經濟郎中央標隼局員工消費合作社印裝 A7ΑΠ4926 _B_L___五、發明説明(^ ) (發明之領域） 本發明係關於一種可將物品沿著直線往復移動的直線 移動機構，係關於一種例如用於測試而運送到例半導體積 體電路之半導體元件，且使用於依照測試結果來類別經測 試半導體元件之半導體元件運送處理裝置（一般稱爲輸送 裝置）等有益之直線移動機構。 (以往之技術） 首先，對於使用該種之直線移動機構之裝置之一例子 的半導體元件運送處理裝置（以下簡稱爲輸送裝置）加以 說明。第4圖係表示以往稱爲水平運送方式的輸送裝置之 一例子的槪略構成。該輸送裝置係連接於用於試驗半導體 元件的半導體元件試驗裝置，尤其是，因連接於用於試驗 半導體元件之代表例的半導體積體電路（以下，簡稱爲 1 C )的I C試驗裝置所使用者，因此藉由直線移動機構 所移動之物品係I C。然而，此等直線移動機構係當然也 使用在直線移動I C以外之物品的裝置者。 例示之輸送裝置係包括成爲底座之架台1之圖中沿著 下例1 A所配置之複數托盤群2A〜2 E。各該托盤群 2 A〜2 E係垂直方向地重疊複數個托盤所構成（在例示 中’托盤群2E係僅一枚托盤），在圖中，最左邊之托盤 群2 A係位在卸載部之位置。在卸載部之托盤群2 A之各 托盤載置有就要接受試驗IC(被試驗IC)。 從裝載部之托盤群2 A之最上段托盤利用X - Y運送 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I t裝 I I 訂-r、 -, (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -4- 404926 A7 B7 ft 五、發明説明（2 ) 臂3A，3 B在此例子每次兩個地運出被試驗I C而被運 送至稱爲沙克台的旋轉式I C運送體.4 (也稱爲轉盤）° 在I C運送體4爲了將I C規定接受位置，有大約正方形 之四邊且以向上傾斜面圍繞之定位用凹狀5大約以等角度 間隔同心圓狀地形成，在本例子爲形成兩列，I C運送體 4在例如圖示例子係每一次向順時鐘方向轉動一節距（一 個定位用凹部5之移送角度），X — Y運送臂3A，3B 將兩個IC掉進同心圓狀之兩列定位用凹部5所對應的定 位用凹部。具體而言，在該例子中，X — Y運送臂3A， 3 B之Y運送臂3 A安裝有運送頭3 C，介經該運送頭 3.C把持裝載部之托盤群2 A之最上托盤中的兩個被試驗 I C，並將藉由X — Y運送臂3A，3B之X — Y方向的 運動所把持的被試驗I C從該托盤運送至I C運送體4。 以IC所運來之IC係藉由稱爲接觸臂之旋轉臂的旋 轉式運送臂6被送進試驗部7。該接觸臂'6係從I C運送 體4之各定位用凹部5取出兩個被試驗IC並運送至試驗 部7。接觸臂6係分別具有安裝有運送頭的三具臂，藉由 旋轉此等三具臂實行將被把持在此等運送頭之被試驗IC 依次送進試驗部7之動作，及將在試驗部7終了試驗之經 試驗IC交接給輸出側之旋轉式運送臂8的動作。 又’ I C運送體4，接觸臂6及試驗部7係被收容在 藉由隔熱構件所構成的恆溫槽（一般稱爲室）9內，構成 在該恒溫槽9由保持被試驗I C於所定溫度之狀態下能實 行試驗。亦即•形成恆溫槽9內被控制在高溫（例如 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) %
、1T 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) Α4規格（2丨0Χ297公釐） -5- 404926 at B7 烴濟部中失樣隼局員工消費合作社印裝 五、發明説明（3 ) 1 2 5 °C )或低溫（例如一 5 5 °C )之所定溫度，可將溫 度應力給與被試驗I C之構造。又，輸出口側之旋轉式蓮 送臂8 —般係任一支臂配置在恆溫槽9內之狀態。 輸出側之旋轉式運送臂8也分別具備安裝有運送頭的 三具臂’介經旋轉此等三具臂將被保持在此等運送頭的經 試驗I C運出至卸載部。從恆溫槽9被運出之經試驗之 1 C係分別儲存於隨著試驗結果之資料配置於卸載部之該 例子中三具托盤群2C，2D，2Ε之任一群中。例如， 不良ί C係被儲存在最右邊之托盤群2 Ε之托盤。而良品 之I C係被儲存在其左邊之托盤群LD之托盤，須再試驗 之Ϊ C係被儲存於左邊之托盤群2 C之托盤。此等之分別 係依照試驗結果之資料而被控制之運送臂1 〇Α，1〇Β 所實行。在該例係在Υ運送臂丨0Α安裝有運送頭1 〇 c ’並介經該運送頭1 〇 C把持經分別的經試驗I C而運送 至所定之托盤。 又’圖中從左邊第2個托盤群2 Β係表示配置於收容 在裝載部成爲空之托盤的緩衝部之空托盤群。該空托盤群 2 Β之各托盤係卸載部之各托盤群2 c，2D，2 Ε之重 疊的最上段托盤成爲滿載時，被運至該托盤群上被利用於 I C之儲存。 參照第5圖及第6圖更詳述上述接觸臂6。該接觸臂 6係旋轉軸（參照第6圖）可旋轉地安裝於恆溫槽9之隔 熱性頂部壁11 ’而臂支持體6β裝設於該旋轉軸βΑ之 下％。卩。二支臂ί 8 (在第5圖僅可看到一支臂）從該臂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )人4规樁（21〇χ297公釐） -6 - 404926 經齊郎中央樣苹局員工消費合作社印裝 五、發明説明（4 ) 支持體6 B以大約1 2 0°之再度間隔向大約水平方向放 射狀地突出。各臂1 8係具有向大約水平方向突出的臂本 體部分1 8A，及從該臂本體部分1 8A向大約直角方向 垂向下方的腳部1 8 B的L形構件，藉由使旋轉軸6 A成 爲旋轉，此等三支臂1 3也旋轉。 在各臂1 8之垂下腳部1 8 B的外側壁面，從垂下腳 部1 8 B之上部至其下部全面直線導軌3 1安裝於垂直方 向，又設有扣合於該直線導軌3 1 ，且沿著直線導軌3 1 向上下方向（垂直方向）滑動的一對活動構件3 2。此等 活動構件3 2係安裝於大約直角地折彎板狀構件之兩端， 且藉由增強構件1 4 A所增強的頭支持構件1 4之垂直臂 面上部。