CN112775984A - 半导体清洗设备及其机械臂 - Google Patents
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Abstract
本申请实施例提供了一种半导体清洗设备及其机械臂。该机械臂包括：可移动箱体，该箱体包括在其移动方向上相对设置的第一侧壁和第二侧壁，以及与第一侧壁和第二侧壁相邻的第三侧壁，第一侧壁和第二侧壁可在外力作用下发生形变，第三侧壁上开设有缺口；位于箱体内的基板组件，其与第一侧壁和第二侧壁活动连接，且贴近缺口设置，基板组件能在第一侧壁和/或第二侧壁发生形变时相对于箱体移动，基板组件的内侧面用于安装机械手臂组件，基板组件的外侧面用于封闭缺口；设置于第三侧壁的外侧面及基板组件的外侧面上的检测组件，用于在检测到相对运动时，使箱体停止移动。本申请实施例提供的机械臂检测面积较大，大幅提高了安全性能。
Description
技术领域
本申请涉及半导体加工技术领域，具体而言，本申请涉及一种半导体清洗设备及其机械臂。
背景技术
目前，在半导体清洗设备中的片槽式湿法清洗设备中，机械臂起到传递晶圆或工件的作用。在日常工作中机械臂常常伴随着机械式伤害的危险隐患，尽管在设备硬件互锁回路里面加入了门互锁开关来实现任一门开启后即刻停止机械臂的安全互锁功能，但在某些调试、测试、检修等情况下，需要近距离调试机械臂的动作性能和位置设定，操作人员可能将门互锁屏蔽掉且工作在机械臂周围，在操作不慎或违规操作情况下，工作在机械臂附近的操作人员将处于危险之中，存在造成机械安全事故的隐患，因此在机械臂上加装防撞结构是非常必要的。
现有技术中机械臂的箱体的侧板外面均安装有带有安装基座的橡胶材质防撞条，机械臂在横向水平方向移动与障碍物发生碰撞时，防撞条被撞发生弹性形变，防撞条属于电气制动控制回路中的传感器，其发生形变将触发安全控制回路的制动动作。但是由于碰撞接触点必须要接触到防撞条且正面接触的应力使其表面发生较大弹性形变，并且由于防撞条面积较小，因此触发防撞条的概率较低，从而可能造成安全事故，对操作人员机械伤害的危险隐患较大。
发明内容
本申请针对现有方式的缺点，提出一种半导体清洗设备及其机械臂，用以解决现有技术存在由于防撞结构设计不合理导致机械臂容易造成安全事故，从而对操作人员机械伤害的危险隐患较大的技术问题。
第一个方面，本申请实施例提供了一种半导体清洗设备中的机械臂，用于传送待加工工件，包括：箱体、基板组件、机械手臂组件及检测组件；所述箱体可移动，所述箱体包括在其移动方向上相对设置的第一侧壁和第二侧壁，以及与所述第一侧壁和所述第二侧壁相邻的第三侧壁，所述第一侧壁和所述第二侧壁可在外力作用下发生形变，所述第三侧壁上开设有缺口；所述基板组件位于所述箱体内，与所述第一侧壁和所述第二侧壁活动连接，且贴近所述缺口设置，所述基板组件能在所述第一侧壁和/或所述第二侧壁发生形变时相对于所述箱体移动，所述基板组件包括相对的内侧面和外侧面，所述基板组件的内侧面用于安装所述机械手臂组件，所述基板组件的外侧面用于封闭所述缺口；所述检测组件设置于所述第三侧壁的外侧面及所述基板组件的外侧面上，用于检测所述箱体及所述基板组件之间的相对运动，并在检测到所述相对运动时，使所述箱体停止移动。
于本申请的一实施例中，所述基板组件通过多个弹性结构与所述第一侧壁和所述第二侧壁活动连接，所述弹性结构包括连接块、固定件及弹性件，所述连接块设置于所述基板组件的内侧面上，并且部分面向所述第一侧壁或所述第二侧壁的内侧面设置；所述固定件设置于所述第一侧壁或所述第二侧壁上；所述弹性件的两端分别与所述连接块及所述固定件连接。
于本申请的一实施例中，所述机械臂还包括滑轨结构，所述滑轨结构设置于所述基板组件与所述第三侧壁之间，所述滑轨结构包括滑轨及滑块，所述滑轨设置在所述基板组件和所述第三侧壁中的一者上，所述滑块与所述基板组件和所述第三侧壁中的另一者连接，所述滑轨沿所述移动方向延伸设置，所述滑轨与所述滑块配合，在所述第一侧壁和/或所述第二侧壁发生形变时所述基板组件相对于所述箱体滑动。
