JP2000065895A - オートハンドラおよびオートハンドラのキャリアの搬送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 コンパクトなオートハンドラを提供する。 【解決手段】 未測定のＩＣ５０…をキャリア１５に供
給するローダ・アンローダ部２と、ＩＣ５０…の電気的
な測定を行う測定部９とを備えるオートハンドラ１にお
いて、キャリア１５は、測定部９において測定可能なＩ
Ｃ５０…の最大数を一度に搬送できる大きさを、２分割
した大きさで、測定部９の手前には、多段プレヒート７
と、一段プレヒート８が設けられ、測定部９の後には、
多段乾燥室１０と一段乾燥室１１が設けられ、ローダ・
アンローダ部２から、多段プレヒート７に１個ずつキャ
リア１５が搬送され、多段プレヒート７を介して一段プ
レヒート８にキャリア１５が搬送され、測定部９に、前
記プレヒート７、８とから、２個のキャリア１５が、搬
入され、かつ、測定終了後は、測定部９から、多段乾燥
室１０と一段乾燥室１１に向けて、２個のキャリアが、
搬出され、多段乾燥室１０から、ローダ・アンローダ部
２に１個ずつキャリア１５が搬送されるとともに、一段
乾燥室１１から１個ずつ多段乾燥室１０にキャリア１５
が搬送される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、一定経路を循環す
るキャリアによって被測定デバイスを運搬しながら、被
測定デバイスを連続的に検査する、オートハンドラとそ
のキャリアの搬送方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】組立完了後のＩＣ（integrated circui
t）等の被測定デバイスをキャリアによって自動的に測
定部に搬送し、そこでのテスト結果に基づいて自動的に
分類収容する、オートハンドラがある。従来の水平搬送
式のオートハンドラにおける、キャリアの搬送経路を、
図３に基づいて説明する。オートハンドラ２０は、未測
定の被測定デバイスであるＩＣを供給トレー２３からキ
ャリア２４に供給するとともに、キャリア２４から受け
取った測定済みのＩＣを分類して収容トレー２５、２
５、２５、２５に収容するローダ・アンローダ部２１
と、キャリア２４によって搬送されたＩＣの電気的特性
を測定する測定チャンバー２２とから、主に構成され
る。

【０００３】上記オートハンドラ２０においては、供給
位置Ａで供給トレー２３から未測定のＩＣが供給された
キャリア２４は、測定チャンバー２２内の多段プレヒー
ト２６の最上段に搬送される。最上段に搬送されたキャ
リアは、次に、一段ずつ位置を下げられ、最下段まで下
がると、次に、測定部２７に搬送される。測定部２７に
おいて測定が終了すると、多段乾燥室２８の最下段に搬
送され、一段ずつ位置を上げ、最上段まで上がると、バ
ッファ部２９に搬送される。次いで、キャリア２４は、
収容位置Ｂまで搬送され、ここで、キャリア２４から測
定済みのＩＣが取り出され、収容トレー２５…に収容さ
れる。次に、キャリア２４は供給位置Ａに戻り、同じ搬
送経路を繰り返す。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記オート
ハンドラ２０において、測定部２７によって一度に測定
できる能力が上がった場合、たとえば、従来はキャリア
１枚分しか一度に測定できなかったが、キャリアの２枚
分のＩＣを一度に測定可能となったときに、キャリアを
２倍の大きさにすると、ローダ・アンローダ部２１、測
定チャンバー２２ともに、２倍の大きさのキャリアが移
動できるだけの大きさを有しなければならなくなる。水
平搬送式のオートハンドラであれば、奥行き寸法（図３
の上下方向）が長くなってしまい、フロアにおけるオー
トハンドラの占める面積が大きくなってしまう。

