KR100287980B1

KR100287980B1 - Ic시험장치

Info

Publication number: KR100287980B1
Application number: KR1019970059442A
Authority: KR
Inventors: 미노루 야츠다; 다케시 오오니시; 가츠히코 스즈키
Original assignee: 오우라 히로시; 가부시키가이샤 아드반테스트
Priority date: 1996-11-12
Filing date: 1997-11-12
Publication date: 2001-05-02
Also published as: DE19750173C2; JPH10142293A; KR19980042319A; TW499568B; US6198273B1; DE19750173A1; MY119616A

Abstract

콘택트마다 불량 발생수를 계수하여 기억하는 콘택트 불량해석 기억부와, 이 기억부에 기억된 불량 발생수에 따라 콘택트를 불량이라 판정하여 핸들러를 정지시키는 자동정지부와, 자동정지부가 동작할때마다, 그 정지조건을 만족하여 콘택트를 사용되지 않는 상태로 자동설정하는 자동오프부와, 자동정지마다 사용되지 않는 상태로 설정한 콘택트의 수를 표시하는 불량콘택트 표시기를 설치하고, 자동정지마다 사용되지 않는 상태로 설정된 콘택트의 수를 확인하고, 콘택트의 교환의 시비를 판단하여 시험을 재개시키는 구성으로 한다.

Description

ＩＣ시험장치{IC TESTING APPARATUS}

본 발명은 IC(반도체 집적회로소자)가 정상으로 동작하는가 여부를 시험하는 IC시험장치에 관한 것이며, 특히 복수의 피시험 IC를 동시에 시험을 행하는 형식의 IC시험장치에 관한 것이다.

도 1 내지 5에 의하여 한번에 다수의 IC를 시험하는 IC시험장치의 특히 피시험 IC를 자동반송하는 핸들러라 불리우는 장치의 개략의 구성을 설명한다. 도 1은 핸들러의 기능블록에 의한 개략적 평면도를 도시한다. 도면중 100은 테스트 헤드를 포함하는 챔버부, 200은 이제부터 시험을 행하는 피시험 IC를 격납하고, 또 시험이 끝난 IC를 분류하여 격납하는 IC격납부, 300은 피시험 IC를 챔버부 100에 이송하는 로더부, 400은 챔버부(100)에서 시험이 행해진 시험이 끝난 IC를 분류하여 빼내는 언로더부, TST는 테스트 트레이를 도시한다. 이 테스트 트레이(TST)는 로더부(300)에서 피시험 IC가 실리어서 챔버부(100)에 이송되어 챔버부(100)에서 IC를 시험하고, 시험이 끝난 IC를 언로더부(400)에 운반해내는 동작을 행한다.

챔버부(100)는 테스트 트레이(TST)에 실리는 피시험 IC에 목적으로 하는 고온 또는 저온의 온도스트레스를 부여하는 항온조(101)와, 이 항온조(101)에서 열스트레스가 부여된 상태에 있는 IC를 테스트 헤드에 접촉시키는 테스트 조(102)와, 테스트 조(102)로 시험된 IC로부터, 부여된 열스트레스를 제거하는 제열조(103)에 의하여 구성된다. 즉, 항온조(101)에 고온을 인가한 경우는 테스트 조(102)내의 테스트 헤드(104)로 시험후, 제열조(103)에서 송풍에 의하여 냉각하고, 실온으로 복귀시켜서 언로더부(400)로 반출한다. 또 항온조(101)에 예를 들면 -30℃정도의 저온을 인가한 경우는 시험후, 제열조(103)에 온풍 내지는 히터 등으로 가열하고, 결로가 생기지 않을 정도의 온도로 복귀시켜 언로더부(400)로 반출한다.

