JP3872159B2 - ブラシ洗浄装置及びウェーハの研磨装置システム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はブラシ洗浄装置及びウェーハの研磨装置システムに関し、更に詳細にはキャリアプレートのウェーハ接着面を洗浄するブラシ洗浄装置、及び自動化可能のウェーハの研磨装置システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体チップの原料となるシリコンウェーハ等のウェーハの表面を鏡面研磨する場合、キャリアプレートにウェーハを接着する接着装置と、ウェーハが接着されたキャリアプレートを研磨定盤面と相対的に運動させてウェーハを研磨するポリッシング装置(研磨装置)と、研磨されたウェーハをキャリアプレートから剥離する剥離装置と、ウェーハが剥離されたプレートを洗浄する洗浄装置とが、それぞれ独立した装置として設けられていた。
特に、近年、シリコンウェーハの表面研磨においては、半導体装置の高集積化および微細化が進んでおり、非常に精度の高い研磨精度が要求されている。このため、空気中の微細粒子が研磨精度を低下させる要因になり、その対策としてシリコンウェーハの研磨作業はクリーンルーム内で行われている。
また、キャリアプレートは、シリコンウェーハの大径化に伴って外径が次第に大きくなって重量物となり、人手で取り扱うことが困難となりつつある
しかし、従来は各装置が独立した装置を形成しているため、キャリアプレートは、人手によって各装置間を搬送されると共に各装置に搬出入されていた。従って、多くの人手を要すると共に、人が多く介在することによってクリーンルーム内の清浄度が悪化し、接着精度が低下して研磨精度が低下することがある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
このため、本願出願人は、先に特願平8−100800号明細書において、ウェーハを接着するキャリアプレートが載置され、前記キャリアプレートを加熱する加熱装置と、前記加熱装置によって加熱されたキャリアプレート上に接着剤を介してウェーハを接着させる接着装置と、加熱されてウェーハが接着された前記キャリアプレートを室温まで冷却する冷却装置と、前記キャリアプレートに接着されたウェーハを研磨定盤面に当接させ、キャリアプレートと研磨定盤とを相対的に運動させて、ウェーハ表面を鏡面に研磨する研磨装置と、前記研磨装置によって研磨されたウェーハを前記キャリアプレートから剥離する剥離装置と、前記剥離装置によってウェーハが剥離された前記キャリアプレートの表面に残留した接着剤を除去する第1洗浄装置と、前記第1洗浄装置で洗浄されたキャリアプレートを清浄水槽に浸漬して高洗浄度に洗浄する第2洗浄装置と、前記加熱装置から記載の順序で閉ループ状に配列された前記各装置間に配設され、一の装置から排出されたキャリアプレートを隣接する装置に搬送する搬送装置とから成るウェーハの研磨装置システムを提案した。
かかる研磨装置システムによれば、自動化が可能であってクリーンルーム内を高清浄度に維持することが可能である。
【0004】
この様な、研磨装置システムにおいて、剥離装置によってウェーハが剥離されたキャリアプレートの表面に残留した接着剤を除去する第1洗浄装置として、ブラシ洗浄装置を用いる場合、従来のブラシ洗浄装置は、図5に示す如く、洗浄対象のキャリアプレート100一枚に対して一個のブラシ装着治具102が設けられているものが普通である。このため、従来のブラシ洗浄装置では、キャリアプレート100のウェーハ接着面を洗浄するブラシが装着されるブラシ装着治具102を、キャリアプレート100に対して昇降可能に設け、且つキャリアプレート100の回転方向に対して逆方向に回転させつつキャリアプレート100のウェーハ接着面に沿って揺動させるものである。
【0005】
しかし、図5に示す従来のブラシ洗浄装置では、ブラシの軌跡の複雑化が困難であるため、ブラシの軌跡が略同一箇所を通過するため、キャリアプレート100のウェーハ接着面にブラシ洗浄跡が付くことがある。しかも、洗浄時間も長く、ブラシ洗浄装置の洗浄速度が各装置を閉ループ状に配列した研磨装置システムの研磨速度等を律するおそれもある。
