TW499568B - IC testing device - Google Patents
IC testing device Download PDFInfo
- Publication number
- TW499568B TW499568B TW086116746A TW86116746A TW499568B TW 499568 B TW499568 B TW 499568B TW 086116746 A TW086116746 A TW 086116746A TW 86116746 A TW86116746 A TW 86116746A TW 499568 B TW499568 B TW 499568B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- test
- contacts
- automatic
- contact
- stop
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/01—Subjecting similar articles in turn to test, e.g. "go/no-go" tests in mass production; Testing objects at points as they pass through a testing station
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F11/00—Error detection; Error correction; Monitoring
- G06F11/22—Detection or location of defective computer hardware by testing during standby operation or during idle time, e.g. start-up testing
-
- G—PHYSICS
- G08—SIGNALLING
- G08B—SIGNALLING OR CALLING SYSTEMS; ORDER TELEGRAPHS; ALARM SYSTEMS
- G08B21/00—Alarms responsive to a single specified undesired or abnormal condition and not otherwise provided for
- G08B21/18—Status alarms
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03K—PULSE TECHNIQUE
- H03K21/00—Details of pulse counters or frequency dividers
- H03K21/38—Starting, stopping or resetting the counter
Description
499568 A7 B7 五、發明説明丨) 〔發明之領域〕 本發明係與試驗I c (半導體集成電路元件)是否正 常動作之I c試驗裝置有關’尤其同時試驗複數被試驗 I C之形式之I C試驗裝置有關。 〔先前之技術〕 以第1圖至第5圖說明一次試驗多數I C之I c試.驗 裝置之特別是自動搬送被試驗1 0之稱爲處理機之裝置之 槪略構造。第1圖顯示處理機之功能方塊之槪略平面圖。 圖中1 0 0係含測試頭之室部’ 2 0 0係儲存即試驗之被 試驗I.C,又分類已試驗I C儲存之I C儲存部,300 係將被試驗I c送進室部1 0 0之裝載部’ τ S T表示測 試盤。該測試盤T S T係在裝載部3 0 0裝進被試驗I C 被送進室部100,在室部100試驗1C ’將試驗完之 1C運出卸載部400。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 室部1 0 0係由將目的高溫或低溫之溫度應力供給裝 置測試盤T S T之被試驗I C之恒溫槽1 〇 1,及將在該 恒溫槽1 0 1供給熱應力狀態之I C接觸於測試頭之測試 槽1 0 2,及自經測試槽1 0 2試驗之I C,去除供給之 熱應力之除熱槽1 0 3構成。即,在恒溫槽1 0 1附加高 溫時於測試槽1 0 2內之測試頭1 0 4試驗後,在除熱槽 1 0 3送風冷卻,恢復室溫搬出卸載部4 0 0。又在恒溫 槽1 0 1例如附加約一 3 0 °C之低溫時試驗後,於除熱槽 1 0 3以溫風乃至加熱器等加熱,恢復至不產生結露程度 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) -4 - 499568 A7 B7 五、發明説明▲) 之溫度搬出卸載部4 0 0。 恒溫槽1 0 1及除熱槽1 〇 3係突出配置於測試槽 1 0 2上方。在恒溫槽1 〇 χ與除熱槽1 〇 3之上部間如 第2圖所示跨設基板1 〇 5,將測試盤搬送部1 0 8裝於 該基板1 0 5,以該測試盤搬送部1 〇 8,自除熱槽 1 0 3側向恒溫槽1 0 1移送測試盤T S T。測試盤 T S T係以裝載部3 0 0裝進被試驗I C,運進恒溫槽, 1 0 1。恒溫槽1 0 1裝有垂直搬送部,以該垂直搬送部 支持複數枚測試盤T S T待機至測試槽1 〇 2騰空。在此 待機中將高溫或低溫之溫度應力附加於被試驗I C。測試 槽1 0 2內中央配置測試頭1 〇 4,將測試盤T S T運至 測試頭1 0 4上,以電將被試驗I C接觸於測試頭1 〇 4 做試驗。經試驗過之測試盤T S T於除熱槽1 0 3除熱, 將I C溫度恢復室溫,排出於卸載部4 0 0。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 如第1圖及第2圖所示,I C儲存部2 0 0設有儲存 被試驗I C之被試驗I C存放器2 0 1,及儲存隨試驗結 果分類之I C之已試驗I C存放器2 0 2。