항온조(101) 및 제열조(103)는 테스트 조(102)보다 상방으로 돌출되어 배치된다. 항온조(101)와 제열조(103)의 상부 사이에 도 2에 도시하는 바와 같이 기판(105)이 꽂아건너지고, 이 기판(105)에 테스트 트레이 반송부(108)가 장착되어, 이 테스트 트레이 반송부(108)에 의하여 테스트 트레이(TST)가 제열조(103)측에서 항온조(101)를 향하여 이송된다. 테스트 트레이(TST)는 로더부(300)로 피시험 IC를 싣고, 항온조(101)로 운반된다. 항온조(101)에는 수직반송부가 장착되어 있고, 이 수직반송부에 의하여 복수매의 테스트 트레이(TST)가 지지되어 테스트 조(102)가 빌때까지 대기한다. 이 대기중에 피시험 IC에 고온 또는 저온의 온도 스트레스를 인가한다. 테스트 조(102)내에는 그 중앙에 테스트 헤드(104)가 배치되고, 테스트 헤드(104)상에 테스트 트레이(TST)가 운반되어 피시험 IC를 테스트 헤드(104)에 전기적으로 접촉시켜 시험을 행한다. 시험이 종료한 테스트 트레이(TST)는 제열조(103)로 제열하고, IC의 온도를 실온으로 복귀시키고, 언로더부(400)로 배출한다.

도 1 및 2에 도시하는 바와 같이, IC격납부(200)에는 피시험 IC를 격납하는 피시험 IC스톡커(201)와, 시험의 결과에 따라 분류된 IC를 격납하는 시험완료 IC스톡커(202)가 설치된다. 피시험 IC스톡커(201)에는 피시험 IC를 격납한 범용 트레이(KST)가 적층되어 유지된다. 이 범용트레이(KST)가 로더부(300)에 운반되어, 로더부(300)에 운반된 범용 트레이(KST)로부터 로더부(300)에 정지하고 있는 테스트 트레이(TST)에 피시험(IC)을 옮겨싣는다. 범용트레이(KST)로부터 로더부(300)의 테스트 트레이(TST)에 IC를 운반하는 IC반송부로서는 도 2에 도시하는 바와 같이, 기판(105)의 상부에 가설한 2개의 레일(301)과, 이 2개의 레일(301)에 의하여 테스트 트레이(TST)와 범용트레이(KST)의 사이를 왕복(이 방향을 Y방향으로 한다)할 수 있는 가동아암(302)과 이 가동아암(302)에 의하여 지지되어, 가동아암(302)을 따라 X방향으로 이동할 수 있는 가동헤드(303)에 의하여 구성되는 X-Y반송부(304)를 사용할 수가 있다. 가동헤드(303)에는 하향 흡착헤드가 장착되어, 이 흡착헤드가 공기를 흡인하면서 이동하고, 범용트레이(KST)로부터 IC를 흡착하고, 그 IC를 테스트 트레이(TST)로 반송한다. 흡착헤드는 가동헤드(303)에 대하여 예를 들면 8개 정도 장착되어, 한번에 8개의 IC를 테스트 트레이(TST)로 반송한다.

도 3에 테스트 트레이(TST)의 구조를 도시한다. 테스트 트레이(TST)는 4각형 프레임(12)에 복수의 살(13)이 평행 또한 등간격으로 형성되어 이들 살(13)의 양측, 및 살(13)과 대향하는 프레임(12)의 변(12a,12b)에 각각 복수의 부착편(14)이 등간격으로 돌출형성되고, 이들 살(13)사이, 또는 살(13) 및 변(12a)사이와, 2개의 부착편(14)에 의하여 인서트 수납부(15)가 배열구성되어 있다. 각 인서트 수납부(15)의 각각에 수지재로 성형된 오목형상의 인서트(16)가 1개씩 수납되어 2개의 부착편(14)에 패스너(17)에 의하여 플로팅 상태로 부착된다. 인서트(16)는 하나의 테스트 트레이(TST)에 16×4개 정도 부착된다.

인서트(16)의 외형은 동일형상, 동일치수를 하고 있고, 인서트(16)에 형성된 오목부에 IC소자가 수납된다. 오목부(19)는 수용하는 IC의 형상에 따라 결정된다. 즉, IC의 형상마다 인서트(16)가 준비되어, IC의 형상에 따라 인서트를 교환한다. 이 때문에 각 인서트(16)의 양단부에는 각각 부착편(14)에의 부착용 구멍(h1)과 위치결정용 핀삽입용 구멍(h2)이 형성되어 있다.

