KR101012137B1

KR101012137B1 - 이송툴

Info

Publication number: KR101012137B1
Application number: KR1020080069123A
Authority: KR
Inventors: 유홍준
Original assignee: (주)제이티
Priority date: 2008-07-16
Filing date: 2008-07-16
Publication date: 2011-02-07
Also published as: KR20100008572A; TW201005864A; CN101630650B; TWI452647B; CN101630650A; SG158818A1

Abstract

본 발명은 반도체디바이스 핸들러의 이송툴가이드를 따라서 이동가능하도록 설치되는 제1지지브라켓과; 서로 간격을 두고 상기 제1지지브라켓과 결합되며, 반도체디바이스를 픽업하는 복수개의 픽커들이 간격을 두고 설치되는 한 쌍의 제2지지브라켓들과; 상기 한 쌍의 제2지지브라켓들을 이동시켜 한 쌍의 제2지지브라켓들의 간격을 조절하는 세로방향간격조절부를 포함하며, 상기 세로방향간격조절부는 상기 제1지지브라켓에 설치되어 세로방향 구동력을 발생시키는 세로방향구동부와; 상기 제1지지브라켓에 설치되며 상기 제2지지브라켓들이 연결되어 상기 세로방향구동부에 의하여 선형이동하여 상기 제2지지브라켓의 간격을 조절하는 선형이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴을 개시한다.

반도체디바이스, 이송툴, 픽커

Description

이송툴 {Transferring tool}

본 발명은 이송툴에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체디바이스와 같은 이송대상을 다른 곳으로 이송할 수 있도록 이송대상을 픽업하는 이송툴에 관한 것이다.

일반적으로 패키지 공정까지 완료된 반도체디바이스는 외부 열적 요인에 의한 신뢰성 테스트를 하기 위한 번인테스트, 직류(DC) 특성과 같은 전기적 특성에 대한 테스트 등 여러 가지 테스트를 수행하여 그 테스트결과에 따라서 양품 및 불량품으로 분류된다.

상기와 같은 반도체디바이스의 검사 및 분류는 트레이 및/또는 보드에 복수개의 반도체디바이스들이 적재된 후에 트레이가 순차적으로 이송되면서 검사 및 분류를 수행하게 된다.

한편 트레이 및/또는 보드에 적재되는 반도체디바이스들은 그 분류 또는 검사를 위하여 검사장치의 소켓, 트레이, 보드 등으로 이송툴에 의하여 픽업되어 이 송된다.

종래의 이송툴은 지지브라켓과, 지지브라켓에 설치되어 끝단에 진공압을 형성하여 반도체디바이스의 상면을 흡착하는 흡착헤드가 형성된 하나 이상의 픽커들을 포함하여 구성된다. 그리고 상기 픽커들은 2개, 4개, 8개 등 일렬로 배치되어 한 번에 여러 개의 반도체디바이스를 이송할 수 있도록 구성될 수 있다.

그런데 상기와 같은 종래의 이송툴이 설치된 반도체디바이스 검사장치 또는 분류장치는 이송툴이 이송할 수 있는 반도체디바이스들의 개수에 따라서 그 검사속도 또는 분류속도가 달라지므로, 이송툴은 보다 많은 수의 반도체디바이스를 이송할 수 있도록 구성될 필요가 있다.

한편 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 픽커들이 2열로 배치되는 이송툴이 제시되고 있는데, 2열로 배치된 종래의 이송툴은 이송을 위한 반도체디바이스들의 적재 간격을 고려하여 각 열의 픽커들 간의 간격(가로방향 간격) 및 각 열의 픽커들이 설치되는 한 쌍의 고정브라켓들이 이루는 간격(세로방향 간격)의 조절이 가능하도록 구성된다.

그런데 2열로 배치된 종래의 이송툴은 가로간격이나 세로간격을 조절하기 위한 간격조절장치가 픽커들을 지지하는 고정브라켓에 함께 설치됨으로써 이송툴이 이동할 때 간격조절장치의 관성에 의하여 각 픽커들의 정확한 위치제어가 용이하지 않은 문제점을 가지고 있다.

또한 2열로 배치된 종래의 이송툴은 가로간격이나 세로간격을 조절하기 위한 간격조절장치가 한 쌍의 고정브라켓들 중 어느 하나에 결합되어 한 쌍의 고정브라 켓들이 이루는 무게중심의 비대칭성으로 인하여 각 픽커들에 대한 정밀한 제어가 불가능한 문제점이 있다.

본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 일렬로 배치된 픽커들이 설치되는 한 쌍의 지지브라켓들과 각 픽커들이 이루는 간격을 조절하기 위한 간격조절장치를 분리함으로써 간격조절장치의 관성이 각 픽커들의 위치를 제어하는데 영향을 주는 것을 방지할 수 있는 반도체디바이스의 이송툴을 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은 일렬로 배치된 픽커들이 설치되는 한 쌍의 지지브라켓들과 각 픽커들이 이루는 간격을 조절하기 위한 간격조절장치를 분리함으로써 한 쌍의 지지브라켓들 및 픽커들이 이루는 무게중심을 대칭화하여 각 픽커들에 대한 정밀한 이동 제어가 가능한 이송툴을 제공하는 데 있다.

본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 반도체디바이스 핸들러의 이송툴가이드를 따라서 이동가능하도록 설치되는 제1지지브라켓과; 서로 간격을 두고 상기 제1지지브라켓과 결합되며, 반도체디바이스를 픽업하는 복수개의 픽커들이 간격을 두고 설치되는 한 쌍의 제2지지브라켓들과; 상기 한 쌍의 제2지지브라켓들을 이동시켜 한 쌍의 제2지지브라켓들의 간격을 조절하는 세로방향간격조절부를 포함하며, 상기 세로방향간격조절부는 상기 제1지지브라켓에 설치되어 세로방향 구동력을 발생시키는 세로방향구동부와; 상기 제1지지브라켓에 설치되며 상기 제2지지브라켓들이 연결되어 상기 세로방향구동부에 의하여 선형이동하여 상기 제2지지브라켓의 간격을 조절하는 선형이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴을 개시한다.