被試驗I C存 放器2 0 1積層存放儲存被試驗I C之汎用盤KST。該 汎用盤KST係被運至裝載部3 0 0 ’自運至裝載部 3 0 0之汎用盤K S T將被試驗I C換置於停在裝載部 3 0 0之測試盤T S T。自汎用盤K S T將I C運進裝載 部3 0 〇之測試盤T S T之I C搬送部係如第2圖所示’ 可用架設於基板1 〇 5上部之2支軌道3 0 1 ’及以該2 支軌道3 0 1、可在測試盤T S T與K用盤K S T間往復( 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Λ4規格(210X29?公釐) 499568 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ________B7 — — —一— —… 一― —一. .......... " „ 一........—— -........—..........--一..... 五、發明説明‘) 此方向爲γ方向)之可動臂3 0 2,及以該可動臂3 0 2 支持,由可沿可動臂3 0 2向X方向移動之可動頭3 〇 3 構成之X — γ搬送部3 0 4。可動頭3 0 3裝有向下之吸 頭,該吸頭吸空氣移動,自汎用盤K S T吸I C,將該 I C搬送至測試盤T S T。吸頭係對可動頭3 〇 3例如裝 約8支’ 一次將8個I C搬送至測試盤τ S T。 第3圖顯示測試盤T S T之構造。測試盤τ S T係將 複數棧1 3平行且等間隔形成於方形框架1 2,將各複數 安裝片1 4等間隔分別突出形成於此等棧1 3兩側,及與 棧1 3相對之框架1 2之邊1 2 a,1 2 b,由此等棧 1 3間,或棧1 3及邊1 2 a間,2隻安裝片1 4排列構 成插入收納部1 5,將逐個樹脂材成形之凹形狀插入件 1 6分別收納於各插入收納部,以扣釘1 7浮動狀裝於2 隻安裝片1 4。插入件1 β係裝約1 6 X 4個於1隻測試 盤 T S Τ 。 插入件1 6之外形係成同一形狀,同一尺寸,將τ c 元件收納於形成在插入件1 6之凹部。凹部1 9係隨收容 之I C形狀而定。即,按每種I c形狀準備插入件1 6, 依I C形狀更換插入件。因此,在各插入件1 6兩端部分 別形成安裝片1 4之安裝用孔h 1,及定位用梢插入用孔 h 2。 插入件1 6係如第4圖所示,將I C梢1 8露出下面 側。在測試頭1 〇 4將該露出之I C梢1 8押緊於I C插 座之接點1 9 ,將I C以電接觸於測試頭。因此測試頭 本紙張尺度適用中國國家榡準(CNS ) Λ4規格(210X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再本頁) -繫· 絲 -6 - 499568 Α7 Β7 五、發明説明‘) 1 0 4上部設向下壓緊I C之壓接子2 〇 ,該壓接子自上 方壓緊儲存在各插入件1 6之I C,使其接觸於測試頭 10 4。 一次連接於測試頭之I C數係例如第5圖所示,丨次 試驗每隔4列之4列(斜線部分)排列成4行1 6歹[J之 1C。即,第一次試驗配置1,5,9,13列之16個 I C,第二次移動1列分測試盤T S T試驗配置2,6 ., 1 0 ’ 1 4列之I C ’將此重複4次試驗全部I c。試驗 後將試驗結果存儲於由附於測試盤T S T之例如識別號碼 ’及分配於測試盤T S T內部之插入件1 6之號碼決定之 地址。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先k讀背面之注意事項再本頁) 該試驗結果係用做卸載部4 0 〇中,自測試盤T s τ 將已試驗I C移至汎用盤K S Τ時分爲良品與不良品用之 資料。該資料在分辦作業完成後自記憶體消除。一方面, 自先前以來採取:對應測試頭1 0 4之各接點(將各I C 插座之接點群簡稱接點)準備存儲領域,合計以各同一接 點試驗之I C不良發生數予以存儲,若該不良發生次數超 過所定値則發生警報,自動停止處理機,並在爾後以該接 點有缺陷,限制將I C不裝載於使里該接點位置之插入件 1 6之方法。 先前不良發生次數集中發生於特定接點時,自動停止 處理機,發出警報告知操作人員,促使操作人員點驗接點 部分缺陷,點驗結果若接點無異常,則操作再開始運轉。 即,操作人員實施解除警報及解除自動停止機構之動作之 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) Λ4規格(210Χ 297公釐) 499568 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7五、發明説明$ ) 操作,及操作再起動開關之作業。 一方面,若判定滿足自動停止條件之接點有缺陷時, 操作人員以輸入部(鍵盤)輸入以後對該有缺陷之接點不 再供給I c之設定,實施再開運轉之操作。 如此,因操作人員關於因接點缺陷發生之處理機之自 動停止動作,至再起動之操作點驗工時多,尤以將不良接 點設定爲不使用狀態之操作煩雜,致加操作人員之負擔·。 因此,亦可考慮採集中特宙接點,I C試驗結果發生 不良時,無須自動停止處理機,自動將該發生不良之接點 設定爲爾後不使用狀態,連續使處理機動作之控制方法。 採取該控制方法時,可減輕操作人員負擔之反面,由 於處理機自動將接點設定爲不使用狀態,致即使設在測試 頭1 0 4之接點中大半接點成爲不使用狀態,亦無法發覺 ,以至產生以不良效率狀況繼續試驗之缺失。 〔發明之目的〕 本發明之目的在提供處理機自動停止時,可減輕以後 之操作數,減輕操作人員之負擔,並能適確判斷接點之更 換時間所構成之I C試驗裝置。 〔發明之方法〕 依本發明,以特定接點試驗之I C不良發生頻率高時 ,發生警報自動停止處理機。同時將該接點自動設定爲不 使用狀態,減輕操作人員之操作。又,能顯示,確認設定 (請先閲讀背面之注意事項再頁) -裝-
