KR100481707B1 - 히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치 - Google Patents

히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 나선형 레일을 이용하여 히팅챔버 내로 공급된 테스트 트레이를 수직 및 수평방향으로 일정하게 이송함과 아울러 테스트 트레이를 이송시키기 위한 장치의 구조를 단순화시킬 있도록 한 히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치에 관한 것이다.
본 발명은 상부 베이스와 하부 베이스로 구성되고 테스트 트레이에 적재된 반도체 모듈을 가열하기 위한 히팅챔버와, 상기 상부 베이스와 하부 베이스 사이에 설치되고 상기 테스트 트레이의 양측을 각각 지지함과 아울러 상기 테스트 트레이를 상승시키기 위한 나선형 레일이 각각 형성된 적어도 둘 이상의 상승축들과, 상기 상승축과 나란하게 설치되고 상기 테스트 트레이의 양측을 각각 지지함과 아울러 상기 테스트 트레이를 하강시키기 위한 나선형 레일이 각각 형성된 적어도 둘 이상의 하강축들과, 상기 상부 베이스 배면에 설치되어 상기 상승축 상의 상기 테스트 트레이를 상기 하강축 쪽으로 이송시키기 위한 트레이 이송부와, 상기 상부 베이스 상에 설치되어 상기 상승축을 회전시키기 위한 상승 구동부와, 상기 상부 베이스 상에 설치되어 상기 하강축을 회전시키기 위한 하강 구동부를 구비한다.

Description

히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치{APPARATUS OF TRANSFERING TEST TRAY IN A HEATING CHAMBER}
본 발명은 히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치에 관한 것으로, 특히 나선형 레일을 이용하여 히팅챔버 내로 공급된 테스트 트레이를 수직 및 수평방향으로 일정하게 이송함과 아울러 테스트 트레이를 이송시키기 위한 장치의 구조를 단순화시킬 있도록 한 히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 SOP, QFP타입의 소자를 생산 완료하여 성능을 검사하는 검사기에서는 테스트 트레이에 담겨진 소자를 테스트 트레이에 차례로 담은 다음에 소자가 담긴 테스트 트레이를 히팅 챔버내에서 테스트조건에 알맞은 온도로 히팅한 상태에서 테스트 싸이트(Test site) 내로 이송하여 테스트 싸이트 내에서 소자 각각의 성능 검사를 하게 된다. 히팅 챔버는 반도체 소자를 열악한 상황 및 다양한 환경에서도 사용 가능한 제품으로 만들기 위하기 위하여 고온 및 저온 환경 하에서 일정시간 유지 후 테스트 트레이에 담겨진 반도체 소자를 테스트하게 된다.
이와 같이, 테스트 싸이트에서 소자의 성능 검사를 완료하고 난 다음에는 소자가 담겨진 테스트 트레이를 테스트 싸이트의 외부로 인출시켜 테스트결과에 따라 소자를 분류하여 테스트 트레이에 담는다.
이러한 검사기에서는 히팅 챔버내로 공급된 각 테스트 트레이를 균일하게 히팅하기 위해 일정간격을 유지하면서 순차적으로 이송시키는 이송수단이 필요하게 된다.
도 1을 참조하면, 종래의 히팅챔버내에서의 금속 트레이 이송장치는 히팅챔버(5)내의 금속트레이(3)를 지지하기 위한 제1안착편(8)이 상하로 나란히 형성된 적어도 2개의 회동편(6)을 히팅챔버(5)의 내부 양측에 대향되게 축(7)으로 고정 설치하여 상기 회동편(6)이 제1구동수단에 의해 연동되도록 하고 상기 회동편(6)의 사이에는 회동편의 제1안착편(8)에 얹혀져 있던 금속트레이(3)를 1스텝 하강시키기 위한 제2안착편(14)이 상하로 나란히 형성된 승강편(15)에 대향되게 설치하여 상기 승강편을 제2구동수단에 의해 2단으로 승하강시키거나, 동시에 전후진시키게 된다.
히팅챔버내에서의 금속 트레이 이송장치에서 상기 제1구동수단은 상기 회동편(6)이 고정된 축(7)의 상부에 링크(9)를 각각 고정하여 상기 링크를 레버(10)로 일체화하고 상기 레버의 일단에는 히팅챔버(5)의 상부에 고정된 실린더(12)의 로드를 연결하여 실린더(12)의 구동에 따라 제1안착편(8)을 금속트레이(3)의 외측으로 벗어나도록 회동시키게 된다.
