KR100945496B1 - 간격조절장치 - Google Patents

간격조절장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100945496B1
KR100945496B1 KR1020080048716A KR20080048716A KR100945496B1 KR 100945496 B1 KR100945496 B1 KR 100945496B1 KR 1020080048716 A KR1020080048716 A KR 1020080048716A KR 20080048716 A KR20080048716 A KR 20080048716A KR 100945496 B1 KR100945496 B1 KR 100945496B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
gear
units
shaft
spacing
main
Prior art date
Application number
KR1020080048716A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20090122759A (ko
Inventor
이창우
송준엽
하태호
정영상
Original Assignee
한국기계연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국기계연구원 filed Critical 한국기계연구원
Priority to KR1020080048716A priority Critical patent/KR100945496B1/ko
Publication of KR20090122759A publication Critical patent/KR20090122759A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100945496B1 publication Critical patent/KR100945496B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

여기에서는, 반도체 공정, 특히, 반도체 검사 공정에서, 일열의 부품, 특히, 반도체 부품을 픽업하는 픽업유닛(또는, 피커)의 피치 간격 조절에 적합한 구조의 간격조절장치가 개시된다. 개시된 간격조절장치는, 다른 기어비로 맞물려 회전하는 주동기어와 종동기어의 세트들을 포함하는 복수의 기어유닛들과; 회전방향으로 상기 주동기어를 구속하고, 축방향으로 상기 주동기어의 슬라이딩을 허용하는 제 1 샤프트와; 자체의 나사선에 의해 결정된 방향으로, 상기 종동기어의 축방향 이동을 허용하는 제 2 샤프트를 포함하며, 상기 복수의 기어유닛들은, 상기 다른 기어비에 의해 다른 거리로 축방향 이동하는 주동기어와 종동기어에 의해, 간격이 조절된다.
반도체, 픽업유닛, 간격, 피치, 기어비, 주동기어, 종동기어, 기어유닛, 샤프트, 슬라이딩, 나사

Description

간격조절장치{SEPARATION ADJUSTING APPARATUS}
본 발명은, 간격조절장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 반도체 공정, 특히, 반도체 검사 공정에서, 일열의 부품, 특히, 반도체 부품을 픽업하는 픽업유닛(또는, 피커)의 피치 간격 조절에 적합한 구조의 간격조절장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 검사장비는 하나의 장비로 여러 종류의 반도체 부품을 검사한다. 이 경우 여러 개의 반도체 부품(예컨대, 반도체칩 또는 반도체 패키지)의 용이한 핸들링을 위해, 반도체 부품들의 수납에는 "제덱 트레이"로 불리는 트레이가 이용되고 있다.
제덱 트레이는 일종의 표준화 트레이로서, 그 특징은 외곽의 크기는 동일하고 내부(특히, 수납칸들)는 반도체 부품의 종류에 따라 다양하게 설계된다. 제덱 트레이는 그 외곽이 표준화되어 있으므로, 핸들러를 모듈형식으로 개발하는 것이 가능하고, 무엇보다도, 하나의 반도체 검사 장비에서 여러 모델의 조립, 검사, 측정 등이 측정이 가능한 장점이 있다.
위와 유사하게, 모델이 자주 바뀌는 휴대폰 카메라의 모듈 부품의 조립에도, 여러 개의 모듈 부품을 수납하여 손쉽게 핸들링 할 수 있도록 한 용도의 트레이가 이용되고 있다. 휴대폰 카메라 모듈 부품의 조립의 경우, 수동 조립은 인건비가 많이 들고, 생산성, 경제성, 효율성 면에서 모두 떨어진다. 따라서, 조립 공정의 자동화가 유일한 방안으로 고려되고 있다. 그러나, 휴대폰 카메라의 제품 특성 상, 모델 수명이 매우 짧고, 이로 인해, 모델변화에 능동적으로 대처하는 것이 자동화 공정에서의 최대 걸림돌로 여겨지고 있다.
