JP2000107713A - ディスク用カセットの洗浄装置 - Google Patents

ディスク用カセットの洗浄装置

Info

Publication number
JP2000107713A
JP2000107713A JP10281790A JP28179098A JP2000107713A JP 2000107713 A JP2000107713 A JP 2000107713A JP 10281790 A JP10281790 A JP 10281790A JP 28179098 A JP28179098 A JP 28179098A JP 2000107713 A JP2000107713 A JP 2000107713A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cassette
cleaning
tank
brush
cleaning tank
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP10281790A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3448602B2 (ja
Inventor
Toshiharu Tachibana
敏晴 橘
Kazuo Kuribayashi
和生 栗林
Hiroshi Hiroi
洋 広井
Mamoru Ogawa
守 小川
Yoshinori Saito
喜則 斎藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tamagawa Machinery Co Ltd
Original Assignee
Tamagawa Machinery Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tamagawa Machinery Co Ltd filed Critical Tamagawa Machinery Co Ltd
Priority to JP28179098A priority Critical patent/JP3448602B2/ja
Publication of JP2000107713A publication Critical patent/JP2000107713A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3448602B2 publication Critical patent/JP3448602B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Cleaning In General (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ディスク用カセットの自動洗浄を可能し、洗
浄効果に優れたディスク用カセットの洗浄装置を提供す
る。 【解決手段】 複数のディスク6が収納可能で上下が開
口したカセット1を洗浄する。回転ブラシ31,37,47を
備えたブラシ洗浄槽12と、このブラシ洗浄槽12で処理し
たカセット1を超音波洗浄する超音波洗浄槽14と、この
超音波洗浄槽14で超音波洗浄したカセット1を濯ぐ濯ぎ
槽15と、この濯ぎ槽15で濯いたカセット1を乾燥する乾
燥装置17とを設ける。それらブラシ洗浄槽12,超音波洗
浄槽14,濯ぎ槽15,乾燥装置17に順次カセット1を移送
する搬送装置21とを備える。ブラシ洗浄槽12で回転ブラ
シ31,37,47により洗浄され、超音波洗浄槽14で超音波
洗浄され、濯ぎ槽15で濯がれ、乾燥装置17により乾燥さ
れ、一連の洗浄及び乾燥を自動化できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明が属する技術分野】本発明は、ディスクを収納し
て運搬等に使用するディスク用カセットの洗浄装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】コンピュータのメモリ基板として使用さ
れるアルミニウム製及び硝子製のディスクの運搬には、
合成樹脂製のカセットが使用され、これの一例を図28
及び図29に示すと、カセット1は左,右の側板2,2
と前,後の側板3,3とを有し、前後の側板3,3には
略U字状の切欠開口部4が設けられ、前記左,右の側板
2,2は下部側が幅狭に形成され、それら左右の側板
2,2の内面には、縦方向の溝5が前後に並んで複数形
成され、これら溝5の下部側は内側に向かう円弧状をな
している。そして、前記溝5にディスク6を挿入して係
合支持し、図示しない上蓋によりカセット1の上部開口
7及び切欠開口部4を閉成すると共に、図示しない下蓋
によりカセット1の下部開口8を閉成し、複数のディス
ク6を収納したカセット1を運搬する。
【0003】そして、上記のようなカセット1は繰り返
し使用されるため、カセット1が汚れると、内部に収納
するディスク6にごみ等が付着し、ディスク6の清浄性
が低下する問題があり、このため、従来では、手作業に
よりカセット1の洗浄が行われていた。しかし、手作業
によるものであるため、能率が劣ると共に、均一な清浄
性が得られないという問題がある。
【0004】一方、カセット1の洗浄が手作業で行われ
ているのに対して、上記のディスク6等では、それ自体
の洗浄を行うために各種の洗浄装置が開発されている。
例えば、実公平4−22411号公報には、ディスク形
の被洗浄物を洗浄するために、最も供給口側に位置する
洗浄槽は、洗浄液として洗剤を使用し、ヒータで加熱し
た洗剤中に被洗浄物を浸漬揺動させながら超音波洗浄
し、2番目の洗浄槽は、ブラシによって被洗浄物を洗浄
するスクラバ洗浄槽とし、3番目の洗浄槽は、純水を使
用し、これに被洗浄物を浸漬揺動させることによってそ
の洗浄を行い、4番目の洗浄槽は、有機溶剤中に被洗浄
物を浸漬して揺動させながら超音波洗浄し、5番目の洗
浄槽は、有機溶剤を使用して浸漬揺動する洗浄槽であ
り、6番目の洗浄槽は、有機溶剤の蒸気を使用する蒸気
槽(公報第4欄第21〜37行)となっており、前記2番目
の洗浄槽は、ブラシに水を供給するスプレー管を備えて
いる(公報第5欄第23〜24行)。
【0005】また、同様にディスク6等を洗浄する洗浄
装置として、特開昭63−86177号公報には、ワー
クをエアチャックにより保持可能なターンテーブルをモ
ータ等の駆動源により駆動回転自在に配置し、該ターン
テーブルの上方に、ワークに洗浄液を噴射する少なくと
も1つの洗浄用ノズルと、乾燥ガスを噴射する乾燥用ノ
ズルとを、ワークの半径方向へ経時的に変位可能に配設
(公報特許請求の範囲)する洗浄装置が提案され、この
洗浄装置では、乾燥用ノズルからの窒素ガスの噴射とタ
ーンテーブルの高速回転に伴なう遠心力とによるスピン
乾燥(公報第3頁右上欄第13〜15行)を行う。
【0006】これらのようにディスクの洗浄装置は多数
開発され、洗浄の自動化が図られているが、上記のよう
にカセット1は手作業による洗浄が行われているため、
否能率的であった。また、仮に上記のディスクの洗浄装
置をそのままカセットの洗浄に用いようとしても、カセ
ットはディスクとは形状が大きく異なるため、十分な洗
浄効果を得ることができない。
