TW312749B - - Google Patents

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312749 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 B7五、發明説明（W 本發明係關於半導體裝置之檢査裝置。 封裝之半導體裝置需要試驗其電氣特性。 習知之it 一種檢査裝置有一種組合測試半導體裝置之 電氣特性用之儀器’及運送裝置之系統。近來爲了對應記 憶裝置之大容量化，以縮短測試時間爲目標，正進行增加 並聯檢査之裝置數，或將運送順序高效率化等之各種改良 0 習知之檢查半導體裝置之一種方式是，將裝置之引線 端子（pin)插入插座內，經由插座側之電極，以電氣方 式連接插座下方之測試頭與裝置間之方式。然而，由於裝 置小型化帶來之引線端子之間隔狹小化，及端子數之增加 ，隨著邏輯IC之多功能化所帶來之引線端子數之增多等 ，插座方式已無法應付，而現況是已開始採用探針卡（ probe card)方式。 第1圖表示揭示在日本國特開平4 — 7 6 4 7 2號公 報之傳統之檢査裝置之概要。傳統之檢査裝置備有，運入 部4 ，空托盤載置部5，運出部6，檢査部7。從外部接 入多數半導體裝置2到運入部4 ，從托盤3上依序取出裝 置2運送至檢查部7，試驗其電氣特性。另一方面，.托盤 3則由運入部4由未圖示之機器人臂運送至空托盤載置部 5 ，然後運送至運出部6。在運出部6配置有未圖示之良 品用托盤載置台與不良品用托盤載置台，合格品運送到良 品用托盤載置台，不合格品則送到不良品用托盤載置台。 而檢査裝置則包含有托盤載置台，運入部，運出部， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4规格（210X297公釐1 4 - ------I I I 裝------訂 (請先閱讀背面之注意事¾再填寫本頁) A7 312749 B7_ 五、發明説明（2 ) 1· n.^ m- In In ml I —^ϋ n —^ϋ m nn l· .¾-5 (請先閱讀背面之注意事tr再填寫本頁) 各運送機構，檢査單元等之大型又精密之機器，但必須對 應所要檢査之裝置準備兩種設備，即須準備以探針檢査之 裝置及以插座檢査之裝置。然而，要量在裝置時，以高流 通率之目的，常使用多台之檢査裝置，因此若需準備兩種 設備，將會提高成本，而且需要較大之空間。 同時，爲了要提高流通率（through put)，必須縮 短將裝置運送，檢査至運出之時間（Index Time)。因此 ，傳統上係使運送機構具備多數個吸著保持部，以同時吸 著多數個裝置，而依序檢査這些裝置。 但是，傳統之裝置在吸著保持部將裝置裝設在插座進 行檢査時，無法將保持在其他吸著保持部之裝置與下一個 裝置進行交換。因此，必須在保持之所有裝置全部檢查完 後，令吸著保持部依次向收納用排列部及供應用排列部移 動，因而Index Time之縮短不充分，致妨礙流通率之提高 0 經濟部中央標準局員Η消費合作杜印製 縱使要配設相互獨立之多數運送機構，也必須使各運 送機構能夠在供應用排列部，插座部及收納用排列部之間 移動，而要使某一運送機構之運送領域與其他運送機構之 引導部等機構部分之位置不相互干擾，運送機構會變得非 常大型。 本發明之目的在提供，能夠高效率進行半導體裝置之 檢査，省空間，且成本很低之半導體裝置之檢査裝置。 本發明之目的在提供，能夠提高流通率之檢査裝置及 其檢査方法。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210 Χ297公釐） A7 312749 B7 五、發明説明（3 ) ^^^1- —^1— s^^i* im I fl^ns ff n^i 1^1 ^^^^1 1 ， - 穿 i (請先閲讀背面之注意事哼再填寫本頁) 本案發明之將半導體裝置從運入部經由供應用排列部 運送至檢査位置，在此檢査位置對半導體裝置進行電氣測 試之後，經由收納用排列部運送至運出部之檢査裝置，其 特徵爲，備有 含有，將運至運入部之半導體裝置運送到供應用排列 部之裝載部，及從收納用排列部將檢査後之半導體裝置運 送到運出部之卸載部之裝載/卸載單元，以及， 含有，在供應用排列部將排列之半導體裝置運送到檢 査位置，同時從檢查位置，將檢査後之半導體裝置運送至 收納用排列部之運送機構，以及，對檢査位置之半導體裝 置進行電氣測試以判定合格與否之檢查部之檢査單元， 而上述檢查單元係連結在裝載/卸載單元，並可以從 裝載/卸載單元分離開。 依半導體裝置之形態，將適合之檢査單元結合於裝載 /卸載單元。半導體裝置之引線端子之配列間隔較大時， (例如0 . 6 5mm左右）’使用第1檢査單元。另一方面 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ，若引線端子之排列間隔較窄時（例如0 . 3 mm前後）， 則使用第2檢査單元。 