DE4235674A1 - Kammer für den Transport von Werkstücken in Vakuumatmosphäre, Kammerkombination und Verfahren zum Transportieren eines Werkstückes - Google Patents

Kammer für den Transport von Werkstücken in Vakuumatmosphäre, Kammerkombination und Verfahren zum Transportieren eines Werkstückes

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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Kammer nach dem Oberbegriff von Anspruch 1, weiter eine Kammer­ kombination mit einer derartigen Kammer nach dem Oberbegriff von Anspruch 2 und ein Transportverfahren nach demjenigen von Anspruch 17.
Scheibenförmige Werkstücke, wie Speicherplatten, z. B. magnetische Speicherplatten oder magneto-optische Speicherplatten, in einer Kammer mittels einer um ei­ ne Achse schwenkbaren Transporteinrichtung in Aus­ richtung zu Öffnungen der Kammer zu transportieren, um die Werkstücke, einmal auf entsprechende Öffnungen ausgerichtet, einer Oberflächenbehandlung, wie einem nicht reaktiven oder reaktiven Vakuumprozeß, z. B. einem Ätzprozeß oder einem Beschichtungspro­ zeß mit oder ohne Glimmentladungsunterstützung, aus­ zusetzen oder um ein Werkstück durch eine solche Öffnung ein- oder auszuschleusen, ist bekannt. Es kann hier beispielsweise auf die US-PS 3 856 654, die DE-PS 24 54 544, die DE-OS 39 12 295, 40 09 603, 37 16 498 und die EP-A 0 389 820 hingewiesen werden.
Bei den daraus bekannten Transportkammern werden die Werkstücke von der Transporteinrichtung oder ab der Transporteinrichtung, parallel zu deren Drehachse, d. h. axial, den Kammeröffnungen zugespiesen.
Bei der Auslegung einer solchen Transportkammer, in­ nerhalb welcher, wie erwähnt, die Werkstücke auf ei­ ner um eine Achse drehenden Transporteinrichtung transportiert werden, um diesbezüglich axial, in vor­ gegebenen Winkelpositionen der Transporteinrichtung zu den oder von den Öffnungen der Kammer bewegt zu werden, ergibt sich eine Wechselbeziehung zwischen der in Axialrichtung gemessenen Tiefe einer solchen Kammer und des möglichen Axialhubes. Soll nämlich die Kammer, worin die schwenkbare Transporteinrichtung vorgesehen ist, inklusive zusätzlicher, axial ange­ ordneter Aggregate, flach ausgebildet werden, so bleibt der mögliche Axialhub gering. Analog wird die Gesamtbauhöhe einer solchen Kammer dann groß, wenn namhafte Hubwege realisiert werden sollen. Dabei ist zu bedenken, daß bei Ausbildung der Transportein­ richtung so, daß möglichst viele Werkstücke gleich­ zeitig in der Kammer mit ihr transportiert werden, dies allein die radiale Ausdehnung der Kammer fest­ legt und deren Axialausdehnung die Anzahl gleichzei­ tig transportierbarer Werkstücke nicht beeinflußt.
Im weiteren ist man bei dieser Auslegung von Trans­ portkammern darauf beschränkt, Öffnungen und damit zusätzlich vorsehbare Kammern nur vis-à-vis der Transportbahn vorsehen zu können, entlang welcher die Werkstücke mit der schwenkbaren Transporteinrichtung gefördert werden.
Die vorliegende Erfindung setzt sich unter einem er­ sten Aspekt zum Ziel, eine Kammer eingangs genannter Art zu schaffen, bei der diese Nachteile behoben sind.
Hierzu zeichnet sich die erfindungsgemäße Kammer nach dem kennzeichnenden Teil von Anspruch 1 aus.
Dadurch, daß nämlich eine Transportanordnung vorge­ sehen ist, die zusätzlich zur Schwenkbewegung der be­ kannten Transporteinrichtung sowohl parallel zur Ach­ se getrieben linear verschieblich ist sowie, bezüg­ lich dieser Achse, auch radial, wird erreicht, daß einerseits Kammeröffnungen nicht mehr vis-à-vis der Transporteinrichtungs-Transportbahn vorgesehen werden müssen und daß anderseits, für die Auslegung eines notwendigen Hubes zur Bedienung einer an der betrach­ teten Kammer angeordneten gegebenen weiteren Kammer, der erfindungsgemäße mitausgenützte Radialhub einge­ setzt werden kann, dessen Größe, im Rahmen des durch die schwenkbare Transporteinrichtung gegebenen Kam­ merdurchmessers, in weiten Grenzen frei gewählt wer­ den kann.
Ausgehend von den erwähnten bekannten Transportkam­ mern setzt sich unter einem zweiten Aspekt die vor­ liegende Erfindung zum Ziel, mittels derartiger Kam­ mern komplexe Gesamtvakuumbehandlungsanlagen aufbauen zu können, bei denen, gesteuert, die Werkstücke je nach beabsichtigtem Behandlungsverfahren frei wähl­ bar, einer praktisch beliebigen Anzahl unterschiedli­ cher Behandlungsstationen zuführbar sind, wobei opti­ maler Kompaktheit solcher Anlagen eine hohe Wichtig­ keit zugeordnet wird.
Während nämlich bei den eingangs erwähnten bekannten Kammern die Anzahl weiterer Kammern durch die Dimen­ sionierung der Kammer selbst begrenzt ist, ergibt sich dadurch, daß an der erfindungsgemäßen Kammer­ kombination an einer der Öffnungen der betrachteten Kammer eine weitere Transportkammer mit mindestens einer weiteren Öffnung für Werkstücke angeordnet ist, der Vorteil, daß die Werkstücke, ab der be­ trachteten Kammer mit der schwenkbaren Transportein­ richtung, weit verzweigt weitertransportiert werden können und jeweils Behandlungskammern entlang des Ge­ samttransportpfades angeordnet werden können.
Bevorzugterweise wird die erfindungsgemäße Kammer­ kombination nach dem Wortlaut von Anspruch 3 dadurch realisiert, daß, als die eine erwähnte Kammer mit der schwenkbaren Transporteinrichtung, eine Kammer vorgesehen wird, die auch die Merkmale des kennzeich­ nenden Teils von Anspruch 1 aufweist.