在該頭支持構件1 4之前端，裝設有把持I C並 旋轉運送之運送頭1 3。因此，頭支持構件1 4及運送頭 1 3係經活動構件3 2及直線導軌3 1 。可向垂直方向（ 上下方向）昇降地安裝在各臂1 8之垂下腳部1 8 B。又 ，運送頭1 3係在該例子備兩具真空吸附頭，構成藉由此 等真空吸附頭來吸附，把持I C 1 6並予以旋轉運送。 又，由於拉力盤簧1 9垂直方向地架設在安裝於各頭 支持構件1 4下部的臂構件1 5，及安裝於對應之各臂 1 8之垂下腳部1 8 B上部的臂構件2 0之間’因此’各 頭支持構件1 4係介經該盤簧1 9之拉力經常偏倚向上方 俾停止在各臂1 8之垂下腳部1 8 B的外側壁面之所定 位置（表示於第6圖之位置）。 旋轉式I C運送體4係其旋轉軸（未予圖示）可旋轉 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁j 、-& 丁. 本纸張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（2丨〇><297公釐） 404926 38.11. 2 年月 u — 一___補見 Α7 Β7 五、發明說明（5 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 地安裝於恆溫槽9之隔熱性底部壁1 2 ，而I C運送體4 係隔著所定間隔配置於該底部壁12之上部。IC運送體 4係在本例子具有六條框結合其中心部分與周邊部分之構 •造’而被試驗I C係該周邊部分同心圓狀地在本例子儲存 於兩列所形成之定位用凹部5內並被運送。 在表示於第4圖至第6圖的以往之輸送裝置，由於試 驗部7位於比I C運送體4較低之位置（關於垂直方向） ’因此將具有平面呈約半環狀且向下方垂下之部分（周面 )呈反三角形狀（參照第5圖）的凸輪2 4與接觸臂6之 旋轉軸同心地安裝，藉由運送頭13吸附，把持IC16 並旋轉運送時，藉由該凸輪2 4向下方移動頭支持構件 1 4，構成能將運送頭1 3從試驗部7定位在事先決定之 高度。然而，此僅爲一例子，即使試驗部7與I C運送體 4在相同平面仍需要直線移動機構，當然輸送裝置之構成 及構造並不被限定於圖示之例子。 又，凸輪2 4係被固定，雖未實行驅動安裝於頭支持 構件1 4之從動件的運動，惟因實行與凸輪同樣之作用， 因此，在此稱爲凸輪。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印則农 在上述構成中，如第6圖所示，當接觸臂6之一支臂 1 8轉動停止在I C運送體4之上部的所定位置時，則其 他兩支臂係形成分別停止在試驗部7之上部及交接至出口 側旋轉式運送臂8之位置（緩衝台）之上部的所定位置。 在該停止位置中，在各頭支持構件1 4之頂部上方隔著所 定間隔相對向配置有推桿2 1 。各推桿2 1係可向上下方 本纸張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經齊郎中失腠隼"員工消費合阼；ϋ印" 404926 _B7_五、發明説明（6) 向（垂直方向）移動地安裝於恆溫槽9之頂部壁1 1，當 接觸臂6之各臂18停止在I C運送體4，試驗部7，緩 衝台之上部的各該所定位置時，各該推桿2 1係藉由未予 圖不之驅動源下降所定之行程。 參照第6圖更具體地說明停止在IC運送體4上部的 一支臂1 8之動作。藉由驅動源使對應之推桿2 1下降所 定行程（距離）時，則首先推桿2 1之前端部2 1A抵接 於頭支持構件1 4之頂部，並向下方推壓頭支持構件χ 4 ’由此’安裝於頭支持構件1 4的一對活動構件3 2頂抗 於盤簧1 9之拉力並沿著安裝於臂1 8之垂下腳部1 8 B 的直線導軌3 1向下方驅動，故頭支持構件1 4係與運送 頭1 3 —起向下方下降，當推桿2 1下降所定行程時，運 送頭1 3之各真空吸附頭係僅下降所定之距離（行程） ST ’使運送頭1 3之各真空吸附頭與搭載於I C運送體 4之定位用凹部5之被試驗I C相接觸。換言之，依驅動 源之推桿2 1之下降行程係設定成運送頭1 3之各真空吸 附頭從所定之停止位置下降至與搭載於IC運送體4之定 位用凹部5的被試驗I C相接觸之位置的數値。 當運送頭1 3之各真空吸附頭吸附保持被試驗I C時 ，驅動源被斷開。由此，由於盤簧1 9藉由其拉力向上方 引拉頭支持構件1 4，因此，頭支持構件1 4係介經一對 活動構件3 2沿著直線導軌3 1向上方滑動，上方至原來 之停止位置而停止。因此，成爲兩件被試驗I C 1 6被吸 附保持在運送頭13並從IC運送體4之定位用己部5被 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺皮適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） -9- A7 B7 40492 五、發明說明(7 ) 移至其上部所定位置。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) —方面’在試驗部7藉由驅動源使對應之推桿21下 降所定行程時’則藉由與上述相同之移動動作使被吸附保 •持在運送頭1 3之被試驗1C從所定之停止位置下降至與 試驗部7之未予圖示之I C插座接觸之位置。在該狀態下 實行被試驗I C之試驗。終了該試驗時，推桿2 1之驅動 源係被斷開。由此’因盤簧1 9藉由其拉力向上方引拉頭 支持構件1 4 ’因此’頭支持構件1 4係上昇至原來之停 止位置而停止。兩件經試驗I C係仍在被吸附保持在運送 頭1 3之狀態。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印5衣 又’在支持於出口側之旋轉式運送臂8的緩衝台中， 藉由驅動源使對應之推桿2 1下降至所定行程時，藉由與 上述相同之移動動作而被吸附保持在運送頭13之經試驗 I C從所定之停止位置下降至緩衝台上。在該狀態下被解 除運送頭1 3之吸附力，經試驗I C係從運送頭1 3被解 放。