KR101645723B1 - 태양광 웨이퍼의 스토리지 구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 태양광 웨이퍼의 스토리지 구조에 관한 것으로서, 내부를 관통하는 관통공이 형성된 본체와;상기 본체의 관통공 위에 놓여지는 받침판;을 포함하는데 상기 본체의 가장자리 주위로 원기둥형상으로 본체의 위쪽으로 돌출되는 가이드핀과 에어노즐이 형성되는데 가이드 핀은 가이드 핀끼리 마주보고 배열되며 에어노즐은 에어노즐끼리 마주보고 배열되며 에어노즐의 끝단에는 공기를 배출하는 배출구가 형성되고 다른 끝단은 본체의 옆면에 형성된 인입구에 연결되어 인입구로 들어온 공기가 에어노즐의 끝쪽으로 배출되도록 하며 상기 받침판 위에는 태양광 웨이퍼가 올려져 받침판에 의해 조금씩 밀려올려지며 상기 받침판위에 올려지는 태양광 웨이퍼와 진공패드가 흡착하는 위치와 에어노즐이 공기를 배출하는 위치는 항상 일정하도록 한다.

Description

태양광 웨이퍼의 스토리지 구조{STRUCTURE OF WAFER STORAGE}

본 발명은 태양광 웨이퍼스토리지 구조에 관한 것

본 발명은 태양광 웨이퍼스토리지 구조에 관한 것으로서 보다 자세하게는 태양광 웨이퍼를 적치하기 위한 장치에 관한 것으로서 태양광 웨이퍼를 적치하기 위한 장치는 현재 고정형, 높낮이 가변형, 카세트형등 여러가지 형태가 사용되고 있는데 웨이퍼를 여러 장 적치한 상태에서 두께 약 0.2mm 정도 되는 제품들을 진공패드로 흡착하여 옮기게 된다.

도1,2에는 종래의 태양광웨이퍼 스토리지의 형태와 작동방법을 도시된다. 대한민국 특허 공개번호 제10-2010-0033285호 '태양전지용 웨이퍼의 이송장치 및 이송방법'에는 태양전지용 웨이퍼의 이송장치에 관한 내용이 개시된바 있다.

그런데 태양광 웨이퍼를 적치한 뒤에 진공패드로 웨이퍼를 흡착해서 옮기게 되는데 태양광 웨이퍼의 두께가 얇기 때문에 표면장력에 의해서 1장이 아니라 2~3장이 한꺼번에 들어 올려지게 되는 경우가 종종있었다. 이것을 방지하기 위해서 한개의 웨이퍼만 들어 올려질 수 있도록 하기 위하여 웨이퍼가 적치된 상태에서 측면에서 에어를 불어 넣어 여러장이 붙어서 올라오지 않도록 하고 있다.

현재 사용되고 있는 태양광 웨이퍼스토리지는 웨이퍼를 고정된 상태로 적치한 상태에서 진공패드가 움직이는 형태를 사용하거나 적치된 웨이퍼가 상하로 움직인다고 하더라도 벨트에 의해 진공흡착판까지 상부의 웨이퍼가 닿도록 하여 수직이동이 되도록 하고 있거나 카세트 형식으로 적당한 위치에 태양광 웨이퍼 스토리지를 적치하도록 하고 있다.

그런데 고정형의 경우 진공패드가 웨이퍼를 흡착하게 되는 위치가 조금씩 아래로 내려가기 때문에 진공패드가 좀 더 정밀하게 움직여야 할 필요가 있으며 이에 따라 측면에서 들어오는 에어 또한 적절한 위치로 움직여야 하는데 대개의 경우 에어홀도 고정형인 경우가 많아 에어홀과 떨어져 있는 곳에 위치하는 웨이퍼는 분리가 안되어 종래와 같이 여러 장이 함께 흡착되는 경우가 많았다.

