JPS6139943U - ウエハ検査装置 - Google Patents
ウエハ検査装置Info
- Publication number
- JPS6139943U JPS6139943U JP12438984U JP12438984U JPS6139943U JP S6139943 U JPS6139943 U JP S6139943U JP 12438984 U JP12438984 U JP 12438984U JP 12438984 U JP12438984 U JP 12438984U JP S6139943 U JPS6139943 U JP S6139943U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer inspection
- inspection
- inspection equipment
- wafer
- cartridge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Discharge Of Articles From Conveyors (AREA)
- Controlling Sheets Or Webs (AREA)
- Sorting Of Articles (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案のウエハ検査装置の1実施例を示す平面
図である。 第2図は上記実施例におけるウエハの搬送経路の説明一
である。 第3図乃至第6図は同じく作用説明図である。 第7図は従来のウエ・・検査装置の1例を示す平面図、
第8−は同じくウエハ搬送経路の説明図である。 1,1′・・・カートリッジ、1a・・・ローダ、2・
・・ウエハ、3,3′・・・XYテーブル、4・・・搬
送機構、5,5′・・・プツシャ、6・・・試料台、7
・・・ストツパ、8・・・プツシャ、9.9’・・・不
良ウエハカートリッジ、9a・・・アンローダ、10・
・・搬入用搬送機構、11・・・搬出用搬送機構、12
・・・分岐返送コンベア。
図である。 第2図は上記実施例におけるウエハの搬送経路の説明一
である。 第3図乃至第6図は同じく作用説明図である。 第7図は従来のウエ・・検査装置の1例を示す平面図、
第8−は同じくウエハ搬送経路の説明図である。 1,1′・・・カートリッジ、1a・・・ローダ、2・
・・ウエハ、3,3′・・・XYテーブル、4・・・搬
送機構、5,5′・・・プツシャ、6・・・試料台、7
・・・ストツパ、8・・・プツシャ、9.9’・・・不
良ウエハカートリッジ、9a・・・アンローダ、10・
・・搬入用搬送機構、11・・・搬出用搬送機構、12
・・・分岐返送コンベア。
Claims (1)
- ウエハ検査用のXYテーブルと、カートリッジに収納さ
れた多数のウエハを1枚すね順次に前記XYテーブルに
搬入する為のローダと搬送機構、及び検査済みウエハを
該XYテーブルから搬出する為の搬送機構ち、ウエノ・
を収納するアン西−ダと、険査結果によって搬出された
検査済みウエハを検査結果に基づいて分類する手段とを
備え、検査合格品を前記のカートリッジに収納し極査不
合格品を排除するように構成したウエハ検査装置におい
て、前記のXYテーブルに未検査ウエハを搬入する方向
と、検査済みウエハを搬出する方向との為す角度を18
0゜以外の角度としたことを特徴とするウエハ検査装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12438984U JPS6139943U (ja) | 1984-08-16 | 1984-08-16 | ウエハ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12438984U JPS6139943U (ja) | 1984-08-16 | 1984-08-16 | ウエハ検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6139943U true JPS6139943U (ja) | 1986-03-13 |
JPH0331080Y2 JPH0331080Y2 (ja) | 1991-07-01 |
Family
ID=30683115
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12438984U Granted JPS6139943U (ja) | 1984-08-16 | 1984-08-16 | ウエハ検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6139943U (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5752147A (en) * | 1980-09-16 | 1982-03-27 | Mitsubishi Electric Corp | Measuring and sorting device for electric characteristics of semiconductor element |
JPS5768044A (en) * | 1980-10-15 | 1982-04-26 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Supplying device for semiconductor element |
-
1984
- 1984-08-16 JP JP12438984U patent/JPS6139943U/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5752147A (en) * | 1980-09-16 | 1982-03-27 | Mitsubishi Electric Corp | Measuring and sorting device for electric characteristics of semiconductor element |
JPS5768044A (en) * | 1980-10-15 | 1982-04-26 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Supplying device for semiconductor element |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0331080Y2 (ja) | 1991-07-01 |
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