JP2000187059A - モジュ―ルｉｃハンドラ―のロ―テ―タ - Google Patents
モジュ―ルｉｃハンドラ―のロ―テ―タInfo
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- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2801—Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
- G01R31/2806—Apparatus therefor, e.g. test stations, drivers, analysers, conveyors
- G01R31/2808—Holding, conveying or contacting devices, e.g. test adapters, edge connectors, extender boards
Abstract
(57)【要約】
【課題】 モジュールICハンドラーのローテータに係る
もので、さらに詳しくは、キャリアの方向を90°切換え
てヒーティングチャンバの内部に供給するローディング
側ローテータと、テストサイトに収容されたモジュール
ICを垂直状態にコンタクトさせたキャリアの方向を90°
に切換え、アンローディングポジションに移送させるア
ンローディングローテータとからなるモジュールICハン
ドラーのローテータに関するものである。 【解決手段】 駆動手段と移送部材とキャリアをホール
ディングするか又はこれを解除するホールディング手段
と移送部材を回動板の内部に引込ませるか又は引出させ
る引込み及び引出し手段とからなるローディング側ロー
テータと、回動板と駆動手段とホールディング手段とか
らなるアンローディング側ローテータと、から構成され
る。
もので、さらに詳しくは、キャリアの方向を90°切換え
てヒーティングチャンバの内部に供給するローディング
側ローテータと、テストサイトに収容されたモジュール
ICを垂直状態にコンタクトさせたキャリアの方向を90°
に切換え、アンローディングポジションに移送させるア
ンローディングローテータとからなるモジュールICハン
ドラーのローテータに関するものである。 【解決手段】 駆動手段と移送部材とキャリアをホール
ディングするか又はこれを解除するホールディング手段
と移送部材を回動板の内部に引込ませるか又は引出させ
る引込み及び引出し手段とからなるローディング側ロー
テータと、回動板と駆動手段とホールディング手段とか
らなるアンローディング側ローテータと、から構成され
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、モジュールICハン
ドラーのローテータに係るもので、さらに詳しくは、キ
ャリアの方向を90°切換えてヒーティングチャンバの内
部に供給するローディング側ローテータと、テストサイ
トに収容されたモジュールICを垂直状態にコンタクトさ
せたキャリアの方向を90°に切換え、アンローディング
ポジションに移送させるアンローディングローテータと
からなるモジュールICハンドラーのローテータに関する
ものである。
ドラーのローテータに係るもので、さらに詳しくは、キ
ャリアの方向を90°切換えてヒーティングチャンバの内
部に供給するローディング側ローテータと、テストサイ
トに収容されたモジュールICを垂直状態にコンタクトさ
せたキャリアの方向を90°に切換え、アンローディング
ポジションに移送させるアンローディングローテータと
からなるモジュールICハンドラーのローテータに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】一般的に、モジュールICとは、基板の一
側面又は両側面に複数のIC及び部品を半田付け固定して
独立的に回路を構成したもので、メイン基板に実装され
て容量を拡張する機能を有する。
側面又は両側面に複数のIC及び部品を半田付け固定して
独立的に回路を構成したもので、メイン基板に実装され
て容量を拡張する機能を有する。
【０００３】従来、モジュールICの製造工程において、
前記モジュールICをテストソケット内で自動にローディ
ングしてテストを行ってから、テスト結果により自動に
分類して顧客トレイ(customer tray)（図示せず）内に
アンローディングする装備が開発されなかったので、作
業者がトレイ(tray)よりモジュールICを手作業により一
つずつ取り出し、テストソケット内にローディングして
から設定されていた時間の間にテストを行った後、テス
ト結果によってモジュールICを顧客トレイ内に分類して
収容するので、作業能率が低くなる問題があった。な
お、単純労働による退屈で生産性が低下する問題があっ
た。
前記モジュールICをテストソケット内で自動にローディ
ングしてテストを行ってから、テスト結果により自動に
分類して顧客トレイ(customer tray)（図示せず）内に
アンローディングする装備が開発されなかったので、作
業者がトレイ(tray)よりモジュールICを手作業により一
つずつ取り出し、テストソケット内にローディングして
から設定されていた時間の間にテストを行った後、テス
ト結果によってモジュールICを顧客トレイ内に分類して
収容するので、作業能率が低くなる問題があった。な
お、単純労働による退屈で生産性が低下する問題があっ
た。
【０００４】こういうモジュールICハンドラーは、ピッ
クアップ手段によりモジュールICをホールディングし
て、テストソケット側に移送させるためには、次のよう
な問題があった。
クアップ手段によりモジュールICをホールディングし
て、テストソケット側に移送させるためには、次のよう
な問題があった。
【０００５】第1は、ピックアップ手段によってモジュ
ールICをホールディングし、テストソケット内にローデ
ィング及びアンローディングするようになっている。ピ
ックアップ手段によっては密閉されたチャンバ内でモジ
ュールICをハンドリングすることができないので、モジ
ュールICを常温でテストすべきである。
ールICをホールディングし、テストソケット内にローデ
ィング及びアンローディングするようになっている。ピ
ックアップ手段によっては密閉されたチャンバ内でモジ
ュールICをハンドリングすることができないので、モジ
ュールICを常温でテストすべきである。
