DE19519454A1 - Bausteintransportvorrichtung für IC-Prüfgerät - Google Patents
Bausteintransportvorrichtung für IC-PrüfgerätInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung für ein IC-
Prüfgerät- oder Prüfungshandhabungssystem, durch den IC-Vor
richtungen oder Bausteine von einem Zufuhrtablett zu einem
Kontaktabschnitt für einen elektrischen Prüfvorgang und an
schließend vom Kontaktabschnitt zu einem Speichertablett
transportiert werden.
Nachstehend wird unter Bezug auf die Fig. 6, 7 und 8
eine herkömmliche Bausteintransportvorrichtung für ein IC-
Prüfgerät- oder Prüfungshandhabungssystem beschrieben. Diese
Vorrichtung besteht aus einem Zufuhrpufferabschnitt 40, ei
ner wärmeisolierenden Wand 54, einer Durchwärmungskammer
110, einem Dreharm 120, einem Meßabschnitt 70, einem
Speicherpufferabschnitt 50 und einer Transportvorrichtung
aus mehreren Trägermodulen oder Näpfen 100. Als Transportan
trieb werden für diesen Zweck Antriebsquellen wie beispiels
weise ein Schrittmotor oder ein Servomotor und eine Kombina
tion aus Riemen, Zahnrädern und Drehspindelvorrichtungen
verwendet.
Ein Saugabschnitt für IC-Bausteine 71 ist am Ende des
Dreharms 120 angeordnet, wie in Fig. 8 dargestellt, und
weist ein Saugkissen oder einen Saugansatz 82, durch den der
IC-Baustein 71 angesaugt wird, einen Saugarm 80 und eine
Aufwärts/Abwärts-Antriebsvorrichtung 84 auf. Ein von einer
Dampfstrahlpumpe für eine externe Saugsteuerung erzeugter
Luftregulierungsdruck 83 zum Einstellen eines Unterdrucks
oder eines Atmosphärendrucks, ist mit dem Saugarm 80 verbun
den und wird dem Saugansatz 82 zugeführt. Der Baustein 71
wird durch den Luftdruck im Saugansatz 82 angesaugt bzw.
freigegeben. Durch die Aufwärts/Abwärts-Antriebsvorrichtung
84, in der ein Zylinder oder ein Solenoid verwendet wird und
die durch ein Steuersignal 85 gesteuert wird, wird der Bau
stein 71 durch einen Aufwärts- oder Abwärtshub bewegt.
Innerhalb der wärmeisolierenden Wand 54 ist eine Kon
stanttemperaturkammer mit einer wärmeisolierenden Struktur
zum Erwärmen bzw. Abkühlen der Bausteine angeordnet, um den
Bausteinen eine gewünschte Temperatur zu verleihen, bis
diese im Meßabschnitt 70 geprüft werden. Um die zu prüfenden
Bausteine auf der konstanten Temperatur zu halten, müssen
diese für mindestens eine vorgegebene Zeitdauer innerhalb
der Konstanttemperaturkammer gehalten werden. Daher ist die
Durchwärmungskammer so aufgebaut, daß diese vorgegebene
Zeitdauer erreicht wird. Innerhalb der wärmeisolierenden
Wand 54 ist die Struktur derart, daß Trägermodule 100 durch
laufen können, um die Bausteine zuzuführen bzw. zu spei
chern.
Hierbei wird die Zeitdauer zwischen dem Zeitpunkt, wenn
ein Baustein in der Konstanttemperaturkammer angeordnet
wird, und dem Zeitpunkt, wenn der Baustein eine konstante
Temperatur erreicht, als "Durchwärmungszeit" bezeichnet. Au
ßerdem wird die Zeitdauer zwischen dem Ende des elektrischen
Prüfvorgangs eines Bausteins und dem Beginn des Prüfvorgangs
für den nächsten Baustein als "Indexzeit" bezeichnet. Die
Zeitdauer zwischen dem Beginn und dem Ende des elektrischen
Prüfvorgangs des Bausteins wird als "Prüfzeit" bezeichnet.
Ferner wird die Summe aus der Indexzeit und der Prüfzeit als
"Zykluszeit" bezeichnet. Außerdem wird die Zeitdauer der
Bausteinprüfzeit von dem Zeitpunkt, wenn der Baustein aus
dem Zufuhrtablett herausgenommen wird, und dem Zeitpunkt,
wenn der Baustein im Speichertablett angeordnet wird, als
"Ausgabezeit" bezeichnet.
Der Transport der Bausteine 71 wird durch eine Vorrich
tung durchgeführt, die die Trägermodule einschließt. Ein
Fach 13, in dem ein oder mehrere Bausteine angeordnet sind,
wird auf dem Trägermodul 100 angeordnet, das bewegt und
transportiert wird. Die Trägermodultransportvorrichtung ist
so angeordnet, daß die Trägermodule 100 durch eine Drehbewe
gung bewegt werden, wobei für jeden Weg der Trägermodule 100
eine Transportvorrichtung vorgesehen ist. Der Weg beginnt an
einem Zufuhrpufferabschnitt 40 und erstreckt sich über Wege
201, 205, 206, 207 und 208 und zurück.
