JPH07315565A - Ｉｃテストハンドラのデバイス搬送機構 - Google Patents

Ｉｃテストハンドラのデバイス搬送機構

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JPH07315565A
JPH07315565A JP6138085A JP13808594A JPH07315565A JP H07315565 A JPH07315565 A JP H07315565A JP 6138085 A JP6138085 A JP 6138085A JP 13808594 A JP13808594 A JP 13808594A JP H07315565 A JPH07315565 A JP H07315565A
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弘行 高橋
Touhei Suzuki
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    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、デバイス搬送機構において、少ス
ペースで安価でシンプルな機構にし、デバイスのテスト
タイムに対応してソークタイムを随時変更出来る機構を
目的とする。 【構成】 円盤状の回転テーブル１２上にｎ個単位でデ
バイス７１を収納するポケット１３を複数設けた無限軌
道の回転テーブル１２を設け、３本のアームを配置し
て、各アームの先端部にｎ個単位でデバイス７１を吸着
する吸着部１５を設けたコンタクトアーム１４を設け、
２本あるいは３本のアームを配置して、各アームの先端
部にｎ個単位でデバイス７１を収納するポケット１３を
設けて搬送する回転収納アーム１６を設ける構成。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣテストハンドラ
装置において、デバイスを多数個収容する供給トレイか
らデバイスを電気試験をするコンタクタ部へ搬送し、コ
ンタクタ部からのデバイスを搬送して収容トレイに収納
する機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術のＩＣテストハンドラ装置のデ
バイス搬送機構を図５と図６と図７を参照して説明す
る。本装置の構成は、供給バッファ部４０と、断熱壁５
４と、ソークチャンバ１１０と、回転アーム１２０と、
測定部７０と、収納バッファ部５０と、複数のボート１
００搬送機構とで構成している。搬送の駆動手段として
は、パルスモーターやサーボモーター等による駆動源
と、ベルトやギヤや回転ねじ機構の組み合わせで搬送す
る。
【０００３】デバイス７１の吸着部は、図７に示すよう
に、回転アーム１２０の先端部に設けてあり、デバイス
７１を吸着する吸着パッド８２と、吸着アーム８０と、
上下駆動手段８４により構成している。外部からの吸着
制御用のエジェクタ（ejector）からの真空圧／大気圧
の制御空気圧８３は、チューブで配管されて吸着アーム
８０の継手に接続され、吸着パッド８２に供給してい
る。この吸着パッド８２部での空気圧により、デバイス
７１は、吸着／開放される。上下駆動手段８４は、エア
ーシリンダあるいはソレノイドを使用し、制御信号８５
により駆動されて、デバイス７１を上下に上昇／下降移
動を行う。
【０００４】断熱壁５４は、内側が恒温槽となってい
て、測定部７０でデバイスを測定する迄に所望の一定温
度にデバイスを加熱／冷却する為の断熱構造である。デ
バイスを一定温度にする為には、所定時間以上の間恒温
槽内に置いておく必要がある。この為、ソークチャンバ
１１０によって所定の時間を与えるようにしている。こ
の断熱壁５４内には、デバイスの供給、収納の為に、ボ
ート１００が通過できる機構が形成されている。ここ
で、デバイスを恒温槽に入れてから一定温度に達する迄
の時間をソークタイム（Soak time）と称す。また、デ
バイスの電気テスト終了から次のデバイスのテスト開始
迄のデバイスの置き換えをするセットアップ時間をイン
デックス・タイム（Index time）と称す。また、デバイ
スの電気試験開始から終了迄の時間をテストタイムと称
す。また、インデックス・タイムとテストタイムの合計
