KR100908496B1

KR100908496B1 - 핸들러의 진공 흡착 픽커장치

Info

Publication number: KR100908496B1
Application number: KR1020070032400A
Authority: KR
Inventors: 이건소
Original assignee: 이건소
Priority date: 2007-04-02
Filing date: 2007-04-02
Publication date: 2009-08-04
Also published as: KR20080089795A

Abstract

본 발명은 반도체 제조 공정에서 반도체 패키지(package)를 검사한 후, 반도체 패키지 적재박스인 트레이에 수납시 반도체 소자의 선택적 픽업이 가능하도록 구성된 핸들러의 피치 자동 가변식 진공 흡착 픽커장치에 관한 것이다.

이를 실현하기 위하여 본 발명은, 동력을 발생시키는 제 1구동수단에 의해 캠축을 정,역방향으로 회동시키는 캠축 구동부; 상기 캠축 구동부의 하부에 설치되어 제 2구동수단에 의해 복수의 타이밍 벨트를 구동시키는 타이밍벨트 구동부; 상기 타이밍 벨트 구동부의 전방에 설치되어 반도체 소자를 픽업하는 픽커부; 그리고 상기 캠축 구동부와 연동되게 설치되며, 제 3구동수단에 의해 상기 픽커부를 선택적으로 상하 이송시키는 픽커 상하 구동부를 포함하여 구성되며, 상기 캠축 구동부는, 전면에 LM가이드와 LM블럭이 설치된 베이스플레이트와, 이 베이스플레이트에 부착된 서보모터와, 이 서보모터에 축결합된 구동풀리와, 이 구동풀리에 벨트연결된 종동풀리와, 이 종동풀리를 관통하여 회동 가능하게 설치된 캠축을 포함하고, 상기 타이밍벨트 구동부는, 타이밍벨트 구동장치부와; 상기 타이밍벨트 구동장치부의 전방에 설치되는 픽커연결부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 반도체 소자의 수에 따라 픽커를 선택적으로 구동시켜서 상기 반도체 소자를 이송할 수 있고, 상기 반도체 소자의 픽업에 따른 작업성이 향상되는 효과가 있다.

핸들러, 반도체 소자, 픽커, 피치, 트레이

Description

핸들러의 진공 흡착 픽커장치{Vacuum adsorption picker apparatus of handler}

도 1은 종래 핸들러의 진공 흡착 픽커장치에 따른 반도체 소자의 이송 과정을 나타낸 평면 개략도.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러의 진공 흡착 픽커장치의 설치 상태를 나타낸 사시도.

도 3은 도 2에 도시된 핸들러의 진공 흡착 픽커장치를 나타낸 사시도.

도 4는 본 발명에 따른 핸들러의 진공 흡착 픽커장치에 있어서의 캠축 구동부, 픽커 상하 구동부, 타이밍벨트 구동부의 조립 상태를 나타낸 사시도.

도 5는 본 발명에 따른 핸들러의 진공 흡착 픽커장치에 있어서의 캠축 구동부와 픽커 상하 구동부의 조립 상태를 나타낸 사시도.

도 6은 도 5에 도시된 캠축 구동부와 픽커 상하 구동부의 분해 사시도.

도 7은 본 발명에 따른 핸들러의 진공 흡착 픽커장치에 있어서의 타이밍벨트 구동부와, 픽커부의 조립 상태를 나타낸 사시도.

도 8은 도 7에 도시된 타이밍벨트 구동부와, 픽커부의 분해 사시도.

도 9는 본 발명에 따른 핸들러의 진공 흡착 픽커장치에 있어서의 타이밍벨트 구동부와, 픽커부의 조립 상태를 나타낸 요부 사시도.