Mehrere Trägermodule 100, deren Fächer gemäß der Konfi
guration (DIP, SOP, QFP usw.) der zu tragenden Bausteine ge
formt sind, können leicht durch andere Trägermodule ersetzt
werden, wenn die Konfiguration der Bausteine sich ändert.
Der Zufuhrpufferabschnitt 40 weist einen y-Zufuhrarm 41,
einen x-Zufuhrarm 42 und ein Zufuhrtablett 43 auf. Am Ende
des y-Zufuhrarms 41 ist ein Saugabschnitt 45 angeordnet. Der
Transportvorgang wird folgendermaßen durchgeführt: zunächst
werden der y-Zufuhrarm 41 und der x-Zufuhrarm 42 bewegt, um
einen Baustein durch eine Saugkraft über dem Zufuhrtablett
43 aufzunehmen; daraufhin wird der Baustein zur Fachposition
des Trägermoduls 100 an der Position 200 transportiert und
anschließend freigegeben. Dieser Vorgang wird für jeden zu
geführten Baustein wiederholt.
Der Baustein 71 auf dem Trägermodul 100 an der Position
200 wird über den Weg 201 durch eine Vorrichtung für einen
horizontalen Transport zur Durchwärmungskammer 110 transpor
tiert, nachdem der Baustein die wärmeisolierende Wand 54
durchläuft. Die Durchwärmungskammer 110 ist ein Puffer, der
dazu verwendet wird, eine Zeitdauer, d. h. die Durchwär
mungszeit, bereitzustellen, die erforderlich ist, um die
Bausteine 71 in der Konstanttemperaturkammer auf eine vorge
gebene Temperatur zu erwärmen bzw. abzukühlen. In dieser
Durchwärmungskammer sind mehrere Trägermodule 100 an
geordnet, um die Indexzeit der IC-Handhabungseinrichtung zu
vermindern. Das zur Durchwärmungskammer 110 transportierte
Trägermodul 100 bewegt sich, wie in Fig. 7 dargestellt,
schrittweise über einen Weg 202 zum benachbarten Weg 203,
über den Weg 204 nach unten und erreicht auf dem Weg 205 den
Saugabschnitt 121a der Zufuhr-Armposition des Dreharms 120.
Auf dem Dreharm 120 sind vier Arme vorgesehen. Am Ende
jedes Arms sind Saugabschnitte 121a, 121b, 121c bzw. 121d
angeordnet. Der erste Arm an der Zufuhrposition des Dreharms
120 bewegt den Saugabschnitt 121a nach unten, nimmt den im
Fach auf dem Trägermodul angeordneten Baustein durch eine
Saugkraft auf und bewegt sich daraufhin nach oben. Ein am
zweiten Arm des Dreharms 120 angeordneter Baustein befindet
sich lediglich in Wartestellung.
Der dritte Arm an der Meßposition des Dreharms 120 be
wegt einen am Saugabschnitt 121c angeordneten Baustein 71
nach unten und ordnet den Baustein 71 auf den Kontakten des
Meßabschnitts 70 an, wo der elektrische Prüfvorgang durchge
führt wird. Der dritte Arm nimmt den Baustein nach Abschluß
des elektrischen Prüfvorgangs durch Ansaugen auf und bewegt
sich dann nach oben. Hierbei kommen im Meßabschnitt 70 An
schlüsse des vom Dreharm 120 zugeführten Bausteins 71 mit
Elektroden für den elektrischen Prüfvorgang in Kontakt, so
daß verschiedene elektrische Prüfungen durchgeführt werden
können.
Der vierte Arm des Dreharms 120 an der Speicherposition
senkt den am Saugabschnitt 121d angeordneten Baustein 71
herab und gibt ihn frei, so daß er im Fach des Trägermoduls
100 angeordnet wird. Dieses Trägermodul ist leer, nachdem es
die Wege 205 und 206 durchlaufen hat. Die vorstehend erwähn
ten vier Arme sind Drehtransportvorrichtungen, durch die die
zu messenden oder die gemessenen Bausteine angesaugt werden,
die Bausteine zu einem Meßabschnitt transportiert werden und
die Bausteine nach den Messungen freigegeben werden, wobei
die Drehtransportvorrichtungen sich in jedem Zyklus drehen
und zum nächsten Verarbeitungsschritt bewegen.
Das am Saugabschnitt 121d angeordnete Trägermodul 100,
auf dem ein Baustein 71 nach den Messungen transportiert
wird, erreicht auf dem Weg 207 die Position 210 des y-Spei
cherarms 51. Der Speicherpufferabschnitt 50 weist einen y-
Speicherarm 51, einen x-Speicherarm 52 und ein Spei
chertablett 53 auf. Am Ende des y-Speicherarms 51 ist ein
Saugabschnitt 55 angeordnet. In einem Speichertransportvor
gang werden, nachdem der Baustein 100 an der Position 210
unter Verwendung des Saugabschnitts 55 angehoben wurde, der
y-Speicherarm 51 und der x-Speicherarm 52 bewegt, wobei,
nachdem der Baustein 100 zu einer vorgegebenen Position des
Speichertabletts 53 transportiert wurde, der Baustein frei
gegeben und in einem Fach des Speichertabletts 53 angeordnet
wird. Dieser Speichervorgang wird wiederholt ausgeführt.