于本申请的一实施例中，所述机械臂还包括活动定位结构，所述活动定位结构设置于所述基板组件与所述第三侧壁之间，包括定位活栓及定位槽，所述定位活栓设置于所述基板组件和所述第三侧壁中的一者上，所述定位槽设置于所述基板组件和所述第三侧壁中的另一者上，所述定位活栓与所述定位槽配合定位，在所述基板组件相对于所述箱体滑动时，所述定位活栓从所述定位槽中滑出。
于本申请的一实施例中，所述基板组件包括自上至下设置的顶板、中板及底板，所述中板厚度大于所述顶板及所述底板，所述顶板、所述中板及所述底板的内侧面平齐构成所述基板组件的内侧面，所述中板伸入所述缺口，其外侧面与所述第三侧壁的外侧面平齐。
于本申请的一实施例中，至少部分所述缺口的轮廓与至少部分所述中板的轮廓相匹配，所述检测组件设置于所述第三侧壁的外侧面及所述中板的外侧面轮廓相匹配的交界处。
于本申请的一实施例中，所述检测组件包括感应块及感应器，所述感应块设置于所述第三侧壁的外侧面和所述基板组件的外侧面中的一者上，所述感应器设置于第三侧壁的外侧面和所述基板组件的外侧面中的另一者上，所述感应器用于检测所述感应块是否位移，以检测所述箱体及所述基板组件之间的相对运动。
于本申请的一实施例中，所述检测组件包括电容感应开关或电磁感应开关。
于本申请的一实施例中，所述机械臂还包括供电装置，所述供电装置用于为所述机械臂供电，所述检测组件与所述供电装置电连接以形成供电回路，用于在检测到所述相对运动时，断开所述供电回路，使所述箱体停止移动。
第二个方面，本申请实施例提供了一种半导体清洗设备，包括：导轨及如第一个方面提供的机械臂。
本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果是：
本申请实施例通过将基板组件与第一侧壁及第二侧壁活动连接，当箱体沿移动方向上发生碰撞时，障碍物与第一侧壁和/或第二侧壁的任何位置发生接触都会使其发生形变，使得基板组件与箱体之间发生相对运动，检测组件通过检测该相对运动控制箱体的停止移动。由于第一侧壁及第二侧壁整体均可以进行检测，使得检测面积较大从而大幅提高了安全性能，进而避免对操作人员造成机械伤害。另外，由于箱体韧性强易于发生形变，因此当发生碰撞时不易发生硬性接触，从而进一步提高安全性能。
本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
附图说明
本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1为本申请实施例提供的一种机械臂的前侧立体示意图；
图2为本申请实施例提供的一种箱体的后侧立体示意图；
图3为本申请实施例提供的一种基板组件的前侧立体示意图；
图4为本申请实施例提供的一种基板组件的后侧立体示意图；
图5为本申请实施例提供的一种箱体与基板组件配合的后视示意图；
图6为本申请实施例提供的一种箱体与基板组件配合的侧视状态下的剖视示意图；
图7为本申请实施例提供的一种机械臂的电气制动控制回路示意图。
具体实施方式
下面详细描述本申请，本申请的实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。此外，如果已知技术的详细描述对于示出的本申请的特征是不必要的，则将其省略。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。
本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本申请所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。
下面以具体地实施例对本申请的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。
