DE102005036977A1

DE102005036977A1 - Handler zum Testen von Halbleitervorrichtungen

Info

Publication number: DE102005036977A1
Application number: DE102005036977A
Authority: DE
Inventors: Chul Ho Yongin Ham; Ho Keun Seongnam Song; Young Geun Yongin Park; Woo Young Lim; Jae Bong Seongnam Seo
Original assignee: Mirae Corp
Current assignee: Mirae Corp
Priority date: 2005-03-22
Filing date: 2005-08-05
Publication date: 2006-10-05
Also published as: JP4884717B2; US20070152655A1; US7408338B2; JP2006267080A; US7196508B2; TW200634320A; US20060214655A1; TWI292046B

Abstract

Es wird ein Handler zum Testen von Halbleiterbauelementen offenbart, der in der Lage ist, das Verfahren, das in einer Austauschstation durchgeführt wird, nämlich das Verfahren des Ladens/Entladens von Halbleiterbauelementen in/aus Test-Magazin(n), zu vereinfachen und die Anzahl an gleichzeitig testbaren Halbleiterbauelementen deutlich zu erhöhen. Der Handler weist eine Ladestation, eine Entladestation, Test-Magazine, eine Austauschstation, die eine horizontale Bewegungseinheit zum horizontalen Bewegen eines ausgewählten Test-Magazins um einen vorbestimmten Abstand an einer Arbeitsposition umfasst, eine Teststation, in der mindestens ein Testboard, das mehrere Testbuchsen aufweist, die elektrisch an die Halbleiterbauelemente anzuschließen sind, befestigt ist, wobei die Teststation einen Test durchführt, während die Halbleiterbauelemente in einem der Test-Magazine, das von der Austauschstation zur Teststation zugeführt wird, an die Testbuchsen angeschlossen werden, Vorrichtungstransfereinheiten zum Transfer der Halbleiterbauelemente zwischen der Ladestation und der Austauschstation bzw. zwischen der Austauschstation und der Entladestation, und eine Magazin-Transfereinheit zum Transfer der Test-Magazine zwischen der Austauschstation und der Teststation auf.

Description

Die Anmeldung beansprucht den Nutzen der koreanischen Patentanmeldungen mit den Nummern 2004-23621 und 2004-23622, beide eingereicht am 22. März 200, die hiermit so zur Bezugnahme aufgenommen werden, als ob sie zur Gänze hierin dargelegt würden.
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Handler zum Testen von Halbleiterbauelemten, und insbesondere einen Handler zum Testen von Halbleiterbauelementen, welcher Halbleiterbauelemente mit Testbuchsen verbindet, die mit einem externen Testgerät verbunden sind, damit die Halbleiterbauelemente getestet werden können, und die getesteten Halbleiterbauelemente auf der Grundlage der Testergebnisse sortiert und die sortierten Halbleiterbauelemente aufbewahrt.

Im Allgemeinen werden Speicher- oder Nicht-Speicher-Halbleiterbauelemente oder modulare ICs, von denen jede Speicher- oder Nicht-Speicher-Halbleiterbauelemente enthält, die entsprechend auf einem Substrat angeordnet sind, um eine Schaltung zu bilden, verschiedenen Tests nach ihrer Herstellung, aber bevor sie verschickt werden, unterzogen. Für einen solchen Test wird ein Handler verwendet, der Halbleiterbauelemente oder modulare ICs automatisch elektrisch mit einem externen Testgerät verbindet, wie oben angeführt.

Viele solcher Handler können nicht nur einen allgemeinen Leistungstest unter Raumtemperaturbedingung, sondern auch einen Test bei hoher Temperatur oder niedriger Temperatur durchführen, nachdem eine Atmosphäre mit extrem niedriger oder hoher Temperatur in einer dichten Kammer unter Verwendung eines elektrischen Heizgerätes oder eines Sprühsystems mit verflüssigtem Stick-stoff gebildet wurde, um festzustellen, ob ein Halbleiterbauelement oder ein modularer IC, die dem Test unterzogen wurden, normale Funktionen auch unter extremen Temperaturbedingungen ausführen können oder nicht.

Die koreanische Patentschrift Nr. 10-0384622, deren Anmeldung im Namen der vorliegenden Anmeldung eingereicht wurde (veröffentlicht am 22. Mai 2003), offenbart einen Handler zum Testen von Halbleiterbauelementen, welcher mehrere Kammern enthält, die so konfiguriert sind, dass die Gesamtgröße des Handlers nicht erhöht und die Struktur des Handlers nicht komplexer wird, um zu ermöglichen, dass eine große Anzahl an Halbleiterbauelementen innerhalb kurzer Zeit auf effiziente Weise getestet werden kann.

Der offenbarte Handler weist eine Kammerstation auf, welche zwei Kammerlagen enthält, nämlich eine obere Kammerlage und eine untere Kammerlage, wobei auf jeder von diesen Lagen Kammern mit unterschiedlichen Funktionen horizontal angeordnet sind. Jede Kammerlage weist eine Vorheizkammer zum Vorheizen oder Vorkühlen von Halbleiterbauelementen auf, eine Testkammer zum Durchführen eines Tests für die vorgeheizten oder vorgekühlten Halbleiterbauelementen und eine Entfrostungskammer, um die Halbleiterbauelemente wieder auf Raumtemperatur zu bringen. Gemäß dieser Anordnung ist es möglich, Halbleiterbauelemente in einer Anzahl zu testen, die dem Zweifachen der Anzahl an Halbleiterbauelementen entspricht, die in herkömmlichen Fällen zur gleichen Zeit getestet werden können.

Das heißt, dass bei herkömmlichen Speicher-Handlern, die vor dem oben genannten Handler des gegenwärtigen Anmelders entwickelt wurden, ein Testboard, das mehrere Testbuchsen aufweist, in einer einzelnen Testkammer zur Durchführung eines Tests angeordnet ist. In diesem Fall muss daher nur ein Test-Magazin verwendet werden, das mit dem Testboard verbunden ist.

Bei dem Handler, der vom gegenwärtigen Anmelder entwickelt wurde, können hingegen zwei Testboards verwendet werden, die an jeweiligen Testkammern befestigt sind. Infolgedessen ist es möglich, Halbleiterbauelemente in einer Anzahl zu testen, welche dem Zweifachen der Anzahl von Halbleiterbauelementen entspricht, die in herkömmlichen Fällen zur gleichen Zeit getestet werden können.

Im Folgenden wird das im Handler ausgeführte Testverfahren kurz beschrieben.

Zunächst werden Halbleiterbauelemente, die in Benutzer-Magazinen in einer Ladestation angeordnet sind, sequentiell einer Austauschstation durch einen Aufnehmer zugeführt. In der Austauschstation werden die zugeführten Halbleiterbauelemente in einem einheitlichen Intervall durch einen Ausrichter ausgerichtet und danach in Test-Magazine geladen, die aus hitzebeständigem Metall bestehen. Danach werden die Test-Magazine sequentiell der Testkammer zugeführt, so dass die Halbleiterbauelemente, die in die Test-Magazine geladen wurden, sequentiell einem elektrischen Test unterzogen werden. In diesem Fall werden die Test-Magazine auf zwei Lagen in einer Vorheizkammer verteilt, bevor sie in die Testkammer eintreten, so dass die Test-Magazine auf den jeweiligen Lagen mit den Testboards verbunden werden können, die in zwei Lagen in der Testkammer angeordnet sind, um dem Test unterzogen zu werden.

Die Test-Magazine, bei denen die Tests abgeschlossen wurden, werden sequentiell erneut der Austauschstation zugeführt, nachdem sie durch eine Entfrostungskammer geführt worden sind. In der Austauschstation werden die getesteten Halbleiterbauelemente jedes Test-Magazins aus dem Test-Magazin entladen. Die entladenen Halbleiterbauelemente werden dann in zugehörigen Benutzer-Magazinen aufgenommen, nachdem sie gemäß den Testergebnissen sortiert worden sind.

Der oben erwähnte herkömmliche Handler weist jedoch folgende Probleme auf.

Erstens ist das Verfahren zum Laden/Entladen der Halbleiterbauelemente in die/aus den Test-Magazine(n) in der Austauschstation mehr oder weniger komplex. Ferner ist die Konfiguration für die Durchführung dieses Lade-/Entladeverfahrens mehr oder weniger komplex.

Das bedeutet, dass sich in dem oben erwähnten Handler der Halbleiterbauelementeabstand (pitch) in den Benutzer-Magazinen von dem Halbleiterbauelementeabstand in den Test-Magazinen unterscheidet. Aus diesem Grund müssen in dem oben erwähnten Handler die Halbleiterbauelemente, die von den Benutzer-Magazinen getragen werden, in den Ausrichter in der Austauschstation geladen werden, damit sie in einem Abstand ausgerichtet sind, der dem Halbleiterbauelementeabstand der Test-Magazine entspricht. Danach wird der Ausrichter horizontal zu einem Ort bewegt, an dem ein Test-Magazin angeordnet ist, um die Halbleiterbauelemente dem Test-Magazin zuzuführen. Um Halbleiterbauelemente aus einem Test-Magazin, bei dem die Tests abgeschlossen wurden, zu entladen, kann der Ausrichter in einem leeren Zustand zum Test-Magazin bewegt werden.

Wenn das Verfahren zum Laden/Entladen von Halbleiterbauelementen in/aus Test-Magazine(n) in der Austauschstation komplex ist, wie oben erwähnt, verlängert sich die Arbeitszeit in der Austauschstation. Infolgedessen ist die Anzahl an gleichzeitig testbaren Halbleiterbauelementen stark begrenzt.

Zweitens werden typischer Weise verschiedene Handler, welche jeweils verschiedene Testboards mit verschiedenen Anzahlen von Testbuchsen verwenden, durch Handler-Hersteller hergestellt, um unterschiedliche Anforderungen verschiedener Abnehmer zu befriedigen, das heißt, verschiedenenen Halbleiterbauelementeherstellern. Halbleiterbauelementehersteller möchten jedoch einen Handler verwenden, an dem verschiedene Testboards mit unterschiedlichen Anzahlen an Testbuchsen befestigt werden können (ein solches Testboard wird von einem Tester-Hersteller hergestellt und ist zum Zwecke eines Tests getrennt an einem Handler befestigt).

Obwohl gegenwärtig bei den Halbleiterbauelementeherstellern die Tendenz besteht, einen Handler zu verlangen, der mehrere Testboards verwenden kann, von denen jedes mit 128 Testbuchsen versehen ist (auch als „128-para-Testboard" bezeichnet), verlangen die Halbleiterbauelementehersteller unter Berücksichtigung der zukünftigen Produktivität zum Beispiel auch einen Handler, der mehrere Testboards verwenden kann, die jeweils mit 64 Testbuchsen versehen sind (auch als „64-para-Testboards" bezeichnet). Zu diesem Zweck ist es notwendig, einen Handler bereitzustellen, der sowohl mit dem 64-para-Testboard als auch mit dem 128-para-Testboard kompatibel ist.

In der Zwischenzeit muss der Abstand von Testbuchsen in Abhängigkeit von der Art der zu testenden Halbleiterbauelemente variiert werden. Aus diesem Grund müssen Handler verschiedene Trägerabstände verwenden, weil der Trägerabstand von Test-Magazinen in Abhängigkeit von dem Testbuchsenabstand variiert.

Bei herkömmlichen Händlern sind jedoch die Größe und Struktur von Test-Magazinen, die dazu dienen, Halbleiterbauelemente zuzuführen, standardisiert. Ferner können die Bestandteile einer Testkammer, wo Testboards befestigt sind, zum Beispiel Führungsschienen, welche die Bewegung von Test-Magazinen führen, und ein Antrieb, nicht positionsmäßig variiert werden. Infolgedessen ist ein solcher herkömmlicher Handler nicht mit dem 64-para-Testboard und dem 128-para-Testboard kompatibel. Somit muss ein solcher herkömmlicher Handler einen Test mit einem einzelnen, festen Trägerabstand durchführen.

Zusammenfassung der Erfindung

Infolgedessen betrifft die vorliegende Erfindung einen Handler zum Testen von Halbleiterbauelementen, welcher im Wesentlichen eines oder mehrere Probleme, die durch die Einschränkungen und Nachteile des verwandten Stands der Technik entstehen, beseitigt.

Ein Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, einen Handler zum Testen von Halbleiterbauelementen bereitzustellen, der in der Lage ist, das Verfahren, das in einer Austauschstation durchgeführt wird, zu vereinfachen, nämlich das Verfahren des Ladens/Entladens von Halbleiterbauelementen in/aus Test-Magazine(n), und die Anzahl von gleichzeitig testbaren Halbleitern deutlich zu erhöhen.

Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, einen Handler zum Testen von Halbleiterbauelementen bereitzustellen, welcher es ermöglicht, dass Testboards mit unterschiedlicher Anzahl von Testbuchsen mit unterschiedlichen Abständen, selektiv an dem Handler befestigt werden, wodurch eine bessere Kompatibilität erreicht werden kann.

Weitere Vorteile, Aufgaben und Merkmale der Erfindung werden in der folgenden Beschreibung angeführt und werden Fachleuten nach Prüfung der folgenden Angaben zum Teil offenbar werden oder ergeben sich aus der praktischen Anwendung der Erfindung. Die Ziele und andere Vorteile der Erfindung können durch die Struktur realisiert und erhalten werden, die insbesondere in der schriftlichen Beschreibung und den zugehörigen Patentansprüchen sowie den beiliegenden Zeichnungen angeführt werden.

