A7 B7 經濟部中央標率局貝工消費合作社印製 五、發明説明（1 ) 〔本發明之領域〕 本發明係有關於一種適合使用在自動取出收容在托盤 收容容器之托盤，將搭載在該托盤的半導體裝置自動送至 半導體裝置試驗裝置之托盤取出裝置及適合使用在自動的 將搭載試驗過的半導體裝置的托盤收容在托盤收容容器之 托盤收容裝置。 〔有關技術之說明〕 在應該試驗的半導體裝置（一般稱DUT)外加既定 圖案的試驗信號測定其導電特性的半導體裝置試驗裝置， 則是將半導體裝置搬送至測試部，於該測試部使半導體裝 置導電連接在上述試驗裝置的測試頭的插座，試驗後自測 試部搬出試驗過的半導體裝置，依據試驗結果將試驗過的 半導體裝置細分爲良品、不良品的半導體裝置搬送處理裝 置（一般稱處理機）連接者多。再者，於以下做簡單說明 ，採取半導體裝置的代表例之半導體集成電路（以下稱 I C )爲例做說明。而本明細書中所謂的半導體裝置試驗 裝置（I C試驗裝置）係爲包含不連接處理機的半導體裝 置試驗裝置（I C試驗裝置）以及連接處理機的半導體試 驗裝置（I C試驗裝置）的總稱。 I C爲與提高集成度同時端子數會變多，在傾斜I c 的搬送路就連接因自重滑移所進行試驗的自然落下式的處 理機之半導體裝置試驗裝置（以下稱Ic試驗裝置）而言 ，由於難以自然滑移端子數多的IC故試驗端子數多的 (請先閱讀.背面之注意事項再填寫本页) 裝. 訂 丨^ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印掣 五、發明説明（2 ) I c很困難。 因此近來以真空吸附頭吸附I c，且被稱爲使用X-Y搬送機構將吸附的IC搬送至任何場所之水平搬送方式 之處理機則是被連接在IC試驗裝置》 所謂的連接水平搬送方式的處理機之IC試驗裝置， 自以往習知代表性係以下的兩個形式供於實用。 (1 )將平面狀載置多數個I C的托盤放置在I c試 驗裝置的既定位置，從載置該I C的托盤以真空吸附頭吸 附既定數的I C，將該些吸附的I C使用X - Y搬送機構 依序朝預熱部—試驗部搬送進行試驗，試驗結束後，將試 驗過的I C使用X — Y搬送機構邊細分爲良品及不良品邊 回至托盤的形式、和 (2)使用者在I C試驗裝置的外部搬運I C，或在 使用收容在既定場所的通用托盤（通用托盤）以平面狀載 置多數個I C，將載置該I C的通用托盤配置在I C試驗 裝置裝載部，在該裝載部從通用托盤將I C轉送至耐高/ 低溫的試驗托盤，將該試驗托盤經由恒溫槽搬送至試驗部 ，在該試驗部爲依然將I C搭載在試驗托盤，將I C導電 連接在試驗頭的插座來實施試驗，試驗結束後，將試驗托 盤經由除熱槽搬出至卸載部，在該卸載部邊將試驗過的 I C從試驗托盤分類爲良品、不良品邊轉送至通用托盤之 形成。 連接前者形成（1 )的處理機的I C試驗裝置，一次 能試驗的I C個數被限制在2至4個左右處理速度慢，費 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐)~~ J--··------裝------訂—--·---·Α - . (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B? 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 五、發明説明（3 ) 時。總之，並不適於高速處理。連接後者形式（2 )的處 理機之I C試驗裝置，以試驗托盤搭載I C的狀態於試驗 部中會接觸試驗裝置的試驗頭的插座，一次能試驗1 6個 、32個或64個等等的多數個I C。因而，目前正以連 接後者形式（2)的處理機之IC試驗裝置爲主流。 首先，參照第6及7圖說明連接後者形式（2 )的處 理機之習知I C試驗裝置之槪略構成。圖式之I C試驗裝 置具備有：搭載在試驗托盤T S T來搬送試驗譬如半導體 存儲器的I C之室部1 0 0、和由此分類收藏進行試驗的 IC(被試驗IC)，或試驗過的IC之IC收藏部 2 0 0、和使用者預先將載置在通用托盤（用戶托盤） K S T的被試驗I C轉送、載置變更至耐高/低溫的試驗 托盤之裝載部3 0 0、和在室部1 0 0的試驗結束*將載 置在試驗托盤T S T而搬送的試驗過的I C從試驗托盤直 接轉送、載置變更至通用托盤KST之卸載部400。該 卸載部4 0 0 —般是依據試驗結果的資料搭載在分類並對 應試驗過的IC之通用托盤的構成。 室部1 0 0係利用得到裝載在試驗托盤TST的被試 驗I c爲目的的高溫或低溫的溫度應力之恒溫槽1 0 1、 和在該恒溫槽1 0 1實行得到溫度應力狀態的I C電氣試 驗之試驗室1 0 2、和從在試驗室1 0 2的試驗結束的 I C，除去在恒溫槽1 0 1得到的溫度應力之除熱槽 1 03所構成。試驗室1 02在其內部包含I C試驗裝置 的試驗頭1 0 4，針對導電連接在該試驗頭1 0 4的插座 J-------I--裝-- (讀先閏讀t面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國圉家標準（CNS ) A4規格（2丨0X29*7公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（4 ) 之被試驗I C通過該試驗頭1 0 4供應試驗用的各種電氣 信號，同時接收來自被試驗I c的應答信號送往I C試驗 裝置》 試驗托盤TST則是做裝載部3 0 0 —室部1 0 0的 恒溫槽1 0 1—室部1 00的試驗室1 0 2-室部1 0 0 的除熱槽1 0 3—卸載部4 0 0—裝載部3 0 0的循環移 動。恒溫槽1 0 1及除熱槽1 〇 3則比試驗室1 0 2高， 因而，可申第7圖理解，具有向上突出的部分》突出在該 些恒溫槽1 0 1與除熱槽1 0 3的上方的上部間，如第7 圖所示插穿基板1 0 5，在該基板1 0 5上安裝試驗托盤 搬送機構1 0 8，利用該試驗托盤搬送機構1 0 8從除熱 槽1 0 3向恒溫槽1 0 1移送試驗托盤TST 〇 除熱槽1 0 3則是在恒溫槽1 0 1對被試驗I C外加 高溫時，利用送風冷恢復至室溫之後搬出卸載部4 0 0。 而在恒溫槽1 0 1對被試驗I C譬如外加3 0°C左右的低 溫時，以溫風或加熱器等等加熱，恢復至不產生結露左右 的溫度之後搬出卸載部4 0 0。 在裝載部3 0 0裝載被試驗1(：的試驗托盤丁57'， 則從裝載部3 0 0搬送至室部1 0 0的恒溫槽1 0 1 »在 恒溫槽1 0 1安裝垂直搬送機構，該垂直搬送機構則是以 疊層狀態支持複數枚（譬如9枚）試驗托盤TST的構成 。圖式之例則是將來自裝載部3 0 0的試驗托盤支持在最 上面，最下面的托盤則搬出試驗室1 0 2。