KR950031823A - Ic테스트 핸들러용 디바이스 반송 기구 - Google Patents

Abstract

본 발명은 디바이스 반송 기구로서, 적은 스페이스에서 염가로 간단한 기구를 이용하여, 디바이스의 테스트 타임에 대응하여 소크 타임을 수시로 변경할 수 있는 기구의 제공을 목적으로 한다. 이를 위한 구성으로서, 원반형의 회전 테이블(12)상에 n개 단위로 디바이스(71)를 수납하는 포켓(18)을 복수개 설치한 무한 궤도의 회전 테이블(12)을 설치하고, 적어도 8개의 아암을 배치하여, 각 아암의 선단부에 n개 단위로 디바이스(71)를 흡착하는 흡착부(15)가 설치된 콘택트 아암(14)을 구비한다. 더욱이, 복수개의 아암을 배치하여 각 아암의 선단부에 n개 단위로 디바이스(71)를 수납하는 포켓(13)을 설치하여 반송하는 회전 수납 아암(16)을 설치해도 좋다. 또는, 아암의 선단부에 n개 단위로 디바이스(71)를 수납하는 포켓(18)을 설치하여, 수납 디바이스를 이동후에 수납 버퍼부(50)로 반송시키는 왕복 수납 아암(216)을 설치해도 좋다.

Description

IC테스트 핸들러용 디바이스 반송 기구

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 3개의 회전 무한 궤도 아암에 의한 제1 IC반송 기구의 구성도, 제2도는 본 발명의 3개의 회전 무한 궤도 아암에 의한 제2 IC반송 기구의 구성도, 제3도는본 발명의 2개의 회전 무한 궤도 아암과 1개의 왕복 수납아암에 의한 제3 IC반송 기구의 구성도, 제4도는 본 발명의 공급 y아암에 2개의 흡착부(45a)(45b)를 설치한 경우의 구조도, 제5도는 본 발명의 공급 y아암에 2개의 흡착부(45a)(45b)를 설치하여 회전 테이블측에도 대응하는 포켓을 설치한 경우의 구조도.

Claims (4)

1. 피반송 디바이스(71)를 공급하는공급 버퍼부(40)에서 n개 단위로 디바이스(71)를 수취하는 IC핸들러에 있어서, 공급 버퍼부(40)로부터 디바이스(71)를 수취하기 위하여, 원반형의 회전 테이블(12)에 n개 단위로 디바이스(71)를 수납하는 포켓(13)을 복수 설치하여, 디바이스(71)를 콘택트 아암(14)으로 반송시키는 회전 테이블(12)을 설치하고, 상기 회전 테이블(12)로부터 디바이스(71)를 수취하기 위하여, 적어도 3개의 아암을 배치하고, 각 아암의 선단부에 n개 단위로 디바이스(71)를 흡착하는 흡착부(15)를 구비한 콘택트 아암(14)을 설치한 것을 특징으로 하는 IC테스트 핸들러용 디바이스 반송 기구.
2. 제1항에 있어서, 사이 회전 제어 수단은 1포켓(18)각도 단위, 또는 m포켓(13)각도 단위로 정회전 또는 역회전 이동하는 것을 특징으로 하는 IC테스트 핸들러용 디바이스 반송 기구.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 콘택트 아암(14)으로부터 디바이스(71)를 수취하기 위하여, 복수개의 아암을 배치하여 각 아암의 선단부에 n개 단위로 디바이스(71)를 수납하는 포켓(13)을 설치하고, 동시에 다른 디바이스(71)를 수납 버퍼부(50)로 반송시키는 회전 수납 아암(16)을 설치한 것을 특징으로 하는 IC테스트 핸들러용 디바이스 반송 기구.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 콘택트 아암(14)으로부터 디바이스(71)를 수취하기 위하여, 아암의 선단부에 n개 단위로 디바이스(71)를 수취하는 포켓(13)을 설치하고, 이동후에 디바이스(71)를 수납 버퍼부(50)로 반송시키는 왕복 수납 아암(216)을 설치한 것을 특징으로 하는 IC테스트 핸들러용 디바이스 반송 기구.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.