状態で、第5図に示すシリンダ5を作動させる
。すると移動台1が水平方向に移動し、チャート2bが
ワーク7の下部に至る。そこで上記のようにワーク押え
レバー6を作動してそのワーク7を押し下げ、ブローμ
17をワーク7のコネクタPに嵌め込むことで、そのワ
ーク7の測定データがコネクタP、ブa−バ17を通し
て信号処理装置19に入力され、ここで必要な測定デー
タの処理や必要な調整が行われる。つまり、ワーク7は
これら2つのチャート2a、2bによって異なった2種
類の測定が行われ、同様の操作が他のワーク7について
も、順次連続的に実行される。
7の上面を押圧し、このワーク7がチャート2aに密着
するまで、スライドブツシュ15を介して、ホルダ13
を圧縮ばね16に抗して押し下げる。このようにして、
ワーク7がa工程分子がったところで、シリンダ18に
より突出されたブローμ17がワーク7に設けられたコ
ネクタPに嵌合される。このため、このコネクタP、プ
ローバ17を通じてワーク7の測定データが出力され、
これが信号処理装置119に入力され、設定された基準
値と比較される。そして、この比較結果に従って、ワー
ク7に対する必要な調整を実施する。このようにして、
ワーク7の測定および調整が終了すると、今度はブロー
μ17が最初の位置に戻され、さらにシリンダ8を作動
して、ワーク押えレバー6を上記とは逆方向に回動し、
ワーク7に対する押圧力を解除する。このため、このワ
ーク7を支承しているホルダ13が圧縮ばね16の反発
力により上昇し、ストッパ14aの位置で停止する。次
に、この状態で、第5図に示すシリンダ5を作動させる
。すると移動台1が水平方向に移動し、チャート2bが
ワーク7の下部に至る。そこで上記のようにワーク押え
レバー6を作動してそのワーク7を押し下げ、ブローμ
17をワーク7のコネクタPに嵌め込むことで、そのワ
ーク7の測定データがコネクタP、ブa−バ17を通し
て信号処理装置19に入力され、ここで必要な測定デー
タの処理や必要な調整が行われる。つまり、ワーク7は
これら2つのチャート2a、2bによって異なった2種
類の測定が行われ、同様の操作が他のワーク7について
も、順次連続的に実行される。
従来のイメージセンサの検査装置は以上のように構成さ
れているので、各ワーク7の測定ごとに。
れているので、各ワーク7の測定ごとに。
ブローμ17の開放および嵌め込み、ワーク7の開放お
よび押し下げ、チャート2a、2bの移動などを繰り返
すことが必要で、また、ワーク7をチャート2a、2b
に密着させるための各押えレバー6が左右2箇所あり、
そのワーク7を圧縮ばね16と左右のシリンダ8の力の
差で押すことにより、ワーク7とチャート2a、2bと
の間に隙間が生じる場合があり、これにより測定精度が
劣化するほか、ワーク7の機能障害を招いたり、測定の
再現性を悪化したり、検査速度が遅いなどの課題があっ
た。
よび押し下げ、チャート2a、2bの移動などを繰り返
すことが必要で、また、ワーク7をチャート2a、2b
に密着させるための各押えレバー6が左右2箇所あり、
そのワーク7を圧縮ばね16と左右のシリンダ8の力の
差で押すことにより、ワーク7とチャート2a、2bと
の間に隙間が生じる場合があり、これにより測定精度が
劣化するほか、ワーク7の機能障害を招いたり、測定の
再現性を悪化したり、検査速度が遅いなどの課題があっ
た。
この発明は上記のような課題を解消するためになされた
もので、ワークを固定状態で全ての測定を行うことがで
きるとともに、ワークの機能障害。
もので、ワークを固定状態で全ての測定を行うことがで
きるとともに、ワークの機能障害。
再現性を改善でき、しかも検査速度を早くして。
ワークであるイメージセンサを高精度で自動検査できる
イメージセンサの検査装置を得ることを目的とする。
イメージセンサの検査装置を得ることを目的とする。
この発明に係るイメージセンサの検査装置は、載置台に
載置されたイメージセンサをワーク押えレバーによって
開放可能に抑圧し、その載置台で往復回動する軸の動き
に連動して、可変ストローク運動可能な一対の腕部材を
相対設置し、これらの各腕部材端に、上記イメージセン
サに対して交互に圧接させるチャートを、ばねを介して
揺動可能に支持するようにしたものである。
載置されたイメージセンサをワーク押えレバーによって
開放可能に抑圧し、その載置台で往復回動する軸の動き
に連動して、可変ストローク運動可能な一対の腕部材を
相対設置し、これらの各腕部材端に、上記イメージセン
サに対して交互に圧接させるチャートを、ばねを介して
揺動可能に支持するようにしたものである。
この発明におけるワーク押えレバーは、載置台上のワー
クを保持するために例えばIlNだけ設けられ、この保
持されたワークに対して、相対的に可変ストローク運動
する一対の腕部材端に取り付けられたチャートを、ばね
を介して揺動可能な状態で接触および押圧させるため、