時間をサイクルタイムと称す。また、あるデバイスを供
給トレイから取り出して、そのデバイスが収納トレイに
置く迄のデバイス試験時間をアウトプット・タイムと称
す。
【０００５】デバイス７１の搬送は、ボート１００に乗
せて搬送する機構となっている。ボート１００上には、
１個あるいは複数個のデバイスを乗せるポケット１３が
あって、デバイスは、このボート単位で移動し搬送され
る。ボート１００搬送機構は、ボートを周回移動させる
機構であり、経路毎に搬送機構を有している。供給バッ
ファ部４０から経路がスタートして、経路２０１、２０
５、２０６、２０７、２０８で戻ってくる。複数あるボ
ート１００は、デバイスの形状（ＤＩＰ、ＳＯＰ、ＱＦ
Ｐ等）に対応したポケット形状を有していて、デバイス
の品種形状が変わっても、容易に対応したボートに交換
できるようにしている。
【０００６】供給バッファ部４０は、供給ｙアーム４１
と、供給ｘアーム４２と、供給トレイ４３で構成してい
る。供給ｙアーム４１の先端部には吸着部４５が設けて
ある。搬送動作は、供給ｙアーム４１と、供給ｘアーム
４２とを移動させて、供給トレイ４３上からデバイスを
吸着した後、位置２００にあるボート１００のポケット
位置まで運んできて、開放落下させてデバイスを置く。
この動作を供給タイミング毎に繰り返す。
【０００７】位置２００に置かれたボート１００上のデ
バイスは、水平搬送機構により、断熱壁５４を通過して
経路２０１でソーク・チャンバ１１０に運ばれる。ソー
ク・チャンバ１１０は、恒温槽内でデバイスを所望の温
度に加熱／冷却する為の時間、即ちソークタイムを与え
る為のバッファ部である。このソークタイムがＩＣハン
ドラのインデックス・タイムを低下させることのないよ
うにする為に、ソーク・チャンバ１１０内には、多数の
ボート１００を収容している。ソーク・チャンバ１１０
に運ばれてきたボート１００は、図６に示すように、経
路２０２で順次上昇移動し、経路２０３で隣に移動し、
経路２０４で下降移動し、経路２０５で回転アーム１２
０の供給アーム位置の吸着部１２１ａに至る。
【０００８】回転アーム１２０には、４つのアームがあ
り、アーム先端部に吸着部１２１ａ、１２１ｂ、１２１
ｃ、１２１ｄが設けてある。回転アーム１２０の供給位
置にある第１アームは、吸着部１２１ａを下降させてボ
ート上のポケットにあるデバイスを吸着して取り上げ、
上昇する。回転アーム１２０の第２アームのデバイス
は、単に待ち状態のデバイスである。回転アーム１２０
の測定位置にある第３アームは、吸着部１２１ｃにある
デバイスを下降させて測定部７０のコンタクト上に置い
て、電気試験を開始し、電気試験の終了を受けて、デバ
イスを吸着して取り上げ、上昇する。ここで、測定部７
０は、回転アーム１２０から受け取ったデバイスのリー
ド線を、電気試験用電極に接触させて、各種電気試験を
測定実施するものである。回転アーム１２０の収納位置
にある第４アームは、吸着部１２１ｄにあるデバイスを
下降させて、ボートのポケットに開放落下させてポケッ
トに置く。このボートは、経路２０５、２０６を経てき
た空の状態のボートである。上記の４本のアームは、測
定デバイスの吸着と、デバイス測定中と、測定終了デバ
イスの排出工程を同時に実行する回転型の搬送機構であ
り、サイクルタイム毎に回転して次工程に移動する。
【０００９】測定終了したデバイスを乗せた位置の吸着
部１２１ｄにあるボートは、経路２０７の搬送移動によ
り収納ｙアーム５１の位置２１０に至る。収納バッファ
部５０は、収納ｙアーム５１と、収納ｘアーム５２と、
収納トレイ５３で構成している。収納ｙアーム５１の先
端部には吸着部５５が設けてある。搬送動作は、位置２
１０に置かれたデバイスを吸着部５５で吸着した後、収
納ｙアーム５１と、収納ｘアーム５２とを移動させて、
収納トレイ５３の所定の位置まで運んだ後、収納トレイ
５３のポケットに開放落下させてデバイスを置く。この
収納動作を繰り返す。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上記説明のように、ソ
ーク・チャンバ１１０の構造は、搬送工程が多い為に機
構が複雑であり、搬送駆動手段も多くコスト面でも高く
なっている。また、このソーク・チャンバ１１０が大き
な設置スペースを必要とする為に、大きな恒温槽が必要
であり好ましくない。また、ボート１００にデバイスを
