DE19745646A1 - Transportvorrichtung für eine Halbleitervorrichtung - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Transportvor­ richtung, die beim Testen der elektrischen Eigenschaften von Halbleitervorrichtungen verwendet wird.

Fig. 3 zeigt das Erscheinungsbild von drei typischen Halblei­ tervorrichtungen (im folgenden einfach als "Vorrichtung" be­ zeichnet) 1, die jeweils mit externen Ausgabeanschlüssen 1a, 1b bzw. 1c vorgesehen bzw. ausgerüstet sind.

Fig. 28 zeigt schematisch eine herkömmliche Testvorrichtung zum Testen einer Halbleitervorrichtung (im folgenden als eine Halb­ leitertestvorrichtung bezeichnet). Wie aus Fig. 28 zu ersehen ist, weist die Testvorrichtung einen Testerhauptkörper bzw. Testerhauptaufbau 110, vier Testköpfe 111 und vier Testausführer 116 auf. Jeder Testausführer 116 weist integral einen Ausführer­ hauptkörper bzw. einen Ausführerhauptaufbau 113, einen Lader 114 und einen Entlader 115 auf. Der Testkopf 111 ist an dem Ausfüh­ rerhauptaufbau 113 angebracht. Der Testkopf 111 enthält einen Kontakt (nicht gezeigt), der in Kontakt mit der obigen Vorrich­ tung 1 und elektrisch über ein Kabel 112 mit dem Testerhauptauf­ bau 110 verbunden ist, zum Testen der elektrischen Eigenschaften der Vorrichtung. Der Ausführerhauptaufbau 113 dient zum Trans­ portieren der Vorrichtung 1. Der Lader 114, der benachbart zu dem Ausführerhauptaufbau 113 ist, führt eine Palette (Substrat­ halter), die die Vorrichtung 1 enthält, vor dem Test dem Ausfüh­ rerhauptaufbau 113 zu. Der Entlader 115, der ebenfalls benach­ bart zu dem Ausführerhauptaufbau 113 und auf der dem Lader 114 gegenüberliegenden Seite angeordnet ist, empfängt die Palette, die die Vorrichtung 1, die nach dem Test aus dem Ausführerhaupt­ aufbau 113 entladen wird, enthält.

Es wird eine Erläuterung des Betriebs der Halbleitertestvorrich­ tung gegeben. Wenn die Palette, die die Vorrichtung enthält, vor dem Test in den Lader 114 gesetzt wird, wird sie von dieser in den Ausführerhauptaufbau 113 zugeführt. Die Vorrichtung 1, die in den Ausführerhauptaufbau 113 zugeführt wird und in der Palet­ te aufgenommen ist, wird so nach oben gedrückt, daß der externe Ausgabeanschluß und der Kontakt, der in dem Testkopf 111 enthal­ ten ist, in Kontakt miteinander gebracht werden. In diesem Zustand testet der Testerhauptaufbau 110 die Vorrichtung bezüg­ lich ihrer verschiedenen elektrischen Eigenschaften bzw. Merk­ male. Auf die Vervollständigung des Testes hin wird die Vorrich­ tung 1 in der Palette aufgenommen, aus dem Ausführerhauptaufbau 113 entladen und in den Entlader 115 gebracht.

Aufgrund der oben beschriebenen Struktur weist die obige her­ kömmliche Halbleitertestvorrichtung die folgenden Defekte bzw. Nachteile auf. Eine große Installationsfläche wird benötigt, da der Testausführer 116 für den Testkopf 111, der mit dem Tester­ hauptaufbau 110 verbunden ist, vorgesehen ist. Da zusätzlich der Testausführer 116 notwendigerweise den Lader 114 zum Zuführen der Palette, die die Vorrichtung enthält, vor dem Test in den Ausführerhauptaufbau 113, den Entlader 115 zum Aufnehmen der Vorrichtung 1, nachdem diese nach dem Test aus dem Ausführer­ hauptaufbau 113 entladen wird, und eine Steuerung für diese benötigt, ist die Halbleitertestvorrichtung sehr teuer.

Da der Testerhauptaufbau 110 teuer ist, muß sein Verfügbarkeits­ faktor erhöht werden. Dieses erforderte die Zeit und den Aufwand zum gleichmäßigen Anordnen der Paletten, die jeweils die Vor­ richtung enthalten, und zum Setzen der Palette in den Testaus­ führer 116 derart, daß der Betrieb von jedem der Testausführer 116 im wesentlichen mit demselben Zeitablauf beendet wird. Des weiteren benötigen die Testausführer 116, die voneinander ge­ trennt sind, das individuelle Zuführen/Entladen der Palette und das individuelle Betreiben. Dieses resultiert in einer schlech­ ten Testeffizienz.

Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Transport­ vorrichtung, die beim Testen von Halbleitervorrichtungen verwen­ det wird, anzugeben, die eine hohe Installationsflächeneffi­ zienz, niedrige Produktionskosten und eine hohe Testeffizienz aufweist.

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Transportvorrichtung nach Anspruch 1 oder 13 oder 14.

Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen ange­ geben. Es wird eine Transportvorrichtung, die beim Testen einer Mehr­ zahl von Halbleitervorrichtungen verwendet wird, angegeben, mit einem Magazin, in dem eine Mehrzahl von Paletten in mehreren Stufen gestapelt sind, wobei jede Palette mit einer Mehrzahl von darauf angeordneten Halbleitervorrichtungen vorgesehen ist, einem Verteilungsstaplermechanismus zum Umsetzen der Mehrzahl von Paletten, die in dem Magazin aufgenommen sind, in einen Ver­ teilungsstapler und zum Plazieren einiger der Paletten aus dem Verteilungsstapler auf einem Träger, einer Teststation, die in einem Konstanttemperaturraum vorgesehen ist, zum Testen der Halbleitervorrichtungen auf den Paletten, die auf dem Träger befördert werden, einem Trägertransportmechanismus, der einen eingangsseitigen Trägertransportmechanismus zum Transportieren des Trägers mit den darauf angeordneten Paletten zu der Test­ station und einen ausgangsseitigen Trägertransportmechanismus zum Transportieren des Trägers nach dem Test nach außerhalb des Konstanttemperaturraums aufweist, und einem Wiederbeladungs- bzw. Rückladungsstaplermechanismus zum Umsetzen der Paletten auf dem Träger nach einem Test in einen Wiederbeladungsstapler und zum Stapeln der Paletten aus dem Wiederbeladungsstapler in dem Magazin. Bei einem solchen Aufbau werden Paletten, die jeweils darauf aufgenommene Halbleitervorrichtungen aufweisen, in einem Magazin aufgenommen, und die Paletten, die aus dem Magazin ent­ nommen worden sind und auf dem Träger befördert werden, werden der Teststation zugeführt und nach dem Test zurückgeladen. Aus diesem Grund kann eine Transportvorrichtung mit einer hohen Ausnutzung der Installationsfläche, einer hohen Effizienz des Zuführungs-/Rückladebetriebs und des Betreibens allgemein be­ reitgestellt werden. Des weiteren kann, da die Paletten mit je­ weils einer Mehrzahl von darauf beförderten Vorrichtungen zu der Teststation transportiert werden, eine große Anzahl von Halblei­ tervorrichtungen gleichzeitig transportiert und getestet werden, wodurch die Testeffizienz erhöht wird.

Bevorzugterweise weist die Transportvorrichtung weiter einen Magazinlader zum Übertragen von Information über die Vorrich­ tungen, die vor dem Test von einem Aufzeichnungsmedium gelesen wird, an einen Controller (Steuerung) und zum Transportieren des Magazins zu dem Verteilungsstaplermechanismus, eine Magazintra­ verse (Magazinquerverbindung) zum Transportieren des Magazins, welches als ein Ergebnis des Umsetzens der Paletten frei gewor­ den ist, zu dem Wiederbeladungsstapler und einen Magazinentlader zum Transportieren des Magazins mit den Paletten, die von dem Wiederbeladungsstapler bewegt bzw. geladen worden sind, und zum Aufzeichnen eines Testergebnisses der Halbleitervorrichtungen auf dem Aufzeichnungsmedium auf. Mit einem solchen Aufbau kann die Effizienz des gleichzeitigen Transports einer großen Anzahl von Halbleitervorrichtungen und die Effizienz der Ausnutzung der Installationsfläche der Vorrichtung erhöht werden und, die Meß­ ergebnisse der Halbleitervorrichtungen in dem Magazin können so­ fort erhalten werden.

Des weiteren weist die Transportvorrichtung einen Trägerpuffer zum zeitweiligen Halten des Trägers mit den Paletten vor dem Test und nach dem Ausführen des Testes auf, wobei in dem Träger­ puffer mehrere Träger in mehreren Stufen gelagert werden können. In diesem Aufbau kann eine große Anzahl von Trägern transpor­ tiert werden.

Des weiteren weist die Transportvorrichtung einen Trägerpuffer zum zeitweiligen Halten des Trägers mit den Paletten vor dem Test auf, wobei der Trägerpuffer in dem Konstanttemperaturraum installiert ist und Träger in mehreren Stufen zeitweilig halten kann. Bei diesem Aufbau kann, sofort nachdem der Träger zu der Teststation transportiert worden ist, der Test der Vorrichtungen begonnen werden. Aus diesem Grund muß bei der Transportvorrich­ tung keine Zeit zum Anheben der Temperatur der Halbleitervor­ richtungen auf eine vorgeschriebene Temperatur (nach dem Trans­ port zu der Teststation) berücksichtigt werden.

Des weiteren weist die Transportvorrichtung einen Trägerpuffer zum zeitweiligen Halten des Trägers mit den Paletten, die darauf nach dem Test plaziert worden sind, auf, wobei der Trägerpuffer in dem Konstanttemperaturraum installiert ist und Träger in mehreren Stufen halten kann. Bei diesem Aufbau kann der von der Teststation wegtransportierte Träger in einer kurzen Zeit her­ ausgenommen werden, wodurch eine Kondensation verhindert wird.

Des weiteren ist der Trägertransportmechanismus in dem Konstant­ temperaturraum installiert. Bei diesem Aufbau kann der Träger zu der Vorderseite des Testkopfes transportiert werden, während der Test (mit anderen Halbleitervorrichtungen) ausgeführt wird, so daß er mit Vorrichtungen, deren Temperatur auf diejenige des Konstanttemperaturraums angehoben worden ist, in Bereitschaft stehen kann. Der Zeitverlust zum Anheben der Temperatur und zum Transport kann vermieden werden, was die Testeffizienz erhöht.

Des weiteren ist der Trägertransportmechanismus außerhalb des Konstanttemperaturraums installiert. Bei diesem Aufbau kann der Zustand der Vorrichtungen, die den Transportmechanismus durch­ laufen, erkannt werden, und der Transportmechanismus kann leicht überprüft werden.

Des weiteren weist die Transportvorrichtung eine Mehrzahl von Einheiten von Konstanttemperaturräumen auf, die jeweils die Teststation aufweisen, und der Träger wird zu bzw. aus jeder der Teststationen durch den Trägertransportmechanismus zugeführt bzw. entladen. Bei diesem Aufbau kann die Testzeit von Halblei­ tervorrichtungen, die eine große Kapazität aufweisen, verkürzt werden.