同時，本發明之檢査具有引線端子之半導體裝置之檢 査裝置之特徴爲，備有， 可向X軸方向移動，用以對裝置加以定位之排列部， 在此排列部之移動領域之一端，將檢査前之裝置移交 給排列部之裝載器， 在排列部之移動領域之另—端，從排列部接受檢査後 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（21 〇 X 297公釐） 31£749 A 7 B7_ 五、發明説明（4 ) 之裝置之卸載器， (請先閱讀背面之注意事啰再填寫本頁) 配設在從排列部之移動領域向Y軸方向離開之檢査位 置，以電氣方式接觸於裝置之接觸部， • 保持排列部內之裝置運送至接觸部，同時在檢査後將 裝置由接觸部運送至排列部，可向X軸，Υ軸，ζ軸之各 方向移動之第1運送機構，以及， 保持排列部內之裝置運送至接觸部，同時在檢査後將 裝置由接觸部運送至排列部，與上述第1運送機構獨立， 向X軸，Υ軸，Ζ軸之各方向移動之第2運送機構， 而排列部與第1及第2運送機構間之裝置之送授，係 在排列部之移動領域之一端與另一端間爲之。 而且，本發明之檢査半導體裝置之檢査方法之特徵是 ，包含有， 連結裝載/卸載單元與第1檢査單元之過程， 將裝載/卸載單元之運入部之半導體裝置運送到上述 第1檢查單元之檢査位置進行檢査，將檢査後之半導體裝 置運送到裝載/卸載單元之運出部之過程， 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 將上述第1檢查單元與裝載/卸載單元分離開後，將 該裝載/卸載單元結合於第2檢査單元之過程，以及， 將.裝載/卸載單元之運入部之半導體裝置運送到第2 檢査單元之檢.査位置進行檢査，將檢査後之半導體裝置運 送到裝載/卸載單元之運出部之過程。 茲參照附圖說明本發明各實施例如下。 如第2圖所示，檢査裝置1整體由外裝板2 1所覆蓋 本&張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 一 312740 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明 ( 5 ) 1 1 9 備 有 裝 載 / 卸 載 單 元 1 0 1 第 1 檢 査 單 元 2 0 A > 及 操 1 I 作 單 元 2 3 0 裝 載 / 卸 載 單 元 1 0 之 前 面 aX 有 搬 進 / 搬 出 1 1 I 托 Ary 盤 3 用 之 門 扉 2 2 〇 操 作 單 .元 2 3 在 裝 載 / 卸 載 單 元 請 1 1 i 1 0 旁 邊 9 用 以 操 作 裝 載 / 卸 載 單 元 1 0 及 第 1 檢 査 單 元 先 閱 讀 1 2 0 A 0 操 作 單 元 2 3 之 總 重 量 大 約 有 1 7 0 kg 〇 裝 載 / 背 之 1 1 卸 載 單 元 1 0 將 封 裝 半 導 體 晶 片 而 成 之 裝 置 2 搬 進 裝 置 本 注 意 事 1 1 體 內 9 或 從 裝 置 本 體 運 出 其 總 重 量 大 約 爲 4 0 0 kg 〇 項 再 填 1 1 第 1 檢 查 單 元 2 0 A 備 有 可 將 塑 模 型 半 導 體 裝 置 插 寫 本 〆*- I 入 插 座 部 進 行 電 氣 測 試 之 型 式 之 檢 查 機 器 ， 其 總 重 量 大 約 1 1 I 有 5 0 0 kg 0 再 者 如 第 2 0 圖 所 知 5 也 可 以 第 2 檢 查 單 1 1 1 元 2 0 B 取 代 第 1 檢 査 單 元 2 0 A 0 第 2 檢 査 單 元 2 0 B 1 1 訂 1 備 有 9 將 片 狀 封 裝 型 半 導 體 裝 置 載 置 於 載 置 台 上 9 令 探 針 接 觸 於 裝 置 之 引 線 端 子 進 行 電 氣 測 試 之 型 式 之 檢 査 機 器 0 1 1 第 2 檢 査 單 元 2 0 B 之 總 重 量 大 約 有 8 0 0 kg 0 此 等 各 單 1 I 元 1 0 9 2 0 A 2 0 B 係 裝 成 相 互 爲 個 別 獨 — 之 單 元 ， I 再 視 需 要 而 連 結 或 分 開 〇 1 如 第 3 圖 所 示 裝 載 / 卸 載 裝 置 1 0 備 有 4 個 托 盤 載 1 1 置 部 1 3 A ， 1 3 B 1 3 C 1 3 D 〇 此 等 托 盤 載 置 部 1 1 1 3 A 1 3 B 9 1 3 C 5 1 3 D 配 置 在 門 扉 2 2 近 旁 J 1 1 沿 著 X 軸 方 向 排 列 〇 打 開 門 扉 2 2 便 可 以 看 到 托 Aru 盤 載 置 部 I 1 3 A 1 3 D 0 在 其 中 之 第 1 及 第 2 托 盤 載 置 部 1 3 A I I 5 1 3 B 載 置 有 裝 載 檢 査 前 之 裝 置 2 之 托 盤 3 0 另 一 方 面 1 1 9 在 第 3 及 第 4 托 盤 載 置 部 1 3 C > 1 3 D 則 置 有 可 放 置 1 1 檢 査 後 之 裝 置 2 之 空 托 盤 3 0 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29<7公釐） ^12749 A7 經济部中央榡準局員工消費合作衽印製 B7 五、 發明説明 ( 6 ) 1 1 各 托 盤 載 置 部 1 3 A 1 3 D 載 置 有 多 個 托 盤 3 9 各 1 I 托 盤 3 則 載 置 有 多 數 裝 置 2 0 各 托 盤 3 形 成 有 具 傾 斜 側 面 1 I 之 倒 立 台 錐 形 之 凹 部 3 1 0 將 裝 置 2 放 進 凹 部 3 1 內 時 9 -V 請 1 1 I 裝 置 2 則 沿 著 傾 斜 側 面 滑 進 凹 部 3 1 內 ， 將 其 保 持 成 水 平 先 閲 1 1 姿 勢 〇 9Ά 背 1 I 之 I | 而 裝 載 / 卸 載 單 