本申请实施例提供了一种半导体清洗设备中的机械臂，用于传送待加工工件，该机械臂的结构示意图如图1至图3所示，包括：箱体1、基板组件2、机械手臂组件3及检测组件4；箱体1可移动，箱体1包括在其移动方向L上相对设置的第一侧壁11及第二侧壁12，以及与第一侧壁11和第二侧壁12相邻的第三侧壁13，第一侧壁11和第二侧壁12可在外力作用下发生形变，第三侧壁13上开设有缺口121；基板组件2位于箱体1内，与第一侧壁11和第二侧壁12活动连接，且贴近缺口121设置，基板组件2能在第一侧壁11和/或第二侧壁12发生形变时相对于箱体1移动，基板组件2包括相对的内侧面21及外侧面22，基板组件2的内侧面21用于安装机械手臂组件3，基板组件2的外侧面22用于封闭第三侧壁13；检测组件4设置于第三侧壁13的外侧面及基板组件2的外侧面22上，用于检测箱体1及基板组件2之间的相对运动，并在检测到相对运动时，使箱体1停止移动。
如图1至图3所示，箱体1具体可以为采用金属材制成的箱式结构，例如箱体1可以为2mm(毫米)厚的不锈钢材质折弯制成整体结构，以使得箱体1具有较强的韧性，并且在遇到撞击发生形变后易于恢复原状。箱体1的底部可以设置于半导体清洗设备的导轨上，并且能沿导轨的延伸方向往复运动。箱体1在移动方向L上的两侧壁分别为第一侧壁11及第二侧壁12，用于在发生撞击时发生形变，即如图1中所示的左右两侧壁。第一侧壁11及第二侧壁12之间的侧壁为第三侧壁13，即如图1中所示的前侧壁，箱体1的后侧可以设置为敞口结构，以便于安装基板组件2及机械手臂组件3，该第三侧壁13例如可以靠近半导体清洗设备的工艺区设置，但是本申请实施例并不以此为限。基板组件2可以从箱体1的后侧安装于箱体1内，基板组件2与箱体1活动连接，并且贴近缺口121设置。当箱体1受到撞击时基板组件2能相对于箱体1移动。基板组件2的内侧面21可以用于安装机械手臂组件3，机械手臂组件3包括但不限于电机、运动丝杆、机械手臂等部件，其中机械手臂朝向半导体清洗设备的工艺区设置，机械手臂能在电机及运动丝杆的驱对下相对箱体1升降，以用于传输待加工工件(图中未示出)，待加工工件具体可以为晶圆，但是本申请实施例并不以此为限。基板组件2的外侧面22可以用于封闭缺口121以安装检测组件4。检测组件4设置于第三侧壁13的外侧面及基板组件2的外侧面22上，检测组件4用于检测箱体1及基板组件2之间的相对运动，并在检测到相对运动时，使箱体1停止移动。在实际应用时，箱体1的第一侧壁11和/或第二侧壁12受到撞击时，箱体1发生形变与基板组件2发生相对运动，检测组件4检测到相对运动后，可以断开箱体1的供电电路，以使箱体1停止移动，从而避免造成安全事故。
本申请实施例通过将基板组件与第一侧壁及第二侧壁活动连接，当箱体沿移动方向上发生碰撞时，障碍物与第一侧壁和/或第二侧壁的任何位置发生接触都会使其发生形变，使得基板组件与箱体之间发生相对运动，检测组件通过检测该相对运动控制箱体的停止移动。由于第一侧壁及第二侧壁整体均可以进行检测，使得检测面积较大从而大幅提安全性能，进而避免对操作人员造成机械伤害。另外，由于箱体韧性强易于发生形变，因此当发生碰撞时不易发生硬性接触，从而进一步提高安全性能。
需要说明的是，本申请实施例并不限定箱体1的具体材质及规格，例如箱体1还可以采用刚性材质制成，由于基板组件2活动设置于箱体1内，当箱体1发生撞击时基板组件2同样会与箱体1之间发生相对运动，从而便于检测组件4进行检测。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
于本申请的一实施例中，如图1至图5所示，基板组件2通过多个弹性结构6与第一侧壁11和第二侧壁12活动连接，弹性结构6包括连接块61、固定件62及弹性件63，连接块61设置于基板组件2的内侧面21上，并且部分面向第一侧壁11及第二侧壁12的内侧面设置；固定件62设置于第一侧壁11或第二侧壁12上；弹性件63的两端分别与连接块61及固定件62连接。
