KR100596739B1 - 테스트 핸들러의 로더 핸드 - Google Patents

Abstract

본 발명은 로더 핸드의 무게를 줄이고 로더 핸드에 장착된 피커들의 간격 제어를 안정화하도록 한 테스트 핸들러의 로더 핸드에 관한 것이다.

이 테스트 핸들러의 로더 핸드는 대상체를 각각 픽킹하기 위한 다수의 피커들과; 상기 피커들 간의 x축 방향의 수평운동을 안내하기 위한 볼스플라인 샤프트와; 중앙부를 기점으로 하여 양측에 방향이 다른 나사산이 형성되고 상기 피커들 중 적어도 하나의 좌측 피커와 적어도 하나의 우측 피커와 치합되는 스크류 가이드축과; 일측에 기어열이 직선 형태로 형성되는 랙기어와; 상기 랙기어를 직선운동시키기 위한 구동 실린더와; 상기 스크류 가이드축이 취부되고 상기 랙기어와 치합되어 상기 랙기어의 직선운동에 연동하여 상기 스크류 가이드축을 회동시키기 위한 피니언을 구비한다.

Description

테스트 핸들러의 로더 핸드{LOADER HAND OF TEST HANDLER}

도 1은 본 발명에 따른 테스트 핸들러를 개략적으로 나타내는 평면도이다.

도 2는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 로더 핸드로써 x축 방향으로 피커들 사이의 간격이 최대가 될 때의 사시도이다.

도 3은 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 로더 핸드로써 x축 방향으로 피커들 사이의 간격이 최소가 될 때의 부분 분해 사시도이다.

도 4는 랙기어와 피니언의 결합관계를 보여주는 사시도이다.

도 5는 스톱퍼와 중앙 정렬바의 결합 상태를 보여 주는 도면이다.

도 6은 피커의 사시도이다.

도 7은 피커의 측면도이다.

도 8은 피커들 사이의 간격이 최소일 때 스톱퍼들의 면접촉을 보여 주는 정면도이다.

도 9는 피커들 사이의 간격이 최대일 때 스톱퍼들의 이격을 보여 주는 정면도이다.

도 10은 도 9에 도시된 피커열들에 고리가 결합된 상태를 보여 주는 정면도이다.

도 11은 피커들 간의 x축 방향 간격이 넓어진 상태를 보여 주는 로더 핸드의 정면도이다.

도 12은 피커들 간의 x축 방향 간격이 좁혀진 상태를 보여 주는 로더 핸드의 정면도이다.

도 13은 피커들 간의 y축 방향 간격의 조정예를 보여 주는 로더 핸드의 측면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1 : 피커 1a : 가이드 돌기

2 : 베이스 플레이트 3 : LM 가이드

4 : y축 피치변환용 구동실린더 5 : 볼스플라인 샤프트

6 : 피니언 6a : 스크류 가이드축

7 : 랙기어 구동용 구동실린더 7a : 랙기어

8 : 고리 9 : y축 가동 플레이트

10 : 연결바 11 : 기준바

12, 13 : 측벽 플레이트 14 : 스톱퍼 고정블록

15 : 스톱퍼 16 : x축 가이드 샤프트

17 : 중앙 정렬바 17a : 중앙 정렬바의 돌기

18 : 실린더 고정용 플레이트 100 : 로더 핸드

200 : 디바이스 로딩유닛 210 : 테스트트레이

220 : 직교좌표로봇 300 : 유저트레이

본 발명은 반도체 디바이스를 자동적으로 테스트할 수 있는 테스트 핸들러에 관한 것으로, 특히 로더 핸드의 무게를 줄이고 로더 핸드에 장착된 피커들의 간격 제어를 안정화하도록 한 테스트 핸들러의 로더 핸드에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 간격조절장치의 부품수를 줄이고 간격 조절시에 편심을 최소화하도록 한 테스트 핸들러의 로더 핸드에 관한 것이다.