An der eingangs erwähnten erfindungsgemäßen Kammer oder der erfindungsgemäßen Kammerkombination wird durch Vorgehen nach dem Wortlaut von Anspruch 4 eine hohe Kompaktheit erzielt. Dies dadurch, daß der An­ trieb für die axiale Linearverschiebung der Trans­ portanordnung an der um die Achse herum in Winkelaus­ richtung zu den Öffnungen schwenkbaren Transportein­ richtung angeordnet, d. h. Transporteinrichtung, An­ trieb und Transportanordnung zu einem Komplex inte­ griert sind.
Dem Wortlaut von Anspruch 5 folgend wird weiter be­ vorzugt, sowohl an der erfindungsgemäßen Kammer wie auch an der erfindungsgemäßen Kammerkombination, die axial verschiebliche Transportanordnung durch minde­ stens einen zur Drehachse der Transporteinrichtung versetzten, achsparallelen Arm zu realisieren, woran mindestens ein Ende eine vorzugsweise tellerartige Werkstückhalterung aufweist.
Bedenkt man die räumliche Anordnung der um die er­ wähnte Achse drehbaren Transporteinrichtung, dann das Vorsehen des bezüglich der Achse versetzten achspa­ rallelen Armes, wodurch im axialen Querschnitt eine L-förmige Struktur gebildet wird, so ist ohne weite­ res ersichtlich, daß diese Struktur zu einer T-arti­ gen dadurch ausgebaut werden kann, daß nicht nur das eine Ende eines solchen Armes zur Werkstückhalterung ausgenützt wird, sondern beide Enden, womit die bau­ liche Flexibilität zum Anordnen weiterer Kammern, sei dies an der erfindungsgemäßen Kammer oder an der er­ findungsgemäßen Kammerkombination noch weiter erhöht wird. Dies nach dem Wortlaut von Anspruch 6.
Im weiteren können selbstverständlich anstelle tel­ lerartiger Werkstückhalterungen, welche sich insbe­ sondere für die Halterung von scheibenförmigen Werk­ stücken eignen, andere, wie zangenförmige, vorgesehen werden, insbesondere auch angepaßt an die räumliche Gestaltung der zu behandelnden Werkstücke.
Durch Anordnung der Kammer bzw. Kammerkombinations­ öffnung nach dem Wortlaut der Ansprüche 7 und/oder 8 wird eine hohe Kombinationsflexibilität ermöglicht, was die Kombination der erwähnten Kammer bzw. Kammer­ kombination mit weiteren Kammern anbelangt, sowie de­ ren kompakte räumliche Zusammenstellung.
Unabhängig davon, ob eine erfindungsgemäße Kammer mit axial und radial verschieblicher Transportanord­ nung betrachtet wird oder, an einer erfindungsgemäßen Kammerkombination, eine Transportanordnung mit vorerst nur axial verschieblicher Transportanordnung wird vorgeschlagen, nach dem Wortlaut von Anspruch 9 die Axialbewegung der Transportanordnung zum Ver­ schließen der bedienten Öffnung auszunützen, und zwar je nach erforderter Atmosphärentrennung der durch die betrachtete Öffnung verbundenen Kammer bis hin zum vakuumdichten Verschließen.
Bei Vorsehen einer auch radial verschieblichen Trans­ portanordnung an der erfindungsgemäßen Kammer bzw. Kammerkombination wird weiter vorgeschlagen, nach dem Wortlaut von Anspruch 10 vorzugehen, in Analogie zu den Ausführungen betreffend Anspruch 9.
Weitere bevorzugte Ausführungsvarianten von Kammer bzw. Kammerkombination sind in den Ansprüchen 11 bis 16 spezifiziert.
Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich im wei­ teren zur Lösung des eingangs genannten Transportpro­ blems nach dem kennzeichnenden Teil von Anspruch 17 aus.
Die Erfindung wird anschließend beispielsweise an­ hand von Figuren erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 schematisch eine teilweise geschnittene Ansicht einer Vakuumbehandlungsanlage, worin in bevorzugter Art und Weise eine erfindungsgemäße Kammer, eine erfin­ dungsgemäße Kammerkombination und das erfindungsgemäße Transportverfahren realisiert sind,
Fig. 2 vergrößert einen Ausschnitt einer Ü­ bergabevorrichtung an der Anlage gemäß Fig. 1,
Fig. 3 schematisch und teilweise geschnitten, einen Teil der Anlage gemäß Fig. 1 in Aufsicht,
Fig. 3a schematisch einen Schnitt gemäß Fig. 3 durch eine an der Anlage gemäß Fig. 1 bis 3 angeordnete Ätzkammer zum doppel­ seitigen Sputtern von scheibenförmigen Werkstücken,
Fig. 4 schematisch und teilweise längsgeschnit­ ten, eine Karusselltransportkammer mit radial bedienten Kammeröffnungen, als mögliche Kammer an einer erfindungsge­ mäßen Kammerkombination,
Fig. 5 in einer Darstellung analog zu derjeni­ gen von Fig. 4 eine weitere Ausführungs­ variante einer Karussellkammer mit ra­ dial bedienten Kammeröffnungen, als mög­ liche Kammer an einer erfindungsgemäßen Kammerkombination,
Fig. 6 in Darstellung analog zu Fig. 4 eine Ka­ russellkammer mit axial bedienten Kam­ meröffnungen, als mögliche Kammer an ei­ ner erfindungsgemäßen Kammerkombina­ tion,
Fig. 7 eine weitere Ausführungsvariante der Kammer nach Fig. 6,
Fig. 8a-8f Kombinationen verschiedener Kammertypen in Minimalkonfiguration zum Aufbau kom­ pakter Vakuumbehandlungsanlagen, wobei die Varianten c), d), e), f) erfindungs­ gemäße Kombinationen zeigen, die Vari­ ante e), auch eine erfindungsgemäße Kammer beinhaltet.
In den Fig. 1 bis 3 ist eine bevorzugte Anlage, worin die Erfindung integriert ist, schematisch darstellt. Die Anlage umfaßt eine Kammer 1 und eine Kammer 3 sowie eine die Kammern 1, 3 verbindende Zwischenkam­ mer 3a.
