DE4009603A1

DE4009603A1 - Vorrichtung zum ein- und ausschleusen eines werkstuecks in eine vakuumkammer

Info

Publication number: DE4009603A1
Application number: DE4009603A
Authority: DE
Inventors: Stefan Kempf; Jaroslav Zejda
Original assignee: Leybold AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1989-03-30
Filing date: 1990-03-26
Publication date: 1990-10-04
Also published as: US5112469A

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Ein- und Ausschleusen eines Werkstücks in eine Vakuumkammer, in dem sich ein Transportmittel für die Beförderung des Werkstücks befindet.

In der Vakuumverfahrenstechnik, insbesondere in der Dünn schichttechnik ist das Beschichten von Substraten, beispielsweise von Compactdisks (CD) bekannt. Die Compact disks sind ein modernes Speichermedium für digitale Infor mationen. In einem Sputterprozeß werden die geprägten Kunststoffscheiben mit beispielsweise einer Aluminium schicht von weniger als einem zehntausendstel Millimeter überzogen. Die hierzu eingesetzten Sputterbeschichtungs anlagen besitzen in vielen Fällen einen Drehteller für die Beförderung der Substrate.

Über eine Schleuse in einem Sauberraum belädt und entlädt ein Roboter die Anlage. Von der Schleuse aus transportiert der Drehteller den Substratträger mit dem Substrat durch die Vakuumkammer. Das Besputtern erfolgt durch eine Hoch leistungszerstäubungskathode, die als Magnetron aufgebaut ist.

Durch die Deutsche Offenlegungsschrift 37 16 498 ist bereits eine Vorrichtung zum Ein- und Ausschleusen eines im wesentlichen flachen Werkstücks in eine evakuierte Beschichtungskammer und zum Zuführen und Rück führen des Werkstücks in und aus dem Bereich einer Beschichtungsquelle zum Zwecke der Behandlung der Werk stückoberfläche bekannt geworden.

Die Vorrichtung nach dieser Offenlegungsschrift ist gekennzeichnet durch eine im Bereich der Beschichtungs kammer angeordnete Beschichtungsvorrichtung mit einem oder mehreren deckelförmigen Werkstückträgern, mit Hilfe derer die Werkstücke in eine eine Öffnung der Beschich tungskammer benachbarte Position bringbar sind, von der aus die Öffnung einerseits vom Werkstückträger und andererseits von einem Hubteller verschließbar ist, der auf einem innerhalb der Beschichtungskammer rotierbar gelagerten Drehteller gehalten und geführt ist, wobei der Werkstückträger von einem sich an der Beschickungs vorrichtung abstützenden Hubzylinder an die Öffnung im Deckel der Beschichtungskammer und der Hubteller von einer an der Bodenplatte befestigten Hubvorrichtung anpreßbar ist.

Weiterhin existiert die US-Patentschrift 39 15 117. Die Kurzfassung (Abstract) dieser Patentschrift lautet in deutscher Übersetzung wie folgt: Eine Beschichtungsanlage zum Beschichten verschiedener Produkte umfaßt ein Gehäuse. Das Gehäuse besteht aus einem festen Teil und einem rotierenden Abdeckungsteil. Beide Teile bilden zusammen eine geschlossene gasdichte Gehäusekammer. Die Gehäusekammer kann evakuiert werden. Eine Vielzahl von Produktträgern werden auf den bewegbaren Teil des Gehäuses getragen. Die Produkthalter sind mit Abstand voneinander angeordnet. Sie sind bewegbar, damit sie in verschiedene Operationsstationen gebracht werden können. Einer dieser Operationsstationen umfaßt vorzugsweise eine gasdichte Beschichtungskammer. Diese Kammer ist verbindbar mit der gasdichten Gehäusekammer. Die Operationsstation ist mit getrennten Mitteln zur Evakuierung der Beschichtungskammer versehen. Es sind bewegbare Dichtungsmittel an wenigstens einer Station vorgesehen. Die Dichtungsmittel dienen zur Dichtung der Beschichtungskammer und zu deren Trennung von der Gehäusekammer. In gleicher Weise ist eine Beschickungs kammer vorzugsweise in einer separaten Station angebracht. Sie ist separat verbindbar mit der Gehäusekammer. Alter nativ kann sie von der Gehäusekammer getrennt werden und getrennt evakuiert werden.