【0007】また、上記実公平4−22411号公報の
洗浄装置のように、ブラシに水を供給しながら洗浄する
ものでは、汚れを含んだ水が飛散して被洗浄物の残る虞
があると共に、ノズルから供給する水だけでは被洗浄物
の一部が空気に触れるため、静電気等により被洗浄物に
汚れが付着する虞がある。
【0008】そこで、本発明は、ディスク用カセットの
自動洗浄を可能し、洗浄効果に優れたディスク用カセッ
トの洗浄装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、複数
のディスクが収納可能で上下が開口したカセットを洗浄
する洗浄装置において、前記カセットを洗浄する回転ブ
ラシを備えたブラシ洗浄槽と、このブラシ洗浄槽で処理
したカセットを超音波洗浄する超音波洗浄槽と、この超
音波洗浄槽で超音波洗浄したカセットを濯ぐ濯ぎ槽と、
この濯ぎ槽で濯いたカセットを乾燥する乾燥装置と、前
記ブラシ洗浄槽,超音波洗浄槽,濯ぎ槽,乾燥装置に順
次前記カセットを移送する搬送装置とを備えるものであ
る。
【0010】この請求項1の構成によれば、移送手段に
よりカセットがブラシ洗浄槽,超音波洗浄槽,濯ぎ槽,
乾燥装置に順次移送され、カセットは、ブラシ洗浄槽で
ブラシにより洗浄され、超音波洗浄槽で超音波洗浄さ
れ、濯ぎ槽で濯がれ、乾燥装置により乾燥され、一連の
洗浄及び乾燥を自動化できる。
【0011】また、請求項2の発明は、前記回転ブラシ
を洗浄液中に配置したものである。この請求項2の構成
によれば、カセットを洗浄液中で洗浄するから、回転ブ
ラシによる洗浄中にカセットが空気に触れることがな
く、汚れた洗浄液が飛散して部分的にカセットに付着し
たり、静電気により空気中のごみが付着することがな
い。
【0012】さらに、請求項3の発明は、ブラシ洗浄槽
は、前記カセットの側面を洗浄する回転ブラシと、前記
カセットの開口部の縁を洗浄する回転ブラシと、前記カ
セットの内部を洗浄する回転ブラシを備えるものであ
る。
【0013】この請求項3の構成によれば、各回転ブラ
シにより、カセットの開口部の縁と内面等を効果的に洗
浄する。
【0014】また、請求項4の発明は、前記乾燥装置
が、前記カセットを回転して乾燥するスピン乾燥機であ
る。
【0015】この請求項4の構成によれば、カセットを
回転し、その遠心力でカセットの乾燥を行なうことがで
きる。
【0016】
【発明の実施形態】以下、本発明の実施例を添付図面を
参照して説明する。図1ないし図26は本発明の第1実
施例を示し、上記従来例で説明した部位には同一符号を
付して説明すると、図1及び図2等に示すように、洗浄
装置の後側である搬入側には搬入装置11が設けられ、こ
の搬入装置11から前側である搬出側に向かって、ブラシ
洗浄槽12と、第1仮置き台13と、超音波洗浄槽14と、濯
ぎ槽15と、第2仮置き台16と、乾燥装置17と、搬出装置
18とが並んで設けられている。また、カセット1の搬送
装置21は、前記搬入装置11から送られてきたカセット1
を前記ブラシ洗浄槽12を経て第1仮置き台13に搬送する
第1搬送機22と、カセット1を第1仮置き台13から超音
波洗浄槽14と濯ぎ槽15とを経て第2仮置き台16に搬送す
る第2搬送機23と、カセット1を第2仮置き台16から乾
燥装置17を経て搬出装置18に搬送する第3搬送機24とを
備える。尚、前記各搬送機22,23,24は、いずれも上下
を反転した前記カセット1を2個ずつ搬送するものであ
る。
【0017】図3乃至図5に示すように、前記ブラシ洗
浄槽12は、搬入側に左右一対の側面用回転ブラシ31,3
1,31,31が左右にそれぞれ配置され、これら対をなす
側面用回転ブラシ31,31はカセット1の搬送方向に沿っ
て設けられると共に、前記側面用回転ブラシ31は前記カ
セット1の前後長さより長く形成され、その回転中心軸
31Aを軸受32によりブラシ洗浄槽12の後壁12Uに軸支
し、該回転中心軸31Aの端部に従動ベルト車33を設け、
一対の従動ベルト車33,33に掛装した伝達ベルト34を、
回転駆動手段たるモータ35の駆動ベルト車36に掛装し、
前記モータ35の回転により対をなす前記側面用回転ブラ
シ31,31を回転するようになっている。また、前記側面
回転ブラシ31の前部下方には、左右方向の上縁用回転ブ
ラシ37,37が左右に設けられ、これら上縁用回転ブラシ
37,37の回転中心軸37A,37Aは、ブラシ洗浄槽12の左
右の軸受38,38により軸支され、回転駆動手段たるモー
タ38の回転により回転駆動する。また、左右の上縁用回
転ブラシ37,37の内端は、連結部材39により連結されて
いる。
【0018】前記ブラシ洗浄槽12の前後方向中央側に
は、平板状のスポンジからなる摺動洗浄体41が左右に配
置されており、前記ブラシ洗浄槽12の底壁12Tに前後一
対の支持杆42,42を立設し、これら支持杆42,42の上部
にベース板43を設け、このベース板43と押え板44との間
に前記摺動洗浄体41を挟着し、この摺動洗浄体41は、前
記ベース板43及び押え板44より前後左右に幅広に形成さ
れ、かつ前記カセット1の下部開口8より大きく形成さ
れ、さらに、前記ベース板43及び押え板44は前記カセッ
ト1の下部開口8を通過可能な大きさに形成されてい
る。また、前記ブラシ洗浄槽12内には、洗浄液45を加熱
する加熱手段たるヒータ46が配設され、このヒータ46に
よりブラシ洗浄槽12の洗浄液45が所定の温度に加熱され
るようになっている。尚、洗浄液45としてはこの例で
は、純水を供給している。
【0019】前記ブラシ洗浄槽12の前部には、左右に内
部用回転ブラシ47が前後方向に配置され、この内部用回
転ブラシ47は、カセット1より前後方向に長く形成され
ており、内部用回転ブラシ47の回転中心軸47Aがブラシ
洗浄槽12の前に設けた軸受48により軸支され、回転駆動
手段たるモータ49により回転する。尚、図4及び図5に
示すように、前記ブラシ洗浄槽12において、回転ブラシ
31,37,47は洗浄液45中に没し、前記摺動洗浄体41の上
面は洗浄液45の液面45Aとほぼ同一高さとなり、洗浄液
45に没している。また、前記仮置き台13,16には、該仮
置き台13,16を昇降する昇降手段50,50がそれぞれ設け
られている。
【0020】前記第1搬送機22は、図6に示すように、
L形の移動体51を有し、この移動体51は前記ブラシ洗浄
槽12の側面に沿って移動可能に立設された縦杆52と、こ
の縦杆52に沿って昇降可能に設けられた左右方向の横杆
53とを有し、この横杆53に前記カセット1の下部を左右
から挟むエアーチャック54,54を前後に設け、このエア
ーチャック54は開閉手段たるエアーシリンダ54Aにより
開閉する。すなわち横杆53の左右にはぞれぞれ前後に2
つのエアーチャック54,54が設けられ、前後2つのエア
ーチャック54,54により、カセット1の前後を挟持して
搬送する。また、前記縦杆52は図示しない移動手段によ
り前後に移動すると共に、横杆53は図示しない昇降手段
により昇降する。前記横杆52の後部には、スポンジ等か
らなる洗浄摺動体55が設けられ、この摺動洗浄体55は前
記カセット1の下部開口8側に摺動する。
【0021】前記ブラシ洗浄槽12における処理工程は、
コンピュータ等の制御手段56にあらかじめ組み込まれた
