DE4235674C2

DE4235674C2 - Kammer für den Transport von Werkstücken in Vakuumatmosphäre, Kammerkombination und Verfahren zum Transportieren eines Werkstückes

Info

Publication number: DE4235674C2
Application number: DE4235674A
Authority: DE
Inventors: Roman Schertler
Original assignee: Balzers AG
Current assignee: OC Oerlikon Balzers AG
Priority date: 1992-10-22
Filing date: 1992-10-22
Publication date: 2000-12-28
Anticipated expiration: 2012-10-23
Also published as: DE4235674A1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Kammer nach den Oberbegriffen der Ansprüche 1 und 2, weiter eine Kammer kombination mit einer derartigen Kammer nach dem Oberbegriff von Anspruch 3 und ein Transportverfahren.

Scheibenförmige Werkstücke, wie Speicherplatten, z. B. magnetische Speicherplatten oder magneto-optische Speicherplatten, in einer Kammer mittels einer um ei ne Achse schwenkbaren Transporteinrichtung in Aus richtung zu Oeffnungen der Kammer zu transportieren, um die Werkstücke, einmal auf entsprechende Oeffnun gen ausgerichtet, einer Oberflächenbehandlung, wie einem nicht reaktiven oder reaktiven Vakuumprozess, z. B. einem Aetzprozess oder einem Beschichtungspro zess mit oder ohne Glimmentladungsunterstützung, aus zusetzen oder um ein Werkstück durch eine solche Oeffnung ein- oder auszuschleusen, ist bekannt. Es kann hier beispielsweise auf die US-PS 3 856 654, die DE-PS 24 54 544, die DE-OS 39 12 295, 40 09 603, 37 16 498 und die EP-A 0 389 820 hingewiesen werden.

Bei den daraus bekannten Transportkammern werden die Werkstücke von der Transporteinrichtung oder ab der Transporteinrichtung, parallel zu deren Drehachse, d. h. axial, den Kammeröffnungen zugespiesen.

Bei der Auslegung einer solchen Transportkammer, in nerhalb welcher, wie erwähnt, die Werkstücke auf ei ner um eine Achse drehenden Transporteinrichtung transportiert werden, um diesbezüglich axial, in vor gegebenen Winkelpositionen der Transporteinrichtung zu den oder von den Oeffnungen der Kammer bewegt zu werden, ergibt sich eine Wechselbeziehung zwischen der in Axialrichtung gemessenen Tiefe einer solchen Kammer und des möglichen Axialhubes. Soll nämlich die Kammer, worin die schwenkbare Transporteinrichtung vorgesehen ist, inklusive zusätzlicher, axial ange ordneter Aggregate, flach ausgebildet werden, so bleibt der mögliche Axialhub gering. Analog wird die Gesamtbauhöhe einer solchen Kammer dann gross, wenn namhafte Hubwege realisiert werden sollen. Dabei ist zu bedenken, dass bei Ausbildung der Transportein richtung so, dass möglichst viele Werkstücke gleich zeitig in der Kammer mit ihr transportiert werden, dies allein die radiale Ausdehnung der Kammer fest legt und deren Axialausdehnung die Anzahl gleichzei tig transportierbarer Werkstücke nicht beeinflusst.

Im weiteren ist man bei dieser Auslegung von Trans portkammern darauf beschränkt, Oeffnungen und damit zusätzlich vorsehbare Kammern nur vis-à-vis der Transportbahn vorsehen zu können, entlang welcher die Werkstücke mit der schwenkbaren Transporteinrichtung gefördert werden.

Die DE-OS 25 29 018 beschreibt eine Vakuumkammer bzw. eine Vakuumkammeranordnung nach den Oberbegriffen der Patentan sprüche 1 bis 3. In der Vakuumkammer befindet sich eine drehbare Transporteinrichtung und eine Vorschubeinrichtung, mit der die Werkstückaufnahmen in einer um 45° zur Drehach se geneigten Richtung verschoben werden können.

Die DE 24 45 559 betrifft eine Positioniereinrichtung zur Positionierung von Werkstücken in einer metallverarbeiten den Hammerpresse. Diese Positioniereinrichtung offenbart eine drehbare Transporteinrichtung, die als Schwenkarm aus gebildet ist, an dem eine Werkstückaufnahme radial mittels eines ausfahrbaren Armes verschiebbar ist. Eine axiale bzw. vertikale Positionierbewegung wird dadurch erreicht, daß die gesamte drehbare Transporteinrichtung an einem Gestell vertikal auf- und abbewegt wird.

Die US 3,968,885 beschreibt eine Positioniervorrichtung in einer Vakuumkammer, insbesondere zur Positionierung von Wa fern. Die Positioniervorrichtung umfaßt eine um eine Dreh achse drehbare Transporteinrichtung mit zwei Werkstückauf nahmen, wobei die Werkstückaufnahmen gemeinsam zum Positio nieren der Werkstücke in Radialrichtung verschiebbar sind.

Die vorliegende Erfindung setzt sich unter einem ersten Aspekt zum Ziel, eine Kammer der gattungsgemäßen Art zu schaffen, bei der die Eingangs genannten Nachteile behoben sind.

Hierzu zeichnet sich die erfindungsgemässe Kammer nach dem kennzeichnenden Teil von Anspruch 1 bzw. 2 aus.

Dadurch, dass nämlich eine Transportanordnung vorge sehen ist, die zusätzlich zur Schwenkbewegung der be kannten Transporteinrichtung sowohl parallel zur Ach se getrieben linear verschieblich ist sowie, bezüg lich dieser Achse, auch radial, wird erreicht, dass einerseits Kammeröffnungen nicht mehr vis-à-vis der Transporteinrichtungs-Transportbahn vorgesehen werden müssen und dass anderseits, für die Auslegung eines notwendigen Hubes zur Bedienung einer an der betrach teten Kammer angeordneten gegebenen weiteren Kammer, der erfindungsgemässe mitausgenützte Radialhub einge setzt werden kann, dessen Grösse, im Rahmen des durch die schwenkbare Transporteinrichtung gegebenen Kam merdurchmessers, in weiten Grenzen frei gewählt wer den kann.

Ausgehend von den erwähnten bekannten Transportkam mern setzt sich unter einem zweiten Aspekt die vor liegende Erfindung zum Ziel, mittels derartiger Kam mern komplexe Gesamtvakuumbehandlungsanlagen aufbauen zu können, bei denen, gesteuert, die Werkstücke je nach beabsichtigtem Behandlungsverfahren frei wähl bar, einer praktisch beliebigen Anzahl unterschiedli cher Behandlungsstationen zuführbar sind, wobei opti maler Kompaktheit solcher Anlagen eine hohe Wichtig keit zugeordnet wird.