Durch die Europäische Patentanmeldung 02 91 690 ist eine Vorrichtung zum Ein- und Ausschleusen eines im wesentlichen flachen Werkstücks in eine evakuierte Beschichtungskammer und zum Zuführen und Rückführen des Werkstücks in und aus dem Bereich einer Beschichtungsquelle zum Zwecke der Behandlung der Werkstückoberfläche bekannt geworden.

Der Gegenstand der genannten Europäischen Patentanmeldung ist gekennzeichnet durch eine im Bereich der Beschichtungskammer angeordnete Beschichtungsvorrichtung mit einem oder mehreren deckelförmigen Werkstückträgern, mit Hilfe derer die Werkstücke in eine einer Öffnung der Beschichtungskammer benachbarte Position bringbar sind, von der aus die Öffnung einerseits vom Werkstückträger und andererseits von einem Hubteller verschließbar ist, der auf einem innerhalb der Beschichtungskammer rotierbar gelagerten Drehteller gehalten und geführt ist, wobei der Werkstückträger von einem sich an der Beschickungsvorrichtung abstützenden Hubzylinder an die Öffnung im Deckel der Beschichtungskammer und der Hubteller von einer an der Bodenplatte befestigten Hubvorrichtung anpreßbar ist.

Die Vorrichtungen des Standes der Technik weisen in der praxis folgende Nachteile auf: Der gesamte Drehteller muß sehr massiv ausgeführt werden. Ebenfalls ist, um Durchbiegungen, siehe dazu der weiter unten folgende Kommentar zur Biegebeanspruchung des Substratträgers, zu vermeiden, eine massive Ausführung des Substratträgers notwendig.

Während der Verfahrenszyklen müssen daher große Massen transportiert werden. Aufgrund der dadurch auftretenden großen Massenträgheitsmomente laufen die Verfahrenszyklen entsprechend langsam ab. Einer ökonomischeren und ratio nelleren Arbeitsweise sind daher bei den Anlagen des Standes der Technik Grenzen gesetzt.

Der Substrathalter muß deshalb bei Vorrichtungen des Standes der Technik sehr massiv ausgeführt werden, weil beim Hochfahren der Hubvorrich tungen für den Substrathalter und beim Abstützen des Substrathalters an Teilen der Vakuumkammer der Substrat halter selbst hohen Biegebeanspruchungen ausgesetzt ist.

Bei Anlagen des Standes der Technik ist neben der massiven Ausführung von Drehteller und Substrathalter, auch der Aufwand an Einzelteilen sehr hoch. Dieser Aufwand multipliziert sich mit der Anzahl der Substrathalter im Drehteller.

Der Erfindung liegen folgende Aufgaben zugrunde: Die geschilderten Nachteile des Standes der Technik sollen vermieden werden. Es sollen konstruktive Voraussetzungen geschaffen werden für eine filigrane und leichte Ausfüh rung des Drehtellers und des Substrathalters.

Der Drehteller soll im wesentlichen nur die funktionsnot wendigen Teile für die Aufnahme des Substrathalters umfassen. Es soll nicht mehr notwendig sein, massive Komponenten einzusetzen, um Verbiegungen und andere Deformationen zu vermeiden. Die Massenträgheitsmomente sollen verringert werden. Die Arbeitszyklen sollen schneller ablaufen. Die Verlustzeiten, die durch das Rotieren des Drehtellers entstehen, sollen reduziert werden.

Es soll möglich sein, mehr Substrathalter, als dies beim Stand der Technik der Fall ist, in einem Drehteller unterzubringen.

Außerdem soll es durch die Einführung einer filigranen Bauweise möglich gemacht werden, daß die Abmessungen der Kammer (Kammerdicke, Kammervolumen) erheblich opti miert werden können.

Die gestellten Aufgaben werden erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das scheibenförmige Transportmittel mit mindestens einer durchgehenden Öffnung versehen ist, deren Rand ein plattenförmiges Hub- und Stützelement für eine Haltevorrichtung für das Werkstück umgibt.

Dabei kann vorgesehen sein, daß ein Stützelement eingesetzt wird, das die Haltevorrichtung gegen Teile der Vakuumkammer preßt.

Um eine über den gesamten Querschnitt der Haltevorrichtung wirkende Abstützung zu erzielen, wird vorgeschlagen, daß das Stützelement als eine durch eine Hubvorrichtung axial bewegbare Stützplatte ausgebildet ist.

Zur Verringerung der bewegten Massen wird unter anderem vorgesehen, daß die Haltevorrichtung als dünne, insbeson dere membranartige Scheibe ausgebildet ist.

Zur Zentrierung des Werkstücks kann die Haltevorrichtung mit einer Zentriervorrichtung, insbesondere in Form eines Vorsprungs, für das Werkstück ausgerüstet sein.