そこで、本発明の課題は、ブラシの軌跡を複雑化することができ、且つ洗浄速度を短縮可能のブラシ洗浄装置、及び前記ブラシ洗浄装置を使用したウェーハの研磨装置システムを提案することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るブラシ洗浄装置は、キャリアプレートのウェーハ接着面を洗浄するブラシ洗浄装置において、太陽ギアと、前記太陽ギアと噛合し、太陽ギアの回りを公転すると共に自転する複数の遊星ギアと、前記遊星ギアの各々が太陽ギアの回りを公転しながら自転するように、前記遊星ギアの各々を太陽ギアに対して公転方向に駆動する駆動手段と、噛合状態の前記太陽ギアと遊星ギアとをキャリアプレートのウェーハ接着面に沿って揺動する揺動手段と、前記各遊星ギアと一体に設けられ、前記キャリアプレートのウェーハ接着面に当接して洗浄するブラシが装着されたブラシ装着治具と、前記キャリアプレートのウェーハ接着面に対する前記ブラシの押圧力を調整すべく、前記各ブラシ装着治具上に配置されるウエイトと、前記太陽ギアと噛合状態にある遊星ギアをキャリアプレートのウェーハ接着面に対して接離方向に昇降する昇降手段とを具備し、前記昇降手段によって、前記遊星ギアを介して前記ブラシ装着治具が押し上げられることによって前記ブラシのウェーハ接着面に対する押圧力が低減され、前記昇降手段による前記ブラシ装着治具への押し上げ力が低減されることによって、前記遊星ギア、前記ブラシ装着治具、前記ウエイトの自重による前記ブラシの前記キャリアプレートのウェーハ接着面に対する押圧力が増加されることを特徴とする。
【0007】
また本発明に係るブラシ洗浄装置は、キャリアプレートのウェーハ接着面を洗浄するブラシ洗浄装置において、キャリアプレートのウェーハ接着面と平行な面内で揺動可能に設けられたスライド板と、該スライド板を揺動させる駆動機構と、前記スライド板に固定して設けられた太陽ギアと、該太陽ギアを貫通して上下方向に移動可能、かつ軸線を中心として回転可能に設けられたシャフトと、該シャフトを回転駆動する駆動手段と、前記シャフトを上下方向に昇降する昇降手段と、前記シャフト下端に固定された回転部材と、該回転部材に、周方向に間隔をおいて複数個配設された筒体と、該各筒体を貫通して設けられたブラシ用シャフトと、該各ブラシ用シャフトの上端に設けられ、前記太陽ギアに噛合する遊星ギアと、前記各ブラシ用シャフトの下端に設けられたブラシ装着治具と、該各ブラシ装着治具の下端に設けられたブラシと、前記キャリアプレートのウェーハ接着面に対する前記ブラシの押圧力を調整すべく、前記ブラシ装着治具上に配置されるウエイトとを具備し、前記各遊星ギアが、前記駆動手段により前記シャフトが回転されることによって、前記太陽ギアの回りを公転しながら自転するように構成され、前記昇降手段によって、前記シャフト、前記回転部材、前記筒体、前記遊星ギア、前記ブラシ用シャフトを介して前記ブラシ装着治具が押し上げられることによって前記ブラシのウェーハ接着面に対する押圧力が低減され、前記昇降手段による前記ブラシ装着治具への押し上げ力が低減されることによって、前記遊星ギア、前記ブラシ用シャフト、前記ブラシ装着治具、前記ウエイトの自重による前記ブラシの前記キャリアプレートのウェーハ接着面に対する押圧力が増加されることを特徴とする。
【0008】
また本発明に係るウェーハの研磨装置システムは、ウェーハを接着するキャリアプレートが載置され、前記キャリアプレートを加熱する加熱装置と、前記加熱装置によって加熱されたキャリアプレート上に接着剤を介してウェーハを接着させる接着装置と、加熱されてウェーハが接着された前記キャリアプレートを室温まで冷却する冷却装置と、前記キャリアプレートに接着されたウェーハを研磨定盤面に当接させ、キャリアプレートと研磨定盤とを相対的に運動させて、ウェーハ表面を鏡面に研磨する研磨装置と、前記研磨装置によって研磨されたウェーハを前記キャリアプレートから剥離する剥離装置と、前記剥離装置によってウェーハが剥離された前記キャリアプレートの表面に残留した接着剤を除去する第1洗浄装置と、前記第1洗浄装置で洗浄されたキャリアプレートを清浄水槽に浸漬して高洗浄度に洗浄する第2洗浄装置と、前記加熱装置から記載の順序で閉ループ状に配列された前記各装置間に配設され、一の装置から排出されたキャリアプレートを隣接する装置に搬送する搬送装置とから成るウェーハの研磨装置システムであって、前記第1洗浄装置に、上記いずれかのブラシ洗浄装置を用いることを特徴とする。
【0009】
本発明においては、昇降手段によってキャリアプレートのウェーハ接着面に押圧力を調整されつつ押し付けられた複数個のブラシを、自転と公転とをさせつつ揺動手段によってキャリアプレートのウェーハ接着面に沿って揺動させることができる。
この様に、複数個のブラシによってキャリアプレートのウェーハ接着面を洗浄するため、従来の単一ブラシが設けられたブラシ洗浄装置に比較して、洗浄速度を速めることができる。このため、各装置を閉ループ状に配列した研磨装置システムにおいても、ブラシ洗浄装置の洗浄速度によって研磨装置システムの処理速度が律速される事態を回避できる。
