KR20020049848A - 수평식 핸들러의 픽커 간격조절장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 수평식 핸들러의 픽커 간격조절장치에 관한 것으로, 디바이스의 성능 검사시 고객트레이내에 담겨져 있던 디바이스를 로딩버퍼측으로 이송시 디바이스의 간격을 로딩버퍼에 형성된 공간부 피치에 알맞게 조절할 수 있도록 한 것이다.
이를 위해, 구동수단의 구동에 따라 리드스크류에 나사 결합된 슬라이더가 X축방향으로 이동하도록 되어 있고 상기 슬라이더에는 승강편이 승강 가능하게 결합된 수평식 핸들러의 픽커 간격조절장치에 있어서, 상기 승강편(23)에 공회전 가능하게 나사 결합된 제 2 리드스크류(25)와, 상기 슬라이더(22)에 고정 설치되어 제 2 리드스크류를 구동시키는 구동모터(26)와, 상기 구동모터의 구동축에 고정된 구동풀리(27)와 종동풀리(28)사이에 감겨진 타이밍벨트(29)와, 상기 승강편의 상사점과 하사점을 감지하여 구동모터의 구동을 제어하는 감지수단과, 상기 승강편의 하단에 설치된 적어도 1개 이상의 고정픽커(32)와, 상기 승강편의 저면에 설치된 제 2 가이드레일(34)을 따라 수평 이동가능하게 설치된 적어도 1개 이상의 가동픽커(33)와, 상기 승강편에 고정 설치된 모터(35)의 구동축에 설치되는 구동풀리(36)와, 상기 구동풀리의 반대편에 위치된 승강편에 공회전 가능하게 설치된 종동풀리(37)사이에 감겨져 가동픽커가 고정된 타이밍벨트(38)로 구성된 것이다.

Description

수평식 핸들러의 픽커 간격조절장치{Picker interval controller for handler}
본 발명은 디바이스의 성능 검사시 고객트레이내에 담겨져 있던 디바이스를 로딩버퍼측으로 이송시 디바이스의 간격을 로딩버퍼에 형성된 공간부 피치에 알맞게 조절하는 수평식 핸들러의 픽커 간격조절장치에 관한 것이다.
일반적으로 디바이스가 담겨져 보관되거나, 공정간 디바이스의 이송시 사용되는 플라스틱재의 고객트레이는 생산업자마다 모양, 크기, 용량 및 디바이스가 담겨지는 공간부의 피치 또한 각각 다르게 제작되어 사용되고 있다.
또한, 고객트레이에 형성된 공간부(디바이스가 담겨지는 부위)의 피치가 테스트 싸이트에 설치된 소켓의 피치와 다르고 정밀도 또한 떨어지기 때문에 디바이스를 테스트 싸이트로 이송시키기 전에 디바이스의 위치를 재결정하여야 됨은 물론 고객트레이내에 담겨진 디바이스를 테스트 싸이트로 이송시켜 테스트하기 전에 고객트레이내에 담겨져 있던 디바이스를 정밀하게 가공된 별도의 로딩버퍼로 운반하여 위치를 재결정하여야 된다.
이를 위해 수평식 핸들러에는 디바이스를 옮기는 역할을 하는 픽커가 장착된 이송 수단을 갖는다.
종래에는 고객트레이의 공간부내에 담겨진 디바이스를 로딩버퍼로 옮기기 위해 1개의 픽커가 승강블럭에 승강가능하게 장착되어 있어 실린더의 구동으로 상기 픽커가 하강하여 고객트레이내에 담겨진 디바이스를 흡착한 다음 위치를 옮겨가면서 로딩버퍼에 형성된 공간부내로 순차 이송시켰으므로 디바이스의 이송에 따른 시간이 지연되었고, 이에 따라 디바이스의 성능검사에 따른 작업능률이 저하되었다.
상기한 문제점을 개선하기 위해, 고객트레이에 형성된 공간부의 피치와 동일함과 동시에 로딩버퍼에 형성된 공간부의 개수와 동일한 개수의 픽커가 장착된 또 다른 픽커헤드를 구비하고, 디바이스의 위치를 재정렬하는 로딩버퍼를 테스트 싸이트에 설치된 소켓의 피치와 일치시키는 간격조절수단이 구비된 장치가 개발되어 사용되고 있다.
