JP5544460B2 - 電気特性検査装置、外置きユニット用搬送装置、及び電子部品搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、電子部品に後工程処理を施す後工程処理装置、各種の後処理を行うメイン搬送経路に対して外置きされた後工程処理装置に向けて電子部品を搬送する外置きユニット用搬送装置、及びこれらを備える電子部品搬送装置に関する。

ダイシング、マウンティング、ボンディング、シーリングの各組立工程を経た電子部品は、電子部品搬送装置に供給される。そして、電子部品搬送装置に設けられた保持機構によって保持され、メイン搬送経路内を搬送されながら、デバイスの電気特性測定、分類、マーキング、外観検査、梱包等の各工程処理が施される。このような電子部品搬送装置においては、処理効率の向上のため、工程処理の時間短縮、工程処理間の搬送時間の短縮が図られている。

従来、電子部品搬送装置は、トレイ供給、トレイ収納の水平搬送式、すなわち、ＸＹの２軸方向の搬送が主流であった（例えば、特許文献１参照。）。しかしながら、このようなＸＹロボットによる搬送では、一工程から他の工程への搬送時間であるインデックスタイムは０．５秒程度に短縮するのが限界であった。テスト時間が１〜３秒程度のデバイスでは、多数個同時測定により実効的なテスト処理時間を短縮することがテストコストの低減に有効だが、このとき前述の搬送時間がボトルネックになっていた。

また、上記のような水平搬送式では、加工点の配置に柔軟性が乏しく、各種処理工程を設けるには、搬送レーンに隣接するターンテーブルを複数設ける必要があり、マーキング、画像検査、テーピングなどの工程を連設することが困難であった（例えば、特許文献２参照。）。

そこで、電子部品搬送装置としては、回転式のターンテーブルを備え、このターンテーブルの外周をメイン搬送経路とする方式が多く採用されている。この回転搬送方式は、搬送時間が０．１秒以下と速く、各種の後工程処理装置の設置が容易という利点がある（例えば、特許文献３参照。）。

しかし、この回転搬送方式の電子部品搬送装置であっても、後工程処理装置によってはメイン搬送経路の外に配置するほうが好適な場合もある。例えば、更なる処理効率のために、多数の電子部品を一括処理することを目的として、大型化していく傾向にある後工程処理装置がある。

電子部品に対して電流を流したり、電圧を印加したりすることによって、電子部品の電圧、電流、抵抗、又は周波数等の電気特性を測定するテストユニットはその好例である。また、特に、テストユニットは、その性能を正確にテストするためにテストヘッドとテストボードの配線長を最短にする必要があり、電子部品搬送装置に対して外置きとして設置したほうがよい場合がある。

このような外置きの後工程処理装置は、上面に電子部品を搭載する処理ステージを設け、ターンテーブルからの分岐搬送経路を設け、その分岐搬送経路が後工程処理装置の上方を通るように構成されていた（例えば、特許文献４参照。）。

特開平１１−６７７９４号公報 特開平５−２２９５０９号公報 特開平３−３０３４０号公報 特開２０１０−１４６３２号公報

この分岐搬送経路を形成する電子部品の搬送機構は、フレームにより支持される。分岐搬送経路は後工程処理装置の上方を通るため、このフレームは、設置面から延びる足部と足部に支えられた平行部とにより構成された門形状となり、後工程処理装置は、フレームが画成する内部空間に収容されることになる。

そのため、後工程処理装置の大きさは、このフレームにより制限されることとなり、更なる処理効率の向上に支障をきたすおそれがある。または、大型化した後工程処理装置に合わせて、フレームと該フレームで支持される分岐搬送路の大きさを変更するように再設計する必要が生じ、製造コストの増加を招いてしまう。従って、従来は、外置きの後工程処理装置のサイズを容易に変更することはできなかった。

本発明は、上記のような問題点を解決するために提案されたもので、電子部品搬送装置に設置することを考慮してもサイズを容易に変更することのできる外置きの後工程処理装置、メイン搬送経路に対して外置きされた後工程処理装置に対して電子部品を搬送する外置きユニット用搬送装置、及びこれらを備える電子部品搬送装置を提供することを目的とする。

本発明に係る電気特性検査装置は、各種の工程処理が施される電子部品をメイン搬送経路に沿って搬送する電子部品搬送装置に備えられ、前記電子部品に対して電気特性を検査する電気特性検査装置であって、前記メイン搬送経路の外部に設けられた装置本体と、前記装置本体の側面に設けられ、前記電子部品が装着されるステージと、前記ステージが設けられた前記側面の脇を通るように配設され、前記メイン搬送経路と前記ステージとの間で、前記電子部品を搬送する搬送手段と、を備えること、を特徴とする。

前記搬送手段は、第１の保持手段と第２の保持手段とを備え、前記第１の保持手段は、真下を向く第１の角度から前記ステージと向かい合う第２の角度まで回転し、前記第１の角度で前記第２の保持手段と前記電子部品を受け渡し、前記第２の角度で前記ステージに対して前記電子部品を着脱し、前記第２の保持手段は、前記メイン搬送経路と前記第１の保持手段の真下との間を往復し、前記第１の角度に位置した前記第１の保持手段と前記電子部品を受け渡すようにしてもよい。

前記第２の保持手段は、前記第１の保持手段の真下の位置を挟んで一直線に平行に延びる一対の軸と、前記軸上を摺動可能な各スライダと、前記各スライダに設けられ、前記第１の保持手段の真下を含む共通の移動軌跡を有する前記電子部品の各載置台と、前記各載置台を昇降させる各昇降手段と、を備え、各載置台は、前記昇降手段によって互い違いに昇降されることで、上下ですれ違うようにしてもよい。

前記第１の保持手段は、回転中心から放射状に複数設けられ、前記第２の保持手段から前記電子部品を受け取った後、間欠的に回動しながら１回転するようにしてもよい。

前記ステージは、前記装置本体の側面に幅方向に複数並べられ、前記第１の保持手段は、前記ステージの並び方向に沿って複数設けられ、前記ステージ及び前記第２の保持手段に対する電子部品の移動量、押し付け荷重、又は移動の加減速がそれぞれ個別に制御されるようにしてもよい。

前記ステージは、前記装置本体の側面に幅方向に複数並べられ、前記第１の保持手段は、前記ステージの並び方向に沿って配された回転軸に嵌め込まれて分離独立して複数設けられ、回転軸に沿ってそれぞれ独立してスライドさせることで、前記ステージが並ぶピッチに合わせて位置調整されるようにしてもよい。