【０００５】本発明は、上記課題に鑑み、測定能力の割
にはコンパクトなオートハンドラ、特に、一回の測定能
力が向上したような場合に、それ以前と比較して、なる
べく大きくせずに済むようなオートハンドラおよびその
キャリアの搬送方法を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決すべ
く、請求項１に記載の発明は、未測定の被測定デバイス
をキャリアに供給するとともに、前記キャリアから測定
済みの被測定デバイスを取り出し、収容するローダ・ア
ンローダ部と、前記キャリアにより搬送された未測定の
被測定デバイスの電気的な測定を行う測定部とを備え、
前記キャリアが、前記ローダ・アンローダ部と前記測定
部とを通る一定の経路を循環しながら被測定デバイスを
運搬することによって、被測定デバイスの測定を連続的
に行う、オートハンドラにおいて、前記キャリアは、前
記測定部において１回に測定可能な被測定デバイスの最
大数を一度に搬送できる大きさを、ほぼ均等に、所定の
数、分割した大きさで、前記一定の経路の前記測定部の
手前には、少なくとも前記所定の数のキャリアを一時的
に収納する、第１の一時収納手段が設けられ、前記一定
の経路の前記測定部の後には、少なくとも前記所定の数
のキャリアを一時的に収納する、第２の一時収納手段が
設けられ、前記ローダ・アンローダ部から、前記第１の
一時収納手段に１個ずつキャリアが搬送され、前記測定
部に対して、前記第１の一時収納手段から、前記所定の
数のキャリアが、ほぼ同時に、搬入され、かつ、測定終
了後は、前記測定部から前記第２の一時収納手段に向け
て、前記所定の数のキャリアが、ほぼ同時に、搬出さ
れ、前記第２の一時収納手段から、前記ローダ・アンロ
ーダ部に１個ずつキャリアが搬送されることを特徴とす
る。

【０００７】請求項１に記載の発明によれば、ローダ・
アンローダ部と測定部とを備え、キャリアによって被測
定デバイスを運搬しながら、被測定デバイスの電気的な
測定を連続的に行うオートハンドラにおいて、キャリア
は、測定部において１回に測定可能な被測定デバイスの
最大数を一度に搬送できる大きさを、ほぼ均等に、所定
の数、分割した大きさであるため、測定部の測定能力の
数分の１の被測定デバイスを搭載できる大きさでよい。
また、キャリアは、ローダ・アンローダ部から第１の一
時収納手段に搬送されるときも、また第２の一時収納手
段からローダ・アンローダ部に搬送されるときも、一個
ずつであることから、ローダ・アンローダ部はキャリア
一個分を搬送できるためのスペースがあればよい。つま
り、ローダ・アンローダ部は、キャリア一個の大きさに
対応した大きさであればよく、測定部における測定能力
の割には、全体としてコンパクトなオートハンドラにな
る。具体的には、たとえば、従来と比較して測定部にお
いて測定可能な被測定デバイスの最大数が２倍になった
場合、キャリアを２倍にせずに、従来と同じ大きさにす
れば、つまり、測定可能な被測定デバイスの最大数を一
度に搬送できる大きさの２分の１にすれば、ローダ・ア
ンローダ部を大きくする必要はなく、測定効率が向上し
たほどには、オートハンドラを大きくしなくてもよい。
また、測定部が従来と同じ測定能力である場合、キャリ
アの大きさを従来の２分の１にすれば、ローダ・アンロ
ーダ部は従来より小さくすることができるようになり、
測定能力が同程度でありながら、よりコンパクトなオー
トハンドラとなる。

【０００８】しかも、測定部には、第１の一時収納手段
から前記所定の数のキャリアが、ほぼ同時に、搬入さ
れ、測定終了後は、前記第２の一時収納手段に向けて、
前記所定の数のキャリアが、ほぼ同時に、搬出されるこ
とから、測定部において測定可能な最大数の被測定デバ
イスが、測定部に対して一度に搬入・搬出されることか
ら、測定能力を最大限に発揮できる。

【０００９】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
のオートハンドラにおいて、前記第１の一時収納手段
は、被測定デバイスを、予め一定の温度に設定する、予
備恒温部であることを特徴とする。

【００１０】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
のオートハンドラにおいて、前記予備恒温部は、上下方
向に複数のキャリアを収納する１つの多段恒温槽と、１
個のキャリアを収納し、前記所定の数より１つ少ない数
の一段恒温槽とからなり、前記多段恒温槽のキャリアの
収納位置のうち最上段および最下段のいずれか一方は、
前記一段恒温槽のキャリアの収納位置とほぼ同じ高さで
あって、前記ローダ・アンローダ部から搬送されたキャ
リアは、前記多段恒温槽を介して、前記一段恒温槽に搬
送され、前記測定部には、前記多段恒温槽と全ての前記
一段恒温槽から、ほぼ同時に、キャリアが搬入されるこ
とを特徴とする。