In Kammer 1 zentrisch drehgelagert und mit einem Mo­ tor 5 gesteuert angetrieben ist ein Transportstern 7 mit, wie beispielsweise gezeigt, sechs Armen 9 vorge­ sehen. Der Transportstern ist um die Achse A7 dreh­ bar. Die zur Achse A7 parallele Außenwand 11 der Kammer 1 weist mindestens zwei Öffnungen 13a und 13b auf, auf welche, durch Drehen des Sterns 7, jeweils die Achse A9 eines der Arme 9 ausgerichtet wird. Die Arme 9 sind mit (nicht dargestellten) am Transport­ stern 7 integrierten Antrieben, radial in Richtung ihrer Achsen A9 linear ausfahrbar bzw. rückholbar. Der Linearantrieb ist vakuumdicht mit Bälgen 15 ge­ kapselt. Endständig an den Armen 9, d. h. den bezüg­ lich der Achse A7 radial beweglichen Armteilen, ist je eine Transportbüchse 17 montiert, welche, detail­ lierter in Fig. 2 schematisch dargestellt ist und die, wie aus dem Vergleich von den Fig. 1 und Fig. 3 erkenntlich, in Richtung parallel zur Achse A7 we­ sentlich breiter sind als in Richtung quer dazu, d. h. in Azimutalrichtung.
Entsprechend sind die Öffnungen 13a bzw. 13b schlitzförmig ausgebildet.
In Richtung der Achse A7 betrachtet, reitet in jeder Büchse 7, um eine Achse A19 schwenkbar gelagert, eine Transportvorrichtung 18 mit einer Transportzange 19 (Fig. 2), die z. B., wie in Fig. 2 dargestellt, ausge­ bildet ist. Sie umfaßt zwei Zangenarme 19a, 19b, die je an einem Trägerteil 21 um Schwenkachsen 23a, b drehgelagert sind und, über Rollen 24 miteinander in Eingriff stehen und (nicht dargestellt) federnd in die in Fig. 2 dargestellte Schließlage vorgespannt. Am Zangenarm 19b ist weiter eine Betätigungsrolle 25 vorgesehen, zum Öffnen bzw. schließenden Freigeben der Zange.
Wie erwähnt, ist die durch Zange 19 und Trägerteil 21 gebildete Transportvorrichtung 18 schwenkbar an der Büchse 17 gelagert. An einem an der Transportvorrich­ tung 18 drehfesten Mitnehmerstummel 26 ist ein erster Hebel 28 drehfest angeordnet, der an einem zweiten Hebel 30, in einem Lager 32, drehgelagert ist. Das dem Lager 32 abgewandete Ende des Hebels 30 seiner­ seits ist über eine Montageplatte 34 am radial fixen Armteil des Armes 9, an einem Lager 36, drehgelagert.
Die bis anhin beschriebene Anordnung arbeitet wie folgt:
Ausgehend von der Schwenklage der Transportanordnung 18 gemäß Fig. 2, in geschlossener Zangenposition, beispielsweise mit einer Werkstückscheibe 40 in der Zange, kann der Transportstern 7 in beliebige Posi­ tionen um seine Achse A7 geschwenkt werden. Dabei sind, mit den jeweiligen, armspezifischen Radialan­ trieben, die Büchsen 13 gegen die Achse A7 rückge­ holt.
Soll nun, wie in Fig. 2 dargestellt, eine der Öffnungen, beispielsweise 13x, bedient werden, so wird die Achse A9 eines Armes 9 und damit die Schwenkebene der Zange 19 auf die schlitzförmige Öffnung 13x aus­ gerichtet. Nun wird mit dem dem betrachteten Arm 9 zugeordneten Antrieb die Büchse 17 gegen die Öffnung 13x vorgetrieben. Aufgrund der dadurch bewirkten Li­ nearbewegung von Achse A19 mit dem Mitnehmerstummel 26 wird der erste Hebel 28 um Lager 32 geschwenkt, und da der Hebel 28 drehfest am Stummel 26 sitzt und letzterer drehfest an der Transportvorrichtung 18, wird, wie in Fig. 2 gestrichelt dargestellt, die Transportvorrichtung 18 durch die Öffnung 13x durch­ geschwenkt, unter gleichzeitiger Linearverschiebung mit der Büchse 17. Die Büchse 17 ruht dabei an der Außenwand 11 der Kammer 1 und verschließt die Öffnung 13x, je nach Anforderung an die Trennung der beiden Kammern 1 und 3, vorzugsweise dicht, gegebe­ nenfalls vakuumdicht.
Wie in Fig. 2 ersichtlich, verbleibt die Büchse 17 in der Kammer 1, während die durch die Zange 19 gebilde­ te Werkstückhalterung, durch die Öffnung 13x hin­ durch, vollständig in die Kammer 3 bzw. 3a geschwenkt wird.
In Fig. 2 ist für die benötigte Schwenkbewegung der Transportvorrichtung 18 ein unnötig langer Linearhub der Büchse 17 dargestellt. Wie der Fachmann aber ohne weiteres erkennt, zusätzlich unter Betrachtung der Darstellung gemäß Fig. 2a, kann durch Verringerung der Länge des Hebels 28 zwischen Achse A19 und An­ lenklager 32 dieselbe Schwenkbewegung des Trägerteils 21 und damit der Transportvorrichtung 18 mit einem wesentlich geringeren linearen Hub H realisiert wer­ den.
Damit kann mit praktisch beliebig kleinem linearen Hub H und entsprechender Minimalisierung der hierzu vorzusehenden Antriebs- und Abdichtungsorgane die er­ wünschte Schwenkbewegung realisiert werden und mit ihr, aufgrund des Schwenkradius des Werkstückes 40 um Achse A19, der erwünschte Hub durch Öffnung 13x.
In Kammer 3 bzw. 3a ist, wie in Fig. 2 schematisch dargestellt, ein Stößel 42 angeordnet, dessen end­ ständige Rolle 43 durch Eingriffnahme auf die Rolle 25 an der Zange 19 gesteuert, die Zange öffnet, zur Freigabe des Werkstückes 40.
In der bevorzugten, in den Fig. 1 bis 3 dargestellten Ausführungsform ist zwischen Kammer 1 und Kammer 3 die Zwischenschleusenkammer 3a vorgesehen. Ihre Funk­ tion wird aus der folgenden Beschreibung ohne weite­ res ersichtlich werden, welche sich nun der Kammer 3 zuwendet.
Wie insbesondere aus Fig. 3 ersichtlich, umfaßt die Kammer 3 einen Transportstern 43 mit um die Achse A43 mittels eines Motors 47 drehgetriebenen Radialarmen 45, an welchen, parallel zur Achse A43, wie darge­ stellt, beispielsweise vier axiale Arme 49, aufragen. Endständig tragen die Arme 49 die Transportteller 51 mit, (nicht dargestellt), z. B. mechanischen, pneuma­ tischen oder magnetischen Halterungen für Werkstücke, sofern die Achse A43 nicht vertikal steht. Die Teller 51 sind mit den Armen 49 je zugeordneter Bälge 53 ge­ kapselten Antrieben linear und parallel zur Achse A43 ausfahrbar bzw. rückholbar.