、aT 線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Λ4規格(210X 297公釐) -8 - 499568 A7 B7 五、縈明説明g ) 爲不使用狀態之接點數。 操作人員點驗接點部分後,解除自動停止部之狀態及 警報,僅操作起動部即可再開運轉所構成。 故,依本發明,操作人員因處理機一旦自動停止,故 可把握接點部分之點驗及設定爲不使用狀態之接點數字。 加上,僅實施自動停止部,警報之解除操作,及再起動操 作,即可再開運轉。 . 故,可獲回避接點不使用數超過接點數之過半數狀況 再開運轉之缺失,且可增進操作性之優點。 〔實施形態〕 第6圖顯示本發明之一實施例。第6圖係將I C試驗 用處理機Η Μ以測試盤T S T之搬送通路與信號處理功能 方塊槪略顯示。本實施例顯示測試頭1 0 4設同時試驗 1 6個I C用之1 6個接點1 9 i〜1 9 ! 6之情形。此等 接點1 9 i〜1 9 ! 6係以電連接於稱爲主框架之測試裝置 T E S。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 測試裝置T E S並未特加圖示,設有試驗圖案發生器 及邏輯比較器,及不良解析存儲器等,由試驗圖案發生器 發生試驗圖案信號,將其試驗圖案信號供給接點1 9 ^〜 1 9 : 6,將試驗圖案信號分別寫進接觸於此等之1 6個 I C (記憶體),將其讀出信號再回復至測試裝置T E S ,於邏輯比較器與期待値邏輯比較,檢測不一致之發生檢 測不良地址,將不良發生地址之不良單元位置信息存儲於 本紙張尺度適用中國國家標隼(CNS ) Λ4規格(210X297公釐) -9- 499568 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明《) , 不良解析記憶體,由存儲於該不良解析記憶體之不良單元 位置信息判定能否救濟,由此決定該I c爲良品或不良品 〇 本發明係任何接點1 9 i〜1 9 i 6檢測不良,對應其 接點自測試裝置T E S將不良檢測信號下返送於處理機 HM,每接點1 9 1 9 分辨做爲不良發生計數値存 儲於設在處理機Η Μ之接點不良解析存儲部2 1,依各.該 接點不良解析存儲部21之接點之各不良發生次數判定自 動停止處理機Η ,更在自動停止時,對滿足其自動停 止條件之接點,貝動設定爲不使用狀態所構成者。 在接點不良解析存儲部2 1,並未特加圖示,設對應 同時試驗之1 6個I C用接點1 6 :〜1 6 χ 6之1 6個存 儲領域,在每次各接點1 9 i〜1 9 i 6試驗之I C判定爲 不良時,將對應該接點之存儲於存儲領域之不良發生次數 十1更新。 在模式設定部2 2設定隨不良發生次數自動停止處理 機Η Μ否之有效模式與無效模式。將無效模式設定於模式 設定部2 2時,將起動信號R直接供給測試盤搬送部2 9 ,與不良發生次數無關起動測試盤搬送部2 9,將自測試 頭1 0 4裝載已試驗I C之測試盤移動至次一站台(除熱 槽1 0 3 ),實施自恒溫槽1 0 1將下一欲試驗之測試盤 T S Τ搬入測試頭1 〇 4之位置之動作。 設定模式時,模式設定部2 2將逐次存儲於接點不良 解析存儲部2 1之各接點之不良發生次數傳遞於自動停止 本纸張尺度適州中國國家標準(CNS ) Α4規格(210 Χ2()7公釐) (請先閱讀背面之注意事項再頁) -ί-ά -10- 499568 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五 、 發明説明g ) 1 | 部 2 3 〇 白 動 停 止 部 2 3 設 有 複 數 條 件 設 定 部 設 定 複 數 1 | 至 白 動 停 止 之 條 件 0 停 止 條 件係 1 1 ( a ) 同 一 接 點 中 連 續 發 生 所定 個 不 良 情 形時 , 請 1 1 I ( b ) 同 一 接 點 中 > 實 施 A 個 試 驗 結 果 其 中 Β % 以 上 閱· 讀 1 1 爲 不 良 時 ( A 與 B 可 設 定 爲 含 0 之 任 思 數 ) , 背 ιδ 之 1 1 ( C ) 接 點 全 部 所 試 驗 I C 之 數 C 中 判 定 爲 不 良 之 1 辜 1 | I C 數 D 之 比 例 D / C 超 過 所定 値 Ε 時 , 等 〇 - 項 再 1 I 白 動 停止 部 2 3 選 擇 上 述 停止 條 件 ( a ) , ( b ) J Τ 裝 | ( C ) 之 任 — 判 定 白 動 停 止 〇 同 時 停 止 模 式 選 擇 , 起 動 頁 、^✓ 1 1 I 僅 發 出 警 報 停 止 之 警 報 / 停 止 部 2 5 , 或 白 動 停 止時 必 須 1 1 起 白 動 將 滿 足 其 白 動 停 止 條 件 之 接 點 設 定 爲 不 使 用 狀 態 之 1 1 白 動 切 斷 部 2 6 〇 此 選 擇 可 以 模 式 設 定 部 2 2 予 先 S/L 5又 定 〇 訂 I 選 擇 警 報 / 停 止 部 2 5 時 y 每 滿 足 設 定 之 停 止 條 件 ( 1 1 | a ) 或 ( b ) 或 ( C ) 白 動 停 止 部 2 3 起 動 警 報 裝 置 1 1 1 2 4 發 出 警 報 白 動 停止 處 理 機 Η Μ 〇 該 白 動 停 止 方 式係 1 1 與 先 刖 同 樣 > 將 操 作人 員 操 作 輸 入 部 ( 並 未 特 別 圖 示 ) 認 • 線 1 爲 不 良 之 接 點 設 定 爲 不 使用 狀 態 > 以 解 除 部 2 7 解 除 白 動 1 I 停 止 部 2 3 及 警 報 裝 置 2 4 以 起 動 部 2 8 再 起 動 處 理 機 * 1 I I 廿 1 1 一 方 向 選 擇 白 動 切 斷 部 2 6 時 > 當 滿 足 設 定 之停 止 1 1 條 件 ( a ) 或 ( b ) 或 ( C ) 時 白 動 停 止 部 2 3 起 動 警 1 I 報 裝 置 2 4 , 發 出 警 報 ’ 並 白 動 停 止 處 理 機 Η Μ y 起 動 白 1 I 動 切 斷 部 2 6 白 動 將 滿 足停 止 條 件 ( a ) 或 ( b ) 或 ( 1 1 1 C ) 之 接 點 設 疋 爲 不使 用 狀 態 〇 此時 不 良 接 點 顯 示 器 3 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Λ4規格(210 X 2()7公釐) -11 - 499568 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ___—_B7 五、發明説明‘) 顯示設定於不使用接點之接光號碼其數次。 