TW499568B - IC testing device - Google Patents

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TW499568B
TW499568B TW086116746A TW86116746A TW499568B TW 499568 B TW499568 B TW 499568B TW 086116746 A TW086116746 A TW 086116746A TW 86116746 A TW86116746 A TW 86116746A TW 499568 B TW499568 B TW 499568B
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Takeshi Onishi
Minoru Yatsuda
Katsuhiko Suzuki
Original Assignee
Advantest Corp
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Description

499568 A7 B7 五、發明説明丨) 〔發明之領域〕 本發明係與試驗I c (半導體集成電路元件)是否正 常動作之I c試驗裝置有關’尤其同時試驗複數被試驗 I C之形式之I C試驗裝置有關。 〔先前之技術〕 以第1圖至第5圖說明一次試驗多數I C之I c試.驗 裝置之特別是自動搬送被試驗1 0之稱爲處理機之裝置之 槪略構造。第1圖顯示處理機之功能方塊之槪略平面圖。 圖中1 0 0係含測試頭之室部’ 2 0 0係儲存即試驗之被 試驗I.C,又分類已試驗I C儲存之I C儲存部,300 係將被試驗I c送進室部1 0 0之裝載部’ τ S T表示測 試盤。該測試盤T S T係在裝載部3 0 0裝進被試驗I C 被送進室部100,在室部100試驗1C ’將試驗完之 1C運出卸載部400。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 室部1 0 0係由將目的高溫或低溫之溫度應力供給裝 置測試盤T S T之被試驗I C之恒溫槽1 〇 1,及將在該 恒溫槽1 0 1供給熱應力狀態之I C接觸於測試頭之測試 槽1 0 2,及自經測試槽1 0 2試驗之I C,去除供給之 熱應力之除熱槽1 0 3構成。即,在恒溫槽1 0 1附加高 溫時於測試槽1 0 2內之測試頭1 0 4試驗後,在除熱槽 1 0 3送風冷卻,恢復室溫搬出卸載部4 0 0。又在恒溫 槽1 0 1例如附加約一 3 0 °C之低溫時試驗後,於除熱槽 1 0 3以溫風乃至加熱器等加熱,恢復至不產生結露程度 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) -4 - 499568 A7 B7 五、發明説明▲) 之溫度搬出卸載部4 0 0。 恒溫槽1 0 1及除熱槽1 〇 3係突出配置於測試槽 1 0 2上方。在恒溫槽1 〇 χ與除熱槽1 〇 3之上部間如 第2圖所示跨設基板1 〇 5,將測試盤搬送部1 0 8裝於 該基板1 0 5,以該測試盤搬送部1 〇 8,自除熱槽 1 0 3側向恒溫槽1 0 1移送測試盤T S T。測試盤 T S T係以裝載部3 0 0裝進被試驗I C,運進恒溫槽, 1 0 1。恒溫槽1 0 1裝有垂直搬送部,以該垂直搬送部 支持複數枚測試盤T S T待機至測試槽1 〇 2騰空。在此 待機中將高溫或低溫之溫度應力附加於被試驗I C。測試 槽1 0 2內中央配置測試頭1 〇 4,將測試盤T S T運至 測試頭1 0 4上,以電將被試驗I C接觸於測試頭1 〇 4 做試驗。經試驗過之測試盤T S T於除熱槽1 0 3除熱, 將I C溫度恢復室溫,排出於卸載部4 0 0。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 如第1圖及第2圖所示,I C儲存部2 0 0設有儲存 被試驗I C之被試驗I C存放器2 0 1,及儲存隨試驗結 果分類之I C之已試驗I C存放器2 0 2。被試驗I C存 放器2 0 1積層存放儲存被試驗I C之汎用盤KST。