인서트(16)는 도 4에 도시하는 바와 같이 IC의 핀(18)을 하면측에 노출하여 유지한다. 테스트 헤드(104)에서는 이 노출된 IC의 핀(18)을 IC소켓의 콘택트(19)에 가압하여, IC를 테스트 헤드에 전기적으로 접촉한다. 이 때문에 테스트 헤드(104)의 상부에는 IC를 하향으로 가압하는 압접자(20)가 설치되어, 이 압접자가 각 인서트(16)에 수납되어 있는 IC를 상방에서 가압하고, 테스트 헤드(104)에 접촉시킨다.

테스트 헤드에 한번에 접속되는 IC의 수는 예를 들면 도 5에 도시하는 바와 같이 4행 16열로 배열된 IC를 4열 간격으로 4열(사선부분)을 한번에 시험을 행한다. 즉 1회째는 1,5,9,13열로 배치된 16개의 IC를 시험하고, 2회때는 테스트 트레이(TST)를 1열분이동시켜 2,6,10,14열로 배치된 IC를 시험하고 이를 4회 반복하여 모든 IC를 시험한다. 시험의 결과는 테스트 트레이(TST)에 붙여진 예를 들면 식별번호가 테스트 트레이(TST)의 내부에서 할당된 인서트(16)의 번호로 결정되는 어드레스에 시험결과를 기억하고 있다.

이 시험의 결과는 언로더부(400)에 있어서, 시험이 끝난 IC를 테스트 트레이(TST)로부터 범용트레이(KST)로 옮길때에 양품과 불량품으로 구별하기 위한 데이터로서 사용된다. 이 데이터는 구별작업이 종료하면 메모리로부터 소거된다. 한편, 종래부터 테스터 헤드(104)의 각 콘택트(각 IC소켓의 콘택트의 그룹을 단순히 콘택트라 부른다)마다 대응시켜 기억영역을 준비하고, 각 동일의 콘택트로 시험한 IC의 불량발생수를 집계하여 기억시켜, 이 불량발생수가 소정치를 초과하면 알람을 발생시켜, 핸들러를 자동적으로 정지시킴과 동시에 이후 그 콘택트에 문제점이 있는 것으로 하여 그 콘택트를 사용하는 위치의 인서트(16)에 IC를 탑재하지 않도록 규제하는 방법을 채용하고 있다.

종래는 특정의 콘택트에 불량의 발생횟수가 집중하여 발생하면, 핸들러를 자동적으로 정지시켜, 알람을 발생시켜 오퍼레이터에 알려서 오퍼레이터에 콘택트 부분의 문제점을 점검하는 것을 촉구하고, 점검의 결과 콘택트에 이상이 보이지 않으면 운전을 재개시키는 조작을 행하게 한다. 즉, 오퍼레이터는 알람의 해제 및 자동정지기구의 동작을 해제하는 조작과 재기동 스위치를 조작하는 작업을 행한다.

한편, 자동정지의 조건을 만족한 콘택트에 문제점이 있다고 판정한 경우에는 오퍼레이터는 그 문제점이 있는 콘택트에 대하여 이후 IC를 공급하지 않도록 하는 설정을 입력부(키이보드)를 통하여 입력하고, 운전을 재개시키는 조작을 행하고 있다.

이와 같이 오퍼레이터는 콘택트의 좋지 않는 형편에 의하여 발생하는 핸들러의 자동정지동작에 관하여 재기동시키기까지의 조작점검공정수가 많고, 특히 불량으로된 콘택트를 사용되지 않는 상태로 설정하는 조작이 번잡하기 때문에, 오퍼레이터에 걸리는 부담은 크다. 또, 많은 IC시험장치를 운용하는 경우는 특히 오퍼레이터의 부담은 크게 된다.

이 때문에, 특정의 콘택트에 집중하여 IC의 시험결과에 불량이 발생한 경우는 핸들러를 자동적으로 정지시키는 일없이, 그 불량을 발생시킨 콘택트를 이후 사용하지 않는 상태로 자동적으로 설정시켜, 핸들러를 연속적으로 동작시켜 버리는 제어방법을 채용하는 것도 고려된다.

