CH715447B1 - Chip-Auswerfer. - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Chip-Auswerfer (2) umfassend eine Kammer (4) mit einer einen Durchlass aufweisenden Abdeckplatte (40), eine Vielzahl im Innern der Kammer (4) angeordneter, zwischen jeweils einer Anfangsposition (58) und einer Arbeitsposition (60) hin und her bewegbarer Platten (56), welche dazu bestimmt sind, mit dem Träger zusammenzuwirken, um die Entnahme der Chips vom Träger zu unterstützen, und ein Antriebselement (100), um die zu bewegenden Platten (56) aus der Arbeitsposition in Richtung der Anfangsposition zu bewegen. Ferner umfasst der Chip-Auswerfer (2) einen Magneten (20), welcher mit Ankerabschnitten (74) der Platten (56) zusammenwirkt und auf die Platten (56) eine in Richtung zur Arbeitsposition gerichtete Anziehungskraft (F') ausübt, und ein Anschlagelement (78) zum Stoppen der Bewegung der Platten (56) in der Arbeitsposition, wobei die Platten in Arbeitsposition am Anschlagelement (78) anliegen. In einer Ausführungsform ist ein weiterer Magnet (10) vorgesehen, welcher die Platten in die Arbeitsposition anzieht. Das Antriebselement (100) bewegt die Platten (56) aus der Anfangsposition in Richtung der Arbeitsposition. In einer weiteren Ausführungsform ist das Antriebselement (100) als eine Steuerkurven aufweisende Welle ausgebildet, wobei jeweils eine Steuerkurve mit einer Platte (56) zusammenwirkt.

Description

[0001] Die Erfindung betrifft einen Chip-Auswerfer gemäss dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

[0002] Solche Chip-Auswerfer werden bei der Montage von Halbleiterchips eingesetzt, um das Ablösen und Entnehmen eines Halbleiterchips von einem Träger zu unterstützen.

[0003] Die Halbleiterchips (in der Fachwelt bekannt als Chips) werden typischerweise auf einem von einem Rahmen gehaltenen Träger, vorzugsweise einer Folie, in der Fachwelt auch als Tape bekannt, zur Abarbeitung auf einer Halbleiter-Montageeinrichtung bereitgestellt. Die Chips haften auf dem Träger. Der Rahmen mit dem Träger wird von einem verschiebbaren Wafertisch aufgenommen. Taktweise wird der Wafertisch verschoben, um einen Chip nach dem anderen an einem vorbestimmten Ort bereitzustellen. Dann wird der bereitgestellte Chip von einem Chipgreifer aufgenommen und auf einem Substrat plaziert. Die Entnahme des bereitgestellten Chips vom Träger wird von einem unterhalb des Trägers angeordneten Chip-Auswerfer (in der Fachwelt bekannt als Die-Ejector) unterstützt.

[0004] Aus EP 2 184 765 A1 ist ein Chip-Auswerfer bekannt, umfassend eine mit Vakuum beaufschlagbare Kammer mit einer Abdeckplatte, die einen Durchlass aufweist, eine Vielzahl von Platten, die im Innern der Kammer angeordnet sind, in den Durchlass hineinragen und in einer senkrecht oder schräg zur Oberfläche der Abdeckplatte verlaufenden Richtung verschiebbar sind, und Antriebsmittel, um die Platten zu verschieben. Die Antriebsmittel umfassen einen Antriebsmechanismus, der einen Motor und einen entlang einer vorbestimmten geradlinigen Bahn bewegbaren Stift aufweist. Der Stift ist vom Motor zwischen zwei Positionen hin und her bewegbar, die eine Anfangsposition bzw. Arbeitsposition der Platten bestimmen. In ihrer Anfangsposition sind die Platten jeweils in Richtung ins Innere der Kammer zurückversetzt und in ihrer Arbeitsposition erreichen die Platten ihre oberste Position in Richtung des Durchlasses. Jede der Platten enthält eine bahnförmige Öffnung und der Stift ist durch die bahnförmige Öffnung jeder der Platten hindurchgeführt. Die bahnförmige Öffnung kann von Platte zu Platte derart unterschiedlich sein, dass die Platten in einer vorbestimmten Reihenfolge in die Anfangsposition bzw. Arbeitsposition verschoben werden, wenn der Stift entlang der Bahn bewegt wird.

[0005] Bei einem solchen Chip-Auswerfer wird die bahnförmige Öffnung durch die Bewegung des Stiftes allmählich mechanisch verschlissen, sodass die Platten ihre ursprünglich bestimmten Anfangspositionen und Arbeitspositionen nicht mehr genau erreichen. Die Standzeit der Platten ist somit reduziert und sie müssen regelmässig ersetzt werden, was zu einem Zeitverlust führt und Wartungskosten erhöht.

[0006] Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es somit, den bekannten Chip-Auswerfer derart weiterzubilden, dass die Platten ihre Arbeitspositionen zuverlässig erreichen.

[0007] Diese Aufgabe wird erfindungsgemäss durch einen Chip-Auswerfer gemäss Anspruch 1 gelöst. Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen wiedergegeben.

[0008] Die Erfindung betrifft einen Chip-Auswerfer umfassend eine mit Vakuum beaufschlagbare Kammer mit einer einen Durchlass aufweisenden Abdeckplatte. Die der Kammer abgewandte Oberfläche der Abdeckplatte bildet eine Stützfläche für einen mit Chips versehenen Träger, vorzugsweise eine Folie aus Kunststoff. Die Kammer weist einen Vakuumanschluss zur Verbindung mit einer Vakuumquelle auf.

[0009] In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Kammer durch das Gehäuse des Chip-Auswerfers gebildet.

[0010] In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Abdeckplatte, auf der im Betrieb ein Teil des Trägers mit den Chips aufliegt, abnehmbar und auswechselbar ausgebildet. Vorzugsweise weist das Gehäuse einen zylinderförmigen Plattenträger auf, an dem die Abdeckplatte auswechselbar angeordnet ist. Jedoch ist es möglich, den Plattenträger und die Abdeckplatte einstückig zusammen auszubilden, wobei dieses Bauelement auswechselbar ist.

[0011] Die Abdeckplatte enthält vorzugsweise in der Mitte einen Durchlass, dessen Form in Abhängigkeit der Merkmale der zu bearbeitenden Chips ausgewählt ist. Vorzugsweise ist der Durchlass rechteckförmig und hat wenigstens annähernd etwa die Grösse des zu bearbeitenden Chips.

[0012] In einer bevorzugten Ausführungsform weist die Abdeckplatte eine Vielzahl von durchgehenden Löchern auf, die dazu dienen, den Träger anzusaugen, wenn die Kammer mit Vakuum beaufschlagt ist, sodass der Träger während des Ablösens und Entnehmens der Chips fest auf der Abdeckplatte gehalten ist.

[0013] Ferner umfasst der Chip-Auswerfer eine Vielzahl im Innern der Kammer angeordneter Platten, welche zwischen jeweils einer Anfangsposition und einer Arbeitsposition hin und her bewegbar sind. Die Plattenebene der Platten ist quer, bevorzugt wenigstens annähernd rechtwinklig zur Abdeckplatte, insbesondere deren Stützfläche, ausgerichtet. Vorzugsweise sind die Platten parallel zueinander.

[0014] Nachstehend ist mit dem Begriff quer nicht zwingend rechtwinklig gemeint, jedoch ist rechtwinklig als mögliche Richtung umfasst.