따라서 고객트레이에 담겨진 디바이스를 테스트 싸이트측으로 이송시키기 위해 일측의 픽커헤드가 고객트레이측으로 이동되어와 정지하면 픽커가 하강하여 상기 고객트레이에 담겨진 복수개의 디바이스를 동시에 흡착한다.
그 후, 픽커가 상승하고 나면 픽커헤드가 로딩버퍼의 직상부로 이동하여 픽커에 흡착된 디바이스를 간격이 고객트레이의 피치와 동일하게 조절된 로딩버퍼의 공간부내에 얹어놓게 된다.
이와 같이 고객트레이내에 담겨진 디바이스가 픽커에 의해 로딩버퍼의 공간부내에 얹혀지고 나면 별도의 구동수단에 의해 상기 로딩버퍼가 테스트 싸이트의 소켓 피치와 동일하게 펼쳐지게 되므로 테스트 싸이트에 설치된 픽커헤드가 로딩버퍼측으로 이송되어와 전술한 바와 같이 동작하여 디바이스를 테스트 싸이트측으로 이송시키게 된다.
이러한 장치는 전술한 장치에 비해 싸이클 타임이 짧아져 생산성을 향상시키게 되는 잇점을 갖게 되나, 고객트레이측과 테스트 싸이트측에 각각 픽커헤드를 설치하여야 되므로 기기의 공간활용도가 줄어들게 됨은 물론 반드시 로딩버퍼에 간격 조절수단을 구비하여야 되는 구조적인 문제점이 있었다.
따라서 상기한 문제점을 해결하기 위해서 실용신안 95-7512호로 출원된 기술이 제안된 바 있다.
상기 기술을 첨부된 도면 도 1 내지 도 4를 참고로 설명하면 다음과 같다.
상판(1)에 제 1 수평 LM가이더(2)를 따라 수평 이동하도록 설치된 설치판(3)의 하방에 제 1 실린더(4)의 구동시 승, 하강하는 픽커블럭(5)이 설치되어 있고 픽커블럭에는 설치판(3)의 이동방향과 동일한 방향으로 제 2 수평 LM가이더(6)를 따라 이동하는 복수개의 슬라이더(7)가 결합되어 있으며 상기 각 슬라이더에는 제 2 실린더(8)의 구동에 따라 수직 LM가이더(9)에 안내되어 승, 하강하는 픽커(10)가 고정된 픽커헤드(11)가 결합되어 있다.
그리고 복수개의 슬라이더(7) 상부에 핀(12)을 고정하여 상기 핀이 픽커블럭(5)의 상부에 형성된 장공(5a)을 통해 노출되도록 한 다음 상기 각 핀에 제 1 링크(13)를 힌지 결합하도록 되어 있고 상기 제 1 링크의 양단에는 제 2 링크(14)를 핀(15)으로 결합하도록 되어 있으며 상기 제 1 링크 중 일측의 제 1 링크 끝단은 제 3 실린더(16)의 로드에 고정된 가이드편(17)의 가이드홈(17a)에 끼워지도록 돌기(18)가 형성되어 있다.
따라서 고객트레이(19)의 공간부(19a)내에 담겨진 디바이스(20)를 흡착하기 위해 픽커블럭(5)이 상사점에 위치되고, 슬라이더(7)가 내측으로 오므러 든 상태에서 설치판(3)이 제 1 수평 LM가이더(2)를 따라 이송되어 고객트레이(19)에 형성된공간부의 1열과 일치되게 정지한다.
이러한 상태에서 설치판(3)에 고정된 제 1 실린더(4)의 구동으로 픽커블럭(5)이 하사점에 도달하면 각 슬라이더(7)에 고정되어 픽커헤드(11)를 승, 하강시키는 제 2 실린더(8)가 동작하게 되므로 상기 픽커헤드(11)의 끝단에 고정된 픽커(10)가 도 2의 일점쇄선과 같이 고객트레이(19)의 공간부(19a)에 담겨진 디바이스(20)의 상면과 접속된다.
그후, 공압에 의해 픽커(10)의 내부에 진공압이 걸리면 고객트레이(19)의 공간부(19a)에 담겨져 있던 디바이스(20)가 픽커(10)에 흡착된다.
디바이스(20)가 흡착된 상태에서 전술한 바와는 반대로 제 2 실런더(8)와 제 1 실린더(4)가 순차적으로 동작하면 픽커헤드(11)와 픽커블럭(5)이 초기상태와 같이 각각 상사점에 도달하게 된다.
그 후, 설치판(3)이 제 1 수평 LM가이더(2)를 따라 로딩버퍼측으로 이동할 때 픽커블럭(5)의 상부에 고정된 제 3 실런더(16)가 구동하여 가이드편(17)을 밀어주게 되므로 도 4와 같이 제 1 링크(13)의 일단에 고정된 핀(7a)이 상기 가이드편에 형성된 가이드홈(5a)을 따라 바깥측으로 이동하게 되고, 이에 따라 도 1 및 도 4에 도시한 바와 같이 상호 오므러져 있던 제 1, 2 링크(13)(14)가 펼쳐져 픽커(10)가 테스트 싸이트에 설치된 소켓의 피치와 동일해지게 된다.
이러한 상태에서 제 1 실린더(4)가 구동하여 픽커블럭(5)을 하사점에 위치시키고 나면 상기 픽커(10)에 흡착된 디바이스가 로딩버퍼의 공간부내에 위치되므로 상기 픽커에 작용하고 있던 진공압을 해제하여 디바이스가 자중에 의해 낙하되도록하므로 상기 디바이스가 로딩버퍼의 공간부내에 정확히 위치 결정된다.
그러나 이러한 종래의 장치 또한, 고객트레이내에 담겨진 1열의 디바이스를 한꺼번에 흡착한 다음 로딩버퍼측으로 이송시 간격을 조절하여 위치 결정한 후 위치결정 완료된 디바이스를 테스트 싸이트측으로 이송시키는 동작을 1개의 이송장치로 구현하도록 되어 있으므로 위치결정에 따른 시간을 줄이게 됨은 물론 기기의 설치 공간을 최소화할 수 있다는 잇점을 갖게 되지만, 슬라이더가 다수개의 제 1, 2 링크에 의해 연결되어 동시에 연동하도록 구성되어 있으므로 슬라이더가 최대한 펼쳐진 상태에서 양단에 위치되는 픽커는 로딩버퍼에 형성된 공간부 직하방에 정확히 위치되지만, 그 사이에 위치되는 픽커는 각 링크의 길이가 비교적 길어 링크가 유동되기 때문에 링크의 끝단위치가 부정확하게 되고, 이에 따라 테스트 싸이트측에 설치된 픽커가 로딩버퍼에 위치된 디바이스를 정확히 홀딩하지 못하게 되는 치명적인 문제점을 야기시켰다.
또한, 테스트할 디바이스의 크기가 가변되어 픽커사이의 간격을 재조절할 경우에는 픽커 간격조절장치를 전체적으로 교체하여야 되는 문제점도 있었다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 링크에 의한 간격 조절이 아니라 스탭모터의 구동에 의해 픽커사이의 간격을 조절하여 디바이스의 크기에 구애받지 않고 픽커사이의 간격을 정확하고도 자유 자재로 조절할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 구동수단의 구동에 따라 리드스크류에 나사 결합된 슬라이더가 X축방향으로 이동하도록 되어 있고 상기 슬라이더에는 승강편이 승강 가능하게 결합된 수평식 핸들러의 픽커 간격조절장치에 있어서, 상기 승강편에 공회전 가능하게 나사 결합된 제 2 리드스크류와, 상기 슬라이더에 고정 설치되어 제 2 리드스크류를 구동시키는 구동모터와, 상기 구동모터의 구동축에 고정된 구동풀리와 종동풀리사이에 감겨진 타이밍벨트와, 상기 승강편의 상사점과 하사점을 감지하여 구동모터의 구동을 제어하는 감지수단과, 상기 승강편의 하단에 설치된 적어도 1개 이상의 고정픽커와, 상기 승강편의 저면에 설치된 제 2 가이드레일을 따라 수평 이동가능하게 설치된 적어도 1개 이상의 가동픽커와, 상기 승강편에 고정 설치된 모터의 구동축에 설치되는 구동풀리와, 상기 구동풀리의 반대편에 위치된 승강편에 공회전 가능하게 설치된 종동풀리사이에 감겨져 가동픽커가 고정된 타이밍벨트로 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 픽커 간격조절장치가 제공된다.
도 1은 종래 장치의 일부를 절결하여 나타낸 종단면도.
도 2는 도 1의 일부를 절결하여 나타낸 측면도.
도 3은 슬라이더가 내측으로 오므러든 상태도.
도 4는 제 3 실린더의 구동으로 슬라이더가 펼쳐진 상태도.
도 5는 본 발명을 나타낸 종단면도
도 6a 및 도 6b는 도 5의 A - A선 단면도로서,
도 6a는 고정픽커와 가동픽커의 간격이 좁혀진 상태도.
도 6b는 고정픽커와 가동픽커의 간격이 넓혀진 상태도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
22 : 슬라이더23 : 승강편
24 : 제 1 가이드레일30 : 검출편
31a, 31b : 센서32 : 고정픽커
33 : 가동픽커34 : 제 2 가이드레일
이하, 본 발명을 일 실시예로 도시한 도 5 및 도 6을 참고하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 5는 본 발명을 나타낸 종단면도이고 도 6a 및 도 6b는 도 5의 A - A선 단면도로서, 본 발명은 구동수단(도시는 생략함)의 구동에 따라 공회전하는 제 1 리드스크류(21)에 슬라이더(22)가 X축방향을 따라 이동하도록 나사 결합되어 있고 상기 슬라이더(22)에는 승강편(23)이 제 1 가이드레일(24)을 따라 승강 가능하게 결합되어 있다.
그리고 상기 슬라이더(22)에 제 2 리드스크류(25)가 공회전 가능하게 설치되어 있고 상기 제 2 리드스크류에는 승강편(23)이 나사 결합되어 슬라이더(22)에 설치된 구동모터(26)의 구동에 따라 승강편(23)이 승강하도록 되어 있는데, 이는 구동모터(26)의 구동축에 구동풀리(27)가 고정되어 있고 제 2 리드스크류(25)에는 종동풀리(28)가 고정되어 있으며 상기 구동풀리와 종동풀리사이에는 타이밍벨트(29)가 감겨져 있기 때문에 가능하다.
이 때, 상기 구동모터(26)의 구동에 따라 승강하는 승강편(23)의 상사점과 하사점은 감지수단의 감지에 의해 제어된다.
상기 감지수단은 제 2 리드스크류(25)의 선단에 고정된 검출편(30)과, 상기 슬라이더(22)에 고정되어 제 2 리드스크류에 고정된 검출편이 검출됨에 따라 구동모터(26)의 구동을 제어하는 한 쌍의 센서(31a)(31b)로 구성되어 있다.
또한, 상기 승강편(23)의 하단에 적어도 1개 이상의 고정픽커(32)가 설치되어 있고 상기 승강편의 저면에 설치된 제 2 가이드레일(34)에는 1개 이상의 가동픽커(33)가 수평 이동가능하게 끼워져 있다.
상기 가동픽커(33)는 승강편(23)에 고정 설치된 모터(35)의 구동축에 설치되는 구동풀리(36)와 승강편(23)에 공회전 가능하게 설치된 종동풀리(37)사이에 감겨진 타이밍벨트(38)에 고정되어 있어 모터(35)의 구동에 따라 제 2 가이드레일을 따라 이동하게 된다.
상기 모터(35)의 구동에 따라 제 2 가이드레일(34)을 따라 이동하여 고정픽커(32)와의 간격이 조절되는 가동픽커(33)는 콘트롤부(도시는 생략함)에 모터(35)의 회전수를 셋팅하므로서 고정픽커(32)와의 간격을 임의로 조절 가능하다.
이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 6a와 같이 고정픽커(32) 및 가동픽커(33)가 고객트레이(도시는 생략함)에 담겨져 있던 디바이스를 흡착하기 위해 고정픽커(32)와 가동픽커(33)의 간격이 좁아지고 승강편(23)이 상사점에 위치된 상태에서부터 설명하기로 한다.
이러한 상태에서 고객트레이내의 디바이스를 흡착하기 위해 슬라이더(22)가 X - Y축을 따라 이동하여 고정픽커(32) 및 가동픽커(33)가 고객트레이의 직상부에 위치하면 구동모터(26)가 구동하게 되므로 그 동력이 타이밍벨트(29)를 통해 종동풀리(28)측으로 전달되고, 이에 따라 제 2 리드스크류(25)가 공회전하게 된다.
이와 같이 제 2 리드스크류(25)가 공회전하면 상기 제 2 리드스크류에 승강편(23)이 나사 결합되어 있어 승강편이 제 1 가이드레일(24)을 따라 하강하게 된다.
상기 승강편(23)의 하강은 슬라이더(22)의 하단에 고정된 센서(31b)가 제 2 리드스크류(25)에 고정된 검출편(30)을 검출하여 구동모터(26)의 구동을 제어하므로 가능한데, 이 때가 고정픽커(32) 및 가동픽커(33)가 고객트레이내에 담겨져 있던 디바이스의 상면에 접속된 상태이다.
상기 고정픽커(32) 및 가동픽커(33)가 고객트레이내에 담겨져 있던 디바이스의 상면에 접속되면 진공압에 의해 디바이스가 고정픽커(32) 및 가동픽커(33)에 흡착되는데, 상기 디바이스가 고정픽커(32) 및 가동픽커(33)에 흡착되면 구동모터(26)의 역구동으로 승강편(23)이 상승하게 된다.
상기 승강편(23)의 상승은 슬라이더(22)의 상측에 설치된 센서(31a)가 제 2 리드스크류(25)에 고정된 검출편(30)을 검출하여 구동모터(26)의 구동을 제어하므로 승강편이 상사점까지 상승하게 된다.
이와 같이 고정픽커(32) 및 가동픽커(33)가 상사점까지 상승하고 나면 슬라이더(22)는 X - Y축을 따라 로딩버퍼(도시는 생략함)측으로 이동하여 테스트할 디바이스를 로딩버퍼내에 얹어 놓아야 되는데, 상기한 바와 같은 이송간에 고정픽커(32)와 가동픽커(33)사이의 간격을 로딩버퍼에 형성된 공간부의 간격과 일치되게 가변시켜야 된다.
이를 위해 승강편(23)에 고정 설치된 모터(35)가 콘트롤부에 설정된 회전수만큼 구동하면 상기 구동력이 타이밍벨트(38)를 통해 공회전 가능하게 설치된 종동풀리(37)에 전달되어 종동풀리(37)를 회전시키게 되는데, 상기 타이밍벨트(38)에는 가동픽커(33)가 고정되어 있어 도 6b와 같이 고정픽커(32)로부터 멀어져 고정픽커(32)와 가동픽커(33)사이의 간격이 로딩버퍼에 형성된 공간부의 간격과 일치하게 된다.
이에 따라, 상기 고정픽커(32)와 가동픽커(33)가 로딩버퍼의 직상부에 위치하고 나면 전술한 바와 같이 구동모터(26)의 재구동으로 승강편(23)이 하사점까지 하강된 상태에서 진공상태를 해제하므로 로딩버퍼측으로 디바이스 공급이 완료된다.
상기한 바와 같은 동작에 의해 로딩버퍼측으로 디바이스를 공급하고 나면 구동모터(26)의 역구동으로 승강편(23)이 상사점까지 상승된 상태에서 슬라이더(22)가 테스트할 새로운 디바이스를 흡착하기 위해 이송하는 동안에 승강편(23)에 설치된 모터(35)가 구동하여 가동픽커(32)를 고정픽커(33)측으로 이동시켜 도 6a와 같은 상태로 환원하게 되므로 계속적인 디바이스의 로딩작업이 가능해지게 되는 것이다.
지금까지 설명한 것은 로딩포지션에 위치된 고객트레이로부터 테스트할 디바이스를 흡착하여 로딩버퍼측으로 이송시키는 과정을 설명하였으나, 이와는 반대로 언로딩측에 설치하여 테스트 완료된 디바이스가 언로딩버퍼내에 담겨짐에 따라 도 6b와 같은 상태에서 디바이스를 흡착한 다음 도 6a와 같이 고정픽커와 가동픽커의 간격이 좁아지도록 조절하여 언로딩포지션에 위치된 빈 고객트레이내에 언로딩할 수 있게 됨은 이해 가능한 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 승강편에 가동픽커를 수평 이동가능하게 설치하여 슬라이더의 이송간에 고정픽커와의 사이를 임의의 간격으로 조절한 다음 로딩버퍼내에 옮겨주게 되므로 테스트 싸이트측에 설치된 픽커가 로딩버퍼에 위치된 디바이스를 정확히 홀딩할 수 있게 되는 효과를 얻게 된다.
또한, 특정 크기의 디바이스를 테스트하다가 크기가 다른 디바이스를 테스트하고자 하더라도 픽커 간격조절장치의 전체를 교체하지 않고 콘트롤부를 조작하여 모터의 회전수만을 조절하면 되므로 신속한 작업이 이루어지게 되는 효과도 얻게 된다.

Claims (2)

  1. 구동수단의 구동에 따라 리드스크류에 나사 결합된 슬라이더가 X축방향으로 이동하도록 되어 있고 상기 슬라이더에는 승강편이 승강 가능하게 결합된 수평식 핸들러의 픽커 간격조절장치에 있어서, 상기 승강편에 공회전 가능하게 나사 결합된 제 2 리드스크류와, 상기 슬라이더에 고정 설치되어 제 2 리드스크류를 구동시키는 구동모터와, 상기 구동모터의 구동축에 고정된 구동풀리와 종동풀리사이에 감겨진 타이밍벨트와, 상기 승강편의 상사점과 하사점을 감지하여 구동모터의 구동을 제어하는 감지수단과, 상기 승강편의 하단에 설치된 적어도 1개 이상의 고정픽커와, 상기 승강편의 저면에 설치된 제 2 가이드레일을 따라 수평 이동가능하게 설치된 적어도 1개 이상의 가동픽커와, 상기 승강편에 고정 설치된 모터의 구동축에 설치되는 구동풀리와, 상기 구동풀리의 반대편에 위치된 승강편에 공회전 가능하게 설치된 종동풀리사이에 감겨져 가동픽커가 고정된 타이밍벨트로 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 픽커 간격조절장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 감지수단은 제 2 리드스크류의 선단에 고정된 검출편과, 상기 슬라이더에 고정되어 제 2 리드스크류에 고정된 검출편이 검출됨에 따라 구동모터의 구동을 제어하는 한 쌍의 센서로 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 픽커 간격조절장치.
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100709113B1 (ko) * 2004-12-16 2007-04-18 (주)테크윙 테스트 핸들러의 로더 핸드
KR100737400B1 (ko) * 2006-05-12 2007-07-09 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치
KR100839666B1 (ko) * 2007-01-10 2008-06-19 미래산업 주식회사 핸들러의 전자부품 픽커
KR100881212B1 (ko) * 2007-04-28 2009-02-05 (주)테크윙 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치
KR100892255B1 (ko) * 2007-01-25 2009-04-17 (주)테크윙 테스트핸들러의 픽앤플레이스용 픽킹장치
KR101012137B1 (ko) * 2008-07-16 2011-02-07 (주)제이티 이송툴
KR200468040Y1 (ko) * 2011-12-12 2013-07-24 세메스 주식회사 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치
KR101307954B1 (ko) * 2012-06-18 2013-09-12 (주) 에스에스피 피커의 간격 조절이 가능한 부품이송장치
KR20210135790A (ko) * 2020-05-06 2021-11-16 에이엠티 주식회사 모듈 ic 테스트핸들러 및 테스트방법
KR20210137635A (ko) * 2020-05-11 2021-11-18 에이엠티 주식회사 모듈ic 테스트핸들러의 모듈ic 반전장치

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100709113B1 (ko) * 2004-12-16 2007-04-18 (주)테크윙 테스트 핸들러의 로더 핸드
KR100737400B1 (ko) * 2006-05-12 2007-07-09 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치
KR100839666B1 (ko) * 2007-01-10 2008-06-19 미래산업 주식회사 핸들러의 전자부품 픽커
KR100892255B1 (ko) * 2007-01-25 2009-04-17 (주)테크윙 테스트핸들러의 픽앤플레이스용 픽킹장치
KR100881212B1 (ko) * 2007-04-28 2009-02-05 (주)테크윙 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치
KR101012137B1 (ko) * 2008-07-16 2011-02-07 (주)제이티 이송툴
KR200468040Y1 (ko) * 2011-12-12 2013-07-24 세메스 주식회사 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치
KR101307954B1 (ko) * 2012-06-18 2013-09-12 (주) 에스에스피 피커의 간격 조절이 가능한 부품이송장치
KR20210135790A (ko) * 2020-05-06 2021-11-16 에이엠티 주식회사 모듈 ic 테스트핸들러 및 테스트방법
KR20210137635A (ko) * 2020-05-11 2021-11-18 에이엠티 주식회사 모듈ic 테스트핸들러의 모듈ic 반전장치

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