Die Kammer 3 weist, ausgerichtet auf den durch die Teller 51 bei Drehen um die Achse A43 durchlaufenen Kreisring, wie dargestellt, beispielsweise zwei Öffnungen 55a und 55b auf. Die Teller 51 sind so ausge­ bildet, daß sie gegen eine jeweilige Öffnung 55 ausgefahren, mit (nicht dargestellten) Dichtungsorga­ nen die Öffnung verschließen, dicht bzw. vakuum­ dicht. Wie bereits an den Büchsen 17 zur Wand 11 von Kammer 1 können hierzu Spaltdichtungen ausreichen, falls ein vakuumdichter Verschluß nicht notwendig ist. Im weiteren ragen die Teller 51 axial über die Berandungspartien 56 der Öffnung 55 aus der Kammer 3 hinaus, wogegen sich, in ausgefahrenem Zustand, die Teller 51 verschließend anlegen.
Es seien nun vorerst die Verhältnisse an der Öffnung 55a betrachtet, welche mit der Öffnung 13a über die Zwischenschleusenkammer 3a kommuniziert. Wenn gemäß Fig. 3 mittels der Transportvorrichtung 18 ein schei­ benförmiges Werkstück 40 in die in Fig. 2 gestrichelt dargestellte Position geschwenkt worden ist, legt sich die Büchse 17 in gefordertem Ausmaße dichtend an die Umrandung der Öffnung 13a kammer-1-seitig. Durch gesteuertes axiales Ausfahren des der Öffnung 55a dann zugeordneten Armes 49 in Kammer 3 wird der Teller 51 in gefordertem Masse dicht an die Öffnungsberandung 56 gelegt und übernimmt, beispielswei­ se magnetisch, pneumatisch, mechanisch oder schwer­ kraftgetrieben das Werkstück 40, welches durch Betä­ tigung des Stößels 42 gemäß Fig. 2 von der Zange 19 freigegeben wird. Nun kann der betrachtete Arm 49 rückgeholt werden.
Die Kammer 3a kann, wie bei 57 schematisch darge­ stellt, separat gepumpt werden, ebenso wie die Kam­ mern 1 und/oder 3.
Der Werkstücktransport durch die Zwischenschleusen­ kammer 3a erfolgt mithin wie folgt:
  • - In gefordertem Ausmaß, dichtes Verschließen der Öffnung 13a durch die Büchse 17, Zange 19 leer; Einschwenken eines Armes 49 mit Werkstück am Teller 51 in Öffnungsbereich der Öffnung 55a; axiales Vorschieben des Tellers 5 mit dem Werkstück 40 und in gefordertem Umfang, dichtes Verschließen der Öffnung 55a durch Teller 51; gegebenenfalls Abpumpen der Zwischenschleusen­ kammer 3a; Übernahme des Werkstückes durch Zange 19; Rückschwenken der Transportvorrich­ tung 18 mit gleichzeitigem Lösen der Büchse 17 von der Berandung der Öffnung 13x; oder
  • - Leerer Teller 51 verschließt in gefordertem Ausmaß dicht Öffnung 55a; Einschwenken eines Armes 9 mit Büchse 17 und Werkstück 40 an Zange 19 über Öffnung 13a; Ausschwenken der Zange 19 mit dem Werkstück, unter gleichzeitig in gefor­ dertem Umfang dichtem Verschließen der Öffnung 13a durch Büchse 17; Übernahme des Werk­ stückes magnetisch, pneumatisch, mechanisch oder schwerkraftgetrieben, durch Teller 51 in Öffnung 55a; Abpumpen der Zwischenschleusen­ kammer 3a durch Pumpe 57; Rückholen des Tellers 51 und Weiterdrehen des Transportsternes 43.
Aus dieser Beschreibung ist ohne weiteres ersicht­ lich, daß die Kammer 3a als Zwischenschleusenkammer wirken kann, die separat pumpbar ist oder welche auf­ grund ihres nur sehr geringen Volumens allein genü­ gende Atmosphärentrennung zwischen den Kammern 1 und 3 gewährleistet. Muß keine Zwischenschleusenkammer 3a vorgesehen werden, so kann die Werkstückübernahme in dargestellter Art und Weise in der Kammer 3 direkt erfolgen, ohne daß die Teller 51 an der Übergabe­ öffnung eine Dichtfunktion ausüben würden. Im darge­ stellten Ausführungsbeispiel wirkt, an der Übergabe­ verbindung 13a, 55a der Teller 51 als das eine Schleusenventil, die Büchse 17 als das andere.
Beim dargestellten bevorzugten Ausführungsbeispiel ist weiter die Öffnung 55b als Eingabe/Ausgabe- Schleuse ausgebildet. Hierzu ist ein vakuumdicht schließbarer Deckel 57, z. B. gegen Normal-Atmosphäre vorgesehen, als ein Schleusenventil, und es wirkt der momentan auf die Öffnung 55b ausgerichtete Teller 51 als zweites Schleusenventil.
Trotz des höchst geringen Volumens auch dieser Schleusenkammer kann gegebenenfalls, wie bei 57 dar­ gestellt, auch hier eine Pumpe 57 angeschlossen sein, zum separaten Pumpen dieser Schleusenkammer.
Wie bereits erwähnt wurde, wird die Öffnung 13b der Kammer 1 durch Büchse 17 und Transportvorrichtung 18, wie aus Fig. 1 ersichtlich, gleich bedient, wie die vorbeschriebene Öffnung 13a besagter Kammer 1.
Außerhalb der Kammer 1 ist an dieser Öffnung 13b, beispielsweise eine Behandlungskammer, wie eine Ätz- oder Beschichtungskammer 52 angeordnet. Aufgrund der Tatsache, daß das Werkstück 40 mit der Zange 19 so gehaltert und in die Behandlungskammer 52 einge­ schwenkt wird, daß es praktisch allseitig durch die Halterung an der Zange unabgedeckt bleibt, ist es möglich, an einer solchen Behandlungsstation 52 das Werkstück rundum, insbesondere gleichzeitig auf sei­ nen beiden Scheibenflächen gleichzeitig zu bearbei­ ten, wie beispielsweise durch beidseitiges Anordnen von Elektroden zum Plasmaätzen beider genannter Flä­ chen und/oder von Magnetronzerstäubungsquellen zu de­ ren Beschichtung.