しかも、キャリアプレートのウェーハ接着面において、ブラシの軌跡を複雑化でき、キャリアプレートのウェーハ接着面にブラシの軌跡が残存する懸念も解消できる。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明に係るブラシ洗浄装置の概略図を図1に示す。このブラシ洗浄装置は、停止状態にあるキャリアプレート12のウェーハ接着面に当接して洗浄するブラシ1a、1b、1c(以下、三個のブラシ1又は単にブラシ1と称することがある)が装着される三個のブラシ装着治具2a、2b、2c(以下、三個のブラシ装着治具2又は単にブラシ装着治具2と称することある)の各々に設けられ、キャリアプレート12のウェーハ接着面に沿って揺動可能に設けられた太陽ギア3の周囲を公転しながら自転する遊星ギア4a、4b、4cと、太陽ギア3と遊星ギア4a、4b、4cとを噛合状態でキャリアプレート12のウェーハ接着面に沿って揺動する揺動手段と、太陽ギア3と噛合状態にある遊星ギア4a、4b、4c(以下、三個の遊星ギア4又は単に遊星ギア4と称することがある)をキャリアプレート12のウェーハ接着面に対して接離方向に昇降する昇降手段とを具備するものである。
かかるブラシ洗浄装置を図2及び図3によって更に詳細に説明する。ブラシ洗浄装置の基板13に設けられたレール15a、15bに沿ってスライド可能に設けられたスライド板17には、太陽ギア3が固定されている。このため、太陽ガギア3は、キャリアプレート12のウェーハ接着面に沿って揺動可能である。この太陽ギア3と噛合する三個の遊星ギア4の各々に一端が固着されたブラシ用シャフト19の他端には、ブラシ1が装着されるブラシ装着治具2が固着されている。このため、遊星ギア4が回転すると、ブラシ1も回転する。
尚、三個のブラシ装着治具2の各々には、ブラシ1のキャリアプレート12のウェーハ接着面に対する押圧力を調整するウエイト21が設けられている。
【0011】
このブラシ用シャフト19は、シャフト23の一端に固着されて回転可能に設けられた回転部材25に固定された筒体27に、スリーブ29を介して挿入されている。更に、シャフト23の他端部近傍には、プーリー31が固着されており、スライド板17に設けられた駆動装置33の駆動プーリー35と無端ベルトによって連結されている。
このため、駆動装置33によって回転部材25が図1に示す矢印A方向に回転されると、回転部材25と共にブラシ用シャフト19も太陽ギア3の周囲を図1に示す矢印A方向(公転方向)に回転する。この際に、ブラシ用シャフト19の一端に設けられ太陽ギア3と噛合している遊星ギア4は、太陽ギア3の周囲を公転しつつ自転する。
従って、三個の遊星ギア4の各々に連結されている各ブラシ1もキャリアプレート12のウェーハ接着面上で太陽ギア3の周囲を公転しつつ自転させることができる。
尚、三個の遊星ギア4を覆うカバー47は、回転部材25に固着されており、回転部材25と共に回転する。
【0012】
本発明に係るブラシ洗浄装置においては、キャリアプレート12のウェーハ接着面上で太陽ギア3の周囲を公転しつつ自転する三個のブラシ1を、図3に示すクランク機構51によって、キャリアプレート12のウェーハ接着面に沿って揺動させ、ブラシ1の各々の軌跡を更に複雑化できる。
かかるクランク機構51は、基板13に固定されたモータ53に設けられている回転板55と、この回転板55に偏芯して立設されたピン59とスライド板17に立設されたピン61との間に掛け渡されたロッド63とから成る。このクランク機構51によれば、回転板55の回転に伴ってスライド板17がレール15に沿って往復動する。このため、スライド板17に設けられているシャフト23、太陽ギア3、シャフト23に固着されている回転部材25がスライド板17と共に往復動し、回転部材25にブラシ用シャフト19を介して回転可能に設けられている遊星ギア4もスライド板17と共に往復動する。
従って、三個の遊星ギア4の各々に連結されている各ブラシ1は、図1に示す様に、キャリアプレート12のウェーハ接着面上で太陽ギア3の周囲を公転しつつ自転し且つキャリアプレート12のウェーハ接着面に沿って揺動するため、ブラシ1の各々の軌跡が複雑化し、停止状態のキャリアプレート12のウェーハ接着面を万遍なく洗浄することができる。
この様に、停止状態のキャリアプレート12を洗浄可能とすることによって、キャリアプレート12を回転駆動する駆動装置を不要とすることができ、ブラシ洗浄装置を小型化できる。
【0013】
かかるブラシ洗浄装置において、三個のブラシ1の各々のキャリアプレート12のウェーハ接着面に対する押圧力は、ウエイト21によっても調整されるが、スライド板17に設けられた空圧シリンダ37(図2)によっても調整できる。つまり、空圧シリンダ37のロッド41は、一端部がシャフト23の他端部に固着された上下動部材43に連結されている。この上下動部材43の他端部は、空圧シリンダ37を固定する固定部材39に立設されたガイド棒45に挿入されている。このため、空圧シリンダ37によって、上下動部材43を上方に押し上げることによって、シャフト23の一端に固着されて回転可能に設けられた回転部材25も上方に押し上げられるため、太陽ギア3と噛合状態にある遊星ギア4をキャリアプレート12のウェーハ接着面に対して押し上げることができ、ブラシ1のウェーハ接着面に対する押圧力を低減できる。