Weiterhin wird vorgeschlagen, daß das Transportmittel rahmenförmige Aufnahmeelemente für die Haltevorrichtung aufweist.

Zur Fixierung der Haltevorrichtung auf dem Transportmittel kann vorgesehen werden, daß das Transportmittel mindestens eine Aufnahmeöffnung für Werkstücke aufweist, die im Bereich ihres Randes einen oder mehrere, insbesondere absatzförmige, Anschläge für ein Aufsetzen der Haltevor richtung aufweisen.

Es wird weiterhin vorgeschlagen, daß die Aufnahmeöffnungen aus axial durchgehenden Ausnehmungen bestehen, die in einem, insbesondere scheibenförmigen oder tellerförmigen, Transportmittel angebracht sind.

Außerdem wird vorgesehen, daß die Aufnahmeöffnungen durch das Transportmittel in den Bereich des Stützelements bewegbar angeordnet und ausgebildet sind.

Das Transportmittel kann aus einem Teller bestehen, der drehbar in der Vakuumkammer angeordnet ist (Drehteller), der mit kreisrunden Aufnahmeöffnungen versehen ist, die durch die Drehung des Tellers in koaxiale Position zu dem als kreisrunde Stützplatte ausgebildeten Stützelemente gebracht werden können.

In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel wird vorgeschla gen, daß die Haltevorrichtung als Substrathalter, insbe sondere für diskförmige Substrate, ausgebildet ist, daß der Drehteller in der Vakuumkammer, die Teil einer Beschichtungsanlage ist, den Substrathalter mit Substrat in den Bereich einer oder mehrerer Beschichtungsquellen, insbesondere Zerstäubungskatoden, fördert.

In der Vakuumbeschichtungstechnik strebt man aus wirtschaftlichen Gründen möglichst kleine Vakuumräume an. Im vorliegenden Fall ist die Vakuumkammer von dünner spaltförmiger Konfiguration, die sich im Bereich zwischen dem Drehteller und der Unterwand des Vakuumdeckels erstreckt. Bei Verwerfungen, Wellen oder sonstigen Unebenheiten der Substrate kann es beim seitlichen Einschieben in die spaltförmige Vakuumkammer zum Verklemmen der Substrate kommen.

Ein besonderer Aufgabenkomplex, der der vorliegenden Erfindung zugrunde liegt, besteht daher darin, konstruktive Voraussetzungen dafür zu schaffen, daß die Anlage auch dann störungsfrei arbeitet, wenn die Substrate Unebenheiten aufweisen.

Weiterhin sollen die bewegten Teile eine möglichst geringe Masse aufweisen.

Die Aufgaben dieses Aufgabenkomplexes werden dadurch gelöst, daß der Substratträger so angeordnet und ausgebildet ist, daß er das Substrat nur im Bereich seines äußeren Randes trägt.

Insbesondere wird vorgeschlagen, daß der Substrathalter Ringform aufweist (Substrathaltering).

Der Substrathaltering ist so ausgebildet und angeordnet, daß das Substrat im Bereich seines äußeren Randes im Substrathaltering abgelegt werden kann.

Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel besteht darin, daß der Substrathaltering im Bereich seines äußeren Umfangs, vorzugsweise durch einen Absatz, in der Aufnahmeöffnung des Drehtellers gehalten wird, daß der Substrathaltering einen sich zur Mitte hin erstreckenden Absatz für die Ablage des Substrats aufweist.

In einem weiteren Ausführungsbeispiel wird vorgesehen, daß die Stützplatte Hutform aufweist und mit einem krempenartig ausgebildeten, sich radial nach außen erstreckenden Flansch versehen ist, daß der Substrathaltering auf dem Flansch aufliegt.

Funktionell kann vorgesehen werden, daß der Substrathaltering als Zentrierring für das Substat ausgebildet ist.

Zusätzlich kann der Substrathaltering im Bereich der Ein- und Ausschleusung als Dichtelement für die Vakuumkammer ausgebildet sein.

Dazu wird vorgeschlagen, daß der Substrathaltering in der oberen Position der Stützplatte zwischen der Wandung der Vakuumkammer, insbesondere der Innenfläche des Deckels der Vakuumkammer und der Stützplatte dichtend eingeklemmt ist.

Mit der Erfindung werden folgende Vorteile erreicht: Die gestellten Aufgaben werden gelöst, insbesondere werden die geschilderten Nachteile des Standes der Technik vermieden.