In Fig. 3a ist, geschnitten in Aufsicht und schema­ tisch, die eine Ausbildungsvariante der Kammer 52 dargestellt, mit zwei unabhängigen Sputterquellen 53a und 53b sowie Schirmblechen 55. Das scheibenförmige Werkstück 40 ist zwischen die Quellen 53a und b ein­ geklappt und wird beidseitig durch die Quellen 53a, b behandelt.
An einer derartigen Kammer kann z. B. auch eine gleichzeitige, beidseitige Beschichtung von Werkstük­ ken vorgenommen werden, wie sie aus der DE-PS-39 31 713 bekannt ist.
Es seien nun im folgenden prinzipiell verschiedene Kammertypen betrachtet, bei denen alle transportier­ ten Werkstücke um eine Drehachse, bezüglich der Werk­ stücke versetzt, gedreht werden. Es sei weiter eine Fallunterscheidung vorgenommen, nämlich dahingehend, ob die Werkstücke zusätzlich in Radialrichtung, in Axialrichtung oder kombiniert, in radialer und axia­ ler Richtung verschoben werden können.
1. Drehtransportkammer, woran Werkstücke einzeln drehtransportiert und radial bezüglich der Drehachse verschoben werden:
Eine solche Kammer bildet Kammer 1 gemäß Fig. 1, woran die Werkstücke 40, insbesondere durch den Linearantrieb der Arme 9 einzeln radial ge­ gen die Öffnungen 13 verschoben werden.
2. Drehtransportkammern, bei denen alle Werkstücke auf einem Drehkarussell angeordnet sind und be­ züglich der Karusselldrehachse radial einzeln verschoben werden.
Eine solche Kammer ist schematisch in den Fig. 4 und 5 dargestellt. In einer Kammer 120 ist, um eine Achse A124 getrieben drehbeweglich ge­ lagert, entsprechend ω1, ein Karussell 124 ge­ lagert, woran, in Halterungen 125, Werkstücke, beispielsweise scheibenförmige Werkstücke 126 der oben genannten Art, gelagert sind. Koaxial zur Achse A124 ist, bezüglich der Kammer 120 drehfest gelagert, mindestens ein auf eine Öffnung 122 in der Kammer 120 ausgerichteter, radial bezüglich der Achse A124 verschieblicher Stößel 128 vorgesehen, mit dessen Hilfe ein mit dem Karussell jeweils in Ausrichtung mit einer der zu bedienenden Öffnungen 122 ge­ brachtes Werkstück 126 aus der Öffnung 122 herausgeschoben oder durch die Öffnung 122 auf das Karussell 124 rückgeholt wird. Gegebenen­ falls kann das oder können die radial verschie­ blichen Stößel 128, wie bei ω2a dargestellt, mit einem gestrichelt angedeuteten, separaten Drehantrieb 124 m unabhängig vom Karussell 124 drehgetrieben werden.
Bei der Ausführungsvariante, wie sie schema­ tisch in Fig. 5 dargestellt ist, trägt das Ka­ russell 124 die scheibenförmigen Werkstücke 126, so daß ihre Scheibenflächen in Ebenen senkrecht zur Drehachse A124 drehgefördert wer­ den. Entsprechend sind die Stößel 128 ausge­ bildet und sind, analog zu den Ausführungen zu Fig. 4, drehfest oder unabhängig vom Karussell 124 in der Kammer 120 drehgetrieben gelagert. Sie bedienen hier radial schlitzförmige Öffnungen 122a der Kammer 120. Der Antrieb des Ka­ russells 124 kann beispielsweise, wie bei P schematisch dargestellt ist, hier peripher am Rande des Karussells 124 erfolgen.
3. Drehtransportkammern, worin die Werkstücke ei­ nerseits um eine Achse bezüglich der Werkstücke versetzt, drehtransportiert werden, und zudem einzeln in Richtung parallel zur Drehachse ge­ fördert werden.
Eine solche Kammer ist durch Kammer 3 von Fig. 1 gebildet. Darin werden die Werkstücke mit Hilfe der axial ausfahrbaren und rückholbaren Arme 49, parallel zur Drehachse A43, axial be­ wegt.
4. Drehtransportkammern, bei denen ebenfalls eine axiale Werkstückbewegung, wie bei den Kammern des Typs 3 erfolgt, aber zusätzlich eine we­ sentlich höhere Anzahl Werkstücke auf einem Ka­ russell drehgefördert werden als Axial-Ver­ schiebungsorgane für die Werkstücke vorgesehen sind.
Gemäß den Fig. 6, 7 weist eine solche Kammer 60 zur Drehachse A124 drehgetrieben gelagert, ein Karussell 124 auf, woran bespielsweise scheibenförmige Werkstücke 126 mit ihren Schei­ benflächen in der Drehebene um die Achse A124 gelagert sind. Ausgerichtet auf mindestens eine Öffnung 122 an der Kammer 60, ist ein parallel zur Achse A124 ausfahrbarer bzw. rückholbarer Stößel 128 fest am Gehäuse der Kammer 60 mon­ tiert, und greift bei auf die Öffnung 122 drehausgerichtetem Werkstück 126 durch eine Be­ dienungsöffnung 130 am Karussell 124 durch und hebt, axial bezüglich Achse A124, das Werkstück 126 zur Öffnung 122 hin bzw. holt ein solches von der Öffnung 122 zurück auf das Karussell 124.
Während in Fig. 6 der oder die Stößel 128, wie erwähnt, ortsfest am Gehäuse der Kammer 60 mon­ tiert sind, sind sie gemäß Fig. 7 und in Ana­ logie zur einen Ausführungsvariante von Fig. 4 mit einem separaten Drehantrieb 124 m zur Achse A124 getrieben drehbar, unabhängig von der Drehbewegung des Karussells 124 um dieselbe Achse. Bei einer weiteren Variante dieses Kam­ mertyps kann der Axialhub durch das Karussell selbst ausgeführt werden.