Um diese Ziele und andere Vorteile zu erreichen und gemäß dem Zweck der Erfindung, so wie hierin aufgenommen und allgemein beschrieben, umfasst ein Handler zum Testen von Halbleiterbauelementen: eine Ladestation, in welcher zu testende Halbleiterbauelemente aufbewahrt werden; eine Entladestation, in welcher getestete Halbleiterbauelemente aufbewahrt werden, nachdem sie gemäß Testergebnissen der getesteten Halbleiterbauelemente sortiert worden sind; Test-Magazine, von denen jedes mit mehreren Trägern für das vorübergehende Halten der Halbleiterbauelemente versehen ist; eine Austauschstation, welche eine horizontale Bewegungseinheit zum horizontalen Bewegen eines ausgewählten Test-Magazins um einen vorbestimmten Abstand an einer Arbeitsposition umfasst, die in der Austauschstation definiert ist, wobei die Austauschstation ein Verfahren zum Laden der Halbleiterbauelemente in die Träger des Test-Magazins oder zum Entladen der Halbleiterbauelemente aus den Trägern des Test-Magazins durchführt, während das Test-Magazin um den vorbestimmten Abstand bewegt wird; eine Teststation, in welcher mindestens ein Testboard mit mehreren Testbuchsen, die elektrisch mit Halbleiterbauelementen zu verbinden sind, befestigt ist, wobei die Teststation einen Test durchführt, während die Halbleiterbauelemente in einem der Test-Magazine, welches von der Austauschstation zur Teststation befördert wird, mit den Testbuchsen verbunden werden; Vorrichtungstransfereinheiten zum Transfer der Halbleiterbauelemente zwischen der Ladestation und der Austauschstation, um die Halbleiterbauelemente in die Träger der Test-Magazine zu laden und die Halbleiterbauelemente zwischen der Austauschstation und der Entladestation zu transferieren, um die Halbleiterbauelemente aus den Trägern der jeweiligen Test-Magazine zu entladen; und eine Magazin-Transfereinheit zum Transfer der Test-Magazine zwischen der Austauschstation und der Teststation.

In einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung umfasst ein Handler zum Testen von Halbleiterbauelemente: eine Ladestation, in welcher zu testende Halbleiterbauelemente aufbewahrt werden; eine Entladevorrichtung, in welcher getestete Halbleiterbauelemente aufbewahrt werden, nachdem sie gemäß Testergebnissen der getesteten Halbleiterbauelemente sortiert wurden; Test-Magazine, die jeweils mit mehreren Trägern zum vorübergehenden Halten der Halbleiterbauelemente versehen sind; eine Austauschstation, welche eine vertikale Bewegungseinheit zum vertikalen Bewegen eines ausgewählten Test-Magazins zwischen einer Standby-Position bzw. einer Arbeitsposition umfasst, die an unteren und oberen Positionen in der Austauschstation definiert sind, und eine horizontale Bewegungseinheit zum horizontalen Bewegen des Test-Magazins um einen vorbestimmten Abstand an der Arbeitsposition, wobei die Austauschstation ein Verfahren zum Laden der Halbleiterbauelemente in die Träger des Test-Magazins oder zum Entladen der Halbleiterbauelemente aus den Trägern des Test-Magazins durchführt, während das Test-Magazin um einen vorbestimmten Abstand bewegt wird; eine Teststation, in welcher mindestens ein Testboard mit mehreren Testbuchsen, die mit Halbleiterbauelementen elektronisch zu verbinden sind, befestigt ist, wobei die Teststation einen Test durchführt, während die Halbleiterbauelemente in einem der Test-Magazine, das von der Austauschstation zur Teststation befördert wird, mit den Testbuchsen verbunden werden; mehrere Puffer, die zwischen der Ladestation und der Austauschstation und zwischen der Austauschstation und der Entladestation angeordnet und angepasst sind, die zu testenden Halbleiterbauelemente und die getesteten Halbleiterbauelemente aufzunehmen, um den aufgenommenen Halbleiterbauelementen zu ermöglichen, sich in einem vorübergehenden Standby-Zustand zu befinden; mindestens einen ersten Aufnehmer, der zwischen der Ladestation und Ladepuffern und zwischen Entladepuffern und der Entladestation bewegbar ist, um die zu testenden Halbleiterbauelemente und die getesteten Halbleiterbauelemente zu transferieren; und mindestens einen zweiten Aufnehmer, der zwischen den Ladepuffern und der Austauschstation und zwischen der Austauschstation und den Entladepuffern bewegbar ist, um die zu testenden Halbleiterbauelemente und die getesteten Halbleiterbauelemente zu transferieren; erste und zweite Magazin-Puffer, die jeweils an gegenüberliegenden Seiten der Standby-Position der Austauschstation angeordnet sind; Magazin-Verschieber, die jeweils dazu geeignet sind, das Test-Magazin horizontal zwischen der Austauschstation und einem zugehörigen der ersten und zweiten Magazin-Puffer zu transferieren; und eine Magazin-Transfereinheit zum Transferieren der Test-Magazine zwischen der Austauschstation und der Teststation.

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird das Verfahren zum Laden/Entladen von Halbleiterbauelementen in ein/aus einem Test-Magazin durchgeführt, während das Test-Magazin horizontal um einen vorbestimmten Abstand in der Austauschstation bewegt wird. Entsprechend kann das Lade-/Entlade-Verfahren stark vereinfacht werden. Ferner wird die Verfahrensgeschwindigkeit erhöht. Dem zufolge ist es möglich, gleichzeitig eine Anzahl von Halbleitebauelementen zu testen. Darüber hinaus ist die Konfiguration der Austauschstation einfach.