위와 같은 이유로, 휴대폰 카메라의 모듈 부품 조립에서도, 반도체 부품의 검사에 주로 적용되던, 제덱 트레이를 이용하는 개념이 채택되어 자동화 공정에 이용되고 있다. 수동 조립의 경우, 모델에 따라서 트레이가 각각이어서 자동화에 어려운 점이 있었지만, 점점 국제적으로 표준화되고 있는 제덱 트레이는 아니더라도, 일부 제조업체(또는, 조립업체)는 회사 내부적으로 트레이의 외곽 크기를 통일하여, 부품 조립의 자동화에 그와 같은 트레이를 이용하려는 시도를 하고 있다.
통상, 반도체 부품 또는 휴대폰 카메라 모듈은, 고기능이면서도 매우 가볍다. 이 때문에, 여러 개의 부품을 한번에 흡착하여 들어올릴 수 있는 여러 개의 픽업유닛(즉, 피커)을 부품의 운반에 이용하여 생산성을 높이고 있다. 한편, 생산되는 부품(또는, 제품)의 종류(크기 등)가 바뀌게 되면 제덱 트레이나 표준 트레이 안의 피치, 즉, 전체 부품 간 간격이 변화하는 경우가 발생하는데, 이 경우, 핸들러는 상기 트레이 안의 피치 변화에 따라 픽업유닛들 사이의 간격을 조절하여야 한다. 이때, 트레이 내에 위치한 부품들 간 간격(즉, 피치)들은 같으므로, 생산되는 부품이 바뀌어 부품간 피치가 변하더라도, 픽업유닛들 사이의 간격들은 항상 같게 변화되어야 한다.
위와 같은 요구 조건에 따라, 트레이의 부품 수납칸(또는, 포켓)의 피치 변화에 상응하게 진공흡착패드(픽업유닛 또는 피커)들 사이의 간격을 조절 가능하도록 한 장치들이 종래에 개발된 바 있다. 그와 같은 장치로는 일 예로, 2004. 01. 31. 자, "진공흡착패드의 피치 조절이 자유로운 반도체 칩 패키지 이송장치"의 명칭으로 공개된 국내 특허공개 제10-2004-0009803호에 개시된 것이 있다.
위 종래의 장치는 단일 나사봉에 복수의 진공흡착패드들이 나사식으로 끼워지되, 진공흡착패드들을 양분하는 중심을 기준으로, 서로 반대방향의 나사선들이 각각 복수개로 단일 나사봉에 형성된 구조를 포함한다. 또한, 종래의 장치는 상기 중심을 기준으로 한편에 형성된 복수개의 나사선들은 첫번째 나사선으로부터 n번째의 나사산까지 나사산의 피치 비율이 2n-1로 되어 있어, 진공흡착패드들의 피치는 항상 일정 비율로 가변된다.
그러나 종래의 장치는, 진공흡착패드(즉, 픽업유닛)의 간격 조절을 위해, 피치비율이 다른 많은 나사산이 형성된 복잡한 구조의 나사봉(또는, 샤프트)이 요구되며, 이는 장치의 실용성과 경제성을 떨어뜨리는 원인이 된다. 또한, 종래의 장치는 상대적으로 큰 피치의 나산으로부터 아주 작은 피치의 나사산까지 필요하므로, 작은 피치의 나사산을 정밀하게 형성하지 못할 때 야기되는 정밀성 부족의 문제점도 있다. 특히, 많은 수의 부품을 픽업하고자, 진공흡착패드를 늘리고자 하는 경 우, 나사산의 정밀성, 그리고, 나사봉의 길이로 인한 한계가 있다.
또한, 종래의 장치는, 서로 다른 피치의 많은 나사산이 형성된 나사봉에 많은 수의 진공흡착패드들을 끼우는 조립 공정이 요구되는데, 이러한 조립공정은 현실적으로 어려우며, 나사봉 등의 특수 설계에 의해 그것이 가능하더라도 진공흡착패드의 부정밀한 조립에 의해 많은 문제점을 내포한다.