如图1至图5所示，四个弹性结构6分别设置于基板组件2的边角处，并且可以与第一侧壁11及第二侧壁12的内侧面连接。当箱体1的第一侧壁11及第二侧壁12与操作人员或者其它物体发生碰撞时，弹性结构6及第一侧壁11及第二侧壁12的形变可以缓冲碰撞障碍物的冲击，以避免基板组件2与箱体1之间硬性接触，从而进一步提高本申请实施例的安全性及稳定性。但是本申请实施例并不限弹性结构6的具体数量，本领域技术人可以根据需求自行调整设置。具体来说，连接块61具体采用金属材质制成的板状结构，连接块61的形状可以设置为“L”形结构，其中一侧板与基板组件2的内侧面21贴合设置，并且采用例如螺栓连接方式设置于基板组件2上，另一侧板面向第一侧壁11或第二侧壁12的内侧面设置。固定件62具体可以采用一销钉结构，固定件62穿设于第一侧壁11或第二侧壁12上，并且固定件62的钉帽位于第一侧壁11或第二侧壁12的外侧。弹性件63具体可以采用卷圈弹簧，并且具有一定强度，弹性件63的两端分别与连接块61及固定件62连接。采用上述设计，不仅使得弹性结构6的结构简单，而且还能大幅降低应用及维护成本。
需要说明的是，本申请实施例并不限定弹性结构6的具体实施方式，例如弹性结构6还可以是一液压伸缩缸。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整置。
于本申请的一实施例中，如图1至图4所示，机械臂还包括滑轨结构5，滑轨结构5设置于基板组件2与第三侧壁13之间，滑轨结构5包括滑轨51及滑块52，滑轨51设置在基板组件2和第三侧壁13中的一者上，滑块52与基板组件2和第三侧壁13中的另一者连接，滑轨52沿移动方向延伸设置，滑轨51与滑块51配合，在第一侧壁11和/或第二侧壁11发生形变时基板组件2相对于箱体1滑动。
如图1至图4所示，两个滑轨结构5均设置于基板组件2的外侧面22及第三侧壁13的内侧面之间，并且可以靠近基板组件2的两端部设置。滑轨结构5具体可以沿箱体1的左右方向延伸设置，即滑轨结构5的延伸方向与箱体1的移动方向L平行设置，以便于基板组件2相对于箱体1滑动。需要说明的是，本申请实施例并不限滑轨结构5的具体数量及位置，本领域技术人员可以根据需求自行调整设置。具体来说，滑轨51例如采用螺栓连接方式设置于基板组件2上，并且位于基板组件2的外侧面22上，滑块52例如采用螺栓连接方式设置于第三侧壁13的内侧面，滑块52与滑轨51配合，在第一侧壁11和/或第二侧壁12发生形变时以使基板组件2能相对于箱体1滑动。采用上述设计，不仅使得本申请实施例结构设计合理，从而大幅降低本申请实施例故障率，并且采用滑块52与滑轨51配合的方式还能使得检测组件4检测更为精确。
需要说明的是，本申请实施例并不限定滑轨51及滑块52的具体位置，两者的具体位置要可以互换，即滑轨51设置于第三侧壁13的内侧面上，而滑块52则设置于基板组件2的外侧面22上。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
于本申请的一实施例中，如图1至图4、图6所示，机械臂1还包括活动定位结构7，活动定位结构7设置于基板组件2与第三侧壁13之间，包括定位活栓71及定位槽72，定位活栓71设置于基板组件2和第三侧壁13中的一者上，定位槽72设置于基板组件2和第三侧壁13中的另一者上，定位活栓71与定位槽72配合定位，在基板组件2相对于箱体1滑动时，定位活栓71从定位槽72中滑出。
如图1至图4、图6所示，定位活栓71具体可以采用球头柱塞，定位活栓71的一端固定设置于基板组件2的外侧面22上，定位活栓71具体可以位于滑轨51的下侧，并且定位活栓71在受到外力时能够伸缩,以使定位活栓71能够由定位槽72中滑出,以跟随基板组件2运动，避免与第三侧壁13发生机械干涉导致检测失效。定位槽72具体可以是形成于第三侧壁13的内侧面上，其位置与定位活栓71对应设置。在实际应用时，定位活栓71的端部可以伸入定位槽72内，以便于将基板组件2安装于箱体1内，并且与第三侧壁13之间进行定位。进一步的，当第一侧壁11和/或第二侧壁11发生形变需要恢复时，同样可以采用定位活栓71及定位槽72配合以进行定位，从而大幅提高箱体1的恢复效率，进而提高本申请实施例的拆装维护效率。