높낮이 가변형의 경우에도 태양광 웨이퍼만 수직이동이 가능할 뿐 고정형의 형태와 크게 차이가 없으며 오히려 수직이동에 의하여 진공패드에 의한 정밀한 흡착이 어려운 경우가 많았다. 또한 에어홀도 함께 수직 이동되는 것이 아니기 때문에 정밀한 웨이퍼 흡착이 어려운 경우가 많았다. 이러한 문제는 카세트 타입을 포함하여 대부분의 태양광 웨이퍼 스토리지에 공통적으로 해당되는 것이었다.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서 진공패드에 의하여 웨이퍼를 흡착할 때 웨이퍼를 흡착하는 위치가 항상 일정하도록 하여 한번의 흡착에 여러개의 웨이퍼가 한꺼번에 흡착되는 일이 없도록 하며 에어를 불어넣게 되는 위치도 항상 일정하도록 하여 정밀한 작동이 될 수 있도록 한다.

상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 태양광 웨이퍼의 스토리지 구조를 제공하는데 내부를 관통하는 관통공이 형성된 본체와;

상기 본체의 관통공 위에 놓여지는 받침판;을 포함하는데 상기 본체의 가장자리 주위로 원기둥형상으로 본체의 위쪽으로 돌출되는 가이드핀과 에어노즐이 형성되는데 가이드 핀은 가이드 핀끼리 마주보고 배열되며 에어노즐은 어노즐끼리 마주보고 배열되며 에어노즐의 끝단에는 공기를 배출하는 배출구가 형성되고 다른 끝단은 본체의 옆면에 형성된 인입구에 연결되어 인입구로 들어온 공기가 에어노즐의 끝쪽으로 배출되도록 하며 상기 받침판 위에는 태양광 웨이퍼가 올려져 받침판에 의해 조금씩 밀려올려지며 상기 받침판위에 올려지는 태양광 웨이퍼와 진공패드가 흡착하는 위치와 에어노즐이 공기를 배출하는 위치는 항상 일정하도록 할 수 있다.

본체와 받침판의 맞닿은 위치에는 한개 이상의 자석이 본체와 받침판에 각각 설치되어 받침판이 상방으로 이동하더라도 받침판이 수직방향이 아닌 다른 방향으로 이동되지 않도록 할 수 있다.

상기 본체가 상방이 아닌 다른 방향으로 움직이지 않도록 측면에서 고정시키는 스토퍼와 받침판을 상방으로 이동시키기 위한 리프트를 더 포함할 수 있다.

상기 받침판의 하면에는 리프트와 결합하기 위하여 안쪽으로 함입된 결합공 이외에도 받침판이 기울어지지않도록 하기 위한 제2결합공이 한개이상 형성된 것일 수 있다.

상기 에어노즐의 배출구는 일자로 형성된 통공의 양옆으로 노즐의 끝단에서 수직방향으로 연장되어 형성되며 끝단은 바깥쪽으로 접혀서 공기가 확산되도록 하는 것일 수 있다.

상기한 바와 같은 구성에 의하여 언제나 같은 위치에서 진공패드에 의한 흡착이 이루어지고 에어 공급이 이루어지도록 하여 여러개의 웨이퍼가 한꺼번에 흡착되지 않도록 하는 효과를 갖는다.

도1,2는 종래의 웨이퍼 스토리지 구조를 도시하는 도면.
도3내지 도8은 본 발명에 따르는 일실시예를 도시하는 도면.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명을 상세하게 설명한다. 도3은 본 발명에 따르는 본 발명은 상기한 태양광 웨이퍼 스토리지의 일실시예를 도시하는 도면이다. 본 발명에 따르는 태양광 웨이퍼스토리지는 스토리지 어래이 본체(11)가 형성되고 본체(11)의 안쪽으로는 상하운동을 하는(Z축방향으로 칭함)받침판(12)이 형성되어 있으며 본체의 측면쪽으로는 원기둥형태의 가이드핀(13)과 역시 바깥쪽에서 보이는 부분만 원기둥 형태인 에어노즐(14)이 형성되어 있다. 에어노즐(14)은 본체(11)의 측면으로부터 형성된 공기배출구(15)는 에어노즐(14)의 한쪽 끝에 공기를 넣는 인입구(16)까지 연결된다.