도 10은 도 9에 도시된 타이밍벨트 구동부의 요부 사시도.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉

100 : 캠축 구동부 120,180,210 : 서보모터

124 : 구동풀리 130 : 제 1수평 LM가이드

132 : LM 블럭 140 : 캠축

148 : 종동풀리 170,172 : 에어실린더

182 : 캠 200 : 타이밍벨트 구동부

214 : 풀리축 220,222 : 타이밍벨트

230 : 베이스 플레이트 232 : 가이더

300 : 픽커부 310,320,330,340,350 : LM 가이드

311,321,331,341,351 : 픽커 313 : 스프링

315 : 샤프트 316 : 끼움편

본 발명은 진공 흡착 픽커장치에 관한 것으로, 특히 반도체 제조 공정에서 반도체 패키지(package)를 검사한 후, 반도체 패키지 적재박스인 트레이에 수납시 반도체 소자의 선택적 픽업이 가능하도록 구성된 핸들러의 피치 자동 가변식 진공 흡착 픽커장치에 관한 것이다.

일반적으로, 핸들러는 진공압에 의해 반도체 소자(이하, 소자라 약칭함)를 흡착하는 복수개의 픽커(picker)가 설치된 픽업장치로서, 메모리 또는 비메모리 소자들은 하나의 기판상에 회로적으로 구성한 모듈 집적회로를 생산한 후 출하하는 과정에서 여러 가지 테스트를 거치며, 이러한 소자들은 상기 핸들러를 통해 소정의 공정 위치로 이송한다.

소자가 담겨져 보관되거나, 디바이스의 공정간 이송시 사용되는 고객트레이에 형성된 공간부(소자가 담겨지는 부위)의 피치는, 테스트시 소자가 담겨지는 테스트 트레이내에 형성된 공간부의 피치와 다르고 정밀도 또한, 다르기 때문에 테스트 트레이내에 로딩된 소자를 테스트 콘택터와 완벽한 접촉이 이루어지도록 하기 위해서는 테스트 트레이에 형성된 공간부를 정밀하게 제작해야 한다.

그러나 고객트레이에 형성된 공간부는 소자가 수용되기만 하면 되므로 그다지 정밀하게 가공되어 있지 않고, 이에 따라 고객트레이내에 담겨진 소자를 테스트 트레이내의 공간부로 옮기기 위해서는 고객트레이내에 담겨져 있던 소자를 정밀하게 가공된 별도의 위치결정블럭으로 운반하여 위치를 재결정시킨 다음 테스트 트레이내에 옮겨야만 소자의 로딩시 이의 파손을 방지하게 되며, 이를 위해 핸들러는 소자를 옮기는 역할을 하는 픽업(pick up)이 장착된 이송수단을 갖는다.

상기 고객트레이의 공간부내에 담겨진 소자를 위치결정블럭으로 옮기기 위해 1개의 픽업이 픽업블럭에 승강가능하게 장착되어 있어서 실린더의 구동으로 상기 픽업이 하강하여 고객트레이내에 담겨진 소자를 흡착한 다음 위치를 옮겨가면서 위치결정블럭에 형성된 공간부내로 순차 이송시켰으나, 소자의 이송에 따른 시간이 지연되었고, 이에 따라 소자의 성능검사에 따른 작업능률이 저하되는 단점이 있었다.

이와 같은 단점을 개선하기 위해, 고객트레이에 형성된 공간부의 피치와 동일함과 동시에 위치결정블럭에 형성된 공간부의 개수와 동일한 개수의 픽업이 장착된 픽업헤드를 구비하고, 소자의 위치를 재정렬하는 위치결정블럭에는 테스트 트레이의 공간부 피치와 일치되게 조절하는 간격조절수단이 구비된 장치가 개발되어 사용되고 있다.

따라서 고객트레이에 담져진 소자를 테스트 트레이에 로딩하기 위해 일측의 픽업헤드가 고객트레이측으로 이동되어와 정지하면 픽업이 하강하여 상기 고객트레이에 담겨진 복수개의 소자를 동시에 흡착한다.

이후, 픽업이 상승하고 나면 픽업헤드가 위치결정블럭의 직상부로 이동하여 픽업이 흡착된 소자를 간격이 고객트레이의 피치와 동일하게 조절된 위치결정브럭 공간내부에 얹어놓게 된다.

이와 같이 고객트레이내에 담겨진 소자가 픽업에 의해 위치결정블럭의 공간부내에 얹혀지고 나면 별도의 구동수단에 의해 상기 위치결정블럭이 테스트 트레이의 피치와 동일하게 펼쳐지게 되므로 테스트 트레이측에 설치된 픽업헤드가 위치결정블럭측으로 이송되어와 전술한 바와 같이 동작하여 소자를 테스트 트레이의 공간부내로 옮기게 된다.