上記ワークの向きが多少変化しても、そのワークの一面
にチャートが確実に密着し、比較的簡単な構成で、イメ
ージセンサの機能測定精度を十分に高められるようにす
る。
クを保持するために例えばIlNだけ設けられ、この保
持されたワークに対して、相対的に可変ストローク運動
する一対の腕部材端に取り付けられたチャートを、ばね
を介して揺動可能な状態で接触および押圧させるため、
上記ワークの向きが多少変化しても、そのワークの一面
にチャートが確実に密着し、比較的簡単な構成で、イメ
ージセンサの機能測定精度を十分に高められるようにす
る。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第1
図において、20は後述の載置台に水平支持された回動
軸、21はこの回動軸2oに取り付けられたL字状のレ
バーで、これの両端にはすべり対偶できる各1の長孔2
1a、21bが設けられている。22a、22bは一対
の腕部材で、これらの各腕部材22a、22bの一端に
取り付けられた各ピン23a、23bが上記長孔21a
。
図において、20は後述の載置台に水平支持された回動
軸、21はこの回動軸2oに取り付けられたL字状のレ
バーで、これの両端にはすべり対偶できる各1の長孔2
1a、21bが設けられている。22a、22bは一対
の腕部材で、これらの各腕部材22a、22bの一端に
取り付けられた各ピン23a、23bが上記長孔21a
。
21b内に摺動可能に挿通されている。24a。
24bは各腕部材22a、22bの他端に取り付けられ
たチャート支持板、25a、25bは各腕部材22a、
22bを直線方向にガイドする各1のスライドガイドで
、互いに゛へ′の字状に対向配置されている。26a、
26bは圧縮式のばねで、チャート支持板24a、24
bに取り付けられた案内棒27a、27bの周囲に嵌挿
されており、これらのばね26a、26b上にチャート
2a、2bが揺動可能に支持されている。28は上部に
ワーク7を水平支持する切欠28aを持った上記の載置
台、6はこのワークの上面を押し下げるワーク押えレバ
ーで、このワーク押えレバー6を枢支するピン10,1
1,12.クレビス9およびシリンダ8の関連構造は第
4図に示したものと同一であり、載置台28に設置され
ている。
たチャート支持板、25a、25bは各腕部材22a、
22bを直線方向にガイドする各1のスライドガイドで
、互いに゛へ′の字状に対向配置されている。26a、
26bは圧縮式のばねで、チャート支持板24a、24
bに取り付けられた案内棒27a、27bの周囲に嵌挿
されており、これらのばね26a、26b上にチャート
2a、2bが揺動可能に支持されている。28は上部に
ワーク7を水平支持する切欠28aを持った上記の載置
台、6はこのワークの上面を押し下げるワーク押えレバ
ーで、このワーク押えレバー6を枢支するピン10,1
1,12.クレビス9およびシリンダ8の関連構造は第
4図に示したものと同一であり、載置台28に設置され
ている。
第2図は第1図に示す載置台28の後部に配置された回
動軸20の鄭動部を示し、29は回動軸20の端部に固
定されたレバー 30はシリンダで、上記レバー29の
一端をピン32により連係しているクレビスをピストン
軸端に有する。また。
動軸20の鄭動部を示し、29は回動軸20の端部に固
定されたレバー 30はシリンダで、上記レバー29の
一端をピン32により連係しているクレビスをピストン
軸端に有する。また。
このシリンダ30の一端はピン33により載置台28の
一部に支承されている。
一部に支承されている。
第3図は第1図に示す載置台28の前部の配置を示し、
第6図に示したものと同様のワーク7のコネクタPにプ
ロレバ17を挿入および引き戻しするシリンダ18およ
びプロレバ17を通じて得られたデータを処理し、必要
に応じワーク7に調整処理を加える信号処理装置が設け
られている。
第6図に示したものと同様のワーク7のコネクタPにプ
ロレバ17を挿入および引き戻しするシリンダ18およ
びプロレバ17を通じて得られたデータを処理し、必要
に応じワーク7に調整処理を加える信号処理装置が設け
られている。
次に動作について説明する。
まず、載置台28の上記切欠28aにワーク7を載置し
、シリンダ8の作動によりピストン軸を収縮させる。こ
れによりクレビス9を介してワーク押えレバー6をピン
10を中心に時計方向に回動付勢し、ワーク7を載置台
28上に押圧保持する0次に、シリンダ18を作動しプ
ロレバ17をワーク7のコネクタPに接続させ、そのワ
ーク7に自ら発する光により原稿代用のチャート2bを
読み取らせ、その読み取ったデータを電気信号に変換し
た後信号処理装置19に入力する。この信号処理装置1
9では読み取りが正常に行われたか否かを測定し、さら
に正規に読み取りが行われるようにワーク7の調整を行
った後、次工程で他の検査に入る。さらに、この後、シ