【００１１】請求項２および３に記載の発明によれば、
第１の一時収納手段として、たとえば従来のオートハン
ドラにも備えられているプレヒートのような予備恒温部
を利用することができる。特に請求項３に記載の発明の
ように、予備恒温部を、上下方向に複数のキャリアを収
納する１つの多段恒温槽と、１個のキャリアを収納し、
前記所定の数より１つ少ない数の一段恒温槽とから構成
し、多段恒温槽のキャリアの収納位置のうち最上段およ
び最下段のいずれか一方と、一段恒温槽のキャリアの収
納位置をほぼ同じ高さにし、ローダ・アンローダ部から
搬送されたキャリアは、多段恒温槽を介して、一段恒温
槽に搬送されるようにすれば、これら２つの恒温槽を利
用して、ローダ・アンローダ部から一個ずつ搬送される
キャリアを、前記所定の数まとめて測定部に搬入する仕
組みを効率よく実現することができる。

【００１２】たとえば、多段恒温槽の最下段と一段恒温
槽の高さを合わせ、ローダ・アンローダ部から多段乾燥
室の最上段にキャリアを搬送し、そのキャリアを一段ず
つ下げ、最下段まで降りたら、一段恒温槽に搬送する。
これを繰り返し、全ての一段恒温槽にキャリアが搬送さ
れたら、多段恒温槽の最下段と全ての一段恒温槽から、
測定部に、搬入する。勿論、逆に、多段恒温槽の最上段
と一段恒温槽の高さを合わせ、多段恒温槽の最下段から
最上段にキャリアを上げるようにして、同様に搬送して
もよい。

【００１３】請求項４に記載の発明は、請求項１から３
のいずれかに記載のオートハンドラにおいて、前記第２
の一時収納手段は、被測定デバイスを乾燥する乾燥部で
あることを特徴とする。

【００１４】請求項５に記載の発明は、請求項４に記載
のオートハンドラにおいて、前記乾燥部は、上下方向に
複数のキャリアを収納する１つの多段乾燥室と、１個の
キャリアを収納し、前記所定の数より１つ少ない数の一
段乾燥室とからなり、前記多段乾燥室のキャリアの収納
位置のうち最上段および最下段のいずれか一方は、前記
一段乾燥室のキャリアの収納位置とほぼ同じ高さであっ
て、前記測定部から、前記多段乾燥室と全ての前記一段
乾燥室に向けて、ほぼ同時に、キャリアが搬出され、前
記一段乾燥室のキャリアは、前記多段乾燥室を介して、
前記ローダ・アンローダ部に搬送されることを特徴とす
る。

【００１５】請求項４および５に記載の発明によれば、
第２の一時収納手段として、たとえば従来のオートハン
ドラにも備えられている乾燥室のような乾燥部を利用す
ることができる。特に請求項５に記載の発明のように、
乾燥部を、上下方向に複数のキャリアを収納する１つの
多段乾燥室と、１個のキャリアを収納し、前記所定の数
より１つ少ない数の一段乾燥室とから構成し、多段乾燥
室のキャリアの収納位置のうち最上段および最下段のい
ずれか一方と、一段乾燥室のキャリアの収納位置とほぼ
同じ高さにし、一段乾燥室のキャリアは、多段乾燥室を
介して、前記ローダ・アンローダ部に搬送されるように
すれば、測定部から一度に搬出された所定の数のキャリ
アを、一個ずつローダ・アンローダ部に搬送する仕組み
を効率よく実現することができる。

【００１６】たとえば、多段乾燥室の最下段と一段乾燥
室の高さを合わせ、一段乾燥室のキャリアを１個ずつ多
段乾燥室の最下段に送り、多段乾燥室においては、順
に、最下段から最上段に一段ずつ上げて、最上段からロ
ーダ・アンローダ部に搬送する。勿論、逆に、多段乾燥
室の最上段と一段乾燥室の高さを合わせ、多段乾燥室の
最上段から最下段にキャリアを下げるようにして、同様
に構成してもよい。