需要说明的是，本申请实施例对于定位活栓71及定位槽72的具体位置并不限定，两者的具体位置可以互换，例如定位活栓71设置于第三侧壁13的内侧面上，而定位槽72则形成于基板组件2的外侧面22上。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整置。
于本申请的一实施例中，如图1至图4所示，基板组件2包括自上至下设置的顶板23、中板24及底板25，中板24厚度大于顶板23及底板25，顶板23、中板24及底板25的内侧面平齐以构成基板组件2的内侧面21；中板24伸入缺口121，其外侧面与第三侧壁13的外侧面平齐。
如图1至图4所示，基板组件2具体包括自上至下设置的顶板23、中板24及底板25，并且多个板件侧边之间可以采用焊接或者螺栓连接的方式固定连接，但是本申请实施例并不以此为限。在一具体实施例中，中板24具体采用18mm厚的铝制板材，而顶板23及底板25均采用10mm厚的铝制板材，顶板23、中板24及底板25的内侧面平齐以构成基板组件2的内侧面21，以便于安机械手臂组件3，并且由于中板24厚度较厚可以用于承载机械手臂组件3，从而提高本申请实施例的结构强度。由于中板24厚度相较于其它板件较厚，中板24的外侧面可以伸入缺口121内，以与第三侧壁13的外侧面平齐。中板24的外侧面高于顶板23及底板25的外侧面，使得中板24的上下两侧边分别与顶板23及底板25之间形成安装空间，以便于安装滑轨结构5及活动定位结构7，并且安装空间还可以为箱体1发生形变提供空间支持。采用上述设计，由于基板组件2采用分体式设计，使得本申请实施例易于拆装，从而大幅提高拆装维护效率，进而还能大幅降低故障率及延长使用寿命。
需要说明的是，本申请实施例并不限定基板组件2的具体实施方式，例如基板组件2可以采用一体结构。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整置。
于本申请的一实施例中，如图1至图4所示，至少部分缺口121的轮廓与至少部分中板24的轮廓相匹配，检测组件4设置于第三侧壁13的外侧面及中板24的外侧面轮廓相匹配的交界处。
如图1至图4所示，第三侧壁13的中部位置开设缺口121，该缺口121具体形状可以为矩形。中板24可以伸入该缺口121内以与第三侧壁13的外侧面平齐，并且该缺口121的顶部轮廓可以与中板24的顶部及两侧的轮廓对应设置。进一步，缺口121内具有安装板122，安装板122位于中板24的底部，安装板122可以与第一侧壁11一体形成，并且伸入缺口121内。两个检测组件4分别位于中板24的对角线两端，即检测组件4设置于第三侧壁13的外侧面及中板24的外侧面轮廓相匹配的交界处。采用上述设计，由于中板24位于箱体1高度方向的中部位置，可以提高检测组件4精确性，从而进一步提高本申请实施例的安全性能。
需要是说明的是，本申请实施例并不限定检测组件4的具体位置及数量，例如多个检测组件4分别设置于靠近第一侧壁11及第二侧壁12的位置即可。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
于本申请的一实施例中，如图1至图6所示，检测组件4包括感应块41及感应器42，感应块41设置于第三侧壁13的外侧面和基板组件2的外侧面22中的一者上，感应器42设置于第三侧壁13的外侧面和基板组件2的外侧面22中的另一者上，感应器42用于检测感应块41是否位移，以检测箱体1及基板组件2之间的相对运动。可选地，检测组件4包括电容感应开关或电磁感应开关。