Es werden konstruktive Voraussetzungen geschaffen für eine leichte Ausführung des Drehtellers und des Substrathalters. Beide Bauteile sind bis auf ihre funktionswesentlichen Komponenten abgemagert.

Aufgrund der stark reduzierten Massenträgheitselemente laufen die Arbeitszyklen schneller ab. Gleichzeitig werden die für das ökonomische Arbeiten der Beschichtungsanlage wichtigen Daten, wie die Abmessungen der Kammer (Kammer dicke, Kammervolumen) wesentlich verbessert.

Mit dem Gegenstand der Erfindung wird ein hohes Maß an Unempfindlichkeit gegenüber Unebenheiten des Substrats erreicht.

Weitere Einzelheiten der Erfindung sind der folgenden Beschreibung dreier Ausführungsbeispiele der Erfindung zu entnehmen:

Fig. 1 zeigt in einem Schnittbild eine Vorrichtung zum Ein- und Ausschleusen einer Disk in eine Vakuumkammer einer Beschichtungsanlage, die mit einer nicht darge stellten Kathodenstation ausgerüstet ist.

Die Fig. 2 und 3 zeigen zwei weitere Ausführungsbeispiele der Vorrichtung zum Ein- und Ausschleusen einer Disk.

Bei der nachfolgenden Beschreibung des Ausführungsbei spiels wird von einem Stand der Technik ausgegangen, wie er sich in Form der oben genannten Schriften darstellt. Die Beschreibung und die Figuren dieses Standes der Technik können daher zur Erläuterung der Ausgangsbasis für die nachfolgend beschriebenen Ausführungsbeispiele herangezogen werden.

Mit 1 ist in Fig. 1 ein Querbalken bezeichnet, der durch das Aggregat 2 heb- und senkbar und drehbar ist. Der Querbalken gehört zu einer Transporteinrichtung, die mit einem Doppelschwenkarm ausgerüstet ist. Der erste Schwenkarm, im vorliegenden Fall der Querbalken 1, ist in der Figur dargestellt. Der zweite Querbalken, der dem ersten Querbalken 1 gegenüberliegend angeordnet ist, ist nur teilweise dargestellt. Er trägt die Bezugsziffer 3.

Der Doppelschwenkarm ist drehbar, und zwar um die Achse 4. Durch Verdrehen wird der erste Querbalken in die Position des zweiten Querbalkens gebracht, während der zweite Querbalken in die Position des ersten Querbalkens gelangt.

Am rechten Ende 5 des Querbalkens ist ein Deckel 6 angeordnet. Im Deckel sind drei Saugvorrichtungen, von denen zwei Saugvorrichtungen 7, 8 in der Figur dargestellt sind, untergebracht, die zum Ansaugen, das heißt Festhalten, eines Substrats dienen. Im vorliegenden Fall besteht das Substrat aus einer Disk 9, von der in der Figur nur der linke Teil dargestellt ist. Wenn der Querbalken durch das Aggregat gehoben wird, hebt er den Deckel 6 in Richtung des Pfeils 10. Nachdem der Deckel oberhalb der Oberkante 11 des Vakuumkammerdeckels 12 gelangt ist, kann der Querbalken um 180 Grad gedreht werden, siehe oben.

Die im Vergleich zur Vakuumkammer kleine Einschleuskammer 13 ist trennbar von der Vakuumkammer 14 der Beschichtungs anlage, wie weiter unten noch im einzelnen beschrieben werden wird. Das Unterteil der Vakuumkammer trägt die Bezugsziffer 15.

In der vorliegenden Figur ist nur der Teil der Vakuum kammer gezeigt, der funktionsmäßig mit der Einschleus station zusammenwirkt. Die Vakuumkammer ist im vorliegen den Ausführungsbeispiel flach ausgeführt. In ihr ist ein Drehteller 16 untergebracht. Die Bezugsziffer 16 ist mehrfach in der Figur eingetragen, um die Konfigura tion des Drehtellers deutlich zu machen. In der Figur ist nur der Teil des Drehtellers gezeigt, der mit der Schleusenstation zusammenwirkt.

Mit 17 ist die Unterkante des Drehtellers bezeichnet. Die Bezugsziffer 17 ist zur Verdeutlichung der Position dieser Unterkante zweifach eingetragen. 18 stellt die Oberkante des Drehtellers dar. Der Drehteller kann inner halb der Vakuumkammer, die mit 14 bezeichnet ist, um die Achse 19 rotieren.

