JPH10329944A - 直線可動装置 - Google Patents
直線可動装置Info
- Publication number
- JPH10329944A JPH10329944A JP9138766A JP13876697A JPH10329944A JP H10329944 A JPH10329944 A JP H10329944A JP 9138766 A JP9138766 A JP 9138766A JP 13876697 A JP13876697 A JP 13876697A JP H10329944 A JPH10329944 A JP H10329944A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide rails
- guide rail
- rotary
- conveying head
- rotary conveying
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
- H05K13/082—Integration of non-optical monitoring devices, i.e. using non-optical inspection means, e.g. electrical means, mechanical means or X-rays
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
Abstract
(57)【要約】
【課題】 固定部に対し、可動部を直線運動させる直線
可動装置において、短い寸法のガイドレールによって可
動部のストロークを大きく得る。 【解決手段】 固定部及び可動部の互に対向する面に装
着した一対の直線ガイドレールと、これら一対の直線ガ
イドレールの双方にスライド自在にスライド結合したス
ライド結合子とによって構成する。
可動装置において、短い寸法のガイドレールによって可
動部のストロークを大きく得る。 【解決手段】 固定部及び可動部の互に対向する面に装
着した一対の直線ガイドレールと、これら一対の直線ガ
イドレールの双方にスライド自在にスライド結合したス
ライド結合子とによって構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は例えばＩＣを自動
搬送し、ＩＣを自動的に試験する装置等に利用すること
ができる直線可動装置に関する。
搬送し、ＩＣを自動的に試験する装置等に利用すること
ができる直線可動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４に従来のＩＣ自動搬送装置の一例を
示す。図中１１は恒温槽の天井板を示す。恒温槽の天井
板１１と対向して床板１２が配置され、天井板１１と床
板１２の間に回転搬送ヘッド１３が配置され、この回転
搬送ヘッド１３がソークステージ１４からテストヘッド
１５にＩＣ１６を搬送し、また、テストヘッド１５から
排出側の搬送手段１７にＩＣ１６を搬送してＩＣ１６の
試験を順次実行する。尚、回転搬送ヘッド１３は真空吸
着ヘッドを具備し、この真空吸着ヘッドによってＩＣ１
６を吸着して搬送を行なう。
示す。図中１１は恒温槽の天井板を示す。恒温槽の天井
板１１と対向して床板１２が配置され、天井板１１と床
板１２の間に回転搬送ヘッド１３が配置され、この回転
搬送ヘッド１３がソークステージ１４からテストヘッド
１５にＩＣ１６を搬送し、また、テストヘッド１５から
排出側の搬送手段１７にＩＣ１６を搬送してＩＣ１６の
試験を順次実行する。尚、回転搬送ヘッド１３は真空吸
着ヘッドを具備し、この真空吸着ヘッドによってＩＣ１
６を吸着して搬送を行なう。
【０００３】回転搬送ヘッド１３は恒温槽の天井板１１
に回転自在に支持された回転アーム１８の先端に上下方
向に移動できるように支持される。回転アーム１８は例
えば１２０°間隔で３本のアームを具備し、この３本の
アームの各先端に回転搬送ヘッド１３が上下方向に移動
できるように支持される。図５に示す１９は回転搬送ヘ
ッド１３を上昇位置に偏倚させておく偏倚手段を示す。
この偏倚手段１９はバネによって構成することができ、
回転搬送ヘッド１３がプッシュロッド２１によって下向
に押されて下降し、ＩＣ１６を例えばソークステージ１
４から吸着して拾い上げると、回転搬送ヘッド１３は偏
倚手段１９の偏倚力によって上昇し、回転搬送ヘッド１
３を元の位置に戻す。
に回転自在に支持された回転アーム１８の先端に上下方
向に移動できるように支持される。回転アーム１８は例
えば１２０°間隔で３本のアームを具備し、この３本の
アームの各先端に回転搬送ヘッド１３が上下方向に移動
できるように支持される。図５に示す１９は回転搬送ヘ
ッド１３を上昇位置に偏倚させておく偏倚手段を示す。
この偏倚手段１９はバネによって構成することができ、
回転搬送ヘッド１３がプッシュロッド２１によって下向
に押されて下降し、ＩＣ１６を例えばソークステージ１
４から吸着して拾い上げると、回転搬送ヘッド１３は偏
倚手段１９の偏倚力によって上昇し、回転搬送ヘッド１
３を元の位置に戻す。
【０００４】回転アーム１８と回転搬送ヘッド１３との
間には回転搬送ヘッド１３を上下方向に移動させる直線
可動装置３０が介挿される。従来の直線可動装置３０は
回転アーム１８に垂直姿勢で取付けられた直線ガイドレ