該 汎用盤KST係被運至裝載部3 0 0 ’自運至裝載部 3 0 0之汎用盤K S T將被試驗I C換置於停在裝載部 3 0 0之測試盤T S T。自汎用盤K S T將I C運進裝載 部3 0 〇之測試盤T S T之I C搬送部係如第2圖所示’ 可用架設於基板1 〇 5上部之2支軌道3 0 1 ’及以該2 支軌道3 0 1、可在測試盤T S T與K用盤K S T間往復( 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Λ4規格(210X29?公釐) 499568 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ________B7 — — —一— —… 一― —一. .......... " „ 一........—— -........—..........--一..... 五、發明説明‘) 此方向爲γ方向)之可動臂3 0 2,及以該可動臂3 0 2 支持,由可沿可動臂3 0 2向X方向移動之可動頭3 〇 3 構成之X — γ搬送部3 0 4。可動頭3 0 3裝有向下之吸 頭,該吸頭吸空氣移動,自汎用盤K S T吸I C,將該 I C搬送至測試盤T S T。吸頭係對可動頭3 〇 3例如裝 約8支’ 一次將8個I C搬送至測試盤τ S T。 第3圖顯示測試盤T S T之構造。測試盤τ S T係將 複數棧1 3平行且等間隔形成於方形框架1 2,將各複數 安裝片1 4等間隔分別突出形成於此等棧1 3兩側,及與 棧1 3相對之框架1 2之邊1 2 a,1 2 b,由此等棧 1 3間,或棧1 3及邊1 2 a間,2隻安裝片1 4排列構 成插入收納部1 5,將逐個樹脂材成形之凹形狀插入件 1 6分別收納於各插入收納部,以扣釘1 7浮動狀裝於2 隻安裝片1 4。插入件1 β係裝約1 6 X 4個於1隻測試 盤 T S Τ 。 插入件1 6之外形係成同一形狀,同一尺寸,將τ c 元件收納於形成在插入件1 6之凹部。凹部1 9係隨收容 之I C形狀而定。即,按每種I c形狀準備插入件1 6, 依I C形狀更換插入件。因此,在各插入件1 6兩端部分 別形成安裝片1 4之安裝用孔h 1,及定位用梢插入用孔 h 2。 插入件1 6係如第4圖所示,將I C梢1 8露出下面 側。在測試頭1 〇 4將該露出之I C梢1 8押緊於I C插 座之接點1 9 ,將I C以電接觸於測試頭。因此測試頭 本紙張尺度適用中國國家榡準(CNS ) Λ4規格(210X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再本頁) -繫· 絲 -6 - 499568 Α7 Β7 五、發明説明‘) 1 0 4上部設向下壓緊I C之壓接子2 〇 ,該壓接子自上 方壓緊儲存在各插入件1 6之I C,使其接觸於測試頭 10 4。 一次連接於測試頭之I C數係例如第5圖所示,丨次 試驗每隔4列之4列(斜線部分)排列成4行1 6歹[J之 1C。即,第一次試驗配置1,5,9,13列之16個 I C,第二次移動1列分測試盤T S T試驗配置2,6 ., 1 0 ’ 1 4列之I C ’將此重複4次試驗全部I c。試驗 後將試驗結果存儲於由附於測試盤T S T之例如識別號碼 ’及分配於測試盤T S T內部之插入件1 6之號碼決定之 地址。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先k讀背面之注意事項再本頁) 該試驗結果係用做卸載部4 0 〇中,自測試盤T s τ 將已試驗I C移至汎用盤K S Τ時分爲良品與不良品用之 資料。該資料在分辦作業完成後自記憶體消除。一方面, 自先前以來採取:對應測試頭1 0 4之各接點(將各I C 插座之接點群簡稱接點)準備存儲領域,合計以各同一接 點試驗之I C不良發生數予以存儲,若該不良發生次數超 過所定値則發生警報,自動停止處理機,並在爾後以該接 點有缺陷,限制將I C不裝載於使里該接點位置之插入件 1 6之方法。 先前不良發生次數集中發生於特定接點時,自動停止 處理機,發出警報告知操作人員,促使操作人員點驗接點 部分缺陷,點驗結果若接點無異常,則操作再開始運轉。 