また、空圧シリンダ37によって、上下動部材43を更に上方に押し上げることにより、ブラシ1をキャリアプレート12のウェーハ接着面から離し、キャリアプレート12を取り出すことができる。
一方、上下動部材43を上方に押し上げる空圧シリンダ37の押し上げ力を低減すると、ウエイト21やブラシ装着治具2等の自重でブラシ1のキャリアプレート12のウェーハ接着面に対する押圧力を増加することができる。
尚、シャフト23の中心部には、シャフト23の長手方向に中空部が形成されており、洗浄液等をキャリアプレート12のウェーハ接着面に供給できる。
【0014】
図1〜図3に示すブラシ洗浄装置は、三個のブラシ1によってキャリアプレート12のウェーハ接着面を洗浄するため、従来の単一のブラシが設けられたブラシ洗浄装置に比較して、洗浄速度を速めることができ、且つキャリアプレート12のウェーハ接着面において、ブラシ1の各々の軌跡を複雑化することができるため、キャリアプレート12のウェーハ接着面にブラシの軌跡が残存する懸念も解消できる。
かかるブラシ洗浄装置は、単独で使用することもできるが、図4に示すウェーハの研磨装置等の各装置を閉ループ状に配列した研磨装置システムに好適に使用できる。
この図4に示す研磨装置システムは、シリコンウェーハの研磨装置システムの一例を示す平面図である。
図4において、加熱装置10には、ウェーハ11を接着するキャリアプレート12が載置され、そのキャリアプレート12を加熱する。キャリアプレート12は、第1ヒータ10a、第2ヒータ10bによって2段階に加熱される。この加熱装置10には、後述する第2洗浄装置82によって高清浄度に清浄されたキャリアプレート12が、後述する第8搬送装置90によって供給される。
【0015】
加熱装置10によって加熱されたキャリアプレート12は、接着装置14に搬送され、接着剤を介してウェーハ11が接着される。この接着装置14には、ウェーハ11の取出装置16が設けられ、ウェーハ11が収納されたカセット18から取り出したウェーハ11は隣接する第1センタリング装置20に送られる。かかるウェーハの取出装置16では、ウェーハ11が収納されたカセット18を、ウェーハ11を移送するアーム16aの旋回軸を中心に円弧状に配置してあるため、効率良くウェーハ11を取り出して送ることができる。
尚、ウェーハの取出装置16と第1センタリング装置20との間に、ウェーハ11を洗浄するウェーハの洗浄装置を配設できる。ウェーハの洗浄装置としては、ウェーハを浸漬して洗浄するための超純水を満たした水槽を備え、スピンニングで水を切る機能及び乾燥させる機能等を備えた装置を利用できる。
【0016】
第1センタリング装置20からウェーハ11が送り込まれる接着剤の塗布装置22は、ウェーハ11を回転しつつ接着面にワックス等の接着剤をディスペンサーで滴下して塗布するスピナー式の塗布手段である。この接着剤の塗布装置22の直前に、ウェーハ11の中心を直線的移動軌跡上に一致させる第1センタリング装置20を設けたことによって、ウェーハ11の中心をスピナーの回転軸に容易に合わせることができる。
接着剤が塗布されたウェーハ11は、ベーキング装置24に送られ、ウェーハ11の接着面に塗布された接着剤を加熱し、溶剤を蒸発させる。
ベーキング装置24で溶剤を蒸発したウェーハ11は、第2センタリング装置26によってウェーハ11をセンタリングした後、ウェーハ11のオリフラ及びノッチ位置を検出する検出装置28によって、接着剤が塗布されたウェーハ11を、キャリアプレート12上の所定位置に正確に接着することができる。
この様に、接着準備がなされたウェーハ11は、接着台30上に載置されたキャリアプレート12上に、反転搬送装置32によって反転されて接着される。この際、キャリアプレート12上へ載置されたウェーハ11は所定の力で押圧されて接着される。
尚、第1搬送装置34は、キャリアプレート12を加熱装置10から接着装置14へ搬送する。
【0017】
加熱されてウェーハ11が接合されたキャリアプレート12は、第2搬送装置38によって接着装置14の接着台30から第1冷却装置36に搬送される。第1冷却装置36は、ウェーハ11とキャリアプレート12とを接着する接着剤を、その軟化点温度以下まで冷却する。この第1冷却装置36は、キャリアプレート12が載置されて冷却される冷却載置台36aを備え、その冷却載置台36aは循環する冷却水によって水冷されている。
