KR20150121482A - 이송장치용 흡착패드 및 이를 구비하는 이송장치 - Google Patents

이송장치용 흡착패드 및 이를 구비하는 이송장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 이송장치용 흡착패드에 관한 것으로, 이송 대상물을 적층 컨테이너로 이송시키는 이송장치용 흡착패드에 있어서, 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상의 설정된 중앙 영역에 설정 간격만큼 상호 이격되어 설치되며, 상기 이송 대상물과 흡착되는 미세섬모 구조물들; 및 상기 베이스 플레이트 상의 설정된 가장자리 영역에 설치되어, 상기 미세섬모 구조물들 중 상기 가장자리 영역에 근접하게 위치하는 미세섬모 구조물들의 손상을 방지하도록 상기 미세섬모 구조물들을 둘러싸며 형성되는 격벽을 포함하는 이송장치용 흡착패드를 포함한다.

Description

이송장치용 흡착패드 및 이를 구비하는 이송장치{Suction pad for transferring device and the transferring device comprising the same}
본 발명은 이송장치용 흡착패드 및 이를 구비하는 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 미세섬모 구조물들로 이루어져 미세섬모 구조물들이 이송 대상물과 흡착하여 이송 대상물을 안전하게 이송시킬 수 있는 이송장치용 흡착패드 및 이를 구비하는 이송장치에 관한 것이다.
반도체 소자를 제공하기 위하여, 웨이퍼를 처리하는 기판 처리 장치는 대기 중의 이물질이나 화학적인 오염으로부터 웨이퍼를 보호하며, 웨이퍼를 저장 및 운반하기 위해 카세트, 캐리어 등의 밀폐형 웨이퍼 컨테이너를 사용한다. 웨이퍼를 카세트, 캐리어 등의 밀폐형 웨이퍼 컨테이너로 이송하기 위해서는 웨이퍼를 지지하여 이송할 수 있는 이송장치가 필요하다.
종래의 이송장치에는 기계적 척 및 정전 척이 이용되고 있다. 기계적 척의 경우 일반적으로 웨이퍼를 상하 방향으로 고정하여 웨이퍼를 지지한다. 그런데 전자의 경우와 같이 상기 웨이퍼의 상하 방향으로 고정하여 지지하게 되면, 척이 웨이퍼 표면에 직접 닿아 웨이퍼 표면이 척에 의해 상처가 생기는 문제점이 발생된다.
한편, 정전 척의 경우, 웨이퍼를 지지하기 위한 충분한 힘을 발휘하기 위해 웨이퍼 이면의 중심부를 정전 척의 흡착부와 접촉시켜 고정한다. 그런데 정전 척을 사용하는 경우, 웨이퍼의 이면 중심부가 정척 척의 흡착부와 접촉하여 고정되면서 중심부에 이물질이 부착하거나 상처가 발생할 우려가 있다. 특히, 잔류 전하나 누설 전기장에 흐를 경우, 이들에 의해 웨이퍼가 이물질을 끌어당기는 힘이 갖게 되는 문제점이 발생될 수 있다. 이러한 문제점들을 해결하기 위해 최근에는 미세섬모 구조물을 이용하여 웨이퍼를 이송하기 위한 장치가 개발되고 있다.
그런데 미세섬모 구조물들을 이용하여 제작된 이송장치용 흡착패드(10)는 미세섬모 구조물(11)들에 흡착된 웨이퍼를 분리시킬 때 미세섬모 구조물(11)들을 수평방향으로 슬라이딩 이동시키면서 웨이퍼와 미세섬모 구조물들을 분리시킨다. 이때, 흡착패드(10)의 가장자리 영역에 위치하는 미세섬모 구조물(11)들은 슬라이드 이동에 의해 강한 응력과 마찰력을 받게 된다. 흡착패드(10)의 가장자리 영역에 위치하는 미세섬모 구조물(11)들에 가해지는 강한 응력과 마찰력은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 미세섬모 구조물(11)들을 손상시키는 문제점을 일으킨다.
