DE4235674A1 - Kammer für den Transport von Werkstücken in Vakuumatmosphäre, Kammerkombination und Verfahren zum Transportieren eines Werkstückes - Google Patents
Kammer für den Transport von Werkstücken in Vakuumatmosphäre, Kammerkombination und Verfahren zum Transportieren eines WerkstückesInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Kammer nach
dem Oberbegriff von Anspruch 1, weiter eine Kammer
kombination mit einer derartigen Kammer nach dem
Oberbegriff von Anspruch 2 und ein Transportverfahren
nach demjenigen von Anspruch 17.
Scheibenförmige Werkstücke, wie Speicherplatten, z. B.
magnetische Speicherplatten oder magneto-optische
Speicherplatten, in einer Kammer mittels einer um ei
ne Achse schwenkbaren Transporteinrichtung in Aus
richtung zu Öffnungen der Kammer zu transportieren,
um die Werkstücke, einmal auf entsprechende Öffnungen
ausgerichtet, einer Oberflächenbehandlung, wie
einem nicht reaktiven oder reaktiven Vakuumprozeß,
z. B. einem Ätzprozeß oder einem Beschichtungspro
zeß mit oder ohne Glimmentladungsunterstützung, aus
zusetzen oder um ein Werkstück durch eine solche
Öffnung ein- oder auszuschleusen, ist bekannt. Es
kann hier beispielsweise auf die US-PS 3 856 654, die
DE-PS 24 54 544, die DE-OS 39 12 295, 40 09 603, 37
16 498 und die EP-A 0 389 820 hingewiesen werden.
Bei den daraus bekannten Transportkammern werden die
Werkstücke von der Transporteinrichtung oder ab der
Transporteinrichtung, parallel zu deren Drehachse,
d. h. axial, den Kammeröffnungen zugespiesen.
Bei der Auslegung einer solchen Transportkammer, in
nerhalb welcher, wie erwähnt, die Werkstücke auf ei
ner um eine Achse drehenden Transporteinrichtung
transportiert werden, um diesbezüglich axial, in vor
gegebenen Winkelpositionen der Transporteinrichtung
zu den oder von den Öffnungen der Kammer bewegt zu
werden, ergibt sich eine Wechselbeziehung zwischen
der in Axialrichtung gemessenen Tiefe einer solchen
Kammer und des möglichen Axialhubes. Soll nämlich die
Kammer, worin die schwenkbare Transporteinrichtung
vorgesehen ist, inklusive zusätzlicher, axial ange
ordneter Aggregate, flach ausgebildet werden, so
bleibt der mögliche Axialhub gering. Analog wird die
Gesamtbauhöhe einer solchen Kammer dann groß, wenn
namhafte Hubwege realisiert werden sollen. Dabei ist
zu bedenken, daß bei Ausbildung der Transportein
richtung so, daß möglichst viele Werkstücke gleich
zeitig in der Kammer mit ihr transportiert werden,
dies allein die radiale Ausdehnung der Kammer fest
legt und deren Axialausdehnung die Anzahl gleichzei
tig transportierbarer Werkstücke nicht beeinflußt.
Im weiteren ist man bei dieser Auslegung von Trans
portkammern darauf beschränkt, Öffnungen und damit
zusätzlich vorsehbare Kammern nur vis-à-vis der
Transportbahn vorsehen zu können, entlang welcher die
Werkstücke mit der schwenkbaren Transporteinrichtung
gefördert werden.
Die vorliegende Erfindung setzt sich unter einem er
sten Aspekt zum Ziel, eine Kammer eingangs genannter
Art zu schaffen, bei der diese Nachteile behoben
sind.
Hierzu zeichnet sich die erfindungsgemäße Kammer
nach dem kennzeichnenden Teil von Anspruch 1 aus.
Dadurch, daß nämlich eine Transportanordnung vorge
sehen ist, die zusätzlich zur Schwenkbewegung der be
kannten Transporteinrichtung sowohl parallel zur Ach
se getrieben linear verschieblich ist sowie, bezüg
lich dieser Achse, auch radial, wird erreicht, daß
einerseits Kammeröffnungen nicht mehr vis-à-vis der
Transporteinrichtungs-Transportbahn vorgesehen werden
müssen und daß anderseits, für die Auslegung eines
notwendigen Hubes zur Bedienung einer an der betrach
teten Kammer angeordneten gegebenen weiteren Kammer,
der erfindungsgemäße mitausgenützte Radialhub einge
setzt werden kann, dessen Größe, im Rahmen des durch
die schwenkbare Transporteinrichtung gegebenen Kam
merdurchmessers, in weiten Grenzen frei gewählt wer
den kann.
Ausgehend von den erwähnten bekannten Transportkam
mern setzt sich unter einem zweiten Aspekt die vor
liegende Erfindung zum Ziel, mittels derartiger Kam
mern komplexe Gesamtvakuumbehandlungsanlagen aufbauen
zu können, bei denen, gesteuert, die Werkstücke je
nach beabsichtigtem Behandlungsverfahren frei wähl
bar, einer praktisch beliebigen Anzahl unterschiedli
cher Behandlungsstationen zuführbar sind, wobei opti
maler Kompaktheit solcher Anlagen eine hohe Wichtig
keit zugeordnet wird.
Während nämlich bei den eingangs erwähnten bekannten
Kammern die Anzahl weiterer Kammern durch die Dimen
sionierung der Kammer selbst begrenzt ist, ergibt
sich dadurch, daß an der erfindungsgemäßen Kammer
kombination an einer der Öffnungen der betrachteten
Kammer eine weitere Transportkammer mit mindestens
einer weiteren Öffnung für Werkstücke angeordnet
ist, der Vorteil, daß die Werkstücke, ab der be
trachteten Kammer mit der schwenkbaren Transportein
richtung, weit verzweigt weitertransportiert werden
können und jeweils Behandlungskammern entlang des Ge
samttransportpfades angeordnet werden können.
Bevorzugterweise wird die erfindungsgemäße Kammer
kombination nach dem Wortlaut von Anspruch 3 dadurch
realisiert, daß, als die eine erwähnte Kammer mit
der schwenkbaren Transporteinrichtung, eine Kammer
vorgesehen wird, die auch die Merkmale des kennzeich
nenden Teils von Anspruch 1 aufweist.