【０００６】これによって、生産の完了されたモジュー
ルICを常温でテストして良品だけを出荷し、出荷された
モジュールICを製品に装着して実際に使用する時には、
駆動によって多量の熱が発生するので、高温状態で駆動
するようになる。従って、テストする時の条件と実際に
使用する時の条件との違いが発生するので、出荷された
製品の信頼性が劣る。
ルICを常温でテストして良品だけを出荷し、出荷された
モジュールICを製品に装着して実際に使用する時には、
駆動によって多量の熱が発生するので、高温状態で駆動
するようになる。従って、テストする時の条件と実際に
使用する時の条件との違いが発生するので、出荷された
製品の信頼性が劣る。
【０００７】第2は、ピックアップ手段がテストサイト
に水平設置されたテストソケット内にモジュールICをロ
ーディングすることであって、テストサイトにテストソ
ケットを水平方向にだけ設けなければならない。従っ
て、テストするモジュールICの形態がが変わる時毎にテ
ストサイトの底面に装着されたソケットアセンブリを交
替する作業が煩わしい。
に水平設置されたテストソケット内にモジュールICをロ
ーディングすることであって、テストサイトにテストソ
ケットを水平方向にだけ設けなければならない。従っ
て、テストするモジュールICの形態がが変わる時毎にテ
ストサイトの底面に装着されたソケットアセンブリを交
替する作業が煩わしい。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来の上記
した問題等を解決するために案出したものであって、本
発明の目的は、モジュールICを一定温度下で性能テスト
を行って出荷された製品の信頼性をより向上させるとこ
ろにある。
した問題等を解決するために案出したものであって、本
発明の目的は、モジュールICを一定温度下で性能テスト
を行って出荷された製品の信頼性をより向上させるとこ
ろにある。
【０００９】本発明の他の目的は、モジュールICが収容
されたキャリアの方向を90°切換えした状態でヒーティ
ングチャンバの内部に移送させるようにして、テストサ
イトでキャリアに収容されたモジュールICをテストソケ
ットに垂直コンタクトさせることができるところにあ
る。
されたキャリアの方向を90°切換えした状態でヒーティ
ングチャンバの内部に移送させるようにして、テストサ
イトでキャリアに収容されたモジュールICをテストソケ
ットに垂直コンタクトさせることができるところにあ
る。
【００１０】本発明のまた他の目的は、テストサイトで
モジュールICを、垂直状態でコンタクトさせたキャリア
を水平状態に還元させ、アンローディングポジションで
テストの完了されたモジュールICをアンローディングし
得るようにするところにある。
モジュールICを、垂直状態でコンタクトさせたキャリア
を水平状態に還元させ、アンローディングポジションで
テストの完了されたモジュールICをアンローディングし
得るようにするところにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために本発明は、駆動手段と移送部材とキャリアをホー
ルディングするか又はこれを解除するホールディング手
段と移送部材を回動板の内部に引込ませるか又は引出さ
せる引込み及び引出し手段とからなるローディング側ロ
ーテータと、回動板と駆動手段とホールディング手段と
からなるアンローディング側ローテータと、から構成さ
れる。
ために本発明は、駆動手段と移送部材とキャリアをホー
ルディングするか又はこれを解除するホールディング手
段と移送部材を回動板の内部に引込ませるか又は引出さ
せる引込み及び引出し手段とからなるローディング側ロ
ーテータと、回動板と駆動手段とホールディング手段と
からなるアンローディング側ローテータと、から構成さ
れる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を用いて説明する。
て図面を用いて説明する。
【００１３】図１及び図2に示したように、トレイ1に収
容されたモジュールICをキャリア3内にローディングす
ることによって、前記トレイ1が載せられた積載板を順
次に1ステップずつ上昇させるか又はテストの完了され
たモジュールICが顧客トレイ4内に分類されてアンロー
ディングされることにより、積載板を1ステップずつ下
降させるエレベーター部5と、前記トレイ1内のモジュー
ルICを順次にホールディングしてローディングポジショ
ン6に位置づけられたキャリア3にモジュールICをローデ
ィングするローディング側ピックアップ手段7と、テス
トするモジュールICがキャリア3にローディングが完了
されば、これをローディング側ローテータ8側に移送さ
せる第1の移送手段9と、該第1の移送手段9によりキャリ
ア3が移送されることによってキャリアを90°回動させ
るローディング側ローテータ8と、該ローディング側ロ
ーテータ8の直下方に位置づけられ、ローディング側ロ
ーテータによりキャリアが順次に移送されることによ
り、モジュールICをテストするに適う温度でヒーティン
グするヒーティングチャンバ10と、該ヒーティングチャ
ンバ10の一側に位置づけられテストの条件に合うように
ヒーティングされたモジュールICが移送されると、これ
をテストソケット側に押して設定された時間の間テスト
を行うテストサイト11と、該テストサイト11の一側に設
けられてモジュールICのテストの完了された状態でキャ
リア3が移送されることにより該キャリア3を90°回動さ
せるアンローディング側ローテータ12と、当該アンロー
ディング側ローテータ12内のキャリア3をアンローディ
ングポジション13に水平移送させる第2の移送手段14
と、該第2の移送手段14により移送されたキャリアより
テストした結果に応じてモジュールICをホールディング
し、顧客トレイ4内にアンローディングするアンローデ
ィング側のピックアップ手段15と、前記キャリア3内の
モジュールICが全てアンローディングされてから、空い
ているキャリアをローディングポジション6に水平移送
させる第3の移送手段16と、から構成される。
容されたモジュールICをキャリア3内にローディングす
ることによって、前記トレイ1が載せられた積載板を順
次に1ステップずつ上昇させるか又はテストの完了され
たモジュールICが顧客トレイ4内に分類されてアンロー
