JPH08233901A

JPH08233901A - Ｉｃテスタ用分離型ハンドラシステム

Info

Publication number: JPH08233901A
Application number: JP7070826A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Okuda; 広奥田; Makoto Nemoto; 眞根本; Hisao Hayama; 久夫葉山; Katsumi Kojima; 克己小島
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1994-12-28
Filing date: 1995-03-03
Publication date: 1996-09-13

Abstract

(57)【要約】【目的】水平搬送型ＩＣテスタ用オートハンドラにお
いて、テスト室での床面積を縮小し、テストスピードと
カテゴリ分類スピードとを向上させるＩＣテスタ用分離
型ハンドラシステムを提供する。【構成】従来のハンドラのテスト部門とソート部門を
２分割してテスティングマシン１とソーティングマシン
２とし、テスティングマシンはテスト室でＤＵＴ１０を
テストし、ソーティングマシンはソートセンタでＤＵＴ
を分類する。この両者間をテスト済ＤＵＴ１０を載置し
ＩＤナンバを付したトレイ７と、その複数のトレイを収
納しＩＤナンバを付したトレイカセット３が往復する。
ソーティングマシンはＩＤナンバに基づきテスティング
マシンとでデータの授受を行い、ＤＵＴのトレイでの位
置データとカテゴリデータを得てソートする構成とし
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、半導体試験装置( 以
下「ＩＣテスタ」という）と一体となって、ＩＣ、ＭＳ
Ｉ、ＬＳＩ等の被測定デバイス（以下「ＤＵＴ」とい
う）を測定するときに用いる水平搬送型のＩＣテスタ用
オ−トハンドラ（以下「ハンドラ」と略称する）に関す
る。ハンドラとは、ＤＵＴを載置したトレイ（収納皿）
をハンドラ内のローダ部に配置することにより、ＤＵＴ
を自動的にハンドリングして隣接したＩＣテスタのテス
トヘッド部で電気的テストを行い、ＤＵＴをテストのデ
ータ結果でカテゴリ毎にソート（分類）して、自動的に
トレイに収納する装置である。

【０００２】

【従来の技術】従来の水平搬送型のハンドラには、ト
レイを平面上で例えばレール上を移動させ要所でＤＵＴ
をハンドリングしてテスト及びソートするハンドラと、
トレイを一定位置に配置するとＤＵＴを自動的にハン
ドリングしてテスト及びソートするハンドラとがある。
この発明はいずれのタイプにでも応用できるが、のト
レイを一定位置のローダ部に配置しＤＵＴを自動的にハ
ンドリングしてテスト及びソートするハンドラを用いて
説明する。

【０００３】図５に本出願人が先に特願平５ー２７５５
７０で特許出願した水平搬送型ハンドラの平面図を示
す。このハンドラ９は１対のＸ方向レールＡ１１₁、１
１₂間に渡ってこれに沿って可動アームＡ１２が移動自
在に取り付けられ、可動アームＡ１２上にその長手方
向、つまりＹ方向に沿って移動自在に可動体（キャリ
ア）Ａ１３が取り付けられる。この可動体Ａ１３の移動
範囲内においてローダ部１４に、図に示していないが、
ＤＵＴ１０を複数並べて載置されたトレイ７が重ねて配
され、その１番上のトレイ７上のＤＵＴ１０が可動体Ａ
１３によって１個乃至複数個ずつに取り上げられて、必
要に応じて加熱部１５上に乗せられ試験温度まで加熱さ
れる。その加熱されたＤＵＴ１０はバッファ段Ａ１６に
移される。バッファ段Ａ１６は横方向に移動自在で、Ｄ
ＵＴ１０を測定部３３に移動させる。