図1においては、複数の冷却載置台36aが直列に配設されており、キャリアプレート12は順次送られて、段階的に強制的に冷却されるように構成されている。かかる第1冷却装置36内には、ウェーハが接着されたキャリアプレート12を、第1冷却装置36内に直列に配設された複数の冷却載置台36aに順送りするため、第1冷却装置内搬送装置40が設けられている。
【0018】
第1冷却装置36によって冷却されたキャリアプレート12を、第3搬送装置46によって第2冷却装置42に搬送し、更に室温程度まで冷却するため、第2冷却装置42にキャリアプレート12が送り込まれる。
この第2冷却装置42内においては、ウェーハ11が接着されたキャリアプレート12が、コンベア44で送られると共に、冷却空気を吹きつけられることで効率良く冷却されている。
この様に、ウェーハが接着されたキャリアプレート12を冷却する部位を第1冷却装置36及び第2冷却装置42に分割することによって、各装置のタクトタイムを調整でき、ウェーハの研磨装置システムの自動化を実現できる。
尚、加熱装置10、接着装置14、第1冷却装置36、及び第2冷却装置42の領域にあっても、周辺機器等から発生したダストが、接着層の中に混入したり、ウェーハの表面に付着してウェーハの研磨精度を悪化させる原因とならないように、清浄空気のダウンフロー等によって高い室内空気清浄度が維持される。
【0019】
第1冷却装置36及び第2冷却装置42によって冷却されたキャリアプレート12は、第4搬送装置57によりポリッシング装置(以下、研磨装置と称する)に搬送される。この第4搬送装置57は、搬入装置58と反転搬送装置59とから構成される。反転搬送装置59によって、第2冷却装置42で冷却されたキャリアプレート12を反転し、ウェーハ11の接着した面を下面として所定位置にスライドしたキャリアプレート12を、搬入装置58で研磨装置に搬入する。
図4では、4台の研磨装置50が直列に並べられた研磨装置列48に搬送されたキャリアプレート12は、各研磨装置50に順次搬送されてウェーハ11の表面が研磨される。
研磨装置50は、定盤52の上面に研磨クロスを貼り付けて研磨定盤面が設けられて回転駆動する。かかる定盤52の中央には、センターローラ54が設けられていると共に、定盤52の周辺に所定間隔をおいてガイロドローラ56が複数個配置されている。このガイロドローラ56は、ウェーハ11を下面に貼り付けた状態のキャリアプレート12を、定盤52上でセンターローラ54との間で挟持する挟持位置とフリーとするフリー位置との間に亘って移動可能に設けられている。
【0020】
この研磨装置50によれば、定盤52上のキャリアプレート12の搬入位置に対して定盤52回転方向の最奥部のガイドローラ56をキャリアプレート12の挟持位置に移動し、搬入位置に搬入されたキャリアプレート12を定盤52の回転によりセンターローラ54とガイドローラ56との間で挟持する位置まで搬送する。更に、同様にして最奥部から2番目のガイドローラ56とセンターローラ54との間でキャリアプレート12を挟持するように、順次定盤52の奥側からキャリアプレート12をセンターローラ54と各ガイドローラ56との間でセットする。次いで、キャリアプレート12をトップリング(図示せず)により定盤52に押圧しつつ定盤52を回転させてウェーハ11を研磨する。
一の研磨装置50でウェーハ11の研磨が終了したキャリアプレート12は、研磨装置50の各々の間に配設された研磨装置列内搬送装置60によって、隣接する研磨装置50に順次搬送される。
また、研磨装置列48の最終の研磨装置50では、ウェーハ11の研磨が終了したキャリアプレート12は、最終の研磨装置50に隣接して設けられた第5搬送装置62によって、研磨装置50のキャリアプレート12の排出位置から順次排出されて剥離装置64に搬送される。この第5搬送装置62によれば、研磨装置例48で鏡面加工されたウェーハ11が接着されたキャリアプレート12を、その上下面を反転させた反転状態で剥離装置64に搬送する。
【0021】
剥離装置64は、研磨装置例48によって研磨されたウェーハ11をキャリアプレート12から剥離する。この剥離装置64には、浸漬部66が設けられており、第5搬送装置62により排出されたキャリアプレート12を収納する棚体と共にキャリアプレート12を水槽内の清浄水に浸漬する。かかる浸漬部66に載せられたキャリアプレート12は、バーコード検出装置を具備するバーコード検出部68に送り込まれて、そのキャリアプレート12の下面にあるバーコードを検出する。このバーコード検出部68によって検出されたバーコードによって、ウェーハ11のサイズ、ウェーハ11の貼付数量、ノッチタイプ又はオリフラタイプ等のウェーハ11の種類を管理する。更に、使用回数をカウントしてキャリアプレート12の寿命(形状精度に関する寿命)を管理することができる。
尚、バーコード検出部68は、図1に示す研磨システム内の任意の位置に設置できる。
【0022】
かかるバーコード検出部68に隣接して設けられ剥離部70には、バーコード検出部68から取り出したキャリアプレート12を載置する載置台と、回転可能に設けられた、キャリアプレート12を吸着する吸着盤とを具備する。
この剥離部70でキャリアプレート12から剥離したウェーハ11は、ウェーハ収納部72のカッセト内に収納される。ウェーハ11がカセットに満杯に収納されたとき、このカセットはカセット収納装置(図示せず)によって、ウェーハ収納部72から排出されてストック部に純水に浸漬された状態で収納される。
また、そのカセット収納装置によって、空きになったウェーハ収納部72には、空のカセットが供給される。そのカセットを給排する給排装置は、例えば、カセットを保持する保持装置を並列して備え、ウェーハ収納部72とカセット収納装置のストック部との間を往復動するものを採用できる。
かかる給排装置においては、先ず、先端側の保持装置に空のカセットを保持して後端側の保持装置は空の状態で、先端の保持装置を行き過ぎさせて後端側の保持装置をウェーハ収納部72上に位置させる。次に、後端側の保持装置でウェーハ11が収納されたカセットを保持して排出し、カセットが排出されて空になったウェーハ収納部72には、先端側の保持装置によって行き過ぎてから若干戻されるようにして搬送される空のカセットが供給される。更に、後端側の保持装置によってウェーハ11が収納されたカセットを前記ストック部に搬送した後、後端側の保持装置は空の状態になり、先端側の保持装置は空のカセットを保持した最先の状態に戻る。これによって、カセットを給排する1サイクルが終了し、これを順次繰り返すことによってカセットを順次自動的に交換できる。
【0023】
この剥離装置64において、浸漬部66とバーコード検出部68とが隣接して設けられ、浸漬部66とバーコード検出部68を結ぶライン上で且つバーコード検出部68と隣接して剥離部70が配置され、収納部72をバーコード検出部68と剥離部70を結ぶラインの延長上に剥離部70に隣接して配置する。更に、剥離部70でウェーハ11を剥離した後のキャリアプレート12を排出する排送装置(第6搬送装置74)を、バーコード検出部68と剥離部70を結ぶラインと直交する方向にキャリアプレート12を排出可能に設けられている。
【0024】
剥離装置64によってウェーハ11が剥離されたキャリアプレート12の表面には、接着剤が残留する。この残留接着剤を除去すべく、剥離装置64から排出されたキャリアプレート12は第6搬送装置74によって、第1洗浄装置76に供給されて洗浄される。この第1洗浄装置76としては、図1〜図3に示すブラシ洗浄装置を好適に使用できる。このブラシ洗浄装置によれば、従来の単一ブラシが設けられたブラシ洗浄装置に比較して、洗浄速度を速めることができ、ブラシ洗浄装置の洗浄速度によって研磨装置システムの処理速度が律速される事態を回避できる。
かかる第1洗浄装置76に続いて、ローラー状に形成されたブラシがキャリアプレート12の裏面をブラッシングして洗浄する裏面ブラシ部78が配設されており、更に清浄水が噴出してキャリアプレート12の汚れを洗い流すラインシャワー部80が配設されている。
尚、図1〜図3に示すブラシ洗浄装置の洗浄速度を更なる向上を図る必要がある場合には、三個の遊星ギア3の公転方向(図1に示す矢印A)と反対方向に、キャリアプレート12を回転させる回転装置を設けることが好ましい。
【0025】
第1洗浄装置で洗浄されたキャリアプレート12は、キャリアプレート12を起立させる機構を具備する第7搬送装置86によって第2洗浄装置82に搬送され、高清浄度に洗浄される。
第2洗浄装置82には、起立状態でキャリアプレート12を浸漬して高清浄度に洗浄する水槽84が設けられている。この水槽84には、超音波洗浄槽、超音波すすぎ槽、温純水槽が設けられており、これらの水槽84が所要の数配設されている。
この様に、キャリアプレート12を起立させた状態で取り扱うことができ、水槽84の占有面積を小さくすることができる。また、下降清浄空気(ダウンフロー)を好適に流すことができるので、第2洗浄装置82室内の空気清浄度を向上させることができ、キャリアプレート12の表面清浄度を向上できる。
ここで、第2洗浄装置82内の搬送装置としては、いわゆるボックス送り機構を採用できる。この送り機構としては、水槽84の数に対応し、キャリアプレート12の複数枚を同時に保持し得る保持装置を複数個設け、その複数個の保持装置を同期させて水平方向へ隣合う水槽84間の距離を往復動させる往復装置と、この複数個の保持装置を同期させて上下方向へ往復動させる昇降装置とを備え、複数枚のキャリアプレート12を同時に順送できるものである。