Wie vorstehend beschrieben, ist bei der herkömmlichen
Bausteintransportvorrichtung der Aufbau der Durchwär
mungskammer 110 aufgrund vieler Transportvorgänge komplex.
Außerdem sind die Kosten der Vorrichtung aufgrund der vielen
benötigten Transportantriebseinrichtungen sehr hoch. Darüber
hinaus ist für die Durchwärmungskammer 110 ein großer Auf
stellplatz und eine große Konstanttemperaturkammer erforder
lich, was nicht erwünscht ist.
Außerdem nimmt die Anzahl der Transportschritte der
Trägermodule 100 bei der herkömmlichen Transportvorrichtung
zu, weil die Bausteine auf den Trägermodulen 100 transpor
tiert werden, wodurch eine unnötig aufwendige Vorrichtung
erforderlich ist, deren Aufbau für die Handhabungseinrich
tung nicht geeignet ist, die eine lange Lebensdauer aufwei
sen und zuverlässig sein muß. Außerdem wird einer der vier
Arme des Dreharms 120 nicht verwendet, wodurch erhöhte
Kosten für dessen Saugabschnitt entstehen.
Außerdem kann die Vorrichtung nicht leicht geändert
werden, um die Anzahl der in der Durchwärmungskammer 110
aufzunehmenden Trägermodule 100 zu ändern. Daher ist die
Vorrichtung so aufgebaut, daß viele Trägermodule aufgenommen
werden können, um die Durchwärmungszeit auch dann zu gewähr
leisten, wenn die Prüfzeit für die Bausteine kurz ist. Auf
grund dieses Aufbaus kann die optimale Anzahl von Trägermo
dulen, die verschiedenen Prüfzeiten für verschiedenartige
Bausteine entspricht, nicht flexibel geändert werden, so daß
eine unnötig lange Durchwärmungszeit bereitgestellt wird,
und ist die Transportvorrichtung nicht leicht betreibbar.
Daher ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung,
eine Bausteintransportvorrichtung mit vereinfachtem Aufbau
und vereinfachter Arbeitsweise bereitzustellen, um die Zu
verlässigkeit, wie beispielsweise den mittleren Aus
fallabstand (MTBF) zu verbessern.
Ferner wird eine Bausteintransportvorrichtung be
reitgestellt, durch die ein Preis-Leistungs-Verhältnis ver
bessert wird, indem die Kosten verringert werden, ohne daß
die Wirtschaftlichkeit vermindert wird.
Ferner wird eine Bausteintransportvorrichtung be
reitgestellt, deren Aufstellplatz gering ist und durch die
die Durchwärmungszeit entsprechend der Prüfzeit der in Be
tracht kommenden Bausteine leicht geändert werden kann.
Die Fig. 1, 2 und 3 zeigen eine erfindungsgemäße
Vorrichtung, durch die die vorstehend erwähnten Probleme ge
löst werden. Mehrere als Vertiefungen ausgebildete Fächer 13
sind vorgesehen, um eine Menge von jeweils n Bausteinen 71
auf einem scheibenförmigen Tisch 12 zu speichern, wobei die
Bausteine 71 von einem Zufuhrpufferabschnitt 40 aufgenommen
werden und der Drehtisch 12, der eine kreisförmigen Umlauf
bewegung ausführt, so angeordnet ist, daß die Bausteine 71
zu einem Kontaktarm 14 transportiert werden.
Um die Bausteine 71 vom Drehtisch 12 aufzunehmen, weist
der Kontaktarm 14, der eine kreisförmige Umlaufbahn aus
führt, mindestens drei Arme auf. Jeder Arm des Kontaktarms
14 weist an seinem Ende einen Saugabschnitt 15 auf, durch
den jeweils n Bausteine 71 in der vorgesehenen Position ge
halten werden, wobei der Kontaktarm gleichzeitig andere Bau
steine 71 zu einem Drehspeicherarm 16 oder zu einem hin- und
hergehenden Speicherarm 216 transportiert.
Der Drehspeicherarm 16 weist mehrere Arme auf, um die
Bausteine 71 vom Kontaktarm 14 aufzunehmen, und am Ende je
des Arms sind mehrere Fächer 13 in Form von Vertiefungen an
geordnet, um jeweils n Bausteine 71 aufzunehmen und gleich
zeitig die anderen Bausteine 71 zu einem Speicher
pufferabschnitt 50 zu transportieren.
Der hin- und hergehende Speicherarm 216 weist ebenfalls
Arme auf, wobei an den Enden der Arme Fächer 13 in Form von
Vertiefungen angeordnet sind, um jeweils n Bausteine 71 vom
Kontaktarm 14 aufzunehmen und zu speichern. Anschließend
werden die Bausteine 71 durch Bewegen dieses Arms zu einem
Pufferabschnitt 50 transportiert. Nach dem Transport der
Bausteine kehrt der Arm zu einer Position zurück, wo er er
neut Bausteine 71 vom Kontaktarm 14 aufnehmen kann. Auf
diese Weise führt der hin- und hergehende Speicherarm 216
eine Pendelbewegung aus.