【００１７】請求項６に記載の発明は、未測定の被測定
デバイスをキャリアに供給するとともに、前記キャリア
から測定済みの被測定デバイスを取り出し、収容するロ
ーダ・アンローダ部と、前記キャリアにより搬送された
未測定の被測定デバイスの電気的な測定を行う測定部と
を備え、前記キャリアは、前記測定部において１回に測
定可能な被測定デバイスの最大数を一度に搬送できる大
きさを、ほぼ均等に、所定の数、分割した大きさであっ
て、前記ローダ・アンローダ部と前記測定部とを通るキ
ャリアの搬送経路中の前記測定部の手前には、上下方向
に複数のキャリアを収納する１つの多段恒温槽と、１個
のキャリアを収納し、前記所定の数より１つ少ない数の
一段恒温槽とが設けられ、前記搬送経路における前記測
定部の後には、上下方向に複数のキャリアを収納する１
つの多段乾燥室と、１個のキャリアを収納し、前記所定
の数より１つ少ない数の一段乾燥室とが設けられている
オートハンドラのキャリアの搬送方法であって、未測定
の被測定デバイスが供給された前記キャリアを、ローダ
・アンローダ部から、１個ずつ、前記多段恒温槽に搬送
し、次いで、前記多段恒温槽を介して、全ての前記一段
恒温槽に前記キャリアを搬送し、次いで、前記多段恒温
槽と全ての前記一段恒温槽から、１個ずつ、ほぼ同時
に、前記キャリアを前記測定部に搬送し、次いで、前記
測定部から、前記多段乾燥室と全ての前記一段乾燥室に
１個ずつ、ほぼ同時に、キャリアを搬送し、次いで、前
記多段乾燥室から前記ローダ・アンローダ部に、１個ず
つキャリアを搬送するとともに、各一段乾燥室から順に
前記多段乾燥室にキャリアを搬送することを特徴とす
る。

【００１８】請求項６に記載のキャリアの搬送方法を備
えたオートハンドラであれば、被測定デバイスを運搬す
るキャリアが、測定部において１回に測定可能な被測定
デバイスの最大数を一度に搬送できる大きさの数分の１
の大きさであって、ローダ・アンローダ部はそのキャリ
ア１個分を搬送できるスペースがあればよいことから、
測定部における測定能力の割には、コンパクトなオート
ハンドラになる。具体的には、たとえば、従来と比較し
て測定部における測定可能な被測定デバイスの最大数が
２倍になった場合、キャリアの大きさを２倍にせずに従
来と同じ大きさにすれば、つまり、測定可能な被測定デ
バイスの最大数を一度に搬送できる大きさの２分の１に
すれば、ローダ・アンローダ部は大きくする必要はな
く、測定効率が向上したほどには、オートハンドラを大
きくしなくてもよい。また、従来と同じ測定能力である
場合、キャリアの大きさを従来の２分の１にすれば、ロ
ーダ・アンローダ部は従来より小さくすることができる
ようになり、測定能力が同程度でありながら、よりコン
パクトなオートハンドラとなる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明に係
るオートハンドラの一例を示すものである。この実施の
形態におけるオートハンドラ１は、ローダ・アンローダ
部２と測定チャンバー３とからなり、キャリア１５によ
って被測定デバイスであるＩＣ５０、５０…を自動的に
搬送するように構成されているものである。ここで使用
されるキャリア１５は、後述する測定部９において、一
度に測定できるＩＣの最大数を運搬できる大きさの、２
分の１の大きさである。

【００２０】ローダ・アンローダ部２には、測定後のＩ
Ｃ５０…をキャリア１５から受け取り、測定結果に従っ
て、ＩＣ５０…を分類収容する収容トレー４、４、４、
４と、未測定のＩＣ５０…をキャリア１５に供給する供
給トレー５、５が設けられている。また、ローダ・アン
ローダ部２には、後述する測定チャンバー３の多段乾燥
室１０の最上段から送り出されたキャリア１５を一時的
に待機させるバッファ部６が設けられている。