ール３１と、この直線ガイドレール（以下単にガイドレ
ールと称す）３１にスライド自在に係合した可動子３２
とによって構成され、可動子３２が回転搬送ヘッド１３
を支持し、回転搬送ヘッド１３をガイドレール３１に沿
って上下に移動できるように支持する。
間には回転搬送ヘッド１３を上下方向に移動させる直線
可動装置３０が介挿される。従来の直線可動装置３０は
回転アーム１８に垂直姿勢で取付けられた直線ガイドレ
ール３１と、この直線ガイドレール（以下単にガイドレ
ールと称す）３１にスライド自在に係合した可動子３２
とによって構成され、可動子３２が回転搬送ヘッド１３
を支持し、回転搬送ヘッド１３をガイドレール３１に沿
って上下に移動できるように支持する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の直線可動装置３
０は図５に示したように回転アーム１８側に垂直姿勢で
取付けられたガイドレール３１と、このガイドレール３
１にスライド自在に結合した可動子３２とによって構成
されるため、ガイドレール３１の長さＬは実際に必要と
するストロークＳＴに少なくとも可動子３２の長さＰを
加えたＬ＝ＳＴ＋Ｐとなる。
０は図５に示したように回転アーム１８側に垂直姿勢で
取付けられたガイドレール３１と、このガイドレール３
１にスライド自在に結合した可動子３２とによって構成
されるため、ガイドレール３１の長さＬは実際に必要と
するストロークＳＴに少なくとも可動子３２の長さＰを
加えたＬ＝ＳＴ＋Ｐとなる。
【０００６】ガイドレール３１の長さＬがＬ＝ＳＴ＋Ｐ
であることから、ガイドレール３１の長さＬは必要なス
トロークＳＴより長くなる。恒温槽の天井板１１と床板
１２の間の寸法はガイドレール３１の長さＬの少なくと
も２倍強の長さを必要とし、ガイドレール３１の長さＬ
が長いことから恒温槽の形状は直線可動装置３０の構造
によって大形になる欠点を持つ。
であることから、ガイドレール３１の長さＬは必要なス
トロークＳＴより長くなる。恒温槽の天井板１１と床板
１２の間の寸法はガイドレール３１の長さＬの少なくと
も２倍強の長さを必要とし、ガイドレール３１の長さＬ
が長いことから恒温槽の形状は直線可動装置３０の構造
によって大形になる欠点を持つ。
【０００７】この発明の目的は恒温槽の天井板と床板と
の間の間隔を小さくすることができる直線可動装置の構
成を提供しようとするものである。
の間の間隔を小さくすることができる直線可動装置の構
成を提供しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明では固定部と可
動部の互に対向する面のそれぞれにガイドレールを装着
し、これらガイドレールの間を、ガイドレールの双方に
対してスライド自在に係合したスライド結合子によって
結合した構造としたものである。更に詳しくは、固定部
及び可動部の互に対向する面に装着され、ほぼ同一長と
された一対の直線ガイドレールと、この一対のガイドレ
ールを互に端部同士が向き合う位置に偏倚させる偏倚手
段と、一対のガイドレールの一方のガイドレールに対し
ては一端側にスライド自在に結合し、他方のガイドレー
ルに対しては他端側にスライド自在に結合したスライド
結合子とによって構成した直線可動装置を提案するもの
である。
動部の互に対向する面のそれぞれにガイドレールを装着
し、これらガイドレールの間を、ガイドレールの双方に
対してスライド自在に係合したスライド結合子によって
結合した構造としたものである。更に詳しくは、固定部
及び可動部の互に対向する面に装着され、ほぼ同一長と
された一対の直線ガイドレールと、この一対のガイドレ
ールを互に端部同士が向き合う位置に偏倚させる偏倚手
段と、一対のガイドレールの一方のガイドレールに対し
ては一端側にスライド自在に結合し、他方のガイドレー
ルに対しては他端側にスライド自在に結合したスライド
結合子とによって構成した直線可動装置を提案するもの
である。
【０００９】この発明による直線可動装置によれば固定
部及び可動部に設けた２本のガイドレールは、必要なス
トロークを１／２ずつ受持つことになる。このために２
本のガイドレールの長さはスライド結合子の長さＰに、
必要なストロークＳＴの１／２を加えた長さＬ＝ＳＴ／
２＋Ｐでよく、ガイドレールの長さを短くすることがで
きる。
部及び可動部に設けた２本のガイドレールは、必要なス
トロークを１／２ずつ受持つことになる。このために２
本のガイドレールの長さはスライド結合子の長さＰに、
必要なストロークＳＴの１／２を加えた長さＬ＝ＳＴ／
２＋Ｐでよく、ガイドレールの長さを短くすることがで
きる。
【００１０】この結果、ガイドレールの長さＬを短くで
きることから、恒温槽の高さ寸法（天井板１１と床板１
２との間の寸法）を小さくすることができ、恒温槽の形
状を小さくできる利点が得られる。
きることから、恒温槽の高さ寸法（天井板１１と床板１
２との間の寸法）を小さくすることができ、恒温槽の形
状を小さくできる利点が得られる。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１にこの発明による直線可動装
置３０の一実施例を示す。図１において、図５と対応す
る部分に同一符号を付し、その重複説明は省略するが、
この発明では固定部（以下回転アーム１８と称す）と可
動部（以下回転搬送ヘッド１３と称す）の互に対向する
面にガイドレール３１Ａと３１Ｂを装着し、このガイド