【０００４】測定部３３の１対のＸ方向レ−ルＢ１
７₁、１７₂には、Ｘ方向に移動自在に可動アームＢ１
８が取り付けられ、可動アームＢ１８上に可動体Ｃ１９
が可動アームＢ１８に沿ってＹ方向に移動自在に取り付
けられる。この可動体Ｃ１９によってバッファ段Ａ１６
上のＤＵＴ１０を取り上げて、接触部２１のコンタクタ
に接触させ、接触部２１には図に示していないＩＣテス
タよりの試験信号が与えられ、また対応したＤＵＴ１
０よりの出力がＩＣテスタに取り込まれて試験が行われ
る。その試験が終了したＤＵＴ１０は可動体Ｃ１９によ
ってバッファ段Ｂ２２に移され、このバッファ段Ｂ２２
よりのＤＵＴ１０は可動体Ａ１３によってアンローダ部
２３に移される。その際不良品についてはソート部Ａ２
４あるいはソート部Ｂ２５に移され、良品のみがアンロ
ーダ部２３に移される。なおローダ部１４で空きとなっ
たトレイは空トレイ部２６に配置される。

【０００５】上述のように、従来のハンドラ９はＤＵＴ
１０をハンドリングし、必要に応じて加熱あるいは冷却
して種種な環境条件で、そのＤＵＴ１０をＩＣテスタの
テストヘッド部と接触（コンタクト）してＤＵＴ１０の
電気的諸特性をテストし、そのテストデータに基づいて
ソーティングされ、例えば良品、不良品、再テス
ト品等に分類するものであった。必要に応じて不良品を
更に不良の原因毎に複数に分類することもある。

【０００６】図６にこのハンドラの斜視図を示す。図５
に対応する部分には、同一符号を付す。図６を用いて更
にＩＣテスタ用オートハンドラ９の構造の概要を説明す
る。３１はローダ・アンローダ部である。取っ手３６で
蓋を上方に開けるとＩＣのトレイ７が２０枚以上収納さ
れるローダ・アンローダ部３１がある。ＤＵＴ１０の大
きさにもよるが、トレイ７の１枚にＤＵＴ１０が５０個
以上載置されており、ローダ部１４ではそのトレイ７を
２０枚から５０枚収納できるので、１回の測定ロットで
はＤＵＴ１０を１０００個から３０００個程度収納して
からテストを開始する。ＤＵＴ１０はハンドリングされ
て、平面上を移動する。

【０００７】１５は加熱部である。ＩＣテストの高温時
でのテスト条件のときに使用する。３３は測定部であ
る。図に示してないが、測定部３３の真下の空部にＩＣ
テスタのテストヘッド部が挿入され、ハンドリングされ
たＤＵＴ１０とコンタクトして電気的諸特性のテストを
行う。電気的諸特性のテストが終了すると、自動外観検
査を行うのもある。テストが終了すると、ハンドリング
されてアンローダ部でソーティング（分類）される。

【０００８】３４は制御・電源部で、ハンドラ９のシス
テム制御やＩＣテスタとの信号の授受や各部の電源供給
等を行う。３５はＴＶモニタであり、画像処理コントロ
ーラによるＤＵＴ１０とソケット間の位置決めをモニタ
している。取っ手３６で蓋を開けると、ハンドリングし
測定等を行う図５に示す平面が現れる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上述したように従来の
ＩＣ用オートハンドラはローダ部と測定部とソート部等
が一体不可分となって構成されている。そしてこのハン
ドラはＩＣテスタと一体となって、テスト室でＤＵＴの
テストを行う。テスト室は一般の工場よりも温度及び湿
度がほぼ一定になるように制御されたクリーンルームの
構造であり、その坪単価は工場内の他のフロアに比べて
非常に高価となっている。

【００１０】ＩＣテスタは電子部品の小型化や縦長設計
等により床面積に関して縮小されてきているが、水平搬
送型のハンドラは平面的には機械部品が主であるので一
定以上の小型化は不可能である。図５、図６のハンドラ
は、正面の幅が１８０ｃｍ、奥行きが１０６ｃｍ程度と
広面積を有している。従って現状のハンドラではテスト
室での占有面積比率が高くなりつつあり、非合理的とな
ってきた。