Der Drehtisch 12 und der Kontaktarm 14, die beide
kreisförmige Bewegungen ausführen, und die Bausteintrans
portvorrichtung der IC-Prüfungshandhabungseinrichtung weisen
bezüglich des Transports der Bausteine 71 in Zusammenwirkung
mit dem Speicherarm (16 oder 216) eine Pufferfunktion auf,
um eine Durchwärmungszeit zum Erwärmen bzw. Kühlen der Bau
steine bereitzustellen, und bilden zusammen eine Vorrich
tung, durch die die Bausteine zum Meßabschnitt 70 und zum
Speicherpufferabschnitt 50 transportiert werden.
Die Steuerung des Drehtischs 12 der Transportvorrich
tung erfolgt durch ein Drehsteuerungsverfahren, durch das
der Drehtisch in einer normalen oder einer umgekehrten Rich
tung in Winkelschritten gedreht wird, die einem Abstand von
einem der Fächer 13 oder einer Anzahl von m Fächern 13 ent
sprechen. Durch dieses Verfahren können verschiedene Durch
wärmungszeiten zum Erwärmen und zum Abkühlen der zu messen
den Bausteine flexibel erreicht werden, indem Fächer über
sprungen werden oder die Drehrichtung zum Anordnen der Bau
steine umgekehrt wird.
Der Drehtisch 12 hat eine Pufferfunktion zum Erhöhen
der Durchwärmungszeit zum Erwärmen bzw. Kühlen der Bau
steine, indem eine Anzahl von Fächern kreisförmig angeordnet
wird, und eine Funktion, durch die die Bausteine zum Kon
taktarm 14 bewegt werden. Außerdem kann eine zum Erreichen
verschiedener Durchwärmungszeiten geeignete Funktion erhal
ten werden, indem die Drehantriebsvorrichtung so gesteuert
wird, daß Fächer übersprungen werden oder die Drehrichtung
umgekehrt wird.
Wenn der Kontaktarm 14 drei Arme aufweist, wird der
Transport der Bausteine zur Bausteinaufnahmeposition, zur
Meßposition und zur Freigabeposition durch eine Drehvor
richtung ereicht, die eine Drehbewegung der drei Arme in
Schritten von 120 Grad ausführt. Wenn der Speicherarm 16
drei Arme aufweist, wird der Transport der Bausteine zur
Bausteinaufnahmeposition und zur Speicherposition durch
einen Drehvorrichtung erreicht, die eine Drehbewegung in
Schritten von 120 Grad ausführt.
Fig. 1 zeigt ein Blockdiagramm einer ersten Ausfüh
rungsform einer erfindungsgemäßen IC-Transportvorrichtung
mit drei Dreharmen, die eine kreisförmige Umlaufbahn ausfüh
ren;
Fig. 2 zeigt ein Blockdiagramm einer zweiten Ausfüh
rungsform einer erfindungsgemäßen IC-Transportvorrichtung
mit drei Dreharmen, die eine kreisförmige Umlaufbahn ausfüh
ren;
Fig. 3 zeigt den Aufbau einer dritten Ausführungsform
einer IC-Transportvorrichtung mit zwei Dreharmen, die eine
kreisförmige Umlaufbahn ausführen, und einem hin- und herge
henden Speicherarm;
Fig. 4 zeigt eine Konstruktionsdarstellung mit zwei an
einem y-Zufuhrarm angeordneten Saugabschnitten 45a und 45b;
Fig. 5 zeigt eine Konstruktionsdarstellung mit zwei am
y-Zufuhrarm angeordneten Saugabschnitten 45a und 45b und
entsprechenden auf dem Drehtisch angeordneten Fächern;
Fig. 6 zeigt ein Blockdiagramm einer herkömmlichen IC-
Transportvorrichtung;
Fig. 7 zeigt einen Transportvorgang in der Durchwär
mungskammer 110 bei der herkömmlichen IC-Transportvorrich
tung von Fig. 6; und
Fig. 8 zeigt den Aufbau des Saugabschnitts.
Nachstehend wird die erste Ausführungsform der vorlie
genden Erfindung unter Bezug auf die Zeichnungen beschrie
ben. Diese Ausführungsform zeigt ein Beispiel einer
Bausteintransportvorrichtung für ein IC-Prüfgerät, mit einem
Drehtisch 12 für einen Erwärmungs-/Kühlvorgang, einem Dreh
kontaktarm 14 für den Transport zu einer Meßeinrichtung und
einen Drehspeicherarm 16 für den Speichervorgang, wobei alle
diese Einrichtungen einen Mechanismus aufweisen, durch den
sie kreisförmig betrieben werden. Fig. 1 zeigt eine solche
Bausteintransportvorrichtung.
Dieses System besteht aus einem Zufuhrpufferabschnitt
40, einer wärmeisolierenden Wand 54, einem Drehtisch 12, ei
nem Kontaktarm 14, einem Meßabschnitt 70, einem Drehspei
cherarm 16 und einem Speicherpufferabschnitt 50. Bei diesem
Aufbau sind der Zufuhrpufferabschnitt 40, der Speicherpuf
ferabschnitt 50 und die wärmeisolierende Wand 50 identisch
mit den gleichen beim herkömmlichen System verwendeten
Einrichtungen.