乗せて搬送移動させる為に、ボートの移動工程が増えて
しまい、無駄な機構があり、耐久性と信頼性が要求され
るハンドラにおいては、必ずしも良い構造となっていな
かった。また、回転アーム１２０の４本のアームの内１
本のアームは遊んでいるので、この吸着部のコスト増と
なっている。また、ソーク・チャンバ１１０に収容する
ボートの収容個数の変更機構は、容易には出来ない為、
デバイスのテストタイムの短い場合でもソークタイムが
確保できるようにする為に、多数のボートを収容する構
造にしている。しかし、この為に、デバイスの品種毎に
異なるテストタイムに対応した最適の収容個数に随時変
更することが出来ない為に、必要以上のソークタイムを
与える場面もあり、必ずしも使いやすい装置とはなって
いなかった。
【００１１】そこで、本発明が解決しようとする課題
は、デバイス搬送機構をシンプルな機構にして、ＭＴＢ
Ｆ（平均故障間隔）を向上させ、小さな設置スペースで
実現し、デバイスのテストタイムに対応して容易にソー
クタイムを随時変更出来る機構にすることを目的とす
る。
【００１２】
【課題を解決する為の手段】第１図及び第２図は、本発
明による解決手段を示している。上記課題を解決するた
めに、本発明の構成では、供給バッファ部４０からのデ
バイス７１を受け取る為に、円盤状の回転テーブル１２
上にｎ個単位でデバイス７１を収納するくぼみ状のポケ
ット１３を複数設けて、デバイス７１をコンタクトアー
ム１４へ搬送する無限軌道の回転テーブル１２を設け、
回転テーブル１２からのデバイス７１を受け取る為に、
３本のアームを配置して、各アームの先端部にｎ個単位
でデバイス７１を吸着する吸着部１５を有し、同時に他
のデバイス７１を回転収納アーム１６へ搬送する無限軌
道のコンタクトアーム１４を設け、コンタクトアーム１
４からのデバイス７１を受け取る為に、２本以上のアー
ムを配置して、各アームの先端部にｎ個単位でデバイス
７１を収納するくぼみ状のポケット１３を設け、同時に
他のデバイス７１を収納バッファ部５０に搬送する無限
軌道の回転収納アーム１６を設ける構成手段である。こ
の３つの無限軌道による、回転テーブル１２と、コンタ
クトアーム１４と、回転収納アーム１６との連携による
デバイス７１の搬送機構によるＩＣテストハンドラのデ
バイス搬送機構は、デバイスを加熱／冷却するソークタ
イムを与えるバッファ機能を有し、測定部７０に搬送
し、収納バッファ部５０に搬送する機構を形成してい
る。
【００１３】上記構成手段の回転テーブル１２の回転制
御手段として、１ポケット１３角度単位、あるいはｍポ
ケット１３角度単位で、正回転あるいは逆回転移動する
回転制御手段がある。これにより、デバイス７１を跳び
越し配置したり、逆回転させることで、加熱／冷却する
ソークタイムの違いに柔軟に対応する手段を実現でき
る。
【００１４】
【作用】回転テーブル１２は、多数のポケットを円形状
に設けることにより加熱／冷却する為のソークタイムを
得る為のバッファ機能とデバイスをコンタクトアーム１
４迄搬送する機能を持つ。また、回転駆動手段を制御し
て、デバイスを跳び越し配置したり、逆回転させること
で、ソークタイムの違いに柔軟に対応する機能を容易に
実現できる。コンタクトアーム１４は、デバイスの受け
取り位置と、測定部位置と、排出位置への移動を１２０
度の回転機構で実現している。回転収納アーム１６は、
デバイスの受け取り位置と、収納位置への移動を１２０
度の回転機構で実現している。
【００１５】
【実施例】
（実施例１）本発明例は、加熱冷却用の回転テーブル１
２と、測定用の回転コンタクトアーム１４と、収納用の
回転収納アーム１６の３つの無限軌道手段を用いたＩＣ
テストハンドラ装置のデバイス搬送機構である。これに
ついて、図１を参照して説明する。本装置の構成は、供
給バッファ部４０と、断熱壁５４と、回転テーブル１２
と、コンタクトアーム１４と、測定部７０と、回転収納
アーム１６と、収納バッファ部５０とで構成している。
この構成において、供給バッファ部４０と、収納バッフ
ァ部５０と、断熱壁５４は、従来技術と同様の機構であ
る。
【００１６】供給バッファ部４０は、供給ｙアーム４１
と、供給ｘアーム４２と、供給トレイ４３で構成してい
る。供給ｙアーム４１の先端部には吸着部４５が設けて
ある。デバイスの供給側は、供給トレイ４３上に置かれ