Während nämlich bei den eingangs erwähnten bekannten Kammern die Anzahl weiterer Kammern durch die Dimen sionierung der Kammer selbst begrenzt ist, ergibt sich dadurch, dass an der erfindungsgemässen Kammer kombination an einer der Oeffnungen der betrachteten Kammer eine weitere Transportkammer mit mindestens einer weiteren Oeffnung für Werkstücke angeordnet ist, der Vorteil, dass die Werkstücke, ab der be trachteten Kammer mit der schwenkbaren Transportein richtung, weit verzweigt weitertransportiert werden können und jeweils Behandlungskammern entlang des Ge samttransportpfades angeordnet werden können.

Bevorzugterweise wird die erfindungsgemässe Kammer kombination dadurch realisiert, dass, als die eine erwähnte Kammer mit der schwenkbaren Transporteinrichtung, eine Kammer vorgesehen wird, die auch die Merkmale des kennzeich nenden Teils von Anspruch 1 aufweist.

An der eingangs erwähnten erfindungsgemässen Kammer oder der erfindungsgemässen Kammerkombination wird eine hohe Kompaktheit erzielt, wenn der An trieb für die axiale Linearverschiebung der Trans portanordnung an der um die Achse herum in Winkelaus richtung zu den Oeffnungen schwenkbaren Transportein richtung angeordnet, d. h. Transporteinrichtung, An trieb und Transportanordnung zu einem Komplex inte griert sind.

Dem Wortlaut von Anspruch 7 folgend wird weiter be vorzugt, sowohl an der erfindungsgemässen Kammer wie auch an der erfindungsgemässen Kammerkombination, die axial verschiebliche Transportanordnung durch minde stens einen zur Drehachse der Transporteinrichtung versetzten, achsparallelen Arm zu realisieren, woran mindestens ein Ende eine vorzugsweise tellerartige Werkstückhalterung aufweist.

Bedenkt man die räumliche Anordnung der um die er wähnte Achse drehbaren Transporteinrichtung, dann das Vorsehen des bezüglich der Achse versetzten achspa rallelen Armes, wodurch im axialen Querschnitt eine L-förmige Struktur gebildet wird, so ist ohne weite res ersichtlich, dass diese Struktur zu einer T-arti gen dadurch ausgebaut werden kann, dass nicht nur das eine Ende eines solchen Armes zur Werkstückhalterung ausgenützt wird, sondern beide Enden, womit die bau liche Flexibilität zum Anordnen weiterer Kammern, sei dies an der erfindungsgemässen Kammer oder an der er findungsgemässen Kammerkombination noch weiter erhöht wird.

Im weiteren können selbstverständlich anstelle tel lerartiger Werkstückhalterungen, welche sich insbe sondere für die Halterung von scheibenförmigen Werk stücken eignen, andere, wie zangenförmige, vorgesehen werden, insbesondere auch angepasst an die räumliche Gestaltung der zu behandelnden Werkstücke.

Unabhängig davon, ob eine erfindungsgemässe Kammer mit axial und radial verschieblicher Transportanord nung betrachtet wird oder, an einer erfindungsgemäs sen Kammerkombination, eine Transportanordnung mit vorerst nur axial verschieblicher Transportanordnung wird vorgeschlagen, nach dem Wortlaut von Anspruch 10 die Axialbewegung der Transportanordnung zum Ver schliessen der bedienten Oeffnung auszunützen, und zwar je nach erforderter Atmosphärentrennung der durch die betrachtete Oeffnung verbundenen Kammer bis hin zum vakuumdichten Verschliessen.

Bei Vorsehen einer auch radial verschieblichen Trans portanordnung an der erfindungsgemässen Kammer bzw. Kammerkombination wird weiter vorgeschlagen, nach dem Wortlaut von Anspruch 12 vorzugehen, in Analogie zu den Ausführungen betreffend Anspruch 10.

Weitere bevorzugte Ausführungsvarianten von Kammer bzw. Kammerkombination sind in den übrigen Ansprüchen spezifiziert.

Das erfindungsgemässe Verfahren zeichnet sich im wei teren zur Lösung des eingangs genannten Transportpro blems nach dem kennzeichnenden Teil von Anspruch 13 aus.

Die Erfindung wird anschliessend beispielsweise an hand von Figuren erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 schematisch eine teilweise geschnittene Ansicht einer Vakuumbehandlungsanlage, worin in bevorzugter Art und Weise eine erfindungsgemässe Kammer, eine erfin dungsgemässe Kammerkombination und das erfindungsgemässe Transportverfahren realisiert sind,

Fig. 2 vergrössert einen Ausschnitt einer Ue bergabevorrichtung an der Anlage gemäss Fig. 1,

Fig. 3 schematisch und teilweise geschnitten, einen Teil der Anlage gemäss Fig. 1 in Aufsicht,

Fig. 3a schematisch einen Schnitt gemäss Fig. 3 durch eine an der Anlage gemäss Fig. 1 bis 3 angeordnete Aetzkammer zum doppel seitigen Sputtern von scheibenförmigen Werkstücken,

Fig. 4 schematisch und teilweise längsgeschnit ten, eine Karusselltransportkammer mit radial bedienten Kammeröffnungen, als mögliche Kammer an einer erfindungsge mässen Kammerkombination,

Fig. 5 in einer Darstellung analog zu derjeni gen von Fig. 4 eine weitere Ausführungs variante einer Karussellkammer mit ra dial bedienten Kammeröffnungen, als mög liche Kammer an einer erfindungsgemässen Kammerkombination,

Fig. 6 in Darstellung analog zu Fig. 4 eine Ka russellkammer mit axial bedienten Kam meröffnungen, als mögliche Kammer an ei ner erfindungsgemässen Kammerkombina tion,

Fig. 7 eine weitere Ausführungsvariante der Kammer nach Fig. 6,

Fig. 8a-8f Kombinationen verschiedener Kammertypen in Minimalkonfiguration zum Aufbau kom pakter Vakuumbehandlungsanlagen, wobei die Varianten c), d), e), f) erfindungs gemässe Kombinationen zeigen und die Vari ante e) auch eine erfindungsgemässe Kammer beinhaltet.

In den Fig. 1 bis 3 ist eine bevorzugte Anlage, worin die Erfindung integriert ist, schematisch dargestellt. Die Anlage umfasst eine Kammer 1 und eine Kammer 3 sowie eine die Kammern 1, 3 verbindende Zwischenkam mer 3a.

