JPH0339665A - Ｉｃのハンドリング装置 - Google Patents
Ｉｃのハンドリング装置Info
- Publication number
- JPH0339665A JPH0339665A JP1174588A JP17458889A JPH0339665A JP H0339665 A JPH0339665 A JP H0339665A JP 1174588 A JP1174588 A JP 1174588A JP 17458889 A JP17458889 A JP 17458889A JP H0339665 A JPH0339665 A JP H0339665A
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- Japan
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- carrier board
- measurement
- storage
- board
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 23
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 2
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ＩＣ（集積回路）の選別工程において、自動
的にＩＣの電気的測定を行う為のＩＣのハンドリング装
置（以下、ハンドラと称す）に関する。
的にＩＣの電気的測定を行う為のＩＣのハンドリング装
置（以下、ハンドラと称す）に関する。
従来、この種のハンドラでは、ＩＣをトレー又はマガジ
ンより取り出し、キャリアボードに挿入し、その状態で
測定を行い、測定結果に基づき、キャリアボードからＩ
Ｃを取り出し、トレー又はマガジンに分類収納していた
。
ンより取り出し、キャリアボードに挿入し、その状態で
測定を行い、測定結果に基づき、キャリアボードからＩ
Ｃを取り出し、トレー又はマガジンに分類収納していた
。
上述した従来のハンドラでは、ｌ・レー又はマガジンか
らのＩＣの取り出し、キャリアボードへの挿入、及びキ
ャリアボードからの取り出し、トレー又はマガジンへの
分類収納を全てハンドラ内で行っていた為、ハンドラの
価格が高くなると共に構造が複雑になりトラブルを起こ
すことが多くなるという欠点があった。
らのＩＣの取り出し、キャリアボードへの挿入、及びキ
ャリアボードからの取り出し、トレー又はマガジンへの
分類収納を全てハンドラ内で行っていた為、ハンドラの
価格が高くなると共に構造が複雑になりトラブルを起こ
すことが多くなるという欠点があった。
又、設備のフロア面積が大きくなり、設備の対フロアに
対する生産性が悪くなるという欠点があった。特に、メ
モリＩＣの様に測定時間が長くなると、その割合が高く
なる。
対する生産性が悪くなるという欠点があった。特に、メ
モリＩＣの様に測定時間が長くなると、その割合が高く
なる。
上述した従来のハンドラに対し、本発明は、キャリアボ
ードに設けられた識別マークを検出する検出部の検出結
果と測定結果とを記憶装置部に記憶することにより分類
を行うハンドラを提供するものである。
ードに設けられた識別マークを検出する検出部の検出結
果と測定結果とを記憶装置部に記憶することにより分類
を行うハンドラを提供するものである。
本発明のハンドラは、キャリアボードに設けられた識別
マークを検出する検出部と測定結果に対する分類を記憶
する記憶装置部とを有している。
マークを検出する検出部と測定結果に対する分類を記憶
する記憶装置部とを有している。
次に、本発明の第１の実施例を図面により説明する。
第１図は、本発明の第１の実施例の概略平面図であり、
供給部１．測測定２．収納部３．制御部４、記憶装置部
５．キャリアボードに設けられた識別マークを検出する
検出部６．及びハンドラフレーム４０より構成される。
供給部１．測測定２．収納部３．制御部４、記憶装置部
５．キャリアボードに設けられた識別マークを検出する
検出部６．及びハンドラフレーム４０より構成される。
又、第２図は、本実施例のハンドラで扱う識別マークの
設けられたキャリアボードの斜視図を示す。キャリアボ
ード１００は、ＩＣをセットする部分１０１ａ 〜１０
１ｅ、識別マーク部１０２゜及びボード本体１０３より
なる。
設けられたキャリアボードの斜視図を示す。キャリアボ
ード１００は、ＩＣをセットする部分１０１ａ 〜１０
１ｅ、識別マーク部１０２゜及びボード本体１０３より
なる。
本実施例において、供給部ローダ８にＩＣを搭載したキ
ャリアボード７が収納され、供給用トランスファ９に取
付けられた吸着パッド１０により、キャリアボード１枚
を吸着し、供給ウオーキング部１１まで搬送し、ｌｌａ
の位置にセットする。一方、キャリアボードが工枚吸着
搬送され、なくなる毎に供給部ローダ８が図示されてい
ないエレベータ機構でキャリアボード１枚分上昇する。
ャリアボード７が収納され、供給用トランスファ９に取
付けられた吸着パッド１０により、キャリアボード１枚
を吸着し、供給ウオーキング部１１まで搬送し、ｌｌａ
の位置にセットする。一方、キャリアボードが工枚吸着
搬送され、なくなる毎に供給部ローダ８が図示されてい
ないエレベータ機構でキャリアボード１枚分上昇する。
次に、図示されていない矩形搬送機構により、キャリア
ボードを順次搬送移動する。高温測定時には、供給ウオ
ーキング部１１で図示されていない加熱機構でキャリア
ボードごとＩＣの加熱を行う。それから、供給ウオーキ
ング部１１の矩形搬送によりキャリアボードは、ｌｌｂ
の位置まで搬送される。
ボードを順次搬送移動する。高温測定時には、供給ウオ
ーキング部１１で図示されていない加熱機構でキャリア
ボードごとＩＣの加熱を行う。それから、供給ウオーキ
ング部１１の矩形搬送によりキャリアボードは、ｌｌｂ
の位置まで搬送される。