상기 세로방향구동부는 상기 제1지지브라켓에 설치되는 회전구동부와, 상기 제1지지브라켓에 설치되며 상기 회전구동부에 의하여 회전되는 한 쌍의 풀리를 포함하며, 상기 선형이동부는 상기 한 쌍의 풀리에 결합되며 이동에 의하여 상기 제2지지브라켓의 간격을 조절하도록 상기 제2지지브라켓과 연결되는 조절벨트를 포함하여 구성되거나, 상기 세로방향구동부는 상기 제1지지브라켓에 설치되는 회전구동부와, 상기 제1지지브라켓에 설치되며 상기 회전구동부에 의하여 회전되는 한 쌍의 기어들을 포함하며, 상기 선형이동부는 상기 한 쌍의 기어들에 결합되며 이동에 의하여 상기 제2지지브라켓의 간격을 조절하도록 상기 제2지지브라켓과 연결되는 조절체인을 포함하여 구성될 수 있다.

상기 제1지지브라켓은 상기 복수개의 픽커들을 제어하기 위한 공압관들이 상기 복수개의 픽커들과 연결되도록 상기 복수개의 픽커들의 상측이 개방된 개구부가 형성될 수 있다.

상기 세로방향간격조절부는 상기 제2지지브라켓의 중앙에 대응되는 위치 또는 상기 제2지지브라켓의 일단에 대응되는 위치에 설치될 수 있다.

상기 제2지지브라켓의 타단에 대응되는 위치에 설치되는 한 쌍의 풀리와; 상기 한 쌍의 풀리에 결합되며 이동에 의하여 상기 제2지지브라켓의 간격을 조절하도록 상기 제2지지브라켓과 연결되는 조절벨트와; 상기 세로방향간격조절부의 풀리와 결합됨과 아울러 상기 한 쌍의 풀리 중 어느 하나와 결합되어 상기 세로방향간격조절부의 풀리의 회전력을 전달하는 연결축을 포함하는 것을 특징으로 하는 보조세로방향간격부를 추가로 포함하여 구성될 수 있다.

상기 회전구동부는 상기 제1지지브라켓에 설치되는 구동모터와; 상기 구동모터에 결합된 구동풀리와; 상기 구동풀리와 상기 세로방향간격조절부의 풀리 중 어느 하나를 연결하는 구동벨트를 포함하여 구성될 수 있다. 이때 상기 구동풀리의 직경은 구동모터의 감속을 위하여 종동풀리의 직경보다 작게 형성되는 것이 바람직하다.

상기 가로방향간격조절부는 상기 픽커들이 각각 설치되는 지지부재들을 연결하며 상기 제2지지브라켓에 설치되는 링크구조의 링크부와, 상기 링크부를 구동하여 상기 지지부재들 간의 간격을 조절하도록 상기 제2지지브라켓에 설치되는 구동부와, 상기 구동부를 구동하기 위한 구동력발생부를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 구동부는 상기 제2지지브라켓에 회전가능하게 설치되며 상기 구동력발생부로부터 회전력을 전달받아 회전되는 한 쌍의 풀리들과, 상기 한 쌍의 풀리들을 연결하여 회전하는 벨트와, 일단은 상기 벨트와 결합되고 타단은 상기 지지부재 중 어느 하나와 결합되는 하나 이상의 이동부재를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 이동부재는 상기 지지부재 중 양 끝단에 위치된 지지부재가 안쪽으로 이동되거나 바깥쪽으로 이동되도록 한 쌍으로 구성되고, 상기 한 쌍의 이동부재는 그 이동방향이 반대가 되도록 상기 벨트와 결합될 수 있다.

상기 구동력발생부는 회전력을 발생시키는 구동모터와, 상기 구동모터에 결 합된 구동풀리와, 상기 제2지지브라켓들 각각에 설치된 상기 구동부의 풀리들 중 어느 하나의 회전축과 연결되는 종동풀리와, 상기 구동풀리 및 상기 종동풀리를 연결하는 구동벨트를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 구동모터는 상기 각 제2지지브라켓의 상기 구동부들에 직접 연결될 수 있다.

상기 각 제2지지브라켓의 상기 구동부들의 풀리들 중 적어도 하나의 회전축을 결합길이가 가변되는 커플러에 의하여 연결하고, 상기 종동풀리는 상기 제2지지브라켓 중 어느 하나의 상기 구동부의 상기 풀리의 회전축에 연결되거나, 상기 커플러에 설치될 수 있다.

상기 커플러는 상기 제2지지브라켓의 상기 구동부들의 상기 풀리들의 회전축들이 이동 가능하게 삽입되는 삽입홀이 형성될 수 있다.

본 발명은 또한 반도체디바이스 핸들러의 이송툴가이드를 따라서 이동가능하도록 설치되는 제1지지브라켓과; 서로 간격을 두고 상기 제1지지브라켓과 결합되며, 반도체디바이스를 픽업하는 복수개의 픽커들이 간격을 두고 설치되는 한 쌍의 제2지지브라켓들과; 상기 제2지지브라켓들에 설치된 픽커들의 간격을 조절하는 가로방향간격조절부를 포함하며, 상기 가로방향간격조절부는 상기 픽커들이 각각 설치되는 지지부재들을 연결하며 상기 제2지지브라켓에 설치되는 링크구조의 링크부와, 상기 링크부를 구동하여 상기 지지부재들 간의 간격을 조절하도록 상기 제2지지브라켓에 설치되는 구동부와, 상기 구동부를 구동하기 위한 구동력발생부를 포함하며, 상기 구동력발생부는 회전력을 발생시키는 구동모터와, 상기 구동모터에 결 합된 구동풀리와, 상기 제2지지브라켓들 각각에 설치된 상기 구동부의 풀리들 중 어느 하나의 회전축과 연결되는 종동풀리와, 상기 구동풀리 및 상기 종동풀리를 연결하는 구동벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴을 개시한다.

한편 상기 구동풀리의 직경은 구동모터의 감속을 위하여 종동풀리의 직경보다 작게 형성되는 것이 바람직하다. 아울러 상기와 같은 이송툴에 사용되는 풀리 및 벨트들은 모두 정밀제어를 위하여 타이밍벨트 및 타이밍풀리를 사용하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 반도체디바이스의 이송툴은 일렬로 배치된 픽커들이 설치되는 한 쌍의 지지브라켓들(제2지지브라켓)과 각 픽커들이 이루는 간격을 조절하기 위한 간격조절장치가 설치되는 지지브라켓(제1지지브라켓)을 분리함으로써 간격조절장치의 관성이 각 픽커들의 위치를 제어하는데 영향을 주는 것을 방지할 수 있는 이점이 있다.

또한 본 발명에 따른 반도체디바이스의 이송툴은 일렬로 배치된 픽커들이 설치되는 한 쌍의 지지브라켓들과 각 픽커들이 이루는 간격을 조절하기 위한 간격조절장치를 분리함으로써 한 쌍의 지지브라켓들 및 픽커들이 이루는 무게중심을 대칭화하여 각 픽커들에 대한 정밀한 이동 제어가 가능한 이점이 있다.