Es gilt zu verstehen, dass sowohl die vorangegangene allgemeine Beschreibung als auch die folgende detaillierte Beschreibung der vorliegenden Erfindung beispielhaft und erklärend sind und zur näheren Erläuterung der beanspruchten Erfindung dienen.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Die beiliegenden Zeichnungen, welche einbezogen sind, um ein besseres Verständnis der Erfindung zu liefern und in die vorliegende Anmeldung aufgenommen werden und einen Teil derselben darstellen, zeigen eine Ausführungsform/Ausführungsformen der Erfindung und dienen gemeinsam mit der Beschreibung der Erklärung des Prinzips der Erfindung. Es zeigen:
1 eine Draufsicht, die schematisch einen Handler zum Testen von Halbleiterbauelementen gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt;
2 eine schematische Seitenansicht des in 1 gezeigten Handlers;
3 eine schematische Vorderansicht des in 1 gezeigten Handlers;
4 eine schematische Rückansicht des in 1 gezeigten Handlers;
5 eine perspektivische Ansicht, welche eine Konfiguration einer Drehvorrichtung darstellt, die in dem Handler von 1 enthalten ist;
6 eine schematische Seitenansicht der in 5 gezeigten Drehvorrichtung;
7 eine perspektivische Ansicht, welche eine Konfiguration einer Haltevorrichtung zeigt, die in der Drehvorrichtung von 5 enthalten ist;
8 eine perspektivische Ansicht, welche eine vertikale Bewegungseinheit darstellt, die in dem Handler von 1 enthalten ist;
9 und 10 eine perspektivische Ansicht bzw. eine schematische Seitenansicht, welche eine horizontale Bewegungseinheit darstellen, die in dem Handler von 1 enthalten ist;
11 eine perspektivische Ansicht, welche eine Konfiguration einer Magazin-Verschiebevorrichtung darstellt, die in dem Handler von 1 enthalten ist;
12 bis 19 schematische Ansichten, die sequentiell ein Beispiel eines Test-Magazin-Transferverfahrens erklären, das zwischen einer Austauschstation und einer Teststation durchgeführt wird, die im Handler von 1 enthalten sind;
20 eine Draufsicht, welche schematisch einen Handler zum Testen von Halbleiterbauelementen gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt;
21 eine schematische Vorderansicht des in 20 gezeigten Handlers;
22 eine Draufsicht, welche schematisch einen Handler zum Testen von Halbleiterbauelementen gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt;
23 eine Längsschnittansicht, welche schematisch den Zustand darstellt, in dem Halbleiterbauelemente mit Testbuchsen eines Testboards in einer Testkammer des in 22 dargestellten Handlers verbunden werden; und
21 eine schematische Vorderansicht des in 20 gezeigten Handlers.
Detaillierte Beschreibung der Erfindung
Nun wird im Detail auf die bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung Bezug genommen, von denen Beispiele in den begleitenden Zeichnungen dargestellt sind. Wo immer dies möglich ist, werden dieselben Bezugszeichen bei allen Zeichnungen zur Bezugnahme auf die gleichen oder ähnliche Teile verwendet.
1 bis 4 stellen schematisch einen Handler zum Testen von Halbleiterbauelementen gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Der Handler enthält eine Ladestation 10, die an einem vorderen Teil des Handlers angeordnet ist. Benutzer-Magazine, in denen mehrere zu testende Halbleiterbauelemente aufgenommen werden, werden in der Ladestation 10 gestapelt. Der Handler weist auch eine Entladestation 20 auf, welche an einer Seite der Ladestation 10 angeordnet ist. In der Entladestation 20 werden Halbleiterbauelemente, die getestet worden sind, gemäß den Testergebnissen sortiert und danach in Benutzer-Magazinen aufgenommen, die in der Entladestation 20 gemäß den Sortierungsergebnissen angeordnet sind.
Mehrere Puffer 40 bzw. 45 sind an gegenüberliegenden Seiten eines Zwischenteils des Handlers angeordnet, so dass die Puffer 40 und 45 durch eine Pufferbewegungseinheit (nicht gezeigt) nach vorne und nach hinten bewegt werden können. Halbleiterbauelemente, die von der Ladestation 10 zugeführt werden, werden vorübergehend an den Puffern 40 und 45 abgesetzt, um auf einen nachfolgenden Vorgang zu warten. Eine Austauschstation 30 ist zwischen den Puffern 40 und den Puffern 45 angeordnet. In der Austauschstation 30 werden ein Verfahren zum Transfer der zu testenden Halbleiterbauelemente von den Puffern 40 und 45 zu den Test-Magazinen T und das neuerliche Laden der zugeführten Halbleiterbauelemente in die Test-Magazine T sowie ein Verfahren zum Entladen der getesteten Halbleiterbauelemente aus den Test-Magazinen T durchgeführt. Jedes Test-Magazin T weist jeweils mehrere Träger C auf, die angepasst sind, Halbleiterbauelemente vorübergehend zu tragen. Die Träger C sind in mehreren Reihen angeordnet.
In der dargestellten Ausführungsform sind ein Paar der Puffer 40 bzw. ein Paar der Puffer 45 an gegenüberliegenden Seiten der Austauschstation 30 angeordnet. Der Abstand der Halbleiterbauelemente, die auf jedem der Puffer 40 und 45 abgesetzt sind, ist mit dem jeweiligen Abstand der Halbleiterbauelemente identisch, die in die Träger C jedes Test-Magazins T geladen sind. Die Puffer 40 und 45 können verteilt werden, um unterschiedliche Funktionen auszuüben, so dass einer von jedem der Puffer 40 und 45 als Ladepuffer fungiert, um nur die zu testenden Halbleiterbauelemente aufzunehmen, und der andere jedes Puffers 40 und 45 als Entladepuffer dient, um nur die getesteten Halbleiterbauelemente aufzunehmen. Ferner kann jeder Puffer sowohl die zu testenden Halbleiterbauelemente als auch die getesteten Halbleiterbauelemente aufnehmen.
In der dargestellten Ausführungsform werden die Puffer 40, die in der Nähe der Ladestation 10 angeordnet sind, als Ladepuffer 40 bezeichnet, während die Puffer 45, die in der Nähe der Entladestation 20 angeordnet sind, als Entladepuffer bezeichnet werden.
Ein erster Lade-/Entlade-Aufnehmer 51 und ein zweiter Lade-/Entlade-Aufnehmer 52 sind über dem Vorderteil des Handlers an den Seiten der Lade- und Entladestationen 10 bzw. 20 angeordnet. Der erste und der zweite Lade-/Entlade-Aufnehmer 51 und 52 transferieren Halbleiterbauelemente, während sie sich horizontal zwischen der Ladestation 10 und jedem Puffer 40 bzw, zwischen der Entladestation 20 und jedem Puffer 45 bewegen. Ein erster X-Achsen-Rahmen 53 ist über dem Vorderteil des Handlers angeordnet. Der erste X-Achsen-Rahmen 53 erstreckt sich entlang der Lade- und Entladestationen 10 und 20 in einer seitlichen Richtung (im Folgenden als eine „X-Achsen-Richtung" bezeichnet). Bewegbare Rahmen 54 und 55 werden an dem ersten X-Achsen-Rahmen 53 befestigt, so dass die bewegbaren Rahmen 54 und 55 unabhängig entlang des ersten X-Achsen-Rahmens 53 bewegbar sind. Der erste und der zweite Lade-/Entlade-Aufnehmer 51 und 52 sind an den bewegbaren Rahmen 54 und 55 befestigt, so dass der erste und der zweite Lade-/Entladeaufnehmer 51 und 52 horizontal in einer Y-Achsen-Richtung senkrecht zur X-Achsen-Richtung entlang der bewegbaren Rahmen 54 bzw. 55 bewegbar sind.
Obwohl nicht dargestellt, können Linearmotoren für Antriebseinheiten verwendet werden, die angepasst sind, die bewegbaren Rahmen 54 und 55 und den ersten und den zweiten Lade-/Entladeaufnehmer 51 und 52 horizontal zu bewegen. Es können jedoch auch wohl bekannte lineare Antriebssysteme, beispielsweise ein System, das Kugelumlaufspindeln und Servomotoren verwendet, oder ein System, das Scheiben, Riemen und Servomotoren enthält, verwendet werden.
Es wird bevorzugt, dass jeder der ersten und zweiten Lade-/Entladeaufnehmer 51 und 52 so konfiguriert wird, dass er mehrere Halbleiterbauelemente in einem Zustand des gleichzeitigen Vakuumanziehens der Halbleiterbauelemente transferiert. Es wird auch bevorzugt, dass jeder der ersten und zweiten Lade-/Entladeaufnehmer 51 und 52 so konfiguriert ist, dass der Abstand von Halbleiterbauelementen zwischen dem Abstand von Halbleiterbauelementen in jedem Benutzer-Magazin und dem Abstand von Halbleiterbauelementen in jedem der Puffer 40 und 45 variiert wird.
Mehrere kurze Aufnehmer 61 und 62 sind über dem Zwischenteil des Handlers so angeordnet, dass jeder der kurzen Aufnehmer 61 und 62 horizontal in der X-Achsen-Richtung bewegbar ist, um Halbleiterbauelemente zwischen der Austauschstation 30 und einem zugehörigen Puffer 40 und 45 zu transferieren. In der dargestellten Ausführungsform sind vier kurze Aufnehmer so angeordnet, dass zwei kurze Aufnehmer 61 bzw. zwei kurze Aufnehmer 62 an gegenüberliegenden Seiten des Zwischenteils des Handlers angeordnet sind. Ein zweiter X-Achsen-Rahmen 63 und ein dritter X-Achsen-Rahmen 64 sind über dem Zwischenteil des Handlers angeordnet, während sie in angemessener Weise voneinander in der Y-Achsen-Richtung beabstandet sind. Die kurzen Aufnehmer 61 sind an dem zweiten und dritten X-Achsen-Rahmen 63 bzw. 64 befestigt, um entlang des zweiten und dritten X-Achsen-Rahmens 63 bzw. 64 in der X-Achsen-Richtung horizontal bewegbar zu sein. In ähnlicher Weise sind die kurzen Aufnehmer 62 an dem zweiten und dritten X-Achsen-Rahmen 63 bzw. 64 befestigt, um horizontal entlang des zweiten und dritten X-Achsen-Rahmens 63 bzw. 64 in der X-Achsen-Richtung bewegbar zu sein. In der dargestellten Ausführungsform werden die kurzen Aufnehmer 61, die auf der linken Seite von 1 angeordnet sind, als kurze Ladeaufnehmer bezeichnet, während die kurzen Aufnehmer 62, die auf der rechten Seite von 1 angeordnet sind, als kurze Entladeaufnehmer bezeichnet werden.
Jeder der kurzen Aufnehmer 61 und 62 kann so konfiguriert werden, dass er entlang eines zugehörigen zweiten und dritten X-Achsen-rahmens 63 und 64 durch einen Linearmotor (nicht gezeigt) oder ein wohl bekanntes lineares Antriebssystem bewegbar ist, das zum Beispiel eine Kugelumlaufspindel und einen Servomotor einschließt.
Eine Teststation 70 ist am hinteren Teil des Handlers angeordnet. Die Teststation 70 weist mehrere geteilte abgedichtete Kammern auf. Die Teststation 70 bildet in jeder Kammer eine Atmosphäre mit hoher oder niedriger Temperatur und testet Halbleiterbauelemente in der gebildeten Atmosphäre, während die Test-Magazine T, in welche die Halbleiterbauelemente geladen werden, sequentiell in die Kammer transferiert werden. In der dargestellten Ausführungsform sind die Kammern der Teststation 70 in zwei Lagen angeordnet, so dass zwei Test-Magazine T gleichzeitig getestet werden können.
Die Konfiguration der Teststation 70 wird im Folgenden detaillierter beschrieben. Die Teststation 70 weist hauptsächlich eine Vorheizkammer 71, eine Testkammer 72 und eine Entfrostungskammer 73 auf, welche auf jeder Kammerlage der Teststation 70 angeordnet sind.
Jede Vorheizkammer 71 transferiert sequentiell Test-Magazine T, die von der Austauschstation 30 zugeführt werden, schrittweise in eine rückwärtige Richtung, während die Halbleiterbauelemente, die in jedem Test-Magazin T geladen sind, bei einer vorbestimmten Erhitzungs- oder Kühlungstemperatur erhitzt oder gekühlt werden. Jede Testkammer 72 montiert die Halbleiterbauelemente in jedem der Test-Magazine, die sequentiell von der zugehörigen Vorheizkammer 71 zugeführt werden, an Testbuchsen (nicht gezeigt), die an eine externe Testausrüstung (nicht gezeigt) gekoppelt sind, wodurch ermöglicht wird, dass die Halbleiterbauelemente einem elektrischen Leistungstest unterzogen werden. Jede Entfrostungskammer 73 transferiert sequentiell Test-Magazine T, die von der zugehörigen Testkammer 72 zugeführt wurden, schrittweise in eine Vorwärtsrichtung, während die getesteten Halbleiterbauelemente, die in jedem Test-Magazin T geladen sind, auf einen anfänglichen Raumtemperaturzustand zurückgeführt werden.
Testboards 74 werden jeweils in den Testkammern 72 angeordnet. Das heißt, die Testboards 74 sind in zwei Lagen angeordnet. Jedes Testboard 74 weist mehrere Testbuchsen (nicht gezeigt) auf. In 2 wird das obere Testboard als „74U" bezeichnet und das untere Testboard als „74L".
Eine Hebevorrichtung (nicht gezeigt) ist an einem hinteren Ende von jeder der Vorheizkammern und Entfrostungskammern 71 und 73 angeordnet, um ein Test-Magazin T, das zum hinteren Ende der zugehörigen Kammer zugeführt wird, zu verteilen, während das Test-Magazin T vertikal bewegt wird.
Eine vordere Transfereinheit 76 ist am vorderen Teil der Teststation 70 angeordnet. Die vordere Transfereinheit 76 dient dazu, ein Test-Magazin T, das von der Austauschstation 30 freigegeben wurde, zu einer der Vorheizkammern 71 zu transferieren, und ein Test-Magazin T, das von einer der Entfrostungskammern 73 freigegeben wurden, zur Austauschstation 30 zu transferieren. Eine hintere Transfereinheit 77 ist am hinteren Teil der Teststation 70 angeordnet. Die hintere Transfereinheit 77 dient dazu, ein Test-Magazin T, das aus einer der Vorheizkammern 71 freigegeben wurde, zu einer der Testkammern 72 zu transferieren, und ein Test-Magazin T, das aus einer der Testkammern 72 freigegeben wurde, zu einer der Entfrostungskammern 73 zu transferieren.
In der dargestellten Ausführungsform wird, da die Teststation 70 zwei Kammerlagen aufweist, von denen jede eine Vorheizkammer 71, eine Testkammer 72 und eine Entfrostungskammer 73 enthält, bevorzugt, dass der Handler zwei unabhängige vordere Transfereinheiten 76 aufweist, die jeweils in zwei Lagen angeordnet sind, die den zwei Kammerlagen entsprechen, und zwei unabhängige hintere Transfereinheiten 77, die jeweils in zwei Lagen angeordnet sind, die den zwei Kammerlagen entsprechen.
Jede vordere Transfereinheit 76 weist eine Haltevorrichtung 761 zum Halten eines Endes eines Test-Magazins T auf, welches bis zur vorderen Transfereinheit 76 reicht, und einen linearen Antrieb (nicht gezeigt) zum linearen Bewegen der Haltevorrichtung 761. In ähnlicher Weise weist jede hintere Transfereinheit 77 eine Haltevorrichtung 771 zum Halten eines Endes eines Test-Magazins T auf, welches bis zur hinteren Transfereinheit 77 reicht, und einen linearen Antrieb (nicht gezeigt) zum linearen Bewegen der Haltevorrichtung 771. Der lineare Antrieb kann ein wohl bekanntes System umfassen, welches eine Kugelumlaufspindel und einen Servomotor oder einen Linearmotor enthält.