之後，推桿2 1之驅動源被斷開。由此，因盤簧1 9 藉由其拉力向上方引拉頭支持構件1 4 ，因此，頭支持構 件1 4係上昇至原來之停止位置而停止。故在運送頭1 3 之吸附頭未存在任何I C，一方面，兩件經試驗I C係被 放在緩衝台上之所定位置。 出口側之旋轉式運送臂8也形成使用與上述同樣之直 線移動機構而將經試驗I C從緩衝台運送至卸載部。 如上所述，因以往之直線移動機構係藉由安裝於接觸 臂6之各臂1 8之垂下腳部1 8 B的直線導軌3 1 ，及安 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 8an. 反二Τ' r：·- j-.C- 戽月ΓΙ Α7 --d0492te--------------丨 ——--- 五、發明說明（8 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝於頭支持構件1 4的一對活動構件3 2所構成’因此’ 如第6圖所示，活動構件3 2實際上須滑動的直線導軌 3 1之長度（有效長度）L ，係成爲至少在運送頭1 3 •實際上所必須之衝程S T加上活動構件3 2之長度的長度 (L = S T + P )。 爲了安定地，確實地滑動活動構件3 2，又’爲了可 調整活動構件3 2之行程，實際上可由第6圖瞭解，直線 導軌3 1係多餘地此活動構件3 2之停止位置（最上部位 置及最下部位置）向上方及下方延伸。因此，直線導軌 31之實際長度係有時成爲其有效長度L的約兩倍之長度 〇 結果，以往係須將恆溫槽9之頂部壁1 1與底部壁 12間之尺寸（長度），成爲導軌3 1之有效長度L的至 少兩倍之長度，因恆溫槽9成爲大型，因此，有整體輸送 裝置有大型化之重大缺點。 上述缺點係不被限定於輸送裝置，稱爲其他之水平運 送方式的輸送裝置，在恆溫槽內使用如上述之構成的直線 移動機構時也發生。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 例如，如第7圖所示，具備將用戶事先載置於用戶托 盤4 1的被試驗I C，重新轉送載置於可耐於高/低溫的 試驗托盤4 3的裝載部4 4，及具有在從裝載部4 4所搬 送之被試驗I C 4 2給與所定之溫度應力的滲入室4 5及 用於諭驗給與所定之溫度應力之被試驗I C的試驗部4 6 的恆溫槽4 7，及從試驗部4 0被載置於試驗托盤4 3並 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐) -1Ί - 理濟郎中失矂隼局員工消費合作社印裂 404926 五、發明説明（9) 運送至出口室4 8，被除去溫度應力之後，將從出口室 4 8所運送之經試驗I C從試驗托盤4 3重新轉送載置於' 用戶托盤4 1的卸載部4 9 ( 一般，大都是依照試驗結果 之資料載置於分數被試驗1C所對應於用戶托盤）；將試 驗托盤4 3循環移動裝載部4 4 —恆溫槽4 7 —卸載部 49->裝載部44，在試驗部45構成將被試驗IC42 電氣地接觸於IC插座能試驗IC的輸送裝置也使用多數 〇 在該形成之輸送裝置，構成在試驗部4 6也從試驗托 盤4 3取出被試驗I C並轉送至I C插座，能實行試驗的 輸送裝置時，形成需要X - Y輸送裝置及直線移動機構。 因此，與表示於上述第4圖至第6圖之輸送裝置同樣地， 直線移動機構之直線導軌之實際長度係成爲其有效長度之 至少兩倍之長度，因恆溫槽成爲大型，因此發生整體輸送 裝置成爲大型化的重大缺點。 又，並不被限定於輸送裝置，即使在以頂部壁與底部 壁所隔開之空間內使用如上述之構成之直線移動機構之裝 置，也因直線移動機構之直線移動機構之直線導軌之實際 長度成爲其有效長度之至少兩倍之長度，因此，收容該直 線移動機構之空間的頂部壁與底部壁間之間隔變大，發生 整體裝置成爲大型化之缺點。 (發明之槪要） 的係在於提供.一種可縮短分別安裝於固 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .袭. -12- 竣齊郎中矢嘌隼呙員工消費合咋.fi¥裂 404926 ；'Ί 五、發明説明（1〇) 定部及活動部之直線導軌之長度的直線移動機構。 本發明之另一目的係在於提供一種具備可減小恆溫槽 之頂部壁與底部壁之間隔的直線移動機構的半導體元件運 產蜜_Μϋ輸送裝置）。 爲了達成上述目的，本發明之第1面係提供一種直線 移動機構，係屬於具備具有互相對向之面的固定部與活動 部，活動部構成對於固定部能沿著直線往復移動的直線移 動機構，其特徵爲：具備安裝於與上述活動部相對向之固 定部之面的第1直線導軌，及安裝於與上述固定部相對向 之活動部之面成爲與上述第1直線導軌相對向的第2直線 導軌，及分別可滑動地扣合於上述第1及第2直線導軌的 第1及第2活動構件，及在上述第1及第2直線導軌互相 對向之狀態下，上述第1及第2活動構件係對於一方之直 線導軌支持於一端側，而對於另一方之直線導軌支持於相 反側之端部的活動構件支持體，及上述第1及第2直線導 軌在互相對向之狀態。分別將偏倚力給與上述活動部及上 述活動構件支持體的偏倚手段。 較理想之實施例係上述第1及第2直線導軌係具有大 約相同長度，將偏倚力給與上述活動部之偏倚手段及將偏 倚力給與上述活動構件支持體之偏倚手段，係設定此等之 偏倚力，使上述活動部移動所定之距離時，上述活動構件 支持體僅移動該活動部之移動距離之大約1 / 2之距離者 〇 又，將偏倚力給與上述活動部之偏倚手段及將偏倚力 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I,--------1------IT------碑 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -13- A7 B7 404926 五、發明説明（H) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 給與上述活動構件支持體之偏倚手段係分別爲拉力盤簧， 此等拉力盤簧係設定此等拉力，使上述活動部移動所定距 離時，僅伸張大約相等之長度者。 