【0026】
第2洗浄装置82で高度洗浄されたキャリアプレート12は、第8搬送装置90によって加熱装置10に搬送され、再度、加熱されてウェーハの接着工程に供給される。
これまで説明した各装置は、図4から明らかなように、閉ループ状に形成されている。
かかる図4に示す研磨装置システムにおいて、第1洗浄装置76と第2洗浄装置82の間に、キャリアプレート12を滞留可能とするストック部88が設けられている。このストック部88によって、研磨装置システムを構成する装置のいずれかにトラブルが発生しても、キャリアプレート12を滞留させることができる。しかも、ストック部88に滞留されたキャリアプレート12は、第2洗浄装置82によって高度に洗浄されて加熱装置10に供給されるので、循環工程を好適に復帰させることができる。
【0027】
ところで、図4に示す研磨装置システムでは、キャリアプレート12が、第2冷却装置42内を、ウェーハ11の接着された面を上面にして水平状態で送られているが、キャリアプレート12を起立させて搬送してもよい。すなわち、キャリアプレート12面が水平面に直交する面と平行になるように立てた状態で搬送される。その場合には、第3搬送装置46にキャリアプレート12を起立させる機構を備えればよい。また、第2冷却装置42を、起立されたキャリアプレート12が、下降する清浄度の高い冷却空気流によって冷却されるようにすると、空気中の微粒子(微細粉塵)がキャリアプレート12の表面に接着されたウェーハ11上に付着しないように効率良く冷却することが可能になる。これは、清浄空気の流れが層流状のダウンフローとなるため、微細粉塵があってもウェーハの表面に重力落下によって積もって付着することなどを防止でき、その清浄空気を効率良く循環することが可能になるためである。更に、キャリアプレート12を起立させた状態で取り扱うことができるため、第2冷却装置42の占有面積を小さくすることができる。
尚、第1冷却装置36でウェーハ11が接着されたキャリアプレート12は接着剤の軟化点温度以下まで冷却されているので、キャリアプレート12を起立してもウェーハ11が位置ずれる等の心配はない。
【0028】
また、研磨装置50において、キャリアプレート12と略同径の円板の下面に毛を植設したブラシ(図示せず)を、定盤52上に供給すると、研磨装置50の定盤52上に貼られた研磨クロスの目詰まりを除去することができる。定盤52上に供給されたブラシは、センターローラ54と所定位置のガイドローラ56とにより挟持され、トップリング(図示せず)により定盤50の研磨クロスに押圧されつつ定盤50が回転されることで、研磨クロスの目詰まりを除去できる。
尚、研磨クロスの目詰まりを除去するにはこの方法に限らず、定盤50に隣接位置から出入できるように配設されたブラシ等を用いて行ってもよい。
【0029】
更に、キャリアプレート12の表面の平面度等の形状精度を検査する検査手段と、その検査手段によってキャリアプレート12が基準精度を満足していないときには、そのキャリアプレート12を研磨装置システムから排出する排出手段と、排出されたキャリアプレート12に代わるキャリアプレート12を研磨装置システムに導入する導入手段とを具備してもよい。
これにより、不具合のあるキャリアプレートを自動的に交換することができ、研磨装置システムを好適に連続稼働できる。
【0030】
【発明の効果】
本発明に係るブラシ洗浄装置によれば、従来の単一ブラシが設けられたブラシ洗浄装置に比較して、洗浄速度を速めることができ、且つキャリアプレートのウェーハ接着面にブラシの軌跡が残存する懸念も解消できるため、キャリアプレートの洗浄の効率化を図ることができる。
また、ウェーハの研磨装置等の各装置を閉ループ状に配設した研磨装置システムのブラシ洗浄装置として、本発明に係るブラシ洗浄装置を採用することによって、研磨装置システムの処理速度等を向上でき、且つウェーハの研磨装置システムを自動化できるため、人間の活動によって発生する微細粉塵を大幅に低減でき、クリーンルーム内を高清浄度に維持することが可能である結果、ウェーハの研磨精度を向上できる。更に、装置間に停滞していた仕掛品を最小限に管理することができ、ロット混入等のトラブルをなくすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るブラシ洗浄装置の概要を説明するための概要図である。
【図2】図1に示すブラシ洗浄装置の詳細を説明するための部分断面図である。
【図3】図1に示すブラシ洗浄装置の詳細を説明するための部分断面図である。
【図4】ウェーハの研磨装置システムを説明するための平面図である。
【図5】従来のブラシ洗浄装置の概要を説明するための概念図である。
【符号の説明】
1 ブラシ
2 ブラシ装着治具
3 太陽ギア
4 遊星ギア
10 加熱装置