プログラムにより行なわれ、まず、後述するように搬入
装置11により2個のカセット1,1が受渡し台57に送ら
れ、この受渡し台57上のカセット1,1に向かって移動
体51が水平移動し、横杆53がカセット1,1の上方位置
で停止し、エアーチャック54がカセット1の下部を挟持
する。この場合、横杆53の後部に設けた洗浄摺動体55が
カセット1の下部開口8の汚れを除去する。図5に示す
ように、移動体51の移動により、横杆53が側面用回転ブ
ラシ31の上部まで移動し、さらに、第1の深さD1まで
降下する。この第1の深さD1は、カセット1の上部開
口7が側面用回転ブラシ31の軸中心高さより低く、前記
上縁用回転ブラシ37に接触しない位置であり、第1の深
さD1で所定時間停止し、回転駆動する側面用回転ブラ
シ31,31により、カセット1の上部開口7の側面側が洗
浄される。この場合、前記所定時間の間に回転ブラシ3
1,31を正逆回転することができる。この後、移動体51
が降下してカセット1が第2の深さD2まで降下し、こ
の第2の深さD2は、カセット1の上部開口7が上縁用
回転ブラシ37に当たる位置である。尚、図5は、カセッ
ト1の上部開口7の移動を示している。第2の深さD2
まで降下した後、横杆53が前方に平行移動し、この間
に、回転する上縁用回転ブラシ37によりカセット1の上
縁側の洗浄が行なわれる。また、側面用回転ブラシ31は
回転を継続しているから、移動体51の前方移動の間に側
板2,2の洗浄が行なわれる。カセット1の後側の側板
3が上縁回転ブラシ37まで移動したら、移動体51が上昇
し、カセット1が洗浄液45の液面45Aより上に上昇す
る。この上昇後、移動体51によりただちにカセット1が
前方に移送され摺動洗浄体41の上方で停止し、次いで洗
浄液45中に降下し、下部開口8が摺動洗浄体41位置まで
降下した後、カセット1が液面45A上に上昇し、この降
下と上昇の際、摺動洗浄体41がカセット1の内面に摺動
し、特に下部開口8側の内面が効果的に洗浄される。移
動体51の上昇により、カセット1が液面45A上に上昇し
た後、前方に移送され、内部用回転ブラシ47の上方まで
来て停止し、回転する内部用回転ブラシ47位置までカセ
ット1が降下して、回転する内部用回転ブラシ47により
内部の洗浄が行われ、カセット1はこの位置で所定時間
停止し、この所定時間の略2分の1が経過した後、回転
ブラシ47の回転が逆転して洗浄が行われ、移動体51によ
りカセット1が液面45A上に上昇、前方に平行移動して
第1仮置き台13上まで移動して停止する。この時、図5
の実線に示すように、第1仮置き台13は降下位置にあ
り、昇降手段50により第1仮置き台13はカセット1を載
置する位置まで上昇し、前記エアーチャック54が開き、
この後、移動体51が次のカセット1を受け取るために、
受渡し台57の位置まで平行に後退し、上述した工程を制
御手段56による制御により繰り返す。
【0022】前記第1仮置き台13の前方には、図8及び
図9に示すように、前記超音波洗浄槽14と濯ぎ槽15とが
並んで設けられている。前記超音洗浄槽14内の下部に
は、超音波振動発生手段61が設けられ、また、前記濯ぎ
槽15の内部には、加熱手段たるヒータ62が設けられ、こ
のヒータ62により濯ぎ槽15の洗浄液45の温度を40〜6
0°C、好ましくは50°C程度に加熱するようになっ
ている。
【0023】前記第2搬送機23は、前記第1搬送機22と
ほぼ同一構成であり、L形の移動体51Aを有し、この移
動体51Aは超音波洗浄槽14と濯ぎ槽15の側面に沿って移
動可能に立設された縦杆52Aと、この縦杆52Aに昇降可
能に設けられた左右方向の横杆53Aとを有し、横杆53A
の左右に1つずつ前記エアーチャック54を設けており、
1つのカセット1を1つのエアーチャック54により挟持
して搬送する。
【0024】前記超音波洗浄槽14と濯ぎ槽15における処
理工程も、前記制御手段56の制御により行われ、前記第
1仮置き台13上に搬送されたカセット1を、前記チャッ
ク54が挟持した後、第1仮置き台13が昇降手段50により
降下し、移動体51Aが前方に水平移動して超音波洗浄槽
14の上部で停止して降下し、超音波洗浄槽14内の洗浄液
45中にカセット1を漬け、この位置で所定時間停止し、
超音波振動による洗浄が行われる。次に、移動体51Aが
上昇し、カセット1を液面45Aの上方まで移送した後、
前方の濯ぎ槽15まで平行移動し、降下し、カセット1を
濯ぎ槽15の洗浄液45に漬ける。カセット1を数秒間濯ぎ
槽15の洗浄液45に漬けた後、移動体51Aが上昇、平行移
動し、第2仮置き台16上まで移動して停止し、この時、
第2仮置き台16は降下位置にあり、昇降手段50により第
2仮置き台16はカセット1を載置する位置まで上昇し、
この後、前記エアーチャック54が開き、移動体51Aは次
のカセット1を受け取るために第1仮置き台13の位置ま
で平行に後退し、上述した工程を制御手段56による制御
により繰り返す。
【0025】尚、第1搬送機22が受渡し台57からカセッ
ト1を受け取るタイミングと、第2搬送機23が第1仮置
き台13からカセット1を受け取るタイミングとはほぼ同
一であり、また、第1搬送機22が第1仮置き台13にカセ
ット1を置くタイミングと、第2搬送機23が第2仮置き
台16にカセット1を置くタイミングとはほぼ同一であ
る。
【0026】図9等に示すように、前記濯ぎ槽15の前側
には、洗浄水45を供給する流入管71が接続され、また、
濯ぎ槽15の側壁上部に流出口72を形成し、この流出口72
から流出する洗浄液45を受ける受枡72Aを設け、この受
枡72Aの底部にオーバーフロー管73の一端を接続し、こ
の一端より低い位置で該オーバーフロー管73の他端を前
記超音波洗浄槽14に接続し、この超音波洗浄槽14の側壁
上部に流出口74を形成し、この流出口74から流出する洗
浄液45を受ける受枡74Aを設け、この受枡74Aの底部に
オーバーフロー管75の一端を接続し、この一端より低い
位置で該オーバーフロー管75の他端を前記ブラシ洗浄槽
12に接続し、このブラシ洗浄槽12の後側の側壁上部に流
出口76を形成し、この流出口76から流出する洗浄液45を
受ける受枡76Aを設け、この受枡76Aの底部にオーバー
フロー管77の一端を接続している。
【0027】そして、濯ぎ槽15の液面45Aが超音波洗浄
槽14の液面45Aより高くなるように、流出口72は流出口
74より高い位置にあり、超音波洗浄槽14の液面45Aがブ
ラシ洗浄槽12の液面45Aより高くなるように、流出口74
は流出口76より高い位置にある。
【0028】したがって、流入管71から純水などの洗浄
液45を濯ぎ槽15に供給すると、洗浄液45はオーバーフロ
ー管73を通って超音波洗浄槽14に送られ、この超音波洗
浄槽14からオーバーフロー管75を通ってブラシ洗浄槽12
に送られ、このブラシ洗浄槽12のオーバーフロー管77に
送られ、洗浄液45が排水される。
【0029】前記第2仮置き台16の前方には、図9乃至
図15に示すように、前記乾燥装置17が設けられてい
る。この乾燥装置17は、箱型のケース本体81を有し、こ
のケース本体81の左右に前後方向のスピン回転軸82,82
を配置し、このスピン回転軸82はケース本体81の前後に
設けた前,後軸受83,84により回転可能に軸支されてい