また、本発明に係る外置きユニット用搬送装置は、電子部品が電気特性検査のために装着されるステージが装置本体の側面に設けられた電気特性検査ユニットに対して、メイン搬送経路から分岐させて前記電子部品を供給する外置きユニット用搬送装置であって、前記ステージが設けられた前記側面の脇を通るように配設され、前記メイン搬送経路と前記ステージとの間で、前記電子部品を搬送する搬送手段を有し、前記搬送手段は、第１の保持手段と第２の保持手段を備え、前記第１の保持手段は、真下を向く第１の角度から前記ステージと向かい合う第２の角度まで回転し、前記第１の角度で前記第２の保持手段と前記電子部品を受け渡し、前記第２の角度で前記ステージに対して前記電子部品を着脱し、前記第２の保持手段は、前記メイン搬送経路と前記第１の保持手段の真下との間を往復し、前記第１の角度に位置した前記第１の保持手段と前記電子部品を受け渡すこと、を特徴とする。

前記第２の保持手段は、前記第１の保持手段の真下の位置を挟んで一直線に平行に延びる一対の軸と、前記軸上を摺動可能な各スライダと、前記各スライダに設けられ、前記第１の保持手段の真下を含む共通の移動軌跡を有する前記電子部品の各載置台と、前記各載置台を昇降させる各昇降手段と、を備え、各載置台は、前記昇降手段によって互い違いに昇降されることで、上下ですれ違うようにしてもよい。

前記第１の保持手段は、回転中心から放射状に複数設けられ、前記第２の保持手段から前記電子部品を受け取った後、間欠的に回動しながら１回転するようにしてもよい。

前記ステージは、前記装置本体の側面に幅方向に複数並べられ、前記第１の保持手段は、前記ステージの並び方向に沿って複数設けられ、前記ステージ及び前記第２の保持手段に対する電子部品の移動量、押し付け荷重、又は移動の加減速がそれぞれ個別に制御されるようにしてもよい。

前記ステージは、前記装置本体の側面に幅方向に複数並べられ、前記第１の保持手段は、前記ステージの並び方向に沿って配された回転軸に嵌め込まれて分離独立して複数設けられ、回転軸に沿ってそれぞれ独立してスライドさせることで、前記ステージが並ぶピッチに合わせて位置調整されるようにしてもよい。

また、本発明に係る電子部品搬送装置は、電子部品を搬送しながら各種の工程処理を行う電子部品搬送装置であって、前記電子部品のメイン搬送経路と、前記メイン搬送経路上に設けられた各種の工程処理を行う工程処理手段と、前記工程処理手段とは別に前記メイン搬送経路の外部に設けられて、前記電子部品に対して電気特性の検査を行うユニット本体と、前記ユニット本体の側面に設けられ、前記電子部品が装着されるステージと、前記ステージが設けられた前記側面の脇を通るように配設され、前記メイン搬送経路と前記ステージとの間で、前記電子部品を搬送する分岐搬送手段と、を備えること、を特徴とする。

前記電子部品を保持して前記メイン搬送経路に沿って間欠移動するメイン搬送用の保持手段を備え、前記分岐搬送手段は、第１の保持手段と第２の保持手段を備え、前記第１の保持手段は、真下を向く第１の角度から前記ステージと向かい合う第２の角度まで回転し、前記第１の角度で前記第２の保持手段と前記電子部品を受け渡し、前記第２の角度で前記ステージに前記電子部品を着脱し、前記第２の保持手段は、前記第１の保持手段の一停止地点と前記メイン搬送用の保持手段の真下との間を往復し、前記第１の角度に位置した前記第１の保持手段と前記電子部品を受け渡すようにしてもよい。

前記第２の保持手段は、前記第１の保持手段の真下の位置を挟んで一直線に平行に延びる一対の軸と、前記軸上を摺動可能な各スライダと、前記各スライダに設けられ、前記第１の保持手段の真下を含む共通の移動軌跡を有する前記電子部品の各載置台と、前記各載置台を昇降させる各昇降手段と、を備え、各載置台は、前記昇降手段によって互い違いに昇降されることで、上下ですれ違うようにしてもよい。

前記第１の保持手段は、回転中心から放射状に複数設けられ、前記第３の保持手段から前記電子部品を受け取った後、間欠的に回動しながら１回転するようにしてもよい。

前記ステージは、前記装置本体の側面に幅方向に複数並べられ、前記第１の保持手段は、前記ステージの並び方向に沿って複数設けられ、前記ステージ及び前記第２の保持手段に対する電子部品の移動量、押し付け荷重、又は移動の加減速がそれぞれ個別に制御されるようにしてもよい。

前記ステージは、前記装置本体の側面に幅方向に複数並べられ、前記第１の保持手段は、前記処理ステージの並び方向に沿って配された回転軸に嵌め込まれて分離独立して複数設けられ、回転軸に沿ってそれぞれ独立してスライドさせることで、前記ステージが並ぶピッチに合わせて位置調整されるようにしてもよい。

本発明によれば、上面に処理ステージを有する後工程処理装置のように、後工程処理装置の上方に分岐搬送経路を延設する必要はなく、門形のフレームで後工程処理装置を囲むことはない。すなわち、メイン搬送経路と処理ステージとの間で電子部品を搬送する搬送手段は、処理ステージが設けられた側面の脇を通るように配設され、後工程処理装置は、上面、処理ステージが設けられた側面と隣接する２側面、及び当該側面の背面の方向に容易に拡大することができる。従って、後工程処理装置のサイズを容易に変更することができ、処理効率の向上を図ることができるとともに、分岐搬送経路を再設計しなくてはならない場面が減って製造コストの増加を防止できる。

外置きのテストユニット本体を示す斜視図である。 テストユニット全体を示す上面図である。 ロータリーピックアップの正面図である。 ロータリーピックアップの上面図である。 ロータリーピックアップの側面図である。 シャトルを示す上面図である。 シャトルの移動機構を示す上面図である。 シャトルの移動機構を示す側面図である。 シャトルの移動機構を示す正面図である。 電子部品搬送装置を示し、（ａ）はメインの搬送経路を形成する装置の側面図であり、（ｂ）は電子部品搬送装置の上面図である。