이에 따라, 본 발명자는 여러 피치의 나사산을 하나의 샤프트(나사봉)에 형성하는 대신, 픽업유닛들이 설치되는 두개 이상의 나사봉들을 이용하고, 그 나사봉들의 피치를 다르게 하거나, 또는 나사봉의 회전속도를 다르게 하는 것에 의해, 픽업유닛의 간격을 픽업될 부품의 피치에 상응하게 조절하는 장치를 개발한 바 있으며, 이러한 장치에 대한 기술은, 본 발명자에 의해, 2008년 3월 13일, 국내특허출원 제2008-0023230호로 출원된 바 있다. 그러나, 위 종래의 장치는, 여러 가지 많은 장점을 가짐에도 불구하고, 간격 조절되는 픽업유닛들의 개수에 제한이 뒤따르는 문제점이 있었다. 즉, 종래의 장치는, 간격 조절되는 픽업유닛의 개수 증가를 위해서는, 샤프트(또는, 나사봉)의 개수 증가가 과도하게 요구된다.
따라서, 본 발명의 기술적 과제는, 샤프트의 개수의 큰 증가 없이, 그리고, 피치가 다른 많은 수의 나사선을 형성할 필요 없이, 간격 조절이 필요한 유닛들, 특히, 부품을 흡착하여 들어올리는 픽업유닛의 간격 조절을 가능하게 해주는, 간격조절장치를 제공함에 있다.
본 발명의 일 측면에 따른 간격조절장치는, 다른 기어비로 맞물려 회전하는 주동기어와 종동기어의 세트들을 포함하는 복수의 기어유닛들과; 회전방향으로 상기 주동기어를 구속하고, 축방향으로 상기 주동기어의 슬라이딩을 허용하는 제 1 샤프트와; 자체의 나사선에 의해 결정된 방향으로, 상기 종동기어의 축방향 이동을 허용하는 제 2 샤프트를 포함하며, 상기 복수의 기어유닛들은, 상기 다른 기어비에 의해 다른 거리로 축방향 이동하는 주동기어와 종동기어에 의해, 간격이 조절된다.
바람직하게는, 상기 주동기어의 축방향 슬라이딩을 위해, 상기 주동기어의 축공과 상기 제 1 샤프트의 형상은 서로 상응하는 다각형(더, 바람직하게는, 사각형)으로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 제 2 샤프트는, 기준 위치의 좌우 각각에, 동일 피치의 정방향 나사산과 역방향 나사산을 각각 구비하며, 상기 복수의 기어유닛들은 상기 정방향 나사산과 상기 역방향 나사산에 의해, 서로 반대 방향으로 축방향 이동되는 좌측 및 우측의 기어유닛들을 각각 포함할 수 있다.
이때, 상기 좌측 기어유닛들과 상기 우측 기어유닛들 각각은, n이 상기 기준 위치로부터의 기어유닛 순서일 때, n:1의 기어비 관계를 가져, 이웃하는 기어유닛들 사이의 간격들이 항상 같게 변화되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 기준 위치에는 기준블록이 축방향에 대하여 고정 설치되며, 상기 기준블록과 그에 인접한 기어유닛 사이의 간격은 다른 이웃하는 기어유닛을 사이의 간격과 항상 같은 것이 바람직하다.
또한, 상기 복수의 기어유닛들 각각의 프레임과, 상기 기준블록에는 일열로 배열된 부품을 흡착하여 들어올리는 복수의 픽업유닛들이 설치되는 것이 바람직하 다. 또한, 상기 복수의 픽업유닛들을 더 추가된 복수의 LM 가이드에 의해 슬라이딩 가능하게 안내된다. 추가로, 상기 복수의 기어유닛들 각각은 상기 제 1 및 제 2 샤프트를 지지하는 프레임을 포함하되, 상기 주동 및 종동기어와 상기 프레임 사이에는 마찰 방지용 베어링이 설치된다.
본 발명에 따르면, 샤프트의 개수의 큰 증가 없이, 그리고, 피치가 다른 많은 수의 나사선을 형성할 필요 없이, 간격 조절이 필요한 유닛들, 특히, 반도체 부품 또는 휴대폰 카메라 모듈 부품을 흡착하여 들어올리는 픽업유닛의 간격 조절이 가능한 장치의 제공이 가능하다. 또한, 본 발명에 따른 장치는, 픽업유닛들 사이의 간격들을 항상 같게 유지하여 조절하되, 간격 조절의 정밀성에 있어서, 종래에 비해 탁월하다는 효과가 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 구성요소의 폭, 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 간격조절장치를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 간격조절장치의 기어유닛을 분해하여 도시한 사시도이고, 도 3은 도 1에 도시된 간격조절장치의 기어유닛들의 관계를 보여주는 사시도이며, 도 4는 진공 흡착 방식으로, 부품(특히, 반도체 부품 또는 휴대폰 카메라 모듈)을 들어올리는 복수의 픽업유닛을 구비한 간격조절장치를 보여주는 정면도이다.
