KR20000000491U - 핸들러 시스템용 픽 앤 플레이스의 픽업 헤드피치 가변용 링크조립체 - Google Patents

Abstract

센터 가이드와, 센터 가이드를 상하로 이동시키기 위한 작동 실린더, 및 센터 가이드의 상하 이동에 따라 신축되는 것에 의해 그에 연결된 다수의 반도체 디바이스 픽업용 픽업 헤드 사이의 피치를 변화시키기 위한 링크를 포함하는 핸들러 시스템용 픽 앤 플레이스의 픽업 헤드 피치 가변용 링크 조립체가 도시되어 있다. 센터 가이드는 중심공과, 이 중심공의 양측으로 그의 길이 방향을 따라 형성되는 다수의 안내공을 가지며, 링크는 중심공 및 다수의 안내공에 하나씩 삽입되는 다수의 상측 핀과, 센터 가이드의 하측에 위치되는 다수의 하측 핀, 및 상측핀과 하측핀에 의해 지그재그 형으로 연결되는 다수의 링크 부재를 가진다. 이와 같이 되어, 링크는 센터 가이드의 상하 이동에 따라 상측핀이 안내공의 길이 방향을 따라 이동되는 것에 의해 신축됨으로써, 그에 연결된 다수의 반도체 디바이스 픽업용 픽업 헤드 사이의 피치를 변화시킨다.

Description

핸들러 시스템용 픽 앤 플레이스의 픽업 헤드 피치 가변용 링크 조립체

본 발명은 반도체 디바이스의 품질 검사를 위한 핸들러 시스템에 관한 것이다. 보다 상세하게는 반도체 디바이스를 커스터머 트레이로부터 테스트 트레이로 또는 그 반대로 이송하기 위한 픽 앤 플레이스에 설치된 픽업 헤드의 피치를 조절하기 위한 링크 조립체에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 디바이스의 품질 검사에 사용되는 핸들러 시스템에서 커스터머 트레이와 테스트 트레이 사이의 반도체 디바이스 이송 작업은 픽 앤 플레이스에 의해 이루어진다.

이러한 픽 앤 플레이스는 도 1에 도시된 바와 같이, 가이드 레일(10) 따라 평면이동 가능하게 설치된 승강 부재(20), 이 승강 부재(20) 하측에 지지된 프레임30, 프레임30 내부에 2열로 배열되며, 트레이(1) 상에 수용된 반도체 디바이스(2)를 픽업(pick-up)하기 위한 다수의 픽업 헤드(40), 및 이들 픽업 헤드(40) 사이의 피치를 변화시키기 위한 링크 조립체(50)를 포함하고 있다.

이와 같은 픽 앤 플레이스는 승강 부재(20)가 가이드 레일(10)을 따라 작업 공간에서 평면 이동되는 것에 따라 커스터머 트레이와 테스트 트레이 사이를 이동하며 픽업 헤드(40)의 수에 해당되는 수의 반도체 디바이스를 한꺼번에 이송하게 된다.

그런데, 커스터머 트레이와 테스트 트레이는 그 특성상 수용된 반도체 디바이스들 사이의 간격이 서로 다르게 되어 있다. 따라서, 작업 대상 트레이(1)에 따라 반도체 디바이스(2)를 픽업하는 픽업 헤드(40)들 사이의 간격, 즉 피치를 트레이(1)에 수용된 반도체 디바이스(2)의 간격에 맞추어 변화시켜 주는 것이 필요한데 이러한 역할을 수행하는 것이 링크 조립체(50)이다. 이 링크 조립체(50)에 대하여 보다 상세하게 살펴보면 다음과 같다.

이러한 링크 조립체는 도 2에 도시된 바와 같이, 한 쌍씩의 링크(52)와 작동 실린더(54)가 한 쌍의 센터 가이드(56)를 중심으로 마주보도록 설치된 구조를 가진다.

링크52는 4개의 링크 부재(51)가 핀(53)에 의해 지그재그 형으로 조립되어 있으며, 그중 일측 링크(51a)는 그 끝단이 길게 연장되고 그 끝에 고정된 가이드 핀(53a)이 센터 가이드(56)의 안내홈(57)을 따라 이동 가능하게 수용되어 있다.

그리고, 이들 링크 부재(52)의 핀들 중 2개(53b, 53c)는 서로 반대측에 위치된 픽업 헤드(도 1의 40)들과 각각 연결되며, 그 중 하나의 핀(53c)은 상방으로 길게 연장되어 프레임의 안내공(도 1의 32)을 관통하여 작동 실린더(54)와 연결되어 있다. 프레임의 안내공은 2열로 배열된 픽업 헤드들의 배열 방향을 따라 길게 형성되어 있으며, 센터 가이드(56)는 그의 안내홈(57)이 이 안내공과 직각을 유지하도록 설치되어 있다.