일본공개특허공보 2012-89837호
본 발명은 미세섬모 구조물들로 이루어져 미세섬모 구조물들이 이송 대상물과 흡착하여 이송 대상물을 안전하게 이송시킬 수 있는 이송장치용 흡착패드 및 이를 구비하는 이송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 이송 대상물을 적층 컨테이너로 이송시키는 이송장치용 흡착패드에 있어서, 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상의 설정된 중앙 영역에 설정 간격만큼 상호 이격되어 설치되며, 상기 이송 대상물과 흡착되는 미세섬모 구조물들; 및 상기 베이스 플레이트 상의 설정된 가장자리 영역에 설치되어, 상기 미세섬모 구조물들 중 상기 가장자리 영역에 근접하게 위치하는 미세섬모 구조물들의 손상을 방지하도록 상기 미세섬모 구조물들을 둘러싸며 형성되는 격벽을 포함하는 이송장치용 흡착패드를 제공한다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 본 발명은, 이송 대상물을 적층 컨테이너로 이송시키는 이송장치용 흡착패드에 있어서, 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상의 설정된 중앙 영역에 설정 간격만큼 상호 이격되어 설치되며, 상기 이송 대상물과 흡착되는 미세섬모 구조물들; 및 상기 베이스 플레이트 상의 설정된 가장자리 영역에 설치되어 상기 이송 대상물에 흡착되고, 상기 미세섬모 구조물들 중 상기 가장자리 영역에 근접하게 위치하는 미세섬모 구조물들의 손상을 방지하도록 상기 미세섬모 구조물들을 둘러싸며 형성되는 손상방지 미세섬모 구조물들을 포함하는 이송장치용 흡착패드를 제공한다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 본 발명은, 이송 대상물을 적층 컨테이너로 이송시키는 이송장치용 흡착패드에 있어서, 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상의 설정된 중앙 영역에 설정 간격만큼 상호 이격되어 설치되며, 상기 이송 대상물과 흡착되는 미세섬모 구조물들; 및 상기 베이스 플레이트 상의 설정된 가장자리 영역에 설치되어 상기 이송 대상물에 흡착되고, 상기 미세섬모 구조물들 중 상기 가장자리 영역에 근접하게 위치하는 미세섬모 구조물들의 손상을 방지하도록 상기 미세섬모 구조물들을 둘러싸며 형성되되, 상기 미세섬모 구조물들보다 높은 밀집도를 갖는 손상방지 미세섬모 구조물들을 포함하는 이송장치용 흡착패드를 제공한다.
본 발명에 따른 이송장치용 흡착패드 및 이를 구비하는 이송장치는 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 베이스 플레이트 상에 미세섬모 구조물들을 감싸는 손상방지수단을 구비하여 미세섬모 구조물들과 이송 대상물이 분리될 때 발생되는 응력과 마찰력에 의해 미세섬모 구조물들이 손상되는 것을 방지하는 효과를 갖는다.
특히, 손상방지 미세섬모 구조물들은 가장자리 영역에 발생되는 응력과 마찰력에 대응되도록 크기와 개수를 조절하여 미세섬모 구조물들 및 손상방지 미세섬모 구조물들이 응력과 마찰력에 의해 손상되는 것을 방지하면서도 이송 대상물과의 흡착력을 향상시켜 이송 대상물을 안전하게 이송시키는 효과를 가질 수 있다.
도 1 및 도 2는 종래의 이송장치용 흡착패드의 일 부분을 확대하여 촬영한 부분 확대도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송장치용 흡착패드가 도시된 평면도 및 단면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송장치용 흡착패드가 도시된 평면도 및 단면도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 이송장치용 흡착패드가 도시된 평면도 및 단면도이다.
도 3 내지 도 5에는 본 발명에 따른 이송장치용 흡착패드가 도시되어 있다.
본 발명에 따른 이송장치용 흡착패드에 대해 먼저 설명하기 전에 도면에는 도시되지 않았으나, 이송장치는 상기 흡착패드(100)와 함께 본체(미도시) 및 로봇암(미도시)을 더 포함한다. 상기 본체(미도시)는 상기 로봇암(미도시)이 결합되는 것이며, 상기 본체(미도시)에는 상기 로봇 암(미도시)의 작동을 제어할 수 있는 작동 제어부(미도시)가 설치되어 있을 수 있다. 상기 작동 제어부(미도시)사 설치되어 있는 경우, 작업자가 상기 작동 제어부(미도시)를 직접 조작하여 상기 로봇 암(미도시)의 작동을 제어할 수 있다. 그러나 상기 로봇 암(미도시)의 작동은 작업자에 의해 이루어지는 것에 한정되지 않고, 미리 저장된 설정에 따라 자동으로 이루어지는 것도 가능하다.