12 キャリアプレート
14 接着装置
33 駆動装置
36、42 冷却装置
37 空圧シリンダ(昇降手段)
50 研磨装置
51 クランク機構(揺動手段)
76 第1洗浄装置
82 第2洗浄装置
34、38、46、57、62、74、86、90 搬送装置
Claims (4)
- キャリアプレートのウェーハ接着面を洗浄するブラシ洗浄装置において、
太陽ギアと、
前記太陽ギアと噛合し、太陽ギアの回りを公転すると共に自転する複数の遊星ギアと、
前記遊星ギアの各々が太陽ギアの回りを公転しながら自転するように、前記遊星ギアの各々を太陽ギアに対して公転方向に駆動する駆動手段と、
噛合状態の前記太陽ギアと遊星ギアとをキャリアプレートのウェーハ接着面に沿って揺動する揺動手段と、
前記各遊星ギアと一体に設けられ、前記キャリアプレートのウェーハ接着面に当接して洗浄するブラシが装着されたブラシ装着治具と、
前記キャリアプレートのウェーハ接着面に対する前記ブラシの押圧力を調整すべく、前記各ブラシ装着治具上に配置されるウエイトと、
前記太陽ギアと噛合状態にある遊星ギアをキャリアプレートのウェーハ接着面に対して接離方向に昇降する昇降手段とを具備し、
前記昇降手段によって、前記遊星ギアを介して前記ブラシ装着治具が押し上げられることによって前記ブラシのウェーハ接着面に対する押圧力が低減され、前記昇降手段による前記ブラシ装着治具への押し上げ力が低減されることによって、前記遊星ギア、前記ブラシ装着治具、前記ウエイトの自重による前記ブラシの前記キャリアプレートのウェーハ接着面に対する押圧力が増加されることを特徴とするブラシ洗浄装置。 - キャリアプレートのウェーハ接着面を洗浄するブラシ洗浄装置において、
キャリアプレートのウェーハ接着面と平行な面内で揺動可能に設けられたスライド板と、
該スライド板を揺動させる駆動機構と、
前記スライド板に固定して設けられた太陽ギアと、
該太陽ギアを貫通して上下方向に移動可能、かつ軸線を中心として回転可能に設けられたシャフトと、
該シャフトを回転駆動する駆動手段と、
前記シャフトを上下方向に昇降する昇降手段と、
前記シャフト下端に固定された回転部材と、
該回転部材に、周方向に間隔をおいて複数個配設された筒体と、
該各筒体を貫通して設けられたブラシ用シャフトと、
該各ブラシ用シャフトの上端に設けられ、前記太陽ギアに噛合する遊星ギアと、
前記各ブラシ用シャフトの下端に設けられたブラシ装着治具と、
該各ブラシ装着治具の下端に設けられたブラシと、
前記キャリアプレートのウェーハ接着面に対する前記ブラシの押圧力を調整すべく、前記ブラシ装着治具上に配置されるウエイトとを具備し、
前記各遊星ギアが、前記駆動手段により前記シャフトが回転されることによって、前記太陽ギアの回りを公転しながら自転するように構成され、
前記昇降手段によって、前記シャフト、前記回転部材、前記筒体、前記遊星ギア、前記ブラシ用シャフトを介して前記ブラシ装着治具が押し上げられることによって前記ブラシのウェーハ接着面に対する押圧力が低減され、前記昇降手段による前記ブラシ装着治具への押し上げ力が低減されることによって、前記遊星ギア、前記ブラシ用シャフト、前記ブラシ装着治具、前記ウエイトの自重による前記ブラシの前記キャリアプレートのウェーハ接着面に対する押圧力が増加されることを特徴とするブラシ洗浄装置。 - 遊星ギアの公転方向と逆方向にキャリアプレートを回転する回転装置が設けられていることを特徴とする請求項1または2記載のブラシ洗浄装置。
- ウェーハを接着するキャリアプレートが載置され、前記キャリアプレートを加熱する加熱装置と、
前記加熱装置によって加熱されたキャリアプレート上に接着剤を介してウェーハを接着させる接着装置と、
加熱されてウェーハが接着された前記キャリアプレートを室温まで冷却する冷却装置と、
前記キャリアプレートに接着されたウェーハを研磨定盤面に当接させ、キャリアプレートと研磨定盤とを相対的に運動させて、ウェーハ表面を鏡面に研磨する研磨装置と、
前記研磨装置によって研磨されたウェーハを前記キャリアプレートから剥離する剥離装置と、
前記剥離装置によってウェーハが剥離された前記キャリアプレートの表面に残留した接着剤を除去する第1洗浄装置と、
前記第1洗浄装置で洗浄されたキャリアプレートを清浄水槽に浸漬して高洗浄度に洗浄する第2洗浄装置と、
前記加熱装置から記載の順序で閉ループ状に配列された前記各装置間に配設され、一の装置から排出されたキャリアプレートを隣接する装置に搬送する搬送装置とから成るウェーハの研磨装置システムであって、
前記第1洗浄装置が、請求項1〜3いずれか1項記載のブラシ洗浄装置であることを特徴とするウェーハの研磨装置システム。
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