WO2015005549A1 - 이송툴, 이송툴의 링크부재 및 이송툴의 픽커 - Google Patents

이송툴, 이송툴의 링크부재 및 이송툴의 픽커 Download PDF

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WO2015005549A1
WO2015005549A1 PCT/KR2014/000007 KR2014000007W WO2015005549A1 WO 2015005549 A1 WO2015005549 A1 WO 2015005549A1 KR 2014000007 W KR2014000007 W KR 2014000007W WO 2015005549 A1 WO2015005549 A1 WO 2015005549A1
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WO
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rod
space
hole
coupled
coupling
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PCT/KR2014/000007
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유홍준
서용진
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(주)제이티
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    • H—ELECTRICITY
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Definitions

  • the present invention relates to a transfer tool, and more particularly, to a transfer tool including a picker for picking up an element by vacuum pressure, a link member of the transfer tool and a picker of the transfer tool.
  • semiconductor devices (hereinafter referred to as “devices”) are subjected to various inspections such as electrical properties, heat or pressure reliability test by the semiconductor device inspection device after the packaging process.
  • the inspection of the device includes various tests such as non-memory devices such as memory devices, CPUs and GPUs, room temperature tests performed in a room temperature environment, and heating tests performed in a high temperature environment, depending on the type of devices such as LED devices and solar devices.
  • the inspection of the device is generally performed after the packaging process, but in some cases at the wafer level after the semiconductor process and sawing process.
  • the classification grades such as re-inspection increases in addition to Good and Reject, rather than being classified as Good and Reject.
  • the rate of classification into classification classes other than) is increasing.
  • Device handlers are generally loaded on a wafer or a tray to load a plurality of devices, and the loaded devices are picked up and transported by a transfer tool to carry out the inspection and classification process. And so on.
  • the transfer tool includes a plurality of pickers that pick up the element by vacuum pressure, and transfers the element by various movements such as X-axis linear movement, XY-axis linear movement, rotational movement, and considers the transfer efficiency of the element. It is common to include two pickers.
  • the picker is generally installed in a pick-and-place device that picks up the element and transports it to be seated at a predetermined seating position.
  • the picker is a mechanism for adsorbing the element, and a suction passage through which a vacuum pressure is applied is formed, and the element is adsorbed at one end.
  • a rod coupled with the adsorption unit and an actuator for moving the rod in the vertical direction are provided.
  • the actuator is configured by pneumatic operation, and comprises a cylinder that provides a space in which pneumatic pressure is applied, and a piston that slides inside the cylinder by pneumatic pressure. Then, the piston and the rod of such an actuator is connected through a link or the like, thereby, the rod is moved in the vertical direction by sliding the piston in the interior of the cylinder.
  • the picker mounted in the conventional pick and place device is provided with an actuator consisting of a cylinder and a piston independently and separately to move the rod in the up and down direction, so that the size of the picker is relatively large.
  • the size of a conventional pick-and-place device in which a large size picker is mounted in a plurality of columns and a plurality of rows is also relatively large, and the distance between the plurality of pickers is inevitably increased, so that a plurality of pickers can pick up at the same time.
  • the disadvantage is that there is a limit in reducing the spacing of a plurality of devices.
  • the element is picked up by the shanghai-dong of the rod.
  • the picker to be picked up becomes smaller, the static electricity charged by friction with the other members by the shanghai-dong on the rod breaks the element or the pick-up by the electrostatic force is made. There is a problem that causes malfunction.
  • the transfer tool having a plurality of pickers may have a pitch adjusting unit that adjusts the distance between the plurality of pickers for the purpose of differentiating the gaps of the stacked devices according to wafers, trays, test sockets, and the like.
  • the pitch adjusting unit of the conventional transport tool may be configured in various ways according to the method, such as using a link member, a method using a cam formed with a plurality of slots.
  • the conventional transfer tool requires faster and more precise pitch adjustment while reducing the size of the device and increasing the processing speed in the interval between the plurality of pickers by the pitch adjusting unit, that is, the pitch control.
  • the present invention is to solve the above problems of the prior art, an object of the present invention, the pitch between the plurality of pickers by the pitch adjusting unit, that is, the transfer tool and the feed that can be adjusted more quickly and precisely in the pitch control It is to provide a link member of the tool.
  • Another object of the present invention is to provide a transfer tool and a link member of the transfer tool having a structure capable of minimizing the interval, that is, the pitch between the plurality of pickers.
  • Another object of the present invention is to provide a picker capable of minimizing the size.
  • Another object of the present invention is to provide a picker capable of preventing rotation about its longitudinal axis of a rod reciprocating to pick up an element.
  • Still another object of the present invention is to provide a picker capable of preventing leakage of lubricant injected for smooth movement of the rod to the outside.
  • Another object of the present invention is to provide a picker for picking up an element, in particular a picker capable of removing the electrostatic force charged on the rod to prevent breakage of the element or unintentional pick-up of the element.
  • the present invention has been made to achieve the object of the present invention as described above, the present invention, a plurality of pickers for picking up the device by the vacuum pressure; A plurality of support members to which the plurality of pickers are respectively coupled such that the plurality of pickers are arranged in a line at intervals; A pitch adjusting unit for changing the intervals of the plurality of pickers by changing the intervals of the plurality of support members, wherein the pitch adjusting unit includes: a support body installed in the structure; A plurality of link members installed on the support body and having a pair of link members coupled to each other in a cross-linked portion having an 'X' shape, and arranged in a line corresponding to the plurality of support members.
  • Link units And a plurality of coupling pins rotatably coupling the end of the link member to the end of the link member of the link portion, wherein the link member is rotatably coupled to the link member that is cross-coupled in an 'X' shape.
  • the first coupling hole is formed in the center, and the second coupling hole into which the coupling pin is inserted so as to be rotatably coupled to the adjacent link member is formed at both ends, it discloses a transfer tool characterized in that it has a metal material.
  • a protective layer made of engineering plastic may be formed on an inner circumferential surface of at least one of the first coupling hole and the second coupling hole.
  • the protective layer may be formed by insert injection or coating.
  • the protective layer may have any one material of polyether ether ketone (PEEK), polyether ketone (PEK), polyphenylene sulfide (PPS), and teflon.
  • PEEK polyether ether ketone
  • PEK polyether ketone
  • PPS polyphenylene sulfide
  • teflon any one material of polyether ether ketone (PEEK), polyether ketone (PEK), polyphenylene sulfide (PPS), and teflon.
  • an inner circumferential surface of at least one of the first coupling hole and the second coupling hole may have an annular protrusion having a portion protruding inwardly before forming the protective layer, and the protective layer includes the protrusion. It is formed on the inner peripheral surface can form a cylindrical insertion hole.
  • the support body may be provided with an upper guide and a lower guide for guiding a linear movement in which the lower and upper portions of the support member are coupled to each other to change the spacing of the plurality of support members.
  • the upper guide and the lower guide are installed in a pair, the support member may be coupled up and down cross.
  • the support member may be coupled to at least one of an intersection portion and a coupling pin of the pair of link members.
  • the link member may include at least one of a recessed groove and a through hole dug in between the first coupling hole and the second coupling hole.
  • the present invention also discloses a link member of a transfer tool having the above configuration.
  • the present invention also provides a body through which the main through-hole is formed; A rod which is slidably inserted into the main through hole and linearly reciprocated by hydraulic driving, and a pickup head for picking up the element by vacuum pressure at an end thereof; Disclosed is a picker comprising a static elimination unit coupled to the rod and in contact with the other member to remove the static electricity charged on the rod when the rod is moved relative to the body.
  • It may further include a housing coupled to the body and having a receiving space around the rod.
  • the present invention also provides a body through-hole is formed; A slide movement is inserted into the through hole, the space inside the through hole is partitioned into a first space and a second space, and the fluid is linearly reciprocated by selectively flowing fluid into the first space and the second space.
  • Moving rod And a housing coupled to the body, the housing having a receiving space around the rod.
  • It may include an anti-rotation portion to prevent the rod is rotated about its longitudinal axis.
  • the anti-rotation unit a shaft disposed in the receiving space of the housing and extending along the direction of movement of the rod; And a moving block fixed to the rod and slidably connected to the shaft along a moving direction of the rod.
  • a fastening hole is formed in the housing, a fastening groove is formed in the body, and the housing can be coupled to the body by fastening means to the fastening hole and the fastening groove.
  • Both ends of the shaft may be inserted into and fixed to shaft coupling grooves respectively formed in the body and the housing.
  • the static electricity removing unit may be fixed to the moving block to remove static electricity charged on the rod by contacting at least one of the body and the housing when the rod is moved.
  • the static elimination unit a fixed portion fixed to the moving block, a pair of extension portions extending from the fixed portion toward the shaft and formed to be spaced apart from each other, and extends at the ends of the pair of extension portions
  • Each of the rods may include a contact portion in contact with the body and the housing.
  • a third through hole through which the rod passes is formed in the housing, and a third guide member may be installed in the third through hole to seal the accommodation space and guide the movement of the rod.
  • the static elimination unit may include a fixed part fixed to the rod, one or more extension parts extending in an inclined direction from the fixing part in the longitudinal direction, and extending from the end of the extension part to the other member when the rod is moved. It may include a contact portion in contact.
  • the rod partitions a space inside the main through hole into a first space and a second space, and may linearly reciprocate by selectively introducing fluid into the first space and the second space.
  • the rod is formed with a partition for partitioning the space inside the main through hole into the first space and the second space, the body flows fluid into the first flow path and the second space in which the fluid flows into the first space
  • a second flow path may be formed.
  • Passing holes through which the rod passes may be formed, respectively, and may include a first guide member and a second guide member inserted into both openings of the main through hole to seal the first space and the second space.
  • a communication hole may be formed in the first guide member and the second guide member to communicate the first flow path and the second flow path with the first space and the second space.
  • the communication hole is formed in a plurality along the circumferential direction of the first guide member and the second guide member, the connecting groove for connecting the plurality of communication holes to each other on the outer surface of the first guide member and the second guide member. This can be formed.
  • An inner surface of the through hole of the first guide member and the second guide member may be formed with an indentation groove communicating with the communication hole and indented in the radial direction.
  • the indentation groove may extend in the circumferential direction of the first guide member and the second guide member.
  • Sealing members may be installed at both end portions of the partition portion facing the first guide member and the second guide member.
  • the body is provided with a first connection member and a second connection member for connecting the first flow path and the second flow path with a fluid supply source, and the first connection member and the second connection member are located above the body. It can be installed together on one side in the radial direction of the rod.
  • the conveying tool and the link member of the conveying tool according to the embodiment of the present invention are durable by using a link member of the pitch adjusting unit for linearly moving the plurality of pickers in adjusting the spacing of the plurality of pickers, that is, the pitch.
  • This high advantage has the advantage of allowing faster and more precise pitch adjustment.
  • the inner peripheral surface of the connecting portion of the link members that is, the first coupling hole formed in the center so as to cross each other and the second coupling hole formed at both ends of the link member to insert the coupling pin is made of a metal material.
  • the wear resistance and frictional force of the connection portion with the other members of the link member can be reduced by forming a protective layer by insert injection or coating the engineering plastic.
  • the picker forms a first space and a second space defined by a partition of a rod in the body, and selectively supplies fluid to the interior of the first space and the second space.
  • the rod can be moved in the vertical direction through.
  • the main through hole for guiding the movement of the rod in the up and down direction may perform a function as a cylinder, and the partition of the rod may perform the function as a piston.
  • the picker according to the embodiment of the present invention since the main through hole for guiding the movement of the rod in the vertical direction can perform the function as a cylinder, the partition of the rod can perform the function as a piston, The line on which the pressure for moving the moving line and the rod acts is on the same line.
  • the size of the pick and place device may be minimized as the size of the picker may be minimized.
  • the picker according to the embodiment of the present invention may be minimized in weight as the size thereof is minimized.
  • the size and weight of the pick and place device equipped with such a picker can be minimized. Accordingly, since the inertia of the pick and place device can be minimized, the pick and place device can be easily controlled.
  • the picker according to the embodiment of the present invention has a rotation preventing portion that prevents the rod from being rotated about its longitudinal axis, thereby allowing the reciprocating movement of the rod to be performed smoothly, and utilizing the reciprocating movement of the rod.
  • the pick and place operation of the picker can be performed smoothly.
  • the picker according to the embodiment of the present invention includes a housing coupled to the body and having a receiving space around the rod, so that the lubricant leaked by the rod can be accommodated in the receiving space, so that the lubricant is outside the picker.
  • a housing coupled to the body and having a receiving space around the rod, so that the lubricant leaked by the rod can be accommodated in the receiving space, so that the lubricant is outside the picker.
  • the picker according to the embodiment of the present invention further includes a corrector removing unit that removes the static electricity charged on the rod, so that the static electricity charged on the rod is removed so that it is not intended for the device to be damaged by the corrector or the device due to the electrostatic force.
  • a corrector removing unit that removes the static electricity charged on the rod, so that the static electricity charged on the rod is removed so that it is not intended for the device to be damaged by the corrector or the device due to the electrostatic force.
  • FIG. 1 is a side cross-sectional view showing an example of a transfer tool according to the present invention.
  • FIG. 2a and 2b are views showing the operation of the pitch adjusting unit of the transfer tool of FIG.
  • FIG. 3 is a plan view illustrating an example of the link member of FIG. 2.
  • FIG. 4 is a longitudinal cross-sectional view of the link member of FIG. 3.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing a connection between the link members of FIG.
  • FIG. 6 is a plan view illustrating an example of the link member of FIG. 2.
  • FIG. 7 is a longitudinal cross-sectional view of the link member of FIG. 6.
  • FIG. 8 is a perspective view schematically showing an example of a picker of the transfer tool of FIG. 1.
  • FIG. 9 is a cross-sectional perspective view schematically showing the picker of FIG. 8.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view schematically showing another example of the picker of FIG. 8.
  • FIG. 11 is an enlarged cross-sectional view of a part of the picker of FIG. 10.
  • FIG. 12 is an enlarged cross-sectional view of a portion of the picker of FIG.
  • FIG. 13 is a perspective view illustrating the guide member in the picker of FIG. 10.
  • 14 and 15 are cross-sectional views illustrating an operating state of the picker of FIG. 10.