Eine Kontakteinheit 75 ist in jeder Testkammer 72 angeordnet, so dass die Kontakteinheit 75 in der Y-Achsen-Richtung bewegbar ist. Wenn ein Test-Magazin T mit dem Testboard 74 in der Testkammer 72 ausgerichtet ist, welche zur Kontakteinheit 75 gehört, drückt die Kontakteinheit 75 das Test-Magazin T gegen das Testboard 74, um die Halbleiterbauelemente des Test-Magazins T mit dem Testboard 74 zu verbinden.
In der Teststation 70 wird jedes Test-Magazin T in einem aufrechten oder vertikalen Zustand zugeführt. Hingegen werden in der Austauschstation 30 das Verfahren des Ladens von Halbleiterbauelementen in ein Test-Magazin T und das Verfahren des Entladens von Halbleiterbauelementen aus einem Test-Magazin T unter der Bedingung ausgeführt, unter welcher die Test-Magazine T in einem horizontalen Zustand gehalten werden. Zu diesem Zweck ist eine Drehvorrichtung 80 zwischen dem vorderen Ende der Teststation 70 und der Austauschstation 30 so angeordnet, dass die Drehvorrichtung 80 in einem Winkel von 90° drehbar ist, um ein Test-Magazin T zu transferieren, während das Test-Magazin T zwischen einem horizontalen Zustand und einem vertikalen Zustand wechselt, wie in 2 gezeigt.
In der Zwischenzeit werden in der Austauschstation 30 Test-Magazin-Transferverfahren jeweils an zwei Positionen durchgeführt. Das heißt, an einer oberen Arbeitsposition WP werden die Halbleiterbauelementlade- und -entlade-verfahren ausgeführt, während die Halbleiterbauelemente um einen vorbestimmten Abstand unter der Bedingung horizontal bewegt werden, unter der die Halbleiterbauelemente horizontal gehalten werden. Hingegen wird in einer unteren Standby-Position SP unterhalb der Arbeitsposition WP ein Verfahren zum Transferieren eines Test-Magazins T zwischen der Teststation 70 und der Austauschstation 30 unter Verwendung der Drehvorrichtung 80 durchgeführt.
Mindestens eine vertikale Bewegungseinheit 36 ist in der Austauschstation 30 angeordnet, um das Test-Magazin T, das in der Austauschstation 30 aufgenommen ist, zwischen der Standby-Position SP und der Arbeitsposition WP vertikal zu bewegen, wie in 2 gezeigt.
Eine horizontale Bewegungseinheit 35 ist auch an der Arbeitsposition WP der Austauschstation 30 angeordnet, um das Test-Magazin T, das in der Austauschstation 30 aufgenommen ist, um den vorbestimmten Abstand horizontal zu bewegen.
Wie in 3 gezeigt, sind ein erster Magazin-Puffer 91 und ein zweiter Magazin-Puffer 92 jeweils an gegenüberliegenden Seiten der Standby-Position SP in der Austauschstation 30 angeordnet. Jeder des ersten und des zweiten Magazin-Puffers 91 und 92 nimmt ein Test-Magazin T auf und hält das Test-Magazin T in vorübergehender Standby- Position. Ein Paar von Führungselementen (nicht gezeigt) ist an jedem des ersten und zweiten Puffers 91 und 92 so angeordnet, dass die Führungselemente obere und untere Ränder des Test-Magazins T stützen, das in dem zugehörigen Puffer aufgenommen ist, während dem Test-Magazin T ermöglicht wird, sich gleitend zu bewegen.
Magazin-Verschiebevorrichtungen 95 sind unterhalb der Austauschstation 30 angeordnet, um Test-Magazine T zu transferieren, während sie sich horizontal zwischen der Standby-Position SP und dem ersten Magazin-Puffer 91 bzw. zwischen der Standby-Position SP und dem zweiten Magazin-Puffer 92 hin- und herbewegen.
Im Folgenden werden die Konfigurationen der Hauptelemente, die in dem Handler enthalten sind, detaillierter beschrieben.
Zunächst wird eine Ausführungsform der Drehvorrichtung 80 detailliert mit Bezugnahme auf 5 bis 7 beschrieben.
Die Drehvorrichtung 80 beinhaltet eine Drehwelle 81, welche an gegenüberliegenden Enden derselben jeweils mit pneumatischen Zylindern (nicht gezeigt) verbunden ist, so dass die Drehwelle 81 drehbar und ein Rahmen 82 an einem oberen Ende davon so mit der Drehwelle 81 gekoppelt ist, dass der Rahmen 82 gemäß der Drehung der Drehwelle 81 drehbar ist. Die Drehvorrichtung 80 weist auch eine U-förmige obere Führungsschiene 83 auf, die an einem oberen Abschnitt des Rahmens 82 so befestigt ist, dass die obere Führungsschiene 83 vertikal bewegbar und angepasst ist, den oberen Rand eines Test-Magazins T, das in der Drehvorrichtung 80 aufgenommen ist, zu stützen, eine U-förmige untere Führungsschiene 84, die an einem unteren Abschnitt des Rahmens 82 so montiert ist, dass die untere Führungsschiene 84 vertikal bewegbar und angepasst ist, den unteren Rand des Test-Magazins T, das in der Drehvorrichtung 80 aufgenommen ist, zu stützen, und ein Paar von Haltevorrichtungen 88, die jeweils an der oberen Führungsschiene 83 an gegenüberliegenden Seiten der oberen Führungsschiene 83 montiert und angepasst sind, das Test-Magazin T zu halten oder freizugeben.
Die obere Führungsschiene 83 ist gleitbar mit linearen Bewegungsführungen 85 gekoppelt, die jeweils an einem oberen Abschnitt des Rahmens 82 an gegenüberliegenden Seiten des Rahmens 82 so befestigt sind, dass sich die obere Führungsschiene 83 vertikal erstreckt. In ähnlicher Weise ist die untere Führungsschiene 84 gleitbar mit linearen Bewegungsführungen 85 gekoppelt, die jeweils an einem unteren Abschnitt des Rahmens 82 an gegenüberliegenden Seiten des Rahmens 82 so befestigt sind, dass sich die untere Führungsschiene 84 vertikal erstreckt. Jede der oberen und unteren Führungsschienen 83 und 84 ist mit ersten pneumatischen Zylindern 86 verbunden, um vertikal entlang der zugehörigen linearen Bewegungsführungen 85 gemäß des Betriebs der ersten pneumatischen Zylinder 86 zu gleiten und somit das in der Drehvorrichtung 80 aufgenommene Test-Magazin T zu halten oder freizugeben.
Mehrere zweite pneumatische Zylinder 87 sind an dem Rahmen 82 an gegenüberliegenden Seiten des Rahmens 82 befestigt. Die zweiten pneumatischen Zylinder 87 stützen das Test-Magazin T, das in der Drehvorrichtung 80 aufgenommen ist, wenn der Rahmen 82 horizontal positioniert ist, und gleichzeitig gleiten die obere und die untere Führungsschiene 83 und 84, um das Test-Magazin T freizugeben. Die zweiten pneumatischen Zylinder 87 dienen auch dazu, das Test-Magazin T vertikal in einen Zustand zu bewegen, in dem das Test-Magazin T durch die zweiten pneumatischen Zylinder 87 horizontal gestützt wird.
Wie in 7 gezeigt, weist jede Haltevorrichtung 88 einen Zylinderblock 881, der an der oberen Führungsschiene 83 befestigt ist, einen pneumatischen Zylinder 882, der an dem Zylinderblock 881 befestigt ist, ein Halteglied 886, das an einem Ende davon mit einem äußeren Ende einer Kolbenstange 884, die im pneumatischen Zylinder 882 enthalten ist, über einen Drehzapfen 885 und an einem Zwischenabschnitt davon mit der oberen Führungsschiene 83 verbunden ist, und eine Rolle 888 auf, die frei drehbar an dem anderen Ende des Halteglieds 886 befestigt ist.
Wenn sich die Kolbenstangen 884 von den zugehörigen pneumatischen Zylindern 882 der Haltevorrichtungen 88 gemäß des Betriebs der pneumatischen Zylinder 882 nach außen erstrecken, werden die Halteglieder 886 drehbar zur Innenseite der oberen Führungsschiene 83 hin bewegt, wodurch die Rollen 888 dazu gebracht werden, jeweils gegenüberliegende seitliche Ränder des Test-Magazins T, das in der Drehvorrichtung 80 aufgenommen ist, zu halten. Wenn sich die Kolbenstangen 884 nach innen in die zugehörigen pneumatischen Zylinder 882 der Haltevorrichtungen 88 zurückziehen, werden die Halteglieder 886 hingegen drehbar zur Außenseite der oberen Führungsschiene 83 hin bewegt, so dass die Rollen 888 voneinander weg bewegt werden, wodurch ermöglicht wird, dass das Test-Magazin T seitlich entlang der oberen und der unteren Führungsschiene 83 und 84 bewegbar ist.
Als nächstes wird eine Ausführungsform der vertikalen Bewegungseinheit 36 unter Bezugnahme auf 8 beschrieben.
Die vertikale Bewegungseinheit 36 weist einen pneumatischen Zylinder 361 auf, der fest unterhalb der Standby-Position SP der Austauschstation 30 angeordnet ist, einen bewegbaren Block, welcher vertikal durch den pneumatischen Zylinder 361 bewegt werden kann, und einen Führungsschaft 363 zur Führung der Bewegung des bewegbaren Blocks 362. Die vertikale Bewegungseinheit 36 weist auch eine Haltevorrichtung 365 auf, die an dem bewegbaren Block 362 so befestigt ist, dass die Haltevorrichtung 365 in eine Einführöffnung (nicht gezeigt) eingeführt werden kann, die an einem Randabschnitt des Test-Magazins T gebildet ist, das in der Austauschstation 30 aufgenommen ist und dazu angepasst ist, das Test-Magazin T zu halten oder freizugeben. Es wird bevorzugt, dass der Handler mehrere vertikale Bewegungseinheiten 36 aufweist, die an gegenüberliegenden Seiten der Standby-Position SP angeordnet sind, um einander gegenüber zu liegen.
Ein Drehzylinder 364 ist ebenfalls an dem bewegbaren Block 362 jeder vertikalen Bewegungseinheit 36 befestigt, um die zugehörige Haltevorrichtung 365 um 90° zu drehen. Der Grund, warum die Haltevor richtung 365 jeder vertikalen Bewegungseinheit 36 um 90° gedreht wird, besteht darin, dass die Haltevorrichtung 365 daran gehindert werden soll, die Drehung der Drehvorrichtung 80 (5) in einem Zustand zu beeinträchtigen, in dem die Haltevorrichtung 365 das Test-Magazin T nicht hält. Das heißt, wenn die Haltevorrichtung 365 noch immer knapp unter dem Test-Magazin T positioniert ist, obwohl die Haltevorrichtung 365 das Test-Magazin T nicht hält, kann sich die Drehvorrichtung 80 nicht nach unten drehen. Dem zufolge wird, wenn sich die Drehvorrichtung 80 drehen soll, die Haltevorrichtung 365 außerhalb der Drehspur der Drehvorrichtung 80 positioniert.
Jede vertikale Bewegungseinheit 36, welche die oben beschriebene Konfiguration aufweist, funktioniert wie folgt. Wenn ein Test-Magazin T, das hochgehoben werden soll, an der Standby-Position SP angeordnet ist, wird die Haltevorrichtung 365 der vertikalen Bewegungseinheit 36 durch den Drehzylinder 364 um 90° gedreht, so dass die Haltevorrichtung 365 knapp unterhalb der zugehörigen Einführöffnung (nicht gezeigt) des Test-Magazins T positioniert ist. In diesem Zustand arbeitet der pneumatische Zylinder 361 in der Folge so, dass der bewegbare Block 362 entlang des Führungsschafts 363 nach oben bewegt wird, wodurch veranlasst wird, dass die Haltevorrichtung 365 in die zugehörige Einführöffnung des Test-Magazins T eingeführt wird. Gemäß einer weiteren Aufwärtsbewegung des bewegbaren Blocks 362 wird das Test-Magazin T zur Arbeitsposition WP gehoben. Wenn das Test-Magazin T von der Arbeitsposition WP gesenkt werden soll, arbeitet die vertikale Bewegungseinheit 36 natürlich in einer Reihenfolge, die zu dem oben beschriebenen Verfahren umgekehrt ist.
Im Folgenden wird eine Ausführungsform der horizontalen Bewegungseinheit 35 unter Bezugnahme auf 9 und 10 beschrieben.
Wie in 9 gezeigt, weist die horizontale Bewegungseinheit 35 ein Paar bewegbarer Blöcke 351 auf, die entlang von Führungsschienen 355 (10) bewegbar sind, die an der Austauschstation 30 angeordnet sind, um sich in der Y-Achsen-Richtung zu erstrecken. Die horizontale Bewegungseinheit 35 weist auch eine vordere Haltevorrichtung 352, welche an gegenüberliegenden Enden davon an jeweiligen vorderen Enden der bewegbaren Blöcke 351 so befestigt ist, dass die vordere Haltevorrichtung 352 in der Y-Achsen-Richtung bewegbar und angepasst ist, den vorderen oder unteren Rand des Test-Magazins T, das in der Austauschstation 30 aufgenommen ist, zu halten, und eine hintere Haltevorrichtung 353 auf, die an gegenüberliegenden Seiten davon an jeweiligen hinteren Enden der bewegbaren Blöcke 351 so befestigt ist, dass die hintere Haltevorrichtung 353 in der Y-Achsen-Richtung bewegbar und angepasst ist, den hinteren oder oberen Rand des Test-Magazins T zu halten. Die horizontale Bewegungseinheit 35 weist ferner mehrere pneumatische Zylinder 354, die an den bewegbaren Blöcken 351 befestigt und angepasst sind, die vordere 352 und die hintere 353 Haltevorrichtung zu bewegen, und einen linearen Antrieb für das horizontale Bewegen der bewegbaren Blöcke 351 entlang der Führungsschienen 355 auf.
Wie in 10 dargestellt, weist der lineare Antrieb ein Paar von Antriebsscheiben 357a, die drehbar in der Nähe einer Seite der bewegbaren Blöcke 351 befestigt sind, ein Paar angetriebener Scheiben 357b, die drehbar in der Nähe der anderen Seite der bewegbaren Blöcke 351 befestigt sind, und Riemen 358 auf, die jeweils um eine zugehörige der Antriebsscheiben 357a und eine zugehörige der angetriebenen Scheiben 357b gewunden sind. Der lineare Antrieb weist auch einen Servomotor 356 auf, um die Antriebsscheiben 358 in eine gewünschte Richtung um einen gewünschten Betrag zu drehen. In 10 bezeichnet die Bezugsnummer „359" Verbindungselemente, die jeweils angepasst sind, einen zugehörigen der Riemen 358 und einen zugehörigen der bewegbaren Blöcke 351 zu verbinden. Natürlich kann der lineare Antrieb wohl bekannte lineare Antriebssysteme umfassen, wie zum Beispiel ein System, das Kugelumlaufspindeln und Servomotoren oder einen Linearmotor umfasst.
Die horizontale Bewegungseinheit 35, welche die oben beschriebene Konfiguration aufweist, funktioniert wie folgt.
Wenn ein Test-Magazin T durch die vertikalen Bewegungseinheiten 36 (8) nach oben zur Arbeitsposition WP bewegt wird, werden die Haltevorrichtungen 352 und 353 gemäß des Betriebs der pneumatischen Zylinder 354 zueinander hin bewegt, um den oberen und den unteren Rand des Test-Magazins T zu halten.
Danach geht der Servomotor 356 des linearen Antriebs in Betrieb, wodurch der Riemen 358 bewegt wird. Entsprechend werden die bewegbaren Blöcke 351 entlang der Führungsschienen 355 bewegt, um das Test-Magazin T um einen gewünschten Abstand zu bewegen.
11 zeigt eine Ausführungsform jeder Magazin-Verschiebevorrichtung 95, die dazu geeignet ist, ein Test-Magazin T zwischen der Standby-Position SP der Austauschstation 30 (3) und dem ersten Magazin-Puffer 91 (3) oder zwischen der Standby-Position SP und dem zweiten Magazin-Puffer 92 (3) zu transferieren.