操作人員確認此顯示,若設定爲不使用狀態之接點數 過半數時判定應更換接點,實施將接點1 9 i〜1 9 i 6均 按每基板更換之作業。 若設定爲不使用狀態之接點數未滿接點總數之過半時 ,操作人員判定爲繼續試驗,操作解除部2 7,解除自動 停止部2 3之停止狀態,及警報裝置2 4之動作,接著.操 作起動部2 8起動處理機Η Μ,起動測試盤搬送部2 9。 故,依本發明處理機Η Μ依停止條件,自動停止時, 因將由自動切斷部2 fi自败滿足其停也條性之接點設定爲 不使用狀態,操作人員以解除部2 7實施解除操作,以起 動部2 8操作再起動即可,故完全無需實施煩雜之接點之 不使用狀態之設定輸入。故操作性增進,而可減輕操作人 員之負擔。又’因每自亭止時將設定爲不使用狀態之揆 點數顯示於不良接點累示器3 1,故操作人員可得容易判 斷更換接點1 9 1〜1 9 16與否之益處。 第7圖所示第1段(1 )顯示第6圖所示模式設定部 2 2之模式設定畫面之一例。圖例顯示設定有效模式之情 形。顯示於第2段(2 )之接點之自動切斷功能係選擇第 6圖所示警報/停止部2 5,或選擇自動切斷部2 6之部 分。圖例係顯示選擇警報/停止部之狀態。 第3段(3 )所顯示之接點切斷模式,即選擇連續維 持接點不良解析存儲部2 1之狀態,或I C之生產批完成 時將接點不良解析存儲部2 1之存儲復位之部分。圖例顯 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公慶)~ ' -12- (請先閱讀背面之注意事項再頁) 裝. ♦ 499568 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 __B7五、發明説明L ) 示選擇連續之狀態。 第4段(4 )之再試驗時之失效•種類•校對(fail • category · check )係表示再試驗1次試驗結果判定爲不 良之I C時,設定使自動停止部2 3動作與否之部分。圖 例表示再試驗時將自動停止部2 3設定爲不動作狀態、之情 形。 第5段(5 )之成品率設定模式,即表示,設定選,擇 前說明之停止條件(b )與(c )之任一之部分。所謂個 別即指每接點例如試驗1 0個I C中,發生1 〇 %不良時 判斷爲停止之模式(上述停止條件(b )),相對係指不 間接點別所有已試驗I C中不良數比例超過所定比率時停 止之模式(上述停止條件(c ))。圖示係表示選擇個別 之情形。 在第6段(6 )之〔成品率設定〕欄表示停止條件( b )所用I C之試驗個數A,及不良率B。圖例係顯示設 定A = 1 〇個,B = 1 0 %之情形。 最下段(7 )所示框表示不良接點顯示器3 1之部分 。即將以不使用狀態設定於該框內之接點以號碼等表示。 又表示其個數。 第8圖係顯示本發明之其他實施例。本實施例係表示 第6圖所示構造加上在處理機Η Μ內設自動判定部3 2之 情形。自動判定部3 2係自動將自動切斷部2 6滿足停止 條件之接點設定爲不使用狀態之狀態,自自動切斷部2 6 接受控制權,計算設定爲不使用狀態之接點數’判定其數 本紙張尺度適用中國國家標隼(CNS ) Α4規格(21ϋΧ29?公釐) (請先閱讀背面之注意事項再本頁) -裝· 訂 線 -13 - 499568 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _____B7 五、發明説明L ) 超過設定値否,不超過設定値時自動將解除部2 7復位, 控制起動部2 8,自動再予起動。 一方面,設定爲不使用狀態之接點數超過設定値時, 將促使更換接點之顯示表示於判定顯示器,維持停止狀態 〇 故,由於設該自動判定部3 2,可使處理機Η Μ自動 運轉至接點之更換時期,操作人員即可將所有接點更換*之 可否交給自動判定部3 2辦理。 第9圖顯示本發明之另一其他實施例。即在本實施例 顯示賦予判定處理機Η Μ及測試裝置T E S之組合構成之 測試站與上位主電腦H S間擔任資料授受之控制器T C C (自先前使用)可否更換接點之判定功能之情形。即,控 制器T C C自先前以總線連接測試裝置T E S,將顯示測 試裝置T E S發生之I C之測試狀況之資料傳遞於主電腦 ,以主電腦H S把握各測試站(設有多數測試站)之測試 狀況。 主電腦H S存儲對應各測試站試驗之I C種類之測試 圖產生程式,試驗開始時將對應各測試站實施之I C種類 之測試圖產生程式傳送於各測試站之測試裝置T E S,於 各測試裝置T E S實施測試圖之產生。如此,爲了實施資 料之接受及測試圖產生程式之接受自先前設控制器T C C ,惟本發明附加該控制器T C C是否更換接點之判定功會g 。因此,設連接控制器T C C與自動切斷部2 6與控制器 T C C之間使其能接受資料,並將控制器T C C之判定結 本紙張尺度適用中國國家標李(CNS ) Λ4規格(210X 297公釐) (請先,閱讀背面之注意事項本頁) .裝. 線 -14- 499568 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ____^__B7五、發明説明J(2 ) 果供給解除部2 7與起動部2 8之構造,控制器T C C判 定不更換接點時,解除解除部2 7之狀態,並起動起動部 28,再起動起動機HM。 