반도체 디바이스는 제조공정을 마친 후 완성품에 대하여 테스트 공정에 의해 양품 및 불량 판정된다. 이 테스트 공정에는 일반적으로 "테스트 핸들러"로 불리우는 자동화 검사장치가 이용되고 있다.

테스트 핸들러는 유저트레이로부터 테스트 트레이 쪽으로 반도체 디바이스를 자동으로 이송시킨 후에 테스트 헤드에 반도체 디바이스의 입/출력단자들을 접촉시킨 다음, 테스트를 수행한다. 그리고 테스트 핸들러는 테스트 결과에 따라 반도체 디바이스들을 등급별로 분류하여 적재한다. 이러한 테스트 핸들러는 유저트레이 공급/출하부를 포함하는 스태커 유닛과, 유저트레이에 수납된 반도체 디바이스를 테스트트레이에 로딩하는 디바이스 로딩유닛과, 반도체 디바이스를 테스트하는 챔 버유닛과, 반도체 디바이스를 챔버유닛으로부터 언로딩하는 디바이스언로딩유닛과, 테스트 결과에 따라 반도체 디바이스를 분류하는 분류유닛으로 구성된다.

여기서, 로더 핸드는 다수의 피커들이 장착된다. 로더 핸드의 피커들은 유저트레이의 반도체 디바이스 탑재공간 및 피치와, 테스트트레이의 반도체 디바이스 탑재공간 및 피치가 서로 다르기 때문에 서로 간의 간격이 조절될 필요가 있다.

종래의 테스트 핸들러의 로더 핸드에는 특허 제 248704 호 등에 개시된 바와 같이 캠판이나 캠축, 그 캠판이나 캠축을 구동하기 위한 구동 실린더, LM 가이더, 기타 갬판 및 캠축과 직,간접으로 연결된 부품들이 많기 때문에 그 무게가 무거워질 수 밖에 없고, 피커들 사이의 간격 조절시 피커들의 이동 속도 제어가 어렵고 피커들의 흔들림이 많으므로 피커들 사이의 간격 제어가 불안정한 문제점이 있었다. 또한, 캠판이나 캠축을 구동하기 위한 구동 실린더는 로더 핸드의 양측 각각에 하나씩 설치되나 양측의 실린더에 공급되는 공압이 차이가 난다면 캠판이나 캠축이 기울게 되므로 피커들 사이의 간격 조절시 편심으로 인하여 피커들 사이의 간격이 서로 다르게 될 수 있다.

본 발명의 목적은 로더 핸드의 무게를 줄이고 로더 핸드에 장착된 피커들의 간격 제어를 안정화하도록 한 테스트 핸들러의 로더 핸드를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 간격조절장치의 부품수와 무게를 줄이고 간격 조절시에 편심을 최소화하도록 한 테스트 핸들러의 로더 핸드를 제공하는데 있다.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 로더 핸드는 대상체를 각각 픽킹하기 위한 다수의 피커들과; 상기 피커들 간의 x축 방향의 수평운동을 안내하기 위한 볼스플라인 샤프트와; 중앙부를 기점으로 하여 양측에 방향이 다른 나사산이 형성되고 상기 피커들 중 적어도 하나의 좌측 피커와 적어도 하나의 우측 피커와 치합되는 스크류 가이드축과; 일측에 기어열이 직선 형태로 형성되는 랙기어와; 상기 랙기어를 직선운동시키기 위한 구동 실린더와; 상기 스크류 가이드축이 취부되고 상기 랙기어와 치합되어 상기 랙기어의 직선운동에 연동하여 상기 스크류 가이드축을 회동시키기 위한 피니언을 구비한다.