本実施形態に係る電子部品搬送装置は、電子部品を整列搬送しながら各種の工程処理を行う。各種の工程処理は、主に電子部品の後工程処理である。前工程では、ダイシング、マウンティング、ボンディング、及びシーリング等の各組み立て工程を経て個片に分離される。後工程では、マーキング処理、外観検査、電気特性検査、リード成形処理、電子部品の分類、又はこれら各処理の複合が行われる。

電子部品搬送装置は、各種の後工程処理装置を巡るメイン搬送経路を有し、後工程処理は各後工程処理装置で行われる。各種の後工程処理装置は、メイン搬送経路上に配置されたり、独自の分岐搬送経路を有することでメイン搬送経路の外に配置されたりする。

以下、本実施形態では、独自の分岐搬送経路を有し、メイン搬送経路の外に配置される後工程処理装置、分岐搬送経路を形成する外置きユニット用搬送装置、及びこれらを備える電子部品搬送装置について図面を参照しつつ詳細に説明する。尚、後工程処理装置として、テストユニットを例に採り説明するが、これに限らず、本発明は、メイン搬送経路の外に配置される各種の後工程処理装置について適用可能である。

［構成］
（外置きテストユニット）
図１は、外置きのテストユニット１を示す斜視図である。図２は、テストユニット１を示す上面図である。図１及び２に示すテストユニット１は、電子部品Ｄの電気特性を検査する装置である。電子部品Ｄは、電気製品に使用される部品であり、半導体素子が含まれる。半導体素子としては、トランジスタや集積回路、電子部品としては抵抗やコンデンサ等が挙げられる。検査する電気特性は、電子部品Ｄの電圧、電流、抵抗、周波数、又はファンクションテスト等である。印加と測定を共通の接触子１１ａで行うシングルコンタクト方式と、印加と測定を別々の接触子１１ａで行うケルビンコンタクト方式のどちらを採用してもよい。

このテストユニット１は、ユニット本体の側面１ａに処理ステージが設けられている。側面１ａは、ユニットの設置面に連続する面である。電子部品Ｄの電気特性を検査する処理ステージは、電子部品Ｄが装着されるソケット１１である。テストユニット１は、このソケット１１をユニットの横方向に複数並べて備えている。例えば、ソケット１１は、ユニットの幅方向に一列に８箇所並んで設けられ、電子部品Ｄが装着されて電気特性を測定する処理ステージとなる。

ソケット１１は、電子部品Ｄの受け口となり、底面に接触子１１ａが設けられている。接触子１１ａは、金属製の板又はピンである。例えば、接触子１１ａは、銅又はベリリウム銅等の合金、ステンレス鋼、又は、タングステン又はその合金又は超合金からなる。この接触子１１ａは、電子部品Ｄがソケット１１に装着されたときに電子部品Ｄの電極と電気的に接触する。

テストユニット１は、ソケット１１に装着された電子部品Ｄに対して、接触子１１ａを介して試験信号を送信し、接触子１１ａを介して電子部品Ｄの出力信号を受け取る。そして、テストユニット１は、電子部品Ｄからの出力信号を解析し、電子部品Ｄの各種の電気特性を得る。テストユニット１には、電気特性の許容範囲を示す数値データが記憶されている。テストユニット１は、得られた電気特性の測定結果と数値データとを比較して、電子部品Ｄの良又は不良を判定する。

このテストユニット１は、電気特性を検査する電子部品Ｄをメイン搬送経路から分岐させてソケット１１まで搬送する分岐搬送手段２を備えている。この分岐搬送手段２は、メイン搬送経路を形成するターンテーブル１００とテストユニット１との間で電子部品Ｄを搬送する。

分岐搬送手段２は、ソケット１１が設けられた片側面１ａに沿って、テストユニット１の脇を通るように配設されている。分岐搬送手段２は、テストユニット１が側面１ａにソケット１１を有しているために、テストユニット１の上面から離れて延設されることができ、テストユニット１は、設置面と搬送手段の支持フレームとによって周囲を囲まれずにすむ。

分岐搬送手段２は、電子部品Ｄの２種類の保持手段を有する。すなわち、分岐搬送手段２は、図２に示すように、ロータリーピックアップ２１及びシャトル２２で構成される。シャトル２２は、ターンテーブル１００からロータリーピックアップ２１まで直線的に電子部品Ｄを搬送する。ロータリーピックアップ２１は、シャトル２２及びテストユニット１のソケット１１との間で電子部品Ｄを搬送する。

（ロータリーピックアップ）
図３乃至５は、ロータリーピックアップ２１を示し、図３はテストユニット１のソケット１１が設けられた面及び上面と直交する正面図、図４は上面図、図５はテストユニット１が設けられた面と平行な側面図である。

図３乃至５に示すように、ロータリーピックアップ２１は、回転体２１１に対して円周等配位置に複数の保持手段２１２を有する。保持手段２１２は、それぞれ電子部品Ｄを着脱可能に保持する。例えば、４本の保持手段２１２が回転体２１１に固定される。

この回転体２１１は、モータ２１３と接続された回転軸２１４に嵌め込まれ、モータ２１３の駆動によって回転軸２１４を介して円周方向に一定角度ずつ間欠的に回動する。換言すると、モータ２１３は、一定角度ずつ間欠的に回転する。回転体２１１の１ピッチの回転角度は、隣り合う保持手段２１２の設置角度に等しい。また、回転体２１１を停止させたときには、何れかの保持手段２１２が真下に向かう第１の角度Ａ１に位置し、何れかの保持手段２１２がテストユニット１のソケット１１と向かい合う第２の角度Ａ２に位置する。すなわち、保持手段２１２の設置角度の整数倍には、９０度が含まれる。

保持手段２１２は、吸着ノズル２１２ａとノズル駆動部２１２ｂとを有する。回転体２１１に近い方にノズル駆動部２１２ｂが配置され、ノズル駆動部２１２ｂの先端に続き、回転体２１１の半径方向に吸着ノズル２１２ａが延びている。

吸着ノズル２１２ａは、内部が中空のパイプである。パイプ内部は、図示しない真空発生装置の空気圧回路とチューブを介して連通している。この吸着ノズル２１２ａは、真空発生装置による負圧の発生によって電子部品Ｄを吸着し、真空破壊によって電子部品Ｄを離脱させる。

