DE19645038C1 - Bauteil-Testvorrichtung - Google Patents
Bauteil-TestvorrichtungInfo
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- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
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Description
Die Erfindung betrifft eine Bauteil-Testvorrichtung gemäß dem
Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Für das automatische Testen von Bauteilen ist eine Vorrich
tung notwendig, die das zu testende Bauteil aufnimmt und ei
nem Bauteiltester zuführt, der die zu überprüfenden elektri
schen Eigenschaften überprüft. Hierzu weist dieser Bauteil
tester im allgemeinen eine Kontaktanordnung auf, die den Kon
takten des Bauteils entsprechen, und über die das zu testende
Bauteil elektrisch angeschlossen wird.
Gewöhnlich ist ein Bauteilhalter vorgesehen, der das Bauteil
mittels Vakuum ansaugt. Dann wird der Bauteilhalter zur Kon
taktanordnung des Testgerätes bewegt und das Bauteil mit sei
nen Kontakten auf den entsprechenden Kontakten der
Kontaktanordnung aufgesetzt. Anschließend erfolgt das
Überprüfen des Bauteils. Nach dem Überprüfen wird mit dem
Bauteilhalter das Bauteil wieder von der Kontaktanordnung
entfernt und an einem vorgesehenen Ort abgelegt. Nach dem
Ablegen des Bauteiles kann ein neues Bauteil aufgenommen
werden, wonach der zuvor beschriebene Vorgang unbegrenzt mit
immer wieder neuen Bauteilen wiederholbar ist.
Für den eigentlichen Testvorgang ist es wichtig, daß die Kon
takte des Bauteils gleichmäßig auf den Kontakten des Bauteil
testers aufsetzen. Ist dies nicht der Fall, d. h., ein oder
mehrere Kontakte berühren noch nicht die Kontaktanordnung des
Bauteiltesters, während einige bereits aufsetzen, führt dies
zu den folgenden Nachteilen. Zum einen würde in einem solchen
Fall der Test ein fehlerhaftes Bauteil ergeben, obwohl dies
eventuell in Wirklichkeit nicht der Fall ist. Um diese
Wahrscheinlichkeit auszuschließen, muß das Bauteil mit
erhöhtem Druck auf die Kontaktanordnung aufgesetzt werden, um
die Kontaktierung bei allen Kontakten sicherzustellen. Dies
würde als weiteres Problem entweder zu einer ungewollten De
formierung der Bauteilkontakte oder gar zu einer Beschädigung
desselben führen.
Aus dem Stand der Technik ist z. B. ein IC-Testhandler "Delta
Flex Pick & Place" der Firma Delta Design bekannt, bei dem
der Bauteilhalter zum Aufsetzen des Bauteils auf der
Kontaktanordnung und zum anschließenden Abnehmen desselben
mittels einer Schubstange in axialer Richtung der Schubstange
bewegbar ist. Um das zuvor beschriebene Problem zu lösen, ist
bei diesem bekannten Gerät ein genaues Ausrichten notwendig,
damit die Ebene der Bauteilkontakte plan-parallel zur Ebene
der Kontaktanordnung des Bauteiltesters ausgerichtet ist.
Durch Temperatureinflüsse kann es bei diesem Gerät schnell
durch das Auftreten von Temperaturdehnungen zu einer
Dejustage kommen. Dies führt zur Notwendigkeit dieses
bekannte Gerät häufig nachzujustieren.
Daher liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Bauteil-
Testvorrichtung vorzusehen, bei der trotz leichter Justier
fehler stets eine einwandfreie Ausrichtung des Bauteils beim
Aufsetzen zuverlässig gewährleistet ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit einer Bauteil-Testvorrichtung
mit den im Patentanspruch 1 aufgeführten Merkmalen gelöst.
Dadurch daß die beanspruchte Vorrichtung zweigeteilt und in
einer zur axialen Längsrichtung der Schubstange senkrechten
Richtung kippbar ist, gibt die erfindungsgemäße Bauteil-Test
vorrichtung beim Aufsetzen auf der Kontaktanordnung nach, so
bald nicht alle Bauteilkontakte gleichzeitig auf der Kon
taktanordnung aufsetzen. Es kommt somit zum Zeitpunkt des
Aufsetzens automatisch zu einem Ausrichten der Ebene der Bau
teilkontakte zur Ebene der Kontaktanordnung des Bautteil-
Testers.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in
den untergeordneten Ansprüchen aufgeführt.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbei
spiels unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel einer Bauteil-Testvorrich
tung,
Fig. 2 ein Ausschnitt der in Fig. 1 dargestellten Vorrich
tung vor dem Aufsetzen auf einer dazu geneigten Ebene
und
Fig. 3 eine Ausschnittsansicht der Vorrichtung nach Fig. 1
nach dem Aufsetzen auf einer geneigten Ebene.