상기 본체(미도시)의 형태는 특정되어 있는 것이 아니며, 제작자에 의해 상기 로봇 암(미도시)이 결합될 수 있는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 초기에는 상기 본체(미도시)의 크기가 상당히 크게 제작되는 것이 일반적이었으나, 최근에는 기술의 발전 및 공간 활용성을 높이기 위해 상기 본체(미도시)의 크기가 점차 줄어드는 추세이다.
상기 로봇 암(미도시)은 전술한 바와 같이, 상기 본체(미도시)에 결합되는 동시에 본 발명에 따른 상기 이송장치용 흡착패드(100)가 구비되는 것이다. 상기 로못 암(미도시)의 형태는 다향하게 형성될 수 있으나, 일반적으로는 관절을 갖는 구조로 형성되어 상, 하, 좌, 우 의 다양한 방향으로 상기 흡착패드(100) 및 상기 흡착패드(100)에 흡착된 상기 이송 대상물을 이동시킬 수 있다. 상기 이송장치용 흡착패드(100)로 이송하기 위한 이송 대상물은 예를 들어 웨이퍼, 디스플레이 패널 등일 수 있다. 본 발명의 상세한 설명에서는 상기 이송 대상물이 웨이퍼인 것을 예로 돈다.
먼저, 도 3을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 이송장치용 흡착패드에 대해 설명하기로 한다. 도 3의 (a)는 본 발명의 일 실시예에 따른 이송장치용 흡착패드의 평면도가 도시된 것이고, (b)는 (a)의 섹션 A-A`의 단면도이다. 도 3을 참조하여 보면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송장치용 흡착패드이송장치용 흡착패드의 흡착패드(100)는, 베이스 플레이트(101), 미세섬모 구조물(110)들 및 격벽(130)을 포함한다. 상기 베이스 플레이트(101)는 상기 미세섬모 구조물(110)들 및 상기 격벽(130)을 지지한다. 보다 구체적으로 후술되겠으나, 상기 미세섬모 구조물(110)들 및 상기 격벽(130)은 상기 베이스 플레이트(101) 상에 설치되며, 상기 베이스 플레이트(101)에 의해 상기 흡착패드(100)가 상기 로봇 암(미도시)에 구비된다.
본 실시예에서는 상기 베이스 플레이트(101)가 원형 단면의 플레이트 형태로 형성된다. 상기 베이스 플레이트(101)가 원형 단면의 플레이트 형태로 형성되는 것은 본 실시예에 한정되는 것 일 뿐이며, 상기 베이스 플레이트(101)는 항상 원형 단면의 플레이트 형태로 형성될 필요는 없다.
상기 미세섬모 구조물(110)들은 상기 베이스 플레이트(101) 상에 부착된다. 상기 미세섬모 구조물(110)들은 도 3에 도시된 바와 같이, 설정 간격만큼 상호 이격되어 복수 개 구비된다. 상기 각 미세섬모 구조물(110)에 대해 보다 구체적으로 살펴보면, 상기 각 미세섬모 구조물(110)은 기둥부(111) 및 접촉부(113)를 포함한다. 상기 기둥부(111)는 상기 베이스 플레이트(101) 상에 수직하게 세워져 설치된다. 상기 기둥부(111)는 예시적으로 길이 방향에 교차하는 단면이 원형인 원기둥의 형태로 형성된다. 그러나 이는 예시적인 것일 뿐, 이에 한정될 필요가 없고 상기 기둥부(111)의 단면이 삼각형 또는 사각형 등의 다양한 단면 형상을 갖는 기둥 형태로 형성될 수 있다.