【００２１】測定が終了したＩＣ５０…を搭載した状態
で多段乾燥室１０からローダ・アンローダ部２内に移動
してきたキャリア１５は、バッファ部６を介して、収容
トレー４…によって測定済みのＩＣ５０…が収容され
る、収容位置Ｂに移動するようになっている。そして、
この収容位置Ｂで空になったキャリア１５は、供給トレ
ー５から未測定のＩＣ５０…が供給される供給位置Ａ
に、移動し、次に、測定チャンバー３の多段プレヒート
７の最上段に移動するようになっている。

【００２２】測定チャンバー３は、所定の温度下でＩＣ
が電気的に正しく作動するか否かを測定するもので、多
段プレヒート７、一段プレヒート８、測定部９、多段乾
燥室１０、一段乾燥室１１とから構成される。多段プレ
ヒート７は、測定前のＩＣ５０…を、測定部９における
測定温度になるように、予め、一定温度にする恒温槽で
ある。多段プレヒート７は、キャリア１５を上下方向に
複数収納できるようになっていて、セットされているキ
ャリア１５を、最上段から最下段まで一段ずつ下げるこ
とができる。一段プレヒート８は、多段プレヒート７同
様に、キャリア１５上のＩＣ５０…を一定温度にし、１
個のキャリア１５を収納できるようになっているもので
ある。この一段プレヒート８と多段プレヒート７の最下
段は同じ高さにあって、一段プレヒート８には前記多段
プレヒート７の最下段からキャリア１５が送られてく
る。そして、多段プレヒート７と一段プレヒート８それ
ぞれから、ほぼ同時に、キャリア１５、１５が、次に述
べる測定部９に搬送される。

【００２３】測定部９は、特定の電気回路を備えた恒温
槽であって、多段プレヒート７と一段プレヒート８から
送られてきたキャリア１５、１５に搭載されている個々
のＩＣ５０の端子と接続して、所定の電気的な測定を行
うものである。測定が終了すると、測定済みのＩＣ５０
…を搭載した２枚のキャリア１５、１５は、多段プレヒ
ート７と一段プレヒート８から送られてくる新たなキャ
リア１５、１５に押されることによって、多段乾燥室１
０の最下段および一段乾燥室１１側に送られるようにな
っている。

【００２４】多段乾燥室１０および一段乾燥室１１は、
周囲の環境よりも低温で測定した場合に、測定部９から
出てきたＩＣ５０…の回りの霜を除去すべく、乾燥させ
るものである。多段乾燥室１０は、キャリア１５を上下
方向に複数収納できるようになっていて、収納している
キャリア１５を、最下段から最上段まで、一段ずつ上げ
ることができる。一段乾燥室１１は、キャリア１５を一
枚収納できるようになっている。そして、一段乾燥室１
１は、多段乾燥室１０の最下段と同じ高さにあって、一
段乾燥室１１のキャリア１５は、多段乾燥室１０の最下
段に送られるようになっている。

【００２５】次に、上記構成を有するオートハンドラ１
における、キャリア１５の搬送方法について、図１およ
び図２に基づいて説明する。なお、図２においては、ロ
ーダ・アンローダ部２および測定チャンバー３の各ポジ
ションにおけるキャリア１５の状態を示し、測定チャン
バー３を構成する多段プレヒート７等は仮想線でその位
置のみ示している。

【００２６】まず、ローダ・アンローダ部２の供給位置
Ａにおいて、未測定のＩＣ５０…をキャリア１５（以
下、これをキャリア１５aとする）に供給する。キャリ
ア１５aを、測定チャンバー３内の多段プレヒート７の
最上段に搬送し（図２）、一段ずつ下げていく。ここ
で、キャリア１５aを一段下げる毎に、多段プレヒート
７の最上段に、ＩＣ５０…が供給された別のキャリア１
５を搬送する。多段プレヒート７の最下段にキャリア１
５aを下げたら、このキャリア１５aを一段プレヒート８
に搬送し、それと同時に多段プレヒート７の最下段に別
のキャリア１５（以下、これをキャリア１５ｂとする）
を降ろす。