ノズル駆動部２１２ｂは、吸着ノズル２１２ａを押し出すロッドと、ロッドを押し引きするアクチュエータを備えている。アクチュエータを作動させてロッドを吸着ノズル２１２ａに向けて押し出すと、吸着ノズル２１２ａは、後端でロッドの先端と当接して押圧され、ノズル先端が飛び出す方向に移動する。アクチュエータによりロッドが引き込まれると、吸着ノズル２１２ａとロッドとの当接は解除され、ノズル先端は回転体２１１の内側へ戻る方向に移動する。

このロータリーピックアップ２１は、各ソケット１１に対応して回転軸２１４に複数並べて嵌め込まれている。それぞれのロータリーピックアップ２１は、保持手段２１２の回転軌跡とソケット１１とが同一平面に含まれるように配置されている。すなわち、回転体２１１が一定角度回転すると、１本の保持手段２１２が対応のソケット１１に向かう。

これらロータリーピックアップ２１はそれぞれ分離独立している。各ロータリーピックアップ２１と各ソケット１１との位置調整は、ソケット１１のピッチに合わせるように各ロータリーピックアップ２１を個別に回転軸２１４の軸方向にスライドさせることにより行われる。

このロータリーピックアップ２１は、それぞれが個別に制御可能となっている。特に吸着ノズル２１２ａを介した電子部品Ｄのソケット１１に対する押し付け荷重と、吸着ノズル２１２ａを介した電子部品Ｄのシャトル２２に対する押し付け荷重は、ロータリーピックアップ２１毎に制御される。すなわち、ノズル駆動部２１２ｂの荷重やストロークや加減速は、それぞれが個別に制御される。

具体的には、吸着ノズル２１２ａが押し出されると、吸着ノズル２１２ａが保持している電子部品Ｄがソケット１１に装着され、ソケット１１内の接触子１１ａに電子部品Ｄの電極が所望の荷重で押し当てられるように、各ロータリーピックアップ２１の位置と各吸着ノズル２１２ａを押し出すストローク、トルク、及び加減速が個別に調整されている。ソケット１１内の接触子１１ａと当該ソケット１１に向かい合う保持手段２１２の先端との離間距離は、ノズル駆動部２１２ｂによる吸着ノズル２１２ａの押出量と電子部品Ｄの厚みとの和に等しいか、若しくはその和よりも若干短い。

（シャトル）
図６は、シャトル２２を示す上面図である。シャトル２２は、電子部品Ｄの載置領域２２ａを有する載置台である。このシャトル２２は、メイン搬送経路を形成するターンテーブル１００とロータリーピックアップ２１の真下に向いた保持手段２１２の直下との間を往復する。そして、シャトル２２は、ターンテーブル１００とロータリーピックアップ２１との間でそれぞれ電子部品Ｄを受け渡す。

このシャトル２２は、矩形形状を有する。載置領域２２ａは、長手方向に沿って複数設けられている。載置領域２２ａは、ロータリーピックアップ２１の数に合わせて例えば一列に８箇所設けられている。載置領域２２ａには、搬送時の加速によって電子部品Ｄがズレないように、電子部品Ｄの周囲を支持する窪み又は突起を設けるようにしてもよい。窪みは、深さ方向に沿った断面が台形で、その断面と直交する断面が矩形の形状を有するようにし、電子部品Ｄが窪みに滑り込むように収まることで当該電子部品Ｄの位置ズレが補正されるようにしてもよい。

図７乃至９は、シャトル２２の移動機構を示し、図７は上面図、図８は側面図、図９は正面図である。このシャトル２２は、ボールネジ２２１に嵌合するナットを有するスライダ２２２上に設けられ、ロータリーピックアップ２１の真下を向いた保持手段２１２の列直下まで一直線に移動する。すなわち、ボールネジ２２１は、駆動軸として、メインテーブルの電子部品Ｄを受け渡しする箇所からロータリーピックアップ２１の直下まで延設されている。ボールネジ２２１はモータ２２３に接続されて軸回転可能となっている。スライダ２２２は、この軸上を摺動可能となっている。

尚、シャトル２２の移動機構は、その他の公知の機構により構成可能である。例えば、ボールネジ２２１の代わりにレールを配設し、スライダ２２２に車輪とモータ２２３とを備えてレール上を自走させるようにしてもよい。また、ワイヤを巻回するリールを両端に設け、各ワイヤの一端をスライダ２２２に固定し、リールの回転によるワイヤの巻き取り及び送り出しによりスライダ２２２を移動させるようにしてもよい。

本実施形態では、２機のシャトル２２がターンテーブル１００とロータリーピックアップ２１との間を往復する。両シャトル２２とも真下を向いた保持手段２１２の直下を通る共通の移動軌跡Ｔを有する。そのため、この２機のシャトル２２は、上下に拡がる環状の移動軌跡Ｔを有し、移動の際に互い違いに昇降されて、一方が上側を直線移動し、他方が下側を直線移動することで、高さ方向で立体交差するようになっている。

すなわち、第１に、ボールネジ２２１は、真下を向いた保持手段２１２の列を挟んで２本設けられ、それぞれに１機ずつシャトル２２が設置されている。また、第２に、シャトル２２は、シャトル２２の中心線が真下を向いた保持手段２１２の列と一致するように、スライダ２２２に取り付けられている。そして、第３に、各スライダ２２２は、シャトル２２を昇降させる昇降手段２２４を備えている。昇降手段２２４は、高さ方向に延びるレール２２４ａと、そのレール２２４ａ上を摺動可能に挟持する支持部材と、支持部材を昇降させるエアシリンダ（不図示）と、エアシリンダに圧力を供給する圧力供給管２２４ｂである。

尚、シャトル２２の昇降方法としては、一方のシャトル２２については昇降させずに上側のみを直線移動し、他方のシャトル２２についてのみ昇降させることで下側のみを直線移動させるようにしてもよい。

［動作］
このようなテストユニット１では、まず、装置の設置のために、ソケット１１の各位置に合わせてロータリーピックアップ２１の位置調整がなされる。具体的には、各保持手段２１２の回転軌跡とソケット１１とが同一平面に含まれるように、回転軸２１４に沿って各ロータリーピックアップ２１をスライドさせる。

そして動作時においては、まず、ターンテーブル１００とシャトル２２との間で電子部品Ｄの交換を行う。１機のシャトル２２は、先頭の載置領域２２ａがターンテーブル１００の受渡箇所に位置するように停止し、その後、載置領域２２ａの形成間隔ピッチ分だけ間欠的に複数回移動する。複数回の移動は、載置領域２２ａの数から１減じた回数である。