ている多数のデバイスを順番に回転テーブル１２上のポ
ケット１３に置くものである。供給ｙアーム４１と、供
給ｘアーム４２とによって、供給トレイ４３上の所定の
位置に吸着部４５を移動させた後、デバイスを吸着して
取り上げた後、回転テーブル１２のポケット１３上まで
運んできて、開放落下させてデバイスを置く。
【００１７】回転テーブル１２は、従来技術のソークチ
ャンバ１１０に相当する機構部分であり、恒温槽内でデ
バイスを所望の温度に加熱／冷却する為のソークタイム
を与える為のバッファ部である。この為に、回転テーブ
ル１２の上には多数のくぼみ状のポケット１３を形成し
ている。供給ｙアーム４１により、回転テーブル１２上
のポケット１３に置かれたデバイスは、１ポケット単位
の角度で回転移動していく。一方、コンタクトアーム１
４の下に到達する迄にデバイスは、この回転移動する間
で、所望の温度に加熱／冷却される。そして、このコン
タクトアーム１４により次工程に搬送される。回転テー
ブル１２の回転動作時期は、受け側ポケットにデバイス
が置かれ、供給側ポケットからデバイスが吸着上昇とが
完了した時点で、次のポケット位置に回転移動する。即
ちコンタクトアーム１４の回転動作とは非同期に動く。
この結果、この回転テーブル１２は１個の回転駆動手段
を設けるのみで良くシンプルな機構となっている。デバ
イスの品種形状が変わる場合には、回転テーブル１２の
テーブル自体を交換する構造にしている。
【００１８】コンタクトアーム１４には、アーム先端部
に吸着部１５ａ、１５ｂ、１５ｃが設けてある。コンタ
クトアーム１４の供給位置にある第１アーム１４ａは、
吸着部１５ａを下降させて回転テーブル１２上のポケッ
トにあるデバイスを吸着して取り上げ、上昇し保持状態
になる。コンタクトアーム１４の測定位置にある第２ア
ーム１４ｂは、吸着部１５ｂにあるデバイスを下降させ
て測定部７０のコンタクト上に置き、電気試験を開始
し、電気試験の終了を受けて、デバイスを吸着して取り
上げ、上昇し保持状態になる。コンタクトアーム１４の
収納位置にある第３アーム１４ｃは、吸着部１５ｃにあ
るデバイスを下降させて、回転収納アーム１６のポケッ
トに開放落下させてポケットに置く。これにより、コン
タクトアーム１４の１２０度回転移動するのみでデバイ
スの供給／排出移動ができる。また、遊んでいる無駄な
アームが無く構造がシンプルになっている。
【００１９】回転収納アーム１６には、アーム先端部に
デバイス収納用のくぼみ状のポケット１７ａ、１７ｂ、
１７ｃが設けてある。回転収納アーム１６のデバイス受
け取り位置にある第１アーム１６ａは、コンタクトアー
ム１４からのデバイスをポケット１７ａで受け取る。回
転収納アーム１６の中間位置にある第２アーム１６ｂで
は、何もしないが、特に、高温試験や低温試験後のデバ
イスを常温に戻す為の待ち時間を与えているのみであ
る。これは、デバイスを急激に温度差の大きい外気に出
すと、稀にＩＣパッケージの劣化をもたらす場合がある
からである。あるいは、収納トレイ５３が温度耐久性の
ない場合には、常温に戻す役割もある。回転収納アーム
１６のデバイス収納アーム位置にある第３アーム１６ｃ
は、ポケット１７ｃにあるデバイスを収納ｙアーム５１
に吸着させて収納搬送する。これにより、回転収納アー
ム１６の１２０度回転移動のみで、順番に収納ｙアーム
位置に移動し、空アームは、コンタクトアーム１４に戻
ってくる。この為、無駄なアームの動作が無く、移動時
間が短く、かつ構造がシンプルになっている。上記説明
に対して、回転収納アーム１６を逆方向に回転制御して
アウトプット・タイムを短縮する手段がある。この場合
は、恒温槽と外気温度との差が小さく、デバイスの常温
化時間が不用な場合や温度印加無しの場合に適用でき
る。
【００２０】収納バッファ部５０は、収納ｙアーム５１
と、収納ｘアーム５２と、収納トレイ５３で構成してい
る。収納ｙアーム５１の先端部には吸着部５５が設けて
ある。 デバイスの収納側は、収納ｙアーム５１と、収
納ｘアーム５２とによって、吸着部５５を回転収納アー
ム１６上に移動させた後、置かれているデバイスを吸着
した後、収納トレイ５３まで運んだ後、開放落下させて
デバイスを置く。
【００２１】（実施例２）本発明例は、回転収納アーム
１６のアームを２本にした場合の３つの無限軌道手段を