이외 제어방법을 채용하는 경우는 오퍼레이터의 부담은 경감되는 반면, 핸들러가 자동적으로 콘택트를 사용되지 않는 상태로 자동적으로 설정해 버리기 때문에, 테스트헤드(104)에 설치한 콘택트 중의 태반의 콘택트가 사용되지 않는 상태로 되어 있더라도 깨닫는 일없이, 효율이 나쁜 상황에서 시험이 계속되는 문제점이 생긴다.

도 1은 동시에 다수의 IC를 시험할 수 있는 IC시험장치의 일예를 설명하기 위하여 거의 선으로 도시한 평면도.

도 2는 도 1에 도시한 IC시험장치의 사시도.

도 3은 도 1 및 2에 도시한 IC시험장치에 사용하는 테스트 트레이의 구조를 설명하기 위한 분해 사시도.

도 4는 도 3에 도시한 테스트 트레이에 탑재한 IC와 테스트 헤드의 콘택트의 관계를 설명하기 위한 단면도.

도 5는 테스트 트레이상에 있어서 IC의 시험의 수순을 설명하기 위한 평면도.

도 6은 본 발명의 일실시예를 설명하기 위한 블록도.

도 7은 도 6에 도시한 실시예에 사용하는 설정화면의 예를 설명하기 위한 도면.

도 8은 본 발명의 다른 실시예를 설명하기 위한 블록도.

도 9는 본 발명의 또 다른 실시예를 설명하기 위한 블록도.

본 발명의 목적은 핸들러가 자동정지한 경우에, 그후의 조작수를 경감시켜 오퍼레이터의 부담을 경감함과 동시에, 콘택트의 교환시기를 적확히 판단할 수 있도록 구성한 IC시험장치를 제공하려고 하는 것이다.

본 발명에 의하면, 특정의 콘택트로 시험되는 IC에 불량발생의 빈도가 높은 경우는 알람을 발생하여 핸들러를 자동적으로 정지시킨다. 이것과 동시에 그 해당하는 콘택트를 사용되지 않는 상태로 하는 설정을 자동적으로 행하게 하여, 오퍼레이터의 조작을 경감시킨다. 또, 사용되지 않는 상태로 설정된 콘택트의 수를 표시시켜, 확인할 수 있도록 구성한다.

오퍼레이터는 콘택트의 부분을 점검한 후, 자동정지부의 상태 및 알람을 해제하고, 기동부를 조작하는 것만으로 운전을 재개시킬 수 있도록 구성한 것이다.

따라서, 본 발명에 의하면 오퍼레이터는 핸들러가 일단은 자동정지하므로, 콘택트부분의 점검 및 사용되지 않는 상태로 설정되어있는 콘택트의 수자를 파악할 수가 있다. 더구나 자동정지부, 알람의 해제조작과 재기동 조작만을 행하면 운전을 재개시킬 수가 있다.

따라서, 콘택트의 사용되지 않는 수가 콘택트의 수의 과반수를 초과하고 있는 상황대로 운전을 재개시키는 것과 같은 문제점을 회피하면서, 또한 조작성을 향상시킬 수 있는 이점이 얻어진다.

도 6에 본 발명의 1실시예를 도시한다. 도 6에서는 IC시험용의 핸들러(HM)를 테스트 트레이(TST)의 반송통로와 신호처리 기능블록으로 개략적으로 도시하고 있다. 이 실시예에서는 테스트 헤드(104)에 동시에 16개의 IC를 시험하기 위한 16개의 콘택트(19₁∼19₁₆)를 설치한 경우를 도시한다. 이들의 콘택트(19₁∼19₁₆)는 메인프레임이라 불리우는 테스트 장치(TES)에 전기적으로 접속된다.

테스트 장치(TES)에는 특히 도시하지 않지만 시험패턴 발생기와 논리비교기와, 불량해석 메모리 등이 설치되어 시험패턴 발생기로부터 테스트 패턴신호를 발생시켜 그 시험패턴신호를 콘택트(19₁∼19₁₆)에 공급하고, 이들에게 접촉시킨 16개의 IC(메모리)에 각각 시험패턴신호를 기록하고 그 판독신호를 다시 테스트 장치(TES)로 복귀시키고, 논리비교기로 기대치와 논리비교하고 불일치의 발생을 검출하여 불량어드레스를 검출하고, 불량해석 메모리에 불량발생 어드레스의 불량 셀 위치정보를 기억시켜, 이의 불량해석 메모리에 기억한 불량셀 위치정보에 의하여 구제가 가능한가 여부를 판정하고, 그에 의하여 그 IC가 양품인가 불량품인가를 결정한다.