【００２７】次に、キャリア１５aとキャリア１５ｂ
を、ほぼ同時に、測定部９に直線的に搬送し、ここで、
２枚のキャリア１５a、１５ｂ上のＩＣ５０…に対して
電気的試験のために所定の測定を行う。測定終了後、多
段プレヒート７の最下段と一段プレヒート８にある他の
キャリア１５、１５を、キャリア１５ａ、１５ｂ同様
に、測定部９に直線的に搬送する。これによって、先の
キャリア１５ａを一段乾燥室１１の途中まで、キャリア
１５ｂを多段乾燥室１０の最下段の途中まで押し出す。
さらに、キャリア１５a、１５ｂを、一段乾燥室１１、
多段乾燥室１０の下部に設けられている図示しない搬送
ベルトによって、一段乾燥室１１、および多段乾燥室１
０の最下段の所定の位置まで搬送する。

【００２８】次に、多段乾燥室１１の最下段にあるキャ
リア１５ｂを一段上げ、空の多段乾燥室１０の最下段に
一段乾燥室からキャリア１５ａを搬送する。キャリア１
５ｂ、１５ａの順で、一段ずつ上げていき、キャリア１
５ｂを多段乾燥室１０の最上段に上げる。次に、キャリ
ア１５ｂを多段乾燥室の最上段から、ローダ・アンロー
ダ部２のバッファ部６に搬送する。さらに、キャリア１
５ｂを、バッファ部６から収容位置Ｂへ搬送する。ここ
で、キャリア１５ｂから、測定済みのＩＣ５０…を取り
出し、測定結果に応じて分類しながら、収容トレー４、
４…に収容する。空になったキャリア１５ｂは、供給位
置Ａに搬送され、再びＩＣ５０…が供給される。キャリ
ア１５は、以上の経路を繰り返し搬送されながら、ＩＣ
５０…を運搬する。

【００２９】以上のオートハンドラ１およびそのキャリ
アの搬送方法によれば、キャリア１５は、測定部９にお
いて測定可能なＩＣの最大数を一度に搬送できる大きさ
を、２分の１の大きさである。また、キャリア１５は、
ローダ・アンローダ部２から多段プレヒート７に搬送さ
れるときも、また多段乾燥室１０からローダ・アンロー
ダ部２に搬送されるときも、一個ずつであることから、
ローダ・アンローダ部２はキャリア１５１個分を搬送で
きるスペースがあればよい。つまり、ローダ・アンロー
ダ部２は、キャリア１個の大きさに対応した大きさであ
ればよく、測定部９における測定能力の割には、全体と
してコンパクトなオートハンドラ１になる。

【００３０】また、ローダ・アンローダ部２を搬送され
るキャリア１５が１個ずつであっても、測定部９には、
多段プレヒート７と一段プレヒート８から２個のキャリ
アが、ほぼ同時に、搬入され、測定終了後は、多段乾燥
室１０と一段乾燥室１１に向けて、２個のキャリアが、
ほぼ同時に、搬出されるように構成したことから、測定
部９において測定可能な最大数のＩＣを、一度に測定部
９に測定できるので、測定能力を最大限に生かすことが
できる。

【００３１】なお、上記実施の形態では、１個のキャリ
アの大きさは、測定部において測定可能なＩＣの最大数
を搬送できる大きさを２分割した大きさであって、一度
に測定するキャリアの枚数を２枚分としたが、本発明は
これに限らず、３分割以上に分割した大きさのキャリア
であってもよく、この場合、オートハンドラ内を搬送さ
れるキャリアがより小型になって、ローダ・アンローダ
部２をより小さくすることができることから、オートハ
ンドラ全体をより一層、コンパクトなものにできる。

【００３２】

【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、ローダ
・アンローダ部は、キャリア一個の大きさに対応した大
きさであればよく、測定部における測定能力の割には、
全体としてコンパクトなオートハンドラになる。具体的
には、たとえば、従来と比較して測定部と測定可能な被
測定デバイスの最大数が２倍になった場合、キャリアの
大きさを２倍にせずに、従来と同じ大きさにすれば、つ
まり、測定可能な被測定デバイスの最大数を一度に搬送
できる大きさの２分の１にすれば、ローダ・アンローダ
部を大きくする必要はなく、測定効率が向上したほどに
は、オートハンドラを大きくしなくてもよい。また、測
定部が従来と同じ測定能力である場合、キャリアの大き
さを従来の２分の１にすれば、ローダ・アンローダ部は
従来より小さくすることができるようになり、測定能力
が同程度でありながら、よりコンパクトなオートハンド
ラとなる。