用いたＩＣテストハンドラのデバイス搬送機構である。
これについて、図２を参照して説明する。本装置の構成
は、供給バッファ部４０と、断熱壁５４と、回転テーブ
ル１２と、コンタクトアーム１４と、測定部７０と、回
転収納アーム１６と、収納バッファ部５０とで構成して
いる。この構成では、実施例１の構成の中で、回転収納
アーム１６のアームを３本から２本に減らした部分が異
なるのみである。この回転収納アーム１６の場合は、よ
り構造がシンプルで、かつ、アウトプット・タイムが短
縮できる。
【００２２】（応用例）上記実施例１、２の説明では、
供給ｙアーム４１のデバイス供給用吸着部４５を１つの
場合の例で説明したが、図３に示すように、供給ｙアー
ム４１の構造として、吸着部４５ａ、４５ｂを２個設け
る構造がある。これにより、供給トレイから一度に２個
のデバイスを吸着部４５ａ、５ｂにより吸着した後、回
転テーブル１２側に移動する。その後、第１制御手段と
しては、このｙ方向移動で、回転テーブル１２に置くと
きに、回転テーブル１２側の移動に合わせて待った後、
１個づつ置くように供給ｙアーム４１のｙ方向移動距離
の移動を２段階に制御する手段がある。これにより、供
給ｙアーム４１、供給ｘアーム４２の往復動作時間を減
らすことができ、高速にデバイスを回転テーブル１２に
供給できる。第２制御手段としては、待時間なく連続し
て第１ポケット、第２ポケットに１個づつ置くように制
御する。即ち、回転テーブル１２の回転移動を制御して
２カ所のポケット位置に回転させ、かつ供給ｙアーム４
１のｙ方向移動距離の移動を２段階に制御する。その
後、回転テーブル１２の位置は、本来の位置に戻してお
く。この場合は、第１制御手段より、一層高速にデバイ
スを回転テーブル１２に供給できる。この結果、供給ｙ
アーム４１の往復動作を半減できる。この場合は、デバ
イス供給時間がほぼ１／２となる為、高速のサイクルタ
イムで使用される場合に対応可能な手段である。上記説
明から、同様に、供給ｙアーム４１のデバイス吸着部を
２個からｎ個単位で設ける構成としても良く、同様にし
て実施できる。また、収納ｙアーム５１側についても、
供給ｙアーム４１側と逆の動作により同様にして、吸着
部をｎ個設ける構成としても良く、同様にして実施でき
る。
【００２３】上記実施例１、２の説明では、デバイス１
個を吸着する吸着部４５の例で説明したが、図４に示す
ように、２個あるいは４個等複数を同時に吸着／開放す
る構造の吸着部及びこれに対応するポケット１３構造に
しても良く、同様にして実施できる。また、収納ｙアー
ム５１についても、吸着部をｎ個単位で設ける構成とし
ても良く、同様にして実施でき、より高速のサイクルタ
イムに対応可能になる。
【００２４】上記実施例１、２の説明では、回転テーブ
ル１２を１ポケット単位づつ回転移動させて全部のポケ
ットにデバイスを置いていく説明であったが、測定部７
０でのテストタイムが長くソークタイムに余裕がある場
合には、回転テーブル１２上での無駄な待ち時間の適正
化制御をして、アウトプット・タイムを短縮する手段が
ある。即ち、ソークタイムを満足するように、ポケット
１３を跳び越しで置くように回転テーブル１２の動きを
制御する。あるいは、逆回転方向では、コンタクトアー
ム１４迄のポケットの個数が少ない点を利用して、回転
テーブル１２を逆方向に回転制御させ、これにより、同
様にして回転テーブル１２上での待ち時間の適正化させ
ても良い。これらの手段により、サイクルタイムとソー
クタイムに対応して最適の状態で回転テーブル１２を利
用することができる。
【００２５】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。回
転テーブル１２では、ポケット単位角度で回転する無限
軌道手段により、多数のポケットを円形状に設けること
により加熱／冷却する為のソークタイムを得る為のバッ
ファ機能を与えることができる効果がある。また、この
回転を制御して跳び越し配置することで、デバイスのテ
ストタイムに対応して容易にソークタイムを随時変更制
御出来、これにより、使用者の利便性がはかれる。ま
た、この為の駆動手段は、１つの回転駆動手段を設ける
のみで良く、かつ機構もシンプルな機構で実現でき、Ｍ
ＴＢＦを向上でき、少スペースで安価に構成できる利点
がある。少スペース化により恒温槽自体も小型にできる