Der Drehteller kann beispielsweise vier Aufnahmeöffnungen aufweisen, von denen eine in der Figur dargestellt ist und dort die Bezugsziffer 20 trägt. Die Aufnahmeöffnung besteht aus einer zylinderförmigen Ausnehmung im flachen Drehteller 16.

Wegen der gewählten Schnittdarstellung bildet sich die Aufnahmeöffnung als Linie 20 ab. Es handelt sich um die Begrenzungslinie oder die geschnittene Mantelfläche der zylinderförmigen Ausnehmung.

Im Bereich des Randes, beziehungsweise der Mantelfläche 20, der Aufnahmeöffnung im Drehteller 16 ist ein Absatz 21 vorgesehen, auf den sich der Substrathalter 22 setzen kann.

In der Figur rechts ist ein Substrathalter 23 gezeigt und zwar in seiner, auf dem umlaufenden Absatz 21 abgesetzten Position. Links ist der Substrathalter, siehe oben, mit 22 bezeichnet und zwar in seiner angehobenen Position.

Mit 24 ist das Substrat, beziehungsweise die Disk, bezeichnet, die im Substrathalter liegt.

Mit 25, 26 sind zwei Positionen einer Stützplatte gekenn zeichnet, wobei 25 die Stützplatte in ihrer oberen Position und 26 die Stützplatte in ihrer unteren Position bezeichnen. Die Stützplatte wird axial bewegt durch eine Hubvorrichtung 27.

36 bezeichnet ein Dichtungs- und Führungsteil. Der Bereich 14 ist, siehe oben, Teil der Vakuumkammer. Er steht also auch während des Be- und Entladens unter Vakuum.

Nachfolgend wird die Verfahrensweise für das Ein- und Ausschleusen eines Werkstücks, hier einer Disk, beschrie ben:

In einer Position des Querbalkens 1, die um 180 Grad zu der in der Figur gezeigten Position verschwenkt angeordnet ist, wird durch die Saugvorrich tungen 7, 8 eine Disk aufgenommen, das heißt angesaugt. Der Querbalken 1 und damit der Deckel 6 und die Disk 9 werden angehoben und anschließend um 180 Grad um die Achse 4 verschwenkt. Sie sind dann in einer Position oberhalb derjenigen Position, die in der Figur gezeigt ist.

Anschließend wird der Querbalken mit Deckel und Disk abgesenkt und gelangt in die Position, wie sie in der Figur dargestellt ist. Der Rand 28 des Deckels liegt dichtend auf der Dichtung 29 auf. Es handelt sich hierbei vorzugsweise um einen O-Ring.

Die Saugleitung 30, beziehungsweise Vakuumleitung für die Saugvorrichtungen 7, 8 wird abgeschaltet, so daß der Saugeffekt, beziehungsweise Halteeffekt, fortfällt. Die Disk 9 legt sich in den Substrathalter 22.

Die Stützplatte ist vorher in die Position 25 durch die Hubvorrichtung 27 angehoben worden. Der Substrathalter 22 wird durch die Stützplatte gegen die untere Wand 31 der Vakuumkammer beziehungsweise gegen die Dichtung (O-Ring) 32 gepreßt. Die Einschleuskammer 13 ist nunmehr luftdicht gegenüber der Atmosphäre und gegenüber der Vakuumkammer abgeschlossen.

Die Einschleuskammer wird über die Leitung 33 anschließend evakuiert. Das Schleusenventil 34 ist entsprechend geschaltet.

Nach der Evakuierung der Einschleuskammer 13 fährt die Stützplatte in ihre untere Position, die mit 26 bezeichnet ist. Die Einschleuskammer 13 wird nunmehr mit der Vakuumkammer 14 verbunden. Der Substrat halter mit der Disk setzt sich auf den Absatz 21 in der Aufnahmeöffnung des Drehtellers 16. In dieser Position ist in der Figur rechts der Substrathalter mit 23 bezeichnet, siehe oben. Das im Substrathalter 23 liegende Substrat trägt in Figur rechts die Bezugsziffer 24.

Der Drehteller kann nun, nach dem Absenken der Stütz platte, zusammen mit dem Substrathalter, der sich unter der Wirkung seines Eigengewichts, wie dargestellt, auf den ringförmigen Absatz 21 des Drehtellers abgesetzt hat und zusammen mit dem im Substrathalter liegenden Substrat, innerhalb der Vakuumkammer rotieren. Das Sub strat wird innerhalb der Vakuumkammer zu weiteren Stationen, beispielsweise zu einer Beschichtungsquelle in Form einer Zerstäubungskatode, transportiert.

Es können beispielsweise vier Stationen in der Vakuum kammer angeordnet sein. Der Drehteller würde sich dann im Takt um jeweils 90 Grad drehen. Nach vier Takten wäre ein Arbeitszyklus beendet und das beschichtete Substrat gelangt in die in der Figur mit 24 bezeichnete Position. Es folgt der Ausschleusvorgang.

Die Stützplatte wird bei Beginn des Ausschleusvorgangs aus ihrer Position 26 in die Position 25 gehoben. Damit gelangt das Substrat, beziehungsweise die Disk, aus der Position 23, 24 in die Position 22, 9. Der Substratträger 22 wird durch die Stützplatte 25 gegen die Dichtung 32 gepreßt.

Die Einschleuskammer wird dadurch von der Vakuumkammer getrennt. Anschließend wird die Einschleuskammer über die Leitung 33 durch entsprechende Schaltung des Schleusenventils 34 geflutet.

Nachdem die Schleusenkammer geflutet ist, werden durch Öffnen der Saugleitung 30 die Saugvorrichtungen aktiviert, so daß die Saugvorrichtungen die Disk ansaugen und festhalten können.

Anschließend wird der Deckel durch den Querbalken gehoben und danach um 180 Grad geschwenkt. Die beschichtete Disk wird in der nicht dargestellten linken Position von den Saugvorrichtungen freigegeben.

Zusammenfassend kann also gesagt werden, daß in einem Drehteller mehrere dünne membranartige Substratträger angeordnet sind. In der Vertiefung der Substratträger wird das Substrat zentriert abgelegt. Die Zentrierung der Substrate, beziehungsweise Disks, erfolgt durch einen Vorsprung 35 im Zentrum des Substrathalters.

In der Einschleusstation werden die dünnen membranartigen Substratträger von einer Stützplatte gegen eine Dichtung, insbesondere einen O-Ring, gedrückt und bilden so mit dem Vakuumkammerdeckel und dem darüber angeordneten Deckel 28 die Einschleus- oder Ausschleuskammer 13. Der Substrat halter besteht aus einem relativ einfachen Drehteil, vorzugsweise aus Aluminium.

Die Stützplatte 25, 26 ist nur in der Ein- und Ausschleus station vorgesehen.

Die Stützplatte verhindert das Durchbiegen des dünnen Substrathalters. Auch der Drehteller selbst kann, wie aus der Figur ersichtlich, sehr dünn ausgelegt werden.

Damit werden die Massenträgheitsmomente des Drehtellers und der vier Substrathalter erheblich reduziert.

Der Fig. 2 sind Einzelheiten eines weiteren Ausführungsbeispiels zu entnehmen. Die Stützplatte weist hier eine Hutform auf mit einem krempenartigen Flansch. Diese hutförmige Stützplatte ist in ihrer oberen Position mit 37 bezeichnet. Der Flansch trägt die Bezugsziffer 38. Die Bewegungen der Stützplatte werden durch den Pfeil 69 wiedergegeben.

Auch im Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 sind Bauteile mehrfach mit ihren Bezugsziffern versehen, um die Konfiguration dieser Bauteile zu verdeutlichen. So ist beispielsweise der Flansch zweimal mit der Bezugsziffer 38 bezeichnet.

In seiner unteren Position ist die Stützplatte mit 39 bezeichnet. Die Hubvorrichtung für die Stützplatte trägt die Bezugsziffer 40.

Aus Fig. 2 ist erkennbar, daß der Substrathaltering 41 in der oberen Position 37 der Stützplatte zwischen dem Flansch 38 der Stützplatte und der unteren Fläche 42 des Deckels 43 der Vakuumkammer eingeklemmt gehalten wird.

Zur Abdichtung ist in dem Deckel 43 der Vakuumkammer die Dichtung 44 vorgesehen. Im Flansch 38 befindet sich die Dichtung 45.

In der in Fig. 2 dargestellten Situation ist der Substrathaltering zwischen den soeben genannten Dichtungen eingeklemmt. Er bildet somit ein Abdichtelement für die Vakuumkammer 46.

Der Drehteller ist in Fig. 2 mit 47 bezeichnet. Er weist die Aufnahmeöffnung 48 auf, in der der Substrathaltering bei der Abwärtsbewegung der Stützplatte aufgenommen wird. Der Substrathaltering sitzt auf dem Absatz 49 in der Aufnahmeöffnung des Drehtellers auf.