In Kammer 1 zentrisch drehgelagert und mit einem Mo tor 5 gesteuert angetrieben ist ein Transportstern 7 mit, wie beispielswiese gezeigt, sechs Armen 9 vorge sehen. Der Transportstern ist um die Achse A₇ dreh bar. Die zur Achse A₇ parallele Aussenwand 11 der Kammer 1 weist mindestens zwei Oeffnungen 13a und 13b auf, auf welche, durch Drehen des Sterns 7, jeweils die Achse A₉ eines der Arme 9 ausgerichtet wird. Die Arme 9 sind mit (nicht dargestellten) am Transport stern 7 integrierten Antrieben, radial in Richtung ihrer Achsen A₉ linear ausfahrbar bzw. rückholbar. Der Linearantrieb ist vakuumdicht mit Bälgen 15 ge kapselt. Endständig an den Armen 9, d. h. den bezüg lich der Achse A₇ radial beweglichen Armteilen, ist je eine Transportbüchse 17 montiert, welche detail lierter in Fig. 2 schematisch dargestellt ist und die, wie aus dem Vergleich von den Fig. 1 und Fig. 3 erkenntlich, in Richtung parallel zur Achse A₇ we sentlich breiter sind als in Richtung quer dazu, d. h. in Azimutalrichtung.

Entsprechend sind die Oeffnungen 13a bzw. 13b schlitzförmig ausgebildet.

In Richtung der Achse A₇ betrachtet, reitet in jeder Büchse 17, um eine Achse A₁₉ schwenkbar gelagert, eine Transportvorrichtung 18 mit einer Transportzange 19 (Fig. 2), die z. B., wie in Fig. 2 dargestellt, ausge bildet ist. Sie umfasst zwei Zangenarme 19a, 19b, die je an einem Trägerteil 21 um Schwenkachsen 23a, b drehgelagert sind und über Rollen 24 miteinander in Eingriff stehen und (nicht dargestellt) federnd in die in Fig. 2 dargestellte Schliesslage vorgespannt sind. Am Zangenarm 19b ist weiter eine Betätigungsrolle 25 vorgesehen zum Oeffnen bzw. schliessenden Freigeben der Zange.

Wie erwähnt, ist die durch Zange 19 und Trägerteil 21 gebildete Transportvorrichtung 18 schwenkbar an der Büchse 17 gelagert. An einem an der Transportvorrich tung 18 drehfesten Mitnehmerstummel 26 ist ein erster Hebel 28 drehfest angeordnet, der an einem zweiten Hebel 30, in einem Lager 32, drehgelagert ist. Das dem Lager 32 abgewandte Ende des Hebels 30 seiner seits ist über eine Montageplatte 34 am radial fixen Armteil des Armes 9, an einem Lager 36, drehgelagert.

Die bis anhin beschriebene Anordnung arbeitet wie folgt:

Ausgehend von der Schwenklage der Transportanordnung 18 gemäss Fig. 2 in geschlossener Zangenposition, beispielsweise mit einer Werkstückscheibe 40 in der Zange, kann der Transportstern 7 in beliebige Posi tionen um seine Achse A₇ geschwenkt werden. Dabei sind mit den jeweiligen armspezifischen Radialan trieben die Büchsen 17 gegen die Achse A₇ rückge holt.

Soll nun, wie in Fig. 2 dargestellt, eine der Oeff nungen, beispielsweise 13x, bedient werden, so wird die Achse A₉ eines Armes 9 und damit die Schwenkebene der Zange 19 auf die schlitzförmige Oeffnung 13x aus gerichtet. Nun wird mit dem dem betrachteten Arm 9 zugeordneten Antrieb die Büchse 17 gegen die Oeffnung 13x vorgetrieben. Aufgrund der dadurch bewirkten Li nearbewegung von Achse A₁₉ mit dem Mitnehmerstummel 26 wird der erste Hebel 28 um Lager 32 geschwenkt, und da der Hebel 28 drehfest am Stummel 26 sitzt und letzterer drehfest an der Transportvorrichtung 18, wird, wie in Fig. 2 gestrichelt dargestellt, die Transportvorrichtung 18 durch die Oeffnung 13x durch geschwenkt, unter gleichzeitiger Linearverschiebung mit der Büchse 17. Die Büchse 17 ruht dabei an der Aussenwand 11 der Kammer 1 und verschliesst die Oeff nung 13x, je nach Anforderung an die Trennung der beiden Kammern 1 und 3, vorzugsweise dicht, gegebe nenfalls vakuumdicht.

Wie in Fig. 2 ersichtlich, verbleibt die Büchse 17 in der Kammer 1, während die durch die Zange 19 gebilde te Werkstückhalterung, durch die Oeffnung 13x hin durch, vollständig in die Kammer 3 bzw. 3a geschwenkt wird.

In Fig. 2 ist für die benötigte Schwenkbewegung der Transportvorrichtung 18 ein unnötig langer Linearhub der Büchse 17 dargestellt. Wie der Fachmann aber ohne weiteres erkennt, zusätzlich unter Betrachtung der Darstellung gemäss Fig. 2a, kann durch Verringerung der Länge des Hebels 28 zwischen Achse A₁₉ und An lenklager 32 dieselbe Schwenkbewegung des Trägerteils 21 und damit der Transportvorrichtung 18 mit einem wesentlich geringeren linearen Hub H realisiert wer den.

Damit kann mit praktisch beliebig kleinem linearen Hub H und entsprechender Minimalisierung der hierzu vorzusehenden Antriebs- und Abdichtungsorgane die er wünschte Schwenkbewegung realisiert werden und mit ihr, aufgrund des Schwenkradius des Werkstückes 40 um Achse A₁₉, der erwünschte Hub durch Oeffnung 13x.

In Kammer 3 bzw. 3a ist, wie in Fig. 2 schematisch dargestellt, ein Stössel 42 angeordnet, dessen end ständige Rolle 43 durch Eingriffnahme auf die Rolle 25 an der Zange 19 gesteuert, die Zange öffnet, zur Freigabe des Werkstückes 40.

In der bevorzugten, in den Fig. 1 bis 3 dargestellten Ausführungsform ist zwischen Kammer 1 und Kammer 3 die Zwischenschleusenkammer 3a vorgesehen. Ihre Funk tion wird aus der folgenden Beschreibung ohne weite res ersichtlich werden, welche sich nun der Kammer 3 zuwendet.