상기 접촉부(113)는 상기 기둥부(111)의 선단에 구비되는 것이며, 상기 이송 대상물과 흡착된다. 설정된 압력이 가해지면 상기 접촉부(113)는 상기 이송 대상물과 밀착하여 상기 이송 대상물과 흡착된다. 상기 접촉부(113)는 상기 이송 대상물과 접촉하는 면(113a)이 오목하게 형성된다. 그러나 이는 예시적인 것일 뿐이며, 오목하게 형성되는 것에 한정되지 않고 평면형상, 볼록형상 등의 다양한 형상을 갖는 형태로 형성될 수 있다. 그리고 상기 이송 대상물과 접촉하는 면(113a)의 선단에는 돌기(113b)가 형성된다. 본 실시예에서는 상기 접촉부(113)가 하향되게 구비된 것으로 도시되어 있으나, 상기 흡착패드(100)가 상기 이송 대상물을 이송할 때에는 상기 접촉부(113)가 상향되도록 상기 흡착패드(100)가 180°회전된다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니고, 상기 접촉부(113)가 하향된 상태로 상기 이송 대상물과 접촉할 수도 있다.
상기 접촉부(113)는 전술한 바와 같이, 상기 이송 대상물과 밀착하여 흡착되도록 상기 기둥부(111)의 선단에 구비되는 것이다. 상기 접촉부(113)의 상기 돌기(1113b)가 상기 이송 대상물과 접촉하게 되면, 상기 이송 대상물과 상기 접촉하는 면(113a) 사이에 공기층이 형성된다. 이때, 상기 이송 대상물에 설정된 압력을 가하게 되면 상기 이송 대상물과 상기 접촉하는 면(113a) 사이, 공기층의 공기가 제거되면서 상기 접촉하는 면(113a)이 상기 이송 대상물에 밀착되어 흡착하게 된다.
전술한 바와 같이, 상기 미세섬모 구조물(110)들은 설정된 간격만큼 상호 이격되어 복수 개 설치되는데, 예를 들어 상기 미세섬모 구조물(110)들이 복수의 열 및 복수의 칸을 이루도록 매트릭스 형태로 배치되어 설치된다. 상기 미세섬모 구조물(110)들이 형성되는 개수는 상기 베이스 플레이트(101)의 크기, 상기 접촉부(113)의 크기, 상기 흡착패드(100)로 이송시키는 상기 이송 대상물의 크기에 따라 달라진다.
상기 격벽(130)은 상기 미세섬모 구조물(110)들의 손상을 방지하는 역할을 한다. 보다 구체적으로 설명하면, 상기 격벽(130)은 상기 베이스 플레이트(101) 상에 설치되는데 특히, 상기 베이스 플레이트(101)의 설정된 가장자리 영역에 설치된다. 상기 격벽(130)은 상기 베이스 플레이트(101)의 상기 가장자리 영역에 설치되어 상기 가장자리 영역에 근접하게 위치하는 미세섬모 구조물(110)들의 손상을 방지하는 역할을 한다.
상기 격벽(130)은 상기 가장자리 영역만큼 상기 베이스 플레이트(101) 상에 돌출 연장되어 형성된다. 그리고 상기 베이스 플레이트(101)의 둘레 방향을 따라 상기 미세섬모 구조물(110)들을 둘러싸도록 형성된다. 본 실시예에서는 상기 베이스 플레이트(101)가 원형 단면의 플레이트 형태로 형성되므로, 상기 격벽(101)도 상기 베이스 플레이트(101)의 둘레 방향을 따라 형성되어 링과 같은 형태로 형성된다.
일반적으로 상기 격벽(130)의 높이는 상기 미세섬모 구조물(110)들의 높이와 동일하다. 상기 격벽(130)은 상기 미세섬모 구조물(110)들의 손상을 방지하기 위해 형성되는 것이므로, 상기 격벽(130)의 높이가 상기 미세섬모 구조물(110)들의 높이보다 낮지 않아야 한다. 만약 상기 격벽(130)의 높이가 상기 미세섬모 구조물(110)들의 높이보다 낮으면 상기 미세섬모 구조물(110)들이 상기 이송 대상물과 분리될 때의 응력과 마찰력이 상기 격벽(130)으로 분산되지 않기 때문에 응력과 마찰력으로 인해 상기 미세섬모 구조물(110)들이 손상된다.