元 1 0 備 有 預 備 加 熱 板 4 1 0 預 備 加 V主 意 事 1 1 熱 板 4 1 配 置 在 第 1 及 第 2 托 盤 載 置 部 1 3 A 9 1 3 B 之 再 ύ. | 後 側 0 在 預 備 加 熱 板 4 1 上 成 縱 橫 方 向 排 列 有 保 持 裝 置 用 寫 本 百 袈 I 之 凹 部 4 2 > 同 時 在 內 部 設 有 可 將 裝 置 預 先 加 熱 到 例 如 1 1 I 1 5 0 V 之 加 熱 源 0 1 1 同 時 在 裝 載 / 卸 載 單 元 1 0 備 有 裝 載 部 5 1 0 裝 載 部 1 1 5 1 係 用 以 將 裝 置 2 從 預 備 加 熱 板 4 1 供 給 裝 置 供 應 用 排 訂 1 列部 6 2 之 運 送 機 構 備 有 4 根 吸 著 保 持 部 5 2 0 1 1 如 第 1 8 圖 第 2 0 圖 所 示 各 吸 著 保 持 部 5 2 可 以 1 I 由 裝 載 / 卸 載 單 元 1 0 之 天 板 部 之 驅 動 部 5 3 9 使 其 向 X I 軸 5 Y 軸 Z 軸 之 各 方 向 移 動 0 再 者 裝 載 部 5 1 及 卸 -Ufv 載 Ί 部 5 4 之 各 驅 動 部 5 3 與 運 送 機 構 8 1 8 2 之 驅 動 部 1 1 8 0 ， 係 安 裝 在 個 別 之 機 架 上 0 而 預 備 加 熱 板 4 1 之 保 持 1 1 台 4 1 a > 與 排 列 部 6 0 之 保 持 台 6 0 a 係 分 開 不 在 一 起 1 1 0 而 且 裝 載 / 卸 載 單 元 1 0 之 機 架 與 檢 査 單 元 2 0 A 之 機 1 I 架 也 是 分 開 獨 立 0 1 I 如 第 3 圖 所 示 9 裝 載 / 卸 載 單 元 1 0 係 以 獨 立 之 框 體 1 1 存 在 ， 可 連 結 第 1 檢 査 單 元 2 0 A 9 或 與 之 分 開 0 在 裝 載 1 1 / 卸 載 單 元 1 0 之 運 出 側 ( 配 設 第 3 及 第 4 托 盤 載 置 台 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 312740 A7 B7__ 五、發明説明（7 ) 1 3C，1 3D之頜域）設有卸載部5 4。如卸載部5 4 之架構與裝載部5 1相同。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在第1檢査單元2 0A內，沿著X軸排列有供應用排 列部6 1及收納用排列部6 2。此等排列部6 1 ，6 2係 緊鄰配設在預備加熱板4 1 °各排列部6 1 ，6 2形成可 使4個裝置2成四方等間隔狀排列之凹部6 3 °此等凹部 6 3實質上與上述凹部3 1 ，4 2相同。 如第4圖及第5圖所示，預備加熱板41有一個角隅 部被切除掉，軌道6 4之一端延伸到此缺口部（第1位置 )。軌道6 4沿著X軸敷設，其另—端延伸到檢査單元 2 0 A前（第2位置）。與X軸軌道6 4平行設有螺旋皮 帶6 5 ，螺旋皮帶6 5之一端連結在馬達6 6 ，另一端連 結在排列部組件6 0。利用馬達6 6使螺旋皮帶6 5轉動 時，由排列部6 1 ，6 2構成之組件6 G便可沿著軌道 6 4移動。再者，在第1位置載入裝置2 ，在第2位置則 將裝置2移交給檢查單元2 0 A。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 第1檢査單元2 0 A內設有插座部7 1。插座部7 1 由環形托架7 0保持之。本實施例之插座部7 1可檢査1 個裝置2。一對運送機構8 1 ，8 2可從上述第2位置向 Y軸方向移動到插座部7 1上方。運送機構8 1 ，8 2分 別備有裝置保持運送單元8 3，8 4。一方之單元8 3可 在一方之Y軸軌道8 5上行駛，另一方之單元8 4則可以 在另一方之Y軸軌道8 6上行駛。此等單元8 3 ，8 4相 互面對面，但不相互干擾。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )_八4規格（210X297公釐） 10 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（8 ) 如第6圖所示，各裝置保持單元8 3 ，8 4分別備有 兩個吸著保持部9 3。各吸著保持部9 3係介由托架9 5 及支持板9 4安裝在運送機構8 3 ( 8 4 )。各吸著保持 部9 3分別備有可使軸9 2昇降之氣缸9 1 °軸9 2之下 端部設有吸盤9 3 a，可吸著裝置2 ° 如第7圖所示，插座部7 1備有載置塑模型半導體裝 置2之載置部7 1 a。以圍繞此載置部7 1 a狀設有溝， 溝之外周側壁安裝有多數電極7 1 b。此等電極7 1 b對 裝置2之引線端子2 a以1對1相對應，且各電極7 1 b 係以電氣方式連接在測試頭7 0之電路。將裝置2推壓在 載置部7 1 a時，引線端子2 a會嵌入溝內，各引線端子 2 a則可確實接觸到電極7 1 b。測試頭7 0內設有插入 環，插入環備有修正裝置2之轉動偏差之β轉動對準機構 (未圖示）。 其次再參照第8圖〜第1 2圖，說明裝載/卸載單元 與檢査單元之連結構造。本實施例將就第1檢査單元 2 Ο Α連結於裝載/卸載單元1 0之情形進行說明，但也 可以使用相同之連結構造，將第2檢査單元2 0B連結至 裝載/卸載單元1 0。 