【００１１】更に、測定部やソート部等が一体で構成さ
れている従来のハンドラでは、測定部におけるＩＣ試験
に要する時間に比べて、ソート部における試験済みＩＣ
の分類作業が長時間になる場合がある。また逆にソート
部で要する時間より測定部で要する時間が長くなる場合
もある。これらいずれの場合においても、ハンドラ全体
の処理速度は長時間を要する部署の処理能力によって決
定されることになる。従って、検査能力あるいは分類能
力のいずれか一方が他方に比べて優れていたとしてもそ
の能力は充分に生かすことができない。これに関して特
公平６−９５１２５が一つの提案をしている。

【００１２】特公平６−９５１２５は処理能力を向上さ
せるために、テスト部と分類部を分離し、情報記憶媒体
を付設したトレイ収納箱に搬送用トレイを収納して移動
し、上記情報記憶媒体に半導体装置の座標とテスト結果
を書き込む情報書き込み装置と、この書き込まれた情報
を読み出して分類装置を作動させる情報読み出し装置を
有する半導体装置のテスト装置である。

【００１３】上記の提案は一つの解決案でありトレイ収
納箱の内部の情報は順次読み出せれるが、トレイ毎のＩ
Ｄ（Identification）確認が出来ないためにトレイのみ
の運用ができず、必ずトレイ収納箱と一体となって用い
なければならない。従って移動途中の事故によるトレイ
順序の入れ替わり等の人的エラーの防止が困難である。
また情報記憶媒体に書き込まれる情報のみであるので情
報量が少なく、詳しいテスト情報、例えばどのテスト装
置のどのソケットで測定したのか等の情報が消滅する。
この発明は、ＩＣテスタ用オートハンドラのテスト室で
の使用床面積を少なくし、処理能力をアップすることを
解決せんとするものである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は従来のＩＣテスタ用オートハンドラの測
定部署であるテスティングマシンとソート部署であるソ
ーティングマシンとに２分割し、テスティングマシンは
ＩＣテスタと一体となってテスト室でＤＵＴを測定し、
ソーティングマシンは室外あるいはテスト室の角の空場
所に設置しテスト部署で測定したＤＵＴをデータ通信を
用いて分類するものである。複数のテスティングマシン
とＩＣテスタをまとめたテスト室をテストセンタとし、
複数のソーティングマシンあるいは大型のソーティング
マシンでソートセンタとするとよい。以下詳細に説明す
る。

【００１５】テスティングマシンは従来のハンドラから
ソート部を取り除き、各部を再配置して床面積を最小に
する。つまりローダ部、加熱部、測定部、アンローダ
部、テスト制御部及び可動アームや可動体等によるＤＵ
Ｔ搬送手段とにより構成される。このようにテストに必
要な部分のみの構成として正面幅を１２０ｃｍとし、奥
行きを９０ｃｍ程度に縮小させることができた。これは
床面積を従来のハンドラの５７％まで、つまり約半分に
縮小できた。

【００１６】このテスティングマシンは、数十枚のトレ
イが収納されたトレイカセットがローダ部に挿入された
ことを確認した後、あるいはスタートボタンを押すこと
によりＤＵＴのテストが自動的に開始される。それぞれ
のトレイ及び各トレイカセットにはＩＤナンバ（固有番
号）を外側に固定して取り付けられ、外部より容易に読
み取れるようにする。従ってこのＩＤナンバは、光電読
出装置で簡単に読み取れるバーコードが適当であるが、
これに限らず、読み出し専用の磁気手段や光電手段を用
いてもよい。

【００１７】テストが終了するとアンローダ部でＤＵＴ
は順次空トレイに収納され、そのテスト済ＤＵＴが収納
させたトレイでの位置データとカテゴリデータを含む検
査データとそれにトレイカセットのＩＤナンバとトレイ
のＩＤナンバとがテスティングマシンのコンピュータ部
あるいはホストコンピュータに書き込まれる。

【００１８】ソーティングマシンは従来のソート部、ロ
ーダ部、ソート制御部及び可動アームや可動体等による
ＤＵＴ搬送手段とにより構成される。テスティングマシ
ンでのテスト済ＤＵＴを満載したトレイカセットをロー
ダ部に挿入し、挿入が確認されたら自動的にあるいはス
タートボタンを押すことにより、テスティングマシンあ
るいはホストコンピュータとデータ通信が開始され、先
に記憶された試験データに基づく分類が開始される。先
ずトレイカセットとトレイのＩＤの同一性を確認し、Ｄ
ＵＴの位置座標データとカテゴリデータとを確認しつつ
ソーティングする。