リンダ30を不動作としてピストン軸を収縮させる。こ
のため。
、シリンダ8の作動によりピストン軸を収縮させる。こ
れによりクレビス9を介してワーク押えレバー6をピン
10を中心に時計方向に回動付勢し、ワーク7を載置台
28上に押圧保持する0次に、シリンダ18を作動しプ
ロレバ17をワーク7のコネクタPに接続させ、そのワ
ーク7に自ら発する光により原稿代用のチャート2bを
読み取らせ、その読み取ったデータを電気信号に変換し
た後信号処理装置19に入力する。この信号処理装置1
9では読み取りが正常に行われたか否かを測定し、さら
に正規に読み取りが行われるようにワーク7の調整を行
った後、次工程で他の検査に入る。さらに、この後、シ
リンダ30を不動作としてピストン軸を収縮させる。こ
のため。
クレビス31を介してレバー29が反時計方向に回動さ
れ1回動軸20も同方向に回動する。このため、第1図
に示すレバー21が同方向に回動し、腕部材22aは斜
め上方へ直線移動し、腕部材22bは斜め下方へ直線移
動する。この動作により。
れ1回動軸20も同方向に回動する。このため、第1図
に示すレバー21が同方向に回動し、腕部材22aは斜
め上方へ直線移動し、腕部材22bは斜め下方へ直線移
動する。この動作により。
各ピン23a、23bは回転半径の軌跡を変えなから長
孔21a、21b内を滑りながら移動する。
孔21a、21b内を滑りながら移動する。
従って、チャート支持板24aがワーク7に接触し、十
分な押上げ力を加えるまでは、上記ピン23aの長孔2
1aにおける滑り動作によって、比較的小さい押圧力に
て、ばね26aを介してこのチャート支持板24aを押
し上げていく、そして、上記ピン23aが長孔21aの
端部(下端)に落ち着いた後は、レバー21の動きがそ
のまま腕部材22aを介してチャート2aおよびワーク
7に伝えられ、このチャート2aがワーク7の下面に完
全に密着する。この場合において、チャート2aはばね
26aに支持されているため、向きを自動的に変えるこ
とができるとともに、あらかじめ設定した縮み代が密着
効果を呈し、従って、ワーク7に対して隙間なく密着す
ることになる。つまり、載置台28やワーク7が傾いた
状態にあっても、上記十分な密着効果を得ながらワーク
7たるイメージセンサの検査を省工程で高精度にて実施
できる。また、この密着作動の後に上記信号処理装置に
よるデータ処理が行われる。なお、他のチャート2bに
よるワークの測定は、上記回動軸20の反転(時計方向
回動)により、上記と同様の手順にて実行される。
分な押上げ力を加えるまでは、上記ピン23aの長孔2
1aにおける滑り動作によって、比較的小さい押圧力に
て、ばね26aを介してこのチャート支持板24aを押
し上げていく、そして、上記ピン23aが長孔21aの
端部(下端)に落ち着いた後は、レバー21の動きがそ
のまま腕部材22aを介してチャート2aおよびワーク
7に伝えられ、このチャート2aがワーク7の下面に完
全に密着する。この場合において、チャート2aはばね
26aに支持されているため、向きを自動的に変えるこ
とができるとともに、あらかじめ設定した縮み代が密着
効果を呈し、従って、ワーク7に対して隙間なく密着す
ることになる。つまり、載置台28やワーク7が傾いた
状態にあっても、上記十分な密着効果を得ながらワーク
7たるイメージセンサの検査を省工程で高精度にて実施
できる。また、この密着作動の後に上記信号処理装置に
よるデータ処理が行われる。なお、他のチャート2bに
よるワークの測定は、上記回動軸20の反転(時計方向
回動)により、上記と同様の手順にて実行される。
なお、上記実施例ではシリンダ8,18.30に設けて
いるが、これらは空気圧シリンダや油圧シリンダのいず
れを用いてもよい。
いるが、これらは空気圧シリンダや油圧シリンダのいず
れを用いてもよい。
また、上記実施例では回動軸20に回動力を伝えるのに
レバー29を用いたが、揺動型シリンダ。
レバー29を用いたが、揺動型シリンダ。
スプロケットを用いたベルト駆動手段、歯車減速機、モ
ータなどを用いて回動軸20を回動してもよく、上記実
施例と同様の効果を奏する。
ータなどを用いて回動軸20を回動してもよく、上記実
施例と同様の効果を奏する。
さらに、上記実施例では腕部材22a、22bを作動す
るのにL字状のレバー21を用いたが、円板とレバーと
を組み合わせた4節リンク構造としてもよく、上記実施
例と同様の効果を奏する。
るのにL字状のレバー21を用いたが、円板とレバーと
を組み合わせた4節リンク構造としてもよく、上記実施
例と同様の効果を奏する。
この場合において、設置空間を確保できるのであれば、
別途用意したシリンダによりレバー21を直接作動する
ようにしてもよい。
別途用意したシリンダによりレバー21を直接作動する
ようにしてもよい。
以上のように、この発明によれば載置台に載置されたイ