如第8圖所示，機架1 0 0構成裝載/卸載單元1 〇 之框體之一部分。機架1 〇 〇之下部角隅分別安裝有腳 1 0 1及腳輪1 0 2 ，可調整水平度並可移動。機架 1 0 0之側面（裝載/卸載單元1 0之背面）固定有安裝 板103 ，104。安裝板103 ，104在Z軸方向較 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨Ο X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-I 訂 312 7 4 0 A7 B7 經濟部中央標準局員工消费合作杜印製 五、發明説明 (9 ) 1 1 長， 相 互 隔 開 一 定 間 隔 0 兩 安 裝 板 1 0 3 1 0 4 之 寬 度 1 1 相同 ί 但 — 方 之 安 裝 板 1 0 4 較 另 一 方 之 安 裝 板 1 0 3 稍 1 | 長0 兩 安 裝 板 1 0 3 9 1 0 4 之 下 端 位 於 同 一 高 度 ， 但 上 請 1 先 1 端則 在 不 同 高 度 之 位 置 〇 閱 讀 1 有 背 1 如 第 9 圖 所 示 9 各 安 裝 板 1 0 3 9 1 0 4 分 別 安 裝 之 注 | 連接 組 件 1 1 0 及 定 位 組 件 1 2 0 〇 連 接 組 件 1 1 0 用 以 意 事 1 連結 單 元 1 0 2 0 A 之 相 互 間 9 備 有 以 螺 栓 1 1 2 及 墊 再 填 1 圏1 1 3 9 1 1 4 固 定 在 安 裝 板 1 0 3 ( 1 0 4 ) 之 角 鐵 寫 本 頁 袈 I 1 1 1 〇 角 鐡 1 1 1 形 成 有 多 數 長 孔 ， 可 田 作 單 元 1 0 '—^ 1 I 2 0 A 相 互 間 之 定 位 用 〇 1 1 | 定 位 用 組 件 1 2 0 備 有 位 準 板 1 2 1 螺 栓 1 2 2 ， 1 1 訂 1 調整 用 螺 母 1 2 3 及 凸 螺 栓 1 2 4 〇 調 整 用 螺 母 1 2 3 用 以調 整 凸 螺 栓 1 2. 4 之 扭 進 位 置 ( Y 軸 方 向 之 位 置 ) 0 位 1 1 準調 節 板 1 2 1 係 以 螺 栓 1 2 5 及 墊 圏 1 2 6 1 2 7 固 1 I 定在 安 裝 板 1 0 3 ( 1 0 4 ) 〇 位 準 調 節 板 1 2 1 有 長 孔 I ，可 調 節 凸 螺 栓 1 2 4 之 位 準 〇 、•- 1 I 另 一 方 面 ， 在 檢 査 單 元 2 0 A 之 背 面 也 設 有 定 位 用 組 1 1 件1 3 0 〇 定 位 用 組 件 1 3 0 備 有 位 準 調 節 用 角 鐵 1 1 1 3 1 9 水 平 調 節 板 1 3 2 及 凹 塊 1 3 3 〇 位 準 調 節 用 角 1 1 鐵1 3 1 以 螺 絲 1 3 4 及 墊 圈 1 3 5 1 3 6 固 定 在 檢 査. 1 I 單元 2 0 A 之 機 架 ( 未 圖 示 ) 0 位 準 調 節 用 角 鐵 1 3 1 有 1 I 長孔 5 可 調 節 凹 塊 1 3 3 之 高 低 位 置 0 同 時 5 水 平 調 節 板 1 1 | 1 3 2 也 有 長 孔 ， 可 調 整 凹 塊 1 3 3 之 水 平 位 置 ( X 軸 方 1 1 向之 位 e ) 0 凹 塊 1 3 3 有 凹 處 1 3 3 a 0 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨OX 297公釐） -12 - A7 B7 五、發明説明（10 ) 如第1 0圖及第1 1圖所示，第2定位組件1 3 0之 位置被調整成對應第1定位組件1 2 0之位置。如第1 2 圖所示，當將凹塊1 3 3之凹處1 3 3 a嵌入凸螺母 1 2 4時，檢查單元2 Q A便可對裝載/卸載單元1 0定 位。而在定位後，鎖緊螺栓1 1 2 ，將角鐵1 1 1固定在 安裝板103 (104)之結果，兩單元10A，20A 即可連結在一起。 其次再參照第1 3圖A〜第1 3圖Η，說明上述裝置 之動作。將載有塑模型裝置2之托盤搬進托盤載置部 1 3Α，1 3Β。藉裝載部5 1從托盤3同時吸著保持4 個裝置Α〜D，將之運送到預備加熱板4 1。在預備加熱 板4 1將裝置A〜D加熱到一定溫度。而藉裝載部5 1將 裝置A〜D運送到第1位置。供應用排列部6 1在第1位 置待機，4個裝置A〜D同時移載到供應用排列部6 1上 。再者，先發之裝置A〜D在預熱時，裝載部51將後續 之裝置E〜Η從托盤3運送到預備加熱板41。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項4填寫本頁) 如第13圖Α所示，將供應用排列部61移動至第2 位置，藉第1運送機構8 1之吸著保持部9 3取上兩個裝 置C，D。接著，如第1 3圖B所示，使供應用排列部 6 1向X軸方向移動1節距衝程。供應用排列部6 1之1 節距衝程量大約爲6 Q mm。令第1運送機構8 1移到插座 部7 1上方，同時令第2運送機構8 2移動到第2位置（ 供應用排列部6 1上方位置）。而先檢査裝置D°在此裝 置D之檢査中，藉第2運送機構8 2之吸著保持部9 3取 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A 7 B7 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 五、 發明説明 ( 11 ) 1 上 兩 個 裝 置 A 9 B 0 在 裝 置 D 之 後 檢 査 裝 置 C 〇 1 1 如 第 1 3 C 圖 所 示 ， 在 裝 置 C 之 檢 査 部 9 令 第 2 運 送 1 I 機 構 8 2 向 插 座 7 1 之 上 方 移 動 9 同 時 令 供 應 用 排 列 部 請 1 先 1 6 1 回 到 第 1 位 置 0 這 時 9 第 2 運 送 機 構 8 2 退 向 X 軸 方 閱 讀 1 裝 置 背 I 向 以 免 干 擾 第 1 運 送 機 構 8 1 0 將 後 述 之 4 個 Ε Η ώ 之 同 時 移 載 至 供 應 用 排 列 部 6 1 上 0 接 著 如 第 1 3 圖 D 所 示 注 意 事 1 1 5 在 裝 置 A 之 檢 査 中 5 藉 第 1 運 送 機 構 8 1 將 裝 置 C D 項 填 1 1 移 載 至 收 納 用 排 列 部 6 2 ( 已 檢 査 過 ) 0 裝 置 A 之 後 檢 査 寫 本 頁 I 裝 置 B 0 1 I 如 第 1 3 圖 E 所 示 在 裝 置 B 之 檢 査 中 ， 藉 第 1 運 送 1 1 | 機 構 8 1 從 供 應 用 排 列 部 6 1 取 上 兩 個 裝 置 G Η 運 送 1 1 訂 Ί 到 插 座 部 7 1 〇 如 第 1 3 圖 F 所 示 > 在 裝 置 Η 之 檢 査 中 9 將 裝 置 A ， B ( 已 檢 查 過 ) 移 載 至 收 納 用 排 列 部 6 2 上 〇 1 1 如 第 1 3 圖 G 所 示 在 裝 置 G 之 檢 査 中 9 令 供 應 用 排 1 | 列 部 6 1 向 X 軸 方 向 移 動 1 節 距 衝 程 〇 而 藉 第 2 運 送 機 構 1 8 2 從 供 應 用 排 列 部 6 1 取 上 兩 個 裝 置 E ， F 〇 如 第 1 3 1 1 圖 Η 所 示 ， 將 裝 置 E 5 F 運 送 至 插 座 部 7 1 上 方 之 同 時 9 1 1 — 方 面 使 收 納 用 排 列 部 6 2 向 X 軸 方 向 移 動 1 節 距 衝 程 0 1 1 這 時 第 2 運 送 機 稱 8 2 退 向 X 軸 方 向 以 免 干 擾 到 第 1 運 1 1 送 機 構 8 1 0 而 藉 卸 載 部 5 4 從 收 納 用 排 列 部 6 2 取 上 裝 1 I 置 A D ， 運 送 到 托 盤 載 置 部 1 3 C > 1 3 D 之 托 盤 3 0 ] I 完 成 檢 査 之 裝 置 A D 則 依 個 別 之 檢 査 結 果 分 成 合 格 品 或 1 1 I 不 良 品 9 而 運 出 〇 1 依 據 上 述 實 施 例 之 裝 置 時 1 個 裝 置 所 需 之 檢 査 時 間 1 1 本紙張尺度適用中國國家榇準（CNS ) A4規格（2丨OX297公釐） A7 B7 312749 五、發明説明（12 ) ^n. I n vm n^i V n m mu m In ^^^1 \ —y .¾. 、V5 (請先閲讀背面之注意事g再填寫本頁) (Test Cycle)可從傳統之8秒鐘縮短爲1 · 5秒鐘0 同時，依據上述實施例之裝置時，因爲使供應用排列 部6 1與收納用排列部6 2可向X軸方向移動，而得縮小 運送機構8 1 ，8 2之X軸方向之移動衝程量。因此，可 將運送機構之驅動部8 0大幅度小型化。 在第14圖〜第16圖分別表示變形例子之裝置。如 第1 4圖所示，插座部也可以使用具有兩個裝置載置部 7 1 a之插座部7 0 a。也可以如第1 5圖所示，使用具 備4個裝置載置部7 1 b之插座部7 0 b。對這種插座部 7 0 b則如第1 6圖所示，使用各具備有4個吸著保持部 9 3之運送機構8 1 a、8 2 a。如此增加插座部之裝置 載置部及運送機構之吸著保持部之數目，則可實現高流通 率之檢査。 其次再參照第1 7圖〜第2 0圖，說明將第2檢査單 元2 0B連結在裝載/卸載單元1 0之情形。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 欲檢査引線端子之排列間隔僅0 . 3 mm之平板封裝型 裝置時，使用第2檢査單元2 0B以取代第1檢査單元 2 0 A。此第2檢査單元2 0 B之背面與上述一樣，安裝 有定位用組件1 3 0。 如第1 9圖所示，裝載/卸載單元1 〇連結有第1檢 査單元2 0A。從裝載/卸載單元1 〇切離此第丨檢査單 元2 0 A，如第5圖及第.1 8圖所示，使裝載/卸載單元 1 〇成爲單體。'接著，令定位用組件1 3 0卡合於定位用 組件1 2 0 ，將接頭角鐵1 1 1固定在第2檢査單元 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ -15 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ___B7 _ 五、發明説明（i3) 2 Ο B側之機架構件。藉此如第1 7圖及第2 0圖所示， 第2檢査單元2 0B使連結在裝載/卸載單元1 0。 如第1 7圖所示，第2檢査單元2 0B具備有可動之 載置台2 9 1 ，與靜止不動之排列部2 8 1 ，2 8 2。供 應用排列部2 8 1設在預備加熱板4 1鄰近處，備有暫時 置放檢査前之裝置2之凹處2 8 3。載置台2 9 1可沿著 軌道2 9 4向Y軸方向移動。Y軸軌道2 9 4從第2檢査 單兀2 0B之檢查位置延伸到裝載/卸載單元1 〇之附近 。可動載置台2 9 1位於收納用排列部2 8 2與供應用排 列部2 8 1之間。收納用排列部2 8 2備有，暂時放置檢 査後之裝置2之凹處2 8 3。 可動載置台2 9 1上面形成有4個凸部2 9 2。裝置 2係在凸部2 9 2上各載置1個。再者，可動載置台 2 9 1係載置於X軸移動台上，也可以在X軸方向移動。 同時，第2檢査單元2 0B也備有第1運送機構 2 8 4與第2運送機構2 8 5。第1運送機構2 8 4係用 以將檢査前之裝置2從供應用排列部2 8 1運送到可動載 置台2 9 1。第2運送機構2 8 5係用以將檢査後之裝置 2從可動載置台2 9 1運送到收納用排列部2 8 2。此等 運送機構2 8 4 ，2 8 5係與裝載器5 1及卸載器5 4 — 樣’備有可同時吸著保持4個裝置2之吸著保持部2 8 6 0 在第2檢査單元2 0B之中央上部設有探針卡2 7 0 °此探針卡2 7 〇在卡片本體2 7 1之中央開口 2 7 2周 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ^^1- ^^1 m ( 1 I I _ - ^^1 tn i^i 、vs (請先閱讀背面之注意事矽再填寫本頁) A7 _______B7_ _ 五、發明説明（I4 ) 圍有多數探針2 6 9。此等探針2 6 9安裝在卡片本體 2 7 1 ，可分別接觸於裝置之引線端子。各探針2 6 9係 介由卡片本體2 7 1之印刷基板電路連接在端子2 7 3。 探針卡2 7 Q上方設有測試頭2 6 0。測試頭2 6 0之信 號電路係經由接觸梢2 7 4電氣方式連接在端子2 7 3。 再者’中央開口 2 7 2係用以從探針卡上方以顯微鏡（未 圖示）或電視攝影機（未圖示）觀察探針2 6 9與引線端 子之位置。 其次說明上述裝置之動作。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 11一-------，衣-- (請先閱讀背面之注意事哼再填寫本頁) 藉裝載機51從預備加熱板41同時將4個裝置2運 送到排列部2 8 1。接著，藉第1運送機構2 8 4從排列 部2 8 1同時將4個裝置2運送至載置台2 9 1。然後， 令載置台2 9 1移動到檢査位置，令探針2 6 9分別接觸 到裝置2之引線端子，從測試頭2 6 0向探針2 6 9送出 檢查信號。檢査1個或同時檢査多數裝置2。檢査後將可 動載置台2 9 1移回原來之位置，藉第2運送機構2 8 5 將已檢査過之裝置2移載於收納用排列部8 2。然後藉卸 載機5 4依檢査結果分類而載置於托盤3，再將托盤3運 出外部。 依據上述實施例之裝置時，因爲可按裝置之種類準備 檢査單元，共用一個裝載/卸載單元，因此可將檢査室之 空間較傳統者縮小很多，同時也可以降低設備成本。例如 ，裝置之引線端子之排列間隔爲0 . 6 5 mm時使用第1檢 査單元2 0 A，但引線端子之排列間隔爲0 . 3晒時則使 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 17 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X297公釐） Μ Β7 五、發明説明（15 ) 用第2檢査單元2 Ο B。 再者，本發明之檢査單元並不限定爲上述方式，其他 方式者也可以。同時，本發明之裝載/卸載單元也不限定 爲上述方式，也可以使用無預加熱板之裝載/卸載單元。 圖式之簡單說明 第1圖係表示傳統之檢査裝置之平面圖。 第2圖係表示實施例之檢査裝置之外觀斜視圖。 第3圖係表示結合裝載/卸載單元與第1檢査單元之 檢査裝置內部之透視斜視圖。 第4圖係表示結合裝載/卸載單元與第1檢査單元之 檢査裝置內部之透視平面圖。 第5圖係表示裝載/卸載單元之內部之透視斜視圖。 第6圖係表示運送機構之吸著保持部之斜視圖。 第7圖係表示插座部之概要之斜視圖。 第8圖係表示單元結合用之裝卸組件之分解斜視圖。 第9圖係表示單元之裝卸組件安裝面之斜視圖。 第1 〇圖係表示裝卸組件之主要部分之分解斜視圖。 第1 1圖係表示結合前之裝卸組件之主要部分之側面 圖0 第1 2圖係表示結合後之裝卸組件之主要部分之側面 圖。 第1 3圖A〜第1 3圖Η係分別用以說明在排列部之 第1及第2運送機構之動作用之平面模式圖。 -18 - (請先閱讀背面之注意事if再填寫本頁) 訂 A7 B7 ^12740 五、發明説明（l6 ) 第14圖係表示其他實施例之檢査裝置內部之透視平 面圖。 第15圖係表示其他實施例之檢査裝置內部之透視平 面圖。 第16圇係表示其他實施例之運送機構之吸著保持部 之斜視圖。 第17圖係表示結合裝載/卸載單元與第2檢查單元 之檢査裝置內部之透視斜視圖。 第18圖係表示分離開之裝載/卸載單元之內部透視 圖0 第1 9圖係表示結合.在第1檢査單元之裝載/卸軟單 元之內部透視圖。 第2 Q圖係表示結合在第2檢査單元之裝載/卸載單 元之內部透視圖。 (請先閱讀背面之注意事項爿填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -19 -

Claims (1)

1. 723393附件 1A B8 C8 D8 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 六、申請專利範圍 第8410 7691號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 ， 民國86年2月修！£::: _____·... . —- · — ··...... 1 . 一種半導體裝置之檢查裝置，係具備：備有接受 檢查前之半導體裝置的裝載部，及接受檢査後之半導體裝 置之卸載部的裝載/卸載單元1 0，及連結成可從該裝載 /卸載單元分離開，對上述檢査位置之半導體裝置傳送測 試信號，以判定該電氣特性合格與否之檢查部的檢查單元 20A，20B，其特徵爲： 設於上述檢査單元與上述裝載/卸載單元之間，多數 檢查前之半導體裝置被排列的供應用排列部61 ，及 設於上述檢查單元與上述裝載/卸載單元之間，多數 檢查後之多數半導體裝置被排列的收納用排列部6 2，及 從上述裝載部將檢査前之半導體裝置運,送到上述供應 用排列部6 1 ，且從上述收納用排列部6 2將檢査後之半 導體裝置，運送到上述卸載部的第1運送機構5 1 ，5 4 ，以及 從上述供應用排列部61將檢査前之半導體裝置運送 到上述檢査位置，且從上述檢査位置將檢査後之半導體裝 置運送到上述收納用排列部62的第2運送機構81 ， 82，81a，82a，284，285° 2.如申請專利範圍第1項所述之裝置，其裝載/卸 載單元在其背面備有連結檢査單元用之連結組件。 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（2丨OX297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 々、申請專利範圍 3 .如申請專利範圍第2項所述之裝置，其連結組件 構有在X軸及Y軸之各方向調整位置用之長孔之角鐵構件 〇 4 .如申請專利範圍第1項所述之裝置，其裝載/卸 載單元進一步在其背面備有第1定位組件， 檢查單元在其背面備有可卡合於上述第1定位組件之 第2定位組件。 5.如申請專利範圍第2項所述之裝置，其裝載/卸 載單元進一步在其背面備有第一定位組件， 檢査單元在其背面備有可卡合於上述第1定位組件之 第2定位組件。 .如申請專利範圍第5項所述之裝置，第1定位組 件備有可向Y軸及Z軸之各方向改變位置之多數凸狀構件 > 第2定位組件備有可向X軸方向改變位置之多數凹狀 構件， 將此凹狀構件卡合於上述凸狀構件，檢查單元則可對 裝載/卸載單元在X軸，Y軸，Z軸之各方向進行定位。 7 .如申請專利範圍第6項所述之裝置，其連結組件 備有配設可在X軸及Y軸之各方向調整位置之長孔之角鐵 構件， 此角鐵構件係設在兩個凸狀構件之間。 8 .如申請專利範圍第6項所述之裝置，其裝載/卸 載單元之背面安裝有一對兩組之凸狀構件，其檢査單元之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •訂- B8 C8 D8 312749 六、申請專利範圍 背面安裝有一對兩組之凹狀構件。 9 . 一種半導體裝置之檢査裝置，係具備；備有接受 備有引線端子之檢査前之半導體裝置的裝載部，及備有接 受檢査後之半導體裝置之卸載部的裝載/卸載單元1 0， 及備有連結成可從該裝載/卸載單元分離開，對上述檢査 位置之半導體裝置傳送測試信號，以判定該電氣特性合格 與否之檢查部的第1檢査單元2 0A，及備有取代該第1 檢査單元，連結成可從上述裝載/卸載單元分離開，對上 述檢査位置之半導體裝置傳送測試信號，以判定該電氣特 性合格與否之檢査部的第2檢査單元2 Ο B，其特徵爲： 設於上述第1或第2檢査單元20A，20B與上述 裝載/卸載單元1 0之間，多數檢査前之半導體裝置及排 列的供應用排列部6 1 ，及 .設於上述第1或第2檢査單元20A，20B與上述 裝載/卸載單元1 0之間，多數檢查後之多數半導體裝置 被排列的收納用排列部6 2，及 從上述裝載部將檢査前之半導體裝置運送到上述供應 用排列部6 1 ，且從上述收納用排列部6 2將檢查後之半 導體裝置，運送到上述卸載部的第1運送機構5 1，5 4 、，以及 從上述供應用排列部61將檢査前之半導體裝置運送 到上述檢査位置，且從上述檢査位置將檢査後之半導體裝 置運送到上述收納用排列部6 2的第2運送機構8 1 ， 82，81a，82a，284，285。 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4规格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -綵' 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 312749 ΐί D8 六、申請專利範圍 上述第1檢査單元備有，包含可接觸半導體裝置之引 線端子之測試用插座部之檢査部70，71，以及，保持 上述供應用排列部6 1之半導體裝置，將其運送至上述插 座部71，同時保持置於插座部之檢査後之半導體裝置， 將其運送到上述收納用排列部6 2之上述第2運送機構 81，82，81a，82a， 上述第2檢查單元備有，包含可在移載位置與檢查位 置間移動之可動載置台2 9 1，在檢查位置使探針接觸於 半導體裝置之引線端子進行電氣測試之檢査部2 6 0， 2 7 0，以及，保持上述供應用排列部之半導體裝置，運 送至移載位置之上述可動載置台，同時保持在移載位置之 檢査後之半導體裝置，將其運送至上述收納用排列部之上 述第2運送機構284，285。 .1 0 .如申請專利範圍第9項所述之裝置，進一步備 有，令第1檢查單元之供應用排列部及收納用排列部沿X 軸移動之移動機構。 1 1 .如申請專利範圍第9項所述之裝置，其第1檢 査單元之運送機構備有X軸移動機構，Y軸移動機構，及 Z軸移動機構。 12·如申請專利範圍第9項所述之裝置’其裝載部 及卸載部係沿著X軸配置之。 13.如申請專利範圍第9項所述之裝置’其插座部 係配設在從供應用排列部及收納用排列部之移動領域向Y 軸方向離開之位置。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------1------ir------0 f (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -4 - 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 4 . 一種半導體裝置之檢査裝置，係具備：配設可 沿X軸從移動領域之一端移動到另一端，用以將備有引線 端子之半導體裝置定位之排列部6 0 ’及在此排列部之移 動領域之一端，將檢査前之裝置移載於排列部之裝載器， 及在上述排列部之移動領域之另一端，從排列部接受撿査 後之裝置之卸載器，及配設在從上^述排列部之移動領域向 Y軸方向離開之位置，可電氣接觸於裝置之引線端子，對 裝置進行導通檢査之檢査部，其特徵爲： '保持上述排列部內之裝置，將其運送至檢查部，同時 將檢查後之裝置從檢查部運送至排列部，而可向X軸，Y 軸，Z軸之各方向移動之第1運送機構8 1 ，8 1 a ， 2 8 4，以及， 保持上述排列部內之裝置，將其運送至檢査部，同時 在檢查後將裝置從檢查部運送至排列部，與上述第1運送 機構獨立，可向X軸，Y軸，Z軸之各方向移動之第2運 送機構 82，82a，285 ; 而上述第1及第2運送機構81，82，81a， 82a，284，285係在排列部60之移動領域之一 端與另一端之間，送受裝置。 1 5 .如申請專利範圍第1 4項所述之裝置，其排列 部具有，將裝置沿著X軸方向排列保持之多列凹部，第1 及第2運送機構具有，從各列凹部同時接受裝置（S)， 或移交裝置之吸著保持部。 1 6 ·如申請專利範圍第1 4項所述之裝置，其排列 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 5 ABCD 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 部具有’將檢査前之裝置加以定位用之供應用排列部，及 將檢査後之裝置加以定位用之收納用排列部。 1 7 .—種檢査具有引線端子之半導體裝置之檢查方 法，包含有， (a )準備具備有運入部，排列部，運出部之裝載/ 卸載單元，第1檢査單元及第2檢査單元之過程， (b )將第1檢査單元連結在裝載/卸載單元之過程 > (c )將第1裝置運進裝載/卸載單元之運入部之過 程， (d )將第1裝置從運入部經由排列部運送至第1檢 査單元之過程， (e)以第1檢査單元檢查第1裝置之過程， .(f )將檢查後之第1裝置經由裝載/卸載單元之排 列部運送至運出部之過程， (g )將檢査後之第1裝置從運出部運出之過程， (h )將第1檢查單元從裝載/卸載單元分離開之過 程， (i) 將第2檢査單元連結在裝載/卸載單元之過程 (j) 將第2裝置運入裝載/卸載單元之運入部之過 程， (k) 將第2裝置從運入部經由排列部運送至第2檢 査單元之過程， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------1------------線'. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) B8 C8 D8 312749 六、申請專利範圍 (5 )以第2檢査單元檢査第2裝置之過程， (m)將檢査後之第2裝置經由裝載/卸載單元之排 列部運送至運出部之過程，以及， (η )將檢查後之第2裝置從運出部運出之過程。 1 8 ·如申請專利範圍第1 7項所述之檢査方法，其 第1檢査過程（e )係將插座電極接觸在第1裝置之引線 端子進行導通檢査，第2檢査過程（艾）係將探針接觸在 具有較第1裝置之引線端子之節距間隔爲窄之節距間隔之 第2裝置之引線端子，進行導通檢査。 1 9 .如申請專利範圍第1 7項所述之檢查方法，其 運送過程（d )係在排列部將檢査前之第1裝置加以定位 ，使排列部向X軸方向移動，在第1檢査過程（e )內， 再將其他檢査前之第1裝置從排列部運、送至第1檢査單元 ，另一方面將其他檢查後之第1裝置移交給排列部。 2 0 .如申請專利範圍第1 7項所述之檢查方法，其 運送過程（k )係在排列部將檢査前之第2裝置加以定位 ，使排列部向X軸方向移動，在第2檢査過程（5)中， 再將其他檢査前之第2裝置從排列部運送至第2檢查單元 ，另一方面，將其他檢査後之第2裝置移交給排列部。 本紙張尺度適用肀國國家搞準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------••乂------、玎------it- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 -7 -