【００１９】トレイカセットはトレイを２０枚以上重ね
て収納できる。トレイカセットよりトレイを取り出すの
に上方より取り出す構造と下方より取り出す構造とがあ
る。上方より取り出す構造は、最上段のトレイのＤＵＴ
を取り除いたときに下方より押し上げることにより順次
トレイが最上段に位置できる構造とする。下方より取り
出す構造は、トレイカセットの下方の左右に複数の落下
防止用のフックが付いてあり、フックを解除してトレイ
の出し入れを行う。この場合は、トレイを一度下方より
出してハンドらの所定位置まで搬送してセットする。ト
レイカセットに収納する場合はトレイをトレイカセット
の下から入れて順次押し上げる。

【００２０】そしてこのトレイは前述のように外部より
容易に読み取れるＩＤナンバを付設していて、ローダ部
に挿入することにより自動的に読み取られる。このトレ
イカセットは手持ちの可搬型でもキャスタ付き手押し型
でもよいが、自動搬送し各ローダ部に自動挿入できるよ
うにすると更によい。

【００２１】ソーティングマシンを分割したことによ
り、この分類カテゴリの数を従来の３程度から１０以上
にまで増大させることが容易となった。ソートセンタで
時間をかけて大量のテスト済ＤＵＴを分類することがで
きるからである。つまり分割することにより複数のテス
ティングマシンからのトレイカセットを大部屋のソート
センタで大型あるいは多数のソーティングマシンで処理
することもできるようになる。

【００２２】以上の構成にすることによりテスト室での
ハンドラの占有面積を小さくし、テストセンタでのテス
ト速度を最大に上げ、一方ソーティングマシンでは一般
室のソートセンタで行えるので分類カテゴリの数を増や
すことができ、ソート速度を向上させることにより処理
能力の向上が図れる。以下実施例について説明する。

【００２３】

【実施例】図１にこの発明であるＩＣテスタ用分離型ハ
ンドラシステムのテスト形態の概念図を示す。図２にテ
スティングマシン１の一実施例の平面図を、図３にソー
ティングマシン２の一実施例の平面図を、図４（Ａ）に
トレイカセット３と（Ｂ）にトレイ７の一実施例の外観
斜視図を示す。それぞれ図４、図５と対応する部分には
同一番号を付す。

【００２４】図１について説明する。従来の水平搬送型
ＩＣテスタ用オートハンドラを２分割して床面積をほぼ
半分にしたテスティングマシン１とＩＣテスタ５、６と
が一体となってテストセンタ５０であるテスト室で多数
のＤＵＴ１０をテストする。一方、２分割された他方の
ソーティングマシン２は、大型化したりあるいは複数の
ソーティングマシン２でもって工場の一般室でソートセ
ンタ５１を構成し、多量のＤＵＴ１０をカテゴリ毎にソ
ート（分類）し良品は出荷する。

【００２５】このテストセンタ５０とソートセンタ５１
間を多数のＤＵＴ１０を載置した複数のトレイ７を収納
したトレイカセット３がＤＵＴ１０を搬送する。この複
数のトレイ７にはそれぞれＩＤナンバ（８₁）を付し、
トレイカセット３にもそれぞれＩＤナンバ（８₂）を付
している。このＩＤナンバ８₁及び８₂を基にしてソー
ティングマシン２はホストコンピュータ５２間あるいは
テスティングマシン１間とでデータの授受を行う。デー
タの授受はデータ通信手段５３で行う。