또한 본 발명에 따른 반도체디바이스의 이송툴은 일렬로 배치된 픽커들이 설치되는 한 쌍의 지지브라켓들과 각 픽커들이 이루는 간격을 조절하기 위한 간격조 절장치를 구동하기 위한 풀리 및 벨트로서 타이밍벨트 및 타이밍풀리들을 사용함으로써 보다 정밀한 이동 제어가 가능한 이점이 있다.

특히 종래의 반도체디바이스의 이송툴은 한 쌍의 지지브라켓들 간의 간격을 조절하는데 왼나사 및 오른나사의 조합, 캠 등을 사용함으로써 그 이동제어가 부정확하여 트레이에서의 반도체디바이스들간의 간격에 대응되는 제1간격 및 소켓 등에서의 반도체디바이스들간의 간격에 대응되는 제2간격을 미리 설정하고 반도체디바이스들간의 간격이 미리 설정된 제1간격 및 제2간격으로만 조정, 즉 수동적 조정만이 가능하였다.

그러나 본 발명에 따른 반도체디바이스의 이송툴은 한 쌍의 지지브라켓들의 간격을 풀리 및 벨트의 조합, 기어 및 체인의 조합을 사용함으로써 보다 정밀한 이동제어가 가능하여 한 쌍의 지지브라켓들의 간격을 제한없이 실시간으로 제어가 가능하여 능동적으로 대처할 수 있는 이점이 있다.

또한 본 발명에 따른 반도체디바이스의 이송툴은 일렬로 배치된 픽커들이 설치되는 한 쌍의 지지브라켓들과 각 픽커들이 이루는 간격을 조절하기 위한 간격조절장치를 구동하기 위하여 복수개의 풀리들 및 벨트를 풀리의 직경비를 달리함으로써 별도의 감속기의 사용없이 모터의 회전력을 감속할 수 있는 이점이 있다.

이하, 본 발명에 따른 이송툴에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 이송툴(700)은 반도체디바이스(1)와 같은 이송대상을 이송하기 위한 장치로서, 반도체디바이스(1)를 분류하거나 검사하는 반도체디바이스분류장치, 반도체디바이스 검사장치 등의 반도체디바이스 핸들링장치에 설치되어 반도체디바이스(1)를 이송하는데 사용된다.

본 발명에 따른 이송툴(700)이 설치된 반도체디바이스 핸들링장치의 일례로서, 반도체디바이스 검사장치는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 로딩부(100)와, 로딩부(100)의 일측에 설치되어 반도체디바이스(1)의 하측방향에 대한 외관을 검사하는 제1비전검사부(400)와, 로딩부(100)의 일측에 설치되어 반도체디바이스(1)의 상측방향에 대한 외관을 검사하는 제2비전검사부(500)와, 제1비전검사부(400) 및 제2비전검사부(500)의 검사결과에 따라서 반도체디바이스(1)들을 분류하기 위한 소팅부(300)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 로딩부(100)는 다양한 구성이 가능하며, 도 1 에 도시된 바와 같이, 복수개의 반도체디바이스(1)들이 적재되는 트레이(2)의 이동을 안내하는 가이드부(110)와, 트레이(2)가 가이드부(110)를 따라서 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 제1비전검사부(400)는 본체(10)에 설치되어 반도체디바이스(1)의 외관, 특히 하측방향에 대한 외관에 대한 이미지를 분석하여 각 반도체디바이스(1)들에 대한 외관상태를 검사하는 장치로서, 이미지를 획득하기 위한 이미지획득장치와, 이미지분석을 위한 이미지분석장치를 포함하여 구성된다.

상기 제2비전검사부(500)는 제1비전검사부(400)와 유사하게 구성될 수 있으 나 반도체디바이스(1)의 상측방향에 대한 이미지를 획득할 수 있도록 본체(10)의 상측에 설치된다.

상기 제2비전검사부(500)는 반도체디바이스(1)들이 안착된 트레이(2)의 상측에 설치되어 반도체디바이스(1)의 상측방향에 대한 이미지를 획득하는 이미지획득장치(530)를 포함하여 구성된다.

그리고 상기 이미지획득장치(530)는 도 1에 도시된 바와 같이, 반도체디바이스(1)의 검사속도를 향상시킬 수 있도록 트레이(2)가 이송되는 이동경로 즉, 로딩부(100)의 상측에서 가로방향 및 세로방향, 즉 X축방향 및 Y축방향으로 이동이 가능하도록 설치되며, 이미지획득장치(530)의 X축방향 및 Y축방향의 이동을 가이드하기 위한 가이드부(510, 540)가 본체(10)에 설치된다.

상기 제 1 비전검사부(400) 및 제 2 비전검사부(500)의 검사항목으로는 리드(lead)나 볼 그리드(ball grid)의 파손여부, 크랙(crack), 스크래치(scratch) 여부 등과 같은 반도체디바이스의 외관상태 및 표면에 형성된 마킹의 양호여부 등이 있다.

상기 소팅부(300)는 로딩부(100)와 유사한 구성을 가지며, 반도체디바이스(1)의 검사결과의 수에 따라서 양품(G), 불량1 또는 이상1(R1), 불량2 또는 이상2(R2) 등의 분류등급이 부여되도록 복수개로 구성이 가능하다.

그리고 각 소팅부(300)는 로딩부(100)의 일측에 평행하게 설치되는 가이드부(310)와, 트레이(2)가 가이드부(310)를 따라서 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.

한편 트레이(2)는 로딩부(100) 및 소팅부(300)들 사이에서 트레이이송장치(미도시)에 의하여 이송이 가능하며, 소팅부(300)에 반도체디바이스(1)가 적재되지 않은 빈 트레이(2)를 공급하는 빈트레이부(200)를 추가적으로 포함할 수 있다.

이때 빈트레이부(200)는 로딩부(100)의 일측에 평행하게 설치되는 가이드부(210)와, 트레이(2)가 가이드부(210)를 따라서 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.

한편 상기 제1비전검사부(400)와 로딩부(100) 사이와, 각 트레이(2)들 사이에서의 반도체디바이스(1)의 이송은 본체(10)에 설치된 이송툴가이드(601)를 따라서 이송하는 하나 이상의 이송툴(700, 620)들에 의하여 이송된다.

그런데 상기 제1비전검사부(400)와 같이 그 검사공정의 수행속도를 향상시키기 위해서는 보다 많은 수의 반도체디바이스(1)들이 한꺼번에 이송될 필요가 있다. 또한 반도체디바이스(1)는 일반적으로 트레이(2)에 안착된 상태로 이송되므로 이송툴(700, 620)은 수납된 반도체디바이스(1)들이 이루는 간격, 반도체디바이스(1)의 크기 등 트레이(2)의 구조를 고려하여 구성될 필요가 있다.

특히 상기 이송툴(700, 620)은 검사 또는 분류를 위한 반도체디바이스(1)의 크기가 달라지거나, 반도체디바이스가 삽입되는 소켓들 간의 간격, 반도체디바이스(1)를 수용하는 트레이의 수용홈들 간의 간격들이 달라질 수 있는데 이에 효과적으로 대처하고자 보다 많은 수의 반도체디바이스(1)을 이송하면서 반도체디바이스(1)의 크기나 각 반도체디바이스(1)들이 이루는 간격변화에 능동적으로 대처할 수 있도록 구성될 필요가 있다.

따라서 상기 이송툴(700, 620)들 중 일부는 필요에 따라서 필요에 따라서 이송툴가이드(601)를 따라 이동이 가능하도록 2열로 설치되며 반도체디바이스(1)를 픽업하는 다수개의 픽커(730)들을 포함하여 구성될 수 있다.

상기 픽커(730)들은 반도체디바이스(1)를 픽업하여 이송하기 위한 장치로서 다양한 구성이 가능하며, 상하이동과 함께 진공압을 발생시켜 반도체디바이스(1)를 흡착하여 픽업하는 흡착헤드(731)를 포함하여 구성될 수 있다. 또한 상기 흡착헤드(731) 각각은 독립적으로 상하로 이동가능하게 설치될 수 있다.

그리고 상기 지지브라켓은 복수개의 픽커(730)들이 다양한 방식에 의하여 2열로 설치될 수 있으며, 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 반도체디바이스 검사장치 등에 이동가능하게 설치되는 제1지지브라켓(710)과, 제1지지브라켓(710)과 결합되며 픽커(730)들이 간격을 두고 설치되는 한 쌍의 제2지지브라켓(720)을 포함하여 구성된다.

상기 제1지지브라켓(710)은 이송툴가이드(601)와 이동가능하게 설치되며 별도의 이송장치에 의하여 이동되어 제2지지브라켓(720)을 이동시킴으로써 픽커(730)을 이동시키게 된다.

이때 상기 이송툴가이드(601)는 이송툴(700)의 이동을 가이드하기 위한 구성으로서, X방향, Y방향, X-Y방향 등 다양한 형태로 이송툴(700)의 이동을 가이드하도록 구성될 수 있다.

상기 제1지지브라켓(710)은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 이송툴가이드(601)과의 결합을 위한 결합부(711)가 형성되거나 결합된다.

또한 상기 제1지지브라켓(710)은 픽커(730)들의 상측방향으로 개방된 개구부(712)가 형성되어 픽커(730)들을 제어하기 위한 공압관(미도시)들이 개구부(712)를 통하여 픽커(730)들과 연결되도록 될 수 있다.

이때 상기 제1지지브라켓(710)에는 공압관이 픽커(730)들의 이동을 방해하지 않도록 공압을 발생하는 공압발생장치(미도시)와 외부공압관(미도시)에 의하여 1차로 연결되고 다시 각 픽커(730)들을 연결하는 공압관과 연결되는 외부공압관연결부재(713)가 추가로 설치될 수 있다.

상기 한 쌍의 제2지지브라켓(720)들은 서로 간격을 이루어 설치되며, 각각의 제2지지브라켓(720)은 픽커(730)들의 설치를 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하며, 복수개의 픽커(730)들이 간격을 두고 설치된다.

이때 각각의 제2지지브라켓(720)에 설치되는 픽커(730)들은 가로방향을 이루며, 한 쌍의 제2지지브라켓(720)은 세로방향을 이룬다. 그리고 픽커(730)들의 구조를 고려하여 픽커(730)들은 제2지지브라켓(720) 중 서로 마주보는 면에 설치되는 것이 바람직하다.

상기 제2지지브라켓(720)은 픽커(730)들이 이웃하는 제2지지브라켓(720)을 마주보는 면에 설치되는 경우 이웃하는 제2지지브라켓(720)에 설치된 픽커(730)와의 간격을 최소할 수 있게 된다.

한편 상기 한 쌍의 제2지지브라켓(720)들은 후술하는 세로간격조절부에 의하여 그 간격이 조절될 수 있도록 제1지지브라켓(710)과 선형이동이 가능하게 결합되는데, 이때 그 선형이동을 가이드할 수 있도록 선형이동가이드부(740)에 의하여 제 1지지브라켓(710)과 지지되어 결합될 수 있다.

상기 선형이동가이드부(740)는 한 쌍의 제2지지브라켓(720)들을 제1지지브라켓(710)에 선형이동이 가능하도록 결합시키는 구성이면 어떠한 구성도 모두 가능하며, 도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제1지지브라켓(710)에 결합된 가이드부재(741)과, 가이드부재(741)를 따라서 이동가능하게 가이드부재(741)와 결합됨과 아울러 제2지지브라켓(720)에 결합되는 가이드블록(742)를 포함하여 구성될 수 있다.

한편 상기 이송툴(700)은 가로방향 및 세로방향 중 적어도 일방향으로 그 간격(Ph, Pv)이 조절될 수 있도록 설치되며, 상기 이송툴(700)은 한 쌍의 제2지지브라켓(720)들의 세로방향의 세로간격(Pv)을 조절하기 위한 세로방향간격조절부 및 픽커(730)들의 가로방향의 가로간격(Ph)을 조절하기 위한 가로방향간격조절부가 설치될 수 있다.

상기 세로방향간격조절부는 각 픽커(730)들 간, 즉 픽커(730)들이 설치되는 한 쌍의 제2지지브라켓(720)들 간의 세로간격(Pv)을 조절하기 위한 구성으로서, 세로방향간격조절부는 제1지지브라켓(710)에 설치되어 세로방향 구동력을 발생시키는 세로방향구동부와; 제1지지브라켓(710)에 설치되며 제2지지브라켓(720)들이 연결되어 세로방향구동부에 의하여 선형이동하여 제2지지브라켓(720)의 간격을 조절하는 선형이동부를 포함하여 구성된다.

상기와 같은 구성을 가지는 세로방향간격조절부는 벨트 및 풀리의 조합, 기어와 체인의 조합, 스크류 방식 등 다양한 구성을 가질 수 있다.

즉, 상기 세로방향구동부는 회전구동부와, 회전구동부에 의하여 회전되는 한 쌍의 풀리 또는 기어, 상기 풀리들에 결합되어 이동되는 조절벨트 또는 조절체인 을 포함하여 구성될 수 있다.

상기 세로방향간격조절부의 일예로서, 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 세로방향구동부는 제1지지브라켓(710)에 설치되는 회전구동부(761)와; 회전구동부(761)에 의하여 회전되도록 제1지지브라켓(710)에 설치되는 한 쌍의 풀리(762)들을 포함하며, 선형이동부는 한 쌍의 풀리(762)들에 결합되며 이동에 의하여 제2지지브라켓(720)의 간격을 조절하도록 제2지지브라켓(720)과 연결되는 조절벨트(763)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 회전구동부(761)는 세로방향간격조절부의 풀리(762)를 회전시키기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며, 제1지지브라켓(710)에 설치되는 구동모터(761a)와; 구동모터(761a)에 결합된 구동풀리(761b)와; 구동풀리(761b)와 세로방향간격조절부(720)의 풀리(762) 중 어느 하나를 연결하는 구동벨트(761c)를 포함하여 구성될 수 있다. 여기서 구동모터(761a)가 가급적이면 내측으로 설치되는 것이 바람직함을 고려하여 제1지지브라켓(710)은 구동벨트(761c)가 통과할 수 있는 슬롯(716)이 형성될 수 있다.

이때 상기 회전구동부(761)를 구성하는 풀리 및 벨트는 정밀도를 고려하여 타이밍풀리 및 타이밍벨트가 사용될 수 있으며, 구동풀리(761b) 및 세로방향간격조 절부(720)의 풀리(762)의 직경비-구동풀리(761b)의 직경을 세로방향간격조절부(720)의 풀리(762)의 직경보다 작게 할 수 있다-를 조절함으로써 별도의 감속기를 구비하지 않고도 세로방향간격조절부(720)를 보다 정밀하게 제어할 수 있는 이점이 있다.

또한 상기 회전구동부(761)는 풀리 및 벨트의 조합에 의한 구성에 종동풀리(761d)를 추가하거나, 그외에 기어결합 등 다양한 방식에 의하여 세로방향간격조절부(720)의 풀리(762)를 회전구동할 수 있다.

한편 상기 구동모터(761a)는 그 구동축이 제2지지브라켓(720)의 이동에 영향을 주지 않도록 제1지지브라켓(710)에 설치되며, 세로방향간격조절부(720)의 풀리(762)의 회전축과 평행하도록 설치된다.

상기 한 쌍의 풀리(762)들은 조절벨트(763)가 제2지지브라켓(720)들을 가로질러 설치될 수 있도록 제1지지브라켓(710)에 설치되며, 보조브라켓(762a)에 의하여 회전가능하도록 지지되어 설치될 수 있다.

상기 조절벨트(763)는 한 쌍의 풀리(762)들에 결합되어 풀리(762)들의 회전에 의하여 회전토록 설치된다. 이때 상기 제2지지브라켓(720)에는 조절벨트(763)의 원활한 설치를 위하여 하나 이상의 슬롯(729)들이 형성될 수 있다.

그리고 상기 조절벨트(763)는 제2지지브라켓(720)에 고정결합되는 구동부재(721)와 결합되어 풀리(762)들의 회전에 의하여 회전되는 경우 결합된 구동부재(721)가 함께 이동됨으로써 구동부재(721)에 고정결합된 제2지지브라켓(720)을 이동시키게 된다.

여기서 상기 풀리(762) 및 조절벨트(763)는 정밀도를 고려하여 타이밍풀리 및 타이밍벨트가 사용됨이 바람직하다.

한편 상기 세로방향간격조절부는 설계에 따라서 다양한 위치에 설치될 수 있으며, 제2지지브라켓(720)의 중앙에 대응되는 위치 또는 제2지지브라켓(720)의 일단에 대응되는 위치에 설치될 수 있다.

한편 상기 세로방향간격조절부가 제2지지브라켓(720)의 일단에 대응되는 위치에 설치되는 경우에는 세로방향간격의 조절의 대칭성을 확보하기 위하여, 제2지지브라켓(720)의 타단에 대응되는 위치에 설치되는 한 쌍의 풀리(862)와; 한 쌍의 풀리(862)에 결합되며 이동에 의하여 제2지지브라켓(720)의 간격을 조절하도록 제2지지브라켓(720)과 연결되는 조절벨트(863)와; 세로방향간격조절부의 풀리(762)와 결합됨과 아울러 한 쌍의 풀리(862) 중 어느 하나와 결합되어 세로방향간격조절부의 풀리(862)의 회전력을 전달하는 연결축(865)을 포함하는 보조세로방향간격조절부가 추가로 설치될 수 있다.

한편 상기 세로방향간격조절부는 제2지지브라켓(720)들이 이루는 간격을 감지하기 위한 센서가 추가로 설치됨이 바람직하다.

상기와 같은 구성을 가지는 세로방향간격조절부는 벨트 및 풀리의 조합, 기어 및 체인의 조합에 의하여 보다 정밀한 이동이 가능하여 반도체디바이스의 크기, 트레이 또는 소켓 등의 구조에 따른 각 반도체디바이스들 간의 간격에 능동적으로 대처할 수 있게 된다.

상기와 같은 구성을 가지는 세로방향간격조절부에 의하여 2열로 배치된 픽커(730)들의 세로방향 간격(Pv)이 조절되는 과정을 도 7 및 도 8을 참조하여 설명하면 다음과 같다. 여기서 세로방향 간격이 감소되는 과정을 설명하였으나, 확대되는 예도 가능함은 물론이며, 타이밍벨트 및 타이밍풀리를 사용함으로써 픽커들의 세로방향간격을 다양하게 설정할 수도 있다.

먼저 2열로 배치된 픽커(730)들은 도 7에 도시된 바와 같이, 미리 설정된 위치에 위치되어 세로방향으로 소정의 간격 Pv를 가진다.

이때 반도체디바이스(1)의 픽업 또는 이송과정에서 세로방향의 간격을 좁힐 필요가 있는 경우 제어부(미도시)는 세로방향간격조절부를 구동한다.

제어부의 구동신호에 의하여 회전구동부(761)의 회전모터(761a)가 회전구동되고, 회전모터(761a)의 회전에 따라서, 구동풀리(761b), 구동풀리(761b)에 결합된 구동벨트(761c), 구동벨트(761c)에 결합된 종동풀리(761d), 종동풀리(761d)와 함께 연결된 풀리(762)를 걸쳐 조절벨트(763)가 회전된다.

한편 상기 조절벨트(763)가 회전되면 조절벨트(763)에 결합된 구동부재(721)들이 함께 이동되게 되며, 구동부재(721)의 이동에 의하여 구동부재(721)에 결합된 제2지지브라켓(720)이 도 8에 도시된 바와 같이, 이동된다. 여기서 상기 풀리(762)에는 연결축(865)에 의하여 연결된 보조세로방향간격조절부에 의하여 제2브라켓(720)들의 이동이 원활해질 수 있다.

이때 상기 제2브라켓(720)에 열을 이루어 결합된 픽커(730)들은 제2브라켓(720)의 이동에 의하여 자연스럽게 2열의 픽커(730)들이 이루는 세로방향 간 격(Pv)을 이루게 된다.

상기와 같이 2열의 픽커(730)들이 세로방향으로 이루는 간격(Pv)의 조절이 필요한 경우 세로방향간격조절부를 통하여 자연스럽게 조절이 가능하게 된다.

특히 상기와 같은 구성을 가지는 세로방향간격조절부는 타이밍벨트 및 타이밍풀리를 사용함으로써 픽커(30)들이 이루는 세로방향 간격에 대한 보다 정밀한 제어가 가능하게 된다.

상기 보조세로방향간격조절부는 연결축(865)를 제외하면 세로방향간격조절부의 구성과 유사한 구성을 가지는바 구체적 설명은 편의상 생략한다.

한편 상기 가로방향간격조절부는 각 픽커(730)들 간의 가로 간격(Ph)을 조절하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며, 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 픽커(730)들이 각각 설치되는 지지부재(732)들을 연결하며 제2지지브라켓(720)에 설치되는 링크구조의 링크부(751)와, 링크부(751)를 구동하여 지지부재(732)들 간의 간격을 조절하도록 제2지지브라켓(720)에 설치되는 구동부와, 구동부를 구동하기 위한 구동력발생부를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 링크부(751)는 각 픽커(730)들이 이루는 가로간격을 조절하기 위한 구성으로 설계에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 복수개의 링크부재(751a) 및 링크부재(751a)를 연결하는 핀(751b)들로 구성될 수 있다. 이때 상기 링크부(751)는 지지부재(732)와 결합핀(752)에 의하여 결합된다. 이때 상기 제 2 지지브라켓(720)에는 지지부재(732)의 이동을 가이드하기 위한 가이드부(721)가 설치되거나 형성되는 것이 바람직하다.

상기 구동부는 링크부(751) 또는 지지부재(732)를 이동시켜 결합된 지지부재(732)들을 연쇄적으로 이동시켜 도 9 또는 도 10에 도시된 바와 같이, 지지부재(732)들 간의 간격(Ph)을 조절하도록 한다.

상기 구동부는 제2지지브라켓(720)에 회전가능하게 설치되며 구동력발생부(753)로부터 회전력을 전달받아 회전되는 한 쌍의 풀리(754)들과, 한 쌍의 풀리(754)들을 연결하여 회전하는 벨트(755)와, 일단은 벨트(755)와 결합되고 타단은 지지부재(732) 중 어느 하나와 결합되는 하나 이상의 이동부재(757)를 포함하여 구성될 수 있다.

이때 상기 각 이동부재(757)는 양 끝단에 위치된 지지부재(732)와 결합되는 것이 바람직하며, 양 끝단에 위치된 지지부재(732)가 안쪽으로 이동되거나 바깥쪽으로 이동되도록 한 쌍으로 구성되고, 한 쌍의 이동부재(757)는 그 이동방향이 반대가 되도록 벨트(755)와 결합될 수 있다. 여기서 상기 제2지지브라켓(720)에는 이동부재(757)와 지지부재(732)가 제2지지브라켓(720)의 반대면에 설치되는 경우 그 연결 및 이동을 고려하여 슬롯(727)이 형성될 수 있다.

상기 구동력발생부는 구동부를 구동하여 링크부(751)를 작동하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

상기 구동력발생부의 일례로서, 도 3 및 도 6에 도시된 바와 같이, 회전력을 발생시키는 구동모터(753)와, 회전력을 전달하기 위한 구성으로서, 구동모터(753)에 결합된 구동풀리(753a)와 제2지지브라켓(720)들 각각에 설치된 구동부의 풀 리(754)들 중 어느 하나의 회전축(759)과 연결되는 종동풀리(753b)와 구동풀리(753a) 및 종동풀리(753b)를 연결하는 구동벨트(753c)를 포함하여 구성될 수 있다. 여기서 상기 구동풀리(753a)의 직경은 구동모터(753)의 감속을 위하여 종동풀리(753b)의 직경보다 작게 형성됨이 바람직하다.

상기 구동모터(753)는 제2지지브라켓(720)이 세로방향으로 이동되는 것을 고려하여 제2지지브라켓(720)에 설치되는 것보다는 제1지지브라켓(710)에 설치됨이 바람직하다. 여기서 상기 제1지지브라켓(710)에는 구동벨트(753c)의 원활한 설치를 위하여 슬롯(717)이 형성될 수 있다.

상기 구동모터(753)는 각 제2지지브라켓(720)의 구동부들에 직접 연결되도록 구성될 수 있다. 또한 상기 구동모터(753)는 각 제2지지브라켓(720)의 구동부들의 풀리(754)들 중 적어도 하나의 회전축(759)을 커플러(758)에 의하여 연결하고, 종동풀리(753b)가 제2지지브라켓(720) 중 어느 하나의 구동부의 풀리(754)의 회전축(759)에 연결되거나, 커플러(758)에 설치될 수 있다.

한편 상기 한 쌍의 제2지지브라켓(720)들은 그 간격이 달라지는바, 구동력발생부는 한 쌍의 제2지지브라켓(720)들의 간격변화에 영향을 받지 않고 원활하게 구동력을 구동부에 전달하도록 구성될 필요가 있다.

한편 상기 커플러(758)는 세로방향간격조절부에 의하여 제2지지브라켓(720)들 간의 간격조절이 가능하도록 그 결합길이가 가변되도록 구성되며, 일 예로서, 도 3 및 도 6에 도시된 바와 같이, 제1지지브라켓(710)에 설치되는 고정브라켓(758a)에 의하여 회전가능하게 설치되며, 제2지지브라켓(720)의 구동부들의 풀 리(754)들의 회전축(759)들이 이동 가능하게 삽입되는 삽입홀(758b)이 형성된다.

여기서 상기 제2지지브라켓(720)의 구동부들의 풀리(754)들의 회전축(759)들 및 삽입홀(758b)은 그 단면이 다각형상을 이루는 등 축방향의 이동이 가능하면서 함께 회전될 수 있도록 결합된다.

상기 가로방향간격조절부는 제2지지브라켓(720)에 설치된 픽커(730)들이 이루는 간격을 감지하기 위한 센서(820)가 추가로 설치됨이 바람직하다.

상기와 같은 구성을 가지는 가로방향간격조절부에 의하여 2열로 배치된 픽커(730)들의 가로방향 간격(Ph)이 조절되는 과정을 도 9 및 도 10을 참조하여 설명하면 다음과 같다. 여기서 가로방향 간격이 감소되는 과정을 설명하였으나, 확대되는 예도 가능함은 물론이며, 타이밍벨트 및 타이밍풀리를 사용함으로써 픽커들의 가로방향간격을 다양하게 설정할 수도 있다.

먼저 2열로 배치된 픽커(730)들은 도 9에 도시된 바와 같이, 미리 설정된 위치에 위치되어 가로방향으로 소정의 간격 Ph를 가진다.

이때 반도체디바이스(1)의 픽업 또는 이송과정에서 가로방향의 간격을 좁힐 필요가 있는 경우 제어부(미도시)는 가로방향간격조절부를 구동한다.

제어부의 구동신호에 의하여 구동력발생부의 구동모터(753)가 회전구동되고, 구동모터(753)의 회전에 따라서, 구동풀리(753a), 구동풀리(753a)에 결합된 구동벨트(753c), 구동벨트(753c)에 결합된 종동풀리(753b), 종동풀리(753b)와 함께 연결된 커플러(758)가 회전된다.

상기 커플러(758)가 회전되면, 커플러(758)에 결합된 회전축(759)가 회전되고, 회전축(759)에 결합된 풀리(754)를 걸쳐 벨트(755)가 회전된다.

한편 상기 벨트(755)가 회전되면 벨트(755)에 결합된 이동부재(757)들이 함께 이동되게 되며, 이동부재(757)의 이동에 의하여 이동부재(757)에 결합된 제2지지브라켓(720)이 도 9에 도시된 바와 같이, 이동된다. 여기서 상기 회전축(759)은 축방향의 이동이 가능하면서 함께 회전될 수 있도록 커플러(758)와 결합되어 제2지지브라켓(720)들이 이루는 간격조절이 원활해질 수 있다.

이때 상기 제2브라켓(720)에 설치된 픽커(730)들은 제2브라켓(720)의 이동에 의하여 자연스럽게 2열의 픽커(730)들이 이루는 가로방향 간격(Ph)의 조절이 이루게 된다.

상기와 같이 2열의 픽커(730)들이 가로방향으로 이루는 간격(Ph)의 조절이 필요한 경우 가로방향간격조절부를 통하여 자연스럽게 조절이 가능하게 된다.

특히 상기와 같은 구성을 가지는 가로방향간격조절부는 타이밍벨트 및 타이밍풀리를 사용함으로써 픽커(30)들이 이루는 가로방향 간격에 대한 보다 정밀한 제어가 가능하게 된다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체디바이스의 이송툴이 설치된 반도체디바이스 검사장치를 보여주는 개념도이다.

도 2는 도 1의 반도체디바이스 검사장치의 이송툴의 구성을 보여주는 개념도이다.

도 3은 도 2의 이송툴의 일례를 보여주는 사시도이다.

도 4는 도 3의 이송툴의 평면도이다.

도 5 및 도 6은 도 3의 이송툴를 보여주는 측면도들이다.

도 7 및 도 8은 도 3의 이송툴에서 세로방향의 간격을 조절하기 위한 세로방향간격조절부를 보여주는 개념도이다.

도 9 및 도 10은 도 3의 이송툴에서 가로방향의 간격을 조절하기 위한 가로방향간격조절부를 보여주는 개념도이다.

***** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *****

700 : 이송툴 710 : 제 1 지지브라켓

720 : 제 2 지지브라켓 730 : 픽커

Claims

반도체디바이스 핸들러의 이송툴가이드를 따라서 이동가능하도록 설치되는 제1지지브라켓과; 서로 간격을 두고 상기 제1지지브라켓과 결합되며, 반도체디바이스를 픽업하는 복수개의 픽커들이 간격을 두고 설치되는 한 쌍의 제2지지브라켓들과; 상기 한 쌍의 제2지지브라켓들을 이동시켜 한 쌍의 제2지지브라켓들의 간격을 조절하는 세로방향간격조절부를 포함하며,

상기 세로방향간격조절부는 상기 제1지지브라켓에 설치되어 세로방향 구동력을 발생시키는 세로방향구동부와; 상기 제1지지브라켓에 설치되며 상기 제2지지브라켓들이 연결되어 상기 세로방향구동부에 의하여 선형이동하여 상기 제2지지브라켓의 간격을 조절하는 선형이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴.
청구항 1에 있어서,

상기 세로방향구동부는 상기 제1지지브라켓에 설치되는 회전구동부와, 상기 제1지지브라켓에 설치되며 상기 회전구동부에 의하여 회전되는 한 쌍의 풀리를 포함하며,

상기 선형이동부는 상기 한 쌍의 풀리에 결합되며 이동에 의하여 상기 제2지지브라켓의 간격을 조절하도록 상기 제2지지브라켓과 연결되는 조절벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴.
청구항 1에 있어서,

상기 세로방향구동부는 상기 제1지지브라켓에 설치되는 회전구동부와, 상기 제1지지브라켓에 설치되며 상기 회전구동부에 의하여 회전되는 한 쌍의 기어들을 포함하며,

상기 선형이동부는 상기 한 쌍의 기어들에 결합되며 이동에 의하여 상기 제2지지브라켓의 간격을 조절하도록 상기 제2지지브라켓과 연결되는 조절체인을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴.
청구항 1에 있어서,

상기 제1지지브라켓은 상기 복수개의 픽커들을 제어하기 위한 공압관들이 상기 복수개의 픽커들과 연결되도록 상기 복수개의 픽커들의 상측이 개방된 개구부가 형성된 것을 특징으로 하는 이송툴.
청구항 1에 있어서,

상기 세로방향간격조절부는 상기 제2지지브라켓의 중앙에 대응되는 위치 또는 상기 제2지지브라켓의 일단에 대응되는 위치에 설치된 것을 특징으로 하는 이송툴.
청구항 2에 있어서,

상기 제2지지브라켓의 타단에 대응되는 위치에 설치되는 한 쌍의 풀리와; 상기 한 쌍의 풀리에 결합되며 이동에 의하여 상기 제2지지브라켓의 간격을 조절하도록 상기 제2지지브라켓과 연결되는 조절벨트와; 상기 세로방향간격조절부의 풀리와 결합됨과 아울러 상기 한 쌍의 풀리 중 어느 하나와 결합되어 상기 세로방향간격조절부의 풀리의 회전력을 전달하는 연결축을 포함하는 것을 특징으로 하는 보조세로방향간격부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴.
청구항 2에 있어서,

상기 회전구동부는

상기 제1지지브라켓에 설치되는 구동모터와;

상기 구동모터에 결합된 구동풀리와;

상기 구동풀리와 상기 세로방향간격조절부의 풀리 중 어느 하나와 연결되는 종동풀리를 연결하는 구동벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴.
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 하나의 항에 있어서,

상기 픽커들이 각각 설치되는 지지부재들을 연결하며 상기 제2지지브라켓에 설치되는 링크구조의 링크부와, 상기 링크부를 구동하여 상기 지지부재들 간의 간격을 조절하도록 상기 제2지지브라켓에 설치되는 구동부와, 상기 구동부를 구동하기 위한 구동력발생부를 포함하는 가로방향간격조절부가 설치된 것을 특징으로 하는 이송툴.
청구항 8에 있어서,

상기 구동부는 상기 제2지지브라켓에 회전가능하게 설치되며 상기 구동력발생부로부터 회전력을 전달받아 회전되는 한 쌍의 풀리들과, 상기 한 쌍의 풀리들을 연결하여 회전하는 벨트와, 일단은 상기 벨트와 결합되고 타단은 상기 지지부재 중 어느 하나와 결합되는 하나 이상의 이동부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴.
청구항 9에 있어서,

상기 이동부재는 상기 지지부재 중 양 끝단에 위치된 지지부재가 안쪽으로 이동되거나 바깥쪽으로 이동되도록 한 쌍으로 구성되고, 상기 한 쌍의 이동부재는 그 이동방향이 반대가 되도록 상기 벨트와 결합된 것을 특징으로 하는 이송툴.
청구항 9에 있어서,

상기 구동력발생부는

회전력을 발생시키는 구동모터와, 상기 구동모터에 결합된 구동풀리와,

상기 제2지지브라켓들 각각에 설치된 상기 구동부의 한 쌍의 풀리들 중 어느 하나의 회전축과 연결되는 종동풀리와, 상기 구동풀리 및 상기 종동풀리를 연결하는 구동벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴.
청구항 11에 있어서,

상기 구동풀리의 직경은 상기 종동풀리의 직경보다 작은 것을 특징으로 하는 이송툴.
청구항 11에 있어서,

상기 구동모터는 상기 각 제2지지브라켓의 상기 구동부들에 직접 연결된 것을 특징으로 하는 이송툴.
청구항 11에 있어서,

상기 각 제2지지브라켓의 상기 구동부의 한 쌍의 풀리들 중 적어도 하나의 회전축을 결합길이가 가변되는 커플러에 의하여 연결하고,

상기 종동풀리는 상기 각 제2지지브라켓의 상기 구동부의 한 쌍의 풀리들 중 적어도 하나의 회전축에 연결되거나, 상기 커플러에 설치된 것을 특징으로 하는 이송툴.
청구항 14에 있어서,

상기 커플러는 상기 제2지지브라켓의 상기 구동부의 한 쌍의 풀리들의 회전축들이 이동 가능하게 삽입되는 삽입홀이 형성된 것을 특징으로 하는 이송툴.
청구항 2에 있어서,

상기 풀리 및 상기 조절벨트는 모두 타이밍풀리 및 타이밍벨트인 것을 특징으로 하는 이송툴.
반도체디바이스 핸들러의 이송툴가이드를 따라서 이동가능하도록 설치되는 제1지지브라켓과; 서로 간격을 두고 상기 제1지지브라켓과 결합되며, 반도체디바이스를 픽업하는 복수개의 픽커들이 간격을 두고 설치되는 한 쌍의 제2지지브라켓들과; 상기 제2지지브라켓들에 설치된 픽커들의 간격을 조절하는 가로방향간격조절부를 포함하며,

상기 가로방향간격조절부는 상기 픽커들이 각각 설치되는 지지부재들을 연결하며 상기 제2지지브라켓에 설치되는 링크구조의 링크부와, 상기 링크부를 구동하여 상기 지지부재들 간의 간격을 조절하도록 상기 제2지지브라켓에 설치되며 한 쌍의 풀리들을 구비하는 구동부와, 상기 구동부를 구동하기 위한 구동력발생부를 포함하며,

상기 구동력발생부는 회전력을 발생시키는 구동모터와, 상기 구동모터에 결합된 구동풀리와, 상기 제2지지브라켓들 각각에 설치된 상기 구동부의 한 쌍의 풀리들 중 어느 하나의 회전축과 연결되는 종동풀리와, 상기 구동풀리 및 상기 종동풀리를 연결하는 구동벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송툴.
청구항 17에 있어서,

상기 구동모터는 상기 각 제2지지브라켓의 상기 구동부들에 직접 연결된 것을 특징으로 하는 이송툴.
청구항 17에 있어서,

상기 각 제2지지브라켓의 상기 구동부의 한 쌍의 풀리들 중 적어도 하나의 회전축을 결합길이가 가변되는 커플러에 의하여 연결하고,

상기 종동풀리는 상기 제2지지브라켓 중 어느 하나의 상기 구동부의 한 쌍의 풀리들의 회전축에 연결되거나, 상기 커플러에 설치된 것을 특징으로 하는 이송툴.
청구항 19에 있어서,

상기 커플러는 상기 제2지지브라켓의 상기 구동부의 한 쌍의 풀리들의 회전축들이 이동 가능하게 삽입되는 삽입홀이 형성된 것을 특징으로 하는 이송툴.
청구항 17에 있어서,

상기 구동풀리의 직경은 상기 종동풀리의 직경보다 작은 것을 특징으로 하는 이송툴.
청구항 17 내지 청구항 21 중 어느 하나의 항에 있어서,

상기 구동풀리, 상기 종동풀리 및 구동벨트는 모두 타이밍풀리 및 타이밍벨트인 것을 특징으로 하는 이송툴.