An der eingangs erwähnten erfindungsgemäßen Kammer
oder der erfindungsgemäßen Kammerkombination wird
durch Vorgehen nach dem Wortlaut von Anspruch 4 eine
hohe Kompaktheit erzielt. Dies dadurch, daß der An
trieb für die axiale Linearverschiebung der Trans
portanordnung an der um die Achse herum in Winkelaus
richtung zu den Öffnungen schwenkbaren Transportein
richtung angeordnet, d. h. Transporteinrichtung, An
trieb und Transportanordnung zu einem Komplex inte
griert sind.
Dem Wortlaut von Anspruch 5 folgend wird weiter be
vorzugt, sowohl an der erfindungsgemäßen Kammer wie
auch an der erfindungsgemäßen Kammerkombination, die
axial verschiebliche Transportanordnung durch minde
stens einen zur Drehachse der Transporteinrichtung
versetzten, achsparallelen Arm zu realisieren, woran
mindestens ein Ende eine vorzugsweise tellerartige
Werkstückhalterung aufweist.
Bedenkt man die räumliche Anordnung der um die er
wähnte Achse drehbaren Transporteinrichtung, dann das
Vorsehen des bezüglich der Achse versetzten achspa
rallelen Armes, wodurch im axialen Querschnitt eine
L-förmige Struktur gebildet wird, so ist ohne weite
res ersichtlich, daß diese Struktur zu einer T-arti
gen dadurch ausgebaut werden kann, daß nicht nur das
eine Ende eines solchen Armes zur Werkstückhalterung
ausgenützt wird, sondern beide Enden, womit die bau
liche Flexibilität zum Anordnen weiterer Kammern, sei
dies an der erfindungsgemäßen Kammer oder an der er
findungsgemäßen Kammerkombination noch weiter erhöht
wird. Dies nach dem Wortlaut von Anspruch 6.
Im weiteren können selbstverständlich anstelle tel
lerartiger Werkstückhalterungen, welche sich insbe
sondere für die Halterung von scheibenförmigen Werk
stücken eignen, andere, wie zangenförmige, vorgesehen
werden, insbesondere auch angepaßt an die räumliche
Gestaltung der zu behandelnden Werkstücke.
Durch Anordnung der Kammer bzw. Kammerkombinations
öffnung nach dem Wortlaut der Ansprüche 7 und/oder 8
wird eine hohe Kombinationsflexibilität ermöglicht,
was die Kombination der erwähnten Kammer bzw. Kammer
kombination mit weiteren Kammern anbelangt, sowie de
ren kompakte räumliche Zusammenstellung.
Unabhängig davon, ob eine erfindungsgemäße Kammer
mit axial und radial verschieblicher Transportanord
nung betrachtet wird oder, an einer erfindungsgemäßen
Kammerkombination, eine Transportanordnung mit
vorerst nur axial verschieblicher Transportanordnung
wird vorgeschlagen, nach dem Wortlaut von Anspruch 9
die Axialbewegung der Transportanordnung zum Ver
schließen der bedienten Öffnung auszunützen, und
zwar je nach erforderter Atmosphärentrennung der
durch die betrachtete Öffnung verbundenen Kammer bis
hin zum vakuumdichten Verschließen.
Bei Vorsehen einer auch radial verschieblichen Trans
portanordnung an der erfindungsgemäßen Kammer bzw.
Kammerkombination wird weiter vorgeschlagen, nach dem
Wortlaut von Anspruch 10 vorzugehen, in Analogie zu
den Ausführungen betreffend Anspruch 9.
Weitere bevorzugte Ausführungsvarianten von Kammer
bzw. Kammerkombination sind in den Ansprüchen 11 bis
16 spezifiziert.
Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich im wei
teren zur Lösung des eingangs genannten Transportpro
blems nach dem kennzeichnenden Teil von Anspruch 17
aus.
Die Erfindung wird anschließend beispielsweise an
hand von Figuren erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 schematisch eine teilweise geschnittene
Ansicht einer Vakuumbehandlungsanlage,
worin in bevorzugter Art und Weise eine
erfindungsgemäße Kammer, eine erfin
dungsgemäße Kammerkombination und das
erfindungsgemäße Transportverfahren
realisiert sind,
Fig. 2 vergrößert einen Ausschnitt einer Ü
bergabevorrichtung an der Anlage gemäß
Fig. 1,
Fig. 3 schematisch und teilweise geschnitten,
einen Teil der Anlage gemäß Fig. 1 in
Aufsicht,
Fig. 3a schematisch einen Schnitt gemäß Fig. 3
durch eine an der Anlage gemäß Fig. 1
bis 3 angeordnete Ätzkammer zum doppel
seitigen Sputtern von scheibenförmigen
Werkstücken,
Fig. 4 schematisch und teilweise längsgeschnit
ten, eine Karusselltransportkammer mit
radial bedienten Kammeröffnungen, als
mögliche Kammer an einer erfindungsge
mäßen Kammerkombination,
Fig. 5 in einer Darstellung analog zu derjeni
gen von Fig. 4 eine weitere Ausführungs
variante einer Karussellkammer mit ra
dial bedienten Kammeröffnungen, als mög
liche Kammer an einer erfindungsgemäßen
Kammerkombination,
Fig. 6 in Darstellung analog zu Fig. 4 eine Ka
russellkammer mit axial bedienten Kam
meröffnungen, als mögliche Kammer an ei
ner erfindungsgemäßen Kammerkombina
tion,
Fig. 7 eine weitere Ausführungsvariante der
Kammer nach Fig. 6,
Fig. 8a-8f Kombinationen verschiedener Kammertypen
in Minimalkonfiguration zum Aufbau kom
pakter Vakuumbehandlungsanlagen, wobei
die Varianten c), d), e), f) erfindungs
gemäße Kombinationen zeigen, die Vari
ante e), auch eine erfindungsgemäße
Kammer beinhaltet.
In den Fig. 1 bis 3 ist eine bevorzugte Anlage, worin
die Erfindung integriert ist, schematisch darstellt.
Die Anlage umfaßt eine Kammer 1 und eine Kammer 3
sowie eine die Kammern 1, 3 verbindende Zwischenkam
mer 3a.
In Kammer 1 zentrisch drehgelagert und mit einem Mo
tor 5 gesteuert angetrieben ist ein Transportstern 7
mit, wie beispielsweise gezeigt, sechs Armen 9 vorge
sehen. Der Transportstern ist um die Achse A7 dreh
bar. Die zur Achse A7 parallele Außenwand 11 der
Kammer 1 weist mindestens zwei Öffnungen 13a und 13b
auf, auf welche, durch Drehen des Sterns 7, jeweils
die Achse A9 eines der Arme 9 ausgerichtet wird. Die
Arme 9 sind mit (nicht dargestellten) am Transport
stern 7 integrierten Antrieben, radial in Richtung
ihrer Achsen A9 linear ausfahrbar bzw. rückholbar.