利点がある。コンタクトアーム１４では、１２０度回転
する無限軌道手段により、デバイスの供給／排出移動が
できる。この為の駆動手段は、１つの回転駆動手段を設
けるのみで良く、かつ機構もシンプルな機構で実現でき
る利点がある。回転収納アーム１６では、回転する無限
軌道手段により、コンタクトアーム１４からのデバイス
を受け取り、収納ｙアーム５１の吸着位置に回転移動す
る。この為の駆動手段は、１つの回転駆動手段を設ける
のみで良く、かつ機構もシンプルな機構で実現できる利
点がある。上記３つの回転する無限軌道手段を連携して
配置して所定の回転制御をすることにより、デバイスの
搬送を最小のアウトプットタイムで実現できる効果があ
る。また、最適なインデックス・タイムでデバイスを搬
送できる効果がある。
【００２６】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の３つの回転無限軌道アームによる第１
のＩＣ搬送機構の構成図である。
【図２】本発明の３つの回転無限軌道アームによる第２
のＩＣ搬送機構の構成図である。
【図３】本発明の供給ｙアームに２個の吸着部４５ａ、
４５ｂを設けた場合の構造図である。
【図４】本発明の供給ｙアームに２個の吸着部４５ａ、
４５ｂを設け、回転テーブル側にも対応するポケットを
設けた場合の構造図である。
【図５】従来のＩＣ搬送機構の構成図である。
【図６】従来のＩＣ搬送機構のソークチャンバ１１０部
分の搬送動作を説明する図である。
【図７】吸着部の構造を説明する図である。
【符号の説明】
１２ 回転テーブル １３ ポケット １４ コンタクトアーム １４ａ、１４ｂ、１４ｃ アーム １５、１５ａ、１５ｂ、１５ｃ 吸着部 １６ 回転収納アーム １６ａ、１６ｂ、１６ｃ アーム １７ａ、１７ｂ、１７ｃ ポケット ４０ 供給バッファ部 ４１ 供給ｙアーム ４２ 供給ｘアーム ４３ 供給トレイ ４５、４５ａ、４５ｂ 吸着部 ５０ 収納バッファ部 ５１ 収納ｙアーム ５２ 収納ｘアーム ５３ 収納トレイ ５４ 断熱壁 ５５ 吸着部 ７０ 測定部 ７１ デバイス ８０ 吸着アーム ８２ 吸着パッド ８３ 制御空気圧 ８４ 上下駆動手段 １００ ボート １１０ チャンバ １２０ 回転アーム １２１ａ〜１２１ｄ 吸着部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｇ 7630−4Ｍ 21/68 Ａ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 被搬送デバイス（７１）を供給する供給
    バッファ部（４０）からｎ個単位でデバイス（７１）を
    受け取り、ｎ個単位で排出するデバイス（７１）を収納
    する収納バッファ部（５０）を有するＩＣハンドラにお
    いて、 供給バッファ部（４０）からのデバイス（７１）を受け
    取る為に、円盤状の回転テーブル（１２）にｎ個単位で
    デバイス（７１）を収納するポケット（１３）を複数設
    けて、デバイス（７１）をコンタクトアーム（１４）へ
    搬送する回転テーブル（１２）を設け、 当該回転テーブル（１２）からのデバイス（７１）を受
    け取る為に、３本のアームを配置して、各アームの先端
    部にｎ個単位でデバイス（７１）を吸着する吸着部（１
    ５）を有し、同時に他のデバイス（７１）を回転収納ア
    ーム（１６）へ搬送するコンタクトアーム（１４）を設
    け、 当該コンタクトアーム（１４）からのデバイス（７１）
    を受け取る為に、複数本のアームを配置して、各アーム
    の先端部にｎ個単位でデバイス（７１）を収納するポケ
    ット（１３）を設け、同時に他のデバイス（７１）を収
    納バッファ部（５０）に搬送する回転収納アーム（１
    ６）を設けたことを特徴としたＩＣテストハンドラのデ
    バイス搬送機構。
  2. 【請求項２】 請求項１記載の回転テーブル（１２）の
    回転制御手段として、 １ポケット（１３）角度単位、あるいはｍポケット（１
    ３）角度単位で、正回転あるいは逆回転移動する回転制
    御手段を特徴としたＩＣテストハンドラのデバイス搬送
    機構。
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