JP2011014583A - 電子部品用搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】各吸着コレットの高さ調整を短時間でかつ高い精度で行うことができる電子部品用搬送装置を提供する。
【解決手段】ターンテーブル2と、複数の吸着コレット13と、空気圧装置18と、昇降装置14と、吸着コレット13の下降量を制御する制御装置21とを備える。制御装置21は、吸着コレット13の基準高さを昇降装置14とは別の検出系を用いて検出する高さ検出部38を有する。制御装置21は、各吸着コレット13の基準高さと、昇降装置14によって検出された各吸着コレット13の高さとが一致するように吸着コレット13毎の下降量を補正する補正部39を備えている。
【選択図】 図11
【解決手段】ターンテーブル2と、複数の吸着コレット13と、空気圧装置18と、昇降装置14と、吸着コレット13の下降量を制御する制御装置21とを備える。制御装置21は、吸着コレット13の基準高さを昇降装置14とは別の検出系を用いて検出する高さ検出部38を有する。制御装置21は、各吸着コレット13の基準高さと、昇降装置14によって検出された各吸着コレット13の高さとが一致するように吸着コレット13毎の下降量を補正する補正部39を備えている。
【選択図】 図11
Description
本発明は、電子部品を吸着コレットに吸着させて搬送する電子部品用搬送装置に関するものである。
従来のこの種の電子部品用搬送装置としては、例えば特許文献1に記載されているものがある。特許文献1に開示された搬送装置は、複数の吸着コレットを昇降自在に支持するターンテーブルと、吸着コレットを昇降させるための昇降装置とを備えている。前記ターンテーブルは、平面視において円形状に形成されており、駆動装置による駆動によって上下方向の軸線回りに間欠的に回転する。
前記吸着コレットは、前記ターンテーブルの外周部に周方向に等間隔おいて並べられている。各吸着コレットは、ターンテーブルの外周部を上下方向に貫通している。この吸着コレットの下端には、電子部品を吸着するための吸着面が形成され、吸着コレットの上端部には、昇降装置のプッシュロッドが接続されている。
前記昇降装置は、モータの回転を往復運動に変換して前記プッシュロッドを昇降させる構造のものである。この昇降装置は、吸着コレットが前記ターンテーブルによる駆動によって水平方向に移動するときは吸着コレットを上昇した待機位置に保持する。また、この昇降装置は、吸着コレットが電子部品を吸着するときや、電子部品を被載置部に載せるとき(移載時)に吸着コレットを下降させる。
前記昇降装置は、モータの回転を往復運動に変換して前記プッシュロッドを昇降させる構造のものである。この昇降装置は、吸着コレットが前記ターンテーブルによる駆動によって水平方向に移動するときは吸着コレットを上昇した待機位置に保持する。また、この昇降装置は、吸着コレットが電子部品を吸着するときや、電子部品を被載置部に載せるとき(移載時)に吸着コレットを下降させる。
各吸着コレットの長さは、製造時に公差があるから、一定の長さに形成することは難しい。また、ターンテーブルにおいては、大型化すればするほど平坦度を高く形成することが難しくなり、各吸着コレット装着部の高さが不均一になり易い。さらに、搬送装置を長期間にわたって使用することによって、例えばカムの摺接面が摩耗したりして吸着コレットの高さが変わってしまうこともある。
このため、上述した特許文献1に示す搬送装置を含め、ターンテーブルに複数の吸着コレットが支持される電子部品用搬送装置においては、ターンテーブルに装着された吸着コレットの吸着面の高さを一定にするために、各々の吸着コレットについて高さを調整する作業を行わなければならないという問題があった。
吸着コレットの高さ調整を行う理由は、前記吸着面の高さが基準の高さより低い場合は、例えば電子部品を吸着コレットで吸着するときに吸着コレットが電子部品に許容範囲を超えた荷重で衝突するおそれがあるからである。また、吸着面の高さが基準の高さより高い場合には、吸着コレットが電子部品に所定の押圧力で接触できなくなり、吸着ミスが頻発するようになるからである。なお、吸着コレットが電子部品を押圧する力を低減するためには、吸着コレットとプッシュロッドとの間にばねを介装することが考えられる。
しかし、この構成を採ったとしても、吸着コレットが高速で電子部品に衝突したときに電子部品に加えられる衝撃力を緩和することはできない。
吸着コレットの高さを調整する作業は、作業者が手工具を使用して個々の吸着コレット毎に行う必要があるから、作業時間が著しく長くなる。なお、この作業を短時間で終わらせると、吸着面の高さのばらつきが大きくなってしまう。
吸着コレットの高さを調整する作業は、作業者が手工具を使用して個々の吸着コレット毎に行う必要があるから、作業時間が著しく長くなる。なお、この作業を短時間で終わらせると、吸着面の高さのばらつきが大きくなってしまう。
本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、各吸着コレットの高さ調整を短時間でかつ高い精度で行うことができる電子部品用搬送装置を提供することを目的とする。
この目的を達成するために、本発明に係る電子部品用搬送装置は、間欠的に回転するターンテーブルと、このターンテーブルの外周部に昇降可能に支持されるとともに、前記ターンテーブルの周方向に等間隔おいて並べられた複数の電子部品用吸着コレットと、前記吸着コレットによる電子部品の吸着状態と開放状態とを切り換える空気圧装置と、前記吸着コレットを昇降させる機能を有するとともに吸着コレットの高さを検出する機能を有する昇降装置と、前記昇降装置に接続されて前記吸着コレットの下降量を制御する制御装置とを備え、前記制御装置は、前記ターンテーブルの近傍に配設されて各吸着コレットの基準高さを前記昇降装置とは別の検出系を用いて検出する高さ検出部と、吸着コレットが所定の下降量だけ下降した状態において前記高さ検出部によって検出された各吸着コレットの基準高さと、前記状態において前記昇降装置によって検出された各吸着コレットの高さとが一致するように吸着コレット毎の下降量を補正する補正部とを備えているものである。
本発明は、前記発明において、前記制御装置は、前記ターンテーブルを間欠的に回転させることにより各吸着コレットを前記検出部に順次移動させるターンテーブル制御部と、前記検出部に移動した吸着コレットを前記昇降装置によって下降させてから上昇させる昇降装置制御部とをさらに備えているものである。
本発明は、前記発明において、前記別の検出系は、吸着コレットによって押圧される検出子の移動量を検出するセンサによって構成され、前記補正部は、前記センサによって検出された吸着コレットの高さが予め定めた基準高さである状態において、昇降装置によって検出された吸着コレットの高さと前記基準高さとを比較し、これらの高さの高低差を0にするために必要な吸着コレット毎の補正値を算出する補正値演算部と、前記補正値をメモリに記憶させる補正値保存部と、昇降装置の使用時に前記補正値を前記メモリから読み出し、この補正値に基づいて吸着コレット毎に下降量を補正する補正実行部とによって構成されているものである。