Des weiteren weist die Transportvorrichtung weiter eine Palet­ tenhochdrückeinheit A, die sich von einer Öffnung der unteren Fläche des Magazins, das unter den Verteilungsstapler transfe­ riert worden ist, bewegt, um so die Paletten in den Verteilungs­ stapler anzuheben, wobei der Verteilungsstapler zum Halten der angehobenen Paletten, zum Trennen dieser Paletten, eine nach der anderen beginnend von der untersten Palette, und zum Anheben der getrennten Palette dient, und einen Verteilungsstaplerbewegungs­ mechanismus zum Bewegen des Verteilungsstaplers zum Ausrichten der Paletten auf (einem Träger auf) dem eingangsseitigen Träger­ gestell auf.

Zusätzlich weist die Transportvorrichtung weiter den Wiederbela­ dungsstapler, in den die auf dem Träger auf dem ausgangsseitigen Trägergestell ausgerichteten Paletten aufeinanderfolgend gesta­ pelt werden, und eine Palettenhochdrückeinheit B, die sich von einer Öffnung der unteren Fläche des freien Magazins, das unter­ halb des Wiederbeladungsstaplers bewegt worden ist, bewegt, um so die Paletten in den Wiederbeladungsstapler anzuheben, und die sich danach absenkt, wenn ein Palettenhaltemechanismus des Wie­ derbeladungsstaplers ausgelöst worden ist, wodurch die Paletten in dem Magazin aufgenommen werden. Bei einem solchen Aufbau kön­ nen der Verteilungsstapler und der Wiederbeladungsstapler einen einfachen Aufbau aufweisen, so daß die Ausnutzung der Installa­ tionsfläche erhöht werden kann.

Des weiteren ist in dem Verteilungsstapler oder dem Wiederbela­ dungsstapler ein Gewicht in Kontakt mit den Paletten, die in dem Stapler aufgenommen sind, vorgesehen. Es ist möglich, die Vor­ richtungen am Verlassen der Aufnahmenuten der Palette zu hin­ dern.

Des weiteren weist die Transportvorrichtung ein Mittel zum Er­ fassen der Anwesenheit oder Abwesenheit von jeder der Halblei­ tervorrichtungen auf dem Träger auf dem eingangsseitigen Träger­ gestell und ein Mittel zum Erfassen der Anwesenheit oder Abwe­ senheit von jeder der Halbleitervorrichtungen auf dem Träger auf dem ausgangsseitigen Trägergestell auf, wobei die Erfassungser­ gebnisse miteinander verglichen werden. Dieses macht es möglich, eine Abnormalität der Transportvorrichtung schnell aufzufinden.

Bevorzugterweise weist die Transportvorrichtung, die beim Testen von Halbleitervorrichtungen verwendet wird, eine Mehrzahl von Paletten, auf denen jeweils eine Mehrzahl von Halbleitervorrich­ tungen an vorgeschriebenen Positionen, an denen Öffnungen vorge­ sehen sind, plaziert sind, einen Träger mit Durchgangslöchern, auf dem die Mehrzahl der Paletten angeordnet wird, einen Stem­ pelsatz, der einen Positionierer zum Positionieren und zum Hoch­ drücken der Halbleitervorrichtungen aufweist, und einen Test­ kopf, der Kontaktvorrichtungen zum Testen aufweist, auf, wobei beim Testen der Halbleitervorrichtungen der Positionierer des Stempelsatzes die Halbleitervorrichtungen durch die Öffnungen des Trägers und die Durchgangslöcher der Paletten derart nach oben drückt, daß die externen Anschlüsse der Vorrichtungen mit den Kontaktvorrichtungen des Testkopfes verbunden sind bzw. wer­ den. Derart kann eine Mehrzahl von Testausführern, die im Stand der Technik benötigt wurden, in einer einzelnen Transportvor­ richtung bzw. einer einzelnen Testvorrichtung verwirklicht bzw. gesammelt werden.

Des weiteren weist eine Transportvorrichtung, die beim Testen von Halbleitervorrichtungen verwendet wird, eine Testplatine, die Kontaktvorrichtungen zum Testen aufweist, die in Kontakt mit externen Anschlüssen der Halbleitervorrichtungen zu bringen sind, einen Testkopf zum Halten der Testplatine derart, daß sie entfernbar ist, der Verbindungsvorrichtungen aufweist, die in Kontakt mit den Kontaktvorrichtungen zu bringen sind, einen Testkopfhaltemechanismus zum Halten des Testkopfes, einen Test­ kopfliftmechanismus zum Anheben und Absenken des Testkopfhalte­ mechanismus zum Herausnehmen des Testkopfes aus dem Konstanttem­ peraturraum auf, wobei der Testkopf für den Testkopfhaltemecha­ nismus schwenkbar bzw. neigbar ist. Bei diesem Aufbau kann der Testkopf derart angehoben werden, daß er außerhalb des Konstant­ temperaturraums freigelegt ist, so daß die Überprüfung oder das Ersetzen der Testplatine leicht ausgeführt werden können. Der Testkopf kann leicht zur Überprüfung des Testkopfes oder zur Überprüfung des Inneren des Konstanttemperaturraums geneigt bzw. geschwenkt werden.

Weitere Merkmale und Zweckmäßigkeiten ergeben sich aus der fol­ genden Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Figu­ ren. Von den Figuren zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht der Gesamtstruktur einer Transportvorrichtung, die beim Testen von Halbleitervorrichtungen verwendet wird, entspre­ chend einer ersten Ausführungsform der vorliegen­ den Erfindung;

Fig. 2 eine schematische Draufsicht auf die Transportvor­ richtung entsprechend der ersten Ausführungsform;

Fig. 3 eine Ansicht des Aussehens von typischen Halblei­ tervorrichtungen;

Fig. 4 eine perspektivische Ansicht einer Palette die in der Transportvorrichtung verwendet wird;

Fig. 5 eine perspektivische Ansicht eines Magazins, das in der Transportvorrichtung verwendet wird;

Fig. 6 eine detaillierte perspektivische Ansicht eines Magazintransportabschnittes M/T, der in Ausfüh­ rungsformen der vorliegenden Erfindung verwendet wird;

Fig. 7 eine Ansicht, die eine Beziehung zwischen dem Magazintransportabschnitt und einem Verteilungs­ staplerabschnitt (Wiederbeladungsstaplerabschnitt) zeigt;

Fig. 8 eine Schnittansicht der Palette in dem Vertei­ lungsstapler;

Fig. 9 eine Schnittansicht, die den Zustand zeigt, in dem die Palette in dem Verteilungsstapler gehalten wird;

Fig. 10 eine Draufsicht, die Fig. 9 entspricht;

Fig. 11 eine Ansicht, die den Zustand zeigt, in dem die Palette in dem Verteilungsstapler abgetrennt ist;

Fig. 12 eine perspektivische Ansicht des Trägers, der in der Transportvorrichtung entsprechend Ausführungs­ formen der Erfindung verwendet wird;

Fig. 13 eine Ansicht, in der die Palette auf einem Träger montiert ist;

Fig. 14 eine Frontansicht des Trägerpuffers C/B entspre­ chend der ersten Ausführungsform;

Fig. 15A und 15B Ansichten, die den Zustand zeigen, bevor eine Halbleitervorrichtung durch einen Testkopf gete­ stet wird;

Fig. 16a und 16B Frontansichten, die den Zustand zeigen, in dem die Halbleitervorrichtung durch den Testkopf getestet wird;

Fig. 17 bis 19 Flußdiagramme, die den Betrieb der ersten Ausfüh­ rungsform zeigen;

Fig. 20 eine schematische Draufsicht auf die Gesamtstruk­ tur einer Transportvorrichtung, die beim Testen von Halbleitervorrichtungen verwendet wird, ent­ sprechend einer zweiten Ausführungsform der vor­ liegenden Erfindung;

Fig. 21 eine schematische Draufsicht auf die Gesamtstruk­ tur einer Transportvorrichtung, die beim Testen von Halbleitervorrichtungen verwendet wird, ent­ sprechend der dritten Ausführungsform der vorlie­ genden Erfindung;

Fig. 22A bis 22C, 23A und 23B eine Testkopfliftvorrichtung entsprechend der vierten Ausführungsform;

Fig. 24 eine Seitenansicht des Verteilungsstaplers und des Wiederbeladungsstaplers entsprechend der fünften Ausführungsform;

Fig. 25A und 25B eine Draufsicht und eine Frontansicht der Vor­ richtung, die in der Palette aufgenommen ist, ent­ sprechend der sechsten Ausführungsform;

Fig. 26 eine schematische Darstellung einer Transportvor­ richtung, die beim Testen von Halbleitervorrich­ tungen verwendet wird, entsprechend einer siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 27 eine schematische Ansicht einer Transportvorrich­ tung, die beim Testen von Halbleitervorrichtungen verwendet wird, entsprechend einer achten Ausfüh­ rungsform der vorliegenden Erfindung; und

Fig. 28 eine schematische Ansicht einer herkömmlichen Testvorrichtung für Halbleitervorrichtungen.

Erste Ausführungsform

Unter Bezugnahme auf die Fig. 1 und 2 wird eine Erläuterung des Erscheinungsbilds der ersten Ausführungsform gegeben. Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht der gesamten Struktur einer Trans­ portvorrichtung, die beim Testen vom Halbleitervorrichtungen verwendet wird, entsprechend einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Fig. 2 ist eine schematische Draufsicht auf Fig. 1.

Wie aus Fig. 1 zu ersehen ist, enthält die Transportvorrichtung entsprechend der ersten Ausführungsform Magazine 12, in denen eine Mehrzahl von Paletten (Substrathalter) 11 gestapelt sind, wobei auf jeder Palette 11 eine Mehrzahl von Halbleitervorrich­ tungen (im folgenden als "Vorrichtungen" bezeichnet) ausgerich­ tet sind. Das Magazin enthält eine IC-Karte 13, die an ihrer Seite angebracht ist, zum Speichern der Information über die Vorrichtungen. Das Magazin 12 wird von einer Zuführungsposition A zu einer Verteilungsposition B durch einen Magazinlader 14 transportiert. Die in der IC-Karte 13 gespeicherte Information wird durch eine Lesevorrichtung 16 an einen Lesesteuerabschnitt 17 übertragen.

Die Paletten 11 innerhalb der Magazine 12, die zu der Vertei­ lungsposition B transportiert werden, werden in einen Vertei­ lungslagerer bzw. Verteilungsbeschicker gehoben und dort gehal­ ten. Sie werden eine nach der anderen in der Reihenfolge von der untersten Palette in dem Verteilungslagerer 31 getrennt und auf einem Träger 35 auf einem Gestell 36 auf der Eingangsseite aus­ gerichtet.

Der Träger 35, der die darin ausgerichteten Paletten 11 enthält, wird einmal in einem Trägerpuffer 50, der eine Mehrzahl von Re­ galstufen aufweist, gehalten. Der Träger 35 wird danach aus dem Trägerpuffer 50 herausgenommen und auf einem Pendelförderer (Shuttle) 56 auf der Eingangsseite plaziert. Der Träger 35 wird in einen Konstanttemperaturraum 62 durch einen Pendeltransport­ mechanismus 55 auf der Eingangsseite transportiert und zu einem dritten Trägerbewegungsmechanismus 64 durch einen Trägerhebeme­ chanismus 63 transferiert. Der Träger 35 wird weiter zu einer Teststation T/S durch den dritten Trägerbewegungsmechanismus 64 bewegt. Die in der Palette 11 aufgenommene bzw. enthaltene Vor­ richtung wird durch einen Stempelsatz 65 nach oben gedrückt, so daß sie durch einen Testkopf 66 getestet wird bzw. getestet werden kann.