爲了達成上述目的，本發明之第2面係提供一種直線 移動機構’係屬於具備具有互相對向之面’的固定部與活動 部，活動部構成對於固定部能沿著直線往復移動的直線移 動機構’其特徵爲：具備安裝於與上述活動部相對向之固 定部之面的第1直線導軌，及安裝於與上述固定部相對向 之活動部之面成爲與上述第1直線導軌相對向的第2直線 導軌’及在上述第1及第2直線導軌互相對向之狀態下， 配成與上述第1直線導軌相對向的第3直線導軌，及 在上述第1及第2直線導軌互相對向之狀態下，配成 與上述第2直線導軌相對向的第4直線導軌，及在上述第 1及第3直線導軌互相對向之狀態下，將可滑動地扣合於 上述第1直線導軌的第1活動構件及可滑動地扣合於上述 第3直線導軌的第3活動構件，對於一方之直線導軌支持 於一端側，對於另一方之直線導軌支持於相反側之端部的 第1活動構件支持體，及在上述第2及第4直線導軌互相 對向之狀態下，將可滑動地扣合於上述第2直線導軌的第 2活動構件及可滑動地扣合於上述第4直線導軌的第4活 動構件，對於一方之直線導軌支持於一端側，對於另一方 之直線導軌支持於相反側之端部的第2活動構件支持體， 及在上述第1 ’第2 ’第3及第4直線導軌互相對向之狀 態下，分別將偏倚力給與上述活動部，上述第1活動構件 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -14 - 404926 at _B7_ 五 '發明説明（12) .支持體，上述第2活動構件支持體’上述第3及第4直線 導軌的偏倚手段，達成上述目的。 較佳實施例中，上述第3及第4直線導軌係被一體化 者。又，上述第1 ，第2，第3及第4直線導軌係具有大 約相同之長度。將偏倚力給與上述活動部之偏倚手段’分 別將偏倚力給與上述第1活動構件支持體及上述第2活動 構件支持體之偏倚手段，以及將偏倚力給與上述被一體化 之第3及第4直線導軌之偏倚手段，係設定此等之偏倚力 ，使上述活動部移動所定距離時，上述第1及第2活動構 件支持體，以及上述第3及第4直線導軌分別各移動該活 動部之移動距離之大約1/4之距離者。 又，將偏倚力給與上述活動部之偏倚手段，分別將偏 倚力給與上述第1活動構件支持體及上述第2活動構件支 ‘持體之偏倚手段，以及將偏倚力給與上述被一體化之第3 及第4直線導軌之偏倚手段係分別爲拉力盤簧，此等拉力 盤簧係設定此等拉力，使上述活動部移動所定距離時，僅 伸張大約相等之長度者。 又，在上述第3及第4直線導軌之間追加配置偶數個 直線導軌，構成將相鄰接之兩件直線導軌彼此間成爲一體 化，並設置分別將偏倚力給與各被一體化之直線導軌的偏 倚手段也可以。 在本發明之第3面，提供一種半導體元件運送處理裝 置，係屬於具備：配置於恆溫槽內，用於試驗給與所定之 溫度應力之被試驗半導體元件的試驗部，及在上述恆溫槽 j 1裝 ^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇'〆297公釐） -15- A7 B7 404926 五、發明説明（13) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 內把持給與所定之溫度應力之半導體元件並運送至上述試 驗部的運送手段，將被試驗半導體元件運送至上述試驗部 ，在該試驗部從上述恆溫槽運出經試驗之半導體元件，依 照試驗結果來類別經試驗之半導體元件的半導體元件運送 處理裝置，其特徵爲具備：包括安裝於上述運送手段之一 側面的第1直線導軌，及具有與上述運送手段之側面相對 向之側面及把持半導體元件之元件把持頭。上下方向地移 動且將把持於上述元件把持頭之半導體元件運送至上述試 驗部的頭支持體，及安裝於上述運送手段之側面的上述頭 支持體之側面成爲與上述第1直線導軌相對向的第2直線 導軌，及分別可滑動地扣合於上述第1及第2直線導軌的 第1及第2活動構件，及在上述第1及第2直線導軌互相 對向之狀態下，上述第1及第2活動構件係對於一方之直 線導軌支持於一端側，而對於另一方之直線導軌支持於相 反側之端部的活動構件支持體，及上述第1及第2直線導 軌在互相對向之狀態。分別將偏倚力給與上述頭支持體及 上述活動構件支持體的偏倚手段的直線移動機構，上述目 的係被達成。 較理想之實施例係上述第1及第2直線導軌係具有大 約相同長度，將偏倚力給與上述頭支持體之偏倚手段及將 偏倚力給與上述活動構件支持體之偏倚手段，係設定此等 之偏倚力，使上述頭支持體下降所定之距離時，上述活動 構件支持體僅下降該頭支持體之下降距離之大爲1 / 2之 距離者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -16- 绖濟郎中夬矂隼"員工消費合阼fiep彀 404926 at B7 五、發明説明（14) 又’將偏倚力給與上述活動部之偏倚手段及將偏倚力 給與上述活動構件支持體之偏倚手段係分別爲拉力盤簧， 此等拉力盤簧係設定此等拉力，使上述頭支持體下降所定 距離時’僅伸張大約相等之長度者。 在本發明之第4面，提供一種半導體元件運送處理裝 置’係屬於具備：配置於恆溫槽內，用於試驗給與所定之 溫度應力之被試驗半導體元件的試驗部，及在上述恆溫槽 內把持給與所定之溫度應力之半導體元件並運送至上述試 驗部的運送手段，將被試驗半導體元件運送至上述試驗部 ，在該試驗部從上述恆溫槽運出經試驗之半導體元件，依 照試驗結果來類別經試驗之半導體元件的半導體元件運送 處理裝置’其特徵爲具備：包括安裝於上述運送手段之一 側面的第1直線導軌，及具有與上述運送手段之側面相對 向之側面及把持半導體元件之元件把持頭。