Die Magazin-Verschiebevorrichtung 95 weist einen stablosen Zylinder 951 auf, der so angeordnet ist, dass er sich von den Magazin-Puffern zu der Standby-Position SP der Austauschstation 30 erstrecken kann, einen blockbewegenden pneumatischen Zylinder 954, der an dem stablosen Zylinder 951 befestigt ist, einen Halteblock 955, der an dem blockbewegenden pneumatischen Zylinder 954 so befestigt ist, dass der Halteblock 955 in die X-Achsen-Richtung gemäß des Betriebs des blockbewegenden pneumatischen Zylinders 954 bewegt wird, einen halterbewegenden pneumatischen Zylinder 956, der an dem Halteblock 955 befestigt ist, und Haltezapfen 958, die an dem Halteblock 955 so befestigt sind, dass die Haltezapfen 958 vertikal bewegbar sind, um selektiv in die Einführöffnungen (nicht gezeigt) des Test-Magazins T gemäß des Betriebs des halterbewegenden pneumatischen Zylinders 956 eingefügt zu werden.
Wenn die Magazin-Verschiebevorrichtung 95, welche die oben beschriebene Konfiguration aufweist, arbeitet, um das Test-Magazin T, das an der Standby-Position SP (3) der Austauschstation 30 positioniert ist, zu einem zugehörigen des ersten und zweiten Magazin-Puffers 91 und 92 zu bewegen, erstreckt sich der blockbewegende pneumatische Zylinder 954 nach außen, um den Halteblock 955 in eine Position unterhalb des Test-Magazins T zu bewegen. Danach arbeitet der halterbewegende pneumatische Zylinder 956, um die Haltezapfen 958 so nach oben zu bewegen, dass die Haltezapfen 958 in die Einführöffnungen des Test-Magazins T eingeführt werden, wodurch das Test-Magazin T gehalten wird. In diesem Zustand arbeitet der stablose Zylinder 951, um das Test-Magazin T zu bewegen.
Nun wird ein Beispiel des Betriebs des Handlers, der die oben beschriebene Konfiguration gemäß der vorliegenden Erfindung aufweist, beschrieben.
Wenn der Bediener Benutzer-Magazine, welche zu testende Halbleiterbauelemente aufnehmen, in der Ladestation 10 stapelt und dann den Handler betreibt, zieht der erste Lade-/Entladeaufnehmer 51 die Halbleiterbauelemente in einem Benutzer-Magazin in der Ladestation 10 vakuummäßig an und transferiert die Halbleiterbauelemente zu den Ladepuffern 40. Während des Transfers der Halbleiterbauelemente variiert der erste Lade-/Entladeaufnehmer 51 den Abstand der Halbleiterbauelemente von dem Halbleiterbauelementabstand in dem Benutzer-Magazin zu dem Halbleiterbauelementabstand in jedem Puffer 40.
In der Zwischenzeit wird in der Arbeitsposition WP der Austauschstation 30 ein Test-Magazin T, das in der Austauschstation 30 aufgenommen ist, gemäß des Betriebs der horizontalen Bewegungseinheit 35 vorwärts bewegt, so dass die hinteren zwei Reihen oder geraden Reihen (die zweite und vierte Reihe) des Test-Magazins T, welches vier Reihen von Trägern C aufweist, mit jeweiligen Bewegungspfaden der kurzen Ladeaufnehmer 61 ausgerichtet sind.
Danach ziehen die kurzen Ladeaufnehmer 61 die Halbleiterbauelemente mittels Vakuum von den Ladepuffern 40 an und laden die Halbleiterbauelemente in jeweilige entsprechende Träger (nicht gezeigt) des Test-Magazins T, während sie sich unabhängig entlang der zweiten 63 bzw. der dritten 64 X-Achsen-Rahmen bewegen.
Nachdem die zu testenden Halbleiterbauelemente in die Träger in die hinteren zwei Reihen oder zwei geraden Reihen (zweite und vierte Reihe) des Test-Magazins T gefüllt wurden, bewegt sich die horizontale Bewegungseinheit 35 so nach hinten, dass die Träger C in den vorderen zwei Reihen oder ungeraden Reihen (erste und dritte Reihe) des Test-Magazins T mit jeweiligen kurzen Ladeaufnehmern 61 ausgerichtet sind. In diesem Zustand ziehen die kurzen Ladeaufnehmer 61 die Halbleiterbauelemente aus den Ladepuffern 40 mittels Vakuum an und laden die Halbleiterbauelemente in jeweilige entsprechende Träger des Test-Magazins T in der oben beschriebenen Weise.
Nachdem Halbleiterbauelemente in alle Träger C des Test-Magazins T in der Austauschstation 30 geladen wurden, bewegt sich die Haltevorrichtung 365 (8) jeder vertikalen Bewegungseinheit 36 vertikal, um das Test-Magazin T zu halten. Gleichzeitig bewegen sich die Haltevorrichtungen 353 (9) der horizontalen Bewegungseinheit 35 voneinander weg, wodurch ermöglicht wird, dass das Test-Magazin T nach außen von der horizontalen Bewegungseinheit 35 weg bewegbar ist.
Danach arbeitet der pneumatische Zylinder 361 (8) jeder vertikalen Bewegungseinheit 36, um die zugehörige Haltevorrichtung 365 und das Test-Magazin T zur Standby-Position SP nach unten zu bewegen. Die obere 83 und die untere 84 Führungsschiene (5) der Drehvorrichtung 80 werden gemäß des Betriebs des ersten pneumatischen Zylinders 86 zueinander hin bewegt, um jeweils den oberen und den unteren Rand (hinteren und vorderen Rand) des Test-Magazins T zu stützen. Gleichzeitig arbeiten die Haltevorrichtungen 88 der Drehvorrichtung 80, um die Halteglieder 886 und die Rollen 888 (7) der Haltevorrichtungen 88 dazu zu bringen, jeweilige seitliche Ränder des Test-Magazins T zu halten.
Nachdem das Test-Magazin T durch die Drehvorrichtung 80 in der Standby-Position SP der Austauschstation 30, wie oben beschrieben, gehalten wird, dreht sich die Drehvorrichtung 80 um 90°, um das Test-Magazin T am Eingang der Test-Station 70 zu positionieren, wie in 2 gezeigt.
In diesem Zustand arbeiten die Haltevorrichtungen 88 umgekehrt, um das Test-Magazin T, das von den Haltegliedern 886 und Rollen 888 (7) gehalten wird, freizugeben. Gleichzeitig arbeitet die vordere Transfereinheit 76 der Teststation 70, um das Test-Magazin T in die Vorheizkammer 71 zu schieben.
Wenn das oben beschriebene Verfahren wiederholt wird, werden Test-Magazine T sequentiell in die Vorheizkammer 71 eingeführt. Jedes Test-Magazin T, das in die Vorheizkammer 71 eingeführt wird, wird auf eine vorbestimmte Erhitzungs- oder Kühlungstemperatur erhitzt oder gekühlt, während sie schrittweise nach hinten bewegt wird. Nach Erreichen der hintersten oder stromabwärtigen Endposition in der Vorheizkammer 71, wird das Test-Magazin T durch die Hebevorrichtung (nicht gezeigt) nach oben bewegt, wenn die ID-Nr. des Test-Magazins T eine ungerade Zahl (oder eine gerade Zahl) ist, und wird danach der oberen Testkammer 72 durch die zugehörige hintere Transfereinheit 77 zugeführt, wie in 4 gezeigt. Wenn hingegen die ID-Nr. des Test-Magazins T, welches die hinterste oder die stromabwärtige Endposition in der Vorheizkammer 71 erreicht, eine gerade Zahl (oder ungerade Zahl) ist, wird das Test-Magazin T direkt der unteren Testkammer 72 durch die zugehörige Transfereinheit 77 zugeführt.
Wenn ein Test-Magazin T, das in die zugehörige Testkammer 72 eingeführt wird, mit dem Testboard 74 der Testkammer 72 vor dem Testboard 74 ausgerichtet wird, drückt die zugehörige Kontakteinheit 75 die Träger (nicht gezeigt) des Test-Magazins T gegen das Testboard 74, um die Halbleiterbauelemente des Test-Magazins T mit den Testbuchsen (nicht gezeigt) des Testboards 74 zu verbinden. In diesem Zustand wird ein elektrischer Leistungstest ausgeführt.
Nach Abschluss des Tests wird das Test-Magazin T der zugehörigen Entfrostungskammer 73 durch die zugehörige hintere Transfereinheit 77 zugeführt. In der Entfrostungskammer 73 wird das Test-Magazin T schrittweise durch eine zusätzliche Transfereinheit (nicht gezeigt) bewegt. Während dieser Bewegung werden die Halbleiterbauelemente des Test-Magazins T in einen Raumtempera-turzustand rückgeführt.
Wenn kein Hochtemperatur- oder Niedrigtemperatur-Test durchgeführt wird, ist es natürlich nicht notwendig, Halbleiterbauelemente in den Vorheizkammern 71 zu erhitzen oder zu kühlen. In diesem Fall ist es auch nicht notwendig, die Halbleiterbauelemente umgekehrt zu kühlen oder in den Entfrostungskammern 73 zu erhitzen und somit die Halbleiterbauelemente in einen Raumtemperaturzustand rückzuführen.
Nach Erreichen der stromabwärtigen Endposition der zugehörigen Entfrostungskammer 73 wird das Test-Magazin T einer Zwischenregion der Teststation 70 durch die vordere Transfereinheit 76 zugeführt. Danach wird das Test-Magazin T zwischen der oberen 83 und der unteren 84 Führungsschiene (5) der Drehvorrichtung 80 angeordnet und danach durch die Haltevorrichtungen 88 gehalten.
Danach dreht sich die Drehvorrichtung 80 um 90°, wodurch das Test-Magazin T in einen horizontalen Zustand in der Standby-Position SP der Austauschstation 30 positioniert wird.
In diesem Zustand werden die obere 83 und die untere 84 Führungsschiene voneinander gemäß des Betriebs der ersten pneumatischen Zylinder 86 (5) weg bewegt, wodurch Gas Test-Magazin T freigegeben wird. Gleichzeitig arbeiten die zweiten pneumatischen Zylinder 87, um das Test-Magazin T in einem Zustand zu stützen, in dem das Test-Magazin T leicht von der Drehvorrichtung 80 abgehoben ist.
Als nächstes wird die Haltevorrichtung 365 (8) jeder vertikalen Bewegungseinheit 36 in einem vorbestimmten Winkel durch den zugehörigen Drehzylinder 364 gedreht. In diesem Zustand wird das Test-Magazin T nach oben zur Arbeitsposition WP durch den pneumatischen Zylinder 361 jeder vertikalen Bewegungseinheit 36 bewegt.
Wenn das Test-Magazin T in die Arbeitsposition WP gehoben wird, bewegen sich die Haltevorrichtungen 353 (9) der horizontalen Bewegungseinheit 35 zueinander hin, wodurch die oberen und unteren Enden (hinteren und vorderen Enden) des Test-Magazins T gehalten werde. In diesem Zustand bewegt sich die Haltevorrichtung 365 jeder vertikalen Bewegungseinheit 36 nach unten, um in ihre ursprüngliche Position zurückzukehren.
Danach wird das Test-Magazin T um einen vorbestimmten Abstand gemäß des Betriebs der horizontalen Bewegungseinheit 35 bewegt, so dass die Träger C in den hinteren zwei Reihen oder geraden Reihen des Test-Magazins T mit jeweiligen Bewegungspfaden der kurzen Entladeaufnehmer 62 ausgerichtet werden.
In diesem Zustand ziehen die kurzen Entladeaufnehmer 62 die getesteten Halbleiterbauelemente aus dem Test-Magazin T mittels Vakuum an und transferieren die Halbleiterbauelemente zu den Entladepuffern 45, während sie sich entlang der zweiten 63 bzw. dritten 64 X-Achsen-Rahmen bewegen. Zu diesem Zeitpunkt ziehen die kurzen Ladeaufnehmer 61 auf der Seite, die den kurzen Entladeaufnehmern 62 gegenüber liegt, zu testende Halbleiterbauelemente mittels Vakuum aus den Ladepuffern 40 an und laden die Halbleiterbauelemente in die leeren Träger C des Test-Magazins T, das in der Austauschstation 30 angeordnet ist.
Nachdem die getesteten Halbleiterbauelemente auf die Entladepuffer 45 durch die kurzen Entladeaufnehmer 62 gelegt wurden, sortiert der zweite Lade-/Entladeaufnehmer 52 die Halbleiterbauelemente gemäß den Testergebnissen und gibt die sortierten Halbleiterbauelemente jeweils in zugehörige Benutzer-Magazine.
In der Zwischenzeit wird, wenn das Test-Magazin T, das in der Austauschstation 30 angeordnet ist, vollständig mit zu testenden Halbleiterbauelementen gefüllt ist, das oben beschriebene Verfahren, nämlich das Verfahren des Transfers des Test-Magazins T zur Teststation 70, des Testens der Halbleiterbauelemente des Test-Magazins T und das Entladen der getesteten Halbleiterbauelemente in der Austauschstation 30, ausgeführt. Somit wird das Testen der Halbleiterbauelemente fortlaufend ausgeführt, wenn das oben beschriebene Verfahren wiederholt durchgeführt wird.
Wenn hingegen der Transfer von Test-Magazinen T zwischen der Austauschstation 30 und der Teststation 70 in solcher Weise ausgeführt wird, dass ein Test-Magazin T von der Austauschstation 30 zu einer Vorheizkammer 71 der Teststation 70 zugeführt wird und ein weiteres Test-Magazin T in der Folge von einer Entfrostungskammer 73 der Teststation 70 der Arbeitsposition WP der Austauschstation 30 zugeführt wird, wird an der Arbeitsposition WP während des Transfers der Test-Magazine T kein Verfahren ausgeführt. In diesem Fall kann es daher zu einer Verschlechterung der Verarbeitbarkeit kommen.
Zu diesem Zweck werden gemäß der vorliegenden Erfindung Test-Magazine T vorübergehend in dem ersten 91 und dem zweiten 92 Magazin-Puffer gehalten, die jeweils an gegenüberliegenden Seiten der Standby-Position SP der Austauschstation 30 angeordnet sind, während der Transfer eines weiteren Test-Magazins T zwischen der Austauschstation 30 und der Teststation 70 durchgeführt wird, um eine Verbesserung der Verarbeitbarkeit zu erzielen.
Dies wird im Detail unter Bezugnahme auf 12 bis 19 beschrieben. Um ein bestmögliches Verständnis zu gewährleisten, erfolgt die nachstehende Beschreibung nur in Verbindung mit den Positionen von Test-Magazinen T unter jener Bedingung, in welcher die Drehvorrichtung 80, vertikale Bewegungseinheiten 36, die Magazin-Verschiebevorrichtung 95 und eine horizontale Bewegungseinheit 35 (1 bis 3) aus 12 bis 19 weggelassen werden. Ferner erfolgt die nachstehende Beschreibung nur in Verbindung mit einer Kammerlage der Teststation 70. In den Zeichnungen steht „WL" für ein Niveau, welches der Arbeitsposition WP der Austauschstation 30 entspricht, und „SL" für ein Niveau, welches der Standby-Position SP der Austauschstation 30 oder der Puffer 91 und 92 entspricht.
Darüber hinaus stellen „WT1" und „WT2" Test-Magazine dar, die von der Teststation 70 zur Austauschstation 30 zuzuführen sind, um Halbleiterbauelemente zu laden oder zu entladen, und „DT" steht für ein Test-Magazin, das von der Austauschstation 30 zur Teststation 70 nach Abschluss des Ladens oder Entladens von Halbleiterbauelementen zugeführt wird.
Zunächst wird, wie in 12 gezeigt, ein leeres Test-Magazin WT1, das in der Teststation 70 positioniert ist, während es in einer aufrechten oder vertikalen Position gehalten wird, von der Teststation 70 zur Standby-Position SP der Austauschstation 30 zugeführt, während es in einen horizontalen Zustand gemäß der Drehung der Drehvorrichtung 80 (2) gedreht wird. Danach wird das Test-Magazin WT1 zur Arbeitsposition WP gemäß des Betriebs der vertikalen Bewegungseinheiten 36 (2) hochgehoben, wie in 13 gezeigt.