상기 테스트 핸들러의 로더 핸드는 상기 수평운동 방향에서 이웃하는 상기 피커들 간에 연결되어 상기 피커들 간의 최대 간격을 제한하기 위한 다수의 고리와; 상기 피커들 각각에 끼워져 상기 수평운동 방향에서 이웃하는 상기 피커들 간의 최소 간격을 제한하는 다수의 스톱퍼와; 상기 스톱퍼들 각각을 관통하여 상기 스톱퍼의 수평운동 방향을 안내하는 가이드 샤프트를 더 구비한다.

상기 테스트 핸들러의 로더 핸드는 직교좌표로봇과; 상기 직교좌표로봇에 고정되는 베이스 플레이트와; 상기 베이스 플레이트의 양측에서 길게 연장된 한 조의 연결바와; 상기 한 조의 연결바의 끝단에 고정되는 기준바와; 상기 연결바 상에 설치되는 LM 가이드와; 상기 LM 가이드의 슬라이더에 체결되어 상기 연결바를 따라 이송 가능하게 설치되는 y축 가동 플레이트와; y축 가동 플레이트의 양측에 고정된 한 조의 후열 측벽 플레이트와; 상기 기준바의 양측에 한 조의 전열 측벽 플레이트와; 상기 전/후열 측벽 플레이트 각각에 상기 x축 방향으로 상하 두개 씩 체결되는 볼스플라인 샤프트와; 및 상기 기준바에 고정되고 진퇴 가능한 로드가 상기 y축 가동 플레이트에 고정되는 y축 피치변환용 구동실린더를 더 구비한다.

상기 고리들과 상기 스톱퍼들은 교체 가능하다.

상기 피커들은 상기 전열 측벽 플레이트에 체결되는 상기 볼스플라인 샤프트에 의해 수평운동이 가이드되는 다수의 피커들을 포함한 전열 피커들과; 상기 후열 측벽 플레이트에 체결되는 상기 볼스플라인 샤프트에 의해 수평운동이 가이드되는 다수의 피커들을 포함한 전열 피커들을 구비한다.

상기 피커들 각각은 진공패드를 승강시키기 위한 구동 실린더가 내장된다.

상기 테스트 핸들러의 로더 핸드는 상기 전열 피커들과 상기 후열 피커들 각각에서 중앙부의 피커들의 위치를 제한하여 상기 수평방향에서 상기 피커들의 간격이 좁혀질 때 상기 피커들을 중앙 근방으로 정렬하는 중앙 정렬바를 더 구비한다.

상기 목적 외에 다른 목적 및 이점들은 첨부한 도면들을 참조한 본 발명의 바람직한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.

이하, 도 1 내지 도 13을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 설명하기로 한다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 테스트 핸들러는 디바이스 로딩유닛(200)을 구비한다.

디바이스 로딩유닛(200)은 유저트레이(300)와 테스트트레이(210) 사이에서 왕복운동하면서 유저트레이(300) 상에 수납된 반도체 디바이스들을 테스트트레이(210)에 로딩한다.

디바이스 로딩유닛(200)은 로더 핸드(100)와 직교좌표로봇(220)을 포함한다.

로더 핸드(100)는 고리 방식에 의해 서로 간의 간격이 제어되는 전후열의 피커들이 장착된다.

직교좌표로봇(220)은 로더 핸드(100)를 x축 및 y축의 2축 방향으로 이동시키는 역할을 한다.

도 2 및 도 3은 로더 핸드(100)의 사시도이며, 도 3은 로더 핸드(100)에서 스토퍼 어세이와 중앙 정렬바를 분해한 상태의 사시도이다.

도 2를 참조하면, 로더 핸드(100)는 전/후열의 피커들(1)과, 전열의 피커들(1)과 후열의 피커들(1) 사이의 피치를 조정하기 위한 y축 방향(또는 전후방향) 간격 조절부와, 전/후열 각각에서 x 방향에서 이웃하는 피커들(1) 사이의 피치를 조정하기 위한 x축 방향(또는 좌우방향) 간격 조절부를 구비한다.

y축 방향 간격 조절부는 베이스 플레이트(2), 베이스 플레이트(2)의 양측에서 y축 방향으로 길게 연장된 한 조의 연결바(10), 한 조의 연결바(10)의 끝단에 고정되는 기준바(11), LM 가이드(3)를 사이에 두고 연결바(10)에 이송 가능하게 설치된 y축 가동 플레이트(9), 및 기준바(11)에 설치되어 y축 가동 플레이트(9)를 구동시키는 y축 피치변환용 구동실린더(4)를 포함한다.

베이스 플레이트(2)는 직교좌표로봇(220)에 고정되고 로더 핸드(100) 전체를 지지한다.

y축 가동 플레이트(9)의 양측에는 한 조의 후열 측벽 플레이트(13)가 고정되고, 기준바(11)의 양측에는 한 조의 전열 측벽 플레이트(12)가 고정된다. 전/후열 측벽 플레이트(12, 13) 각각에는 x축 방향으로 상하 두 개의 볼스플라인 샤프트(5)가 체결된다. 전후열의 볼스플라인 샤프트(5)에는 각각 8 개의 피커들이 x축 방향으로 이송 가능하게 체결된다.

y축 피치변환용 구동실린더(4)의 바디는 기준바(11)에 고정되고 에어압에 따라 진퇴 가능한 로드의 끝단이 y축 가동 플레이트(9)에 고정된다. 이 y축 피치변환용 구동실린더(4)는 도시하지 않은 제어 프로그램에 따라 제어되는 에어압에 의해 로드를 진퇴시켜 y축 가동 플레이트(9)를 진퇴시킨다. 따라서, y축 피치변환용 구동실린더(4)가 구동되면 전열의 피커들(1)과 후열의 피커들(1) 사이의 y축 방향 간격이 조절된다. 도 2는 y축 피치변환용 구동실린더(4)의 로드가 최대로 전진될 때 전열 피커들(1)과 후열 피커들(1)의 최대 간격을 보여 주며, 도 3은 y축 피치 구동실린더(4)의 로드가 최대로 후퇴될 때 전열 피커들(1)과 후열 피커들(1)의 최소 간격을 보여 준다. 그리고 도 13은 로더핸드(100)의 측면도로써 전열 피커들(1)과 후열 피커들(1) 사이의 간격 조정예를 보여주는 도면이다.

x축 방향 간격 조절부는 일측의 측벽 플레이트(12 또는 13) 상에 설치되는 랙기어 구동용 구동실린더(7), 랙기어 구동용 구동실린더(7)의 로드에 취부된 랙기어(7a), 랙기어(7a)에 연동하여 회동하는 피니언(6), 피니언(6)에 연동하여 회전하는 스크류 가이드축(6a), x축 방향으로 이웃하는 피커들(1) 사이에 설치되고 서로가 일부 중첩되는 고리들(8), 피커들(1) 각각에 끼워진 스톱퍼(15), 및 중앙 정렬 바(17)를 포함한다.

랙기어 구동용 구동실린더(7), 랙기어(7a), 피니언(6), 및 스크류 가이드축(6a)의 결합은 도 4와 같다. 도 4에서 알 수 있는 바, 랙기어 구동용 구동 실린더(7)는 랙기어(7a)를 z축 방향 즉, 상하방향으로 직선운동시키는 역할을 하며, 랙기어(7a)는 피니언(8)과 치합되어 피니언(8)을 회전시키는 역할을 한다. 그리고 피니언(8)은 스크류 가이드축(6a)가 체결되어 스크류 가이드축(6a)를 회전시키는 역할을 한다. 스크류 가이드축(6a)는 중앙을 기점으로 하여 양측에 서로 반대방향의 나사산이 형성되어 있다. 전후열의 피커들(1) 중에서 최좌측의 피커(1)는 스크류 가이드축(6a)의 일측 나사산에 치합되는 암나사산이 형성되며, 최우측의 피커(1)는 스크류 가이드축(6a)의 타측 나사산에 치합되는 암나사산이 형성된다. 따라서, 랙기어 구동용 구동실린더(7)에 공압이 주입되면, 랙기어 구동용 구동실린더(7)의 로드와 랙기어(7a)는 z축 방향으로 진퇴함과 동시에, 피니언(6)과 샤프트(6a)는 시계방향 또는 반시계방향으로 회전하여 최좌측의 1번 피커(1)와 최우측의 8번 피커(1) 사이의 간격을 좁히거나 넓히게 된다. 이 때, 최좌측 의 1번 피커(1)와 최우측의 8번 피커(1) 사이에 위치하는 중간부의 피커들(1)은 고리(8), 스톱퍼(15), 및 중앙 정렬바(17)에 의해 최좌측의 1번 피커(1)와 최우측의 8번 피커(1)가 서로 다른 방향으로 이송할 때 그들과 함께 종속적으로 이송되며 그들 사이의 최대 간격과 최소간격이 규정된다.

랙기어 구동용 구동실린더(7), 랙기어(7a), 피니언(6) 및 스크류 가이드축(6a)에 의해 피커들(1)이 x축 방향으로 이송될 때 전/후열 각각에서 피커들(1)은 상하 두개의 볼스플라인 샤프트(5)를 따라 흔들림없이 안정되게 x축 방향으로 이송하게 된다. 다시 말하여, 피커들(1)의 x 축방향 이송시 피커들(1)의 이송은 상하 두 개로 수평하게 설치된 볼스플라인 샤프트(5)에 의해 안정되게 가이드된다.

고리들(8) 각각은 중앙부에 개구부 또는 장공이 형성된다. 이 고리들(8)은 x축 방향으로 인접한 피커들(1) 중에서 좌측의 피커들에 일단이 회동 가능하게 체결되고 개구부 내에 우측 피커(1)에 형성된 가이드 돌기(1a)가 삽입된다. 이러한 고리들(8)은 x축 방향으로 이웃하는 피커들(1) 사이의 간격이 최대로 벌어질 때 x축 방향으로 이웃하는 피커들(1) 사이의 최대간격을 제한하는 역할을 한다. 이러한 고리들(8)은 x축 방향 피치에 따라 교체될 수 있다. 즉, x축 방향에서 테스트 트레이에 수납된 반도체 디바이스들 사이의 피치가 달라지면 그 피치에 따라 설계된 고리들(8)로 교체가 가능하다. 도 2, 도 10 및 도 11은 x축 방향에서 이웃하는 피커들(1) 사이의 간격이 최대일 때, 고리들(8)이 반시계방향으로 회전하면서 피커들(1)의 가이드 돌기(1a) 각각이 개구공의 장변 끝단에 위치한 상태를 보여 준다.

도 3과 도 12는 x축 방향에서 이웃하는 피커들(1) 사이의 간격이 최소일 때, 고리들(8)이 자중에 의해 시계방향으로 회전하면서 피커들(1)의 가이드 돌기(1a) 각각이 개구공의 중간부에 위치한 상태를 보여 준다.