利用在往垂直 搬送機構的垂直方向下方的移動將最上面的試驗托盤依序 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印«. A7 __B7___ 五、發明説明（5 ) 移動到最下面的期間，還有試驗室1 0 2待機到空閒期間 ’被式驗I C會得到高溫或低溫的既定溫度應力。在試驗 室102於其中央配置試驗頭104，從恒溫槽101 — 枚枚搬出的試驗托盤T S T運至試驗頭1 0 4之上，如後 所述，搭載在該試驗托盤的被試驗I C內的既定數的被試 驗I C會與安裝在試驗頭1 04的I C插座（圖未表示） 導電連接。一旦通過試驗頭1 0 4，一枚試驗托盤上所有 的被試驗I C的試驗結束，試驗托盤T S T會往除熱槽 1 0 3搬送進行試驗過I C的除熱，將I C溫度恢復至室 溫，排出卸載部400。 除熱槽1 0 3也具備有與上述恒槽1 0 1相同的垂直 搬送機構，利用該垂直搬送機構以疊層狀態支持複數枚（ 譬如9枚）試驗托盤T S T的構成。圖式之例則是將來自 試驗室1 0 2的試驗托盤支持在最下面，最上面的試驗托 盤則往卸載部4 0 0排出利用往垂直搬送機構的垂直向上 方的移動將最下面的試驗托盤依序移動到最上面的期間， 試驗過1C會除熱恢復至外部溫度（室溫）。 往卸載部400排出的試托盤TST上的試驗過IC 則是由試驗托盤以每個試驗結果的類別分類，轉送貯存至 對應的通用托盤K S T。在卸載部4 0 0空置的試驗托盤 TST搬送至裝載部300，此例爲從通用托盤KS 丁再 轉送、載置被試驗I C。以下，重複同樣的動作。 所謂於裝載部300中從通用托盤KST將IC轉送 至試驗托盤之I C搬送機構，如第7圖所示，可使用藉由 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） l·* - - I «1-1- --! I HI^私 —I— I In I I ιί= . * (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 __B7___ 五、發明説明（6 ) 許-先 閱 讀 背· ι6 之 意 事 項 再 填 寫奘 本农 頁 在基板1 0 5的裝載部3 0 0的上部，架設延伸於I c試 驗裝置的前後方向的相對的平行的兩條軌道3 0 1、和架 設在該兩條軌道3 0 1間，能在Y方向移動其兩端部支持 在該兩條軌道3 0 1之可動臂3 0 2、和在該可動臂 3 0 2延伸的方向，因而支持可在試驗裝置的左右方向（ 該方向爲X方向）移動的可動臂3 0 2之可動頭3 0 3所 構成之X - Y搬送機構3 0 4。依上述構成，可動頭 3 0 3就能經試驗托盤T S T與通用托盤K S T之間在Y 方向往復移動，且能沿著可動臂3 0 2在X方向移動。 訂 在可動頭3 0 3的下面爲安裝可在上下方向移動之吸 附頭，利用往可動頭3 0 3的X - Y方向的移動與往該吸 附頭下方的移動，吸附巔會抵接在載置於通用托盤K S T 的I C，並利用真空吸引作用吸附、保持I C，從通用托 盤SKT將I C搬送至試驗托盤TST。吸附頭會針對可 動頭303，譬如安裝8條左右，構成一次將八個1C從 通用托盤K S T搬送至試驗托盤T S T » 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 再者，在通用托盤K S T之停止位置與試驗托盤 τ S T之停止位置之間設有I C之位置修正機構3 0 5。 該位置修正機構3 0 5具有比較深的凹部，吸附頭會吸附 在凹部，一端落入往試驗托盤TST搬送的I C。凹部周 緣則是以傾斜面圍繞，以該傾斜面限制I C的落下位置。 利用位置修正機構3 0 5正確規定八個I C的相互位置後 ’再用吸附頭吸附該些個定位的I C，搬送至試驗托盤 TST。設置此種位置修正機構3 0 5的理由，則是在通 -y - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4说格（210Χ297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（7 ) 用托盤K S T保持I C的凹部形成比I C形狀還要大，因 此，貯存在通用托盤K S T的I C的位置會有大誤差，— 旦在此狀態將用吸附頭吸附的Ic直接搬送至試驗托盤 丁 S T，會存有不能直接落入形成在試驗托盤T S 丁的 I C收容凹部的I C。因此設置位置修正機構305，以 該位置修正機構3 0 5使I C的配列精度配合形成在試驗 托盤TST的IC收容凹部的配列精度。 卸載部4 0 0設有兩組與設在裝載部3 0 0的X - Y 搬送機構3 0 4同一構造的搬送機構4 0 4，利用該些個 X — Y搬送機構4 0 4從搬出至卸載部4 0 0的試驗托盤 TST將試驗過I C叠換至通用托盤KST。各X — Y搬 送機構4 0 4則是利用架設成延伸在I C試驗裝置的前後 方向（Y方向）的相對的平行的兩條軌道4 0 1、和架設 在該兩條軌導4 0 1間，其兩端部可在Y方向移動支持該 兩條軌道401之可動臂402、和在該可動臂402延 伸的方向，因而，支持可在試驗裝置左右方向移動的可動 臂402之可動頭403所構成。 於第8圖表示試驗托盤T S T之一例的構造。試驗托 盤TST係在方形框112平行且等間隔的形成複數個棧 道1 1 3，在該些棧道1 1 3的兩側以及與棧道相對的框 1 1 2的邊1 1 2 a、1 1 2 b分別以等間隔突出形成複 數個安裝片1 1 4。各棧道1 1 3兩側的安裝片1 1 4， 係以位在相反側的安裝片114的中間形成其中一邊的安 裝片114，同樣的框1Ί 2的邊112a、112b的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ297公釐） ----------裝------訂 J--.---1 . · (請先閱请背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 A7 _B7____ 五'發明説明（8 ) 安裝片114則是形成位於相對的棧道113間的空間及 棧間。在該相對的棧道1 1 3間的空間及與棧道1 1 3相 對的邊1 12a、1 12b之間的空間，分別以並置狀態 收容多數個I C托架1 1 6。各I C托架1 1 6係將相對 於該些空間位置錯開的斜面的兩個安裝片114收容在包 含對角線方向的角部的一個長方形區隔的托架收容部 1 1 5。因而，圖式之例因在各棧道1 1 3的一邊形成十 六個安裝片1 1 4，所以在上述各空間形成十六個托架收 容部1 1 5 ;安裝I C托架1 1 6。圖式之例因有四個空 間所以可在一個試驗托盤T S T安裝1 6 X 4個合計6 4 個I C托架1 1 6 »各I C托架1 16可利用鉚釘1 17 安裝在兩個安裝片1 1 4。 