即,操作人員實施解除警報及解除自動停止機構之動作之 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) Λ4規格(210Χ 297公釐) 499568 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7五、發明説明$ ) 操作,及操作再起動開關之作業。 一方面,若判定滿足自動停止條件之接點有缺陷時, 操作人員以輸入部(鍵盤)輸入以後對該有缺陷之接點不 再供給I c之設定,實施再開運轉之操作。 如此,因操作人員關於因接點缺陷發生之處理機之自 動停止動作,至再起動之操作點驗工時多,尤以將不良接 點設定爲不使用狀態之操作煩雜,致加操作人員之負擔·。 因此,亦可考慮採集中特宙接點,I C試驗結果發生 不良時,無須自動停止處理機,自動將該發生不良之接點 設定爲爾後不使用狀態,連續使處理機動作之控制方法。 採取該控制方法時,可減輕操作人員負擔之反面,由 於處理機自動將接點設定爲不使用狀態,致即使設在測試 頭1 0 4之接點中大半接點成爲不使用狀態,亦無法發覺 ,以至產生以不良效率狀況繼續試驗之缺失。 〔發明之目的〕 本發明之目的在提供處理機自動停止時,可減輕以後 之操作數,減輕操作人員之負擔,並能適確判斷接點之更 換時間所構成之I C試驗裝置。 〔發明之方法〕 依本發明,以特定接點試驗之I C不良發生頻率高時 ,發生警報自動停止處理機。同時將該接點自動設定爲不 使用狀態,減輕操作人員之操作。又,能顯示,確認設定 (請先閲讀背面之注意事項再頁) -裝-
、aT 線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Λ4規格(210X 297公釐) -8 - 499568 A7 B7 五、縈明説明g ) 爲不使用狀態之接點數。 操作人員點驗接點部分後,解除自動停止部之狀態及 警報,僅操作起動部即可再開運轉所構成。 故,依本發明,操作人員因處理機一旦自動停止,故 可把握接點部分之點驗及設定爲不使用狀態之接點數字。 加上,僅實施自動停止部,警報之解除操作,及再起動操 作,即可再開運轉。 . 故,可獲回避接點不使用數超過接點數之過半數狀況 再開運轉之缺失,且可增進操作性之優點。 〔實施形態〕 第6圖顯示本發明之一實施例。第6圖係將I C試驗 用處理機Η Μ以測試盤T S T之搬送通路與信號處理功能 方塊槪略顯示。本實施例顯示測試頭1 0 4設同時試驗 1 6個I C用之1 6個接點1 9 i〜1 9 ! 6之情形。此等 接點1 9 i〜1 9 ! 6係以電連接於稱爲主框架之測試裝置 T E S。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 測試裝置T E S並未特加圖示,設有試驗圖案發生器 及邏輯比較器,及不良解析存儲器等,由試驗圖案發生器 發生試驗圖案信號,將其試驗圖案信號供給接點1 9 ^〜 1 9 : 6,將試驗圖案信號分別寫進接觸於此等之1 6個 I C (記憶體),將其讀出信號再回復至測試裝置T E S ,於邏輯比較器與期待値邏輯比較,檢測不一致之發生檢 測不良地址,將不良發生地址之不良單元位置信息存儲於 本紙張尺度適用中國國家標隼(CNS ) Λ4規格(210X297公釐) -9- 499568 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明《) , 不良解析記憶體,由存儲於該不良解析記憶體之不良單元 位置信息判定能否救濟,由此決定該I c爲良品或不良品 〇 本發明係任何接點1 9 i〜1 9 i 6檢測不良,對應其 接點自測試裝置T E S將不良檢測信號下返送於處理機 HM,每接點1 9 1 9 分辨做爲不良發生計數値存 儲於設在處理機Η Μ之接點不良解析存儲部2 1,依各.該 接點不良解析存儲部21之接點之各不良發生次數判定自 動停止處理機Η ,更在自動停止時,對滿足其自動停 止條件之接點,貝動設定爲不使用狀態所構成者。 在接點不良解析存儲部2 1,並未特加圖示,設對應 同時試驗之1 6個I C用接點1 6 :〜1 6 χ 6之1 6個存 儲領域,在每次各接點1 9 i〜1 9 i 6試驗之I C判定爲 不良時,將對應該接點之存儲於存儲領域之不良發生次數 十1更新。 