〔發明之效果〕 如以上說明,依本發明因能計算各接點發生之I C之 不良數,其計數値例如連續增加所定個以上時判定爲接,點 不良,設定不將I C供給其接點之I C試驗裝置中,如第 6圖之實施例,接點滿足自動停止條件時,自動停止處理 機Η Μ,並在其時點將其接點自動設定爲不使用狀態,較 操作人員實施停止狀態之解除操作,及再起動之操作即可 ,而無需將接點設定爲不使用狀態之操作,故可減輕加於 操作人員之負擔。 又,由於每自動停止,顯示設定於不使用狀態之接點 數,操作人員確認其數,故可判斷要更換接點否。 故不致引起,僅檢測接點之不良,將其接點自動設定 於不使用狀態時發生之缺失(不發覺設定於使用狀態之接 點超過全部過半數之狀態而繼續試驗)。 又,如第8圖及第9圖所示實施例,應否更換接點之 判定亦自動化時’操作人員之負擔大幅減輕’而可得能大 幅削減試驗I C所需經費之益處。 圖式之簡單說明: 第1圖··說明可同時試驗多數I C之I C試驗裝置之 本紙恨尺度適用中國國家標準( CNS ) Λ4規格(210X 297公釐Ί ' — -15 - (請先閱讀背面之注意事項再頁) -裝· 訂 線 499568 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A 7 _ B7五、發明説明“) 一例之槪略平面圖。 第2圖:第1圖所不IC試驗裝置之斜視圖。 第3圖:說明第1圖及第2圖所示I C試驗裝置所用 測試盤構造之分解斜視圖。 第4圖:說明裝載於第3圖所示測試盤之I C與測試 頭之接點之關係用斷面圖。 第5圖:說明測試盤上之I C之試驗程序用平面圖·。 第6圖:說明本發明之一實施例用方塊圖。 第7圖:說明第6圖所示實施例所用設定畫面例之圖 〇 第8圖:說明本發明之其他實施例用方塊圖。 第9圖:說明本發明之另一其他實施例用方塊圖。 主要元件對照表 12 方形框架 13 棧 14 安裝片 15 插入收納部 16 插入件 17 扣釘 18 I C 梢 19 接點 2 0 壓接子 21 接點不良解析存儲部 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Λ4規格(210X 297公慶) ~~ 一 -16 - (請先_閱讀背面之注意事項再本頁} -裝- -訂 線 499568 A7 B7 五、發明説明“) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 2 2 模 式 設 定 部 2 3 白 動 停 止 部 2 4 警 報 裝 置 2 5 馨 報 / 停 止 部 2 6 白 動 切 斷 部 2 7 解 除 部 2 8 起 動 部 2 9 測 試 盤 ΠΤΙΙ 搬 送 部 3 1 不 良 接 點 顯 示器 3 2 白 動 判 定 部 3 3 判 定 顯 示 部 1 0 0 室 部 1 0 1 恒 溫 槽 1 0 2 測 試 槽 (讀先*k讀背面之注意事項本頁) 裝. 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) /\4規格(210X 297公釐) -17-
Claims (1)
- 499568 修正 贼妙年’月7 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合A社印製 六、申請專利範圍 第861 1 6746號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國90年9月修正 1、一種I C試驗裝置,其特徵係使用於將複數之被 試驗I C,自動搬送至測試頭,電氣連接於安裝於上述測 試頭之複數接點,經由測試裝置,使上述被試驗I C動作 ,判定其良窳的I C試驗裝置的處理器中, 包含對應於上述複數之接點加以設置,接觸各接點, 將上述被試驗I C被判.斷爲不良時之次數,計數於各接點 加以記億的接點不良解析記憶手段、 和自記憶於上述接點不良解析記憶手段的各接點之不 良產生次數,監視是否有滿足預先設定停止條件的接點, 對應該結果,自動停止自動搬送之動作的自動停止手段, 和上述自動停止手段於停止控制上述自動搬送的狀態 ,對於到達需自動停止之條件的接點,阻止被試驗I C被 加以供給,自動設定呈不使用狀態的自動關閉手段, 顯示設定呈不使用狀態之接點之數的不良接點顯示器 和上述自動停止手段顯示停止控制上述自動搬送之狀 態的警報手段, 和解除上述自動停止手段之停止控制狀態,停止上述 警報手段之警報狀態的解除手段, 和監視上述自動關閉手段所設定在於不使用狀態的接 點數是否超過所定個數,不超過所定個數時’令上述自動 本紙張尺度適用中國國家梂準(CNS ) A4规格(210X297公釐) --------- — 0------------· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合恨社印製 499568 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 搬送自動地再起動,超過所定個數時,判定需交換接點的 自動判定手段, 和起動上述自動搬送之起動手段的處理器者。 2、一種I C試驗裝置,其特徵係經由處理器,將複 數之被試驗I C .,自動搬送至測試頭,電氣連接於安裝於 上述測試頭之複數接點,經由測試裝置,使上述被試驗 I C動作,判定其良窳的I C試驗裝置中,上述處理器係 包含 對應於上述複數之接點加以設置,接觸各接點,將上 述被試驗I C被判斷爲不良時之次數,計數於各接點加以 記億的接點不良解析記憶手段、 和自記憶於上述接點不良解析記憶手段的各接點之不 良產生次數,監視是否有滿足預先設定停止條件的接點, 對應該結果,自動停止自動搬送之動作的自動停止手段, 和上述自動停止手段於停止控制上述自動搬送的狀態 ,對於到達需自動停止之條件的接點,阻止被試驗I C被 加以供給,自動設定呈不使用狀態的自動關閉手段, 顯示設定呈不使用狀態之接點之數的不良接點顯示器 和上述自動停止手段顯示停止控制上述自動搬送之狀 態的警報手段, 和解除上述自動停止手段之停止控制狀態,停止上述 警報手段之警報狀態的解除手段, 和起動上述自動搬送之起動手段 ο 本紙張尺度逋用中國國家梂準(CNS ) A4规格(210X297公釐) HI ml I 1_11 11 ml ml m I— n Km ml nn mmjm— l,Jm mu m ml HI (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 499568 8 888 ABCD 六、申請專利範圍 上述I c試驗裝置係更包含介於經由上述測試裝置和 裝置和上述處理器所構成之測試站,和上位之主電腦之間 ’控制上述測試站和主電腦間之資料之收受的控制手段, 上述控制手段係包含接受上述自動關閉手段所設定在於不 使用狀態的接點數之資料,監視在於上述不使用狀態的接 點數是否超過所定個數,不超過上述所定個數時,令上述 自動搬送自動地再起動,超過所定個數時,判定需交換接 點的手段。