또한, 상기 격벽(130)이 상기 미세섬모 구조물(110)들의 높이보다 높으면 상기 미세섬모 구조물(110)들이 상기 이송 대상물과 흡착할 수 없어 이송 대상물을 이송시킬 수 없다. 따라서 상기 격벽(130)의 높이를 상기 미세섬모 구조물(110)들의 높이와 동일하게 하여 상기 미세섬모 구조물(110)들이 상기 이송 대상물과 분리할 때의 응력과 마찰력이 상기 격벽(130)으로 분산되게 하여 상기 미세섬모 구조물(110)들이 손상되는 것을 방지한다.
한편, 상기 미세섬모 구조물(110)들의 높이는 상기 격벽(130)의 높이보다 수 나노미터-수백 마이크로미터 정도 클 수도 있다. 이러한 경우, 상기 이송 대상물의 무게 및 이송장치의 동작에 따른 가속도에 의해 상기 미세섬모 구조물(110)이 눌려 높이가 낮아짐으로써, 상기 미세섬모 구조물(110) 및 상기 격벽(130)이 상기 이송 대상물(130)과 균일하게 접촉할 수 있다. 더불어, 상기 미세섬모 구조물(110)이 눌림으로써 발생되는 탄성에 의해 상기 미세섬모 구조물(110)과 상기 이송 대상물(130)이 수직 방향으로의 분리가 쉽게 이루어질 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송장치용 흡착패드(100`)가 도시된 것이다. 도 4의 (a)는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송장치용 흡착패드의 평면도가 도시된 것이고, (b)는 (a)의 섹션 B-B`의 단면도이다. 도 4을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송장치용 흡착패드(100`)를 살펴보면, 상기 이송장치용 흡착패드(100`)는 베이스 플레이트(101), 미세섬모 구조물(110)들 및 손상방지 미세섬모 구조물(130`)들을 포함한다. 상기 베이스 플레이트(101) 및 상기 미세섬모 구조물(110)들은 전술한 일 실시예에 따른 이송장치용 흡착패드(100)와 동일한 구성이므로 이에 대해서는 일 실시예와 동일한 부호를 사용하며 구체적인 설명을 생략한다.
상기 손상방지 미세섬모 구조물(130`)들은 상기 미세섬모 구조물(110)과 동일한 구조로 형성된다. 즉, 상기 각 손상방지 미세섬모 구조물(130`)도 기둥부(131`) 및 접촉부(133`)를 포함하며, 상기 접촉부(133)는 접촉되는 면(133`a)과 돌기(133`b)로 이루어진다.
상기 각 손상방지 미세섬모 구조물(130`)의 횡단면적은 상기 각 미세섬모 구조물(110)의 횡단면적보다 더 크게 형성된다. 보다 구체적으로는 상기 손상방지 미세섬모 구조물(130`)의 상기 접촉부(133`)가 상기 미세섬모 구조물(110)의 상기 접촉부(113)보다 크게 형성된다. 상기 손상방지 미세섬모 구조물(130`)의 상기 기둥부(131)의 크기는 상기 미세섬모 구조물(110)의 상기 기둥부(111)의 크기보다 크거나, 동일하게 형성된다.
상기 손상방지 미세섬모 구조물(130`)들도 상기 미세섬모 구조물(110)들과 마찬가지로 상기 가장자리 영역에 설정된 간격만큼 상호 이격되어 복수 개 설치되며, 복수의 열과 복수의 칸을 이루도록 매트릭스 형태로 배치된다. 다만 상기 손상방지 미세섬모 구조물(130`)들의 배열 피치, 즉 이웃하는 상기 손상방지 미세섬모 구조물(130`)들 사이의 이격 간격은 상기 미세섬모 구조물(110)들의 배열 피치, 즉 이웃하는 상기 미세섬모 구조물(110)들 사이의 이격 간격과 동일하다.