レール３１Ａと３１Ｂの間をスライド結合子３３によっ
て結合させる。スライド結合子３３は一方のガイドレー
ル３１Ａにスライド自在に結合する可動子３３Ａと、他
方のガイドレール３１Ｂにスライド自在に結合する可動
子３３Ｂと、これら可動子３３Ａと３３Ｂを一体に結合
するボディ３４とによって構成される。
置３０の一実施例を示す。図１において、図５と対応す
る部分に同一符号を付し、その重複説明は省略するが、
この発明では固定部（以下回転アーム１８と称す）と可
動部（以下回転搬送ヘッド１３と称す）の互に対向する
面にガイドレール３１Ａと３１Ｂを装着し、このガイド
レール３１Ａと３１Ｂの間をスライド結合子３３によっ
て結合させる。スライド結合子３３は一方のガイドレー
ル３１Ａにスライド自在に結合する可動子３３Ａと、他
方のガイドレール３１Ｂにスライド自在に結合する可動
子３３Ｂと、これら可動子３３Ａと３３Ｂを一体に結合
するボディ３４とによって構成される。
【００１２】１９Ａ，１９Ｂは回転搬送ヘッド１３を上
死点位置に戻すための偏倚手段を示す。この偏倚手段１
９Ａと１９Ｂはバネによって構成され、一方の偏倚手段
１９Ａはスライド結合子３３を構成するボディ３４と回
転アーム１８との間に装着され、スライド結合子３３を
上死点位置に戻す偏倚力を発生し、他方の偏倚手段１９
Ｂはスライド結合子３３を構成するボディ３４と回転搬
送アーム１３との間に装着され、回転搬送ヘッド１３を
上死点位置に戻す偏倚力を発生する。
死点位置に戻すための偏倚手段を示す。この偏倚手段１
９Ａと１９Ｂはバネによって構成され、一方の偏倚手段
１９Ａはスライド結合子３３を構成するボディ３４と回
転アーム１８との間に装着され、スライド結合子３３を
上死点位置に戻す偏倚力を発生し、他方の偏倚手段１９
Ｂはスライド結合子３３を構成するボディ３４と回転搬
送アーム１３との間に装着され、回転搬送ヘッド１３を
上死点位置に戻す偏倚力を発生する。
【００１３】ガイドレール３１Ａと３１Ｂは同一の長さ
とされ回転搬送アーム１３が上死点位置に偏倚した状態
では回転アーム１８と回転搬送ヘッド１３に取付けたガ
イドレール３１Ａと３１Ｂは互に上端及び下端が同一位
置に揃った状態で対向する。この状態でスライド結合子
３３を構成する可動子３３Ａはガイドレール３１Ａの上
端側に位置し、他方の可動子３３Ｂはガイドレール３１
Ｂの下端側に配置される。
とされ回転搬送アーム１３が上死点位置に偏倚した状態
では回転アーム１８と回転搬送ヘッド１３に取付けたガ
イドレール３１Ａと３１Ｂは互に上端及び下端が同一位
置に揃った状態で対向する。この状態でスライド結合子
３３を構成する可動子３３Ａはガイドレール３１Ａの上
端側に位置し、他方の可動子３３Ｂはガイドレール３１
Ｂの下端側に配置される。
【００１４】回転搬送ヘッド１３が上死点位置に戻され
ている状態でプッシュロッド２１によって回転搬送ヘッ
ド１３に下向の偏倚力を与えると、回転搬送ヘッド１３
に与えられた下向の偏倚力は偏倚手段１９Ｂを介してス
ライド結合子３３に与えられ、更にスライド結合子３３
から偏倚手段１９Ａに伝達される。この結果、スライド
結合子３３は回転搬送ヘッド１３の移動量の約１／２の
移動量の比率で下向に移動する。つまり回転搬送ヘッド
１３は偏倚手段１９Ａと１９Ｂの伸び量に対応して移動
し、スライド結合子３３は偏倚手段１９Ａの偏倚量に対
応して移動する。この結果、スライド結合子３３がガイ
ドレール３１Ａの余剰部分（可動子３３Ａと３３Ｂの長
さＰを差し引いた残りの寸法）をスライドする間に、回
転搬送ヘッド１３はガイドレール３１Ａと３１Ｂの２本
のガイドレールの余剰部分に相当する量だけ降下する。
ている状態でプッシュロッド２１によって回転搬送ヘッ
ド１３に下向の偏倚力を与えると、回転搬送ヘッド１３
に与えられた下向の偏倚力は偏倚手段１９Ｂを介してス
ライド結合子３３に与えられ、更にスライド結合子３３
から偏倚手段１９Ａに伝達される。この結果、スライド
結合子３３は回転搬送ヘッド１３の移動量の約１／２の
移動量の比率で下向に移動する。つまり回転搬送ヘッド
１３は偏倚手段１９Ａと１９Ｂの伸び量に対応して移動
し、スライド結合子３３は偏倚手段１９Ａの偏倚量に対
応して移動する。この結果、スライド結合子３３がガイ
ドレール３１Ａの余剰部分（可動子３３Ａと３３Ｂの長
さＰを差し引いた残りの寸法）をスライドする間に、回
転搬送ヘッド１３はガイドレール３１Ａと３１Ｂの２本
のガイドレールの余剰部分に相当する量だけ降下する。
【００１５】従ってガイドレール３１Ａと３１Ｂの余剰
部分の寸法は回転搬送ヘッド１３に必要なストロークＳ
Ｔの約１／２の寸法でよいことになる。尚、上述の実施
例では回転アーム１８と回転搬送ヘッド１３との間にス
ライド結合子３３を１個設けた場合を説明したが、図３
に示すようにスライド結合子３３を複数（図の例では２
個）設けることも考えられる。
部分の寸法は回転搬送ヘッド１３に必要なストロークＳ
Ｔの約１／２の寸法でよいことになる。尚、上述の実施
例では回転アーム１８と回転搬送ヘッド１３との間にス
ライド結合子３３を１個設けた場合を説明したが、図３
に示すようにスライド結合子３３を複数（図の例では２
個）設けることも考えられる。
【００１６】このようにスライド結合子３３の数を増す
ことにより、ガイドレール３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ，３