5. Drehtransportkammern des Typs, bei denen die Werkstücke um eine Drehachse drehbewegt werden, zudem bezüglich dieser Achse je einzeln axial verschoben und zudem, bezüglich der erwähnten Achse, je einzeln auch radial verschoben wer­ den. Eine solche Kammer ist durch Kammer 1 der Fig. 1 und 3 gebildet, zusammen betrachtet mit der Transportvorrichtung 18. Werkstücke werden einerseits um die Achse A43 gedreht, zusätzlich durch den axialen Linearantrieb der Arme 49 axial bewegt und werden durch Wirkung der Transportvorrichtung 18 bezüglich der Achse A43 auch radial verschoben. Insbesondere bei der letzterwähnten Kammer, wo die Werkstücke bezüg­ lich der erwähnten Drehachse sowohl axial, wie auch radial verschoben werden, also in einer Ebene, welche die Drehachse, wie A124 beinhal­ tet, eignet sich das Vorsehen einer Schwenk­ transporteinrichtung, wie sie durch die Trans­ portvorrichtung 18 in der Ausführungsvariante gemäß den Fig. 1 bis 3 realisiert ist, ausge­ zeichnet.
Selbstverständlich läßt sich die Realisation eines radialen und axialen Werkstücktransportes bezüglich der erwähnten Drehachse auch an einer Karussellkonstruktion realisieren, wenn auch mit größerem Konstruktionsaufwand.
Es soll nun nachfolgend erläutert werden, an­ hand von Fig. 8, wie diese Kammertypen zu Kam­ merkombinationen mit mindestens zwei Kammern kombiniert werden können, zum Aufzeigen, wie flexibel solche Kammern zum Aufbau gesamter Va­ kuumbearbeitungsanlagen zusammengestellt werden können. An den oben erwähnten Kammertypen, de­ nen allen gemeinsam ist, daß die Werkstücke um eine Drehachse in der Kammer drehtransportiert werden, treten für den Aufbau von Gesamtanlagen gegebenenfalls noch weitere Kammertypen hinzu.
Um im folgenden auch kurz auf die jeweiligen Kammertypen Bezug nehmen zu können, seien fol­ gende Definitionen verwendet:
  • a) EASK: Schleusenkammern, womit Werk­ stücke in beiden Richtungen durchge­ schleust werden.
  • b) ESK: Schleusenkammern, an welchen Werkstücke nur in einer Richtung durchtransportiert werden.
  • c) BEAK: Bearbeitungskammern, worin Werkstücke oberflächenbehandelt wer­ den, beispielsweise geätzt oder be­ schichtet werden.
  • d) RADK: Radial bedienende Drehstern­ kammern des Typs 1, wie in den Fig. 1 bis 3 durch Kammer 1 dargestellt.
  • e) RAKAK: Radial bedienende Karussell­ kammern des Typs 2, wie in den Fig. 4 bzw. 5 schematisch dargestellt.
  • f) AXDK: Axial bedienende Drehsternkam­ mern des Typs 3, wie durch Kammer 3 in den Fig. 1 bis 3 dargestellt.
  • g) AXKAK: Axial bedienende Karussell­ kammern des Typs 4, wie in den Fig. 6 bzw. 7 schematisch dargestellt.
  • h) AXRADK: Drehsternkammern, welche so­ wohl eine axiale, wie auch eine ra­ diale Bedienung erlauben, des Typs 5, wie durch Kammer 3 mit Vorrich­ tung in den Fig. 1 bis 3 dargestellt ist.
  • i) TR: Weitere Transportkammern mit zwei Kammeröffnungen, wozwischen in irgendeiner z. B. bekannten Art und Weise Werkstücke transportiert wer­ den.
In Fig. 8a sind zwei RADK-Kammern 62 kombiniert, mit je einem drehgetriebenen, mindestens einarmigen, ra­ dial bedienenden Drehstern 63, womit einerseits die Verbindungsöffnung 65 zwischen den beiden Kammern 62 mit Werkstücken 67 bedient wird, anderseits weitere Öffnungen 69, woran beliebige weitere Kammern der Typen a) bis i) angeordnet werden können.
In dieser Konfiguration sind die Drehachsen der Transportsterne 63 parallel und es wird, bezüglich der gezeigten zwei Kammern 62, im wesentlichen in ei­ ner Ebene senkrecht zu den erwähnten Drehachsen transportiert.
Mit den radial verschieblichen Drehsternarmen können, je nach Erfordernis, die damit bedienten Öffnungen 65 bzw. 69 dicht bzw. vakuumdicht verschlossen wer­ den.
Gemäß Fig. 8b wirkt eine radial bedienende Dreh­ sternkammer 62 RADK zusammen mit einer radial bedie­ nenden Karussellkammer RAKAK. Diese weist ein um eine Achse drehgetriebenes Karussell 71 auf, mit Werk­ stückaufnahmen 73 für die Werkstücke 67 und bedient einerseits die gemeinsame Öffnung 65, anderseits mindestens eine weitere Öffnung 69. In den RAKAK- Kammer 72 sind, im dargestellten Beispiel drehfest, radial verschiebliche Stößel 75 vorgesehen, welche Werkstücke 67 aus den Aufnahmen 73 am Karussell zu den jeweiligen Öffnungen 65, 69 fördern bzw. rückho­ len. Auch hier werden die Werkstücke in einer Ebene senkrecht zu den Drehachsen des Drehsternes 63 bzw. des Karussells 71 gefördert. Die Öffnungen 69 bzw. 65 werden durch Wirkung der Arme des Drehsterns 63 bzw. durch die der Stößel 75, je nach Erfordernis­ sen, dicht oder vakuumdicht verschlossen. An den Öffnungen 69 können auch hier weitere Kammern der Typen a) bis i) angeordnet werden.
Ohne weiteres ist nun ersichtlich, daß eine Dreh­ sternkammer 62 gemäß Fig. 8b durch eine zweite ra­ dial bedienende Karussellkammer RAKAK 72 ersetzt wer­ den kann, womit eine Kammerkombination aus zwei RA KAK-Kammern gebildet wird, analog zu der in Fig. 8a für Drehsternkammern dargestellten Konfiguration.
In Fig. 8c ist eine radial bedienende Drehsternkammer RADK 62, mit einer axial bedienenden Drehsternkammer AXDK 80 kombiniert. Letztere weist einen Drehstern 81 auf, woran axial getrieben verschiebliche Stößel 82 angeordnet sind. Durch die radial verschieblichen Ar­ me des Drehsterns 63 und die axial verschieblichen Stößel 82 am Drehstern 81, wird die Kammeröffnung 65 bedient, durch die entsprechenden Drehsterne 63 bzw. 81, weitere Öffnungen 69 an den Kammern 80 bzw. 62, woran weitere Kammern der Typen a) bis i) angebracht werden können. Wie ersichtlich, wird hier ein Werk­ stücktransport in zwei aufeinander senkrechten Ebenen realisiert. Sowohl die Arme des Drehsternes 63 wie auch die Stößel des Drehsternes 81 können, je nach Erfordernissen, die Öffnung 65 bzw. die Öffnungen 69 dicht, gegebenenfalls vakuumdicht verschließen.