Der Zufuhrpufferabschnitt 40 besteht aus einem y-Zu
fuhrarm 41, einem x-Zufuhrarm 42 und einem Zufuhrtablett 43.
Am Ende des y-Zufuhrarms 41 ist ein Saugabschnitt 45 ange
ordnet. An der Zufuhrseite für die Bausteine werden mehrere
auf einem Zufuhrtablett 43 angeordnete Bausteine in einem
Fach 13 des Drehtischs 12 regelmäßig angeordnet. Nachdem der
Saugabschnitt 45 durch den y-Zufuhrarm 41 und den x-Zu
fuhrarm 42 zu einer vorgegebenen Position über dem Zu
fuhrtablett 43 bewegt wurde, wird der zu prüfende Baustein
71 durch eine Saugkraft angehoben, über das Fach 13 des
Drehtischs 12 transportiert und freigegeben, so daß er her
abfällt.
Der Drehtisch 12 ist eine mit einer herkömmlichen
Durchwärmungskammer identische Einrichtung und dient als
Pufferabschnitt zum Bereitstellen einer Durchwärmungszeit
zum Erwärmen bzw. Kühlen der zu prüfenden Bausteine 71 auf
eine vorgegebene Temperatur in der Konstanttemperaturkammer.
Zu diesem Zweck sind auf dem Drehtisch 12 mehrere Fächer 13
ausgebildet. Die auf dem Fach 13 des Drehtischs 12 ange
ordneten Bausteine 71 werden durch Drehen mit einer Schritt
weite von einer Fächereinheit durch den y-Zufuhrarm 41 be
wegt. Der Baustein 71 wird während der Drehbewegung auf die
vorgegebene Temperatur erwärmt oder gekühlt, bevor er eine
Position unter dem Kontaktarm 14 erreicht. Anschließend wird
der Baustein 71 durch den Kontaktarm 14 zum nächsten Ar
beitsvorgang transportiert.
Die zeitliche Steuerung der Drehbewegung des Drehtischs
12 ist derart, daß, nachdem ein Baustein an der Aufnahme
seite angeordnet und durch eine Saugwirkung vom Fach an der
Zufuhrseite angehoben wurde, der Baustein durch eine
Drehbewegung zur nächsten Fachposition bewegt wird. D.h.,
der Drehtisch bewegt sich bezüglich der Drehbewegung des
Kontaktarms 14 asynchron. Dadurch wird durch den Drehtisch
12 nicht nur eine Einrichtung für einen Drehantrieb bereit
gestellt, sondern darüber hinaus ein einfacher Aufbau erhal
ten. Wenn sich die Konfiguration der Bausteine ändert, wird
bei dieser Anordnung der Drehtisch 12 ausgewechselt.
Am Ende jedes Kontaktarms 14 sind die Saugabschnitte
15a, 15b und 15c angeordnet. Durch den ersten Arm 14a an der
Zufuhrposition des Kontaktarms 14 wird ein Baustein durch
eine Saugwirkung vom Fach des Drehtischs 12 angehoben, indem
der Saugabschnitt 15a herabgesenkt wird, woraufhin der
Saugabschnitt angehoben wird und der Baustein durch den Arm
gehalten wird.
Durch den zweiten Arm 14b an der Meßposition des Kon
taktarms 14 wird der Baustein am Saugabschnitt 15b her
abgesenkt und auf den Kontakten des Meßabschnitts 70 an
geordnet, woraufhin der elektrische Prüfvorgang beginnt und
der Baustein nach Abschluß des elektrischen Prüfvorgangs
durch eine Saugwirkung angehoben und gehalten wird.
Durch den dritten Arm 14c an der Speicherposition des
Kontaktarms 14 wird ein Baustein auf dem Saugabschnitt 15c
abgesenkt und freigegeben, so daß er herabfällt und auf dem
Fach des Drehspeicherarms 16 angeordnet wird. Durch diesen
Ablauf werden die Bausteine durch einfaches Drehen des Kon
taktarms 14 um 120 Grad zugeführt und entfernt. Weil keine
nicht benötigten Arme vorhanden sind, hat die Transportvor
richtung einen vereinfachten Aufbau.
Am Ende des Drehspeicherarms 16 sind Fächer 17a, 17b
und 17c zum Aufnehmen der Bausteine angeordnet. Der erste
Arm 16a an der Bausteinaufnahmeposition des Drehspeicherarms
16 nimmt einen Baustein mit dem Fach 17a vom Kontaktarm 14
auf.
Durch den zweiten Arm 16b des Drehspeicherarms 16 wird,
obwohl keine Funktion ausgeführt wird, eine Wartezeit be
reitgestellt, während der der Baustein insbesondere nach
Prüfvorgängen bei hohen oder niedrigen Temperaturen wieder
Normaltemperatur annehmen kann. Dies ist erforderlich, weil,
wenn der Baustein nach außen transportiert würde, die Bau
steine einer plötzlich auftretenden großen Temperaturdiffe
renz ausgesetzt sein können, durch die die Qualität der IC-
Gehäuse oder Baueinheiten herabgesetzt werden kann. Der Arm
ist ferner dazu geeignet, die IC-Bausteine zu halten, bis
diese wieder Normaltemperatur angenommen haben, wenn das
Speichertablett 53 nicht verschleißfest ist.