Nach der Vervollständigung des Tests wird der Träger 35, der die Paletten 11 enthält bzw. trägt, zu einem Trägerhebemechanismus 69 durch den dritten Trägerbewegungsmechanismus 64 bewegt und weiter zu einem Pendeltransportmechanismus 57 auf der Ausgangs­ seite, der parallel und dem Pendeltransportmechanismus 55 auf der Eingangsseite bezüglich der Teststation T/S gegenüberliegend angeordnet ist, bewegt.

Der Träger 35, der durch den ausgangsseitigen Pendelförderer (Shuttle) 58 aus dem Konstanttemperaturraum 62 entnommen worden ist, wird einmal in dem Trägerpuffer 50, wie in dem Fall auf der Eingangsseite, gehalten und auf ein Trägergestell 48 auf der Ausgangsseite herausgezogen. Die Paletten 11, die auf dem Träger 35 auf dem Gestell auf der Ausgangsseite ausgerichtet sind, wer­ den aufeinanderfolgend durch den Wiederverwendungslagerer (Wie­ derbeladungsstapler) 32 derart gestapelt, daß sie die einem Ma­ gazin entsprechende Anzahl erreichen.

Andererseits wird das Magazin 12, das die Paletten 11 in den Verteilungslagerer (Verteilungsstapler) 31 bewegt hat und frei geworden ist, in den unteren Teil des Wiederverwendungsstaplers 32 bewegt. Die Paletten 11 werden in dem freien Magazin plaziert bzw. erneut in dieses geladen. Das Magazin 12, das die Paletten an der Übertragungsposition erneut aufgenommen hat, wird zu dem Magazinentlader 22 bewegt. Wenn das Magazin 12 von der Wiederbe­ ladungsposition C zu der Herausnahmeposition transportiert ist, wird das Testergebnis der Vorrichtung, das in dem Steuerab­ schnitt 17 gespeichert ist, in der IC-Karte 13 durch eine IC- Kartenschreibvorrichtung 25 gespeichert.

Wie oben beschrieben worden ist, kann bei der Transportvorrich­ tung gemäß dieser Ausführungsform die Installationsfläche (für die Teile) vor und nach dem Test durch das Bereitstellen des Magazins, in dem die Paletten 11, die jeweils mehrere Halblei­ tervorrichtungen enthalten, gestapelt sind, stark reduziert werden. Zusätzlich kann die Installationseffizienz durch das Vorsehen des Magazinladers 14 zum Transportieren des Magazins 12 zu dem Verteilungslagerermechanismus D/S, einer Magazintraverse (Magazinquerverbindung) 29 zum Transportieren des freien Maga­ zins zu dem Wiederbeladungsstaplermechanismus R/S, eines Maga­ zinentladers 22 zum Transportieren des Magazins, das die wieder­ geladenen Paletten enthält, nach dem Test und des Magazintrans­ portmechanismus M/T, der in einer U-Form oder ähnlichem ausge­ bildet ist, stark erhöht werden. Die Installationseffizienz kann weiter durch das Vorsehen des Verteilungslagerermechanismus D/S zum Plazieren der Paletten 11, die in dem Magazin sind, in dem Verteilungsstapler 31 und zum Plazieren der Mehrzahl von Palet­ ten auf dem Träger 35 und durch das Vorsehen des Wiederbela­ dungsstaplermechanismus R/S zum erneuten Plazieren der Paletten, die nach dem Test auf dem Träger 35 vorhanden sind, in dem Wie­ derbeladungsstapler 32 und in dem Magazin stark erhöht werden. Des weiteren enthält diese Ausführungsform einen Trägertrans­ portmechanismus in einer umlaufenden Schleife, der aus der Test­ station T/S, die in dem Konstanttemperaturraum 62 angeordnet ist, zum kollektiven Testen der Vorrichtungen auf jeder der Pa­ letten, die auf dem Träger 35 plaziert werden, dem eingangssei­ tigen Trägertransportmechanismus zum Transportieren des Trägers 35 zu der Teststation T/S (eingangsseitiger Pendeltransportme­ chanismus 55, eingangsseitiger Hebemechanismus 63 und dritter Trägerbewegungsmechanismus 64) und dem ausgangsseitigen Träger­ transportmechanismus (ausgangsseitiger Pendeltransportmechanis­ mus 57, ausgangsseitiger Trägerhebemechanismus 69 und dritter Trägerbewegungsmechanismus 64) besteht.

Es wird nun unter Bezugnahme auf Fig. 1 bis 19 eine Erläuterung der Details der Transportvorrichtung, die beim Testen von Halb­ leitervorrichtungen verwendet wird, entsprechend der ersten Aus­ führungsform gegeben.

Fig. 3 zeigt das Erscheinungsbild von drei typischen Halbleiter­ speichereinrichtungen (im folgenden als "Vorrichtungen") be­ zeichnet. Fig. 4 zeigt ein Beispiel einer Palette (Substrathal­ ter), auf der die Vorrichtungen positioniert werden, die in der Transportvorrichtung zu verwenden ist. Wie aus Fig. 4 zu ersehen ist, weist die Palette 11 konkave Flächen (konkave Bereiche) 11a zum entsprechenden Aufnehmen der Vorrichtungen 1 auf. Jede kon­ kave Fläche 11a weist ein Durchgangsloch 11b zum Hochdrücken der Vorrichtung 1 auf. An beiden Rändern der Palette sind Durch­ gangslöcher 11c derart ausgebildet, daß sie mit der Mittenlinie P-P der entsprechenden konkaven Flächen 11a übereinstimmen bzw. auf diesen liegen, wie es in Fig. 4 gezeigt ist. Auf beiden Seiten des Bodens der Palette sind konkave Flächen (konkave Be­ reiche) 11d, die jeweils eine vorgeschriebene Breite und Tiefe aufweisen, ausgebildet.

Fig. 5 zeigt ein Magazin 12, in dem eine Mehrzahl von Paletten in mehreren Stufen gestapelt werden. Das Magazin wird zum Trans­ portieren der Paletten zwischen den Transportschritten verwen­ det. An der Oberseite desselben ist eine Öffnungsfläche (Öff­ nungsbereich) 12a zum Laden/Entladen der Paletten ausgebildet, und am Boden desselben ist eine Öffnungsfläche (Öffnungsbereich) 12b ausgebildet, die als eine Empfangsebene für die Paletten und zum Hochdrücken derselben dient. An der Seite derselben ist eine Tasche 12c zum Halten einer IC-Karte, die Information über die aufgenommenen Vorrichtungen 1 vor einem Testen enthält, ausge­ bildet. Die IC-Karte 13 enthält Informationen, wie die Art der Vorrichtungen, Testschritte, die Anzahl der aufgenommenen Palet­ ten und die Anzahl der Vorrichtungen in der Palette.

Fig. 6 ist eine detaillierte perspektivische Ansicht des Maga­ zintransportmechanismus M/T. Fig. 7 zeigt die Beziehung zwischen dem Magazintransportmechanismus M/T und dem Verteilungsstapler­ mechanismus D/S (Wiederbeladungsstaplermechanismus R/S) in ihrem Abschnitt.

Der Magazintransportmechanismus M/T enthält den Magazinlader 14, den Entlader 22 und die Magazintraverse 29 zum Übertragen des Magazins 12, welches frei geworden ist, zu dem Magazinentlader 22. Der Magazinlader, allgemein 14, enthält eine erste Magazin­ transportvorrichtung 15, die ein Band- oder Kettenförderer sein kann. Der Magazinlader 14 dient zum Transportieren des Magazins 12, das in eine Zuführungsposition A gesetzt ist, zu der Vertei­ lungsposition B in vorbestimmten Zeitintervallen. An der Maga­ zinzuführungsposition A ist der IC-Kartenleser 16 installiert. Der IC-Kartenleser 16 liest, wenn er der an dem Magazin 12 ange­ brachten IC-Karte 13 gegenüberliegt, die Information über die Vorrichtung 1, die in der IC-Karte 13 gespeichert ist, durch optische Kommunikationstechnologie und überträgt sie zu dem Steuerabschnitt 17, der in Fig. 1 gezeigt ist. Die erste Maga­ zinhebeplatte 18 dient zum Positionieren des Magazins 12.

Die Magazinhebeplatte 18 wird durch den ersten Magazinhebemecha­ nismus 19 senkrecht angetrieben. Eine Palettenhochdrückeinheit A 20 ist an dem Boden der Magazinhebeplatte 18 angebracht. Eine Palettenhochdrückplatte A 21 ist an der Spitze des bewegbaren Ab­ schnittes der Hochdrückeinheit A 20 montiert.

Der Magazinentlader 22 weist dieselbe Struktur wie diejenige des Magazinladers 14 auf. Insbesondere weist der Magazinentlader 22 eine dritte Magazintransportvorrichtung 23, eine zweite Magazin­ hebeplatte 24, einen zweiten Magazinhebemechanismus (nicht ge­ zeigt) und eine Palettenhochdrückeinheit (nicht gezeigt) auf. Der Magazinentlader dient zum Transportieren des Magazins 12 von der Wiederbeladungsposition C, in der die Palette 11 von dem Wiederbeladungsstapler (nicht gezeigt) 46 in das Magazin 12 zu­ rückgeladen wird, zu der Herausnahmeposition, in der das Magazin 12 herausgenommen wird. Die zweite Magazinhebeplatte 24 dient zum Positionieren und Plazieren des Magazins 12, das zu der Wie­ derbeladungsposition C transportiert ist. Der zweite Magazinhe­ bemechanismus (nicht gezeigt) dient zum Antreiben der zweiten Magazinhebeplatte 24. Die Palettenhochdrückeinheit ist an dem Boden der zweiten Magazinhebeplatte 24 angebracht und weist eine Palettenhochdrückplatte (nicht gezeigt), die an der Spitze ihres bewegbaren Abschnittes montiert ist, auf. An der Position E ist der IC-Kartenschreiber 25 installiert. Der IC-Kartenschreiber 25 schreibt, wenn er der an dem Magazin 12 angebrachten IC-Karte 13 gegenüberliegt, das Testergebnis der Vorrichtung 1, das in dem Steuerabschnitt 17 gespeichert ist, durch optische Kommunika­ tionstechnologie ein.

Die Magazintraverse 29 enthält die zweite Magazintransportvor­ richtung 26, den ersten Magazinbewegungsmechanismus 27 zum Bewe­ gen des Magazins, welches an der Palettenverteilposition B frei geworden ist, zu dem zweiten Magazintransportmechanismus 26 und dem zweiten Magazinbewegungsmechanismus 28 zum Bewegen des Maga­ zins 12, welches frei geworden ist, zu der Wiederbeladungsposi­ tion C.

Der Verteilungsstaplermechanismus D/S (Verteilungsstapler 31) und der Wiederbeladungsstaplermechanismus R/S (Wiederbeladungs­ stapler 32), die symmetrisch an dem Trägerpuffer C/B (später beschrieben) angebracht sind, weisen dieselbe Struktur auf. Die Erläuterung wird für den Verteilungsstaplermechanismus D/S (Ver­ teilungsstapler 31) gegeben. Fig. 8 ist eine seitliche Schnitt­ ansicht, die den Zustand zeigt, in dem die Paletten 11, die in dem Magazin aufgenommen sind, in den Verteilungsstapler 33 hoch­ gedrückt worden sind. Fig. 9 ist eine seitliche Schnittansicht, die den Zustand zeigt, in dem die Paletten 11 gehalten werden, wenn die Palettenhochdrückplatte 21 angehoben worden ist. Fig. 10 ist eine Schnittansicht in Draufsicht aus Fig. 9. Fig. 11 ist eine seitliche Schnittansicht, die den Zustand zeigt, in dem die Paletten 11 in dem Verteilungsstapler 33 getrennt werden. Fig. 12 ist eine perspektivische Ansicht des Trägers 35. Fig. 13 ist eine seitliche Schnittansicht, die den Zustand zeigt, in dem die Paletten geladen sind.

Wie aus Fig. 7 zu ersehen ist, enthält der Verteilungsstaplerme­ chanismus D/S einen Verteilungsstapler 31 zum Halten der Palet­ ten 11, die aus dem Magazin 12 entnommen worden sind, einen Ver­ teilungsstaplerbewegungsmechanismus 34 zum Bewegen des Vertei­ lungsstaplers 31 in horizontaler Richtung, einen Träger 35, auf dem die Paletten 11 in dem Verteilungsstapler 31 ausgerichtet werden, und ein eingangsseitiges Trägergestell 36, das an dem Ladergestell 37 angebracht ist.

Der Verteilungsstapler 31 enthält einen zylindrischen Vertei­ lungsstapler 33 zum Aufnehmen der Paletten 11, einen Paletten­ lademechanismus 38 zum Trennen der Paletten in dem Verteilungs­ stapler 33 eine nach der anderen zum Laden dieser auf den Träger 35 und einen Zwei-Stufen-Hub-Zylinder 39, der an dem Vertei­ lungsstapler 33 angebracht ist, zum Anheben und Absenken des Palettenlademechanismus 38.

Fig. 8 zeigt den Zustand, in dem der Hub des Zwei-Stufen-Hub- Zylinders 39 gleich null ist, Fig. 11 zeigt den Zustand, in dem er um einen Schritt (Stufe) gehoben ist, und Fig. 13 zeigt den Zustand, in dem er um zwei Schritte (Stufen) gehoben worden ist.

Der Palettenlademechanismus 38 hält ein Paar von ersten Teilen 40, die sich zu einem Paar von Nuten 11d auf beiden Seiten der untersten Palette 11 in dem Verteilungsstapler 33 bzw. von die­ sem weg bewegen. Die ersten Teile 40 werden durch Zylinder 41 und 42 bewegt.

Der Palettenlademechanismus 38 trägt außerdem ein Paar von zwei­ ten Teilen 43, die sich zu einem Paar von Nuten 11d auf beiden Seiten der von der untersten Palette in dem Verteilungsstapler 33 aus gesehen zweiten Palette 11 bzw. von diesen weg bewegen. Die zweiten Teile 43 werden durch Zylinder 44 und 45 bewegt.

Wie aus Fig. 12 ersichtlich ist, sind Palettenpositionierungs­ stifte 35a in den Träger 35 eingeschlagen bzw. auf diesem ausge­ bildet. Die Palette 11 wird auf dem Träger 35 in einer solchen Weise positioniert, daß die Durchgangslöcher 11c, die an den Seitenrändern der Palette 11 ausgebildet sind, in Eingriff mit den Palettenpositionierungsstiften 35a kommen. Der Träger 35 weist Öffnungsflächen (Öffnungsbereiche) 35b auf, durch welche die Vorrichtungen 1, die in den Nuten 11a der Palette 11 aufge­ nommen sind, durch den Stempelsatz, der später beschrieben wird, kontaktiert werden können, und Durchgangslöcher 35c, die für sein Laden/Entladen bezüglich des Trägerpuffers 50, der später beschrieben wird, verwendet werden.

Der Wiederbeladungsstapler 32, der durch einen Wiederbeladungs­ staplerbewegungsmechanismus 47 (Fig. 14) gehalten wird, bewegt sich horizontal zum Wiederladen der Paletten 11, eine nach der anderen, die auf den Träger 35 geladen sind, der aus dem Träger­ puffer 50 zu dem ausgangsseitigen Trägergestell 48 herausgezogen worden ist.

Fig. 14 ist eine Frontansicht der Trägerpuffereinheit C/B. Wie aus Fig. 14 zu ersehen ist, enthält der Trägerpuffer 50 eine Mehrzahl von Regalstufen 50a zum zeitweiligen Halten des Trägers bzw. der Träger 35. Ein Trägerpufferhebemechanismus 51, der zum Anheben und Absenken des Trägerpuffers 50 dient, ist an einem Ladergestell 37 angebracht. Ein erster Trägerbewegungsmechanis­ mus 52, der an dem unteren Teil des eingangsseitigen Trägerge­ stells 36 angebracht ist, bewegt Trägerbewegungsstifte 52a der­ art, daß sie mit den Durchgangslöchern 35c, die in dem Träger 35 ausgebildet sind, derart in Eingriff gebracht werden, daß der Träger 35 von dem eingangsseitigen Trägergestell 36 zu dem Trä­ gerpuffer 50 übertragen bzw. geladen wird.

Ein zweiter Trägerbewegungsmechanismus 53, der dieselbe Struktur wie der erste Trägerbewegungsmechanismus aufweist, ist unter ihm vorgesehen. Der zweite Trägerbewegungsmechanismus 53 bewegt Trä­ gerbewegungsstifte 53a derart, daß sie in Eingriff mit Durch­ gangslöchern 35c, die in dem Träger 35 ausgebildet sind, derart kommen, daß der Träger 35, der in dem Trägerpuffer 50 aufgenom­ men ist, an dem eingangsseitigen Hebegestell 54 positioniert und angeordnet wird.

Der eingangsseitige Pendeltransportmechanismus 55 dient zum Transportieren des Trägers 35, der durch das Absenken der ein­ gangsseitigen Liftstufe 54 auf den eingangsseitigen Pendelförde­ rer (Shuttle) 56 gebracht worden ist, von der eingangsseitigen Liftstufe 54 zu dem eingangsseitigen Trägerhebemechanismus 63, der in dem Konstanttemperaturraum 62, der später beschrieben wird, vorgesehen ist.

Der ausgangsseitige Pendeltransportmechanismus 57 dient nach dem Test zum Transportieren des Trägers 35, der durch den ausgangs­ seitigen Trägerhebe(lift)mechanismus 69, der in dem Konstanttem­ peraturraum 62, der später beschrieben wird, vorgesehen ist, auf den ausgangsseitigen Pendelförderer (Shuttle) 58 gebracht worden ist, zu der ausgangsseitigen Liftstufe 59.

Ein vierter Trägerbewegungsmechanismus 60, der dieselbe Struktur wie diejenige des ersten Trägerbewegungsmechanismus 52 aufweist, bewegt Trägerbewegungsstifte 60a derart, daß sie derart in Ein­ griff mit den Durchgangslöchern 35c, die in dem Träger 35 ausge­ bildet sind, kommen, daß der Träger 35, der auf der eingangssei­ tigen Liftstufe 59 positioniert und angeordnet ist, in dem Trä­ gerpuffer 50 gehalten wird.

Ein fünfter Trägerbewegungsmechanismus 61, der dieselbe Struktur wie diejenige des ersten Trägerbewegungsmechanismus aufweist, ist über ihm vorgesehen. Der fünfte Trägerbewegungsmechanismus 61 bewegt Trägerbewegungsstifte 61a derart, daß sie derart in Eingriff mit den Durchgangslöchern 35c, die in dem Träger 35 ausgebildet sind, kommen, daß der Träger 35, der in dem Träger­ puffer 50 aufgenommen ist, zu dem ausgangsseitigen Trägergestell 48 übertragen bzw. transferiert wird.

Es wird nun unter Bezugnahme auf die Fig. 1 und 2 eine Erläute­ rung der internen Struktur des Konstanttemperaturraums 62 gege­ ben. Der Konstanttemperaturraum 62 wird auf eine Temperatur der­ art gesteuert, daß die Temperatur in dem Raum durch einen Wärme­ tauscher (nicht gezeigt) konstant gehalten wird. Der Träger 35 wird über den eingangsseitigen Trägerhebemechanismus 63 in dem Konstanttemperaturraum 62 durch den eingangsseitigen Pendelförderer 56 transportiert. Der eingangsseitige Pendeltransportmechanismus 55 ist mit einer Schließvorrichtung bzw. einer Schleuse an der Grenze, in der er in den Konstanttemperaturraum 62 eintritt, versehen. Die Schließvorrichtung ist, ausgenommen wenn der eingangsseitige Pendelförderer 56 bewegt wird, geschlossen, wodurch die Temperatur in dem Raum konstant gehalten wird.

Der Träger 35 wird durch das Anheben des eingangsseitigen Trä­ gerhebemechanismus 63 positioniert und auf eine eingangsseitige Offen/Geschlossen-Schiene des dritten Trägertransportmechanismus 64, der senkrecht zu dem eingangsseitigen Pendeltransportmecha­ nismus 55 ist, bewegt. Wenn der eingangsseitige Trägerhebemecha­ nismus angehoben wird, öffnet sich die Schiene nach unten um einen Hebeldrehpunkt an ihrem oberen Punkt, wohingegen sich die Schiene, wenn er bis zu einer vorgeschriebenen Position angeho­ ben ist, zum Empfangen des Trägers 35 schließt. Eine solche Offen/Geschlossen-Schiene ist auf der gegenüberliegenden Aus­ gangsseite vorgesehen. Der dritte Trägerbewegungsmechanismus 64 dient zum Transportieren des Trägers 35 von der Offen/Geschlos­ sen-Schiene auf der Eingangsseite zu der Teststation T/S und weiter zu der Offen/Geschlossen-Schiene an der Ausgangsseite.

Der Stempelsatz 65 in der Teststation T/S ist unter dem dritten Trägerbewegungsmechanismus 64 und im wesentlichen zentral inner­ halb des Konstanttemperaturraums 62 angeordnet. Der Testkopf 66 ist auf dem Konstanttemperaturraum 62 gehalten und an der oberen Fläche des Stempelsatzes 65 bzw. dieser gegenüberliegend ange­ bracht. Der Stempelsatz 65 weist einen Positionierer 65a (Fig. 15) zum Hochdrücken und Halten der Vorrichtung 1 auf. Der Test­ kopf 66 weist eine Kontaktvorrichtung 80, die elektrisch mit einem Testerhauptaufbau 68 über ein Kabel 67 verbunden ist, auf. Fig. 15 und 16 sind eine Frontansicht und eine vergrößerte An­ sicht, die die Beziehung zwischen dem Testkopf, der Vorrichtung und dem Stempelsatz vor und während des Tests zeigen.

Der ausgangsseitige Trägerhebe- bzw. -liftmechanismus 69 hebt sich zum Vervollständigen des Tests und positioniert den Träger 35, der auf der Offen/Geschlossen-Schiene des dritten Trägerbe­ wegungsmechanismus 64 getragen ist. Wenn die Offen/Geschlossen- Schiene geöffnet ist, fällt bzw. senkt sich der Träger 35 so, daß er auf dem ausgangsseitigen Pendelförderer 58 positioniert ist.

Es wird nun auf die Flußdiagramme, die in den Fig. 17 bis 19 gezeigt sind, Bezug genommen und eine Erläuterung der Transport­ vorrichtung, die beim Testen von Halbleitervorrichtungen verwen­ det wird, entsprechend der ersten Ausführungsform gegeben.

In Schritt S100 wird das Magazin 12 an die Zuführungsposition A des Magazinladers 14 gesetzt und die Information über die Vor­ richtung, die in die IC-Karte 13 geschrieben ist, die an dem Magazin 12 derart angebracht ist, daß sie dem IC-Kartenleser 16 gegenüberliegt, wird durch optische Kommunikationstechnologie gelesen und an den Steuerabschnitt 17 übertragen. In Schritt S101 wird das Magazin zu der Palettenneupositionierungsposition (Verteilungsposition) B durch die erste Magazintransportvorrich­ tung 15 transportiert. Die erste Magazintransportvorrichtung 15 kann mehrere Magazine 12 in vorgeschriebenen Intervallen trans­ portieren.

In Schritt S102 werden die Paletten 11 aus dem Magazin 12 in den Verteilungsstapler 33 umgesetzt. Genauer gesagt, wenn der erste Magazinhebemechanismus 19 arbeitet, wird das Magazin 12, das zu der Palettenumsetzposition B transportiert ist, während es auf der ersten Magazinhebeplatte 18 plaziert ist, so angehoben, daß die obere Fläche des Magazins 12 über dem ersten Magazin 12 kei­ nen Spalt gegenüber der unteren Fläche des Verteilungsstaplers 33 bildet. In diesem Zustand hebt sich, wenn die Palettenhoch­ drückeinheit A 20 arbeitet, die Palettenhochdrückplatte A 21 ge­ genüber dem Öffnungsbereich an dem Boden des Magazins zum Anhe­ ben der Paletten 11 in den Verteilungsstapler 33 (Fig. 8). Dann bewegt sich, wenn die Zylinder 41 und 42 arbeiten, das Paar von Hebestücken 40, die von dem Palettenlademechanismus 38 gehalten werden, in den Verteilungsstapler 33. Danach werden, wenn die Palettenhochdrückplatte A 21 absinkt, die Nuten 11d, die an dem Boden der untersten Palette ausgebildet sind, durch das Paar von ersten Hebestücken 40 gehalten. Derart wird das Umsetzen der Pa­ letten in den Verteilungsstapler 33 vervollständigt. Wenn die Zylinder 44 und 45 betrieben werden, kommt das Paar von zweiten Stücken 43 in Eingriff mit den Nuten 11d in der von der unter­ sten Palette gesehen zweiten Palette (Fig. 11).

In Schritt S103 werden die Paletten 11 innerhalb des Vertei­ lungsstaplers 33 auf dem Träger 35 angeordnet. Genauer gesagt, der Verteilungsstapler 33, der die Paletten 11 enthält, wird auf den Träger 35, der auf dem eingangsseitigen Trägergestell 36 po­ sitioniert ist, durch den Verteilungsstaplerbewegungsmechanismus 34 bewegt. Wenn der Zwei-Stufen-Hub-Zylinder 39 den Hub in zwei Stufen macht, werden die zweite und folgende Paletten 11, gese­ hen von der untersten Palette aus, durch das Paar von zweiten Teilen 43 zum Verbleib in dem Verteilungsstapler 33 gehalten. Die unterste Palette 11 fällt bzw. senkt sich, während sie durch die ersten Hebeteile gehalten wird, so daß sie auf dem Träger 35 positioniert wird, wobei die Durchgangslöcher 11c, die an den Rändern der Palette ausgebildet sind, mit den Palettenpositio­ nierungsstiften 35a des Trägers 35 in Eingriff sind bzw. kommen. Wenn die Palette 11 auf dem Träger 35 positioniert ist, öffnet sich das Paar von ersten Hebeteilen 40 einmal zum Anheben in die Position, in der die unterste Palette abgetrennt worden ist, und schließt sich erneut. Wenn es zu der Position des Hubes von null des Zwei-Stufen-Hub-Zylinders 39 angestiegen ist, nimmt es die Palette, die durch das Paar von zweiten Teilen 43 gehalten wird, auf. Wenn sich das Paar von zweiten Teilen 43 öffnet, macht der Zwei-Stufen-Hub-Zylinder 39 einen Hub um eine Stufe, um zu der Position, in der die unterste Palette 11 abgetrennt worden ist, zu fallen bzw. abzusinken. Der obige Betrieb wird wiederholt, so daß eine vorgeschriebene Anzahl von Paletten auf dem Träger 35 plaziert wird.

In Schritt S104 wird der Träger 35 in dem Trägerpuffer 50 aufge­ nommen bzw. in diesem untergebracht. Genauer gesagt wird, wie es in Fig. 14 gezeigt ist, der Träger 35 mit den Paletten 11, die darauf plaziert sind, von dem eingangsseitigen Trägergestell 36 zu einem freien der Regalfächer 50a bewegt, wenn der erste Trägerbewegungsmechanismus 52 arbeitet. Der Trägerpuffer 50 wird durch den Trägerpufferliftmechanismus 51 nach oben zu der Posi­ tion bewegt, in der die Trägerbewegungsstifte 52a von den Trä­ gerdurchgangslöchern 35c gelöst werden. Dann werden die Träger­ bewegungsstifte 52a in eine vorgeschriebene Position zurückgezo­ gen.

In Schritt S105 wird der Träger 35, der zeitweilig in dem Trä­ gerpuffer 50 gehalten worden ist, zu der eingangsseitigen Lift­ stufe 54 herausgezogen. Genauer gesagt wird der Trägerpuffer 50 so nach unten bewegt, daß der Träger 35 niedriger als die Her­ ausziehposition in Richtung der eingangsseitigen Liftstufe 54 ist. Nachdem die Trägerbewegungsstifte 53a durch den zweiten Trägerbewegungsmechanismus 53 zu der Seite des Trägerpuffers 50 bewegt worden sind, wird der Trägerpuffer 50 zu der Position hochbewegt, in der die Trägerbewegungsstifte 53a in Eingriff mit den Durchgangslöchern des Trägers 35c sind. Dann werden die Trä­ gerbewegungsstifte 53a zum Herausziehen des Trägers 35 zu der eingangsseitigen Liftstufe 54 zurückgezogen.

In Schritt S106 transportiert der eingangsseitige Pendeltrans­ portmechanismus 55 den Träger 35 zu dem eingangsseitigen Träger­ hebemechanismus 63 innerhalb des Konstanttemperaturraums 62. Ge­ nauer gesagt wird der Träger 35, wenn die eingangsseitige Lift­ stufe 54 fällt bzw. absinkt, auf den eingangsseitigen Pendelför­ derer 56 gebracht, der darunter im Standby (Bereitschaft) war. Der eingangsseitige Pendeltransportmechanismus 55 transportiert den Träger 35 zu dem eingangsseitigen Trägerhebemechanismus 63, der in dem eingangsseitigen Pendeltransportmechanismus 55 vorge­ sehen ist.

In Schritt S107 wird der Träger 35 durch den eingangsseitigen Trägerhebemechanismus 63 und den dritten Trägerbewegungsmecha­ nismus 64 transportiert. Genauer gesagt wird, wenn sich der ein­ gangsseitige Trägerhebemechanismus 63 hebt, der Träger 35 auf die eingangsseitige Offen/Geschlossen-Schiene auf dem dritten Trägerbewegungsmechanismus 64 gebracht. Der Träger 35 wird wei­ ter durch den dritten Trägerbewegungsmechanismus 64 zu dem Stem­ pelsatzabschnitt innerhalb der Teststation T/S gebracht.

In Schritt S108 werden die Vorrichtungen 1 getestet. Wie in den Fig. 15 und 16 gezeigt ist, läuft der Positionierer 65a durch die Öffnung 35b des Trägers 35 und das Durchgangsloch 11b zum Hochdrücken der Vorrichtung 1 zum Positionieren derselben, wenn der Stempelsatz 65 innerhalb der Teststation T/S nach oben ange­ trieben wird. Derart trifft der externe Ausgangsanschluß der Vorrichtung 1 die Kontaktvorrichtung 80 des Testkopfes 66. In diesem Zustand werden die elektrischen Eigenschaften und Ein­ richtungen der Vorrichtung 1 durch den Testerhauptaufbau 68 ge­ testet. Nach der Vervollständigung des Testes wird der Stempel­ satz 65 zu seiner vorherigen Position zurückgesetzt, und die Vorrichtungen werden in der Palette 11 aufgenommen. Die Test­ ergebnisse werden von dem Testerhauptaufbau 68 an den Steuerab­ schnitt 17 übertragen.

In Schritt S109 wird der Träger 35 zu der ausgangsseitigen Of­ fen/Geschlossen-Schiene durch den dritten Trägerbewegungsmecha­ nismus 64 transportiert. Der ausgangsseitige Trägerliftmechanis­ mus 69 hebt sich zu der Position des Trägers 35 und sinkt zum Positionieren des Trägers 35 auf dem ausgangsseitigen Pendelför­ derer 58, der darunter in Standby (Bereitschaft) ist, ab.

In Schritt S110 wird der Träger 35 an der Ausgangsseite durch den ausgangsseitigen Pendeltransportmechanismus 57 zu der aus­ gangsseitigen Liftstufe 59, die außerhalb des Konstanttempera­ turraums 62 angeordnet ist, transportiert.

In Schritt S111 wird der Träger 35 auf der ausgangsseitigen Liftstufe 59 zeitweilig in dem Trägerpuffer 50 gehalten. Genauer gesagt wird die ausgangsseitige Liftstufe 59 zum Eingreifen der Durchgangslöcher 35c des Trägers 35 mit den Trägerbewegungsstif­ ten 60a angehoben. In diesem Zustand hält der Trägerbewegungsme­ chanismus 60 den Träger 35 in einem freien Fach der Regalfächer 50a. Danach wird der Trägerpuffer 50 durch den Trägerliftmecha­ nismus 51 zu der Position nach unten bewegt, in der die Träger­ bewegungsstifte 60a von den Trägerdurchgangslöchern 35c gelöst werden. Dann werden die Trägerbewegungsstifte 60a in eine vorge­ schriebene Position zurückgezogen.

In Schritt S112 wird der Träger 35 zu dem ausgangsseitigen Trä­ gergestell 48 herausgezogen. Genauer gesagt wird der Trägerpuf­ fer 50 so angehoben, daß der Träger 35 höher als die Herauszieh­ position in Richtung der ausgangsseitigen Liftstufe 59 gehalten wird. Nachdem die Trägerbewegungsstifte 61a durch den fünften Trägerbewegungsmechanismus 61 zu der Seite des Trägerpuffers 50 bewegt worden sind, wird der Trägerpuffer 50 nach unten zu der Position bewegt, in der die Trägerbewegungsstifte 61a in Ein­ griff mit den Durchgangslöchern 35c des Trägers 35 sind. Dann werden die Trägerbewegungsstifte 61a zum Herausziehen des Trä­ gers 35 zu dem ausgangsseitigen Trägergestell 48 zurückgezogen.

In Schritt S113 wird die Palette 11, die auf dem Träger 35 gela­ den ist, der auf dem ausgangsseitigen Trägergestell 48 plaziert ist, durch den Wiederbeladungsstapler 32, der dieselbe Struktur wie diejenige des Verteilungsstaplers 31 aufweist, wiedergela­ den. Der Wiederbeladungsbetrieb, der derselbe wie derjenige des Verteilungsstaplers 31 ist, wird hier nicht erläutert. Der Trä­ ger 35, der die Paletten vervollständigt hat, wird in dem Trä­ gerpuffer 50 durch den fünften Trägerbewegungsmechanismus 61 ge­ halten.

In Schritt S114 wird das freie Magazin durch die Magazintraverse 29 bewegt. Genauer gesagt, wenn das Magazin 12 die Paletten in den Verteilungsstapler 33 an der Umsetzposition umsetzt, wird es frei. Das freie Magazin 12 wird zeitweilig durch den ersten Ma­ gazinbewegungsmechanismus 27 zu der zweiten Magazintransportvor­ richtung 26 bewegt und danach zu der Umsetzposition (Wiederbela­ dungsposition) C des Magazinentladers 22 durch den zweiten Maga­ zinbewegungsmechanismus 28 bewegt.

In Schritt S115 werden die Paletten 11 von dem Wiederbeladungs­ stapler 32 in das Magazin 12 umgesetzt. Genauer gesagt, wenn der zweite Magazinhebemechanismus (nicht gezeigt) arbeitet, wird das Magazin 12, das zu der Palettenumsetzposition C transportiert ist, während es auf der zweiten Magazinhebeplatte 24 angeordnet ist, so angehoben, daß die obere Fläche des Magazins 12 keinen Spalt gegenüber der unteren Fläche des Wiederbeladungsstaplers 32, der über das erste Magazin 12 bewegt worden ist, bildet. In diesem Zustand, wenn Palettenhochdrückeinheit B arbeitet, hebt die Palettenhochdrückplatte B die Paletten 11, die in dem Wie­ derbeladungsstapler 32 gehalten sind, zum Lösen des Palettenemp­ fangsteils des Wiederbeladungsstaplers 32. Dann senkt sich die Palettenhochdrückplatte zum Aufnehmen der Paletten in dem Maga­ zin 12.

In Schritt S116 senkt sich die zweite Magazinhebeplatte 24 zum Plazieren des Magazins 12 in der dritten Magazintransportvor­ richtung 23. Wenn das Magazin 12 zu der Position E durch die dritte Magazintransportvorrichtung 23 bewegt ist, werden die Testergebnisse der Vorrichtungen 1 in die IC-Karte 13 durch den IC-Kartenschreiber 25, der der IC-Karte 13 gegenüberliegend an­ geordnet ist, eingeschrieben.

Bei der Transportvorrichtung, die beim Testen von Halbleitervor­ richtungen verwendet wird entsprechend der ersten Ausführungs­ form, werden eine Mehrzahl von Paletten 11, in denen jeweils die Vorrichtungen 1 aufgenommen sind, während sie auf dem Träger 35 plaziert sind, transportiert, die Kontaktoren (Kontaktvorrich­ tungen) 80, die in dem Testkopf 66 enthalten sind, sind so ange­ ordnet, daß sie den externen Anschlüssen aller transportierter Vorrichtungen entsprechen, und alle Vorrichtungen 1 werden gleichzeitig unter Verwendung des Stempelsatzes 65 derart nach oben gedrückt, daß sie unter Kontakt zwischen ihren externen Ausgabeanschlüssen und den Kontaktoren 80 getestet werden. Der­ art kann eine Mehrzahl von Testausführern, die im Stand der Technik benötigt wurden, in einer einzelnen Testtransportvor­ richtung (bzw. einer einzelnen Testvorrichtung mit der Trans­ portvorrichtung) gesammelt werden.

Die Paletten 11 werden in einem Zustand geliefert, in dem sie in dem Magazin 12 aufgenommen sind, und die Paletten 11 werden nach dem Test in das Magazin zurückgeladen. Derart kann ein Testaus­ führer mit hoher Effizienz bzw. Ausnutzung der Installationsflä­ che, der Zuführung/Zurückladung der Paletten und des Betriebs zur Verfügung gestellt werden.

Die Mehrzahl von Paletten 11 werden, während sie auf dem Träger plaziert sind, zu der Teststation T/S transportiert, so daß eine große Anzahl von Vorrichtungen 1 gleichzeitig für den Test transportiert werden kann. Dieses verbessert die Testeffizienz in starker Weise.

Da der Trägerpuffer 50 vorgesehen ist und der Träger 35 durch den Pendelförderer (Shuttle), der in dem Konstanttemperaturraum 62 installiert ist, transportiert wird, kann der Träger 35 vor den Testkopf transportiert werden, während der Test ausgeführt wird, so daß er, mit den Vorrichtungen 1, deren Temperatur auf diejenige des Konstanttemperaturraums 62 angehoben worden ist, im Standby (in Bereitschaft) gehalten werden kann. Die Verlust­ zeit beim Anheben der Temperatur und dem Transport kann besei­ tigt werden, so daß die Testeffizienz erhöht wird.

Jede der Paletten 11 ist mit den Palettenpositionierungsstiften 11a zum Positionieren mehrerer Paletten vorgesehen, und der Trä­ ger 35 ist mit den Öffnungsbereichen 35b zum Hochdrücken der Vorrichtungen 1, die in die Palette geladen sind, und den Durch­ gangslöchern 35c zum Positionieren und Transportieren des Trä­ gers 35 in der Schleife der verschiedenen Mechanismen zum Trä­ gertransport vorgesehen. Eine Mehrzahl von Testausführern, die im Stand der Technik benötigt wurden, kann in einer einzelnen Testtransportvorrichtung gesammelt werden.

Zweite Ausführungsform

Fig. 20 ist eine schematische Darstellung der Transportvorrich­ tung, die beim Testen von Halbleitervorrichtungen verwendet wird, entsprechend der zweiten Ausführungsform. Bei dieser Aus­ führungsform sind der Pendeltransportmechanismus (inklusive des eingangsseitigen Pendeltransportmechanismus 55, des eingangssei­ tigen Trägerhebemechanismus 63, des ausgangsseitigen Pendel­ transportmechanismus 57 und des ausgangsseitigen Trägerhebeme­ chanismus 69 in der ersten Ausführungsform) außerhalb des Kon­ stanttemperaturraums 62 installiert. Die eingangsseitigen und ausgangsseitigen Offen/Geschlossen-Schienen, die auf beiden Sei­ ten des dritten Trägerbewegungsmechanismus 64 vorgesehen sind, sind ebenfalls außerhalb des Konstanttemperaturraums 62 instal­ liert. In einem solchen Aufbau wird der Träger 35 in einer Schleife in einer solchen Art und Weise transportiert, daß er von dem eingangsseitigen Pendelförderer 56 zu dem dritten Trä­ gerbewegungsmechanismus 64 übergeben wird, und daß der Träger nach dem Test von dem dritten Bewegungsmechanismus 64 zu dem ausgangsseitigen Pendelförderer 58 übergeben wird.

Entsprechend dieser Ausführungsform kann, da der Pendeltrans­ portmechanismus außerhalb des Konstanttemperaturraums 62 vorge­ sehen ist, das Pendeltransportsystem selbst leicht überprüft werden, und der Zustand der Vorrichtungen in diesem System kann leicht erkannt werden. Bei dieser Ausführungsform muß, vom Stand der Sicherheit aus gesehen, das Pendeltransportsystem mit einer Sicherheitsabdeckung abgedeckt und mit einer Sicherheitsüberwa­ chung an der Vorderseite desselben vorgesehen sein.

Dritte Ausführungsform

Fig. 21 ist eine schematische Darstellung der Transportvorrich­ tung, die beim Testen von Halbleitervorrichtungen verwendet wird, entsprechend der dritten Ausführungsform. Bei dieser Aus­ führungsform sind mehrere Einheiten, die jeweils aus der Test­ station T/S, die den Stempelsatz 65 und den Testkopf 66 auf­ weist, dem dritten Trägerbewegungsmechanismus 64, dem eingangs­ seitigen Trägerhebemechanismus 63, dem ausgangsseitigen Träger­ hebemechanismus 69, dem Konstanttemperaturraum 62 bestehen, auf­ einanderfolgend verbunden. Zusätzlich sind der eingangsseitige Pendeltransportmechanismus 55 und der ausgangsseitige Pendel­ transportmechanismus 57 für die Zuführung/Entladung des Trägers von jeder der Teststationen T/S vorgesehen. Die entsprechenden Teststationen T/S sind mit einem einzelnen Testerhauptaufbau 68 verbunden. Ein solcher Aufbau ist zum Testen der Vorrichtungen, deren Kapazität in den vergangenen Jahren erhöht wurde, und die eine längere Zeit für einen Test benötigen, effizient.

Vierte Ausführungsform

Die Testkopfliftvorrichtung entsprechend der vierten Ausfüh­ rungsform der vorliegenden Erfindung ist in den Fig. 22A bis 22C und 23A bis 23B gezeigt. Wie aus den Fig. 22A bis 23B zu sehen ist, sind mehrere Kontaktoren 80 auf einem Testboard (Testpla­ tine) 81 vorgesehen, und jeder Kontaktor 80 hat einen Kontakt, der in Kontakt mit dem externen Ausgabeanschluß der Vorrichtung 1 zu bringen ist. Auf der Testplatine 81 sind Verbinder (Verbin­ dungsvorrichtungen) 82, die elektrisch mit den Kontaktoren 80 verbunden sind, vorgesehen. Die Testplatine 81 ist mit dem Test­ kopf 66 durch die Verbinder 82 verbunden. Ein Testkopfhalteme­ chanismus 83 zum Positionieren des Testkopfes 66 ist an einem Testkopfliftmechanismus 84 angebracht. Der Testkopfliftmechanis­ mus 84 ist an dem Konstanttemperaturraum 62 angebracht. Ein Testplatinenhaltemechanismus 85 zum Positionieren der Testplati­ ne 81 ist an dem Testkopfhaltemechanismus 83 über den Testplati­ nenliftmechanismus 86 angebracht.

Eine Führungswelle 87 ist hinter dem Testkopfhaltemechanismus 83 vorgesehen, um diesen anzuheben und abzusenken. Die Führungswel­ le 87 ist durch eine Führung 88 gehalten, die an dem Konstant­ temperaturraum 62 angebracht ist. Eine Drehwelle 89 zum Neigen des Testkopfes 66 ist auf einer Seite desselben vorgesehen und durch den Testkopfhaltemechanismus 83 über fixierte Metallan­ schlußstücke 90 gehalten. Ein Stopper 91 ist auf der anderen Seite desselben vorgesehen und dient dazu, den Testkopf bei sei­ nem Anstoßen gegen den Testkopfhaltemechanismus 83 horizontal zu halten. Eine Hilfsvorrichtung 92 ist eine ausfahrbare Führungs­ stange zum Reduzieren der Kraft, die den Testkopf 66 neigt.

Eine Erläuterung des Betriebes der vierten Ausführungsform wird gegeben. Fig. 22A zeigt den Zustand des Testkopfes 66 während eines normalen Tests. Beim Entfernen der Testplatine 81 wird, wie in Fig. 22B gezeigt ist, der Testkopf 66 nach oben durch den Anhebebetrieb des Testkopfliftmechanismus 84 derart bewegt, daß die Testplatine 81 außerhalb des Konstanttemperaturraums 62 freigelegt ist. Durch den Absenkbetrieb des Testplatinenliftme­ chanismus 86 wird die Verbindung der Verbinder 82 gelöst, was in dem in Fig. 22C gezeigten Zustand resultiert. In diesem Zustand ist die Testplatine 81 entfernbar. Wenn der Austausch der Test­ platine 81 benötigt wird, da es eine Änderung in der Gestalt der zu testenden Vorrichtung 1 gibt, wird dieses in diesem Zustand ausgeführt. Wenn das Überprüfen oder Reparieren der Testplatine 81 benötigt wird, kann dieses leicht durch Entfernen der Test­ platine 81 ausgeführt werden. Die Testplatine 81 wird in der Prozedur, die umgekehrt zu der oben beschriebenen ist, ange­ bracht.

Wenn der Testkopf 66 weiter überprüft oder repariert werden soll, wird die Testplatine 81 in dem Zustand aus Fig. 22C ent­ fernt, was in dem Zustand aus Fig. 23A resultiert. Wie durch die einfach gepunktete, gestrichelte Linie in Fig. 23B angezeigt ist, wenn der Testkopf 66 durch eine menschliche Hand nach hin­ ten angehoben bzw. geschwenkt wird, wird er um die Drehwelle 89, die durch den Testkopfhaltemechanismus 83 gehalten wird, geneigt bzw. gedreht. Mit Hilfe der Hilfsvorrichtung 92 kann er leicht in eine vorgeschriebene Position um das Zentrum der Drehwelle 89 gedreht bzw. geneigt werden.

Wie oben beschrieben worden ist, entsprechend der vierten Aus­ führungsform kann, da der Testkopf 66 so nach oben bewegt werden kann, daß er außerhalb des Konstanttemperaturraums 62 freigelegt wird, die Testplatine 81 leicht überprüft oder ausgetauscht wer­ den. Durch Neigen bzw. Schwenken des Testkopfes 66 kann der Testkopf 66 überprüft werden, und das Innere des Konstanttempe­ raturraums 62 kann leicht überprüft werden.

Fünfte Ausführungsform

Fig. 24 ist eine Seitenansicht des Verteilungsstaplers und Wiederbeladungsstaplers entsprechend der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Der Verteilungsstapler 33 oder der Wiederbeladungsstapler 46 zum Aufnehmen bzw. Unterbringen der Paletten 11 weist eine quadratische Platte 95 auf. Die quadratische Platte 95 wird durch eine Liftführung 96 derart gehalten, daß sie in dem Stapler angehoben und abgesenkt werden kann. Die quadratische Platte 95, die in Kontakt mit der oberen Fläche der höchsten in dem Verteilungsstapler 33 oder dem Wiederbeladungsstapler 46 aufgenommenen Palette 11 ist, hebt oder senkt sich dem Heben oder Senken der Palette 11 folgend.

Entsprechend der fünften Ausführungsform ist es möglich, die Vorrichtungen 1 am Verlassen der Aufnahmenuten 11a der Palette 11 zu hindern.

Sechste Ausführungsform

Fig. 25 ist eine Draufsicht und eine Frontansicht, die ein Mit­ tel zum Erfassen der Anwesenheit/Abwesenheit von Vorrichtungen, die in der Palette aufgenommen sind, entsprechend der sechsten Ausführungsform zeigt. Wie aus Fig. 25 zu ersehen ist, sind Sen­ sorklammern bzw. -träger 99, die jeweils photoelektrische Senso­ ren 98 vom Transmissionstyp aufweisen, an zwei Punkten an den Seiten des Trägerpuffers 50 auf der Seite des eingangsseitigen Trägergestells 36 und der Seite des ausgangsseitigen Trägerge­ stells 48 montiert. Die Sensorklammer 99 enthält einen ersten Trägerbewegungsmechanismus 52, einen fünften Trägerbewegungsme­ chanismus 61 und ein Öffnungsloch 99a, durch welches der Träger 35, auf welchem die Palette plaziert ist, hindurchläuft.

Der Sensor 98a auf der Seite der Lichtprojektion bzw. -aussen­ dung und der Sensor 98b auf der Seite des Lichtempfangs bilden ein Paar, so daß die optischen Achsen der Sensoren durch die Durchgangslöcher 11b, die in den die Vorrichtung aufnehmenden Nuten 11a ausgebildet sind, hindurchlaufen. Die Sensorklammer 99 ist mit einem Paar aus einem Sensor 100a vom Transmissionstyp auf der Seite der Lichtaussendung und einem Sensor 100b vom Transmissionstyp auf der Seite des Lichtempfangs vorgesehen. Die optischen Achsen dieser Sensoren sind so angeordnet, daß sie durch die Durchgangslöcher 11c, die an den Rändern der Palette 11 ausgebildet sind, hindurchlaufen. Die Paare von photoelektri­ schen Transmissionssensoren 98 sind linear und senkrecht zu einer Bewegungsrichtung des Trägers 35 angeordnet, und ihre An­ zahl ist gleich zu derjenigen der Empfangsnuten 11 senkrecht zu der Bewegungsrichtung einer Mehrzahl von Paletten.

Es wird eine Erläuterung des Betriebes der sechsten Ausführungs­ form der vorliegenden Erfindung gegeben. Wenn der Träger 35, auf dem die Paletten 11 plaziert sind, von dem eingangsseitigen Trä­ gergestell 36 in den Trägerpuffer 50 durch den ersten Trägerbe­ wegungsmechanismus 52 aufgenommen wird, oder wenn er von dem Trägerpuffer 50 zu dem ausgangsseitigen Trägergestell 48 durch den fünften Trägerbewegungsmechanismus 61 entladen wird, pas­ siert der Träger 35, auf dem die Paletten plaziert sind, das Durchgangsloch 99a der Sensorklammer. In diesem Fall überprüfen in dem Moment, in dem die optischen Achsen der Paare von photo­ elektrischen Sensoren 100 vom Transmissionstyp durch die Durch­ gangslöcher 11c an beiden Rändern jeder Palette 11 hindurchlau­ fen, die photoelektrischen Sensoren 98, ob Vorrichtungen in den Nuten 11a aufgenommen worden sind oder nicht.

Entsprechend der sechsten Ausführungsform der vorliegenden Er­ findung vergleicht der Steuerabschnitt 17 das Überprüfungsergeb­ nis (Daten) der Anwesenheit oder Abwesenheit der Vorrichtungen 1 durch die Paare von photoelektrischen Transmissionssensoren 98, wenn der Träger 35, auf dem die Paletten 11 plaziert sind, von dem eingangsseitigen Trägergestell 36 zu dem Trägerpuffer 50 hindurchläuft, mit denjenigen, wenn der Träger 35 aus dem Trä­ gerpuffer 50 zu dem ausgangsseitigen Trägergestell 48 entnommen wird. Falls keine Übereinstimmung erhalten wird, bedeutet dies, daß die Vorrichtung 1 aus dem Transportsystem gefallen ist, was es möglich macht, eine Abnormalität in dem Transportsystem auf­ zufinden.

Siebte Ausführungsform

Fig. 26 ist eine schematische Ansicht der Transportvorrichtung, die beim Testen von Halbleitervorrichtungen verwendet wird, ent­ sprechend der siebten Ausführungsform. Es wird nun angenommen, daß der Trägerpuffer entsprechend der ersten Ausführungsform in dem Konstanttemperaturraum installiert ist. Wie aus Fig. 26 zu ersehen ist, wird durch den eingangsseitigen Trägerbewegungsme­ chanismus 101 der Träger 35, auf dem die Paletten 11 durch den Verteilungsstapler 31 ausgerichtet worden sind, von dem ein­ gangsseitigen Trägergestell 36 zu der höchsten Stufe des Träger­ puffers 102, der in dem Konstanttemperaturraum 62 installiert ist, transportiert. Der Trägerpuffer 102 kann eine Mehrzahl von Trägern 35 in mehreren Stufen aufnehmen bzw. unterbringen. Wenn der Träger 35 auf der höchsten Stufe plaziert ist, wird er um eine Stufe abgesenkt. Wenn der nächste Träger 35 darauf plaziert wird, wird der erste Träger 35 um eine Stufe weiter abgesenkt. Als ein Ergebnis eines solchen Betriebes wird, wenn der erste Träger 35 die niedrigste Stufe erreicht, der Träger auf dem ein­ gangsseitigen Pendelförderer (Shuttle) 56 des eingangsseitigen Pendeltransportmechanismus 55 plaziert. Der Träger 35 wird zu der Teststation T/S durch den eingangsseitigen Pendeltransport­ mechanismus 55, den dritten Trägermechanismus 64, etc. transpor­ tiert, um die Vorrichtungen 1 zu testen. Bei Vervollständigung des Testes wird der Träger 35 durch den ausgangsseitigen Pendel­ förderer (Shuttle) 58 und den ausgangsseitigen Pendeltransport­ mechanismus 57 nach außerhalb des Konstanttemperaturraums 62 transportiert. Der Träger 35 auf dem ausgangsseitigen Pendelför­ derer 58, der nach außerhalb transportiert worden ist, wird durch den Trägerliftmechanismus A 103 zu dem Wiederbeladungsstap­ ler 32 angehoben, so daß die Paletten 11 in das Magazin 12 zu­ rückgeladen werden können. Bei Vervollständigen des Zurückladens wird der Träger 35 zu dem unteren Teil des Verteilungsstaplers 31 durch den ausgangsseitigen Trägerbewegungsmechanismus 104 verschoben.

Bei der siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird, wie oben beschrieben worden ist, der Träger 35, auf dem die Pa­ letten 11, jeweils mit den Vorrichtungen 1, plaziert worden sind, in dem Trägerpuffer 102 innerhalb des Konstanttemperatur­ raums 62 gestapelt bzw. gelagert. Während der Träger 35 gelagert ist, erreicht die Temperatur der Vorrichtungen 1 diejenige des Konstanttemperaturraums 62, d. h. die Testtemperatur der Vorrich­ tungen 1. Aus diesem Grund kann, sowie die Vorrichtungen 1 zu der Teststation T/S transportiert sind, der Test derselben so­ fort gestartet werden. Derart kann diese Ausführungsform eine Transportvorrichtung, die beim Testen von Halbleitervorrichtun­ gen verwendet wird, liefern, die die Wartezeit zum Anheben der Temperatur der Vorrichtungen auf einen vorgeschriebenen Wert außer acht lassen kann bzw. überflüssig macht.

Achte Ausführungsform

Fig. 27 zeigt schematisch eine Transportvorrichtung, die beim Testen von Halbleitervorrichtungen verwendet wird, entsprechend der achten Ausführungsform. Bei dieser Ausführungsform sind die Konstanttemperaturräume in den eingangsseitigen bzw. den aus­ gangsseitigen Transportwegen vorgesehen. Wie aus Fig. 27 zu er­ sehen ist, ist der Trägerpuffer 102 in dem Konstanttemperatur­ raum 105 in dem eingangsseitigen Trägertransportweg installiert. Der eingangsseitige Trägertransportmechanismus 101 transportiert den Träger 35, auf dem die Paletten plaziert sind, von dem ein­ gangsseitigen Trägergestell 36 zu der höchsten Stufe des Träger­ puffers 102, der in dem Konstanttemperaturraum 105 vorgesehen ist.

Andererseits ist zwischen einem Konstanttemperaturraum 62 und einem Trägerliftmechanismus A 103 dort, wo der ausgangsseitige Pendeltransportmechanismus 57 verläuft, der Konstanttemperatur­ raum 106 angeordnet bzw. vorgesehen. Die verbleibende Struktur ist dieselbe wie bei der siebten Ausführungsform.

Die Konstanttemperatur der Teststation T/S ist auf ungefähr -55°C zum Zwecke des Testens der Vorrichtungen 1 bei einer nied­ rigen Temperatur eingestellt. Der Konstanttemperaturraum 105 in dem eingangsseitigen Transportweg ist auf eine Temperatur einge­ stellt, die gleich zu derjenigen des Konstanttemperaturraums 62 ist, um die Vorrichtungen 1 zuvor zu kühlen bzw. auf die Tempe­ ratur herunterzukühlen. Um eine Kondensation am Auftreten bei den Vorrichtungen 1, die von dem Konstanttemperaturraum 62 weg­ transportiert werden, zu verhindern, wird ein warmer Wind auf den Konstanttemperaturraum 106 des ausgangsseitigen Transportwe­ ges geblasen.

Entsprechend der achten Ausführungsform wird, wie oben beschrie­ ben worden ist, der Träger 35, auf dem die Paletten 11, jeweils mit den Vorrichtungen 1, plaziert sind, in dem Trägerpuffer 102 innerhalb des Konstanttemperaturraums 105 gelagert. Während der Träger 35 gelagert wird, erreicht die Temperatur der Vorrichtun­ gen 1 diejenige des Konstanttemperaturraums 62, d. h. die Test­ temperatur der Vorrichtungen 1. Aus diesem Grund kann, sowie die Vorrichtungen 1 zu der Teststation T/S transportiert worden sind, der Test derselben sofort gestartet werden. Die Vorrich­ tungen, die bei einer niedrigen Temperatur getestet worden sind, unterliegen einer Kondensation, wenn sie bei Raumtemperatur ent­ nommen werden, wodurch die Isolationshaltestärke und die ent­ sprechenden Eigenschaften reduziert werden. Aus diesem Grund werden die Vorrichtungen 1 zum Verhindern einer Kondensation er­ wärmt, während sie in dem Konstanttemperaturraum 105 angeordnet sind.

Des weiteren erlaubt diese Ausführungsform, da die Vorrichtungen 1 zuvor gekühlt wurden und zu der Teststation T/S transportiert werden, den Test effizient ohne Berücksichtigung der Wartezeit zum Reduzieren der Temperatur der Vorrichtungen auf einen vorge­ schriebenen Wert auszuführen. Zusätzlich kann der Konstanttempe­ raturraum das Auftreten einer Kondensation bei den Vorrichtungen 1 verhindern. Derart kann diese Ausführungsform die Transport­ vorrichtung, die beim Testen der Halbleitervorrichtungen verwen­ det wird, liefern.

Claims (14)

1. Transportvorrichtung, die beim Testen einer Mehrzahl von Halbleitervorrichtungen verwendet wird, die aufweist:
ein Magazin (12), in dem eine Mehrzahl von Paletten (11) in meh­ reren Stufen gestapelt sind, wobei jede Palette eine Mehrzahl von darauf plazierten Halbleitervorrichtungen (1) aufweist, einen Verteilungsstaplermechanismus (D/S) zum Umsetzen der Mehr­ zahl von Paletten (11), die in dem Magazin (12) aufgenommen sind, in einen Verteilungsstapler (31, 33) und zum Plazieren einiger der Paletten aus dem Verteilungsstapler auf einem Träger (35),
eine Teststation (T/S), die mit einem Konstanttemperaturraum (62) vorgesehen ist, zum Testen der Halbleitervorrichtungen auf den Paletten, die auf dem Träger aufgenommen sind,
einem Trägertransportmechanismus, der einen eingangsseitigen Trägertransportmechanismus (55) zum Transportieren des Trägers mit den Paletten darauf zu der Teststation und einen ausgangs­ seitigen Trägertransportmechanismus (57) zum Transportieren des Trägers nach dem Test nach außerhalb des Konstanttemperaturraums aufweist, und
einem Wiederbeladungsstaplermechanismus (R/S) zum Umsetzen der Mehrzahl von Paletten nach dem Test auf dem Träger in einen Wie­ derbeladungsstapler (32, 46) und zum Stapeln der Paletten von dem Wiederbeladungsstapler in dem Magazin (12).

2. Transportvorrichtung nach Anspruch 1, die weiter aufweist:
einen Magazinlader (14) zum Übertragen einer Information über die Vorrichtungen (1) vor dem Test, die von einem Aufzeichnungs­ medium (13) an eine Steuerung (17) gelesen wird, und zum Trans­ portieren des Magazins (12) zu dem Verteilungsstaplermechanis­ mus,
eine Magazintraverse (29) zum Transportieren des Magazins, wel­ ches als ein Ergebnis des Umsetzens der Paletten frei geworden ist, zu dem Wiederbeladungsstapler, und
einen Magazinentlader (22) zum Transportieren des Magazins mit den Paletten, die von dem Wiederbeladungsstapler bewegt worden sind, und zum Aufzeichnen eines Testergebnisses der Halbleiter­ vorrichtungen auf das Aufzeichnungsmedium.

3. Transportvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, die weiter einen Trägerpuffer (50) zum zeitweiligen Halten, in mehreren Stufen, des Trägers mit den Paletten vor dem Test und nach dem Ausführen des Testes bei diesen aufweist.

4. Transportvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, die weiter einen Trägerpuffer (102) zum zeitweiligen Halten, in mehreren Stufen, des Trägers mit den Paletten vor dem Test aufweist, wobei der Trägerpuffer in dem Konstanttemperaturraum (105) in­ stalliert ist.

5. Transportvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, die weiter einen Trägerpuffer zum zeitweiligen Halten, in mehreren Stufen, des Trägers mit den Paletten, die nach dem Test plaziert worden sind, aufweist, wobei der Trägerpuffer in dem Konstanttempera­ turraum (106) installiert ist.

6. Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei der der Trägertransportmechanismus (55, 57) in dem Konstanttempera­ turraum (62, 105, 106) installiert ist.

7. Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei der der Trägertransportmechanismus außerhalb des Konstanttempera­ turraums (62) installiert ist.

8. Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei der eine Mehrzahl von Einheiten von Konstanttemperaturräumen ange­ ordnet sind, die jeweils die Teststation aufweisen, und bei der der Träger durch den Trägertransportmechanismus in die Teststa­ tionen zugeführt und aus diesen entladen wird.

9. Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, die weiter
eine Palettenhochdrückeinheit (A), die sich von einer Öffnung der unteren Fläche des transferierten Magazins nach unterhalb des Verteilungsstaplers bewegt, um so die Paletten in den Ver­ teilungsstapler anzuheben,
wobei der Verteilungsstapler zum Halten der angehobenen Palet­ ten, zum Trennen dieser Paletten eine nach der anderen beginnend von der untersten Palette und zum Anheben und Absenken der abge­ trennten Palette dient, und
einen Verteilungsstaplerbewegungsmechanismus zum Bewegen des Verteilungsstaplers zum Ausrichten der Paletten auf dem ein­ gangsseitigen Trägergestell (36) aufweist.

10. Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, die weiter
den Wiederbeladungsstapler, in den die Paletten, die auf dem Träger auf dem ausgangsseitigen Trägergestell (48) ausgerichtet sind, aufeinanderfolgend gestapelt werden, und
eine Palettenhochdrückeinheit (B), die sich von einer Öffnung der unteren Fläche des freien Magazins nach unterhalb des Wie­ derbeladungsstaplers bewegt, um so die Paletten in den Wiederbe­ ladungsstapler anzuheben, und sich danach absenkt, wenn ein Pa­ lettenhaltemechanismus des Wiederbeladungsstaplers ausgelöst ist, wodurch die Paletten in dem Magazin aufgenommen werden, aufweist.

11. Transportvorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, bei der in dem Verteilungsstapler oder dem Wiederbeladungsstapler ein Gewicht in Kontakt mit den Paletten, die in dem Stapler aufge­ nommen sind, vorgesehen ist.

12. Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, die weiter
ein Mittel (98-100) zum Erfassen der Anwesenheit oder Abwesen­ heit von jeder der Halbleitervorrichtungen auf dem Träger auf dem eingangsseitigen Trägergestell, und
ein Mittel (98-100) zum Erfassen der Anwesenheit oder Abwesen­ heit von jeder der Halbleitervorrichtungen auf dem Träger auf dem ausgangsseitigen Trägergestell aufweist,
wobei die Erfassungsergebnisse miteinander verglichen werden.

13. Transportvorrichtung, die beim Testen von Halbleitervorrich­ tungen verwendet wird, die aufweist:
eine Mehrzahl von Paletten, auf denen jeweils eine Mehrzahl von Halbleitervorrichtungen an vorgeschriebenen Positionen, in denen Öffnungen vorgesehen sind, plaziert sind,
einen Träger, auf dem die Mehrzahl von Paletten plaziert sind und der Durchgangslöcher aufweist,
einen Stempelsatz (65), der einen Positionierer zum Positionie­ ren und Hochdrücken der Halbleitervorrichtungen aufweist, und
einen Testkopf (66), der Kontaktvorrichtungen (80) zum Testen aufweist,
wobei beim Testen der Halbleitervorrichtungen der Positionierer des Stempelsatzes die Halbleitervorrichtungen durch die Öffnun­ gen des Trägers und die Durchgangslöcher der Palette derart nach oben drückt, daß die externen Anschlüsse mit den Kontaktvorrich­ tungen des Testkopfes verbunden sind.

14. Transportvorrichtung, die beim Testen von Halbleitervorrich­ tungen verwendet wird, die aufweist:
eine Testplatine (81), die Kontaktvorrichtungen zum Testen auf­ weist, die in Kontakt mit externen Anschlüssen von Halbleiter­ vorrichtungen zu bringen sind,
einen Testkopf (66) zum Halten der Testplatine derart, daß sie entfernbar ist, der Verbindungsvorrichtungen aufweist, die in Kontakt mit den Kontaktvorrichtungen zu bringen sind,
einen Testkopfhaltemechanismus zum Halten des Testkopfes,
einen Testkopfliftmechanismus zum Anheben und Absenken des Test­ kopfhaltemechanismus zum Herausnehmen des Testkopfes aus einem Konstanttemperaturraum,
wobei der Testkopf für den Testkopfhaltemechanismus neigbar ist.