히팅챔버 내에서 금속 트레이 이송장치의 상기 제2구동수단은 히팅챔버(5)의 상면에 2단 실린더(18)를 설치하여 상기 2단 실린더의 로드에 상판(19)을 고정하고, 상기 상판으로 노출된 회동축(17)중 일측의 회동측에는 실린더(20)의 로드를 연결함과 동시에 각 회동축에 레버(22)로 연결되는 승강편(15)을 연결편(16)으로 연결하여 연동되도록 한다.
이와 같은, 종래의 히팅챔버 내에서의 금속 트레이 이송장치는 대한민국 특허 등록번호 특0143387호에 상세하게 기재되어 있다.
이러한, 종래의 히팅챔버 내에서의 금속 트레이 이송장치는 회동편과 승강편을 순차적으로 동작하여 금속트레이를 동일한 간격으로 유지하면서 이송시키게 되므로 금속트레이의 온도를 균일하게 유지시킬 수 있게 됨은 물론 금속트레이의 이송이 안정적으로 이루어지게 되는 효과를 얻게 된다.
그러나, 종래의 히팅챔버 내에서의 금속 트레이 이송장치는 금속 트레이가 제 1 안착편에 로딩된 후 다른 금속트레이를 로딩받기 위하여 제 1 안착편에 로딩된 이전의 금속트레이를 제 2 안착편으로 옮긴 후 다른 금속 트레이를 로딩받기 때문에 금속트레이가 로딩대기 시간이 발생된다. 또한, 제 1 안착편에 로딩된 금속트레이를 제 2 안착편으로 옮기기 위하여 2개의 구동수단을 구성해야 하므로 히팅챔버의 크기가 상대적으로 커지고 히팅챔버 안의 기구물이 복잡하다는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 나선형 레일을 이용하여 히팅챔버 내로 공급된 테스트 트레이를 수직 및 수평방향으로 일정하게 이송함과 아울러 테스트 트레이를 이송시키기 위한 장치의 구조를 단순화시킬 있도록 한 히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치는 상부 베이스와 하부 베이스로 구성되고 테스트 트레이에 적재된 반도체 모듈을 가열하기 위한 히팅챔버와, 상기 상부 베이스와 하부 베이스 사이에 설치되고 상기 테스트 트레이의 양측을 각각 지지함과 아울러 상기 테스트 트레이를 상승시키기 위한 나선형 레일이 각각 형성된 적어도 둘 이상의 상승축들과, 상기 상승축과 나란하게 설치되고 상기 테스트 트레이의 양측을 각각 지지함과 아울러 상기 테스트 트레이를 하강시키기 위한 나선형 레일이 각각 형성된 적어도 둘 이상의 하강축들과, 상기 상부 베이스 배면에 설치되어 상기 상승축 상의 상기 테스트 트레이를 상기 하강축 쪽으로 이송시키기 위한 트레이 이송부와, 상기 상부 베이스 상에 설치되어 상기 상승축을 회전시키기 위한 상승 구동부와, 상기 상부 베이스 상에 설치되어 상기 하강축을 회전시키기 위한 하강 구동부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치에서 상기 상승축은 상기 상승 구동부에 의해 각각 회전되는 적어도 둘 이상의 상승축들을 포함하는 제 1 상승축군과, 제 1 상승축군과 마주보도록 설치되고 상기 상승 구동부에 의해 각각 회전되는 적어도 둘 이상의 상승축들을 포함하는 제 2 상승축군을 구비하는 것을 특징으로 한다.
히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치에서 상기 제 1 및 제 2 상승축군들은 서로 반대방향으로 회전하는 것을 특징으로 한다.
히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치에서 상기 하강축은 상기 하강 구동부에 의해 각각 회전되는 적어도 둘 이상의 하강축들을 포함하는 제 1 하강축군과, 제 1 하강축군과 마주보도록 설치되고 상기 하강 구동부에 의해 각각 회전되는 적어도 둘 이상의 하강축들을 포함하는 제 2 하강축군을 구비하는 것을 특징으로 한다.
히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치에서 상기 제 1 및 제 2 하강축군들은 서로 반대방향으로 회전하는 것을 특징으로 한다.
히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치에서 상기 상승 구동부는 구동원과, 상기 구동원으로부터 전달되는 회전력을 제 1 및 제 2 방향의 회전력으로 분리하기 위한 기어블록과, 상기 기어블록으로부터 전달되는 제 1 방향의 회전력을 상기 제 1 상승축군에 전달하기 위한 제 1 벨트와, 상기 기어블록으로부터 전달되는 제 2 방향의 회전력을 상기 제 2 상승축군 에 전달하기 위한 제 2 벨트와, 상기 제 1 벨트에 연동되어 상기 제 1 상승축군을 특정 방향으로 회전시키기 위한 제 3 벨트와, 상기 제 2 벨트에 연동되어 상기 제 2 상승축군을 특정 방향으로 회전시키기 위한 제 4 벨트를 구비하는 것을 특징으로 한다.
히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치에서 상기 하강 구동부는 구동원과, 상기 구동원으로부터 전달되는 회전력을 제 1 및 제 2 방향의 회전력으로 분리하기 위한 기어블록과, 상기 기어블록으로부터 전달되는 제 1 방향의 회전력을 상기 제 1 하강축군에 전달하기 위한 제 1 벨트와, 상기 기어블록으로부터 전달되는 제 2 방향의 회전력을 상기 제 2 하강축군 에 전달하기 위한 제 2 벨트와, 상기 제 1 벨트에 연동되어 상기 제 1 하강축군을 특정 방향으로 회전시키기 위한 제 3 벨트와, 상기 제 2 벨트에 연동되어 상기 제 2 하강축군을 특정 방향으로 회전시키기 위한 제 4 벨트를 구비하는 것을 특징으로 한다.
히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치에서 상기 트레이 이송부는 상기 상부 베이스 상에 설치되는 실린더와, 상기 상부 베이스를 관통되어 상기 실린더에 연동되는 링크와, 상기 링크에 결합되어 수평방향으로 회전하는 회전판과, 상기 회전판의 끝단에 수직하게 설치되어 상기 테스트 트레이를 수평방향으로 이송시키는 푸쉬어를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예의 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
도 2 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치는 챔버프레임(100)과, 챔버프레임(100)의 일측에 설치되어 챔버 내부를 일정온도로 유지시키는 히팅부(94)와, 챔버프레임(100)의 일측에 설치되어 테스트 트레이(80)가 로딩되는 로딩도어(20)와, 챔버프레임(100)의 측면에 설치되어 테스트 트레이(80)를 언로딩시키는 언로딩도어(110)와, 상부 베이스와 하부 베이스 사이에 마주보도록 고정된 3쌍의 나선형 축으로 구성되어 테스트 트레이를 상승기키는 제 1 및 제 2 상승축들(24, 28)과, 제 1 및 제 2 상승축들(24, 28)에 인접하게 각각 설치되어 테스트 트레이를 하강시키는 제 1 및 제 2 하강축들(34, 38)과, 상부 베이스 상에 설치되어 제 1 및 제 2 상승축들(24, 28)을 동시에 회전시키는 상승구동원(30)과, 상부 베이스 상에 설치되어 제 1 및 제 2 하강축들(34, 38)을 동시에 회전시키는 하강구동원(50)을 구비한다.
히팅부(94)는 챔버프레임(100)의 내부를 테스트조건에 알맞은 온도까지 히팅하여 메모리 모듈(70)이 담긴 테스트 트레이(80)를 균일하게 히팅한다.
테스트 트레이(80)는 다수의 메모리 모듈(70)을 적재하며, 테스트 트레이(80)의 양 끝단에는 소정 길이의 안착편이 돌출된다. 이러한, 테스트 트레이(80)는 도시하지 않은 로딩장치에 의해 로딩도어(20)를 통해 챔버프레임(100) 내부로 로딩된다.
로딩도어(20)는 로딩장치에 의해 테스트 트레이(80)가 로딩도어(20)에 인접하면 로딩도어 실린더(22)에 의해 개폐된다. 또한, 언로딩도어(110)는 제 1 및 제 2 하강축들(34, 38)에 의해 테스트 트레이(80)가 언로딩도어(110)에 인접하게 하강될 경우에 언로딩도어 실린더(112)에 의해 개폐된다.
제 1 상승축들(24)은 테스트 트레이(80)가 로딩되는 로딩도어(20) 쪽에 3개의 나선형 축들이 나란하게 설치된다. 제 2 상승축들(28)은 제 1 상승축들(24)에 마주보도록 테스트 트레이(80)의 크기에 대응되는 거리만큼 이격되어 나란하게 설치된다. 이러한, 제 1 및 제 2 상승축들(24, 28) 각각에는 테스트 트레이(80)를 이송시키기 위한 나선형의 레일이 소정 피치를 갖도록 형성된다. 이 나선형 레일에는 테스트 트레이(80)의 안착편이 안착된다. 이 때, 제 1 상승축들(24) 각각에 형성된 나선형 레일의 회전방향과 제 2 상승축들(28) 각각에 형성된 나선형 레일의 회전방향은 서로 반대방향으로 형성된다. 즉, 제 1 상승축들(24) 각각은 오른나사 형태로 형성되고, 제 2 상승축들(28) 각각은 왼나사 형태로 형성된다.
제 1 상승축들(24)은 챔버프레임(100)의 상부 베이스를 각각 관통되고, 상부 베이스를 관통한 3개의 제 1 상승축들(24)들에는 제 1 벨트풀리들(63, 64, 65) 각각이 체결되고, 제 1 벨트(67)가 감기게 된다. 또한, 제 2 상승축들(28) 역시 챔버프레임(100)의 상부 베이스를 각각 관통되고, 상부 베이스를 관통한 3개의 제 2 상승축들(28)들에는 제 2 벨트풀리들(73, 74, 75) 각각이 체결되고, 제 2 벨트(77)가 감기게 된다.
이러한, 제 1 및 제 2 상승축들(24, 28)은 상부 베이스에 설치된 상승구동원(30)에 의해 구동된다.
상승구동원(30)은 모터가 되고, 모터의 회전축에는 제 1 베벨기어(64)가 설치된다. 이 제 1 베벨기어(64)는 모터의 수직회전운동을 수평회전운동으로 변환하게 된다.
상부 베이스에 설치되는 제 1 베벨기어(64) 상에는 제 2 상승축들(28)을 구동시키기 위한 벨트풀리가 설치되고, 제 1 베벨기어(64)의 배면에는 제 1 상승축들(24)을 구동시키기 위한 기어가 설치된다.
또한 상부 베이스에는 제 1 베벨기어(64)에 설치되는 기어에 치합되는 제 1 벨트풀리기어(60)가 설치된다. 제 1 벨트풀리기어(60)와 제 1 상승축들(24) 중 가장 좌측에 위치한 상승축(24a)에 체결된 벨트풀리(63) 사이에는 제 3 벨트(62)가 감기게 된다.
이에 따라, 상승구동원(30)의 회전에 의해 제 1 베벨기어(64)가 연동되고, 제 1 베벨기어(64)의 연동에 의해 제 1 벨트풀리기어(60)가 연동된다. 제 1 벨트풀리기어(60)의 회전은 제 3 벨트(62)를 통해 제 1 상승축들(24) 중 가장 좌측에 위치한 상승축(24a)에 체결된 벨트풀리(63)에 전달된다. 이로 인해, 제 1 상승축들(24)은 제 3 벨트(62)의 회전에 연동되고 제 1 벨트(67)에 연동되어 제 1 방향으로 회전된다.
한편, 상승구동원(30)의 회전에 의해 제 1 베벨기어(64)가 연동되고, 제 1 베벨기어(64)의 연동에 의해 벨트풀리가 연동된다. 벨트풀리의 회전은 제 4 벨트(72)를 통해 제 2 상승축들(28) 중 가장 좌측에 위치한 상승축(28a)에 체결된 벨트풀리(73)에 전달된다. 이로 인해, 제 2 상승축들(28)은 제 4 벨트(72)의 회전에 연동되고 제 2 벨트(77)에 연동되어 제 1 상승축들(24)과 반대되는 제 2 방향으로 회전된다.
이러한, 제 1 및 제 2 상승축(24, 28)은 하나의 상승구동원(30)에 연동되어 서로 반대방향으로 회전하면서 테스트 트레이(80)를 상승시키게 된다. 이 때, 상승되는 테스트 트레이(80)의 유동을 방지하기 위하여, 제 2 상승축(28) 중 가장자리에 위치에 대응되는 챔버프레임(100)에는 트레이 가이드(72)가 설치된다.
제 1 및 제 2 하강축들(34, 38) 각각은 제 1 및 제 2 상승축들(24, 28) 각각에 인접됨과 아울러 나란하게 설치된다.
제 1 하강축들(34)은 테스트 트레이(80)가 언로딩되는 언로딩도어(110) 쪽에 3개의 나선형 축들이 나란하게 설치된다. 제 2 하강축들(38)은 제 1 하강축들(34) 에 마주보도록 테스트 트레이(80)의 크기에 대응되는 거리만큼 이격되어 나란하게 설치된다. 이러한, 제 1 및 제 2 하강축들(34, 38) 각각에는 테스트 트레이(80)를 이송시키기 위한 나선형의 레일이 소정 피치를 갖도록 형성된다. 이 때, 제 1 하강축들(34) 각각에 형성된 나선형 레일의 회전방향과 제 2 하강축들(38) 각각에 형성된 나선형 레일의 회전방향은 서로 반대방향으로 형성된다.
제 1 하강축들(34)은 챔버프레임(100)의 상부 베이스를 각각 관통되고, 상부 베이스를 관통한 3개의 제 1 하강축들(34)에는 제 3 벨트풀리들(53, 54, 55) 각각이 체결되고, 제 5 벨트(57)가 감기게 된다. 또한, 제 2 하강축들(38) 역시 챔버프레임(100)의 상부 베이스를 각각 관통되고, 상부 베이스를 관통한 3개의 제 2 하강축들(38)에는 제 4 벨트풀리들(43, 44, 45) 각각이 체결되고, 제 6 벨트(47)가 감기게 된다.
이러한, 제 1 및 제 2 하강축들(34, 38)은 상부 베이스에 설치된 하강구동원(50)에 의해 구동된다.
하강구동원(50)은 모터가 되고, 모터의 회전축에는 제 2 베벨기어(56)가 설치된다. 이 제 2 베벨기어(56)는 모터의 수직회전운동을 수평회전운동으로 변환하게 된다.
상부 베이스에 설치되는 제 2 베벨기어(56) 상에는 제 1 하강축들(34)을 구동시키기 위한 벨트풀리가 설치되고, 제 2 베벨기어(56)의 배면에는 제 2 하강축들(38)을 구동시키기 위한 기어가 설치된다.
또한 상부 베이스에는 제 2 베벨기어(56)에 설치되는 기어에 치합되는 제 2 벨트풀리기어(58)가 설치된다. 제 2 벨트풀리기어(58)와 제 2 하강축들(38) 중 가장 우측에 위치한 하강축(38c)에 체결된 제 3 벨트풀리(46) 사이에는 제 7 벨트(42)가 감기게 된다.
이에 따라, 하강구동원(50)의 회전에 의해 제 2 베벨기어(56)가 연동되고, 제 2 베벨기어(56)의 연동에 의해 제 2 벨트풀리기어(58)가 연동된다. 제 2 벨트풀리기어(58)의 회전은 제 7 벨트(42)를 통해 제 2 하강축들(38) 중 가장 우측에 위치한 하강축(38c)에 체결된 벨트풀리(46)에 전달된다. 이로 인해, 제 2 하강축들(38)은 제 7 벨트(42)의 회전에 연동되고 제 6 벨트(47)에 연동되어 제 1 방향으로 회전된다.
한편, 하강구동원(50)의 회전에 의해 제 2 베벨기어(56)가 연동되고, 제 2 베벨기어(56)의 연동에 의해 벨트풀리가 연동된다. 벨트풀리의 회전은 제 8 벨트(52)를 통해 제 1 하강축들(34) 중 가장 우측에 위치한 하강축(34c)에 체결된 벨트풀리(55)에 전달된다. 이로 인해, 제 1 하강축들(34)은 제 8 벨트(42)의 회전에 연동되고 제 5 벨트(57)에 연동되어 제 2 하강축들(38)과 반대되는 제 2 방향으로 회전된다.
이러한, 제 1 및 제 2 하강축(34, 38)은 하나의 하강구동원(50)에 연동되어 서로 반대방향으로 회전하면서 테스트 트레이(80)를 하강시키게 된다. 이 때, 하강되는 테스트 트레이(80)의 유동을 방지하기 위하여, 제 2 하강축(38) 중 가장자리에 위치에 대응되는 챔버프레임(100)에는 트레이 가이드(72)가 설치된다.
이와 같이, 테스트 트레이는 히팅챔버에 로딩되어 제 1 및 제 2 상승축들(24, 28)에 의해 상승된 후 제 1 및 제 2 하강축들(34, 38)에 의해 하강된다. 이 때, 제 1 및 제 2 상승축들(24, 28)에 연동되어 상승된 테스트 트레이를 제 1 및 제 2 하강축들(34, 38)로 수평이송시키기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치는 트레이 이송실린더(120)를 추가로 구비한다.
트레이 이송실린더(120)는 챔버프레임(100)의 상부 베이스 상에 설치되어 유압 또는 공기압에 의해 구동된다. 이러한, 트레이 이송실린더(120)는 도 4에 도시된 바와 같이 상부 베이스를 관통하여 설치된 트레이 트랜스퍼(90)에 전달된다.
트레이 트랜스퍼(90)는 챔버프레임(100)의 상부 베이스 배면에 설치된다. 이를 상세히 설명하면, 트레이 트랜스퍼(90)는 상부 베이스를 관통한 구동축(124)과, 구동축(124)에 연결되어 구동축(124)에 연동되어 수평방향으로 회전되는 제 1 회전판(126)과, 회전판(126)의 끝단에 설치되어 테스트 트레이(80)를 수평방향으로 이송시키는 푸쉬어(122)를 추가로 구비한다.
푸쉬어(122)는 회전판(126)에 결합된 지지프레임(128)에 결합되어 테스트 트레이(80)의 측면에 접촉된다. 즉, 푸쉬어(122)는 트레이 이송실린더(120)의 구동에 의해 구동축(124)이 연동되어 회전하게 되면, 구동축(124)에 연동되는 회전판(126)이 수평방향으로 회전하게 되고, 회전판(126)의 회전에 의해 연동되어 테스트 트레이(80)를 수평방향으로 밀게 된다.
이에 따라, 푸쉬어(122)는 제 1 및 제 2 상승축들(24, 28)에 연동되어 상부 베이스에 인접하게 상승된 테스트 트레이(80)를 제 1 및 제 2 하강축들(34, 38)로 밀게 된다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치는 로딩도어(20)를 통해 테스트 트레이(80)가 챔버프레임(100) 내부로 로딩되면, 로딩된 테스트 트레이(80)를 제 1 및 제 2 상승축들(24, 28)의 나선형 레일에 안착시키기 위하여 트레이 상승실린더(26)를 추가로 구비한다.
트레이 상승실린더(26)는 챔버프레임(100)의 저면에 설치되어 로딩도어(20)를 통해 로딩된 테스트 트레이(80)를 소정 높이를 상승시키게 된다. 이에 따라, 테스트 트레이(80)의 안착편들이 제 1 및 제 2 상승축들(24, 28)의 나선형 레일에 안착된다.
이와 같은, 본 발명의 실시 예에 따른 히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치를 동작을 설명하면 다음과 같다. 우선 도시하지 않은 로딩장치에 의해 다수의 메모리 모듈이 적재된 테스트 트레이(80)가 로딩도어(20) 쪽으로 이송된다. 그러면, 로딩도어 실린더(22)가 구동되어 로딩도어(20)를 상승시켜 열리게 된다. 로딩도어(20)가 열림으로써 테스트 트레이(80)는 챔버프레임(100) 내부로 로딩된다.
테스트 트레이(80)가 챔버프레임(100) 내부로 로딩되면, 트레이 상승실린더(26)가 구동되어 로딩된 테스트 트레이(80)를 상승시키게 된다. 이 때, 제 1 및 제 2 상승축들(24, 28)은 상승구동원(30)에 연동되어 회전하게 된다. 챔버프레임(100) 내부로 로딩된 테스트 트레이가(80)가 트레이 상승실린더(26)에 의해 회전되는 제 1 및 제 2 상승축들(24, 28) 상으로 상승됨으로써, 테스트 트레이(80)의 안착편이 제 1 및 제 2 상승축들(24, 28) 상의 나선형 레일에 안착된다.
제 1 및 제 2 상승축들(24, 28) 상의 나선형 레일에 안착된 테스트 트레이(80)는 제 1 및 제 2 상승축들(24, 28) 상의 나선형 레일의 피치만큼씩 상승된다. 이 때, 나선형 레일에 안착된 테스트 트레이(80)는 제 1 및 제 2 상승축들(24, 28) 각각이 서로 반대방향으로 회전하기 때문에 유동되지 않게 상승된다. 또한, 제 2 상승축들(28)의 위치에 대응되는 챔버프레임(100)에 설치된 트레이 가이드에 의해 상승시 유동이 방지된다.
이와 같이, 제 1 및 제 2 상승축들(24, 28)의 나선형 레일에 안착되어 로딩된 테스트 트레이(80)가 나선형 레일의 한 피치 만큼 상승되어지면, 다시 로딩도어(20)가 열리게 되어 다른 테스트 트레이(80)가 로딩된다. 로딩된 테스트 트레이(80)를 트레이 상승실린더(26)가 상승시켜 제 1 및 제 2 상승축들(24, 28)의 나선형 레일에 안착시킨다.
이에 따라, 테스트 트레이(80)는 순차적으로 제 1 및 제 2 상승축들(24, 28)의 나선형 레일에 안착되어 상승되어 이송된다.
제 1 및 제 2 상승축들(24, 28)의 나선형 레일에 안착된 테스트 트레이(80)가 최고점까지 상승하면 트레이 이송실린더(120)가 구동된다. 트레이 이송실린더(120)가 구동됨으로써, 트레이 트랜스퍼(90)가 연동된다. 이로 인해, 트레이 트랜스퍼(90)의 구동축(124)과 회전판(126) 및 푸쉬어(122)가 연동되어 제 1 및 제 2 상승축들(24, 28)의 최고점까지 상승된 테스트 트레이(80)를 제 1 및 제 2 하강축들(34, 38)의 나선형 레일 쪽으로 밀게 된다.
제 1 및 제 2 하강축들(34, 38)로 수평이송된 테스트 트레이(80)는 하강구동원(50)에 연동되어 하강된다. 즉, 트레이 트랜스퍼(90)에 의해 제 1 및 제 2 하강축들(34, 38)의 나선형 레일에 안착된 테스트 트레이(80)는 나선형 레일의 한 피치씩 하강되어진다. 그런 다음, 트레이 트랜스퍼(90)에 연동되어 다른 테스트 트레이(80)가 제 1 및 제 2 하강축들(34, 38)의 나선형 레일에 안착되어 하강된다. 이에 따라, 트레이 트랜스퍼(90)에 연동되어 제 1 및 제 2 하강축들(34, 38)의 나선형 레일로 수평이송된 테스트 트레이(80)는 순차적으로 하강되어 이송된다.
제 1 및 제 2 하강축들(34, 38)의 나선형 레일에 안착된 테스트 트레이(80)가 최저점까지 하강하면 언로딩 도어실린더(112)에 언로딩 도어(110)가 연동되어 열리게 된다. 이로 인해, 제 1 및 제 2 하강축들(34, 38)의 나선형 레일에 안착된 테스트 트레이(80)가 최저점까지 하강된 테스트 트레이(80)는 도시하지 않은 언로딩장치에 의해 챔버프레임(100)의 내부에서 언로딩된다.
이와 같이, 테스트 트레이(80)는 챔버프레임(100) 내부에 로딩된 후 제 1 및 제 2 상승축들(24, 28)에 의해 상승되어지고, 트레이 트랜스퍼(90)에 의해 수평이송된 후 제 1 및 제 2 하강축들(34, 38)에 의해 하강되어져 언로딩된다. 이러한, 테스트 트레이(80)는 챔버프레임(100) 내부에서 상승, 수평 및 하강이송되는 동안 에 테스트조건에 알맞은 온도로 히팅된다. 이렇게 테스트조건에 알맞은 온도로 히팅된 테스트 트레이(80)는 챔버프레임(100) 내부에서 언로딩되어 히팅챔버에 인접하게 설치된 도시하지 않은 테스트 사이트로 이송된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치는 나선형 레일이 설치된 상승축 및 하강축 그리고 트레이 트랜스퍼를 이용하여 테스트 트레이를 챔버 내에서 상승, 수평이동 및 하강시킴으로써 순차적인 간격으로 테스트 트레이를 이송시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명은 테스트 트레이의 로딩 대기시간을 최소화시킴과 아울러 반도체 모듈을 균일한 온도로 히팅할 수 있다. 또한, 테스트 트레이를 하나의 구동원으로 상승시키고, 하나의 구동원으로 하강시키게 되므로 챔버의 크기를 최소화 할 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.
도 1은 종래의 히팅챔버내에서의 금속트레이 이송장치를 나타내는 사시도.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치를 나타내는 사시도.
도 3은 조 2에 도시된 본 발명의 실시 예에 따른 히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치를 나타내는 평면도.
도 4는 도 2에 도시된 상승축들과 하강축들을 나타내는 도면.
도 5는 트레이 트랜스퍼를 나타내는 도면.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
20 : 로딩도어 22 : 로딩도어 실린더
24, 28 : 상승축들 26 : 트레이 상승실린더
30 : 상승구동원 34, 38 ; 하강축들
50 : 하강구동원 70 : 반도체 모듈
80 : 테스트 트레이 90 : 트레이 트랜스퍼
100 : 챔버 트레이 110 : 언로딩 도어
112 : 언로딩 도어실린더

Claims (8)

  1. 상부 베이스와 하부 베이스로 구성되고 테스트 트레이에 적재된 반도체 모듈을 가열하기 위한 히팅챔버와,
    상기 상부 베이스와 하부 베이스 사이에 설치되고 상기 테스트 트레이의 양측을 각각 지지함과 아울러 상기 테스트 트레이를 상승시키기 위한 나선형 레일이 각각 형성된 적어도 둘 이상의 상승축들과,
    상기 상승축과 나란하게 설치되고 상기 테스트 트레이의 양측을 각각 지지함과 아울러 상기 테스트 트레이를 하강시키기 위한 나선형 레일이 각각 형성된 적어도 둘 이상의 하강축들과,
    상기 상부 베이스 배면에 설치되어 상기 상승축 상의 상기 테스트 트레이를 상기 하강축 쪽으로 이송시키기 위한 트레이 이송부와,
    상기 상부 베이스 상에 설치되어 상기 상승축을 회전시키기 위한 상승 구동부와,
    상기 상부 베이스 상에 설치되어 상기 하강축을 회전시키기 위한 하강 구동부를 구비하는 것을 특징으로 하는 히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 상승축은,
    상기 상승 구동부에 의해 각각 회전되는 적어도 둘 이상의 상승축들을 포함 하는 제 1 상승축군과,
    제 1 상승축군과 마주보도록 설치되고 상기 상승 구동부에 의해 각각 회전되는 적어도 둘 이상의 상승축들을 포함하는 제 2 상승축군을 구비하는 것을 특징으로 하는 히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치.
  3. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 상승축군들은 서로 반대방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 하강축은,
    상기 하강 구동부에 의해 각각 회전되는 적어도 둘 이상의 하강축들을 포함하는 제 1 하강축군과,
    제 1 하강축군과 마주보도록 설치되고 상기 하강 구동부에 의해 각각 회전되는 적어도 둘 이상의 하강축들을 포함하는 제 2 하강축군을 구비하는 것을 특징으로 하는 히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 하강축군들은 서로 반대방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 상승 구동부는,
    구동원과,
    상기 구동원으로부터 전달되는 회전력을 제 1 및 제 2 방향의 회전력으로 분리하기 위한 기어블록과,
    상기 기어블록으로부터 전달되는 제 1 방향의 회전력을 상기 제 1 상승축군에 전달하기 위한 제 1 벨트와,
    상기 기어블록으로부터 전달되는 제 2 방향의 회전력을 상기 제 2 상승축군 에 전달하기 위한 제 2 벨트와,
    상기 제 1 벨트에 연동되어 상기 제 1 상승축군을 특정 방향으로 회전시키기 위한 제 3 벨트와,
    상기 제 2 벨트에 연동되어 상기 제 2 상승축군을 특정 방향으로 회전시키기 위한 제 4 벨트를 구비하는 것을 특징으로 하는 히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 하강 구동부는,
    구동원과,
    상기 구동원으로부터 전달되는 회전력을 제 1 및 제 2 방향의 회전력으로 분 리하기 위한 기어블록과,
    상기 기어블록으로부터 전달되는 제 1 방향의 회전력을 상기 제 1 하강축군에 전달하기 위한 제 1 벨트와,
    상기 기어블록으로부터 전달되는 제 2 방향의 회전력을 상기 제 2 하강축군 에 전달하기 위한 제 2 벨트와,
    상기 제 1 벨트에 연동되어 상기 제 1 하강축군을 특정 방향으로 회전시키기 위한 제 3 벨트와,
    상기 제 2 벨트에 연동되어 상기 제 2 하강축군을 특정 방향으로 회전시키기 위한 제 4 벨트를 구비하는 것을 특징으로 하는 히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 트레이 이송부는
    상기 상부 베이스 상에 설치되는 실린더와,
    상기 상부 베이스를 관통되어 상기 실린더에 연동되는 링크와,
    상기 링크에 결합되어 수평방향으로 회전하는 회전판과,
    상기 회전판의 끝단에 수직하게 설치되어 상기 테스트 트레이를 수평방향으로 이송시키는 푸쉬어를 구비하는 것을 특징으로 하는 히팅챔버 내에서의 테스트 트레이 이송장치.
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