Ｉｌｂの位置まで搬送されたキャリアボードは、測定部
搬入用トランスファ１２に取付けられた吸着パッド１３
により吸着し、測定部２まで搬送し、そこにセットする
。この時、キャリアボードに設けられた識別マーク（例
えば、バーコード〉を検出部６（例えば、バーコード・
リーダ）で検出し、キャリアボードの中のＩＣの有無情
報を記憶装置部５に予め入力しであるデータより取り出
す。そして、図示されていないキャリアボード押えを下
降させ、キャリアボードに搭載されたＩＣをテスタと電
気的に接続されている図示されていないテストヘッド上
の測定ボード（測定ソケットが実装されている）と接触
を取り、この状態で、先程のＩＣの有無情報に基づき、
測定器によりＩＣの電気的測定を行う。測定が終了する
と、測定結果情報とキャリアボード上の識別マーク情報
とを対応させ、記憶装置部５〈例えば、フロッピー・デ
ィスク・ドライブを用いる〉に記憶した後、キャリアボ
ード押さえを上昇させ、収納用トランスファ１６に取付
けられた吸着パッド１７により、測定器のＩＣを搭載し
たキャリアボードを吸着し、収納部アンローダ１５まで
搬送し収納する。一方、キャリアボード１４が１枚収納
される毎に収納部アンローダ１５が図示されていないエ
レベータ機構でキャリアボード１枚分下降する。
搬入用トランスファ１２に取付けられた吸着パッド１３
により吸着し、測定部２まで搬送し、そこにセットする
。この時、キャリアボードに設けられた識別マーク（例
えば、バーコード〉を検出部６（例えば、バーコード・
リーダ）で検出し、キャリアボードの中のＩＣの有無情
報を記憶装置部５に予め入力しであるデータより取り出
す。そして、図示されていないキャリアボード押えを下
降させ、キャリアボードに搭載されたＩＣをテスタと電
気的に接続されている図示されていないテストヘッド上
の測定ボード（測定ソケットが実装されている）と接触
を取り、この状態で、先程のＩＣの有無情報に基づき、
測定器によりＩＣの電気的測定を行う。測定が終了する
と、測定結果情報とキャリアボード上の識別マーク情報
とを対応させ、記憶装置部５〈例えば、フロッピー・デ
ィスク・ドライブを用いる〉に記憶した後、キャリアボ
ード押さえを上昇させ、収納用トランスファ１６に取付
けられた吸着パッド１７により、測定器のＩＣを搭載し
たキャリアボードを吸着し、収納部アンローダ１５まで
搬送し収納する。一方、キャリアボード１４が１枚収納
される毎に収納部アンローダ１５が図示されていないエ
レベータ機構でキャリアボード１枚分下降する。
以上が、供給、測定、収納の一連の動作であり、測定の
終わったＩＣを搭載したキャリアボードは、記憶装置部
５に記憶されたデータと共に次工程（バーイン・テスト
又は、ＩＣ抜き取り分類工程〉に送られる。
終わったＩＣを搭載したキャリアボードは、記憶装置部
５に記憶されたデータと共に次工程（バーイン・テスト
又は、ＩＣ抜き取り分類工程〉に送られる。
第２の実施例は、第２図のキャリアボードの換わりに、
第３図に示すソケット付きボードを使用したものである
。第３図は、識別マークの設けられたソケット付きボー
ドの斜視図であり、ＩＣをセットするソケット部１１１
ａ〜１ｌｌｅ、ｍ別マーク部１１２．ボード本体１１３
よりなる。これにより、テストヘッド上の測定ボードの
ソケットは不要となる。
第３図に示すソケット付きボードを使用したものである
。第３図は、識別マークの設けられたソケット付きボー
ドの斜視図であり、ＩＣをセットするソケット部１１１
ａ〜１ｌｌｅ、ｍ別マーク部１１２．ボード本体１１３
よりなる。これにより、テストヘッド上の測定ボードの
ソケットは不要となる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、ハンドラにおいて、測定
結果に対する分類を記憶する記憶装置部を設けることに
より、ハンドラ内における分類機構を一切必要とせず、
ハンドラをコンパクトでトラブルの少ないものにするこ
とができるという効果がある。
結果に対する分類を記憶する記憶装置部を設けることに
より、ハンドラ内における分類機構を一切必要とせず、
ハンドラをコンパクトでトラブルの少ないものにするこ
とができるという効果がある。
又、選別工程の他の設備（バーイン・テスト装置、ＩＣ
のキャリアボードへの着脱分類装置）との１・−タル的
なフロア面積、及び設備台数より、トータル価格を下げ
ることが出来、ひいてはＩＣ１ケの価格を下げることが
できるという効果もある。
のキャリアボードへの着脱分類装置）との１・−タル的
なフロア面積、及び設備台数より、トータル価格を下げ
ることが出来、ひいてはＩＣ１ケの価格を下げることが
できるという効果もある。
第１図は、本発明の第１の実施例を示す概略平面図、第
２図は、それに使用するキャリアボードの斜視図、第３
図は、本発明の第２の実施例に使用するソケット付きボ
ードの斜視図である。 １・・・供給部、２・・・測定部、３・・・収納部、４
・・・制御部、５・・・記憶装置部、６・・・検出部、
７・・・キャリアボード、８・・・供給部ローダ、９・
・・供給用トランスファ、ｉｏ・・・吸着パッド、１１
．ｌｌａ、１１ｂ・・・供給つオーキング部、１２・・
・測定部搬入用トランスファ、１３・・・吸着パッド、
１４・・・キャリアボード、１５・・・収納部アンロー
ダ、１６・・・収納用トランスファ、４７・・・吸着パ
ッド、４０・・・ハンドラフレーム、１００・・・キャ
リアボード、１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄ
、１０１ｅ・・・ＩＣをセットする部分、１０２・・・
識別マーク部、１０３ ・・・キャリアボード本体、１
ｌｌａ、１１１ｂ、１１１ｃ、１１１ｄ、１１１ｅ・−
ＩＣをセットするソケット部、１１２・・・識別マーク
部、１１３・・・ボード本体。
２図は、それに使用するキャリアボードの斜視図、第３
図は、本発明の第２の実施例に使用するソケット付きボ