Als nächstes wird, wie in 14 gezeigt, ein weiteres Test-Magazin WT2 von der Testeinheit 70 zur Standby-Position SP der Austauschstation 30 von der Teststation 70 gemäß des Betriebs der Drehvorrichtung 80 zugeführt. Zu diesem Zeitpunkt wird ein Verfahren zum Laden von Halbleiterbauelementen in die Träger C des Test-Magazins WT1 an der Arbeitsposition WP durchgeführt, während das Test-Magazin WT1 um einen vorbestimmten Abstand gemäß des Betriebs der horizontalen Bewegungseinheit 35 (2) vorwärts oder rückwärts bewegt wird.
Während des Verfahrens des Ladens von Halbleiterbauelementen in das Test-Magazin WT1 an der Arbeitsposition WP wird das Test-Magazin WT2 horizontal von der Standby-Position SP zum ersten Magazin-Puffer 91 durch die zugehörige Magazin-Verschiebevorrichtung 95 (3) bewegt, um auf ein nachfolgendes Verfahren zu warten, wie in 15 gezeigt.
Wenn das Verfahren des Ladens von Halbleiterbauelementen in das Test-Magazin WT1 an der Arbeitsposition WP abgeschlossen ist, wird dieses Test-Magazin, nämlich das Test-Magazin DT, auf die Standby-Position SP gemäß des Betriebs der vertikalen Bewegungseinheiten 36 (2) abgesenkt, wie in 16 gezeigt.
Wie in 17 gezeigt, wird das Test-Magazin DT danach einem der zweiten Puffer 45 zugeführt. Gleichzeitig wird das Test-Magazin WT2, das in dem ersten Magazin-Puffer 91 angeordnet ist, zur Standby-Position SP bewegt. Danach wird, wie in 18 gezeigt, das Test-Magazin WT2 von der Standby-Position SP zur Arbeitsposition WP hochgehoben. In diesem Zustand wird das Verfahren des Entladens der getesteten Halbleiterbauelemente in dem Test-Magazin WT2 und das Laden neuer, zu testender Halbleiterbauelemente in dem Test-Magazin WT2 ausgeführt. Gleichzeitig wird das Test-Magazin DT, das zum zweiten Magazin-Puffer 92 bewegt worden ist und auf ein nachfolgendes Verfahren wartet, zur Standby-Position SP bewegt, wie in 18 gezeigt.
Während des Verfahrens des Entladens/Ladens von Halbleiterbauelementen aus dem/in das Test-Magazin WT2 an der Arbeitsposition WP, wird das Test-Magazin DT, das zur Standby-Position SP zugeführt ist, durch die Drehvorrichtung 80 (2) der Teststation 70 (2) zugeführt. Das Test-Magazin DT wird sofort der Vorheizkammer 71 (1) der Teststation 70 zugeführt. Gleichzeitig wird ein Test-Magazin T von der Entfrostungskammer 73 (1) der Teststation 70 der Standby-Position SP der Austauschstation 30 durch die Drehvorrichtung 80 zugeführt. Somit wird der Transfer von Test-Magazinen T zwischen der Austauschstation 30 und der Teststation 70 durchgeführt, während die in 14 bis 19 gezeigten Verfahren wiederholt ausgeführt werden.
Die Verfahren zum Transfer von Test-Magazinen T, die in der Austauschstation 30, Teststation 70 und dem ersten 91 und zweiten 92 Puffer durchgeführt werden, können gemäß der Wahl des Bedieners entsprechend variiert werden.
In der Zwischenzeit sind 20 und 21 Ansichten, welche eine Konfiguration eines Handlers gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellen. Die Grundkonfiguration des Handlers gemäß dieser Ausführungsform ist ähnlich jener von 1.
Nun wird vorausgesetzt, dass in dem Handler gemäß dieser Ausführungsform keine Drehvorrichtung zwischen der Standby-Position SP der Austauschstation 30 und der Teststation 70 angeordnet ist. Stattdessen werden eine erste Drehvorrichtung 180 und eine zweite Drehvorrichtung 280 zwischen dem ersten Magazin-Puffer 91 und den Vorheizkammern 71 und zwischen dem zweiten Magazin-Puffer 92 bzw. den Entfrostungskammern 73 angeordnet. In dieser Ausführungsform wird auch bevorzugt, dass die Magazin-Verschiebevorrichtungen 195, die jeweils angepasst sind, Test-Magazine T zwischen der Standby-Position SP und einem zugehörigen der ersten und zweiten Magazin-Puffer 91 und 92 zu transferieren, oberhalb der ersten und zweiten Drehvorrichtung 180 und 280 angeordnet sind, so dass die Magazin-Verschiebevorrichtungen 195 nicht die Drehung der ersten 180 bzw. zweiten 280 Drehvorrichtung beeinträchtigen.
Dem zufolge wird sich in dieser Ausführungsform, wenn ein neues Test-Magazin T, in welches zu testende Halbleiterbauelemente geladen werden, von der Standby-Position SP zum ersten Magazin-Puffer 91 zugeführt wird, die erste Drehvorrichtung 180 drehen, um das Test-Magazin T zur zugehörigen Vorheizkammer 71 zu transferieren.
In der Zwischenzeit dreht sich, wenn ein Test-Magazin T, in das getestete Halbleiterbauelemente geladen werden, aus der zugehörigen Entfrostungskammer 73 abgegeben wird, die zweite Drehvorrichtung 280, um das Test-Magazin T, bei dem der Test abgeschlossen worden ist, zum zweiten Magazin-Puffer 92 zu transferieren. Das Test-Magazin T wird dann zur Standby-Position SP der Austauschstation 30 zugeführt.
Wenn zwei Drehvorrichtungen 180 und 280 verwendet werden, wie oben beschrieben, wird die Gesamtkonfiguration des Handlers mehr oder weniger komplex. In diesem Fall kann jedoch das Laden von Test-Magazinen in die Vorheizkammern 71 und das Entladen von Test-Magazinen aus den Entfrostungskammern 73 direkt erzielt werden, ohne dass es notwendig ist, das Verfahren, bei dem das Test-Magazin T außerhalb der Drehvorrichtung bewegt wird, wiederholt durchzuführen. Dem zufolge besteht ein Vorteil darin, dass der Gesamtbetrieb einfach ist.
22 und 23 stellen einen Handler gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Diese Ausführungsform zeigt den Fall, in dem Testboards 74, welche eine geringere Größe als die Konstruktionsfläche der Testkammern 72 in der Teststation 70 aufweisen, in den Testkammern 72 befestigbar sind, um eine verbesserte Kompatibilität zu erreichen. Die Grundkonfiguration des Handlers gemäß dieser Ausführungsform ist ähnlich jener der ersten Ausführungsform.
Bei den Handlern gemäß den zuvor beschriebenen Ausführungsformen ist der hintere Bereich jeder Testkammer 72, wo ein Testboard 74 befestigt ist (im Folgenden als ein „Testboardbereich S1" bezeichnet), unter der Annahme gestaltet, dass das Testboard 74, welches dieselbe Größe wie der Testboardbereich S1 und eine maximale Anzahl an gleichzeitig verbindbaren Testbuchsen 742 mit einem maximalen Abstand aufweist, an der Testkammer 72 befestigt ist.
Zum Beispiel kann der Testboardbereich S1 unter der Bedingung gestaltet sein, in welcher angenommen wird, dass das Testboard 74U oder 74L, das ein Maximum von 128 Testbuchsen 742 aufweist (im Folgenden als ein „128-para-Testboard" bezeichnet), befestigt ist. In den zuvor beschriebenen Handlern beträgt die Gesamtanzahl von Testbuchsen 742 natürlich 256, da die Testboards 74U bzw. 74L in zwei Lagen in den Testkammern 72 befestigt sind.
Ferner sind die Größen der Kontakteinheiten 75, Führungsschienen 78, welche die Bewegung von Test-Magazinen T führen, Antriebe und Test-Magazine T so gestaltet, dass sie der Größe der Testboardbereiche S1 entsprechen.
Dem zufolge ist es dort, wo das Testboard 74, das eine maximale Anzahl an Testbuchsen 742 aufweist, an dem Testboardbereich S1 befestigt ist, möglich, einen gewünschten Test durchzuführen, indem das Testboard 74 in dem Testboardbereich S1 ohne jegliche strukturelle Änderung befestigt wird und Träger an dem gesamten Bereich des Test-Magazins befestigt werden.
Wo jedoch das Testboard 74, das eine reduzierte Anzahl an Testbuchsen 742 aufweist, an dem Testboardbereich S1 befestigt ist, zum Beispiel, wo ein Testboard mit 64 Testbuchsen 742 (als „64-para-Testboard" bezeichnet) verwendet wird, oder, wie bei herkömmlichen Testern, oder wo ein Testboard verwendet wird, das dieselbe Anzahl an Testbuchsen 742 wie das oben beschriebene Testboard, aber einen reduzierten Testbuchsenabstand aufweist, ist der Bereich, der durch die Testbuchsen 742 des Testboards 74 belegt wird, reduziert, wie durch „S2" in 22 gezeigt. Dieser reduzierte Bereich wird als ein „reduzierter Testbereich S2" bezeichnet.
Dem zufolge füllt der Bediener dort, wo das 64-para-Testboard verwendet wird, wie oben beschrieben, einen Isolator 77 in einen Raum, der zwischen dem Testboardbereich S1 und dem reduzierten Testbereich S2 verwendet wird, um Luft, die in der Testkammer 72 vorhanden ist, daran zu hindern, nach außen zu entweichen.
Außerdem wird, wie in 24 gezeigt, ein gewünschter Test durchgeführt, unter Verwendung von zwei Arten von Test-Magazinen Tn₁ und Tn₂, die jeweils mit Trägern C nur in einem Bereich davon befestigt sind, der dem reduzierten Testbereich S2 entspricht.
Jedes der Test-Magazine Tn₁ und Tn₂ weist eine seitliche Breite W auf, welche geringer als jene des Test-Magazins ist, das bei dem 128-para-Testboard verwendet wird, aber eine vertikale Länge H, die mit jener des Test-Magazins identisch ist, das bei dem 128-para-Testboard verwendet wird. Dem zufolge ist es möglich, die Test-Magazine Tn₁ und Tn₂ entlang der Führungsschienen 78 (22) zu bewegen, die angepasst sind, die Bewegung der Test-Magazine T in der Teststation 70 zu führen, ohne die Positionen der Führungsschienen 78 zu verschieben.
Da die Test-Magazine Tn₁ bzw. Tn₂ mit Trägern C nur in Bereichen davon versehen sind, welche dem reduzierten Testbereich S2 entsprechen, werden trägerfreie Bereiche A1 und A2, in denen keine Träger befestigt sind, in den restlichen Bereichen des Test-Magazins Tn₁ bzw. Tn₂ gebildet.
In dieser Ausführungsform werden in dem Test-Magazin Tn₁, das zum oberen Testboard 74U (4) zugeführt werden soll, die trägerfreien Bereiche A1 an dem oberen Abschnitt des Test-Magazins Tn₁ ausgebildet. In dem Test-Magazin Tn₂, das zum unteren Testboard 74L (4) zugeführt werden soll, werden die trägerfreien Bereiche A2 hingegen an dem oberen Abschnitt des Test-Magazins Tn₂ ausgebildet.
Das heißt, die trägerfreien Bereiche A1 und A2 der Test-Magazine Tn₁ und Tn₂, die dem oberen und dem unteren Testboard 74U und 74L zugeführt werden, sind einander gegenüberliegend angeordnet.
Wenn ein Test in dem Handler, der zur Verwendung der 128-para-Testboards ausgelegt ist, unter Verwendung der 64-para-Testboards durchgeführt wird, müssen die Test-Magazine Tn₁, die dem oberen Testboard 74U zuzuführen sind, und die Test-Magazine Tn₂, die dem unteren Testboard 74L zuzuführen sind, bereitgestellt werden, nachdem sie in den Vorheizkammern 71 sortiert wurden, da die Test-Magazine Tn₁ und Tn₂ unterschiedliche Strukturen aufweisen.
Zu diesem Zweck erfasst, wie in 22 gezeigt, die Steuerung des Handlers die Art des Test-Magazins, welches das stromabwärtige Ende jeder Vorheizkammer 71 erreicht, und führt einen Steuerungsvorgang durch, um das Test-Magazin dem oberen oder unteren Testboard 74U oder 74L gemäß der Art des erkannten Test-Magazins zuzuführen.
Da das Test-Magazin Tn₁, das dem oberen Testboard 74U zuzuführen ist, und das Test-Magazin Tn₂, das dem unteren Testboard 74L zuzuführen ist, unterschiedliche Strukturen aufweisen, wie oben beschrieben, muss die Steuerung auch den Bewegungsabstand des Test-Magazins in Übereinstimmung mit der Art des Test-Magazins steuern, wenn Halbleiterbauelemente in das/aus dem Test-Magazin in der Austauschstation 30 (1) durch die horizontale Bewegungseinheit 35, welche das Test-Magazin bewegt, geladen/entladen werden, um das Test-Magazin genau unterhalb der kurzen Aufnehmer 61 oder 62 auszurichten.
Obwohl Test-Magazine, welche unterschiedliche Strukturen aufweisen, dem oberen 74U bzw. dem unteren 74L Testboard zugeführt werden, können in dieser Ausführungsform Test-Magazine, welche dieselbe Struktur aufweisen, zugeführt werden, solange die reduzierten Testbereiche S2 der jeweiligen Test-Magazine, die dem oberen und dem unteren Testboard 74U und 74L zugeführt werden, an derselben Position in den Testboardbereichen S1 der Test-Magazine ausgebildet werden.
Obwohl die Testboards so beschrieben wurden, dass sie in zwei Lagen in den jeweiligen Testkammern 72 befestigt sind, ist es in dieser Ausführungsform auch möglich, eine gewünschte Verbesserung der Kompatibilität des Handlers selbst in jenem Fall zu erreichen, in dem ein einzelnes Testboard verwendet wird, solange die Test-Magazine so konfiguriert Sind, dass sie einen Testbereich aufweisen, welcher dem Testboard entspricht.
Gemäß dieser Ausführungsform können unterschiedliche Test-Magazine gemäß der Struktur und Größe des Testboards ohne beträchtliche strukturelle Änderung verwendet werden, wie oben beschrieben.
Dem zufolge ist es möglich, einen gewünschten Test in einem einzelnen Handler unter Verwendung unterschiedlicher Testboards durchzuführen, welche eine unterschiedliche Anzahl an Testbuchsen aufweisen. Somit gibt es insofern Vorteile, als dass es möglich ist, eine Verbesserung der Kompatibilität des Handlers zu erreichen und die Kosten des Handlers zu verringern.
Insbesondere ist es selbst dann, wenn der Trägerabstand aufgrund einer Veränderung bei dem Testbuchsenabstand des Testboards variiert wird, wodurch eine Variation im Testbereich verursacht wird, möglich, einen gewünschten Test durchzuführen, indem in entsprechender Weise nur die Test-Magazine, ohne eine strukturelle Änderung des Handlers, geändert werden.
Wie aus obiger Beschreibung hervorgeht, werden gemäß der vorliegenden Erfindung Halbleiterbauelemente, die der Austauschstation extern zugeführt werden, direkt in der Austauschstation in/aus Test-Magazinen geladen/entladen. Dem zufolge ist es möglich, die Verfahren, die in der Austauschstation durchgeführt werden, zu vereinfachen und die Arbeitszeit in der Austauschstation zu verringern und somit die Anzahl an Halbleiterbauelementen, die gleichzeitig getestet werden können, deutlich zu erhöhen.
Da Magazin-Puffer an gegenüberliegenden Seiten der Austauschstation bereitgestellt werden, um zu ermöglichen, dass Test-Magazine in einer zeitlichen Standby-Position sind; ist es auch möglich, das Verfahren, bei dem Test-Magazine zwischen der Test-Station und der Austauschstation transferiert werden, effizienter auszuführen.
Fachleuten wird klar sein, dass verschiedene Änderungen und Variationen an der vorliegenden Erfindung durchgeführt werden können, ohne vom Geist oder Umfang der Erfindung abzuweichen. Folglich ist beabsichtigt, dass die vorliegende Erfindung die Änderungen und Variationen dieser Erfindung abdeckt, vorausgesetzt, diese fallen in den Umfang der beiliegenden Ansprüche und ihrer Äquivalente.