上下方向地移 動且將把持於上述元件把持頭之半導體元件運送至上述試 驗部的頭支持體，及安裝於上述運送手段之側面的上述頭 支持體之側面成爲與上述第1直線導軌相對向的第2直線 導軌，及在上述第1及第2直線導軌互相對向之狀態下， 配成與上述第1直線導軌相對向的第3直線導軌，及在上 述第1及第2直線導軌互相對向之狀態下，配成與上述第 2直線導軌相對向的第4直線導軌，及在上述第1及第3 直線導軌互相對向之狀態下，將可滑動地扣合於上述第1 直線導軌的第1活動構件及可滑動地扣合於上述第3直線 導軌的第3活動構件，對於一方之直線導軌支持於一端側 本紙張尺度適用中國國家標準（CN'S ) A4規格（210X297公釐） I-! 1· I II^衣 訂 欲 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 404926 五、發明説明（15) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ，對於另一方之直線導軌支持於相反側之端部的第1活動 構件支持體，及在上述第2及第4直線導軌互相對向之狀 態下，將可滑動地扣合於上述第2直線導軌的第2活動構 件及可滑動地扣合於上述第4直線導軌的第4活動構件， 對於一方之直線導軌支持於一端側，對於另一方之直線導 軌支持於相反側之端部的第2活動構件支持體，及在上述 第1 ，第2 ，第3及第4直線導軌互相對向之狀態下，分 別將偏倚力給與上述頭支持體，上述第1活動構件支持體 ，上述第2活動構件支持體，上述第3及第4直線導軌的 偏倚手段的直線移動機構，上述目的係被達成。 較佳實施例中，上述第3及第4直線導軌係被一體化 者。又，上述第1 ，第2，第3及第4直線導軌係具有大 約相同之長度。 又，將偏倚力給與上述頭支持體之偏倚手段，分別將 偏倚力給與上述第1活動構件支持體及上述第2活動構件 支持體之偏倚手段，以及將偏倚力給與上述被一體化之第 3及第4直線導軌之偏倚手段，係設定此等之偏倚力，使 上述頭支持體下降所定距離時，上述第1及第2活動構件 支持體，以及上述第3及第4直線導軌分別各移動該頭支 持體之下降距離之大約1/4之距離者。 又，將偏倚力給與上述頭支持體之偏倚手段，分別將 偏倚力給與上述第1活動構件支持體及上述第2活動構件 支持體之偏倚手段，以及將偏倚力給與上述被一體化之第 3及第4直線導軌之偏倚手段係分別爲拉力盤簧，此等拉 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18- A7 B7 404926 五、發明説明（16) 力盤簧係設定此等拉力，使上述頭支持體下降所定距離時 ，僅伸張大約相等之長度者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，在上述第3及第4直線導軌之間追加配置偶數個 直線導軌，構成將相鄰接之兩件直線導軌彼此間成爲一體 化，並設置分別將偏倚力給與各被一體化之直線導軌的偏 倚手段也可以。 在特定之實施例中，上述運送手段係旋轉式運送臂， 其旋轉軸可旋轉地安裝於上述恆溫槽之隔熱性之頂部壁， 三支臂以大約1 2 0 °之角度間隔大約水平方向地放射狀 突出於該旋轉軸之下端部，各臂部係具有大約水平方向地 突出的臂本體部分，及從該臂本體部分大約直角方向地垂 向下方的腳部，上述第1直線導軌從其上部至下部垂直方 向地安裝於該垂下腳部之外側壁面， 又’上述頭支持體係在其前端具有上述元件把持頭， 可上下方向移動地安裝於上述恆溫槽之隔熱性頂部壁的推 奉 桿藉由下降所定之行程而將把持在上述元件把持頭的半導 體元件運送至上述試驗部者。 依照依本發明之直線移動機構，可縮短分別設於固定 部及活動部的直線導軌之長度。結果，可減小恒溫槽之高 度尺寸（頂部壁及底部壁之間的尺寸），得到減小恆溫槽 之形狀的優點。 (較佳實施例之詳細說明） 第1圖係表示依本發明之直線移動機構之第1實施例 本紙張尺度適用中國國Ϊ標準（CNS ) A4規格（210X297公釐ί ~ ' 404926 A7 ___B7___ 五、發明説明（17) 的側面圖，表示在參照第4圖至第6圖所說明之輸送裝置 的直線移動機構適用本發明的情形。.又，第2圖係用於說 明表示於第1圖之直線移動機構之動作的側面圖。在第1 圖及第2圖中，在與第4圖至第6圖對應之部分及元件附 於相同記號表示，除必要之外省略此等之說明。 痤齊郎中失瞟隼局員工消費合泎汪印纪 在該第1實施例中，在成爲固定部之各臂1 8之垂下 腳部1 8 B的外側壁面，從該垂下腳部1 8 B之上部至其 下部垂直方向地安裝第1直線導軌3 1 A，同時在與該垂 下腳部1 8 B相對向之各頭支持構件1 4的垂直壁面，也 從該垂直壁面之上部至下部垂直方向地安裝第2直線導軌 3 1 B。又，扣合於垂下腳部1 8B之第1直線導軌 3 1 A，且沿著該直線導軌3 1 A上下方向（垂直方向） 地滑動一對活動構件3 3 A安裝於與第1直線導軌3 1 A 相對向之側面的上部，且扣合於頭支持構件1 4之第2直 線導軌3 1 B，且沿著該直線導軌3 1 B上下方向（垂直 方向）地滑動的一對活動構件3 3 B安裝於與第2直線導 軌3 1 B相對向之側面之下部的活動構件支持體3 4，配 置於對向之第1及第2直線導軌3 1 A及3 1 B之間。該 活動構件支持體3 4係可移動地配置於上下方向（垂直方 向）。 又，在安裝於各臂1 8之垂下腳部1 8 B之上部的臂 構件2 0，與安裝於關連之活動構件支持體3 4之下部的 臂構件2 2之間，及在安裝於各活動構件支持體3 4之上 部的臂構件2 3 ’與安裝於關連之頭支持構件1 4之下部 -20- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 404926_b7_ 五、發明説明（18) 的臂構件1 5之間，分別垂直方向地架裝第1及第2拉力 盤簧1 9 A及1 9 B。一端被固定於各垂下腳部1 8 B之 臂構件2 0的第1盤簧1 9A係具有充分之拉力俾將關連 之活動構件支持體3 4保持在垂下腳部1 8 B之外側壁面 的所定高度位置（表示於第1圖之上死點位置），因此， 各活動構件支持體3 4係介經第1盤簧1 9 A之拉力經常 向上方偏倚，而停止在上死點位置。又，一端被固定於各 活動構件支持體3 4之臂構件2 3的第2盤簧1. 9 B係具 有充分之拉力俾將關連之頭支持構件14保持在垂下腳部 1 8 B之外側壁面的所定高度位置（表示於第1圖之上死 點位置），因此，各頭支持構件1 4及運送頭1 3係介經 第2盤簧1 9 B之壓力經常向上方偏倚，而停止在上死點 位置。 蛵濟郎中夬揉隼局員工消費合作钍印^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