【００３３】請求項２に記載の発明によれば、第１の一
時収納手段として、たとえば従来のオートハンドラにも
備えられているプレヒートのような予備恒温部を利用す
ることで、請求項１に記載の発明を好適に実現できる。

【００３４】請求項３に記載の発明によれば、ローダ・
アンローダ部から一個ずつ搬送されるキャリアを、前記
所定の数まとめて測定部に搬入する仕組みを効率よく実
現することができる。

【００３５】請求項４に記載の発明によれば、第２の一
時収納手段として、たとえば従来のオートハンドラにも
備えられている乾燥室のような乾燥部を利用するで、請
求項１〜３に記載の発明を好適に実現できる。

【００３６】請求項５に記載の発明によれば、測定部か
ら搬出された所定の数のキャリアを、一個ずつローダ・
アンローダ部に搬送する仕組みを効率よく実現すること
ができる。

【００３７】請求項６に記載のキャリアの搬送方法を備
えたオートハンドラであれば、被測定デバイスを運搬す
るキャリアが、測定部において１回に測定可能な被測定
デバイスの最大数を一度に搬送できる大きさの数分の１
の大きさであって、ローダ・アンローダ部はそのキャリ
ア１個分を搬送できるスペースがあればよいことから、
測定部における測定能力の割には、コンパクトなオート
ハンドラになる。具体的には、たとえば、従来と比較し
て測定部における測定可能な被測定デバイスの最大数が
２倍になった場合、キャリアの大きさを２倍にせずに、
従来と同じ大きさにすれば、つまり、測定可能な被測定
デバイスの最大数を一度に搬送できる大きさの２分の１
にすれば、ローダ・アンローダ部は大きくする必要はな
く、測定効率が向上したほどには、オートハンドラを大
きくしなくてもよい。また、従来と同じ測定能力である
場合、キャリアの大きさを従来の２分の１にすれば、ロ
ーダ・アンローダ部は従来より小さくすることができる
ようになり、測定能力が同程度でありながら、よりコン
パクトなオートハンドラとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るオートハンドラの構成を模式的に
示す図である。

【図２】図１のオートハンドラにおける、搬送キャリ
ア、供給トレーおよび収容トレーを示す、斜視図であ
る。

【図３】従来のオートハンドラの構成を模式的に示す図
である。

【符号の説明】

１ オートハンドラ ２ ローダ・アンローダ部 ３ 測定チャンバー ４ 収容トレー ５ 供給トレー ６ バッファ部 ７ 多段プレヒート（多段恒温槽） ８ 一段プレヒート（一段恒温槽） ９ 測定部 １０ 多段乾燥室 １１ 一段乾燥室 １５ キャリア ５０ ＩＣ（被測定デバイス）