る。前記スピン回転軸82の前後に円板85,85Aを固着
し、これら円板85,85Aの間隔は、前記カセット1の前
後幅より広く、前記カセット1を挿入可能な幅に設定さ
れており、それら円板85,85A間にはカセット回転軸86
が回転可能に設けられ、このカセット回転軸86に、前記
カセット1を載置するコ字型のブラケット87を設け、こ
のブラケット87の左右に、カセット1の左右の側板2,
2を挟む腕部87A,87Aを立設し、前記カセット回転軸
86を回転することにより、ブラケット87により保持した
カセット1の下部開口8を前記スピン回転軸82の外側に
向ける。前記円板85,85Aには、外側に向けたカセット
1の下部開口8が押さえる押え部88,88が前後に設けら
れ、これら押え部88,88はカセット1の前後の側板3,
3の下縁側に係止する。尚、前記カセット回転軸86は、
前記押え部88,88と前記スピン回転軸82との間に配置さ
れている。また、図11に示すブラケット87の位置が,
カセット受取位置であり、このカセット受取位置の上方
においてケース本体81に後述する開口部が形成されてい
る。
【0030】前記カセット回転軸86の前端は、前記円板
85より前方に突出し、この突出したカセット回転軸86の
前端に、回転アーム89を固着し、この回転アーム89の外
端側にローラ90を設け、このローラ90に係合して前記回
転アーム89を揺動するレバー91を備え、このレバー91
は、前記ケース本体81に軸支された前後方向のカセット
回転駆動軸92に固着されている。前記ケース本体81の前
壁内面には、カセット回転駆動手段たるエアーシリンダ
93の上端が回転可能に軸着され、このエアーシリンダ93
の伸縮杆93Aの先端が、連結部材94に設けた連結軸94A
に連結され、その連結部材94は前記カセット回転駆動軸
92に固着されている。そして、前記エアーシリンダ93が
収縮した状態では、図13に示すように、前記レバー91
の先端は上向きをなし、前記エアーシリンダー93が伸長
すると、レバー91の先端が前記ローラ90に係合して該ロ
ーラ90を下方に押し下げ、カセット回転軸86を回転して
前記ブラケット87を略90度外向きに回動し、図14に
示すように、レバー91は、ローラ90から離れ、該ローラ
90の下方位置まで回転する。エアーシリンダ93が最大に
伸長した状態では、前記レバー91の先端は下向きにな
る。この状態からエアーシリンダ93が収縮すると、レバ
ー91の先端がローラ90の下部に係合してローラ90を上方
に押し上げ、カセット回転軸86を回転して前記ブラケッ
ト87が水平状態に復帰する。
【0031】また、前記ブラケット87を水平状態と90
度外向き状態とに位置固定する位置固定手段101が設け
られ、この位置固定手段手段101は、ガススプリング102
の一端を前記回転アーム89の内端側に回動可能に連結す
ると共に、該ガススプリング102の他端を回転円板85A
の外側に回動可能に連結してなり、前記ガススプリング
102は、図15(A)に示す前記ブラケット87の水平状
態と、図15(B)に示す90度外向き状態とのほぼ中
間で、最大に収縮するように設定されており、また、ガ
ススプリング102は前記ブラケット87の水平状態と90
度外向き状態とでさらに伸長する付勢力を有する。尚、
必要に応じて、前記ブラケット87に係合して該ブラケッ
ト87の回動範囲を規制するストッパー(図示せず)を、
前記円板85,85A等に設けることができる。前記スピン
回転軸82の外端には従動輪95が設けられ、回転駆動手段
たるモータ96に駆動輪97を設け、前記駆動輪95と従動輪
97とに伝達索条98が掛装されている。尚、前記スピン回
転軸82前記円板85,85A、カセット回転軸86、このカセ
ット回転軸86に設けられた前記ブラケット87及び円板8
5,85Aに一体に設けられた前記押え部88により、回転
体99を構成している。また、前記ブラケット87及び押え
部88により、カセット1をスピン回転軸82に回転中心の
周囲に保持する保持手段100を構成している。
【0032】また、前記スピン回転軸82には、前記ブラ
ケット87の他方に複数のウエート103が設けられてい
る。さらに、前記ケース本体81の上面には、前記カセッ
ト受取位置に対応して、左右に開口部104,104が設けら
れ、これら開口部104,104を開閉するスライド開閉板10
5,105を設け、これらスライド開閉板105は図示しない
開閉手段により左右方向外側にスライドして前記開口部
104,104を開閉するものである。
【0033】前記乾燥装置17における処理工程も、前記
制御手段56の制御により行われ、濯ぎ処理後のカセット
1を第3搬送機24が乾燥装置17に移送し、カセット1を
水平状態のブラケット87の上に載置すると、エアーシリ
ンダ93が伸長し、レバー91とローラ90との係合によりカ
セット回転軸86が回転し、ブラケット87に支持されたカ
セット1がケース本体81の中央側に倒れるようにして略
90度回転し、カセット1の下部開口8側が前後の押え
部88,88に係合する。この状態で、ガススプリング102
の付勢によりカセット1の向きが保たれる。すなわち、
ブラケット87がガススプリング102の弾発力により保持
されている。そして、スライド板105が閉まった後に、
モータ96が回転し、カセット1が高速回転することによ
り、付着していた洗浄液45が遠心力により吹き飛ばされ
る。また、モータ96の回転切替により、スピン回転軸82
は一側方向に回転した後、他側方向に回転し、洗浄液45
をむらなく吹き飛ばすことができる。特に、このカセッ
ト1は上部開口7より下部開口8が狭く形成され、上部
から下部に絞られた形状であり、スピン回転軸82の外側
にその狭い方である下部開口8を向けて回転することに
より、溝5の有るカセット1の内部の洗浄液45を効果的
に吹き飛ばすことができる。このように一側方向と他側
方向の回転を終了した後、スピン回転軸82は、ブラケッ
ト87がカセット受取位置になる位置で停止する。停止
後、エアーシリンダ93が収縮し、ブラケット87が水平状
態となり、カセット1が元の向きに復帰する。この状態
で、ガススプリング102の付勢によりカセット1の姿勢
が保たれる。そして、スピン回転軸82の回転が停止した
後、スライド板105が開き、第3搬出機23がブラケット8
7上のカセット1をケース本体81の外部に移送する。
【0034】前記第3搬送機23は、移動体51Bを有し、
この移動体51Bは前記乾燥装置17の側面に沿って前後方
向移動可能に設けられた本体51Bと、この本体51Bにそ
れぞれ昇降可能に設けられた略L型の後側,前側昇降体
111,112とを有し、これら昇降体111,112の横杆111
A,112Aの左右に、前記エアーチャック54を1つずつ
設けており、1つのカセット1を1つのエアーチャック
54により挟持して搬送する。
【0035】前記乾燥装置17の前方には前記搬出装置18
が設けられ、この搬出装置18は、図1及び図16に示す
ように、受渡し装置121と搬出側コロコンベヤ122と有
し、前記受渡し装置121は、前記乾燥装置17により乾燥
したカセット1を前記前側昇降体112から受取り、前記
搬出側コロコンベヤ122に受け渡す。前記受渡し装置121
