DE4235676A1

DE4235676A1 - Kammer und Kammerkombination für eine Vakuumanlage und Verfahren zum Durchreichen mindestens eines Werkstückes

Info

Publication number: DE4235676A1
Application number: DE19924235676
Authority: DE
Inventors: Roman Schertler
Original assignee: Balzers AG
Current assignee: OC Oerlikon Balzers AG
Priority date: 1992-10-22
Filing date: 1992-10-22
Publication date: 1994-06-09
Anticipated expiration: 2012-10-23
Also published as: DE4235676C2

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Kammer nach dem Oberbegriff von Anspruch 1, eine Kammerkombina tion nach demjenigen von Anspruch 10 sowie ein Ver fahren nach dem Oberbegriff von Anspruch 18.

Scheibenförmige Werkstücke, wie Speicherplatten, dar unter z. B. CD′s, Magnetspeicherplatten oder magneto optische Speicherplatten, bei ihrer Bearbeitung in nerhalb einer Vakuumbehandlungsanlage, in der sie z. B. durch nicht reaktive oder reaktive Prozesse, z. B. durch Ätzen, physikalisches oder chemisches Be schichten mit oder ohne Glimmentladungsunterstützung behandelt werden, in einer Kammer mittels einer ge trieben beweglichen Transportanordnung entlang einer Bewegungsbahn zu transportieren, ist bekannt.

Üblicherweise werden die so von der Transportanord nung transportierten Werkstücke durch Vorsehen eines Lineartriebes selektiv an der Kammer vorgesehenen Öffnungen zugespiesen, um sie, im Zuge ihrer Bear beitung, weiteren Kammern und Stationen zuzuführen.

Der Realisationsaufwand von Lineartrieben, welche den Vakuumprozeßbedingungen genügen, ist bei erwünschtem Hub relativ groß. Unter dem Gesichtspunkt der einzu haltenden Reinheitsbedingungen muß insbesondere der Partikelbildung, wie durch Abrieb, hohe Beachtung ge schenkt werden.

Die vorliegende Erfindung setzt sich zum Ziel, eine Kammer eingangs genannter Art zu schaffen, bei der für einen erwünschten Hub, zum Beschicken einer Kam meröffnung mit einem Werkstück, der notwendige Auf wand wesentlich reduziert wird.

Dies wird durch Ausbilden der genannten Kammer nach dem Wortlaut des kennzeichnenden Teils von Anspruch 1 erreicht.

Durch Vorsehen der erwähnten Transportanordnung wird es möglich, für das Werkstück, in der erwähnten Kam mer, weiterhin eine erwünschte Bewegungsbahn zu rea lisieren. Durch zusätzliches Vorsehen der schwenkbar gelagerten Transportvorrichtung mit der Werkstückhal terung an der Transportanordnung wird aber ein we sentlicher Vorteil erzielt: Für das Durchstreichen einer bogenförmigen Transportbahn gegebenen Hubes kann ein Antrieb genügen, welcher wesentlich weniger Aufwand erfordert und Platz benötigt, als wenn der gleiche Hub linear erfolgte. Im Extremfall kann für die Schwenkbewegung ein Drehantrieb eingesetzt wer den. Auch ein Linearantrieb, welcher in eine Schwenk bewegung gewandelt wird, muß einen weit geringeren Hub durchlaufen, um den für die Öffnungsbeschickung durch das Werkstück geforderten Hub zu realisieren, verglichen mit dem Hub, den ein Linearantrieb, direkt für die Öffnungsbeschickung, durchstreichen müßte.

In einer bevorzugten Ausführungsform gemäß Anspruch 2 wird die erwähnte Halterung zangenförmig ausgebil det und ist vorzugsweise zum Ergreifen und Freigeben eines jeweiligen Werkstückes ansteuerbar.

Dies hat mehrere Vorteile, nämlich, daß einerseits das Werkstück mindestens zweiseitig oder gar prak tisch rundum auch innerhalb der Halterung freibleibt und somit, wenn die Öffnung der Kammer in eine Bear beitungsstation ausmündet, wie eine Ätz- oder Be schichtungsstation, zwei- oder gar allseitig behan delt werden kann. Im weiteren ist diese Ausbildung einfach, insbesondere auch, was ihr freigebendes bzw. ergreifendes Ansteuern anbelangt.

Weiter wird dadurch der für die Werkstückschwenkung notwendige Raum, über den ohnehin für das Werkstück notwendigen hinaus, höchstens unmaßgeblich vergrößert, was ermöglicht, die erwähnte Öffnung im we sentlichen der Dimension des durchzutransportierenden Werkstückes optimal anzugleichen.

Oft sind in Transportkammern von Vakuumbearbeitungs anlagen Transportanordnungen vorgesehen, womit das Werkstück mindestens auch linear gegen bzw. von zu bedienenden Öffnungen verschoben wird.

Durch Vorgehen nach dem Wortlaut von Anspruch 3 und insbesondere 4 ergibt sich die Möglichkeit, für die erwähnte Schwenkbewegung der Transportvorrichtung mit der Halterung einen bereits vorgesehenen Linearan trieb auszunützen. Zudem ist die Wandlung eines auch nur geringen linearen Vorschubes in eine großwinklige Schwenkbewegung, und damit in einen durch diese Schwenkbewegung bewirkten großen Hub, einfach reali sierbar.

Für scheibenförmige Werkstücke wird weiter bevorzug terweise die Kammer nach dem Wortlaut von Anspruch 5 ausgebildet.

Damit ergibt sich die Möglichkeit, die erwähnte Öff nung nur unwesentlich breiter zu realisieren, als durch die Dickenausdehnung des scheibenförmigen Werk stückes gegeben, was wesentliche Vorteile, beispiels weise bezüglich der Atmosphärentrennung der beidseits der erwähnten Öffnung liegenden Räume anbetrifft.

Durch die Ausbildung der Kammer nach dem Wortlaut von Anspruch 6 bzw. 7 wird es, wie erwähnt, einfach mög lich, den Schwenkantrieb für die Transportvorrichtung durch den Linearantrieb der Transportanordnung zu realisieren.

Dabei wird, hinzukommend, der Vorteil eines wenn auch relativ geringen linearen Hubes beibehalten, nämlich, die jeweils bediente Öffnung in erwünschtem Maße verschließen zu können.

Die vorgeschlagene Kammer kann modular mit einer oder mehreren bekannten Transportkammern mit mindestens zwei Öffnungen oder einer oder mehreren Bearbei tungsstationen, wie Ätz- oder Beschichtungsstatio nen, gekoppelt werden oder mit einer Ein- und einer Ausgabeschleusenkammer bzw. einer Ein-/Ausgabeschleu senkammer gemäß Anspruch 8.

Eine erfindungsgemäße Kammerkombination mit der eben beschriebenen Kammer zeichnet sich nach dem Wortlaut von Anspruch 10 aus.

Dadurch, daß die Schwenkachse der Transportvorrich tung parallel zur Drehachse der weiteren Transportan ordnung in der an der Kombination vorgesehenen weite ren Kammer ausgelegt ist, wird es möglich, bezüglich der Schwenkachse in der weiteren Kammer, die Werk stückdurchführung durch die Verbindungsöffnung im we sentlichen radial vorzunehmen.

Dadurch, daß weiter, dem Wortlaut von Anspruch 11 folgend, die weitere Transportanordnung in der weite ren Kammer eine Mehrzahl von Halterungen für die Werkstücke aufweist, die gemeinsam um die erwähnte Drehachse drehbar sind, im wesentlichen in der Schwenkebene der Transportvorrichtung, wird es mög lich, damit von der ersterwähnten Kammer ein Werk stück nach dem anderen der weiteren Transportanord nung zuzuführen bzw. ein Werkstück nach dem anderen durch die erwähnte Öffnung rückzuholen.

Weitere bevorzugte Ausführungsformen der erfindungs gemäßen Kombination sind in den Ansprüchen 12 bis 17 spezifiziert.

Scheibenförmige Werkstücke, wie Speicherplatten, z. B. CD′s oder Magnetspeicherplatten oder magneto-optische Speicherplatten, in einer Vakuumanlage auf einer ringförmigen Transportbahn mit einer Transportanord nung zu transportieren, ist, wie erwähnt wurde, be kannt. Es kann hierzu beispielsweise auf die US-PS 3 856 654, die DE-PS 24 54 544, die DE-OS 39 12 295, 40 09 603, 37 16 498 und die EP-A 0 389 820 hingewiesen werden. Dabei werden die Werkstücke durch eine der ringförmigen Transportbahn gegenüberliegende Öff nung, beispielsweise in Bearbeitungsposition verrückt werden, axial bezüglich der ringförmigen Transport bahn bewegt.

Bei der Auslegung einer Vakuumanlagenkammer, in der die Transportbahn der scheibenförmigen Werkstücke, wie erwähnt, ringförmig ist und die Werkstücke axial in vorgegebenen Winkelpositionen der Kreisbahn durch vorgesehene Öffnungen durchgereicht werden, ergibt sich aber eine Wechselbeziehung zwischen der in Axi alrichtung gemessenen Tiefe einer solchen Kammer und des möglichen Hubes, mit welchem die Werkstücke axial durchgereicht werden können.

Soll nämlich die Kammer, worin die ringförmige Trans portbahn durchlaufen wird, inklusive zusätzlicher, axial angeordneter Aggregate, kompakt und flach aus gebildet werden, so bleibt der mögliche Axialhub ge ring. Analog wird die Gesamtbauhöhe dann groß, wenn namhafte Hubwege realisiert werden sollen. Dabei ist zu bedenken, daß bei der Anordnung von Werkstücken derart, daß sie eine ringförmige Transportbahn durchlaufen, die in Axialrichtung betrachtete Bauhöhe der entsprechenden Kammer keinen Einfluß auf die An zahl entlang des Ringes angeordneter Werkstücke nimmt, sondern daß diese Anzahl nur durch die Ra dialausdehnung einer solchen Kammer und mithin der ringförmigen Transportbahn, entlang welcher weitere Werkstücke angeordnet sind, gegeben ist.

Unter einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfin dung setzt sie sich zum Ziel, ein Verfahren der im Oberbegriff von Anspruch 18 genannten Art zu schaf fen, welches die erwähnten Nachteile behebt.

Zu diesem Zweck zeichnet sich das erwähnte Verfahren nach dem kennzeichnenden Teil des genannten Anspruchs aus.

Dadurch, daß die scheibenförmigen Werkstücke bezüg lich ihrer ringförmigen Transportbahn radial durch die Öffnung durchgereicht werden, wird die Radial ausdehnung der ringförmigen Transportbahn für die Realisation eines erforderlichen radialen Hubes aus nützbar, und es wird zum Anordnen von Öffnungen auch der Umfang der ringförmigen Transportbahn bzw. der entsprechenden Kammerwand benutzbar.

Die Realisation dieses erfindungsgemäßen Verfahrens ist auf viele Arten möglich, beispielsweise durch ra dial wirkende, auf die entsprechenden Öffnungen fix oder schwenkbar ausgerichtete Stößel. Bevorzugter weise wird aber dieses Verfahren durch die an der er findungsgemäßen, eingangs erwähnten Kammer vorgese hene schwenkbare Transportvorrichtung realisiert.

Ist die an der erwähnten Kammer vorgesehene Trans portanordnung so ausgebildet, daß die Werkstücke auf eine Kreisbahn in der Kammer gefördert werden, so wird mit der schwenkbaren Transportvorrichtung an der Transportanordnung dann, wenn sie jeweils auf eine Öffnung ausgerichtet ist, ein Werkstück radial be züglich der Drehachse der Transportanordnung aus der Öffnung gefördert bzw. durch die Öffnung rückge holt.

Die Erfindung wird anschließend beispielsweise an hand von Figuren erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 schematisch eine teilweise geschnittene Ansicht einer Vakuumbehandlungsanlage, worin in bevorzugter Art und Weise die erfindungsgemäße Kammer bzw. die erfin dungsgemäße Kombination eingesetzt sind sowie das erfindungsgemäße Verfahren realisiert ist,

Fig. 2 vergrößert, einen Ausschnitt einer Ü bergabevorrichtung an der Anlage gemäß Fig. 1,

Fig. 3 schematisch und teilweise geschnitten, einen Teil der Anlage gemäß Fig. 1 in Aufsicht,

Fig. 3a schematisch einen Schnitt gemäß Fig. 3 durch eine an der Anlage gemäß Fig. 1 bis 3 angeordnete Ätzkammer zum doppel seitigen Sputtern von scheibenförmigen Werkstücken,

Fig. 4 schematisch und teilweise längsgeschnit ten, eine Karusselltransportkammer mit radial bedienten Kammeröffnungen,

Fig. 5 in einer Darstellung analog zu derjenigen von Fig. 4 eine weitere Ausführungsvari ante einer Karussellkammer mit radial be dienten Kammeröffnungen,

Fig. 6 in Darstellung analog zu Fig. 4 eine Ka russellkammer mit axial bedienten Kammer öffnungen,

Fig. 7 eine weitere Ausführungsvariante der Kam mer nach Fig. 6,

Fig. 8a-8f Kombinationen verschiedener Kammertypen in Minimalkonfiguration zum Aufbau kom pakter Vakuumbehandlungsanlagen.

In den Fig. 1 bis 3 ist eine bevorzugte Anlage, worin die Erfindung integriert ist, schematisch darstellt. Die Anlage umfaßt eine Kammer 1 und eine Kammer 3 sowie eine die Kammern 1, 3 verbindende Zwischenkam mer 3a.

In Kammer 1 zentrisch drehgelagert und mit einem Mo tor 5 gesteuert angetrieben ist ein Transportstern 7 mit, wie beispielsweise gezeigt, sechs Armen 9 vorge sehen. Der Transportstern ist um die Achse A₇ dreh bar. Die zur Achse A₇ parallele Außenwand 11 der Kammer 1 weist mindestens zwei Öffnungen 13a und 13b auf, auf welche, durch Drehen des Sterns 7, jeweils die Achse A₉ eines der Arme 9 ausgerichtet wird. Die Arme 9 sind mit (nicht dargestellten) am Transport stern 7 integrierten Antrieben, radial in Richtung ihrer Achsen A₉ linear ausfahrbar bzw. rückholbar. Der Linearantrieb ist vakuumdicht mit Bälgen 15 ge kapselt. Endständig an den Armen 9, d. h. den bezüg lich der Achse A₇ radial beweglichen Armteilen, ist je eine Transportbüchse 17 montiert, welche, detail lierter in Fig. 2 schematisch dargestellt ist und die, wie aus dem Vergleich von den Fig. 1 und Fig. 3 erkenntlich, in Richtung parallel zur Achse A₇ we sentlich breiter sind als in Richtung quer dazu, d. h. in Azimutalrichtung.

Entsprechend sind die Öffnungen 13a bzw. 13b schlitzförmig ausgebildet.

In Richtung der Achse A₇ betrachtet, reitet in jeder Büchse 7, um eine Achse A₁₉ schwenkbar gelagert, eine Transportvorrichtung 18 mit einer Transportzange 19 (Fig. 2), die z. B., wie in Fig. 2 dargestellt, ausge bildet ist. Sie umfaßt zwei Zangenarme 19a, 19b, die je an einem Trägerteil 21 um Schwenkachsen 23a, b drehgelagert sind und, über Rollen 24 miteinander in Eingriff stehen und (nicht dargestellt) federnd in die in Fig. 2 dargestellte Schließlage vorgespannt. Am Zangenarm 19b ist weiter eine Betätigungsrolle 25 vorgesehen, zum Öffnen bzw. schließenden Freigeben der Zange.

Wie erwähnt, ist die durch Zange 19 und Trägerteil 21 gebildete Transportvorrichtung 18 schwenkbar an der Büchse 17 gelagert. An einem an der Transportvorrich tung 18 drehfesten Mitnehmerstummel 26 ist ein erster Hebel 28 drehfest angeordnet, der an einem zweiten Hebel 30, in einem Lager 32, drehgelagert ist. Das dem Lager 32 abgewandete Ende des Hebels 30 seiner seits ist über eine Montageplatte 34 am radial fixen Armteil des Armes 9, an einem Lager 36, drehgelagert.

Die bis anhin beschriebene Anordnung arbeitet wie folgt:

Ausgehend von der Schwenklage der Transportanordnung 18 gemäß Fig. 2, in geschlossener Zangenposition, beispielsweise mit einer Werkstückscheibe 40 in der Zange, kann der Transportstern 7 in beliebige Posi tionen um seine Achse A₇ geschwenkt werden. Dabei sind, mit den jeweiligen, armspezifischen Radialan trieben, die Büchsen 13 gegen die Achse A₇ rückge holt.

Soll nun, wie in Fig. 2 dargestellt, eine der Öff nungen, beispielsweise 13x, bedient werden, so wird die Achse A₉ eines Armes 9 und damit die Schwenkebene der Zange 19 auf die schlitzförmige Öffnung 13x aus gerichtet. Nun wird mit dem dem betrachteten Arm 9 zugeordneten Antrieb die Büchse 17 gegen die Öffnung 13x vorgetrieben. Aufgrund der dadurch bewirkten Li nearbewegung von Achse A₁₉ mit dem Mitnehmerstummel 26 wird der erste Hebel 28 um Lager 32 geschwenkt, und da der Hebel 28 drehfest am Stummel 26 sitzt und letzterer drehfest an der Transportvorrichtung 18, wird, wie in Fig. 2 gestrichelt dargestellt, die Transportvorrichtung 18 durch die Öffnung 13x durch geschwenkt, unter gleichzeitiger Linearverschiebung mit der Büchse 17. Die Büchse 17 ruht dabei an der Außenwand 11 der Kammer 1 und verschließt die Öff nung 13x, je nach Anforderung an die Trennung der beiden Kammern 1 und 3, vorzugsweise dicht, gegebe nenfalls vakuumdicht.

Wie in Fig. 2 ersichtlich, verbleibt die Büchse 17 in der Kammer 1, während die durch die Zange 19 gebilde te Werkstückhalterung, durch die Öffnung 13x hin durch, vollständig in die Kammer 3 bzw. 3a geschwenkt wird.

In Fig. 2 ist für die benötigte Schwenkbewegung der Transportvorrichtung 18 ein unnötig langer Linearhub der Büchse 17 dargestellt. Wie der Fachmann aber ohne weiteres erkennt, zusätzlich unter Betrachtung der Darstellung gemäß Fig. 2a, kann durch Verringerung der Länge des Hebels 28 zwischen Achse A₁₉ und An lenklager 32 dieselbe Schwenkbewegung des Trägerteils 21 und damit der Transportvorrichtung 18 mit einem wesentlich geringeren linearen Hub H realisiert wer den.

Damit kann mit praktisch beliebig kleinem linearen Hub H und entsprechender Minimalisierung der hierzu vorzusehenden Antriebs- und Abdichtungsorgane die er wünschte Schwenkbewegung realisiert werden und mit ihr, aufgrund des Schwenkradius des Werkstückes 40 um Achse A₁₉, der erwünschte Hub durch Öffnung 13x.

In Kammer 3 bzw. 3a ist, wie in Fig. 2 schematisch dargestellt, ein Stößel 42 angeordnet, dessen end ständige Rolle 43 durch Eingriffnahme auf die Rolle 25 an der Zange 19 gesteuert, die Zange öffnet, zur Freigabe des Werkstückes 40.

In der bevorzugten, in den Fig. 1 bis 3 dargestellten Ausführungsform ist zwischen Kammer 1 und Kammer 3 die Zwischenschleusenkammer 3a vorgesehen. Ihre Funk tion wird aus der folgenden Beschreibung ohne weite res ersichtlich werden, welche sich nun der Kammer 3 zuwendet.

Wie insbesondere aus Fig. 3 ersichtlich, umfaßt die Kammer 3 einen Transportstern 43 mit um die Achse A₄₃ mittels eines Motors 47 drehgetriebenen Radialarmen 45, an welchen, parallel zur Achse A₄₃, wie darge stellt, beispielsweise vier axiale Arme 49, aufragen. Enständig tragen die Arme 49 die Transportteller 51 mit, (nicht dargestellt), z. B. mechanischen, pneuma tischen oder magnetischen Halterungen für Werkstücke, sofern die Achse A₄₃ nicht vertikal steht. Die Teller 51 sind mit den Armen 49 je zugeordneter Bälge 53 ge kapselten Antrieben linear und parallel zur Achse A ausfahrbar bzw. rückholbar.

Die Kammer 3 weist, ausgerichtet auf den durch die Teller 51 bei Drehen um die Achse A₄₃ durchlaufenen Kreisring, wie dargestellt, beispielsweise zwei Öff nungen 55a und 55b auf. Die Teller 51 sind so ausge bildet, daß sie gegen eine jeweilige Öffnung 55 ausgefahren, mit (nicht dargestellten) Dichtungsorga nen die Öffnung verschließen, dicht bzw. vakuum dicht. Wie bereits an den Büchsen 17 zur Wand 11 von Kammer 1 können hierzu Spaltdichtungen ausreichen, falls ein vakuumdichter Verschluß nicht notwendig ist. Im weiteren ragen die Teller 51 axial über die Berandungspartien 56 der Öffnung 55 aus der Kammer 3 hinaus, wogegen sich, in ausgefahrenem Zustand, die Teller 51 verschließend anlegen.

Es seien nun vorerst die Verhältnisse an der Öffnung 55a betrachtet, welche mit der Öffnung 13a über die Zwischenschleusenkammer 3a kommuniziert. Wenn gemäß Fig. 3 mittels der Transportvorrichtung 18 ein schei benförmiges Werkstück 40 in die in Fig. 2 gestrichelt dargestellte Position geschwenkt worden ist, legt sich die Büchse 17 in gefordertem Ausmaße dichtend an die Umrandung der Öffnung 13a kammer-1-seitig. Durch gesteuertes axiales Ausfahren des der Öffnung 55a dann zugeordneten Armes 49 in Kammer 3 wird der Teller 51 in gefordertem Masse dicht an die Öff nungsberandung 56 gelegt und übernimmt, beispielswei se magnetisch, pneumatisch, mechanisch oder schwer kraftgetrieben das Werkstück 40, welches durch Betä tigung des Stößels 42 gemäß Fig. 2 von der Zange 19 freigegeben wird. Nun kann der betrachtete Arm 49 rückgeholt werden.

Die Kammer 3a kann, wie bei 57 schematisch darge stellt, separat gepumpt werden, ebenso wie die Kam mern 1 und/oder 3.

Der Werkstücktransport durch die Zwischenschleusen kammer 3a erfolgt mithin wie folgt:

- In gefordertem Ausmaß, dichtes Verschließen der Öffnung 13a durch die Büchse 17, Zange 19 leer; Einschwenken eines Armes 49 mit Werkstück am Teller 51 in Öffnungsbereich der Öffnung 55a; axiales Vorschieben des Tellers 5 mit dem Werkstück 40 und in gefordertem Umfang, dichtes Verschließen der Öffnung 55a durch Teller 51; gegebenenfalls Abpumpen der Zwischenschleusen kammer 3a; Übernahme des Werkstückes durch Zange 19; Rückschwenken der Transportvorrich tung 18 mit gleichzeitigem Lösen der Büchse 17 von der Berandung der Öffnung 13x; oder
- Leerer Teller 51 verschließt in gefordertem Ausmaß dicht Öffnung 55a; Einschwenken eines Armes 9 mit Büchse 17 und Werkstück 40 an Zange 19 über Öffnung 13a; Ausschwenken der Zange 19 mit dem Werkstück, unter gleichzeitig in gefor dertem Umfang dichtem Verschließen der Öff nung 13a durch Büchse 17; Übernahme des Werk stückes magnetisch, pneumatisch, mechanisch oder schwerkraftgetrieben, durch Teller 51 in Öffnung 55a; Abpumpen der Zwischenschleusen kammer 3a durch Pumpe 57; Rückholen des Tellers 51 und Weiterdrehen des Transportsternes 43.

Aus dieser Beschreibung ist ohne weiteres ersicht lich, daß die Kammer 3a als Zwischenschleusenkammer wirken kann, die separat pumpbar ist oder welche auf grund ihres nur sehr geringen Volumens allein genü gende Atmosphärentrennung zwischen den Kammern 1 und 3 gewährleistet. Muß keine Zwischenschleusenkammer 3a vorgesehen werden, so kann die Werkstückübernahme in dargestellter Art und Weise in der Kammer 3 direkt erfolgen, ohne daß die Teller 51 an der Übergabe öffnung eine Dichtfunktion ausüben würden. Im darge stellten Ausführungsbeispiel wirkt, an der Übergabe verbindung 13a, 55a der Teller 51 als das eine Schleusenventil, die Büchse 17 als das andere.

Beim dargestellten bevorzugten Ausführungsbeispiel ist weiter die Öffnung 55b als Eingabe/Ausgabe- Schleuse ausgebildet. Hierzu ist ein vakuumdicht schließbarer Deckel 57, z. B. gegen Normal-Atmosphäre vorgesehen, als ein Schleusenventil, und es wirkt der momentan auf die Öffnung 55b ausgerichtete Teller 51 als zweites Schleusenventil.

Trotz des höchst geringen Volumens auch dieser Schleusenkammer kann gegebenenfalls, wie bei 57 dar gestellt, auch hier eine Pumpe 57 angeschlossen sein, zum separaten Pumpen dieser Schleusenkammer.

Wie bereits erwähnt wurde, wird die Öffnung 13b der Kammer 1 durch Büchse 17 und Transportvorrichtung 18, wie aus Fig. 1 ersichtlich, gleich bedient, wie die vorbeschriebene Öffnung 13a besagter Kammer 1.