  • FIG. 16 is a perspective view illustrating an example of a grounding member installed in the picker of FIG. 8.
  • FIG. 16 is a perspective view illustrating an example of a grounding member installed in the picker of FIG. 8.
  • FIG. 17 is an enlarged partial sectional view showing the picker of FIG. 8 with the grounding member of FIG. 16 installed;
  • the transfer tool according to the present invention includes at least one picker 1 for picking up the element by vacuum pressure; And a support member 2 to which the picker 1 is coupled.
  • the said picker 1 is mentioned later as a structure which picks up an element by vacuum pressure.
  • the support member 2 can have various configurations as a configuration for supporting the picker 1.
  • the support member 2 is preferably composed of a plurality of members to which the plurality of pickers 1 are respectively coupled such that the plurality of pickers 1 are arranged in a line at intervals.
  • the support member 2 as shown in Figures 1 to 2b, is made in the form of a bar (bar) so that both ends are linearly movable to the support body 320 of the pitch adjusting unit 300 to be described later Can be combined.
  • the support member 2 may be coupled to at least one of the crossing portions of the pair of link members 310 and the coupling pin 330.
  • the support member 2 as shown in Figures 2a and 2b, may be fixed by a fixing pin 340 when coupled to the intersection of the pair of link members 310.
  • the support member 2 although not shown is preferably fixed to the coupling pins 330 located on the upper and lower when fixed to the coupling pin 330.
  • the transfer tool according to the present invention is preferably configured to pick up and place a plurality of elements at a time, including a plurality of pickers 1, and furthermore, the interval of the plurality of pickers 1, that is, the pitch Ph. Is more preferably configured to be changeable.
  • the transfer tool according to the present invention may include a pitch adjusting unit 300 for changing the interval Ph of the plurality of pickers 1 by changing the interval of the plurality of support members 2.
  • the pitch adjusting unit 300 may be configured in various ways as a configuration for changing the interval (Ph) of the plurality of pickers 1 by changing the interval of the plurality of support members (2).
  • the pitch adjustment unit 300 As shown in Figures 1 to 2b, the support body 320 is installed in the structure (not shown); It is installed on the support body 320 includes a pair of link members 310, each of the support member 2 is coupled to the cross-linked in the 'X' shape and the cross-linked portion and the plurality of support members (2) A plurality of link units arranged in a line corresponding to the plurality of link units; The end of the link member 310 of the link unit may include a plurality of coupling pins 330 to rotatably couple the end of the link member 310 of the adjacent link unit.
  • the structure as a part of the device is installed in the transfer tool according to the present invention, may be a variety of configurations, such as a linear moving module in the X-axis or Y-axis direction, a linear moving module in the X-axis Y-axis direction, a rotary module.
  • the structure may be part of the configuration of the transfer tool described in Korean Patent No. 580816, Korean Patent No. 1012137.
  • the support body 320 is installed in a structure (not shown) to support the support member 2, the link member 310, and the like, as well as a drive unit for changing the coupling angle of the pair of link members 310 This can be installed.
  • the support body 320, the lower and the upper portion of the support member 2 is coupled to each other in order to ensure a stable linear movement of the support member 2 is a linear movement in which the interval of the plurality of support members (2) is changed
  • Upper guides 321 and 322 and lower guides 323 and 324 to guide may be installed.
  • the upper guides 321 and 322 and the lower guides 323 and 324 are linear movements of the upper guides 321 and 322 and the lower guides 323 and 324 as configurations for guiding the linear movement of the support member 2. Any configuration can be used as long as it can guide the configuration.
  • the upper guides 321 and 322 and the lower guides 323 and 324 are installed in pairs, and as shown in FIGS. 2A and 2B, the support members 2 are alternately coupled upwards and downwards. Configuration is possible.
  • the upper guides 321 and 322 and the lower guides 323 and 324 are installed in pairs, and when the supporting member 2 is coupled up and down in an intersection as shown in FIGS. 2A and 2B, the upper guide 321, 322 and the lower guides (323, 324) for coupling with the support member (2) without limiting the gap between the support members 2 according to the installation of the linear block (2a) installed in the support member (2) By minimizing the spacing between the) can be minimized the interval formed by the pickers 1, that is, the pitch (Ph).
  • the link unit is provided on the support main body 320 to be cross-linked in an 'X' shape and a pair of links to which each support member 2 is coupled to the cross-linked portion. It includes the members 310 and arranged in a line corresponding to the plurality of support members (2), the coupling angle is changed by a drive unit (not shown) to adjust the distance between the support members (2) ultimately The interval of the pickers 1, ie the pitch Ph, is adjusted.
  • the pair of link members 310, the bar-shaped member is cross-linked in the form of 'X' shape is changed in the coupling angle is changed to the configuration of adjusting the interval of the coupled support member 2 can be configured in various ways .
  • the link member 310 has a first coupling hole 321 rotatably coupled to the link member 310, and an adjacent link member ( Second coupling holes 311 into which the coupling pins 330 are inserted are formed at both ends thereof so as to be rotatably coupled with the 310.
  • the first coupling hole 321 is formed such that the fixing pin 340 is inserted to be rotatably coupled with the link member 310 paired with each other.
  • the second coupling hole 311 is formed such that an end of the link member 310 adjacent to the link portion 310, that is, the second coupling hole 311 overlaps each other and the coupling pin 330 is inserted. do.
  • the link member 310, at least one of the concave groove 324 and the through-hole can be formed between the first coupling hole 321 and the second coupling hole (311).
  • the link member 310 has an advantage that can be reduced if at least one of the concave groove 324 and the through hole is formed.
  • the link member 310 may be formed with one or more ribs in a longitudinal direction and a direction perpendicular to the longitudinal direction to improve structural strength.
  • the pitch adjustment unit 300 also needs to be quickly operated as the pickup and transfer of the element is speeded up.
  • the load acts on the link members 310 constituting the link portion is generated, such as bending, vibration, the interval of the plurality of pickers 1, that is, the pitch (Ph) An error may occur in.
  • the link member 310 it is preferable to have a metal material such as aluminum, aluminum alloy.
  • the link member 310 when the link member 310 is formed of a metal material, the link member 310 wears due to friction with the fixing pin 340 and the coupling pin 330 with respect to the first coupling hole 321 and the second coupling hole 311.
  • protective layers 322 and 312 made of engineering plastic are formed on the inner circumferential surface of at least one of the first coupling hole 321 and the second coupling hole 311.
  • the protective layers 322 and 312 may be formed by insert injection or coating.
  • the protective layers 322 and 312 may be made of any material as long as they have abrasion resistance and low frictional force, and are polyether ether ketone (PEEK), polyether ketone (PEK), and polyphenylene sulfide (PPS), which are engineering plastics. ) And Teflon.
  • PEEK polyether ether ketone
  • PEK polyether ketone
  • PPS polyphenylene sulfide
  • the inner circumferential surfaces of the first coupling hole 321 and the second coupling hole 311 are inwardly formed before the formation of the protective layers 322 and 312 to prevent separation of the protective layers 322 and 312 from a portion of the inner circumferential surfaces.
  • protruding annular projections 312 and 322 are formed.
  • the annular protrusion 312 is formed on the inner circumferential surfaces of the first coupling hole 321 and the second coupling hole 311 before the protective layers 322 and 312 are formed so that the protective layers 322 and 312 are first bonded.
  • the link member 310 positioned at both ends of the plurality of link portions may be the link member illustrated in FIGS. 3 and 4.
  • a first coupling hole 321 rotatably coupled to the link member 310 is formed at one end and rotatable with an adjacent link member 310.
  • the second coupling hole 311 into which the coupling pin 330 is inserted may be formed at the other end to be coupled to each other.
  • the link member 310 shown in FIGS. 6 and 7 differs from the link member 310 shown in FIGS. 3 and 4 only in the positions where the first coupling holes 321 and the second coupling holes 311 are formed. Since it is substantially the same, detailed description is abbreviate
  • the picker 1 is inserted into the body 10 in which the main through hole 11 is formed, and the slide is inserted into the main through hole 11 so as to be slidable.
  • Adsorption head 90 is adsorbed and includes a hollow rod 20 is connected to the vacuum source at the top.
  • the body 10 constitutes a body of the picker 1, and the material may be metal, in particular, aluminum or an aluminum alloy.
  • the picker 1 is installed in a pick-and-place device for transferring an element, and is a mechanism for absorbing and picking up the element, and the rod 20 is coupled to a lower end of the adsorption head 90 to which the element is adsorbed.
  • the unit 21 may be provided.
  • a suction passage 22 through which air is sucked from the suction head 90 may be formed in the rod 20.
  • the rod 20 has a suction passage 22 at the top thereof may be connected to a vacuum source such as a vacuum pump.
  • the rod 20 is slidably coupled to the main through hole 11 of the body 10 and is linearly driven by various driving methods.
  • the rod 20 selectively injects fluid into the first space 31 and the second space 32 formed by the outer circumferential surface of the rod 20 in the main through hole 11 of the body 10. This can be linearly driven relative to the body 10.
  • the rod 20 has a partition 23 for partitioning the space formed in the body 10 into the first space 31 and the second space 32 by the main through hole 11. Is formed.
  • first space 31 is located below the partition 23
  • second space 32 is located above the partition 23.
  • the outer diameter of the partition 23 is sized to correspond to the inner diameter of the main through hole 11 so that the rod 20 can slide in a state in which the outer surface of the partition 23 and the inner surface of the main through hole 11 are in contact with each other.
  • the partition 23 of the rod 20 may be integrally formed with the rest of the rod 20, and may be formed separately from each other and then coupled to each other.
  • the body 10 has a first flow passage 41 serving as a passage for fluid flow into the first space 31 and a second flow passage 42 serving as a passage for fluid flow into the second space 32. Can be formed.
  • a first connection member 411 and a second connection member 421 respectively connected to the fluid supply source may be connected to the first passage 41 and the second passage 42.
  • the fluid supplied from the fluid supply source may flow into the first space 31 through the first flow passage 41 and into the second space 32 through the second flow passage 42.
  • the fluid supplied from the fluid supply source may be a gas such as air, and in this case, the fluid supply source may include a pressure regulating device for adjusting the pressure of the fluid flowing into and out of the first space 31 and the second space 32. May be provided.
  • Tubes connected to the fluid supply source may be connected to the first connection member 411 and the second connection member 421, respectively.
  • the first connecting member 411 and the second connecting member 421 are used. ) May be formed above the body 10.
  • first connecting member 411 and the second connecting member 421 may be installed together on one side in the radial direction of the rod 20.
  • first connection member 411 and the second connection member 421 are not installed as compared to the width of the first portion in which the first connection member 411 and the second connection member 421 are installed.
  • the width of two parts is small.
  • the second part may be a portion in which the plurality of pickers 1 face each other.
  • the supply of the fluid to the first passage 41 and the supply of the fluid to the second passage 42 may be performed alternately.
  • the fluid inside the second space 32 may be discharged to the outside through the second passage 42, and the second passage
  • the fluid inside the first space 31 may be discharged to the outside through the first flow path 41.
  • the first flow passage 41 and the second flow passage 42 are formed so as not to communicate with each other inside the body 10.
  • the first passage 41 and the second passage 42 are formed in the body 10 integrally formed by drilling, respectively, and the hole in which the drill formed in the drilling process is inserted is sealed by welding or the like,
  • the first passage 41 and the second passage 42 may be formed inside the body 10 through a process of sealing with the sealing members 412 and 422, respectively.
  • first passage 41 and the second passage 42 are formed inside the body 10 in a bent shape, but the present invention is not limited thereto.
  • the shape of the first flow path 41 and the second flow path 42 in the inside of) may be formed into an optimized shape that can reduce the width or length of the picker (1).
  • both openings 12 and 13 of the main through hole 11 have a first guide member 81 and a second guide member 82 for sealing the first space 31 and the second space 32 from the outside. Can be inserted.
  • Passing holes 811 and 821 through which the rod 20 passes may be formed in the first guide member 81 and the second guide member 82, respectively.
  • the first guide member 81 may be inserted into the opening 12 formed below the rod 20, and the second guide member 82 may be inserted into the opening 13 formed above the rod 20. have.
  • the first guide member 81 and the second guide member 82 may be closely inserted into the openings 12 and 13 of the main through hole 11 in the manner of interference fitting or screwing.
  • the clearance through which the fluid passes may not be formed between each outer surface of the first guide member 81 and the second guide member 82 and the inner surface of the main through hole 11.
  • the first guide member 81 and the second guide member 82 may have openings 12 and 13 of the main through hole 11 in a state in which the partition 23 of the rod 20 is inserted into the main through hole 11. ) Can be inserted.
  • first space 31 and the second space 32 may be sealed from the outside by a simple method in which the first guide member 81 and the second guide member 82 are inserted into the openings 12 and 13. have.
  • the material of the first guide member 81 and the second guide member 82 may be metal or engineering plastic.
  • An inner groove 812 may be formed in the inner surface of the first guide member 81 so that the first space 31 may be formed, and the second space 32 may be formed.
  • An inner groove 822 may be formed in the inner surface of the two guide member 82 to be inserted at a predetermined depth.
  • the first space 31 may be an area surrounded by the inner surface of the first guide member 81, the outer surface of the rod 20, and the lower end of the partition 23, and the second space 32 may be It may be an area surrounded by the inner surface of the second guide member 82, the outer surface of the rod 20 and the upper end of the partition portion 23.
  • the lower end and the upper end of the partition 23 are portions to which the pressure of the fluid introduced into the first space 31 and the second space 32 is applied, and the lower end and the upper end of the partition 23.
  • the rod 20 can be moved downward and upward by the pressure applied to the end.
  • the partition 23 serves substantially as a piston, and the main through hole 11 substantially serves as a cylinder.
  • the volume of the first space 31 is expanded while the rod 20 is moved upward.
  • the volume of the second space 32 is reduced.
  • the inside of the first guide member 81 and the second guide member 82 has a through hole 811 through which both sides of the rod 20 except the partition 23 can pass. , 821).
  • first guide member 81 and the second guide member 82 are formed with recessed grooves 812 and 822 which are embedded in a predetermined depth and open to one side.
  • the first space is formed between the inner surface of the first guide member 81 and the outer surface of the rod 20 and the inner surface of the second guide member 82 and the outer surface of the rod 20 by the inner grooves 812 and 822, respectively. 31 and the second space 32 may be formed.