먼저 도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 간격조절장치(1)는, 서로 평행하게 배치된 제 1 및 제 2 샤프트(20, 30)와, 복수의 기어유닛(42a, 42b, 42c, 42d, 42e, 42f; 총괄하여 42) 등을 포함한다. 또한, 상기 제 1 및 제 2 샤프트(20, 30), 그리고, 복수의 기어유닛(42)들은 베이스(10)에 탑재된다. 보다 구체적으로, 상기 베이스(10)는 서로 마주하는 한 쌍의 축받이(11, 11)를 구비하되, 상기 제 1 샤프트(20)는 상기 축받이(11, 11)에 회전가능하게 지지되고, 상기 제 2 샤프트(30)는 상기 축받이(11, 11)에 의해 고정 지지된다.
또한, 상기 복수의 기어유닛(42)들은 상기 제 1 및 제 2 샤프트(20, 30)를 따라 자체 내장된 기어 세트에 의해 축방향으로 이동될 수 있으며, 이때, 상기 기어 세트의 작용을 위한 제 1 샤프트(20)의 회전 구동은 상기 제 1 샤프트(20)와 연결된 모터(70)의 구동에 의해 이루어진다. 상기 기어유닛(42)들의 구성 및 작용, 그리고, 상호 관계에 대해서는, 이후에 보다 구체적으로 설명하기로 한다. 또한, 상기 베이스(10) 상에는 직선형 가이드부(51)와 상기 가이드부(51)를 따라 슬라이딩 가능하게 설치된 슬라이딩부(52)를 포함하는 복수의 LM 가이드들이 상기 샤프트(20, 30)들과 평행하게 설치되어 있다. 상기 LM 가이드의 역할 또는 기능에 대해서도 다음에 설명하기로 한다.
도 1과 더불어, 도 2를 참조하면, 상기 기어유닛(42)은, 소정의 기어비로 맞물리는 주동기어(421)와 종동기어(422)의 기어 세트를 포함한다. 앞에서 언급한 바와 같이, 본 실시예의 기어유닛(42)은 복수개로 이루어지므로, 그에 내장된 주동기어(421)와 종동기어(422) 각각도 복수개로 이루어진다. 서로 다른 기어유닛(42)에 구비된 주동기어(421)와 종동기어(422)의 기어비는 다르게 정해진다는 것을 미리 언급한다.
도 2에 잘 도시된 바와 같이, 상기 주동기어(421)는 다각형(바람직하게는, 사각형)의 축공을 갖는다. 또한, 상기 축공에는 제 1 샤프트(20)가 끼워지는데, 상기 주동기어(421)의 축방향 슬라이딩을 허용하도록, 상기 제 1 샤프트(20)의 형상(즉, 단면 형상)은 상기 축공에 상응하는 다각형(바람직하게는, 사각형)으로 이루어진다. 상기 주동기어(421)의 축공과 상기 제 1 샤프트(20)의 서로 상응하는 다각형 형상으로 인해, 상기 주동기어(421)는 상기 제 1 샤프트(20)에 대하여 축방향으로 슬라이딩 이동될 수 있지만, 회전방향으로는, 상기 주동기어(421)가 상기 제 1 샤프트(20)에 구속된다. 상기 구속은, 상기 제 1 샤프트(20)가 전술한 모터(70)에 의해 회전될 때, 상기 주동기어(421)가 상기 제 1 샤프트(20)와 일체로 회전하는 것을 가능하게 한다.