本発明は、前記発明において、前記ターンテーブルの外周部の近傍に設けられた電子部品受け渡し用ターンテーブルと、この電子部品受け渡し用ターンテーブルの外周部に周方向に等間隔おいて並べられ、前記吸着コレットの吸着面と対向する吸着面を有する複数のピックアップコレットとを備え、前記制御装置は、予め選択された基準とする吸着コレットを前記ピックアップコレットとの間に隙間がなくなるまで下降させ、この状態において前記昇降装置によって検出された前記吸着コレットの高さに基づいてピックアップコレットの高さを検出する高さ測定動作を全てのピックアップコレットについて実施する高さ測定部と、前記吸着コレットの高さを吸着コレットの前記補正された下降量に基づいて補正し、各吸着コレットと各ピックアップコレットとの間で電子部品の受け渡しを行うときの吸着コレットの高さを求める高さ演算部とを備えているものである。
本発明は、前記発明において、前記ピックアップコレットは、電子部品受け渡し用ターンテーブルに往復移動可能に設けられ、前記受け渡し用ターンテーブルの近傍にピックアップコレットと対向するように設けられた電子部品供給部と、前記ピックアップコレットを前記電子部品供給部に対して進退させる機能を有するとともにピックアップコレットの移動量を検出する機能を有するピックアップコレット用駆動装置を備え、前記制御装置は、前記ピックアップコレットと電子部品供給部の電子部品との間に隙間がなくなる状態において前記ピックアップコレット用駆動装置によって検出されたピックアップコレットの位置と、ピックアップコレットの初期位置との間の移動距離を全てのピックアップコレットについて測定する移動距離測定部と、この移動距離測定部によって測定された全てのピックアップコレットの移動距離をメモリに記憶させる移動距離保存部と、各ピックアップコレットによって前記電子部品供給部の電子部品を吸着するときに前記メモリから読み出した移動距離だけピックアップコレットが移動するように前記ピックアップコレット用駆動装置の動作を制御する駆動装置制御部とを備えているものである。
本発明によれば、高さ検出部によって検出された各吸着コレットの高さ(基準高さ)は、吸着コレットの製造時の公差やターンテーブルの平坦度などに起因する誤差を含む値である。本発明によれば、この誤差を含む吸着コレットの基準高さと、制御装置が昇降装置の下降動作を制御して吸着コレットを下降させるときの吸着コレットの高さとを一致させることができる。
このため、昇降装置による駆動によって吸着コレットを目標とする高さに下降させるに当たって、前記誤差を実質的に排除した状態で下降させることができる。すなわち、本発明に係る電子部品用搬送装置は、高さ検出部で各吸着コレットの基準高さを検出し、上述したように昇降装置による下降量を補正することによって、各吸着コレットについて実質的に高さ調整が実施されたものとなる。
また、高さ検出部を用いて各吸着コレットの基準高さを検出するときの所要時間は、作業者が手工具で個々の吸着コレットの高さを調整するときの作業時間に較べると著しく短くなる。
したがって、本発明によれば、各吸着コレットの高さ調整を短時間でかつ高い精度で行うことが可能な電子部品用搬送装置を提供することができる。
したがって、本発明によれば、各吸着コレットの高さ調整を短時間でかつ高い精度で行うことが可能な電子部品用搬送装置を提供することができる。
以下、本発明に係る電子部品用搬送装置の一実施の形態を図1〜図11によって詳細に説明する。
図1に示す電子部品用搬送装置1は、平面視円形状に形成されたターンテーブル2を使用して電子部品3(図7参照)を後述する複数の処理装置4〜10に搬送するものである。
図1に示す電子部品用搬送装置1は、平面視円形状に形成されたターンテーブル2を使用して電子部品3(図7参照)を後述する複数の処理装置4〜10に搬送するものである。
ターンテーブル2は、円板状に形成されており、その軸線が上下方向を指向する状態で基台11の上に駆動装置12を介して搭載されている。ターンテーブル2の外周部には、電子部品3を吸着するための複数の吸着コレット13がターンテーブル2の周方向に等間隔おいて並べられている。この実施の形態においては、30本の(#1〜#30)吸着コレット13が設けられている。
これらの吸着コレット13は、ターンテーブル2に昇降可能に支持されており、後述する昇降装置14(図2参照)によって昇降させられる。また、これらの吸着コレット13は、図2に示すように、ばね部材15によって常に上方に付勢されており、所定の待機位置に保持されている。すなわち、吸着コレット13は、待機位置を上端として昇降できるようにターンテーブル2に支持されている。
これらの吸着コレット13の下端部には、図3に示すように、ラバーチップ16が固着されている。このラバーチップ16と、吸着コレット13の下部内とには、図示してはいないが空気孔が穿設されている。この空気孔の下端は、ラバーチップ16の下端に形成されている吸着面に開口し、上端は、吸着コレット13毎の空気ホース17(図1参照)を有する空気圧装置18に接続されている。
この空気圧装置18は、吸着コレット13に電子部品3を吸着させるときに前記空気孔から空気を吸引し、吸着コレット13から電子部品3を開放するときには前記空気孔に正圧の空気を供給する。この空気圧装置18の動作は、後述する制御装置21(図1および図11参照)によって制御される。
前記ターンテーブル用の駆動装置12は、モータ(図示せず)を動力源として構成されており、ターンテーブル2を上下方向の軸線回りに所定の角度だけ回転させる。この所定の角度とは、吸着コレット13の個数をN個とすると、1/N回転に相当する角度である。この実施の形態による駆動装置12は、ターンテーブル2を1/30度ずつ間欠的に回転させる。この駆動装置12がターンテーブル2を駆動するときのターンテーブル2の回転速度、回転時期等は、後述する制御装置21によって制御される。
前記各種の処理装置4〜10とは、図1に示すように、電子部品3を供給するためのロータリーピックアップユニット4と、電子部品3の外観を検査するための撮像ユニット5と、電子部品3の吸着位置、角度を修正するための矯正ユニット6と、不良品を回収するための3台の回収ユニット7と、電子部品3を容器に収納するためのスティックアンローダ8およびテーピングユニット9などである。これらの装置は、それぞれターンテーブル2の外周部の近傍に配設されている。すなわち、この実施の形態による電子部品用搬送装置1は、後述するロータリーピックアップユニット4によって供給された電子部品3を吸着コレット13に吸着させ、ターンテーブル2を間欠的に回転させて撮像ユニット5、矯正ユニット6、回収ユニット7などを経由して最終的にスティックアンローダ8またはテーピングユニット9に搬送する。
前記昇降装置14は、図2に示すように、吸着コレット13に上方から対向するコレットプッシャ22と、このコレットプッシャ22を上下方向に駆動するためのモータ23とを備えている。この昇降装置14は、吸着コレット13を昇降させる必要がある処理装置の上方に配設されている。すなわち、この昇降装置14は、図1に示すように、ロータリーピックアップユニット4の上方と、撮像ユニット5の上方と、矯正ユニット6の上方と、スティックアンローダ8の上方と、テーピングユニット9の上方と、後述するハイトチェックユニット24の上方とにそれぞれ設けられている。