１Ｄの各余剰部分の長さを更に短くすることができる。
図３に示した例ではガイドレール３１Ａ〜３１Ｄの各余
剰部分の長さは必要ストロークＳＴの約１／４に縮める
ことができる。
ことにより、ガイドレール３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ，３
１Ｄの各余剰部分の長さを更に短くすることができる。
図３に示した例ではガイドレール３１Ａ〜３１Ｄの各余
剰部分の長さは必要ストロークＳＴの約１／４に縮める
ことができる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
可動部の可動ストロークＳＴに対し、ガイドレール３１
Ａ，３１Ｂの長さを１／２或は１／４，…１／Ｎに縮め
ることができる。この結果、恒温槽の内部に装着するガ
イドレールの長さを短くできることから、恒温槽の高さ
寸法を低くすることができる。よって恒温槽を小形にす
ることができるから、例えばＩＣ試験装置の全体の構成
を小さくできる利点が得られる。また恒温槽を小形化で
きることから恒温槽を所定の温度に維持するための電力
消費量或は冷媒の使用量等も少なくできる利点が得ら
れ、その効果は実用に供して頗る大である。
可動部の可動ストロークＳＴに対し、ガイドレール３１
Ａ，３１Ｂの長さを１／２或は１／４，…１／Ｎに縮め
ることができる。この結果、恒温槽の内部に装着するガ
イドレールの長さを短くできることから、恒温槽の高さ
寸法を低くすることができる。よって恒温槽を小形にす
ることができるから、例えばＩＣ試験装置の全体の構成
を小さくできる利点が得られる。また恒温槽を小形化で
きることから恒温槽を所定の温度に維持するための電力
消費量或は冷媒の使用量等も少なくできる利点が得ら
れ、その効果は実用に供して頗る大である。
【図１】この発明の一実施例を説明するための側面図。
【図２】この発明の動作を説明するための側面図。
【図３】この発明の変形実施例を説明するための側面
図。
図。
【図４】従来の技術を説明するための斜視図。
【図５】従来の技術を説明するための側面図。
１３ 可動部として作用する回転搬送ヘッド １８ 固定部として作用する回転アーム １９，１９Ａ，１９Ｂ 偏倚手段 ３０ 直線可動装置 ３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ 直線ガイドレール ３３ スライド結合子
Claims (3)
- 【請求項１】 Ａ．固定部及び可動部の互に対向する面
に装着した一対の直線ガイドレールと、 Ｂ．これら一対の直線ガイドレールの双方にスライド自
在に結合したスライド結合子と、によって構成したこと
を特徴とする直線可動装置。 - 【請求項２】 Ａ．固定部及び可動部の互に対向する面
に装着され、ほぼ同一長とされた一対の直線ガイドレー
ルと、 Ｂ．この一対の直線ガイドレールを互に端部同士が向き
合う位置に偏倚させる偏倚手段と、 Ｃ．上記一対の直線ガイドレールの一方の直線ガイドレ
ールに対しては一端側にスライド自在に結合し、他方の
直線ガイドレールに対しては他端側にスライド自在に結
合したスライド結合子と、によって構成したことを特徴
とする直線可動装置。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載の何れか一方の直線
可動装置において、上記スライド結合子を複数設けたこ
とを特徴とする直線可動装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9138766A JPH10329944A (ja) | 1997-05-28 | 1997-05-28 | 直線可動装置 |
| US09/085,558 US5957305A (en) | 1997-05-28 | 1998-05-27 | Linearly moving mechanism |
| MYPI98002385A MY124150A (en) | 1997-05-28 | 1998-05-28 | Linearly moving mechanism |
| DE19823933A DE19823933B4 (de) | 1997-05-28 | 1998-05-28 | Lineare Bewegungseinrichtung |
| KR1019980019450A KR100307774B1 (ko) | 1997-05-28 | 1998-05-28 | 직선이동기구 |
| TW087108310A TW404926B (en) | 1997-05-28 | 1998-05-28 | Linear translation mechanism and the semiconductor device transmission transporting and processing device having linear translation mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9138766A JPH10329944A (ja) | 1997-05-28 | 1997-05-28 | 直線可動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10329944A true JPH10329944A (ja) | 1998-12-15 |
Family