I C托架1 1 6的外形具有同一形狀，同一尺寸，其 中央形成收容I C元件之I C收容部1 1 9。該I c收容 部1 9 9的形狀及尺寸是配合收容的I C元件的形狀及尺 寸來決定。IC收容部119此例爲方形的凹部。IC收 容部119的外形爲選擇遊嵌在托架收容部115的相對 的安裝片間的空間之尺寸，在I C收容部1 1 9的兩端部 分別配有配置在安裝片1 1 4上的突出部。在該兩突出部 分別形成插通鉚釘1 1 7的安裝孔12 1、和插入定位針 腳之孔1 2 2。 爲防止收容在IC托架116的IC元件位置偏移或 飛出，譬如如第9圖所示，一對掛鉤1 2 3是安裝在I C 托架1 1 6。該些掛鉤1 2 3則是一體成形從I C收容部 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) "1l - i.—J------裝------訂—--.---Ί (t先閱讀背面之注意^項再填寫本頁) A7 A7 經濟部中央標準局負工消费合作社印裝 ^紙振用中國國家標準(CNS ) A4規格（2丨0X297公釐〉 B7 五、發明説明（9 ) 11 9的底面向上突出，且利用構成I c托架1 16的樹 脂材的彈性，讓該些掛鉤1 2 3彈性偏置在關閉該些前端 部的相對的爪的方向。因而，將IC元件收容在IC收容 部119時，或從IC收容部119取出時，利用配置在 吸附I C元件的I C吸附頭1 2 4兩側的掛鉤解放機構 1 2 5擴大兩個掛鉤1 2 3的前端部間隔後，進行I C的 收容或取出。一旦掛鉤解放機構1 2 5離開掛鉤，該些個 掛鉤1 2 3會以其彈性力恢復原來的狀態，被收容的I C 會保持在以掛鉤1 2 3前端部的爪而卡脫的狀態。 I C托架1 1 6如第1 0圖示於下面露出I C元件的 針腳118的狀態保持IC元件。在試驗頭1〇4安裝 1C插座（圖未表示），該1C插座的連接器l〇4A會 由試驗頭1 0 4的上面朝上方突出。將該露出的I C元件 的針腳1 1 8壓制在I C插座1 04A，將I C元件導電 連接在試驗頭的IC插座。因此在試驗頭104的上部設 有向下壓制I C元件所抑制的壓接子（推桿）1 2 0，該 壓接子1 2 0則是由上方壓接收容在I C托架1 1 6的 I C元件所抑制，使之構成接觸在試驗頭104的I C插 座。 一連接在試驗頭1 0 4的I C元件的件數是依安裝在 試驗頭104的I C插座的件數。譬如，如第1 1圖所示 I C元件爲4行X 1 6列配列時，能一次全部試驗各行放 置4列的I C元件（以斜線指示的元件），4 X 4的1 6 個I C元件則是安裝在試驗頭1 〇 4。總之，第一次試驗 —^n I . 555^* 1^1 mu ^^^^1-TaJ1{ - . (請先閱讀背面之注意事項再填It?本頁) A7 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7 五、發明説明（1G ) 係針對分別配置在4x4的16個I C的1、5、9、 1 3列的1 6個I C元件而實施，第二次的試驗則是使試 驗托盤TST移動一列份I C元件而針對配置在各行2、 6、10、14列的16個1C元件而實施，以下藉由同 樣作法實施第四次試驗，試驗全部的I C元件。試驗結果 利用分配在各I C的連號（一批內的連號）、附在試驗托 盤T S T之識別號以及分配在試驗托盤T S T的I C收容 部的號碼來決定地址，記憶在記憶體對應的地址。此例， 能在試驗頭1 0 4安裝3 2個I C插座，只實施第二次試 驗以試驗4行1 6列配列的6 4個全部的I C元件。 再者，於試驗掛鉤1 0 2中也有將被試驗I C從試驗 托盤轉送至試驗頭1 0 4的插座進行試驗，試驗結束後， 再從插座轉送試驗托盤並搬送的形式之處理機。 在I C收藏部2 0 0設有收容貯存被試驗I C的通用 托盤KST之被試驗I C儲藏庫2 0 1、和收容貯存對應 試驗結果以每個類別分類的試驗過IC的通用托盤KST 之試驗過I C儲藏庫202。該些個被試驗I C儲藏庫 2 0 1及試驗過I C儲藏庫2 0 2則以疊層狀態收容通用 托盤K S T的構成。貯存以叠層狀態收容被試驗I C儲藏 庫2 0 1的被試驗I C的通用托盤KST則是從上部的托 盤依序運至裝載部3 0 0 ’於裝載部3 0 0中在由通用托 盤K S T停止在裝載部3 0 0的試驗托盤T S T疊換被試 驗I C。 被試驗IC儲藏庫201及試驗過IC儲藏庫202 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） {請先閱請背面之注意事項再填寫本頁) 裝 "· 經濟部中央標準局員工消費合作社印裂 A7 __B7 _ 五、發明説明（11) 可具有同形狀及構造，其中之一如爲1 2圖所示，具備有 上面爲開放，且底面具有開口之托盤支持框2 0 3、和配 置在該托盤支持框2 0 3下部，通過托盤支持框2 0 3底 面的開口可經托盤支持框2 0 3內在上下方向昇降之昇降 機2 0 4。在托盤支持框2 0 3內以複數枚重叠而收容支 持通用托盤K S T，該重疊的通用托盤K S T利用從托盤 支持框2 0 3的底面進入的昇降機2 0 4在上下方向移動 〇 第6及7圖所示之例，所謂的試驗過I C儲藏庫 202乃準備八個儲藏庫STK—l、STK - 2 ..... ··、STK - 8，因應試驗結果分類爲最大的八個類別而 貯存的構成。此舉，除將試驗過I C分爲良品與不良品外 ，細分良品中動作速度爲高速、中速、低速，或者不良品 中需再試驗者等等等。即使可細分的類別最大爲八種類， 但圖式之例在卸載部4 0 0配置四枚通用托盤K s T。因 此發生分配配置在卸載部4 0 0的通用托盤K S T的類別 以外的類別分類的試驗過I C元件時，從卸載部4 〇 〇將 一枚通用托盤TST回至I C收藏部200，取代這個應 該將收藏新發生的類別的I C元件的通用托盤K S T# 1C收藏部200向卸載部400轉送，取得收藏該ί C 元件的順序。 如第7圖所示，在被試驗I C儲藏庫2 0 1及試驗過 I C儲藏庫2 0 2的上部就與基板1 0 5之間設有被試驗 I C儲藏庫2 0 1與橫跨試驗過I c儲藏庫2 〇 2的配列 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐) ^ - J.llr.------裝------訂 ---·---\ > 騰 (請先閱请背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（12) 方向（試驗裝置的左右方向）的整個範圍而移動之托盤送 機構2 0 5。 第1 3圖係表示被試驗I C儲藏庫2 0 1的托盤支持 框2 0 3及昇降機2 0 4與托盤送機構2 0 5的配置關係 之一例。