在模式設定部2 2設定隨不良發生次數自動停止處理 機Η Μ否之有效模式與無效模式。將無效模式設定於模式 設定部2 2時,將起動信號R直接供給測試盤搬送部2 9 ,與不良發生次數無關起動測試盤搬送部2 9,將自測試 頭1 0 4裝載已試驗I C之測試盤移動至次一站台(除熱 槽1 0 3 ),實施自恒溫槽1 0 1將下一欲試驗之測試盤 T S Τ搬入測試頭1 〇 4之位置之動作。 設定模式時,模式設定部2 2將逐次存儲於接點不良 解析存儲部2 1之各接點之不良發生次數傳遞於自動停止 本纸張尺度適州中國國家標準(CNS ) Α4規格(210 Χ2()7公釐) (請先閱讀背面之注意事項再頁) -ί-ά -10- 499568 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五 、 發明説明g ) 1 | 部 2 3 〇 白 動 停 止 部 2 3 設 有 複 數 條 件 設 定 部 設 定 複 數 1 | 至 白 動 停 止 之 條 件 0 停 止 條 件係 1 1 ( a ) 同 一 接 點 中 連 續 發 生 所定 個 不 良 情 形時 , 請 1 1 I ( b ) 同 一 接 點 中 > 實 施 A 個 試 驗 結 果 其 中 Β % 以 上 閱· 讀 1 1 爲 不 良 時 ( A 與 B 可 設 定 爲 含 0 之 任 思 數 ) , 背 ιδ 之 1 1 ( C ) 接 點 全 部 所 試 驗 I C 之 數 C 中 判 定 爲 不 良 之 1 辜 1 | I C 數 D 之 比 例 D / C 超 過 所定 値 Ε 時 , 等 〇 - 項 再 1 I 白 動 停止 部 2 3 選 擇 上 述 停止 條 件 ( a ) , ( b ) J Τ 裝 | ( C ) 之 任 — 判 定 白 動 停 止 〇 同 時 停 止 模 式 選 擇 , 起 動 頁 、^✓ 1 1 I 僅 發 出 警 報 停 止 之 警 報 / 停 止 部 2 5 , 或 白 動 停 止時 必 須 1 1 起 白 動 將 滿 足 其 白 動 停 止 條 件 之 接 點 設 定 爲 不 使 用 狀 態 之 1 1 白 動 切 斷 部 2 6 〇 此 選 擇 可 以 模 式 設 定 部 2 2 予 先 S/L 5又 定 〇 訂 I 選 擇 警 報 / 停 止 部 2 5 時 y 每 滿 足 設 定 之 停 止 條 件 ( 1 1 | a ) 或 ( b ) 或 ( C ) 白 動 停 止 部 2 3 起 動 警 報 裝 置 1 1 1 2 4 發 出 警 報 白 動 停止 處 理 機 Η Μ 〇 該 白 動 停 止 方 式係 1 1 與 先 刖 同 樣 > 將 操 作人 員 操 作 輸 入 部 ( 並 未 特 別 圖 示 ) 認 • 線 1 爲 不 良 之 接 點 設 定 爲 不 使用 狀 態 > 以 解 除 部 2 7 解 除 白 動 1 I 停 止 部 2 3 及 警 報 裝 置 2 4 以 起 動 部 2 8 再 起 動 處 理 機 * 1 I I 廿 1 1 一 方 向 選 擇 白 動 切 斷 部 2 6 時 > 當 滿 足 設 定 之停 止 1 1 條 件 ( a ) 或 ( b ) 或 ( C ) 時 白 動 停 止 部 2 3 起 動 警 1 I 報 裝 置 2 4 , 發 出 警 報 ’ 並 白 動 停 止 處 理 機 Η Μ y 起 動 白 1 I 動 切 斷 部 2 6 白 動 將 滿 足停 止 條 件 ( a ) 或 ( b ) 或 ( 1 1 1 C ) 之 接 點 設 疋 爲 不使 用 狀 態 〇 此時 不 良 接 點 顯 示 器 3 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Λ4規格(210 X 2()7公釐) -11 - 499568 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ___—_B7 五、發明説明‘) 顯示設定於不使用接點之接光號碼其數次。 