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Hintergrund der Erfindung
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1. Bereich der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Handhabungsvorrichtung mit einer
Prüfstelle
zur Prüfung von
IC-Bausteinen, die innerhalb einer Prüfkammer angeordnet ist, einer
beladeseitigen Schwenkeinrichtung und einer entladeseitigen Schwenkeinrichtung.
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2. Beschreibung des Standes
der Technik
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Ein
IC-Baustein besteht normalerweise aus einem Substrat, auf dem auf
wenigstens einer Seite mehrere ICs (Integrierte Schaltungen) und
elektronische Bauteile beispielsweise durch Löten befestigt sind.
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Zur
Prüfung
der fertigen IC-Bausteine wird ein IC-Baustein normalerweise von
einer Bedienungsperson per Hand aus einem Prüfbehälter genommen, in dem sich
die IC-Bausteine befinden. Dann wird er auf einen Prüfsockel
gesteckt, an dem Prüfungen
einen vorgegebenen Zeitraum lang vorgenommen werden. Dann wird der
IC-Baustein schließlich
abhängig
von dem Prüfergebnis
klassifiziert und in einem Kundenbehälter abgelegt. Da die Arbeit
manuell ausgeführt
wird, ist die Prüfung
sehr aufwendig und auf die Dauer langweilig.
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Wenn
die IC-Bausteine jedoch von Aufnahmeeinrichtungen gehalten und dann
zu dem Prüfsockel überführt werden,
hat eine solche IC-Baustein-Handhabungseinrichtung die folgenden
Nachteile.
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Da
der IC-Baustein von der Aufnahmeeinrichtung gehalten und dann in
den Prüfsockel
geladen oder aus ihm entladen wird, können die Bausteine nicht in
einer abgedichteten Kammer geprüft
werden. Deshalb kann die Prüfung
der IC-Bausteine nur bei Raumtemperatur durchgeführt werden.
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Die
gefertigten IC-Bausteine werden daher bei Raumtemperatur geprüft und dann
in den Handel gebracht, wenn sie als gut befunden werden. Wenn die
in den Handel gebrachten IC-Bausteine in tatsächlichem Einsatz jedoch bei
elektrischen Produkten eingesetzt werden, wird Wärme erzeugt, so daß die IC-Bausteine
bei hoher Temperatur arbeiten. Dadurch ergibt sich ein Unterschied
zwischen den Prüfbedingungen
des IC-Bausteins und den Bedingungen im tatsächlichen Einsatz, wodurch die
Zuverlässigkeit
des in den Handel gebrachten Produkts reduziert wird.
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Wenn
die Aufnahmeeinrichtung die IC-Bausteine in Prüfsockel lädt, die horizontal an einer
Prüfstelle
angeordnet sind. Ist ein Austausch der unten angeordneten Prüfsockel
mühevoll,
wenn der Typ eines IC-Bausteins geändert wird.
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Aus
der
DE 196 54 231
A1 ist eine Handhabungseinrichtung für eine Prüfung von IC-Bausteinen bekannt,
die eine Beladungsstation aufweist, in der mehrere mit IC's beladene Schalen übereinander
angeordnet sind. Jeweils zwei IC-Bausteine können von einem Beladungstragarm
aufgenommen und in Öffnungen
auf einem Drehtisch eingelegt werden. Eine dreiarmige Dreheinrichtung
nimmt mit einem ersten Arm die beiden IC-Bausteine von dem Drehtisch
auf, während
gleichzeitig andere IC-Bausteine in einer Meßstation abgelegt werden. Zum
selben Zeitpunkt werden geprüfte
IC-Bausteine an einen Arm einer weiteren Dreheinrichtung übergeben,
die anschließend
die geprüften
IC-Bausteine an eine Tragvorrichtung weitergibt, welche die IC-Bausteine ihrer
Klassifizierung entsprechend in jeweilige Schalen ablegt.
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Die
Messstation, die Dreheinrichtung sowie der Drehtisch sind innerhalb
einer Konstanttemperaturkammer angeordnet. Da sich ständig ein
Dreharm der Dreheinrichtung innerhalb der Kammer befindet, ist es
nicht möglich,
die Kammer während
der Prüfung
der IC-Bausteine ausreichend gegenüber der Umgebung abzudichten.
Außerdem
ist der Aufbau der Dreheinrichtungen sehr aufwendig.
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Aus
der
DE 197 45 646
A1 ist ein Palettenlademechanismus bekannt, der Finger
aufweist, die in Nuten der Paletten eingreifen können. Eine ähnliche Technik ist aus der
DE 198 17 123 A1 bekannt,
bei der Schwenkhaken in Aussparungen von Schalen eingreifen.
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Der
Erfindung lag die Aufgabe zugrunde, mit konstruktiv einfachen Mitteln
eine Handhabungsvorrichtung für
eine Prüfung
von IC-Bausteinen an einer Prüfstelle
innerhalb einer Prüfkammer
zu schaffen, mit der IC-Bausteine zuverlässig unter konstanten Temperaturbedingungen
getestet werden können.
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Diese
Aufgabe wird durch eine Handhabungsvorrichtung mit den Merkmalen
des Patentanspruchs 1 gelöst.
Vorteilhafte Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung
sind Gegenstand der Patentansprüche
2 bis 9.
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Mittels
der beladeseitigen und der entladeseitigen Schwenkeinrichtung der
erfindungsgemäßen Handhabungvorrichtung
ist es möglich,
einen zu prüfenden
IC-Baustein vertikal in eine Prüfkammer einzuführen und
nach der Prüfung
herauszunehmen. Während
der Prüfung
kann die Prüfkammer
vollständig
verschlossen werden, so daß eine
konstante Temperatur innerhalb der Prüfkammer gewährleistet ist.
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Kurzbeschreibung
der Zeichnungen
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1 ist
eine perspektivische Ansicht einer IC-Baustein-Handhabungseinrichtung, bei der die vorliegende
Erfindung angewendet ist.
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2 ist
eine perspektivische Rückansicht von 1.
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3 ist
eine perspektivische Ansicht einer beladeseitigen Schwenkeinrichtung
als eine der Hauptkomponenten der Erfindung.
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4a zeigt
einen Zustand, bevor ein Träger zu
einem ersten Überführungselement
in einer ersten Schwenkplatte überführt wird.
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4b zeigt
einen Zustand, in welchem Finger einen Träger halten, der in einer ersten Überführungseinrichtung
angeordnet ist.
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5a ist
eine vertikale Schnittansicht eines Zustands, in welchem ein gehaltener
Träger
ins Innere einer Heizkammer überführt wird.
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5b ist
eine Seitenansicht eines Zustands, in dem der Träger ins Innere der Heizkammer überführt wird.
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6 ist
eine perspektivische Ansicht einer entladeseitigen Schwenkeinrichtung
als eine der Hauptkomponenten der Erfindung.
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7a zeigt
einen Zustand, bevor ein Träger zur
Innenseite einer zweiten Schwenkplatte überführt wird.
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7b zeigt
einen Zustand, in welchem Finger einen Träger halten, der zu der zweiten
Schwenkplatte überführt wird.
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8a ist
eine Schnittansicht längs
der Linie A-A von 7b.
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8b zeigt
einen Zustand, in welchem der Träger
um 90 Grad geschwenkt wird, so daß der Träger in der zweiten Schwenkplatte
das gleiche horizontale Niveau wie eine Entladestelle hat.
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Unter
Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen wird eine erfindungsgemäße Schwenkvorrichtung
einer IC-Baustein-Handhabungseinrichtung im einzelnen beschrieben.
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Die
in 1 und 2 gezeigte IC-Baustein-Handhabungseinrichtung,
die die vorliegende Erfindung aufweist, hat eine Hebeeinheit 5,
eine beladeseitige Aufnahmeeinrichtung 7, eine erste Überführungseinrichtung 9,
eine beladeseitige Schwenkeinrichtung 8, eine Heizkammer 10,
eine Prüfstelle 11,
eine entladeseitige Schwenkeinrichtung 12, eine zweite Überführungseinrichtung 14,
eine entladeseitige Aufnahmeeinrichtung 15, eine dritte Überführungseinrichtung 16 usw.
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Die
Hebeeinheit 5 arbeitet so, daß sie nacheinander eine Stapelplatte,
die zum Positionieren eines ersten Behälters 1 darauf verwendet
wird, um einen Schritt anhebt, wenn der in dem Behälter 1 enthaltene
IC-Baustein in einen Träger 3 geladen
wird, oder daß er
die Stapelplatte sequentiell um einen Schritt absenkt, wenn die
geprüften
und klassifizierten IC-Bausteine in Kundenbehälter 4 entladen werden.
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Die
beladeseitige Aufnahmeeinrichtung 7 wird zum sequentiellen
Halten der IC-Bausteine, die in dem ersten Behälter 1 enthalten sind,
und zum Beladen der IC-Bausteine in den Träger 3 verwendet, der
sich in der Beladestelle 6 befindet.
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Die
erste Überführungseinrichtung 9 wird zum Überführen des
Trägers
zu der beladeseitigen Schwenkeinrichtung 8 verwendet, wenn
der Träger die
zu prüfenden
IC-Bausteine alle aufgenommen hat.
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Die
beladeseitige Schwenkeinrichtung 8 arbeitet so, daß sie den
Träger 3 um
90 Grad schwenkt, wenn der Träger 3 durch
die erste Überführungseinrichtung 9 überführt wird.
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Die
Heizkammer 10, die unter der beladeseitigen Schwenkeinrichtung 8 angeordnet
ist, wird zum Erhitzen der IC-Bausteine auf eine Temperatur verwendet,
die für
die Prüfungen
geeignet ist, wenn die Träger
nacheinander durch die beladeseitige Schwenkeinrichtung 8 überführt sind.
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Die
Prüfstelle 11,
die auf einer Seite der Heizkammer 10 angeordnet ist, ist
so vorgesehen, daß,
wenn der auf die für
die Prüfbedingungen
geeignete Temperatur erhitzte IC-Baustein an der Prüfstelle
ankommt, der angekommene Träger
auf den Prüfsockel
gedrückt
wird und die Versuche für
die IC-Bausteine über
einen vorgegebenen Zeitraum durchgeführt werden.
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Die
entladeseitige Schwenkeinrichtung 12, die auf einer Seite
der Prüfstelle 11 vorgesehen
ist, arbeitet so, daß der
Träger
um 90 Grad verschwenkt wird, wenn der geprüfte Träger überführt wird.
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Die
zweite Überführungseinrichtung 14 wird dazu
verwendet, den Träger 3 horizontal
von der entladeseitigen Schwenkeinrichtung 12 zur Entladestelle 13 zu überführen.
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Die
entladeseitige Aufnahmeeinrichtung 15 wird dazu verwendet,
den von der zweiten Überführungseinrichtung 14 überführten IC-Baustein basierend
auf den Versuchsergebnissen selektiv zu halten und den IC-Baustein
in den Kundenbehälter 4 zu
entladen.
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Die
dritte Überführungseinrichtung 16 wird zum
horizontalen Überführen eines
leeren Trägers, aus
dem die IC-Bausteine entleert sind, zur Beladestelle 6 verwendet.
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Die
so aufgebaute IC-Baustein-Handhabungseinrichtung braucht die beladeseitige
Schwenkeinrichtung 8 und die entladeseitige Schwenkeinrichtung 12,
wobei die beladeseitige Schwenkeinrichtung 8 so arbeitet,
daß der
Träger,
in welchem die zu prüfenden
IC-Bausteine enthalten sind, geschwenkt wird, um die er hitzten IC-Bausteine
mit dem Prüfsockel
vertikal in Kontakt zu bringen, und die entladeseitige Schwenkeinrichtung 12 so
arbeitet, daß der aufrecht
stehende Träger
in seinen horizontalen Zustand zurückgeführt wird, um die geprüften IC-Bausteine
zu entladen.
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Die
Schwenkvorrichtung der IC-Baustein-Handhabungseinrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung weist die beladeseitige Schwenkeinrichtung 8 und
die entladeseitige Schwenkeinrichtung 12 auf.
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Wie
in 3 bis 5b gezeigt ist, hat die beladeseitige
Schwenkeinrichtung 8 eine erste Schwenkplatte 18,
die drehbar an der Oberseite eines Verschlusses angeordnet ist,
der an der Heizkammer 10 für ein Öffnen und Schließen (siehe 1)
installiert ist. Die Ausgestaltung der ersten Schwenkplatte 18 ist
so, dass der Schwenkbereich der Schwenkplatte 18 innerhalb
von 90 Grad liegt, wenn sie von einer Antriebseinrichtung angetrieben wird.
Die Schwenkplatte 18 ist weiterhin mit einem Überführungselement 19 versehen,
das aus ihr entfernt werden kann und in welches der die zu prüfenden IC-Bausteine
enthaltende Träger
eingeführt
wird.
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Die
Antriebseinrichtung hat einen ersten Zylinder 21, der mit
einem Ende scharnierartig mit einer ersten Installationsplatte 20 und
mit dem anderen Ende mit einer Stange 21a verbunden ist,
die axial mit der ersten Schwenkplatte 18 gekoppelt ist,
sowie einen Hebel 24, dessen eines Ende scharnierartig
mit einer Achse 22 verbunden ist, die mit der Stange 21a gekoppelt
ist, und dessen anderes Ende scharnierartig mit einem Bügel 23 verbunden
ist.
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Bei
diesem Aufbau wird bei einem Ausfahren der Stange 21a des
Zylinders 21 die Achse 22 verschoben, wodurch
eine Linearbewegung der Stange 21a in eine Drehbewegung
durch die Wirkung des Hebels 24 umgewandelt wird, der scharnierartig
mit dem Bügel 23 verbunden
ist. Dieser Vorgang verschwenkt die erste Schwenkplatte 18 bezüglich einer Achse 36.
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Das
für ein
Entfernen aus der ersten Schwenkplatte angeordnete Überführungselement 19 ist
ferner mit einer Halteeinrichtung zum Halten des Trägers 3 versehen,
um zu verhindern, daß der Träger 3 nach
unten fällt,
wenn die erste Schwenkplatte 18 gedreht wird.
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Auf
beiden Seiten eines Einlasses des Überführungselements 19 ist
eine festgelegte Führung 25 festgelegt,
welche eine abgeschrägte
Fläche 25a hat,
die für
ein leichtes Einführen
des Trägers 3 in
das Innere des Überführungselements 19 ausgebildet
ist.
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An
dem Überführungselement 19 ist
eine Halteeinrichtung zum Halten des zum Inneren des Überführungselements 19 überführten Trägers 3 drehbar
angeordnet, die ein Paar von Fingern 26, 27 zum
Halten eines Stützelements 3a des
Trägers 3,
einen Zylinder 28 mit einem Körper 28a, der an dem
einen Finger 27 angelenkt ist, und eine Stange 28b aufweist,
die an dem anderen Finger 26 angelenkt ist und die so betätigt wird,
daß die
Finger 26, 27 gleichzeitig nach innen aufeinander
zu oder nach außen voneinander
weg geschwenkt werden. Das Überführungselement 19 ist
mit der ersten Schwenkplatte 18 lösbar so verbunden, daß es wie
eine Schublade betätigt
werden kann.
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Das
Entfernen oder Einführen
des Überführungselements 19 aus
der ersten Schwenkplatte 18 oder in sie erfolgt durch eine
Entfern-/Einführeinrichtung
in einem Zustand, in welchem die erste Schwenkplatte 18 unter
Verwendung der Antriebseinrichtung um 90 Grad geschwenkt ist, wenn
der Verschluß 17 der
Heizkammer 10 geöffnet
ist.
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Die
Entfern-/Einführeinrichtung
umfasst eine Achse 30, die schwenkbar an einer Seite der Schwenkplatte 18 angebracht
ist, ein Paar von Ritzeln 31, die an der Achse 30 festgelegt
sind, eine an beiden Seiten einer Bodenfläche des Überführungsele ments 19 festgelegte
Zahnstange für
den Eingriff mit dem Ritzel 31 und eine Energieübertragungseinrichtung
zum Drehen der Achse 30 im Uhrzeigersinn oder gegen den
Uhrzeigersinn aufweisen.
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Die
Energieübertragungseinrichtung
arbeitet so, daß die
Energie auf die Überführungseinrichtung 19 übertragen
wird, die entfernbar mit der ersten Schwenkplatte 18 verbunden
ist, und umfasst einen Motor 33, der an der ersten Schwenkplatte 18 festgelegt
ist, und einen Steuerriemen 35, der um eine mit dem Motor 33 gekoppelte
Scheibe und um eine mit einem Ende der Achse 30 gekoppelte
Scheibe 34b herumgelegt ist und die Antriebsleistung auf
die Achse 30 überträgt.
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Es
wird nun die Funktion der so aufgebauten beladeseitigen Schwenkeinrichtung
beschrieben.
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Wie
in 4a gezeigt ist, bleibt das Paar von Fingern 26, 27 nach
außen
gespreizt, bevor der Träger 3 zu
dem Überführungselement
in der ersten Schwenkplatte 18 bewegt wird. Wenn in diesem
Zustand der Träger 3 zum Überführungselement 19 längs der
Führungsschiene 29 durch
die erste Überführungseinrichtung 9 überführt wird,
wird der Träger 3 zu
den abgeschrägten
Flächen 25a der
Führung 25 geführt, die
auf beiden Seiten des Einlasses des Überführungselements 19 vorgesehen
sind, und dann leicht in das Innere des Überführungselements 19 eingeführt.
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Durch
Aktivierung des Zylinders 28 werden die als Halteeinrichtung
wirkenden Finger 26, 27 gleichzeitig nach innen
aufeinander zu gedreht und halten das Stützelement 3a des Trägers 3,
wie es in 4b gezeigt ist. Wenn die erste
Schwenkplatte 18 geschwenkt wird, kann deshalb das Herabfallen
des in das Überführungselement 19 eingeführten Trägers 3 aus
diesem verhindert werden. In dem Zustand, in welchem der Träger 3 in
das Überführungselement 19 eingeführt ist,
wird Druckluft an dem Zylinder 28 angelegt, die die Stange 28b,
die eingeführt
worden ist, vorwärtsbewegt.
Dadurch wird der an der Stange 28b angelenkte Finger 27 gedreht
und hält
das Stützelement 3a des
Trägers 3.
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Wenn
der Zylinder 28 in dem Zustand, in welchem der an der Stange 28b angelenkte
Finger 27 das Stützelement 3a des
Trägers 3 hält, weiter
aktiviert wird, erfolgt das fortgesetzte Ausfahren der Stange 28b gegen
einen Abstützpunkt,
der das Abstützelement 3a ist,
mit welchem der Finger 27 verbunden ist. Dehalb wird der
andere, an dem Körper 28a des
Zylinders 28 angelenkte Finger 26 gedreht und
hält das
Stützelement 3a des
Trägers 3 auf
der anderen Seite, wie es in 4b gezeigt
ist.
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Wenn
das verriegelnde Paar von Fingern 26, 27 den Träger 3 unter
Verwendung des Zylinders 28 halten, wird der Zylinder 21 zum
Schwenken der ersten Schwenkplatte 18 aktiviert.
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Dadurch
wird die Linearbewegung des Hebels 24, der mit der ersten
Schwenkplatte 18 an der Achse 22 verbunden ist,
in eine Drehbewegung umgewandelt, die dann auf die erste Schwenkplatte 18 übertragen
wird, wodurch die erste Schwenkplatte 18 um 90 Grad bezüglich der
Achse 36 gedreht wird.
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Nachdem
der für
ein Öffnen
oder Schließen auf
einer Oberseite der Heizkammer 10 installierte Verschluß 17 geöffnet ist,
wird in dem Zustand, in welchem die erste Schwenkplatte 18 um
90 Grad gedreht worden ist, das Überführen des
Trägers,
der in dem Überführungselement 19 gehalten
worden ist, ins Innere der Heizkammer 10 möglich.
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Wenn
der Motor 33 als Entfern-/Einführeinrichtung so angetrieben
wird, daß der
in dem Überführungselement 19 gehaltene
Träger
ins Innere der Heizkammer 10 überführt wird, wird die von dem
Motor 33 übertragene
Drehkraft über
den Steuerriemen 35 für
eine Drehung der Achse 30 übertragen. Mit ihr werden deshalb
die Ritzel 31, die an der Achse 30 festgelegt
sind, gedreht.
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Mit
der Drehung des Ritzels 31 wird das Überführungselement 19,
das mit der ersten Schwenkplatte 18 für die Funktion wie eine Schublade
verbunden ist, aus der ersten Schwenkplatte 18 aufgrund
des Eingriffs des Ritzels 31 mit der Zahnstange 32,
die an dem Überführungselement 19 befestigt
ist, entfernt und dann in die Heizkammer 10 eingeführt.
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Bei
diesem Vorgang, wie er in 5b gezeigt
ist, wird der in dem Überführungselement 19 gehaltene
Träger 3 ins
Innere der Heizkammer 10 eingeführt und dann auf der Oberseite
einer Sitzplatte (nicht gezeigt) angeordnet. Danach wird der als
Halteeinrichtung verwendete Zylinder zurückgefahren, so daß das Paar
von Fingern 26, 27 voneinander nach außen gedreht
wird und den Haltezustand des Trägers 3 freigibt.
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Wenn
der Haltezustand des Trägers
durch die Finger 26, 27 aufgehoben ist, dreht
der rückwärts gedrehte
Motor 33 die Achse 30, an der das Ritzel 31 befestigt
ist, in die entgegengesetzte Richtung, wie oben beschrieben. Dies
hebt das Überführungselement 19,
das mit dem Ritzel 31 über
die Zahnstange 32 in. Eingriff steht, nach oben zu einem
oberen Totpunkt. Dann wird das Element 19 in die erste Schwenkplatte 18 eingeführt.
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Nachdem
das entfernte Überführungselement 19 in
die erste Schwenkplatte 18 eingeführt wird, wird der Verschluß 17 wieder
geschlossen und die erste Schwenkplatte 18 durch Drehung
um 90 Grad in ihren Ausgangszustand zurückgeführt. Dadurch kann ein neuer
Träger 3 in
die Heizkammer 10 überführt werden.
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Wie
in 6 bis 8b gezeigt ist, ist die entladeseitige
Schwenkeinrichtung 12 der IC-Baustein-Handhabungseinrichtung
mit einer zweiten Schwenkplatte 49 versehen, die bezüglich einer Schwenkachse 48 an
einer Seite eines entladseitigen Verschlusses einer Prüfstelle 31 (siehe 1) schwenkbar
ist. Sowohl auf der oberen als auch auf der unteren Seite der Schwenkplatte 49 ist
eine Führungsplatte 50 mit
einer abgeschrägten
Fläche 50a vorgesehen,
die ein leichtes Einführen
des Trägers 3 ermöglicht.
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Die
zweite Schwenkplatte 49 ist so ausgebildet, daß sie durch
eine Antriebseinrichtung um 90 Grad geschwenkt werden kann.
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Die
Antriebseinrichtung weist einen Hebel 51, dessen eines
Ende an der Schwenkachse 48 der zweiten Schwenkplatte 49 festgelegt
ist, und einen Zylinder 53 auf, der mit einem Ende an einer
Installierplatte 52 angelenkt ist und der eine Stange 53a aufweist,
die an dem anderen Ende des Hebels 51 zum Schwenken der
zweiten Schwenkplatte 49 angelenkt ist.
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Bei
diesem Aufbau drückt
ein Ausfahren der Stange 53a des Zylinders 53 gegen
den Hebel 51, wodurch eine lineare Bewegung der Stange 53a in eine
Drehbewegung durch Wirkung des Hebels 51 umgewandelt wird.
Dadurch wird die Schwenkplatte 49 verschwenkt. Die zweite
Schwenkplatte 49 ist ferner mit einer Halteeinrichtung
versehen, die verhindert daß der
Träger 3 beim
Schwenken der zweiten Schwenkplatte 49 nach unten fallen
kann.
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Die
den in die Führungsplatte 50,
wie in 7a gezeigt ist, überführten Träger 3 haltende Halteeinrichtung
hat ein Paar von Fingern 54, 55, die drehbar an
der zweiten Schwenkplatte 49 zum Halten beider Seitenflächen des
Trägers 3 installiert
sind, und einen Zylinder 56 mit einem Körper 56a, der an einem
Finger 56 angelenkt ist, sowie eine Stange 56b,
die an dem anderen Finger 55 angelenkt ist und die so betätigt wird,
daß die
Finger gleichzeitig nach innen aufeinander zu oder nach außen voneinander weg
gedreht werden.
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Es
wird nun die Arbeitsweise der so gebauten entladeseitigen Schwenkeinrichtung
beschrieben.
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Wie
in 8a gezeigt ist, liegt die zweite Schwenkplatte 49 an
der Installierplatte 52 an, und das Paar von Fingern 54, 55 ist,
wie in 7a gezeigt, nach außen gespreizt,
während
die IC-Bausteine,
die in dem aufrecht stehenden Träger 3 enthalten sind,
in der Prüfstelle 11 geprüft werden.
Wenn die Prüfungen
der IC-Bausteine abgeschlossen sind, wird in diesem Zustand der
abführseitige
Verschluß (nicht
gezeigt), der sich an der Prüfstelle 11 befindet, geöffnet, und
die Überführungseinrichtung
führt den Träger 3 stabil
in die Führungsplatten 50 durch
die auswärts
abgeschrägte
Fläche 50a ein,
die an der in der Prüfstelle
befindlichen Führungsplatte 50 ausgebildet
ist.
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Danach
fühlt ein
Sensor eine Sensorplatte (nicht gezeigt), die an einem unteren Abschnitt
eines als Überführungseinrichtung
wirkenden Schlittens festgelegt ist, wodurch eine Steuerung erkennen kann,
daß sich
der Träger 3 innerhalb
der Schwenkplatte 49 befindet.
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Danach
wird der als Halteeinrichtung verwendete Zylinder 56 aktiviert,
wodurch das Paar von Fingern 54, 55 nach innen
aufeinander zu geschwenkt wird. Da die Finger 54, 55,
wie in 7b gezeigt ist, die beiden Seitenflächen des
Trägers 3 halten,
kann ein Herabfallen des Trägers 3 innerhalb der
Schwenkplatte 49 von ihr verhindert werden, wenn die zweite
Schwenkplatte 49 geschwenkt wird. In einem Zustand, in
welchem der Träger 3 in
die zweite Schwenkplatte 49 eingeführt worden ist, wird an den
Zylinder 56 Druckluft angelegt, wodurch die eingezogene
Stange 53b ausgefahren wird. Dadurch wird der an der Stange 56b angelenkte
Finger 54 zum Halten einer Seitenfläche des Trägers 3 verschwenkt.
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Wenn
der Zylinder 56 in einem solchen Zustand weiter angetrieben
wird, in welchem der an der Stange 54b angelenkte Finger 54 eine
Seitenfläche des
Trägers 3 hält, erfolgt
ein fortgesetztes Ausfahren der Stange 56b. Dadurch wird
der andere, an dem Körper 56a des
Zylinders 56 angelenkte Finger 55 zum Halten der
anderen Seitenfläche
des Trägers 3 verschwenkt,
wie es in 7b gezeigt ist.
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Nachdem
das arretierende Paar von Fingern 54, 55 den Träger 3 durch
Verwendung des einen Zylinders 56 hält, wird der Zylinder 56 für eine Verschwenkung
der zweiten Schwenkplatte 49 angetrieben.
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Dabei
wird die Linearbewegung der Stange 53a, die mit der Schwenkachse 48 der
zweiten Schwenkplatte 49 gekoppelt ist, in eine Drehbewegung
umgewandelt, die dann auf die zweite Schwenkplatte 49 übertragen
wird, wodurch die zweite Schwenkplatte 49 um 90 Grad verschwenkt wird,
wie es in 8b gezeigt ist.
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Wenn
der Träger 3,
der in der zweiten Schwenkplatte 49 gehalten worden ist,
in eine Position auf der gleichen horizontalen Linie wie die Entladestelle 13 kommt,
nachdem die zweite Schwenkplatte 49 um 90 Grad gedreht
worden ist, wird der als Halteinrichtung dienende Zylinder 56 zurückgezogen,
so daß das
Paar von Fingern 54, 55 nach außen voneinander
weg gedreht wird, wodurch der Haltezustand des Trägers 3 aufgehoben
wird.
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Wenn
der Haltezustand des Trägers 3 aufgehoben
ist, hält
die zweite Überführungseinrichtung den
Träger 3 in
der zweiten Schwenkplatte 49 und überführt ihn dann zur Entladestelle 13.
Dadurch ist es möglich,
die in dem Träger
enthaltenen geprüften IC-Bausteine aufgrund
der Prüfergebnisse
zu klassifizieren und sie in den Kundenbehälter zu entladen.
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Wie
vorstehend beschrieben, kann erfindungsgemäß durch die Energieübertragung
durch Zahnstange und Ritzel in dem Zustand, in welchem die mit dem Überführungselement
lösbar
verbundene Schwenkplatte um 90 Grad gedreht wird, das den Träger haltende Überführungselement
ins Innere der Heizkammer überführt werden.
Dadurch kann der senkrecht stehende Träger zur Prüfstelle überführt werden.
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Dadurch
kann die Sockelanordnung, mit der Muster der IC-Bausteine elektrisch
während
des Prüfens
in Kontakt gebracht werden, senkrecht stehen, wodurch die senkrechte
Sockelanordnung außerhalb der
Prüfstelle
freiliegt. Deshalb ist auch dann, wenn die Art der zu prüfenden IC-Bausteine
geändert
wird, ein leichter Austausch des Prüfsockels an der Prüfstelle
möglich.
Da die für
das Installieren der Trägerüberführungsvorrichtung
erforderliche Fläche
auf ein Minimum reduziert ist, erhält man eine kompakt gebaute
Vorrichtung.
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Da
der Träger
um 90 Grad geschwenkt wird, so daß er sich auf der gleichen
horizontalen Linie wie die Entladestelle befindet, ohne daß der Träger unter Beibehaltung
seiner senkrechten Stellung in der Prüfstelle zu der Oberseite überführt wird,
kann die Zeit für
die Überführung des
Trägers
beträchtlich
reduziert werden.