該托盤送機構2 0 5在其下面具備有固持通用托 盤的固持具之轉動爪205A »在被試驗I C儲藏201 的托盤支持框2 0 3的上部移動托盤搬送機構2 0 5，在 該狀態驅動昇降機2 0 4，將一直上昇重疊在托盤支持框 2 0 3內的通用托盤KST。上昇的通用托盤KST中最 上段的托盤卡合在托盤搬送機構2 0 5的轉動爪2 0 5 A 來固持該托盤（在各通用托盤K S T的側面設有嵌入轉動 爪205A之缺口部）。 —旦在托盤搬送機構2 0 5拉過搭載被試驗1C的最 上段通用托盤K S T，昇降機2 0 4會下降回至原來的位 置。於此同時，托盤搬送機構2 0 5譬如利用鏈條或者鋼 絲等等的傳動機構沿著導桿2 1 0在水平方向移動，停止 在裝載部3 0 0的位置。在該位置托盤送機構2 0 5會從 轉動爪2 0 5A卸下通用托盤KST，該通用托盤KST 下降至位於稍下方位置的托盤座2 0 7。通用托盤K S T 的托盤搬送機構2 0 5下降至該托盤座2 0 7再利用傳動 機構沿著導桿2 1 0在水平方向移動，停止在裝載部 3 0 0以外的位置。 在該狀態從載置通用托盤K S T的托盤座2 0 7的下 側上昇昇降機2 0 4，往上方上昇搭載被試驗I C的通用 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ΙΓΜ.---------裝-- (t先閱讀背面之注意事項再填巧本頁) ,11 經濟部中央標率局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（13) 托盤KST，在形成於基板1 0 5的窗1 0 6於面對通用 托盤K S T上面的狀態（通用托盤K S T的上面透過窗 1 0 6而露出的狀態）保持該通用托盤K S T。具體而言 ，在窗1 0 6的下側周邊設有通用托盤κ S T的轉動爪 208，利用收藏被試驗I C的通用托盤KST的缺口部 卡合在該轉動爪2 0 8，讓通用托盤固持在上述狀態。在 該狀態被試驗I C則是從通用托盤KST穿過窗1 0 6而 疊裝在試驗托盤T S T。 卸載部4 0 0上部的基板1 0 5也形成兩個同樣的窗 1 0 6。各窗1 0 6在此例爲具有可面對兩個通用托盤的 上面之尺寸，因而，穿過卸載部4 0 0的兩個窗1 0 6即 可在四個空的通用托盤收藏試驗過IC的構成》 如第1 3圖所示，也對卸載部400的窗106，同 樣在該窗1 0 6的下側周邊設有固持通用托盤K S T之轉 動爪2 0 8，利用該些轉動爪2 0 8固持空的通用托盤 K S T。在該些空的通用托盤K S T隨著分配在各通用托 盤的類別來分類收藏試驗過I C。 第1 3圖未表示，但與裝載部3 0 0的情形相同，也 在卸載部4 0 0設有暫時預置（載置）各通用托盤之托盤 座及昇降機。一旦一個通用托盤K S T裝滿時，即上昇昇 降機來支持該通用托盤，在該狀態解除與轉動爪2 0 8的 卡合。與昇降機一同下降，從窗1 〇 6的下側位置下降通 用托盤K S T並暫時載置在托盤座，然後利用托盤搬送機 構2 0 5收藏在自行分配的類別的托盤收藏位置。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -10- I.—-------^------1T1—；---i , * (誚先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印^ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） A7 ____B7 五、發明説明（14) 再者，第6及7圖所示的參考編號2 0 6係表示收容 空的通用托盤K S T之空托盤儲藏庫。來自該空托盤儲藏 庫2 0 6空的通用托盤乃利用托盤搬送機構2 0 5、昇降 機2 0 4搬送、保持在卸載部4 0 0的各窗1 0 6的位置 。以供試驗過IC的收藏》 參照第1 2圖如上所述，習知通用托盤KST是由托 盤支持框2 0 3的上側利用人手往被試驗I C儲藏庫 2 0 1內收容，而從托盤支持框2 0 3的上側利用處理機 的搬送機構自動取出並搬送至裝載部3 0 0。 對此，最近傾向於開始利用如第1 4圖所示的托盤收 容容器KA S。該托盤收容容器KA S係爲只下端面（底 面）爲開放面，在該開放面相對的一對端部以相對狀態安 裝L字狀的可動鉤FK。亦即，L字狀的可動鉤的各個水 平方向做成腳部突出於托盤收容容器K A S的開放底面， 將該些垂直方向腳部可轉動的安裝在托盤收容容器K A S 的下端部。 因而，朝外轉動該些可動鉤F K可完全打開托盤收容 容器KA S的開放底面，將既定數的通用托盤K S T往托 盤收容容器KA S內收藏後，一旦將可動鉤FK回復到原 來的位置，因爲該些通用托盤K S T利用可動鉤F K支持 其最下段的托盤底面的相對端部近傍，所以通用托盤會以 重疊狀態收藏在托盤收容容器KA S的內部。在托盤收容 容器KAS的上部安裝把手HD，利用於搬運托盤收容容 器KAS之際等等。 ^ΤΓ- —；------¢------IT—-----^ {1先閱讀f·面之注意事靖再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 A7 ___B7 五、發明説明（15) 藉由使用此種構造的托盤收容容器KAS，針對重叠 配置的托盤（收藏I C)將托盤收容容器KAS以朝外打 開的狀態從上方下降而覆蓋該可動鉤FK，然後操作可動 鉤F K回復到原來的位置，只要將可動鉤F K卡合在最下 段的托盤底面，即可將既定數的托盤不靠人手一次收藏在 托盤收容容器KAS內。 只要在該狀態提起托盤收容容器KA S，容器內的托 盤就能以原來重叠的形式收藏在容器KA S內的狀態搬送 。下降托盤時，在欲下降托盤的場所下降托盤收容容器 KAS，在該場所朝外轉動可動鉤FK完全打開容器開放 底面，只要排除托盤收容容器KAS (只要向上提），就 會剩下重疊在該場所的托盤，不必用手就能將托盤一次降 至所預期的場所。 因而，只要利用此種構造的托盤收容容器KA S，除 了能搭載I C的托盤或安全移送空的托盤以外，即能不靠 手一次進行托盤的裝卸，得到托盤的裝卸作業非常容易的 優點。 因而，由於如第1 4圖所示的構造之托盤收容容器則 是從底面出入托盤的構造，故參照第6至1 2圖做明的習 知I C試驗裝置（實際爲處理機）具有不能直接安裝的缺 點。 〔本發明之槪要〕 本發明目的之一係提供一可從只底面爲開放面的托盤 (請先閱讀背面之注意事項再填巧本頁) 裝.