Wie insbesondere aus Fig. 3 ersichtlich, umfasst die Kammer 3 einen Transportstern 43 mit um die Achse A₄₃ mittels eines Motors 47 drehgetriebenen Radialarmen 45, an welchen parallel zur Achse A₄₃, wie darge stellt, beispielsweise vier axiale Arme 49 aufragen. Endständig tragen die Arme 49 die Transportteller 51 mit, (nicht dargestellt), z. B. mechanischen, pneuma tischen oder magnetischen Halterungen für Werkstücke, sofern die Achse A₄₃ nicht vertikal steht. Die Teller 51 sind mit den Armen 49 je zugeordneter Bälge 53 ge kapselten Antrieben linear und parallel zur Achse A₄₃ ausfahrbar bzw. rückholbar.

Die Kammer 3 weist, ausgerichtet auf den durch die Teller 51 bei Drehen um die Achse A₄₃ durchlaufenen Kreisring, wie dargestellt, beispielsweise zwei Oeff nungen 55a und 55b auf. Die Teller 51 sind so ausge bildet, dass sie gegen eine jeweilige Oeffnung 55 ausgefahren, mit (nicht dargestellten) Dichtungsorga nen die Oeffnung verschliessen, dicht bzw. vakuum dicht. Wie bereits an den Büchsen 17 zur Wand 11 von Kammer 1 können hierzu Spaltdichtungen ausreichen, falls ein vakuumdichter Verschluss nicht notwendig ist. Im weiteren ragen die Teller 51 axial über die Berandungspartien 56 der Oeffnung 55 aus der Kammer 3 hinaus, wogegen sich, in ausgefahrenem Zustand, die Teller 51 verschliessend anlegen.

Es seien nun vorerst die Verhältnisse an der Oeffnung 55a betrachtet, welche mit der Oeffnung 13a über die Zwischenschleusenkammer 3a kommuniziert. Wenn gemäss Fig. 3 mittels der Transportvorrichtung 18 ein schei benförmiges Werkstück 40 in die in Fig. 2 gestrichelt dargestellte Position geschwenkt worden ist, legt sich die Büchse 17 in gefordertem Ausmasse dichtend an die Umrandung der Oeffnung 13a kammer-1-seitig. Durch gesteuertes axiales Ausfahren des der Oeffnung 55a dann zugeordneten Armes 49 in Kammer 3 wird der Teller 51 in gefordertem Masse dicht an die Oeff nungsberandung 56 gelegt und übernimmt, beispielswei se magnetisch, pneumatisch, mechanisch oder schwer kraftgetrieben das Werkstück 40, welches durch Betä tigung des Stössels 42 gemäss Fig. 2 von der Zange 19 freigegeben wird. Nun kann der betrachtete Arm 49 rückgeholt werden.

Die Kammer 3a kann, wie bei 57 schematisch darge stellt, separat gepumpt werden, ebenso wie die Kam mern 1 und/oder 3.

Der Werkstücktransport durch die Zwischenschleusen kammer 3a erfolgt mithin wie folgt:

- In gefordertem Ausmass, dichtes Verschliessen der Oeffnung 13a durch die Büchse 17, Zange 19 leer; Einschwenken eines Armes 49 mit Werkstück am Teller 51 in Oeffnungsbereich der Oeffnung 55a; axiales Vorschieben des Tellers 5 mit dem Werkstück 40 und in gefordertem Umfang, dichtes Verschliessen der Oeffnung 55a durch Teller 51; gegebenenfalls Abpumpen der Zwischenschleusen kammer 3a; Uebernahme des Werkstückes durch Zange 19; Rückschwenken der Transportvorrich tung 18 mit gleichzeitigem Lösen der Büchse 17 von der Berandung der Oeffnung 13x; oder
- Leerer Teller 51 verschliesst in gefordertem Ausmass dicht Oeffnung 55a; Einschwenken eines Armes 9 mit Büchse 17 und Werkstück 40 an Zange 19 über Oeffnung 13a; Ausschwenken der Zange 19 mit dem Werkstück, unter gleichzeitig in gefor dertem Umfang dichtem Verschliessen der Oeff nung 13a durch Büchse 17; Uebernahme des Werk stückes magnetisch, pneumatisch, mechanisch oder schwerkraftgetrieben, durch Teller 51 in Oeffnung 55a; Abpumpen der Zwischenschleusen kammer 3a durch Pumpe 57; Rückholen des Tellers 51 und Weiterdrehen des Transportsternes 43.

Aus dieser Beschreibung ist ohne weiteres ersicht lich, dass die Kammer 3a als Zwischenschleusenkammer wirken kann, die separat pumpbar ist oder welche auf grund ihres nur sehr geringen Volumens allein genü gende Atmosphärentrennung zwischen den Kammern 1 und 3 gewährleistet. Muss keine Zwischenschleusenkammer 3a vorgesehen werden, so kann die Werkstückübernahme in dargestellter Art und Weise in der Kammer 3 direkt erfolgen, ohne dass die Teller 51 an der Uebergabe öffnung eine Dichtfunktion ausüben würden. Im darge stellten Ausführungsbeispiel wirkt, an der Uebergabe verbindung 13a, 55a der Teller 51 als das eine Schleusenventil, die Büchse 17 als das andere.

Beim dargestellten bevorzugten Ausführungsbeispiel ist weiter die Oeffnung 55b als Eingabe/Ausgabe- Schleuse ausgebildet. Hierzu ist ein vakuumdicht schliessbarer Deckel 57, z. B. gegen Normal-Atmosphäre vorgesehen, als ein Schleusenventil, und es wirkt der momentan auf die Oeffnung 55b ausgerichtete Teller 51 als zweites Schleusenventil.

Trotz des höchst geringen Volumens auch dieser Schleusenkammer kann gegebenenfalls, wie bei 57 dar gestellt, auch hier eine Pumpe 57 angeschlossen sein, zum separaten Pumpen dieser Schleusenkammer.

Wie bereits erwähnt wurde, wird die Oeffnung 13b der Kammer 1 durch Büchse 17 und Transportvorrichtung 18, wie aus Fig. 1 ersichtlich, gleich bedient, wie die vorbeschriebene Oeffnung 13a besagter Kammer 1.

Ausserhalb der Kammer 1 ist an dieser Oeffnung 13b, beispielsweise eine Behandlungskammer, wie eine Aetz- oder Beschichtungskammer 52 angeordnet. Aufgrund der Tatsache, dass das Werkstück 40 mit der Zange 19 so gehaltert und in die Behandlungskammer 52 einge schwenkt wird, dass es praktisch allseitig durch die Halterung an der Zange unabgedeckt bleibt, ist es möglich, an einer solchen Behandlungsstation 52 das Werkstück rundum, insbesondere gleichzeitig auf sei nen beiden Scheibenflächen gleichzeitig zu bearbei ten, wie beispielsweise durch beidseitiges Anordnen von Elektroden zum Plasmaätzen beider genannter Flä chen und/oder von Magnetronzerstäubungsquellen zu de ren Beschichtung.