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 未測定の被測定デバイスをキャリアに供
   給するとともに、前記キャリアから測定済みの被測定デ
   バイスを取り出し、収容するローダ・アンローダ部と、 前記キャリアにより搬送された未測定の被測定デバイス
   の電気的な測定を行う測定部とを備え、 前記キャリアが、前記ローダ・アンローダ部と前記測定
   部とを通る一定の経路を循環しながら被測定デバイスを
   運搬することによって、被測定デバイスの測定を連続的
   に行う、オートハンドラにおいて、 前記キャリアは、前記測定部において１回に測定可能な
   被測定デバイスの最大数を一度に搬送できる大きさを、
   ほぼ均等に、所定の数、分割した大きさで、 前記一定の経路の前記測定部の手前には、少なくとも前
   記所定の数のキャリアを一時的に収納する、第１の一時
   収納手段が設けられ、 前記一定の経路の前記測定部の後には、少なくとも前記
   所定の数のキャリアを一時的に収納する、第２の一時収
   納手段が設けられ、 前記ローダ・アンローダ部から、前記第１の一時収納手
   段に１個ずつキャリアが搬送され、 前記測定部に対して、前記第１の一時収納手段から、前
   記所定の数のキャリアが、ほぼ同時に、搬入され、か
   つ、測定終了後は、前記測定部から前記第２の一時収納
   手段に向けて、前記所定の数のキャリアが、ほぼ同時
   に、搬出され、 前記第２の一時収納手段から、前記ローダ・アンローダ
   部に１個ずつキャリアが搬送されることを特徴とするオ
   ートハンドラ。
2. 【請求項２】 前記第１の一時収納手段は、被測定デバ
   イスを、予め一定の温度に設定する、予備恒温部である
   ことを特徴とする請求項１に記載のオートハンドラ。
3. 【請求項３】 前記予備恒温部は、上下方向に複数のキ
   ャリアを収納する１つの多段恒温槽と、 １個のキャリアを収納し、前記所定の数より１つ少ない
   数の一段恒温槽とからなり、 前記多段恒温槽のキャリアの収納位置のうち最上段およ
   び最下段のいずれか一方は、前記一段恒温槽のキャリア
   の収納位置とほぼ同じ高さであって、 前記ローダ・アンローダ部から搬送されたキャリアは、
   前記多段恒温槽を介して、前記一段恒温槽に搬送され、 前記測定部には、前記多段恒温槽と全ての前記一段恒温
   槽から、ほぼ同時に、キャリアが搬入されることを特徴
   とする請求項２に記載のオートハンドラ。
4. 【請求項４】 前記第２の一時収納手段は、被測定デバ
   イスを乾燥する乾燥部であることを特徴とする請求項１
   から３のいずれかに記載のオートハンドラ。
5. 【請求項５】 前記乾燥部は、上下方向に複数のキャリ
   アを収納する１つの多段乾燥室と、 １個のキャリアを収納し、前記所定の数より１つ少ない
   数の一段乾燥室とからなり、 前記多段乾燥室のキャリアの収納位置のうち最上段およ
   び最下段のいずれか一方は、前記一段乾燥室のキャリア
   の収納位置とほぼ同じ高さであって、 前記測定部から、前記多段乾燥室と全ての前記一段乾燥
   室に向けて、ほぼ同時に、キャリアが搬出され、 前記一段乾燥室のキャリアは、前記多段乾燥室を介し
   て、前記ローダ・アンローダ部に搬送されることを特徴
   とする請求項４に記載のオートハンドラ。
6. 【請求項６】 未測定の被測定デバイスをキャリアに供
   給するとともに、前記キャリアから測定済みの被測定デ
   バイスを取り出し、収容するローダ・アンローダ部と、 前記キャリアにより搬送された未測定の被測定デバイス
   の電気的な測定を行う測定部とを備え、 前記キャリアは、前記測定部において１回に測定可能な
   被測定デバイスの最大数を一度に搬送できる大きさを、
   ほぼ均等に、所定の数、分割した大きさであって、 前記ローダ・アンローダ部と前記測定部とを通るキャリ
   アの搬送経路中の前記測定部の手前には、上下方向に複
   数のキャリアを収納する１つの多段恒温槽と、１個のキ
   ャリアを収納し、前記所定の数より１つ少ない数の一段
   恒温槽とが設けられ、 前記搬送経路における前記測定部の後には、上下方向に
   複数のキャリアを収納する１つの多段乾燥室と、１個の
   キャリアを収納し、前記所定の数より１つ少ない数の一
   段乾燥室とが設けられているオートハンドラのキャリア
   の搬送方法であって、 未測定の被測定デバイスが供給された前記キャリアを、
   ローダ・アンローダ部から、１個ずつ、前記多段恒温槽
   に搬送し、 次いで、前記多段恒温槽を介して、全ての前記一段恒温
   槽に前記キャリアを搬送し、 次いで、前記多段恒温槽と全ての前記一段恒温槽から、
   １個ずつ、ほぼ同時に、前記キャリアを前記測定部に搬
   送し、 次いで、前記測定部から、前記多段乾燥室と全ての前記
   一段乾燥室に１個ずつ、ほぼ同時に、キャリアを搬送
   し、 次いで、前記多段乾燥室から前記ローダ・アンローダ部
   に、１個ずつキャリアを搬送するとともに、各一段乾燥
   室から順に前記多段乾燥室にキャリアを搬送することを
   特徴とするオートハンドラのキャリアの搬送方法。