は、図2に示すように、前後左右にカセット載置部12
3,123,123,123を一体に有し、これら載置部123,12
3,123,123を昇降及び前後に移動する移動手段124を備
える。また、前記受渡し装置121から、カセット1を受
け取る載置枠125,125が乾燥装置17を搬出側コロコンベ
ヤ122との間に設けられており、この載置枠125,125の
上に前記カセット1,1が載置される。
【0036】前記第3搬送機24及び搬出装置18の動作
も、前記制御手段56の制御により行われる。乾燥装置17
によりカセット1の乾燥が終了してケース本体81内にカ
セット1がある状態での動作を説明すると、第1搬送機
22及び第2搬送機23が受渡し台57及び第1仮置き台13に
後退する動作とほぼ同時に、第3搬送機24の移動体51B
が後方に移動し、後側昇降体112が第2仮置き台16の上
方で停止する。この位置で前側昇降体111は乾燥装置17
の真上となる。前側昇降体111が降下を開始する前に、
スライド板105が開き、ブラケット87上のカセット1
は、下部開口8を下にした元の向きになっており、前側
昇降体111が降下し、そのエアーチャック54によりカセ
ット1を挟持し、ほぼ同時に後側昇降体112のエアーチ
ャック54も閉まって、第2仮置き台16上のカセット1を
挟持し、この挟持後、第2仮置き台16が降下する。前側
昇降体111が上方位置まで復帰すると同時に、移動体51
Bが前方に移動し、後側昇降体112が乾燥装置17の上方
まで移動した位置で停止し、後側昇降体112が降下し、
カセット1は開口部104を通ってブラケット87上に載置
され、エアーチャック54を開いた後、後側昇降体112が
上昇し、乾燥装置17において上述した動作によりカセッ
ト1の乾燥が行われ、また、乾燥装置17位置における後
側昇降体112の降下動作とほぼ同時に、図16(A)に
示すように、受渡し装置121が前側昇降体111に向って上
昇し、これにより図16(B)に示すように、後側の左
右の載置部123,123にカセット1,1が載置されると共
に、前側の左右の載置部123,123に固定載置枠125の左
右のカセット1,1が載置され、この後、エアーチャッ
ク54が開く。前側昇降体111及び載置枠125からカセット
1を受け取った後、受渡し装置121は前方移動し、この
前方移動の間に後側のカセット1が後述する帯電除去装
置153の真下を通過し、帯電除去処理され、後側の載置
部123が載置枠125位置に達したら、図16(C)に示す
ように、前方移動を停止し、載置枠125及び搬出側コロ
コンベヤ122の下方まで降下し、載置枠125及び搬出側コ
ロコンベヤ122の上にカセット1を受渡し、後方移動
し、上昇前の位置に復帰する。
【0037】図1,図2,図17乃至図26に示すよう
に、前記搬入装置11は左右に並んだ6列のコロコンベヤ
131を備え、このコロコンベヤ131は、図2及び図22乃
至図26等に示すように、左側3列と右側3列との間に
は所定の間隔が設けられており、前記コロコンベヤ131
は前側を低くして斜設され、その前端には、伸縮杆であ
るエアーシリンダ132により出没するストッパ133が設け
られ、このストッパ133の前側には6列の受渡し用コロ
コンベヤ134が設けられ、この受渡し用コロコンベヤ134
は前側が枢着され、後部側に傾動手段たる伸縮杆135が
設けられ、このストッパ出没手段たる伸縮杆135の伸縮
駆動により水平状態から斜設状態に角度変更可能に設け
られ、斜設状態では前記コロコンベヤ131と連続した同
一傾斜となる。尚、前記受渡し用コロコンベヤ134は前
記カセット1とほぼ同一長さである。また、前記コロコ
ンベヤ131,134はそれぞれ複数のコロたるローラ131
A,134Aを有する。前記受渡し用コロコンベヤ134に
は、左右方向の溝136,136が前後に設けられ、この溝13
6,136に沿って左右に移動すると共に昇降する載置移動
体137,137が左右にそれぞれ設けられており、右側の載
置移動体137は右側3列を左右方向に移動可能、左側の
載置移動体137は左側3列を左右方向に移動可能となっ
ており、その移動体137の移動及び昇降はエアーシリン
ダなどを備えた移動手段137Aの駆動により行われる。
また、移動体137は前記受渡し用コロコンベヤ134の左右
2列分の幅を有し、その上部に2個のカセット1を載置
して移動可能となっている。
【0038】また、前記受渡し台57側には、左右に移動
受体138,138を間隔をおいて配置し、これら左右の移動
受体138,138は前後方向の伸縮杆139により前記受渡し
台57の後部から前記ストッパ133の近傍まで移動する。
そして、前記伸縮杆139が移動受体を前後に移動する移
動手段である。また、それら左右の移動受体138,138
は、それぞれ左右方向中央側に向かって進退する進退ア
ーム138Aを有し、この進退アーム138Aは図示しない伸
縮杆等の進退駆動手段により進退駆動する。尚、左右の
移動受体138,138の進退アーム138A,138Aを中央側に
前進すると、6個の前記カセット1を支持することがで
き、進退アーム138A,138Aを後退すると、左右の移動
受体138,138の間を中央側2個の前記カセット1が通過
可能となる。さらに、左右の移動受体138,138の間に
は、平面略T型をなす引込み体140が配置され、この引
込み体140は移動手段141の駆動により後方に向かって水
平に進退し、該引込み体140の後端左右には、カセット
1の後部に係止する係止腕140A,140Aが設けられてい
る。また、前記受渡し台57上には、後方から送られてき
た左右のカセット1,1を位置決めする案内部材57Aが
設けられており、この案内部材57Aはカセット1を左右
から挟む突条のものである。
【0039】前記搬入装置11の動作につき説明すると、
搬入装置11は前記制御手段56の制御により後述する動作
を行う。まず、図2などに示すように、コロコンベヤ13
1には、複数のカセット1を6列に並べて収納してお
く。図17及び図21に示すように、コロコンベヤ131
からカセット1を受け取る前の状態では、ストッパ133
は上昇位置にあり、カセット1の前方移動を防止してお
り、また、図18に示すように、受渡し用コロコンベヤ
134を水平状態とし、図21に示すように、引込み体140
の係止腕140Aが受渡し用コロコンベヤ134の後端まで移
動して待機している。この後、左右の移動受体138が進
退アーム138Aを伸長しながら後方に移動し、この移動
の間に伸縮杆135が伸長して受渡し用コロコンベヤ134の
後が上昇して傾斜し、この受渡し用コロコンベヤ134の
下部に係止腕140Aが隠れる。次にストッパ133が降下
し、図22に示すように、6個のカセット1が左右の移
動受体138,138に支持され、この状態で移動受体138,1
38が前進し、カセット1が受渡し用コロコンベヤ134上
に移動し、このように最前列のカセット1が受渡し用コ
ンベヤ134上に移動すると、ストッパ133が上昇し、2列
目のカセット1の前方移動を防止する。伸縮杆135が収
縮すると、受渡し用コロコンベヤ134が水平となり、図
23に示すように、引込み体140の係止腕140Aがカセッ
ト1に係止可能となり、引込み体140が前進すると、中
央左右2つのカセット1,1が案内部材57Aに沿って受