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合A社印製 本紙張尺度逋用中國國家樑準(CNS ) A4规格(210X297公釐)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8300486A JPH10142293A (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | Ic試験装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW499568B true TW499568B (en) | 2002-08-21 |
Family
ID=17885395
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW086116746A TW499568B (en) | 1996-11-12 | 1997-11-10 | IC testing device |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6198273B1 (zh) |
JP (1) | JPH10142293A (zh) |
KR (1) | KR100287980B1 (zh) |
DE (1) | DE19750173C2 (zh) |
MY (1) | MY119616A (zh) |
TW (1) | TW499568B (zh) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3412114B2 (ja) * | 1995-07-26 | 2003-06-03 | 株式会社アドバンテスト | Ic試験装置 |
US6732053B1 (en) * | 1998-09-30 | 2004-05-04 | Intel Corporation | Method and apparatus for controlling a test cell |
KR100334655B1 (ko) * | 1998-11-30 | 2002-06-20 | 정문술 | 모듈아이씨핸들러의모듈아이씨및캐리어핸들링방법 |
US7350108B1 (en) * | 1999-09-10 | 2008-03-25 | International Business Machines Corporation | Test system for integrated circuits |
JP3584845B2 (ja) * | 2000-03-16 | 2004-11-04 | 日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社 | Icデバイスの試験装置及び試験方法 |
KR100436656B1 (ko) * | 2001-12-17 | 2004-06-22 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치의 작업위치 인식방법 |
TWI227327B (en) * | 2003-02-25 | 2005-02-01 | Mosel Vitelic Inc | Method for locating wiring swap in a hi-fix structure of a simultaneous multi-electronic device test system |
KR100517074B1 (ko) * | 2003-06-05 | 2005-09-26 | 삼성전자주식회사 | 트레이 트랜스퍼 유닛 및 그를 포함하는 자동 테스트 핸들러 |
KR100541546B1 (ko) * | 2003-07-14 | 2006-01-10 | 삼성전자주식회사 | 반도체 디바이스 테스트장치 |
JP4568055B2 (ja) * | 2004-08-23 | 2010-10-27 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置及び試験方法 |
US7151388B2 (en) * | 2004-09-30 | 2006-12-19 | Kes Systems, Inc. | Method for testing semiconductor devices and an apparatus therefor |
KR100626570B1 (ko) * | 2004-12-24 | 2006-09-25 | 주식회사 파이컴 | 감지용 프로브를 포함하는 프로브 카드 제작 방법 및 그프로브 카드, 프로브카드 검사 시스템 |
KR100792728B1 (ko) * | 2006-05-12 | 2008-01-11 | 미래산업 주식회사 | 번인 테스트용 소팅 핸들러의 트레이 반송장치 |
US20080118334A1 (en) * | 2006-11-22 | 2008-05-22 | Bonora Anthony C | Variable pitch storage shelves |