昇降装置14の前記コレットプッシャ22は、上下方向に延在するプッシュロッド25をホルダー26に上下方向に移動自在に支持させた構造のものである。ホルダー26は、支持フレーム27に固定されている。この支持フレーム27は、前記基台11に支持された状態で前記ターンテーブル2の上方に配設されている。プッシュロッド25は、その上端に設けられているカムフォロア28が前記モータ23のカム29に添接するように、ばね部材30によって上方に付勢されている。
前記カムフォロア28とカム29とは、モータ23の回転を上下方向の往復運動に変換するものである。カム29は、モータ23の回転軸23aの軸端部に固定されている。モータ23は、回転軸23aの軸線がターンテーブル2の径方向に指向する状態で前記支持フレーム27に固定されている。このモータ23は、前記カム29を所定の角度だけ回転させ、しかる後に逆方向に回転させて初期位置に戻す。
前記カム29のカムプロフィールは、カム29の回転に対してコレットプッシャ22が所定の割合で下降または上昇するように形成されている。すなわち、この昇降装置14は、吸着コレット13を昇降させる機能を有するとともに、吸着コレット13の高さを検出する機能を有するものである。前記モータ23が回転する角度(吸着コレット13の下降量)は、後述するように制御装置21によって各吸着コレット13の高さに対応させて制御される。
制御装置21は、電子部品用搬送装置1の各アクチュエータと前記各種装置4〜9の動作を制御するためのもので、図11に示すように、ターンテーブル2の動作を制御するためのターンテーブル制御部31と、昇降装置14の動作を制御するための昇降装置制御部32と、ロータリーピックアップユニット4の動作を制御するためのロータリーピックアップ制御部33と、撮像ユニット5を制御するための撮像ユニット制御部34と、矯正ユニット6の動作を制御するための矯正ユニット制御部35と、スティックアンローダ8の動作を制御するためのスティックアンローダ制御部36と、テーピングユニット9の動作を制御するためのテーピングユニット制御部37と、吸着コレット13の高さを検出するための高さ検出部38と、吸着コレット13の高さ(下降量)を補正するための補正部39などを備えている。
吸着コレット13は、全ての吸着コレット13の高さが等しくなるようにターンテーブル2に組付けられている。しかし、各吸着コレット13をターンテーブル2に組付けたときの吸着コレット13の高さ(下端の吸着面の高さ)は、吸着コレット13には製造時の公差があることや、ターンテーブル自体の高さを外周部の全域にわたって一定に形成することが難しいなどの理由によって、一定にすることが難しい。
この実施の形態による電子部品用搬送装置1は、各吸着コレット13の基準とする高さ(以下、単に基準高さという)を後述するハイトチェックユニット24(図1参照)を使用して検出し、この基準高さに対応させて昇降装置14による吸着コレット13の下降量を補正する。この実施の形態においては、ハイトチェックユニット24によって本発明でいう「別の検出系」が構成されている。
ハイトチェックユニット24は、図2および図3に示すように、ターンテーブル2の外周部の近傍で基台11から上方に延在する支柱41と、この支柱41の上端部に取付けられたセンサヘッド42などを備えている。センサヘッド42は、吸着コレット13に下方から対向する検出子43を備えており、この検出子43の上下方向の位置を検出する接触式のセンサによって構成されている。この実施の形態においては、このセンサヘッド42によって本発明でいう検出部が構成されている。ここで、ハイトチェックユニット24を使用して吸着コレット13の高さを検出する方法を説明する。
先ず、吸着コレット13の吸着面の基準となる高さ(基準高さ)を設定する。ここでは、前記検出子43の高さ{基台11の天板(上面)から検出子43の上端までの高さ}が図3(A)に示すように、センサヘッド42の伸長状態(検出子43が最も高くなる状態)でh1である場合について説明する。この状態で同図(B)に示すように、治具44を使用してセンサヘッド42をh2だけ縮め、この位置に対してプリセット値h3だけ高い位置を0点(基準高さ)とする{同図(C)参照}。このh3は、伸長状態にあるセンサヘッド42の検出子43の上端の位置からh4だけ低い位置である。
例えば、h1が仮に200mmである場合、h2を5mmとし、h3を3.5mmとする。この場合は、基準高さは198.5mmになり、センサヘッド42が最も伸長している状態から1.5mm(h4)だけ下降したときの検出子43の上端の高さが基準高さになる。
吸着コレット13は、図4(A)に示すように、センサヘッド42が伸長状態であるときの検出子43と吸着コレット13との間に予め定めた隙間d1が形成されるように、ターンテーブル2に組付けられている。また、昇降装置14のコレットプッシャ22は、吸着コレット13の上端との間に予め定めた隙間d2が形成されるように支持フレーム27に組付けられている。
吸着コレット13は、図4(A)に示すように、センサヘッド42が伸長状態であるときの検出子43と吸着コレット13との間に予め定めた隙間d1が形成されるように、ターンテーブル2に組付けられている。また、昇降装置14のコレットプッシャ22は、吸着コレット13の上端との間に予め定めた隙間d2が形成されるように支持フレーム27に組付けられている。
このような状態から昇降装置14による駆動によってコレットプッシャ22が下降すると、先ず隙間d2分だけコレットプッシャ22が下降したときにコレットプッシャ22が吸着コレット13に接触し、さらに隙間d1分だけコレットプッシャ22が下降することに伴って吸着コレット13が検出子43に接触する。
昇降装置14による駆動によってコレットプッシャ22がさらに下降してセンサヘッド42が縮む(検出子43が下降する)と、センサヘッド42が0点を検出する。この実施の形態においては、コレットプッシャ22の下降量がd1+d2+h4に達したときにセンサヘッド42が0点を検出することになる。このときの吸着コレット13の高さが「基準高さ」になる。
このようにセンサヘッド42が0点を検出したときは、制御装置21の高さ検出部38が昇降装置14を停止させる。すなわち、この高さ検出部38は、吸着コレット13の基準高さを前記センサヘッド42を用いて検出することになる。
一方、このときの吸着コレット13の高さは、昇降装置14のカム29の回転角度に基づいて演算によっても求めることができる。以下においては、このように昇降装置14によって検出された吸着コレット13の高さを単に理論高さという。
一方、このときの吸着コレット13の高さは、昇降装置14のカム29の回転角度に基づいて演算によっても求めることができる。以下においては、このように昇降装置14によって検出された吸着コレット13の高さを単に理論高さという。
制御装置21の昇降装置制御部32は、前記理論高さに基づく所定の下降量だけ吸着コレット13が下降するように昇降装置14の動作を制御する構成が採られている。
制御装置21は、前記基準高さと前記理論高さとが一致するように吸着コレット13毎の前記下降量を補正する補正部39(図11参照)を備えている。
制御装置21は、前記基準高さと前記理論高さとが一致するように吸着コレット13毎の前記下降量を補正する補正部39(図11参照)を備えている。
この補正部39は、図11に示すように、補正値演算部45と、補正値保存部46と、補正実行部47とを備えている。