본 발명에서는 콘택트 19₁∼19₁₆의 어느 것에 불량이 검출되더라도, 그 콘택트에 대응하여 테스트 장치(TES)로부터 핸들러(HM)에 불량검출신호 F를 반송하고 핸들러(HM)에 설치한 콘택트 불량해석 기억부(21)에 콘택트(19₁∼19₁₆)마다 분류하여 불량발생계수치로서 기억시켜 이 콘택트 불량해석 기억부(21)에 기억한 콘택트마다의 각 불량발생횟수에 따라 핸들러(HM)를 자동정지시키는 가의 여부를 판정시켜, 더욱더, 자동정지시킨 경우에 그 자동정지조건을 만족한 콘택트에 대하여, 사용되지 않는 상태로 자동적으로 설정하도록 구성하는 것이다.

콘택트 불량해석기억부(21)에는 특히 도시하지 않지만, 예를 들면 동시에 시험되는 16개의 IC를 위한 콘택트 19₁∼19₁₆에 대응한 16개의 기억영역을 설치하고, 각 콘택트 19₁∼19₁₆에서 시험한 IC가 불량이라고 판정될때마다, 그 콘택트에 대응한 기억영역에 기억되고 있는 불량발생횟수를 +1하여 갱신한다.

모드설정부(22)에서는 불량의 발생횟수에 따라 핸들러(HM)를 자동적으로 정지시키는가 여부를 설정하는 유효모드와 무효모드를 설정한다. 모드설정부(22)에 무효모드를 설정한 경우는 기동신호 R을 직접 테스트 트레이 반송부(29)에 부여하고 불량발생횟수에 관계없이 테스트 트레이 반송부(29)가 기동되어 테스트 헤드(104)로부터 시험이 끝난 IC를 탑재한 테스트 트레이를 다음의 스테이지(제열조 103)로 이동시켜, 또 다음에 시험하여야 할 테스트 트레이(TST)를 항온조(101)로부터 테스트 헤드(104)의 위치에 반입하는 동작을 행하게 한다.

유효모드를 설정한 경우는 모드설정부(22)는 자동정지부(23)에 콘택트 불량해석 기억부(21)에 기억한 각 콘택트마다의 불량발생횟수를 점차 전달한다. 자동정지부(23)에는 복수의 조건설정부가 설치되어, 자동정지에 이르는 조건을 복수설정한다. 정지조건으로서는

(a) 동일 콘택트에 있어서 연속하여 소정개 이상 불량이 발생한 경우,

(b) 동일 콘택트에 있어서 A개의 시험을 행한 결과, 그 중에서 B%이상이 불량으로 된 경우(A와 B는 0을 포함하는 임의의 수에 설정가능),

(c) 콘택트의 전체에서 시험되는 IC의 수 C중에서 불량으로 판정된 IC의 수 D의 비율 D/C가 소정치 E를 초과한 경우,

등이다.

자동정지부(23)에서는 상기한 정지조건(a),(b),(c)의 어느 것인가를 선택하여 자동정지의 판정을 행한다. 이것과 동시에, 정지모드로서 단순히 경보를 내고 정지하는 것만의 알람/정지부(25)를 기동시키든가, 또는 자동정지한 경우는 반드시, 그 자동정지 조건을 만족한 콘택트를 사용되지 않는 상태로 자동설정하는 자동오프부(26)를 가동시키는가를 선택한다. 이 선택은 모드설정부(22)로 미리 설정하여 둘 수가 있다.

알람/정지부(25)를 선택한 경우는 설정된 정지조건(a) 또는 (b) 혹은 (c)가 만족될때마다 자동정지부(23)는 경보장치(24)를 기동시켜 경보를 내고, 핸들러(HM)를 자동정지시킨다. 이의 자동정지모드에서는 종래와 꼭같이, 오퍼레이터가 입력부(특히 도시하고 있지 않음)를 조작하여 불량이라 생각되는 콘택트를 사용되지 않는 상태로 설정하여, 해제부(27)에서 자동정지부(23) 및 경보장치(24)를 해제하고, 기동부(28)에 의하여 핸들러(HM)를 재기동시킨다.

한편, 자동오프부(26)를 선택한 경우는 설정된 정지조건(a) 또는 (b), 혹은(c)가 만족되면, 자동정지부(23)는 경보장치(24)를 기동시켜, 경보를 발생시킴과 동시에, 핸들러(HM)를 자동정지시켜 자동오프부(26)를 기동시켜 정지조건(a) 또는 (b)혹은 (c)를 만족한 콘택트를 사용되지 않는 상태로 자동적으로 설정한다. 이때 불량콘택트 표시부(31)에는 사용되지 않는 콘택트에 설정되어 있는 콘택트 번호와 그 수가 표시된다.

오퍼레이터는 이 표시를 확인하여 가령 사용되지 않는 상태로 설정된 콘택트의 수가 과반수를 초과한 경우에는 콘택트를 교환하여야 한다고 판정하고, 콘택트 19₁∼19₁₆을 전부 기판마다 교환하는 작업을 실시한다.

사용되지 않는 상태로 설정된 콘택트의 수가 아직 예를 들면 콘택트의 총수의 과반수로 만족되지 않으면, 오퍼레이터는 계속하여 시험을 행한다고 판정하고, 해제부(27)를 조작하여, 자동정지부(23)의 정지상태와, 경보장치(24)의 동작을 해제시켜, 다음에 기동부(28)를 조작하여 핸들러(HM)를 기동시켜, 테스트 트레이 반송부(29)를 기동시킨다.

따라서, 본 발명에 의하면 핸들러(HM)가 정지조건에 따라, 자동정지한 경우, 자동오프부(26)에 의하여 자동적으로 그 정지조건을 만족한 콘택트를 사용되지 않는 상태로 설정하므로, 오퍼레이터는 해제부(27)로 해제조작을 행하고, 기동부(28)에서 재기동의 조작을 행하는 것만으로 되므로, 귀찮았던 콘택트의 사용되지 않는 상태로의 설정입력은 전혀 행할 필요가 없다. 따라서 조작성이 향상하고, 오퍼레이터의 부담을 경감할 수가 있다. 또 자동정지마다 사용되지 않는 상태로 설정한 콘택트의 수를 불량콘택트 표시부(31)에 표시시키므로, 오퍼레이터는 콘택트 19₁∼19₁₆을 교환하는가의 여부의 판단을 용이하게 행할 수가 있는 이점이 얻어진다.

도 7에 도시하는 1단째(1)는 도 6에 도시한 모드설정부(22)의 모드의 설정화면의 일예를 도시하다. 도면의 예에서는 유효모드를 설정한 경우를 도시한다. 2단째 (2)에 표시되어 콘택트의 자동오프기능은 도 6에 도시한 알람/정지부(25)를 선택하는가 자동오프부(26)를 선택하는가의 설정을 행하는 부분이다. 도면의 예에서는 알람/정지부를 선택한 상태를 도시하고 있다.

3단째(3)에 표시되어 있는 콘택트 오프모드란 콘택트 불량해석기억부(21)의 상태를 연속적으로 유지시키든가 혹은 IC의 로트가 종료하면 콘택트 불량해석 기억부(21)의 기억을 리세트 하는 가의 선택을 행하는 부분을 도시하다. 도면의 예에서는 연속을 선택한 상태를 도시하다.

4단째(4)의 재시험시의 페일·카테고리·체크 단 1회 시험을 실행한 결과 불량이라 판정된 IC를 재시험을 행하는 경우에 자동정지부(23)를 동작시키는가의 여부를 설정하는 부분을 도시한다. 도면의 예에서는 재시험시는 자동정지부(23)를 동작시키지 않는 상태로 설정한 경우를 도시하다.

5단째(5)의 이익율 설정모드란, 앞서 설명한 정지조건(b 와 c)의 어느 것을 선택하는가의 설정을 행하는 부분을 도시한다. 개별이란 각 콘택트마다 예를 들면 IC를 10개 시험하는 사이에 10%의 불량이 발생한 경우에 정지로 판단하는 모드(상기한 정지조건(b)), 상대란 콘택트의 구별을 묻지 않고 모든 시험이 끝난 IC중에서 불량수의 비율이 소정의 비율을 초과한 경우에 정지시키는 모드(상기한 정지조건(c))이다. 도면의 예에서는 개별을 선택한 경우를 도시한다.

6단째의 (6)의 [이익율 설정]의 난에서 정지조건(b)에서 사용하는 IC의 시험개수 A와 불량율 B를 설정한다. 도면의 예에서는 A=10개, B=10%를 설정한 경우를 도시한다.

최하단(7)에 도시한 틀은 불량콘택트 표시기(31)의 부분을 도시한다. 즉, 이 틀내에 사용되지 않는 상태로 설정된 콘택트를 번호 등에 의하여 표시한다. 또, 그 개수를 표시한다.

도 8은 본 발명의 다른 실시예를 도시한다. 이 실시예에서는 도 6에 도시한 구성에 더하여 핸들러(HM)내에 자동판정부(32)를 설치한 경우를 도시한다.

자동판정부(32)는 자동오프부(26)가 정지조건을 만족한 콘택트를 자동적으로 사용되지 않는 상태로 설정한 상태로 자동오프부(26)로부터 제어권을 받아 취하고, 사용되지 않는 상태로 설정된 콘택트의 수를 계수하고, 그 수가 설정치를 초과하였는가 여부를 판정하고, 설정치를 초과하여 있지 않을 경우는 해제부(27)를 자동적으로 리세트하고, 기동부(28)를 제어하여 자동적으로 재기동 시킨다.

한편, 사용되지 않는 상태로 설정된 콘택트의 수가 설정치를 초과한 경우는 콘택트의 교환을 촉진하는 표시를 판정표시기(33)에 표시시켜, 정지상태를 유지시킨다.

따라서, 이 자동판정부(32)를 설치함으로서 핸들러(HM)를 콘택트의 교환시기 까지 자동운전시킬 수가 있어, 오퍼레이터는 콘택트의 교환의 가부를 전부자동판정부(32)에 일임할 수가 있다.

도 9는 본 발명의 또 다른 실시예를 도시하고 있다. 이 실시예에서는 핸들러(HM)와 테스트 장치(TES)의 조합에 의하여 구성되는 테스트 스테이션과 상위의 호스트 컴퓨터(HS)와의 사이에서 데이터의 받음을 담당하는 제어기(TCC)(종래부터 사용되고 있는)에 콘택트의 교환의 가부를 판정하는 판정기능을 갖게 한 경우를 도시한다. 즉, 제어기(TCC)는 종래부터 테스트장치(TES)와 패스라인으로 접속되어 테스트 장치(TES)로 발생하는 IC의 테스트 상황을 표시하는 데이터를 호스트 컴퓨터(HS)에 전달하고, 각 테스트 스테이션(테스트 스테이션은 다수 설치된다)의 테스트 상황을 호스트 컴퓨터(HS)로 파악시킨다.

호스트 컴퓨터(HS)는 각 테스트 스테이션으로 시험을 행하는 IC의 종류에 대응한 테스트 패턴발생 프로그램을 격납하여 있고, 시험의 개시시에 각 테스트 스테이션에서 실행하는 IC의 종류에 대응한 테스트 패턴발생 프로그램을 각 테스트 스테이션의 테스트 장치(TES)에 전송하고, 각 테스트 장치(TES)에 테스트 패턴의 발생을 실행시킨다. 이와 같이, 데이터의 받음 및 테스트 패턴발생프로그램의 받음을 행하기 위하여 종래부터 제어기(TCC)가 설치되어 있지만, 본 발명에서는 이 제어기(TCC)에 콘택트를 교환하는가의 여부를 판정하는 기능을 부가한다. 이를 위하여 제어기(TCC)와 자동오프부(26)와 제어기(TCC)와의 사이를 데이터의 받을 수 있도록 접촉함과 동시에, 제어기(TCC)의 판정결과를 해제부(27)와 기동부(28)에 공급하는 구성을 설치하여, 제어기(TCC)가 콘택트의 교환을 행하지 않는다고 판정한 경우는 해제부(27)의 상태를 해제함과 동시에 기동부(28)를 기동시켜, 핸들러(HM)를 재기동시킨다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 각 콘택트에서 발생하는 IC의 불량을 계수하고, 그 계수치가 예를 들면 연속하여 소정개 이상 증가하는 것과 같은 경우에는 콘택트의 불량이라 판정하고, 그 콘택트에 IC를 공급하지 않도록 설정하는 IC시험장치에 있어서, 도 6의 실시예와 같이 콘택트가 자동정지 조건을 만족하면, 핸들러(HM)를 자동정지시킴과 동시에 그 시점에서 그 콘택트를 자동적으로 사용되지 않는 상태로 설정하므로, 오퍼레이터는 정지상태의 해제조작과 재기동의 조작을 행하면 되고, 콘택트를 사용되지 않는 상태로 설정하는 조작을 행하지 않아도 되므로 오퍼레이터에 걸리는 부담을 경감할 수가 있다.

또, 자동정지마다 사용되지 않는 상태로 설정된 콘택트의 수를 표시시켜 오퍼레이터가 그 수를 확인하므로 콘택트를 교환하여야 하는 것인가의 여부를 판단할 수가 있다.

따라서, 단순히 콘택트의 불량을 검출하여, 그 콘택트를 사용되지 않는 상태로 자동적으로 설정해 버리는 경우에 발생하는 문제점(사용되지 않는 상태로 설정된 콘택트가 전체의 과반수를 초과해 버린 상태에 깨닫지 못하고 시험을 계속하는 것)이 생기는 일은 없다.

또, 도 8 및 도 9에 도시한 실시예와 같이, 콘택트를 교환하여야 하는가 여부의 판정도 자동화단경우에는 오퍼레이터의 부담은 크게 경감되어, IC를 시험하는데 요하는 경비를 대폭으로 삭감할 수 있는 이점이 얻어진다.

Claims

피시험 IC를 자동반송하는 핸들러와,

이 핸들러에 탑재된 테스트 헤드와,

이 테스트 헤드에 실장되어 복수의 피시험 IC를 전기적으로 접속하기 위한 복수의 콘택트와,

상기 테스트 헤드와 전기적으로 접속되어 상기 피시험 IC를 동작시켜 그 양부를 판정하는 테스트 장치와,

상기 복수의 콘택트에 대응하여 설치하고, 각 콘택트에 접촉하여 시험한 IC가 불량이라고 판정되는 횟수를 각 콘택트마다 계수하여 기억하는 콘택트 불량해석 기억수단과,

콘택트 불량 해석 기억수단에 기억된 불량발생횟수에 따라 상기 핸들러의 동작을 정지시키는 자동정지수단과,

상기 자동정지수단이 상기 핸들러를 정지제어한 상태에서 상기 핸들러를 정지하여야 할 조건에 도달한 콘택트에 피시험 IC가 공급되는 것을 저지하여 사용되지 않는 상태로 자동적으로 설정하는 자동오프수단,

를 포함하는 것을 특징으로 하는 IC시험장치.
제 1 항에 있어서, 상기 핸들러는 상기 자동오프 수단이 설정한 사용되지 않는 상태에 있는 콘택트의 수가 소정개를 초과한 상태에서 콘택트의 교환이라고 판정하는 자동판정 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 IC시험장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 사용되지 않는 상태로 설정된 콘택트의 수를 표시하는 불량콘택트 표시기와, 이 자동정지수단이 상기 핸들러의 동작을 정지제어한 상태를 표시하는 경보수단과, 상기 자동정지수단의 정지제어상태를 해제하고, 상기 경보수단의 경보상태를 정지시키는 해제수단과, 상기 핸들러를 기동시키는 기동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 IC시험장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 핸들러와 테스트에 의하여 구성되는 테스트 스테이션과 상위의 호스트 컴퓨터 사이에 개재하고, 테스트 스테이션과 호스트 컴퓨터 사이의 데이터의 받음을 제어하는 제어수단을 포함하고, 상기 제어수단은 상기 자동오프수단이 설정한 사용되지 않는 상태에 있는 콘택트의 수가 소정개를 초과한 시점에서 콘택트를 교환하여야 한다고 판정하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 IC시험장치.