シャトル２２には、電気特性のテストが終了した電子部品Ｄが既に載置されている。最初に、先頭の載置領域２２ａに載置されている電子部品Ｄがピックアップされてターンテーブル１００に戻され、空となった先頭の載置領域２２ａには、電気特性のテストを受けるためにターンテーブル１００に沿って移動してきた電子部品Ｄが載置される。シャトル２２は、間欠的に１ピッチずつ移動することで、交換した電子部品Ｄを後段の載置領域２２ａに順次搭載していく。

電気特性のテストを受ける電子部品Ｄを搭載したシャトル２２は、ターンテーブル１００からロータリーピックアップ２１の直下へ向かう。一方、テストユニット１による電気特性のテストが終了した電子部品Ｄを搭載したシャトル２２は、ロータリーピックアップ２１からターンテーブル１００へ向かう。

ロータリーピックアップ２１に向かうシャトル２２は、ターンテーブル１００と電子部品Ｄを交換する際、昇降手段２２４によって上昇している。このシャトル２２は、昇降手段２２４によって上昇したまま、上側の移動軌跡Ｔを辿ってロータリーピックアップ２１へ移動する。一方、ターンテーブル１００へ向かうシャトル２２は、ロータリーピックアップ２１との間での電子部品Ｄの交換を終えた後、昇降手段２２４によって下降し、下側の移動軌跡Ｔを辿ってターンテーブル１００の受渡箇所まで移動し、昇降手段２２４によって再び上昇する。このため、２機のシャトル２２は、ターンテーブル１００とロータリーピックアップ２１との間で上下にすれ違う。

シャトル２２は、電気特性のテストを受ける電子部品Ｄを搭載してロータリーピックアップ２１の直下まで移動する。このとき、シャトル２２は、真下に向いた各保持手段２１２の真下には各搭載領域が１対１で対応して位置するように停止する。

ロータリーピックアップ２１は、直下に位置したシャトル２２から電子部品Ｄを受け取る。真下に向いた保持手段２１２の吸着ノズル２１２ａは、ノズル駆動部２１２ｂによって電子部品Ｄまで下降し、真空発生装置による負圧の発生によって電子部品Ｄを吸着する。このとき、吸着ノズル２１２ａの下降量、押し出されるトルク、及び加減速は、ロータリーピックアップ２１毎に制御される。電子部品Ｄを吸着すると、ノズル駆動部２１２ｂのロッドによる押圧が解除されることにより、吸着ノズル２１２ａは元の位置に戻る。

一方、真下に向いた保持手段２１２が電子部品Ｄを受け取っている際、他の何れかの保持手段２１２は、保持している電子部品Ｄのテストが終了するまで、テストユニット１のソケット１１に電子部品Ｄを装着した状態を維持している。

電子部品Ｄの受け取りとテストとが終了すると、ロータリーピックアップ２１の回転体２１１は１ピッチ回転する。回転体２１１は、真下に位置した保持手段２１２が間欠的に１回転する。回転体２１１が１ピッチ回転する毎に新たな電子部品Ｄの受け取りとテストとが実行される。

回転体２１１が間欠的に回転を継続し、真下で電子部品Ｄを保持した保持手段２１２がテストユニット１のソケット１１に向かい合うと、その保持手段２１２は、ソケット１１に電子部品Ｄを装着する。ソケット１１に向いた保持手段２１２の吸着ノズル２１２ａは、ノズル駆動部２１２ｂによってソケット１１まで移動し、電子部品Ｄを接触子１１ａに押し付ける。このとき、吸着ノズル２１２ａの下降量、押し出されるトルク、及び加減速は、ロータリーピックアップ２１毎に制御される。

テストユニット１は、接触子１１ａと電極を通じて電子部品Ｄに試験信号を送信し、電子部品Ｄから出力される出力信号を受信する。そして、出力信号を解析して、電子部品Ｄの電圧、電流、及び周波数等の各種の電気特性を測定する。電気特性を測定すると、その測定結果と予め記憶している数値データとを比較し、電子部品Ｄの良又は不良を判定する。

電気特性のテストが終了すると、ノズル駆動部２１２ｂのロッドによる押圧が解除されることにより、吸着ノズル２１２ａは元の位置に戻る。ソケット１１に向かい合った保持手段２１２の吸着ノズル２１２ａが元に戻り、ロータリーピックアップ２１の真下で電子部品Ｄの交換が終了すると、ロータリーピックアップ２１は、回転体２１１を間欠的に回転させる。

電気特性のテストが終了した電子部品Ｄを保持している保持手段２１２がロータリーピックアップ２１の真下よりも１ピッチ前で停止しているときには、真下に位置した保持手段２１２がシャトル２２から電子部品Ｄを受け取っている。そして、次の１ピッチの回転によって、１ピッチ前で停止していた保持手段２１２は、電気特性のテストが終了した電子部品Ｄを保持しつつ、空となったシャトル２２と向かい合う。

電気特性のテストが終了した電子部品Ｄを保持しつつ、真下に位置した保持手段２１２は、空となったシャトル２２に対して、保持している電子部品Ｄを受け渡す。真下に向いた保持手段２１２の吸着ノズル２１２ａは、ノズル駆動部２１２ｂによって電子部品Ｄまで下降し、真空破壊により電子部品Ｄをシャトル２２の載置領域２２ａへ離脱させる。

電子部品Ｄを離脱させた保持手段２１２は、電気特性のテストを受ける電子部品Ｄを搭載した次のシャトル２２を待つ。一方、電気特性のテストが終了した電子部品Ｄを受け取ったシャトル２２は、下側の移動軌跡Ｔを辿ってターンテーブル１００に移動し、ターンテーブル１００に電子部品Ｄを戻す。

［効果］
以上のように、電子部品Ｄに対して工程処理をするテストユニット１等の後工程処理装置は、メイン搬送経路の外部に外置きとして設けられる。電子部品Ｄが装着されるソケット１１等の処理ステージは、装置本体の側面１ａに設けられる。メイン搬送経路と処理ステージとの間で電子部品Ｄを搬送する搬送手段は、処理ステージが設けられた側面１ａの脇を通るように配設される。

そのため、上面に処理ステージを有する後工程処理装置のように、後工程処理装置の上方に分岐搬送経路が延設する必要はなく、門形のフレームで後工程処理装置を囲むことはない。すなわち、メイン搬送経路と処理ステージとの間で電子部品Ｄを搬送する搬送手段は、処理ステージが設けられた側面１ａの脇を通るように配設され、後工程処理装置は、上面、処理ステージが設けられた側面１ａと隣接する２面、及び当該側面１ａの背面の方向に容易に拡大することができる。従って、後工程処理装置のサイズを容易に変更することができ、処理効率の向上を図ることができるとともに、分岐搬送路を再設計しなくてはならない場面が減って製造コストの増加を防止できる。