ディングされることにより、積載板を1ステップずつ下
降させるエレベーター部5と、前記トレイ1内のモジュー
ルICを順次にホールディングしてローディングポジショ
ン6に位置づけられたキャリア3にモジュールICをローデ
ィングするローディング側ピックアップ手段7と、テス
トするモジュールICがキャリア3にローディングが完了
されば、これをローディング側ローテータ8側に移送さ
せる第1の移送手段9と、該第1の移送手段9によりキャリ
ア3が移送されることによってキャリアを90°回動させ
るローディング側ローテータ8と、該ローディング側ロ
ーテータ8の直下方に位置づけられ、ローディング側ロ
ーテータによりキャリアが順次に移送されることによ
り、モジュールICをテストするに適う温度でヒーティン
グするヒーティングチャンバ10と、該ヒーティングチャ
ンバ10の一側に位置づけられテストの条件に合うように
ヒーティングされたモジュールICが移送されると、これ
をテストソケット側に押して設定された時間の間テスト
を行うテストサイト11と、該テストサイト11の一側に設
けられてモジュールICのテストの完了された状態でキャ
リア3が移送されることにより該キャリア3を90°回動さ
せるアンローディング側ローテータ12と、当該アンロー
ディング側ローテータ12内のキャリア3をアンローディ
ングポジション13に水平移送させる第2の移送手段14
と、該第2の移送手段14により移送されたキャリアより
テストした結果に応じてモジュールICをホールディング
し、顧客トレイ4内にアンローディングするアンローデ
ィング側のピックアップ手段15と、前記キャリア3内の
モジュールICが全てアンローディングされてから、空い
ているキャリアをローディングポジション6に水平移送
させる第3の移送手段16と、から構成される。
【００１４】上記したように構成されたモジュールICハ
ンドラーは、モジュールICをヒーティングしてから、テ
ストソケットに垂直コンタクトするために、テストする
モジュールICが収容されたキャリアを90°回動させた
後、ヒーティングチャンバ10の内部に供給するローディ
ング側ローテータ8と、テストの完了されたモジュールI
Cをアンローディングするために、垂直状態であるキャ
リアを水平状態に還元させるアンローディング側ローテ
ータ12を備えなければならない。
ンドラーは、モジュールICをヒーティングしてから、テ
ストソケットに垂直コンタクトするために、テストする
モジュールICが収容されたキャリアを90°回動させた
後、ヒーティングチャンバ10の内部に供給するローディ
ング側ローテータ8と、テストの完了されたモジュールI
Cをアンローディングするために、垂直状態であるキャ
リアを水平状態に還元させるアンローディング側ローテ
ータ12を備えなければならない。
【００１５】本発明のモジュールICハンドラーのローテ
ータ8はローディング側ローテータ8とアンローディング
側ローテータ12と、からなる。
ータ8はローディング側ローテータ8とアンローディング
側ローテータ12と、からなる。
【００１６】先ず、ローディング側ローテータは、図3
乃至図７に示したように、ヒーティングチャンバ10（図
1参照）に開閉可能に設けられたシャッタの上側には、
回動板18が回動可能に設けられ、該回動板18は、駆動手
段の駆動により90°範囲内で回動されるように構成され
ている。かつ、前記回動板18には、テストするモジュー
ルICが収容されたキャリア3が挿入される移送部材19が
引出し可能に設けられている。
乃至図７に示したように、ヒーティングチャンバ10（図
1参照）に開閉可能に設けられたシャッタの上側には、
回動板18が回動可能に設けられ、該回動板18は、駆動手
段の駆動により90°範囲内で回動されるように構成され
ている。かつ、前記回動板18には、テストするモジュー
ルICが収容されたキャリア3が挿入される移送部材19が
引出し可能に設けられている。
【００１７】前記駆動手段は、設置板20にその一端がヒ
ンジ結合され、その他端が回動板18に軸22で結合された
ロッド21aと連結されるシリンダー21と、前記ロッド21a
に結合された軸22にその一端がヒンジ結合され、その他
端がブラケット23にヒンジ結合されたレバー24と、から
なる。
ンジ結合され、その他端が回動板18に軸22で結合された
ロッド21aと連結されるシリンダー21と、前記ロッド21a
に結合された軸22にその一端がヒンジ結合され、その他
端がブラケット23にヒンジ結合されたレバー24と、から
なる。
【００１８】従って、前記シリンダー21のロッド21aが
引出しながら軸22を押すことにより前記ロッド21aの直
線運動がブラケット23にヒンジ結合されたレバー24によ
って回転運動することで、切換えして回動板18を回動さ
せるので、該回動板18が軸36を中心として回動するよう
になる。
引出しながら軸22を押すことにより前記ロッド21aの直
線運動がブラケット23にヒンジ結合されたレバー24によ
って回転運動することで、切換えして回動板18を回動さ
せるので、該回動板18が軸36を中心として回動するよう
になる。
【００１９】前記回動板18に引出し可能に設けられた移
送部材19には、キャリア3をホールディングし、回動板1
8が回動する時、キャリア3が移送部材19から離脱されな
いようにするホールディング手段が備えられている。
送部材19には、キャリア3をホールディングし、回動板1
8が回動する時、キャリア3が移送部材19から離脱されな
いようにするホールディング手段が備えられている。
【００２０】前記移送部材19の入り口の両側には、キャ
リア3が移送部材19の内部に容易に挿入されるように傾
斜面25aを有するガイダ25が固定されている。
リア3が移送部材19の内部に容易に挿入されるように傾
斜面25aを有するガイダ25が固定されている。
【００２１】前記移送部材19の内部に移送されたキャリ
ア3をホールディングするホールディング手段は、移送
部材19に回動可能に設けられ、キャリア3の保持部材3a
をホールディングする一対のフィンガー26,27と、前記
一側のフィンガー26に本体28aがヒンジ結合され、他の
一側のフィンガー27には、ロッド28bがヒンジ結合さ
れ、一対のフィンガーを同時に曲げるか又は広げるシリ
ンダー28とからなる。かつ、前記回動板18に移送部材19