ードの斜視図である。 １・・・供給部、２・・・測定部、３・・・収納部、４
・・・制御部、５・・・記憶装置部、６・・・検出部、
７・・・キャリアボード、８・・・供給部ローダ、９・
・・供給用トランスファ、ｉｏ・・・吸着パッド、１１
．ｌｌａ、１１ｂ・・・供給つオーキング部、１２・・
・測定部搬入用トランスファ、１３・・・吸着パッド、
１４・・・キャリアボード、１５・・・収納部アンロー
ダ、１６・・・収納用トランスファ、４７・・・吸着パ
ッド、４０・・・ハンドラフレーム、１００・・・キャ
リアボード、１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄ
、１０１ｅ・・・ＩＣをセットする部分、１０２・・・
識別マーク部、１０３ ・・・キャリアボード本体、１
ｌｌａ、１１１ｂ、１１１ｃ、１１１ｄ、１１１ｅ・−
ＩＣをセットするソケット部、１１２・・・識別マーク
部、１１３・・・ボード本体。
Claims (3)
- （１）キャリアボードに搭載されたＩＣを、供給、測定
、収納するＩＣのハンドリング装置において、キャリア
ボードに設けられた識別マークを検出する検出部、測定
結果を記憶する記憶装置部を有することを特徴とするＩ
Ｃのハンドリング装置。 - （２）キャリアボードに搭載されたＩＣの測定結果を記
憶装置部に記憶しながら測定する請求項（１）記載のＩ
Ｃのハンドリング装置。 - （３）キャリアボードの換わりに、ソケット付きボード
を使用する請求項（１）及び（２）記載のＩＣのハンド
リング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1174588A JPH0339665A (ja) | 1989-07-05 | 1989-07-05 | Ｉｃのハンドリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1174588A JPH0339665A (ja) | 1989-07-05 | 1989-07-05 | Ｉｃのハンドリング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0339665A true JPH0339665A (ja) | 1991-02-20 |
Family
ID=15981187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1174588A Pending JPH0339665A (ja) | 1989-07-05 | 1989-07-05 | Ｉｃのハンドリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0339665A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997005496A1 (fr) * | 1995-07-28 | 1997-02-13 | Advantest Corporation | Testeur de dispositif a semiconducteur et systeme de test de dispositif a semiconducteur comportant plusieurs testeurs |
| US6111246A (en) * | 1996-04-05 | 2000-08-29 | Advantest Corporation | Semiconductor device testing apparatus having presence or absence detectors issuing an alarm when an error occurs |
-
1989
- 1989-07-05 JP JP1174588A patent/JPH0339665A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997005496A1 (fr) * | 1995-07-28 | 1997-02-13 | Advantest Corporation | Testeur de dispositif a semiconducteur et systeme de test de dispositif a semiconducteur comportant plusieurs testeurs |
| US6066822A (en) * | 1995-07-28 | 2000-05-23 | Advantest Corporation | Semiconductor device testing apparatus and semiconductor device testing system having a plurality of semiconductor device testing apparatus |
| US6433294B1 (en) | 1995-07-28 | 2002-08-13 | Advantest Corporation | Semiconductor device testing apparatus and semiconductor device testing system having a plurality of semiconductor device testing apparatus |
| US6111246A (en) * | 1996-04-05 | 2000-08-29 | Advantest Corporation | Semiconductor device testing apparatus having presence or absence detectors issuing an alarm when an error occurs |
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