補正値演算部45は、前記センサヘッド42によって検出された吸着コレット13の高さが基準高さである状態において、先ず、昇降装置14によって検出された吸着コレット13の理論高さをメモリ48(図11参照)に保存する。次に、補正値演算部45は、前記理論高さと前記基準高さとを比較し、これらの高さの高低差を0にするために必要な吸着コレット13のオフセット値を算出する。このオフセット値によって、本発明でいう補正値が構成されている。
補正値演算部45は、前記センサヘッド42によって検出された吸着コレット13の高さが基準高さである状態において、先ず、昇降装置14によって検出された吸着コレット13の理論高さをメモリ48(図11参照)に保存する。次に、補正値演算部45は、前記理論高さと前記基準高さとを比較し、これらの高さの高低差を0にするために必要な吸着コレット13のオフセット値を算出する。このオフセット値によって、本発明でいう補正値が構成されている。
補正値保存部46は、このオフセット値をメモリ48に記憶させる。
前記補正実行部47は、昇降装置14の使用時(吸着コレット13を実際に下降させるとき)に前記オフセット値を前記メモリ48から読み出し、このオフセット値に基づいて前記下降量を補正する。
前記補正実行部47は、昇降装置14の使用時(吸着コレット13を実際に下降させるとき)に前記オフセット値を前記メモリ48から読み出し、このオフセット値に基づいて前記下降量を補正する。
例えば、吸着コレット13が基準高さにあるときに理論高さが基準高さより高い場合は、この高低差だけ理論高さを低くするように前記下降量を増加させる。吸着コレット13を下降させるときの前記オフセット値は、図4を用いて説明すると、「コレットプッシャ22の待機位置」+「d1+d2+h4」−「各吸着コレット13の0点検出高さ」として表すことができる。
この実施の形態による電子部品用搬送装置1は、上述した基準高さの検出からオフセット値の保存に至る一連のハイトチェック動作を全ての吸着コレット13について実施する。このときにもターンテーブル制御部31による制御によって駆動装置12がターンテーブル2を間欠的に回転させ、昇降装置制御部32が昇降装置14の動作を制御して吸着コレット13を昇降させる。この結果、各吸着コレット13において、実際に下降するときに昇降装置14の目標とする下降量が前記オフセット値だけ補正され、全ての吸着コレット13を等しく所定の高さまで下降させることができるようになる。
この実施の形態においては、吸着コレット13にラバーチップ16が取付けられている状態で前記オフセット値を求めている。このため、各吸着コレット13の受け渡し高さを、吸着コレット13の取付け高さの誤差とラバーチップ16の個体差を含めた適正な受け渡し高さに補正することができる。
この実施の形態による電子部品用搬送装置1は、上述したオフセット値を利用して各種の処理装置4〜9との間で電子部品3の受け渡しを行うときの部品受け渡し高さを補正する構成が採られている。
この実施の形態による電子部品用搬送装置1は、上述したオフセット値を利用して各種の処理装置4〜9との間で電子部品3の受け渡しを行うときの部品受け渡し高さを補正する構成が採られている。
(1)ロータリーピックアップユニット4との電子部品3の受け渡しについて;
ロータリーピックアップユニット4は、図5に示すように、電子部品供給部51に保持されている電子部品3を側方からピックアップコレット52に吸着させ、上方に位置する前記吸着コレット13に受け渡すものである。前記電子部品供給部51は、シリコンウェハを分断してなる多数のシリコンチップを立てた状態で保持するものである。すなわち、この実施の形態による電子部品用搬送装置1が搬送する電子部品3は、前記シリコンチップである。
ロータリーピックアップユニット4は、図5に示すように、電子部品供給部51に保持されている電子部品3を側方からピックアップコレット52に吸着させ、上方に位置する前記吸着コレット13に受け渡すものである。前記電子部品供給部51は、シリコンウェハを分断してなる多数のシリコンチップを立てた状態で保持するものである。すなわち、この実施の形態による電子部品用搬送装置1が搬送する電子部品3は、前記シリコンチップである。
この実施の形態によるロータリーピックアップユニット4は、前記ターンテーブル2の外周部の近傍に設けられた電子部品受け渡し用ターンテーブル53と、この電子部品受け渡し用ターンテーブル53の外周部に周方向に等間隔おいて並べられ、前記吸着コレット13の吸着面と対向する吸着面を有する8本のピックアップコレット52と、前記電子部品受け渡し用ターンテーブル53を間欠的に回転させるためのロータリーピックアップ用駆動装置54と、ピックアップコレット52を移動させるためのピックアップコレット用駆動装置55などを備えている。
前記電子部品受け渡し用ターンテーブル53は、円板状に形成されており、その軸線が水平になる状態で前記駆動装置54を介して基台11に回転可能に支持されている。この電子部品受け渡し用ターンテーブル53の軸線方向は、平面視において、前記ターンテーブル2の外周部の接線方向と平行な方向である。
ピックアップコレット52は、前記吸着コレット13と同等の構造のもので、先端部にラバーチップ16が設けられているとともに、空気圧装置18が接続されており、電子部品受け渡し用ターンテーブル53に移動自在に支持されている。
ピックアップコレット52は、前記吸着コレット13と同等の構造のもので、先端部にラバーチップ16が設けられているとともに、空気圧装置18が接続されており、電子部品受け渡し用ターンテーブル53に移動自在に支持されている。
ピックアップコレット52が移動する方向は、電子部品受け渡し用ターンテーブル53の径方向である。また、これらのピックアップコレット52の先端部(ラバーチップ16の先端部)には、前記ターンテーブル2の回転によりラバーチップ16が上方を指向する位置に移動した状態において、前記吸着コレット13の吸着面と対向する吸着面が形成されている。
前記ピックアップコレット用駆動装置55は、この実施の形態においてはカム56によってピックアップコレット52の基端部を押圧する構造のものが用いられている。カム56は、その回転角度に基づいてピックアップコレット52の移動量を求めることができるように形成されており、図示していないモータの回転軸57に固定されている。このモータの動作は、制御装置21のロータリピックアップ制御部33(図11参照)によって制御される。すなわち、ピックアップコレット用駆動装置55は、前記ピックアップコレット52を前記電子部品供給部51に対して進退させる機能を有するとともに、ピックアップコレット52の移動量を検出する機能を有するものである。
制御装置11のロータリピックアップ制御部33は、吸着コレット13とピックアップコレット52との間で電子部品3の受け渡しを行うときの高さを設定するための高さ測定部61と、高さ保存部62および高さ演算部63と、ピックアップコレット52が前記電子部品供給部51の電子部品3を吸着するときの移動距離を制御するための移動距離測定部64、移動距離保存部65および駆動装置制御部66などを備えている。
ここでは、先ず、吸着コレット13とピックアップコレット52との間で電子部品3の受け渡しを行うときの吸着コレット13の高さを設定する方法について説明する。
