KR102165269B1 - 스토퍼를 포함하는 매거진 검사 장치 - Google Patents

스토퍼를 포함하는 매거진 검사 장치 Download PDF

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Abstract

반제품을 수납하기 위한 매거진의 검사 장치가 제공된다. 이를 위해 본 발명은, 매거진이 패키징 공정에 투입되기 전 매거진의 스토퍼를 검사하고, 양품으로 분류된 스토퍼를 포함하는 매거진만을 패키징 공정에 투입하도록 구성된 검사 장치를 개시한다.

Description

스토퍼를 포함하는 매거진 검사 장치{Apparatus for inspecting a magazine having a stopper}
본 발명은 매거진 검사 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 스토퍼를 포함하는 매거진을 검사하는 매거진 검사 장치에 관한 것이다.
반도체 패키지 제조공정에서는 반도체 칩 부착공정 및 와이어 본딩 공정 등의 전공정(front-end process)이 수행되고, 이후 스트립 형상의 반도체 패키지 반제품은 성형(molding), 트리밍(trimming), 포밍(forming), 잉크 마킹(ink marking) 등을 수행하는 후공정(back-end process)으로 이송된다. 상기 후공정에서는 반제품을 수납 및 적층하여 기계적, 물리적, 전기적인 충격으로부터 보호하면서 운반 및 이송하는 도구로서 매거진(magazine)이 이용된다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 후공정에서 사용되는 매거진의 불량을 자동적으로 검사, 불량 매거진을 후공정에서 제거함로써 생산 설비의 효율이 개선될 수 있는 매거진 검사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 태양에 의한 매거진 검사 장치가 제공된다. 상기 매거진은 반제품을 수납하고 수납된 반제품을 록(lock) 또는 언록(unlock)시키는 스토퍼를 포함할 수 있다. 상기 검사 장치는, 상기 스토퍼의 위치를 검출하도록 구성된 위치 검출 유닛; 상기 스토퍼를 누름으로써 발생하는 압력을 검출하도록 구성된 압력 검출 유닛; 및 상기 스토퍼를 회전시킴으로써 발생하는 토크량을 검출하도록 구성된 회전 검출 유닛을 포함하고, 상기 검사 장치는, 상기 위치, 상기 압력, 및 상기 토크량이 소정 조건을 모두 만족하는지를 검사하여 매거진을 양품 또는 불량품으로 분류하도록 구성될 수 있다.
본 발명의 일 예에 따르면, 상기 위치 검출 유닛은 상기 스토퍼의 제1 상태에서의 제1 위치 및 상기 스토퍼의 제2 상태에서의 제2 위치를 검출하도록 구성될 수 있다.
본 발명의 다른 예에 따르면, 상기 제1 상태는 제1 언록 상태이고, 상기 제2 상태는 제2 언록 상태이며, 상기 제1 언록 상태는, 상기 압력 및 상기 토크량을 기초로 상기 스토퍼의 제 기능 여부를 판단하는 회전 및 압력 검사 단계가 수행되기 전, 상기 스토퍼가 매거진 홈에 위치하는 언록 상태이고, 상기 제2 언록 상태는 상기 회전 및 압력 검사 단계가 수행된 이후 상기 스토퍼가 상기 매거진 홈에 위치하는 언록 상태일 수 있다.
본 발명의 다른 예에 따르면, 상기 회전 검출 유닛은, 압전 소자 및 스트레인 게이지 중 적어도 하나를 갖는 로드셀; 상기 스토퍼에 고정된 제1 비대칭 연결부; 및 상기 로드셀에 고정된 제2 비대칭 연결부를 포함하고, 상기 제1 비대칭 연결부 및 상기 제2 비대칭 연결부는 서로 맞물리는 형상을 가질 수 있다.
본 발명의 다른 예에 따르면, 상기 회전 검출 유닛은, 상기 제2 비대칭 연결부를 회전시킴으로써 상기 제1 비대칭 연결부 및 상기 스토퍼를 회전시키고, 상기 스토퍼가 회전되지 않을 경우 발생하는 압력을 상기 로드셀로 측정함으로써, 상기 토크량을 측정하도록 구성될 수 있다.
본 발명의 다른 예에 따르면, 상기 불량품으로 분류된 매거진의 태그 장치에 불량 정보를 기입하도록 구성된 통신 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 태양에 의한 반제품을 수납하기 위한 매거진 검사 장치가 제공된다. 상기 검사 장치는 상기 매거진이 패키징 공정에 투입되기 전 상기 매거진의 스토퍼를 검사하고, 양품으로 분류된 스토퍼를 포함하는 매거진만을 상기 패키징 공정에 투입하도록 구성될 수 있다.
본 발명의 일 예에 따르면, 상기 검사 장치는 상기 스토퍼의 제1 위치를 검출하도록 구성된 제1 위치 검출 유닛을 포함하고, 상기 검사 장치는 상기 제1 위치가 소정 조건을 만족하는 경우 상기 스토퍼를 양품으로 분류하도록 구성될 수 있다.
본 발명의 다른 예에 따르면, 상기 위치 검출 유닛은 상기 스토퍼의 상부 표면에 레이저를 조사하고 상기 레이저의 반사량을 검출함으로써 상기 제1 위치를 검출하도록 구성된 레이저 센서를 포함할 수 있다. 또한 상기 검사 장치는 상기 스토퍼의 제2 위치를 검출하도록 구성된 제2 위치 검출 유닛을 포함하고, 상기 검사 장치는 상기 제2 위치가 소정 조건을 만족하는 경우 상기 스토퍼를 양품으로 분류하도록 구성될 수 있다.
본 발명의 다른 예에 따르면, 상기 검사 장치는 상기 스토퍼를 누름으로써 발생하는 압력을 검출하도록 구성된 압력 검출 유닛을 포함하고, 상기 검사 장치는 상기 압력이 소정 조건을 만족하는 경우 상기 스토퍼를 양품으로 분류하도록 구성될 수 있다. 상기 압력 검출 유닛은 압전 소자 및 스트레인 게이지 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 예에 따르면, 상기 검사 장치는 상기 스토퍼를 회전시킴으로써 발생하는 토크량을 검출하도록 구성된 회전 검출 유닛을 포함하고, 상기 검사 장치는 상기 토크량이 소정 조건을 만족하는 경우 상기 스토퍼를 양품으로 분류하도록 구성될 수 있다. 또한, 상기 회전 검출 유닛은, 상기 스토퍼에 회전력을 인가하였으나 상기 스토퍼가 회전하지 않음으로써 발생하는 압력을 측정함으로써, 상기 토크량을 측정하도록 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 매거진 검사 장치에 따르면, 불량 매거진을 공정에 투입하기 전 미리 검사를 수행함으로써 불량 매거진을 필터링하고 양품 매거진만을 백엔드 공정에 투입할 수 있다. 따라서 종래의 프로세스 중단 후 수동적으로 불량 매거진을 공정에서 제거함으로써 생산 설비의 효율이 저하되는 문제가 해결될 수 있다.
또한 본 발명의 실시예들에 따른 매거진 검사 장치에 따르면, 기존 사람에 의한 불량 판정의 상대적 기준에서 로드셀과 같은 정량화된 기준으로 품질관리 기반을 구축할 수 있어, 보다 정확하고 효율적인 불량 검출을 달성할 수 있다. 또한 매거진 불량에 의해 발생되는 반제품의 파손도 방지할 수 있어 완제품의 품질 향상에도 기여할 수 있다.
도 1 내지 도4는 매거진 검사 장치의 대상인 매거진을 개략적으로 나타낸 도면들이다.
도 5는 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예들에 따른 매거진 검사 방법을 개략적으로 설명한 흐름도이다.
도 6은 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예들에 따른 매거진 검사 장치를 개략적으로 나타낸 블록도이다.
도 7은 매거진 검사 장치를 포함하는 매거진 검사 시스템을 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 8은 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예들에 따른 매거진 검사 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 9는 도 8의 압력 검출 유닛과 회전 검출 유닛을 구체적으로 나타낸 도면이다.
도 10은 본 발명의 기술적 사상에 의한 다른 실시예들에 따른 매거진의 검사 방법을 개략적으로 나타낸 흐름도이다.
도 11은 본 발명의 기술적 사상에 의한 또 다른 실시예들에 따른 매거진의 검사 방법을 개략적으로 나타낸 흐름도이다.
도 12는 위치 검사 단계 동안 위치 검출 유닛에 의해 스토퍼의 위치가 검출되는 모습을 도시한다.
도 13 및 도 14는 압력 검사 단계 동안 압력 검출 유닛에 의해 스토퍼의 압력이 검출되는 모습을 도시한다.
도 15는 회전 검사 단계 동안 회전 검출 유닛에 의해 스토퍼의 토크량이 검출되는 모습을 도시한다.
도 16 내지 도 25는 도 10의 검사 방법에 의해 검출되는 매거진 불량의 종류를 개략적으로 나타낸 도면들이다.
도 26은 본 발명의 기술적 사상에 의한 또 다른 실시예들에 따른 매거진 검사 방법을 개략적으로 나타낸 흐름도이다.
도 27 내지 도 29는 기입 검사 단계에서 검출될 수 있는 매거진의 불량 종류를 개략적으로 나타낸 도면들이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 아래의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시예들로 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예는 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하며 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 “포함한다(comprise)” 및/또는 “포함하는(comprising)”은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 “및/또는”은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
본 명세서에서 제1, 제2 등의 용어가 다양한 부재, 영역 및/또는 부위들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부위들은 이들 용어에 의해 한정되어서는 안됨은 자명하다. 이들 용어는 특정 순서나 상하, 또는 우열의 의미하지 않으며, 하나의 부재, 영역 또는 부위를 다른 부재, 영역 또는 부위와 구별하기 위하여만 사용된다. 따라서, 이하 상술할 제1 부재, 영역 또는 부위는 본 발명의 가르침으로부터 벗어나지 않고서도 제2 부재, 영역 또는 부위를 지칭할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.
본 발명을 설명하기에 앞서 먼저 도 1 내지 도4를 참조하여 매거진 검사 장치의 대상인 매거진에 대해, 특히 스토퍼를 포함하는 매거진에 대해 구체적으로 설명하기로 한다.
스토퍼는 매거진에 수납된 반제품이 외부로 이탈되거나 손상되는 것을 방지하기 위해 매거진에 장칙되는 기계적 구조물이다. 예를 들어 도 1및 도 2를 참조하면, 매거진(100a)은 내부 양측 벽면에 다수의 슬롯(10)을 갖는 본체(11)와, 상기 본체(11)의 개방된 전면 또는 후면 중 적어도 하나의 면에 배치되며 가로부재(16) 및 세로부재(17)를 포함하는 봉 형태의 스토퍼(12)를 포함할 수 있다. 스토퍼는 본체의 전면(F)과 후면(R) 양쪽에 설치될 수 있다.
스토퍼(12)는 그 상부 및 하부에 형성된 핀부(13)에 의해 본체(11)의 홈부(14)에 삽입 설치될 수 있다. 스토퍼(12)는 핀부(13)를 축으로 하여 회전할 수 있다. 예를 들어, 핀부(13)에 장착된 스프링(15)에 압력이 인가되지 않은 경우(실선 부분), 스토퍼(12)는 내부 고정부(미도시)에 기계적으로 결합되어 회전되지 않지만, 스프링(15)에 수직 방향의 압력이 인가된 경우(점선 부분), 스토퍼(12)는 상기 내부 고정부(미도시)와의 기계적 결합으로부터 벗어나게 되어 회전될 수 있다.
스토퍼(12)에 의해, 수납된 반제품이 언록(unlocked) 또는 록(locked) 될 수 있다. 스토퍼(12)가 본체(11)의 제1 안착부(19)에 고정되는 경우, 수납된 반제품은 언록(unlocked) 된다. 언록 상태 동안 반제품에 대한 에칭 공정을 수행하기 위해 아르곤 또는 플라즈마가 본체(11) 내부로 투입될 수 있다. 한편 스토퍼(12)가 본체(11)의 제2 안착부(20)에 고정되는 경우, 수납된 반체품은 록(locked) 된다. 록 상태 동안 스토퍼(12)는 반제품이 외부로 이탈되거나 손상되는 것을 방지하는 기능을 수행한다.
본 발명에 따른 매거진 검사 장치는 도 1 및 도2에 따른 매거진(100a) 이외에 다른 구조를 갖는 매거진에 대해서도 적용될 수 있다. 예를 들어, 도 3에 나타난 바와 같이, 노브(22)를 회전시키면 노브(22)에 결합된 작동기어(23)와 이에 맞물린 회동기어(21)가 회전하고, 회전기어(21)에 결합된 스토퍼(12)가 회전함으로써 제1 안착부(19)에서 제2 안착부(20)로 이동하는 구성의 매거진(100b)에 대해서도, 본 발명에 따른 매거진 검사 장치가 이용될 수 있다. 이외에 도 4에 나타난 바와 같이 본체(11)의 개구부 양 측면에 가이드 홈(30)이 형성되고, 커버 형상의 스토퍼(33, 35)가 가이드 홈(30)을 따라 이동함으로써 몸체의 개구부를 개폐하는 구성의 매거진(100c)에 대해서도, 본 발명에 따른 매거진 검사 장치가 이용될 수 있다.
도 5는 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예들에 따른 매거진 검사 방법을 개략적으로 설명한 흐름도이다.
도 5를 참조하면, 먼저 매거진이 검사를 위해 제공된다(S110). 매거진은 다양한 형상으로 구현될 수 있으며, 도 1 내지 도 4에서 설명된 형태의 매거진 이외에 다른 형태로 구현될 수 있다.
상기 매거진에 대하여 불량 여부를 검사하는 단계(S120)가 수행된다. 예를 들어, 매거진의 파손 여부, 특히 매거진에 포함된 스토퍼의 정위치 여부, 오동작 여부 등이 검사될 수 있다. 매거진이 불량인 것으로 판단되면, 해당 매거진을 백엔드 공정에 투입시키지 않고, 상기 매거진을 수리하거나 수리가 불가능한 경우 제거하는 단계(S130)가 수행될 수 있다.
양품으로 판단된 매거진은 백엔드 공정에 투입될 수 있다(S160). 백엔드 공정으로의 투입을 위해 매거진의 스토퍼를 구동하여 록 상태를 언록 상태로 전환하는 단계(S140) 및 언록 상태의 매거진에 반제품 등의 자재를 공급하는 단계(S150)가 수행될 수 있다. 백엔드 공정으로의 투입 단계(S160) 이전의 스토퍼 구동 단계(S140)는 생략될 수도 있다. 예를 들어, 불량 검사 단계(S120)에서 양품으로 판단된 매거진은 언록 상태일 수 있고, 따라서 별도의 스토퍼 구동 단계(S140) 없이 자재 공급 단계(S150)가 수행됨으로써, 매거진이 백엔드 공정으로 투입될 수 있다.
반도체 조립 공정에 반제품을 수납하는 매거진은 공정 라인 당 2만개가 사용되며, 예를 들어 전체 라인이 6개 라인인 경우 12만개의 매거진이 사용된다. 이러한 메거진에는, 예를 들어 제조 설비 및 물류 장치의 과부하, 수명 만료, 취급 부주의 등의 여러가지 요인으로 인해 불량이 발생하게 된다. 매거진의 불량은 제조 설비 및 물류 장치를 정상적으로 가동하지 못하게 하여, 공정 에러를 야기하고, 그에 따라 제조 프로세스가 중단되어 전체 생산 효율과 제품의 품질에 지장을 초래하는 문제를 발생시킨다.
종래 생산 방식에서는 반제품이 수납된 매거진이 양품인지 불량인지 알 수 없는 상태로 이동되었다. 따라서 자재를 공급하는 과정에서, 스토퍼와 같은 열림/닫힘 장치에서 에러가 발생하게 될 경우 사람에 의해 수동적으로 매거진의 불량이 검사되었다. 이러한 검사를 수행하기 위해서는 조립 프로세스가 중단되어야 하기 때문에 생산 효율이 낮아지는 문제가 있었다.
본 발명의 기술적 사상에 의한 매거진 검사 방법에 따르면 불량 매거진을 공정에 투입하기 전 미리 검사를 수행함으로써 불량 매거진을 필터링하고 양품 매거진만을 백엔드 공정에 투입할 수 있다. 따라서 종래의 프로세스 중단 후 수동적으로 불량 매거진을 공정에서 제거함으로써 생산 설비의 효율이 저하되는 문제가 해결될 수 있다.
또한 본 발명의 실시예들에 따른 매거진 검사 장치에 따르면, 기존 사람에 의한 불량 판정의 상대적 기준에서 로드셀과 같은 정량화된 기준으로 품질관리 기반을 구축할 수 있어, 보다 정확하고 효율적인 불량 검출을 달성할 수 있다. 또한 매거진 불량에 의해 발생되는 반제품의 파손도 방지할 수 있어 완제품의 품질 향상에도 기여할 수 있다.
도 6은 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예들에 따른 매거진 검사 장치를 개략적으로 나타낸 블록도이다.
도 6을 참조하면, 매거진 검사 장치는 제어부(610), 검출 유닛(620), 통신 유닛(630), 및 분류 유닛(640)을 포함할 수 있다. 제어부(610)는 검출 유닛(620), 통신 유닛(630), 및 분류 유닛(640)을 각각 제어하도록 구성될 수 있으며, 이하에서는 제어부(610)에 의해 제어됨으로써 수행되는 각 구성요소들(620, 630, 640)의 동작에 대해 설명하기로 한다.
검출 유닛(620)은 검사 대상 매거진의 불량 여부, 특히 상기 매거진의 스토퍼의 불량 여부를 검출하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 검출 유닛(620)은 i) 매거진의 스토퍼가 제대로 위치하고 있는지, ii) 스토퍼에 압력을 인가하는 경우 스토퍼의 푸쉬 동작이 정상적으로 수행되는지, iii) 스토퍼에 회전력을 인가하는 경우 스토퍼의 회전 동작이 정상적으로 수행되는지를 검사하도록 구성될 수 있다. 이를 위해, 검출 유닛(620)은 위치 검출 유닛, 압력 검출 유닛, 및 회전 검출 유닛을 포함할 수 있으며, 이들 각각의 구체적인 동작에 대해서는 후술하기로 한다.
비록 본 실시예가 매거진의 스토퍼의 불량 여부를 검출하는 점에 초점을 두어 도시되고 설명되었지만, 본 발명은 이에 제한되지 않음에 유의한다. 즉, 검출 유닛은 매거진 내 스토퍼 이외의 구성요소에 대해서도 불량 여부를 검사하도록 구성될 수도 있다. 예를 들어, 검출 유닛은 매거진에 바퀴 등의 이동 수단이 부착되어 있는 경우 상기 이동 수단에 대한 불량을 검출하도록 구성될 수도 있고, 매거진 내 슬롯(도 1의 10) 및 슬롯과 연관된 부품(미도시)의 불량을 검출하도록 구성될 수도 있다.
제어부(610)는 검출 유닛(620)으로부터의 신호를 수신하여 불량 여부를 판단하고, 양품/불량품 정보를 통신 유닛(630)으로 전달할 수 있다. 예를 들어, 매거진이 불량품인 경우, 상기 매거진의 스토퍼에 발생한 불량 종류가 무엇인지(즉, 위치, 압력, 회전 중 어떠한 요인에 의해 불량이 발생하였는지)에 관한 정보를 통신 유닛(630)으로 전달할 수 있다. 통신 유닛(630)은 상기 양품/불량품 정보를 수신하고 상기 정보를 매거진의 태그 장치에 기입하도록 구성될 수 있다. 따라서 태그 장치에 저장된 매거진의 불량 정보로부터 매거진 불량의 종류가 파악될 수 있다.
분류 유닛(640)은 양품으로 판단된 매거진과 불량품으로 판단된 매거진을 분류하고, 이들은 분할 이동시키도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 도 7에 나타난 바와 같이, 매거진 검사 장치(600)에 의해 검사된 매거진(100)이 양품인 경우, 분류 유닛(640)이 별도의 이동 동작을 수행하지 않음으로써, 매거진(100)이 제1 반송부(710)로부터 제2 반송부(720)로 이동될 수 있고, 그에 따라 양품 매거진이 패키지 공정 등 백엔드 공정으로 투입될 수 있다. 반대로 매거진 검사 장치(600)에 의해 검사된 매거진(100)이 불량품인 경우, 분류 유닛(640)이 이동되어, 매거진이 제1 반송부(710)로부터 제3 반송부(730)로 이동될 수 있고, 그에 따라 불량품 매거진이 별도로 포집될 수 있다.
도 8은 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예들에 따른 매거진 검사 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다. 매거진 검사 장치는 도 7에서 설명된 제어부, 검출 유닛, 통신 유닛, 및 분류 유닛을 포함할 수 있으며, 이하 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 8을 참조하면, 검출 유닛은 위치 검출 유닛(850), 압력 검출 유닛(870), 및 회전 검출 유닛(860)을 포함할 수 있다. 위치 검출 유닛(850)은 스토퍼가 정위치에 위치하는지 여부를 검출하도록 구성될 수 있다. 위치 검출 유닛(850)은 예를 들어 레이저 센서로 구현될 수 있다.
압력 검출 유닛(870)은 스토퍼를 누름으로써 발생하는 압력을 검출하도록 구성될 수 있다. 회전 검출 유닛(860)은 상기 스토퍼를 회전시킴으로써 발생하는 토크량을 검출하도록 구성될 수 있다. 압력 검출 유닛(870)과 회전 검출 유닛(860)은 상하 결합될 수 있으며, 압력 검출 유닛(870)과 회전 검출 유닛(860) 사이에 중간 연결부(950)가 개재될 수 있다. 이들 구성요소들(860, 950, 870)에 대해서는 도 9에서 더욱 구체적으로 설명하기로 한다.
비록 도 8에서는 검출 유닛이 각각 하나의 위치 검출 유닛(850), 압력 검출 유닛(870), 및 회전 검출 유닛(860)만을 포함하고 이들이 서보 모터들(890, 895, 897)에 의해 적절하게 위치되는 구성이 도시되었지만, 본 발명은 이에 제한되지 않음에 유의한다. 위치 검출 유닛(850), 압력 검출 유닛(870), 및 회전 검출 유닛(860)은 각각 복수개로 구현될 수 있고, 매거진의 전면 및 후면(도 1의 F, R)에 설치된 스토퍼들 각각의 불량 여부를 검사하도록 구현될 수도 있다.
예를 들어, 위치 검출 유닛(850)은 복수개로 구현될 수 있다. 즉, 위치 검출 유닛(850)은, 스토퍼의 제1 위치를 검출하도록 구성된 제1 위치 검출 유닛 및 상기 제1 위치와 다른 제2 위치를 검출하도록 구성된 제2 위치 검출 유닛을 포함할 수 있다. 대조적으로 도 8과 같이 위치 검출 유닛(850)이 단수로 구성된 경우, 위치 검출 유닛(850)은 구동 모터(895, 897)에 의해 상하/좌우로 이동함으로써 스토퍼의 상기 제1 위치 및 상기 제2 위치를 검출할 수 있을 것이다.
매거진 검사 장치의 전반적인 동작에 대해 보다 구체적으로 설명하기로 한다. 반송부(840)에 의해 반송되는 매거진은 정지부(810)에 의해 정지되고, 상기 매거진에 대한 검사 동작이 시작된다. 정지부(810)에 의해 정지된 매거진은 올림부(830) 상에 위치하게 되며, 구동 모터(820)에 의해 매거진은 상하 이동될 수 있다. 이러한 상하 이동 동작은 위치 검출 유닛(850)의 레이저 센서의 센싱 동작, 압력 검출 유닛(870)의 압력 검출 동작, 및 회전 검출 유닛(860)의 토크량 검출 동작 등이 수행되기 전에 수행되는, 매거진을 적절한 위치에 위치시키기 위한 준비 동작일 수 있다.
제어부는 i) 위치 검출 유닛(850)에 의해 검출된 위치, ii) 압력 검출 유닛(870)에 의해 검출된 압력, 및 iii) 회전 검출 유닛(860)에 의해 검출된 토크량이 소정 조건을 모두 만족하는지를 검사하여 매거진을 양품 또는 불량품으로 분류하도록 구성될 수 있다.
도 9는 도 8의 압력 검출 유닛(870)과 회전 검출 유닛(860)을 더욱 구체적으로 나타낸 도면이다.
도 9를 참조하면, 압력 검출 유닛(870)은 압력을 측정하는 압전 소자 및 스트레인 게이지 중 적어도 하나(960)를 포함할 수 있다. 압력 검출 유닛(870)은, 올림부(도 8의 830) 상에 위치된 매거진이 구동 모터(도 8의 820)에 의해 상하 이동됨에 따라 발생하는 압력을 측정할 수 있다. 이를 위해 압력 검출 유닛(870)은 하부 연결부(970)를 통해 스토퍼의 일면과 기계적으로 연결될 수 있다.
회전 검출 유닛(860)은, 상기 스토퍼에 회전력을 인가하였으나 스토퍼가 회전하지 않음으로써 발생하는 압력을 측정함으로써, 토크량을 측정하도록 구성될 수 있다. 이를 위해 회전 검출 유닛(860)은 로드셀(920), 제1 비대칭 연결부(940), 및 제2 비대칭 연결부(930)를 포함할 수 있다.
로드셀(920)은 압전 소자 및 스트레인 게이지 중 적어도 하나(960)와 동일하거나 유사한 구성을 포함할 수 있다. 제1 비대칭 연결부(940)는 스토퍼에 고정되며, 제2 비대칭 연결부(930)는 로드셀(920)에 고정될 수 있다. 더욱 구체적으로 제1 비대칭 연결부(940)는 중간 연결부(950), 및 하부 연결부(970)를 통해 스토퍼에 고정될 수 있다.
제1 비대칭 연결부(940)와 제2 비대칭 연결부(930)는 서로 맞물리는 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 제1 비대칭 연결부(940)는 중심축(C)으로부터 떨어진 축(O)을 기준으로 형성된, 치우친 원뿔 형상(offset conic shape)을 가질 수 있고, 제2 비대칭 연결부(930)는 제1 비대칭 연결부(940)의 상부에서 제1 비대칭 연결부(940)와 맞물리는 형상을 가질 수 있다.
구동 모터(도 8의 890)가 상부 연결부(910)를 통해 회전력을 인가하면, 제2 비대칭 연결부(930)가 회전된다. 그에 따라 제2 비대칭 연결부(930)와 맞물리는 형상을 갖는 제1 비대칭 연결부(940)가 회전되고, 제1 비대칭 연결부(940)와 고정된 스토퍼에 회전력이 인가된다. 스토퍼가 양품인 경우 인가된 회전력에 의해 스토퍼가 무리 없이 회전할 것이므로, 하부 연결부(970), 중간 연결부(950), 제1 비대칭 연결부(940), 및 제2 비대칭 연결부(930)를 통해 로드셀(920)에 전달되는 압력은 낮을 것이다.
한편, 스토퍼가 불량인 경우 인가된 회전력에도 불구하고 스토퍼는 회전되지 않을 것이다. 이 경우 로드셀(920)에 고정된 제2 비대칭 연결부(930)는 회전하려고 하지만, 스토퍼에 고정된 제1 비대칭 연결부(940)는 회전하지 않기 때문에, 제1 비대칭 연결부(940)와 제2 비대칭 연결부(930) 사이에 수직 방향의 압력이 발생하게 된다. 이러한 수직 방향의 압력에 의해 로드셀(920)에 전달되는 압력은 높아질 것이다.
압전 소자 및 스트레인 게이지 중 적어도 하나(960)를 포함하는 로드셀(920)은 상기 압력을 측정함으로써, 스토퍼의 토크량을 측정할 수 있다. 제어부는 상기 압력에 관한 정보를 수신하여, 상기 압력이 소정 수치 미만인 경우 스토퍼의 회전 동작이 정상적으로 수행되는 것으로 판단하고, 상기 압력이 소정 수치 이상인 경우 스토퍼의 회전 동작이 정상적으로 수행되지 않는 것으로 판단할 수 있다.
도 10은 본 발명의 기술적 사상에 의한 다른 실시예들에 따른 매거진의 검사 방법을 개략적으로 나타낸 흐름도이다.
도 10을 참조하면, 먼저 검사의 대상이 되는 매거진이 마련된다(S310). 더욱 구체적으로, 상기 단계(S310) 동안 상기 매거진은 반송부에 의해 이동된 후 정지부(도 8의 810)에 의해 정지되어 올림부(도 8의 830) 상에 위치될 수 있다.
이후 매거진의 스토퍼의 정위치 여부가 검사된다(S320). 제1 위치 검사 단계(S320) 동안 레이저 센서(도 8의 850)는 스토퍼의 제1 언록 상태에서의 제1 위치를 검출할 수 있다. 제어부는 상기 제1 위치에 관한 정보를 수신하여, 상기 제1 위치가 소정 범위 내에 속하지 않는 경우 매거진을 불량으로 판단할 수 있다. 불량으로 판단된 매거진에 대한 수리/제거 단계(S380)가 수행될 수 있다.
상기 제1 위치가 소정 범위 내에 속하는 경우, 매거진에 대한 압력 검사 단계(S330)가 수행된다. 압력 검사 단계(S330) 동안, 압력 검출 유닛(도 8의 870)은 스토퍼에 압력을 인가하고, 인가된 압력에 의해 발생하는 스토퍼의 반작용 압력을 검출할 수 있다. 제어부는 상기 압력에 관한 정보를 수신하여, 상기 압력이 소정 범위 내에 속하지 않는 경우 매거진을 불량으로 판단할 수 있다. 불량으로 판단된 매거진에 대한 수리/제거 단계(S380)가 수행될 수 있다.
상기 압력이 소정 범위 내에 속하는 경우, 매거진에 대한 회전토크 검사 단계(S340)가 수행된다. 회전토크 검사 단계(S340) 동안, 회전 검출 유닛(도 8의 860)은 스토퍼에 회전력을 인가하고, 인가된 회전력에 의해 발생하는 스토퍼의 토크량을 검출할 수 있다. 제어부는 상기 토크량에 관한 정보를 수신하여, 상기 토크량이 소정 범위 내에 속하지 않는 경우 매거진을 불량으로 판단할 수 있다. 불량으로 판단된 매거진에 대한 수리/제거 단계(S380)가 수행될 수 있다.
상기 토크량이 소정 범위 내에 속하는 경우, 매거진의 스토퍼의 정위치 여부가 다시 검사될 수 있다(S350). 제2 위치 검사 단계(S350) 동안, 레이저 센서(도 8의 850)는 스토퍼의 제2 언록 상태에서의 제2 위치를 검출할 수 있다. 제어부는 상기 제2 위치에 관한 정보를 수신하여, 상기 제2 위치가 소정 범위 내에 속하지 않는 경우 매거진을 불량으로 판단할 수 있다. 불량으로 판단된 매거진에 대한 수리/제거 단계(S380)가 수행될 수 있다.
예를 들어, 상기 제1 언록 상태는, 상기 압력 및 상기 토크량을 기초로 상기 스토퍼의 제 기능 여부를 판단하는 압력 검사 단계(S330) 및 회전 검사 단계(S340)가 수행되기 전, 상기 스토퍼가 매거진 홈에 위치하는 언록 상태일 수 있다. 반면에 상기 제2 언록 상태는 상기 회전 및 압력 검사 단계가 수행된 이후 상기 스토퍼가 상기 매거진 홈에 위치하는 언록 상태일 수 있다. 따라서 상기 제1 위치 및 상기 제2 위치는 스토퍼의 동일한 위치를 지칭할 수 있다.
상기 제2 위치가 소정 범위 내에 속하는 경우, 제어부는 검사 대상 매거진을 양품으로 판단할 수 있다. 이후 양품 매거진에 대한 자재 공급(S360) 및 백엔드 공정 투입(S370)과 같은 후속 단계들이 수행될 것이다.
도 11은 본 발명의 기술적 사상에 의한 또 다른 실시예들에 따른 매거진의 검사 방법을 개략적으로 나타낸 흐름도이다. 도 11에 따른 매거진의 검사 방법은 도 10에 따른 매거진의 검사 방법의 변형예일 수 있다. 이하 실시예들 간의 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 11을 참조하면, 매거진이 마련되고(S510), 제1 위치 검사 단계(S520) 및 제1 압력/회전 검사 단계(S530)가 수행된 이후, 제2 위치 검사 단계(S540)가 수행될 수 있다.
단계(S530)에 의해 스토퍼가 회전함으로써 스토퍼가 언록 상태에서 록 상태가 될 수 있고, 이 경우 제2 위치 검사 단계 동안, 록 상태에서의(즉, 스토퍼가 매거진의 제2 안착부(도 1의 20)에 고정되는 경우에서의) 스토퍼의 제2 위치가 검사될 수 있다. 따라서 이 경우의 제2 위치는 상기 제1 위치와 다른 위치가 될 것이다.
상기 제2 위치가 소정 범위 내에 속하는 경우, 제2 압력/회전 검사 단계(S550)가 수행될 수 있다. 제1 압력/회전 검사 단계(S530)는 스토퍼를 언록 상태에서 록 상태로 전환시키기 위해 스토퍼에 압력과 회전력을 인가하는 단계인 반면에, 제2 압력/회전 검사 단계(S550)는 스토퍼를 록 상태에서 언록 상태로 전환시키기 위해 스토퍼에 압력과 회전력을 인가하는 단계일 수 있다.
제2 압력/회전 검사 단계(S550) 동안 압력 및 토크량이 소정 범위 내에 속하는 것으로 판단되는 경우, 제3 위치 검사 단계(S560)가 수행될 수 있다. 단계(S550)에 의해 스토퍼가 회전함으로써 스토퍼가 록 상태에서 언록 상태가 될 수 있고, 이 경우 제3 위치 검사 단계 동안, 언록 상태에서의(즉, 스토퍼가 매거진의 제1 안착부(도 1의 19)에 고정되는 경우에서의) 스토퍼의 제3 위치가 검사될 수 있다. 따라서 이 경우의 제3 위치는 상기 제1 위치와 동일한 위치가 될 것이다.
이상 도 8 및 도 9를 참조하여 본 발명의 검사 장치 및 도 10 및 도 11을 참조하여 본 발명의 검사 단계와 관련한 실시예들이 설명되었다. 그러나 본 발명은 상기 실시예들에 한정되지 않으며, 실시자의 요구 및 동작 조건에 따라 다양한 검사 동작 및 검사 장치의 구성이 도출될 수 있음이 이해될 것이다.
도 12는 위치 검사 단계 동안 위치 검출 유닛에 의해 스토퍼의 위치가 검출되는 모습을 도시한다.
도 12에 나타난 바와 같이, 위치 검사 단계 동안, 레이저 센서와 같은 위치 검출 유닛은 스토퍼(12)의 상부 표면(특히 검출점(SP))에 레이저를 조사하고, 상기 레이저의 반사량을 검출함으로써 스토퍼(12)의 위치를 검출할 수 있다. 이를 위해 스토퍼(12)는 레이저를 반사할 수 있는 금속 재질로 구현될 수 있다.
선택적으로, 스토퍼가 금속 재질이 아닌 플라스틱과 같은 비반사 재질의 물질로 형성된 경우, 스토퍼의 상부에 반사 부분이 부착될 수 있다. 한편 도 12에는 레이저가 스토퍼의 상부 표면에 수직 방향으로 조사되는 실시예만이 설명되었지만, 레이저가 스토퍼의 측면에 수평 방향으로 조사됨으로써 스토퍼의 정위치 여부가 판단될 수도 있을 것이다.
도 13 및 도 14는 압력 검사 단계 동안 압력 검출 유닛에 의해 스토퍼의 압력이 검출되는 모습을 도시한다.
도 13및 도 14에 나타난 바와 같이, 압력 검사 단계 동안 압력 검출 유닛 내 하부 연결부(970)는 스토퍼와 기계적으로 고정될 수 있고, 그에 따라 스토퍼에 수직 방향의 압력이 인가될 수 있다.
스토퍼가 양품인 경우 인가된 압력에 의해 스토퍼가 눌러질 것이므로, 압력 검출 유닛에 전달되는 압력은 낮을 것이다. 반면에 스토퍼가 불량인 경우 인가된 압력에도 불구하고 스토퍼는 눌러지지 않을 것이므로, 압력 검출 유닛에 전달되는 압력은 반작용 압력에 의해 높아질 것이다.
도 15는 회전 검사 단계 동안 회전 검출 유닛에 의해 스토퍼의 토크량이 검출되는 모습을 도시한다.
도 15에 나타난 바와 같이, 회전 검사 단계 동안 하부 연결부(도 13의 970)를 통해 스토퍼에 회전력이 인가될 수 있다. 일 예로서, 회전 검사 단계 동안, 스토퍼(12)를 제1 안착부(19)에서 제2 안착부(20)로 완전히 회전시키지 않을 수 있고, 일부분만(예를 들어, 제1 안착부로부터 220도) 회전시키는 동작이 수행될 수 있다. 본 실시예에 설명된 바와 같이, 스토퍼(12)를 완전히(예를 들어, 270도) 회전시키지 않고 일부만을(예를 들어, 180 내지 260도, 특히 220도) 회전시키더라도 대부분의 스토퍼의 불량을 검출할 수 있다.
도 16 내지 도 25는 도 10의 검사 방법에 의해 수행되는 제1 위치 검사 단계, 압력 검사 단계, 회전 검사 단계, 및 제2 위치 검사 단계에서 검출될 수 있는 매거진의 불량 종류를 개략적으로 나타낸 도면들이다.
도 16 내지 도 18은 제1 위치 검사 단계에서 발생할 수 있는 매거진의 불량들이다. 도 16은 매거진이 양품임에도 불구하고 매거진의 스토퍼가 언록 상태가 아닌 록 상태로 검사 장치에 투입되어 불량으로 판정된 경우를 나타낸다. 도 17은 스토퍼가 언록 상태임에도 불구하고 완전히 올라오지 않고 일부 들어간 상태를 유지하고 있는 경우를 나타낸다. 도 18은 스토퍼가 중앙 축으로부터 일부 치우쳐져 있는 상태를 나타낸다. 상기 경우에서 레이저 센서의 센싱 동작에 의해 측정된 스토퍼의 위치가 정상 상태의 스토퍼의 위치 대비 소정 기준치를 넘을 것이기 때문에, 매거진의 불량이 자동적으로 검출될 수 있다.
도 19 내지 도 21은 압력 검사 단계에서 발생할 수 있는 매거진의 불량들이다. 도 19는 스토퍼가 꺾여 스토퍼를 누르는 동안 반작용 압력이 과다하게 발생하는 경우를 나타낸다. 도 20은 내부 고정부(미도시)와 같은 부품의 불량으로 인해 스토퍼에 압력을 인가하더라도 스토퍼가 내려가지 않고 떠 있는 상태를 나타낸다. 도 21은 제1 안착홈(19)에 위치한 스토퍼가 굽어서 스토퍼를 누를 경우 반작용 압력이 발생하는 경우를 나타낸다.
도 22 및 도 23은 회전 검사 단계에서 발생할 수 있는 매거진의 불량들이다. 도 22는 스토퍼를 누르고 회전력을 인가하더라도 스토퍼와 내부 고정부(미도시) 간의 기계적 결합이 없어지지 않는 경우를 나타낸다. 이외에도 스토퍼의 핀부가 홈부에 걸려서 회전하지 않는 경우 또는 스토퍼가 휘어져 있는 경우에도 도 22와 같은 불량이 나타날 수 있다. 도 23은 휘어진 스토퍼가 회전력 인가에 의해 제1 안착 홈을 벗어날 수는 있었으나 회전 이후 다시 제1 안착 홈으로 돌아오는 과정에서 휨으로 인해 제1 안착 홈으로 안착되지 않는 경우를 나타낸다.
도 24 및 도 25는 제2 위치 검사 단계에서 발생할 수 있는 매거진의 불량들이다. 도 24는 압력이 인가되고 있지 않음에도 스토퍼가 복귀되지 않거나 일부만이 올라온 경우를 나타낸다. 도 25는 스토퍼가 휘어 있어 제1 안착홈으로 정확히 복귀가 되지 않은 경우를 나타낸다.
도 26은 본 발명의 기술적 사상에 의한 또 다른 실시예들에 따른 매거진 검사 방법을 개략적으로 나타낸 흐름도이다. 도 16에 따른 매거진의 검사 방법은 도 5에 따른 매거진의 검사 방법의 변형예일 수 있다. 이하 실시예들 간의 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 26을 참조하면, 매거진이 마련되고(S710), 매거진에 대한 불량 여부를 검사한다(S720). 매거진이 불량으로 판정되면, 매거진에 탑재된 태그 장치에 불량 정보가 기입된다(S740). 상기 불량 정보는 예를 들어, 도 16 내지 도 25에서 설명된 불량 정보들을 나타내는 식별 번호를 포함할 수 있다.
매거진이 양품으로 판정되면, 매거진에 탑재된 태그 장치에 양품 정보가 기입된다. 이후 양품 정보가 매거진의 태그 장치에 기입되었는지를 확인하는 기입 검사 단계(S750)가 수행된다. 기입 단계(S730, S740) 및 기입 검사 단계(S750)는 검사 장치의 통신 유닛(도 6의 630)에 의해 수행될 수 있다.
예를 들어, 통신 유닛(도 6의 630)은 불량 정보 또는 양품 정보를 매거진의 태그 장치에 전송할 수 있고, 제어부(도 6의 610)는 상기 태그 장치로부터 기입 완료 신호를 수신하여 기입 완료 여부를 판단할 수 있다. 기입이 완료된 경우 해당 매거진에는 자재가 공급되고 백엔드 공정으로의 투입이 이루어질 것이다(S770). 반대로 기입이 완료되지 않은 경우는, 이 역시 매거진의 불량으로 판단하여, 매거진에 대한 수리 또는 매거진 제거 단계(S760)가 수행될 수 있다.
본 발명에 따른 매거진 검사 방법에 따르면, 매거진의 초기 제조로부터 폐기까지의 이력관리가 수행될 수 있다. 따라서 종래의 수동적으로 불량 매거진을 제거 하는 경우에 비해 매거진의 체계적인 이력 관리가 달성될 수 있다.
도 27 내지 도 29는 도 26의 검사 방법에서 기입 검사 단계(S750)에서 검출될 수 있는 매거진의 불량 종류를 개략적으로 나타낸 도면들이다. 도 27은 태그 장치가 없어진 경우를 나타내고, 도 28은 매거진이 양품임에도 불구하고 매거진 전면과 후면이 바뀌어 배치된 상태로 반송됨으로써 태그 장치(TG)로의 기입이 수행되지 않은 경우를 나타낸다. 도 29는 태그 장치(TG)가 매거진에 탑재되어 있지만 고장으로 인해 그 기능을 상실한 경우를 나타낸다.
본 발명의 기술적 사상에 의한 매거진 검사 방법에 따르면 도 16 내지 도 25, 및 도 27 내 도 29와 같은 다양한 종류의 불량 매거진을 필터링하고 양품 매거진만을 백엔드 공정에 투입할 수 있다. 나아가 이러한 불량 종류에 관한 정보를 매거진의 태그 장치에 저장함으로써, 매거진의 체계적인 이력 관리가 달성될 수 있다.
본 발명을 명확하게 이해시키기 위해 첨부한 도면의 각 부위의 형상은 예시적인 것으로 이해하여야 한다. 도시된 형상 외의 다양한 형상으로 변형될 수 있음에 주의하여야 할 것이다. 도면들에 기재된 동일한 번호는 동일한 요소를 지칭한다.
이상에서 설명한 본 발명이 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

Claims (10)

  1. 반제품을 수납하고 수납된 반제품을 록(lock) 또는 언록(unlock)시키는 스토퍼를 포함하는 매거진의 검사 장치로서,
    상기 스토퍼의 위치를 검출하도록 구성된 위치 검출 유닛;
    상기 스토퍼를 누름으로써 발생하는 압력을 검출하도록 구성된 압력 검출 유닛; 및
    상기 스토퍼를 회전시킴으로써 발생하는 토크량을 검출하도록 구성된 회전 검출 유닛을 포함하고,
    상기 검사 장치는, 상기 위치, 상기 압력, 및 상기 토크량이 소정 조건을 모두 만족하는지를 검사하여 매거진을 양품 또는 불량품으로 분류하도록 구성되고,
    상기 회전 검출 유닛은,
    압전 소자 및 스트레인 게이지 중 적어도 하나를 갖는 로드셀;
    상기 스토퍼에 고정된 제1 비대칭 연결부; 및
    상기 로드셀에 고정된 제2 비대칭 연결부를 포함하고,
    상기 제1 비대칭 연결부 및 상기 제2 비대칭 연결부는 서로 맞물리는 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 위치 검출 유닛은 상기 스토퍼의 제1 상태에서의 제1 위치 및 상기 스토퍼의 제2 상태에서의 제2 위치를 검출하도록 구성된 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 상태는 제1 언록 상태이고, 상기 제2 상태는 제2 언록 상태이며,
    상기 제1 언록 상태는, 상기 압력 및 상기 토크량을 기초로 상기 스토퍼의 제 기능 여부를 판단하는 회전 및 압력 검사 단계가 수행되기 전, 상기 스토퍼가 매거진 홈에 위치하는 언록 상태이고,
    상기 제2 언록 상태는 상기 회전 및 압력 검사 단계가 수행된 이후 상기 스토퍼가 상기 매거진 홈에 위치하는 언록 상태인 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    양품 또는 불량품으로 분류된 상기 매거진을 분할 이동시키도록 구성된 분류 유닛을 더 포함하는, 검사 장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 회전 검출 유닛은, 상기 제2 비대칭 연결부를 회전시킴으로써 상기 제1 비대칭 연결부 및 상기 스토퍼를 회전시키고, 상기 스토퍼가 회전되지 않을 경우 발생하는 압력을 상기 로드셀로 측정함으로써, 상기 토크량을 측정하도록 구성된 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  7. 반제품을 수납하기 위한 매거진의 검사 장치로서,
    상기 검사 장치는 상기 매거진이 패키징 공정에 투입되기 전 상기 매거진의 스토퍼를 검사하고, 양품으로 분류된 스토퍼를 포함하는 매거진만을 상기 패키징 공정에 투입하도록 구성되고,
    상기 검사 장치는 상기 스토퍼를 회전시킴으로써 발생하는 토크량을 검출하도록 구성된 회전 검출 유닛을 포함하고,
    상기 회전 검출 유닛은,
    압전 소자 및 스트레인 게이지 중 적어도 하나를 갖는 로드셀;
    상기 스토퍼에 고정된 제1 비대칭 연결부; 및
    상기 로드셀에 고정된 제2 비대칭 연결부를 포함하고,
    상기 제1 비대칭 연결부 및 상기 제2 비대칭 연결부는 서로 맞물리는 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 검사 장치는 상기 스토퍼의 제1 위치를 검출하도록 구성된 제1 위치 검출 유닛을 더 포함하고
    상기 검사 장치는 상기 제1 위치가 소정 조건을 만족하는 경우 상기 스토퍼를 양품으로 분류하도록 구성된 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 검사 장치는 상기 스토퍼를 누름으로써 발생하는 압력을 검출하도록 구성된 압력 검출 유닛을 더 포함하고,
    상기 검사 장치는 상기 압력이 소정 조건을 만족하는 경우 상기 스토퍼를 양품으로 분류하도록 구성된 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 검사 장치는 상기 토크량이 소정 조건을 만족하는 경우 상기 스토퍼를 양품으로 분류하도록 구성된 것을 특징으로 하는, 검사 장치.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11315815B2 (en) * 2016-01-05 2022-04-26 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Wafer container and method for holding wafer
CN110391163A (zh) * 2019-04-09 2019-10-29 南宁聚信众信息技术咨询有限公司 一种用于晶圆加工处理的操作方便快捷的芯片分拣设备

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101220391B1 (ko) * 2011-07-28 2013-01-09 시그널링크 주식회사 기어 검사장치

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100196646B1 (ko) 1996-11-15 1999-06-15 왕중일 매거진 프레임 부하 걸림 체크 장치
JP3689215B2 (ja) 1997-02-20 2005-08-31 株式会社ルネサステクノロジ 半導体デバイスのテスト用搬送装置
KR20010066502A (ko) 1999-12-31 2001-07-11 양재신 파레트 매거진 번호 이상 검출 장치 및 방법
US6591162B1 (en) * 2000-08-15 2003-07-08 Asyst Technologies, Inc. Smart load port with integrated carrier monitoring and fab-wide carrier management system
US6595075B1 (en) * 2002-05-06 2003-07-22 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Method and apparatus for testing cassette pod door
TW549569U (en) * 2002-11-13 2003-08-21 Foxsemicon Integrated Tech Inc Substrate cassette
US20050263443A1 (en) * 2004-05-28 2005-12-01 Martin William R Method and apparatus for inspecting containers
KR100573896B1 (ko) * 2004-08-16 2006-04-26 동부일렉트로닉스 주식회사 웨이퍼 이탈방지 장치 및 방법
US7596456B2 (en) * 2005-11-18 2009-09-29 Texas Instruments Incorporated Method and apparatus for cassette integrity testing using a wafer sorter
US20090175706A1 (en) * 2008-01-07 2009-07-09 Nien-Lu Lee Method and apparatus for detecting a wafer pod
KR20090093150A (ko) 2008-02-28 2009-09-02 주식회사 힘스 Rfid태그가 부착된 매거진 및 이를 이용한 반도체제조설비
JP2010109197A (ja) 2008-10-30 2010-05-13 Toshiba Lighting & Technology Corp マガジンラック
KR100962006B1 (ko) 2009-06-30 2010-06-08 주식회사 기흥에프에이 매가진 랙의 간격조정장치 및 간격조정방법
US20130024544A1 (en) 2010-04-15 2013-01-24 Bijutsu Shuppan Networks Co., Ltd. Electronic Book Capable of Making Content of Magazine Into Community
US20110259840A1 (en) 2010-04-23 2011-10-27 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Semiconductor package magazine
KR101116130B1 (ko) 2010-06-21 2012-02-22 주식회사 원강 반도체 패키지용 매거진
KR101210080B1 (ko) * 2010-11-12 2012-12-07 대원강업주식회사 기어 형상 측정 검사 장치 및 그 방법
JP2012183456A (ja) 2011-03-03 2012-09-27 Shibuya Kogyo Co Ltd 物品搬送装置
US8726554B2 (en) 2011-03-29 2014-05-20 David Klassen Magazine well adapter and kit
JP2012208996A (ja) 2011-03-30 2012-10-25 Nec Embedded Products Ltd ライブラリ装置、マガジン挿入検出方法及びプログラム
US20130061505A1 (en) 2011-09-13 2013-03-14 Tuvia Faifer Pistol magazine loader
JP6040883B2 (ja) * 2012-12-25 2016-12-07 東京エレクトロン株式会社 基板搬送装置、基板搬送方法及び記憶媒体

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101220391B1 (ko) * 2011-07-28 2013-01-09 시그널링크 주식회사 기어 검사장치

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