【００２６】図２はテスティングマシン１の平面図の一
例である。従来のハンドラ９からソート部２４、２５を
除き、各部の配置替えを行い床面積をほぼ半分にした。
つまり、最小の構成をローダ部１４と測定部３３とアン
ローダ部２３と複数の可動アーム、可動体、レールより
成るＤＵＴ１０の搬送手段とし、必要に応じて加熱部１
５、空トレイ部２６等を設ける。測定部３３でのＤＵＴ
１０の搬送手段であるレール２０はＹ方向のみとし、バ
ッファ段Ａ１６及びバッファ段Ｂ２２の移動はＹ方向レ
ール２０の真下まで移動させて面積の縮小化を図る。可
動体Ａ１３は軽量化して、可動アームＡ１２を２分割し
て可動体Ａ１３と可動体Ｂ２９を設けてＤＵＴ１０の移
動を高速化した。

【００２７】図３はソーティングマシン２の平面図であ
る。工場の一般室で充分の面積が取れるのでソート部２
４、２５が拡大できた。つまり、従来でのソート部は２
〜３ケ所であったが、この分離型ハンドラシステムでは
１０以上とすることもでき、きめ細かに分類することが
できる。

【００２８】図４（Ａ）はトレイカセット３で、（Ｂ）
はトレイ７の外観斜視図である。トレイカセット３の内
部にここでは１８枚のトレイ７が収納されているが、５
０枚以上収納するトレイカセット３でもよい。１枚のト
レイ７にＤＵＴ１０が５０個以上載置されている。

【００２９】トレイカセット３にはＩＤナンバ８₂が付
けられ、トレイ７にはＩＤナンバ８₁が付けられてい
る。このトレイカセット３のＩＤナンバ８₂はトレイカ
セット３をテスティングマシン１又はソーティングマシ
ン２のローダ部１４、４０に挿入すると自動的に読み取
られるように構成する。勿論手動で読み取らしてもして
もよい。このトレイカセット３がテストセンタ５０とソ
ートセンタ５１間を往復する。トレイ７のＩＤナンバ８
₁はトレイ７がローダ部１４、４０で操作位置に設置さ
れると自動的に読み取られるように構成する。従って、
トレイ７はトレイカセット３との対での運用に限らず、
単体での運用においてもローダ部１４、４０で操作位置
に設置すればトレイ７のＩＤナンバ８₁が自動的に読み
取られ、テスティングあるいはソーティングが開始され
る。

【００３０】

【発明の効果】この発明は、以上詳細に説明したように
構成されているので、以下に記載されるような効果を奏
する。クリーンルームであるテスト室でのテスティング
マシン１の床面積が、従来のハンドラ９のほぼ半分とな
ったので、テスト室に従来の約２倍のテスティングマシ
ン１を設置することができ、大量のＤＵＴ１０のテスト
が可能となった。一方、ソーティングマシン２を工場の
一般室に多くの台数をまとめたり、大型化したり、カテ
ゴリの数を増やしたりして、きめ細かに分類ができ、ソ
ート速度を高めることができる。

【００３１】従来のハンドラ９はテスト部門とソート部
門が一体となって、いづれかの処理スピードによってハ
ンドラ９の測定スピードが決まってしまっていたが、分
離したことによりテストセンタ５０ではテスト効率を上
げ、ソートセンタ５１ではソート効率を上げるようにす
ることで無駄が省けた。

【００３２】トレイ７及びトレイカセット３に読み取り
専用のＩＤナンバ８₁、８₂を付設し、ＤＵＴ１０の検
査データをＩＤナンバ８₁、８₂の基づきホストコンピ
ュータ５２あるいはテスティングマシン１のコンピュー
タで情報管理することにしたので、ソーティングでの人
的エラーが防止され、検査データのバックアップが充実
され、情報管理が充分となった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のＩＣテスタ用分離型ハンドラシステム
の一実施例であるテスト形態の概念図である。