•1T 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18Γ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7_五、發明説明（16) 收容容器取出收容應該試驗的半導體裝置的托盤而供應到 半導體試驗裝置之半導體裝置用托盤取出裝置。 本發明之另一目的係提供一可將收容試驗結束的半導 體裝置的托盤，依序一次一枚收容在只底面爲開放面的托 盤收容容器之半導體裝置用托盤收容裝置。 本發明一方面爲提供一具備有：底面爲開放’且在該 開放的底面端部安裝複數個可動鉤，藉由該些個可動鉤是 在卡合位置，可分別載置能以既定枚數重叠的叠層狀態來 支持收容應該試驗的半導體裝置的托盤的托盤收容容器之 托盤收容容器載置部、和 設在該托盤收容容器載置部的下部，利用上述托盤收 容容器的可動鉤移動到非卡合位置載置並昇降從上述托盤 收容容器排出的疊層狀態的托盤及任意的托盤之昇降裝置 、和 可移動到與載置在該昇降裝置而昇降的托盤卡合之位 置及非卡合位置之第—^合飽、和 比該第一卡合鉤更設在上述托盤一枚部分的厚度的低 位置，可移動到與載置在上述昇降裝置而昇降的托盤卡合 之位置及非卡合位置第二卡合鉤、和 依既定順序實行使上述第一卡合飽移動到卡合位置， 與下降上述昇降裝置而載置的叠層狀態的托盤的最下段之 托盤卡合，並利用上述第一卡合鉤支持疊層狀態的托盤之 控制、使上述昇降裝置抵接在叠層狀態的托盤的最下段托 盤的底面，在此狀態使第一卡合鉤移動到非卡合位置，同 i^—ϊ —Bfn ^^^^1 19 ^^^^1 ftm , 5 、言 * - (請先閱讀背面之注意亨項再填1??本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210x297公釐） -19- A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（17) 時使上述第二卡合鉤移動到卡合位置之控制、下降上述昇 降裝置使上述叠層狀態的托盤的最下段托盤與上述第二卡 合鉤卡合，並利用該第二卡合鉤支持叠層狀態的托盤之控 制、在此狀態使第一卡合鉤移動到卡合位置，從上述疊層 狀態的托盤中間下面與第二個托盤卡合，同時使上述第二 卡合鉤移動到非卡合位置之控制，在此狀態使上述昇降裝 置下降，只下降最下段的一枚托盤的控制之控制機構、和 將利用上述昇降裝置下降到既定位置的上述一枚托盤 送至半導體裝置試驗裝置之搬送裝置之半導體裝置用托盤 取出裝置》 最佳實施例係具有上述托盤一枚部分的厚度的段差的 上述第一卡合鉤與第二卡合鉤，係利用當一邊在卡合位置 另一邊在非卡合位置突出於互不相同的方向的一體化的一 對轉動爪所構成，且以跟上述托盤的面垂直交叉的軸線爲 轉動中心而自由轉動的支持； 上述各托盤具有略長方形的形狀，在各托盤相對的兩 個側面分別形成與上述第一卡合鉤或者第二卡合鉤卡合之 凹部，各凹部其底面爲開放。 而上述控制機構係爲進行一旦上述托盤收容容器載置 在上述托盤收容容器載置部，控制使上述第一卡合鉤移動 到卡合位置，同時使上述昇降裝置上面而抵接在疊層狀態 的托盤的最下段托盤的底面； 一旦在此抵接狀態以從上述托盤收容容器排出的疊層 狀態的托盤阻擋上述昇降裝置，使上述昇降裝置下降而使 <锖先閱讀背而之注意事項再填巧本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（210X 297公釐） -20- A7 B7 五、發明説明（18) 之卡合上述第一卡合鉤與疊層狀態的托盤的最下段托盤， 並利用上述第一卡合鉤支持叠層狀態的托盤； 接著使上述昇降裝置抵接在叠層狀態的托盤的最下段 托盤的底面，在此抵接狀態使上述第一卡合鉤移動動非卡 合位置，同時使上述第二卡合鉤移動到卡合位置； 接著使上述昇降裝置只下降相當於上述托盤一枚部分 的厚度的距離，使上述叠層狀態的托盤的最下段托盤與上 述第二卡合鉤卡合，並利用該第二卡合鉤來支持疊層狀態 的托盤，同時將上述昇降裝置保持在抵接最下段托盤底面 的狀態； 接著使第一卡合鉤移動到卡合位置而從上述疊層狀態 的托盤中間下面與第二個托盤卡合，同時使上述第二卡合 鉤移動到非卡合位置並使最下段的一枚托盤支持在上述昇 降裝置； 接著下降上述昇降裝置只使最下段的一枚托盤下降到 既定位置。 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 本發明另一方面爲提供一具備有：底面爲開放，且在 該開放的底面端部安裝複數個可動鉤，藉著該些個可動鉤 是在卡合位置，分別載置能以既定枚數重疊的叠層狀態來 支持收容試驗過的半導體裝置的托盤的托盤收容容器之托 盤收容容器載置部、和 設在該托盤收容容器載置部的下部，依序上昇收藏利 用半導體裝置試驗裝置的搬送裝置所搬運的試驗過的半導 體裝置的托盤之昇降裝置、和 -2T- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（19) 可移動到與載置在該昇降裝置而昇降的托盤卡合之位 置及非卡合位置之第一卡合鉤、和 比該第一卡合鉤更設在上述托盤一枚部分的厚度的高 位置，可移動到與載置在上述昇降裝置而上昇的托盤卡合 之位置及非卡合位置第二卡合夠、和 依既定順序實行使上述第一卡合鉤移動到非卡合位置 ，使上昇上述昇降裝置載置的托盤上昇到上述第二卡合鉤 的位置，使該第二卡合鉤移動到卡合位置與托盤卡合來支 持之第一控制，接著上昇載置下一個托盤的上述昇降裝置 並抵接在利上述第二卡合鉤支持的托盤底面，在此狀態使 上述第一卡合鉤移動到卡合位置與下側的托盤卡合，同時 使上述第二卡合鉤移動到非卡合位置之第二控制，在此狀 態使上述昇降裝置只更爲上昇相當於上述托盤一枚部分的 厚度的距離使上述第二卡合鉤移動到卡合位置，與上側的 托盤卡合支持叠層的托盤之第三控制，若重複上述第二及 第二控制讓疊層的托盤數達到既定數量，上昇上述昇降裝 置朝上述托盤收容容器內收藏疊層狀態的托盤之第四控制 之控制機構之半導體裝置用托盤收容裝置。 於最佳實施例之一中，上述控制機構之上述第一控制 包含使上述第一卡合鉤移動到非卡合位置，上昇上述昇降 裝置使載置的托盤上昇到該第一卡合鉤的位置，使上述第 一卡合鉤移動到卡合位置與托盤卡合來支持之控制，在此 狀態使上述昇降裝置只更爲上昇相當於上述托盤一枚部分 的厚度的距離’使第二卡合鉤移動到卡合位置，與托盤卡 本紙張尺度適用中國國家標準（0\5)六4規格（210/ 297公釐） (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