한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 상술한 종래 핸들러의 진공 흡착 픽커장치는 픽업블록(30)에 장착된 픽업(32)의 수에 따라 고객트레이(10)의 공간부(12)에 수납된 소자(14)를 흡착하여 위치결정블럭(20)에 형성된 공간부(22)내로 순차 이송시키는 과정에 있어서, 가령 위치결정블럭(20)에 형성된 공간부(22)의 수가 8개인데 비하여, 상기 픽업블록(30)에 장착된 픽업(32)이 5개 설치되었을 경우, 고객트레이(10)의 소자(14)를 5개만 흡착하여 상기 위치결정블럭(20)의 공간부(22)내에 이송시키게 되며, 이 경우 위치결정블럭(20)에 형성된 나머지 3개의 공간부(32)는 소자가 이송되지 않은 상태이다.

상기한 소자(14)의 이송 과정을 반복할 경우, 상기 고객트레이(10)의 공간부(12)내에는 이송되지 않은 상태의 3개의 소자(14)가 연속적인 배열로서 적치되 고, 상기 위치결정블럭(20)에 형성된 나머지 3개의 공간부(22)는 소자(14)가 이송되지 않은 상태의 연속적인 배열을 갖게 된다.

한편, 위와는 반대로 위치결정블럭(20)에 형성된 공간부(22)의 수가 5개인데 비하여, 상기 픽업블록(30)에 장착된 픽업(32)이 8개 설치되었을 경우, 종래의 기술은 고객트레이(10)의 소자(14)를 선택적으로 5개만 흡착하여 상기 위치결정블럭(20)의 공간부(22)내에 이송시키는 작업이 어렵게 되며, 이 경우 고객트레이(10)에 잔류한 나머지 3개의 소자(14)는 이송되지 않은 상태이다.

상기한 소자(14)의 이송 과정을 반복할 경우, 상기 고객트레이(10)의 공간부(12)내에는 이송되지 않은 상태의 3개의 소자(14)가 연속적인 배열로서 적치되므로, 상술한 종래 핸들러의 진공 흡착 픽커장치는 상기 픽업(32)의 상기 소자(14)에 대한 선택적인 이송 작업이 불가한 구조적인 문제점이 있었다.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 반도체 소자의 수에 따라 선택적인 이송 작업이 가능한 핸들러의 진공 흡착 픽커장치를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은 반도체 소자의 픽업에 따른 작업성을 향상시킬 수 있는 핸들러의 진공 흡착 픽커장치를 제공하는 데 있다.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 동력을 발생시키는 제 1구동수단에 의해 캠축을 정,역 방향으로 회동시키는 캠축 구동부; 상기 캠축 구동부의 하부에 설치되어 제 2구동수단에 의해 복수의 타이밍 벨트를 구동시키는 타이밍벨트 구동부; 상기 타이밍 벨트 구동부의 전방에 설치되어 반도체 소자를 픽업하는 픽커부; 그리고 상기 캠축 구동부와 연동되게 설치되며, 제 3구동수단에 의해 상기 픽커부를 선택적으로 상하 이송시키는 픽커 상하 구동부를 포함하여 구성되는 핸들러의 진공 흡착 픽커장치를 제공한다.

바람직하게는 이러한 본 발명에서 상기 캠축 구동부는, 전면에 LM가이드와 LM블럭이 설치된 베이스플레이트와, 이 베이스플레이트에 부착된 서보모터와, 이 서보모터에 축결합된 구동풀리와, 이 구동풀리에 벨트연결된 종동풀리와, 이 종동 풀리를 관통하여 회동 가능하게 설치된 캠축을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 이러한 본 발명에서 상기 타이밍벨트 구동부는, 타이밍벨트 구동장치부와; 상기 타이밍벨트 구동장치부의 전방에 설치되는 픽커연결부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 이러한 본 발명에서 상기 타이밍벨트 구동장치부는, 축베이스와, 이 축베이스에 설치된 서보모터 및 감속수단과, 상기 서보모터 및 감속수단에 연결된 풀리축과, 일측 내주면이 상기 풀리축의 회전과 연동하여 회동되는 상하 복수의 타이밍벨트와, 이 타이밍벨트의 타측 내주면에 회동가능하게 설치된 상,하 풀리부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 이러한 본 발명에서 상기 상,하 풀리부는, 베이스 플레이트와, 이 베이스 플레이트의 상,하면에 설치된 가이더 및 가이더커버와, 상기 가이더커버 상단에서 대칭되게 설치된 상,하부 커버와, 상기 상,하부 커버에 회동가능하게 설치된 상,하부 풀리를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 이러한 본 발명에서 상기 픽커연결부는, 베이스부재와, 이 베이스부재의 전면에 결합되는 가이더와, 이 가이더상에 결합되는 다수의 가이더커버와, 이 가이더커버의 전면에 결합되는 복수의 가이더하우징과, 상기 가이더하우징에 수납되는 가이더 및 가이더커버와, 상기 가이더하부징의 하부에 결합되는 센터링 플레이트와, 이 센터링 플레이트에 결합되는 내,외측 커버를 포함하는 것을 특징으로 한다.

아울러, 이러한 본 발명에서 상기 픽커부는, 다수의 LM가이드와, 이 LM가이 드에 설치된 픽커와, 이 픽커에 나란하게 설치되며 신축 자재한 실린더와, 상기 LM가이드의 하부에 연결된 고정부재와, 상기 LM가이드의 상부에 설치된 복수의 샤프트와, 이 샤프트의 상부에 설치된 커버부와, 상기 커버부 상부에 설치된 샤프트 연결부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.

더욱이, 이러한 본 발명에서 상기 픽커 상하 구동부는, 상기 캠축이 횡방향으로 관통하는 캠축 연결부재와, 이 캠축 연결부재의 전면에 연결된 수직 LM가이드와, 상기 수직 LM가이드상에 결합된 LM블럭과, 상기 캠축 연결부재를 종방향으로 관통하여 캠연결되는 서보모터와, 상기 LM블럭의 전면에 설치되는 베이스 플레이트와, 이 베이스 플레이트의 전면에 연결되는 복수의 에어실린더를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러의 진공 흡착 픽커장치의 설치 상태를 나타낸 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 핸들러의 진공 흡착 픽커장치를 나타낸 사시도이며, 도 4는 본 발명에 따른 핸들러의 진공 흡착 픽커장치에 있어서의 캠축 구동부, 픽커 상하 구동부, 타이밍벨트 구동부의 조립 상태를 나타낸 사시도이다.

또한, 도 5는 본 발명에 따른 핸들러의 진공 흡착 픽커장치에 있어서의 캠축 구동부와 픽커 상하 구동부의 조립 상태를 나타낸 사시도이고, 도 6은 도 5에 도시된 캠축 구동부와 픽커 상하 구동부의 분해 사시도이며, 도 7은 본 발명에 따른 핸 들러의 진공 흡착 픽커장치에 있어서의 타이밍벨트 구동부와, 픽커부의 조립 상태를 나타낸 사시도이다.

또한, 도 8은 도 7에 도시된 타이밍벨트 구동부와, 픽커부의 분해 사시도이고, 도 9는 본 발명에 따른 핸들러의 진공 흡착 픽커장치에 있어서의 타이밍벨트 구동부와, 픽커부의 조립 상태를 나타낸 요부 사시도이며, 도 10은 도 9에 도시된 타이밍벨트 구동부의 요부 사시도이다.

이를 참조하면, 본 발명에 따른 핸들러의 진공 흡착 픽커장치는 크게 동력을 발생시키는 제 1구동수단에 의해 캠축을 정,역 방향으로 회동시키는 캠축 구동부와, 상기 캠축 구동부의 하부에 설치되어 제 2구동수단에 의해 복수의 타이밍 벨트를 구동시키는 타이밍벨트 구동부와, 상기 타이밍 벨트 구동부의 전방에 설치되어 반도체 소자를 픽업하는 픽커부, 및 상기 캠축 구동부와 연동되게 설치되며, 제 3구동수단에 의해 상기 픽커부를 선택적으로 상하 이송시키는 픽커 상하 구동부를 포함하여 이루어진다.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 진공 흡착 픽커장치(D)는 수직 포스트(1)와, 이 수직 포스트(1)에 연설되며 서보 모터(3)를 구비한 수평 포스트(2)를 포함하는 디바이스의 상기 수평 포스트(2) 외면에 장착된다.

상기 캠축 구동부는, 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 베이스플레이트(110)의 전면 중앙부에 LM가이드(130)가 결합되고, 이 LM가이드(130)를 감싸도록 LM블럭(132)이 결합된다. 또한, 상기 베이스플레이트(110)의 후면 일측에 서보모터(120)가 고정 부착되고, 이 서보모터(120)의 축에 구동풀리(124)가 연결 브라켓 트(122)를 통해 설치되어 회동자재하게 된다.

또한, 외주면에 나선 형태의 캠홈(140a)이 형성된 캠축(140)의 일단부가 후술하는 캠축 연결부재(150)의 중앙부와, 베어링 블록(144)을 관통하여 상기 구동풀리(124)와 벨트(미도시) 연결되는 종동풀리(148)에 연결되고, 캠축(140)의 타단부는 캠축 끼움부재(146)를 관통하여 다른 베어링 블록(142)에 연결된다.

상기 타이밍벨트 구동부는, 도 4, 도 7 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 타이밍벨트 구동장치부와; 상기 타이밍벨트 구동장치부의 전방에 설치되는 픽커연결부를 포함하며, 상기 타이밍벨트 구동장치부는, 축베이스(216)의 상단에 서보모터 (210) 및 감속수단 즉, 감속기(212)가 설치되고, 풀리축(214)이 상기 서보모터(210) 및 감속기(212)에 연결되며, 상하 2개의 타이밍벨트(220,222)의 일측 내주면이 상기 풀리축(214)의 회전과 연동하여 회동되게끔 설치된다.

또한, 상기 타이밍벨트(220,222)의 타측 내주면에 상,하 풀리부가 회동 가능하게 설치되며, 상기 상,하 풀리부는, 베이스 플레이트(230)의 상,하면에 가이더 (232) 및 가이더커버(234)가 순차적으로 설치되고, 상기 가이더커버(234) 상단에 상,하부 커버(236,236-1)가 대칭되게 설치되며, 상기 상,하부 커버(236,236-1)에는 상,하부 풀리(238a,238b)가 상기 타이밍벨트(220,222)를 통해 회동가능하게 설치된다.

상기 픽커연결부는, 도 8에 도시된 바와 같이, 장방형 베이스부재(240)의 전면에 육면체 형상의 가이더(242)가 결합되고, 상기 가이더(242)상에 좌우 각각 1쌍의 가이더커버(244)가 결합되며, 상기 가이더커버(244)의 전면에 1쌍의 가이더하우 징(250)이 결합된다.

또한, 상기 가이더하우징(250)의 내측에 가이더(252) 및 가이더커버(254)가 순차적으로 결합되고, 상기 가이더하부징(250)의 하부에 1쌍의 센터링 플레이트(260,270)가 각각 결합되며, 내,외측 커버(262,272;264,274)가 상기 센터링 플레이트(260,270)에 결합된다.

상기한 픽커연결부는 상기 타이밍벨트(220)(222)의 일측을 감싸도록 설치됨에 따라 타이밍벨트(220)(222)의 회동시 이에 연동되어 좌우 회동이 이루어진다.

상기 픽커부는, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같으며, 동일한 구성 요소에 대하여는 1개의 구성 요소를 중심으로 설명한다. 픽커부(300)는 소정 형상을 갖는 다수(본 발명에서는 5개)의 LM가이드(310,320,330,340,350)에 픽커(311,321,331,341,351)가 설치되고, 실린더(312)가 상기 픽커(311,321,331,341,351)에 나란하게 스프링(313)을 통해 신축 자재하게 설치되며, 상기 LM가이드(310,320,330,340,350)의 상부에 1쌍의 샤프트(315)가 연결된다.

또한, 상기 샤프트(315)의 상부에 커버부가 설치되며, 상기 커버부는 다수의 베이스커버(317a,327a,337a,347a,357a) 중, 베이스커버(317a,357a) 전,후방에 전면 및 후면커버(317b,357b;317d,357d)가 각각 결합되고, 상기 베이스커버(317a,357a) 상단에 샤프트 연결부재(317c,357d)가 스프링(317e)을 통해 결합된다.

상기 픽커 상하 구동부는, 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 캠축 연결부재(150)의 전면에 수직 LM가이드(152)와, LM블럭(154)이 차례로 결합되고, 서보모터(180)가 상기 캠축 연결부재(150)를 종방향으로 관통하여 캠(182)연결되며, 상기 LM블럭(154)의 전면에 대략 'Y'자 형상의 단면을 갖는 베이스 플레이트(160)가 설치되는 한편, 상기 베이스 플레이트(160)의 전면에 2개의 에어실린더(170,172)가 연결부재(174) 상단에서 상기 베이스 플레이트(160)에 결합된다.

이하에서는 상기와 같은 구성을 갖는 본 발명의 작용을 설명한다.

상기 서보모터(120)의 구동에 의해 이에 따른 회전력이 구동풀리(124) 및 벨트, 그리고 종동풀리(148)에 의해 전달됨에 따라 상기 캠축(140)이 양 가이드 블럭 (142)(144)사이에서 좌우 회동된다.

또한, 상기 서보모터(210)의 구동에 따라 풀리축(214)이 회전하고, 이 회전력은 상기 타이밍벨트(220)(222)를 통해 상기 상,하부 풀리(238a)(238b)에 전달되어 타이밍벨트(220)(222)의 회동이 이루어진다.

이때, 전술한 바와 같이 본 발명에 따른 픽커연결부가 상기 타이밍벨트(220)(222)에 연결되어 있으므로 상기 타이밍벨트(220)(222)의 회동 과정에서 픽커연결부 또한, 타이밍벨트(220)(222)의 회동과 연동되어 좌우 회동이 이루어진다.

이에 따라 본 발명에 따른 진공 흡착 픽커장치를 통해 전술한 고객트레이(10)의 공간부(12)에 수납된 소자(14)를 흡착하여 위치결정블럭(20)에 형성된 공간부(22)내로 순차 이송시키고자 할 경우, 상술한 바와 같이 상기 캠축구동부(100)를 구동시키고, 상기 타이밍벨트 구동부(200)를 통해 타이밍 벨트(220)(222)를 구동시킨다.

위와 같은 과정에서 개별 선택을 원하는 픽커(311~351)의 상부에서 서보모터(110)(210)의 구동을 멈추고, 상기 서보모터(180) 및 이에 연결된 캠(182)의 구 동과, 이에 연동되는 상기 수직 LM가이드(152)를 통해 에어실린더(170)(172)를 하강시킨다.

이에 따라 상기 에어실린더(170)(172)는 상기 실린더(312)를 통해 특정 픽커를 작동시키고, 픽커(311~351)는 상기 고객트레이(10)의 공간부(12)에 수납된 소자(14)를 흡착한 후, 상기 위치결정블럭(20)에 형성된 공간부(22)내로 이송시킨다.

본 발명에 설치되는 픽커의 수가 가령 8개이고, 위치결정블럭(20)에 형성된 공간부(22)의 수가 5개일 경우, 본 발명에 따른 선택적 진공 흡착 픽커장치를 통해 픽커를 5개 선택한 후, 고객트레이(10)의 소자(14)를 5개 흡착하여 위치결정블럭(20)에 형성된 공간부(22)내로 이송하는 것이 가능하다.

또한, 본 발명에 설치되는 픽커의 수가 가령 5개이고, 위치결정블럭(20)에 형성된 공간부(22)의 수가 8개일 경우, 픽커를 통해 고객트레이(10)의 소자(14)를 5개 흡착하여 위치결정블럭(20)에 형성된 공간부(22)내로 이송시키고, 재차 상기 픽커를 3개 선택하여 고객트레이(10)에 남아 있는 3개의 소자(14)를 위치결정블럭(20)에 남아 있는 3개의 공간부(22)에 이송시킬 수 있으므로, 픽커(311~351)의 개별 선택을 통해 원하는 갯수의 반도체 소자(14) 이송이 가능하게 된다.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위 가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 반도체 소자의 수에 따라 픽커를 선택적으로 구동시켜서 상기 반도체 소자를 이송할 수 있는 효과가 있다.

또한, 상기 반도체 소자의 픽업에 따른 작업성이 향상되는 유용한 효과가 있다.

Claims

핸들러의 진공 흡착 픽커장치에 있어서,

동력을 발생시키는 제 1구동수단에 의해 캠축을 정,역 방향으로 회동시키는 캠축 구동부;

상기 캠축 구동부의 하부에 설치되어 제 2구동수단에 의해 복수의 타이밍 벨트를 구동시키는 타이밍벨트 구동부;

상기 타이밍 벨트 구동부의 전방에 설치되어 반도체 소자를 픽업하는 픽커부; 그리고

상기 캠축 구동부와 연동되게 설치되며, 제 3구동수단에 의해 상기 픽커부를 선택적으로 상하 이송시키는 픽커 상하 구동부를 포함하여 구성되는 핸들러의 진공 흡착 픽커장치.
제 1항에 있어서,

상기 캠축 구동부는,

전면에 LM가이드와 LM블럭이 설치된 베이스플레이트와, 이 베이스플레이트에 부착된 서보모터와, 이 서보모터에 축결합된 구동풀리와, 이 구동풀리에 벨트연결된 종동풀리와, 이 종동풀리를 관통하여 회동 가능하게 설치된 캠축을 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러의 진공 흡착 픽커장치.
제 1항에 있어서,

상기 타이밍벨트 구동부는, 타이밍벨트 구동장치부와; 상기 타이밍벨트 구동장치부의 전방에 설치되는 픽커연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러의 진공 흡착 픽커장치.
제 3항에 있어서,

상기 타이밍벨트 구동장치부는,

축베이스와, 이 축베이스에 설치된 서보모터 및 감속수단과, 상기 서보모터 및 감속수단에 연결된 풀리축과, 일측 내주면이 상기 풀리축의 회전과 연동하여 회동되는 상하 복수의 타이밍벨트와, 이 타이밍벨트의 타측 내주면에 회동가능하게 설치된 상,하 풀리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러의 진공 흡착 픽커장치.
제 4항에 있어서,

상기 상,하 풀리부는,

베이스 플레이트와, 이 베이스 플레이트의 상,하면에 설치된 가이더 및 가이 더커버와, 상기 가이더커버 상단에서 대칭되게 설치된 상,하부 커버와, 상기 상,하부 커버에 회동가능하게 설치된 상,하부 풀리를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러의 진공 흡착 픽커장치.
제 3항에 있어서,

상기 픽커연결부는,

베이스부재와, 이 베이스부재의 전면에 결합되는 가이더와, 이 가이더상에 결합되는 다수의 가이더커버와, 이 가이더커버의 전면에 결합되는 복수의 가이더하우징과, 상기 가이더하우징에 수납되는 가이더 및 가이더커버와, 상기 가이더하부징의 하부에 결합되는 센터링 플레이트와, 이 센터링 플레이트에 결합되는 내,외측 커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러의 진공 흡착 픽커장치.
제 1항에 있어서,

상기 픽커부는,

다수의 LM가이드와, 이 LM가이드에 설치된 픽커와, 이 픽커에 나란하게 설치되며 신축 자재한 실린더와, 상기 LM가이드의 하부에 연결된 고정부재와, 상기 LM가이드의 상부에 설치된 복수의 샤프트와, 이 샤프트의 상부에 설치된 커버부와, 상기 커버부 상부에 설치된 샤프트 연결부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들 러의 진공 흡착 픽커장치.
제 1항에 있어서,

상기 픽커 상하 구동부는,

상기 캠축이 횡방향으로 관통하는 캠축 연결부재와, 이 캠축 연결부재의 전면에 연결된 수직 LM가이드와, 상기 수직 LM가이드상에 결합된 LM블럭과, 상기 캠축 연결부재를 종방향으로 관통하여 캠연결되는 서보모터와, 상기 LM블럭의 전면에 설치되는 베이스 플레이트와, 이 베이스 플레이트의 전면에 연결되는 복수의 에어실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러의 진공 흡착 픽커장치.