【図２】本発明のＩＣテスタ用分離型ハンドラシステム
の一実施例であるテスティングマシンの平面図である。

【図３】本発明のＩＣテスタ用分離型ハンドラシステム
の一実施例であるソーティングマシンの平面図及びトレ
イカセットの斜視図である。

【図４】本発明のＩＣテスタ用分離型ハンドラシステム
の一実施例である（Ａ）トレイカセット及び（Ｂ）トレ
イの外観斜視図である。

【図５】従来の一例であるＩＣテスタ用オートハンドラ
の平面図である。

【図６】従来の一例であるＩＣテスタ用オートハンドラ
の斜視図である。

【符号の説明】

１テスティングマシン２ソーティングマシン３トレイカセット５ＩＣテスタ本体６ＩＣテスタテストヘッド７トレイ８₁、８₂ ＩＤナンバ９ＩＣテスタ用オートハンドラ（ハンドラ）１０ＤＵＴ（被測定デバイス）１１₁、１１₂ Ｘ方向レールＡ１２可動アームＡ１３可動体Ａ１４ローダ部１５加熱部１６バッファ段Ａ１７₁、１７₂ Ｘ方向レールＢ１８可動アームＢ１９可動体Ｃ２０Ｙ方向レール２１接触部２２バッファ段Ｂ２３アンローダ部２４ソート部Ａ２５ソート部Ｂ２６空トレイ部２８可動アームＢ２９可動体Ｂ３１ローダ・アンローダ部３３測定部３４制御・電源部３５ＴＶモニタ３６取っ手４０ローダ部４１空トレイ部４２ソート部Ａ４３ソート部Ｂ４４ソート部Ｃ４５ソート部Ｄ４６ソート部Ｎ４７レール４８可動アームＤ４９可動体Ｄ５０テストセンタ５１ソートセンタ５２ホストコンピュータ５３データ通信手段５４データ通信用制御部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者小島克己東京都練馬区旭町１丁目32番１号株式会社アドバンテスト内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ＤＵＴ（１０）を搬送し、接触部（２
１）でＩＣテスタとコンタクトして電気的諸特性を測定
し、上記測定データに基づいたカテゴリ毎に分類し搬送
する水平搬送型ＩＣテスタ用オートハンドラにおいて、ローダ部（１４）、測定部（３３）、アンローダ部（２
３）、ＤＵＴ搬送手段及びテスト制御部を有するテステ
ィングマシン（１）と、ローダ部（４０）、ソート部（４１〜４６）、ＤＵＴ搬
送手段及びソート制御部を有するソーティングマシン
（２）と、複数の上記ＤＵＴ（１０）を搭載しＩＤナンバ（８₁）
を有する複数のトレイ（７）と、上記複数のトレイ（７）を収納したＩＤナンバ（８₂）
を有するトレイカセット（３）と、上記ソーティングマシン（２）と上記テスティングマシ
ン（１）との間で上記ＤＵＴ（１０）に関するトレイ
（７）の位置データとカテゴリデータの授受を行うデー
タ通信手段（５３）と、を具備することを特徴とするＩＣテスタ用分離型ハンド
ラシステム。
【請求項２】ＤＵＴ（１０）を搬送し、接触部（２
１）でＩＣテスタとコンタクトして電気的諸特性を測定
し、上記測定データに基づいたカテゴリ毎に分類し搬送
する水平搬送型ＩＣテスタ用オートハンドラにおいて、ローダ部（１４）、測定部（３３）、アンローダ部（２
３）、ＤＵＴ搬送手段及びテスト制御部を有し、ホスト
コンピュータ（５２）と上記ＤＵＴ（１０）に関する位
置データとカテゴリデータの授受を行うテスティングマ
シン（１）と、ローダ部（４０）、ソート部（４１〜４６）、ＤＵＴ搬
送手段及びソート制御部を有し、上記ホストコンピュー
タ（５２）と上記ＤＵＴ（１０）に関するトレイ（７）
の位置データとカテゴリデータの授受を行うソーティン
グマシン（２）と、複数の上記ＤＵＴ（１０）を搭載しＩＤナンバ（８₁）
を有する複数のトレイ（７）と、複数の上記トレイ（７）を収納しＩＤナンバ（８₂）を
有するトレイカセット（３）と、を具備することを特徴とするＩＣテスタ用分離型ハンド
ラシステム。
【請求項３】トレイカセット（３）のＩＤナンバ（８
₂）及びトレイ（７）のＩＤナンバ（８₁）はバーコー
ドであることを特徴とする請求項１又は２記載のＩＣテ
スタ用分離型ハンドラシステム。