JP2010114441A - ダイエジェクタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイエジェクタ1は、真空状態にすることが可能で、孔6を有するカバープレート3を備えるチャンバ2と、前記チャンバの内部に配置され、前記孔内に突出し、前記カバープレートの表面9に対して垂直もしくは斜角に伸長する方向に同時におよび個別に変位可能な複数のプレート8と、前記プレートを変位するための駆動手段とを備える。前記駆動手段は、モータ14および前記モータにより所定の経路に沿って2個の位置間を前後に移動可能なピン13を備える駆動機構12を備える。前記プレートの各々は経路状の開口部を備える。前記ピンは、前記プレートの各々における前記経路状の開口部内を誘導される。前記経路状の開口部は、前記ピンが前記経路に沿って移動すると前記プレートが所定の手順で前述の方向に変位するよう、プレートごとに異なる。
【選択図】図1
Description
前記プレート8のうちいくつかを特にプレート8、8”および8”’と規定する。
A)剥離する前記半導体チップ5’が前記カバープレート3の前記孔6上部に配置されるよう、前記金属箔4を前記ダイエジェクタ1に対して変位する工程。
B)チャンバ2を真空状態にして前記金属箔4を前記カバープレート3に吸着させる工程。
C)前記プレート8を個別に、もしくは全て同時に所定の手順で連続して降下させる工程。
D)工程Aもしくは工程Bもしくは工程Cの後で、前記チップグリッパ15を降下させて前記半導体チップ5’を吸引および強固に保持し、前記チップグリッパ15および前記半導体チップ5’を移動する工程。
BC)前記プレート8を、前記プレート8の前記金属箔4に面する側部が前記カバープレート3の前記表面9から突出するよう決定される所定の距離だけ、同時に上昇させる工程。
Claims (3)
- 孔(6)を有する表面を備えるカバープレート(3)を有し、真空状態にすることが可能なチャンバ(2)と、
前記チャンバ(2)の内部に配置され、前記第1の孔(6)内に突出し、前記カバープレート(3)の前記表面(9)に対して垂直もしくは斜角に伸長する方向に変位可能な複数のプレート(8)と、
モータ(14)、および前記モータ(14)により所定の経路(17)に沿って2個の位置間を前後に移動可能なピン(13)を備える駆動機構(12)を備える、前記プレート(8)を変位するための駆動手段とを備え、
前記プレート(8)の各々は経路状の開口部(16)を有し、前記ピン(13)は前記プレート(8)の各々における前記経路状の開口部(16)内を誘導され、前記経路状の開口部(16)は前記ピン(13)が前記経路(17)に沿って移動すると前記プレート(8)が所定の手順で前述の方向に変位するようプレート(8)ごとに異なる、ダイエジェクタ(1)。 - 前記駆動手段は更に、前記プレート(8)を前述の方向に同時に変位可能な駆動機構(11)を備える、請求項1に記載のダイエジェクタ(1)。
- 前記プレート(8)は、前記経路状の開口部(16)を有し、前記チャンバ(2)に配置され、前記駆動機構(12)に結合される第1の部分(8A)と、前記第1の部分(8A)に挿入される第2の部分(8B)とを備える、請求項1もしくは請求項2に記載のダイエジェクタ(1)。
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