  • the inlet grooves 812 and 822 are respectively formed of the first guide member 81 and the first space 31 and the second space 31 so as to extend in the circumferential direction of the rod 20. It may extend in the circumferential direction on the inner surface of the second guide member 82.
  • first space 31 and the second space 32 are formed to extend in the circumferential direction of the rod 20, a uniform pressure may be applied to the partition 23 of the rod 20. have.
  • a communication hole 813 may be formed in the first guide member 81 to communicate the first passage 41 and the first space 31.
  • the communication hole 813 may be connected to the indentation groove 812. Accordingly, the fluid supplied through the first passage 41 may flow into the first space 31 through the communication hole 813, and the fluid inside the first space 31 may communicate with the communication hole ( 813 and the first passage 41 may be discharged to the outside.
  • the communication hole 813 may be formed in plural along the circumferential direction of the first guide member 81, and in this case, the first guide may be connected to the plurality of communication holes 813 together with the first flow path 41.
  • a connection groove 814 may be formed around the outer surface of the member 81 to communicate the plurality of communication holes 813 with each other.
  • connection groove 814 is not formed, and a configuration in which the plurality of first passages 41 are connected to the plurality of communication holes 813 may be used.
  • a communication hole 823 may be formed in the second guide member 82 to communicate the second passage 42 and the second space 32.
  • the communication hole 823 may be connected to the indentation groove 822. Accordingly, the fluid supplied through the second passage 42 may be introduced into the second space 32 through the communication hole 823, and the fluid inside the second space 32 may communicate with the communication hole ( 823 and the second passage 42 may be discharged to the outside.
  • the communication holes 823 may be formed in plural along the circumferential direction of the second guide member 82, and in this case, the second guides may be connected to the plurality of communication holes 823 together with the second flow path 42.
  • a connecting groove 824 may be formed around the outer surface of the member 82 to communicate the plurality of communication holes 823 with each other.
  • connection groove 824 is not formed, and a configuration in which the plurality of second passages 42 are connected to the plurality of communication holes 823 may be used.
  • the fluid is radiated to the first space 31 and the second space 32. It can be uniformly introduced in the direction, accordingly, since the pressure applied to the partition portion 23 of the rod 20 is uniform, the rod 20 is eccentric in the process of moving the rod 20 in the vertical direction Can be prevented.
  • the inner diameters of the through holes 811 and 821 of the first guide member 81 and the second guide member 82 may be smaller than the outer diameter of the partition 23 of the rod 20.
  • the fluid introduced into the first space 31 flows into the second space 32 through the gap between the outer surface of the partition 23 and the inner surface of the main through hole 11 and then the second flow path 42. Discharge to the outside through the can be prevented, thereby, it is possible to prevent the fluid is not consumed unnecessarily.
  • both ends of the partition 23 facing the first guide member 81 and the second guide member 82, that is, the partition 23, may be formed so that the sealing as described above may be closely performed. It is preferable that the sealing members 61 and 62 are provided in the lower end part and the upper end part which are the parts which contact the 1st guide member 81 and the 2nd guide member 82. As shown in FIG.
  • the sealing members 61 and 62 may have a predetermined elasticity such as rubber or synthetic resin to cushion the shock generated when the partition 23 comes into contact with the first guide member 81 and the second guide member 82. It is preferable that it is made of a material.
  • the sealing members 61 and 62 may be made of metal or engineering plastic.
  • the rod 20 may slide in a state in which the sealing members 61 and 62 are in contact with the inner surface of the main through hole 11.
  • the openings 12 and 13 of the first through member 11 and the second guide member 82 are formed in the main through hole 11.
  • the first space 31 and the second space 32 can be formed by inserting the first space 31 and the second space 32 into the first space 31 and the second space 32, respectively. Can be communicated with (42).
  • the reciprocating movement of the rod 20 is stable. It can be performed as.
  • the picker 1 according to the present invention is coupled to the body 10 at one side of the rod 20 is connected to the adsorption head 90, the housing forming a predetermined receiving space 511 around the rod 20 (51) may be further included.
  • the housing 51 may be utilized to form a part of the anti-rotation part to be described later by forming a predetermined accommodation space 511 around the rod 20, and of the rod 20 located in the main through hole 11.
  • the oil present on the outer circumferential surface may be utilized to prevent the oil from falling onto the adsorption head 90.
  • the picker 1 may include an anti-rotation part 50 which prevents the rod 20 from being rotated about its longitudinal axis.
  • the anti-rotation part 50 is a structure which prevents the rod 20 from rotating about the longitudinal axis, and can be various structures.
  • the anti-rotation part 50 is fixed to the shaft 52 and the shaft 52 which are disposed in the receiving space 511 of the housing 51 and extends along the moving direction of the rod 20.
  • the shaft 52 may include a moving block 53 slidably connected along the moving direction of the rod 20.
  • the anti-rotation part 50 is provided below the picker 1.
  • a plurality of parts connected to a fluid supply source such as the first connection member 411 and the second connection member 421, are installed at the upper side of the picker 1.
  • the housing 51 has a fastening hole 514 is formed in a position corresponding to the fastening groove 14 formed in the body 10, accordingly, a fastening means (not shown) such as a screw fastening hole 514 and By being fixed to the fastening groove 14, the housing 51 and the body 10 may be coupled to each other.
  • a fastening means such as a screw fastening hole 514 and By being fixed to the fastening groove 14, the housing 51 and the body 10 may be coupled to each other.
  • the fastening hole 514 is formed in the housing 51, the weight of the housing 51 may be reduced, thereby reducing the weight of the entire picker 1.
  • the shaft 52 is formed in a shape extending along the moving direction of the rod 20 to guide the movement of the rod 20. Both ends of the shaft 52 may be inserted and fixed in the shaft coupling grooves 15 and 515 respectively formed in the body 10 and the housing 51, respectively.
  • the movable block 53 has one end 532 slidably connected to the shaft 52 along the longitudinal direction of the shaft 52, and the other end thereof is fixed to the outer circumferential surface of the rod 20.
  • a fastening member 533 such as a screw, may be used to fix the movable block 53 to the rod 20.
  • the moving block 53 may have a variety of shapes, such as cylinder, square pillar.
  • the housing 51 is provided with a third through hole 57 through which the rod 20 passes, and the third through hole 57 not only seals the accommodating space 511 inside the housing 51 from the outside but also the rod.
  • a third guide member 58 may be installed to guide the movement of the 20.
  • a portion of the housing 51 constituting the third through hole 57 in which the third guide member 58 is installed may be a protrusion 571 toward the accommodation space 511. have.
  • the airtight characteristic of the housing 51 may be improved by the protrusion 571, and the lubricant leaked on the rod 20 may prevent leakage through the third through hole 57.
  • lubricant may be oil or grease.
  • the lubricant When lubricant is injected into the main through hole 11, the lubricant may be discharged through the passage hole 811 of the first guide member 81 while being pressurized by the reciprocating movement of the rod 20.
  • the lubricant may be discharged to the outside through the passage hole 811 of the first guide member 81, but there may be a problem, but embodiments of the present invention As described above, when the housing 51 having the accommodating space 511 is formed therein, the lubricant discharged through the through hole 811 of the first guide member 81 may receive the accommodating space 511 in the housing 51. ) Can be introduced into.
  • the receiving space 511 in the housing 51 is not limited to providing a space in which the moving block 53 can be moved, and the lubricant injected into the interior of the main through hole 11 is applied to the picker 1. It also plays a role in preventing the discharge to the outside.
  • the sealing member 59 is installed at one side of the through hole 811 toward the housing 51 so that the lubricant in the main through hole 11 can be minimized from leaking into the receiving space 511 of the housing 51. It is desirable to be.
  • first stopper 71 and the second stopper 72 may be provided below and above the rod 20 with the body 10 interposed therebetween.
  • the first stopper 71 and the second stopper 72 may be integrally formed with the rod 20, and may be separately formed and coupled to the rod 20.
  • the first stopper 71 and the second stopper 72 may be sized to be in contact with the third guide member 58 and the second guide member 82, respectively.
  • the upward movement of the rod 20 may be restricted, and the second stopper 72 contacts the second guide member 82. By doing so, the downward movement of the rod 20 can be restricted.
  • the first stopper 71 and the second stopper 72 may have a predetermined elasticity, such as rubber or synthetic resin, to cushion the impact generated when the first stopper 71 and the second stopper 72 contact the third guide member 58 and the second guide member 82. It is preferable that it is made of a material.
  • first stopper 71 and the second stopper 72 may be made of metal or engineering plastic.
  • the first stopper 71 and the second stopper 72 are in contact with the third guide member 58 and the second guide member 82 to seal the first space 31 or the second space 32.
  • the fluid flowing into the first space 31 or the second space 32 may be prevented from leaking to the outside.
  • Picker 1 according to an embodiment of the present invention configured as described above performs the operation of picking up and transporting the element by the movement in the vertical direction of the rod 20 and the operation of the vacuum source.
  • the picker 1 may be moved to the seating position of the device, and after the rod 20 is moved downward from the seating position of the device, the operation of the vacuum source is stopped to allow the suction passage 22 to be moved.
  • the device may be seated in a seating position while the vacuum of the vacuum is released.
  • the downward pressure acts on the upper end of the partition 23 of the rod 20, and the rod 20 may be moved downward by the pressure.
  • the adsorption head 90 comes into contact with the device by the downward movement of the rod 20, the device is adsorbed to the adsorption head 90, and the adsorption head 90 is in contact with the device. And a collision force may be applied to the device. The collision force is transmitted to the fluid introduced into the second space 32 through the rod 20 and the partition 23, and then absorbed by the fluid introduced into the second space 32.
  • the fluid introduced into the second space 32 serves as a so-called air cushion to cushion the collision force generated when the adsorption head 90 is in contact with the element.
  • the picker 1 according to the embodiment of the present invention is caused by the collision force generated when the suction head 90 is in contact with the element even when the shock absorbing spring 90 is not provided separately to cushion the collision force. It is possible to prevent damage to the adsorption head 90 or elements that may occur.
  • the pressure regulating device when a pressure regulating device for adjusting the pressure of the fluid flowing into the second space 32 through the second flow passage 42 is provided, the pressure regulating device is provided when the suction head 90 is in contact with the element. The pressure of the fluid may be adjusted to the second space 32 through the second passage 42.
  • the pressure of the fluid flowing into the second space 32 is smaller than the pressure of the fluid first flowing into the second space 32 to move the rod 20 downward. Can be.
  • the adsorption head 90 and the element can be buffered by adjusting the pressure of the fluid flowing into the second space 32 according to the characteristics of the element adsorbed to the adsorption head 90, the adsorption The movement speed of the rod 20 may be optimized while preventing the damage of the device while the head 90 is in contact with the device.
  • the fluid inside the second space 32 is supplied to the first space 31 through the first flow passage 41 to move upward of the rod 20. It is discharged to outside through). Accordingly, upward pressure acts on the lower end of the partition 23 of the rod 20, and the rod 20 may be moved upward by the pressure.
  • the first space 31 and the second space 32 between the main through hole 11 and the rod 20 of the body 10 The rod 20 may be vertically moved by selectively supplying a fluid into the first space 31 and the second space 32.
  • the picker 1 according to the embodiment of the present invention, the main through-hole 11 for guiding the movement in the vertical direction of the rod 20 can perform the function as a cylinder, the rod 20 is a piston Can function together as
  • the picker 1 since the moving line of the rod 20 and the line on which the pressure for moving the rod 20 acts exist on the same line, the rod 20 is moved upward and downward. Compared with the prior art in which an actuator composed of a cylinder and a piston is independently provided to move, there is an advantage of minimizing the size of the picker 1.
  • the picker 1 according to the exemplary embodiment of the present invention is mounted to the pick and place apparatus in a plurality of columns and a plurality of rows, the interval between the pickers 1 is minimized as the size of the picker 1 is minimized. Since it can be, there is an advantage that can minimize the size of the pick-and-place device, there is an advantage that the distance between the plurality of elements that can be picked up a plurality of pickers 1 at the same time can be minimized.
  • the picker 1 according to the embodiment of the present invention includes an anti-rotation part 50 which prevents the rod 20 from being rotated about its longitudinal axis, thereby smoothly reciprocating the rod 20.
  • the pick and place operation of the picker 1 using the reciprocating movement of the rod 50 can be performed smoothly.
  • the receiving space 511 is formed inside the housing 51 provided in the anti-rotation part 50, the lubricant pressurized by the rod 20 leaks Can be accommodated in the receiving space 511, it is possible to prevent the lubricant from leaking to the outside of the picker (1).
  • the picker 1 is coupled to the rod 20 and the electrostatic agent to remove the static electricity charged on the rod 20 in contact with the other member when the rod 20 is moved relative to the body 10 It is preferred to further include a reject 200.
  • the other member may be at least one of the body 20 and the housing 51 as a structure for removing static electricity charged on the rod 20 by contact with the static electricity removing unit 200.
  • the static electricity of the rod 20 may be a ground structure connected to at least one of the static eliminator 200, the body 20, and the housing 51, and at least one of the body 20 and the housing 51. Can be removed.
  • At least one of the static electricity removing unit 200, the body 20, and the housing 51 is preferably made of a material having high electrical conductivity so as to easily remove static electricity.
  • the static electricity removing unit 200 is coupled to the rod 20 and is configured to remove static electricity charged on the rod 20 by being in contact with other members when the rod 20 is moved with respect to the body 10. It is possible.
  • the static electricity removing unit 200 may include a fixing part 221 fixed to the rod 20 and at least one extension part 233 extending from the fixing part 221 in an inclined direction with the length of the rod 20. ) And a contact portion 231 extending at the end of the extension portion 233 to be in contact with the other member when the rod 20 is moved.
  • the fixing part 221 may be a part fixed to the rod 20 and may have various structures according to the coupling structure with the rod 20.
  • the fixing portion 221 has a 'U' shape so as to fit the end of the moving block 53 fixedly coupled to the rod 20 described above and has a rod ( It may have a clip structure in which a through hole 222 is formed so that 20 may pass therethrough.
  • the extension part 233 extends from the rod 20 and is ultimately connected to a ground terminal installed externally by contact with other members such as the body 10 to remove static electricity.
  • extension portion 233 is preferably extended in the longitudinal direction of the rod 20 so as to be in contact with the other member when the rod 20 is moved.
  • the extension portions 233 may extend from the fixing portion 221 toward the shaft 52 and may be formed in a pair so as to have a greater distance from each other.
  • the extension portion 233 is preferably formed integrally with the fixed portion 221 and is formed to enable elastic deformation so as to facilitate contact with the other member.
  • the contact portion 231 is extended to the end of the extension portion 233 and can be configured in various ways as a portion that is in contact with the other member when the rod 20 is moved.
  • the contact portion 231 is more preferably formed so as to form a plane parallel to the surface to be contacted more advantageous contact when contacting the other member.
  • the contact portion 231 extends at the end of the pair of extension portions 233, as shown in FIGS. 16 and 17, respectively, when the body 20 and the housing 51 move when the rod 20 is moved. It may be formed to be parallel to the lower surface of the body 20 and the inner surface of the housing 51 to contact the ().
  • At least one of the contact portion 231 and the extension portion 233 may be formed with an opening or a cutting groove 232 to prevent interference with other members such as the shaft 52 during movement.

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Abstract

본 발명은 이송툴에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공압에 의하여 소자를 픽업하는 픽커를 포함하는 이송툴, 이송툴의 링크부재 및 이송툴의 픽커에 관한 것이다. 본 발명은, 복수의 픽커들의 간격을 조절하는 피치조절부를 포함하는 이송툴에 있어서, 상기 피치조절부는, 구조물에 설치되는 지지본체와; 상기 지지본체에 설치되어 'X'자 형태로 교차결합되며 교차결합되는 부분에 상기 각 지지부재가 결합되는 한 쌍의 링크부재들을 포함하며 상기 복수의 지지부재들에 대응되어 일렬로 배치되는 복수의 링크부들과; 상기 링크부의 링크부재의 끝단을 인접한 링크부의 링크부재의 끝단을 회전가능하게 결합시키는 복수의 결합핀들을 포함하며, 상기 링크부재는, 'X'자 형태로 교차결합되는 링크부재와 회전가능하게 결합되는 제1결합공이 중앙에 형성되며, 인접한 링크부재와 회전가능하게 결합될 수 있도록 상기 결합핀이 삽입되는 제2결합공이 양단에 형성되며, 금속재질을 가지는 것을 특징으로 하는 이송툴을 개시한다.

Description

이송툴, 이송툴의 링크부재 및 이송툴의 픽커
본 발명은 이송툴에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공압에 의하여 소자를 픽업하는 픽커를 포함하는 이송툴, 이송툴의 링크부재 및 이송툴의 픽커에 관한 것이다.
반도체소자(이하 '소자'라 한다)는 패키지 공정을 마친 후 반도체소자 검사장치에 의하여 전기특성, 열이나 압력에 대한 신뢰성 검사 등 다양한 검사를 거친다.
소자에 대한 검사는 메모리소자, CPU, GPU 등과 같은 비메모리소자, LED소자, 태양광소자 등 소자의 종류에 따라서 실온환경에서 수행하는 실온검사, 고온환경에서 수행되는 가열검사 등 다양한 검사들이 있다.
또한 소자에 대한 검사는 패키징 공정을 마친 후에 수행되는 것이 일반적이나, 반도체 공정 및 소잉공정을 마친 웨이퍼 수준에서 검사되는 경우도 있다.
한편 소자에 대한 검사의 종류, 검사결과가 다양해지면서, 굿(Good) 및 리젝(Reject)으로 분류되기보다는, 굿(Good) 및 리젝(Reject)에 더하여 재검사 등 그 분류등급이 많아지고 굿(Good) 이외의 분류등급으로 분류되는 비율이 높아지고 있는 실정이다.
상기와 같이 소자의 검사, 분류는 소자핸들러에 의하여 수행되며, 소자핸들러는 일반적으로 웨이퍼, 트레이 등에 적재되어 복수의 소자들을 로딩하고, 로딩된 소자들을 이송툴에 의하여 픽업하여 이송하면서 검사, 분류공정 등을 수행한다.
한편 이송툴은, 진공압에 의하여 소자를 픽업하는 복수의 픽커들을 구비하여, X축방향 선형이동, X-Y축 선형이동, 회전이동 등 다양한 이동에 의하여 소자를 이송하며 소자의 이송효율을 고려하여 복수개의 픽커들을 포함함이 일반적이다.
그리고 픽커는 일반적으로 소자를 픽업한 후 이송하여 소정의 안착위치에 안착시키는 픽앤플레이스장치에 설치되어 소자를 흡착하는 기구로서, 내부에 진공압이 작용되는 흡입통로가 형성되고 일단에 소자가 흡착되는 흡착부가 결합되는 로드와, 로드를 상하방향으로 이동시키기 위한 액추에이터가 구비된다.
액추에이터는 공압으로 작동하는 구성으로서, 공압이 작용되는 공간을 제공하는 실린더와, 공압에 의하여 실린더의 내부에서 슬라이드 이동되는 피스톤으로 구성된다. 그리고, 이와 같은 액추에이터의 피스톤과 로드가 링크 등을 통하여 연결되며, 이에 따라, 실린더의 내부에서 피스톤이 슬라이드 이동되는 것에 의하여 로드가 상하방향으로 이동된다.
그러나, 종래의 픽앤플레이스장치에 장착되는 픽커에는 로드를 상하방향으로 이동시키기 위하여 실린더 및 피스톤으로 구성된 액추에이터가 독립적으로 그리고 별도로 구비되었으므로, 픽커의 크기가 비교적 커지는 단점이 있다. 또한, 크기가 큰 픽커가 복수의 열 및 복수의 행으로 장착되는 종래의 픽앤플레이스장치의 크기 역시 비교적 크다는 단점이 있으며, 복수의 픽커 사이의 간격이 커질 수 밖에 없어 복수의 픽커들이 동시에 픽업할 수 있는 복수의 소자들의 간격을 줄이는 데에 한계가 있다는 단점이 있다.
한편 로드의 상하이동에 의하여 소자가 픽업되는데 픽업대상인 픽커가 소형화되면서 로드에 상하이동에 의한 타부재와의 마찰 등에 의하여 대전된 정전기가 소자를 파손시키거나 정전기력에 의하여 소자를 의도하지 않은 픽업이 이루어져 오작동을 발생시키는 문제점이 있다.
한편 복수의 픽커들을 구비한 이송툴은 소자의 픽업에 있어 웨이퍼, 트레이, 테스트소켓 등에 따라서 적재된 소자들의 간격이 달라 이를 위하여 복수의 픽커들 간의 간격을 조절하는 피치조절부를 구비할 수 있다.
그리고 종래의 이송툴의 피치조절부는, 링크부재들을 이용하는 방식, 복수의 슬롯들이 형성된 캠을 이용하는 방식 등 그 방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
그런데 종래의 이송툴는, 피치조절부에 의한 복수의 픽커들 간의 간격, 즉 피치 조절에 있어서 소자의 크기가 작아지고 처리속도가 증가하면서, 보다 신속하면서 정밀한 피치조절이 필요하다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 피치조절부에 의한 복수의 픽커들 간의 간격, 즉 피치 조절에 있어서 보다 신속하면서 정밀한 피치조절이 가능한 이송툴 및 이송툴의 링크부재를 제공하는 데에 있다.
본 발명의 다른 목적은 복수의 픽커들 간의 간격, 즉 피치를 최소화할 수 있는 구조를 가지는 이송툴 및 이송툴의 링크부재를 제공하는 데에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 크기를 최소화할 수 있는 픽커를 제공하는 데에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 소자를 픽업하기 위해 왕복 이동하는 로드의 그 길이방향 축을 중심으로 한 회전을 방지할 수 있는 픽커를 제공하는 데에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 로드의 원활한 이동을 위해 주입되는 윤활제가 외부로 누출되는 것을 방지할 수 있는 픽커를 제공하는 데에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 소자의 픽업을 위한 픽커, 특히 로드에 대전되는 정전기력을 제거하여 소자의 파손 또는 의도하지 않은 소자의 픽업을 방지할 수 있는 픽커를 제공하는 데에 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 진공압에 의하여 소자를 픽업하는 복수의 픽커들과; 상기 복수의 픽커들이 간격을 두고 일렬로 배치되도록 상기 복수의 픽커들이 각각 결합되는 복수의 지지부재들과; 상기 복수의 지지부재들의 간격을 변화시켜 상기 복수의 픽커들의 간격을 변화시키는 피치조절부를 포함하며, 상기 피치조절부는, 구조물에 설치되는 지지본체와; 상기 지지본체에 설치되어 'X'자 형태로 교차결합되며 교차결합되는 부분에 상기 각 지지부재가 결합되는 한 쌍의 링크부재들을 포함하며 상기 복수의 지지부재들에 대응되어 일렬로 배치되는 복수의 링크부들과; 상기 링크부의 링크부재의 끝단을 인접한 링크부의 링크부재의 끝단을 회전가능하게 결합시키는 복수의 결합핀들을 포함하며, 상기 링크부재는, 'X'자 형태로 교차결합되는 링크부재와 회전가능하게 결합되는 제1결합공이 중앙에 형성되며, 인접한 링크부재와 회전가능하게 결합될 수 있도록 상기 결합핀이 삽입되는 제2결합공이 양단에 형성되며, 금속재질을 가지는 것을 특징으로 하는 이송툴을 개시한다.
상기 제1결합공 및 상기 제2결합공 중 적어도 어느 하나의 내주면은 엔지니어링 플라스틱으로 이루어진 보호층이 형성될 수 있다.
상기 보호층은, 인서트 사출 또는 코팅에 의하여 형성될 수 있다.
상기 보호층은, 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리에테르케톤(PEK), 폴리페닐렌술피드(PPS) 및 테프론 중 어느 하나의 재질을 가질 수 있다.
상기 보호층은, 상기 제1결합공 및 상기 제2결합공 중 적어도 어느 하나의 내주면은 상기 보호층의 형성 전에 일부가 내측으로 돌출된 환형의 돌출부가 형성되고, 상기 보호층은 상기 돌출부를 포함하여 그 내주면에 형성되어 원기둥 형상의 삽입공을 형성할 수 있다.
상기 지지본체는, 상기 지지부재의 하부 및 상부 각각이 구속결합되어 상기 복수의 지지부재들의 간격이 변화되는 선형이동을 가이드하는 상부가이드 및 하부가이드가 설치될 수 있다.
상기 상부가이드 및 상기 하부가이드는, 한 쌍으로 설치되어, 상기 지지부재가 교차하여 상하로 결합될 수 있다.
상기 지지부재는, 상기 한 쌍의 링크부재들의 교차부분 및 결합핀 중 적어도 어느 하나에 결합될 수 있다.
상기 링크부재는, 상기 제1결합공 및 상기 제2결합공 사이에 내부로 파인 오목홈 및 관통공 중 적어도 어느 하나가 형성될 수 있다.
본 발명은 또한 상기와 같은 구성을 가지는 이송툴의 링크부재를 개시한다.
본 발명은 또한 주관통공이 형성되는 바디와; 상기 주관통공에 슬라이드 이동이 가능하게 삽입되어 유압구동에 의하여 선형으로 왕복 이동하며 끝단에 진공압에 의하여 소자를 픽업하는 픽업헤드가 결합되는 로드와; 상기 로드에 결합되고 상기 로드가 상기 바디에 대하여 이동될 때 타부재와 접촉되어 상기 로드에 대전된 정전기를 제거하는 정전기제거부를 포함하는 것을 특징으로 하는 픽커를 개시한다.
상기 바디에 결합되며 상기 로드의 둘레에 수용공간을 가지는 하우징을 추가로 포함할 수 있다.
본 발명은 또한 관통홀이 형성되는 바디; 상기 관통홀에 슬라이드 이동이 가능하게 삽입되고, 관통홀의 내부의 공간을 제1공간 및 제2공간으로 구획하며, 상기 제1공간 및 상기 제2공간으로 유체가 선택적으로 유입되는 것에 의해 선형으로 왕복 이동하는 로드; 및 상기 바디에 결합되며 상기 로드의 둘레에 수용공간을 가지는 하우징을 포함하는 픽커를 개시한다.
상기 로드가 그 길이방향 축을 중심으로 회전되는 것을 방지하는 회전방지부를 포함할 수 있다.
상기 회전방지부는, 상기 하우징의 수용공간의 내부에 배치되고 상기 로드의 이동방향을 따라 연장되는 샤프트; 및 상기 로드에 고정되고 상기 샤프트에 상기 로드의 이동방향을 따라 슬라이드 가능하게 연결되는 이동블록을 포함할 수 있다.
상기 하우징에는 체결홀이 형성되고, 상기 바디에는 체결홈이 형성되며, 상기 체결홀 및 상기 체결홈에 체결수단이 삽입 고정되는 것에 의하여 상기 하우징이 상기 바디에 결합될 수 있다.
상기 샤프트의 양단이 상기 바디 및 상기 하우징에 각각 형성된 샤프트 결합홈에 각각 삽입 고정될 수 있다.
상기 정전기제거부는, 상기 이동블록에 고정되며 상기 로드의 이동시 상기 바디 및 상기 하우징 중 적어도 어느 하나에 접촉되어 상기 로드에 대전된 정전기를 제거할 수 있다.
상기 정전기제거부는, 상기 이동블록에 고정되는 고정부분과, 상기 고정부분으로부터 상기 샤프트를 향하여 연장되며 서로 간격이 커지도록 형성된 한 쌍의 연장부분과, 상기 한 쌍의 연장부분의 끝단에 연장되어 상기 로드의 이동시 각각 상기 바디 및 상기 하우징에 접촉되는 접촉부분을 포함할 수 있다.
상기 하우징에는 상기 로드가 통과하는 제3관통공이 형성되며, 상기 제3관통공에는 상기 수용공간을 밀폐시키고 상기 로드의 이동을 안내하는 제3가이드부재가 설치될 수 있다.
상기 정전기제거부는, 상기 로드에 고정되는 고정부분과, 상기 고정부분으로부터 상기 로드의 길이방향과 경사를 이루어 연장되는 하나 이상의 연장부분과, 상기 연장부분의 끝단에 연장되어 상기 로드의 이동시 타부재와 접촉되는 접촉부분을 포함할 수 있다.
상기 로드는 상기 주관통공의 내부의 공간을 제1공간 및 제2공간으로 구획하며, 상기 제1공간 및 상기 제2공간으로 유체가 선택적으로 유입되는 것에 의해 선형으로 왕복 이동할 수 있다.
상기 로드에는 상기 주관통공의 내부의 공간을 제1공간 및 제2공간으로 구획하는 구획부가 형성되고, 상기 바디에는 상기 제1공간으로 유체가 유입되는 제1유로 및 상기 제2공간으로 유체가 유입되는 제2유로가 형성될 수 있다.
상기 로드가 통과하는 통과홀이 각각 형성되고, 상기 주관통공의 양쪽 개구에 삽입되어 상기 제1공간 및 상기 제2공간을 밀폐시키는 제1가이드부재 및 제2가이드부재를 포함할 수 있다.
상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재에는 상기 제1유로 및 상기 제2유로를 상기 제1공간 및 상기 제2공간과 연통시키는 연통홀이 형성될 수 있다.
상기 연통홀은 상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재의 둘레방향을 따라 복수로 형성되고, 상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재의 외면에는 상기 복수의 연통홀을 서로 연결시키는 연결홈이 형성될 수 있다.
상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재의 통과홀의 내면에는 상기 연통홀과 연통되며 반경방향으로 내입되는 내입홈이 형성될 수 있다.
상기 내입홈은 상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재의 둘레방향으로 연장될 수 있다.
상기 제1가이드부재 및 상기 제2가이드부재를 향하는 상기 구획부의 양측 단부에는 실링부재가 설치될 수 있다.
상기 바디에는 상기 제1유로 및 상기 제2유로를 유체공급원과 연결하기 위한 제1연결부재 및 제2연결부재가 설치되고, 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재는 상기 바디의 상방에서 상기 로드의 반경방향으로의 일측에 함께 설치될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 이송툴 및 이송툴의 링크부재는, 복수의 픽커들의 간격, 즉 피치를 조절함에 있어서 복수의 픽커들을을 선형이동시키기 위한 피치조절부의 링크부재를 금속재질로 사용함으로써 내구성이 높아 보다 신속하면서 정밀한 피치조절이 가능한 이점이 있다.
특히 피치조절부의 구성에 있어서, 링크부재들의 연결부분, 즉 서로 교차하여 연결되도록 중앙에 형성된 제1결합공 및 링크부재의 양단에 형성되어 결합핀이 삽입되는 제2결합공의 내주면은 금속재질의 본체에 더하여 엔지니어링플라스틱을 인서트사출 또는 코팅에 의하여 보호층을 형성함으로써 링크부재 중 타부재와의 연결부위의 내마모성 및 마찰력을 감소시킬 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 실시예에 따른 픽커는, 바디의 내부에 로드의 구획부에 의하여 구획되는 제1공간 및 제2공간을 형성하고, 제1공간 및 제2공간의 내부에 유체를 선택적으로 공급하는 것을 통하여 로드를 상하방향으로 이동시킬 수 있다.
즉, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는, 로드의 상하방향으로의 이동을 안내하는 주관통홀이 실린더로서의 기능을 함께 수행할 수 있으며, 로드의 구획부가 피스톤으로서의 기능을 함께 수행할 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는 로드의 이동라인과 로드를 이동시키기 위한 압력이 작용하는 라인이 동일선상에 존재하므로, 로드를 상하방향으로 이동시키기 위하여 실린더 및 피스톤으로 구성된 액추에이터가 독립적으로 그리고 별도로 구비되는 종래기술에 비하여 픽커의 크기를 최소화할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는, 로드의 상하방향으로의 이동을 안내하는 주관통홀이 실린더로서의 기능을 수행할 수 있으며, 로드의 구획부가 피스톤으로서의 기능을 수행할 수 있으므로, 로드의 이동라인과 로드를 이동시키기 위한 압력이 작용하는 라인이 동일선상에 존재한다.
따라서, 별도의 액추에이터가 구비되는 종래기술에서와 같이, 로드의 이동라인과 로드를 이동시키기 위한 압력이 작용하는 라인이 서로 일치하지 않는 경우에 발생하였던 모멘트를 제거할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 픽커가 복수 열 및 복수의 행으로 픽앤플레이스장치에 장착되는 경우에는, 픽커의 크기가 최소화됨에 따라 각 픽커 사이의 간격이 최소화될 수 있으므로, 픽앤플레이스장치의 크기를 최소화시킬 수 있는 이점이 있으며, 복수의 픽커들이 동시에 픽업할 수 있는 복수의 소자들 사이의 간격을 최소화할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는 그 크기가 최소화되므로, 복수의 픽커 사이의 간섭을 최소화할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는 그 크기를 최소화됨에 따라 중량이 최소화될 수 있다.
따라서, 이러한 픽커가 장착된 픽앤플레이스장치의 크기 및 중량을 최소화할 수 있으며, 이에 따라, 픽앤플레이스장치의 관성을 최소화할 수 있으므로, 픽앤플레이스장치의 제어가 용이한 이점이 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는, 로드가 그 길이방향 축을 중심으로 회전되는 것을 방지하는 회전방지부를 구비함으로써, 로드의 왕복 이동이 원활하게 수행되도록 할 수 있고, 로드의 왕복 이동을 이용한 픽커의 픽앤플레이스 동작을 원활하게 수행할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 픽커는, 바디에 결합되며 로드의 둘레에 수용공간을 가지는 하우징을 포함함으로써, 로드에 가압되어 누출되는 윤활제가 수용공간에 수용될 수 있으므로, 윤활제가 픽커의 외부로 누출되는 것을 방지할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명의 실시예에 따른 픽커는, 로드에 대전된 정전기를 제거하는 정정기제거부를 추가로 구비하여 로드에 대전된 정전기가 제거되어 정정기에 의한 소자의 파손, 정전기력에 의한 소자에 대한 의도하지 않은 픽업을 방지할 수 있는 이점이 있다.
도 1은, 본 발명에 따른 이송툴의 일예를 보여주는 측단면도이다.
도 2a 및 도 2b는, 도 1의 이송툴의 피치조절부의 작동을 보여주는 도면들이다.
도 3은, 도 2의 링크부재의 일예를 보여주는 평면도이다.
도 4는, 도 3의 링크부재의 종단면도이다.
도 5는, 도 2의 링크부재들 간의 연결부위를 보여주는 단면도이다.
도 6은, 도 2의 링크부재의 일예를 보여주는 평면도이다.
도 7은, 도 6의 링크부재의 종단면도이다.
도 8은, 도 1의 이송툴의 픽커의 일예를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 9는, 도 8의 픽커를 개략적으로 도시한 단면사시도이다.
도 10은, 도 8의 픽커의 다른 예를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 11는, 도 10의 픽커의 일부가 확대되어 도시된 단면도이다.
도 12는, 도 8의 픽커의 변형예로서 일부가 확대되어 도시된 단면도이다.
도 13은, 도 10의 픽커에서 가이드부재가 도시된 사시도이다.
도 14 및 도 15는, 도 10의 픽커의 작동상태가 도시된 단면도들이다.
도 16은, 도 8의 픽커에 설치되는 접지부재의 일예를 보여주는 사시도이다.
도 17은, 도 16의 접지부재가 설치된 도 8의 픽커를 보여주는 확대한 일부단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 이송툴, 이송툴의 링크부재 및 이송툴의 픽커에 관하여 설명한다.
본 발명에 따른 이송툴은, 도 1 내지 2b에 도시된 바와 같이, 진공압에 의하여 소자를 픽업하는 하나 이상의 픽커(1)와; 픽커(1)가 결합되는 지지부재(2)를 포함한다.
상기 픽커(1)는, 진공압에 의하여 소자를 픽업하는 구성으로서 후술한다.
상기 지지부재(2)는, 픽커(1)를 지지하기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
특히 상기 지지부재(2)는, 복수의 픽커(1)들이 간격을 두고 일렬로 배치되도록 복수의 픽커(1)들이 각각 결합되는 복수의 부재들로 구성됨이 바람직하다.
보다 구체적으로, 상기 지지부재(2)는, 도 1 내지 2b에 도시된 바와 같이, 바(bar) 형태로 이루어져 양단이 후술하는 피치조절부(300)의 지지본체(320)에 선형이동가능하게 결합될 수 있다.
한편 상기 지지부재(2)는, 한 쌍의 링크부재(310)들의 교차부분 및 결합핀(330) 중 적어도 어느 하나에 결합될 수 있다.
구체적으로 상기 지지부재(2)는, 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 링크부재(310)들의 교차부분에 결합되는 경우 고정핀(340)에 의하여 고정될 수 있다.
또한 상기 지지부재(2)는, 도시되지 않았지만 결합핀(330)에 고정되는 경우 상부 및 하부에 위치된 결합핀(330)에 고정되는 것이 바람직하다.
한편 본 발명에 따른 이송툴은, 복수의 픽커(1)들을 포함하여 한번에 복수의 소자들의 픽업 및 플레이스하도록 구성됨이 바람직하며, 더 나아기 복수의 픽커들(1)의 간격, 즉 피치(Ph)가 변화가능하도록 구성됨이 보다 바람직하다.
따라서, 본 발명에 따른 이송툴은, 복수의 지지부재(2)들의 간격을 변화시켜 복수의 픽커(1)들의 간격(Ph)을 변화시키는 피치조절부(300)를 포함할 수 있다.
상기 피치조절부(300)는, 복수의 지지부재(2)들의 간격을 변화시켜 복수의 픽커(1)들의 간격(Ph)을 변화시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 피치조절부(300)는, 도 1 내지 2b에 도시된 바와 같이, 구조물(미도시)에 설치되는 지지본체(320)와; 지지본체(320)에 설치되어 'X'자 형태로 교차결합되며 교차결합되는 부분에 각 지지부재(2)가 결합되는 한 쌍의 링크부재(310)들을 포함하며 복수의 지지부재(2)들에 대응되어 일렬로 배치되는 복수의 링크부들과; 링크부의 링크부재(310)의 끝단을 인접한 링크부의 링크부재(310)의 끝단을 회전가능하게 결합시키는 복수의 결합핀(330)들을 포함할 수 있다.
여기서 구조물은, 본 발명에 따른 이송툴이 설치되는 장치의 일부로서, X축 또는 Y축방향의 선형이동모듈, X축-Y축방향의 선형이동모듈, 회전모듈 등 다양한 구성이 될 수 있다.
또한 상기 구조물은, 한국등록특허 제580816호, 한국등록특허 제1012137호에 기재된 이송툴의 구성일부일 수도 있다.
상기 지지본체(320)는, 구조물(미도시)에 설치되어 지지부재(2), 링크부재(310) 등을 지지함과 아울러 한 쌍의 링크부재(310)의 결합각을 변화시키기 위한 구동부 등이 설치될 수 있다.
또한 한편 상기 지지본체(320)는, 지지부재(2)의 안정적인 선형이동을 위하여 지지부재(2)의 하부 및 상부 각각이 구속결합되어 복수의 지지부재(2)들의 간격이 변화되는 선형이동을 가이드하는 상부가이드(321, 322) 및 하부가이드(323, 324)가 설치될 수 있다.
상기 상부가이드(321, 322) 및 하부가이드(323, 324)는, 지지부재(2)의 선형이동을 가이드하기 위한 구성으로서 상부가이드(321, 322) 및 하부가이드(323, 324)의 선형이동을 가이드할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
특히 상기 상부가이드(321, 322) 및 하부가이드(323, 324)는, 한 쌍으로 설치되어, 지지부재(2)가 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 교차하여 상하로 결합되는 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 상부가이드(321, 322) 및 하부가이드(323, 324)는, 한 쌍으로 설치되어, 지지부재(2)가 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 교차하여 상하로 결합되면, 상부가이드(321, 322) 및 하부가이드(323, 324)와의 결합을 위하여 지지부재(2)에 설치된 선형블록(2a)의 설치에 따른 지지부재(2)들 간의 간격을 줄이는데 제한을 없에 지지부재(2)들 간의 간격을 최소화하여 픽커(1)들이 이루는 간격, 즉 피치(Ph)를 최소화할 수 있다.
상기 링크부는, 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 지지본체(320)에 설치되어 'X'자 형태로 교차결합되며 교차결합되는 부분에 각 지지부재(2)가 결합되는 한 쌍의 링크부재(310)들을 포함하며 복수의 지지부재(2)들에 대응되어 일렬로 배치되어 구동부(미도시)에 의하여 그 결합각이 변화되어 지지부재(2)들 간의 간격을 조절하여 궁극적으로 복수의 픽커(1)들의 간격, 즉 피치(Ph)를 조절한다.
상기 한 쌍의 링크부재(310)는, 바형태의 부재가 'X'자 형태로 교차결합되어 그 결합각이 변화됨으로써 결합된 지지부재(2)의 간격을 조절하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 링크부재(310)는, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 링크부재(310)와 회전가능하게 결합되는 제1결합공(321)이 중앙에 형성되며, 인접한 링크부재(310)와 회전가능하게 결합될 수 있도록 결합핀(330)이 삽입되는 제2결합공(311)이 양단에 형성된다.
상기 제1결합공(321)은, 서로 쌍을 이루는 링크부재(310)와 회전가능하게 결합되도록 고정핀(340)이 삽입되도록 형성된다.
상기 제2결합공(311)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 인접한 링크부의 링크부재(310)의 끝단, 즉 제2결합공(311)이 서로 중첩되고 결합핀(330)이 삽입되도록 형성된다.
또한 상기 링크부재(310)는, 제1결합공(321) 및 제2결합공(311) 사이에 내부로 파인 오목홈(324) 및 관통공 중 적어도 어느 하나가 형성될 수 있다.
상기 링크부재(310)는, 오목홈(324) 및 관통공 중 적어도 어느 하나가 형성되면 경량화할 수 있는 이점이 있다.
한편 상기 링크부재(310)는, 구조적 강도를 향상시키기 위하여 길이방향 및 길이방향과 수직인 방향 등으로 하나 이상의 리브가 형성될 수 있다.
한편 본 발명에 따른 이송툴은, 소자의 픽업 및 이송이 고속화되면서 피치조절부(300) 또한 신속하게 작동될 필요가 있다.