또한, 상기 종동기어(422)는 상기 제 2 샤프트(30)에 나사 이송식으로 결합된다. 보다 구체적으로, 상기 제 2 샤프트(30)에는 나사산이 형성되며, 상기 종동기어(422)의 축공에는 상기 제 2 샤프트(30)의 나사산에 대응되는 다른 나사산이 형성된다. 따라서, 상기 종동기어(422)는, 상기 주동기어(421)와 맞물려 회전할 때, 상기 제 2 샤프트(30)의 나사산에 의해 결정된 방향으로 축방향 이동될 수 있다.
이때, 상기 종동기어(422)는 상기 주동기어(421)와 기어 맞물림을 유지한 채로 회전과 축방향 이동을 같이 하며, 이에 의해, 상기 주동기어(421)도 상기 종동기어(422)와 함께 축방향으로 이동된다. 상기 주동기어(421)의 축공과 제 1 샤프트(20)의 슬라이딩 가능한 형상이, 상기 주동기어(421)의 회전 및 축방향 이동이 동시에 이루어지도록 함을 이해할 수 있다.
또한, 기어유닛(42)은, 서로 마주하는 프레임들(420, 420)에 의해 한정된 내부 공간에 상기 주동기어(421)와 상기 종동기어(422)의 기어세트가 내장된다. 이때, 프레임(420)과 기어세트(즉, 주동기어와 종동기어) 사이에는 회전하는 기어 표면과 프레임 내표면 사이의 마찰을 방지하는 베어링(423)들이 설치된다. 상기 프레임은, 상기 세트의 내장 기능 및 샤프트의 지지 기능보다는 이하 설명될 간격 조절이 필요한 픽업유닛들을 지지하는 기능을 하는 것이다.
상기 제 2 샤프트(30)는, 도 1 및 도 4에 도시된 바와 같이, 중앙 부근의 기준 위치에 대하여, 좌우 각각에 동일 피치의 정방향 나사산(31)과 역방향 나사산(32)을 구비한다. 그리고, 전술한 기어유닛(42)들은, 상기 정방향 나사산(31)에 대응되게 위치하는 좌측 기어유닛들(42a, 42b, 42c)과, 상기 역방향 나사산(32)에 대응되게 위치하는 우측 기어유닛들(42d, 42e, 42f)을 포함한다. 상기 기어유닛(42)들은, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 종동기어(422)의 축공 및 그에 나사식으로 끼워지는 제 2 샤프트(30) 상의 나사산 방향에 의해, 이동방향이 결정되 며, 따라서, 상기 좌측 기어유닛들(42a, 42b, 42c)과 상기 우측 기어유닛들(42d, 42e, 42f)은, 상기 정방향 나사산과 상기 역방향 나사산에 의해, 서로 반대 방향으로 축방향 이동된다.
도 1 및 도 4에 잘 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 간격조절장치(1)는, 좌측 기어유닛과 우측 기어유닛 사이를 분리하는 상기 기준 위치에, 이하 설명될 픽업유닛들 중 하나를 좌우 이동 없이 지지하는 기준블록(41)을 더 포함한다. 본 실시예에서, 상기 기준블록(41)은 베이스(10)에 고정 설치된다.
도 3을 참조하면, 복수의 기어유닛(42)들 중 상기 기준 블록(41)의 좌측에 위치한 좌측 기어유닛들(42a, 42b, 42c)의 기어비 관계를 알 수 있다. 도시되어 있지는 않지만, 우측 기어유닛들(42de, 42e, 42f; 도 1 참조)도 좌측 기어유닛들과 대칭적인 관계로 배치되고, 또한, 그 우측 기어유닛들 사이의 관계는 좌측 기어유닛들과 같다. 따라서, 우측 기어유닛들은 좌측 기어유닛들과 방향만 반대일 뿐 이하 설명되는 것과 동일한 작동을 한다. 설명의 편의를 위해, 상기 기준 블록(41)과 가까운 순서대로, 상기 좌측 기어유닛들 각각은, 제 1 기어유닛(42a), 제 2 기어유닛(42b), 그리고, 제 3 기어유닛(42b)으로 칭해진다.
상기 제 1 기어유닛(42a)에서의 주동기어(421)와 종동기어(422) 사이의 기어비는 1:1이고, 상기 제 2 기어유닛(42b)에서의 주동기어(421)와 종동기어(422)의 기어비는 2:1이며, 상기 제 3 기어유닛(42c)에서의 주동기어(421)와 종동기어(422)의 기어비는 3: 1이다.
따라서, 예를 들면, 제 1 샤프트(20)의 1회전에 의해, 제 1, 제 2, 제 3 기 어유닛(42a, 42b, 42c)들 각각이 1 회전하면, 상기 제 1, 제 2, 제 3 기어유닛(42a, 42b, 42c)의 종동기어(422, 422, 422)들 각각은 차례대로 1회전, 2회전, 3회전을 한다. 그리고, 상기 제 1, 제 2, 제 3 기어유닛(42a, 42b, 42c)의 종동기어들(422, 422, 422)은 제 2 샤프트(30)의 나사선에 의해 회전과 동시에 축방향 이동되고, 그와 기어 맞물림되는 상기 제 1, 제 2, 제 3 기어유닛(42a, 42b, 42c)의 종동기어들(422, 422, 422)도 상기 종동기어들과 같은 거리로 축방향 이동된다.
위와 같이, 제 1 기어유닛, 제 2 기어유닛, 제 3 기어유닛(42a, 42b, 42c)에 구비된 기어세트들의 기어비(주동기어와 종동기어 사이의 기어비)가, 각각 1:1, 2:1, 3:1인 경우, 이웃하는 기어유닛들 사이(42a와 42b 사이 및 42b와 42c 사이)의 간격들은 항상 같게 유지된 채 변화된다.
또한, 상기 이웃하는 기어유닛들 사이(42a와 42b 사이 및 42b와 42c 사이)의 간격들은 제 1 기어유닛(42a)과 도 1에 도시된 기준 블록(41)과 항상 같다. 그리고, n이 상기 기준 블록(41)이 존재하는 기준 위치로부터의 기어유닛 순서일 때, 상기 기어유닛(42a, 42b, 42c)들은 n: 1의 기어비 관계를 가지며, 그러한 기어비 관계에 의해, 상기 기어유닛들 사이의 간격들이 항상 같게 유지된 채 변화될 수 있는 것이다.
위에서는, 기준 블록(41)과 그로부터 좌측에 위치하는 기어유닛들(42a, 42b, 42c) 사이의 관계에 대해서만 설명되었지만, 그와 같은 관계는, 기준 블록(41)과 그로부터 우측에 위치하는 기어유닛들(42d, 42e, 42f; 도 1 참조) 사이의 관계에서도 동일하게 적용된다. 따라서, 도 1에 도시된 본 실시예의 간격조절장치(1)는 간 격들이 항상 일정한 상태로 변화하여, 피치가 가변되는 트레이에 수용된 부품(특히, 반도체 부품 또는 휴대폰 카메라 모듈)의 픽업에 이용되는 픽업유닛들의 간격 조절에 적절히 이용될 수 있는 것이다.
도 4를 참조하면, 상기 기준블록(41; 점선으로 표시함)과 상기 기준블록(41)의 좌측에 위치하는 3개의 기어유닛(42a, 42b, 42c; 점선으로 표시함)들과, 상기 기준블록(41)의 우측에 위치하는 다른 3개의 기어유닛(42d, 42e, 42f; 점선으로 표시함)들 각각에, 7개의 픽업유닛(60)들이 각각 설치된 구조를 잘 보여준다. 상기 픽업유닛(60)들 각각은, 진공에 의한 부품의 흡착작용이 실질적으로 이루어지는 노즐부(621)와, 상기 노즐부(621)를 상기 기어유닛(42)들과 상기 기준블록(41)에 결합시키는 연결부(622)를 포함한다. 상기 연결부(622)는, 기어유닛(42)의 프레임 또는 상기 기준블록(41)에 체결 고정되는 한편, 그 상부에서, 복수의 LM 가이드 중 어느 하나의 LM 가이드(51, 52)에 연결된다. 단, 기준블록(41)과 연결되는 픽업유닛(60)은, 축방향 슬라이딩 운동이 요구되지 않으므로, 자체 연결부(622)가 상기 LM 가이드에 연결되지 않아도 된다. 상기 LM 가이드의 이용은 상기 기어유닛들의 원활한 축방향 슬라이딩 이동을 위한 것이다.
상기 픽업유닛(60)들은, 트레이(2) 내부에서 제 1 피치(P1)로 이격된 일열의 수납부(2a)들로부터, 반도체 부품(또는, 카메라 모듈; 3)들을 동시에 흡착하여 들어올리는 픽업기능을 한다. 이때, 트레이(2)의 교체에 의해, 제 1 피치(P1)로부터 제 2 피치(P2)로의 변화가 있다면, 모터(70)의 구동 및 전술한 n:1의 기어비 관계를 기초로 하는 기어유닛(42)들의 이동에 의해, 상기 기어유닛(42)들과 상기 기준 블록(41)에 설치된 픽업유닛(60)들의 간격을 제 2 피치(P2)에 상응하게 조절할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 간격 조절되는 픽업유닛들의 개수를 종래의 5개로부터 7개, 더 나아가서는, 7개 이상으로 증가시킬 수 있으며, 하나의 모터를 사용하여, 피치 간격을 8 내지 30 mm 사이에 적절히 자동 조절할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 간격조절장치를 도시한 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 간격조절장치의 기어유닛을 분해하여 도시한 사시도.
도 3은 도 1에 도시된 간격조절장치의 기어유닛들의 관계를 보여주는 사시도.
도 4는 복수의 픽업유닛을 구비한 간격조절장치를 보여주는 정면도이다.

Claims (8)

  1. 다른 기어비로 맞물려 회전하는 주동기어와 종동기어의 세트들을 포함하는 복수의 기어유닛들과;
    회전방향으로 상기 주동기어를 구속하고, 축방향으로 상기 주동기어의 슬라이딩을 허용하는 제 1 샤프트와;
    자체의 나사선에 의해 결정된 방향으로, 상기 종동기어의 축방향 이동을 허용하는 제 2 샤프트를 포함하며,
    상기 복수의 기어유닛들은, 상기 다른 기어비에 의해 다른 거리로 축방향 이동하는 주동기어와 종동기어에 의해, 간격이 조절되는 것을 특징으로 하는 간격조절장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 주동기어의 축방향 슬라이딩을 위해, 상기 주동기어의 축공과 상기 제 1 샤프트의 형상은 서로 상응하는 다각형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 간격조절장치.
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 제 2 샤프트는, 기준 위치의 좌우 각각에, 동일 피치의 정방향 나사산과 역방향 나사산을 각각 구비하며, 상기 복수의 기어유닛들은 상기 정방향 나사산과 상기 역방향 나사산에 의해, 서로 반대 방향으로 축방향 이동되는 좌측 및 우측의 기어유닛들을 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 간격조절 장치.
  4. 청구항 3에 있어서, 상기 좌측 기어유닛들과 상기 우측 기어유닛들 각각은, n이 상기 기준 위치로부터의 기어유닛 순서일 때, n:1의 기어비 관계를 가져, 이웃하는 기어유닛들 사이의 간격들이 항상 같게 변화되는 것을 특징으로 하는 간격조절장치.
  5. 청구항 4에 있어서, 상기 기준 위치에는 기준블록이 축방향에 대하여 고정 설치되며, 상기 기준블록과 그에 인접한 기어유닛 사이의 간격은 다른 이웃하는 기어유닛을 사이의 간격과 항상 같은 것을 특징으로 하는 간격조절장치.
  6. 청구항 5에 있어서, 상기 복수의 기어유닛들 각각의 프레임과, 상기 기준블록에는 일열로 배열된 부품을 흡착하여 들어올리는 복수의 픽업유닛들이 설치된 것을 특징으로 하는 간격조절장치.
  7. 청구항 6에 있어서, 상기 복수의 픽업유닛들을 슬라이딩 가능하게 안내하는 복수의 LM 가이드들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 간격조절장치.
  8. 청구항 1에 있어서, 상기 복수의 기어유닛들 각각은 상기 제 1 및 제 2 샤프트를 지지하는 프레임을 포함하되, 상기 주동 및 종동기어와 상기 프레임 사이에는 마찰 방지용 베어링이 설치된 것을 특징으로 하는 간격조절장치.
KR1020080048716A 2008-05-26 2008-05-26 간격조절장치 KR100945496B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080048716A KR100945496B1 (ko) 2008-05-26 2008-05-26 간격조절장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080048716A KR100945496B1 (ko) 2008-05-26 2008-05-26 간격조절장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090122759A KR20090122759A (ko) 2009-12-01
KR100945496B1 true KR100945496B1 (ko) 2010-03-09

Family

ID=41685200

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080048716A KR100945496B1 (ko) 2008-05-26 2008-05-26 간격조절장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100945496B1 (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101951288B1 (ko) * 2017-03-28 2019-02-22 삼성전자주식회사 픽업 유닛 및 이를 포함하는 반도체 소자의 픽업 시스템
CN208128647U (zh) * 2017-04-21 2018-11-20 北京德鑫泉物联网科技股份有限公司 埋线头间距电动调节机构
KR102067179B1 (ko) * 2019-04-02 2020-02-11 김성호 파고계간 간격 조절용 자동 3축 조절장치
KR102419848B1 (ko) * 2020-12-15 2022-07-22 이정현 피커 가변 조절 장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000000491U (ko) * 1998-06-11 2000-01-15 윤종용 핸들러 시스템용 픽 앤 플레이스의 픽업 헤드피치 가변용 링크조립체
KR20060036326A (ko) * 2004-10-25 2006-04-28 (주)테크윙 반도체 소자 검사장치의 픽 앤드 플레이스
KR100596739B1 (ko) 2005-03-02 2006-07-04 (주)테크윙 테스트 핸들러의 로더 핸드
KR100627300B1 (ko) 2005-04-01 2006-09-25 엘에스전선 주식회사 픽업 간격 조절 이송 장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000000491U (ko) * 1998-06-11 2000-01-15 윤종용 핸들러 시스템용 픽 앤 플레이스의 픽업 헤드피치 가변용 링크조립체
KR20060036326A (ko) * 2004-10-25 2006-04-28 (주)테크윙 반도체 소자 검사장치의 픽 앤드 플레이스
KR100596739B1 (ko) 2005-03-02 2006-07-04 (주)테크윙 테스트 핸들러의 로더 핸드
KR100627300B1 (ko) 2005-04-01 2006-09-25 엘에스전선 주식회사 픽업 간격 조절 이송 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20090122759A (ko) 2009-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100981609B1 (ko) 벨트 기구를 이용하는 간격조절장치
KR100945496B1 (ko) 간격조절장치
KR102539039B1 (ko) 산업용 로봇
KR102092216B1 (ko) 산업용 로봇
KR20110022954A (ko) 카메라폰용 렌즈모듈 조립방법 및 장치
KR100552303B1 (ko) 구동 기구 및 이 구동 기구가 제공된 이동 가능한 테이블유닛
US20180043489A1 (en) Work conveying pallet
KR100822995B1 (ko) 반도체 자재 분류이송장치
KR20080074569A (ko) 반도체 패키지 가공시스템 및 반도체 패키지 가공방법
KR20080019524A (ko) 위치변경장치 및 반도체 패키지 가공시스템
KR100920214B1 (ko) 반도체칩 픽업장치
KR101215591B1 (ko) 기판 반송 시스템
CN1130115C (zh) 电子器件安装装置
JP2007096062A (ja) 電子部品移載装置
KR101012137B1 (ko) 이송툴
KR20080089795A (ko) 핸들러의 진공 흡착 픽커장치
JP2004039706A (ja) 搬送装置
JP4681158B2 (ja) 電気部品装着システム
KR20130122977A (ko) 부품 실장 장치
KR101754958B1 (ko) 멀티 칩 픽커
KR200468156Y1 (ko) 반도체 이송용 쏘팅픽커
KR100904495B1 (ko) 트레이 픽커 어셈블리
JP2009287584A (ja) ボールナット、単軸ロボット、および電子部品移載装置
JP5019226B2 (ja) ワーク整列集積装置
KR101157155B1 (ko) 칩 트레이 공급장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130103

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131206

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141230

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151208

Year of fee payment: 7

LAPS Lapse due to unpaid annual fee