Das Substrat ist mit 50 bezeichnet, es wird durch den Vorsprung 51 der Stützplatte während des Ein- und Ausschleusvorgangs zentriert. Bei der Abwärtsbewegung der Stützplatte nach unten wird das Substrat auf dem Absatz 52 des Substrathalterings abgelegt und durch den Substrathaltering zentriert.

Die Funktionsabläufe, insbesondere die Ein- und Ausschleusvorgänge entsprechen den Vorgängen, wie sie anhand von Fig. 1 beschrieben wurden. In Fig. 2 ist aus Vereinfachungsgründen der Deckel, siehe in Fig. 1 Bezugsziffer 6, fortgelassen worden.

In Fig. 3 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt. Der Drehteller trägt die Bezugsziffer 53, die Drehachse des Drehtellers ist mit 54 bezeichnet. Der Drehteller weist eine Aufnahmeöffnung 55 auf, die mit einem Absatz 56 versehen ist. Auf diesem Absatz ruht der Substrathaltering 57 mit dem Substrat 58. Der Deckel der Vakuumkammer ist beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 mit 59 bezeichnet.

An seiner unteren Fläche 60 weist dieser Deckel eine Dichtung 61 auf, die beim Hochfahren des Substrathalterings dichtend am Substrathaltering anliegt.

Die Stützplatte zum Bewegen des Substrathalterings trägt die Bezugsziffer 62. Die Stützplatte ist in Fig. 3 in ihrer unteren Stellung wiedergegeben. Sie weist einen Vorsprung 63 auf, der in die Öffnung 64 des Substrats fährt und dadurch das Substrat während des Ein- und Ausschleusens zentriert. Während der Beschichtung wird das Substrat durch den Substrathaltering 57 zentriert.

Die untere Fläche 65 des Substrathalterings gelangt beim Hochfahren der Stützplatte in abdichtende Berührung mit der Dichtung 66 der Stützplatte. Diese Dichtung ist in einem Absatz der Stützplatte angeordnet.

Im hochgefahrenen Zustand der Stützplatte wird eine Abdichtung der Vakuumkammer durch die Dichtung 66, den eingeklemmten Substrathaltering 57 und die Dichtung 61 erreicht.

Der Pfeil 67 bezeichnet die Rotation des Drehtellers 53. Der Doppelpfeil 68 gibt die Bewegungen der Stützplatte 62 wieder.

Der in Fig. 1 mit 6 bezeichnete Deckel ist auch bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 aus Vereinfachungsgründen nicht eingezeichnet. Die Funktionsabläufe, insbesondere die Ein- und Ausschleusvorgänge, sind bei der Vorrichtung nach Fig. 3 die gleichen, wie sie anhand von Fig. 1 beschrieben wurden.

Die Gegenstände der Fig. 2 und 3 dienen insbesondere zur Lösung der Aufgabe, die darin besteht, konstruktive Voraussetzungen dafür zu schaffen, daß die Anlage auch dann störungsfrei arbeitet, wenn die Substrate Unebenheiten aufweisen.

Liste der Einzelteile

1 Querbalken
2 Aggregat
3 Querbalken
4 Achse
5 Ende
6 Deckel
7 Saugvorrichtung
8 Saugvorrichtung
9 Disk, Substrat, Werkstück
10 Pfeil
11 Oberkante
12 Vakuumkammerdeckel
13 Einschleuskammer
14 Vakuumkamer, Bereich
15 Unterteil
16 Drehteller, Transportmittel
17 Unterkante
18 Oberkante
19 Achse
20 Aufnahmeöffnung, Linie, Mantelfläche
21 Absatz, Anschlag
22 Substrathalter, Scheibe, Haltevorrichtung
23 Substrathalter, Scheibe, Haltevorrichtung
24 Substrat, Disk, Position, Werkstück
25 Position, Stützplatte, Stützelement
26 Position, Stützplatte, Stützelement
27 Hubvorrichtung
28 Rand
29 Dichtung
30 Saugleitung
31 untere Wand, Innenwand
32 Dichtung, O-Ring
33 Leitung
34 Schleusenventil
35 Vorsprung
36 Dichtungs- und Führungsteil
37 Stützplatte, Position
38 Flansch
39 Stützplatte, Position
40 Hubvorrichtung
41 Substrathaltering
42 Fläche, Wandung
43 Deckel
44 Dichtung
45 Dichtung
46 Vakuumkammer
47 Drehteller
48 Aufnahmeöffnung
49 Absatz
50 Substrat
51 Vorsprung
52 Absatz
53 Drehteller
54 Drehachse
55 Aufnahmeöffnung
56 Absatz
57 Substrathaltering, Substrathalter
58 Substrat
59 Deckel
60 Fläche
61 Dichtung
62 Stützplatte, Position
63 Vorsprung
64 Öffnung
65 Fläche
66 Dichtung
67 Pfeil
68 Pfeil
69 Pfeil