In Fig. 3a ist, geschnitten in Aufsicht und schema tisch, die eine Ausbildungsvariante der Kammer 52 dargestellt, mit zwei unabhängigen Sputterquellen 53a und 53b sowie Schirmblechen 55. Das scheibenförmige Werkstück 40 ist zwischen die Quellen 53a und b ein geklappt und wird beidseitig durch die Quellen 53a, b behandelt.

An einer derartigen Kammer kann z. B. auch eine gleichzeitige, beidseitige Beschichtung von Werkstüc ken vorgenommen werden, wie sie aus der DE-PS-39 31 713 bekannt ist.

Es seien nun im folgenden prinzipiell verschiedene Kammertypen betrachtet, bei denen alle transportier ten Werkstücke um eine Drehachse, bezüglich der Werk stücke versetzt, gedreht werden. Es sei weiter eine Fallunterscheidung vorgenommen, nämlich dahingehend, ob die Werkstücke zusätzlich in Radialrichtung, in Axialrichtung oder kombiniert, in radialer und axia ler Richtung verschoben werden können.

1. Drehtransportkammer, worin Werkstücke einzeln drehtransportiert und radial bezüglich der Drehachse verschoben werden:
Eine solche Kammer bildet Kammer 1 gemäss Fig. 1, worin die Werkstücke 40, insbesondere durch den Linearantrieb der Arme 9 einzeln radial ge gen die Oeffnungen 13 verschoben werden.
2. Drehtransportkammern, bei denen alle Werkstücke auf einem Drehkarussell angeordnet sind und be züglich der Karusselldrehachse radial einzeln verschoben werden.
Eine solche Kammer ist schematisch in den Fig. 4 und 5 dargestellt. In einer Kammer 120 ist, um eine Achse A₁₂₄ getrieben drehbeweglich ge lagert, entsprechend ω₁, ein Karussell 124 ge lagert, woran, in Halterungen 125, Werkstücke, beispielsweise scheibenförmige Werkstücke 126 der oben genannten Art, gelagert sind. Koaxial zur Achse A₁₂₄ ist, bezüglich der Kammer 120 drehfest gelagert, mindestens ein auf eine Oeffnung 122 in der Kammer 120 ausgerichteter, radial bezüglich der Achse A₁₂₄ verschieblicher Stössel 128 vorgesehen, mit dessen Hilfe ein mit dem Karussell jeweils in Ausrichtung mit einer der zu bedienenden Oeffnungen 122 ge brachtes Werkstück 126 aus der Oeffnung 122 herausgeschoben oder durch die Oeffnung 122 auf das Karussell 124 rückgeholt wird. Gegebenen falls kann das oder können die radial verschie blichen Stössel 128, wie bei ω_2a dargestellt, mit einem gestrichelt angedeuteten, separaten Drehantrieb 124 _m unabhängig vom Karussell 124 drehgetrieben werden.
Bei der Ausführungsvariante, wie sie schema tisch in Fig. 5 dargestellt ist, trägt das Ka russell 124 die scheibenförmigen Werkstücke 126, so dass ihre Scheibenflächen in Ebenen senkrecht zur Drehachse A₁₂₄ drehgefördert wer den. Entsprechend sind die Stössel 128 ausge bildet und sind, analog zu den Ausführungen zu Fig. 4, drehfest oder unabhängig vom Karussell 124 in der Kammer 120 drehgetrieben gelagert. Sie bedienen hier radial schlitzförmige Oeff nungen 122a der Kammer 120. Der Antrieb des Ka russells 124 kann beispielsweise, wie bei P schematisch dargestellt ist, hier peripher am Rande des Karussells 124 erfolgen.
3. Drehtransportkammern, worin die Werkstücke ei nerseits um eine Achse bezüglich der Werkstücke versetzt, drehtransportiert werden, und zudem einzeln in Richtung parallel zur Drehachse ge fördert werden.
Eine solche Kammer ist durch Kammer 3 von Fig. 1 gebildet. Darin werden die Werkstücke mit Hilfe der axial ausfahrbaren und rückholbaren Arme 49, parallel zur Drehachse A₄₃, axial be wegt.
4. Drehtransportkammern, bei denen ebenfalls eine axiale Werkstückbewegung, wie bei den Kammern des Typs 3 erfolgt, aber zusätzlich eine we sentlich höhere Anzahl Werkstücke auf einem Ka russell drehgefördert werden als Axial-Ver schiebungsorgane für die Werkstücke vorgesehen sind.
Gemäss den Fig. 6, 7 weist eine solche Kammer 60 zur Drehachse A₁₂₄ drehgetrieben gelagert, ein Karussell 124 auf, woran bespielsweise scheibenförmige Werkstücke 126 mit ihren Schei benflächen in der Drehebene um die Achse A₁₂₄ gelagert sind. Ausgerichtet auf mindestens eine Oeffnung 122 an der Kammer 60, ist ein parallel zur Achse A₁₂₄ ausfahrbarer bzw. rückholbarer Stössel 128 fest am Gehäuse der Kammer 60 mon tiert und greift bei auf die Oeffnung 122 drehausgerichtetem Werkstück 126 durch eine Be dienungsöffnung 130 am Karussell 124 durch und hebt, axial bezüglich Achse A₁₂₄, das Werkstück 126 zur Oeffnung 122 hin bzw. holt ein solches von der Oeffnung 122 zurück auf das Karussell 124.
Während in Fig. 6 der oder die Stössel 128, wie erwähnt, ortsfest am Gehäuse der Kammer 60 mon tiert sind, sind sie gemäss Fig. 7 und in Ana logie zur einen Ausführungsvariante von Fig. 4 mit einem separaten Drehantrieb 124 _m zur Achse A₁₂₄ getrieben drehbar, unabhängig von der Drehbewegung des Karussells 124 um dieselbe Achse. Bei einer weiteren Variante dieses Kam mertyps kann der Axialhub durch das Karussell selbst ausgeführt werden.
5. Drehtransportkammern des Typs, bei denen die Werkstücke um eine Drehachse drehbewegt werden, zudem bezüglich dieser Achse je einzeln axial verschoben und zudem bezüglich der erwähnten Achse je einzeln auch radial verschoben wer den. Eine solche Kammer ist durch Kammer 1 der Fig. 1 und 3 gebildet, zusammen betrachtet mit der Transportvorrichtung 18. Werkstücke werden einerseits um die Achse A₄₃ gedreht, zusätzlich durch den axialen Linearantrieb der Arme 49 axial bewegt und werden durch Wirkung der Transportvorrichtung 18 bezüglich der Achse A₄₃ auch radial verschoben. Insbesondere bei der letzterwähnten Kammer, wo die Werkstücke bezüg lich der erwähnten Drehachse sowohl axial wie auch radial verschoben werden, also in einer Ebene, welche die Drehachse wie A₁₂₄ beinhal tet, eignet sich das Vorsehen einer Schwenk transporteinrichtung, wie sie durch die Trans portvorrichtung 18 in der Ausführungsvariante gemäss den Fig. 1 bis 3 realisiert ist, ausge zeichnet.

Selbstverständlich lässt sich die Realisation eines radialen und axialen Werkstücktransportes bezüglich der erwähnten Drehachse auch an einer Karussellkonstruktion realisieren, wenn auch mit grösserem Konstruktionsaufwand.

Es soll nun nachfolgend erläutert werden, an hand von Fig. 8, wie diese Kammertypen zu Kam merkombinationen mit mindestens zwei Kammern kombiniert werden können, zum Aufzeigen, wie flexibel solche Kammern zum Aufbau gesamter Va kuumbearbeitungsanlagen zusammengestellt werden können. An den oben erwähnten Kammertypen, de nen allen gemeinsam ist, dass die Werkstücke um eine Drehachse in der Kammer drehtransportiert werden, treten für den Aufbau von Gesamtanlagen gegebenenfalls noch weitere Kammertypen hinzu.

Um im folgenden auch kurz auf die jeweiligen Kammertypen Bezug nehmen zu können, seien fol gende Definitionen verwendet:

a) EASK: Schleusenkammern, womit Werk stücke in beiden Richtungen durchge schleust werden.
b) ESK: Schleusenkammern, an welchen Werkstücke nur in einer Richtung durchtransportiert werden.
c) BEAK: Bearbeitungskammern, worin Werkstücke oberflächenbehandelt wer den, beispielsweise geätzt oder be schichtet werden.
d) RADK: Radial bedienende Drehstern kammern des Typs 1, wie in den Fig. 1 bis 3 durch Kammer 1 dargestellt.
e) RAKAK: Radial bedienende Karussell kammern des Typs 2, wie in den Fig. 4 bzw. 5 schematisch dargestellt.
f) AXDK: Axial bedienende Drehsternkam mern des Typs 3, wie durch Kammer 3 in den Fig. 1 bis 3 dargestellt.
g) AXKAK: Axial bedienende Karussell kammern des Typs 4, wie in den Fig. 6 bzw. 7 schematisch dargestellt.
h) AXRADK: Drehsternkammern, welche so wohl eine axiale, wie auch eine ra diale Bedienung erlauben, des Typs 5, wie durch Kammer 3 mit Vorrich tung in den Fig. 1 bis 3 dargestellt ist.
i) TR: Weitere Transportkammern mit zwei Kammeröffnungen, wozwischen in irgendeiner z. B. bekannten Art und Weise Werkstücke transportiert wer den.

In Fig. 8a sind zwei RADK-Kammern 62 kombiniert, mit je einem drehgetriebenen, mindestens einarmigen, ra dial bedienenden Drehstern 63, womit einerseits die Verbindungsöffnung 65 zwischen den beiden Kammern 62 mit Werkstücken 67 bedient wird, anderseits weitere Oeffnungen 69, woran beliebige weitere Kammern der Typen a) bis i) angeordnet werden können.

In dieser Konfiguration sind die Drehachsen der Transportsterne 63 parallel, und es wird bezüglich der gezeigten zwei Kammern 62 im wesentlichen in ei ner Ebene senkrecht zu den erwähnten Drehachsen transportiert.

Mit den radial verschieblichen Drehsternarmen können, je nach Erfordernis, die damit bedienten Oeffnungen 65 bzw. 69 dicht bzw. vakuumdicht verschlossen wer den.

Gemäss Fig. 8b wirkt eine radial bedienende Dreh sternkammer 62 RADK zusammen mit einer radial bedie nenden Karussellkammer RAKAK. Diese weist ein um eine Achse drehgetriebenes Karussell 71 auf mit Werk stückaufnahmen 73 für die Werkstücke 67 und bedient einerseits die gemeinsame Oeffnung 65, anderseits mindestens eine weitere Oeffnung 69. In der RAKAK- Kammer 72 sind, im dargestellten Beispiel drehfest, radial verschiebliche Stössel 75 vorgesehen, welche Werkstücke 67 aus den Aufnahmen 73 am Karussell zu den jeweiligen Oeffnungen 65, 69 fördern bzw. rückho len. Auch hier werden die Werkstücke in einer Ebene senkrecht zu den Drehachsen des Drehsternes 63 bzw. des Karussells 71 gefördert. Die Oeffnungen 69 bzw. 65 werden durch Wirkung der Arme des Drehsterns 63 bzw. durch die der Stössel 75, je nach Erfordernis sen, dicht oder vakuumdicht verschlossen. An den Oeffnungen 69 können auch hier weitere Kammern der Typen a) bis i) angeordnet werden.

Ohne weiteres ist nun ersichtlich, dass eine Dreh sternkammer 62 gemäss Fig. 8b durch eine zweite ra dial bedienende Karussellkammer RAKAK 72 ersetzt wer den kann, womit eine Kammerkombination aus zwei RA KAK-Kammern gebildet wird, analog zu der in Fig. 5a für Drehsternkammern dargestellten Konfiguration.

In Fig. 8c ist eine radial bedienende Drehsternkammer RADK 62 mit einer axial bedienenden Drehsternkammer AXDK 80 kombiniert. Letztere weist einen Drehstern 81 auf, woran axial getrieben verschiebliche Stössel 82 angeordnet sind. Durch die radial verschieblichen Ar me des Drehsterns 63 und die axial verschieblichen Stössel 82 am Drehstern 81 wird die Kammeröffnung 65 bedient, durch die entsprechenden Drehsterne 63 bzw. 81 weitere Oeffnungen 69 an den Kammern 80 bzw. 62, woran weitere Kammern der Typen a) bis i) angebracht werden können. Wie ersichtlich, wird hier ein Werk stücktransport in zwei aufeinander senkrechten Ebenen realisiert. Sowohl die Arme des Drehsternes 63 wie auch die Stössel des Drehsternes 81 können, je nach Erfordernissen, die Oeffnung 65 bzw. die Oeffnungen 69 dicht, gegebenenfalls vakuumdicht verschliessen.

Dass in Fig. 8c anstelle einer radial wirkenden Dreh sternkammer RADK 62 eine ebenso wirkende Karussell kammer RAKAK 72 angeordnet werden kann, ergibt sich ohne weiteres.

Anstelle der axial wirkenden Drehsternkammern AXDK 80 von Fig. 8c ist in Fig. 8d eine axial wirkende Karus sellkammer AXKAK 85 vorgesehen. Sie umfasst ein bei spielsweise scheibenförmiges Karussell 87 mit Werk stückaufnahmen 89. Axial verschiebliche Stössel 88, ausgerichtet auf die Oeffnung 65. bzw. die Oeffnungen 69, heben Werkstücke in den Werkstückhalterungen 89 aus dem Karussell zu den genannten Oeffnungen bzw. holen diese in die Halterungen 89 zurück. Auch hier erfolgt der Werkstücktransport in zwei senkrechten Ebenen. Die Arme des Drehsternes 63 bzw. die Stössel 88 können, je nach Erfordernis, die Oeffnungen 65 bzw. 69 dicht bzw. vakuumdicht, verschliessen. Auch hier können an die Oeffnungen 69 weitere Kammern der Typen a) bis i) angeschlossen werden.

Es ergibt sich aus Fig. 8e ohne weiteres, dass die radial wirkende Drehsternkammer RADK 62 durch eine radial wirkende Karussellkammer RAKAK 72 gemäss Fig. 8b ersetzt werden kann.

In Fig. 8e ist eine Konfiguration dargestellt, beste hend aus einer radial wirkenden Drehsternkammer RADK 62 und einer axial und radial wirkenden Drehsternkam mer AXRADK 90. Letztere weist einen Drehstern 91 auf, der einerseits radial ausfahrbare Arme 93 umfasst, woran axial ausfahrbare bzw. rückholbare Stössel 95 gelagert sind.

Vergleicht man diese Ausführungsform mit derjenigen von Fig. 8c, wo nur axial verschiebliche Stössel 82 vorgesehen sind, so wird ein wesentlicher Vorteil der Konfiguration nach Fig. 8e ersichtlich. Während die Kammer 80 von Fig. 8c in ihrem Durchmesser bezüglich der Drehachse des Sterns 81 nämlich so bemessen wer den muss, dass die Oeffnung 65 durch axiales Ver schieben der Stössel 82 bedienbar ist, kann bei der Ausführungsvariante nach Fig. 8e der Durchmesser der Kammer 90 bezüglich der Drehachse des Sterns 91 nur so gross gewählt werden, dass die Oeffnungen 69 be dienbar sind. Nur in beispielsweise einer Drehposi tion des Drehsternes 91 kann der entsprechende Arm 93 radial ausgefahren werden, um durch anschliessendes Axialverschieben Oeffnung 65 zu bedienen. Damit er gibt sich, wie gestrichelt bei 97 dargestellt ist, die Möglichkeit, die Oeffnung 65 über eine Zwischen kammer zu bedienen, welche den Durchmesser der Kammer 90 bezüglich der Drehachse des Sternes 91 nur, wie erwähnt, in einer Winkelposition auskragen lässt.

Bezüglich des dichten Verschliessens der Oeffnungen 69 bzw. 65 gilt das bezüglich der Fig. 8a bis d Aus geführte. Im weiteren sei betont, dass die Realisa tion der Axial- und Radialtransportverschiebungen an der Kammer 90 in unterschiedlichen Varianten möglich ist, so auch durch Einbezug zusätzlicher Transport mittel, wie er beispielsweise und vorzugsweise durch die Schwenktransportvorrichtung 18 in der Ausfüh rungsvariante gemäß den Fig. 1 bis 3 realisiert ist.

Dass an der Ausführungsvariante gemäss Fig. 8e an stelle einer radial wirkenden Drehsternkammer RADK 62 eine radial wirkende Karussellkammer RAKAK 72 gemäss Fig. 8b vorgesehen werden kann, ist ohne weiteres er sichtlich.

In Fig. 8f ist die Kombination aus zwei axial bedie nenden Drehsternkammern AXDK 80 dargestellt. Die Funktionsweise ist ohne weiteres ersichtlich. Gestri chelt dargestellt ist weiter, dass axial verschiebli che Stössel 82 in Paaren 82a und 82b angeordnet wer den können, so dass mit solchen Stösseln, mit dem gleichen Drehstern, zweiseitig der Drehebene angeord nete Oeffnungen 69 bedient werden können. Dieselbe Technik kann selbstverständlich auch gemäss Fig. 8e für Drehsterne AXRADK mit Radial- und Axialvorschub realisiert werden.

Anstelle einer der AXDK-Kammern 80 eine AXRADK-Kammer 85 gemäss Fig. 8d vorzusehen, ist an der Anordnung von Fig. 8f, wie ohne weiteres ersichtlich, problem los möglich. Ebenso wird nun ersichtlich, dass das Koppeln zweier Kammern AXKAK gemäss Kammer 85 von Fig. 8d ohne weiteres möglich ist. Auch das Vorsehen einer Kammer AXRADK 90 gemäss Fig. 8e an einer AXDK- Kammer 80 gemäss beispielsweise Fig. 8c ist ohne wei teres möglich. Ebenso die Kombination einer AXKAK- Kammer 85 gemäss Fig. 8d mit einer AXRADK-Kammer 90 gemäss Fig. 8e.

Sollen bei den erwähnten und beschriebenen Kammerkom binationen jeweils die einzelnen Kammern für sich konditioniert werden können, so versteht sich von selbst, dass jeweils Pumpanschlüsse und gegebenen falls Gaseinlässe vorgesehen werden, je zu den ein zelnen Kammern.

Durch die beschriebenen Kammerkombinationen können extrem kompakte Gesamtanlagen modular zusammenge stellt werden mit optimal kurzem Transportweg und kurzen Transportzyklen.

Das beschriebene Vorgehen bzw. die beschriebene Anla ge eignen sich insbesondere für die Behandlung von Magnetspeicherplatten, wie beispielsweise CD's oder Hard-Discs.

Claims

1. Vakuumkammer für den Transport von Werkstücken in einer Vakuumanlage,
mit mindestens einer in der Wand der Kammer (90) vorgese henen Öffnung (65, 69) für den Durchtransport oder die Behand lung der Werkstücke;
einer in der Kammer (90) angeordneten, um eine Drehachse drehbaren Transporteinrichtung (91), die mindestens zwei von der Drehachse beabstandete Werkstückaufnahmen für je ein Werk stück aufweist;
einem Drehantrieb für die Transporteinrichtung (91) der art, daß durch Drehen der Transporteinrichtung (91) jede Werk stückaufnahme wahlweise auf eine Öffnung (65, 69) ausrichtbar ist,
gekennzeichnet durch eine an der Transporteinrichtung (91) an geordnete Vorschubeinrichtung (93), mit der nach Ausrichtung einer Werkstückaufnahme auf eine Öffnung (65, 69) das betref fende Werkstück, unabhängig von einem an einer anderen Werk stückaufnahme vorgesehenen Werkstück, zu der Öffnung (65, 69) hin verschiebbar ist,
wobei die Vorschubeinrichtung einen ersten Vorschubantrieb mit bezüglich der Drehachse radialer Verschieberichtung und einen getrennt davon ansteuerbaren zweiten Vorschubantrieb mit zur Drehachse paralleler Verschieberichtung aufweist.

2. Vakuumkammer für den Transport von Werkstücken in einer Vakuumanlage,
mit mindestens zwei in der Wand der Kammer (120, 72) vor gesehenen Öffnungen (122, 69) für den Durchtransport oder die Behandlung der Werkstücke;
einer in der Kammer (120, 72) angeordneten, um eine Drehachse (A₁₂₄) drehbar gelagerten ersten Transporteinrich tung (124, 71), die mindestens eine von der Drehachse (A₁₂₄) beabstandete Werkstückaufnahme (125, 75) für ein Werkstück (126) aufweist,
einen Drehantrieb für die erste Transporteinrichtung (124, 71), derart, daß durch Drehen der ersten Transporteinrichtung die Werkstückaufnahme (125, 75) wahlweise auf eine Öffnung (122, 69) ausrichtbar ist,
gekennzeichnet durch eine zweite Transporteinrichtung, die ko axial zur ersten angeordnet ist, mit einer daran vorgesehenen Vorschubeinrichtung (128), mit der, nach Ausrichtung einer Werkstückaufnahme (125, 75) der ersten Transporteinrichtung (124, 71) auf eine Öffnung (122, 69) das betreffende Werkstück (126, 67) zu der Öffnung verschiebbar ist,
wobei die zweite Transporteinrichtung (128) unabhängig von der ersten Transporteinrichtung (124, 71) mittels eines Dreh antriebs (124m) um die Drehachse (A₁₂₄) drehbar gelagert und durch Drehen um die Drehachse (A₁₂₄) auf eine der Öffnungen (122, 69) ausrichtbar ist.

3. Vakuumkammeranordnung für den Transport von Werkstücken in einer Vakuumanlage,
mit einer ersten Vakuumkammer (1, 62) und einer zweiten Vakuumkammer (3, 80, 90) in deren Wandung je eine Durchreich öffnung (13a, 55a, 65) für die Werkstücke vorgesehen ist und die über die Durchreichöffnung (13a, 55a, 65) miteinander di rekt oder über eine Zwischenkammer (3a) verbunden sind,
je einer in der ersten und zweiten Vakuumkammer angeordne ten, um je eine Drehachse (A₇, A₄₃) drehbaren Transportein richtung (7, 43, 63, 71, 81, 87, 91), von denen jede minde stens eine von ihrer Drehachse beabstandete Werstückaufnahme für je ein Werkstück aufweist,
je einem Drehantrieb (5, 47) für jede Transporteinrichtung derart, daß durch Drehen der Transporteinrichtung deren Werk stückaufnahme auf die Durchreichöffnung ausrichtbar ist,
und je einer jeder Transporteinrichtung zugeordneten Vor schubeinrichtung (9, 53), mit der nach Ausrichtung einer Werk stückaufnahme auf eine Durchreichöffnung das betreffende Werk stück zur Durchreichöffnung hin bzw. von ihr weg bewegbar ist,
dadurch gekennzeichnet, daß die Vorschubeinrichtungen (9, 53) in den beiden Kammern mit Übergabeorganen (19, 55) ver sehen und so ausgebildet sind, daß bei Ausrichtung auf die gleiche Durchreichöffnung das von der Vorschubeinrichtung (9) der einen Kammer (1) zur Durchreichöffnung hin bewegte Werk stück von der Vorschubeinrichtung (53) der anderen Kammer (62) an der Durchreichöffnung übernehmbar ist.

4. Kammeranordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine der Vakuumkammern eine nach Anspruch 1 oder Anspruch 2 ausgebildete Vakuumkammer ist.

5. Kammer bzw. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorschubeinrichtung einen oder mehrere Linearantriebe aufweist.

6. Kammer bzw. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorschubeinrichtungsantrieb balggekapselt (15, 53) ist.

7. Kammer bzw. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die bzw. eine der Transportein richtungen (91, 128, 43) mindestens einen zur zugehörigen Drehachse (A₄₃) versetzten, achsparallelen Arm (49) umfaßt, woran ein Ende eine vorzugsweise tellerartige Werkstück aufnahme aufweist.

8. Kammer bzw. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine der Öffnungen (69, 122, 55a) an der bzw. an einer der Kammern eine zur Drehachse der Transporteinrichtung in dieser Kammer (80, 90) achspa rallele Flächennormale hat.

9. Kammer bzw. Anordnung nach einem der Ansprüche 2 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine der Öffnungen (65, 13a, 69) an der bzw. an einer der Kammern eine zur Drehachse der Transporteinrichtung in dieser Kammer (62) senkrechte Flächennormale hat.

10. Kammer bzw. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die oder mindestens eine der Vor schubeinrichtungen eine Dichtungsanordnung, vorzugsweise in Form einer tellerartigen Werkstückaufnahme (51, 95) umfaßt, die nach Ausrichtung auf eine der Öffnungen und Ausfahren ge gen diese Öffnung die Öffnung vorzugsweise vakuumdicht ver schließt.

11. Kammer bzw. Anordnung nach Anspruch 10, dadurch gekenn zeichnet, daß mindestens eine der Öffnungen eine Schleusenkam mer bildet.

12. Kammer bzw. Anordnung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die jeder Transporteinrichtung zugeordnete Vorschubeinrichtung eine Dichtungsanordnung, vorzugsweise in Form einer tellerar tigen Werkstückaufnahme umfaßt.

13. Verfahren zum Transportieren eines Werkstückes, insbe sondere eines kreisscheibenförmigen Werkstückes wie einer Speicherplatte, innerhalb einer Vakuumbehandlungsanlage, wobei das Werkstück auf einer fest vorgegebenen Kreisbahn um eine feste Achse geschwenkt wird und zumindest in einer Richtung parallel zu der Achse aus der Kreisbahn verschoben wird und in zumindest einer Richtung radial zu der Achse aus der Kreisbahn verschoben wird, wobei die Verschiebungen unabhängig voneinander steuerbar sind.