이와 같이 되어, 픽 앤 플레이스가 테스트 트레이 상에서 작업할 경우, 작동 실린더54는 그와 연결된 링크(52)의 핀(53c)을 센터 가이드(56)로부터 멀어지도록 이동시키는 것에 의해, 도 3a에 도시된 바와 같이, 각각의 픽업 헤드(미도시)와 연결되는 핀(53b, 53c)들 사이의 간격을 25mm가 되도록 벌리게 된다. 이에 따라 핀(53b, 53c)들과 연결된 픽업 헤드들의 피치가 테스트 트레이 상에 수용된 반도체 디바이스들 사이의 간격과 동일한 크기를 가지게 되어, 픽 앤 플레이스가 테스트 트레이 상에서 작업하는 것이 가능하게 된다.

한편, 픽 앤 플레이스가 커스트머 트레이로 이동하여 작업할 경우, 픽업 헤드들 사이의 피치는 커스터머 트레이 상에 수용된 반도체 디바이스들 사이의 간격과 일치되도록 조절되어야 한다. 이를 위하여, 작동 실린더가 작동되어 그와 연결된 링크의 핀을 센터 가이드에 가까워지도록 이동시키는 것에 의해 링크(52)는 도 3b와 같이 접히게 된다. 이때, 픽업 헤드와 연결되는 링크(52)의 핀(52b, 52c)들 사이의 간격은 15.16mm로서 커스터머 트레이 상에 수용된 반도체 디바이스들 사이의 간격과 동일한 크기를 가진다.

이와 같이, 작동 실린더의 작동으로 링크가 신축되는 것에 의해 링크에 연결된 픽업 헤드들의 피치는 테스트 트레이 및 커스터머 트레이 상에 각각 수용된 반도체 디바이스들 사이의 간격에 대응되도록 변화되는 것이다.

그러나, 이러한 종래의 링크 조립체는 다음과 같은 문제점이 있었다.

즉, 상기와 같은 종래의 링크 조립체는 링크를 구성하는 링크 부재의 수가 8개이고, 센터 가이드도 2개나 있는 등 그 구성 부품의 수가 많으며, 더욱이 링크를 비롯한 부품들이 한 쌍씩으로 나누어져 있으므로 조립성이 떨어지는 단점이 있었다. 또한, 부품들 사이의 누적 공차로 인하여 피치 변화의 공차가 증가되므로, 각각의 픽업 헤드들 사이의 피치가 균일하지 못하다는 문제점이 있었다. 이로 인하여 픽 앤 플레이스의 신뢰성이 저하되어 이를 사용한 핸들러 시스템 전체의 성능 및 품질에도 나쁜 영향을 미치게 되는 결과가 초래되었다.

본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 부품들 사이의 누적 공차를 최소화함으로써 링크 조립체에 의해 변화되는 픽업 헤드들 사이의 피치를 균일하게 하는데 그 목적이 있다.

본 고안의 또다른 목적은 부품 수를 줄임으로써 조립성을 향상시키는데 있다.

도 1은 종래의 핸들러 시스템용 픽 앤 플레이스를 보인 사시도.

도 2는 도 1에 적용된 종래의 픽업 헤드 피치 가변용 링크 조립체를 보인 분해 사시도.

도 3a 및 도 3b는 도 2에 도시된 링크 조립체의 작용을 설명하기 위한 평면도.

도 4는 본 고안의 일 실시예에 따른 링크 조립체를 보인 사시도.

도 5는 도 4에 도시된 본 고안의 일 실시예에 따른 링크 조립체에 픽업 헤드가 연결된 상태를 보인 사시도.

도 6a는 도 4에 도시된 본 고안의 일 실시예에 따른 링크 조립체의 링크가 벌어진 상태를 보인 작용 상태도.

도 6b는 도 4에 도시된 본 고안의 일 실시예에 따른 링크 조립체의 링크가 접힌 상태를 보인 작용 상태도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

110 ; 센터 가이드 112 ; 중심공

114 ; 안내공 120 ; 링크

122 ; 링크 부재 123 ; 상측핀

124 ; 하측핀 130 ; 작동 실린더

132 ; 연결 브라켓 140 ; 픽업 헤드

상기와 같은 목적들을 달성하기 위한 본 고안에 따른 핸들러 시스템용 픽 앤 플레이스의 픽업 헤드 피치 가변용 링크 조립체는, 센터 가이드와, 센터 가이드를 상하로 이동시키기 위한 작동 실린더, 및 센터 가이드의 상하 이동에 따라 신축되는 것에 의해 그에 연결된 다수의 반도체 디바이스 픽업용 픽업 헤드 사이의 피치를 변화시키기 위한 링크를 포함한다.

센터 가이드는 중심공과, 이 중심공의 양측으로 그의 길이 방향을 따라 형성되는 다수의 안내공을 가지며, 링크는 중심공 및 다수의 안내공에 하나씩 삽입되는 다수의 상측 핀과, 센터 가이드의 하측에 위치되는 다수의 하측 핀, 및 상측핀과 하측핀에 의해 지그재그 형으로 연결되는 다수의 링크 부재를 가진다.

이와 같이 되어, 링크는 센터 가이드의 상하 이동에 따라 상측핀이 안내공의 길이 방향을 따라 이동되는 것에 의해 신축됨으로써, 그에 연결된 다수의 반도체 디바이스 픽업용 픽업 헤드 사이의 피치를 변화시킨다.

여기서, 링크의 상측핀이 상기 센터 가이드의 안내공을 따라 이동되는 거리는 상기 픽업 헤드의 피치 변화량과 동일하다.

이에 따르면, 종래에 비하여 그 구성 부품 수가 저감되고 센터 가이드와 링크가 일체로 조립되므로, 부품들 사이의 누적 공차가 크게 줄어 픽업 헤드 사이의 피치 공차가 크게 줄어들다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 일 실시예를 보다 상세하게 설명한다.

도 4는 본 고안의 일 실시예에 따른 링크 조립체를 보인 사시도이고, 도 5는 도 4의 링크 조립체에 픽업 헤드가 연결된 상태를 보인 사시도이고, 도 6a 및 도 6b는 본 고안의 일 실시예에 따른 링크 조립체의 작용을 설명하기 위한 도면이다.

도 4에 도시된 바와 같이 본 고안의 일 실시예에 따른 링크 조립체는, 센터 가이드(110)와, 링크(120), 및 작동 실린더(130)를 포함한다.

센터 가이드(110)는 그의 중앙에 원형의 중심공(112)이 형성되어 있으며, 이 중심공(112)의 양측에는 한 쌍의 안내공(114)이 센터 가이드(110)의 길이 방향으로 길게 형성되어 있다.

링크(120)는 6개의 링크 부재(122)와, 7개의 핀(123, 124)을 가진다.

6개의 링크(120) 부재는 센터 가이드(110)의 양측으로 각각 위치되고, 핀(123, 124)에 의해 지그재그 형으로 연결된다. 이중 링크(120) 부재의 상측을 연결하는 3개의 상측핀(123)은 센터 가이드(110)의 중심공(112) 및 한 쌍의 안내공(114)을 관통하여 링크 부재(122)를 연결하고 있으며, 나머지 4개의 하측핀(124)은 센터 가이드(110)의 하측에서 링크 부재(122)를 연결하고 있다. 실제적으로는 링크(120)의 양측단에 위치된 2개의 하측핀(124)은 링크 부재(122)들을 연결하는 것은 아니나, 픽업 헤드와의 연결을 위해 링크 부재(122)에 끼워져 있다. 즉, 하측핀(124)들은 도 5에 도시된 바와 같이 픽업 헤드(140)와 연결될 수 있도록 센터 가이드(110)의 양측으로 각각 연장되어 있다.

그리고, 작동 실린더(130)는 연결 브라켓(132)을 통해 센터 가이드(110)의 양측에 각각 하나씩 연결되어 있다.

이와 같이 되어, 본 고안의 일 실시예에 따른 링크 조립체는 픽 앤 플레이스의 프레임(미도시) 내부에 2열로 설치된 픽업 헤드(140)들 사이에 설치되고, 그의 양측으로 연장된 하측핀(124)에 의해 픽업 헤드(140)들과 연결된다(도 5 참조). 하측핀(124)은 센터 가이드(110)의 양측에 배열된 픽업 헤드(140)들에 대하여 교대로 연결된다. 다시 말해서, 센터 가이드(110)의 어느 일측으로부터 순서대로 첫 번째 및 세 번째의 하측핀(124)과 두 번째 및 네 번째의 하측핀(124)이 각각 서로 반대 방향에 위치된 픽업 헤드(140)에 연결되는 것이다.

여기서, 본 고안의 일 실시예는 4개의 픽업 헤드를 가지는 픽 앤 플레이스에 적용되는 경우를 가정한 것으로, 4개의 픽업 헤드(140)와의 연결을 위해 4개의 하측핀(124) 및 이에 대응되는 수의 링크 부재 및 안내공(114)을 가진다. 그러나, 본 고안이 반드시 이에 한정되지 않고, 다른 개수의 픽업 헤드를 가지는 픽 앤 플레이스에도 적용될 수 있음은 자명할 것이다. 즉, 예를 들어 6개의 픽업 헤드를 가지는 경우 6개의 하측핀과, 10개의 링크 부재와 및 5개의 상측핀을 가지는 링크와, 4개의 안내공을 가지는 센터 가이드를 포함할 수 있는 것이다.

이러한 구성을 가지는 본 고안의 일 실시예에 따른 링크 조립체의 작용은 다음과 같다.

우선, 픽 앤 플레이스가 테스트 트레이 상에서 작업할 경우 도 6a에 도시된 바와 같이, 센터 가이드(110)는 작동 실린더(미도시)에 의해 하방으로 내려진 상태이다. 이러한 상태에서, 안내공(114)을 관통하고 있는 한 쌍의 상측핀(123)은 안내공(114)의 가장 외측, 즉, 중심공(112)으로부터 가장 먼 부분에 위치되어 있으며, 이에 따라 링크(120)는 벌어진 상태가 된다. 이 때 하측핀(124)들 사이의 간격은 각각 25mm로 테스트 트레이에 수용된 반도체 디바이스들 사이의 피치와 동일한 크기를 가진다.

그리고 나서, 픽 앤 플레이스가 커스터머 트레이로 이동하여 작업할 경우, 한 쌍의 작동 실린더(미도시)가 동시에 작동되어 센터 가이드(110)를 상방으로 밀어 올린다. 그러나, 링크(120)의 하측핀(124)에 연결된 픽업 헤드는 프레임의 가이드를 따라 수평이동 가능하게 설치되어 있다. 따라서, 픽업 헤드에 연결된 링크(120)의 하측핀들은 센터 가이드(110)가 상방으로 이동되더라도 센터 가이드(110)를 따라서 상방으로 이동되지 못한다. 그 대신 상측핀(123)이 안내공(114)을 따라 센터 가이드(110)의 중심공(112) 측으로 이동되면서 링크(120)가 접히게 된다. 이와 같이 링크(120)가 접힌 상태의 링크 조립체가 도 6b에 도시되어 있다. 이렇게 링크(120)가 접힌 상태에서, 하측핀(124)들 사이의 간격은 각각 15.16m로 커스터머 트레이 상에 수용된 반도체 디바이스들 사이의 피치와 동일한 크기를 가진다. 이에 따라 커스터머 트레이 상에서의 픽 앤 플레이스의 작업이 이루어질 수 있게 되는 것이다.

상기된 바와 같은 본 고안은, 종래에 비하여 그 구성 부품들의 수가 줄어들어 부품 원가 및 조립 공수를 저감할 수 있으며, 이와 함께 센터 가이드와 링크가 일체로 조립되는 것에 의해 부품들 간의 누적 공차로 인한 픽업 헤드 간의 피치 공차를 종래에 비하여 절반 수준으로 줄일 수 있다. 따라서, 픽 앤 플레이스의 신뢰성이 크게 향상되어 핸들러 시스템 전체의 품질 수준도 향상될 수 있는 장점이 있다.

이상에서는 본 고안의 특정의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 또한 설명하였다. 그러나, 본 고안은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 실용신안등록청구의 범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능할 것이다.

Claims (5)

1. 센터 가이드;

   상기 센터 가이드를 상하로 이동시키기 위한 작동 실린더; 및

   상기 센터 가이드의 상하 이동에 따라 신축되는 것에 의해 그에 연결된 다수의 반도체 디바이스 픽업용 픽업 헤드 사이의 피치를 변화시키기 위한 링크를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템용 픽 앤 플레이스의 픽업 헤드 피치 가변용 링크 조립체.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 센터 가이드는 중심공과, 상기 중심공의 양측으로 그의 길이 방향을 따라 형성되는 다수의 안내공을 가지고;

   상기 링크는 상기 중심공 및 상기 다수의 안내공에 하나씩 삽입되는 다수의 상측 핀과, 상기 센터 가이드의 하측에 위치되는 다수의 하측 핀, 및 상기 상측핀과 하측핀에 의해 지그재그 형으로 연결되는 다수의 링크 부재를 가지며;

   상기 링크는 상기 센터 가이드의 상하 이동에 따라 상기 상측핀이 상기 안내공의 길이 방향을 따라 이동되는 것에 의해 신축되는 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템용 픽 앤 플레이스의 픽업 헤드 피치 가변용 링크 조립체.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 링크는 각각의 링크 부재가 상기 센터 가이드의 양측에 교대로 위치되도록 연결되는 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템용 픽 앤 플레이스의 픽업 헤드 피치 가변용 링크 조립체.
4. 제 2 항에 있어서, 상기 링크의 상측핀이 상기 센터 가이드의 안내공을 따라 이동되는 거리는 상기 픽업 헤드의 피치 변화량과 동일한 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템용 픽 앤 플레이스의 픽업 헤드 피치 가변용 링크 조립체.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 작동 실린더는 상기 센터 가이드의 양측단에 각각 하나씩 설치되는 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템용 픽 앤 플레이스의 픽업 헤드 피치 가변용 링크 조립체.