前記高さ測定部61は、図6(A)〜(B)に示すように、予め選択された基準とする吸着コレット13(例えば#1吸着コレット13)を前記ピックアップコレット52との間に隙間がなくなるまで下降させる。このとき、吸着コレット13には予めボタン治具67を吸着させておく。このボタン治具67の厚みは、予め測定してメモリ48に記憶させておく。吸着コレット13とピックアップコレット52との間に隙間がなくなったことの検出は、空気圧装置18の流量計(図示せず)を使用して行う。
前記高さ測定部61は、図6(A)〜(B)に示すように、予め選択された基準とする吸着コレット13(例えば#1吸着コレット13)を前記ピックアップコレット52との間に隙間がなくなるまで下降させる。このとき、吸着コレット13には予めボタン治具67を吸着させておく。このボタン治具67の厚みは、予め測定してメモリ48に記憶させておく。吸着コレット13とピックアップコレット52との間に隙間がなくなったことの検出は、空気圧装置18の流量計(図示せず)を使用して行う。
前記高さ保存部62は、図6(B)に示す前記検出状態において、昇降装置14によって検出された前記吸着コレット13の高さ(理論高さ)をメモリ48(図11参照)に記憶させる。この実施の形態においては、このピックアップコレット52の高さの検出とメモリ48への記憶とを全てのピックアップコレット52について行う。
前記高さ演算部63は、#1吸着コレット13(基準とする吸着コレット13)とピックアップコレット52との間で電子部品3の受け渡しを行うときの吸着コレット13の高さ(部品受け渡し時の高さ)を演算によって求める。詳述すると、高さ演算部63は、メモリ48から読み出したピックアップコレット52毎の前記理論高さを#1吸着コレット13の前記オフセット値に基づいて補正し、さらに、ボタン治具67の厚みを減算するとともに電子部品3の厚みを加算することによって、吸着コレット13の部品受け渡し時の高さ求める。
また、前記高さ演算部63は、#2吸着コレット13〜#30吸着コレット13の部品受け渡し時の高さを、上記#1吸着コレット13の部品受け渡し時の高さを使用して演算によって求める。すなわち、高さ演算部63は、各吸着コレット13のオフセット値と、#1吸着コレット13のオフセット値との差を求め、#1吸着コレット13を使用したときの部品受け渡し時の高さを前記差に対応させて補正することにより#2〜#30吸着コレット13の部品受け渡し時の高さを求める。すなわち、高さ演算部63は、各吸着コレット13の前記補正された下降量に基づいて前記ピックアップコレット52の高さを補正し、各吸着コレット13と各ピックアップコレット52との間で電子部品3の受け渡しを行うときの各吸着コレット13の高さを求める。
この結果、8本のピックアップコレット52と、30本の吸着コレット13との240通りの組み合わせにおいて、それぞれ部品受け渡し時の高さを設定することができる。
この実施の形態においては、ピックアップコレット52にラバーチップ16を取付けた状態で部品受け渡し時の高さを求めているから、ピックアップコレット52の取付け高さの誤差とラバーチップ16の個体差を含めた、各ピックアップコレット52における実際の部品受け渡し時の高さを正確に補正することができる。
吸着コレット13とピックアップコレット52との間で部品の受け渡しを行うときの高さは、図6を用いて説明すると、「各ピックアップの治具吸着検出時の高さ」+「ボタン治具67の厚み」−「電子部品3の厚み」+「現在受け渡しをしようとしている吸着コレット13の補正量」−「基準とした吸着コレット13の補正量」として表すことができる。
この実施の形態においては、ピックアップコレット52にラバーチップ16を取付けた状態で部品受け渡し時の高さを求めているから、ピックアップコレット52の取付け高さの誤差とラバーチップ16の個体差を含めた、各ピックアップコレット52における実際の部品受け渡し時の高さを正確に補正することができる。
吸着コレット13とピックアップコレット52との間で部品の受け渡しを行うときの高さは、図6を用いて説明すると、「各ピックアップの治具吸着検出時の高さ」+「ボタン治具67の厚み」−「電子部品3の厚み」+「現在受け渡しをしようとしている吸着コレット13の補正量」−「基準とした吸着コレット13の補正量」として表すことができる。
次に、ピックアップコレット52が電子部品供給部51の電子部品3を吸着するときのピックアップコレット52の移動量を設定する方法を説明する。
ロータリーピックアップ制御部33の移動距離測定部64は、先ず、図7(A)に示す初期位置からピックアップコレット52を電子部品供給部51に向けて前進させる。そして、この移動距離測定部64は、図7(B)に示すように、ピックアップコレット52が電子部品3に接触したときにピックアップコレット用駆動装置55を停止させる。ピックアップコレット52と電子部品3との接触は、ピックアップコレット52に接続されている空気圧装置18の流量計を使用して検出する。
ロータリーピックアップ制御部33の移動距離測定部64は、先ず、図7(A)に示す初期位置からピックアップコレット52を電子部品供給部51に向けて前進させる。そして、この移動距離測定部64は、図7(B)に示すように、ピックアップコレット52が電子部品3に接触したときにピックアップコレット用駆動装置55を停止させる。ピックアップコレット52と電子部品3との接触は、ピックアップコレット52に接続されている空気圧装置18の流量計を使用して検出する。
次に、移動距離測定部64は、この停止時にピックアップコレット用駆動装置55によって検出されたピックアップコレット52の位置と、ピックアップコレット52の初期位置との間の移動距離を演算によって測定する。
移動距離保存部65は、前記移動距離測定部64によって算出されたピックアップコレット52の移動距離をメモリ48に記憶させる。この実施の形態による移動距離測定部64と移動距離保存部65は、8本のピックアップコレット52についてそれぞれ前記移動距離を測定し、メモリ48に記憶させる。
移動距離保存部65は、前記移動距離測定部64によって算出されたピックアップコレット52の移動距離をメモリ48に記憶させる。この実施の形態による移動距離測定部64と移動距離保存部65は、8本のピックアップコレット52についてそれぞれ前記移動距離を測定し、メモリ48に記憶させる。
駆動装置制御部66は、各ピックアップコレット52によって実際に電子部品供給部51の電子部品3を吸着するときに前記メモリ48からピックアップコレット52毎の前記移動距離を読み出し、この読み出した移動距離だけピックアップコレット52が移動するように前記ピックアップコレット用駆動装置55の動作を制御する。
ピックアップコレット52の移動距離は、図7を用いて説明すると、「各ピックアップコレット52の部品吸着検出位置」−「各ピックアップコレット52の初期位置」−「電子部品3の厚み」として表すことができる。
ピックアップコレット52の移動距離は、図7を用いて説明すると、「各ピックアップコレット52の部品吸着検出位置」−「各ピックアップコレット52の初期位置」−「電子部品3の厚み」として表すことができる。
(2)矯正ユニット6との電子部品3の受け渡しについて;
矯正ユニット6は、図8に示すように、電子部品3が載置されるトッププレート71と、電子部品3を側方から挟持する構造のクランプ72を備えている。前記クランプ72は、図4には描いていないが、電子部品3を四方から挟むことにより電子部品3の位置と、上下方向の軸線回りの角度とを修正する構成が採られている。