如图1至图6所示，检测组件4具体可以采用电容感应开关或者电磁感应开关，但是本申请实施例并不以此为限。感应块41具体设置于第三侧壁13上，而感应器42则设置于基板组件2上，例如设置于基板组件2的中板24上。采用该设计，由于感应器42设置于中板24上，使得检测组件4的线缆易于整理，从而使得本申请实施例的结构简单且易于实现。在实际应用时，当障碍物迫使箱体1的第一侧壁11和/或第二侧壁12发生形变，弹性结构6发生伸缩的同时，基板组件2上的滑轨51相对箱体1上的滑块52滑动，感应块41将跟随箱体1一起移动，而感应器42固定于基板组件2上，其相对于基板组件2的位置不会发生变动，因此由于感应块41与感应器42相对位置发生移动，则说明箱体1与基板组件2之间发生相对运动，此时检测组件可以控制箱体1停止运行，例如检测组件4与机械臂的供电装置(图中未示出)连接，使供电装置停止为机械臂供电。
需要是说明的是，本申请实施例并不限定感应块41及感应器42的具体位置，两者的具体位置可以互换，例如感应块41设置于中板24上，而感器42则设置于第三侧壁13上。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
于本申请的一实施例中，如图1至图6所示，机械臂还包括供电装置(图中未示出)，供电装置用于为机械臂供电，检测组件4与供电装置电连接以形成供电回路，用于在检测到相对运时，用于断开供电回路，以使箱体1停止移动。
于本申请的一具体实施方式中，本申请实施例的电气制动控制回路示意图如图7所示，结合参照如图1至图6所示，当机械臂平稳运行伺服电机模块103、伺服驱动器模块102处于正常供电状态，检测组件107、108可以为接近式电容感应开关，将机械臂上的检测组件107、108常开触点的信号输出端分别接入安全继电器模块109的信号输入接线端S11与S12、S21与S22，将24V(伏特)的直流供电模块100接入安全继电器模块109的开关信号输出接线端S13，经由安全继电器模块(109)的开关信号输出接线端S14供给到伺服驱动器模块102的安全制动端子(STO信号输入端)，利用安全继电器模块(109)的工作特性，即其两路信号输入接线端S11与S12、S21与S22均形成供电回路时，其开关信号输出接线端S13、S14的开关信号才闭合，两路信号输入接线端S11与S12、S21与S22中的任何一路未形成供电回路处于断开状态时，其开关信号输出接线端S13、S14的开关信号将置于断开状态。
机械臂正常运行情况下，两个检测组件107、108均处于感应状态，其信号输出端与对应的安全继电器模块109的信号输入接线端S11与S12、S21与S22形成供电回路，当机械臂的箱体1发生碰撞致使检测组件107、108的信号输出端形成的回路处于断开，因此，致使伺服驱动器模块102安全制动端子(STO信号输入端)与直流供电模块，伺服驱动器模块102的交流电源输入端将停止向伺服电机模块103供电，从而伺服电机模块103失去供电能源将不再转动，达到制动效果。采用上述设计，采用检测组件4配合安全继电器模块使用作为供电回路触发方式，多个检测组件4在供电装置中构成多个供电回路，以形成失效导向安全机制，即实现任何一供电回路出现断路、故障、被触发状态时都将使安全继电器模块停止供电以达到箱体1制动效果，从而进一步提高本申请实施例的安全性及可靠性。
基于同一发明构思，本申请实施例提供了一种半导体清洗设备，包括如上述各实施例的提供的机械臂。
应用本申请实施例，至少能够实现如下有益效果：
本申请实施例通过将基板组件与第一侧壁及第二侧壁活动连接，当箱体沿移动方向上发生碰撞时，障碍物与第一侧壁和/或第二侧壁的任何位置发生接触都会使其发生形变，使得基板组件与箱体之间发生相对运动，检测组件通过检测该相对运动控制箱体的停止移动。由于第一侧壁及第二侧壁整体均可以进行检测，使得检测面积较大从而大幅提高安全性能，进而避免对操作人员造成机械伤害。另外，由于箱体韧性强易于发生形变，因此当发生碰撞时不易发生硬性接触，从而进一步提高安全性能。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上所述仅是本申请的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。
Claims (10)
1.一种半导体清洗设备中的机械臂，用于传送待加工工件，其特征在于，包括：箱体、基板组件、机械手臂组件及检测组件；
所述箱体可移动，所述箱体包括在其移动方向上相对设置的第一侧壁和第二侧壁，以及与所述第一侧壁和所述第二侧壁相邻的第三侧壁，所述第一侧壁和所述第二侧壁可在外力作用下发生形变，所述第三侧壁上开设有缺口；
所述基板组件位于所述箱体内，与所述第一侧壁和所述第二侧壁活动连接，且贴近所述缺口设置，所述基板组件能在所述第一侧壁和/或所述第二侧壁发生形变时相对于所述箱体移动，所述基板组件包括相对的内侧面和外侧面，所述基板组件的内侧面用于安装所述机械手臂组件，所述基板组件的外侧面用于封闭所述缺口；
所述检测组件设置于所述第三侧壁的外侧面及所述基板组件的外侧面上，用于检测所述箱体及所述基板组件之间的相对运动，并在检测到所述相对运动时，使所述箱体停止移动。
2.如权利要求1所述的机械臂，其特征在于，所述基板组件通过多个弹性结构与所述第一侧壁和所述第二侧壁活动连接，所述弹性结构包括连接块、固定件及弹性件，所述连接块设置于所述基板组件的内侧面上，并且部分面向所述第一侧壁或所述第二侧壁的内侧面设置；所述固定件设置于所述第一侧壁或所述第二侧壁上；所述弹性件的两端分别与所述连接块及所述固定件连接。
3.如权利要求1所述的机械臂，其特征在于，所述机械臂还包括滑轨结构，所述滑轨结构设置于所述基板组件与所述第三侧壁之间，所述滑轨结构包括滑轨及滑块，所述滑轨设置在所述基板组件和所述第三侧壁中的一者上，所述滑块与所述基板组件和所述第三侧壁中的另一者连接，所述滑轨沿所述移动方向延伸设置，所述滑轨与所述滑块配合，在所述第一侧壁和/或所述第二侧壁发生形变时所述基板组件相对于所述箱体滑动。
4.如权利要求3所述的机械臂，其特征在于，所述机械臂还包括活动定位结构，所述活动定位结构设置于所述基板组件与所述第三侧壁之间，包括定位活栓及定位槽，所述定位活栓设置于所述基板组件和所述第三侧壁中的一者上，所述定位槽设置于所述基板组件和所述第三侧壁中的另一者上，所述定位活栓与所述定位槽配合定位，在所述基板组件相对于所述箱体滑动时，所述定位活栓从所述定位槽中滑出。
5.如权利要求1所述的机械臂，其特征在于，所述基板组件包括自上至下设置的顶板、中板及底板，所述中板厚度大于所述顶板及所述底板，所述顶板、所述中板及所述底板的内侧面平齐构成所述基板组件的内侧面，所述中板伸入所述缺口，其外侧面与所述第三侧壁的外侧面平齐。
6.如权利要求5所述的机械臂，其特征在于，至少部分所述缺口的轮廓与至少部分所述中板的轮廓相匹配，所述检测组件设置于所述第三侧壁的外侧面及所述中板的外侧面轮廓相匹配的交界处。
7.如权利要求1至6任一所述的机械臂，其特征在于，所述检测组件包括感应块及感应器，所述感应块设置于所述第三侧壁的外侧面和所述基板组件的外侧面中的一者上，所述感应器设置于第三侧壁的外侧面和所述基板组件的外侧面中的另一者上，所述感应器用于检测所述感应块是否位移，以检测所述箱体及所述基板组件之间的相对运动。
8.如权利要求7所述的机械臂，其特征在于，所述检测组件包括电容感应开关或电磁感应开关。
9.如权利要求1至6任一所述的机械臂，其特征在于，所述机械臂还包括供电装置，所述供电装置用于为所述机械臂供电，所述检测组件与所述供电装置电连接以形成供电回路，用于在检测到所述相对运动时，断开所述供电回路，使所述箱体停止移动。
10.一种半导体清洗设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任一所述的机械臂。
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