Der Linearantrieb ist vakuumdicht mit Bälgen 15 ge
kapselt. Endständig an den Armen 9, d. h. den bezüg
lich der Achse A7 radial beweglichen Armteilen, ist
je eine Transportbüchse 17 montiert, welche, detail
lierter in Fig. 2 schematisch dargestellt ist und
die, wie aus dem Vergleich von den Fig. 1 und Fig. 3
erkenntlich, in Richtung parallel zur Achse A7 we
sentlich breiter sind als in Richtung quer dazu, d. h.
in Azimutalrichtung.
Entsprechend sind die Öffnungen 13a bzw. 13b
schlitzförmig ausgebildet.
In Richtung der Achse A7 betrachtet, reitet in jeder
Büchse 7, um eine Achse A19 schwenkbar gelagert, eine
Transportvorrichtung 18 mit einer Transportzange 19
(Fig. 2), die z. B., wie in Fig. 2 dargestellt, ausge
bildet ist. Sie umfaßt zwei Zangenarme 19a, 19b, die
je an einem Trägerteil 21 um Schwenkachsen 23a, b
drehgelagert sind und, über Rollen 24 miteinander in
Eingriff stehen und (nicht dargestellt) federnd in
die in Fig. 2 dargestellte Schließlage vorgespannt.
Am Zangenarm 19b ist weiter eine Betätigungsrolle 25
vorgesehen, zum Öffnen bzw. schließenden Freigeben
der Zange.
Wie erwähnt, ist die durch Zange 19 und Trägerteil 21
gebildete Transportvorrichtung 18 schwenkbar an der
Büchse 17 gelagert. An einem an der Transportvorrich
tung 18 drehfesten Mitnehmerstummel 26 ist ein erster
Hebel 28 drehfest angeordnet, der an einem zweiten
Hebel 30, in einem Lager 32, drehgelagert ist. Das
dem Lager 32 abgewandete Ende des Hebels 30 seiner
seits ist über eine Montageplatte 34 am radial fixen
Armteil des Armes 9, an einem Lager 36, drehgelagert.
Die bis anhin beschriebene Anordnung arbeitet wie
folgt:
Ausgehend von der Schwenklage der Transportanordnung
18 gemäß Fig. 2, in geschlossener Zangenposition,
beispielsweise mit einer Werkstückscheibe 40 in der
Zange, kann der Transportstern 7 in beliebige Posi
tionen um seine Achse A7 geschwenkt werden. Dabei
sind, mit den jeweiligen, armspezifischen Radialan
trieben, die Büchsen 13 gegen die Achse A7 rückge
holt.
Soll nun, wie in Fig. 2 dargestellt, eine der Öffnungen,
beispielsweise 13x, bedient werden, so wird
die Achse A9 eines Armes 9 und damit die Schwenkebene
der Zange 19 auf die schlitzförmige Öffnung 13x aus
gerichtet. Nun wird mit dem dem betrachteten Arm 9
zugeordneten Antrieb die Büchse 17 gegen die Öffnung
13x vorgetrieben. Aufgrund der dadurch bewirkten Li
nearbewegung von Achse A19 mit dem Mitnehmerstummel
26 wird der erste Hebel 28 um Lager 32 geschwenkt,
und da der Hebel 28 drehfest am Stummel 26 sitzt und
letzterer drehfest an der Transportvorrichtung 18,
wird, wie in Fig. 2 gestrichelt dargestellt, die
Transportvorrichtung 18 durch die Öffnung 13x durch
geschwenkt, unter gleichzeitiger Linearverschiebung
mit der Büchse 17. Die Büchse 17 ruht dabei an der
Außenwand 11 der Kammer 1 und verschließt die Öffnung
13x, je nach Anforderung an die Trennung der
beiden Kammern 1 und 3, vorzugsweise dicht, gegebe
nenfalls vakuumdicht.
Wie in Fig. 2 ersichtlich, verbleibt die Büchse 17 in
der Kammer 1, während die durch die Zange 19 gebilde
te Werkstückhalterung, durch die Öffnung 13x hin
durch, vollständig in die Kammer 3 bzw. 3a geschwenkt
wird.
In Fig. 2 ist für die benötigte Schwenkbewegung der
Transportvorrichtung 18 ein unnötig langer Linearhub
der Büchse 17 dargestellt. Wie der Fachmann aber ohne
weiteres erkennt, zusätzlich unter Betrachtung der
Darstellung gemäß Fig. 2a, kann durch Verringerung
der Länge des Hebels 28 zwischen Achse A19 und An
lenklager 32 dieselbe Schwenkbewegung des Trägerteils
21 und damit der Transportvorrichtung 18 mit einem
wesentlich geringeren linearen Hub H realisiert wer
den.
Damit kann mit praktisch beliebig kleinem linearen
Hub H und entsprechender Minimalisierung der hierzu
vorzusehenden Antriebs- und Abdichtungsorgane die er
wünschte Schwenkbewegung realisiert werden und mit
ihr, aufgrund des Schwenkradius des Werkstückes 40 um
Achse A19, der erwünschte Hub durch Öffnung 13x.
In Kammer 3 bzw. 3a ist, wie in Fig. 2 schematisch
dargestellt, ein Stößel 42 angeordnet, dessen end
ständige Rolle 43 durch Eingriffnahme auf die Rolle
25 an der Zange 19 gesteuert, die Zange öffnet, zur
Freigabe des Werkstückes 40.
In der bevorzugten, in den Fig. 1 bis 3 dargestellten
Ausführungsform ist zwischen Kammer 1 und Kammer 3
die Zwischenschleusenkammer 3a vorgesehen. Ihre Funk
tion wird aus der folgenden Beschreibung ohne weite
res ersichtlich werden, welche sich nun der Kammer 3
zuwendet.
Wie insbesondere aus Fig. 3 ersichtlich, umfaßt die
Kammer 3 einen Transportstern 43 mit um die Achse A43
mittels eines Motors 47 drehgetriebenen Radialarmen
45, an welchen, parallel zur Achse A43, wie darge
stellt, beispielsweise vier axiale Arme 49, aufragen.