스톱퍼들(15)은 전/후열 각각에서 피커들(1) 각각에 대응하도록 전/후열 각각에서 8 개로 구성되고 피커들(1)에 1 : 1로 체결되어 피커들(1)의 이송시 각각의 피커들(1)과 함께 이송된다. 스톱퍼들(15)에는 도 5와 같이 피커(1)를 감싸는 암 (15b)이 형성된다. 이 스톱퍼들(15)은 x축 가이드 샤프트(16)에 이송 가능하게 끼워지고, x축 가이드 샤프트(16)의 양측에는 스톱퍼 고정블록(14)이 고정되며, 양측의 스톱퍼 고정블록(14)은 전/후열 각각에서 측벽 플레이트들(13)에 고정된다. 이러한 스톱퍼들(15)은 피커들(1)이 이송될 때 가이드 샤프트(16)를 따라 피커(1)와 함께 이송되며, x축 방향에서 이웃하는 피커들(1) 사이의 최소 간격을 제한하는 역할을 한다. 즉, 스크류 가이드축(6a)의 회전에 의해 서로의 간격이 좁아지는 피커들(1) 사이의 최소 간격을 규정한다. 이러한 스톱퍼들(15)은 유저트레이 내에 수납된 반도체 디바이스의 x축 방향 피치가 달라지게 되면 그에 대응하여 교체된다. 도 4 및 도 8은 이웃한 스톱퍼들(15)이 면접촉 하여 x축 방향에서 피커들(1) 사이의 간격이 최소로 되는 상태를 보여 준다.

중앙 정렬바(17)는 양측에 형성된 중앙 정렬바(17)의 양측 끝단과 스톱퍼 고정블록(14)을 관통하여 전/후열 측벽 플레이트들(13)에 고정되는 스크류에 의해 측벽 플레이트들(13)에 고정된다. 중앙 정렬바(17)의 중앙부에는 돌기(17a)가 형성된. 이러한 중앙 정렬바(17)의 돌기(17a)는 피커들(1)의 간격이 좁아질 때 스톱퍼들(15) 중 중앙에 위치하는 4번 및 5번 스톱퍼(15)의 위치를 중앙 정렬바(17)의 중앙에 정렬시켜 모든 피커들(1)을 중앙에 정렬시키는 역할을 한다. 이를 위하여, 4번 및 5번 스톱퍼(15)의 일측에는 도 4와 같이 중앙 정렬바(17)의 돌기(17a)와 형합되는 홈(15a)이 형성된다.

도 6은 피커(1)의 사시도이고, 도 7은 피커(1) 내에 진공압 경로를 보여 주는 정면도이다.

도 6 및 도 7을 참조하면, 피커(1)는 상/하 볼스플라인 샤프트(5)가 관통되어지는 가이드홀들(511)이 형성된 가이드 블록(51), 가이드 블록(51)에 고정되고 z축 구동실린더(521)가 내장된 피커바디(52), 피커바디(52)를 관통하는 진공포트(53), 및 진공포트(53)의 하단에 취부된 진공패드(54), 및 가이드돌기(1a)를 구비한다.

진공포트(53)는 피커(1)는 제어 프로그램에 의해 제어되는 에어압에 따라 구동되는 내장 z축 구동실린더(521)에 의해 승강한다.

진공패드(54)는 진공포트(52)가 하강하여 반도체 디바이스와 접촉할 때 진공압으로 반도체 디바이스를 흡착한다.

이와 같은 로더 핸드의 동작을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 본 발명은 직교좌표로봇(220)에 의해로더 핸드 전체를 유저 트레이 쪽으로 이송시키고 유저트레이 상에서 y축 피치변환용 구동실린더(4)의 로드를 후퇴시켜 전/후열 피커들(1) 간의 y축 피치를 좁게 함과 아울러 x축 피치 변환용 구동실린더(6, 7)의 로드를 후퇴시켜 x축 방향에서 이웃한 피커들(1) 간의 피치를 좁힌다. 이 때, x 방향에서 이웃하는 피커들(1) 간의 최소간격은 소톱퍼들(7)에 의해 제한된다. 그리고 본 발명은 유저트레이 상에서 피커(1) 내의 내장 z축 구동실린더(521)를 구동시켜 16 개의 피커들(1)을 하강시켜 유저트레이에 수납된 반도체 디바이스를 진공패드들(54)로 진공 흡착한 후, 16 개의 피커들(1)을 상승시킨다. 이어서, 본 발명은 직교좌표로봇(22)에 의해 반도체 디바이스들을 진공 흡착한 로더 핸드 전체를 테스트트레이 쪽으로 이송시킨 후, y축 피치변환용 구동실린더의 로 드를 전진시켜 전/후열 피커들(1) 간의 y축 피치를 넓힘과 아울러 랙기어 구동용 구동 실린더(7)를 구동시켜 스크류 가이드축(6a)을 회전시킴으로써 x축 방향에서 이웃한 피커들(1) 간의 피치를 넓힌다. 이 때, x 방향에서 이웃하는 피커들(1) 간의 최대간격은 고리들(8) 내의 개구공 장변에 의해 제한된다. 마지막으로, 본 발명은 피커(1) 내의 내장 z축 구동실린더(521)를 구동시켜 피커들(1)을 하강시킨 다음, 진공패드(54)의 진공을 해제시켜 반도체 디바이스를 테스트트레이에 안착시킨 다음, 다시 피커(1) 내의 내장 z축 구동실린더(521)를 구동시켜 16 개의 피커들(1)을 상승시킴으로써 1회 로드동작을 완료한다.

본 발명은 실시예에서 로더 핸드를 중심으로 설명하였지만 고리방식의 간격 조절 방식은 반도체 디바이스를 챔버유닛으로부터 언로드하는 언로더 핸드에도 동일하게 적용 가능하다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 테스트 트레이의 로더 핸드는 피커의 넓힘 동작이 완료 된 상태에서 고리에 의해 각각의 피커를 볼스플라인에 수평한 방향으로 서로 잡아 당기는 힘이 작용하여 피커의 흔들림이 종래의 캠축 또는 캠플레이트 방식에 비하여 현저히 개선 되는 효과가 있다. 예컨대, 종래의 캠플레이트 방식 로더 핸드는 캠플레이트가 수직 구동을 한 상태로 정지되어 있으므로 볼스플라인 샤프트에 수직한 방향의 힘이 작용되고 있을 뿐 수평한 방향으로는 작용되지 않고 있으므로 개별 피커들은 캠플레이트 자체의 공차와 각각의 피커의 공차 안에서 수평 방향으로 흔들림이 발생하지만, 본 발명은 고리에 의해 피커들 사이의 x축 피치가 최대가 된 상태에서 고리에 의해 피커들 사이에 수평한 방향으로 장력이 작용하여 피커들의 자세가 안정된다. 그 결과, 본 발명에 의하면 볼스플라인 샤프트에 수직한 방향의 힘이 작용하지 않으므로 볼스플라인 샤프트가 휘어지는 현상이 발생하지 않는다. 이에 비하여, 종래의 캠플레이트 방식에서는 사용 빈도가 누적 되면서 볼스플라인이 점진적으로 휘어지게 되어 피커의 넓힘과 좁힘의 치수가 변하게 된다.

또한, 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 로더 핸드는 피커의 좁힘 동작에 대해 각각의 스톱퍼가 면으로 작용되므로 피커의 흔들림과 고정 정도가 현저히 개선 된다. 이에 비하여, 종래의 캠플레이트 방식 로더 핸드는 플레이트가 수직 구동을 하므로 수평 방향으로 흔들림이 발생할 수 밖에 없다.

또한, 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 로더 핸드는 피커의 좁힘 동작을 제한하는 스톱퍼들을 하나의 안내 샤프트에 끼워 한개 조로 교체 하므로 피커의 좁힘 치수를 다양하고 간단히 선택할 수 있다. 이에 비하여, 종래의 캠플레이트 방식에서는 캠플레이트가 고가이므로 치수별로 교체하기가 부담스럽다. 스톱퍼들은 저가의 사출물로 제작 가능한다.