メージセンサをワーク押えレバーによって開放可能に抑
圧し、その載置台で往復回動する軸の動きに連動して、
可変ストローク運動可能な一対の腕部材を相対設置し、
これらの各腕部材端に、上記イメージセンサに対して交
互に圧接させるチャートを、ばねを介して揺動可能に支
持するように構成したので、単純なメカニズムおよび動
作によって、ワークに対しチャートを確実に密着させる
ことができ、従って、イメージセンサの機能測定精度を
向上することができるものが得られる効果がある。
メージセンサをワーク押えレバーによって開放可能に抑
圧し、その載置台で往復回動する軸の動きに連動して、
可変ストローク運動可能な一対の腕部材を相対設置し、
これらの各腕部材端に、上記イメージセンサに対して交
互に圧接させるチャートを、ばねを介して揺動可能に支
持するように構成したので、単純なメカニズムおよび動
作によって、ワークに対しチャートを確実に密着させる
ことができ、従って、イメージセンサの機能測定精度を
向上することができるものが得られる効果がある。
第1図はこの発明の一実施例によるイメージセンサの検
査装置を一部破断して示す正面図、第2図は第1図の回
転軸駆動部を示す断面図、第3図はこの発明における信
号測定部を概念的に示す構造図、第4図は従来のイメー
ジセンサの検査装置を一部切断して示す正面図、第5図
は第4図のチャート移動部を示す側面図、第6図は従来
の信号測定部を概念的に示す構造図である。 2a、2bはチャート、6はワーク押えレバー7はイメ
ージセンサ(ワーク)、22a、22bは腕部材、26
a、26bはばね、28は載置台。 なお1図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。 (外2名)
査装置を一部破断して示す正面図、第2図は第1図の回
転軸駆動部を示す断面図、第3図はこの発明における信
号測定部を概念的に示す構造図、第4図は従来のイメー
ジセンサの検査装置を一部切断して示す正面図、第5図
は第4図のチャート移動部を示す側面図、第6図は従来
の信号測定部を概念的に示す構造図である。 2a、2bはチャート、6はワーク押えレバー7はイメ
ージセンサ(ワーク)、22a、22bは腕部材、26
a、26bはばね、28は載置台。 なお1図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。 (外2名)
Claims (1)
- 載置台に載置されたイメージセンサを開放可能に抑圧す
るワーク押えレバーと、上記載置台上で往復回動する回
動軸の動きに連動して相対的に可変ストローク運動する
腕部材と、これらの各腕部材端にばねを介して揺動可能
に指示されて、上記イメージセンサに交互に圧接される
チャートとを備えたイメージセンサの検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006536A JPH03211474A (ja) | 1990-01-16 | 1990-01-16 | イメージセンサの検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006536A JPH03211474A (ja) | 1990-01-16 | 1990-01-16 | イメージセンサの検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03211474A true JPH03211474A (ja) | 1991-09-17 |
Family
ID=11641073
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006536A Pending JPH03211474A (ja) | 1990-01-16 | 1990-01-16 | イメージセンサの検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03211474A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7479779B2 (en) | 2004-06-08 | 2009-01-20 | Advantest Corporation | Image sensor test system |
-
1990
- 1990-01-16 JP JP2006536A patent/JPH03211474A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7479779B2 (en) | 2004-06-08 | 2009-01-20 | Advantest Corporation | Image sensor test system |
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