Daß in Fig. 8c anstelle einer radial wirkenden Dreh­ sternkammer RADK 62 eine ebenso wirkende Karussell­ kammer RAKAK 72 angeordnet werden kann, ergibt sich ohne weiteres.
Anstelle der axial wirkenden Drehsternkammern AXDK 80 von Fig. 8c ist in Fig. 8d eine axial wirkende Karus­ sellkammer AXKAK 85 vorgesehen. Sie umfaßt ein bei­ spielsweise scheibenförmiges Karussell 87 mit Werk­ stückaufnahmen 89. Axial verschiebliche Stößel 88, ausgerichtet auf die Öffnung 65 bzw. die Öffnungen 69, heben Werkstücke in den Werkstückhalterungen 89 aus dem Karussell zu den genannten Öffnungen bzw. holen diese in die Halterungen 89 zurück. Auch hier erfolgt der Werkstücktransport in zwei senkrechten Ebenen. Die Arme des Drehsternes 63 bzw. die Stößel 88 können, je nach Erfordernis, die Öffnungen 65 bzw. 69 dicht bzw. vakuumdicht, verschließen. Auch hier können an die Öffnungen 69 weitere Kammern der Typen a) bis i) angeschlossen werden.
Es ergibt sich aus Fig. 8e ohne weiteres, daß die radial wirkende Drehsternkammer RADK 62 durch eine radial wirkende Karussellkammer RAKAK 72 gemäß Fig. 8b ersetzt werden kann.
In Fig. 8e ist eine Konfiguration dargestellt, beste­ hend aus einer radial wirkenden Drehsternkammer RADK 62 und einer axial und radial wirkenden Drehsternkam­ mer AXRADK 90. Letztere weist einen Drehstern 91 auf, der einerseits radial ausfahrbare Arme 93 umfaßt, woran axial ausfahrbare bzw. rückholbare Stößel 95 gelagert sind.
Vergleicht man diese Ausführungsform mit derjenigen von Fig. 8c, wo nur axial verschiebliche Stößel 82 vorgesehen sind, so wird ein wesentlicher Vorteil der Konfiguration nach Fig. 8e ersichtlich. Während die Kammer 80 von Fig. 8c in ihrem Durchmesser bezüglich der Drehachse des Sterns 81 nämlich so bemessen wer­ den muß, daß die Öffnung 65 durch axiales Ver­ schieben der Stößel 82 bedienbar ist, kann bei der Ausführungsvariante nach Fig. 8e der Durchmesser der Kammer 90 bezüglich der Drehachse des Sterns 91 nur so groß gewählt werden, daß die Öffnungen 69 be­ dienbar sind. Nur in beispielsweise einer Drehposi­ tion des Drehsternes 61 kann der entsprechende Arm 93 radial ausgefahren werden, um durch anschließendes Axialverschieben, Öffnung 65 zu bedienen. Damit er­ gibt sich, wie gestrichelt bei 97 dargestellt ist, die Möglichkeit, die Öffnung 65 über eine Zwischen­ kammer zu bedienen, welche den Durchmesser der Kammer 90 bezüglich der Drehachse des Sternes 91 nur, wie erwähnt, in einer Winkelposition auskragen läßt.
Bezüglich des dichten Verschließens der Öffnungen 69 bzw. 65 gilt das bezüglich der Fig. 8a bis d Aus­ geführte. Im weiteren sei betont, daß die Realisa­ tion der Axial- und Radialtransportverschiebungen an der Kammer 90 in unterschiedlichen Varianten möglich ist, so auch durch Einbezug zusätzlicher Transport­ mittel, wie er beispielsweise und vorzugsweise durch die Schwenktransportvorrichtung 18 in der Ausfüh­ rungsvariante gemäß den Fig. 1 bis 3 realisiert ist.
Daß an der Ausführungsvariante gemäß Fig. 8e an­ stelle einer radial wirkenden Drehkranzkammer RADK 62 eine radial wirkende Karussellkammer RAKAK 72 gemäß Fig. 8b vorgesehen werden kann, ist ohne weiteres er­ sichtlich.
In Fig. 8f ist die Kombination aus zwei axial bedie­ nenden Drehsternkammern AXDK 80 dargestellt. Die Funktionsweise ist ohne weiteres ersichtlich. Gestri­ chelt dargestellt ist weiter, daß axial verschiebli­ che Stößel 82 in Paaren 82a und 82b angeordnet wer­ den können, so daß mit solchen Stößeln, mit dem gleichen Drehstern, zweiseitig der Drehebene angeord­ nete Öffnungen 69 bedient werden können. Dieselbe Technik kann selbstverständlich auch gemäß Fig. 8e für Drehsterne AXRADK mit Radial- und Axialvorschub realisiert werden.
Anstelle einer der AXDK-Kammern 80 eine AXRADK-Kammer 85 gemäß Fig. 8d vorzusehen, ist an der Anordnung von Fig. 8f, wie ohne weiteres ersichtlich, problem­ los möglich. Ebenso wird nun ersichtlich, daß das Koppeln zweier Kammern AXKAK gemäß Kammer 85 von Fig. 8d ohne weiteres möglich ist. Auch das Vorsehen einer Kammer AXRADK 90 gemäß Fig. 8e an einer AXDK- Kammer 80 gemäß beispielsweise Fig. 8c ist ohne wei­ teres möglich. Ebenso die Kombination einer AXKAK- Kammer 85 gemäß Fig. 8d mit einer AXRADK-Kammer 90 gemäß Fig. 8e.
Sollen bei den erwähnten und beschriebenen Kammerkom­ binationen jeweils die einzelnen Kammern für sich konditioniert werden können, so versteht sich von selbst, daß jeweils Pumpanschlüsse und gegebenen­ falls Gaseinlässe vorgesehen werden, je zu den ein­ zelnen Kammern.
Durch die beschriebenen Kammerkombinationen können extrem kompakte Gesamtanlagen modular zusammenge­ stellt werden, mit optimal kurzem Transportweg und kurzen Transportzyklen.