在該實施例中，第1及第2直線導軌3 1 A及3 1 B 係設成大約相同長度，又，活動構件支持體3 4之長度也 設成與直線導軌大約相同長度，活動構件支持體3 4藉由 第1盤簧1 9 A被偏倚於上死點位置，且頭支持構件1 4 藉由第2盤簧1 9 B被偏倚於上死點位置之狀態下，分別 安裝於臂1 8之垂下腳部1 8A與頭支持構件1 4的第1 及第2直線導軌3 1 A與3 1 B，係構成此等之上端及下 端以整齊成相同高度位置之狀態下成對向。在該狀態，與 第1直線導軌3 1 A扣合之活動構件3 3 A係位於對向之 第1直線導軌3 1 A之上端側，而與第2直線導軌3 1 B 扣合之活動構件3 3 B係位於對向之第2直線導軌3 1 B 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -21 - 經濟郎中夬樣隼局員工消f合作枉印氣 A 7 404926 B7 五、發明説明（19) 之下端側。 在上述構成中，接觸臂6之一支臂1 8如第1圖所示 ，轉動停止在I C運送體4上部之所定位置’藉由驅動源 當對應之推桿2 1下降所定行程時’首先’推桿2 1之前 端部2 1 A抵接於癀支持構件1 4之頂部’向下方推壓頭 支持構件1 4。藉由頭支持構件1 4係頂抗第2盤簧1 9 B之拉力向下方下降僅所定行程S T ’當推桿2 1下降所 定行程時，安裝於頭支持構件1 4前端之運送頭1 3之各 真空吸附頭與搭載於IC運送體4之定位用凹部5的被試 驗I C相接觸。 當頭支持構件1 4頂抗第2盤簧1 9 B之拉力向下方 下降僅所定行程S T時’由於箄2盤簧1 9 B係會伸張， 因此，其拉力會變大。所以，活動構件支持體3 4頂抗於 第1盤簧1 9 A之拉力而下降。該活動構件支持體3 4向 下方移動係在兩盤簧1 9 A及1 9 B之拉力平衡時成爲停 止之狀態。.第2圖係表示該狀態。 由第2圖可瞭解，成爲活動部的頭支持構件1 4及運 送頭1 3係僅兩盤簧1 9 A及1 9 B之伸張量相加値向下 方移動，而活動構件支持體3 4係僅第1盤簧1 9 A之伸 張量向下方移動。所以，頭支持構件1 4對於所定之下降 距離ST設定此等拉力使兩盤簧19A及19B之伸張量 相等，當頭支持構件1 4頂抗於第2盤簧1 9 B之拉力而 僅所定行程S T向下方下降時，活動構件支持體3 4係頂 抗於第1盤簧1 9 A之拉力成爲僅行程S T之1/2向下 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 二-°
T 404926 五、發明説明（20) 方下降。 由第6圖可知’行程S T係遠比活動構件3 3 A或 3 3 B之長度長。由於任一活動構件3 3 A或3 3 B均僅 移動頭支持構件1 4之行程ST之大約1/2即可以，因 此，關連之第1及第2直線導軌2 1 A及3.1 B之長度係 成爲P + 1 / 2 ( S T )即可以。亦即，活動構件3 3 A 或3 3 B實際滑動所必須之直線導軌3 1 A或3 1 B的長 度（有效長度）L，係成爲在運送頭1 3實際所必須之行 程ST之1/2加上活動構件3 3A或3 3B之長度P的 上述長度〔P+1/2(ST)〕。 因此，爲了安全即使在各活動構件之移動上限及下限 兩側採取多餘之軌長，第1及第2直線導軌3 1 A及 31B之長度係也成爲比（ρ+ST)大幅地縮短。結果 ，由於可縮短各臂1 8之垂下腳部1 8 B之長度|及頭支 持構件1 4之長度，因此，可將恆溫槽9之頂部壁1 1與 底部壁1 2之間的尺寸（長度），比以往者相當地減小， 而可小型化恆溫槽9。故可將整體輸送裝置成爲小型化。 第3圖係表示依本發明之直線移動機構之第2實施例 的側面圖，與上述第1實施例同樣地，表示將本發明適用 於參照第4圖至第6圖所說明之輸送裝置之直線移動機構 的情形。所以，在第3圖，與第1圖及第4圖至第6圖對 應之部分及元件附於相同記號並表示，而除非需要省略此 等之說明。 在該第2實施例係準備與上述第1實施例所使用之活 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、?τ -23- A7 B7 404926 五、發明説明（21) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 動構件支持體3 4同樣構成的第1及第2的兩件活動構件 支持體34A及34B，又，將第3.及第4直線導軌3 1 C及31D從各面之上部至下部向垂直方向分別安裝於兩 面的導軌支持體3 5，向上下方向（垂直方向）可移動地 配置於此等第1及第2活動構件支持體3 4A及3 4B之 間，並將在該兩件活動構件支持體3 4A及3 4 B之間夾 住導軌支持體3 5的組合體，配置在成爲固定部之各臂 1 8之垂下腳部1 .8 B的外側壁面及成爲活動部之頭支持 構件1 4的垂直壁面之間者。又，第1及第2活動構件支 持體3 4A及3 4 B也配成向上下方向（垂直方向）可移 動之狀態。 與上述第1實施例同樣地，在成爲固定部之各臂1 8 之垂下腳部1 8 B的外側壁，也從該垂下腳部1 8 B之上 部至其下部垂直方向地安裝第1直線導軌3 1 A，同時在 與該垂下腳部1 8 B相對向之各頭支持構件1 4的垂直壁 面，也從該垂直壁面之上部至其下部，垂直方向地安裝第 2直線導軌3 1 B。 經濟郎中夬標隼局員工消費合作.