또한, 종래의 캠플레이트 방식 로더 핸드는 두 개의 박형 구동 실린더, 두개의 수직 안내 LM 가이더, 두개의 연장장치, 그리고 한 개의 캠플레이트가 필수적이지만, 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 로더 핸드는 고리방식을 채택함으로써 상기한 캠플레이트 방식에 필요한 모든 고가, 고중량의 부품들을 제거할 수 있고 피커 들의 x축 간격을 조절하기 위한 구동 실린더를 제거할 수 있으므로 로더 핸드의 제조비용을 저감시킬 수 있음은 물론이거니와, 테스트 핸들러의 로더 핸드의 부품 수와 무게를 줄일 수 있고 부품 교체를 보다 용일하게 할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 로더 핸드는 피커들 사이의 간격을 넓히거나 좁힐 때 스크류 가이드축이 피커들을 직접 가이드하므로 피커들 간의 편심을 억제할 수 있다.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (5)

1. 대상체를 각각 픽킹하기 위한 다수의 피커들과;

   상기 피커들 간의 x축 방향의 수평운동을 안내하기 위한 볼스플라인 샤프트와;

   중앙부를 기점으로 하여 양측에 방향이 다른 나사산이 형성되고 상기 피커들 중 적어도 하나의 좌측 피커와 적어도 하나의 우측 피커와 치합되는 스크류 가이드축과;

   일측에 기어열이 직선 형태로 형성되는 랙기어와;

   상기 랙기어를 직선운동시키기 위한 구동 실린더와;

   상기 스크류 가이드축이 취부되고 상기 랙기어와 치합되어 상기 랙기어의 직선운동에 연동하여 상기 스크류 가이드축을 회동시키기 위한 피니언을 구비하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 로더 핸드.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 수평운동 방향에서 이웃하는 상기 피커들 간에 연결되어 상기 피커들 간의 최대 간격을 제한하기 위한 다수의 고리와;

   상기 피커들 각각에 끼워져 상기 수평운동 방향에서 이웃하는 상기 피커들 간의 최소 간격을 제한하는 다수의 스톱퍼와;

   상기 스톱퍼들 각각을 관통하여 상기 스톱퍼의 수평운동 방향을 안내하는 가 이드 샤프트를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 로더 핸드.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 고리들과 상기 스톱퍼들은 교체 가능한 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 로더 핸드.
4. 제 1 항에 있어서,

   직교좌표로봇과;

   상기 직교좌표로봇에 고정되는 베이스 플레이트와;

   상기 베이스 플레이트의 양측에서 길게 연장된 한 조의 연결바와;

   상기 한 조의 연결바의 끝단에 고정되는 기준바와;

   상기 연결바 상에 설치되는 LM 가이드와;

   상기 LM 가이드의 슬라이더에 체결되어 상기 연결바를 따라 이송 가능하게 설치되는 y축 가동 플레이트와;

   상기 y축 가동 플레이트의 양측에 고정된 한 조의 후열 측벽 플레이트와;

   상기 기준바의 양측에 한 조의 전열 측벽 플레이트와;

   상기 전/후열 측벽 플레이트 각각에 상기 x축 방향으로 상하 두개 씩 체결되는 볼스플라인 샤프트와; 및

   상기 기준바에 고정되고 진퇴 가능한 로드가 상기 y축 가동 플레이트에 고정되는 y축 피치변환용 구동실린더를 더 구비하고;

   상기 피커들은,

   상기 전열 측벽 플레이트에 체결되는 상기 볼스플라인 샤프트에 의해 수평운동이 가이드되는 다수의 피커들을 포함한 전열 피커들과;

   상기 후열 측벽 플레이트에 체결되는 상기 볼스플라인 샤프트에 의해 수평운동이 가이드되는 다수의 피커들을 포함한 전열 피커들을 구비하고;

   상기 피커들 각각은 진공패드를 승강시키기 위한 구동 실린더가 내장되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 로더 핸드.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 전열 피커들과 상기 후열 피커들 각각에서 중앙부의 피커들의 위치를 제한하여 상기 수평방향에서 상기 피커들의 간격이 좁혀질 때 상기 피커들을 중앙 근방으로 정렬하는 중앙 정렬바를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 로더 핸드.

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