전술한 바와 같이, 상기 흡착패드(110`)가 상기 이송 대상물과 흡착된 후 분리될 때에는 상기 가장자리 영역에 큰 응력과 마찰력이 발생된다. 상기 손상방지 미세섬모 구조물(130`)들은 상기 미세섬모 구조물(110)들보다 더 크게 형성되므로 상기 가장자리 영역에 발생되는 응력과 마찰력을 버티는 힘이 상기 미세섬모 구조물(110)들에 비해 더 커 응력과 마찰력에 의해 쉽게 손상되지 않으면서 상기 미세섬모 구조물(110)들의 손상도 방지한다. 따라서 상기 손상방지 미세섬모 구조물(130`)의 크기는 상기 가장자리 영역에 발생되는 응력과 마찰력을 고려하여 결정한다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 이송장치용 흡착패드(100″)가 도시되어 있다. 도 5의 (a)는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 이송장치용 흡착패드의 평면도가 도시된 것이고, (b)는 (a)의 섹션 C-C`의 단면도이다. 도 5를 참조하여 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 이송장치용 흡착패드(100″)는, 베이스 플레이트(101), 미세섬모 구조물(110)들 및 손상방지 미세섬모 구조물(130″)들을 포함한다. 본 실시예의 상기 베이스 플레이트(101), 상기 미세섬모 구조물(110)들도 전술한 일 실시예에 따른 이송장치용 흡착패드(100)와 동일한 구성이므로 이에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 설명은 생략한다.
본 실시예에서의 상기 손상방지 미세섬모 구조물(130″)들은 크기가 상기 미세섬모 구조물(110)들의 크기와 동일하다. 즉, 상기 손상방지 미세섬모 구조물(130″)의 상기 접촉부(133″)의 크기와 상기 미세섬모 구조물(110)의 상기 접촉부(113)의 크기가 동일하게 형성된다.
본 실시예에서는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 베이스 플레이트(101)의 중앙 영역에 설치되는 상기 미세섬모 구조물(110)들의 밀집도와 상기 베이스 플레이트(101)의 가장자리 영역에 설치되는 상기 손상방지 미세섬모 구조물(130″)들의 밀집도는 서로 상이하다. 예시적으로 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 가장자리 영역에 설치되는 상기 손상방지 미세섬모 구조물(130″)들의 제1 밀집도는 상기 중앙 영역에 설치되는 상기 미세섬모 구조물(110)들의 제2 밀집도보다 크다.
즉, 상기 베이스 플레이트(101)의 중앙 영역에는 상기 미세섬모 구조물(110)들의 이격 간격을 넓게 하여 설치하고, 상기 베이스 플레이트(101)의 가장자리 영역에는 상기 미세섬모 구조물(110)들의 이격 간격을 좁게 하여 설치한다. 따라서 상기 가장자리 영역에 설치되는 상기 손상방지 미세섬모 구조물(130″)들의 밀집도가 상기 중앙 영역에 설치되는 상기 미세섬모 구조물(110)들의 밀집도보다 크다.
또한, 도면에는 도시되지 않았으나, 상기 손상방지 미세섬모 구조물(130″)들의 밀집도는 상기 중앙 영역에서 상기 가장자리 영역으로 갈수록 점진적으로 커지도록 상기 손상방지 미세섬모 구조물(130″)들을 설치할 수도 있다.
이렇게 상기 가장자리 영역에 설치되는 상기 손상방지 미세섬모 구조물(130″)들의 밀도를 더 크게 하면 상기 가장자리 영역에 더 크게 발생되는 응력 및 마찰력의 분포가 고르게 되어 상기 손상방지 미세섬모 구조물(130″)이 손상되는 것을 방지할 수 있으며, 상기 미세섬모 구조물(110)들의 손상도 방지하는 효과를 가질 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
100, 100`, 100″: 이송장치용 흡착패드
101: 베이스 플레이트
110: 미세섬모 구조물
111: 기둥부 113: 접촉부
130: 격벽
130`, 130″: 손상방지 미세섬모 구조물

Claims (14)

  1. 이송 대상물을 적층 컨테이너로 이송시키는 이송장치용 흡착패드에 있어서,
    베이스 플레이트;
    상기 베이스 플레이트 상의 설정된 중앙 영역에 설정 간격만큼 상호 이격되어 설치되며, 상기 이송 대상물과 흡착되는 미세섬모 구조물들; 및
    상기 베이스 플레이트 상의 설정된 가장자리 영역에 설치되어, 상기 미세섬모 구조물들 중 상기 가장자리 영역에 근접하게 위치하는 미세섬모 구조물들의 손상을 방지하도록 상기 미세섬모 구조물들을 둘러싸며 형성되는 격벽을 포함하는 이송장치용 흡착패드.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 격벽은 상기 가장자리 영역만큼 상기 베이스 플레이트 상에 돌출되어 연장 형성되는 이송장치용 흡착패드.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 격벽의 높이는 상기 미세섬모 구조물들의 높이와 동일하거나 상기 미세섬모 구조물들의 높이보다 설정 높이만큼 낮게 형성되는 이송장치용 흡착패드.