ID=15229701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9138766A Pending JPH10329944A (ja) | 1997-05-28 | 1997-05-28 | 直線可動装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5957305A (ja) |
| JP (1) | JPH10329944A (ja) |
| KR (1) | KR100307774B1 (ja) |
| DE (1) | DE19823933B4 (ja) |
| MY (1) | MY124150A (ja) |
| TW (1) | TW404926B (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100349942B1 (ko) * | 1999-12-06 | 2002-08-24 | 삼성전자 주식회사 | 램버스 핸들러 |
| US6449531B1 (en) * | 2000-08-25 | 2002-09-10 | Advanced Micro Devices, Inc. | System for batching integrated circuits in trays |
| JP4349743B2 (ja) * | 2000-12-20 | 2009-10-21 | 東北精機工業株式会社 | Ｉｃハンドラー |
| DE10064108A1 (de) * | 2000-12-21 | 2002-07-18 | Siemens Production & Logistics | Bestückkopf und Bestücksystem für eine Bestückvorrichtung zum Bestücken von Bauelementen |
| US6835040B2 (en) * | 2001-11-09 | 2004-12-28 | Neil Quiring | Laser cutting plate conveyor |
| JP2004257980A (ja) * | 2003-02-27 | 2004-09-16 | Mire Kk | 半導体素子テスト用ハンドラ |
| DE10316293B4 (de) * | 2003-04-09 | 2005-03-10 | Siemens Ag | Bestückkopf zum Aufnehmen, Transportieren und Aufsetzen von Bauelementen |
| US6967475B2 (en) * | 2004-01-22 | 2005-11-22 | Asm Assembly Automation Ltd. | Device transfer mechanism for a test handler |
| TWI323503B (en) * | 2005-12-12 | 2010-04-11 | Optopac Co Ltd | Apparatus, unit and method for testing image sensor packages |
| EP2007186A1 (en) * | 2007-06-19 | 2008-12-24 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Placement device, assembly device and method to calculate a desired characteristic of a placement device |
| EP2007187A1 (en) * | 2007-06-19 | 2008-12-24 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Placement device and assembly device |
| DE102007047678B4 (de) * | 2007-10-05 | 2010-02-11 | Multitest Elektronische Systeme Gmbh | Handhabungsvorrichtung für elektronische Bauelemente, insbesondere IC's, mit Pneumatikzylinderbewegungseinrichtung zum Verschieben von Plungern |
| JP4450081B2 (ja) * | 2008-02-13 | 2010-04-14 | セイコーエプソン株式会社 | 部品試験装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3141677B2 (ja) * | 1994-02-28 | 2001-03-05 | 安藤電気株式会社 | 複数の吸着ハンドによるｉｃ搬送機構 |
| DE4408537A1 (de) * | 1994-03-14 | 1995-09-21 | Leybold Ag | Vorrichtung für den Transport von Substraten |
| JP3563108B2 (ja) * | 1994-05-27 | 2004-09-08 | 株式会社アドバンテスト | Ｉｃテストハンドラのデバイス搬送機構 |