がガイドレール29によって引出し可能に引出し式に結合
されている。
ア3をホールディングするホールディング手段は、移送
部材19に回動可能に設けられ、キャリア3の保持部材3a
をホールディングする一対のフィンガー26,27と、前記
一側のフィンガー26に本体28aがヒンジ結合され、他の
一側のフィンガー27には、ロッド28bがヒンジ結合さ
れ、一対のフィンガーを同時に曲げるか又は広げるシリ
ンダー28とからなる。かつ、前記回動板18に移送部材19
がガイドレール29によって引出し可能に引出し式に結合
されている。
【００２２】前記移送部材19は、回動板18が駆動手段に
よって90°回動された状態、即ち、ヒーティングチャン
バ10のシャッタ17が開放された状態において引込み及び
引出し手段により回動板18から引出されるか又は引込ま
れるように構成されている。
よって90°回動された状態、即ち、ヒーティングチャン
バ10のシャッタ17が開放された状態において引込み及び
引出し手段により回動板18から引出されるか又は引込ま
れるように構成されている。
【００２３】前記引込み及び引出し手段は、回動板18の
一側に回転可能に設けられた軸30と、前記軸30に固定さ
れた一対のピニオン31と、前記移送部材19の底面の両側
に固定され、ピニオン31と噛合われたラック32と、前記
軸30を時計の回転方向又は時計の逆回転方向に回転させ
る動力伝達手段とから構成されている。
一側に回転可能に設けられた軸30と、前記軸30に固定さ
れた一対のピニオン31と、前記移送部材19の底面の両側
に固定され、ピニオン31と噛合われたラック32と、前記
軸30を時計の回転方向又は時計の逆回転方向に回転させ
る動力伝達手段とから構成されている。
【００２４】前記回動板18に引出し可能に結合された移
送部材19に動力を伝達する動力伝達手段は回動板18に固
定されたモータ33と、該モータ33に連結されたプーリ34
aと軸30の一端に連結されたプーリ34bとの間に取り巻か
れてモータ33の動力を軸30に伝達するタイミングベルト
35とから構成されている。
送部材19に動力を伝達する動力伝達手段は回動板18に固
定されたモータ33と、該モータ33に連結されたプーリ34
aと軸30の一端に連結されたプーリ34bとの間に取り巻か
れてモータ33の動力を軸30に伝達するタイミングベルト
35とから構成されている。
【００２５】このように、構成されたローディング側ロ
ーテータの動作に対して説明すれば次のとおりである。
ーテータの動作に対して説明すれば次のとおりである。
【００２６】先ず、図４のようにキャリア3が回動板18
内の移送部材19側に移送される前には、一対のフィンガ
ー26,27が互いに外側に広げられた状態を維持してい
る。このような状態でキャリア3が第1の移送手段9によ
ってガイドレール29に沿って移送部材19側に移送され
ば、前記キャリア3は移送部材19の入り口両側に設けら
れたガイダ25の傾斜面25aに案内され、移送部材19の内
部に容易に引込まれる。
内の移送部材19側に移送される前には、一対のフィンガ
ー26,27が互いに外側に広げられた状態を維持してい
る。このような状態でキャリア3が第1の移送手段9によ
ってガイドレール29に沿って移送部材19側に移送され
ば、前記キャリア3は移送部材19の入り口両側に設けら
れたガイダ25の傾斜面25aに案内され、移送部材19の内
部に容易に引込まれる。
【００２７】加えて、ホールディング手段であるシリン
ダー28が駆動すれば、一対のフィンガー26,27が同時に
内側に曲げられながら図５のように、キャリア3の保持
部材3aをホールディングするようになるので、回動板18
が回動する時、移送部材19の内部に引込まれたキャリア
3が移送部材19から離脱されないようになる。即ち、前
記キャリア3が移送部材19の内部に引込まれた状態で、
シリンダー28に空圧が作用されて挿入されているロッド
28bを進ませば、前記ロッド28bにヒンジ結合されたフィ
ンガー27が回動し、キャリア3の一側保持部材3aをホー
ルディングするようになる。
ダー28が駆動すれば、一対のフィンガー26,27が同時に
内側に曲げられながら図５のように、キャリア3の保持
部材3aをホールディングするようになるので、回動板18
が回動する時、移送部材19の内部に引込まれたキャリア
3が移送部材19から離脱されないようになる。即ち、前
記キャリア3が移送部材19の内部に引込まれた状態で、
シリンダー28に空圧が作用されて挿入されているロッド
28bを進ませば、前記ロッド28bにヒンジ結合されたフィ
ンガー27が回動し、キャリア3の一側保持部材3aをホー
ルディングするようになる。
【００２８】このように、ロッド28bにヒンジ結合され
たフィンガー27がキャリア3の一側保持部材3aに接続さ
れた状態で、シリンダー28が駆動し続ければ、フィンガ
ー27が接続された保持部材3aを保持点としてロッド28b
が続けて引出されるので、シリンダー28の本体28aとヒ
ンジ結合された他の一側のフィンガー26が回動し、図５
のようにキャリア3の又他の一側保持部材3aをホールデ
ィングするようになる。
たフィンガー27がキャリア3の一側保持部材3aに接続さ
れた状態で、シリンダー28が駆動し続ければ、フィンガ
ー27が接続された保持部材3aを保持点としてロッド28b
が続けて引出されるので、シリンダー28の本体28aとヒ
ンジ結合された他の一側のフィンガー26が回動し、図５
のようにキャリア3の又他の一側保持部材3aをホールデ
ィングするようになる。
【００２９】上記した動作によって一対のフィンガー2
6,27が一つのシリンダー28によって連動し、キャリア3
をホールディングしてから回動板18を回動させるための
シリンダー21が駆動するようになる。
6,27が一つのシリンダー28によって連動し、キャリア3
をホールディングしてから回動板18を回動させるための
シリンダー21が駆動するようになる。
【００３０】これによって、回動板18と軸22によって結
合されたレバー24によって直線運動が回動運動によって
切換えられ、回動板18に伝達されるので、前記回動板18
が軸36を中心として90°回動される。前記回動板18が90
°回動された状態でヒーティングチャンバ10の上側に開
閉可能に設けられたシャッタ17が開放されば、移送部材
19にホールディングされていたキャリア3をヒーティン
グチャンバ10の内部に移送させることができるようにな
る。
合されたレバー24によって直線運動が回動運動によって
切換えられ、回動板18に伝達されるので、前記回動板18
が軸36を中心として90°回動される。前記回動板18が90
°回動された状態でヒーティングチャンバ10の上側に開
閉可能に設けられたシャッタ17が開放されば、移送部材
19にホールディングされていたキャリア3をヒーティン
グチャンバ10の内部に移送させることができるようにな
る。
【００３１】前記移送部材19にホールディングされてい
たキャリア3をヒーティングチャンバ10の内部に移送さ
せるための引込み及び引出し手段であるモータ33が駆動
すれば、前記モータ33の動力がタイミングベルト35を介
して伝達され、軸30を回転させるようになるので、該軸
30に固定されたピニオン31が軸30と共に回転するように
なる。
たキャリア3をヒーティングチャンバ10の内部に移送さ
せるための引込み及び引出し手段であるモータ33が駆動
すれば、前記モータ33の動力がタイミングベルト35を介
して伝達され、軸30を回転させるようになるので、該軸
30に固定されたピニオン31が軸30と共に回転するように
なる。
【００３２】このように、ピニオン31が回転されば、該
ピニオン31は移送部材19に固定されたラック32と歯みあ
われ、前記回動板18に引出し式に結合された移送部材19
が回動板18から引出されてヒーティングチャンバ10の内
部に引込まれる。
ピニオン31は移送部材19に固定されたラック32と歯みあ
われ、前記回動板18に引出し式に結合された移送部材19
が回動板18から引出されてヒーティングチャンバ10の内
部に引込まれる。
【００３３】上記したような動作によって移送部材19に
ホールディングされらキャリア3が図７のようにヒーテ
ィングチャンバ10の内部に引込まれ、安着板（図示せ
ず）の上面に載せられてからホールディング手段である
シリンダー28が再駆動して一対のフィンガー26,27を互
いに両側に広げてキャリア3のホールディング状態を解
除するようになる。
ホールディングされらキャリア3が図７のようにヒーテ
ィングチャンバ10の内部に引込まれ、安着板（図示せ
ず）の上面に載せられてからホールディング手段である
シリンダー28が再駆動して一対のフィンガー26,27を互
いに両側に広げてキャリア3のホールディング状態を解
除するようになる。
【００３４】このように、フィンガー26,27がキャリア3
のホールディング状態を解除してからモータ33の再駆動
によってピニオン31が固定された軸30を前記したことと
は反対に回転させるようになるので、該ピニオン31とラ
ック32によって噛合われた移送部材19が上死点まで上昇
されて回動板18の内部に引込まれる。
のホールディング状態を解除してからモータ33の再駆動
によってピニオン31が固定された軸30を前記したことと
は反対に回転させるようになるので、該ピニオン31とラ
ック32によって噛合われた移送部材19が上死点まで上昇
されて回動板18の内部に引込まれる。
【００３５】前記した動作によって引出された移送部材
19が回動板18の内部に引込まれてからは開放されていた
シャッタ17が閉められと共に前記回動板18は初期招待の
ように90°回動するので、新しいキャリア3をヒーティ
ングチャンバ10の内部に移送させるようになる。
19が回動板18の内部に引込まれてからは開放されていた
シャッタ17が閉められと共に前記回動板18は初期招待の
ように90°回動するので、新しいキャリア3をヒーティ
ングチャンバ10の内部に移送させるようになる。
【００３６】一方、モジュールICハンドラーのアンロー
ディング側ローテータは、図８乃至図１２に示されたよ
うに、テストサイト11（図1参照）の引出し側シャッタ
側に回動軸48が設けられ、該回動軸48の上下側にはキャ
リア3の挿入を容易にするために傾斜面50aを有するガイ
ド板50が固定されている。かつ、前記回動軸48駆動手段
によって90°回動し得るようになる。
ディング側ローテータは、図８乃至図１２に示されたよ
うに、テストサイト11（図1参照）の引出し側シャッタ
側に回動軸48が設けられ、該回動軸48の上下側にはキャ
リア3の挿入を容易にするために傾斜面50aを有するガイ
ド板50が固定されている。かつ、前記回動軸48駆動手段
によって90°回動し得るようになる。
【００３７】前記駆動手段は、一端が回動軸48の回転側
48に固定されたレバー51を押すことによって前記ロッド
53aの直線運動がレバー51により回転運動に切換えら
れ、回動板49を回動させる。また、前記回動板49には、
回動する時、キャリア3が回動板49から離脱されないよ
うにホールディング手段が備えられている。
48に固定されたレバー51を押すことによって前記ロッド
53aの直線運動がレバー51により回転運動に切換えら
れ、回動板49を回動させる。また、前記回動板49には、
回動する時、キャリア3が回動板49から離脱されないよ
うにホールディング手段が備えられている。
【００３８】前記ガイド板50の間に移送されたキャリア
3をホールディングするホールディング手段は、図９に
示したように、回動板49に回動可能に設けられ、キャリ
ア3の両側面をホールディングする一対のフィンガー54,
55と、前記一側のフィンガー54に本体56aがヒンジ結合
され、他の一側のフィンガー55にはロッド56bがヒンジ
結合されて一対のフィンガーを同時に曲げるか又は広げ
るシリンダー56とからなる。
3をホールディングするホールディング手段は、図９に
示したように、回動板49に回動可能に設けられ、キャリ
ア3の両側面をホールディングする一対のフィンガー54,
55と、前記一側のフィンガー54に本体56aがヒンジ結合
され、他の一側のフィンガー55にはロッド56bがヒンジ
結合されて一対のフィンガーを同時に曲げるか又は広げ
るシリンダー56とからなる。
【００３９】このように構成された本発明のモジュール
ICハンドラーのアンローディングローテータの作用を説
明すれば、次のとおりである。
ICハンドラーのアンローディングローテータの作用を説
明すれば、次のとおりである。
【００４０】先ず、キャリア3が垂直状態を維持した状
態でテストサイト11内で収容されたモジュールICをテス
トする間には、回動板49が図１１のように、設置板52に
密着され、一対のフィンガー54,55は図９のように互い
に両側に広げている。こういう状態でモジュールICの手
Ｓ津尾が完了されてから、テストサイト11の引出し側シ
ャッタ（図示せず）が開放すると共に移送手段によっ
て、テストサイト内に設けられたガイド板50には外向傾
斜面50aが形成されているので、キャリア3が安定にガイ
ド板50の間に引込まれる。
態でテストサイト11内で収容されたモジュールICをテス
トする間には、回動板49が図１１のように、設置板52に
密着され、一対のフィンガー54,55は図９のように互い
に両側に広げている。こういう状態でモジュールICの手
Ｓ津尾が完了されてから、テストサイト11の引出し側シ
ャッタ（図示せず）が開放すると共に移送手段によっ
て、テストサイト内に設けられたガイド板50には外向傾
斜面50aが形成されているので、キャリア3が安定にガイ
ド板50の間に引込まれる。
【００４１】前記したようにキャリア3が移送手段によ
って、回動板49の内部に引込まれてから移送手段である
スライダーの下部に固定されたセンサ板（図示せず）を
センサが感知するので、キャリア3が回動板の内部に位
置されることをコントロール部が認識するようになる。
って、回動板49の内部に引込まれてから移送手段である
スライダーの下部に固定されたセンサ板（図示せず）を
センサが感知するので、キャリア3が回動板の内部に位
置されることをコントロール部が認識するようになる。
【００４２】その後、ホールディング手段であるシリン
ダー56が駆動すれば、一対のフィンガー54,55が同時に
内側に曲げながら、図１０に示したように、キャリア3
の両側面をホールディングするようになるので、回動板
49の内部に引込まれた状態でシリンダー56に空圧が作用
されて挿入されていたロッド56bを進ませながら該前記
ロッド56bにヒンジ結合されたフィンガー54が回動し、
キャリア3のヒンジ面をホールディングするようにな
る。
ダー56が駆動すれば、一対のフィンガー54,55が同時に
内側に曲げながら、図１０に示したように、キャリア3
の両側面をホールディングするようになるので、回動板
49の内部に引込まれた状態でシリンダー56に空圧が作用
されて挿入されていたロッド56bを進ませながら該前記
ロッド56bにヒンジ結合されたフィンガー54が回動し、
キャリア3のヒンジ面をホールディングするようにな
る。
【００４３】このように、ロッド56bにヒンジ結合され
たフィンガー54がキャリア3の一側面を保持した状態で
シリンダー56の本体56aとヒンジ結合された他の一側の
フィンガー55が回動するので、図１０のようにキャリア
3の一側面をホールディングするようになる。
たフィンガー54がキャリア3の一側面を保持した状態で
シリンダー56の本体56aとヒンジ結合された他の一側の
フィンガー55が回動するので、図１０のようにキャリア
3の一側面をホールディングするようになる。
【００４４】上記したような動作に一対のフィンガー5
4,55が一つのシリンダー56いよって連動し、キャリア3
の両側をホールディングしてから回動板49を回動させる
ためのシリンダー56が駆動するようになる。
4,55が一つのシリンダー56いよって連動し、キャリア3
の両側をホールディングしてから回動板49を回動させる
ためのシリンダー56が駆動するようになる。
【００４５】これによって、回動板49の回動軸48と、固
定されたレバー51によってシリンダーロッド53aの直線
運動が回動運動に切換えて回動板49に伝達されるので、
該回動板49が図１２のように90°回動される。
定されたレバー51によってシリンダーロッド53aの直線
運動が回動運動に切換えて回動板49に伝達されるので、
該回動板49が図１２のように90°回動される。
【００４６】なお、回動板49が図１２のように90°回動
され、回動板49にホールディングされていたキャリア3
がアンローディングポジション13と水平線上に位置づけ
られば、ホールディング手段であるシリンダー56が再駆
動し、キャリア3の両側面をホールディングしていたフ
ィンガー54,55を同時に両側に広げてキャリア3のホール
ディング状態を解除するようになる。
され、回動板49にホールディングされていたキャリア3
がアンローディングポジション13と水平線上に位置づけ
られば、ホールディング手段であるシリンダー56が再駆
動し、キャリア3の両側面をホールディングしていたフ
ィンガー54,55を同時に両側に広げてキャリア3のホール
ディング状態を解除するようになる。
【００４７】前記回動板49内に位置づけられたキャリア
3のホールディング状態を解除し、アンローディングポ
ジション13側に移送させるようになるので、キャリア3
に収容されたモジュールICをテスト結果によって分類
し、顧客トレイ内にアンローディングし得るようにな
る。
3のホールディング状態を解除し、アンローディングポ
ジション13側に移送させるようになるので、キャリア3
に収容されたモジュールICをテスト結果によって分類
し、顧客トレイ内にアンローディングし得るようにな
る。
【００４８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、移送部材
が引出し可能に結合された回動板をシリンダーの駆動に
より90°回動させた状態でキャリアがホールディングさ
れた移送部材をラックとピニオンによる動力伝達でヒー
ティングチャンバの内部まで移送させるので、テストサ
イト側にキャリアを垂直状態に移送させることができ
る。
が引出し可能に結合された回動板をシリンダーの駆動に
より90°回動させた状態でキャリアがホールディングさ
れた移送部材をラックとピニオンによる動力伝達でヒー
ティングチャンバの内部まで移送させるので、テストサ
イト側にキャリアを垂直状態に移送させることができ
る。
【００４９】従って、テストする時、モジュールICのパ
ターンが電気的に接続されるソケットアセンブリをテス
トサイトの外部に露出するように垂直状態に設けること
ができるので、テストするモジュールICのタイプが変形
されるであってもテストサイトでテストソケットを容易
に切換えられるようになる。かつ、キャリアの移送装置
の設置による面積を最小化し得るようになるので、装備
のコンパクト化が可能になる。
ターンが電気的に接続されるソケットアセンブリをテス
トサイトの外部に露出するように垂直状態に設けること
ができるので、テストするモジュールICのタイプが変形
されるであってもテストサイトでテストソケットを容易
に切換えられるようになる。かつ、キャリアの移送装置
の設置による面積を最小化し得るようになるので、装備
のコンパクト化が可能になる。
【００５０】なお、本発明は、テストサイトで垂直状態
を維持させたキャリアを上側に移送させなくてもアンロ
ーディングポジションと水平線上に位置するように90°
回動させるのでキャリアの移送による時間を最小化し得
るようになる。
を維持させたキャリアを上側に移送させなくてもアンロ
ーディングポジションと水平線上に位置するように90°
回動させるのでキャリアの移送による時間を最小化し得
るようになる。
【図１】本発明が適用されたモジュールICハンドラーの
斜視図である。
斜視図である。
【図２】図１の背面斜視図である。
【図３】本発明の要部であるローディング側ローテータ
の斜視図である。
の斜視図である。
【図４】図４は、本発明によるモジュールICハンドラー
のキャリアが移送部材側に移送される前の状態を示した
図面である。
のキャリアが移送部材側に移送される前の状態を示した
図面である。
【図５】図５は、移送部材に載せられたキャリアをフィ
ンガーがホールディングした状態を示した図面である。
ンガーがホールディングした状態を示した図面である。
【図６】図６は、図５のA-A線に沿って切り取った断面
図である。
図である。
【図７】図７は、ホールディングしているキャリアをヒ
ーティングチャンバの内部に移送させた状態の縦断面図
である。
ーティングチャンバの内部に移送させた状態の縦断面図
である。
【図８】本発明の要部であるアンローディング側ローテ
ータの斜視図である。
ータの斜視図である。
【図９】図９は、キャリアが回動板内の内部に移送され
る前の状態を示した図面である。
る前の状態を示した図面である。
【図１０】図１０は、回動板に移送されたキャリアをフ
ィンガーがホールディングした状態を示した図面であ
る。
ィンガーがホールディングした状態を示した図面であ
る。
【図１１】図１１は、図１０のA-A線に沿って切り取っ
た断面図である。
た断面図である。
【図１２】図１２は、回動板内のキャリアがアンローデ
ィングポジションと水平状態を維持するように90°回動
させた状態を示した図面である。
ィングポジションと水平状態を維持するように90°回動
させた状態を示した図面である。
1・・・トレイ 3・・・キャリア 4・・・顧客トレイ 6, 13 ・・・ ローディングポジション及びアンローデ
ィングポジション 8, 12・・・ ローディング側ローテータ、アンローディ
ング側ローテータ 9, 14, 16 ・・・ 第１、２、３の移送手段 10 ・・・ ヒーティングチャンバ 11 ・・・ テストサイト 17 ・・・ ヒーティングチャンバのシャッタ 18, 49・・・回動板 20, 52 ・・・ 設置板 21, 28，56・・・シリンダー 21a, 28b, 53a, 56b ・・・ ロッド 22, 30, 36 ・・・ 軸 23・・・ブラケット 24, 51 ・・・ レバー 25・・・ ガイダ 26、27, 53, 54・・・フィンガー 28a, 56a ・・・ 本体 29 ・・・ ガイドレール 31 ・・・ ピニオン 32 ・・・ ラック 33 ・・・ モータ 34a, 34b ・・・ プーリ 35・・・タイミングベルト 40,43,44・・・駆動手段 48 ・・・ 回動軸 50 ・・・ ガイド板
ィングポジション 8, 12・・・ ローディング側ローテータ、アンローディ
ング側ローテータ 9, 14, 16 ・・・ 第１、２、３の移送手段 10 ・・・ ヒーティングチャンバ 11 ・・・ テストサイト 17 ・・・ ヒーティングチャンバのシャッタ 18, 49・・・回動板 20, 52 ・・・ 設置板 21, 28，56・・・シリンダー 21a, 28b, 53a, 56b ・・・ ロッド 22, 30, 36 ・・・ 軸 23・・・ブラケット 24, 51 ・・・ レバー 25・・・ ガイダ 26、27, 53, 54・・・フィンガー 28a, 56a ・・・ 本体 29 ・・・ ガイドレール 31 ・・・ ピニオン 32 ・・・ ラック 33 ・・・ モータ 34a, 34b ・・・ プーリ 35・・・タイミングベルト 40,43,44・・・駆動手段 48 ・・・ 回動軸 50 ・・・ ガイド板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジョン・ウォン・キム 大韓民国、キュンキ−ド、ソンナム−シ、 ブンダン−ク、クミ−ドン、ロッテ・スン キュン・アパートメント 402−306 (72)発明者 ヒー・ソー・キム 大韓民国、キュンキ−ド、クンポ−シ、サ ンボン−ドン、ウールク・アパートメント 706−1602 (72)発明者 ヤング・ハク・オウ 大韓民国、キュンキ−ド、ソンナム−シ、 ブンダン−ク、ジュンジャ−ドン、アパー トメント 402−304 (72)発明者 ドン・チュン・リー 大韓民国、ソウル、マポ−ク、ヨンナム− ドン、493−21
Claims (9)
- 【請求項１】 ヒーティングチャンバのシャッタの上
側に回動可能に設けられた回動板と、該回動板を90°回
動させる駆動手段と、テストするモジュールICが収容さ
れたキャリアが挿入され、回動板に引き出すことができ
るように設けられた移送部材と、該移送部材に設けられ
て挿入されたキャリアをホールディングするか又はこれ
を解除するホールディング手段と、前記移送部材を回動
板の内部に引き込ませるか又は引き出させる引込み及び
引出し手段と、からなるローディング側ローテータと、 テストサイトの引き出し側のシャッタ一側に軸を中心と
して回動可能に設けられた回動板と、該回動板を90°回
動させる駆動手段と、該回動板に設けられてキャリアを
ホールディングするか又はこれを解除するホールディン
グ手段と、から構成されることを特徴とするモジュール
ICハンドラーのローテータ。 - 【請求項２】 前記ローディング側ローテータの駆動手
段は、設置板に一端がヒンジ結合され、ロッドは回動板
と固定されている軸にヒンジ結合されたシリンダーと、 該シリンダーのロッドがヒンジ結合された軸に一端が固
定され、他の一端はブラケットにヒンジ結合されたレバ