矯正ユニット6は、図8に示すように、電子部品3が載置されるトッププレート71と、電子部品3を側方から挟持する構造のクランプ72を備えている。前記クランプ72は、図4には描いていないが、電子部品3を四方から挟むことにより電子部品3の位置と、上下方向の軸線回りの角度とを修正する構成が採られている。
矯正ユニット6との間で電子部品3の受け渡しを行うときの吸着コレット13の高さは、前記トッププレート71の上面を基準として設定する。すなわち、先ず、図8(A)〜(B)に示すように、基準とする吸着コレット13(例えば#1吸着コレット13)を徐々に下降させ、この吸着コレット13のラバーチップ16がトッププレート71に接触するときの高さを求める。
次に、図8(C)に示すように、矯正時に必要とされるラバーチップ16と電子部品3との間のクリアランス分だけ吸着コレット13を上昇させたときの高さをリリースポジションとしてメモリ48に記憶させる。他の#2吸着コレット13〜#30吸着コレット13のリリースポジションは、#1吸着コレット13のリリースポジションを用いて演算によって求める。すなわち、#2吸着コレット13〜#30吸着コレット13のリリースポジションは、#1吸着コレット13のオフセット値と、#2吸着コレット13〜#30吸着コレット13のオフセット値との差がなくなるように補正した高さとする。この補正された#2〜#30吸着コレット13のリリースポジションもメモリ48に記憶させる。
矯正ユニット6に対する電子部品3の受け渡しを実際に行うときは、図8(d)に示すように、各吸着コレット13を前記リリースポジションから電子部品3の厚み分だけ高い位置まで下降させる。そして、この高さ(部品リリース高さ)で電子部品3を吸着コレット13から開放させ、矯正ユニット6による部品位置修正後、空気圧装置18によって吸着コレット13に負圧を発生させて電子部品3を吸着コレット13に吸着させる。
矯正ユニット6に対して電子部品3の受け渡しを行うときの吸着コレット13の高さ(部品リリース高さ)は、図8を用いて説明すると、「リリースポジション」−「電子部品3の厚み」+(「各吸着コレット13の補正値」−「#1吸着コレット13の補正値」)として表すことができる。
(3)テーピングユニット9への電子部品3の受け渡しについて;
テーピングユニット9は、図9および図10に示すように、入口ガイド73の下方に装填された部品収納用テープ74に電子部品3を収納するものである。このテーピングユニット9に電子部品3を収納するときの高さを設定するためには、先ず、図9に示すように、基準とする吸着コレット13(例えば#1吸着コレット13)について、入口ガイド73の上面に接触するときの吸着コレット13の高さ(以下、この高さをリリースポジションという)を求める。この#1吸着コレット13のリリースポジションは、メモリ48に記憶される。
テーピングユニット9は、図9および図10に示すように、入口ガイド73の下方に装填された部品収納用テープ74に電子部品3を収納するものである。このテーピングユニット9に電子部品3を収納するときの高さを設定するためには、先ず、図9に示すように、基準とする吸着コレット13(例えば#1吸着コレット13)について、入口ガイド73の上面に接触するときの吸着コレット13の高さ(以下、この高さをリリースポジションという)を求める。この#1吸着コレット13のリリースポジションは、メモリ48に記憶される。
#2〜#30吸着コレット13のリリースポジションは、#1吸着コレット13の前記オフセット値と、#2吸着コレット13〜#30吸着コレット13のオフセット値との差がなくなるように補正した高さとする。この補正された#2〜#30吸着コレット13のリリースポジションもメモリ48に記憶される。
そして、実際に電子部品3をテープに収納するときは、図10に示すように、前記リリースポジションから予め定めた一定の高さだけ低い位置に吸着コレット13を下降させ、この吸着コレット13から電子部品3を開放させることによって行う。
テーピングユニット9に電子部品3を収納するときの吸着コレット13の高さ(部品リリース高さ)は、図10を用いて説明すると、「リリースポジション」+「各吸着コレット13の補正値」−「#1吸着コレット13の補正値」として表すことができる。なお、スティックアンローダ8に電子部品3を収納する場合もテーピングユニット9と同様に、基準となる面に接するときの#1吸着コレット13のリリースポジションを求め、このリリースポジションを用いて他の吸着コレット13のリリースポジションを求める。
テーピングユニット9に電子部品3を収納するときの吸着コレット13の高さ(部品リリース高さ)は、図10を用いて説明すると、「リリースポジション」+「各吸着コレット13の補正値」−「#1吸着コレット13の補正値」として表すことができる。なお、スティックアンローダ8に電子部品3を収納する場合もテーピングユニット9と同様に、基準となる面に接するときの#1吸着コレット13のリリースポジションを求め、このリリースポジションを用いて他の吸着コレット13のリリースポジションを求める。
上述したように構成された電子部品用搬送装置1によれば、ハイトチェックユニット24によって検出された各吸着コレット13の高さ(基準高さ)は、吸着コレット13の製造時の公差やターンテーブル2の平坦度などに起因する誤差を含む値である。この実施の形態によれば、この誤差を含む吸着コレット13の基準高さと、制御装置21が昇降装置14の下降動作を制御して吸着コレット13を下降させるときの吸着コレット13の高さ(理論高さ)とを一致させることができる。
このため、昇降装置14による駆動によって吸着コレット13を目標とする高さに下降させるに当たって、前記誤差を実質的に排除した状態で下降させることができる。すなわち、この実施の形態による電子部品用搬送装置1は、ハイトチェックユニット24で各吸着コレット13の基準高さを検出し、上述したように昇降装置14による下降量を補正することによって、各吸着コレット13について実質的に高さ調整が実施されたものとなる。また、ハイトチェックユニット24を用いて各吸着コレット13の基準高さを検出するときの所要時間は、作業者が手工具で個々の吸着コレット13の高さを調整するときの作業時間に較べると著しく短くなる。
したがって、この実施の形態によれば、各吸着コレット13の高さ調整を短時間でかつ高い精度で行うことが可能な電子部品用搬送装置を提供することができる。
したがって、この実施の形態によれば、各吸着コレット13の高さ調整を短時間でかつ高い精度で行うことが可能な電子部品用搬送装置を提供することができる。
この実施の形態による制御装置21は、前記ターンテーブル2を間欠的に回転させることにより各吸着コレット13を前記ハイトチェックユニット24に順次移動させるターンテーブル制御部31と、前記ハイトチェックユニット24に移動した吸着コレット13を前記昇降装置14によって下降させてから上昇させる昇降装置制御部32とを備えている。
このため、この実施の形態による電子部品用搬送装置1は、全ての吸着コレット13について、ハイトチェックユニット24で基準高さを検出する動作を自動で行うことができるから、例えば生産単位毎や一定時間毎、または吸着コレット13やラバーチップ16を交換して吸着コレット13の高さが変わった後に、吸着コレット13の高さ調整を自動で行うことができる。