渡し台57上に移送され、この受渡し台57上のカセット
1,1を前記第1搬送機22のエアーチャック54が挟持し
た後、図24に示すように、引込み体140はコロコンベ
ヤ131の前側まで後退する。引込み体140が後退した後、
左右の載置移動体137,137が上昇し、受渡し用コンベヤ
134上のカセット1,1,1,1を載置した状態で、図
25に示すように、中央側に1列分移動後、降下し、左
右の位置にそれぞれ復帰する。これにより、左右2個ず
つのカセット1,1,1,1がそれぞれ1列分だけ中央
側に移送される。そして、前記第1搬送機13により受渡
し台57上のカセット1,1が前方に搬送されたら、引込
み体140が前進し、カセット1,1を受渡し台57上に移
送し、この受渡し台57上のカセット1,1を前記第1搬
送機22のエアーチャック54が挟持した後、再び引込み体
140は後退する。この後、図26に示すように、左右の
載置移動体137,137が上昇し、受渡し用コンベヤ134上
のカセット1,1を載置した状態で、中央側に1列分移
動し、降下し、左右の位置にそれぞれ復帰する。これに
より、左右1個ずつのカセット1,1がそれぞれ中央側
に移送される。そして、前記第1搬送機13により受渡し
台57上のカセット1,1が前方に搬送されたら、引込み
体140が前進し、カセット1,1を受渡し台57上に移送
し、再び引込み体140は後退し、上述した動作と同様に
して左右の移動受体138が進退アーム138Aを伸長しなが
ら後方に移動し、この移動の間に伸縮杆135が伸長して
受渡し用コロコンベヤ134が傾斜し、次にストッパ133が
降下し、前後で2列目の6個のカセット1が左右の移動
受体138,138に支持され、この状態で移動受体138,138
が前進し、カセット1が受渡し用コロコンベヤ134上に
移動し、このように2列目のカセット1が受渡し用コン
ベヤ134上に移動され、同様な動作が前記制御手段56の
制御により順次繰り返される。また、前記乾燥装置17の
ケース本体81の後方にイオナイザー151を設け、このイ
オナオザー151に対応して、前記ケース本体81の後壁に
開口152を設け、前記イオナイザー151により、ケース本
体81内において、カセット1の静電気の発生を防止して
いる。そして、前記イオナイザー151は、コロナ放電等
により正イオン・負イオンを発生させカセット1表面の
静電気を中和するものである。さらに、前記載置枠125
の上方に、帯電除去装置153を配置し、この帯電除去装
置153によりカセット1の帯電除去を行っている。
【0040】このように本発明の洗浄装置では、搬入装
置11のコロコンベヤ131上のストックしたカセット1が
2個ずつ受渡し台57に送られ、ブラシ洗浄槽12において
は、第1搬送機22により搬送される間に、カセット1の
側面と縁7Aと内面とがブラシ洗浄され、また、同時
に、超音波洗浄槽14と濯ぎ槽15においては、第2搬送機
23により搬送される間に、カセット1の超音波洗浄と濯
ぎ洗いとがなされ、また、同時に、乾燥装置17において
は、第3搬送機24により搬送される間に、カセット1の
乾燥が行われると共に、第3搬送機24により乾燥後のカ
セット1の搬出とが行われ、搬入から搬出までの工程を
全て自動化し、かつ均一な清浄性を得ることができる。
【0041】このように本実施例では、請求項1に対応
して、複数のディスク6が収納可能で上下が開口したカ
セット1を洗浄する洗浄装置において、カセット1を洗
浄する回転ブラシ31,37,47を備えたブラシ洗浄槽12
と、このブラシ洗浄槽12で処理したカセット1を超音波
洗浄する超音波洗浄槽14と、この超音波洗浄槽14で超音
波洗浄したカセット1を濯ぐ濯ぎ槽15と、この濯ぎ槽15
で濯いたカセット1を乾燥する乾燥装置17と、ブラシ洗
浄槽12,超音波洗浄槽14,濯ぎ槽15,乾燥装置17に順次
カセット1を移送する搬送装置21とを備えるものであ
り、搬送装置21によりカセット1がブラシ洗浄槽12,超
音波洗浄槽14,濯ぎ槽15,乾燥装置17に順次移送され、
カセット1は、ブラシ洗浄槽12で回転ブラシ31,37,47
により洗浄され、超音波洗浄槽14で超音波洗浄され、濯
ぎ槽15で濯がれ、乾燥装置17により乾燥され、一連の洗
浄及び乾燥を自動化できる。
【0042】また、このように本実施例では、請求項2
に対応して、回転ブラシ31,37,47を洗浄液45中に配置
したものであり、カセット1を洗浄液45中で洗浄するか
ら、回転ブラシ31,37,47による洗浄中にカセット1が
空気に触れることがなく、洗浄液45が飛散して部分的に
カセット1に付着したり、静電気により空気中のごみが
付着したりすることがない。
【0043】さらに、このように本実施例では、請求項
3に対応して、ブラシ洗浄槽12は、カセット1の側面を
洗浄する側面用回転ブラシ31と、カセット1の開口部で
ある上部開口7の縁7Aを洗浄する上縁用回転ブラシ37
と、カセット1の内部を洗浄する内部用回転ブラシ47を
備えるものであり、各回転ブラシにより、カセット31,
37,47の開口部の縁と内面とを洗浄することができる。
【0044】また、このように本実施例では、請求項4
に対応して、乾燥装置17が、カセット1を回転して乾燥
するスピン乾燥機であり、カセット1を回転し、その遠
心力でカセット1の乾燥を短時間で行なうことができ
る。
【0045】また、実施例上の効果として、カセット1
を2個ずつ処理するから、多数のカセット1を効率よく
洗浄することができる。さらに、カセット1は運搬時な
どにおいて、上部側が汚れ易いが、この汚れを上縁用回
転ブラシ37により洗浄することができる。また、制御手
段56により、カセット1の上部開口7が側面用回転ブラ
シ31の軸中心高さより低く、前記上縁用回転ブラシ37に
接触しない位置でカセット1を保持し、この位置で側面
用回転ブラシ31によりカセット1の上部側側面の洗浄を
効果的に行うことができる。さらに、内部用回転ブラシ
47の届き難いカセット1の下部側を、摺動洗浄体41によ
り洗浄できる。また、仮置き台13,16は自身が昇降する
から、カセット1の受け渡しをスムーズに行うことがで
きる。さらに、オーバーフロー管73,75,77により、洗
浄液45が濯ぎ槽15,超音波洗浄槽14、ブラシ洗浄槽12に
順に循環させ、その方向に洗浄液45の流れを発生させ、
洗浄効果を高めることができる。また、乾燥装置17にお
いて、スピン回転軸82を前後方向に横設し、このスピン
回転軸82と平行に、ブラケット87を取り付けたカセット
回転軸86を配置したから、搬送装置21により搬送中のカ
セット1の向きを変えることなくそのままブラケット87
に受け渡すことができる。また、前記乾燥装置17のケー
ス本体81内に搬入されたカセット1表面の静電気を中和
するイオナイザー151を設けたから、静電気による空気
中のごみの付着を防止でき、さらに、乾燥後のカセット
1へのごみの付着を帯電除去装置153により防止するこ
とができる。また、搬入装置11は複数列で多数のカセッ
ト1を自動的に受渡し台57に移送するから、連続処理を
効率よく行うことができる。
【0046】図27は本発明の第2実施例を示し、上記
第1実施例と同一部分に同一符号を付し、その詳細な説
明を省略して詳述すると、この例では、前記乾燥装置17
の変形例であり、前記スピン回転軸82の軸中心に孔161
を穿設し、この孔161はスピン回転軸82の後端に開口
し、この孔161の後端に図示しないソケットによりブロ
アーなどの空気圧送手段162を接続する。また、前記ス
ピン回転軸82の長さ方向中央側には、前記孔161に連通
する連通孔163を形成し、この連通孔163にブロアー管16
4を接続し、このブロアー管164の先端にノズル165を設
けている。前記ブロアー管164は、前記ノズル165の向き
を変更可能して形状保持可能な自在管が用いられてい
る。
【0047】そして、カセット1の回転中に前記空気圧
送手段162を駆動し、ノズル165からカセット1の内面に
圧縮空気を噴射することにより、内面に角部等を有する
カセット1の乾燥を行う際、遠心力だけでは吹き飛ばし
難い部分の洗浄液45をも良好に吹き飛ばして乾燥を行う
ことができ、回転時の遠心力を受けているカセット1の
圧縮空気を噴射するから、一層効果的である。
【0048】尚、本発明は上記各実施例に限定されるも
のではなく、本発明の容易の範囲内において、種々の変
形実施が可能である。例えば、回転ブラシの配置は適宜
選定可能である。また、ブラシ,超音波洗浄槽,濯ぎ
槽,乾燥装置の間に他の処理装置を設けてもよい。
【0049】
【発明の効果】請求項1の発明は、複数のディスクが収
納可能で上下が開口したカセットを洗浄する洗浄装置に
おいて、前記カセットを洗浄する回転ブラシを備えたブ
ラシ洗浄槽と、このブラシ洗浄槽で処理したカセットを
超音波洗浄する超音波洗浄槽と、この超音波洗浄槽で超
音波洗浄したカセットを濯ぐ濯ぎ槽と、この濯ぎ槽で濯
いたカセットを乾燥する乾燥装置と、前記ブラシ洗浄
槽,超音波洗浄槽,濯ぎ槽,乾燥装置に順次前記カセッ
トを移送する搬送装置とを備えるものであり、ディスク
用カセットの自動洗浄を可能し、洗浄効果に優れたディ
スク用カセットの洗浄装置を提供することができる。
【0050】また、請求項2の発明は、前記回転ブラシ
を洗浄液中に配置したものであり、ディスク用カセット
の自動洗浄を可能し、洗浄効果に優れたディスク用カセ
ットの洗浄装置を提供することができる。
【0051】さらに、請求項3の発明は、ブラシ洗浄槽
は、前記カセットの側面を洗浄する回転ブラシと、前記
カセットの開口部の縁を洗浄する回転ブラシと、前記カ
セットの内部を洗浄する回転ブラシを備えるものであ
り、ディスク用カセットの自動洗浄を可能し、洗浄効果
に優れたディスク用カセットの洗浄装置を提供すること
ができる。
【0052】また、請求項4の発明は、前記乾燥装置
が、前記カセットを回転して乾燥するスピン乾燥機であ
り、ディスク用カセットの自動洗浄を可能し、洗浄効果
に優れたディスク用カセットの洗浄装置を提供すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示す全体側面図である。
【図2】本発明の第1実施例を示す全体平面図である。
【図3】本発明の第1実施例を示すブラシ洗浄槽の断面
図である。
【図4】本発明の第1実施例を示すブラシ洗浄槽の平面
図である。
【図5】本発明の第1実施例を示すブラシ洗浄槽の断面
説明図である。
【図6】本発明の第1実施例を示す第1搬送機の正面図
である。
【図7】本発明の第1実施例を示す超音波洗浄槽及び濯
ぎ槽の断面図である。
【図8】本発明の第1実施例を示す超音波洗浄槽及び濯
ぎ槽の平面図である。
【図9】本発明の第1実施例を示すブラシ洗浄槽,超音
波洗浄槽及び濯ぎ槽の側面図である。
【図10】本発明の第1実施例を示す乾燥装置の断面図
である。
【図11】本発明の第1実施例を示す図10の断面図で
ある。
【図12】本発明の第1実施例を示す乾燥装置の要部の
平断面図である。
【図13】本発明の第1実施例を示す乾燥装置の要部の
斜視図であり、ブラケットは水平状態である。
【図14】本発明の第1実施例を示す乾燥装置の要部の
斜視図であり、カセットが90度外向き状態である。
【図15】本発明の第1実施例を示すブラケット回りの
正面図であり、図15(A)はブラケットが水平状態で
あり、図15(B)はカセットが外向き状態である。
【図16】本発明の第1実施例を示す搬出装置の側面図
であり、図16(A)は前側昇降体が停止し、載置枠に
カセットを載置した状態、図16(B)は受渡し装置の
載置部が上昇し、前後左右の載置部にカセットを載置し
た状態、図16(C)は載置部が前方に移動した状態を
それぞれ示している。
【図17】本発明の第1実施例を示す搬入装置の側面図
である。
【図18】本発明の第1実施例を示す水平状態の受渡し
用コンベヤの側面図である。
【図19】本発明の第1実施例を示す載置移動体の正面
図である。
【図20】本発明の第1実施例を示す引込み体の正面図
である。
【図21】本発明の第1実施例を示す搬入装置の平面図
であり、引込み体が後退した状態を示す。
【図22】本発明の第1実施例を示す搬入装置の平面図
であり、進退アームを伸長した移動受体がカセットを支
持した状態を示す。
【図23】本発明の第1実施例を示す搬入装置の平面図
であり、移動受体が前進してカセットが受渡し用コンベ
ヤに移動した状態を示し、鎖線は引込み体が前進し、2
個のカセットを受渡し台に移送する状態を示す。
【図24】本発明の第1実施例を示す搬入装置の平面図
であり、中央側の2個のカセットを受渡し台に移送した
後、引込み体が後退した状態を示す。
【図25】本発明の第1実施例を示す搬入装置の平面図
であり、載置移動体により左右2個ずつのカセットが中
央側に移送された状態を示し、鎖線は引込み体が前進
し、2個のカセットを受渡し台に移送する状態を示す。
【図26】本発明の第1実施例を示す搬入装置の平面図
であり、引込み体が後退した状態を示す。
【図27】本発明の第2実施例を示す乾燥装置の要部の
平断面図である。
【図28】カセットの斜視図である。
【図29】カセットの断面図である。
【符号の説明】
1 カセット 6 ディスク 7 上部開口(開口部) 12 ブラシ洗浄槽 14 超音波洗浄槽 15 濯ぎ槽 17 乾燥装置 21 搬送装置 31 側面用回転ブラシ 37 上縁用回転ブラシ 47 内部用回転ブラシ 45 洗浄液
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 広井 洋 新潟県長岡市城岡2−4−1 玉川マシナ リー株式会社長岡工場内 (72)発明者 小川 守 新潟県長岡市城岡2−4−1 玉川マシナ リー株式会社長岡工場内 (72)発明者 斎藤 喜則 静岡県裾野市今里520 株式会社エムエー ディスク内 Fターム(参考) 3B116 AA26 AB23 AB47 BA14 BA15 BA33 BB03 BB82 BB83 BB87 CC01 CC03 3B201 AA26 AB24 AB47 BA14 BA15 BA33 BB04 BB82 BB83 BB87 BB93 CB22 CC01 CC12 CC13

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のディスクが収納可能で上下が開口
    したカセットを洗浄する洗浄装置において、前記カセッ
    トを洗浄する回転ブラシを備えたブラシ洗浄槽と、この
    ブラシ洗浄槽で処理したカセットを超音波洗浄する超音