US8598888B2 (en) | 2010-05-04 | 2013-12-03 | Electro Scientific Industries, Inc. | System and method for improved testing of electronic devices |
CN103855049B (zh) * | 2014-03-27 | 2016-08-17 | 上海华力微电子有限公司 | 一种智能探针卡针压控制系统及控制方法 |
US9618570B2 (en) * | 2014-06-06 | 2017-04-11 | Advantest Corporation | Multi-configurable testing module for automated testing of a device |
US9678148B2 (en) * | 2014-06-06 | 2017-06-13 | Advantest Corporation | Customizable tester having testing modules for automated testing of devices |
US9638749B2 (en) | 2014-06-06 | 2017-05-02 | Advantest Corporation | Supporting automated testing of devices in a test floor system |
US9933454B2 (en) | 2014-06-06 | 2018-04-03 | Advantest Corporation | Universal test floor system |
US9618574B2 (en) | 2014-06-06 | 2017-04-11 | Advantest Corporation | Controlling automated testing of devices |
KR102388044B1 (ko) * | 2015-10-19 | 2022-04-19 | 삼성전자주식회사 | 테스트 장치 및 이를 포함하는 테스트 시스템 |
US11047905B2 (en) * | 2019-05-31 | 2021-06-29 | Analog Devices International Unlimited Company | Contactor with integrated memory |
CN113828548B (zh) * | 2021-11-26 | 2022-02-25 | 南京派格测控科技有限公司 | 一种射频芯片测试装置及方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS633280A (ja) | 1986-06-23 | 1988-01-08 | Nec Kyushu Ltd | 半導体集積回路試験評価装置 |
JPH03159148A (ja) * | 1989-11-16 | 1991-07-09 | Advantest Corp | 位置決め装置及びこの位置決め装置を利用したic試験装置 |
JPH03221881A (ja) | 1990-01-26 | 1991-09-30 | Mitsubishi Electric Corp | Icテスタ |
JPH0693475B2 (ja) * | 1990-02-23 | 1994-11-16 | 株式会社東芝 | 自己検診機能を備えた半導体ハンドリング装置及び半導体ハンドリング装置の自己検診方法 |
US5227717A (en) * | 1991-12-03 | 1993-07-13 | Sym-Tek Systems, Inc. | Contact assembly for automatic test handler |
US5313156A (en) * | 1991-12-04 | 1994-05-17 | Advantest Corporation | Apparatus for automatic handling |
US5307011A (en) * | 1991-12-04 | 1994-04-26 | Advantest Corporation | Loader and unloader for test handler |
US5319353A (en) * | 1992-10-14 | 1994-06-07 | Advantest Corporation | Alarm display system for automatic test handler |
DE69326003T2 (de) * | 1993-09-20 | 1999-11-25 | Hewlett Packard Gmbh | Testapparat zum Testen und Handhaben einer Vielzahl von Vorrichtungen |
JP3591657B2 (ja) * | 1993-10-13 | 2004-11-24 | 株式会社アドバンテスト | 半導体ic試験装置 |
WO1996009556A1 (fr) * | 1994-09-22 | 1996-03-28 | Advantest Corporation | Procede et appareil d'inspection automatique de dispositifs semiconducteurs |
US5865319A (en) * | 1994-12-28 | 1999-02-02 | Advantest Corp. | Automatic test handler system for IC tester |
JP3412114B2 (ja) * | 1995-07-26 | 2003-06-03 | 株式会社アドバンテスト | Ic試験装置 |