Außerhalb der Kammer 1 ist an dieser Öffnung 13b, beispielsweise eine Behandlungskammer, wie eine Ätz- oder Beschichtungskammer 52 angeordnet. Aufgrund der Tatsache, daß das Werkstück 40 mit der Zange 19 so gehaltert und in die Behandlungskammer 52 einge schwenkt wird, daß es praktisch allseitig durch die Halterung an der Zange unabgedeckt bleibt, ist es möglich, an einer solchen Behandlungsstation 52 das Werkstück rundum, insbesondere gleichzeitig auf sei nen beiden Scheibenflächen gleichzeitig zu bearbei ten, wie beispielsweise durch beidseitiges Anordnen von Elektroden zum Plasmaätzen beider genannter Flä chen und/oder von Magnetronzerstäubungsquellen zu de ren Beschichtung.

In Fig. 3a ist, geschnitten in Aufsicht und schema tisch, die eine Ausbildungsvariante der Kammer 52 dargestellt, mit zwei unabhängigen Sputterquellen 53a und 53b sowie Schirmblechen 55. Das scheibenförmige Werkstück 40 ist zwischen die Quellen 53a und b ein geklappt und wird beidseitig durch die Quellen 53a, b behandelt.

An einer derartigen Kammer kann z. B. auch eine gleichzeitige, beidseitige Beschichtung von Werkstücken vorgenommen werden, wie sie aus der DE-PS 39 31 713 bekannt ist.

Es seien nun im folgenden prinzipiell verschiedene Kammertypen betrachtet, bei denen alle transportier ten Werkstücke um eine Drehachse, bezüglich der Werk stücke versetzt, gedreht werden. Es sei weiter eine Fallunterscheidung vorgenommen, nämlich dahingehend, ob die Werkstücke zusätzlich in Radialrichtung, in Axialrichtung oder kombiniert, in radialer und axia ler Richtung verschoben werden können.

1. Drehtransportkammer, woran Werkstücke einzeln drehtransportiert und radial bezüglich der Drehachse verschoben werden:
Eine solche Kammer bildet Kammer 1 gemäß Fig. 1, woran die Werkstücke 40, insbesondere durch den Linearantrieb der Arme 9 einzeln radial ge gen die Öffnungen 13 verschoben werden.
2. Drehtransportkammern, bei denen alle Werkstücke auf einem Drehkarussell angeordnet sind und be züglich der Karusselldrehachse radial einzeln verschoben werden.
Eine solche Kammer ist schematisch in den Fig. 4 und 5 dargestellt. In einer Kammer 120 ist, um eine Achse A₁₂₄ getrieben drehbeweglich ge lagert, entsprechend (ω₁, ein Karussell 124 ge lagert, woran, in Halterungen 125, Werkstücke, beispielsweise scheibenförmige Werkstücke 126 der oben genannten Art, gelagert sind. Koaxial zur Achse A₁₂₄ ist, bezüglich der Kammer 120 drehfest gelagert, mindestens ein auf eine Öffnung 122 in der Kammer 120 ausgerichteter, radial bezüglich der Achse A₁₂₄ verschieblicher Stößel 128 vorgesehen, mit dessen Hilfe ein mit dem Karussell jeweils in Ausrichtung mit einer der zu bedienenden Öffnungen 122 ge brachtes Werkstück 126 aus der Öffnung 122 herausgeschoben oder durch die Öffnung 122 auf das Karussell 124 rückgeholt wird. Gegebenen falls kann das oder können die radial verschie blichen Stößel 128, wie bei ω_2a dargestellt, mit einem gestrichelt angedeuteten, separaten Drehantrieb 124 _m unabhängig vom Karussell 124 drehgetrieben werden.
Bei der Ausführungsvariante, wie sie schema tisch in Fig. 5 dargestellt ist, trägt das Ka russell 124 die scheibenförmigen Werkstücke 126, so daß ihre Scheibenflächen in Ebenen senkrecht zur Drehachse A₁₂₄ drehgefördert wer den. Entsprechend sind die Stößel 128 ausge bildet und sind, analog zu den Ausführungen zu Fig. 4, drehfest oder unabhängig vom Karussell 124 in der Kammer 120 drehgetrieben gelagert. Sie bedienen hier radial schlitzförmige Öff nungen 122a der Kammer 120. Der Antrieb des Ka russells 124 kann beispielsweise, wie bei P schematisch dargestellt ist, hier peripher am Rande des Karussells 124 erfolgen.
3. Drehtransportkammern, worin die Werkstücke ei nerseits um eine Achse bezüglich der Werkstücke versetzt, drehtransportiert werden, und zudem einzeln in Richtung parallel zur Drehachse ge fördert werden.
Eine solche Kammer ist durch Kammer 3 von Fig. 1 gebildet. Darin werden die Werkstücke mit Hilfe der axial ausfahrbaren und rückholbaren Arme 49, parallel zur Drehachse A₄₃, axial be wegt.
4. Drehtransportkammern, bei denen ebenfalls eine axiale Werkstückbewegung, wie bei den Kammern des Typs 3 erfolgt, aber zusätzlich eine we sentlich höhere Anzahl Werkstücke auf einem Ka russell drehgefördert werden als Axial-Ver schiebungsorgane für die Werkstücke vorgesehen sind.
Gemäß den Fig. 6, 7 weist eine solche Kammer 60 zur Drehachse A₁₂₄ drehgetrieben gelagert, ein Karussell 124 auf, woran bespielsweise scheibenförmige Werkstücke 126 mit ihren Schei benflächen in der Drehebene um die Achse A₁₂₄ gelagert sind. Ausgerichtet auf mindestens eine Öffnung 122 an der Kammer 60, ist ein parallel zur Achse A₁₂₄ ausfahrbarer bzw. rückholbarer Stößel 128 fest am Gehäuse der Kammer 60 mon tiert, und greift bei auf die Öffnung 122 drehausgerichtetem Werkstück 126 durch eine Be dienungsöffnung 130 am Karussell 124 durch und hebt, axial bezüglich Achse A₁₂₄, das Werkstück 126 zur Öffnung 122 hin bzw. holt ein solches von der Öffnung 122 zurück auf das Karussell 124.
Während in Fig. 6 der oder die Stößel 128, wie erwähnt, ortsfest am Gehäuse der Kammer 60 mon tiert sind, sind sie gemäß Fig. 7 und in Ana logie zur einen Ausführungsvariante von Fig. 4 mit einem separaten Drehantrieb 124 _m zur Achse A₁₂₄ getrieben drehbar, unabhängig von der Drehbewegung des Karussells 124 um dieselbe Achse. Bei einer weiteren Variante dieses Kam mertyps kann der Axialhub durch das Karussell selbst ausgeführt werden.
5. Drehtransportkammern des Typs, bei denen die Werkstücke um eine Drehachse drehbewegt werden, zudem bezüglich dieser Achse je einzeln axial verschoben und zudem, bezüglich der erwähnten Achse, je einzeln auch radial verschoben wer den. Eine solche Kammer ist durch Kammer 1 der Fig. 1 und 3 gebildet, zusammen betrachtet mit der Transportvorrichtung 18. Werkstücke werden einerseits um die Achse A₄₃ gedreht, zusätzlich durch den axialen Linearantrieb der Arme 49 axial bewegt und werden durch Wirkung der Transportvorrichtung 18 bezüglich der Achse A₄₃ auch radial verschoben. Insbesondere bei der letzterwähnten Kammer, wo die Werkstücke bezüg lich der erwähnten Drehachse sowohl axial, wie auch radial verschoben werden, also in einer Ebene, welche die Drehachse, wie A₁₂₄ beinhal tet, eignet sich das Vorsehen einer Schwenk transporteinrichtung, wie sie durch die Trans portvorrichtung 18 in der Ausführungsvariante gemäß den Fig. 1 bis 3 realisiert ist, ausge zeichnet.
Selbstverständlich läßt sich die Realisation eines radialen und axialen Werkstücktransportes bezüglich der erwähnten Drehachse auch an einer Karussellkonstruktion realisieren, wenn auch mit größerem Konstruktionsaufwand.
Es soll nun nachfolgend erläutert werden, an hand von Fig. 8, wie diese Kammertypen zu Kam merkombinationen mit mindestens zwei Kammern kombiniert werden können, zum Aufzeigen, wie flexibel solche Kammern zum Aufbau gesamter Va kuumbearbeitungsanlagen zusammengestellt werden können. An den oben erwähnten Kammertypen, de nen allen gemeinsam ist, daß die Werkstücke um eine Drehachse in der Kammer drehtransportiert werden, treten für den Aufbau von Gesamtanlagen gegebenenfalls noch weitere Kammertypen hinzu.
Um im folgenden auch kurz auf die jeweiligen Kammertypen Bezug nehmen zu können, seien fol gende Definitionen verwendet:
- a) EASK: Schleusenkammern, womit Werk stücke in beiden Richtungen durchge schleust werden.
- b) ESK: Schleusenkammern, an welchen Werkstücke nur in einer Richtung durchtransportiert werden.
- c) BEAK: Bearbeitungskammern, worin Werkstücke oberflächenbehandelt wer den, beispielsweise geätzt oder be schichtet werden.
- d) RADK: Radial bedienende Drehstern kammern des Typs 1, wie in den Fig. 1 bis 3 durch Kammer 1 dargestellt.
- e) RAKAK: Radial bedienende Karussell kammern des Typs 2, wie in den Fig. 4 bzw. 5 schematisch dargestellt.
- f) AXDK: Axial bedienende Drehsternkam mern des Typs 3, wie durch Kammer 3 in den Fig. 1 bis 3 dargestellt.
- g) AXKAK: Axial bedienende Karussell kammern des Typs 4, wie in den Fig. 6 bzw. 7 schematisch dargestellt.
- h) AXRADK: Drehsternkammern, welche so wohl eine axiale, wie auch eine ra diale Bedienung erlauben, des Typs 5, wie durch Kammer 3 mit Vorrich tung in den Fig. 1 bis 3 dargestellt ist.
- i) TR: Weitere Transportkammern mit zwei Kammeröffnungen, wozwischen in irgendeiner z. B. bekannten Art und Weise Werkstücke transportiert wer den.

In Fig. 8a sind zwei RADK-Kammern 62 kombiniert, mit je einem drehgetriebenen, mindestens einarmigen, ra dial bedienenden Drehstern 63, womit einerseits die Verbindungsöffnung 65 zwischen den beiden Kammern 62 mit Werkstücken 67 bedient wird, anderseits weitere Öffnungen 69, woran beliebige weitere Kammern der Typen a) bis i) angeordnet werden können.

In dieser Konfiguration sind die Drehachsen der Transportsterne 63 parallel und es wird, bezüglich der gezeigten zwei Kammern 62, im wesentlichen in ei ner Ebene senkrecht zu den erwähnten Drehachsen transportiert.

Mit den radial verschieblichen Drehsternarmen können, je nach Erfordernis, die damit bedienten Öffnungen 65 bzw. 69 dicht bzw. vakuumdicht verschlossen wer den.

Gemäß Fig. 8b wirkt eine radial bedienende Dreh sternkammer 62 RADK zusammen mit einer radial bedie nenden Karussellkammer RAKAK. Diese weist ein um eine Achse drehgetriebenes Karussell 71 auf, mit Werk stückaufnahmen 73 für die Werkstücke 67 und bedient einerseits die gemeinsame Öffnung 65, anderseits mindestens eine weitere Öffnung 69. In der RAKAK- Kammer 72 sind, im dargestellten Beispiel drehfest, radial verschiebliche Stößel 75 vorgesehen, welche Werkstücke 67 aus den Aufnahmen 73 am Karussell zu den jeweiligen Öffnungen 65, 69 fördern bzw. rückho len. Auch hier werden die Werkstücke in einer Ebene senkrecht zu den Drehachsen des Drehsternes 63 bzw. des Karussells 71 gefördert. Die Öffnungen 69 bzw. 65 werden durch Wirkung der Arme des Drehsterns 63 bzw. durch die der Stößel 75, je nach Erfordernis sen, dicht oder vakuumdicht verschlossen. An den Öffnungen 69 können auch hier weitere Kammern der Typen a) bis i) angeordnet werden.

Ohne weiteres ist nun ersichtlich, daß eine Dreh sternkammer 62 gemäß Fig. 8b durch eine zweite ra dial bedienende Karussellkammer RAKAK 72 ersetzt wer den kann, womit eine Kammerkombination aus zwei RA KAK-Kammern gebildet wird, analog zu der in Fig. 8a für Drehsternkammern dargestellten Konfiguration.

In Fig. 8c ist eine radial bedienende Drehsternkammer RADK 62, mit einer axial bedienenden Drehsternkammer AXDK 80 kombiniert. Letztere weist einen Drehstern 81 auf, woran axial getrieben verschiebliche Stößel 82 angeordnet sind. Durch die radial verschieblichen Ar me des Drehsterns 63 und die axial verschieblichen Stößel 82 am Drehstern 81, wird die Kammeröffnung 65 bedient, durch die entsprechenden Drehsterne 63 bzw. 81, weitere Öffnungen 69 an den Kammern 80 bzw. 62, woran weitere Kammern der Typen a) bis i) angebracht werden können. Wie ersichtlich, wird hier ein Werk stücktransport in zwei aufeinander senkrechten Ebenen realisiert. Sowohl die Arme des Drehsternes 63 wie auch die Stößel des Drehsternes 81 können, je nach Erfordernissen, die Öffnung 65 bzw. die Öffnungen 69 dicht, gegebenenfalls vakuumdicht verschließen.

Daß in Fig. 8c anstelle einer radial wirkenden Dreh sternkammer RADK 62 eine ebenso wirkende Karussell kammer RAKAK 72 angeordnet werden kann, ergibt sich ohne weiteres.

Anstelle der axial wirkenden Drehsternkammern AXDK 80 von Fig. 8c ist in Fig. 8d eine axial wirkende Karus sellkammer AXKAK 85 vorgesehen. Sie umfaßt ein bei spielsweise scheibenförmiges Karussell 87 mit Werk stückaufnahmen 89. Axial verschiebliche Stößel 88, ausgerichtet auf die Öffnung 65 bzw. die Öffnungen 69, heben Werkstücke in den Werkstückhalterungen 89 aus dem Karussell zu den genannten Öffnungen bzw. holen diese in die Halterungen 89 zurück. Auch hier erfolgt der Werkstücktransport in zwei senkrechten Ebenen. Die Arme des Drehsternes 63 bzw. die Stößel 88 können, je nach Erfordernis, die Öffnungen 65 bzw. 69 dicht bzw. vakuumdicht, verschließen. Auch hier können an die Öffnungen 69 weitere Kammern der Typen a) bis i) angeschlossen werden.

Es ergibt sich aus Fig. 8e ohne weiteres, daß die radial wirkende Drehsternkammer RADK 62 durch eine radial wirkende Karussellkammer RAKAK 72 gemäß Fig. 8b ersetzt werden kann.

In Fig. 8e ist eine Konfiguration dargestellt, beste hend aus einer radial wirkenden Drehsternkammer RADK 62 und einer axial und radial wirkenden Drehsternkam mer AXRADK 90. Letztere weist einen Drehstern 91 auf, der einerseits radial ausfahrbare Arme 93 umfaßt, woran axial ausfahrbare bzw. rückholbare Stößel 95 gelagert sind.

Vergleicht man diese Ausführungsform mit derjenigen von Fig. 8c, wo nur axial verschiebliche Stößel 82 vorgesehen sind, so wird ein wesentlicher Vorteil der Konfiguration nach Fig. 8e ersichtlich. Während die Kammer 80 von Fig. 8c in ihrem Durchmesser bezüglich der Drehachse des Sterns 81 nämlich so bemessen wer den muß, daß die Öffnung 65 durch axiales Ver schieben der Stößel 82 bedienbar ist, kann bei der Ausführungsvariante nach Fig. 8e der Durchmesser der Kammer 90 bezüglich der Drehachse des Sterns 91 nur so groß gewählt werden, daß die Öffnungen 69 be dienbar sind. Nur in beispielsweise einer Drehposi tion des Drehsternes 61 kann der entsprechende Arm 93 radial ausgefahren werden, um durch anschließendes Axialverschieben, Öffnung 65 zu bedienen. Damit er gibt sich, wie gestrichelt bei 97 dargestellt ist, die Möglichkeit, die Öffnung 65 über eine Zwischen kammer zu bedienen, welche den Durchmesser der Kammer 90 bezüglich der Drehachse des Sternes 91 nur, wie erwähnt, in einer Winkelposition auskragen läßt.

Bezüglich des dichten Verschließens der Öffnungen 69 bzw. 65 gilt das bezüglich der Fig. 8a bis d Aus geführte. Im weiteren sei betont, daß die Realisa tion der Axial- und Radialtransportverschiebungen an der Kammer 90 in unterschiedlichen Varianten möglich ist, so auch durch Einbezug zusätzlicher Transport mittel, wie er beispielsweise und vorzugsweise durch die Schwenktransportvorrichtung 18 in der Ausfüh rungsvariante gemäß den Fig. 1 bis 3 realisiert ist.

Daß an der Ausführungsvariante gemäß Fig. 8e an stelle einer radial wirkenden Drehkranzkammer RADK 62 eine radial wirkende Karussellkammer RAKAK 72 gemäß Fig. 8b vorgesehen werden kann, ist ohne weiteres er sichtlich.

In Fig. 8f ist die Kombination aus zwei axial bedie nenden Drehsternkammern AXDK 80 dargestellt. Die Funktionsweise ist ohne weiteres ersichtlich. Gestri chelt dargestellt ist weiter, daß axial verschiebli che Stößel 82 in Paaren 82a und 82b angeordnet wer den können, so daß mit solchen Stößeln, mit dem gleichen Drehstern, zweiseitig der Drehebene angeord nete Öffnungen 69 bedient werden können. Dieselbe Technik kann selbstverständlich auch gemäß Fig. 8e für Drehsterne AXRADK mit Radial- und Axialvorschub realisiert werden.

Anstelle einer der AXDK-Kammern 80 eine AXRADK-Kammer 85 gemäß Fig. 8d vorzusehen, ist an der Anordnung von Fig. 8f, wie ohne weiteres ersichtlich, problem los möglich. Ebenso wird nun ersichtlich, daß das Koppeln zweier Kammern AXKAK gemäß Kammer 85 von Fig. 8d ohne weiteres möglich ist. Auch das Vorsehen einer Kammer AXRADK 90 gemäß Fig. 8e an einer AXDK- Kammer 80 gemäß beispielsweise Fig. 8c ist ohne wei teres möglich. Ebenso die Kombination einer AXKAK- Kammer 85 gemäß Fig. 8d mit einer AXRADK-Kammer 90 gemäß Fig. 8e.

Sollen bei den erwähnten und beschriebenen Kammerkom binationen jeweils die einzelnen Kammern für sich konditioniert werden können, so versteht sich von selbst, daß jeweils Pumpanschlüsse und gegebenen falls Gaseinlässe vorgesehen werden, je zu den ein zelnen Kammern.

Durch die beschriebenen Kammerkombinationen können extrem kompakte Gesamtanlagen modular zusammenge stellt werden, mit optimal kurzem Transportweg und kurzen Transportzyklen.

Das beschriebene Vorgehen bzw. die beschriebene Anla ge eignen sich insbesondere für die Behandlung von Magnetspeicherplatten, wie beispielsweise CD′s oder Hard-Discs.

Claims

1. Kammer für eine Vakuumanlage, mit mindestens einer Öffnung (13x) zum Durchtransport von Werkstücken (40), insbesondere von kreisscheibenförmigen Werk stücken, wie von Speicherplatten bei ihrer Bearbei tung, mit einer getrieben beweglichen Transportanord nung (7) für mindestens ein Werkstück, dadurch ge kennzeichnet, daß an der Transportanordnung (7) min destens eine Transportvorrichtung (18) mit einer Hal terung (19) für mindestens ein Werkstück (40) in ei ner Ebene senkrecht zur Fläche der Öffnung (13x) derart schwenkbar gelagert ist, daß die Halterung (19), durch die Transportanordnung (7) in den Bereich der Öffnung (13x) transportiert, vollständig durch die Öffnung (13x) hindurch schwenkbar ist.

2. Kammer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung (19) zangenförmig ausgebildet ist und vorzugsweise für Eingreifen und Freigeben eines Werkstückes ansteuerbar (42, 43) ist.

3. Kammer nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein Schwenklager (26) für die Transportvorrichtung (18) getrieben linear, senkrecht zur Fläche der Öffnung (13x) verschieblich ist.

4. Kammer nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Transportvorrichtung (18) durch den Linear antrieb ihres Schwenklagers geschwenkt wird.

5. Kammer nach einem der Ansprüche 1 bis 4 für schei benförmige Werkstücke, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung bezüglich des Schwenklagers (A₁₉) so angeordnet ist, daß die Scheibenflächen eines an der Halterung (19) gehalterten Werkstückes (40) in einer Schwenkebene liegen und vorzugsweise der Durchmesser der Öffnung in der Schwenkebene wesentlich länger ist als in Richtung der Schwenkachse (A₁₉).

6. Kammer nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Transportanordnung (7) min destens einen, in mit jeweils einer der Öffnungen (13a, b) ausgerichtete Position schwenkbaren, linear gegen die Öffnung ausfahrbaren bzw. von der Öffnung rückholbaren Arm (9) aufweist und die Transportvor richtung (18) am öffnungsseitigen Ende des Armes ge lagert ist.

7. Kammer nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das öffnungsseitige Ende des Armes (9) den Line arantrieb für das Schwenklager der Transportvorrich tung (18) bildet und, vorzugsweise, ausgefahren die Öffnung (13a, b) verschließt, vorzugsweise dicht verschließt, vorzugsweise vakuumdicht.

8. Kammer nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß an mindestens einer Kammeröff nung eine Schleusenkammer, eine Transportkammer oder eine Bearbeitungsstation für Werkstücke angeordnet ist.

9. Kammer nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß an der Öffnung (13b) eine Bear beitungsstation vorgesehen ist, woran ein mit der Transportvorrichtung (18) eingeschwenktes Werkstück (40), bezüglich der Schwenkachse (A₁₉), von zwei Sei ten, oder rundum, bearbeitet wird, wie geätzt oder beschichtet wird.

10. Kammerkombination mit einer Kammer nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß an deren Öffnung eine weitere Kammer (3) angeordnet ist, in der eine drehgelagerte weitere Transportan ordnung (43) für mindestens ein Werkstück (40) vorge sehen ist, welche eine zur Schwenkachse (A₁₉) der Transportvorrichtung (18) parallele Drehachse (A₄₃) aufweist.

11. Kombination nach Anspruch 10, dadurch gekenn zeichnet, daß die weitere Transportanordnung (43) eine Mehrzahl von Halterungen (51) für Werkstücke (40) aufweist, die gemeinsam um die Drehachse (A₁₃) drehbar sind, im wesentlichen in der Schwenkebene der Transportvorrichtung (18).

12. Kombination nach einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß die weitere Transportan ordnung (43) mindestens einen, vorzugsweise zwei oder mehr auf einer Zylinderfläche um die Drehachse (A₄₃) angeordnete, axial getrieben ausfahrbare bzw. rück holbare Arme (49) umfaßt, woran endständig je eine Halterung (51) für mindestens ein Werkstück (40) an geordnet ist.

13. Kombination nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine Öffnung (55) an der weiteren Kammer (3) eine zur Drehachse (A₄₃) der Transportanordnung (43) parallele Flächen normale aufweist.

14. Kombination nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die weitere Transportan ordnung (43) mindestens einen axial getrieben aus fahrbaren und rückholbaren Teller (51) mit einer Hal terung für mindestens ein Werkstück (40) aufweist und mindestens eine der Öffnungen (55) an der weiteren Kammer (3) eine im wesentlichen zur Drehachse (A₄₃) der weiteren Transportanordnung (43) parallele Flä chennormale definiert, der Teller (51) durch Drehen der weiteren Transportanordnung (43) auf diese Öff nung (55) ausrichtbar ist und durch Ausfahren diese Öffnung verschließt, vorzugsweise dicht ver schließt, vorzugsweise vakuumdicht verschließt.

15. Kombination nach Anspruch 14, dadurch gekenn zeichnet, daß mindestens die eine Öffnung (55b) mittels eines kammeräußeren Verschlusses (57) als Schleusenventil vakuumdicht verschließbar ist und mit einem darauf positionierten Teller (51), als zweites Schleusenventil, eine Schleusenkammer bildet, wobei vorzugsweise an der Kammer (3) und/oder an der Öffnung (55b) zwischen Verschluß (57) und ausgefah renem Teller (51) ein Pumpanschluß vorgesehen ist bzw. sind.

16. Kombination nach einem der Ansprüche 10 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß an mindestens einer der Öffnungen der weiteren Kammer eine Schleusenkammer, eine Transportkammer mit mindestens zwei Öffnungen oder eine Bearbeitungskammer für die Werkstücke ange schlossen sind, wie eine Ätz- oder Beschichtungskam mer.

17. Kombination nach Anspruch 13, dadurch gekenn zeichnet, daß die Öffnung mit zur Drehachse paral leler Flächennormalen die Verbindung zur einen Kammer (1) bildet und dazwischen eine als Zwischenschleusen kammer (3e) wirkende, gegebenenfalls mit einem Pump anschluß versehene Kammer (3a) vorgesehen ist.

18. Verfahren zum Durchreichen mindestens eines scheibenförmigen Werkstückes von einer jeweils festen ringförmigen Transportbahn durch eine Öffnung inner halb einer Vakuumbearbeitungsanlage, dadurch gekenn zeichnet, daß das Werkstück bezüglich der ringförmi gen Transportbahn radial durchgereicht wird.

19. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeich net, daß das Werkstück mit seinen Scheibenflächen in Ebenen senkrecht zur Drehachse der Transportbahn an geordnet wird.