| US5865319A (en) * | 1994-12-28 | 1999-02-02 | Advantest Corp. | Automatic test handler system for IC tester |
| JP4020337B2 (ja) * | 1997-02-07 | 2007-12-12 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置の製造方法 |
-
1997
- 1997-05-28 JP JP9138766A patent/JPH10329944A/ja active Pending
-
1998
- 1998-05-27 US US09/085,558 patent/US5957305A/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-05-28 TW TW087108310A patent/TW404926B/zh not_active IP Right Cessation
- 1998-05-28 DE DE19823933A patent/DE19823933B4/de not_active Expired - Fee Related
- 1998-05-28 MY MYPI98002385A patent/MY124150A/en unknown
- 1998-05-28 KR KR1019980019450A patent/KR100307774B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19980087453A (ko) | 1998-12-05 |
| DE19823933A1 (de) | 1999-02-25 |
| TW404926B (en) | 2000-09-11 |
| DE19823933B4 (de) | 2004-04-15 |
| US5957305A (en) | 1999-09-28 |
| KR100307774B1 (ko) | 2001-11-15 |
| MY124150A (en) | 2006-06-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH10329944A (ja) | 直線可動装置 | |
| CN111139692A (zh) | 一种轨道交通的轨道梁道岔机构 | |
| US20060158179A1 (en) | Apparatus for testing un-moulded IC devices using air flow system and the method of using the same | |
| JP2547022Y2 (ja) | Ｉｃ試験装置 | |
| JP2017022342A (ja) | プローブカード搬送装置、プローブカード搬送方法及びプローブ装置 | |
| US4157818A (en) | X-Y Movable work holder | |
| CN208255267U (zh) | 一种测试生产线用的对接机构 | |
| JP2002071749A (ja) | Ｉｃパッケージの試験評価用ソケット | |
| CN106276690A (zh) | 用于扫描床的电控升降装置 | |
| CN105785212A (zh) | 一种检测线路接线端子通断的导通治具 | |
| CN207114648U (zh) | 一种汽车电子元件通电性测试治具 | |
| CN207964906U (zh) | 一种芯片自动测试装置 | |
| CN113415585A (zh) | 用于3c产品组装且具有自动夹紧功能的上料装置 | |
| US6540457B1 (en) | Multi-section cover device for a slide way of a machining apparatus | |
| KR20000065748A (ko) | 번인테스터 소팅 핸들러용 픽커의 간격조절장치 | |
| CN219015625U (zh) | 一种用于驱动按摩机芯倾斜平移的设备 | |
| KR20080010755A (ko) | 슬라이드 레일의 내측홈 측정장치 | |
| CN216846347U (zh) | 检测装置 | |
| CN210863758U (zh) | 一种用于全自动免疫层析分析仪的三维取样装置 | |
| CN218972240U (zh) | 一种可调节的货物出库扫码机 | |
| JP2535051Y2 (ja) | Ｉｃ搬送装置におけるｉｃ素子のｉｃソケット接触機構 | |
| CN215641591U (zh) | 具批次检测的检测装置及使用该检测装置的检测平台 | |
| CN219339583U (zh) | 一种简易型平板agv移动机器人 | |
| CN217417001U (zh) | 测量用托盘升降输送机构 | |
| CN219057764U (zh) | 组装电池推出机构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040608 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040809 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040831 |