    波洗浄槽と、この超音波洗浄槽で超音波洗浄したカセッ
    トを濯ぐ濯ぎ槽と、この濯ぎ槽で濯いたカセットを乾燥
    する乾燥装置と、前記ブラシ洗浄槽,超音波洗浄槽,濯
    ぎ槽,乾燥装置に順次前記カセットを移送する搬送装置
    とを備えることを特徴とするディスク用カセットの洗浄
    装置。
  2. 【請求項2】 前記回転ブラシを洗浄液中に配置したこ
    とを特徴とする請求項1記載のディスク用カセットの洗
    浄装置。
  3. 【請求項3】 ブラシ洗浄槽は、前記カセットの側面を
    洗浄する回転ブラシと、前記カセットの開口部の縁を洗
    浄する回転ブラシと、前記カセットの内部を洗浄する回
    転ブラシを備えることを特徴とする請求項2記載のディ
    スク用カセットの洗浄装置。
  4. 【請求項4】 前記乾燥装置が、前記カセットを回転し
    て乾燥するスピン乾燥機であることを特徴とする請求項
    1記載のディスク用カセットの洗浄装置。
JP28179098A 1998-10-02 1998-10-02 ディスク用カセットの洗浄装置 Expired - Fee Related JP3448602B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28179098A JP3448602B2 (ja) 1998-10-02 1998-10-02 ディスク用カセットの洗浄装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28179098A JP3448602B2 (ja) 1998-10-02 1998-10-02 ディスク用カセットの洗浄装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000107713A true JP2000107713A (ja) 2000-04-18
JP3448602B2 JP3448602B2 (ja) 2003-09-22

Family

ID=17644022

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP28179098A Expired - Fee Related JP3448602B2 (ja) 1998-10-02 1998-10-02 ディスク用カセットの洗浄装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3448602B2 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107755311A (zh) * 2016-08-19 2018-03-06 隆基绿能科技股份有限公司 一种硅片水平清洗装置
CN110270531A (zh) * 2019-06-30 2019-09-24 南京宇强特种焊接有限公司 一种辅助轴承上料装置以及维护清理机构
CN112850238A (zh) * 2021-02-03 2021-05-28 沈发明 一种硅片光刻用防污输送设备
CN114308781A (zh) * 2022-01-14 2022-04-12 万玉萍 一种多工位空压机阀板刷光清理机及其使用方法
KR20220134816A (ko) * 2021-03-25 2022-10-06 김진태 플라스틱 박스용 건식 연속세척장치

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107755311A (zh) * 2016-08-19 2018-03-06 隆基绿能科技股份有限公司 一种硅片水平清洗装置
CN107755311B (zh) * 2016-08-19 2020-10-16 隆基绿能科技股份有限公司 一种硅片水平清洗装置
CN110270531A (zh) * 2019-06-30 2019-09-24 南京宇强特种焊接有限公司 一种辅助轴承上料装置以及维护清理机构
CN112850238A (zh) * 2021-02-03 2021-05-28 沈发明 一种硅片光刻用防污输送设备
KR20220134816A (ko) * 2021-03-25 2022-10-06 김진태 플라스틱 박스용 건식 연속세척장치
KR102555971B1 (ko) * 2021-03-25 2023-07-19 김진태 플라스틱 박스용 건식 연속세척장치
CN114308781A (zh) * 2022-01-14 2022-04-12 万玉萍 一种多工位空压机阀板刷光清理机及其使用方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP3448602B2 (ja) 2003-09-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4736760A (en) Apparatus for cleaning, rinsing and drying substrates
US4736759A (en) Apparatus for cleaning rinsing and drying substrates
JP2901098B2 (ja) 洗浄装置および洗浄方法
JP2002110609A (ja) 洗浄処理装置
JP2002159927A (ja) 基板洗浄装置
US5555634A (en) Wafer holder
JP2001096245A (ja) 洗浄方法および洗浄装置
JP2000107713A (ja) ディスク用カセットの洗浄装置
JP4200565B2 (ja) 電子部品の洗浄方法
JP2000111254A (ja) ディスク用カセットの乾燥装置
JP3872159B2 (ja) ブラシ洗浄装置及びウェーハの研磨装置システム
JP2002520132A (ja) 基板をクリーニングする方法及び装置
JP2909432B2 (ja) スピン洗浄処理ユニット
JP2543007B2 (ja) ウエ−ハ枚葉洗浄装置
JP2746669B2 (ja) 洗浄装置及び洗浄方法
JP2003320323A (ja) 基板洗浄方法
JP2003332284A (ja) 液処理装置および液処理方法
JP2005072429A (ja) 両面洗浄処理方法及び装置
JP3766177B2 (ja) 基板処理装置および基板洗浄装置
JPH10303170A (ja) 基板洗浄装置および基板洗浄方法
JP3999540B2 (ja) スクラブ洗浄装置におけるブラシクリーニング方法及び処理システム
JP3537875B2 (ja) 基板洗浄装置
JPH0422411Y2 (ja)
JP3229952B2 (ja) ウエハキャリア洗浄装置
JP2982281B2 (ja) ウエハスクラバ装置

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20030417

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080711

Year of fee payment: 5

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees