CN1117391C - 模块集成电路处理机的转动组件 - Google Patents
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Abstract
本发明的转动组件包括一种可以将载运组件的方向转动90度并供给至加热腔室的内部处用的装载侧转动组件,及可以将收装在检测部处的、与模块型集成电路呈垂直状态相插接的载运组件转动90度、并传送至卸载位置处的卸载侧转动组件。该装载侧转动组件是由驱动组件、传送部件和可夹持住载运组件或解除这种夹持用的夹持组件,及可以将传送部件推入至转动板的内部或由该内部处拉出的推入、拉出用组件构成;该卸载侧转动组件是由转动板、驱动组件和夹持组件构成。
Description
技术领域
本发明涉及一种模块集成电路处理机的转动组件,如果更具体的说,本发明涉及一种具有可以将载运组件的方向转动90度并供给至加热腔室的内部处用的装载侧转动组件,以及可以将收装在检测部处的、与模块型集成电路呈垂直状态相插接的载运组件的方向转动90度、并传送至卸载位置处用的卸载侧转动组件的模块集成电路处理机的转动组件。
背景技术
一般说来,模块型集成电路是在基板上的一个侧面或两个侧面处焊接连接有若干个集成电路体和部件,进而构成为独立回路的集成电路,所以它具有可以对安装在母基板上的容量实施扩充的功能。
在原有的模块型集成电路的制造过程中,并不具有能够将所述的模块型集成电路自动装载在检测部之内以进行检测,进而能够根据该检测结果自动卸载至用户用承载盘(customer tray)(图中未示出)之内的设备,所以操作者需要通过手工作业的操作方式将模块型集成电路由承载盘(tray)中一个一个地取出,将其装载在检测插座之内并实施预定时间的检测之后,再根据检测结果将模块型集成电路分类收装在用户用承载盘内,所以存在有作业效率低下等问题,而且还存在有由于劳动形式单调而容易使劳动情绪低下,进而使可生产性下降等问题。
发明内容
目前已有的模块型集成电路用近距离处理机是通过拾取组件对模块型集成电路实施夹持,并传送至检测插座侧的,所以还存在有下述的问题。
第一,利用拾取组件虽然可以夹持住模块型集成电路,进而将其相对于检测插座实施装载和卸载,然而不能通过该拾取组件在密闭的腔室内对模块型集成电路实施受控操作,所以往往是在常温下对模块型集成电路实施检测的。
因此,所生产出的模块型集成电路仅仅是在常温下检测为合格之后即被打包出厂,然而在将所制作出的这种模块型集成电路安装在其它制品中实际使用时,由于在驱动时会产生大量的热量,所以是在高温下对其实施驱动的。因此检测时的条件与实际使用时的条件并不相同,从而使所生产出的制成品可信赖度下降。
第二,拾取组件虽然可以将模块型集成电路装载在呈水平设置的检测部处的检测插座之内,然而必须使位于检测部处的检测插座设置在水平方向上。因此,每当被检测的模块型集成电路的形式发生有变化时,均需要对安装在检测位置底面处的插座组件实施更换,其更换作业相当麻烦。
本发明就是解决上述问题用的发明,本发明的目的就是要能够在一定温度下对模块型集成电路的性能实施检测,以便能够进一步提高制成品的可信赖度。
本发明的另一目的就是要能够在收装有模块型集成电路的载运组件的方向转动过90度后再传送至加热腔室的内部处,以便可以在检测位置处对收装在载运组件上的模块型集成电路和检测插座实施垂直插接。
本发明的再一目的就是要能够使位于检测位置处的模块型集成电路、即呈垂直状态相插接的载运组件返回至水平状态,以便可以在卸载位置处对检测结束后的模块型集成电路实施卸载。
为了能够解决上述问题,本发明提供了一种模块集成电路处理机的转动组件,其还具有由驱动组件、传送部件和可夹持住载运组件或解除这种夹持用的夹持组件,以及可以将传送部件推入至转动板的内部或由该内部处拉出的推入、拉出用组件构成的装载侧转动组件;
以及由转动板、传送部件和夹持组件构成卸载侧转动组件。
附图说明
图1为表示根据本发明构造的模块集成电路处理机的转动组件的立体图。
图2为表示如图1所示的近距离处理机用的后侧立体图。
图3为表示作为本发明一个主要部分用的装载侧转动组件用的立体图。
图4A为表示根据本发明构造的模块集成电路处理机的转动组件中的载运组件处于向传送部件侧实施传送之前的状态用的示意图。
图4B为表示搭载在传送部件上的载运组件处于被机械手夹持住的状态用的示意图。
图5A为表示沿图4B中的线A-A剖开时的剖面图。
图5B为表示将处于夹持状态的载运组件向加热腔室的内部实施传送时的状态用的纵剖面图。
图6为表示作为本发明一个主要部分用的卸载侧转动组件用的立体图。
图7A为表示载运组件处于向转动板的内部处实施传送之前的状态用的示意图。
图7B为表示传送至转动板处的载运组件处于被机械手夹持住的状态用的示意图。
图8A为表示沿图7B中的线A-A剖开时的剖面图。
图8B为表示位于转动板内的载运组件按在卸载位置处保持在水平状态的方式转动90度时的状态用的示意图。
附图中的参考标号的含义为:
1:承载盘
3:载运组件
4:用户用承载盘
6、13:装载位置和卸载位置
8、12:装载侧转动组件和卸载侧转动组件
9、14、16:第一、第二、第三传送组件
10:加热腔室
11:检测部
17:加热腔室用挡板
1 8、49:转动板
20、52:设置板
21、28、56:活塞汽缸
21a、28b、53a、56b:活塞杆
22、30、36:轴
23:支撑架
24、51:杠杆
25:导向体
26、27、53、54:机械手
28a、56a:主体
29:导轨
31:小齿轮
32:齿条
33:电动机
34a、34b:皮带轮
35:同步皮带
40、43、44:驱动组件
48:转动轴
50:导向板
具体实施方式
下面参考附图说明本发明的实施形式。
正如图1、图2所示,这种装置具有升降器5、装载侧拾取组件7、第一传送组件9、装载侧转动组件8、加热腔室10、检测部11、卸载侧转动组件12、第二传送组件14、卸载侧拾取组件15和第三传送组件16。所述的升降器5按照可以将收装在承载盘1中的模块型集成电路装载在载运组件3之内的方式,使搭载在所述承载盘1处的叠置搭载板按每次一个的方式依次上升,或是按照可以将检测完毕的模块型集成电路分类卸载在用户用承载盘4之内的方式,使叠置搭载板按每次一个的方式依次下降。所述的装载侧拾取组件7用于依次夹持住位于所述承载盘1之内的模块型集成电路,进而将模块型集成电路依次装载在已经定位在装载位置6处的载运组件3上。第一传送组件9用于在将被检测的模块型集成电路装载在载运组件3上之后,将其传送至装载侧转动组件8的一侧。装载侧转动组件8用于在该第一传送组件9传送来载运组件3时,使载运组件3转动90度。加热腔室10配置在该装载侧转动组件8的正下方处,并且可以在有由装载侧转动组件依次传递来的载运组件时,将模块型集成电路加热至适合于检测的温度。检测部11位于该加热腔室10的一侧位置处,当满足检测条件的、加热后的模块型集成电路已被传送来时,对其朝向检测插座侧实施挤压,并实施预定时间的检测。卸载侧转动组件12设置在该检测部11一侧处,在对模块型集成电路检测完毕之后,通过对载运组件3实施传送的方式,使该载运组件3转动90度。第二传送组件14用于将位于该卸载侧转动组件12之内的载运组件3水平传送至卸载位置13处。卸载侧拾取组件15用于根据由该第二传送组件14传送来的载运组件3的检测结果,对模块型集成电路实施相应的夹取,并且卸载至相应的用户用承载盘4之内。第三传送组件16用于在对所述载运组件3之内的模块型集成电路全部卸载之后,将腾空后的载运组件水平传递至装载位置6处。
具有如上所述结构构成的模块集成电路处理机的转动组件,还具有在对模块型集成电路实施加热,并且为与检测插座相垂直插接而使收装有被检测模块型集成电路的载运组件转动过90度之后,将其供给至加热腔室10的内部处的装载侧转动组件8;以及为了对检测完毕的模块型集成电路实施卸载,而将处于垂直状态的载运组件还原至水平状态用的卸载侧转动组件12。
根据本发明构造的模块集成电路处理机的转动组件使用的转动组件,可以由装载侧转动组件8和卸载侧转动组件12构成。
正如图3至图5B所示,装载侧转动组件设置在可以对加热腔室10(请参见图1)实施开闭操作的挡板的上方处,而且还设置有可转动的转动板18,该转动板18可以在90度的范围之内由驱动组件驱动转动。在所述的转动板18处还以可以被拉出的方式,设置有插入在收装有被检测模块型集成电路的载运组件3中的传送部件19。
所述的驱动组件具有与其一端铰链结合在设置板20处、另一端通过轴22结合在转动板18处的活塞杆21a相连接的活塞汽缸21,以及其一端铰链结合在与所述活塞杆21a相连接的轴22处、其另一端铰链结合在支撑架23处的杠杆24。
因此,当通过将所述的活塞汽缸21中的活塞杆21a拉出并挤压住轴22的方式,可以使所述活塞杆21a的直线运动通过与支撑架23铰链结合的杠杆24而转换为转动运动,进而转换为转动板18的转动,从而可以使该转动板18以轴36为中心转动。
在以可以被拉出的方式设置在所述转动板18处的传送部件19处,还配置有一个夹持组件,该夹持组件可夹持住载运组件3,以便在转动板18转动时,使载运组件3不至于由传送部件19处脱离开。
在所述传送部件19的入口两侧处,还固定有具有倾斜面25a的导向体25,该倾斜面25a用于使载运组件3更容易插入至传送部件19的内部处。
传送至所述传送部件19内部处的载运组件3由夹持组件夹持着,该传送部件19具有以可转动方式设置在传送部件19处的、夹持着载运组件3上的保持部件3a用的一对机械手26、27,以及其主体28a与位于一侧处的所述机械手26铰链结合、其活塞杆28b与位于另一侧处的机械手27铰链结合的、从而可以使这一对机械手同时折曲或打开的活塞汽缸28。而且传送部件19还通过导轨29,以可以拉出的方式结合在所述转动板18处。
所述传送部件19的结构构成,使得它在用驱动组件驱动转动板18转动90度的状态下,即在加热腔室10用的挡板17处于打开的状态下,可以通过推入、拉出用组件对转动板18实施推入或拉出操作。
所述的推入、拉出用组件可以具有以可转动方式设置在转动板18的一侧处的轴30,固定在所述轴30上的一对小齿轮31,固定在所述传送部件19上的底面处的、与小齿轮31相啮合用的齿条32,以及使所述的轴30沿顺时针方向或逆时针方向转动用的动力传递组件。
将动力传递给以可以拉出方式与所述转动板18相结合的传送部件19处的动力传递组件,具有固定在转动板18处的电动机33,以及卷曲安装在与该电动机33相结合的皮带轮34a和与轴30的一端相结合的皮带轮34b之间的、用于将电动机33输出的动力传递至轴30用的同步皮带35。
下面对具有这种结构构成的装载侧转动组件的运行方式进行说明。
首先,在将如图4A所示的载运组件3传送至位于转动板18之内的传送部件19侧之前,一对机械手26、27保持在彼此朝向外侧打开的状态。如果在这种状态下,利用第一传送组件9将载运组件3沿着导轨29传送至传送部件19侧,便可以使所述载运组件3由设置在传送部件19的入口两侧处的导向体25上的倾斜面25a导向移动,从而可以使其容易地进入至传送部件19的内部。
而且,当驱动作为夹持组件的活塞汽缸28时,一对机械手26、27将同时朝向内侧折曲,从而将如图4B所示,夹持住位于载运组件3上的保持部件3a,所以当转动板18转动时,被推入至传送部件19的内部处的载运组件3将不会由传送部件19处脱离开。换句话说就是,在所述载运组件3处于进入至传送部件19内部的状态下,如果通过活塞汽缸28的空气压缩作用而使插入的活塞杆28b进一步进入,则铰链结合在所述活塞杆28b处的机械手27将产生转动,从而可以夹持住位于载运组件3上一侧处的保持部件3a。
如果在这种状态下,即在与活塞杆28b铰链结合的机械手27处于与位于载运组件3上一侧处的保持部件3a相连接的状态下,进一步驱动活塞汽缸28,则将以与机械手27相连接的保持部件3a作为保持点而使活塞杆28b被进一步拉出,所以与活塞汽缸28上的主体28a铰链结合的、位于另一侧处的机械手26也将产生转动,进而如图4B所示,夹持住位于载运组件3上另一侧的保持部件3a。
通过如上所述的运行方式,一对机械手26、27将通过活塞汽缸28连动动作,从而可以在夹持住载运组件3的状态下,驱动使转动板18转动用的活塞汽缸21。
因此,通过与转动板18和轴22相结合的杠杆24,便可以将所产生的直线运动转换为转动运动,并传递至转动板18处,所以所述的转动板18将以轴36为中心转动90度。
当所述的转动板18转动过90度时,以可以开闭方式设置在加热腔室10的上侧位置处的挡板17将被打开,从而可以将被夹持在传送部件19处的载运组件3传送至加热腔室10的内部处。
利用作为推入、拉出用组件的电动机33,可以将夹持在所述传送部件19处的载运组件3传送至加热腔室10的内部处,如果驱动该电动机33运行,则由所述电动机33输出的动力可通过同步皮带35实施传递,进而使轴30转动,所以固定在该轴30处的小齿轮31也将与轴30一并转动。
在小齿轮31按这种方式转动时,小齿轮31将与固定在传送部件19处的齿条32相啮合,从而可以将以可以拉出方式结合在所述转动板18处的传送部件19,由转动板18处拉出并推入至加热腔室10的内部处。
通过如上所述的运行方式,夹持在传送部件19处的载运组件3将如图5所示,被推入至加热腔室10的内部处。作为夹持组件的活塞汽缸28设置在安装板(图中未示出)的上面处,如果对该活塞汽缸28进一步实施驱动,可以使一对机械手26、27彼此朝向两侧方向打开,从而解除对载运组件3的夹持状态。
因此,这时的机械手26、27将解除对载运组件3的夹持,如果再次驱动电动机33,固定小齿轮31用的轴30将沿着相反的方向转动,从而可以使通过齿条32与该小齿轮31相啮合的传送部件19,一直上升到其上止点,并被推入至转动板18的内部处。
通过如上所述的动作,原先被引导出的传送部件19将被推入至转动板18的内部处,从而使处于打开状态的加热腔室用挡板17闭合,并且使所述转动板18转动过90度而返回至初始状态,所以可以再次将新的载运组件3传送至加热腔室10的内部处。
在另一方面,模块集成电路处理机的转动组件的卸载侧转动组件可以如图6至图8B所示,在检测部11(请参见图1)的拉出侧挡板处设置有转动轴48,在该转动轴48的上下侧处固定有具有倾斜面50a的导向板50,该倾斜面50a用于使载运组件3容易插入至该转动轴48的上下侧处。而且,在驱动组件的作用下,所述的转动轴48可以转动过90度。
所述驱动组件通过对其一端固定在转动轴48中的转动侧48处的杠杆51实施挤压的方式,可以使所述活塞杆53a的直线运动通过杠杆51而转换为转动运动,进而使转动板49转动。而且在所述转动板49上还配置有在转动时可防止载运组件3由转动板49处脱开的夹持组件。
被传送至所述导向板50之间处的载运组件3由夹持组件夹持着,而且该夹持组件如图7A所示,具有以可转动方式设置在转动板49处的、夹持载运组件3上的两个侧面用的一对机械手54、55,以及具有其主体56a与位于一侧处的所述机械手54铰链结合、其活塞杆56b与位于另一侧处的机械手55铰链结合的、从而可以使这一对机械手同时折曲或打开的活塞汽缸56。
下面对具有这种结构构成的、根据本发明构造的模块集成电路处理机的转动组件用的卸载侧转动组件的运行方式进行说明。
首先在将载运组件3保持为垂直状态的状态下,对收装在检测部11之内的模块型集成电路实施检测,在检测过程中转动板49如图8A所示,与设置板52相密接,从而可以使一对机械手54、55如图7A所示,向两侧打开。如果在这种状态下结束对模块型集成电路的检测,检测部11的拉出侧挡板(图中未示出)将被打开,同时利用设置在检测部之内的、形成在导向板50处的朝向外侧的倾斜面50a,便可以通过传送组件稳定地将载运组件3推入至导向板50之间。
当所述的载运组件3通过传送组件被推入至转动板49的内部处时,传感器可以检测到固定在作为传送组件的滑动部件下部处的敏感板(图中未示出),所以可以识别出使载运组件3定位设置在转动板的内部处用的转动组件。
随后驱动作为夹持组件的活塞汽缸56,使一对机械手54、55同时朝向内侧折曲,从而如图7B所示,夹持住载运组件3的两个侧面,所以在被推入至转动板49的内部的状态下,可通过活塞汽缸56的空气压缩作用而使插入的活塞杆56b进一步进入,进而驱动铰链结合在所述活塞杆56b处的机械手54产生转动,以夹持住位于载运组件3上的铰链结合面。
在这种状态下,即在与活塞杆56b铰链结合的机械手54呈保持住载运组件3上的一个侧面的状态下,与活塞汽缸56上的活塞杆56b铰链结合的、位于另一侧的机械手55也将产生转动,从而可以夹持住如图7B所示的载运组件3上的另一侧面。
通过如上所述的运行方式,一对机械手54、55将通过一个活塞汽缸56连动动作,从而可以在夹持住载运组件3两侧的状态下,驱动使转动板49转动用的活塞汽缸56运动。
因此,通过固定在转动板49处的转动轴48上的杠杆51,可以使活塞杆53a产生的直线运动切换为转动运动,并传递至转动板49处,所以该转动板49将如图8B所示,转动过90度。
当转动板49如图8B所示,转动过90度时,夹持在转动板49处的载运组件3将位于与卸载位置13相应的水平线上,如果进一步驱动作为夹持组件的活塞汽缸56,夹持着载运组件3上的两个侧面处的机械手54、55将同时朝向两侧方向打开,进而解除对载运组件3的夹持状态。
由于可以解除对定位在所述转动板49的内部处的载运组件3的夹持,并将其传送至卸载位置13侧,所以可以根据检测结果对所收装在载运组件3处的模块型集成电路实施分类,并卸载至相应的用户用承载盘内。
在如上所述的本发明中,转动板以可以拉出方式结合在传送部件处,而且通过实施活塞汽缸驱动,可以使转动板转动过90度,通过由齿条和小齿轮实现的动力传递,又可以将夹持着载运组件的传送部件传送至加热腔室的内部,所以可以将载运组件在垂直状态下传送至检测部侧。
因此在实施检测时,与模块型集成电路上的集成电路部分电连接的插座组件,将呈暴露在检测位置外部处的垂直状态,所以即使被检测的模块型集成电路的类型发生有变化,也可以容易地对位于检测位置处的检测插座实施更换。而且,由于可以使载运组件用传送装置的设置面积最小化,所以还可以使整个装置小型化。
而且,本发明不仅可以将相对于检测部保持在垂直状态的载运组件向上侧传送,而且还可以使其在与卸载位置相应的水平线上定位转动90度,所以还可以使载运组件的传送时间最小化。
Claims (8)
1.一种模块集成电路处理机的转动组件,其特征在于,
具有装载侧转动组件,而且这种装载侧转动组件具有:以可转动方式设置在加热腔室中的挡板上侧处的转动板;驱动该转动板转动90度用的驱动组件;传送部件,以可以插入收装有被检测的模块型集成电路的载运组件的、并且可以被拉出至转动板的方式设置;对插入、设置在该传送部件处,对所插入的载运组件实施夹持或解除夹持的夹持组件;以及推入、拉出用组件,可以将所述的传送部件相对于转动板的内部实施推入和拉出;以及
还具有转动板,以位于检测部拉出侧的挡板侧的轴为中心可以转动的方式设置;可驱动该转动板转动90度的驱动组件;夹持组件,设置在该转动板处对载运组件实施夹持或解除夹持。
2.一种如权利要求1所述的模块集成电路处理机的转动组件,其特征在于,所述的装载侧转动组件中的驱动组件具有:活塞汽缸,其一端与设置板铰链结合、其活塞杆与固定在转动板上的轴铰链结合;
以及杠杆,其一端固定在与该活塞汽缸中的活塞杆铰链结合的轴上、另一端铰链结合在支撑架处。
3.一种如权利要求1所述的模块集成电路处理机的转动组件,其特征在于所述装载侧转动组件处的传送部件以可拉出方式与导轨相结合,而且在其入口两侧处还设置有具有倾斜面的导向体。
4.一种如权利要求1所述的模块集成电路处理机的转动组件,其特征在于,所述的装载侧转动组件中的夹持组件具有:一对机械手,对以可转动方式设置在传送部件处的载运组件上的保持部件实施夹持;
以及活塞汽缸,其主体与位于一侧处的所述机械手铰链结合、其活塞杆与位于另一侧处的机械手铰链结合、从而使机械手可以同时折曲或打开。
5.一种如权利要求1所述的模块集成电路处理机的转动组件,其特征在于位于所述的装载侧转动组件处的推入、拉出用组件具有:
以可转动方式设置在转动板一侧处的轴,
固定在该轴处的一对小齿轮,
与所述传送部件中的底面两侧固定啮合的齿条,
以及使所述的轴沿顺时针方向或逆时针方向转动用的动力传递组件。
6.一种如权利要求5所述的模块集成电路处理机的转动组件,其特征在于,所述的动力传递组件具有:电动机,固定在转动板处;
以及同步皮带,卷曲设置在固定在所述电动机上的电动机轴处的皮带轮和固定在轴的一端处的皮带轮之间、将电动机输出的动力传递至轴。
7.一种如权利要求1所述的模块集成电路处理机的转动组件,其特征在于所述的装载侧转动组件的转动板被固定在导向板处,而且该导向板还具有设置在所述转动板的上下侧处的、朝向外侧倾斜的倾斜面。
8.一种如权利要求1所述的模块集成电路处理机的转动组件,其特征在于,所述的卸载侧转动组件处的夹持组件具有:一对机械手,以可转动方式设置在转动板处的、对载运组件上的两个侧面实施夹持;
以及活塞汽缸,其主体与位于一侧处的所述机械手铰链结合、其活塞杆与位于另一侧处的机械手铰链结合、从而可以使一对机械手同时折曲或打开。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100586457C (zh) * | 2006-12-25 | 2010-02-03 | 李明亮 | 一种治疗四肢关节痛、骨质增生的中药胶囊 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7339387B2 (en) * | 2004-06-30 | 2008-03-04 | Intel Corporation | System and method for linked slot-level burn-in |
US7292023B2 (en) * | 2004-06-30 | 2007-11-06 | Intel Corporation | Apparatus and method for linked slot-level burn-in |
CN100428437C (zh) * | 2005-10-27 | 2008-10-22 | 京元电子股份有限公司 | 供料装置 |
CN101604645B (zh) * | 2008-06-12 | 2011-04-13 | 京元电子股份有限公司 | 往复式取放设备 |
JP6719784B2 (ja) * | 2018-12-21 | 2020-07-08 | 株式会社 Synax | ハンドラ |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6019564A (en) * | 1995-10-27 | 2000-02-01 | Advantest Corporation | Semiconductor device transporting and handling apparatus |
TW371347B (en) * | 1995-12-27 | 1999-10-01 | Advantest Corp | Structure of rotary arm and device chuck part of a device handler |
US5944475A (en) * | 1996-10-11 | 1999-08-31 | Asyst Technologies, Inc. | Rotated, orthogonal load compatible front-opening interface |
JP3689215B2 (ja) * | 1997-02-20 | 2005-08-31 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体デバイスのテスト用搬送装置 |
JP3591679B2 (ja) * | 1997-04-17 | 2004-11-24 | 株式会社アドバンテスト | Ic用トレイ取出装置及びic用トレイ収納装置 |
KR100251625B1 (ko) * | 1997-12-27 | 2000-04-15 | 정문술 | 모듈아이씨(ic)용핸들러의모듈ic홀딩장치 |
-
1999
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100586457C (zh) * | 2006-12-25 | 2010-02-03 | 李明亮 | 一种治疗四肢关节痛、骨质增生的中药胶囊 |
Also Published As
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---|---|
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