Claims

Handler zum Testen von Halbleiterbauelementen, umfassend: eine Ladestation, in welcher zu testende Halbleiterbauelemente aufbewahrt werden; eine Entladestation, in welcher getestete Halbleiterbauelemente aufbewahrt werden, nachdem sie gemäß den Testergebnissen der getesteten Halbleiterbauelemente sortiert worden sind; Test-Magazine, die jeweils mit mehreren Trägern versehen sind, um die Halbleiterbauelemente vorübergehend zu halten; eine Austauschstation, welche eine horizontale Bewegungseinheit zum horizontalen Bewegen des Test-Magazins um einen vorbestimmten Abstand an einem Arbeitsort, die in der Austauschstation definiert ist, umfasst, wobei die Austauschstation ein Verfahren zum Laden der Halbleiterbauelemente in die Träger des Test-Magazins und zum Entladen der Halbleiterbauelemente aus den Trägern des Test-Magazins durchführt, während das Test-Magazin um den vorbestimmten Abstand bewegt wird; eine Teststation, in welcher mindestens ein Testboard, das mehrere Testbuchsen aufweist, die mit Halbleiterbauelementen elektrisch verbunden werden sollen, befestigt ist, wobei die Teststation einen Test durchführt, während die Halbleiterbauelemente in den Test-Magazinen, welche von der Austauschstation zu der Teststation zugeführt werden, an die Testbuchsen angeschlossen werden; Vorrichtungstransfereinheiten zum Transfer von Halbleiterbauelementen zwischen der Ladestation und der Austauschstation, um die Halbleiterbauelemente in die Träger der Test-Magazine zu laden und die Halbleiterbauelemente zwischen der Austauschstation und der Entladestation zu transferieren, um die Halbleiterbauelemente aus den jeweiligen Trägern der Test-Magazine zu entladen; und eine Magazin-Transfereinheit zum Transfer der Test-Magazine zwischen der Austauschstation und der Teststation.
Handler nach Anspruch 1, ferner umfassend: eine vertikale Bewegungseinheit zum vertikalen Bewegen des Test-Magazins zwischen dem Arbeitsplatz der Austauschstation und einer Standby-Position, welche in der Austauschstation unterhalb der Arbeitsposition definiert ist, und an der ein Test-Magazin-Transferverfahren durch die Magazin-Transfereinheit ausgeführt wird.
Handler nach Anspruch 2, wobei die vertikale Bewegungseinheit umfasst: einen pneumatischen Zylinder, der fest an einer Seite der Standby-Position der Austauschstation angeordnet ist, einen bewegbaren Block, der vertikal durch den pneumatischen Zylinder bewegbar ist; und eine Haltevorrichtung, die an dem bewegbaren Block so befestigt ist, dass die Haltevorrichtung in eine Einführöffnung eingeführt werden kann, die an dem Test-Magazin gebildet und angepasst ist, das Test-Magazin zu halten oder freizugeben.
Handler nach Anspruch 3, wobei die vertikale Bewegungseinheit ferner umfasst: einen Drehzylinder, der drehbar an dem bewegbaren Block befestigt und angepasst ist, die Haltevorrichtung in eine Position unterhalb und außerhalb des Test-Magazins zu drehen.
Handler nach Anspruch 2, ferner umfassend: mindestens einen Magazin-Puffer, der an mindestens einer Seite der Standby-Position der Austauschstation angeordnet und angepasst ist, das Test-Magazin, das von der Standby-Position aus zugeführt wird, aufzunehmen, um dem Test-Magazin zu ermöglichen, eine Standby-Position einzunehmen; und mindestens eine Magazin-Verschiebevorrichtung, die geeignet ist, das Test-Magazin zwischen der Standby-Position und dem Magazin-Puffer zu transferieren.
Handler nach Anspruch 5, wobei der mindestens eine Magazin-Puffer erste und zweite Magazin-Puffer umfasst, die jeweils auf demselben Niveau an gegenüberliegenden Seiten der Standby-Position der Austauschstation angeordnet sind, wobei jeder erste und zweite Magazin-Puffer das Test-Magazin aufnehmen, das horizontal von der Standby-Position aus zugeführt wird, um dem Test-Magazin zu ermöglichen, eine Standby-Position einzunehmen.
Handler nach Anspruch 5, wobei die Magazin-Verschiebevorrichtung umfasst: mindestens einen stablosen Zylinder, der aus dem Magazin-Puffer zur Standby-Position der Austauschstation ausgezogen werden kann; einen Halteblock, der an dem stablosen Zylinder so befestigt ist, dass der Halteblock zusammen mit dem stablosen Zylinder bewegt werden kann, und einen Haltezapfen, der so an dem Halteblock befestigt ist, dass der Haltezapfen durch einen pneumatischen Zylinder bewegt werden kann, der an dem Halteblock befestigt ist, um das Test-Magazin selektiv zu halten oder freizugeben.
Handler nach Anspruch 7, wobei der Halteblock in Bezug auf das Test-Magazin durch einen pneumatischen Zylinder, der an dem stablosen Zylinder befestigt ist, vertikal bewegbar ist.
Handler nach Anspruch 2, wobei die Magazin-Transfereinheit umfasst: eine Drehvorrichtung, die zwischen einem stromabwärtigen Ende der Teststation und der Standby-Position der Austauschstation so angeordnet ist, dass die Drehvorrichtung in einem Winkel von 90° drehbar ist, um das Test-Magazin zwischen dem stromaufwärtigen Ende der Teststation und der Standby-Position der Austauschstation zu transferieren, während das Test-Magazin, zwischen einer horizontalen Position und einer vertikalen Position verändert wird.
Handler nach Anspruch 9, wobei die Drehvorrichtung umfasst: eine Drehwelle, die drehbar an dem hinteren Teil der Austauschstation angeordnet ist; einen Rahmen, der an einem oberen Ende davon an der Drehwelle so befestigt ist, dass der Rahmen gemäß der Drehung der Drehwelle drehbar ist; eine obere Führungsschiene, die an einem oberen Abschnitt des Rahmens so befestigt ist, dass die obere Führungsschiene vertikal bewegbar und angepasst ist, einen oberen Rand des Test-Magazins zu stützen; eine untere Führungsschiene, die an einem unteren Abschnitt des Rahmens so befestigt ist, dass die untere Führungsschiene vertikal bewegbar und angepasst ist, einen unteren Rand des Test-Magazins zu stützen; ein Paar von Haltevorrichtungen, die jeweils an der oberen Führungsschiene an gegenüberliegenden Seiten der oberen Führungsschiene befestigt und angepasst sind, das Test-Magazin zu halten oder freizugeben; Drehmittel zum Drehen der Drehwelle; und Schienenbewegungsmittel zum vertikalen Bewegen der oberen und unteren Führungsschienen.
Handler nach Anspruch 6, wobei die Magazin-Transfereinheit umfasst: Magazin-Verschiebevorrichtungen, die jeweils angepasst sind, das Test-Magazin horizontal zwischen der Austauschstation und einem zugehörigen des ersten und zweiten Magazin-Puffers zu transferieren; eine erste Drehvorrichtung, die zwischen dem ersten Magazin-Puffer und einer Test-Magazin-Einlassposition der Teststation so angeordnet ist, dass die Drehvorrichtung in einem Winkel von 90° drehbar ist, um das Test-Magazin, das in einer horizontalen Position an dem ersten Magazin-Puffer angeordnet ist, zur Teststation zu transferieren, nachdem das Test-Magazin von der horizontalen Position in eine vertikale Position verändert wurde; und eine zweite Drehvorrichtung, die zwischen dem zweiten Magazin-Puffer und einer Test-Magazin-Auslassposition der Teststation so angeordnet wurde, dass die Drehvorrichtung in einem Winkel von 90° drehbar ist, um das Test-Magazin, das in der vertikalen Position in der Teststation angeordnet ist, zum zweiten Magazin-Puffer zu transferieren, nachdem das Test-Magazin von der vertikalen in die horizontale Position verändert wurde.
Handler nach Anspruch 1, wobei die Vorrichtungstransfereinheit umfasst: mindestens einen Aufnehmer, der sowohl über der Ladestation, der Entladestation und der Austauschstation so angeordnet ist, dass der Aufnehmer horizontal und vertikal bewegbar ist, um Halbleiterbauelemente in einem Zustand des Anziehens der Halbleiterbauelemente durch Vakuum zu transferieren.
Handler nach Anspruch 12, wobei der mindestens eine Aufnehmer umfasst: einen Ladeaufnehmer, der angeordnet ist, um sich zwischen der Ladestation und der Austauschstation zu bewegen, und der angepasst ist, die Halbleiterbauelemente von der Ladestation zur Austauschstation zu transferieren und die zugeführten Halbleiterbauelemente in das Test-Magazin zu laden; und einen Entladeaufnehmer, der angeordnet ist, um sich zwischen der Austauschstation und der Entladestation zu bewegen, und der angepasst ist, die Halbleiterbauelemente aus dem Test-Magazin zu entladen und die entladenen Halbleiterbauelemente zur Entladestation zu transferieren.
Handler nach Anspruch 1, ferner umfassend: mindestens einen Ladepuffer, der zwischen der Ladestation und der Austauschstation angeordnet und angepasst ist, die zu testenden Halbleiterbauelemente aufzunehmen, um den aufgenommenen Halbleiterbauelementen zu ermöglichen, eine zeitliche Standby-Position einzunehmen, und mindestens einen Entladepuffer, der zwischen der Austauschstation und der Entladestation angeordnet und angepasst ist, die getesteten Halbleiterbauelemente aufzunehmen, um den aufgenommenen Halbleiterbauelementen zu ermöglichen, eine zeitliche Standby-Position einzunehmen.
Handler nach Anspruch 14, wobei die Vorrichtungstransfereinheit umfasst: mindestens einen ersten Aufnehmer, der zwischen der Ladestation und dem Ladepuffer und zwischen dem Entladepuffer und der Entladestation bewegbar ist, um die zu testenden Halbleiterbauelemente und die getesteten Halbleiterbauelemente zu transferieren; und mindestens einen zweiten Aufnehmer, der zwischen dem Ladepuffer und der Austauschstation und zwischen der Austauschstation und dem Entladepuffer bewegbar ist, um die zu testenden Halbleiterbauelemente und die getesteten Halbleiterbauelemente zu transferieren.
Handler nach Anspruch 15, wobei der mindestens eine erste Aufnehmer umfasst: einen ersten Ladeaufnehmer, der zwischen der Ladestation und dem Ladepuffer bewegbar ist, um die zu testenden Halbleiterbauelemente zu transferieren, und einen ersten Entladeaufnehmer, der zwischen dem Entladepuffer und der Entladestation bewegbar ist, um die getesteten Halbleiterbauelemente zu transferieren.
Handler nach Anspruch 15, wobei der erste Aufnehmer einen Halbleiterbauelementsabstand aufweist, der zwischen einem Halbleiterbauelementsabstand in der Ladestation und einem Halbleiterbauelementsabstand in den Puffern variiert werden kann.
Handler nach Anspruch 14, wobei die Puffer jeweils an gegenüberliegenden Seiten der Austauschstation angeordnet sind.
Handler nach Anspruch 18, wobei die Vorrichtungstransfereinheit umfasst: einen ersten Aufnehmer und einen zweiten Aufnehmer, die unabhängig zwischen der Ladestation und dem Ladepuffer und zwischen dem Entladepuffer und der Entladestation bewegbar sind, um die zu testenden Halbleiterbauelemente bzw. die getesteten Halbleiterbauelemente zu transferieren und einen dritten und einen vierten Aufnehmer, die unabhängig zwischen einem der Puffer und der Austauschstation und zwischen dem anderen der Puffer und der Austauschstation bewegbar sind, um die zu testenden Halbleiterbauelemente bzw. die getesteten Halbleiterbauelemente zu transferieren.
Handler nach Anspruch 19, wobei die Vorrichtungstransfereinheit ferner umfasst: einen fünften und einen sechsten Aufnehmer, die jeweils parallel zum dritten und vierten Aufnehmer angeordnet und angepasst sind, die zu testenden Halbleiterbauelemente und die getesteten Halbleiterbauelemente zwischen dem einen Puffer und der Austauschstation und zwischen dem anderen Puffer und der Austauschstation zu transferieren.
Handler nach Anspruch 14, ferner umfassend: eine Pufferbewegungseinheit zum Bewegen der Puffer um einen vorbestimmten Abstand.
Handler nach Anspruch 1, wobei die Teststation umfasst: eine Vorheizkammer zum Vorheizen oder Vorkühlen der Test-Magazine, die der Teststation zugeführt werden, wobei die Vorheizkammer eine Erwärmungs- oder Kühlungsatmosphärenbildende Einheit aufweist, die angepasst ist, das Innere der Vorheizkammer auf eine vorbestimmte Temperatur zu erhitzen oder zu kühlen; eine Testkammer zum Testen der Test-Magazine, die der Teststation bei einer vorbestimmten Temperatur zugeführt werden, wobei die Testkammer eine Erhitzungs- oder Kühlungsatmosphärenbildende Einheit aufweist, die angepasst ist, das Innere der Testkammer auf die vorbestimmte Temperatur zu erhitzen oder zu kühlen, und mindestens ein Testboard, das an einem hinteren Teil der Testkammer abnehmbar befestigt ist; und eine Entfrostungskammer, um die in der Testkammer getesteten Halbleiterbauelemente auf einen Raumtemperaturzustand rückzuführen, wobei die Entfrostungskammer eine Erwärmungs- oder Kühlungsatmosphären-bildende Einheit aufweist, welche angepasst ist, dass Innere der Entfrostungskammer auf eine vorbestimmte Temperatur zu erhitzen oder zu kühlen.