したがって、この実施の形態によれば、吸着コレット13やその他の部品の摩耗が原因で吸着コレット13の基準高さが変化した場合、この変化に対応させて吸着コレット13の高さ調整が行われる。この結果、電子部品3の破損や吸着ミスの発生を確実に防ぐことができるから、部品搬送時の信頼性が高い電子部品用搬送装置を提供することができる。
この実施の形態による前記ハイトチェックユニット24は、吸着コレット13によって押圧される検出子43の移動量を検出するセンサによって構成されている。
また、この実施の形態による前記補正部39は、前記センサによって検出された吸着コレット13の高さが予め定めた基準高さである状態において、昇降装置14によって検出された吸着コレット13の高さと前記基準高さとを比較し、これらの高さの高低差を0にするために必要な吸着コレット13毎のオフセット値(補正値)を算出する補正値演算部45と、前記オフセット値をメモリ48に記憶させる補正値保存部46と、吸着コレット13の下降時に前記オフセット値を前記メモリ48から読み出し、このオフセット値に基づいて吸着コレット13毎に下降量を補正する補正実行部47とによって構成されている。
また、この実施の形態による前記補正部39は、前記センサによって検出された吸着コレット13の高さが予め定めた基準高さである状態において、昇降装置14によって検出された吸着コレット13の高さと前記基準高さとを比較し、これらの高さの高低差を0にするために必要な吸着コレット13毎のオフセット値(補正値)を算出する補正値演算部45と、前記オフセット値をメモリ48に記憶させる補正値保存部46と、吸着コレット13の下降時に前記オフセット値を前記メモリ48から読み出し、このオフセット値に基づいて吸着コレット13毎に下降量を補正する補正実行部47とによって構成されている。
このため、この実施の形態による電子部品用搬送装置1は、吸着コレット13の下降量を補正するに当たって、メモリ48から読み出したオフセット値を前記下降量に加算または減算することによって行うことができる。したがって、この実施の形態による電子部品用搬送装置1は、単純な計算によって前記下降量を短時間で補正することができるから、ターンテーブル2や昇降装置14を停止させることなく下降量を補正することができ、電子部品3の搬送を効率よく行うことができる。
この実施の形態による電子部品用搬送装置1は、#1吸着コレット13と8本のピックアップコレット52との部品受け渡し時の高さを検出し、各吸着コレット13のオフセット値に基づいて前記高さを補正し、全ての吸着コレット13について部品受け渡し時の高さを求める構成が採られている。
このため、ピックアップコレット52の製造時の公差や電子部品受け渡し用ターンテーブル53の平坦度などに起因する誤差を排除して全ての吸着コレット13と全てのピックアップコレット52との間で電子部品3の受け渡しを行うときの吸着コレット13の高さを求めることができる。
このため、ピックアップコレット52の製造時の公差や電子部品受け渡し用ターンテーブル53の平坦度などに起因する誤差を排除して全ての吸着コレット13と全てのピックアップコレット52との間で電子部品3の受け渡しを行うときの吸着コレット13の高さを求めることができる。
また、この実施の形態においては、全てのピックアップコレット52の高さを作業者によって調整したり、全ての吸着コレット13と全てのピックアップコレット52との距離を実際に測る場合に較べて、各吸着コレット13の部品受け渡し時の高さを短時間にかつ正確に求めることができる。
したがって、この実施の形態によれば、電子部品受け渡し用ターンテーブル53のピックアップコレット52との間で電子部品3の受け渡しを常に正しく行うことが可能な電子部品用搬送装置を提供することができる。
したがって、この実施の形態によれば、電子部品受け渡し用ターンテーブル53のピックアップコレット52との間で電子部品3の受け渡しを常に正しく行うことが可能な電子部品用搬送装置を提供することができる。
この実施の形態による電子部品用搬送装置1は、ピックアップコレット52が電子部品供給部51の電子部品3を吸着するときのピックアップコレット52の移動距離をメモリ48に記憶させ、ピックアップコレット52の使用時に前記メモリ48から読み出した移動距離だけピックアップコレット52を移動させる構成が採られている。
このため、この実施の形態においては、ピックアップコレット52の製造時の公差や電子部品受け渡し用ターンテーブル53の平坦度などに起因して生じるピックアップコレット52の位置のばらつきを解消することができ、個々のピックアップコレット52において、電子部品供給部51の電子部品3を破損させたり吸着ミスを起こすことなく吸着することができる。
上述した実施の形態においては、接触式のセンサを用いて吸着コレット13の基準高さを検出する例を示したが、本発明でいう検出部としては、例えばカメラで吸着コレット13と、高さの基準とする部材とを同時に撮像し、この画像を使用して基準高さを求める構成を採ることができる。
1…電子部品用搬送装置、2…ターンテーブル、13…吸着コレット、14…昇降装置、18…空気圧装置、21…制御装置、24…ハイトチェックユニット、31…ターンテーブル制御部、32…昇降装置制御部、39…補正部、42…センサヘッド、43…検出子、45…補正値演算部、46…補正値保存部、47…補正実行部、48…メモリ、51…電子部品供給部、52…ピックアップコレット、53…電子部品受け渡し用ターンテーブル、55…ピックアップコレット用駆動装置、61…高さ測定部、62…高さ保存部、63…高さ演算部、64…移動距離測定部、65…移動距離保存部、66…駆動装置制御部。
Claims (5)
- 間欠的に回転するターンテーブルと、
このターンテーブルの外周部に昇降可能に支持されるとともに、前記ターンテーブルの周方向に等間隔おいて並べられた複数の電子部品用吸着コレットと、
前記吸着コレットによる電子部品の吸着状態と開放状態とを切り換える空気圧装置と、
前記吸着コレットを昇降させる機能を有するとともに吸着コレットの高さを検出する機能を有する昇降装置と、
前記昇降装置に接続されて前記吸着コレットの下降量を制御する制御装置とを備え、
前記制御装置は、前記ターンテーブルの近傍に配設されて各吸着コレットの基準高さを前記昇降装置とは別の検出系を用いて検出する高さ検出部と、
吸着コレットが所定の下降量だけ下降した状態において前記高さ検出部によって検出された各吸着コレットの基準高さと、前記状態において前記昇降装置によって検出された各吸着コレットの高さとが一致するように吸着コレット毎の下降量を補正する補正部とを備えている電子部品用搬送装置。 - 請求項1記載の電子部品用搬送装置において、前記制御装置は、前記ターンテーブルを間欠的に回転させることにより各吸着コレットを前記検出部に順次移動させるターンテーブル制御部と、
前記検出部に移動した吸着コレットを前記昇降装置によって下降させてから上昇させる昇降装置制御部とをさらに備えている電子部品用搬送装置。 - 請求項1または請求項2記載の電子部品用搬送装置において、前記別の検出系は、吸着コレットによって押圧される検出子の移動量を検出するセンサによって構成され、
前記補正部は、前記センサによって検出された吸着コレットの高さが予め定めた基準高さである状態において、昇降装置によって検出された吸着コレットの高さと前記基準高さとを比較し、これらの高さの高低差を0にするために必要な吸着コレット毎の補正値を算出する補正値演算部と、