，1T A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（2Q) 合來支持之控制。 而得到上述托盤一枚部分的厚度的段差的上述第一卡 合鉤與第二卡合鉤，係利用當一邊在卡合位置另一邊在非 卡合位置突出於互不相同的方向的一體化的一對轉動爪所 構成，且以跟上述托盤的面垂直交叉的軸線爲轉動中心而 自由轉動的支持；上述各托盤具有略長方形的形狀，在各 托盤相對的兩個側面分別形成與上述第一卡合鉤或者第二 卡合鉤卡合之凹部，各凹部其底面爲開放。 依照上述第一方面之發明，可從由底面出入托盤的托 盤收容容器自動取出收容被試驗半導體裝置的通用托盤， 將該通用托盤送入半導體試驗裝置之裝載部9 而依照上述第二方面之發明，依序一次一枚收取收容 試驗過的半導體裝置之通用托盤並堆積托盤，在由底面出 入托盤的托盤收容容器內收容該疊層狀態的托盤》 因此，也會在使用由底面出入托盤的托盤收容容器的 情形下，針對半導體裝置試驗裝置得到從半導體裝置的供 應至收藏完全全自動化的優點。 〔最佳實施例之詳細說明〕 以下，就有關本發明之實施例參照第1至5圖做詳細 說明。 第1圖係表示參照第6及7圖就巳說明的習知I C試 驗裝置與藉本發明的半導體裝置用托盤取出裝置（本實施 例係I C用托盤取出裝置）之一實施例的配置關係之一例 -* , n ·- - - - I ^^1 I- - -I « I— m In n Λ^τβ . * (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 經濟部中央標率局貝工消費合作杜印製 B7五、發明説明（21 ) 之側視圖，I C試驗裝置僅表示處理機HNDR。 本實施例的IC用托盤取出裝置10係與IC試驗裝 置的處理機HNDR並設，將從托盤收容容器KA S取出 的通用的托盤K S T，依序進行一次一枚送至處理機 HNDR的動作。再者，圖未表示但藉本發明的半導體裝 置用托盤收容裝置（與I C試驗裝置一起使用時爲I C用 托盤收容裝置）係實行將從第1圖所示的IC試驗裝置的 處理機HNDR收容送出的試驗過的IC的通用托盤 K S T依序一次一枚取回至托盤收容容器KA S的動作。 首先，參照第1圖說明有關本發明之一實施例的I C 用托盤取出裝置10的槪略構成與動作。圖例所示的IC 用托盤取出裝置10係在其框體的上部具有載置托盤收容 容器KAS的托盤收容容器載置部11，在內部以疊層狀 態收容既定數的通用托盤K S T (搭載被試驗I C )的托 盤收容容器KAS是載置在此托盤收容容器載置部11。 —旦載置托盤收容容器KAS，配置在托盤收容容器載置 部1 1下側的昇降裝置1 4就會上昇，安裝在昇降裝置 1 4上部的載置台會進入安裝在托盤收容容器KA S下端 部的可動鉤FK (參照第1 4圖）之間的空間，抵接在最 下段的通用托盤K S T的底面。在此狀態托盤收容容器 K A S下端部的可動鉤F K會向外轉動完全打開容器開放 底面，搭載以叠層狀態收容在容器內部的被試驗I C的通 用托盤K S T會被拉到昇降裝置1 4的載置台上。 叠層狀態的通用托盤K S T會因昇降裝置1 4的下降 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 __B7_____五、發明説明（22) 而降至既定的位置，在該位置被設於昇降裝置1 4的昇降 通路的第一卡合鉤1 2 A會與最下段的通用托盤K S T卡 合。藉此，即使昇降裝置1 4更爲下降，還是能利用卡合 鉤1 2A重叠通用托盤KST的狀態支持在該位置。 藉著支持通用托盤的第一卡合鉤1 2 A與參照第2圖 後述的第二卡合鉤1 2 B的協同作用重叠的通用托盤 K S T會從最下段的托盤一次一枚的分離被取出。取出一 枚通用托盤K S T則是載置在昇降裝置1 4並降至既定的 位置，在該位置載置參照第4圖而後述的托盤托架1 8。 托盤托架18則將載置的通用托盤KST搬送至IC試驗 裝置的處理機HNDR。送入處理機HNDR的通用托盤 S K T則是放在昇降機2 0 4上部的載置台並利用該昇降 機2 0 4的上昇動作上昇，拉至參照第1 3圖巳說明的托 盤搬送機構2 0 5。托盤搬送機構2 0 5係利用安裝在其 下面的轉動爪2 0 5 A來支持被拉過來的通用托盤K S T ，作成與第1 3圖的情形相同，將通用托盤KST送至裝 載部3 0 0。 接著，參照第2至5圖詳細說明有關第1圖所示的 I C用托盤取出裝置1 〇的各部構成與動作。 第2圖係說明藉著設在昇降通路的第一卡合鉤12A 與第二卡合鉤1 2 B的協同動作自其最下段一次一枚分離 疊層狀態的通用托盤SKT的動作之槪略立體圖。 第一卡合鉤1 2 A與第二卡合鉤1 2 B乃藉由以該具 體實施例具有相當於通用托盤K S T —枚部分的厚度的段 — V - ---- · - - .1 - -*'_ « m I \^----- ^^1 1^1 n n 』 5-* - - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 五、發明説明（23) 差（垂直方向的距離）並突出於互不相同的方向的爪（圖 式舉例爲9 0°不同的方向）所構成，兩鉤1 2A與1 2 B爲一體成形。亦即兩鉤12A、12B會一起轉動。圖 式舉例係爲第一卡合鉤1 2 A比自第二卡合鉤1 2 B配置 在只托盤一枚部分厚度高的位置，第二卡合鉤1 2 B則是 在比第一卡合鉤12A更向有關順時針方向的90°前進 的位置。在各通用托盤K S T則是於長邊的各側面隔著既 定間隔形成兩個與第一卡合鉤1 2 A或第二卡合鉤1 2 B 卡合的缺口部1 3。該些個第一卡合鉤1 2A及第二卡合 鉤1 2 B則爲可轉動的軸支，利用與第一及第二卡合鉤 1 2A、1 2 B —體成形的手桿1 5的操作，構成每次向 順時針方向及逆時針方向旋轉90° 。再者，第二卡合鉤 1 2 B也可以是在比第一卡合鉤1 2 A更向有關順時針方 向後退90°的位置。 因爲此例通用托盤SKT (以下，不必特別限定爲通 用托盤簡稱爲托盤即可）的缺口部13爲其下側爲開放的 凹部，故如上所述一旦疊層狀態的托盤向下降，其最下段 的托盤的缺口部13會自動的與第一卡合鉤12A卡合’ 此例利用四個第一卡合鉤12A依然以叠層狀態支持托盤 。因此，此例第一卡合鉤1 2A及第二卡合鉤1 2 B於初 期狀態是在第2圖所示的位置（但各第一卡合鉤1 2A則 是與最下段的托盤的缺口部1 3卡合）。再者，於初期狀 態中第一卡合鉤1 2A及第二卡合鉤1 2 B的任一個都是 後退至不與托盤卡合的位置，藉著向逆時針方向譬如 (請先閱请背面之注意事項再填寫本頁) 袈. 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作杜印^ A7 ____ B7 _五、發明説明（24 ) 9 0°旋轉，理所當然會構成第一卡合鉤1 2A與托盤卡 合。 將每次90°向順時針方向及逆時針方向轉動第一卡 合鉤1 2A及第二卡合鉤1 2B的構造之一例表示於第3 圖。如上所述，第一卡合鉤1 2A與第二卡合鉤1 2 B爲 一體成形，且與該些個鉤一體突出形成手桿1 5。因爲該 些個手桿1 5則是每兩配置在托盤的各長邊，略L字形的 —對操作桿1 6將其一邊做成倒L字形，該些個長腳部爲 配置成延長在托盤的各長邊，利用一個操作桿1 6連接結 兩個手桿1 5，利用沿著該些個一對的操作桿1 6的長邊 方向的動作同時操作四個手桿1 5的構成。圖式舉例係將 一對操作桿16利用譬如像是空壓缸的直線驅動裝置17 將該些個長腳部驅動成沿著托盤的各長邊來移動，構成每 次9 0°轉動四個第一卡合鉤12A及第二卡合鉤12B 〇 位於托盤一枚部分的高位置的第一卡合鉤1 2 A在與 叠層狀態的托盤最下段的托盤缺口部13卡合的狀態作動 控制機構（圖未表示），上昇昇降裝置14並使叠餍狀態 的托盤上昇譬如只相當於托盤一枚部分的厚度的距離向上 移動，使托盤的所有負重部份負荷在昇降裝置1 4。在此 狀態以逆時針方向9 0°轉動第一卡合鉤1 2A及第二卡 合鉤1 2 B，使第二卡合鉤1 2 B轉動到與最下段托盤卡 合的位置。再者，昇降裝置1 4的載置台在與最下段托盤 的底面抵接的狀態逆時針方向9 0°轉動第一卡合鉤12 1.' H —Γ i i n I . I n I I n n * - (請先M请背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4i見格（210X297公釐） -27^ 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 A7 B7 _ 五、發明説明（25) A及第二卡合鉤1 2 B，也可使第二卡合鉤1 2 B轉動到 與最下段托盤卡合的位置。即使任何情形也能利用上側的 第一卡合鉤1 2 A於支持托盤的狀態中，讓昇降裝置1 4 的載置台會利用與最下段托盤的底面抵接而僅上昇上側叠 層狀態的托盤。因此，因有關第一卡合鉤1 2 A的托盤荷 重會被去除或大幅的減輕，所以第一及第二卡合鉤1 2A 及1 2 B的轉動動作會變得很容易。 在此狀態作動控制機構，只會與立刻上昇的距離同距 離（只是相當於托盤一枚部分的厚度的距離）的下降昇降 裝置1 4。藉此，最下段的托盤會卡合在第二卡合鉤1 2 B，叠層狀態的托盤則是利用第二卡合鉤1 2B來支持。 再者，昇降裝置1 4的載置台爲與最下段的托盤的底面抵 接的狀態，於逆時針方向90°轉動第一卡合鉤12A及 第二卡合鉤1 2 B時，因不必使昇降裝置1 4下降，故控 制機構具有簡單化之優點。 接著，讓控制機構作動以順時針方向9 0°轉動第一 卡合鉤1 2 A及第二卡合鉤1 2 B，從叠層狀態的托盤之 下對第二個托盤卡合第一卡合鉤12A(第2圖係表示此 狀態）。 此狀態因爲會解除第二卡合鉤12 B與最下段托盤的 卡合，所以最下段托盤會被拉過至昇降裝置1 4的載置台 。再作動該控制機構使昇降裝置1 4下降，只有最托 盤會與昇降裝置1 4 一同下降到既定的位置。利用重複上 述動作即可從所重疊的托盤叠層體一次一枚分離取出托盤 --·-·--- I P—1 I - - i ^^1 —I— m n • "* > * {1ΐ先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中關家標车（0叫八4規格（2敝297公®； ) * ϋΒ - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（26) 〇 第4及5圖係說明第1圖所示的IC用托盤取出裝置 的實用狀態之一例之槪略斷面圖，第5圖係除掉托盤收容 容器KA S。該托盤收容容器KA S是在利用第一卡合鉤 1 2 A來支持收容在其內部的托盤之狀態而除去，或是在 更後面的時間除去，或是依舊不除去均可。 放在昇降裝置1 4的載置台上的托盤K S T如第4及 5圖所示，利用下降昇降裝置1 4來搭載配置在比卡合飽 1 2A、1 2B更下側的托盤托架1 8。在托盤托架1 8 的上面以向上突的狀態設置四個導針腳1 8A。兩個導針 腳1 8 A是以相當於托盤K S 丁短邊長度的間隔設在相對 於略中央位置的狀態，另兩個導針腳1 8 A是以相當於托 盤K S T長邊長度的間隔設在相對於略中央位置的狀態。 因此，可利用該些個導針腳1 8A正確的規定托盤KST 的搭載位置。 托盤托架1 8則與球形螺栓（內周面被切削成螺旋狀 螺峰之螺栓）19做機械式的結合，藉由與該球形螺栓 1 9螺合的驅動用螺栓（外周面被切削成螺旋狀螺峰的螺 栓）21的旋轉來移動球形螺栓19並移動托盤托架18 。驅動用螺栓2 1係利用第5圖所示馬達2 0來旋轉驅動 ，使球形螺栓1 9在貫穿紙面方向，而於第5圖中，在左 右方向（水平方向）移動，隨此的托盤托架1 8會由第5 圖所示的位置移動至X方向，停止在設於I C試驗裝置的 處理機HND R的昇降機2 0 4的上部位置。 J,—------¢------1T--------1 i - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公楚） 經濟部中央標準局—工消費合作社印製 A7 __B7_五、發明説明（27) 參照第1 3圖說明的托盤搬送機構2 0 5爲待機在比 昇降機2 0 4的托盤托架1 8的停止位置更上部，昇降機 2 0 4上昇將載置在托盤托架1 8的托盤K S T上昇到該 托盤搬送機構2 0 5的下側的既定位置。如巳說明的托盤 搬送機構2 0 5則是在其下面具有轉動爪2 Ο 5A，一旦 利用昇降機2 0 4將托盤K S T上昇到托盤搬送機構 2 0 5下側的既定位置，就可轉動該些個轉動爪2 Ο 5A 與托盤K S T卡合，固持托盤K S T。一旦托盤搬送機構 205固持托盤KST，就可將該托盤KST送至第13 圖所示的裝載部3 0 0的窗1 0 6的位置或者第6圖所示 的被試驗1C儲藏庫201。 以上爲說明藉由將有關收容在如第14圖所示只底面 開放的托盤收容容器KA S的疊層狀態的托盤，從該托盤 收容容器KA S —次一枚分離取出的本發明之托盤取出裝 置之一實施例。 藉由採用第2圖所示之一體化的第一卡合鉤1 2 A及 第二卡合鉤1 2B，從該些卡合鉤1 2A、1 2B的下方 利用昇降裝置1 4 —次上昇一枚的托盤K S T依序從下側 重叠成叠層狀態，也可將該疊層狀態的托盤構成收容在如 第1 4圖所示只底面開放的托盤收容容器KA S內的托盤 收容裝置。 總之，每利用昇降裝置1 4上昇一枚托盤K ST，就 會使下側位置的第一卡合鉤1 2 B (托盤收容裝置將上述 的第一卡合鉤1 2A稱爲第二卡合鉤，將第二卡合鉤1 2 (讀先閱讀背面之注意事項再填容本頁) 裝- 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標准局員工消費合作社印製 五、發明説明（28) B稱爲第一卡合鉤）轉動而與托盤卡合，利用第一卡合鉤 1 2 B支持該托盤。 若具體說明’首先，轉動至不與上昇第一卡合鉤1 2 B的托盤KST接觸的位置，利用昇降裝置1 4將最初一 枚托盤K S T上昇到下側的第一卡合鉤1 2 B的位置。在 該狀態轉動第一·^合鉤1 2 B及第二卡合鉤1 2 A使下側 的第一卡合鉤1 2 B與托盤卡合，利用第一卡合鉤1 2 B 支持該托盤。接著將昇降裝置1 4更爲上昇只相當於托盤 —枚部分的厚度的距離（如前所述托盤缺口部1 3因其底 面爲開放所以即使不解除第一卡合鉤1 2 B與托盤的卡合 狀態還是能上昇托盤）轉動第一卡合鉤1 2 B及第二卡合 鉤1 2A使上側的第二卡合鉤1 2A與最初的托盤卡合。 藉此最初的托盤會利用上側的第二卡合鉤1 2 A支持》 或者轉動至不與上昇第一卡合鉤1 2 B及第二卡合鉤 1 2A的托盤KST接觸的位置，利用昇降裝置1 4使最 初的一枚托盤上昇到上側的第二卡合鉤1 2 A的位置，轉 動第一卡合鉤1 2 B及第二卡合鉤1 2 A使上側的第二卡 合鉤1 2 A與最初的托盤卡合，也可利用該第二卡合鉤 12A支持最初的托盤。 下一個托盤則利用昇降裝置1 4上昇到抵接在最初的 托盤的底面，在此狀態轉動第一卡合鉤1 2 B及第二卡合 鉤1 2A使第一卡合鉤1 2 B與第二個托盤卡合，同時解 除第二卡合鉤1 2A和最初的托盤的卡合。因此，在此狀 態立刻上昇的第二個托盤會加在最初的托盤的下段。在此 (诗先閱讀背面之注意事項再填耗本頁 裝. ，vs 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -3Γ- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _B7五、發明説明（29 ) 狀態使昇降裝置14更爲上昇只相當一枚托盤部分的厚度 的距離，使重叠的兩枚托盤只上昇一枚托盤部分的厚度， 轉動第一卡合鉤1 2 B及第二卡合鉤1 2 A使上側的第二 卡合鉤1 2 A與第二個托盤卡合。藉此，在兩枚托盤爲重 疊的狀態利用上側第二卡合鉤1 2 A來支持。 藉由重複上述動作，利用昇降裝置1 4依序一次一枚 從下側上昇的托盤則是加在疊層狀態的托盤的下段，藉由 該最下段的托盤利用上側的第二卡合鉤1 2 A支持，叠層 狀態的所有托盤則利用上側的第二卡合鉤1 2 A來支持。 再者，利用上側第二卡合鉤1 2A支持托盤的狀態，從下 側放在昇降裝置1 4而供應一枚托盤的情形，該托盤則是 利用與上側的最上段的托盤的底面抵接而僅上昇上側的托 盤。因此，有關第二卡合鉤12A的托盤的荷重會被去除 或大幅的減輕，所以第一及第二卡合鉤1 2 B及1 2 A的 轉動動作即具有很容易之優點。 利用上側的第二卡合鉤12A支持的叠層狀態的托盤 則是因藉由更爲上昇昇降裝置14而朝載置在托盤收容容 載置部11的托盤收容容器KAS內搬送。在此狀態關閉 安裝在托盤收容容器KA S下端部的可動鉤F K，而利用 該些個可動鉤F K來支持最下段的托盤。因此，可朝托盤 收容容器KA S內收容叠層狀態的托盤K S T。 因此，於第6及7圖所示的I C試驗裝置中，藉由將 上述構成的托盤收容裝置應用在卸載部4 0 0，即能將搭 載試驗過的IC的通用托盤依序收容在托盤收容容器 n- -H - . » —1 - n i --- -1- *IJRi In n I —1 ^^1 --K. 3 、v* -- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（3G) K A S 內。 上述實施例是以9 0°的角度間隔配置第一卡合鉤與 第二卡合鉤，但因爲只要當與一邊的卡合鉤成卡合狀態時 ，另一邊的卡合鉤只要不在與托盤卡合的位置，兩者的角 度間隔就不必被限定在90° 。採取試驗半導體裝置的代 表例的IC之IC試驗裝置應用本發明的情形爲例做說明 ，但本發明也適用在試驗IC以外的其他之半導體裝置的 試驗裝置，當然會得到同樣的作用效果。 如以上說明，依本發明，從該收容容器自動的取出搭 載收容在只底面開放的托盤收容容器內的被試驗半導體裝 置的托盤，將被試驗半導體裝置供應至半導體裝置試驗裝 置，而將搭載以半導體裝置試驗裝置結束試驗的半導體裝 置的托盤自動的回到只底面爲開放的托盤收容容器》因此 ，在使用只底面爲開放的托盤收容容器也可得到全自動化 朝半導體裝置試驗裝置供應被試驗半導體裝的作業以及將 試驗過的半導體裝置從半導體裝置試驗裝置回收的作業之 顯著優點。 〔圖面之簡單說明〕 第1圖係說明藉由本發明的半導體裝置用托盤取出裝 置之一實施例構成之槪略側視圖； 第2圖係說明第1圖所示的半導體裝置用托盤取出裝 置的要部的構造之立體圖； 第3圖係說明第1圖所示的半導體裝置用托盤取出裝 — J 裝-- . » {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ,ιτ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（31) 置的要部的動作之俯視圖； 第4圖係說明第1圖所示的半導體裝置用托盤取出裝 置的實用狀態之一例之槪略斷面圖； 第5圖係自左側觀看除掉托盤收容容器的第4圖之半 導體裝置用托盤取出裝置之槪略斷面圖； 第6圖係習知之I C試驗裝置之一例，以立體圖表示 室部之槪略俯視圖； 第7圖係第6圖所示的IC試驗裝置之槪略立體圖； 第8圖係說明第6及7圖所示的IC試驗裝置所使用 的試驗托盤之一例的構造之分解立體圖； 第9圖係說明第8圖所示的試驗托盤內的IC收藏狀 況之槪略立體圖； 第1 0圖係說明收藏在第8圖所示的試驗托盤的被試 驗I C與測試頭的導電連接狀態之放大斷面圖； 第1 1圖係說明收藏在試驗托盤的被試驗I C的試驗 順序之俯視圖； 第12圖係說明使用在Ic試驗裝置的被試驗IC儲 藏庫及試驗過IC儲藏庫的構造之立體圖； 第1 3圖係說明使用在習知I c試驗裝置的托盤搬送 機構構成之一例之槪略斷面圖； 第1 4圖係表示托盤收容容器構造之一例之斷面圖。 〔符號之說明〕 HDNR......處理機 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -3ί- {讀先閱讀背面之注意事項再填艿本頁) ,•11 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（32) K A S......托盤收容容器 K S T......托盤 F K......可動鉤 10 ......托盤取出裝置 11 ......托盤收容容器載置部 1 2 A......第一卡合鉤 1 2 B......第二卡合鉤 13......缺口部 1 4 ······昇降裝置 15 ......手桿 16 ......操作桿 17 ......直線驅動裝置 18 ......托盤托架 1 8 A......導銷 19 ......球形螺栓 2 1......驅動用螺栓 10 6......窗 2 0 1......儲藏庫 2 0 4 ......昇降機 2 0 5 ......托盤搬送機構 2 0 5 A......轉動爪 3 0 0 ......裝載部 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）