Das beschriebene Vorgehen bzw. die beschriebene Anla­ ge eignen sich insbesondere für die Behandlung von Magnetspeicherplatten, wie beispielsweise CD′s oder Hard-Discs.

Claims (17)

1. Kammer (3), mindestens für den Transport von Werk­ stücken, insbesondere von kreisscheibenförmigen Werk­ stücken, wie von Speicherplatten, mindestens zeitwei­ se in Vakuumatmosphäre, bei ihrer Fertigung, mit min­ destens zwei Außenöffnungen und einer um eine Achse herum in Winkelausrichtung zu den Öffnungen schwenk­ baren Transporteinrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß eine Transportanordnung (49, 18) vorgesehen ist, woran mindestens ein Teil parallel zur Achse (A43) getrieben linear verschieblich gelagert ist, ein Teil bezüglich der Achse (A43) radial, um ein Werkstück sowohl axial wie auch radial zu transportieren.
2. Kammerkombination mit einer ersten Kammer nach dem Oberbegriff von Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Transportanordnung (49, 82) vorgesehen ist, die in Richtung parallel zur Achse getrieben linear verschieblich ist und an einer der Öffnungen (13a, 65) der ersten Kammer (3, 80) die Öffnung einer Transportkammer (1, 62) mit mindestens einer weiteren Öffnung (13b, 69) für ein Werkstück angeordnet ist, worin Transportmittel (7, 63) vorgesehen sind, welche mit der Transportanordnung (49, 82) in der ersten Kammer (3, 80) durch die gemeinsame Öffnung (13a, 65) zur Werkstückübernahme in Wirkverbindung steht.
3. Kammerkombination nach Anspruch 2 mit einer ersten Kammer nach Anspruch 1.
4. Kammer bzw. Kammerkombination nach einem der An­ sprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein An­ trieb für eine axiale Linearverschiebung der Trans­ portanordnung (49, 82) an der Transporteinrichtung (43, 81) angeordnet ist.
5. Kammer bzw. Kammerkombination nach einem der An­ sprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Transportanordnung (49, 82) mindestens einen zur Ach­ se versetzten, achsparallelen Arm umfaßt, woran min­ destens ein Ende eine vorzugsweise tellerartige Werk­ stückhalterung aufweist.
6. Kammer bzw. Kammerkombination nach Anspruch 5, da­ durch gekennzeichnet, daß an beiden Enden (82, 82b) des mindestens einen Armes eine vorzugsweise teller­ artige Werkstückhalterung vorgesehen ist.
7. Kammer bzw. Kammerkombination nach einem der An­ sprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß minde­ stens eine der Öffnungen (55, 65) an der ersten Kam­ mer (3, 80) eine im wesentlichen achsparallele Flä­ chennormale festlegt.
8. Kammer bzw. Kammerkombination nach einem der An­ sprüche 1, 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß min­ destens eine der Öffnungen (13a) an der ersten Kam­ mer (3) eine zur Achse (A43) senkrechte Flächennorma­ le definiert.
9. Kammer bzw. Kammerkombination nach einem der An­ sprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnungsfläche mindestens einer Öffnung (55, 65) an der ersten Kammer (3, 90) eine im wesentlichen achsparallele Flächennormale festlegt und eine tel­ lerartige Werkstückhalterung an der Transportanord­ nung (49, 95), in Positionsausrichtung auf diese Öffnung gebracht und in Axialrichtung ausgefahren, diese Öffnung verschließt, vorzugsweise dicht, vor­ zugsweise vakuumdicht.
10. Kammer bzw. Kammerkombination nach einem der An­ sprüche 1, 3 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnungsfläche mindestens einer Öffnung an der er­ sten Kammer eine zur Achse im wesentlichen senkrechte Flächennormale festlegt, und die Transportanordnung zum Verschließen, vorzugsweise dichten Verschließen, vorzugsweise vakuumdichten Verschließen dieser Öffnung ausgebildet ist.
11. Kammer bzw. Kammerkombination nach einem der An­ sprüche 1, 3 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Transportanordnung eine Verschiebeeinrichtung (93) für die Radialverschiebung umfaßt.
12. Kammer bzw. Kammerkombination nach einem der An­ sprüche 1, 3 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß für die Radialverschiebung und/oder die Axialverschiebung eine Verschiebeeinrichtung (18) außerhalb mindestens einer der Öffnungen der ersten Kammer (3) gelagert ist.
13. Kammer bzw. Kammerkombination nach einem der An­ sprüche 1, 3 bis 12 für scheibenförmige Werkstücke, dadurch gekennzeichnet, daß Werkstückhalterungen an der Transporteinrichtung (63) so angeordnet sind, daß ein darin gehaltertes scheibenförmiges Werkstück mit seinen Scheibenflächen, beim Schwenken der Trans­ porteinrichtung (63) um seine Achse, auf einer zur Achse senkrechten Ebene läuft.
14. Kammer bzw. Kammerkombination nach einem der An­ sprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß an ei­ ner der Öffnungen (13a, 55a; 65) der ersten Kammer (3, 90) eine weitere Transportkammer (1, 62) mit min­ destens zwei (13, 69) Öffnungen und mit Transport­ mitteln (7, 63) angebracht ist, die mit der Trans­ portanordnung (49, 82) durch die gemeinsame Öffnung (65) direkt zur Werkstückübernahme in Wirkverbindung steht, oder über eine Schleusenkammer (3a).
15. Kammer bzw. Kammerkombination nach einem der An­ sprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß minde­ stens eine der Öffnungen (55b) der ersten Kammer (3) eine Schleusenkammer bildet, indem sie durch die Transportanordnung (49), als das eine Schleusenven­ til, verschließbar, vorzugsweise dicht, vorzugsweise vakuumdicht verschließbar ist, und an der Öffnung ein vorzugsweise vakuumdicht verschließbarer Deckel (57), als zweites Schleusenventil, vorgesehen ist.
16. Kammerkombination nach Anspruch 14, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Schleusenkammerventile durch die Transportanordnung (49) und die Transportmittel (7) gebildet sind.
17. Verfahren zum Transportieren eines Werkstückes, insbesondere eines kreisscheibenförmigen Werkstückes, wie einer Speicherplatte, innerhalb einer Vakuumbe­ handlungsanlage, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück auf einer fest vorgegebenen Kreisbahn ge­ schwenkt wird, axial daraus verschoben wird und ra­ dial aus dem Kreisbahnbereich.
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