Claims

1. Vorrichtung zum Ein- und Ausschleusen eines Werkstücks in eine Vakuumkammer, in dem sich ein Transportmittel für die Beförderung des Werkstücks befindet, dadurch gekennzeichnet, daß das scheibenförmige Transportmittel mit mindestens einer durchgehenden Öffnung versehen ist, deren Rand ein plattenförmiges Hub- und Stützelement für eine Haltevorrichtung für das Werkstück zeitweise umgibt.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Stützelement vorgesehen ist, das die Haltevorrich tung gegen Teile der Vakuumkammer preßt.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekenn zeichnet, daß das Stützelement als eine durch eine Hubvor richtung axial bewegbare Stützplatte (25, 26) ausgebildet ist.

4. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangegan genen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Haltevor richtung als dünne, insbesondere membranartige Scheibe (22, 23) ausgebildet ist.

5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangegan genen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Haltevor richtung mit einer Zentriervorrichtung, insbesondere in Form eines Vorsprungs (35), für das Werkstück (9, 24) ausgerüstet ist.

6. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangegan genen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Trans portmittel rahmenförmige Aufnahmeelemente für die Halte vorrichtung (22, 23) aufweist.

7. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangegan genen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Trans portmittel (16) mindestens eine Aufnahmeöffnung (20) für Werkstücke (9, 24) aufweist, die im Bereich ihres Randes einen oder mehrere, insbesondere absatzförmige Anschläge (21) für ein Aufsetzen der Haltevorrichtung (22, 23) aufweist.

8. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangegan genen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufnahmeöffnungen (20) aus axial durchgehenden Ausneh mungen bestehen, die in einem drehtellerförmigen Trans portmittel (16) angebracht sind.

9. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufnahmeöffnungen (20) durch das Transportmittel (16) in den Bereich des Stützelements (25, 26) bewegbar angeordnet und ausgebildet sind.

10. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangegan genen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Trans portmittel (16) aus einem Teller besteht, der drehbar in der Vakuumkammer angeordnet ist (Drehteller), der mit kreisrunden Aufnahmeöffnungen (20) versehen ist, die durch die Drehung des Tellers in koaxiale Position zu dem als kreisrunde Stützplatte (25, 26) ausgebildeten Stützelement gebracht werden können.

11. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangegan genen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Halte vorrichtung als Substrathalter (23, 22), insbesondere für ein diskförmiges Substrat (9, 24), ausgebildet ist, daß der Drehteller (16) innerhalb der Vakuumkammer, die Teil einer Beschichtungsanlage ist, den Substrathalter (23, 22) mit dem Substrat (9, 24) in den Bereich einer oder mehrerer Beschichtungsquellen, insbesondere Zerstäu bungskatoden, bewegt.

12. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Substrathalter (41, 57) so angeordnet und ausgebildet ist, daß er das Substrat nur im Bereich seines äußeren Randes trägt.

13. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Substrathalter (41, 57) Ringform aufweist (Substrathaltering).

14. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Substrathaltering (41, 57) so ausgebildet und angeordnet ist, daß das Substrat (50, 58) im Bereich seines äußeren Randes im Substrathaltering (41, 57) abgelegt werden kann.

15. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Substrathaltering (41, 57) im Bereich seines äußeren Umfangs, vorzugsweise durch einen Absatz, in der Aufnahmeöffnung des Drehtellers (47, 53) gehalten wird, daß der Substrathaltering einen sich zur Mitte hin erstreckenden Absatz für die Ablage des Substrats aufweist.

16. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Stützplatte (37) Hutform aufweist und mit einem krempenartig ausgebildeten, sich radial nach außen erstreckenden Flansch (38) versehen ist, daß der Substrathaltering (41) auf dem Flansch aufliegt.

17. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Substrathaltering (41, 57) als Zentrierring für das Substat ausgebildet ist.

18. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Substrathaltering (41, 57) im Bereich der Ein- und Ausschleusung als Dichtelement für die Vakuumkammer ausgebildet ist.

19. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Substrathaltering (41) in der oberen Position der Stützplatte zwischen der Wandung (42) der Vakuumkammer (46), insbesondere der Innenfläche des Deckels der Vakuumkammer, und der Stützplatte (37) dichtend eingeklemmt ist.