가이드핀(13)은 본체(11)내부에 받침판(12)을 고정시키고 받침판(12)이 이탈되지 않도록 하기 위하여 사용된다. 특히 받침판(12)이 본체(11)로부터 이탈하여 움직이게 되더라도 측면으로 이탈하지 않도록 길다란 원기둥 형태를 하고 있으며 본체(11)의 위쪽으로 돌출되어 있다.

도4,5,6은 본 발명에 따른 장치의 작동을 도시한다. 도4는 본체(11)를 구동시키기 위한 구동부를 도시하는데 리프트(21)는 z축을 따라서 상하운동을 하며 리프트(21)의 끝단에 받침판(12)이 올려져서 리프트(21)의 움직임에 따라 받침판(12)이 움직이게 된다. 또한, 본체의 양옆으로는 스토퍼가 형성되어 있어서 본체의 좌우를 밀어 움직이지 않게 하여 본체가 정렬되어 진공패드가 작업하기 쉽도록 한다.

즉, 상하방향으로 리프트가 움직일때 스토퍼가 본체(11)가 옆쪽으로 벗어나는 것을 막아주기 때문에 진공패드는 언제나 같은 궤적으로만 움직이면 되기 때문에 진공패드의 움직임을 따로 제어할 필요가 없어져 언제나 같은 방법으로 작업하는 것이 가능하다.

또한, 본체의 가장자리 부근에는 에어노즐(14)들이 서로 마주보고 형성되어 있다. 에어노즐의 한쪽끝단은 본체(11)의 안쪽으로 해서 본체 옆의 인입구(16)에 연결되어 인입구(16)로부터 들어온 공기를 에어노즐을 통하여 배출한다. 종래의 노즐은 노즐이 위치하는 곳 기준으로 웨이퍼가 있을 수 있기 때문에 노즐을 통해서 공기가 확산되도록 하여 보다 넓은 범위를 커버하여야 하였지만 본 발명에 의할때 진공패드와 웨이퍼가 만나는 위치는 항상 일정하기 때문에 해당 지점으로만 공기를 불어주면 되기 때문에 좀더 집중해서 공기를 배출하도록 할 수 있다. 따라서, 같은 양의 공기로도 웨이퍼가 좀 더 잘 떨어지도록 하는 효과가 있다.

도3과 도5,6,7에서 보듯이 본체(11)는 받침판(12)이 올려질 수 있는 턱을 가지고 있으며 안쪽에는 사각형 형태의 빈 공간이 형성되어 있다. 또한 받침판(12)의 하면에는 리프트(21)와 결합하는 안쪽으로 함입된 형태의 리프트결합공(23)이 형성되어 있어서 리프트결합공(23)에 리프트(21)가 결합하여 받침판(12)을 조금씩 들어올린다.

태양광 웨이퍼가 한장씩 옮겨짐에 따라서 리프트(21)도 조금씩 받침판(12)을 들어 올리게 되는데 본체(11)에서 받침판(12)이 이탈되어 올라가게 된다. 이때 본체(11)는 스토퍼에 의해서 위치가 고정이 되지만 리프트(21)가 올라갈때 받침판(12)이 조금씩 흔들릴 수가 있다. 여기서 생길 수 있는 오차를 없애기 위하여 받침판(12)과 본체(11)가 맞닿게 되는 부분에 자석(24)을 설치한다. 자석(24)은 받침판(12)과 본체(11)가 붙어있을때 받침판(12)과 본체(11)가 떨어지지 않게 하면서도 본체(11)와 받침판(12)이 떨어진 상태가 될때에는 받침판(12)이 원래의 위치로부터 크게 이탈하지 않도록 한다. 디수개의 자석이 설치된 경우에는 여러군데 에서 받침판을 잡아주기 때문에 아주 먼 거리가 아니라면 받침판(12)이 원래 있어야만 할 위치에서 크게 떨어지지 않게 된다. 상기 실시예에서는 4군데에 자석을 설치하여 받침판(12)이 움직이지 않도록 하였다.