操作人員確認此顯示,若設定爲不使用狀態之接點數 過半數時判定應更換接點,實施將接點1 9 i〜1 9 i 6均 按每基板更換之作業。 若設定爲不使用狀態之接點數未滿接點總數之過半時 ,操作人員判定爲繼續試驗,操作解除部2 7,解除自動 停止部2 3之停止狀態,及警報裝置2 4之動作,接著.操 作起動部2 8起動處理機Η Μ,起動測試盤搬送部2 9。 故,依本發明處理機Η Μ依停止條件,自動停止時, 因將由自動切斷部2 fi自败滿足其停也條性之接點設定爲 不使用狀態,操作人員以解除部2 7實施解除操作,以起 動部2 8操作再起動即可,故完全無需實施煩雜之接點之 不使用狀態之設定輸入。故操作性增進,而可減輕操作人 員之負擔。又’因每自亭止時將設定爲不使用狀態之揆 點數顯示於不良接點累示器3 1,故操作人員可得容易判 斷更換接點1 9 1〜1 9 16與否之益處。 第7圖所示第1段(1 )顯示第6圖所示模式設定部 2 2之模式設定畫面之一例。圖例顯示設定有效模式之情 形。顯示於第2段(2 )之接點之自動切斷功能係選擇第 6圖所示警報/停止部2 5,或選擇自動切斷部2 6之部 分。圖例係顯示選擇警報/停止部之狀態。 第3段(3 )所顯示之接點切斷模式,即選擇連續維 持接點不良解析存儲部2 1之狀態,或I C之生產批完成 時將接點不良解析存儲部2 1之存儲復位之部分。圖例顯 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公慶)~ ' -12- (請先閱讀背面之注意事項再頁) 裝. ♦ 499568 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 __B7五、發明説明L ) 示選擇連續之狀態。 第4段(4 )之再試驗時之失效•種類•校對(fail • category · check )係表示再試驗1次試驗結果判定爲不 良之I C時,設定使自動停止部2 3動作與否之部分。圖 例表示再試驗時將自動停止部2 3設定爲不動作狀態、之情 形。 第5段(5 )之成品率設定模式,即表示,設定選,擇 前說明之停止條件(b )與(c )之任一之部分。所謂個 別即指每接點例如試驗1 0個I C中,發生1 〇 %不良時 判斷爲停止之模式(上述停止條件(b )),相對係指不 間接點別所有已試驗I C中不良數比例超過所定比率時停 止之模式(上述停止條件(c ))。圖示係表示選擇個別 之情形。 在第6段(6 )之〔成品率設定〕欄表示停止條件( b )所用I C之試驗個數A,及不良率B。圖例係顯示設 定A = 1 〇個,B = 1 0 %之情形。 最下段(7 )所示框表示不良接點顯示器3 1之部分 。即將以不使用狀態設定於該框內之接點以號碼等表示。 又表示其個數。 第8圖係顯示本發明之其他實施例。本實施例係表示 第6圖所示構造加上在處理機Η Μ內設自動判定部3 2之 情形。自動判定部3 2係自動將自動切斷部2 6滿足停止 條件之接點設定爲不使用狀態之狀態,自自動切斷部2 6 接受控制權,計算設定爲不使用狀態之接點數’判定其數 本紙張尺度適用中國國家標隼(CNS ) Α4規格(21ϋΧ29?公釐) (請先閱讀背面之注意事項再本頁) -裝· 訂 線 -13 - 499568 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _____B7 五、發明説明L ) 超過設定値否,不超過設定値時自動將解除部2 7復位, 控制起動部2 8,自動再予起動。 一方面,設定爲不使用狀態之接點數超過設定値時, 將促使更換接點之顯示表示於判定顯示器,維持停止狀態 〇 故,由於設該自動判定部3 2,可使處理機Η Μ自動 運轉至接點之更換時期,操作人員即可將所有接點更換*之 可否交給自動判定部3 2辦理。 第9圖顯示本發明之另一其他實施例。即在本實施例 顯示賦予判定處理機Η Μ及測試裝置T E S之組合構成之 測試站與上位主電腦H S間擔任資料授受之控制器T C C (自先前使用)可否更換接點之判定功能之情形。即,控 制器T C C自先前以總線連接測試裝置T E S,將顯示測 試裝置T E S發生之I C之測試狀況之資料傳遞於主電腦 ,以主電腦H S把握各測試站(設有多數測試站)之測試 狀況。 主電腦H S存儲對應各測試站試驗之I C種類之測試 圖產生程式,試驗開始時將對應各測試站實施之I C種類 之測試圖產生程式傳送於各測試站之測試裝置T E S,於 各測試裝置T E S實施測試圖之產生。如此,爲了實施資 料之接受及測試圖產生程式之接受自先前設控制器T C C ,惟本發明附加該控制器T C C是否更換接點之判定功會g 。因此,設連接控制器T C C與自動切斷部2 6與控制器 T C C之間使其能接受資料,並將控制器T C C之判定結 本紙張尺度適用中國國家標李(CNS ) Λ4規格(210X 297公釐) (請先,閱讀背面之注意事項本頁) .裝. 線 -14- 499568 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ____^__B7五、發明説明J(2 ) 果供給解除部2 7與起動部2 8之構造,控制器T C C判 定不更換接點時,解除解除部2 7之狀態,並起動起動部 28,再起動起動機HM。 〔發明之效果〕 如以上說明,依本發明因能計算各接點發生之I C之 不良數,其計數値例如連續增加所定個以上時判定爲接,點 不良,設定不將I C供給其接點之I C試驗裝置中,如第 6圖之實施例,接點滿足自動停止條件時,自動停止處理 機Η Μ,並在其時點將其接點自動設定爲不使用狀態,較 操作人員實施停止狀態之解除操作,及再起動之操作即可 ,而無需將接點設定爲不使用狀態之操作,故可減輕加於 操作人員之負擔。 又,由於每自動停止,顯示設定於不使用狀態之接點 數,操作人員確認其數,故可判斷要更換接點否。 故不致引起,僅檢測接點之不良,將其接點自動設定 於不使用狀態時發生之缺失(不發覺設定於使用狀態之接 點超過全部過半數之狀態而繼續試驗)。 又,如第8圖及第9圖所示實施例,應否更換接點之 判定亦自動化時’操作人員之負擔大幅減輕’而可得能大 幅削減試驗I C所需經費之益處。 圖式之簡單說明: 第1圖··說明可同時試驗多數I C之I C試驗裝置之 本紙恨尺度適用中國國家標準( CNS ) Λ4規格(210X 297公釐Ί ' — -15 - (請先閱讀背面之注意事項再頁) -裝· 訂 線 499568 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A 7 _ B7五、發明説明“) 一例之槪略平面圖。 第2圖:第1圖所不IC試驗裝置之斜視圖。 第3圖:說明第1圖及第2圖所示I C試驗裝置所用 測試盤構造之分解斜視圖。 第4圖:說明裝載於第3圖所示測試盤之I C與測試 頭之接點之關係用斷面圖。 第5圖:說明測試盤上之I C之試驗程序用平面圖·。 第6圖:說明本發明之一實施例用方塊圖。 第7圖:說明第6圖所示實施例所用設定畫面例之圖 〇 第8圖:說明本發明之其他實施例用方塊圖。 第9圖:說明本發明之另一其他實施例用方塊圖。 主要元件對照表 12 方形框架 13 棧 14 安裝片 15 插入收納部 16 插入件 17 扣釘 18 I C 梢 19 接點 2 0 壓接子 21 接點不良解析存儲部 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Λ4規格(210X 297公慶) ~~ 一 -16 - (請先_閱讀背面之注意事項再本頁} -裝- -訂 線 499568 A7 B7 五、發明説明“) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 2 2 模 式 設 定 部 2 3 白 動 停 止 部 2 4 警 報 裝 置 2 5 馨 報 / 停 止 部 2 6 白 動 切 斷 部 2 7 解 除 部 2 8 起 動 部 2 9 測 試 盤 ΠΤΙΙ 搬 送 部 3 1 不 良 接 點 顯 示器 3 2 白 動 判 定 部 3 3 判 定 顯 示 部 1 0 0 室 部 1 0 1 恒 溫 槽 1 0 2 測 試 槽 (讀先*k讀背面之注意事項本頁) 裝. 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) /\4規格(210X 297公釐) -17-

Claims (1)