また、メイン搬送経路と処理ステージとの間で電子部品Ｄを搬送する搬送手段は、２種類の保持手段を有する。第１の保持手段は、ロータリーピックアップ２１に設けられる吸着ノズル２１２ａ等であり、真下を向く第１の角度Ａ１から処理ステージと向かい合う第２の角度Ａ２まで回転し、第１の角度Ａ１で前記電子部品Ｄを受け渡し、第２の角度Ａ２で処理ステージに電子部品Ｄを着脱する。第２の保持手段は、シャトル２２等であり、メイン搬送経路と第１の保持手段の真下との間を往復し、第１の角度Ａ１に位置した第１の保持手段と電子部品Ｄを受け渡す。

上面にソケット１１を配置していた際には、ＸＹＺ方向に移動可能な保持手段を後工程処理装置上に配置することで、ソケット１１に電子部品Ｄを装着することが可能であるが、装置本体の側面１ａにソケット１１を配置した場合、この保持手段には更にθ方向の回転機構を追加し、保持手段を４軸駆動方式にすることが考えられる。

一方、真下を向く第１の角度Ａ１から処理ステージと向かい合う第２の角度Ａ２まで回転し、第１の角度Ａ１で前記電子部品Ｄを受け渡すロータリーピックアップ２１に設けられる吸着ノズル２１２ａ等の回転保持手段を備えるようにすることで、１軸の駆動、すなわちθ方向の回転機構のみで対応が可能となる。そのため、この場合は、この第１の保持手段のモータ数を減少させることができるし、機構が煩雑となるＸＹＺθ方向に移動する保持手段と比べて、第１の保持手段は、簡単な構成とすることができる。従って、製造コストを抑えることが可能となる。

また、第２の保持手段は、第１の保持手段の真下の位置を含む共通の移動軌跡Ｔを有する複数の載置台を有する。この載置台は、それぞれスライダ２２２に設けられ、スライダ２２２は、第１の保持手段の真下を挟んで一直線に平行に延びる一対の軸上をそれぞれ摺動可能となっている。そして、各載置台は昇降手段２２４によって互い違いに昇降され、上下ですれ違う。

ロータリーピックアップ２１に設けられる吸着ノズル２１２ａ等の回転保持手段に対して電子部品Ｄを受け渡すには、その受渡箇所は第１の保持手段が真下を向いた１箇所に制限されてしまう。従って、第２の保持手段の移動軌跡Ｔを１直線状とした場合には、載置台は１機しか設けられず、電子部品Ｄの処理効率は低下してしまう。しかしながら、この第２の保持手段によると、少なくとも２機の載置台を同時に稼働させることができるため、１機が回転保持手段と電子部品Ｄの受け渡しをしているときには、他の機がメイン搬送経路と電子部品Ｄを受け渡しすることができ、処理効率を高めることができる。

また、ロータリーピックアップ２１に設けられる吸着ノズル２１２ａ等の第１の保持手段は、回転中心から放射状に複数設けられるようにし、シャトル２２等の第２の保持手段から電子部品Ｄを受け取った後、間欠的に１回転するようにする。

例えば、１本の第１の保持手段を、ソケット１１が停止する真下の角度とソケット１１と向かい合う角度との間の９０度を往復させるようにしてもよいが、ソケット１１に電子部品Ｄを装着しているときには、シャトル２２と電子部品Ｄの受け渡しをすることはできないし、シャトル２２と電子部品Ｄの受け渡しをしているときには、電子部品Ｄの電気特性を測定することはできない。

しかしながら、第１の保持手段を回転中心から放射状に複数設けることにより、何れかの保持手段がソケット１１に電子部品Ｄを装着しているときに、他の何れかの保持手段はシャトル２２と電子部品Ｄの受け渡しをすることができる。従って、電子部品Ｄの処理効率は向上する。

また、ロータリーピックアップ２１等の第１の保持手段は、ソケット１１等の処理ステージの並び方向に沿って複数設けられ、処理ステージ及びシャトル２２等の第２の保持手段に対する電子部品Ｄの移動量、押し付け荷重、又は移動の加減速がそれぞれ個別に制御されるようにした。これにより、ロータリーピックアップ２１、シャトル２２、及びソケット１１の位置のばらつきや、吸着ノズル２１２ａやノズル駆動部２１２ｂの動きのばらつきに対応でき、搬送中に電子部品Ｄにダメージを与えてしまうことを防止できる。また、テストユニット１等の後工程処理装置に対するダメージもコントロール可能となり、後工程処理装置の長寿命化を達成することもできる。

また、ロータリーピックアップ２１等の第１の保持手段は、回転軸２１４に嵌め込まれて分離して複数設けられるようにした。これにより、後工程処理装置の処理ステージの配置ピッチが変わっても、第１の保持手段を交換する必要なく、それぞれ回転軸２１４に沿ってスライドさせ、処理ステージに向かう合う箇所に位置合わせすることができる。

［適用例］
このテストユニット１を備える電子部品搬送装置について説明する。図１０は、電子部品搬送装置を示し、（ａ）は電子部品搬送装置の側面図であり、（ｂ）はメインの搬送経路を形成する装置の上面図である。

図１０に示す電子部品搬送装置のターンテーブル１００は、ダイレクトドライブモータ１０１と接続されて間欠的に回転する。ターンテーブル１００には、外周に沿って等間隔で離間した保持手段１１０が固定されている。その配置間隔は、ターンテーブル１００の１ピッチの回転角度と等しい。

ターンテーブル１００に固定された保持手段１１０は、テストユニット１のロータリーピックアップ２１と同様に吸着ノズル１１１とノズル駆動部１１２により構成され、負圧の発生と真空破壊によって電子部品Ｄを着脱する。保持手段１１０の吸着ノズル１１１は、ターンテーブル１００の外周部に取り付けられた支持部によって、その下端をターンテーブル１００の下面に突出させるように支持されている。

シャトル２２は、この吸着ノズル１１１と電子部品Ｄの交換を行う。すなわち、シャトル２２は、ターンテーブル１００の下方に潜り、吸着ノズル１１１の停止位置のうちの１箇所で停止する。

