JP2020107658A - 電子部品搬送装置 - Google Patents
電子部品搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020107658A JP2020107658A JP2018242847A JP2018242847A JP2020107658A JP 2020107658 A JP2020107658 A JP 2020107658A JP 2018242847 A JP2018242847 A JP 2018242847A JP 2018242847 A JP2018242847 A JP 2018242847A JP 2020107658 A JP2020107658 A JP 2020107658A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- suction means
- suction
- movable body
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【課題】電子部品に生じる負荷を計測可能な電子部品搬送装置を提供する。【解決手段】電子部品Wを吸着した吸着手段Jを位置Pに配する第1のユニット11と、位置Pに配された吸着手段Jに吸着されている電子部品Wに対向する位置Qに順次配されて、吸着手段Jから電子部品Wを取得する複数の吸着手段Kを有する第2のユニット12とを具備する電子部品搬送装置10において、駆動手段24と、駆動手段24の作動により、位置Qに配された吸着手段Kに力を作用させて、吸着手段Kと共に移動し、位置Pに配された吸着手段Jに吸着されている電子部品Wに吸着手段Kを接触させる可動体26と、可動体26に設けられた荷重センサ32とを備える。【選択図】図1
Description
本発明は、電子部品を搬送する電子部品搬送装置に関する。
従来、電子部品の搬送装置として、ウエハから電子部品を取得するピックアップ用ノズルと、回転体に昇降自在に取り付けられた複数の吸着ノズルと、回転体の回転によって所定位置に配された吸着ノズルを、モータの駆動による移動によって押し下げて、ピックアップ用ノズルに接近させる可動体とを有するものがある(特許文献1参照)。所定位置に配された吸着ノズルは、可動体の押し下げにより下降し、ピックアップ用ノズルに下面が吸着された電子部品の上面に接触して、ピックアップ用ノズルから電子部品を取得する。
吸着ノズル及びピックアップ用ノズルは、電子部品を上下から挟んだ状態で受け渡しを行うため、電子部品の落下を防止することができる。吸着ノズル及びピックアップ用ノズルで挟まれた状態となった電子部品には負荷が生じるが、可動体の下降距離の調整等で、その負荷が一定以上とならないように制御する。
吸着ノズル及びピックアップ用ノズルは、電子部品を上下から挟んだ状態で受け渡しを行うため、電子部品の落下を防止することができる。吸着ノズル及びピックアップ用ノズルで挟まれた状態となった電子部品には負荷が生じるが、可動体の下降距離の調整等で、その負荷が一定以上とならないように制御する。
しかしながら、可動体の下降距離が同じでも、複数の吸着ノズル全てについて下降状態の吸着ノズルの下端部の高さ位置を完全に一致させることはできない。そのため、電子部品にかかる負荷を厳密に等しくすることはできず、例えば、電子部品が薄い場合、生じた負荷の大きさによっては電子部品にクラック等の不具合が発生する可能性があった。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、電子部品に生じた負荷を検出可能な電子部品搬送装置を提供することを目的とする。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、電子部品に生じた負荷を検出可能な電子部品搬送装置を提供することを目的とする。
前記目的に沿う本発明に係る電子部品搬送装置は、電子部品を吸着した吸着手段Jを位置Pに配する第1のユニットと、前記位置Pに配された前記吸着手段Jに吸着されている前記電子部品に対向する位置Qに順次配されて、該吸着手段Jから前記電子部品を取得する複数の吸着手段Kを有する第2のユニットとを具備する電子部品搬送装置において、駆動手段と、前記駆動手段の作動により、前記位置Qに配された前記吸着手段Kに力を作用させて、該吸着手段Kと共に移動し、前記位置Pに配された前記吸着手段Jに吸着されている前記電子部品に該吸着手段Kを接触させる可動体と、前記可動体に設けられた荷重センサとを備える。
本発明に係る電子部品搬送装置は、駆動手段の作動により位置Qに配された吸着手段Kに力を作用させて、吸着手段Kと共に移動し、位置Pに配された吸着手段Jに吸着されている電子部品に吸着手段Kを接触させる可動体と、可動体に設けられた荷重センサとを備えるので、可動体には電子部品に生じた負荷が吸着手段Kから伝わることとなり、荷重センサは可動体に伝わった負荷、即ち、電子部品に生じた負荷を検出可能である。
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図1、図2に示すように、本発明の一実施の形態に係る電子部品搬送装置10は、電子部品Wを吸着した吸着手段Jを所定の位置Pに配するピックアップユニット(第1のユニットの一例)11と、位置Pに配された吸着手段Jに吸着されている電子部品Wに対向する位置Qに順次配されて、吸着手段Jから電子部品Wを取得する複数の吸着手段Kを有する受取ユニット(第2のユニットの一例)12とを具備する。以下、詳細に説明する。
図1、図2に示すように、本発明の一実施の形態に係る電子部品搬送装置10は、電子部品Wを吸着した吸着手段Jを所定の位置Pに配するピックアップユニット(第1のユニットの一例)11と、位置Pに配された吸着手段Jに吸着されている電子部品Wに対向する位置Qに順次配されて、吸着手段Jから電子部品Wを取得する複数の吸着手段Kを有する受取ユニット(第2のユニットの一例)12とを具備する。以下、詳細に説明する。
ピックアップユニット11は、図1、図2に示すように、支持体13に支持された回転軸14と共に回転する回転体15を有し、複数(本実施の形態では4つ)の長尺の吸着手段Jがそれぞれ回転体15に進退可能に取り付けられている。吸着手段Jは、放射状に設けられ、各先端が仮想円に沿って等間隔に配されている。各吸着手段Jには、図2に示すように、コイルばね(負荷を吸収する弾性体の一例)16が装着されており、コイルばね16は回転体15の中心に向かって移動した吸着手段Jに対し回転体15の外側向きの力を与える。
各吸着手段Jは真空圧(負圧)によって先端で電子部品Wを吸着保持し、大気開放又は正圧によって電子部品Wの吸着状態を解除する。本実施の形態において、回転軸14は水平配置されているがこれに限定されない。複数の吸着手段Jは、支持体13に固定された図示しないモータの作動によって間欠的に円弧状の経路を移動し、順次、先端が多数の電子部品Wが貼り付けられたウエハシートSに対向する位置、即ち、ウエハシートSに貼り付けられた電子部品Wを吸着可能な位置(以下、「部品受取位置」と言う)に配される。
ウエハシートSはウエハリングRに固定され、図示しない駆動機構の作動によりウエハリングRと共に移動して、部品受取位置に配された吸着手段Jの先端に対向する位置に、吸着手段Jによって次に取得されるべき電子部品Wを配する。電子部品Wとして、ダイオード、トランジスタ、コンデンサ、インダクタ、IC(Integrated Circuit)等が挙げられる。
受取ユニット12は、図1に示すように、ベース材17に載置された板材18に固定されたモータ(駆動手段の一例)19と、複数の吸着手段Kが外周に沿って等ピッチで取り付けられ、モータ19の作動によって回転する円盤状の回転体20を有している。モータ19は、回転体20を間欠的に回転駆動させて、複数の吸着手段Kを間欠的に移動させる。
各吸着手段Kは、鉛直方向に長く、回転体20を貫通した状態で回転体20に昇降可能に取り付けられている。各吸着手段Kは下端部で電子部品Wを吸着する吸着ノズルであり、各吸着手段Kには、下降した吸着手段Kに上向きの力を作用させるコイルばね(弾性体の一例)21が装着されている。本実施の形態では、吸着手段Kの回転体20より上側の領域にコイルばね21が装着されている。
各吸着手段Kは、鉛直方向に長く、回転体20を貫通した状態で回転体20に昇降可能に取り付けられている。各吸着手段Kは下端部で電子部品Wを吸着する吸着ノズルであり、各吸着手段Kには、下降した吸着手段Kに上向きの力を作用させるコイルばね(弾性体の一例)21が装着されている。本実施の形態では、吸着手段Kの回転体20より上側の領域にコイルばね21が装着されている。
回転体20の上方には、モータ19及び回転体20を貫通する支持部材22に固定された円盤状の板材23が設けられている。水平配置された板材23の外周には、それぞれモータ(駆動手段の一例)24が固定された複数の保持部材25が取り付けられ、各保持部材25には可動体26が昇降自在に装着されている。各モータ24の下方には、下降した可動体26に対し上向きの力を与える弾性体の一例であるコイルばね28が設けられている。
本実施の形態では、モータ24に、モータ24の駆動によって昇降する出力軸29が連結されており、可動体26は下降する出力軸29によって押し下げられる。なお、モータの駆動力を可動体26に伝えて可動体26を押し下げる、カム及びカムフォロアを有する機構を採用してもよい。
回転体20及び複数の吸着手段Kは、モータ19が駆動するごとに、吸着手段Kの配置ピッチに相当する角度回転する。各可動体26は、吸着手段Kが一時停止する位置の上方に配され、対応するモータ24の駆動力を与えられて下降し、一時停止している吸着手段Kを押し下げる。
なお、図1においては、吸着手段K、モータ24、保持部材25及び可動体26等がそれぞれ2つずつ記載されているが、本実施の形態では、これらがそれぞれ3つ以上設けられている。
回転体20及び複数の吸着手段Kは、モータ19が駆動するごとに、吸着手段Kの配置ピッチに相当する角度回転する。各可動体26は、吸着手段Kが一時停止する位置の上方に配され、対応するモータ24の駆動力を与えられて下降し、一時停止している吸着手段Kを押し下げる。
なお、図1においては、吸着手段K、モータ24、保持部材25及び可動体26等がそれぞれ2つずつ記載されているが、本実施の形態では、これらがそれぞれ3つ以上設けられている。
吸着手段Kが一時停止する複数の位置の1つは、図1、図2に示すように、ピックアップユニット11の上方位置であり、吸着手段Kはこの位置(以下、「位置Q」と言う)に配されて吸着手段Jから電子部品Wを取得する。位置Qの上方に位置する可動体26には、可動体26に生じる負荷を計測する荷重センサ32が設けられ、荷重センサ32には、図2に示すように、モータ19、24等の制御を行う制御手段33がA/D変換器34を介して接続されている。制御手段33は荷重センサ32の計測値を検出できる。
荷重センサ32として、圧電式センサ(ピアゾ式センサ)やロードセル等を採用でき、制御手段33はマイクロコンピュータ及び記憶媒体等によって構成することができる。以下、位置Qの上方に配され、荷重センサ32が設けられた可動体26をセンサ付き可動体26と言う。なお、本実施の形態では、図1に示すように、センサ付き可動体26以外の可動体26に荷重センサが設けられていない。
センサ付き可動体26は、対応するモータ24の作動により、位置Qに配された吸着手段Kに接触して下向きの力を作用させ、吸着手段Kと共に下降(移動)する。
吸着手段Jが一時停止する複数の位置の1つは、位置Qの下方の位置Pであり、回転体15は、回転によって、複数の吸着手段Jを位置Pに順次配置する。
吸着手段Jが一時停止する複数の位置の1つは、位置Qの下方の位置Pであり、回転体15は、回転によって、複数の吸着手段Jを位置Pに順次配置する。
位置Qから下降した吸着手段Kは下端部が、図3に示すように、位置Pに配された吸着手段Jに吸着されている電子部品Wに接触する(このとき、電子部品Wは吸着手段K、Jによって上下から挟まれた状態となる)。従って、吸着手段Kと共に下降するセンサ付き可動体26は、位置Pに配された吸着手段Jに吸着されている電子部品Wに吸着手段Kを接触させることとなる。
吸着手段Kの下端部の電子部品Wへの接触によって、電子部品Wには吸着手段Kから下向きの力が与えられ、この電子部品Wを吸着している吸着手段Jに装着されているコイルばね16には、吸着手段J経由で下向きの力が伝えられる。これによって、コイルばね16が収縮して、電子部品W及び吸着手段Jが降下する。その結果、電子部品Wに生じる負荷の一部はコイルばね16に吸収される(即ち、本実施の形態では、電子部品Wに生じる負荷をコイルばね16によって低減している)。
電子部品Wに吸着手段Kが接触して電子部品Wに生じる負荷は、吸着手段Kを通じてセンサ付き可動体26にも伝わる。よって、荷重センサ32は、電子部品Wに生じている負荷を間接的に計測する。荷重センサ32は電子部品Wに接触する吸着手段Kから直接負荷が伝達される可動体26に設けられているので、可動体から負荷が伝達される他の部材に荷重センサを設ける場合に比べ、電子部品Wに生じている負荷を正確に計測可能である。
センサ付き可動体26は、図4(A)に示すように、吸着手段Kからの負荷が伝わる方向の特定領域全体(特定領域において吸着手段Kからの負荷が伝わる方向に直交する方向全体)が荷重センサ32で占められているので、図4(B)に示すように、荷重センサ36が吸着手段Kからの負荷が伝わる方向の特定領域の一部のみを占めているセンサ付き可動体37に比べて、荷重センサ32は電子部品Wに生じる負荷を正確に計測することができる。
また、仮に荷重センサを吸着手段K等の回転体20の回転と共に移動する部材に設けようとすると、荷重センサの信号線が絡んだり切断したりすることのないようにする必要がある。これに対し、可動体26は回転体20の回転により移動しないので、可動体26に荷重センサ32を設ける場合、荷重センサ32の配線を容易にできるという利点がある。
制御手段33は、電子部品Wに吸着手段Kが接触した際の荷重センサ32の計測値を電子部品Wに紐づけて記憶している。そのため、電子部品搬送装置10の利用者は、制御手段33の記憶データを参照することによって、過剰な負荷が生じた電子部品Wが存在したか否かや、どの電子部品Wに過剰な負荷が生じたかを確認することができる。
そして、電子部品Wに接触した吸着手段Kが電子部品Wを吸着し、吸着手段Jによる電子部品Wの吸着が解除され、モータ24の作動によるセンサ付き可動体26の上昇に伴い、吸着手段K及び吸着手段Kに吸着されている電子部品Wが上昇して、吸着手段Jから吸着手段Kへの電子部品Wの受け渡しが完了する。その後、電子部品Wを吸着している別の吸着手段Jが回転体15の回転によって位置Pに配置され、電子部品Wを吸着していない吸着手段Kが回転体20の回転により位置Qに配置され、吸着手段J、Kによる電子部品Wの新たな受け渡しが行われる。
一方、吸着手段Jから電子部品Wを取得した吸着手段Kは、回転体20の回転により移動し、所定の場所でビン等の容器に電子部品Wを入れたり、電子部品Wをテープに封止するテーピングユニットに電子部品Wを供給したりする。吸着手段J、Kによる電子部品Wの受け渡しの際に荷重センサ32によって測定された計測値が、予め定められた設定値を超えていた場合と当該設定値以下の場合とで、電子部品Wの供給先を分けてもよい。例えば、荷重センサ32の計測値が設定値を超えていた電子部品Wは不良品用のビンに入れ、同計測値が設定値以下であった電子部品Wはテーピングユニットに供給するようにしてもよい。
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上記した形態に限定されるものでなく、要旨を逸脱しない条件の変更等は全て本発明の適用範囲である。
例えば、第1のユニットはウエハシートから電子部品を取得するものである必要はなく、トレイやボールフィーダ等から電子部品を取得する第1のユニットを採用することができる。そして、複数の吸着手段Jを具備する第1のユニットの代わりに、吸着手段Jを1つのみ有する第1のユニットを使用してもよい。
例えば、第1のユニットはウエハシートから電子部品を取得するものである必要はなく、トレイやボールフィーダ等から電子部品を取得する第1のユニットを採用することができる。そして、複数の吸着手段Jを具備する第1のユニットの代わりに、吸着手段Jを1つのみ有する第1のユニットを使用してもよい。
また、第1、第2のユニット等の位置関係や吸着手段Kの進退方向は限定されない。例えば、吸着手段Kが水平方向に移動可能な状態で回転体に取り付けられ、位置Pと位置Qが同一の高さとなるように設定してもよい。
更に、第2のユニットは回転体を有する必要はなく、例えば、吸着手段Kが取り付けられた部材を往復動させて、吸着手段Kを順次位置Qに配するようにしてもよい。
そして、吸着手段Kが吸着手段Jに吸着された電子部品に接触する際に電子部品に生じる負荷を吸収する弾性体を、吸着手段Jのみに装着する代わりに、吸着手段Kのみに装着してもよいし、吸着手段J、Kに装着してもよい。また、そのような弾性体は設けなくてもよい。
更に、第2のユニットは回転体を有する必要はなく、例えば、吸着手段Kが取り付けられた部材を往復動させて、吸着手段Kを順次位置Qに配するようにしてもよい。
そして、吸着手段Kが吸着手段Jに吸着された電子部品に接触する際に電子部品に生じる負荷を吸収する弾性体を、吸着手段Jのみに装着する代わりに、吸着手段Kのみに装着してもよいし、吸着手段J、Kに装着してもよい。また、そのような弾性体は設けなくてもよい。
10:電子部品搬送装置、11:ピックアップユニット、12:受取ユニット、13:支持体、14:回転軸、15:回転体、16:コイルばね、17:ベース材、18:板材、19:モータ、20:回転体、21:コイルばね、22:支持部材、23:板材、24:モータ、25:保持部材、26:可動体、28:コイルばね、29:出力軸、32:荷重センサ、33:制御手段、34:A/D変換器、36:荷重センサ、37:可動体、J、K:吸着手段、P、Q:位置、R:ウエハリング、S:ウエハシート、W:電子部品
Claims (3)
- 電子部品を吸着した吸着手段Jを位置Pに配する第1のユニットと、前記位置Pに配された前記吸着手段Jに吸着されている前記電子部品に対向する位置Qに順次配されて、該吸着手段Jから前記電子部品を取得する複数の吸着手段Kを有する第2のユニットとを具備する電子部品搬送装置において、
駆動手段と、
前記駆動手段の作動により、前記位置Qに配された前記吸着手段Kに力を作用させて、該吸着手段Kと共に移動し、前記位置Pに配された前記吸着手段Jに吸着されている前記電子部品に該吸着手段Kを接触させる可動体と、
前記可動体に設けられた荷重センサとを備えることを特徴とする電子部品搬送装置。 - 請求項1記載の電子部品搬送装置において、前記第1のユニットは、複数の前記吸着手段Jと、前記複数の吸着手段Jが取り付けられ、回転によって、該複数の吸着手段Jを前記位置Pに順次配置する回転体とを備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
- 請求項1又は2記載の電子部品搬送装置において、前記吸着手段J及び前記吸着手段Kの少なくとも一方には、前記吸着手段Kの前記吸着手段Jに吸着された前記電子部品への接触によって該電子部品に生じる負荷を吸収する弾性体が装着されていることを特徴とする電子部品搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018242847A JP2020107658A (ja) | 2018-12-26 | 2018-12-26 | 電子部品搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018242847A JP2020107658A (ja) | 2018-12-26 | 2018-12-26 | 電子部品搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020107658A true JP2020107658A (ja) | 2020-07-09 |
Family
ID=71449445
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018242847A Pending JP2020107658A (ja) | 2018-12-26 | 2018-12-26 | 電子部品搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2020107658A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7251721B1 (ja) * | 2022-12-26 | 2023-04-04 | 上野精機株式会社 | 部品処理装置 |
-
2018
- 2018-12-26 JP JP2018242847A patent/JP2020107658A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7251721B1 (ja) * | 2022-12-26 | 2023-04-04 | 上野精機株式会社 | 部品処理装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101938894B (zh) | 电子元件用搬送装置 | |
TW201530681A (zh) | 拾取電子器件進行測試的測試分選機及其方位改變裝置 | |
JP6372911B2 (ja) | Icハンドラの電子部品姿勢修正装置及び電子部品姿勢修正方法 | |
JP2015060988A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2020107658A (ja) | 電子部品搬送装置 | |
TW201635416A (zh) | 被加工物的交付方法 | |
JP2020088072A (ja) | ウエハ受け渡し装置 | |
KR102359141B1 (ko) | 가공 장치 | |
CN104919582A (zh) | 探针装置和晶片输送系统 | |
JP3233011B2 (ja) | 基板の位置決め装置 | |
JP6429789B2 (ja) | 回路基材支持システム | |
JP7251721B1 (ja) | 部品処理装置 | |
JP2011014583A (ja) | 電子部品用搬送装置 | |
JP5106379B2 (ja) | Icハンドラ | |
WO2021141058A1 (ja) | 電子部品搬送装置 | |
WO2002050559A1 (fr) | Manipulateur de circuits imprimes | |
JP6551655B2 (ja) | プローバ | |
CN111146128B (zh) | 裸片转移模块和具有该裸片转移模块的裸片接合设备 | |
JP2013110444A (ja) | 基板搬送装置の位置調整方法 | |
TWM592163U (zh) | 半導體裝片一體機 | |
JP2657466B2 (ja) | 円盤状物体の取り扱い装置 | |
CN220744573U (zh) | 送料机构及设备 | |
JP5001064B2 (ja) | チャックテーブル機構 | |
JP2020203785A (ja) | 部品移送装置 | |
KR102104051B1 (ko) | 소자핸들러 |