ーと、から構成されることを特徴とする請求項１に記載
のモジュールICハンドラーのローテータ。 - 【請求項３】 前記ローディング側ローテータの移送部
材は、ガイドレールによって引き出し式に結合され、そ
の入り口の両側には傾斜面を有するガイダが設けられる
ことを特徴とする請求項１に記載のモジュールICハンド
ラーのローテータ。 - 【請求項４】 前記ローディング側ローテータのホール
ディング手段は、移送部材に回動可能に設けられてキャ
リアの保持部材をホールディングする一対のフィンガー
と、 前記一側のフィンガーに本体がヒンジ結合され、他の一
側のフィンガーにはロッドがヒンジ結合されてフィンガ
ーを同時に曲げるか又は広げるようにするシリンダー
と、から構成されることを特徴とする請求項１に記載の
モジュールICハンドラーのローテータ。 - 【請求項５】 前記ローディング側ローテータの引込み
及び引出し手段は、回動板の一側に回転可能に設けられ
た軸と、 該軸に固定された一対のピニオンと、 前記移送部材の底面両側に固定されて噛合われたラック
と、 前記軸を時計の回転方向又は時計の逆回転方向に回転さ
せる動力伝達手段と、から構成されることを特徴とする
請求項１に記載のモジュールICハンドラーのローテー
タ。 - 【請求項６】 前記動力伝達手段は、回動板に固定され
たモータと、 前記モータのモータ軸に固定されたプーりと軸の一端に
固定されたプーりとの間に取り巻かれてモータの動力を
軸に伝達するタイミングベルトと、から構成されること
を特徴とする請求項5に記載のモジュールICハンドラー
のローテータ。 - 【請求項７】 前記アンローディング側ローテータの回
動板は、該回動板の上下側に外向傾斜面を有するガイド
板が固定されることを特徴とする請求項１に記載のモジ
ュールICハンドラーのローテータ。 - 【請求項８】 前記アンローディング側ローテータの駆
動手段は、一端が回動板の回転軸に固定されたレバー
と、 一端が設置板にヒンジ結合され、ロッドはレバーの他の
一端とヒンジ結合されて回動板を回動させるシリンダー
と、から構成されることを特徴とする請求項１に記載の
モジュールICハンドラーのローテータ。 - 【請求項９】 前記アンローディング側ローテータのホ
ールディング手段は、回動板に回動可能に設けられ、キ
ャリアの両側面をホールディングする一対のフィンガー
と、 前記一側のフィンガーに本体がヒンジ結合され、他の一
側のフィンガーにはロッドがヒンジ結合され、一対のフ
ィンガーを同時に曲げるか又は広げるようにするシリン
ダーと、から構成されることを特徴とする請求項１に記
載のモジュールICハンドラーのローテータ。
Applications Claiming Priority (4)
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|---|---|---|---|
| KR1998-51508 | 1998-11-28 | ||
| KR1998-51509 | 1998-11-28 | ||
| KR1019980051509A KR100287554B1 (ko) | 1998-11-28 | 1998-11-28 | 모듈아이씨핸들러의언로딩측로테이터 |
| KR1019980051508A KR100287555B1 (ko) | 1998-11-28 | 1998-11-28 | 모듈아이씨핸들러의로딩측로테이터 |
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|---|---|
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Family
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|---|---|---|---|
| JP11338254A Expired - Fee Related JP3089011B2 (ja) | 1998-11-28 | 1999-11-29 | モジュールｉｃハンドラーのローテータ |
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| Country | Link |
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| CN100586457C (zh) * | 2006-12-25 | 2010-02-03 | 李明亮 | 一种治疗四肢关节痛、骨质增生的中药胶囊 |
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| TW371347B (en) * | 1995-12-27 | 1999-10-01 | Advantest Corp | Structure of rotary arm and device chuck part of a device handler |
| US5944475A (en) * | 1996-10-11 | 1999-08-31 | Asyst Technologies, Inc. | Rotated, orthogonal load compatible front-opening interface |
| JP3689215B2 (ja) * | 1997-02-20 | 2005-08-31 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体デバイスのテスト用搬送装置 |
| JP3591679B2 (ja) * | 1997-04-17 | 2004-11-24 | 株式会社アドバンテスト | Ｉｃ用トレイ取出装置及びｉｃ用トレイ収納装置 |
| KR100251625B1 (ko) * | 1997-12-27 | 2000-04-15 | 정문술 | 모듈아이씨(ic)용핸들러의모듈ic홀딩장치 |
-
1999
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- 1999-11-29 CN CN99125215A patent/CN1117391C/zh not_active Expired - Fee Related
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