ターンテーブル１００の周りには、テストユニット１の他に、パーツフィーダ、マーキングユニット、外観検査ユニット、テストコンタクトユニット、分類ソートユニット、姿勢判別ユニット、姿勢補正ユニット、テーピングユニット、不良品排出ユニット等の各工程処理ユニット１２０が配置される。

これら工程処理ユニット１２０は、ターンテーブル１００を取り囲んで外周方向に等間隔離間して配置される。配置間隔は、ターンテーブル１００の１ピッチの回転角度と同一若しくは整数倍に等しい。工程処理ユニット１２０の配置位置は、メイン搬送用の保持手段１１０の停止位置と一致する。停止位置には、何れかの搬送処理ユニットの１機が配置される。尚、停止位置Ｌの数≧工程処理ユニット１２０の数であれば、これらの数は同数でなくともよく、工程処理ユニット１２０が配置されない停止位置が存在していてもよい。

パーツフィーダは、電子部品搬送装置に電子部品Ｄを供給する装置である。このパーツフィーダは、例えば、円形の振動パーツフィーダと直線型の供給振動フィーダとを組み合わせて、ターンテーブル１００の外周端直下の搬送経路終端まで多数の電子部品Ｄを整列させて連続的に搬送する。

マーキングユニットは、電子部品Ｄに臨んでレーザ照射用のレンズを有し、レーザを電子部品Ｄに照射してマーキングを行う。

外観検査ユニットは、カメラを有し、電子部品Ｄを撮影し、画像から電子部品Ｄの電極形状、表面の欠陥、キズ、汚れ、異物等の有無を検査する。

分類ソートユニットは、電気特性及び外観検査の結果に応じて電子部品Ｄを不良品と良品とに分類し、そのレベルに応じて分類してシュートする。

姿勢判別ユニットは、カメラを有し、電子部品Ｄの姿勢を判別する。姿勢補正ユニットは、姿勢判別ユニットが判別した姿勢に応じて、電子部品Ｄの方向合わせと、保持位置の位置決めを行う。

テーピングユニットは、良品と判定された電子部品Ｄを収納する。不良品排出ユニットは、テーピング梱包されなかった電子部品Ｄを電子部品搬送装置から排出する。

このような電子部品搬送装置は、図示しない搬送制御部を備え、ダイレクトドライブモータ１０１、メイン搬送用の保持手段１１０、テストユニット１、シャトル２２の移動機構、ロータリーピックアップ２１の回転機構、及びその他の各種の工程処理ユニット１２０に電気信号を送出することで、これらの動作タイミングを制御している。すなわち、搬送制御部は、制御プログラムを格納するＲＯＭ、ＣＰＵ、及びドライバを備え、制御プログラムに従い、インターフェースを介して各駆動機構に各タイミングで動作信号を出力している。

以上のような電子部品搬送装置においては、ロータリーピックアップ２１の保持手段２１２やメイン搬送用の保持手段１１０として、真空の発生及び破壊により電子部品Ｄを吸着及び離脱させる方式に代えて、静電吸着方式、ベルヌーイチャック方式、又は電子部品Ｄを機械的に挟持するチャック機構を配してもよい。また、テストユニット１を有するものであれば、上記した種類の工程処理ユニット１２０に限られず、その他の種類の工程処理を実施するユニットと置き換えることが可能であり、また配置順序も適宜変更可能である。

１ テストユニット
１ａ 側面
１１ ソケット
１１ａ 接触子
Ｄ 電子部品
２ 分岐搬送手段
２１ ロータリーピックアップ
２１１ 回転体
２１２ 保持手段
２１２ａ 吸着ノズル
２１２ｂ ノズル駆動部
２１３ モータ
２１４ 回転軸
Ａ１ 第１の角度
Ａ２ 第２の角度
２２ シャトル
２２ａ 載置領域
２２１ ボールネジ
２２２ スライダ
２２３ モータ
２２４ 昇降手段
２２４ａ レール
２２４ｂ 圧力供給管
Ｔ 移動軌跡
１００ ターンテーブル
１０１ ダイレクトドライブモータ
１１０ 保持手段
１１１ 吸着ノズル
１１２ ノズル駆動部
１２０ 工程処理ユニット

Claims (17)