Endständig tragen die Arme 49 die Transportteller 51
mit, (nicht dargestellt), z. B. mechanischen, pneuma
tischen oder magnetischen Halterungen für Werkstücke,
sofern die Achse A43 nicht vertikal steht. Die Teller
51 sind mit den Armen 49 je zugeordneter Bälge 53 ge
kapselten Antrieben linear und parallel zur Achse A43
ausfahrbar bzw. rückholbar.
Die Kammer 3 weist, ausgerichtet auf den durch die
Teller 51 bei Drehen um die Achse A43 durchlaufenen
Kreisring, wie dargestellt, beispielsweise zwei Öffnungen
55a und 55b auf. Die Teller 51 sind so ausge
bildet, daß sie gegen eine jeweilige Öffnung 55
ausgefahren, mit (nicht dargestellten) Dichtungsorga
nen die Öffnung verschließen, dicht bzw. vakuum
dicht. Wie bereits an den Büchsen 17 zur Wand 11 von
Kammer 1 können hierzu Spaltdichtungen ausreichen,
falls ein vakuumdichter Verschluß nicht notwendig
ist. Im weiteren ragen die Teller 51 axial über die
Berandungspartien 56 der Öffnung 55 aus der Kammer 3
hinaus, wogegen sich, in ausgefahrenem Zustand, die
Teller 51 verschließend anlegen.
Es seien nun vorerst die Verhältnisse an der Öffnung
55a betrachtet, welche mit der Öffnung 13a über die
Zwischenschleusenkammer 3a kommuniziert. Wenn gemäß
Fig. 3 mittels der Transportvorrichtung 18 ein schei
benförmiges Werkstück 40 in die in Fig. 2 gestrichelt
dargestellte Position geschwenkt worden ist, legt
sich die Büchse 17 in gefordertem Ausmaße dichtend
an die Umrandung der Öffnung 13a kammer-1-seitig.
Durch gesteuertes axiales Ausfahren des der Öffnung
55a dann zugeordneten Armes 49 in Kammer 3 wird der
Teller 51 in gefordertem Masse dicht an die Öffnungsberandung
56 gelegt und übernimmt, beispielswei
se magnetisch, pneumatisch, mechanisch oder schwer
kraftgetrieben das Werkstück 40, welches durch Betä
tigung des Stößels 42 gemäß Fig. 2 von der Zange 19
freigegeben wird. Nun kann der betrachtete Arm 49
rückgeholt werden.
Die Kammer 3a kann, wie bei 57 schematisch darge
stellt, separat gepumpt werden, ebenso wie die Kam
mern 1 und/oder 3.
Der Werkstücktransport durch die Zwischenschleusen
kammer 3a erfolgt mithin wie folgt:
- - In gefordertem Ausmaß, dichtes Verschließen der Öffnung 13a durch die Büchse 17, Zange 19 leer; Einschwenken eines Armes 49 mit Werkstück am Teller 51 in Öffnungsbereich der Öffnung 55a; axiales Vorschieben des Tellers 5 mit dem Werkstück 40 und in gefordertem Umfang, dichtes Verschließen der Öffnung 55a durch Teller 51; gegebenenfalls Abpumpen der Zwischenschleusen kammer 3a; Übernahme des Werkstückes durch Zange 19; Rückschwenken der Transportvorrich tung 18 mit gleichzeitigem Lösen der Büchse 17 von der Berandung der Öffnung 13x; oder
- - Leerer Teller 51 verschließt in gefordertem Ausmaß dicht Öffnung 55a; Einschwenken eines Armes 9 mit Büchse 17 und Werkstück 40 an Zange 19 über Öffnung 13a; Ausschwenken der Zange 19 mit dem Werkstück, unter gleichzeitig in gefor dertem Umfang dichtem Verschließen der Öffnung 13a durch Büchse 17; Übernahme des Werk stückes magnetisch, pneumatisch, mechanisch oder schwerkraftgetrieben, durch Teller 51 in Öffnung 55a; Abpumpen der Zwischenschleusen kammer 3a durch Pumpe 57; Rückholen des Tellers 51 und Weiterdrehen des Transportsternes 43.
Aus dieser Beschreibung ist ohne weiteres ersicht
lich, daß die Kammer 3a als Zwischenschleusenkammer
wirken kann, die separat pumpbar ist oder welche auf
grund ihres nur sehr geringen Volumens allein genü
gende Atmosphärentrennung zwischen den Kammern 1 und
3 gewährleistet. Muß keine Zwischenschleusenkammer
3a vorgesehen werden, so kann die Werkstückübernahme
in dargestellter Art und Weise in der Kammer 3 direkt
erfolgen, ohne daß die Teller 51 an der Übergabe
öffnung eine Dichtfunktion ausüben würden. Im darge
stellten Ausführungsbeispiel wirkt, an der Übergabe
verbindung 13a, 55a der Teller 51 als das eine
Schleusenventil, die Büchse 17 als das andere.
Beim dargestellten bevorzugten Ausführungsbeispiel
ist weiter die Öffnung 55b als Eingabe/Ausgabe-
Schleuse ausgebildet. Hierzu ist ein vakuumdicht
schließbarer Deckel 57, z. B. gegen Normal-Atmosphäre
vorgesehen, als ein Schleusenventil, und es wirkt der
momentan auf die Öffnung 55b ausgerichtete Teller 51
als zweites Schleusenventil.
Trotz des höchst geringen Volumens auch dieser
Schleusenkammer kann gegebenenfalls, wie bei 57 dar
gestellt, auch hier eine Pumpe 57 angeschlossen sein,
zum separaten Pumpen dieser Schleusenkammer.
Wie bereits erwähnt wurde, wird die Öffnung 13b der
Kammer 1 durch Büchse 17 und Transportvorrichtung 18,
wie aus Fig. 1 ersichtlich, gleich bedient, wie die
vorbeschriebene Öffnung 13a besagter Kammer 1.
Außerhalb der Kammer 1 ist an dieser Öffnung 13b,
beispielsweise eine Behandlungskammer, wie eine Ätz-
oder Beschichtungskammer 52 angeordnet. Aufgrund der
Tatsache, daß das Werkstück 40 mit der Zange 19 so
gehaltert und in die Behandlungskammer 52 einge
schwenkt wird, daß es praktisch allseitig durch die
Halterung an der Zange unabgedeckt bleibt, ist es
möglich, an einer solchen Behandlungsstation 52 das
Werkstück rundum, insbesondere gleichzeitig auf sei
nen beiden Scheibenflächen gleichzeitig zu bearbei
ten, wie beispielsweise durch beidseitiges Anordnen
von Elektroden zum Plasmaätzen beider genannter Flä
chen und/oder von Magnetronzerstäubungsquellen zu de
ren Beschichtung.