  1. 499568 修正 贼妙年’月7 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合A社印製 六、申請專利範圍 第861 1 6746號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國90年9月修正 1、一種I C試驗裝置,其特徵係使用於將複數之被 試驗I C,自動搬送至測試頭,電氣連接於安裝於上述測 試頭之複數接點,經由測試裝置,使上述被試驗I C動作 ,判定其良窳的I C試驗裝置的處理器中, 包含對應於上述複數之接點加以設置,接觸各接點, 將上述被試驗I C被判.斷爲不良時之次數,計數於各接點 加以記億的接點不良解析記憶手段、 和自記憶於上述接點不良解析記憶手段的各接點之不 良產生次數,監視是否有滿足預先設定停止條件的接點, 對應該結果,自動停止自動搬送之動作的自動停止手段, 和上述自動停止手段於停止控制上述自動搬送的狀態 ,對於到達需自動停止之條件的接點,阻止被試驗I C被 加以供給,自動設定呈不使用狀態的自動關閉手段, 顯示設定呈不使用狀態之接點之數的不良接點顯示器 和上述自動停止手段顯示停止控制上述自動搬送之狀 態的警報手段, 和解除上述自動停止手段之停止控制狀態,停止上述 警報手段之警報狀態的解除手段, 和監視上述自動關閉手段所設定在於不使用狀態的接 點數是否超過所定個數,不超過所定個數時’令上述自動 本紙張尺度適用中國國家梂準(CNS ) A4规格(210X297公釐) --------- — 0------------· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合恨社印製 499568 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 搬送自動地再起動,超過所定個數時,判定需交換接點的 自動判定手段, 和起動上述自動搬送之起動手段的處理器者。 2、一種I C試驗裝置,其特徵係經由處理器,將複 數之被試驗I C .,自動搬送至測試頭,電氣連接於安裝於 上述測試頭之複數接點,經由測試裝置,使上述被試驗 I C動作,判定其良窳的I C試驗裝置中,上述處理器係 包含 對應於上述複數之接點加以設置,接觸各接點,將上 述被試驗I C被判斷爲不良時之次數,計數於各接點加以 記億的接點不良解析記憶手段、 和自記憶於上述接點不良解析記憶手段的各接點之不 良產生次數,監視是否有滿足預先設定停止條件的接點, 對應該結果,自動停止自動搬送之動作的自動停止手段, 和上述自動停止手段於停止控制上述自動搬送的狀態 ,對於到達需自動停止之條件的接點,阻止被試驗I C被 加以供給,自動設定呈不使用狀態的自動關閉手段, 顯示設定呈不使用狀態之接點之數的不良接點顯示器 和上述自動停止手段顯示停止控制上述自動搬送之狀 態的警報手段, 和解除上述自動停止手段之停止控制狀態,停止上述 警報手段之警報狀態的解除手段, 和起動上述自動搬送之起動手段 ο 本紙張尺度逋用中國國家梂準(CNS ) A4规格(210X297公釐) HI ml I 1_11 11 ml ml m I— n Km ml nn mmjm— l,Jm mu m ml HI (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 499568 8 888 ABCD 六、申請專利範圍 上述I c試驗裝置係更包含介於經由上述測試裝置和 裝置和上述處理器所構成之測試站,和上位之主電腦之間 ’控制上述測試站和主電腦間之資料之收受的控制手段, 上述控制手段係包含接受上述自動關閉手段所設定在於不 使用狀態的接點數之資料,監視在於上述不使用狀態的接 點數是否超過所定個數,不超過上述所定個數時,令上述 自動搬送自動地再起動,超過所定個數時,判定需交換接 點的手段。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合A社印製 本紙張尺度逋用中國國家樑準(CNS ) A4规格(210X297公釐)
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