1. 各種の工程処理が施される電子部品をメイン搬送経路に沿って搬送する電子部品搬送装置に備えられ、前記電子部品に対して電気特性を検査する電気特性検査装置であって、
   前記メイン搬送経路の外部に設けられた装置本体と、
   前記装置本体の側面に設けられ、前記電子部品が装着されるステージと、
   前記ステージが設けられた前記側面の脇を通るように配設され、前記メイン搬送経路と前記ステージとの間で、前記電子部品を搬送する搬送手段と、
   を備えること、
   を特徴とする電気特性検査装置。
2. 前記搬送手段は、
   第１の保持手段と第２の保持手段とを備え、
   前記第１の保持手段は、
   真下を向く第１の角度から前記ステージと向かい合う第２の角度まで回転し、前記第１の角度で前記第２の保持手段と前記電子部品を受け渡し、前記第２の角度で前記ステージに対して前記電子部品を着脱し、
   前記第２の保持手段は、
   前記メイン搬送経路と前記第１の保持手段の真下との間を往復し、前記第１の角度に位置した前記第１の保持手段と前記電子部品を受け渡すこと、
   を特徴とする請求項１記載の電気特性検査装置。
3. 前記第２の保持手段は、
   前記第１の保持手段の真下の位置を挟んで一直線に平行に延びる一対の軸と、
   前記軸上を摺動可能な各スライダと、
   前記各スライダに設けられ、前記第１の保持手段の真下を含む共通の移動軌跡を有する前記電子部品の各載置台と、
   前記各載置台を昇降させる各昇降手段と、
   を備え、
   各載置台は、前記昇降手段によって互い違いに昇降されることで、上下ですれ違うこと、
   を特徴とする請求項２記載の電気特性検査装置。
4. 前記第１の保持手段は、
   回転中心から放射状に複数設けられ、
   前記第２の保持手段から前記電子部品を受け取った後、間欠的に回動しながら１回転すること、
   を特徴とする請求項２又は３記載の電気特性検査装置。
5. 前記ステージは、
   前記装置本体の側面に幅方向に複数並べられ、
   前記第１の保持手段は、
   前記ステージの並び方向に沿って複数設けられ、前記ステージ及び前記第２の保持手段に対する電子部品の移動量、押し付け荷重、又は移動の加減速がそれぞれ個別に制御されること、
   を特徴とする請求項２乃至４の何れかに記載の電気特性検査装置。
6. 前記ステージは、
   前記装置本体の側面に幅方向に複数並べられ、
   前記第１の保持手段は、
   前記ステージの並び方向に沿って配された回転軸に嵌め込まれて分離独立して複数設けられ、
   回転軸に沿ってそれぞれ独立してスライドさせることで、前記ステージが並ぶピッチに合わせて位置調整されること、
   を特徴とする請求項２乃至４の何れかに記載の電気特性検査装置。
7. 電子部品が電気特性検査のために装着されるステージが装置本体の側面に設けられた電気特性検査ユニットに対して、メイン搬送経路から分岐させて前記電子部品を供給する外置きユニット用搬送装置であって、
   前記ステージが設けられた前記側面の脇を通るように配設され、前記メイン搬送経路と前記ステージとの間で、前記電子部品を搬送する搬送手段を有し、
   前記搬送手段は、
   第１の保持手段と第２の保持手段を備え、
   前記第１の保持手段は、
   真下を向く第１の角度から前記ステージと向かい合う第２の角度まで回転し、前記第１の角度で前記第２の保持手段と前記電子部品を受け渡し、前記第２の角度で前記ステージに対して前記電子部品を着脱し、
   前記第２の保持手段は、
   前記メイン搬送経路と前記第１の保持手段の真下との間を往復し、前記第１の角度に位置した前記第１の保持手段と前記電子部品を受け渡すこと、
   を特徴とする外置きユニット用搬送装置。
8. 前記第２の保持手段は、
   前記第１の保持手段の真下の位置を挟んで一直線に平行に延びる一対の軸と、
   前記軸上を摺動可能な各スライダと、
   前記各スライダに設けられ、前記第１の保持手段の真下を含む共通の移動軌跡を有する前記電子部品の各載置台と、
   前記各載置台を昇降させる各昇降手段と、
   を備え、
   各載置台は、前記昇降手段によって互い違いに昇降されることで、上下ですれ違うこと、
   を特徴とする請求項７記載の外置きユニット用搬送装置。
9. 前記第１の保持手段は、
   回転中心から放射状に複数設けられ、
   前記第２の保持手段から前記電子部品を受け取った後、間欠的に回動しながら１回転すること、
   を特徴とする請求項７又は８記載の外置きユニット用搬送装置。
10. 前記ステージは、
    前記装置本体の側面に幅方向に複数並べられ、
    前記第１の保持手段は、
    前記ステージの並び方向に沿って複数設けられ、前記ステージ及び前記第２の保持手段に対する電子部品の移動量、押し付け荷重、又は移動の加減速がそれぞれ個別に制御されること、
    を特徴とする請求項７乃至９の何れかに記載の外置きユニット用搬送装置。
11. 前記ステージは、
    前記装置本体の側面に幅方向に複数並べられ、
    前記第１の保持手段は、
    前記ステージの並び方向に沿って配された回転軸に嵌め込まれて分離独立して複数設けられ、
    回転軸に沿ってそれぞれ独立してスライドさせることで、前記ステージが並ぶピッチに合わせて位置調整されること、
    を特徴とする請求項７乃至９の何れかに記載の外置きユニット用搬送装置。
12. 電子部品を搬送しながら各種の工程処理を行う電子部品搬送装置であって、
    前記電子部品のメイン搬送経路と、
    前記メイン搬送経路上に設けられた各種の工程処理を行う工程処理手段と、
    前記工程処理手段とは別に前記メイン搬送経路の外部に設けられて、前記電子部品に対して電気特性の検査を行うユニット本体と、
    前記ユニット本体の側面に設けられ、前記電子部品が装着されるステージと、
    前記ステージが設けられた前記側面の脇を通るように配設され、前記メイン搬送経路と前記ステージとの間で、前記電子部品を搬送する分岐搬送手段と、
    を備えること、
    を特徴とする電子部品搬送装置。
13. 前記電子部品を保持して前記メイン搬送経路に沿って間欠移動するメイン搬送用の保持手段を備え、
    前記分岐搬送手段は、
    第１の保持手段と第２の保持手段を備え、
    前記第１の保持手段は、
    真下を向く第１の角度から前記ステージと向かい合う第２の角度まで回転し、前記第１の角度で前記第２の保持手段と前記電子部品を受け渡し、前記第２の角度で前記ステージに前記電子部品を着脱し、
    前記第２の保持手段は、
    前記第１の保持手段の一停止地点と前記メイン搬送用の保持手段の真下との間を往復し、前記第１の角度に位置した前記第１の保持手段と前記電子部品を受け渡すこと、
    を特徴とする請求項１２記載の電子部品搬送装置。
14. 前記第２の保持手段は、
    前記第１の保持手段の真下の位置を挟んで一直線に平行に延びる一対の軸と、
    前記軸上を摺動可能な各スライダと、
    前記各スライダに設けられ、前記第２の保持手段の真下を含む共通の移動軌跡を有する前記電子部品の各載置台と、
    前記各載置台を昇降させる各昇降手段と、
    を備え、
    各載置台は、前記昇降手段によって互い違いに昇降されることで、上下ですれ違うこと、
    を特徴とする請求項１３記載の電子部品搬送装置。
15. 前記第１の保持手段は、
    回転中心から放射状に複数設けられ、
    前記第２の保持手段から前記電子部品を受け取った後、間欠的に回動しながら１回転すること、
    を特徴とする請求項１３又は１４記載の電子部品搬送装置。
16. 前記ステージは、
    前記装置本体の側面に幅方向に複数並べられ、
    前記第１の保持手段は、
    前記ステージの並び方向に沿って複数設けられ、前記ステージ及び前記第２の保持手段に対する電子部品の移動量、押し付け荷重、又は移動の加減速がそれぞれ個別に制御されること、
    を特徴とする請求項１３乃至１５の何れかに記載の電子部品搬送装置。
17. 前記ステージは、
    前記装置本体の側面に幅方向に複数並べられ、
    前記第１の保持手段は、
    前記処理ステージの並び方向に沿って配された回転軸に嵌め込まれて分離独立して複数設けられ、
    回転軸に沿ってそれぞれ独立してスライドさせることで、前記ステージが並ぶピッチに合わせて位置調整されること、
    を特徴とする請求項１３乃至１５の何れかに記載の電子部品搬送装置。

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