US5742168A (en) * | 1995-08-04 | 1998-04-21 | Advantest Corporation | Test section for use in an IC handler |
US5909657A (en) * | 1996-06-04 | 1999-06-01 | Advantest Corporation | Semiconductor device testing apparatus |
US5986447A (en) * | 1997-05-23 | 1999-11-16 | Credence Systems Corporation | Test head structure for integrated circuit tester |
-
1996
- 1996-11-12 JP JP8300486A patent/JPH10142293A/ja active Pending
-
1997
- 1997-11-10 US US08/966,781 patent/US6198273B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-10 TW TW086116746A patent/TW499568B/zh not_active IP Right Cessation
- 1997-11-11 MY MYPI97005348A patent/MY119616A/en unknown
- 1997-11-12 KR KR1019970059442A patent/KR100287980B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-11-12 DE DE19750173A patent/DE19750173C2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100287980B1 (ko) | 2001-05-02 |
KR19980042319A (ko) | 1998-08-17 |
MY119616A (en) | 2005-06-30 |
DE19750173C2 (de) | 2003-02-20 |
DE19750173A1 (de) | 1998-05-20 |
US6198273B1 (en) | 2001-03-06 |
JPH10142293A (ja) | 1998-05-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW499568B (en) | IC testing device | |
US5506498A (en) | Probe card system and method | |
KR100258426B1 (ko) | 반도체 디바이스 시험장치 | |
JP4202498B2 (ja) | 部品ハンドリング装置 | |
JPH10199777A (ja) | 半導体製造プロセス期間中の情報を格納するシステム、方法及び装置 | |
TW312827B (zh) | ||
JP5186370B2 (ja) | 電子部品移送方法および電子部品ハンドリング装置 | |
TW484013B (en) | A method for testing electronic device and electronic testing device | |
US7345466B2 (en) | Method and apparatus for cleaning a probe card | |
TWI300486B (zh) | ||
JPH07130295A (ja) | 構成要素を検査するための情報を記憶するデータ記憶装置を持つリサイクル可能な構成要素及び該要素を有する製品 | |
TWI220459B (en) | Method for handling a module IC and a carrier of a module IC handler | |
KR20040089897A (ko) | 소켓 이상 유무를 실시간으로 판단하는 반도체 소자의전기적 검사방법 | |
US9014841B2 (en) | Device and method for removing tested semiconductor components | |
US6974710B2 (en) | Fabrication method of semiconductor integrated circuit device and testing method | |
JPH08150583A (ja) | Ic移載装置つきオートハンドラ | |
US5086270A (en) | Probe apparatus | |
TW419591B (en) | IC test apparatus and error action prevention method of the IC test apparatus | |
KR20010014773A (ko) | 웨이퍼 레벨에서 반도체 장치에 대한 번-인 프로세싱을실행하는 장치 | |
JPH06291500A (ja) | 電子部品実装方法 | |
CN101501514A (zh) | 电子部件移送方法以及电子部件输送装置 | |
JPH1082828A (ja) | 半導体デバイス試験装置 | |
JPH04164398A (ja) | 部品実装方法及びその装置 | |
JPH02119235A (ja) | プローブ装置 | |
JPH05333102A (ja) | Icのハンドリング装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GD4A | Issue of patent certificate for granted invention patent | ||
MM4A | Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees |