KR20110123696A - 반도체 처리 장치의 카세트 이송 로봇 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 처리 장치의 카세트 이송 로봇에 관한 것으로, 카세트(110)가 저장되는 스토리지 룸(100)의 정 중앙에 위치되는 베이스(1)와, 베이스(1)의 상부에 설치되고 상기 베이스(1)에 대해 승하강가능한 제1 암(20)과; 상기 제1 암(20)의 상부에 직교하게 설치되고 일정한 길이를 가지는 사각통형상이며 상기 제1 암(20)에 대하여 회전가능한 제2 암(30)과; 상기 제2 암(30)의 전면에 설치되고 상기 제2 암(30)에 대해 길이방향 이동이 가능하며 상기 제2 암(30)의 회전시 상기 제2 암(30)과 일체로 회전되는 제3 암(40)과; 상기 제3 암(40)의 선단에 입출가능하게 구비되며 상기 스토리지 룸 내의 카세트와 접촉하여 상기 카세트(110)를 고정 지지하는 홀드 부재(50)와; 상기 제1 암(20)을 승하강시키고 상기 홀드 부재(50)를 상기 제3 암(40)에 대해 입출시키는 기어수단(60,90); 및 상기 제2 암을 회전시키는 회전수단(70)을 포함한다.
본 발명은 카세트 이송 로봇의 이동 방향에 대한 제약이 없어져, 카세트 이송 로봇이 스토리지 룸에서 활동할 수 있는 영역이 극대화될 수 있는 이점이 있다.

Description

반도체 처리 장치의 카세트 이송 로봇{Cassettes transportation robot of semiconductor processing device}

본 발명은 반도체 생산 소자인 실리콘 웨이퍼를 열처리하는 반도체 처리 장치에 있어서, 웨이퍼를 저장하는 저장 장소에서 웨이퍼를 로드 포트 모듈에 공급하는 기술에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 한정된 웨이퍼 저장 장소를 효율적으로 사용하여 많은 웨이퍼를 저장하고 이를 처리하여 웨이퍼 처리에 있어서의 효율성을 높이는 기술에 관한 것이다.

반도체 기술의 발전이 가속화되면서, 반도체 생산에 필요한 웨이퍼를 처리하는 기술에 대한 연구가 발전하고 있다. 웨이퍼는 반도체 제조에 사용되는 재료로서, 실리콘 웨이퍼는 다양한 처리 공정을 통해 반도체 제조에 사용될 수 있는 소재로 공급되게 된다.

실리콘 웨이퍼는 실리콘 반도체의 소재의 종류 결정을 원주상에 성장시킨 주괴를 얇게 깍아낸 원 모양의 판이다. 실리콘 웨이퍼를 결정으로 육성하는 과정에서는 산소가 결합하여 실리콘 웨이퍼상에 불순물을 통해 제어된 저항값이 원하는 저항값과 어긋나는 현상이 발생할 수 있다.

따라서, 산소를 웨이퍼로부터 분리하여 양질의 웨이퍼를 생산하기 위하여 열처리 공정이 필요하다. 또한, 열처리 공정은 웨이퍼 가공응력의 완화나 웨이퍼 결정의 결함을 감소하기 위하여 필요하기도 하다.

반도체 처리 장치에 있어서 웨이퍼를 열처리하기 전 후에 미처리된 웨이퍼 또는 처리된 웨이퍼를 저장하는 스토리지 룸이 존재할 수 있다. 스토리지 룸에는 복수의 웨이퍼가 저장되어 있을 수 있으며, 복수의 웨이퍼는 복수의 카세트(Cassette)들에 저장되어 있을 수 있다. 카세트는 풉(Foup)이라고도 불리우며, 일정한 형태를 갖고 복수의 웨이퍼를 웨이퍼 각각이 접촉하지 않도록 하여 적층하여 저장하는 장치를 말한다.

따라서, 스토리지 룸에는 소정 개수의 웨이퍼를 저장하는 복수의 카세트들이 일정공간을 차지하고 저장되어 있을 수 있다. 반도체를 처리함에 있어서 한 스토리지 룸에 몇 개의 카세트들을 저장할 수 있으냐는 반도체 처리의 효율성 및 한번에 처리할 수 있는 웨이퍼들의 개수와 관련하여 중요한 요소가 되고 있다.

본 발명은 소정 개수의 웨이퍼를 저장하는 복수의 카세트를 저장하는 반도체 처리 장치의 스토리지 룸에 있어서, 스토리지 룸의 활용을 극대화하여 많은 개수의 카세트를 저장하는데 그 목적이 있다. 더욱 자세하게는, 많은 개수의 카세트를 저장함에 있어서, 카세트를 로드 포트 모듈에 운반하여 웨이퍼 처리 장치에 공급하기 위한 카세트 이송 로봇에 있어서, 카세트 이송 로봇이 스토리지 룸에 존재하는 다방향의 카세트에 모두 접근할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 처리 장치의 카세트 이송 로봇은, 카세트가 저장되는 스토리지 룸의 정 중앙에 위치되는 베이스와; 상기 베이스의 상부에 설치되고 상기 베이스에 대해 승하강가능한 제1 암과; 상기 제1 암의 상부에 직교하게 설치되고 일정한 길이를 가지는 사각통형상이며 상기 제1 암에 대하여 회전가능한 제2 암과; 상기 제2 암의 전면에 설치되고 상기 제2 암에 대해 길이방향 이동이 가능하며 상기 제2 암의 회전시 상기 제2 암과 일체로 회전되는 제3 암과; 상기 제3 암의 선단에 입출가능하게 구비되며 상기 스토리지 룸 내의 카세트와 접촉하여 상기 카세트를 고정 지지하는 홀드 부재와; 상기 제1 암을 승하강시키고 상기 홀드 부재를 상기 제3 암에 대해 입출시키는 기어수단; 및 상기 제2 암을 회전시키는 회전수단을 포함한다.

상기 기어수단은 랙 기어와; 상기 랙 기어와 맞물리는 피니언 기어; 및 상기 피니언 기어를 회전시키는 구동모터로 구성된다.

상기 회전수단은 상기 제1 암과 제2 암의 연결부분에 설치되는 회전모터이다.

상기 제 3암을 상기 제2 암에 대해 길이방향으로 이동시키는 평행 이동수단을 더 포함하며, 상기 평행 이동수단은 상기 제2 암의 일측에 설치되는 구동모터와, 상기 구동모터에 연결된 구동풀리 및 상기 구동풀이와 일정간격을 두고 이격되게 설치된 종동풀리와, 상기 구동풀리와 종동풀리를 구동 연결하는 타이밍벨트이다.

상기 제 3암을 상기 제2 암에 대해 길이방향으로 이동시키는 평행 이동수단을 더 포함하며, 상기 평행 이동수단은 상기 제2 암의 길이방향으로 설치되는 랙 기어와, 상기 랙 기어와 맞물리는 피니언 기어, 및 상기 피니언 기어를 회전시키는 구동모터이다.

상기 홀드 부재는 선단에 지지판과, 상기 지지판에 돌출 형성되며 상기 카세트에 형성된 삽입홈에 대응되는 삽입돌부를 구비한다.

본 발명에 의하면, 카세트 이송 로봇의 이동 방향에 대한 제약이 없어져, 카세트 이송 로봇이 스토리지 룸에서 활동할 수 있는 영역이 극대화될 수 있다. 이에 따라서, 카세트 이송 로봇에 의해 카세트를 이송할 수 있는 영역이 늘어나게 되어 카세트를 적층하여 저장할 수 있는 스토리지 룸 내의 공간이 늘어나게 되는 효과가 있다. 이에 따라, 더욱 많은 카세트를 스토리지 룸 내에 저장할 수 있어 웨이퍼 처리 장치의 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 처리 장치의 카세트 이송 로봇을 보인 사시도.
도 2는 본 발명 실시예로 제1 암의 기어수단과 제2 암의 회전수단을 보인 부분 정단면도.
도 3은 본 발명 실시예로 제3 암의 평행 이동수단을 보인 부분 정단면도.
도 4는 본 발명 실시예로 제4 암의 기어수단을 보인 부분 평단면도.
도 5 내지 도 9는 본 발명 실시예의 사용 상태도.

이하 본 발명의 실시예에 따른 반도체 처리 장치의 카세트 이송 로봇에 대하여 설명하기로 한다.

본 발명에서 반도체 처리 장치는 반도체 생산 소자인 실리콘 웨이퍼를 열처리하는 장치를 의미한다. 반도체 처리 장치에는 실리콘 웨이퍼를 무산소 환경에서 저장하고, 저장된 실리콘 웨이퍼를 처리 장치로 공급하며, 처리된 웨이퍼를 회수하여 다시 저장할 수 있는 구성이 필요하다. 미처리된 웨이퍼 및 처리된 웨이퍼를 저장하는 장소를 스토리지 룸이라고 한다.

한편, 스토리지 룸 내에는 복수의 웨이퍼를 저장하는 방식에 있어서, 복수의 웨이퍼를 서로 접촉하지 않도록 적층하여 저장하는 카세트가 복수개 존재할 수 있다. 카세트는 상기 언급한 바와 같이 풉이라고도 칭해진다. 카세트는 외부에서 웨이퍼를 스토리지 룸 내에 이송할 때, 웨이퍼와 산소의 접촉을 차단하고 이송을 편리하게 하기 위한 장치이다. 카세트 내에는 소정 개수의 웨이퍼가 서로 접촉되지 않은 상태로 적층되어 있다.

스토리지 룸에는 상기 언급한 카세트가 복수개 저장되어 있을 수 있다. 이에 따라서, 스토리지 룸에서 웨이퍼를 열처리 장치에 공급하기 위해서는 카세트의 개폐를 위한 장치인 로드 포트 모듈이 필요하다. 로드 포트 모듈은 보통 스토리지 룸과 웨이퍼 이송 로봇 사이에 설치되어 있다.

스토리지 룸에서 로드 포트 모듈로 카세트를 운반하는 장치가 스토리지 룸에 설치되어 있다. 상기 언급한 장치가 바로 카세트 이송 로봇이다. 카세트 이송 로봇은 스토리지 룸 내에 저장된 복수의 카세트 중 어느 하나를 로드 포트 모듈에 전달하는 기능을 수행한다.

본 발명의 실시예에 따른 반도체 처리 장치의 카세트 이송 로봇은, 도 1에 도시된 바와 같이, 베이스(1)와, 베이스(1)의 상부에 설치되고 베이스(1)에 대해 승하강가능한 제1 암(20)과, 제1 암(20)의 상부에 직교하게 설치되고 일정한 길이를 가지는 사각통형상이며 제1 암(20)에 대하여 회전가능한 제2 암(30)과, 제2 암(30)의 전면으로 설치되고 제2 암(30)에 대해 길이방향 이동이 가능하며 제2 암(30)의 회전시 상기 제2 암(30)과 일체로 회전되는 제3 암(40)과, 제3 암(40)이 길이방향으로 더 연장되도록 제3 암(40)의 선단에 구비되고 상기 제3 암(40)에 대해 입출가능한 홀드 부재(50)를 포함한다.

베이스(1)는 카세트 이송 로봇의 몸체를 이루는 부분으로 카세트(110)가 저장되는 스토리지 룸(100)의 중앙에 위치되며 제1 암(20)을 지지하는 기능을 수행한다.

도 2에 도시된 바에 의하면, 제1 암(20)은 베이스(1)의 상부에 기어수단(60)을 매개로 승하강 가능하게 설치된다. 기어수단(60)은 랙 기어(61)와, 랙 기어(61)와 맞물리는 피니언 기어(63) 및 피니언 기어(63)를 회전시키는 구동모터(미도시)로 구성될 수 있다. 랙 기어(61)에 제1 암(20)이 연결되어 있고, 베이스(1)에 설치된 피니언 기어(63)가 구동모터를 통해 회전 운동을 함으로써, 제1 암은 베이스(1)에 대해 승하강 가능하다.

제1 암(20)은 제2 암(30)의 중앙 부분에 위치하여 제2 암(30)의 평형을 유지시키는 기능을 수행한다.

제2 암(30)은 제1 암(20)에 회전 가능하게 설치된다. 제2 암(30)의 회전은 스토리지 룸(100) 내에 저장된 다양한 위치의 카세트(110)에 홀드 부재(50)가 접촉할 수 있도록 하기 위한 것이다.

제2 암(30)의 회전을 위한 회전수단(70)이 구비된다. 회전수단(70)은 제1 암(20)과 제2 암(30)의 연결부분에 설치되는 회전축(72) 및 회전축(72)의 단부에 연결된 회전모터(71)일 수 있다. 회전수단(70)은 제2 암(30)을 회전시켜 홀드 부재(50)가 카세트(110)에 접촉할 수 있도록 구성한 것이라면 어느 것이나 채용가능하다.

또한, 도시되지는 않았지만, 회전수단은 회전모터 및 복수의 기어를 포함할 수 있다. 회전모터의 회전에 따라서 홀드 부재가 일정 각속도로 회전할 수 있도록 기어를 설치하여 홀드 부재의 각속도를 조절할 수 있다. 홀드 부재의 각속도는 카세트 내부에 저장된 웨이퍼의 손실을 방지할 수 있을 만큼의 각속도가 바람직하다.

또한, 회전수단은 베이스에 구비되어 제1 암을 회전시키는 회전모터일 수 있다. 제1 암의 회전에 의해 제2 암이 일체로 회전되는 구성일 수 있다.

회전수단(70)으로 인해, 카세트 적층군은 스토리지 룸(100) 내의 모든 방향을 사용할 수 있다. 회전수단(70)이 없을 경우 스토리지 룸(100) 내의 일면만을 사용할 수 있었던 반면, 회전수단(70)을 구비했을 경우 홀드 부재(50)의 방향을 회전할 수 있어 윗면과 밑면을 제외한 다른 복수의 면에 카세트(110)를 적층하고 카세트 이송 로봇(1)을 모든 면의 카세트(110)에 접촉할 수 있다.

또한, 제2 암(30)은 제3 암(40)을 좌우 이동 즉, 제2 암(30)에 대해 길이방향으로 이동시키는 동시에 지지하는 기능을 수행한다. 제2 암(30)은 일정한 길이를 가지는 사각통형상으로 내부에 제3 암(40)을 제2 암(30)의 길이방향으로 이동시키는 평행 이동수단(80)을 구비한다.

도 3에 도시된 바와 같이, 평행 이동수단(80)은 제2 암(30)의 내부 일측에 설치되는 구동모터(미도시)와, 구동모터에 연결된 구동풀리(81) 및 구동풀리(81)와 일정간격을 두고 이격되게 설치된 종동풀리(83)와, 구동풀리(81)와 종동풀리(83)를 구동 연결하는 타이밍 벨트(85)를 포함하는 구성일 수 있다.

또한, 도시되지는 않았지만, 평행 이동수단(80)은 제2 암(30)의 길이방향으로 설치되는 랙 기어와, 랙 기어와 맞물리는 피니언 기어 및, 피니언 기어를 회전시키는 구동모터일 수 있다. 평행 이동수단은 제3 암(40)의 좌우 이동을 가능하게 하여 홀드 부재(50)가 카세트(110)에 접촉될 수 있도록 한 구성이라면 어느 것이나 채용가능하다.

제3 암(40)은 일측이 제2 암(30)의 타이밍 벨트(85) 또는 렉 기어에 브라켓을 매개로 연결되고, 구동모터의 구동에 따른 타이밍 벨트의 회전 또는 렉 기어의 이동에 의해 제2암의 길이방향으로 이동 가능하다. 이를 위해 제2 암(30)의 전면에는 제3 암(40)의 일측과 브라켓(87)이 연결되고 이동되는 이동홈(31)이 길이방향으로 형성되어 있다.

제3 암(40)은 타측이 홀드 부재(50)와 연결되어 있다. 제3 암(40)은 홀드 부재(50)가 카세트(110)를 고정하기 위해 카세트(110)에 접근하고, 고정된 카세트(110)를 저장 위치로부터 빼내며, 카세트(110)를 로드 포트 모듈(200)에 공급하기 위하여 홀드 부재(50)를 전후로 이동시키는 기능을 수행하는 동시에 홀드 부재(50)를 지지하는 기능을 수행한다.

홀드 부재(50)는 카세트(110)를 스토리지 룸(100) 내의 저장 위치로부터 로드 포트 모듈(200)까지 전달하는데 있어서 카세트(110)와 접촉하여 카세트(110)를 고정 및 지지하는 부분을 의미한다. 어느 방법으로든 카세트(110)와 접촉하여 있고, 카세트(110)를 고정 및 지지하는 구성이라면 홀드 부재(50)에 포함될 수 있다.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 홀드 부재(50)는 선단에 지지판(51)과, 지지판(51)의 전면에 돌출 형성되며 카세트(110)에 형성된 삽입홈(미도시)에 대응되는 삽입돌부(53)를 구비한다. 삽입돌부(53)는 예를 들어 음식물을 찍어 먹을 수 있는 포크와 같은 형상일 수 있다. 이때, 카세트(110)에 형성된 삽입홈은 카세트(110)의 고정을 위해 카세트의 외부면에 존재할 수 있다.

홀드 부재(50)는 카세트(110)를 고정하는 역할을 수행하고, 카세트(110)가 저장 위치로부터 로드 포트 모듈(200)로 움직일 때 카세트(110)의 심한 움직임을 방지하여 웨이퍼의 과다한 진동을 방지할 수 있도록 버퍼용 부재 등을 포함하고 있을 수 있다. 버퍼용 부재는 카세트에도 존재할 수 있다.

홀드 부재(50)의 전후 이동을 위하여 홀드 부재(50)는 제3 암(40)에 대해 기어수단(90)을 매개로 입출가능하다. 기어수단(90)은 제3 암(40)에 대해 홀드 부재(50)의 전후 이동을 가능하게 하는 구성이라면 어느 것이나 가능하다.

예를 들어, 기어수단(90)은 랙 기어(91)와, 랙 기어(91)와 맞물리는 피니언 기어(93) 및 피니언 기어(93)를 회전시키는 구동모터(미도시)로 구성될 수 있다. 랙 기어(91)에 홀드 부재(50)가 연결되어 있고, 제3 암(40)에 설치된 피니언 기어(93)가 구동모터를 통해 회전 운동을 함으로써, 홀드 부재(50)는 제3 암(40)에 대해 전후 이동 즉, 입출이 가능하다.

또한, 도시되지는 않았지만, 기어수단(90)은 벨트 및 기어 장치를 이용하여 연결되어 있을 수도 있다. 또한, 제3 암 자체가 랙 기어일 수 있다. 이때, 피니언 기어는 제2 암에 설치되어 있고, 제2 암에 피니언 기어 및 피니언 기어를 회전시키는 구동모터가 설치되어 제3 암을 전후 이동시킬 수 있으며, 제3 암의 선단측에 홀드 부재가 고정되어 있을 수 있다.

한편, 제1 암(20)과 제2 암(30)의 연결관계는 제2 암(30)이 제1 암(20)에 대해 직각을 이루면서 설치된 구조를 갖는다. 또한, 제1 암(20)과 제2 암(30)의 연결방향은 제3 암(40)과 홀드 부재(50)의 연결방향과 직각을 이룰 수 있는데, 이는 제3 암(40)이 홀드 부재(50)를 카세트 방향으로 전후 이동시키기 위한 방향으로 설치되고 홀드 부재(50)는 복수의 카세트(110)가 적층된 각 방향의 적층군 중 어느 하나를 선택하여 이동해야 하기 때문이다.

본 발명에서 스토리지 룸(100)은 직육면체로 설정되어 있을 수 있고, 카세트 적층군은 윗면과 밑면을 제외한 스토리지 룸(100)의 각 면에 존재할 수 있다.

이때, 제3 암(40)은 한 면에 존재하는 카세트 적층군을 선택하여야 한다. 이를 위해 제3 암(40)은 지면과 평형을 이루면서 제2 암(30)의 길이방향을 따라 좌우 이동하여 카세트 적층군을 선택할 수 있는 것이다. 따라서 제2 암(30)은 제3 암(40)을 평행으로 이동시켜야 한다. 이에 따라서 제3 암(40)과 홀드 부재(50)의 연결방향과 직각을 이루고 지면과 평행한 제2 암(30)이 제1 암(20)에 설치되고, 제3 암(40)은 제2 암(30)의 길이방향으로 좌우 이동하면서 카세트 적층군을 선택할 수 있는 것이다.

이러한 제1 암(20) 내지 제3 암(40)의 구성은 스토리지 룸(100) 내의 모든 방향을 사용할 수 있게 한다.

이하에서는 본 발명의 반도체 처리 장치의 카세트 이송 로봇을 이용하여 스토리지 룸 내의 카세트를 로드 포트 모듈로 이송하는 과정을 설명하기로 한다.

도 5에 도시된 바와 같이, 스토리지 룸(100)을 직육면체라고 가정하면 윗면 및 밑면을 제외한 다른 4개의 면에 카세트(110)를 적층하고 카세트 이송 로봇(1)은 스토리지 룸(100)의 중앙에 배치된다.

이 상태에서, 스토리지 룸(100)의 카세트(110)를 로드 포트 모듈(200)로 운반하기 위해선 도 6에 도시된 바와 같이, 카세트 이송 로봇(1)의 제2 암(30)을 회전시켜 홀드 부재(50)가 해당 카세트(110) 적층군 방향을 향하도록 한다. 이때, 제2 암(30)의 회전은 제1 암(20)에 설치된 회전수단이 회전함에 의해 360도 어느 방향이든 회전 가능하다.

이 후, 도 7에 도시된 바와 같이, 제3 암(40)을 제2 암(30)의 길이방향을 따라 이동시켜 홀드 부재(50)의 선단이 해당 카세트(110) 적층군과 마주하는 위치에 위치하게 하고, 도 8에 도시된 바와 같이, 홀드 부재(50)를 전진시켜 홀드 부재(50)의 삽입돌부(53)가 카세트(110)의 삽입홈에 삽입되게 한다.

이 상태에서 제1 암(20)을 베이스(1)에 대해 승강시켜 삽입돌부(53)가 삽입홈 상부면을 받쳐 상기 카세트(110)를 지지하도록 한 후, 도 9에 도시된 바와 같이, 제3 암(40)을 제2 암(30)의 길이방향을 따라 이동시켜 홀드 부재(50)를 로드 포트 모듈(200)과 마주하게 한 다음, 홀드 부재(50)를 더 전진시켜 카세트(110)가 로드 포트 모듈(200)의 상부에 위치하게 한다.

이 후, 제1 암(20)을 하강시켜 카세트(110)를 로드 포트 모듈(200)의 상면에 안착시키고 그 상태에서 홀드 부재(50)를 수평하게 후진시키면 된다. 상술한 과정에 의해 스토리지 룸(100) 내에 저장된 복수의 카세트(110) 중 어느 하나를 로드 포트 모듈(200)로 전달하는 기능이 수행된다.

로드 포트 모듈(200)로 전달된 카세트(110)는 반대편 룸 방향의 도어가 열리면서 카세트(110) 내부가 개방되고 웨이퍼 이송 로봇(300)이 카세트(110) 내에 적층된 웨이퍼를 열처리 장치로 이송할 수 있게 되는 것이다.

상기 구성을 갖는 카세트 이송 로봇(1)을 통해, 스토리지 룸(100) 내에 저장할 수 있는 카세트의 수는 비약적으로 증가할 수 있으며, 이를 통해 카세트(110)의 외부로의 반출을 위해 스토리지 룸(100)을 개방하는 횟수가 줄어들 것이고, 한 번의 스토리지 룸(100)의 개방을 통해 처리할 수 있는 웨이퍼의 수 역시 증가하여, 웨이퍼 처리에 있어서 수율의 상승을 기대할 수 있을 것이다.

1:카세트 이송 로봇 10:베이스
20:제1 암 30:제2 암
31:이동홈 40:제3 암
50:홀드 부재 51:지지판
53:삽입돌부 60,90:기어수단
61,91:랙 기어 63,93:피니언 기어
70:회전수단 71:회전모터
80:평행 이동수단 81:구동풀리
83:종동풀리 85:타이밍 벨트
87:브라켓 100:스토리지 룸
110:카세트(카세트 적층군) 200:로드 포트 모듈
300:웨이퍼 이송 로봇

Claims (6)

1. 카세트가 저장되는 스토리지 룸의 정 중앙에 위치되는 베이스와;
   상기 베이스의 상부에 설치되고 상기 베이스에 대해 승하강가능한 제1 암과;
   상기 제1 암의 상부에 직교하게 설치되고 일정한 길이를 가지는 사각통형상이며 상기 제1 암에 대하여 회전가능한 제2 암과;
   상기 제2 암의 전면에 설치되고 상기 제2 암에 대해 길이방향 이동이 가능하며 상기 제2 암의 회전시 상기 제2 암과 일체로 회전되는 제3 암과;
   상기 제3 암의 선단에 입출가능하게 구비되며 상기 스토리지 룸 내의 카세트와 접촉하여 상기 카세트를 고정 지지하는 홀드 부재와;
   상기 제1 암을 승하강시키고 상기 홀드 부재를 상기 제3 암에 대해 입출시키는 기어수단; 및
   상기 제2 암을 회전시키는 회전수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 처리 장치의 카세트 이송 로봇.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 기어수단은
   랙 기어와;
   상기 랙 기어와 맞물리는 피니언 기어; 및
   상기 피니언 기어를 회전시키는 구동모터로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 처리 장치의 카세트 이송 로봇.
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 회전수단은
   상기 제1 암과 제2 암의 연결부분에 설치되는 회전모터인 것을 특징으로 하는 반도체 처리 장치의 카세트 이송 로봇.
4. 청구항 1에 있어서,
   상기 제 3암을 상기 제2 암에 대해 길이방향으로 이동시키는 평행 이동수단을 더 포함하며,
   상기 평행 이동수단은 상기 제2 암의 일측에 설치되는 구동모터와,
   상기 구동모터에 연결된 구동풀리 및 상기 구동풀이와 일정간격을 두고 이격되게 설치된 종동풀리와,
   상기 구동풀리와 종동풀리를 구동 연결하는 타이밍벨트인 것을 특징으로 하는 반도체 처리 장치의 카세트 이송 로봇.
5. 청구항 1에 있어서,
   상기 제 3암을 상기 제2 암에 대해 길이방향으로 이동시키는 평행 이동수단을 더 포함하며,
   상기 평행 이동수단은 상기 제2 암의 길이방향으로 설치되는 랙 기어와, 상기 랙 기어와 맞물리는 피니언 기어, 및
   상기 피니언 기어를 회전시키는 구동모터인 것을 특징으로 하는 반도체 처리 장치의 카세트 이송 로봇.
6. 청구항 1에 있어서,
   상기 홀드 부재는 선단에
   지지판과, 상기 지지판에 돌출 형성되며 상기 카세트에 형성된 삽입홈에 대응되는 삽입돌부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 처리 장치의 카세트 이송 로봇.

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