Durch den dritten Arm 16c an der Bausteinspeicher
position des Drehspeicherarms 16 wird ein Baustein auf dem
Fach 17c transportiert, indem er durch den y-Speicherarm 51
angesaugt wird. Durch diesen Vorgang wird der Baustein durch
eine Drehbewegung des Drehspeicherarms 16 um 120 Grad zur y-
Speicherarmposition transportiert, und der leere Arm wird
zum Kontaktarm 14 zurückbewegt. Dadurch werden unnötige Arm
bewegungen vermieden, so daß die Transportzeit kurz und der
Aufbau des Systems einfach ist.
Beim vorstehend beschriebenen Beispiel kann außerdem
die Ausgabezeit durch Umkehren der Drehbewegung des Dreh
speicherarms 16 verkürzt werden. In diesem Fall kann das Sy
stem in einem Fall angewendet werden, bei dem keine Zeit
dauer erforderlich ist, um die IC-Bausteine auf Normaltempe
ratur zu bringen, weil zwischen der Konstanttemperaturkammer
und der äußeren Umgebungstemperatur ein nur geringer Tempe
raturunterschied vorhanden ist oder kein Erwärmungsvorgang
erforderlich ist.
Der Speicherpufferabschnitt 50 besteht aus dem y-Spei
cherarm 51, dem x-Speicherarm 52 und dem Speichertablett 53.
Am Ende des y-Speicherarms 51 ist ein Saugabschnitt 55 ange
ordnet. An der Speicherseite für die Bausteine wird ein Bau
stein angesaugt, nachdem der Saugabschnitt 55 durch den y-
Speicherarm 51 und den x-Speicherarm 52 über den Dreh
speicherarm 16 bewegt wurde, woraufhin der Baustein zum
Speichertablett 53 bewegt und freigegeben wird, so daß er an
der vorgegebenen Stelle angeordnet wird.
In diesem Beispiel weist der Kontaktarm drei Arme auf.
Es können jedoch wie beim herkömmlichen System auch vier
Arme vorgesehen sein. Ferner können je nach Erfordernis n
Arme vorgesehen sein. Im allgemeinen wird das System mit ei
ner Zunahme der Anzahl von Armen teurer und schwerer. Nach
stehend wird die zweite Ausführungsform der Erfindung unter
Bezug auf die Zeichnungen beschrieben. Ein Beispiel der Er
findung ist eine Bausteintransportvorrichtung für ein IC-
Prüfgerät unter Verwendung von drei Drehvorrichtungen, wobei
der Drehspeicherarm 16 zwei Arme aufweist. Dieses System
wird nachstehend unter Bezug auf Fig. 2 beschrieben.
Das System weist einen Zufuhrpufferabschnitt 40, eine
wärmeisolierende Wand 54, einen Drehtisch 12, einen Kontakt
arm 14, einen Meßabschnitt 70, einen Drehspeicherarm 16 und
einen Speicherpufferabschnitt 50 auf. Bei dieser Anordnung
sind die drei Arme des Drehspeicherarms 16 der ersten Aus
führungsform auf zwei Arme verringert, wobei dies der ein
zige Unterschied ist. Der Aufbau dieses Drehspeicherarms 16
ist einfacher, und seine Ausgabezeit kann geringer sein.
Nachstehend wird die dritte Ausführungsform der vorlie
genden Erfindung unter Bezug auf die Zeichnungen beschrie
ben. Bei dieser Ausführungsform ist eine Bausteintrans
portvorrichtung für ein IC-Prüfgerät so aufgebaut, daß die
Bausteine 71 durch einen hin- und hergehenden Bewegungsme
chanismus unter Verwendung des eine Pendelbewegung ausfüh
renden Speicherarms 216 an Stelle des Drehspeicherarms
transportiert werden können. Dies wird nachstehend unter Be
zug auf die Figuren erläutert.
Das System besteht aus dem Zufuhrpufferabschnitt 40,
der wärmeisolierenden Wand 54, dem Drehtisch 12, dem Kon
taktarm 14, dem Meßabschnitt 70, dem hin- und hergehenden
Speicherarm 216 und dem Speicherpufferabschnitt 50. Bei die
ser Anordnung ist der Drehspeicherarm 16 der ersten Ausfüh
rungsform durch den hin- und hergehenden Speicherarm 216 er
setzt, was der einzige Unterschied ist.
Am Ende des hin- und hergehenden Speicherarms 216 sind
Fächer 13 in Form von Vertiefungen angeordnet, die jeweils
eine Menge von n Bausteinen 71 vom Kontaktarm 14 aufnehmen.
Die Bausteine werden durch Bewegen des Arms zum Speicherpuf
ferabschnitt 50 bewegt. Nach Abschluß des Bausteintransports
wird dieser Arm zu einer Position zurückbewegt, wo der Arm
erneut Bausteine vom Kontaktarm 14 aufnehmen kann. Auf diese
Weise führt der hin- und hergehende Speicherarm 2 eine
Pendelbewegung aus. Dieser hin- und hergehende Speicherarm
216 ist einfacher aufgebaut, und die Ausgabezeit des Arms
kann geringer sein.
Nachstehend werden andere Ausführungsformen der Erfin
dung unter Bezug auf die Zeichnungen beschrieben. Bei den
vorstehenden Ausführungsformen wurde ein Beispiel eines
Saugabschnitts 45 des y-Zufuhrarms 41 für die Zufuhr von
Bausteinen beschrieben, wobei jedoch, wie in Fig. 4 dar
gestellt, ein anderer Aufbau verwendet werden kann, bei dem
zwei Saugabschnitte 45a und 45b des y-Zufuhrarms 41 vorgese
hen sind. Durch diese Anordnung können durch die Saugwirkung
der beiden Saugabschnitte 45a und 45b zwei Bausteine 71
gleichzeitig vom Zufuhrtablett angehoben und daraufhin zum
Drehtisch 12 bewegt werden.
Die y-Bewegungsstrecke des y-Zufuhrarms 41 wird durch
ein erstes Steuerungsverfahren in zwei Stufen gesteuert, um
die Bausteine nach einer Bewegung in die y-Richtung und nach
einer Wartezeit zum Drehen des Drehtischs einzeln auf dem
Drehtisch 12 anzuordnen. Auf diese Weise kann die Zeitdauer
zum Hin- und Herbewegen des y-Zufuhrarms 41 und des x-Zu
fuhrarms 42 verringert werden, so daß die Bausteine dem
Drehtisch 12 mit hoher Geschwindigkeit zugeführt werden kön
nen.
Bei einem zweiten Steuerungsverfahren werden Bausteine
71 ohne Wartezeit einzeln im ersten und im zweiten Fach an
geordnet. D.h., die Bausteine 71 werden durch Steuern der
Drehbewegung des Drehtischs 12 zu zwei Fächerpositionen ge
dreht, wobei die Bewegungsstrecke des y-Zufuhrarms 41 in
zwei Stufen gesteuert wird. Daraufhin sollte der Drehtisch
12 in seine ursprüngliche Position zurückkehren. In diesem
Fall werden die Bausteine 71 dem Drehtisch 12 mit einer grö
ßeren Geschwindigkeit zugeführt als beim ersten Steuerungs
verfahren.
Dadurch wird die hin- und hergehende Bewegung des y-Zu
fuhrarms auf die Hälfte verringert. Bei diesem Verfahren
kann eine Zyklus zeit für einen Hochgeschwindigkeitsablauf
erreicht werden, weil die Zufuhrzeit der Bausteine etwa auf
die Hälfte verringert ist. Bei diesem System kann die Anzahl
der Saugabschnitte des y-Zufuhrarms 41 ähnlich wie bei der
vorangehenden Ausführungsform von zwei auf n Abschnitte ge
ändert werden. Außerdem können hinsichtlich des y-Speicher
arms 51 durch einen Umkehrbetrieb des y-Zufuhrarms 41 n
Saugabschnitte angeordnet und verwendet werden.
Bei der vorstehenden Beschreibung der ersten, der zwei
ten und der dritten Ausführungsform wird ein Beispiel be
schrieben, bei dem ein zu prüfender Baustein durch den
Saugabschnitt 45 angesaugt wird, wie in Fig. 5 dargestellt.
Es können jedoch gleichzeitig mehrere Bausteine, bei
spielsweise zwei, vier usw. Bausteine, gleichzeitig ange
saugt bzw. freigegeben werden, wobei das entsprechende Fach
13 entsprechend aufgebaut ist. Außerdem können im Saugab
schnitt des y-Speicherarms 51 jeweils n Bausteine angeordnet
werden, so daß eine noch höhere Zyklusgeschwindigkeit er
reicht werden kann.
Bei der vorstehenden Beschreibung der Ausführungsformen
1, 2 und 3 werden in allen Fächern Bausteine angeordnet, wo
bei eine Drehbewegung um jeweils einen Fachabstand des Dreh
tischs 12 erfolgt. Die Ausgabezeit kann jedoch verringert
werden, indem die überflüssige Wartezeit auf dem Drehtisch
12 optimiert wird, wenn die Prüfzeit am Meßabschnitt 70 lang
ist und ein Grenzwert für die Durchwärmungszeit vorgegeben
ist. D.h., der Drehtisch 12 wird durch Überspringen von Fä
chern 13 gesteuert, so daß die Grenzwerte der Durchwärmungs
zeit erfüllt werden. Umgekehrt kann die Wartezeit auf dem
Drehtisch 12 optimiert werden, indem weniger Fächer zum Kon
taktarm 14 transportiert und der Drehtisch in die umgekehrte
Richtung gesteuert wird. Durch diese Verfahren kann der
Drehtisch 12 bezüglich der Zykluszeit und der Durchwärmungs
zeit unter optimalen Bedingungen verwendet werden.
Die vorliegende Erfindung mit dem vorstehend beschrie
benen Aufbau hat die folgenden Wirkungen:
Durch den Drehtisch wird eine Pufferfunktion erhalten, um eine erhöhte Durchwärmungszeit zum Erwärmen bzw. Kühlen zu erreichen, indem eine Anzahl von Fächern kreisförmig in Abständen von jeweils einem Fach durch eine Drehbewegung auf einer kreisförmigen Bahn bewegt werden. Außerdem kann die Durchwärmungszeit gemäß der Bausteinprüfzeit leicht gesteu ert werden, indem diese Drehbewegung gesteuert wird und die Bausteine durch Überspringen von Fächern angeordnet werden, so daß dieses System für den Benutzer praktisch ist.
Durch den Drehtisch wird eine Pufferfunktion erhalten, um eine erhöhte Durchwärmungszeit zum Erwärmen bzw. Kühlen zu erreichen, indem eine Anzahl von Fächern kreisförmig in Abständen von jeweils einem Fach durch eine Drehbewegung auf einer kreisförmigen Bahn bewegt werden. Außerdem kann die Durchwärmungszeit gemäß der Bausteinprüfzeit leicht gesteu ert werden, indem diese Drehbewegung gesteuert wird und die Bausteine durch Überspringen von Fächern angeordnet werden, so daß dieses System für den Benutzer praktisch ist.
Außerdem ist als Antriebseinrichtung nur eine Drehan
triebsvorrichtung vorgesehen, wobei ein einfacher Mechanis
mus verwendet werden kann, so daß ein besserer mittlerer
Ausfallabstand (MTBF) erhalten wird und ein platzsparendes
und kostengünstiges System hergestellt werden kann. Außerdem
kann die Konstanttemperaturkammer vorteilhaft kleiner herge
stellt werden, weil weniger Platz erforderlich ist.
Am Kontaktarm 14 kann der Transport zum Zuführen bzw.
Freigeben der Bausteine durch ein Kreisumlaufverfahren er
reicht werden, bei dem eine schrittweise Drehung um 120 Grad
verwendet wird. Beim hierbei verwendeten Antriebsverfahren
wird nur ein Drehantriebsmechanismus verwendet, der vorteil
haft einfach aufgebaut sein kann.
Am Drehspeicherarm 16 werden Bausteine vom Kon
taktabschnitt 14 durch eine Drehvorrichtung mit kreisförmi
ger Bahn aufgenommen und zur Saugposition des y-Speicherarms
51 gedreht. Hierbei wird nur ein Drehantriebsmechanismus
verwendet, der ferner vorteilhaft einfach aufgebaut sein
kann.
Hierbei kann ein Bausteintransport mit einer minimalen
Ausgabezeit erreicht werden, indem die drei Dreh
bewegungsverfahren kombiniert verwendet werden und eine vor
gegebene Drehfunktion gesteuert wird. Außerdem können die
Bausteine in einer optimalen Indexzeit transportiert werden.
Claims (4)
1. Bausteintransportvorrichtung für IC-Prüfgerät, mit:
mehreren auf einem kreisförmigen Drehtisch (12) angeordneten Fächern (13), in denen eine Menge von n zu prüfenden Bausteinen (71) angeordnet wird, wobei die Bausteine (71) durch den Drehtisch (12) zu einem Kon taktarm (14) transportiert werden und der Drehtisch so angeordnet ist, daß die Bausteine (71) von einem Zu fuhrpufferabschnitt (40) aufgenommen werden;
wobei der Kontaktarm (14) mindestens drei Arme mit jeweils einem Saugabschnitt (15) am Ende aufweist, durch den die n Bausteine (71) angesaugt werden, um die n Bausteine (71) vom Drehtisch (12) aufzunehmen.
mehreren auf einem kreisförmigen Drehtisch (12) angeordneten Fächern (13), in denen eine Menge von n zu prüfenden Bausteinen (71) angeordnet wird, wobei die Bausteine (71) durch den Drehtisch (12) zu einem Kon taktarm (14) transportiert werden und der Drehtisch so angeordnet ist, daß die Bausteine (71) von einem Zu fuhrpufferabschnitt (40) aufgenommen werden;
wobei der Kontaktarm (14) mindestens drei Arme mit jeweils einem Saugabschnitt (15) am Ende aufweist, durch den die n Bausteine (71) angesaugt werden, um die n Bausteine (71) vom Drehtisch (12) aufzunehmen.
2. Bausteintransportvorrichtung nach Anspruch 1, wobei der
Drehtisch (12) in einer normalen oder einer umgekehrten
Richtung entweder um eine dem Abstand eines Fachs (13)
entsprechende Winkeleinheit oder um eine dem Abstand
von m Fächern (13) entsprechende Winkeleinheit gedreht
wird.
3. Bausteintransportvorrichtung nach Anspruch 1, wobei, um
die Bausteine (71) vom Kontaktarm (14) aufzunehmen,
mehrere Arme vorgesehen sind, und Fächer (13), in denen
eine Menge von n Bausteinen (71) gehalten wird, ange
ordnet werden, und wobei ein Drehspeicherarm (16) in
einem Speicherpufferabschnitt (50) vorgesehen ist, um
andere Bausteine (71) zu transportieren.
4. Bausteintransportvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2,
ferner mit einem hin- und hergehenden Arm (216), der
eine Pendelbewegung ausführt, um die Bausteine zum
Speicherpufferabschnitt (50) zu bewegen.
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