In Fig. 3a ist, geschnitten in Aufsicht und schema
tisch, die eine Ausbildungsvariante der Kammer 52
dargestellt, mit zwei unabhängigen Sputterquellen 53a
und 53b sowie Schirmblechen 55. Das scheibenförmige
Werkstück 40 ist zwischen die Quellen 53a und b ein
geklappt und wird beidseitig durch die Quellen 53a, b
behandelt.
An einer derartigen Kammer kann z. B. auch eine
gleichzeitige, beidseitige Beschichtung von Werkstük
ken vorgenommen werden, wie sie aus der DE-PS-39 31
713 bekannt ist.
Es seien nun im folgenden prinzipiell verschiedene
Kammertypen betrachtet, bei denen alle transportier
ten Werkstücke um eine Drehachse, bezüglich der Werk
stücke versetzt, gedreht werden. Es sei weiter eine
Fallunterscheidung vorgenommen, nämlich dahingehend,
ob die Werkstücke zusätzlich in Radialrichtung, in
Axialrichtung oder kombiniert, in radialer und axia
ler Richtung verschoben werden können.
1. Drehtransportkammer, woran Werkstücke einzeln
drehtransportiert und radial bezüglich der
Drehachse verschoben werden:
Eine solche Kammer bildet Kammer 1 gemäß Fig.
1, woran die Werkstücke 40, insbesondere durch
den Linearantrieb der Arme 9 einzeln radial ge
gen die Öffnungen 13 verschoben werden.
2. Drehtransportkammern, bei denen alle Werkstücke
auf einem Drehkarussell angeordnet sind und be
züglich der Karusselldrehachse radial einzeln
verschoben werden.
Eine solche Kammer ist schematisch in den Fig.
4 und 5 dargestellt. In einer Kammer 120 ist,
um eine Achse A124 getrieben drehbeweglich ge
lagert, entsprechend ω1, ein Karussell 124 ge
lagert, woran, in Halterungen 125, Werkstücke,
beispielsweise scheibenförmige Werkstücke 126
der oben genannten Art, gelagert sind. Koaxial
zur Achse A124 ist, bezüglich der Kammer 120
drehfest gelagert, mindestens ein auf eine
Öffnung 122 in der Kammer 120 ausgerichteter,
radial bezüglich der Achse A124 verschieblicher
Stößel 128 vorgesehen, mit dessen Hilfe ein
mit dem Karussell jeweils in Ausrichtung mit
einer der zu bedienenden Öffnungen 122 ge
brachtes Werkstück 126 aus der Öffnung 122
herausgeschoben oder durch die Öffnung 122 auf
das Karussell 124 rückgeholt wird. Gegebenen
falls kann das oder können die radial verschie
blichen Stößel 128, wie bei ω2a dargestellt,
mit einem gestrichelt angedeuteten, separaten
Drehantrieb 124 m unabhängig vom Karussell 124
drehgetrieben werden.
Bei der Ausführungsvariante, wie sie schema
tisch in Fig. 5 dargestellt ist, trägt das Ka
russell 124 die scheibenförmigen Werkstücke
126, so daß ihre Scheibenflächen in Ebenen
senkrecht zur Drehachse A124 drehgefördert wer
den. Entsprechend sind die Stößel 128 ausge
bildet und sind, analog zu den Ausführungen zu
Fig. 4, drehfest oder unabhängig vom Karussell
124 in der Kammer 120 drehgetrieben gelagert.
Sie bedienen hier radial schlitzförmige Öffnungen
122a der Kammer 120. Der Antrieb des Ka
russells 124 kann beispielsweise, wie bei P
schematisch dargestellt ist, hier peripher am
Rande des Karussells 124 erfolgen.
3. Drehtransportkammern, worin die Werkstücke ei
nerseits um eine Achse bezüglich der Werkstücke
versetzt, drehtransportiert werden, und zudem
einzeln in Richtung parallel zur Drehachse ge
fördert werden.
Eine solche Kammer ist durch Kammer 3 von Fig.
1 gebildet. Darin werden die Werkstücke mit
Hilfe der axial ausfahrbaren und rückholbaren
Arme 49, parallel zur Drehachse A43, axial be
wegt.
4. Drehtransportkammern, bei denen ebenfalls eine
axiale Werkstückbewegung, wie bei den Kammern
des Typs 3 erfolgt, aber zusätzlich eine we
sentlich höhere Anzahl Werkstücke auf einem Ka
russell drehgefördert werden als Axial-Ver
schiebungsorgane für die Werkstücke vorgesehen
sind.
Gemäß den Fig. 6, 7 weist eine solche Kammer
60 zur Drehachse A124 drehgetrieben gelagert,
ein Karussell 124 auf, woran bespielsweise
scheibenförmige Werkstücke 126 mit ihren Schei
benflächen in der Drehebene um die Achse A124
gelagert sind. Ausgerichtet auf mindestens eine
Öffnung 122 an der Kammer 60, ist ein parallel
zur Achse A124 ausfahrbarer bzw. rückholbarer
Stößel 128 fest am Gehäuse der Kammer 60 mon
tiert, und greift bei auf die Öffnung 122
drehausgerichtetem Werkstück 126 durch eine Be
dienungsöffnung 130 am Karussell 124 durch und
hebt, axial bezüglich Achse A124, das Werkstück
126 zur Öffnung 122 hin bzw. holt ein solches
von der Öffnung 122 zurück auf das Karussell
124.
Während in Fig. 6 der oder die Stößel 128, wie
erwähnt, ortsfest am Gehäuse der Kammer 60 mon
tiert sind, sind sie gemäß Fig. 7 und in Ana
logie zur einen Ausführungsvariante von Fig. 4
mit einem separaten Drehantrieb 124 m zur Achse
A124 getrieben drehbar, unabhängig von der
Drehbewegung des Karussells 124 um dieselbe
Achse. Bei einer weiteren Variante dieses Kam
mertyps kann der Axialhub durch das Karussell
selbst ausgeführt werden.
5. Drehtransportkammern des Typs, bei denen die
Werkstücke um eine Drehachse drehbewegt werden,
zudem bezüglich dieser Achse je einzeln axial
verschoben und zudem, bezüglich der erwähnten
Achse, je einzeln auch radial verschoben wer
den. Eine solche Kammer ist durch Kammer 1 der
Fig. 1 und 3 gebildet, zusammen betrachtet mit
der Transportvorrichtung 18. Werkstücke werden
einerseits um die Achse A43 gedreht, zusätzlich
durch den axialen Linearantrieb der Arme 49
axial bewegt und werden durch Wirkung der
Transportvorrichtung 18 bezüglich der Achse A43
auch radial verschoben. Insbesondere bei der
letzterwähnten Kammer, wo die Werkstücke bezüg
lich der erwähnten Drehachse sowohl axial, wie
auch radial verschoben werden, also in einer
Ebene, welche die Drehachse, wie A124 beinhal
tet, eignet sich das Vorsehen einer Schwenk
transporteinrichtung, wie sie durch die Trans
portvorrichtung 18 in der Ausführungsvariante
gemäß den Fig. 1 bis 3 realisiert ist, ausge
zeichnet.
Selbstverständlich läßt sich die Realisation
eines radialen und axialen Werkstücktransportes
bezüglich der erwähnten Drehachse auch an einer
Karussellkonstruktion realisieren, wenn auch
mit größerem Konstruktionsaufwand.
Es soll nun nachfolgend erläutert werden, an
hand von Fig. 8, wie diese Kammertypen zu Kam
merkombinationen mit mindestens zwei Kammern
kombiniert werden können, zum Aufzeigen, wie
flexibel solche Kammern zum Aufbau gesamter Va
kuumbearbeitungsanlagen zusammengestellt werden
können. An den oben erwähnten Kammertypen, de
nen allen gemeinsam ist, daß die Werkstücke um
eine Drehachse in der Kammer drehtransportiert
werden, treten für den Aufbau von Gesamtanlagen
gegebenenfalls noch weitere Kammertypen hinzu.
Um im folgenden auch kurz auf die jeweiligen
Kammertypen Bezug nehmen zu können, seien fol
gende Definitionen verwendet:
- a) EASK: Schleusenkammern, womit Werk stücke in beiden Richtungen durchge schleust werden.
- b) ESK: Schleusenkammern, an welchen Werkstücke nur in einer Richtung durchtransportiert werden.
- c) BEAK: Bearbeitungskammern, worin Werkstücke oberflächenbehandelt wer den, beispielsweise geätzt oder be schichtet werden.
- d) RADK: Radial bedienende Drehstern kammern des Typs 1, wie in den Fig. 1 bis 3 durch Kammer 1 dargestellt.
- e) RAKAK: Radial bedienende Karussell kammern des Typs 2, wie in den Fig. 4 bzw. 5 schematisch dargestellt.
- f) AXDK: Axial bedienende Drehsternkam mern des Typs 3, wie durch Kammer 3 in den Fig. 1 bis 3 dargestellt.
- g) AXKAK: Axial bedienende Karussell kammern des Typs 4, wie in den Fig. 6 bzw. 7 schematisch dargestellt.
- h) AXRADK: Drehsternkammern, welche so wohl eine axiale, wie auch eine ra diale Bedienung erlauben, des Typs 5, wie durch Kammer 3 mit Vorrich tung in den Fig. 1 bis 3 dargestellt ist.
- i) TR: Weitere Transportkammern mit zwei Kammeröffnungen, wozwischen in irgendeiner z. B. bekannten Art und Weise Werkstücke transportiert wer den.
In Fig. 8a sind zwei RADK-Kammern 62 kombiniert, mit
je einem drehgetriebenen, mindestens einarmigen, ra
dial bedienenden Drehstern 63, womit einerseits die
Verbindungsöffnung 65 zwischen den beiden Kammern 62
mit Werkstücken 67 bedient wird, anderseits weitere
Öffnungen 69, woran beliebige weitere Kammern der
Typen a) bis i) angeordnet werden können.
In dieser Konfiguration sind die Drehachsen der
Transportsterne 63 parallel und es wird, bezüglich
der gezeigten zwei Kammern 62, im wesentlichen in ei
ner Ebene senkrecht zu den erwähnten Drehachsen
transportiert.
Mit den radial verschieblichen Drehsternarmen können,
je nach Erfordernis, die damit bedienten Öffnungen
65 bzw. 69 dicht bzw. vakuumdicht verschlossen wer
den.
Gemäß Fig. 8b wirkt eine radial bedienende Dreh
sternkammer 62 RADK zusammen mit einer radial bedie
nenden Karussellkammer RAKAK. Diese weist ein um eine
Achse drehgetriebenes Karussell 71 auf, mit Werk
stückaufnahmen 73 für die Werkstücke 67 und bedient
einerseits die gemeinsame Öffnung 65, anderseits
mindestens eine weitere Öffnung 69. In den RAKAK-
Kammer 72 sind, im dargestellten Beispiel drehfest,
radial verschiebliche Stößel 75 vorgesehen, welche
Werkstücke 67 aus den Aufnahmen 73 am Karussell zu
den jeweiligen Öffnungen 65, 69 fördern bzw. rückho
len. Auch hier werden die Werkstücke in einer Ebene
senkrecht zu den Drehachsen des Drehsternes 63 bzw.
des Karussells 71 gefördert. Die Öffnungen 69 bzw.
65 werden durch Wirkung der Arme des Drehsterns 63
bzw. durch die der Stößel 75, je nach Erfordernis
sen, dicht oder vakuumdicht verschlossen. An den
Öffnungen 69 können auch hier weitere Kammern der
Typen a) bis i) angeordnet werden.
Ohne weiteres ist nun ersichtlich, daß eine Dreh
sternkammer 62 gemäß Fig. 8b durch eine zweite ra
dial bedienende Karussellkammer RAKAK 72 ersetzt wer
den kann, womit eine Kammerkombination aus zwei RA
KAK-Kammern gebildet wird, analog zu der in Fig. 8a
für Drehsternkammern dargestellten Konfiguration.
In Fig. 8c ist eine radial bedienende Drehsternkammer
RADK 62, mit einer axial bedienenden Drehsternkammer
AXDK 80 kombiniert. Letztere weist einen Drehstern 81
auf, woran axial getrieben verschiebliche Stößel 82
angeordnet sind. Durch die radial verschieblichen Ar
me des Drehsterns 63 und die axial verschieblichen
Stößel 82 am Drehstern 81, wird die Kammeröffnung 65
bedient, durch die entsprechenden Drehsterne 63 bzw.
81, weitere Öffnungen 69 an den Kammern 80 bzw. 62,
woran weitere Kammern der Typen a) bis i) angebracht
werden können. Wie ersichtlich, wird hier ein Werk
stücktransport in zwei aufeinander senkrechten Ebenen
realisiert. Sowohl die Arme des Drehsternes 63 wie
auch die Stößel des Drehsternes 81 können, je nach
Erfordernissen, die Öffnung 65 bzw. die Öffnungen
69 dicht, gegebenenfalls vakuumdicht verschließen.
Daß in Fig. 8c anstelle einer radial wirkenden Dreh
sternkammer RADK 62 eine ebenso wirkende Karussell
kammer RAKAK 72 angeordnet werden kann, ergibt sich
ohne weiteres.
Anstelle der axial wirkenden Drehsternkammern AXDK 80
von Fig. 8c ist in Fig. 8d eine axial wirkende Karus
sellkammer AXKAK 85 vorgesehen. Sie umfaßt ein bei
spielsweise scheibenförmiges Karussell 87 mit Werk
stückaufnahmen 89. Axial verschiebliche Stößel 88,
ausgerichtet auf die Öffnung 65 bzw. die Öffnungen
69, heben Werkstücke in den Werkstückhalterungen 89
aus dem Karussell zu den genannten Öffnungen bzw.
holen diese in die Halterungen 89 zurück. Auch hier
erfolgt der Werkstücktransport in zwei senkrechten
Ebenen. Die Arme des Drehsternes 63 bzw. die Stößel
88 können, je nach Erfordernis, die Öffnungen 65
bzw. 69 dicht bzw. vakuumdicht, verschließen. Auch
hier können an die Öffnungen 69 weitere Kammern der
Typen a) bis i) angeschlossen werden.
Es ergibt sich aus Fig. 8e ohne weiteres, daß die
radial wirkende Drehsternkammer RADK 62 durch eine
radial wirkende Karussellkammer RAKAK 72 gemäß Fig.
8b ersetzt werden kann.
In Fig. 8e ist eine Konfiguration dargestellt, beste
hend aus einer radial wirkenden Drehsternkammer RADK
62 und einer axial und radial wirkenden Drehsternkam
mer AXRADK 90. Letztere weist einen Drehstern 91 auf,
der einerseits radial ausfahrbare Arme 93 umfaßt,
woran axial ausfahrbare bzw. rückholbare Stößel 95
gelagert sind.
Vergleicht man diese Ausführungsform mit derjenigen
von Fig. 8c, wo nur axial verschiebliche Stößel 82
vorgesehen sind, so wird ein wesentlicher Vorteil der
Konfiguration nach Fig. 8e ersichtlich. Während die
Kammer 80 von Fig. 8c in ihrem Durchmesser bezüglich
der Drehachse des Sterns 81 nämlich so bemessen wer
den muß, daß die Öffnung 65 durch axiales Ver
schieben der Stößel 82 bedienbar ist, kann bei der
Ausführungsvariante nach Fig. 8e der Durchmesser der
Kammer 90 bezüglich der Drehachse des Sterns 91 nur
so groß gewählt werden, daß die Öffnungen 69 be
dienbar sind. Nur in beispielsweise einer Drehposi
tion des Drehsternes 61 kann der entsprechende Arm 93
radial ausgefahren werden, um durch anschließendes
Axialverschieben, Öffnung 65 zu bedienen. Damit er
gibt sich, wie gestrichelt bei 97 dargestellt ist,
die Möglichkeit, die Öffnung 65 über eine Zwischen
kammer zu bedienen, welche den Durchmesser der Kammer
90 bezüglich der Drehachse des Sternes 91 nur, wie
erwähnt, in einer Winkelposition auskragen läßt.
Bezüglich des dichten Verschließens der Öffnungen
69 bzw. 65 gilt das bezüglich der Fig. 8a bis d Aus
geführte. Im weiteren sei betont, daß die Realisa
tion der Axial- und Radialtransportverschiebungen an
der Kammer 90 in unterschiedlichen Varianten möglich
ist, so auch durch Einbezug zusätzlicher Transport
mittel, wie er beispielsweise und vorzugsweise durch
die Schwenktransportvorrichtung 18 in der Ausfüh
rungsvariante gemäß den Fig. 1 bis 3 realisiert ist.
Daß an der Ausführungsvariante gemäß Fig. 8e an
stelle einer radial wirkenden Drehkranzkammer RADK 62
eine radial wirkende Karussellkammer RAKAK 72 gemäß
Fig. 8b vorgesehen werden kann, ist ohne weiteres er
sichtlich.
In Fig. 8f ist die Kombination aus zwei axial bedie
nenden Drehsternkammern AXDK 80 dargestellt. Die
Funktionsweise ist ohne weiteres ersichtlich. Gestri
chelt dargestellt ist weiter, daß axial verschiebli
che Stößel 82 in Paaren 82a und 82b angeordnet wer
den können, so daß mit solchen Stößeln, mit dem
gleichen Drehstern, zweiseitig der Drehebene angeord
nete Öffnungen 69 bedient werden können. Dieselbe
Technik kann selbstverständlich auch gemäß Fig. 8e
für Drehsterne AXRADK mit Radial- und Axialvorschub
realisiert werden.
Anstelle einer der AXDK-Kammern 80 eine AXRADK-Kammer
85 gemäß Fig. 8d vorzusehen, ist an der Anordnung
von Fig. 8f, wie ohne weiteres ersichtlich, problem
los möglich. Ebenso wird nun ersichtlich, daß das
Koppeln zweier Kammern AXKAK gemäß Kammer 85 von
Fig. 8d ohne weiteres möglich ist. Auch das Vorsehen
einer Kammer AXRADK 90 gemäß Fig. 8e an einer AXDK-
Kammer 80 gemäß beispielsweise Fig. 8c ist ohne wei
teres möglich. Ebenso die Kombination einer AXKAK-
Kammer 85 gemäß Fig. 8d mit einer AXRADK-Kammer 90
gemäß Fig. 8e.
Sollen bei den erwähnten und beschriebenen Kammerkom
binationen jeweils die einzelnen Kammern für sich
konditioniert werden können, so versteht sich von
selbst, daß jeweils Pumpanschlüsse und gegebenen
falls Gaseinlässe vorgesehen werden, je zu den ein
zelnen Kammern.
Durch die beschriebenen Kammerkombinationen können
extrem kompakte Gesamtanlagen modular zusammenge
stellt werden, mit optimal kurzem Transportweg und
kurzen Transportzyklen.
Das beschriebene Vorgehen bzw. die beschriebene Anla
ge eignen sich insbesondere für die Behandlung von
Magnetspeicherplatten, wie beispielsweise CD′s oder
Hard-Discs.
Claims (17)
1. Kammer (3), mindestens für den Transport von Werk
stücken, insbesondere von kreisscheibenförmigen Werk
stücken, wie von Speicherplatten, mindestens zeitwei
se in Vakuumatmosphäre, bei ihrer Fertigung, mit min
destens zwei Außenöffnungen und einer um eine Achse
herum in Winkelausrichtung zu den Öffnungen schwenk
baren Transporteinrichtung, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Transportanordnung (49, 18) vorgesehen ist,
woran mindestens ein Teil parallel zur Achse (A43)
getrieben linear verschieblich gelagert ist, ein Teil
bezüglich der Achse (A43) radial, um ein Werkstück
sowohl axial wie auch radial zu transportieren.
2. Kammerkombination mit einer ersten Kammer nach dem
Oberbegriff von Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Transportanordnung (49, 82) vorgesehen ist,
die in Richtung parallel zur Achse getrieben linear
verschieblich ist und an einer der Öffnungen (13a,
65) der ersten Kammer (3, 80) die Öffnung einer
Transportkammer (1, 62) mit mindestens einer weiteren
Öffnung (13b, 69) für ein Werkstück angeordnet ist,
worin Transportmittel (7, 63) vorgesehen sind, welche
mit der Transportanordnung (49, 82) in der ersten
Kammer (3, 80) durch die gemeinsame Öffnung (13a,
65) zur Werkstückübernahme in Wirkverbindung steht.
3. Kammerkombination nach Anspruch 2 mit einer ersten
Kammer nach Anspruch 1.
4. Kammer bzw. Kammerkombination nach einem der An
sprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein An
trieb für eine axiale Linearverschiebung der Trans
portanordnung (49, 82) an der Transporteinrichtung
(43, 81) angeordnet ist.
5. Kammer bzw. Kammerkombination nach einem der An
sprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die
Transportanordnung (49, 82) mindestens einen zur Ach
se versetzten, achsparallelen Arm umfaßt, woran min
destens ein Ende eine vorzugsweise tellerartige Werk
stückhalterung aufweist.
6. Kammer bzw. Kammerkombination nach Anspruch 5, da
durch gekennzeichnet, daß an beiden Enden (82, 82b)
des mindestens einen Armes eine vorzugsweise teller
artige Werkstückhalterung vorgesehen ist.
7. Kammer bzw. Kammerkombination nach einem der An
sprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß minde
stens eine der Öffnungen (55, 65) an der ersten Kam
mer (3, 80) eine im wesentlichen achsparallele Flä
chennormale festlegt.
8. Kammer bzw. Kammerkombination nach einem der An
sprüche 1, 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß min
destens eine der Öffnungen (13a) an der ersten Kam
mer (3) eine zur Achse (A43) senkrechte Flächennorma
le definiert.
9. Kammer bzw. Kammerkombination nach einem der An
sprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die
Öffnungsfläche mindestens einer Öffnung (55, 65) an
der ersten Kammer (3, 90) eine im wesentlichen
achsparallele Flächennormale festlegt und eine tel
lerartige Werkstückhalterung an der Transportanord
nung (49, 95), in Positionsausrichtung auf diese
Öffnung gebracht und in Axialrichtung ausgefahren,
diese Öffnung verschließt, vorzugsweise dicht, vor
zugsweise vakuumdicht.
10. Kammer bzw. Kammerkombination nach einem der An
sprüche 1, 3 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die
Öffnungsfläche mindestens einer Öffnung an der er
sten Kammer eine zur Achse im wesentlichen senkrechte
Flächennormale festlegt, und die Transportanordnung
zum Verschließen, vorzugsweise dichten Verschließen,
vorzugsweise vakuumdichten Verschließen dieser
Öffnung ausgebildet ist.
11. Kammer bzw. Kammerkombination nach einem der An
sprüche 1, 3 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die
Transportanordnung eine Verschiebeeinrichtung (93)
für die Radialverschiebung umfaßt.
12. Kammer bzw. Kammerkombination nach einem der An
sprüche 1, 3 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß für
die Radialverschiebung und/oder die Axialverschiebung
eine Verschiebeeinrichtung (18) außerhalb mindestens
einer der Öffnungen der ersten Kammer (3) gelagert
ist.
13. Kammer bzw. Kammerkombination nach einem der An
sprüche 1, 3 bis 12 für scheibenförmige Werkstücke,
dadurch gekennzeichnet, daß Werkstückhalterungen an
der Transporteinrichtung (63) so angeordnet sind,
daß ein darin gehaltertes scheibenförmiges Werkstück
mit seinen Scheibenflächen, beim Schwenken der Trans
porteinrichtung (63) um seine Achse, auf einer zur
Achse senkrechten Ebene läuft.
14. Kammer bzw. Kammerkombination nach einem der An
sprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß an ei
ner der Öffnungen (13a, 55a; 65) der ersten Kammer
(3, 90) eine weitere Transportkammer (1, 62) mit min
destens zwei (13, 69) Öffnungen und mit Transport
mitteln (7, 63) angebracht ist, die mit der Trans
portanordnung (49, 82) durch die gemeinsame Öffnung
(65) direkt zur Werkstückübernahme in Wirkverbindung
steht, oder über eine Schleusenkammer (3a).
15. Kammer bzw. Kammerkombination nach einem der An
sprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß minde
stens eine der Öffnungen (55b) der ersten Kammer (3)
eine Schleusenkammer bildet, indem sie durch die
Transportanordnung (49), als das eine Schleusenven
til, verschließbar, vorzugsweise dicht, vorzugsweise
vakuumdicht verschließbar ist, und an der Öffnung
ein vorzugsweise vakuumdicht verschließbarer Deckel
(57), als zweites Schleusenventil, vorgesehen ist.
16. Kammerkombination nach Anspruch 14, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Schleusenkammerventile durch
die Transportanordnung (49) und die Transportmittel
(7) gebildet sind.
17. Verfahren zum Transportieren eines Werkstückes,
insbesondere eines kreisscheibenförmigen Werkstückes,
wie einer Speicherplatte, innerhalb einer Vakuumbe
handlungsanlage, dadurch gekennzeichnet, daß das
Werkstück auf einer fest vorgegebenen Kreisbahn ge
schwenkt wird, axial daraus verschoben wird und ra
dial aus dem Kreisbahnbereich.
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8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: OC OERLIKON BALZERS AG, BALZERS, LI |
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