前記補正値をメモリに記憶させる補正値保存部と、
吸着コレットの下降時に前記補正値を前記メモリから読み出し、この補正値に基づいて吸着コレット毎に下降量を補正する補正実行部とによって構成されている電子部品用搬送装置。 - 請求項1ないし請求項3のうちいずれか一つに記載の電子部品用搬送装置において、前記ターンテーブルの外周部の近傍に設けられた電子部品受け渡し用ターンテーブルと、
この電子部品受け渡し用ターンテーブルの外周部に周方向に等間隔おいて並べられ、前記吸着コレットの吸着面と対向する吸着面を有する複数のピックアップコレットとを備え、
前記制御装置は、予め選択された基準とする吸着コレットを前記ピックアップコレットとの間に隙間がなくなるまで下降させ、この状態において前記昇降装置によって検出された前記吸着コレットの高さを検出する高さ測定動作を全てのピックアップコレットについて実施する高さ測定部と、
前記吸着コレットの高さを吸着コレットの前記補正された下降量に基づいて補正し、各吸着コレットと各ピックアップコレットとの間で電子部品の受け渡しを行うときの吸着コレットの高さを求める高さ演算部とを備えている電子部品用搬送装置。 - 請求項4記載の電子部品用搬送装置において、前記ピックアップコレットは、電子部品受け渡し用ターンテーブルに往復移動可能に設けられ、
前記受け渡し用ターンテーブルの近傍にピックアップコレットと対向するように設けられた電子部品供給部と、
前記ピックアップコレットを前記電子部品供給部に対して進退させる機能を有するとともにピックアップコレットの移動量を検出する機能を有するピックアップコレット用駆動装置とを備え、
前記制御装置は、前記ピックアップコレットと電子部品供給部の電子部品との間に隙間がなくなる状態において前記ピックアップコレット用駆動装置によって検出されたピックアップコレットの位置と、ピックアップコレットの初期位置との間の移動距離を全てのピックアップコレットについて測定する移動距離測定部と、
この移動距離測定部によって測定された全てのピックアップコレットの移動距離をメモリに記憶させる移動距離保存部と、
各ピックアップコレットによって前記電子部品供給部の電子部品を吸着するときに前記メモリから読み出した移動距離だけピックアップコレットが移動するように前記ピックアップコレット用駆動装置の動作を制御する駆動装置制御部とを備えている電子部品用搬送装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5544460B2 (ja) * | 2011-12-06 | 2014-07-09 | 上野精機株式会社 | 電気特性検査装置、外置きユニット用搬送装置、及び電子部品搬送装置 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016156715A (ja) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
CN106697908A (zh) * | 2017-03-01 | 2017-05-24 | 广州明森科技股份有限公司 | 一种智能卡转移装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003133796A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-05-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品実装装置におけるノズル吸着高さの検出方法 |
JP2006133796A (ja) * | 2002-02-21 | 2006-05-25 | Pentax Corp | 沈胴式ズームレンズ鏡筒及びズームレンズ鏡筒の沈胴方法 |
WO2006062091A1 (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 部品実装装置及び部品実装方法 |
JP4057643B2 (ja) * | 2005-08-04 | 2008-03-05 | 上野精機株式会社 | 電子部品製造装置、電子部品製造装置の制御方法並びに制御プログラム |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002284341A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-03 | Tokyo Weld Co Ltd | ターンテーブル制御システムおよびターンテーブル制御システムの制御方法 |
JP2004281958A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-07 | Juki Corp | 部品実装方法及び装置 |
CN1592574B (zh) * | 2003-09-01 | 2010-06-09 | 重机公司 | 电子器件安装机中的电子器件的吸附位置修正装置 |
JP4798757B2 (ja) * | 2005-07-14 | 2011-10-19 | 上野精機株式会社 | 半導体装置のテ−ピング装置及びその方法 |
-
2009
- 2009-06-30 JP JP2009154827A patent/JP2011014583A/ja active Pending
- 2009-11-30 CN CN 200910205984 patent/CN101934933B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003133796A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-05-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品実装装置におけるノズル吸着高さの検出方法 |
JP2006133796A (ja) * | 2002-02-21 | 2006-05-25 | Pentax Corp | 沈胴式ズームレンズ鏡筒及びズームレンズ鏡筒の沈胴方法 |
WO2006062091A1 (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 部品実装装置及び部品実装方法 |
JP4057643B2 (ja) * | 2005-08-04 | 2008-03-05 | 上野精機株式会社 | 電子部品製造装置、電子部品製造装置の制御方法並びに制御プログラム |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5544460B2 (ja) * | 2011-12-06 | 2014-07-09 | 上野精機株式会社 | 電気特性検査装置、外置きユニット用搬送装置、及び電子部品搬送装置 |
JPWO2013084297A1 (ja) * | 2011-12-06 | 2015-04-27 | 上野精機株式会社 | 電気特性検査装置、外置きユニット用搬送装置、及び電子部品搬送装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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