그리고 상기 피치조절부(300)의 신속한 작동은, 링크부를 구성하는 링크부재(310)들에 대하여 부하가 작용하여 휨, 진동 등이 발생되어 복수의 픽커(1)들의 간격, 즉 피치(Ph)에 오차가 발생될 수 있다.
그러나, 복수의 픽커(1)들의 간격, 즉 피치(Ph)에 오차가 발생되는 경우 픽커(1)의 위치가 부정확하여 소자의 픽업 또는 플레이스가 원활하지 못한 문제점이 있다.
따라서 상기 링크부재(310)는, 알루미늄, 알루미늄합금 등 금속재질을 가지는 것이 바람직하다.
이때 상기 링크부재(310)는, 금속재질로 형성될 때 제1결합공(321) 및 제2결합공(311)에 대하여 고정핀(340) 및 결합핀(330)과의 마찰에 따른 마모를 고려하여, 제1결합공(321) 및 제2결합공(311) 중 적어도 어느 하나의 내주면은 엔지니어링 플라스틱으로 이루어진 보호층(322, 312)이 형성됨이 바람직하다.
이때 상기 보호층(322, 312)은, 인서트 사출 또는 코팅에 의하여 형성될 수 있다.
그리고 상기 보호층(322, 312)은, 내마모성을 가지며, 마찰력이 적은 재질이면 어떠한 재질도 가능하며, 엔지니어링플라스틱인 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리에테르케톤(PEK), 폴리페닐렌술피드(PPS) 및 테프론 중 어느 하나의 재질을 가질 수 있다.
한편 상기 제1결합공(321) 및 제2결합공(311)의 내주면은 그 내주면 중 일부분에서 보호층(322, 312)의 이탈을 방지하기 위하여 보호층(322, 312)의 형성 전에 내측으로 돌출된 환형의 돌출부(312, 322)가 형성됨이 바람직하다.
상기 환형의 돌출부(312)는, 보호층(322, 312)의 형성 전에 제1결합공(321) 및 제2결합공(311)의 내주면에 형성됨으로써 보호층(322, 312)가 제1결합공(321) 및 제2결합공(311)에 견고하게 결합되도록 함으로써 결합핀(330) 및 고정핀(340)과의 결합에 의하여 이탈되는 것을 방지하게 된다.
한편 상기 보호층(332, 312)는, 제1결합공(321) 및 제2결합공(311)의 내주면에 형성될 때 도 3 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 돌출부
한편 상기 링크부재(310)의 다른 예로서, 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 복수의 링크부들 중 양 끝단에 위치된 링크부재(310)는, 도 3 및 도 4에 도시된 링크부재(310)와는 달리, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 링크부재(310)와 회전가능하게 결합되는 제1결합공(321)이 일단에 형성되고, 인접한 링크부재(310)와 회전가능하게 결합될 수 있도록 결합핀(330)이 삽입되는 제2결합공(311)이 타단에 형성될 수 있다.
도 6 및 도 7에 도시된 링크부재(310)는, 제1결합공(321) 및 제2결합공(311)의 형성 위치만 다를 뿐 도 3 및 도 4에 도시된 링크부재(310)와 실질적으로 동일한바 자세한 설명은 생략한다.
한편 상기 한 쌍의 링크부재(310)의 결합각을 변화시키는 구성은 한국등록특허 제580816호, 한국등록특허 제1012137호에 개시되어 있는바 자세한 설명은 편의상 생략한다.
상기 픽커(1)는, 도 8 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 주관통공(11)이 형성되는 바디(10)와, 주관통공(11)에 슬라이드 이동이 가능하게 삽입되고, 하단에 소자가 흡착되는 흡착헤드(90)가 결합되며 상단에 진공원이 연결되는 중공의 로드(20)를 포함한다.
상기 바디(10)는, 픽커(1)의 본체를 구성하며 그 재질은 금속, 특히, 알루미늄 또는 알루미늄합금일 수 있다.
이러한 픽커(1)는 소자를 이송하는 픽앤플레이스장치에 설치되어 소자를 흡착하여 픽업하는 기구로서, 상기 로드(20)는, 하단에 소자가 흡착되는 흡착헤드(90)가 탈착가능하게 결합되는 결합부(21)가 구비될 수 있다.
그리고, 로드(20)의 내부에는 흡착헤드(90)로부터 공기가 흡입되는 흡입통로(22)가 형성될 수 있다.
또한, 로드(20)는 상단에 흡입통로(22)는 진공펌프 등과 같은 진공원과 연결될 수 있다.
한편 상기 로드(20)는 바디(10)의 주관통공(11)에 슬라이드 가능하게 결합되며 다양한 구동방식에 의하여 선형구동됨을 특징으로 한다.
일예로서, 상기 로드(20)는, 바디(10)의 주관통공(11) 내에 로드(20)의 외주면에 의하여 형성되는 제1공간(31) 및 제2공간(32)에 유체를 선택적으로 주입함으로써 바디(10)에 대하여 선형구동될 수 있다.
그리고, 로드(20)에는 주관통공(11)이 형성되는 것에 의하여 바디(10)의 내부에 형성되는 공간을 제1공간(31) 및 제2공간(32)으로 구획하는 구획부(23)가 형성된다.
여기에서, 제1공간(31)은 구획부(23)를 기준으로 하방에 위치되며, 제2공간(32)은 구획부(23)를 기준으로 상방에 위치된다.
구획부(23)의 외면과 주관통공(11)의 내면이 서로 접촉된 상태에서 로드(20)가 슬라이드 이동될 수 있도록 구획부(23)의 외경은 주관통공(11)의 내경과 대응되는 크기를 가진다.
로드(20)의 구획부(23)는 로드(20)의 나머지 부분과 일체로 형성될 수 있고, 서로 별개로 성형된 후 서로 결합될 수 있다.
이때, 바디(10)에는, 제1공간(31)으로 유체가 유입되는 통로가 되는 제1유로(41) 및 제2공간(32)으로 유체가 유입되는 통로가 되는 제2유로(42)가 형성될 수 있다.
제1유로(41) 및 제2유로(42)에는 유체공급원(미도시)와 각각 연결되는 제1연결부재(411) 및 제2연결부재(421)가 연결될 수 있다.
따라서, 유체공급원으로부터 공급된 유체는, 제1유로(41)를 통하여 제1공간(31)으로 유입될 수 있고, 제2유로(42)를 통하여 제2공간(32)으로 유입될 수 있다.
유체공급원으로부터 공급되는 유체는 공기와 같은 기체가 될 수 있으며, 이와 같은 경우, 유체공급원에는 제1공간(31) 및 제2공간(32)으로 유출입되는 유체의 압력을 조절하는 압력조절장치(미도시)가 구비될 수 있다.
제1연결부재(411) 및 제2연결부재(421)에는 유체공급원과 연결된 튜브가 각각 연결될 수 있다.
로드(10)가 흡착헤드(90)와 연결되는 방향을 하방이라고 하고, 로드(10)가 진공원과 연결되는 방향을 상방이라고 할 때, 제1연결부재(411) 및 제2연결부재(421)는 바디(10)의 상방에 형성될 수 있다.
여기에서, 제1연결부재(411) 및 제2연결부재(421)는 로드(20)의 반경방향으로의 일측에 함께 설치될 수 있다.
이와 같은 경우에는, 제1연결부재(411) 및 제2연결부재(421)가 설치되는 제1부분의 폭에 비하여 제1연결부재(411) 및 제2연결부재(421)가 설치되지 않은 제2부분의 폭이 작다.
픽앤플레이스장치에 복수의 픽커(1)가 마련되는 경우에, 제2부분은 복수의 픽커(1)가 서로 마주보는 부분이 될 수 있다.
이와 같이, 복수의 픽커(1)가 서로 마주보는 부분의 폭을 작게 함으로써, 복수의 픽커(1) 사이의 간격을 최소화할 수 있다.
제1유로(41)로의 유체의 공급 및 제2유로(42)로의 유체의 공급은 교대로 수행될 수 있다.
제1유로(41)를 통하여 제1공간(31)으로 유체가 공급되는 과정에서는 제2공간(32)의 내부의 유체는 제2유로(42)를 통하여 외부로 배출될 수 있으며, 제2유로(42)를 통하여 제2공간(32)로 유체가 공급되는 과정에서는 제1공간(31)의 내부의 유체는 제1유로(41)를 통하여 외부로 배출될 수 있다.
제1유로(41) 및 제2유로(42)는 바디(10)의 내부에서 서로 연통되지 않도록 형성된다. 이를 위하여, 일체로 형성된 바디(10)에 제1유로(41) 및 제2유로(42)를 각각 드릴링을 통하여 형성하고, 드릴링 과정에서 형성된 드릴이 삽입된 구멍을 용접 등의 방법으로 밀폐하거나, 각각 밀폐부재(412, 422)로 밀폐하는 과정을 통하여, 제1유로(41) 및 제2유로(42)가 바디(10)의 내부에 형성될 수 있다.
도 8 내지 도 12에서는 제1유로(41) 및 제2유로(42)가 절곡된 형상으로 바디(10)의 내부에 형성되는 구성을 도시하고 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 바디(10)의 내부에서의 제1유로(41) 및 제2유로(42)의 형상은 픽커(1)의 폭이나 길이를 축소할 수 있는 최적화된 형상으로 형성될 수 있다.
한편, 주관통공(11)의 양쪽 개구(12, 13)에는 제1공간(31) 및 제2공간(32)을 외부로부터 밀폐시키는 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)가 삽입될 수 있다.
제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)에는 각각 로드(20)가 통과하는 통과홀(811, 821)이 형성될 수 있다.
로드(20)의 하방에 형성된 개구(12)에는 제1가이드부재(81)가 삽입될 수 있으며, 로드(20)의 상방에 형성된 개구(13)에는 제2가이드부재(82)가 삽입될 수 있다.
제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)는 억지끼워맞춤의 방식 또는 나사결합의 방식으로 주관통공(11)의 개구(12, 13)에 긴밀하게 삽입될 수 있다.
따라서, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)의 각 외면과 주관통공(11)의 내면 사이에는 유체가 통과하는 유격이 형성되지 않을 수 있다.
제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)는 로드(20)의 구획부(23)가 주관통공(11)의 내부에 삽입된 상태에서 주관통공(11)의 개구(12, 13)에 삽입될 수 있다.
따라서, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)가 개구(12, 13)에 삽입되는 간단한 방법에 의하여 제1공간(31) 및 제2공간(32)이 외부로부터 밀폐될 수 있다.
이러한 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)의 재질은 금속 또는 엔지니어링플라스틱일 수 있다.
제1공간(31)이 형성될 수 있도록 제1가이드부재(81)의 내면에는 소정의 깊이로 내입되는 내입홈(812)이 형성될 수 있으며, 제2공간(32)이 형성될 수 있도록 제2가이드부재(82)의 내면에는 소정의 깊이로 내입되는 내입홈(822)이 형성될 수 있다.
따라서, 제1공간(31)은 제1가이드부재(81)의 내면, 로드(20)의 외면 및 구획부(23)의 하방단부에 의하여 둘러싸인 영역이 될 수 있고, 제2공간(32)은 제2가이드부재(82)의 내면, 로드(20)의 외면 및 구획부(23)의 상방단부에 의하여 둘러싸인 영역이 될 수 있다.
이러한 구획부(23)의 하방단부 및 상방단부는 제1공간(31) 및 제2공간(32)의 내부로 유입된 유체의 압력이 작용되는 부분으로, 구획부(23)의 하방단부 및 상방단부에 작용되는 압력에 의하여 로드(20)가 하방 및 상방으로 이동될 수 있다.
따라서, 구획부(23)는 실질적으로 피스톤으로서의 역할을 하며, 주관통공(11)은 실질적으로 실린더로서의 역할을 한다.
여기에서, 제1공간(31)으로 유체가 유입되고 이에 따라 제2공간(32)으로부터 유체가 배출되는 경우에는, 로드(20)가 상방으로 이동되면서 제1공간(31)의 체적이 확장되고, 제2공간(32)의 체적은 축소된다.
반대로, 제2공간(32)으로 유체가 유입되고 이에 따라 제1공간(31)으로부터 유체가 배출되는 경우에는, 로드(20)가 하방으로 이동되면서 제2공간(32)의 체적이 확장되고, 제1공간(31)의 체적은 축소된다.
도 13에 도시된 바와 같이, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)의 내부에는 구획부(23)를 제외한 로드(20)의 양측이 통과할 수 있을 정도의 통과홀(811, 821)이 형성된다.
또한, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)의 내면에는 소정의 깊이로 내입되고 일측으로 개방되는 내입홈(812, 822)이 형성된다.
이러한 내입홈(812, 822)에 의하여 제1가이드부재(81)의 내면과 로드(20)의 외면 사이 및 제2가이드부재(82)의 내면과 로드(20)의 외면 사이에 각각 제1공간(31) 및 제2공간(32)이 형성될 수 있다.
여기에서, 제1공간(31) 및 제2공간(31)이 로드(20)의 둘레방향으로 연장되는 형상으로 형성될 수 있도록 내입홈(812, 822)은 각각 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)의 내면에서 둘레방향으로 연장될 수 있다.
이와 같이, 제1공간(31) 및 제2공간(32)이 로드(20)의 둘레방향으로 연장되는 형상으로 형성되므로, 로드(20)의 구획부(23)에 균일한 압력이 작용될 수 있다.
또한, 제1가이드부재(81)에는 제1유로(41)와 제1공간(31)을 연통시키는 연통홀(813)이 형성될 수 있다.
연통홀(813)은 내입홈(812)와 연결될 수 있다. 이에 따라, 제1유로(41)를 통하여 공급되는 유체가 연통홀(813)을 통하여 제1공간(31)의 내부로 유입될 수 있으며, 제1공간(31)의 내부의 유체가 연통홀(813) 및 제1유로(41)를 통하여 외부로 배출될 수 있다.
연통홀(813)은 제1가이드부재(81)의 둘레방향을 따라 복수로 형성될 수 있으며, 이와 같은 경우 복수의 연통홀(813)이 제1유로(41)와 함께 연결될 수 있도록 제1가이드부재(81)의 외면의 둘레에는 복수의 연통홀(813)을 서로 연통시키는 연결홈(814)이 형성될 수 있다.
다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 않으며, 연결홈(814)이 형성되지 않고, 복수의 제1유로(41)가 복수의 연통홀(813)과 연결되는 구성이 사용될 수 있다.
마찬가지로, 제2가이드부재(82)에는 제2유로(42)와 제2공간(32)을 연통시키는 연통홀(823)이 형성될 수 있다.
연통홀(823)은 내입홈(822)와 연결될 수 있다. 이에 따라, 제2유로(42)를 통하여 공급되는 유체가 연통홀(823)을 통하여 제2공간(32)의 내부로 유입될 수 있으며, 제2공간(32)의 내부의 유체가 연통홀(823) 및 제2유로(42)를 통하여 외부로 배출될 수 있다.
연통홀(823)은 제2가이드부재(82)의 둘레방향을 따라 복수로 형성될 수 있으며, 이와 같은 경우 복수의 연통홀(823)이 제2유로(42)와 함께 연결될 수 있도록 제2가이드부재(82)의 외면의 둘레에는 복수의 연통홀(823)을 서로 연통시키는 연결홈(824)이 형성될 수 있다.
다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 않으며, 연결홈(824)이 형성되지 않고, 복수의 제2유로(42)가 복수의 연통홀(823)과 연결되는 구성이 사용될 수 있다.
이와 같이, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)에 복수의 연통홀(813, 823)이 형성되는 경우에는 제1공간(31) 및 제2공간(32)으로 유체가 반경방향으로 균일하게 유입될 수 있으며, 이에 따라, 로드(20)의 구획부(23)에 작용되는 압력이 균일해지므로, 로드(20)의 상하방향으로의 이동과정에서 로드(20)가 편심되는 것을 방지할 수 있다.
여기에서, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)의 통과홀(811, 821)의 내경은 로드(20)의 구획부(23)의 외경에 비하여 작게 형성될 수 있다.
따라서, 도 14에 도시된 바와 같이, 제2공간(32)의 내부로 유체가 유입되어 로드(20)가 하방으로 이동되면, 구획부(23)의 하방단부가 제1가이드부재(81)에 접촉되면서 구획부(23)의 외면과 주관통공(11)의 내면 사이의 실링이 이루어질 수 있다.
따라서, 제2공간(32)의 내부로 유입된 유체가 구획부(23)의 외면과 주관통공(11)의 내면 사이의 간격을 통하여 제1공간(31)으로 유입된 후 제1유로(41)를 통하여 외부로 배출되는 현상이 방지될 수 있으며, 이에 따라, 유체가 불필요하게 소모되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 도 15에 도시된 바와 같이, 제1공간(31)의 내부로 유체가 유입되어 로드(20)가 상방으로 이동되면, 구획부(23)의 상방단부가 제2가이드부재(82)에 접촉되면서 구획부(23)의 외면과 주관통공(11)의 내면 사이의 실링이 이루어질 수 있다.
따라서, 제1공간(31)의 내부로 유입된 유체가 구획부(23)의 외면과 주관통공(11)의 내면 사이의 간격을 통하여 제2공간(32)으로 유입된 후 제2유로(42)를 통하여 외부로 배출되는 현상이 방지될 수 있으며, 이에 따라, 유체가 불필요하게 소모되는 것을 방지할 수 있다.
여기에서, 상기한 바와 같은 실링이 긴밀하게 이루어질 수 있도록, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)를 향하는 구획부(23)의 양측 단부, 즉, 구획부(23)가 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)에 접촉되는 부분인 하방단부 및 상방단부에는, 실링부재(61, 62)가 설치되는 것이 바람직하다.
실링부재(61, 62)는 구획부(23)가 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)와 접촉될 때 발생하는 충격을 완충할 수 있도록 고무나 합성수지와 같은 소정의 탄성을 가지는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 실링부재(61, 62)는 금속이나 엔지니어링플라스틱으로 이루어질 수 있다. 실링부재(61, 62)가 설치되는 경우에는, 실링부재(61, 62)가 주관통공(11)의 내면에 접촉된 상태에서 로드(20)가 슬라이드 이동될 수 있다.
또한, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)가 구비되는 경우에는, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)를 주관통공(11)의 개구(12, 13)에 삽입시키는 것에 의하여 제1공간(31) 및 제2공간(32)을 형성할 수 있고, 제1공간(31) 및 제2공간(32)을 각각 제1유로(41) 및 제2유로(42)와 연통시킬 수 있다.
따라서, 제1공간(31) 및 제2공간(32)을 형성하기 위하여 주관통공(11)의 내면 및/또는 로드(20)의 외면을 별도로 가공할 필요가 없으므로, 가공상의 편의성이 향상되는 이점이 있다.
또한, 제1가이드부재(81) 및 제2가이드부재(82)의 통과홀(811, 821)에 의하여 로드(20)의 상하방향으로의 이동이 안내되므로, 로드(20)의 왕복 이동이 안정적으로 수행될 수 있다.
한편 본 발명에 따른 픽커(1)는 로드(20)가 흡착헤드(90)에 연결되는 일측에서 바디(10)에 결합되며 로드(20)의 둘레에 소정의 수용공간(511)을 형성하는 하우징(51)을 추가로 포함할 수 있다.
하우징(51)은, 로드(20)의 둘레에 소정의 수용공간(511)을 형성함으로써 후술하는 회전방지부의 일부를 구성하는데 활용될 수 있으며, 주관통공(11) 내에 위치된 로드(20)의 외주면에 존재하는 오일이 흡착헤드(90)로 낙하되는 것을 방지하는데 활용될 수 있다.
한편 본 발명에 따른 픽커(1)는 로드(20)가 그 길이방향 축을 중심으로 회전되는 것을 방지하는 회전방지부(50)를 포함할 수 있다.
회전방지부(50)는, 로드(20)가 그 길이방향 축을 중심으로 회전되는 것을 방지하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 회전방지부(50)는, 하우징(51)의 수용공간(511)의 내부에 배치되고 로드(20)의 이동방향을 따라 연장되는 샤프트(52)와, 로드(20)에 고정되고 샤프트(52)에 로드(20)의 이동방향을 따라 슬라이드 가능하게 연결되는 이동블록(53)을 포함할 수 있다.
이러한 회전방지부(50)는 픽커(1)의 하측에 구비된다. 일반적으로 픽커(1)의 상측에는 제1연결부재(411) 및 제2연결부재(421)와 같이 유체공급원(미도시)와 연결되는 다수의 부품들이 설치되므로, 회전방지부(50)를 픽커(1)의 하측에 설치함으로써, 픽커(1)의 구성을 복잡하지 않게 할 수 있다.
이때 하우징(51)은 바디(10)에 형성된 체결홈(14)에 대응하는 위치에 체결홀(514)이 형성되며, 이에 따라, 나사와 같은 체결수단(미도시)이 체결홀(514) 및 체결홈(14)에 삽입 고정되는 것에 의하여, 하우징(51)과 바디(10)가 서로 결합될 수 있다. 하우징(51)에 체결홀(514)이 형성됨에 따라 하우징(51)의 중량을 줄일 수 있으며, 이에 따라, 픽커(1)의 전체의 중량을 줄일 수 있다.
샤프트(52)는 로드(20)의 이동방향을 따라 연장되는 형상으로 형성되어 로드(20)의 이동을 안내한다. 샤프트(52)의 양단은 바디(10) 및 하우징(51)에 각각 형성된 샤프트 결합홈(15, 515)에 각각 삽입 고정될 수 있다.
이동블록(53)은 그 일단(532)이 샤프트(52)에 샤프트(52)의 길이방향을 따라 슬라이드 가능하게 연결되고, 그 타단은 로드(20)의 외주면에 고정된다. 이동블록(53)을 로드(20)에 고정시키기 위하여 나사와 같은 체결부재(533)가 사용될 수 있다.
특히 이동블록(53)은, 원기둥, 사각기둥 등 다양한 형상을 가질 수 있다.
이와 같은 구성에 따르면, 로드(20)가 상하방향으로 왕복으로 이동될 때, 로드(20)에 고정된 이동블록(53)이 샤프트(52)에 대하여 슬라이드 되면서 로드(20)의 길이방향 이동이 안정적으로 수행된다.
또한, 샤프트(52) 및 이동블록(53)에 의하여 로드(20)가 그 길이방향 중심축을 기준으로 회전되는 현상, 즉, 로드(20)의 롤링현상을 방지할 수 있다.
또한, 샤프트(52) 및 이동블록(53)에 의하여 로드(20)가 그 길이방향 축에 수직한 방향으로 이동되는 것이 방지될 수 있다.
하우징(51)에는 로드(20)가 통과하는 제3관통공(57)이 형성되며, 제3관통공(57)에는 하우징(51) 내부의 수용공간(511)을 외부로부터 밀폐시킬 뿐만 아니라 로드(20)의 이동을 안내하기 위한 제3가이드부재(58)가 설치될 수 있다.
한편, 도 12에 도시된 바와 같이, 제3가이드부재(58)가 설치되는 제3관통공(57)을 이루는 하우징(51)의 일부분은 수용공간(511)을 향하여 돌출부(571)가 될 수 있다. 이러한 돌출부(571)에 의하여 하우징(51)의 기밀특성이 향상될 수 있으며, 로드(20)를 타고 누출된 윤활제가 제3관통공(57)을 통한 누출을 방지할 수 있게 된다.
한편, 로드(20)의 원활한 왕복 이동을 위해, 주관통공(11)의 내부에는 소정의 양의 윤활제가 주입될 수 있다. 이러한 윤활제는 오일이나 그리스가 될 수 있다.
주관통공(11)의 내부에 윤활제가 주입되는 경우에는, 윤활제가 로드(20)의 왕복 이동에 의하여 가압되면서 제1가이드부재(81)의 통과홀(811)을 통하여 배출될 수 있다.
만약, 하우징(51) 내의 수용공간(511)이 없는 경우라면, 윤활제가 제1가이드부재(81)의 통과홀(811)을 통하여 외부로 배출되어 문제가 발생할 소지가 있으나, 본 발명의 실시예와 같이, 내부에 수용공간(511)이 형성된 하우징(51)을 구비하는 경우에는, 제1가이드부재(81)의 통과홀(811)을 통하여 배출된 윤활제가 하우징(51) 내의 수용공간(511)으로 유입될 수 있다.
이때, 하우징(51) 내의 수용공간(511)에는 윤활제를 가압할 수 있는 수단이 없으므로, 하우징(51) 내의 수용공간(511)에 수용되는 윤활제가 외부로 배출되지 않는다.
이와 같이, 하우징(51) 내의 수용공간(511)은 이동블록(53)이 이동될 수 있는 공간을 제공하는 역할에 그치지 않고, 주관통공(11)의 내부로 주입된 윤활제가 픽커(1)의 외부로 배출되는 것을 방지하는 역할을 함께 수행한다.
또한, 주관통공(11) 내의 윤활제가 하우징(51)의 수용공간(511)으로 유출되는 것을 최소화할 수 있도록, 통과홀(811)의 하우징(51)을 향하는 일측에는 실링부재(59)가 설치되는 것이 바람직하다.
한편, 로드(20)의 하방 및 상방에는 바디(10)를 사이에 두고 제1스토퍼(71) 및 제2스토퍼(72)가 구비될 수 있다.
제1스토퍼(71) 및 제2스토퍼(72)는 로드(20)와 일체로 형성될 수 있으며, 별도로 성형되어 로드(20)에 결합될 수 있다.
제1스토퍼(71) 및 제2스토퍼(72)는 각각 제3가이드부재(58) 및 제2가이드부재(82)와 접촉될 수 있는 크기를 가질 수 있다.
제1스토퍼(71)가 제3가이드부재(58)에 접촉되는 것에 의하여 로드(20)의 상방으로의 이동이 제한될 수 있고, 제2스토퍼(72)가 제2가이드부재(82)에 접촉되는 것에 의하여 로드(20)의 하방으로의 이동이 제한될 수 있다.
제1스토퍼(71) 및 제2스토퍼(72)는 제3가이드부재(58) 및 제2가이드부재(82)에 접촉될 때 발생하는 충격을 완충할 수 있도록 고무나 합성수지와 같은 소정의 탄성을 가지는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 제1스토퍼(71) 및 제2스토퍼(72)는 금속이나 엔지니어링플라스틱으로 이루어질 수 있다. 이와 같은 제1스토퍼(71) 및 제2스토퍼(72)는 제3가이드부재(58) 및 제2가이드부재(82)에 접촉되면서 제1공간(31) 또는 제2공간(32)을 밀폐시켜 제1공간(31) 또는 제2공간(32)으로 유입된 유체가 외부로 누설되는 것을 차단하는 역할을 함께 수행할 수 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 실시예에 따른 픽커(1)는 로드(20)의 상하방향으로의 이동 및 진공원의 작동에 의하여 소자를 픽업하여 이송시키는 작동을 수행한다.
예를 들면, 로드(20)가 하방으로 이동하고 진공원이 작동되어 흡입통로(22)에 진공압이 작용되면서 흡착헤드(90)에 소자가 흡착될 수 있고, 소자가 흡착된 상태에서 로드(20)가 상방으로 이동된 후 픽커(1)가 소자의 안착위치로 이동될 수 있고, 소자의 안착위치에서 로드(20)가 하방으로 이동된 후 진공원의 작동이 중지되어 흡입통로(22)의 진공이 해제되면서 소자가 안착위치에 안착될 수 있다.
이와 같이, 로드(20)가 상하방향으로 왕복적으로 이동되면서 소자의 픽앤플레이스동작이 수행된다. 로드(20)의 하방으로의 이동을 위하여 제2유로(42)를 통하여 제2공간(32)로 유체가 공급되는 것에 의하여 제1공간(31)의 내부의 유체가 제1유로(41)를 통하여 외부로 배출된다.
이에 따라, 로드(20)의 구획부(23)의 상방단부에는 하방으로의 압력이 작용하게 되며, 이와 같은 압력에 의하여 로드(20)가 하방으로 이동될 수 있다.
이와 같은 로드(20)의 하방으로의 이동에 의하여 흡착헤드(90)가 소자와 접촉하면서 소자가 흡착헤드(90)에 흡착되는데, 흡착헤드(90)가 소자에 접촉과정에서 흡착헤드(90) 및 소자에는 충돌력이 작용될 수 있다. 이와 같은 충돌력은 로드(20) 및 구획부(23)을 통하여 제2공간(32)의 내부로 유입된 유체로 전달된 후 제2공간(32)의 내부로 유입된 유체에 흡수된다.
따라서, 제2공간(32)으로 유입된 유체는 흡착헤드(90)와 소자가 접촉될 때 발생하는 충돌력을 완충하는 것으로 이른바 에어쿠션으로서의 역할을 한다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 픽커(1)는 상기한 충돌력을 완충하기 위한 완충용 스프링이 별도로 구비되지 않는 경우에도, 흡착헤드(90)와 소자가 접촉될 때 발생하는 충돌력에 의하여 발생할 수 있는 흡착헤드(90) 또는 소자의 손상을 방지할 수 있다.
또한, 제2유로(42)를 통하여 제2공간(32)으로 유입되는 유체의 압력을 조절하는 압력조절장치가 구비되는 경우에는, 압력조절장치는, 흡착헤드(90)가 소자와 접촉될 때, 제2유로(42)를 통하여 제2공간(32)로 유체의 압력을 조절하도록 구성될 수 있다.
흡착헤드(90)가 소자와 접촉될 때 제2공간(32)로 유입되는 유체의 압력은 로드(20)를 하방으로 이동시키기 위하여 제2공간(32)로 최초로 유입되는 유체의 압력에 비하여 작을 수 있다.
따라서, 흡착헤드(90)에 흡착되는 소자의 특성에 따라, 제2공간(32)으로 유입되는 유체의 압력을 조절하는 것을 통하여 흡착헤드(90)와 소자 사이의 충격력을 완충할 수 있으므로, 흡착헤드(90)가 소자와 접촉되는 과정에서의 소자의 손상을 방지하면서 로드(20)의 이동속도를 최적화할 수 있다.
도 14에 도시된 바와 같이, 로드(20)의 하방으로의 이동이 완료된 상태에서는, 구획부(23)의 하방단부가 제1가이드부재(81)에 접촉됨에 따라, 제2공간(32)으로 유입된 유체가 구획부(23)의 외면과 주관통공(11)의 내면 사이의 갭을 통하여 제1공간(31)으로 유입되는 것이 방지되므로, 제2공간(32)으로 유입된 유체가 제1공간(31) 및 제1유로(41)를 통하여 외부로 불필요하게 배출되는 것이 방지될 수 있다.
그리고, 로드(20)의 상방으로의 이동을 위하여 제1유로(41)를 통하여 제1공간(31)로 유체가 공급되는 것에 의하여 제2공간(32)의 내부의 유체가 제2유로(42)를 통하여 외부로 배출된다. 이에 따라, 로드(20)의 구획부(23)의 하방단부에는 상방으로의 압력이 작용하게 되며, 이와 같은 압력에 의하여 로드(20)가 상방으로 이동될 수 있다.
그리고, 도 15에 도시된 바와 같이, 로드(20)의 상방으로의 이동이 완료된 상태에서는, 구획부(23)의 상방단부가 제2가이드부재(82)에 접촉됨에 따라, 제1공간(31)으로 유입된 유체가 구획부(23)의 외면과 주관통공(11)의 내면 사이의 갭을 통하여 제2공간(32)으로 유입되는 것이 방지되므로, 제1공간(31)으로 유입된 유체가 제2공간(32) 및 제2유로(42)를 통하여 외부로 불필요하게 배출되는 것이 방지될 수 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 실시예에 따른 픽커(1)는, 바디(10)의 주관통공(11)과 로드(20)의 사이에 제1공간(31) 및 제2공간(32)을 형성하고, 제1공간(31) 및 제2공간(32)의 내부에 유체를 선택적으로 공급하는 것을 통하여 로드(20)를 상하방향으로 이동시킬 수 있다.
즉, 본 발명의 실시예에 따른 픽커(1)는, 로드(20)의 상하방향으로의 이동을 안내하는 주관통공(11)이 실린더로서의 기능을 함께 수행할 수 있으며, 로드(20)가 피스톤으로서의 기능을 함께 수행할 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 픽커(1)는 로드(20)의 이동라인과 로드(20)를 이동시키기 위한 압력이 작용하는 라인이 동일선상에 존재하므로, 로드(20)를 상하방향으로 이동시키기 위하여 실린더 및 피스톤으로 구성된 액추에이터가 독립적으로 구비되는 종래기술에 비하여 픽커(1)의 크기를 최소화할 수 있는 이점이 있다.
그리고, 본 발명의 실시예에 따른 픽커(1)가 복수 열 및 복수의 행으로 픽앤플레이스장치에 장착되는 경우에는, 픽커(1)의 크기가 최소화됨에 따라 각 픽커(1) 사이의 간격이 최소화될 수 있으므로, 픽앤플레이스장치의 크기를 최소화시킬 수 있는 이점이 있으며, 복수의 픽커(1)가 동시에 픽업할 수 있는 복수의 소자들 사이의 간격이 최소화될 수 있는 이점이 있다.
그리고, 본 발명의 실시예에 따른 픽커(1)는, 로드(20)가 그 길이방향 축을 중심으로 회전되는 것을 방지하는 회전방지부(50)를 구비함으로써, 로드(20)의 왕복 이동이 원활하게 수행되도록 할 수 있고, 로드(50)의 왕복 이동을 이용한 픽커(1)의 픽앤플레이스 동작을 원활하게 수행할 수 있다.
그리고, 본 발명의 실시예에 따른 픽커(1)는, 회전방지부(50)에 구비되는 하우징(51)의 내부에 수용공간(511)이 형성됨으로써, 로드(20)에 가압되어 누출되는 윤활제가 수용공간(511)에 수용될 수 있으므로, 윤활제가 픽커(1)의 외부로 누출되는 것을 방지할 수 있다.
한편 로드(20)가 바디(20)의 주관통공(11)를 슬라이드 이동함에 따라서 마찰력에 의하여 정전기가 발생되어 축적되는데, 축적된 정전기기 로드(20)에 결합된 흡착헤드(90)를 통하여 픽업되는 소자를 손상시키거나 정전기력에 의하여 의도치 않은 소자의 흡착, 이물질의 흡착 등으로 인한 오작동이 발생될 수 있는 문제점이 있다.
이에 본 발명에 따른 픽커(1)는, 로드(20)에 결합되고 로드(20)가 바디(10)에 대하여 이동될 때 타부재와 접촉되어 로드(20)에 대전된 정전기를 제거하는 정전기제거부(200)를 추가로 포함함이 바람직하다.
여기서 타부재는 정전기제거부(200)와의 접촉에 의하여 로드(20)에 대전된 정전기를 제거하는 구성으로서 바디(20) 및 하우징(51) 중 적어도 어느 하나가 될 수 있다.
예를 들면, 로드(20)의 정전기는 정전기제거부(200), 바디(20) 및 하우징(51) 중 적어도 어느 하나, 바디(20) 및 하우징(51) 중 적어도 어느 하나에 연결된 접지구조를 통하여 제거될 수 있다.
이에, 정전기제거부(200), 바디(20) 및 하우징(51) 중 적어도 어느 하나는 정전기 제거가 용이하도록 전기전도성이 높은 재질의 사용이 바람직하다.
정전기제거부(200)는, 로드(20)에 결합되고 로드(20)가 바디(10)에 대하여 이동될 때 타부재와 접촉되어 로드(20)에 대전된 정전기를 제거하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 정전기제거부(200)는, 로드(20)에 고정되는 고정부분(221)과, 고정부분(221)으로부터 로드(20)의 길이방향과 경사를 이루어 연장되는 하나 이상의 연장부분(233)과, 연장부분(233)의 끝단에 연장되어 로드(20)의 이동시 타부재와 접촉되는 접촉부분(231)을 포함할 수 있다.
고정부분(221)은, 로드(20)에 고정되는 부분으로서 로드(20)와의 결합구조에 따라서 다양한 구조를 가질 수 있다.
예로서, 고정부분(221)은, 도 16 및 도 17에 도시된 바와 같이, 앞서 설명한 로드(20)에 고정결합된 이동블록(53)의 끝단이 끼워지도록 'U'자 형상을 가지며 로드(20)가 관통될 수 있도록 관통공(222)이 형성되는 클립구조를 가질 수 있다.
연장부분(233)은 로드(20)로부터 연장되어 바디(10) 등의 타부재와의 접촉에 의하여 궁극적으로는 외부에 설치된 접지단자와 연결되어 정전기를 제거하도록 하는 부분으로서 다양한 구성이 가능하다.
특히 연장부분(233)은, 로드(20)의 이동시 타부재와의 접촉이 가능하도록 로드(20)의 길이방향과 경사를 이루어 연장되는 것이 바람직하다.
예로서, 연장부분(233)은, 도 16 및 도 17에 도시된 바와 같이, 고정부분(221)으로부터 샤프트(52)를 향하여 연장되며 서로 간격이 커지도록 한 쌍으로 형성될 수 있다.
한편 연장부분(233)은, 고정부분(221)과 일체로 형성되며 타부재와의 접촉이 원활하도록 탄성변형이 가능하도록 형성됨이 바람직하다.
접촉부분(231)은, 연장부분(233)의 끝단에 연장되어 로드(20)의 이동시 타부재와 접촉되는 부분으로서 다양한 구성이 가능하다.
특히 접촉부분(231)은, 타부재와의 접촉시 보다 많은 면접의 접촉이 유리한바 접촉되는 표면과 평행한 면을 이루도록 형성됨이 보다 바람직하다.
예로서, 접촉부분(231)은, 도 16 및 도 17에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 연장부(233)분의 끝단에 연장되어 로드(20)의 이동시 각각 바디(20) 및 하우징(51)에 접촉되도록 바디(20)의 하면 및 하우징(51)의 내면과 평행하도록 형성될 수 있다.
또한 접촉부분(231) 및 연장부분(233) 중 적어도 어느 하나는, 이동시 샤프트(52) 등 타부재와의 간섭을 방지하기 위하여 개구부 또는 절개홈(232)가 형성될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예들에만 한정되는 것이 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.

Claims (13)

  1. 진공압에 의하여 소자를 픽업하는 복수의 픽커들과;
    상기 복수의 픽커들이 간격을 두고 일렬로 배치되도록 상기 복수의 픽커들이 각각 결합되는 복수의 지지부재들과;
    상기 복수의 지지부재들의 간격을 변화시켜 상기 복수의 픽커들의 간격을 변화시키는 피치조절부를 포함하며,
    상기 피치조절부는,
    구조물에 설치되는 지지본체와;
    상기 지지본체에 설치되어 'X'자 형태로 교차결합되며 교차결합되는 부분에 상기 각 지지부재가 결합되는 한 쌍의 링크부재들을 포함하며 상기 복수의 지지부재들에 대응되어 일렬로 배치되는 복수의 링크부들과;
    상기 링크부의 링크부재의 끝단을 인접한 링크부의 링크부재의 끝단을 회전가능하게 결합시키는 복수의 결합핀들을 포함하며,
    상기 링크부재는, 'X'자 형태로 교차결합되는 링크부재와 회전가능하게 결합되는 제1결합공이 중앙에 형성되며, 인접한 링크부재와 회전가능하게 결합될 수 있도록 상기 결합핀이 삽입되는 제2결합공이 양단에 형성되며, 금속재질을 가지는 것을 특징으로 하는 이송툴.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1결합공 및 상기 제2결합공 중 적어도 어느 하나의 내주면은 엔지니어링 플라스틱으로 이루어진 보호층이 형성된 것을 특징으로 하는 이송툴.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 보호층은, 인서트 사출 또는 코팅에 의하여 형성된 것을 특징으로 하는 이송툴.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 보호층은, 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리에테르케톤(PEK), 폴리페닐렌술피드(PPS) 및 테프론 중 어느 하나의 재질을 가지는 것을 특징으로 하는 이송툴.
  5. 청구항 2에 있어서,
    상기 보호층은,
    상기 제1결합공 및 상기 제2결합공 중 적어도 어느 하나의 내주면은 상기 보호층의 형성 전에 일부가 내측으로 돌출된 환형의 돌출부가 형성되고, 상기 보호층은 상기 돌출부를 포함하여 그 내주면에 형성되어 원기둥 형상의 삽입공을 형성하는 것을 특징으로 하는 이송툴.
  6. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 지지본체는, 상기 지지부재의 하부 및 상부 각각이 구속결합되어 상기 복수의 지지부재들의 간격이 변화되는 선형이동을 가이드하는 상부가이드 및 하부가이드가 설치된 것을 특징으로 하는 이송툴.
  7. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 지지부재는, 상기 한 쌍의 링크부재들의 교차부분 및 결합핀 중 적어도 어느 하나에 결합되는 것을 특징으로 하는 이송툴.
  8. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 링크부재는, 상기 제1결합공 및 상기 제2결합공 사이에 내부로 파인 오목홈 및 관통공 중 적어도 어느 하나가 형성된 것을 특징으로 하는 이송툴.
  9. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 하나의 항에 따른 이송툴의 링크부재.
  10. 주관통공이 형성되는 바디와;
    상기 주관통공에 슬라이드 이동이 가능하게 삽입되어 유압구동에 의하여 선형으로 왕복 이동하며 끝단에 진공압에 의하여 소자를 픽업하는 픽업헤드가 결합되는 로드와;
    상기 로드에 결합되고 상기 로드가 상기 바디에 대하여 이동될 때 타부재와 접촉되어 상기 로드에 대전된 정전기를 제거하는 정전기제거부를 포함하는 것을 특징으로 하는 픽커.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 바디에 결합되며 상기 로드의 둘레에 수용공간을 가지는 하우징을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 픽커.
  12. 관통홀이 형성되는 바디;
    상기 관통홀에 슬라이드 이동이 가능하게 삽입되고, 관통홀의 내부의 공간을 제1공간 및 제2공간으로 구획하며, 상기 제1공간 및 상기 제2공간으로 유체가 선택적으로 유입되는 것에 의해 선형으로 왕복 이동하는 로드; 및
    상기 바디에 결합되며 상기 로드의 둘레에 수용공간을 가지는 하우징을 포함하는 픽커.
  13. 청구항 11 또는 청구항 12에 있어서,
    상기 로드가 그 길이방향 축을 중심으로 회전되는 것을 방지하는 회전방지부를 포함하는 픽커.
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