Handler nach Anspruch 22, wobei das mindestens eine Testboard zwei Testboards umfasst, die jeweils in zwei Lagen am hinteren Teil der Testkammer angeordnet sind, um zu ermöglichen, dass die Halbleiterbauelemente zweier Test-Magazine getestet werden.
Handler nach Anspruch 23, ferner umfassend: eine Hebevorrichtung, die an einem hinteren Ende von jeder der Vorheiz- und Entfrostungskammern so angeordnet ist, dass die Hebevorrichtung vertikal bewegbar ist und angepasst ist, die Test-Magazine vertikal zu bewegen.
Handler nach Anspruch 1, wobei die horizontale Bewegungseinheit umfasst: Führungsschienen, die in der Austauschstation angeordnet sind, um sich nach vorne und nach hinten zu erstrecken; ein Paar bewegbarer Blöcke, die jeweils entlang der Führungsschienen bewegbar sind; eine vordere Haltevorrichtung, die an gegenüberliegenden Enden davon an jeweiligen vorderen Enden der bewegbaren Blöcke so befestigt sind, dass die vordere Haltevorrichtung nach vorne und nach hinten bewegbar und angepasst ist, einen unteren Rand des Test-Magazins zu halten, das in der Austauschstation aufgenommen ist; eine hintere Haltevorrichtung, die an gegenüberliegenden Seiten davon an jeweiligen hinteren Enden der bewegbaren Blöcke so befestigt ist, dass die hintere Haltevorrichtung nach vorne und nach hinten bewegbar ist und angepasst ist, einen oberen Rand des Test-Magazins zu halten; mehrere pneumatische Zylinder, die an den bewegbaren Blöcken befestigt und angepasst sind, die vordere und die hintere Haltevorrichtung zu bewegen; und einen linearen Antrieb zum horizontalen Bewegen der bewegbaren Blöcke entlang der Führungsschienen.
Handler nach Anspruch 1, wobei jedes der Test-Magazine umfasst: einen Trägerbereich, wo die Träger des Test-Magazins angeordnet sind, wobei der Trägerbereich einem Testbereich des Testboards entspricht, welcher durch die Testbuchsen des Testboards belegt wird; und einen trägerfreien Bereich, wo die Träger des Test-Magazins nicht angeordnet sind, wobei der trägerfreie Bereich eine vorbestimmte Größe aufweist und einem Bereich des Testboards entspricht, der nicht der Testbereich ist.
Handler nach Anspruch 23, wobei jedes der Test-Magazine umfasst: einen Trägerbereich, wo die Träger des Test-Magazins angeordnet sind, wobei der Trägerbereich einem Testbereich des Testboards entspricht, der durch die Testbuchsen des Testboards belegt wird; und einen trägerfreien Bereich, wo die Träger des Test-Magazins nicht angeordnet sind, wobei der trägerfreie Bereich eine vorbestimmte Größe aufweist und einem Bereich des Testboards entspricht, der nicht der Testbereich ist.
Handler nach Anspruch 27, wobei der trägerfreie Bereich jedes Test-Magazins, das einer oberen der zwei Lagen in der Testkammer zugeführt wird, und der trägerfreie Bereich jedes Test-Magazins, das einer unteren der zwei Lagen in der Testkammer zugeführt wird, jeweils an verschiedene Positionen angeordnet sind.
Handler nach Anspruch 28, wobei der Trägerbereich und der trägerfreie Bereich jedes Test-Magazins, das der oberen Lage in der Testkammer zugeführt wird, gegenüber dem Trägerbereich und dem trägerfreien Bereich jedes Test-Magazins angeordnet sind, das der unteren Lage in der Testkammer zugeführt wird.
Handler nach Anspruch 29, wobei der trägerfreie Bereich jedes Test-Magazins, das der oberen Lage in der Testkammer zugeführt wird, in einem oberen Teil des Test-Magazins der oberen Lage angeordnet ist, und der trägerfreie Bereich jedes Test-Magazins, das der unteren Lage in der Testkammer zugeführt wird, in einem unteren Abschnitt des Test-Magazins der unteren Lage angeordnet ist.
Handler zum Testen von Halbleiterbauelementen, umfassend: eine Ladestation, in welcher zu testende Halbleiterbauelemente aufbewahrt werden; eine Entladestation, in welcher getestete Halbleiterbauelemente aufbewahrt werden, nachdem sie gemäß den Testergebnissen der getesteten Halbleiterbauelemente sortiert wurden; Test-Magazine, von denen jedes mit mehreren Trägern zum vorübergehenden Halten der Halbleiterbauelemente versehen ist; eine Austauschstation, welche eine vertikale Bewegungseinheit zum vertikalen Bewegen eines ausgewählten der Test-Magazine zwischen einer Standby-Position bzw. einer Arbeitsposition, die jeweils in unteren und oberen Positionen in der Austauschstation definiert sind, und eine horizontale Bewegungseinheit zum horizontalen Bewegen des Test-Magazins um einen vorbestimmten Abstand an der Arbeitsposition umfasst, wobei die Austauschstation ein Verfahren zum Laden der Halbleiterbauelemente in die Träger des Test-Magazins oder zum Entladen der Halbleiterbauelemente aus den Trägern des Test-Magazins durchführt, während das Test-Magazin um den vorbestimmten Abstand bewegt wird; eine Teststation, in der mindestens ein Testboard, das mehrere Testbuchsen aufweist, die elektrisch mit Halbleiterbauelementen zu verbinden sind, befestigt ist, wobei die Teststation einen Test durchführt, während die Halbleiterbauelemente in einem der Test-Magazine, die von der Austauschstation zur Teststation zugeführt werden, mit den Testbuchsen verbunden werden; mehrere Puffer, die zwischen der Ladestation und der Austauschstation und zwischen der Austauschstation und der Entladestation angeordnet und angepasst sind, die zu testenden Halbleiterbauelemente und die getesteten Halbleiterbauelemente aufzunehmen, um zu ermöglichen, dass die aufgenommenen Halbleiterbauelemente eine zeitliche Standby-Position einnehmen; mindestens einen ersten Aufnehmer, der zwischen der Ladestation und Ladepuffern und zwischen Entladepuffern und der Entladestation bewegt werden kann, um die zu testenden Halbleiterbauelemente und die getesteten Halbleiterbauelemente zu transferieren; und mindestens einen zweiten Aufnehmer, der zwischen den Ladepuffern und der Austauschstation und zwischen der Austausch station und den Entladepuffern bewegbar ist, um die zu testenden Halbleiterbauelemente und die getesteten Halbleiterbauelemente zu transferieren; erste und zweite Magazin-Puffer, die jeweils an gegenüberliegenden Seiten der Standby-Position der Austauschstation angeordnet sind; Magazin-Verschiebevorrichtungen, die jeweils angepasst sind, das Test-Magazin horizontal zwischen der Austauschstation und einem zugehörigen der ersten und zweiten Magazin-Puffer zu transferieren; und eine Magazin-Transfereinheit für den Transfer der Test-Magazine zwischen der Austauschstation und der Teststation.
Handler nach Anspruch 31, wobei die Magazin-Transfereinheit umfasst: eine Drehvorrichtung, die zwischen einem stromaufwärtigen Ende der Teststation und der Standby-Position der Austauschstation so angeordnet ist, dass die Drehvorrichtung in einem Winkel von 90° drehbar ist, um das Test-Magazin zwischen dem stromaufwärtigen Ende der Teststation und der Standby-Position der Austauschstation zu transferieren, während das Test-Magazin, zwischen einer horizontalen Position und einer vertikalen Position verändert wird.
Handler nach Anspruch 31, wobei die Magazin-Transfereinheit umfasst: eine erste Drehvorrichtung, die zwischen dem ersten Magazin-Puffer und einer Vorheizkammer der Teststation so angeordnet ist, dass die Drehvorrichtung in einem Winkel von 90° drehbar ist, um das Test-Magazin, das in einer horizontalen Position an dem ersten Magazin-Puffer angeordnet ist, zur Teststation zu transferieren, nachdem das Test-Magazin von einer horizontalen Position in eine vertikale Position verändert wurde; und eine zweite Drehvorrichtung, die zwischen dem zweiten Magazin-Puffer und einer Entfrostungskammer der Teststation so angeordnet ist, dass die Drehvorrichtung in einem Winkel von 90° drehbar ist, um das Test-Magazin, das in der vertikalen Position in der Teststation angeordnet ist, zum zweiten Magazin-Puffer zu transferieren, nachdem das Test-Magazin von der vertikalen Position in die horizontale Position verändert wurde.
Handler nach Anspruch 31, wobei der mindestens eine erste Aufnehmer mehrere Aufnehmer umfasst, die angepasst sind, die Halbleiterbauelemente zu transferieren, während sie sich unabhängig bewegen.
Handler nach Anspruch 31, wobei der mindestens zweite Aufnehmer umfasst: mindestens einen ersten kurzen Aufnehmer, der zwischen den Ladepuffern und der Austauschstation hin- und herbewegbar ist, um die zu testenden Halbleiterbauelemente zu transferieren; und mindestens einen zweiten kurzen Aufnehmer, der zwischen den Entladepuffern und der Austauschstation hin- und herbewegbar ist, um die getesteten Halbleiterbauelemente zu transferieren.
Handler nach Anspruch 35, wobei: der mindestens eine erste kurze Aufnehmer zwei Aufnehmer umfasst, die unabhängig horizontal bewegbar sind; und der mindestens eine zweite kurze Aufnehmer zwei Aufnehmer umfasst, die unabhängig horizontal bewegbar sind.
Handler nach Anspruch 31, wobei der erste Aufnehmer einen Halbleiterbauelementsabstand aufweist, der zwischen einem Halbleiterbauelementsabstand in der Ladestation und einem Halbleiterbauelementsabstand in den Puffern variierbar ist.
Handler nach Anspruch 31, wobei die Teststation umfasst: eine Vorheizkammer zum Vorheizen oder Vorkühlen der Test-Magazine, die der Teststation zugeführt werden, wobei die Vorheizkammer eine Erhitzungs- oder Kühlungsatmosphärenbildende Einheit aufweist, die angepasst ist, das Innere der Vorheizkammer auf eine vorbestimmte Temperatur zu erwärmen oder zu kühlen; eine Testkammer zum Testen der Test-Magazine, die der Teststation bei einer vorbestimmten Temperatur zugeführt werden, wobei die Testkammer eine Erhitzungs- oder Kühlungsatmosphärenbildende Einheit aufweist, die angepasst ist, das Innere der Testkammer auf die vorbestimmte Temperatur zu erhitzen oder zu kühlen, und mindestens ein Testboard, das in einem hinteren Teil der Testkammer abnehmbar befestigt ist; und eine Entfrostungskammer, um die Halbleiterbauelemente, die in der Testkammer getestet werden, in einen Raumtemperaturzustand zu bringen, wobei die Entfrostungskammer eine Erhitzungs- oder Kühlungsatmosphären-bildende Einheit aufweist, welche angepasst ist, das Innere der Entfrostungskammer auf eine vorbestimmte Temperatur zu erwärmen oder zu kühlen.
Handler nach Anspruch 38, wobei das mindestens eine Testboard zwei Testboards umfasst, die jeweils in zwei Lagen am hinteren Teil der Testkammer angeordnet sind, um zu ermöglichen, dass die Halbleiterbauelemente zweier Test-Magazine getestet werden.
Handler nach Anspruch 31, wobei jedes der Test-Magazine umfasst: einen Trägerbereich, wo die Träger des Test-Magazins angeordnet werden, wobei der Trägerbereich einem Testbereich des Testboards entspricht, der durch die Testbuchsen des Testboards belegt wird; und einen trägerfreien Bereich, wo die Träger des Test-Magazins nicht angeordnet sind, wobei der trägerfreie Bereich eine vorbestimmte Größe aufweist und einem Bereich des Testboards entspricht, der nicht der Testbereich ist.
Handler nach Anspruch 39, wobei jedes der Test-Magazine umfasst: einen Trägerbereich, wo die Träger des Test-Magazins angeordnet sind, wobei der Trägerbereich einem Testbereich des Testboards entspricht, der durch die Testbuchsen des Testboards belegt ist; und einen trägerfreien Bereich, wo die Träger des Test-Magazins nicht angeordnet sind, wobei der trägerfreie Bereich eine vorbestimmte Größe aufweist und einem Bereich des Testboards entspricht, der nicht der Testbereich ist.
Handler nach Anspruch 41, wobei der trägerfreie Bereich jedes Test-Magazins, das einer oberen der zwei Lagen in der Testkammer zugeführt wird, und der trägerfreie Bereich jedes Test-Magazins, das einer unteren der zwei Lagen in der Testkammer zugeführt wird, jeweils an unterschiedlichen Positionen angeordnet sind.
Handler nach Anspruch 42, wobei der Trägerbereich und der trägerfreie Bereich jedes Test-Magazins, das der oberen Lage in der Testkammer zugeführt wird, gegenüber dem Trägerbereich und dem trägerfreien Bereich jedes Test-Magazins angeordnet sind, das der unteren Lage in der Testkammer zugeführt wird.
Handler nach Anspruch 43, wobei der trägerfreie Bereich jedes Test-Magazins, das der oberen Lage in der Testkammer zugeführt wird, an einem oberen Teil des Test-Magazins der oberen Lage angeordnet ist, und der trägerfreie Bereich jedes Test-Magazins, das der unteren Lage in der Testkammer zugeführt wird, an einem unteren Teil des Test-Magazins der unteren Lage angeordnet ist.