In Fig. 1 ist ein Ausführungsbeispiel einer Bauteil-Testvor
richtung dargestellt, die aus einer Schubstange 2, einer Ver
bindungseinheit 3 und einem Bauteilhalter 1 besteht. Weiter
hin ist eine Führungsstange 10 am Verbindungsteil 3 be
festigt, um ein Verdrehen der Gesamtanordnung um die Dreh
achse der Schubstange 2 zu verhindern. Am Bauteilhalter 1 ist
ein Aufnehmer 12 vorgesehen, um ein zu überprüfendes Bauteil
6 aufzunehmen und um dieses am Bauteilhalter festzuhalten.
Weiterhin sind am Bauteilhalter 1 Vorzentrierstifte 7
vorgesehen, deren Funktion später beschrieben ist. Das
Verbindungsteil 3, das die Schubstange mit dem Bauteilhalter
verbindet, ist zweigeteilt, wobei die mechanische Verbindung
zwischen der Schubstangenseite des Verbindungsteiles und der
Bauteilhalterseite 3b des Verbindungsteiles über
Bundschrauben erfolgt. Hierzu sind auf der Schubstangenseite
3a des Verbindungsteiles Bohrungen vorgesehen, durch die die
Bundschrauben gesteckt werden, wobei die Bohrungen angesenkt
sind, damit sie die Senkköpfe der Bundschrauben aufnehmen.
Auf der entsprechend gegenüberliegenden Seite sind in der
Bauteilhalterseite 3b entsprechende Bohrungen vorgesehen, die
mit einem Gewinde versehen sind, so daß die Bundschrauben 5
in das jeweilige Gewinde einschraubbar sind. Die
Bundschrauben sind nunmehr so dimensioniert, daß sich
zwischen der Schubstangenseite 3a des Verbindungsteiles 3 und
der Bauteilhalterseite 3b des Verbindungsteiles 3 ein Abstand
ergibt. Die Bohrungen, in denen die Bundschrauben 5 auf der
Schubstangenseite 3a stecken, haben einen Durchmesser, der
größer als der Bundschraubendurchmesser ist. Im
Übergangsbereich der Bohrung zur Senkung, d. h. im
Übergangsbereich zwischen dem Senkkopf und dem Schaft der
Bundschrauben ist keine nennenswerte Differenz zwischen dem
Schraubendurchmesser und dem Bohrungsdurchmesser vorgesehen,
so daß eine um die jeweilige Bundschraube 5 koaxial geführte
Spiralfeder in der Bohrung Platz findet und in dem genannten
Übergangsbereich an der Schubstangenseite des
Verbindungsteiles einen Widerhalt findet. Die Spiralfedern 8
sind in der Länge so dimensioniert, daß sie im in die
Bauteilhalterseite 3a des Verbindungsteiles eingeschraubten
Zustand ebenfalls an der Bauteilhalterseite 3b des
Verbindungsteiles anliegen und dort ebenfalls einen
Widerhalt finden.
Die Schubstange 2 ragt durch die Schubstangenseite 3a des
Verbindungsteiles 3 hindurch und ist an diesem hindurchragen
den Ende ballig ausgeführt. Dem balligen Ende der Schubstange
ist auf der Bauteilhalterseite 3b des Verbindungsteiles eine
Druckplatte 4 angeordnet, die mit einer konkaven Vertiefung
ausgebildet ist.
Fig. 4 zeigt die Draufsicht auf die Schubstangenseite 3a des
Verbindungsteiles 3 von der Seite A der Schubstange 2 her.
Wie aus dieser Ansicht zu entnehmen ist, sind bei diesem Aus
führungsbeispiel vier Bundschrauben 5 vorgesehen, die in den
Ecken eines Quadrates angeordnet sind, wobei durch die geome
trische Mitte dieses Quadrat es die Längsachse der Schubstange
2 verläuft. Gleichzeitig ist die Schubstange 2 mit der Schub
stangenseite 3a des Verbindungsteiles 3 mittels Bolzen 13 be
festigt.
Nachfolgend wird der normale Betrieb des in Fig. 1 darge
stellten Ausführungsbeispiels der Bauteil-Testvorrichtung er
läutert. Ein mit dem Aufnehmer 12 gehaltenes Bauteil 6 wird
mit der Bauteil-Testvorrichtung zu einer nicht dargestellten
Kontakteinrichtung eines ebenfalls nicht dargestellten Test
gerätes geführt. Es ist nunmehr vorgesehen, daß das Bauteil 6
mit seinen Kontakten 9 auf der Kontaktanordnung des Testgerä
tes aufgesetzt wird, um vom Testgerät überprüft zu werden.
Hierzu wird die Testvorrichtung mit dem Bauteil über die Kon
taktanordnung geführt und dann mittels der Schubstange 2 ab
gesenkt, so daß die Kontakte 9 des Bauteiles 6 mit der Kon
taktanordnung in Berührung gelangen. Damit es zu einer ein
wandfreien Überprüfung des Bauteiles 6 kommt, müssen die Kon
takte 9 alle gleichmäßig auf der Kontaktanordnung aufliegen.
Hierzu muß die Testvorrichtung zuvor mit der Kontaktanordnung
genau ausgerichtet sein. Um zu verhindern, daß das Bauteil
neben der Kontaktanordnung aufgesetzt wird, sind die Vorzen
trierstifte 7 vorgesehen, die im Bezug zum Bauteil am Bau
teilhalter so angeordnet sind, daß sie in Vorzentrierstift-
Ausnehmungen (nicht dargestellt) einsteckbar sind, die im
gleichen Bezug zur Kontaktanordnung angeordnet sind.
Sobald die Kontakte 9 des Bauteiles 6 auf der Kontaktanord
nung aufliegen, wird über diese eine der Schubkraft, die über
die Schubstange 2 zugeführt ist, entgegenwirkende Druckkraft
erzeugt. Dieser Gegendruck bewirkt, daß die Spiralfedern 8,
die die Bundschrauben 5 umgeben, zusammengedrückt werden, so
daß der Abstand zwischen der Schubstangenseite 3a des Verbin
dungsteiles und der Bauteilhalterseite 3b des Verbindungstei
les verschwindet und die ballige Seite der Schubstange gegen
die konkave Vertiefung der Druckplatte 4 drückt. Dadurch daß
der Abstand zwischen der Schubstangenseite 3a und der Bau
teilhalterseite 3b zusammengedrückt wird, ragen nunmehr die
Senkköpfe der Bundschrauben 5 aus den Senkungen heraus.
In Fig. 2 und in Fig. 3 ist nunmehr dargestellt, was pas
siert, wenn die Ebene, in der die Kontaktanordnung liegt,
nicht mit der Ebene der Kontakte 9 des Bauteiles 6 hundert
prozentig plan parallel zueinander ausgerichtet sind.
Wie in Fig. 2 dargestellt ist, kommt es bei der Annäherung
der Kontakte 9 mit der Ebene 14 der Kontaktanordnung zu einem
Winkel zwischen den beiden zuvor genannten Ebenen. Dies führt
dazu, daß die Kontakte 9 des Bauteils 6 zuerst auf der Seite
X mit der Kontaktanordnung in Berührung gelangen, während die
Kontakte auf der Seite Y noch nicht mit der Kontaktanordnung
in Berührung stehen. Durch den von der Schubstange 2 ausgeüb
ten Druck wird zunächst von den Kontakten 9 auf der X-Seite
ein Gegendruck auf den Bauteilhalter 1 ausgeübt. Durch diesen
Druck neigt sich der Bauteilhalter 1 soweit, daß auch die
Kontakte 9 auf der Y-Seite mit der Kontaktanordnung in
Berührung gelangen und ein weiteres Verkippen des
Bauteilhalters 1 verhindern.
Durch das Kippen des Bauteilhalters 1 ist, wie nunmehr in Fig.
3 dargestellt ist, die Ebene der Kontaktanordnung wieder
zur Ebene der Kontakte 9 des Bauteiles plan-parallel ausge
richtet. Durch den erfolgten Gegendruck gegen die Schubstange
2, sind die Bundschrauben mit ihren Senkköpfen aus den Sen
kungen der Schubstangenseite 3a des Verbindungsteiles heraus
gedrückt, so daß die Bundschrauben nunmehr durch den größeren
Durchmesser der Bohrungen ein ausreichendes Spiel auf der
Schubstangenseite des Verbindungsteiles vorfinden. Durch die
ses Spiel verkippt der Bauteilhalter zusammen mit der
Bauteilhalterseite 3b des Verbindungsteiles, wodurch das
zuvor beschriebene plan-parallele Ausrichten erfolgt, ohne
dabei durch die Schubstangenseite 3a des Verbindungsteiles
gehindert zu werden. Hieraus ergibt sich, daß nunmehr die
Schubstangenseite 3a zur Bauteilhalterseite 3b eine
Winkelstellung einnimmt, die der Winkelstellung α zwischen
der Ebene der Kontakte 9 und der Ebene der Kontaktanordnung
entspricht.
Durch die Anordnung der Bundschrauben 5, wie sie in Fig. 4
dargestellt sind, ist gewährleistet, daß mit diesem Ausfüh
rungsbeispiel der Bauteil-Testvorrichtung jede flächenhafte
Fehlausrichtung der Ebene der Kontakte 9 zu der Ebene der
Kontaktanordnung mittels der zuvor beschriebenen Vorrichtung
ausgleichbar ist. Es ist somit stets ein zuverlässiger und
sicherer Kontakt mit den Kontakten 9 gewährleistet, ohne
dabei das Bauelement der Gefahr einer Zerstörung auszusetzen
und ohne dabei durch häufige Nachjustierarbeiten behindert zu
werden.
Claims (8)
1. Bauteil-Testvorrichtung mit:
- a) einem Bauteilhalter (1), der ein zu testendes Bauteil (6) aufnimmt,
- b) einer Schubstange (2), die den Bauteilhalter in einer Vor
wärtsrichtung von einer Ausgangslage in eine von dort in
axialer Längsrichtung der Schubstange (2) liegende Test
lage bewegt,
gekennzeichnet durch - c) ein Verbindungselement, das aus
- c1) einem Schubstangenteil (3a), das an einem Schubstangen ende befestigt ist, das in die Vorwärtsrichtung zeigt und
- c2) einem Bauteilhalterteil (3b) besteht, das am Bauteilhal ter angeordnet ist, wobei das Schubstangenteil (3a) und das Bauteilhalterteil (3b) so miteinander verbunden sind, daß sie zumindest in einer zur Schubstangenlängsachse senkrechten Richtung zueinander schrägstellbar sind.
2. Bauteil-Testvorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß das
Schubstangenteil (3a) und das Bauteilhalterteil (3b) mittels
Abstandselementen gegen eine Federkraft zueinander beabstan
det sind.
3. Bauteil-Testvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß das
Schubstangenende durch das an ihm befestigte Schubstangenteil
(3a) hindurchragt und entgegen der Federkraft gegen das Bau
teilhalterteil (3b) in Vorwärtsrichtung drückbar ist.
4. Bauteil-Testvorrichtung nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, daß das durch
das Schubstangenteil (3a) hindurchragende Schubstangenende
ballig ausgebildet ist.
5. Bauteil-Testvorrichtung nach Anspruch 3 oder 4,
dadurch gekennzeichnet, daß das
Schubstangenende einer konkav ausgebildeten Druckplatte (4)
gegenübersteht, die an dem Bauteilhalterteil (3b) angeordnet
ist, um den Druck von dem Schubstangenende aufzunehmen.
6. Bauteil-Testvorrichtung nach Anspruch 2 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß als Ab
standselemente vier Bundschrauben (5) verwendet sind, die in
den Ecken eines Quadrats angeordnet sind, dessen Diagonale
sich in der Längsachse der Schubstange (2) schneiden.
7. Bauteil-Testvorrichtung nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, daß die Fe
derkraft durch Spiralfedern (8) aufgebracht wird, die um die
Bundschrauben (5) herumgeführt sind, und sowohl gegen das
Schubstangenteil (3a), als auch gegen das Bauteilhalterteil
(3b) drücken.
8. Bauteil-Testvorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß die Ab
standselemente zum Schubstangenteil (3a) ein seitliches Spiel
aufweisen, wenn das Schubstangenteil (3a) gegen das Bauteil
halterteil (3b) gedrückt wird, wobei das seitliche Spiel das
Neigungsausmaß begrenzt.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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PCT/DE1997/002186 WO1998019174A1 (de) | 1996-10-31 | 1997-09-25 | Bauteil-testvorrichtung |
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DE (1) | DE19645038C1 (de) |
WO (1) | WO1998019174A1 (de) |
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