도8은 에어노즐(14)의 형태를 좀더 자세하게 도시한다. 본 발명에 따르는 에어노즐은 항상 같은 위치의 일정한 부분에만 에어를 분사하면 되기 때문에 캡(32)이 상단에 위치하고 바깥쪽으로 가림판(33)이 형성되어 본체의 중앙쪽으로만 에어가 가도록 한다.

또한, 배출구(15)로부터 배출구(15)의 길이방향의 외곽선을 따라서 연장된 안내판(34)이 형성되어 있는데 안내판(34)의 끝단은 바깥쪽으로 둔각으로 접혀서 배출구(15)로부터 나오는 에어가 확산될 수 있도록 한다.

에어는 본체를 관통하고 나온 에어관(31)을 지나서 에어관(31)의 옆면에 길이방향으로 형성된 배출구(15)를 통해 나오게 된다. 종래에는 에어가 나오는 관은 고정되어 있는 상태에서 에어가 분사되어야 하는 웨이퍼의 위치가 조금씩 변하기 때문에 에어가 웨이퍼 전체에 분사되도록 하였으나 본 발명은 진공패드가 흡착되는 위치가 항상 일정하기 때문에 에어가 나오는 위치는 미리 지정되어 같은 양의 에어라 하더라도 집중적으로 분사할 수 있게 된다. 또한, 캡(32)과 가림판(33)에 의해서 분사된 에어가 웨이퍼에 맞고 반사된뒤 다시 웨이퍼쪽으로 갈 수 있도록 하여 에어노즐(14)의 근처에 작은 난류를 형성하여 웨이퍼가 쉽게 떼어지도록 한다.

1,2: 스토퍼
11: 본체 12: 받침판
13: 가이드핀 14: 에어노즐
15: 배출구 21: 리프트
31:에어관
32: 캡 33: 가림판
34: 안내판

Claims (5)

1. 태양광 웨이퍼의 스토리지 구조로서,
   내부를 관통하는 관통공이 형성된 본체와;
   상기 본체의 관통공 위에 놓여지는 받침판;을 포함하는데
   상기 본체의 가장자리 주위로 원기둥형상으로 본체의 위쪽으로 돌출되는 가이드핀과 에어노즐이 형성되는데 가이드 핀은 가이드 핀끼리 마주보고 배열되며 에어노즐은 에어노즐끼리 마주보고 배열되며
   에어노즐의 끝단에는 공기를 배출하는 배출구가 형성되고 다른 끝단은 본체의 옆면에 형성된 인입구에 연결되어 인입구로 들어온 공기가 에어노즐의 끝쪽으로 배출되도록 하며
   상기 받침판 위에는 태양광 웨이퍼가 올려져 받침판에 의해 조금씩 밀려올려지며
   상기 받침판위에 올려지는 태양광 웨이퍼를 진공패드가 흡착하는 위치와 에어노즐이 공기를 배출하는 위치는 항상 일정하도록 하며
   본체와 받침판의 맞닿은 위치에는 한개 이상의 자석이 본체와 받침판에 각각 설치되어 받침판이 상방으로 이동하더라도 받침판이 수직방향이 아닌 다른 방향으로 이동되지 않도록 하는 것을 특징으로 하는 , 태양광 웨이퍼의 스토리지 구조
   
2. 삭제
3. 제1항에 있어서, 상기 본체가 상방이 아닌 다른 방향으로 움직이지 않도록 측면에서 고정시키는 스토퍼와 받침판을 상방으로 이동시키기 위한 리프트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 태양광 웨이퍼의 스토리지 구조
   
4. 삭제
5. 제3항에 있어서, 상기 에어노즐의 배출구는 일자로 형성된 배출구의 양옆으로 노즐의 끝단에서 수직방향으로 연장되어 형성되며 끝단은 바깥쪽으로 접혀서 공기가 확산되도록 하는 것을 특징으로 하는, 태양광 웨이퍼의 스토리지 구조
   
   

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