杜印裝 又，將扣合於垂下腳部1 8 B之第1直線導軌3 1 A ，且沿著該直線導軌3 1A向上下方向（垂直方向）滑動 的一對活動構件3 3A，安裝於與第1直線導軌3 1A相 對向的第1活動構件支持體3 4 A側面之上部’又將扣合 於導軌支持體3 5之第3直線導軌3 1 C，且沿著該直線 導軌3 1 C向上下方向（垂直方向）滑動的一對活動構件 3 3 B，安裝於與第3直線導軌3 1 C相對向的第1活動 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -24- 404926 a7 B7 五、發明説明（22) 構件支持體3 4A側面之下部。又，將扣合於導軌支持體 3 5之第4直線導軌3 1D，且沿著該直線導軌3 1D向 上下方向（垂直方向）滑動的一對活動構件3 3 C，安裝 於與第4直線導軌31D相對應的第2活動構件支持體 3 4 B側面之上部，並將扣合於頭支持構件1 4之第2直 線導軌3 1 B，且沿著直線導軌3 1 B向上下方向（垂直 方向）滑動的一對活動構件3 3 D，安裝於與第2直線導 軌31B相對向的頭支持構件14之下部。 又，分別將第1、第2、第3及第4之拉力盤簧 19A，19B，19C，及190垂直方向地架裝在各 臂1 8之垂下腳部1 8 B的上部，及關連之第1活動構件 支持體3 4A的下部之間，各第1活動構件支持體3 4A ，及關連之導軌支持體3 5的下部之間，各導軌支持體 3 5及關連之第2活動構件支持體3 4 B的下部之間，以 及各第2活動構件支持體3 4 B的上部，及關連之頭支持 構件1 4的下部之間。 绫濟部中夬標隼局員工消費合作枉印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) —端被固定於各垂下腳部1 8 B之上部的第1盤簧 1 9 A，係具有充分之拉力可將關連之第1活動構件支持 體3 4A保持在垂下腳部1 8 B之外側壁面的所定高度位 置（表示於第3圖之上死點位置），因此，各第1活動構 件支持體3 4A係介經第1盤簧1 9A之拉力經常向上方 偏倚而停止在上死點位置。又，一端被固定在各第1活動 構件支持體3 4A之上部的第2盤簧1 9 B係具有充分之 拉力可將關連之導軌支持體3 5保持在垂下腳部1 8 B之 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X2.97公釐） -25-
蛵濟郎中夬樣华局員工消費合作钍印IL 40^926 A7 B7 五、發明説明（23) 外側壁面的所定高度位置（表示於第3圖之上死點位置） ，因此，各導軌支持體3 5係介經第2盤簧1 9 B之拉力 經常向上方偏倚而停止在上死點位置，又，一端被固定於 各導軌支持體3 5上部的第3盤簧1 9 C，係具有充分之 .拉力可將關連之第2活動構件支持體3 4 B保持在垂下腳 部1 8 B之外側壁面的所定高度位置（表示於第3圖上死 點位置），因此，各第2活動構件支持體3 4 B係介經第 3盤簧1 9 C之拉力經常向上方偏倚而停止在上死點位置 。又，一端被固定在各第2活動構件支持體3 4 B上部的 第4盤簧1 9 D，係具有充分之拉力可將關連之頭支持構 件1 4保持在垂下腳部1 8 B之外側壁面的所定高·度位置 (表示於第3圖之上死點位置），因此，各頭支持構件 .14及運送頭13係介經第4盤簧19D之拉力經常向上 方偏倚而停止在上死點位置。 在本實施例係將此等第1至第4直線導軌3 1A至 3 1 D設成大約相同之長度，又，將第1及第2活動構件 支持體3 4 A及3 4 B之長度，及導軌支持體3 5之長度 也設成與直線導軌大約相同之長度，第1活動構件支持體 3 4A藉由第1盤簧1 9A偏倚在上死點位置，且第2活 動構件支持體3 4 B，導軌支持體3 5，及頭支持構件 14，藉由第2，第3及第4盤簧19B，19C， 1 9 D ’分別在偏倚在上死點位置之狀態，分別安裝於臂 18之垂下腳部18A及頭支持構件14的第1及第2直 線導軌3 1 A及3 1 B，係構成此等之上端及下端在整齊 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、-'° -26- 埋齊郎中失"隼呙員x消f合阼 404026 A7 __；_^__ 五、發明説明（24) 相同高度位置之狀態下成爲相對向。在該狀態，與第1直 線導軌3 1 A扣合之活動構件3 3 A及與第4直線導軌 3 1 D扣合之活動構件3 3 C，係分別位於相對向之直線 導軌3 1A及3 1 D之上端側，而與第3直線導軌3 1 C ’扣之活動構件3 3 B及第2直線導軌3 1 B扣合之活動構 件3 3D係位於相對向之直線導軌3 1 C及31 B之下端 側。 在上述構成，藉由驅動源當關連之推桿2 1.下降所定 之行程時，首先，推桿2 1之前端部2 1 A抵接於頭支持 構件1 4之頂部，並向下方推壓頭支持構件1 4。由此， 頭支持構件1 4係頂抗第4盤簧1 9 D之拉力而僅向下方 下降所定之行程S T，在推桿2 1下降所定之行程時，安 裝於頭支持構件1 4之前端之運送頭1 3之各運送頭之各 真空吸附頭與搭載於IC運送體4之定位用凹部5的被試 驗I C。 頭支持構件1 4頂抗於第4盤簧1 9 D之拉力而僅向 下方下降所定行程S T時，由於第4盤簧19 D係會伸張 ’因此，其拉力會變大。故第2活動構件支持體3 4 B頂 抗於第3盤簧1 9 C之拉力而下降，由此導軌支持體3 5 頂抗於第2盤簧1 9 B之拉力而下降，又，第1活動構件 支持體3 4A頂抗於第1盤簧1 9A之拉力而下降。此等 第1及第2活動構件支持體3 4A及3 4 B以及導軌支持 體3 5向下方之移動’係在四具盤簧1 9A至1 9D之拉 力平衡時成爲停止。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4祕（21GX297公釐） ~ ' ^ ^ 裝 訂 絲 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) _ 經濟郎中夬標隼局員工消費合作社印装 .ϋ4926 Α7 Β7五、發明説明（25) 成爲活動部之頭支持構件14及運送頭13係僅向下 方移動四具盤簧1 9 Α至1 9 D之伸張量的相加値，第2 活動構件支持體3 4B係僅向下方移動第1至第3盤簧 1 9 A至1 9 C之伸張量的相加値，導軌支持體3 5係僅 向下方移動第1及第2盤簧1 9A，1 9 B之伸張量的相 加値，而第1活動構件支持體3 4 A係僅向下方移動第1 盤簧1 9 A之伸張量。所以，若設定此等彈簧之拉力，對 於頭支持構件1 4之所定下降距離ST，四具盤簧1 9A 至1 9 D之伸張量大約相等，當頭支持構件1 4頂抗於第 4盤簧1 9 D之拉力而僅下降所定之行程時，第1及第2 之活動構件支持體3 4 A及3 4 B以及導軌支持體3 5係 頂抗於關連之盤簧的拉力，分別成爲僅向下方下降行程 S T 之 1 / 4。 如此’由於任一活動構件3 3 A至3 3 D的僅移動頭 支持構件1 4之行程S T之大約1 / 4，因此，關連之各 直線導軌3 1A至3 1D之長度係成爲p + i/ 4 (ST )即可以。亦即’各活動構件實際上滑動所須要的直線導 軌之長度（有效長度）L，係成爲運送頭1 3實際上所須 要的行程S T之1 /4加上活動構件之長度p的上述長度 〔P + l/ 4 (ST)〕。 因此’爲了安全，即使在各活動構件之移動上限及下 .限之兩側採取多餘之長度。第1至第4直線導軌3 1 A至 3 1 D之長度係形成比上述之第1實施例更短。結果，由 於可將各臂1 8之垂下腳部1 8 B之長度，及頭支持構件 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本貢) •褽. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4说格（21〇X 297公釐） -28- 绫濟郎中夬樣隼局員工消f合作社印製 A7 ^04926_b7__ 五、發明説明（26) 1 4之長度形成比上述第1實施例之情形更短，因此’可 更減小恆溫槽9之頂部壁1 1與底部壁1 2之間的尺寸（ 長度），因而可更小型化®溫槽9.。 又，增加導軌支持體3 5之數量又再增加活動構件支 持體之數量即可更縮短直線導軌之長度，惟因橫方向（在 圖中之左右方向）之尺寸變長，因此，導軌支持體3 5之 數量上有限制。 參照上述各實施例係在參照第4圖至第6圖所說明之 輸送裝置的直線移動機構適用本發明之情形。惟本發明係 也可適用使用同樣構成之直線移動機構之其他形式的輸送 裝置，或是也可適用使用同樣構成之直線移動機構之輸送 裝置以外的裝置，當然也可得到同樣之作用效果。 又，藉由附與盤簧以外之偏倚力的手段構成將成爲活 動部之頭支持構件14及運送頭13偏磁於成爲固定部的 臂1 8之垂下腳部1 8 B之所定高度位置也可以。當然活 動構件支持體34，34A，34B或導軌支持體35構 成藉由附與盤簧以外之偏倚力的手段成爲偏磁也可以。 如上所述，依照本發明，對於將物品沿著直線移動之 活動部的移動行程ST，可將直線導軌之長度縮短成該移 動行程ST之1/2，或其以下（1/2 ，1/4，…… …1 / N，但是N係2以上之偶數），結果，例如在適用 於例如I C試驗裝置之輸送裝置時，由於可縮短裝設於恆 溫槽之內部的直線導軌之長度，因此可將恆溫槽之高度尺 寸抑制較低。所以，由於可小型化恆溫槽，因此得到可減 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X2.97公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ’裝· 訂 -29- 88. ίί. 2 2 {务正 异月π 補充 β4〇4926 五、發明說明（27 ) 小I C試驗裝置之整體構成的優點。又，由於可小型化 溫槽’因而也可減少用於將恆溫槽維持在所定溫度的耗電 量或冷媒之使用量，故也具有經濟性之優點，其效果極大 〇 (圖式之簡單說明） 第1圖係表示將依本發明之直線移動機構之第1實施 例之一部分成爲剖面的側面圖。 第2圖係表示將用於說明表示於第1圖之直線移動機 構之動作之一部分成爲剖面的側面圖。 第3圖係表示將依本發明之直線移動機構之第2實施 例之一部分成爲剖面的側面圖。 第4圖係表示以往之輸送裝置之一例子之構成的平面 圖。 第5圖係主要表示使用於表示在第4圖之直線移動機 構的斜視圖》 第6圖係主要表示使用用於表示在第4圖之直線移動 機構的側面圖。 第7圖係表示用於說明以往之輸送裝置之其他例子之 槪略構成的圖式。 (記號之說明） 1 架台 2 A，2 Ε 托盤群 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------訂--------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員Η消費合作社印製 -30- 8δ.ιι. 2 2^- ^ 斗月i! 40492ft 猶无 A7 B7 五、發明說明（28 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 A t 3 B X —— 4 I C 運 送 體 5 定 位用 凹 部 6 接 觸 臂 7 試 驗 部 9 恆 溫 槽 1 0 A 1 0 B 1 0 C 運 送 頭 1 3 運 送 頭 1 4 頭 支 持 構 件 1 5 1 2 0 臂 構 1 8 臂 1 9 盤 ΓΠΤ 簧 2 1 推 桿 2 4 凸 輪 3 1 直 線 導 軌 3 2 活 動 構 件 4 1 用 戶 托 盤 4 3 試 驗 托 盤 4 4 裝 載 部 4 5 1 4 6 試 驗 4 7 恆 溫 室 4 8 出 □ 部 4 9 卸 載 部 運送臂 J----1--I I I I I I I · I I I I I I I ^ « — — — — — — I— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用f國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）