  4. 이송 대상물을 적층 컨테이너로 이송시키는 이송장치용 흡착패드에 있어서,
    베이스 플레이트;
    상기 베이스 플레이트 상의 설정된 중앙 영역에 설정 간격만큼 상호 이격되어 설치되며, 상기 이송 대상물과 흡착되는 미세섬모 구조물들; 및
    상기 베이스 플레이트 상의 설정된 가장자리 영역에 설치되어 상기 이송 대상물에 흡착되고, 상기 미세섬모 구조물들 중 상기 가장자리 영역에 근접하게 위치하는 미세섬모 구조물들의 손상을 방지하도록 상기 미세섬모 구조물들을 둘러싸며 형성되는 손상방지 미세섬모 구조물들을 포함하는 이송장치용 흡착패드.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 손상방지 미세섬모 구조물들의 높이는 상기 미세섬모 구조물들의 높이와 동일하게 형성되는 이송장치용 흡착패드.
  6. 청구항 4에 있어서,
    상기 각 손상방지 미세섬모 구조물의 횡단면적의 크기는 상기 각 미세섬모 구조물의 횡단면적의 크기보다 크게 형성되는 이송장치용 흡착패드.
  7. 청구항 4에 있어서,
    상기 손상방지 미세섬모 구조물들의 배열 피치는 상기 중앙 영역에 설치된 상기 미세섬모 구조물들의 배열 피치와 동일하게 형성되는 이송장치용 흡착패드.
  8. 이송 대상물을 적층 컨테이너로 이송시키는 이송장치용 흡착패드에 있어서,
    베이스 플레이트;
    상기 베이스 플레이트 상의 설정된 중앙 영역에 설정 간격만큼 상호 이격되어 설치되며, 상기 이송 대상물과 흡착되는 미세섬모 구조물들; 및
    상기 베이스 플레이트 상의 설정된 가장자리 영역에 설치되어 상기 이송 대상물에 흡착되고, 상기 미세섬모 구조물들 중 상기 가장자리 영역에 근접하게 위치하는 미세섬모 구조물들의 손상을 방지하도록 상기 미세섬모 구조물들을 둘러싸며 형성되되, 상기 미세섬모 구조물들보다는 높은 밀집도를 갖는 손상방지 미세섬모 구조물들을 포함하는 이송장치용 흡착패드.
  9. 청구항 제8에 있어서,
    상기 각 손상방지 미세섬모 구조물의 횡단면적과 상기 각 미세섬모 구조물의 횡단면적은 동일한 크기로 형성된 이송장치용 흡착패드.
  10. 청구항 제8에 있어서,
    상기 손상방지 미세섬모 구조물들의 밀집도는 상기 중앙 영역에서 상기 가장자리 영역으로 갈수록 점진적으로 커지는 이송장치용 흡착패드.
  11. 청구항 8에 있어서,
    상기 미세섬모 구조물들이 설치된 영역에서의 밀집도는 전체적으로 동일하고,
    상기 손상방지 미세섬모 구조물들이 설치된 영역에서의 밀집도도 전체적으로 동일한 이송장치용 흡착패드.
  12. 청구항 1, 청구항 4 또는 청구항 8 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 각 미세섬모 구조물 및 상기 각 손상방지 미세섬모 구조물은,
    상기 베이스 플레이트 상에 수직하게 세워져 설치되는 기둥부; 및
    상기 기둥부의 선단에 구비되어, 설정된 압력이 가해지면 상기 이송 대상물과 밀착하여 접촉되는 접촉부를 포함하는 이송장치용 흡착패드.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 접촉부는 상기 이송 대상물과 접촉하는 면이 오목하게 형성되며,
    상기 이송 대상물의 상측에서 설정된 압력이 가해지면 상기 이송 대상물과 상기 접촉부 사이의 공기가 제거되면서 흡착되는 이송장치용 흡착패드.
  14. 청구항 1, 청구항 4 또는 청구항 8 중 어느 한 항의 이송장치용 흡착패드를 포함하는 이송장치.
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