[0015] Eine Längsachse des Gehäuses des Chip-Auswerfers verläuft bevorzugt rechtwinklig zur Stützfläche.

[0016] Der der Abdeckplatte zugewandte Randbereich der Platten bildet einen Stossrand, welcher dazu bestimmt ist, mit dem Träger zusammenzuwirken, um die Entnahme der Chips vom Träger zu unterstützen. Der Randbereich verläuft vorzugsweise wenigstens annähernd parallel zur Stützfläche. Vorzugsweise weist der Stossrand ein einziges durchgehendes Segment auf. Er kann auch mehrere getrennte Segmente aufweisen, um die Unterstützung bei der Entnahme der Chips in getrennten Bereichen des Trägers zu ermöglichen. In einer bevorzugten Ausführungsform weisen die Platten Stossränder auf, wie dies im Dokument CH 706 280 A1 offenbart ist, je nach Merkmalen der zu bearbeitenden Chips.

[0017] Unter dem Begriff Platten sind alle Objekte zu verstehen, die die gleiche Funktion ausüben können. So können die Platten beispielsweise auch Stäbe oder Balken sein.

[0018] Die Anfangsposition ist bezüglich der Arbeitsposition in Richtung ins Innere der Kammer zurückversetzt.

[0019] Die Bewegung der Platte von der Anfangsposition zu ihrer Arbeitsposition wird als Anheben und von der Arbeitsposition zu ihrer Anfangsposition als Absenken bezeichnet und definiert eine Bewegungsrichtung der Platte. Vorzugsweise ist die Bewegungsrichtung parallel zur Längsachse des Gehäuses und somit rechtwinklig zur Stützfläche.

[0020] Die Arbeitsposition einer Platte bezeichnet diejenige Position, in welcher der Stossrand der Platte wenigstens annähernd bündig mit der Stützfläche ist oder sich über der Stützfläche befindet und sich in ihrer höchsten Position befindet. Die Anfangsposition einer Platte bezeichnet ihre Position, in welche die Platte bezüglich ihrer Arbeitsposition maximal ins Innere der Kammer zurückversetzt ist. Dies bedeutet, dass der Stossrand der Platte sich in seiner tiefsten Position in der Kammer, unterhalb der Stützfläche befindet.

[0021] In ihrer Arbeitsposition greifen die Platten in den Durchlass oder durchgreifen diesen.

[0022] Die Vielzahl der Stossränder der Platten bildet eine Stossfläche, deren Form durch die Bewegung der Platten geändert werden kann. Die Ausbildung unterschiedlicher Formen für die Stossfläche und deren Änderung ermöglicht eine Unterstützung bei der Entnahme der Chips in gezielten Bereichen des Trägers. Somit kann die Unterstützung bei der Entnahme der Chips je nach Merkmalen der zu bearbeitenden Chips und des Trägers flexibel gestaltet werden.

[0023] Vorzugsweise liegen die Stossränder in der Anfangsposition der Platten in einer bevorzugt wenigstens annähernd parallel zur Stützfläche verlaufenden Ebene. Je nach erwünschter Form der Stossfläche können eine oder mehrere Platten in der Anfangsposition bleiben und werden nicht bewegt, während die zu bewegenden Platten bewegt werden.

[0024] In einer bevorzugten Ausführungsform liegen die Stossränder in der Arbeitsposition der Platten in einer bevorzugt wenigstens annähernd parallel zur Stützfläche und oberhalb dieser verlaufenden Ebene. Somit bildet die Stossfläche einen flachen Bereich und die Stossränder stossen den Träger unterhalb des zu entnehmenden Chips mit einem auf diesen Bereich uniform verteilten Druck. Dies reduziert die Spannungen auf den Chip bei seiner Entnahme vom Träger.

[0025] In einer bevorzugten Ausführungsform können den Anfangspositionen Sensoren und den Arbeitspositionen weitere Sensoren zugeordnet sein, um die Position der Platten zu ermitteln. Über die Sensoren kann geprüft werden, ob eine Platte in der erwünschten Anfangsposition bzw. Arbeitsposition liegt und ihre richtige Position in der Stossfläche eingenommen hat. Somit kann eine fehlerhafte Position der Platten detektiert und ein möglicher Fehler bei der Entnahme eines Chips vermieden werden.

[0026] Zwischen der Stossfläche, bzw. den sich in Arbeitsposition befindenden Platten, und dem Rand des Durchlasses besteht ein umlaufender Spalt. Die Stossfläche ist vorzugsweise etwas kleiner als die Fläche eines Chips. Vorzugsweise ragt die Fläche des Chips über die Stossfläche auf allen Seiten in seitlicher Richtung um etwa 0.05 bis 1 Millimeter, besonders bevorzugt 0.3 Millimeter, vor. Die Anzahl der Platten hängt von den Abmessungen des Chips ab. Beispielsweise können bei sehr kleinen Halbleiterchips von 3*3 Millimetern drei Platten eingesetzt werden.

[0027] Die Platten können aneinander anliegen, vorzugsweise sind sie jedoch durch Abstände getrennt angeordnet, um die Reibung zu minimieren. In einer bevorzugten Ausführungsform umfasst die Kammer zur Führung der Platten zwei gegenüberliegend angeordnete, kammartige Aufnahmeschienen, deren Einschnitte auf der dem Innere der Kammer zugewandten Seite der Aufnahmeschienen parallel zur Bewegungsrichtung verlaufen und jeweils einen parallel zur Bewegungsrichtung verlaufenden Randbereich der Platten aufnehmen. Es ist auch möglich, weitere Aufnahmeschienen vorzusehen, um die Führung der Platten in einem weiteren Randbereich sicherzustellen, zum Beispiel wenn die Platten mehrteilig ausgebildet sind oder sie in Richtung der Längsachse des Gehäuses eine grosse Länge aufweisen. Die Einschnitte sind derart voneinander beabstandet, dass ein vorbestimmter Abstand zwischen den Platten beim Bewegen der Platten sichergestellt wird. Somit wird Reibung zwischen den Platten vermieden und wird sichergestellt, dass die Platten sich parallel zueinander in Bewegungsrichtung bewegen. Bei einer solchen Anordnung weisen die Stossränder einen vorbestimmten Abstand zueinander auf, vorzugsweise einen gleichmässigen Abstand, sodass eine optimale Unterstützung der Chips bei der Entnahme eines Chips sichergestellt wird.

[0028] Weiter umfasst der Chip-Auswerfer ein durch einen Motor, vorzugsweise einen Schrittmotor, antreibbares Antriebselement. Die Platten weisen jeweils eine Antriebsausnehmung auf, welche vom Antriebselement durchgriffen ist. Die Antriebsausnehmungen weisen jeweils einen Antriebsbereich auf, welcher derart ausgebildet ist, dass das Antriebselement mit dem Antriebsbereich zusammenwirkt, um die zu bewegenden Platten aus der Arbeitsposition in Richtung der Anfangsposition zu bewegen.

[0029] Erfindungsgemäss umfasst der Chip-Auswerfer einen Magneten, welcher mit Ankerabschnitten der Platten zusammenwirkt und eine in Richtung zur Arbeitsposition gerichtete Anziehungskraft auf die Platten ausübt. Ferner umfasst der Chip-Auswerfer ein Anschlagelement, welches die Bewegung der Platten in der Arbeitsposition stoppt, wobei die Platten in Arbeitsposition am Anschlagelement anliegen.

[0030] Somit setzen weder das Antriebselement allein noch das Antriebselement zusammen mit der Antriebsausnehmung die Arbeitsposition fest, sondern das Anschlagelement, welches die unter Anziehungskraft des Magneten bewirkte Bewegung der Platten, nach der durch das Antriebselement bewirkten Bewegung aus der Anfangsposition, in der Arbeitsposition stoppt. Da der Kontakt des Anschlagelements mit den Platten ohne Reibung und nur mit einem Anschlagen auf eine breite Kontaktfläche erfolgt, ist das Anschlagelement praktisch keinem Verschleiss unterworfen. Dadurch erreichen die Platten ihre Arbeitspositionen über eine lange Einsatzzeit zuverlässig genau, wo sie vom Magneten gehalten werden.

[0031] Der Magnet ist der Arbeitsposition zugeordnet und dient dazu, die Platten über seine Anziehungskraft in Richtung von der Anfangsposition in die Arbeitsposition zu bewegen und sie in der Arbeitsposition zu halten.

[0032] Der Ankerabschnitt ist der Abschnitt der Platten, welcher sich zwischen dem Magneten und dem der Abdeckplatte abgewandten Ende der Platten erstreckt. Der Ankerabschnitt ist durch einen sich quer, vorzugsweise rechtwinklig, zur Längsachse erstreckenden Querbereich gebildet, welcher vorzugsweise beidseits der Längsachse vorstehende Abschnitte aufweist.

[0033] In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Antriebsausnehmung jeweils im Ankerabschnitt angeordnet. Diese Anordnung ermöglicht eine einfache Anfertigung der Antriebsausnehmung, weil im Ankerabschnitt am meisten Platz vorhanden ist. Ferner wird somit ebenfalls sichergestellt, dass der Angriffspunkt der Anziehungskraft und der Angriffspunkt der durch das Antriebselement ausgeübten Kraft nahe beieinander liegen und eine Verformung der Platten oder eine unerwünschte Bewegung der Platten verursachen.

[0034] In einer bevorzugten Ausführungsform ist der Magnet innerhalb der Kammer eingebaut und erstreckt er sich rechtwinklig zur Bewegungsrichtung der Platten, sodass er mindestens teilweise über die vorstehenden Abschnitte des Querbereichs verläuft. Um die benötigte Anziehungskraft auf die bezüglich der zentralen Platte angeordneten äussersten Ankerabschnitte ebenfalls zu erreichen, kann der Magnet sich über diese hinaus erstrecken.

[0035] In einer bevorzugten Ausführungsform erstrecken sich die vorstehenden Abschnitte symmetrisch zur Längsachse des Gehäuses und der Magnet verläuft symmetrisch mindestens teilweise über die vorstehenden Abschnitte. Somit kann eine symmetrische Verteilung der Anziehungskraft auf die Platten sichergestellt werden.

[0036] Der Magnet kann mehrteilig ausgebildet sein, sodass die Anziehungskraftverteilung über die Ankerabschnitte optimiert ist, insbesondere sodass die Anziehungskraft symmetrisch zu einer Längssymmetrieebene der Platten verteilt ist. In einer besonders bevorzugten Ausführungsform umfasst der Magnet mindestens zwei Magnetteile, welche symmetrisch zur rechtwinklig zu den Platten verlaufenden Längssymmetrieebene der Platten angeordnet sind. Vorzugsweise sind die mindestens zwei Magnetteile in einer Ebene quer zu dieser Symmetrieebene angeordnet. Eine mehrteilige Ausbildung des Magneten vereinfacht ebenfalls den Wechsel eines allfälligen beschädigten Magneten.

[0037] Vorzugsweise umfassen der Magnet oder gegebenenfalls die Magnetteile Magnetstücke, die im Wesentlichen aneinander anliegen, um die gleiche Anziehungskraft wie bei einem einstückigen Magneten oder Magnetteil zu erreichen. Es ist jedoch möglich, einen Zwischenraum zwischen benachbarten Magnetstücken vorzusehen, um die Anziehungskraftverteilung des Magneten oder gegebenenfalls der Magnetteile nach Bedarf zu optimieren. Die Zwischenräume können mit einem nichtmagnetischen Material besetzt sein. Der Magnet oder gegebenenfalls die Magnetteile können verschiedene Formen aufweisen, vorzugsweise sind sie stabförmig. Gegebenenfalls kann die Dicke des Magneten oder der Magnetteile, in Richtung quer zur Bewegungsrichtung der Platten gesehen, variieren. Somit kann die Anziehungskraftverteilung ebenfalls nach Bedarf optimiert werden.

[0038] In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Position des Magneten in der Kammer und die Form des Magneten sowie der Ankerabschnitte so bemessen, dass die auf die Ankerabschnitte ausgeübte Anziehungskraft für jede der Platten wenigstens annähernd gleich ist. Somit kann das Antriebselement wenigstens annähernd die gleiche Kraft gegen die Anziehungskraft des Magneten auf die jeweiligen Antriebsbereiche ausüben, um die zu bewegenden Platten aus der Arbeitsposition in Richtung der Anfangsposition zu bewegen. Dies erlaubt eine einfache Regelung der Bewegung des Antriebselements und führt, wenn überhaupt, zu einem gleichmässigen geringen Verschleiss des Antriebselements und der Antriebsbereiche.

[0039] Vorzugsweise weisen Ankerabschnitte Aussparungen auf, um die Verteilung der Anziehungskraft des Magneten auf die Platten zu optimieren. In einer bevorzugten Ausführungsform können Aussparungen, vorzugsweise rechteckige Aussparungen, an die vorstehenden Abschnitte des Querbereichs, vorzugsweise an die dem Magneten zugewandten Seite der vorstehenden Abschnitte, beispielsweise jede zweite Platte, ausgebildet sein.

[0040] In einer bevorzugten Ausführungsform wirkt das Anschlagelement mit den Platten in einem an die Stossrändern angrenzenden Bereich der Platten zusammen. Dadurch wird der Abstand zwischen dem Anschlagelement und den Stossrändern minimiert und somit ist eine genaue Position der Stossränder in den Arbeitspositionen der Platten erreichbar.

[0041] In einer bevorzugten Ausführungsform stoppt das Anschlagelement auch die Bewegung der Platten in ihrer Anfangsposition. Aus denselben Gründen wie oben für die Arbeitsposition dargestellt, mutatis mutandis, erreichen dadurch die Platten ihre Anfangspositionen zuverlässig.

[0042] In einer bevorzugten Ausführungsform stoppt ein weiteres Anschlagelement die Bewegung der Platten in ihrer Anfangsposition. Gegenüber der Genauigkeit in der Anfangsposition ist eine höhere Genauigkeit der Position der Stossränder in Arbeitsposition üblicherweise erforderlich. Die Eigenschaften des Anschlagelements und des weiteren Anschlagelements können, je nach erwünschter Genauigkeit, bestimmt werden und es können gegebenenfalls unterschiedliche Herstellungsverfahren sowie Materialien gewählt werden. Folglich können die Kosten optimiert werden.

[0043] In einer bevorzugten Ausführungsform kann das Anschlagelement derart ausgebildet sein, dass es ebenfalls zur Führung der Platte dient. Dies kann auch für das weitere Anschlagelement der Fall sein.

[0044] Vorzugsweise sind das Anschlagelement und gegebenenfalls das weitere Anschlagelement auswechselbar an dem Gehäuse befestigt. Beispielsweise kann die Kammer zwei gegenüberliegend angeordnete Öffnungen aufweisen, in welche das Anschlagelement hineingeschoben wird, und zusätzlich kann das Anschlagelement über ein Befestigungsmittel an dem Gehäuse befestigt werden. Das Anschlagelement kann mehrteilig ausgebildet sein und beispielsweise mehrere, in Bewegungsrichtung der Platten gesehen, aufeinanderliegende, vorzugsweise plattenförmige, Teile umfassen. Somit kann die Dicke des Anschlagelements und folglich die Lage der Platten in der Arbeitsposition durch die Anpassung der Anzahl der Teile angepasst werden. Es ist ebenfalls möglich, das Anschlagelement verstellbar auszubilden, beispielsweise mittels Stellschrauben, um die Lage der Platten in der Arbeitsposition anzupassen. Dies ermöglicht eine einfache Anpassung des Chip-Auswerfers an die Merkmale der zu bearbeitenden Chips. Ähnliche Konstruktionen können auch für das weitere Anschlagelement vorgesehen werden.

[0045] In einer bevorzugten Ausführungsform ist das Anschlagelement als ein vorzugsweise abgeflachter Bolzen ausgebildet, welcher eine Anschlagausnehmung der jeweiligen Platten durchgreift. Der abgeflachte Bolzen weist mindestens eine erste abgeflachte Anschlagseite und vorzugsweise eine parallel zur ersten Anschlagseite ausgebildeten zweite Anschlagseite auf. Die Anschlagausnehmung erstreckt sich, in Richtung der Längsachse gesehen, über eine Länge, welche der Summe der Dicke des Anschlagelements und des Hubs der Platte entspricht. In der Anfangsposition und in der Arbeitsposition liegt die erste bzw. zweite Anschlagseite an der jeweiligen Anschlagausnehmung über eine breite Kontaktfläche an, um die Platten zuverlässiger zu stoppen. Somit kann die Genauigkeit für das Erreichen der Arbeitsposition sowie für das Erreichen der Anfangsposition erhöht werden.

[0046] Vorzugsweise weisen die Anschlagausnehmungen jeweils einen ersten und einen zweiten flachen, parallel zur ersten bzw. zur zweiten Anschlagseite ausgebildeten Randabschnitt auf, welche mit der ersten bzw. zweiten Anschlagseite zusammenwirken, um die Platten genauer zu stoppen. Somit kann die Genauigkeit für das Erreichen der Arbeitsposition sowie für das Erreichen der Anfangsposition weiter über lange Einsatzzeit erhöht werden.

[0047] In einer bevorzugten Ausführungsform ist zwischen dem Magneten und den Platten immer ein Spalt vorhanden. Dadurch wird ein Anschlagen der Platten gegen den Magneten beim Erreichen der Arbeitsposition vermieden. Vorzugsweise ist der Spalt ein Luftspalt. Somit ist der Magnet vor mechanischer Zerstörung geschützt und die Gefahr eines Bruchs des Magneten reduziert.

[0048] Es ist auch denkbar, keinen Spalt zwischen dem Magneten und den Platten vorzusehen. In diesem Fall erfüllt der Magnet die Funktion des Anschlagelements. Gegebenenfalls kann der Magnet durch eine Schutzschicht geschützt sein, um ihn vor mechanischer Zerstörung zu schützen.

[0049] Vorzugsweise weisen die Platten einen Längsbereich und mindestens einen Querbalken auf. Der mindestens eine Querbalken bildet den Ankerabschnitt während das freie, der Abdeckplatte zugewandte Ende des Längsbereichs den Stossrand bildet. Beispielsweise können die Platten kreuzförmig sein oder zwei beabstandete, vorzugsweise parallel zueinander angeordnete Querbalken aufweisen.

[0050] In einer bevorzugten Ausführungsform sind die Platten T-förmig ausgebildet. Der Querbalken bildet den Ankerabschnitt während das freie Ende des Längsbereichs den Stossrand bildet. Die dem Magneten zugewandte Seite des Querbalkens verläuft wenigstens annähernd parallel zu der dem Ankerabschnitt zugewandten Oberfläche des Magneten. Somit sind die Platten in der Lage eines auf dem Kopf stehenden T in der Kammer angeordnet. Eine T-Form kombiniert in vorteilhafter Weise einen als Ankerabschnitt dienenden, breiten Querbalken zur effizienten Zusammenwirkung mit dem Magneten und einen schmalen, sich in Längsrichtung erstreckenden Längsbereich, welcher eine kompakte und platzsparende Bauform des Gehäuses in seinem der Abdeckplatte zugewandten Bereich erlaubt, sodass Platz für andere Module in der Nähe des Chip-Auswerfers vorhanden ist.

[0051] In einer bevorzugten Ausführungsform sind die Platten mehrteilig ausgebildet, vorzugsweise zweiteilig mit einer Basisplatte, mit welcher der Magnete zusammenwirkt, die die Antriebsausnehmung enthält und den Ankerabschnitt aufweist, und einer den Stossrand aufweisenden Aufsetzplatte, welche auf die Basisplatte über eine mechanische Verbindung aufsetzbar ist. Die Aufsetzplatten werden je nach spezifischer Anwendung des Chip-Auswerfers ausgewählt und auf die Basisplatten in bekannter Weise aufgesetzt, ohne Austausch der Basisplatten. Dies ermöglicht eine einfache Anpassung des Chip-Auswerfers an die Merkmale der zu bearbeitenden Chips, beispielsweise die Grösse der Chips. Die Anzahl der Aufsetzplatten kann geringer als die Anzahl der Basisplatten sein. Die Aufsetzplatten können gleich ausgebildet sein.

[0052] Nachstehend ist zu verstehen, dass die Aufsetzplatten und die Basisplatten sich in der Arbeitsposition bzw. in der Anfangsposition befinden, wenn die betreffenden Platten sich in der Arbeitsposition bzw. in der Anfangsposition befinden.

[0053] In einer bevorzugten Ausführungsform sind die Basisplatten T-förmig ausgebildet und weisen diese den Querbalken und einen Abschnitt des Längsbereichs auf, während der verbleibende Abschnitt des Längsbereichs die Aufsetzplatten ausbildet. Die Basisplatten können gleich ausgebildet sein.

[0054] In einer bevorzugten Ausführungsform weisen die Basisplatten jeweils den Ankerabschnitt auf. Vorzugsweise bildet der Querbalken den Ankerabschnitt aus.

[0055] In einer bevorzugten Ausführungsform werden die Basisplatten durch Aufnahmeschienen und die Aufsetzplatten durch weitere, gleich ausgebildete Aufnahmeschienen geführt.

[0056] In einer bevorzugten Ausführungsform weisen die Aufsetzplatten jeweils die Anschlagausnehmungen auf, welche vom Anschlagelement durchgriffen sind. Vorzugsweise sind die Anschlagausnehmungen in einem an die Stossrändern angrenzenden Bereich der Platten ausgebildet, sodass der Abstand zwischen dem Anschlagelement und den Stossrändern minimiert wird. Somit kann eine genaue Position der Stossränder in der Arbeitsposition der Platten erreicht werden.

[0057] In einer bevorzugten Ausführungsform stoppt das Anschlagelement die Bewegung der Aufsetzplatten in ihrer Arbeitsposition und in ihrer Anfangsposition. Die Aufsetzplatten stoppen somit gleichzeitig die entsprechenden Basisplatten. Es ist jedoch bevorzugt, weitere Anschlagausnehmungen in den Basisplatten jeweils auszubilden, welche vom weiteren Anschlagelement durchgriffen sind, sodass die Basisplatten ebenfalls gestoppt werden können, wenn die Aufsetzplatten auf bestimmte Basisplatten nicht aufgesetzt sind. In einer bevorzugten Ausführungsform stoppt das weitere Anschlagelement die Bewegung der Basisplatten in ihrer Anfangsposition und das Anschlagelement die Bewegung der Aufsetzplatten in der Arbeitsposition.

[0058] In einer bevorzugten Ausführungsform umfasst der Chip-Auswerfer einen weiteren Magneten, welcher der Anfangsposition zugeordnet ist.

[0059] Ferner weisen die Antriebsausnehmungen jeweils einen weiteren Antriebsbereich auf. Der weitere Antriebsbereich ist derart ausgebildet, dass das Antriebselement mit dem weiteren Antriebsbereich zusammenwirkt, um die zu bewegenden Platten aus der Anfangsposition in Richtung der Arbeitsposition zu bewegen.

[0060] In einer bevorzugten Ausführungsform sind die Antriebsausnehmungen aller Platten gleich ausgebildet.

[0061] Gegebenenfalls ist ein weiterer Spalt zwischen dem weiteren Magneten und den Platten immer vorhanden, um ein Anschlagen der Platten gegen den weiteren Magneten beim Erreichen der Anfangsposition zu vermeiden. Der weitere Spalt kann auch ein Luftspalt sein. Somit ist der weitere Magnet ebenfalls vor mechanischer Zerstörung geschützt und die Gefahr eines Bruchs des weiteren Magneten wird reduziert.

[0062] Der Ankerabschnitt der Platten befindet sich zwischen dem Magneten und dem weiteren Magneten.

[0063] In der bevorzugten Ausführungsform mit T-förmigen Platten, welche einen Querbalken aufweisen, kann die dem weiteren Magneten zugewandte Seite des Querbalkens wenigstens annähernd parallel zu der dem Ankerabschnitt zugewandten Oberfläche des weiteren Magneten verlaufen.

[0064] Der weitere Magnet kann ebenfalls mehrteilig ausgebildet sein, um die Anziehungskraft über die Ankerabschnitte optimal zu verteilen. Ferner vereinfacht eine mehrteilige Ausbildung den Wechsel eines allfälligen beschädigten Magneten. In einer besonders bevorzugten Ausführungsform umfasst der weitere Magnet mindestens zwei weitere Magnetteile, welche symmetrisch zur Längssymmetrieebene der Platten angeordnet sind. Vorzugsweise sind die mindestens zwei weitere Magnetteile in einer Ebene quer zu dieser Symmetrieebene angeordnet. In einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist der weitere Magnet am Boden der Kammer angeordnet.

[0065] Vorzugsweise umfassen der weitere Magnet oder gegebenenfalls die weiteren Magnetteile weitere Magnetstücke in einer ähnlichen Weise wie der Magnet oder die Magnetteile.

[0066] In einer bevorzugten Ausführungsform sind der Magnet und der weitere Magnet so angeordnet, dass sie in entgegengesetzten Polarisationsrichtungen polarisiert sind. Vorzugsweise sind die Polarisationsrichtungen wenigstens annähernd parallel zur Bewegungsrichtung. Somit üben die magnetischen Felder des Magneten und des weiteren Magneten jeweils eine im Wesentlichen parallel zur Bewegungsrichtung gerichtete Anziehungskraft auf die Platten aus, welche aus einem magnetisierbaren Material ausgebildet sind, z.B. aus Metallen wie Eisen. Die Anziehungskraft des Magneten und jene des weiteren Magneten ist in Richtung der Arbeitsposition bzw. der Anfangsposition gerichtet. Vorzugsweise sind der Magnet und der weitere Magnet permanent magnetisiert.

[0067] In einer bevorzugten Ausführungsform mit dem Magneten und dem weiteren Magneten bewegt das Antriebselement den Ankerabschnitt der jeweils zu bewegenden Platten aus der Anfangsposition in Richtung der Arbeitsposition vom weiteren Magnet weg in Richtung zum Magneten, wenigstens bis die Anziehungskraft des Magneten grösser als jene des weiteren Magneten ist. Die zu bewegenden Platten bewegen sich dann unter Anziehungskraft des Magneten in die Arbeitsposition. Umgekehrt bewegt das Antriebselement den Ankerabschnitt der jeweils zu bewegenden Platten aus der Arbeitsposition in Richtung der Anfangsposition vom Magneten weg in Richtung zum weiteren Magneten, wenigstens bis die Anziehungskraft des weiteren Magneten grösser als jene des Magneten ist. Die zu bewegenden Platten bewegen sich dann unter Anziehungskraft des weiteren Magneten in die Anfangsposition.

[0068] Es ist ebenfalls denkbar, den Magneten und den weiteren Magneten so anzuordnen, dass sie in gleicher Polarisationsrichtung polarisiert sind. Diese Anordnung kann verwendet werden, wenn der Abstand zwischen dem Magneten und dem weiteren Magneten so bemessen ist, dass die Anziehungskraft des Magneten und des weiteren Magneten sich nicht wesentlich überlappen.

[0069] Vorzugsweise weisen Ankerabschnitte an ihren dem weiteren Magneten zugewandten Randbereich Aussparungen, vorzugsweise rechteckige Aussparungen, auf, um die Anziehungskraft des weiteren Magneten auf die Platten zu optimieren.

[0070] In einer bevorzugten Ausführungsform umfasst das Antriebselement eine mittels des Motors drehbar angetriebene Nockenwelle, deren Nocken dazu bestimmt sind, mit dem Antriebsbereich und dem weiteren Antriebsbereich der zu bewegenden Platten zusammenzuwirken. Vorzugsweise wirkt ein Nocken jeweils mit dem Antriebsbereich und dem weiteren Antriebsbereich einer einzigen Platte zusammen. Jedoch ist es auch möglich, dass Nocken mit dem Antriebsbereich und dem weiteren Antriebsbereich von zwei oder mehr Platten zusammenwirken. Die Verwendung einer Nockenwelle mit Nocken ermöglicht eine schnelle und einfache Anpassung der Bewegung der Platten. Nockenwellen mit unterschiedlichen Profilen können im Voraus hergestellt und je nach spezifischer Anwendung des Chip-Auswerfers eingebaut werden. Diese Ausführungsform ermöglicht die Bewegung der Platten durch einen Antrieb der Welle in einer einzigen Drehrichtung, sodass eine besonders einfache Steuerung der Welle möglich ist.

[0071] Solche Nockenwellen können beispielsweise aus Stahl durch additive Fertigung hergestellt werden.

[0072] In einer besonders bevorzugten Ausführungsform sind die Nocken, in Umfangsrichtung der Nockenwelle, derart versetzt angeordnet, dass die Platten in einer vorbestimmten Reihenfolge zwischen der Anfangsposition und der Arbeitsposition und umgekehrt bewegt werden.

[0073] Die Nocken stehen radial auswärts bezüglich eines kreiszylindrisches Wellenteils der Nockenwelle hervor und können, in Längsrichtung der Nockenwelle gesehen, hintereinander, in Umfangsrichtung vorzugsweise versetzt angeordnet sein.

[0074] Die Nocken sind vorzugsweise zahnförmig ausgebildet und weisen jeweils, in Drehrichtung gesehen, eine vorlaufende Stossseite und eine Rückseite auf. Die Anordnung der Stossseite der Nocken relativ zueinander bestimmt die Reihenfolge der Zusammenwirkung der Stossseiten mit dem Antriebsbereich und dem weiteren Antriebsbereich der Platten und somit die Bewegungen der Platten von der Anfangsposition in die Arbeitsposition bzw. von der Arbeitsposition in die Anfangsposition.

[0075] Der in Umfangsrichtung gemessene Abstand zwischen den Stossseiten von zwei sukzessiven Nocken zusammen mit der Drehgeschwindigkeit der Nockenwelle bestimmt die zeitliche Verzögerung zwischen den Bewegungen der betreffenden Platten.

[0076] In einer besonders bevorzugten Ausführungsform sind die Nocken, bezüglich einer durch einen zentral angeordneten Nocken, rechtwinklig zur Drehachse der Nockenwelle verlaufenden Spiegelebene symmetrisch angeordnet. Diese Anordnung der Nocken ermöglicht eine Bewegung der Platten von der Anfangsposition in die Arbeitsposition bzw. von der Arbeitsposition in die Anfangsposition symmetrisch zu der dem zentral angeordneten Nocken zugeordneten Platte.

[0077] Vorzugsweise weisen die Nocken, in der Abwicklung der Nockenwelle gesehen, eine V-förmige Anordnung auf, wobei der zentrale Nocken die Spitze der V-Form bildet und die übrigen Nocken, in Drehrichtung gesehen, nach vorne versetzt sind. Somit können zuerst die symmetrisch zu der dem zentral angeordneten Nocken zugeordneten Platte äussersten Platten bei der Bewegung von der Arbeitsposition in Richtung der Anfangsposition und zuletzt die dem zentral angeordneten Nocken zugeordneten Platte bewegt werden. Diese Anordnung ermöglicht ein allmähliches Auslösen der Folie vom Chip von den Seiten des Chips gegen die Mitte des Chips.

[0078] In einer bevorzugten Ausführungsform weisen die Nocken eine Evolventenform auf. Die Evolventenform der Nocken trägt dazu bei, ein gegenseitiges Gleiten der Nocken und der Antriebsbereiche und die damit verbundene Abnutzung und Wärmeentwicklung zu minimieren. Vorzugsweise weisen die Stossseiten der Nocken eine Evolventenform auf. Es ist jedoch auch möglich eine Evolventenform für die Rückseite der Nocken vorzusehen, wenn die Nockenwelle in beiden Drehrichtungen angetrieben werden muss.

[0079] In einer bevorzugten Ausführungsform sind der Antriebsbereich durch eine an der betreffenden Platte ausgebildete Schulter und der weitere Antriebsbereich durch eine an der betreffenden Platte ausgebildete weitere Schulter, welche vorzugsweise quer zur Bewegungsrichtung der Platte verlaufen, ausgebildet. Die Ausbildung der Schulter und der weiteren Schulter quer zur Bewegungsrichtung der Platte bedeutet, dass sie in einem beliebigen Winkel entsprechend den geometrischen Erfordernissen des Antriebselements ausgerichtet sein können. Durch eine im Wesentlichen rechtwinklig zur Bewegungsrichtung Ausbildung der Schulter und der weiteren Schulter wird sichergestellt, dass die vom Nocken auf die Schulter oder die weitere Schulter ausgeübte Kraft möglichst in Bewegungsrichtung wirkt, sodass Querkräfte annähernd vollständig vermieden werden. Die Ausrichtung der Schulter und der weiteren Schulter ist folglich so gewählt, dass die Reibung zwischen dem Nocken und der betreffenden Platte minimiert wird. Der betreffende Nocken, d.h. der der betreffenden Platte zugeordnete Nocken, stosst die Schulter beim Drehen der Nockenwelle und beim weiteren Drehen die weitere Schulter.

[0080] In einer bevorzugten Ausführungsform ist das Antriebselement als eine um ihre Achse mittels des Motors drehbar angetriebene Welle ausgebildet, deren Aussenumfang in rechtwinklig zur Achse verlaufenden Ebenen liegende Steuerkurven bildet. Jede Steuerkurve umschliesst einen ebenen, einen ungleichförmigen Rand aufweisenden scheibenförmigen Abschnitt der Welle, dessen Dicke so bemessen ist, dass die Steuerkurve mit einer einzigen Platte oder mit mehreren Platten in Kontakt kommt. Der die Steuerkurven aufweisende Bereich der Welle ist vorzugsweise einstückig ausgebildet. Es ist jedoch auch möglich, eine Vielzahl von separaten Scheiben mit einem ungleichförmigen Rand zu verbinden, welche den die Steuerkurven aufweisende Bereich der Welle bilden.

[0081] In dieser Ausführungsform umfasst der Chip-Auswerfer den Magneten, und es kann auf den weiteren Magneten, d.h. auf den der Anfangsposition zugeordneten Magneten, verzichtet werden.

[0082] Jede Steuerkurve wirkt mit dem Antriebsbereich einer Platte an einem Kontaktpunkt zusammen. Vorzugsweise ist jeder Platte eine Steuerkurve zugeordnet. Es ist jedoch möglich, eine Steuerkurve so auszubilden, dass sie mit dem Antriebsbereich zweier oder mehrerer Platten gleichzeitig zusammenwirkt.

[0083] Vorzugsweise ist der Antriebsbereich in dem dem Boden der Kammer zugewandten Bereich der Antriebsausnehmung ausgebildet. In einer bevorzugten Ausführungsform ist der Antriebsbereich durch eine an der betreffenden Platte ausgebildete Schulter ausgebildet, welche vorzugsweise quer, besonders bevorzugt im Wesentlichen rechtwinklig, zur Bewegungsrichtung der Platte verläuft. Durch eine im Wesentlichen rechtwinklig zur Bewegungsrichtung verlaufende Ausbildung der Schulter wird sichergestellt, dass die Reibung zwischen der Steuerkurve und dem Antriebsbereich minimiert wird.

[0084] Beim Drehen der Welle werden die Steuerkurven gleichzeitig in Drehung versetzt. Auf dieser Weise wird die aus der Drehung der Welle resultierende Bewegung der Steuerkurven mechanisch über den Antriebsbereich auf die Platten übertragen.

[0085] Zur Überführung der Platten aus der Arbeitsposition in die Anfangsposition wird die Welle aus einer Arbeitsdrehlage, in welcher sich die Platten in Arbeitsposition befinden, in eine Anfangsdrehlage, in welcher sich die Platten in Anfangsposition befinden, gedreht. Der der Arbeitsposition zugeordnete Magnet dient dazu, die Platten über seine Anziehungskraft aus der Anfangsposition in Richtung der Arbeitsposition zu bewegen und sie in der Arbeitsposition zu halten. Beim Drehen der Welle wirkt jeweils eine Steuerkurve mit dem Antriebsbereich einer zugeordneten Platte oder zugeordneter Platten zusammen, um die Platte bzw. Platten entgegen die Anziehungskraft des Magneten in Richtung Anfangsposition infolge Zunahme des Radius der Steuerkurve zu stossen.

[0086] Ebenfalls wird die Bewegung der Platten aus der Anfangsposition in die Arbeitsposition über die Steuerkurven gesteuert.

[0087] Der Abstand, gemessen zwischen der Achse der Welle und dem Kontaktpunkt des Antriebsbereichs, wird als wirksamer Radius der Steuerkurve, bezeichnet. Der wirksame Radius ist für die jeweiligen Steuerkurven in der Arbeitsdrehlage kleiner als in der Anfangsdrehlage.

[0088] Ein Abschnitt der Steuerkurve, in welchem die Steuerkurve beim Drehen der Welle in Kontakt mit dem Antriebsbereich der betreffenden Platte ist, wird als wirksamer Abschnitt der Steuerkurve bezeichnet. Der Radius der Steuerkurve, gemessen zwischen der Achse der Welle und dem Aussenumfang der Steuerkurve, und der wirksame Radius sind folglich gleich im wirksamen Abschnitt der Steuerkurve.

[0089] Ein Abschnitt der Steuerkurve, welcher mit dem Antriebsbereich der Steuerkurve keinen Kontakt hat, wird als passiver Abschnitt der Steuerkurve bezeichnet. Dies ist der Fall für einen Abschnitt, dessen Radius kleiner als der wirksame Radius ist, sodass die Steuerkurve beim Drehen der Welle keinen Kontakt mit dem Antriebsbereich der betreffenden Platte hat. Dies ist ebenfalls der Fall für einen Abschnitt der Steuerkurve, welcher mit dem Antriebsbereich nicht in Kontakt kommt, weil die Welle nicht bis zu diesem Abschnitt gedreht wird.

[0090] Beim Drehen der Welle aus der Arbeitsdrehlage in die Anfangsdrehlage wirkt der wirksame Abschnitt der Steuerkurve mit dem Antriebsbereich der Platte zusammen. Die Steuerkurven sind so ausgebildet, dass der Radius der jeweiligen Steuerkurven beim Drehen der Welle von der Arbeitsdrehlage zur Anfangsdrehlage zunimmt. Beim weiteren Drehen der Welle drückt daher die Steuerkurve die ihr zugeordnete Platte bzw. zugeordneten Platten immer weiter in Richtung Anfangsposition, wobei gleichzeitig der Magnet eine Anziehungskraft in Richtung Arbeitsposition weiter ausübt. Folglich werden die Platten aus der Arbeitsposition abgesenkt und bleiben die Platten in Kontakt mit der betreffenden Steuerkurve.

[0091] Der Radius nimmt zwischen der Arbeitsdrehlage und der Anfangsdrehlage vorzugsweise kontinuierlich zu, um eine kontinuierliche Bewegung der Platten beim Drehen der Welle zu erlauben.

[0092] Zur Überführung der Platten aus der Anfangsposition in die Arbeitsposition wird die Welle aus der Anfangsdrehlage in die Arbeitsdrehlage gedreht. Beim Drehen der Welle wirkt jeweils eine Steuerkurve mit dem Antriebsbereich einer zugeordneten Platte oder zugeordneter Platten zusammen, und die Platte bzw. Platten wird bzw. werden durch die Anziehungskraft des Magneten in Richtung Arbeitsposition infolge Abnahme des Radius der Steuerkurve gezogen. Beim Erreichen der Arbeitsposition liegen die Platten am Anschlagelement an und werden durch den Magneten in der Arbeitsposition gehalten.

[0093] In einer bevorzugten Ausführungsform ist in der Arbeitsdrehlage jeweils ein Spalt zwischen dem Antriebsbereich der Platte und der Steuerkurve vorhanden. Dies bedeutet, dass der wirksame Radius grösser als der Radius der Steuerkurve ist, sodass die zu bewegenden Platten jeweils keinen Kontaktpunkt mit der Welle in der Arbeitsdrehlage haben. Damit wird erreicht, dass die Platten durch das Anschlagelement in der Arbeitsposition gestoppt werden und nicht mehr in Kontakt mit den Steuerkurven sind. Daher erreichen die Platten die Arbeitsposition zuverlässig, weil sie am Anschlagelement anliegen können.

[0094] Bei dieser Ausführungsform liegt in der Arbeitsposition jeweils der passive Abschnitt der Steuerkurve gegenüber dem Antriebsbereich der Platten. Beim Drehen der Welle aus der Arbeitsdrehlage in die Anfangsdrehlage hat folglich keine Steuerkurve gleich zu Beginn einen Kontaktpunkt mit dem betreffenden Antriebsbereich.

[0095] Da der Radius der jeweiligen Steuerkurven beim Drehen der Welle von der Arbeitsdrehlage zur Anfangsdrehlage zunimmt, kommen Steuerkurven beim weiteren Drehen der Welle mit den zu bewegenden Platten an ihren Antriebsbereich in Kontakt. Beim Erreichen des Kontaktpunkts beginnt der Antriebsbereich mit dem wirksamen Abschnitt der Steuerkurve zusammenzuwirken. Je nach erwünschtem Anfang der Bewegung einer Platte aus der Arbeitsdrehlage zur Anfangsdrehlage wird der Anfang des wirksamen Abschnitts der Steuerkurve ausgebildet. Der Radius der jeweiligen Steuerkurven nimmt weiter zu, sodass die Platten aus der Arbeitsposition entgegen die Anziehungskraft des Magneten in Richtung Anfangsposition infolge Zunahme des Radius der Steuerkurve gestossen werden.

[0096] Der wirksame Abschnitt jeder Steuerkurve erstreckt sich von einem der Arbeitsposition zugeordneten ersten Radius bis zu einem der Anfangsposition zugeordneten, grösseren zweiten Radius. Vorzugsweise nimmt der Radius im wirksamen Abschnitt kontinuierlich zu und die Steuerkurve bildet einen im Wesentlichen spiralförmigen Bogen.

[0097] In der Arbeitsdrehlage sind die Platten in der Arbeitsposition und ist der erste Radius jeder Steuerkurve kleiner als der wirksame Radius jeder der Steuerkurve. Dies entspricht einer Drehlage der Welle, in welcher der passive Abschnitt der Steuerkurve jeweils gegenüber dem Antriebsbereich liegt, d.h. dass keine Platte in Kontakt mit einer Steuerkurve in Kontakt ist. Die Platten liegen am Anschlagelement an und es gibt jeweils einen Spalt zwischen der Steuerkurve und dem Antriebsbereich.

[0098] In der Anfangsdrehlage sind die Platten in der Anfangsposition und ist der zweite Radius jeweils gleich gross wie der wirksame Radius der Steuerkurve. Dies entspricht einer Drehlage der Welle, in welcher der Antriebsbereich das Ende des wirksamen Abschnitts der Steuerkurve jeweils erreicht hat.

[0099] Im passiven Abschnitt kann der Radius kontinuierlich oder stufenweise von dem zweiten Radius auf den ersten Radius abnehmen. Der passive Abschnitt kann beispielsweise teilweise geradlinig sein.

[0100] Die Drehung der Welle kann über die Steuerung des Motors je nach erwünschter Bewegung der Platten gesteuert werden. Die Drehung der Welle kann somit kontinuierlich oder schrittweise in eine Drehrichtung gestaltet werden. In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Welle zwischen der Anfangsdrehlage und der Arbeitsdrehlage hin und her angetrieben.

[0101] In einer bevorzugten Ausführungsform sind die Steuerkurven in Umfangsrichtung der Welle derart ausgebildet, dass die Platten in einer vorbestimmten Reihenfolge zwischen der Anfangsposition und der Arbeitsposition und umgekehrt bewegt werden.

[0102] In einer besonders bevorzugten Ausführungsform sind die Steuerkurven bezüglich einer durch eine zentral angeordnete Steuerkurve, rechtwinklig zur Drehachse der Welle verlaufenden Spiegelebene symmetrisch ausgebildet. Diese Ausbildung der Steuerkurven ermöglicht eine Bewegung der Platten von der Anfangsposition in die Arbeitsposition bzw. von der Arbeitsposition in die Anfangsposition symmetrisch zu der der zentral angeordneten Steuerkurve zugeordnete Platte.

[0103] Vorzugsweise weisen die wirksamen Abschnitte der Steuerkurven, in der Abwicklung der Welle gesehen, eine V-förmige Anordnung auf, wobei der zentrale wirksame Abschnitt die Spitze der V-Form bildet und die übrigen wirksamen Abschnitte, in Richtung von der Arbeitsdrehlage in die Anfangsdrehlage gesehen, nach vorne bezüglich der Spitze der V-Form versetzt sind. Somit können zuerst die symmetrisch zu der der zentral angeordneten Steuerkurve zugeordneten Platte äussersten Platten bei der Bewegung von der Arbeitsposition in Richtung der Anfangsposition und zuletzt die der zentral angeordneten Steuerkurve zugeordneten Platte bewegt werden. Diese Anordnung ermöglicht ein allmähliches Auslösen der Folie vom Chip von den Seiten des Chips gegen die Mitte des Chips.

[0104] In einer bevorzugten Ausführungsform weist eine Stirnseite der Welle eine zur Achse zentrische, kreisbogenförmige und nutenförmige Ausnehmung zur Aufnahme eines relativ zur Kammer ortsfest angeordneten Stifts auf. Ein Ende der Ausnehmung bildet einen der Arbeitsdrehlage zugeordneten ersten Drehanschlag der Welle und das andere Ende bildet einen der Anfangsdrehlage zugeordneten zweiten Drehanschlag der Welle. Somit kann die Drehung der Welle zuverlässig in der Arbeitsdrehlage und in der Anfangsdrehlage gestoppt werden. Der erste und der zweite Drehanschlag sind so ausgebildet, dass der Stift an dem ersten bzw. dem zweiten Drehanschlag anliegt, erst wenn alle Platten ihre Arbeitsposition bzw. ihre Anfangsposition erreicht haben.

[0105] In einer bevorzugten Ausführungsform sind die Steuerkurven derart ausgebildet, dass die Platten in einer vorbestimmten Reihenfolge zwischen der Anfangsposition und der Arbeitsposition und umgekehrt bewegt werden.

[0106] In einer bevorzugten Ausführungsform umfasst der Chip-Auswerfer ein Federsystem, welches mit Ankerabschnitten der Platten zusammenwirkt und eine in Richtung zur Arbeitsposition gerichtete Stosskraft auf die Platten ausübt. Dabei ist es möglich auf den Magneten und den weiteren Magneten zu verzichten. Ein Chip-Auswerfer ohne jegliche Magneten ist eine vorteilhafte Anordnung, wenn eine mögliche Wechselwirkung der Magnetfelder mit anderen Komponenten innerhalb oder ausserhalb des Chip-Auswerfers vermeidet werden muss.

[0107] Ferner ist das Antriebselement als eine um ihre Achse mittels des Motors drehbar angetriebene Welle ausgebildet. Die Welle kann gleich wie in der vorherigen Ausführungsform ausgebildet sein, deren Aussenumfang in rechtwinklig zur Achse verlaufenden Ebenen liegende Steuerkurven bildet. Die Steuerkurven weisen die gleichen Eigenschaften auf und wirken mit den Antriebsbereichen der Platten wie vorstehend erläutert.

[0108] Das Federsystem kann am Boden der Kammer angeordnet sein und dient dazu, die Platten über seine Stosskraft aus der Anfangsposition in Richtung der Arbeitsposition zu bewegen und sie in der Arbeitsposition zu halten.

[0109] Das Federsystem kann als eine Vielzahl von am Boden der Kammer angeordneten Federstreifen ausgebildet sein, wobei jeweils ein Federstreifen einer Platte zugeordnet ist und mit einer Platte zusammenwirkt.

[0110] Bevorzugt kann das Federsystem kammartige von einer Befestigungsplatte abstehende Biegefederzungen umfassen, welche jeweils mit einer Platte zusammenwirken.

[0111] Weitere Federsysteme sind ebenfalls geeignet, solange eine Stosskraft in Richtung zur Arbeitsposition auf die jeweiligen Platten ausgeübt werden kann.

[0112] Die Stosskraft führt dazu, dass der Antriebsbereich der zu bewegenden Platten beim Drehen der Welle in Kontakt mit dem Aussenumfang der Welle bleibt, nämlich an mindestens einem Kontaktpunkt mit der den zu bewegenden Platten zugeordneten Steuerkurve, solange die zu bewegenden Platten das Anschlagelement nicht erreicht haben. Die Welle hebt jeweils vom Antriebsbereich der zu bewegenden Platten ab, sobald sie das Anschlagelement erreicht haben. Platten, die in der Anfangsposition bleiben, werden von der Welle über die betreffende Steuerkurve in der Anfangsposition gehalten.

[0113] Weitere Vorteile und Eigenschaften der Erfindung gehen aus der nachstehenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels hervor, welches anhand der beiliegenden Figuren erläutert wird.

[0114] Es zeigt: Fig. 1 einen in perspektivischer Ansicht dargestellten Querschnitt in Längsrichtung einer erfindungsgemässen, ersten Ausführungsform des Chip-Auswerfers; Fig. 2 eine perspektivische Ansicht der im Chip-Auswerfer gemäss Figur 1 eingebauten Nockenwelle; Fig. 3 einen Querschnitt in Längsrichtung eines Teils einer erfindungsgemässen, zweiten Ausführungsform des Chip-Auswerfers; und Fig. 4 eine perspektivische Ansicht der im Chip-Auswerfer gemäss Figur 3 eingebauten Welle.

[0115] In einer ersten Ausführungsform umfasst der Chip-Auswerfers 2 gemäss Figur 1 eine mit Vakuum beaufschlagbare Kammer 4, welche durch ein mehrteiliges, eine Längsachse L definierendes Gehäuse 6 ausgebildet ist.

[0116] Das Gehäuse 6 umfasst einen quaderförmigen Gehäuseteil 8, welcher einen Gehäusedeckel 16, einen rechtwinklig zur Längsachse L verlaufenden, luftdicht angeordneten Boden 12, zwei Seitenwänden 14 bzw. 14', eine Stirnwand (nicht dargestellt) sowie eine Rückwand (nicht dargestellt) umfasst. Der Gehäusedeckel 16 ist luftdicht am Gehäuseteil 8 befestigt und weist eine kreisförmige Öffnung 24 auf, aus welcher ein sich entlang der Längsachse L erstreckender Rohrteil 22 herausragt.

[0117] Weiter umfasst das Gehäuse 6 einen einen kreiszylinderförmigen Durchlass aufweisenden Flansch 36, welcher auf den Rohrteil 22 aufgeschoben ist. In einem ersten, dem Gehäusedeckel 16 zugewandten Endbereich des Flansches weist der Durchlass einen Durchmesser auf, welcher geringfügig grösser als der äussere Durchmesser des Rohrteils 22 ist. Im ersten Endbereich des Flansches liegt der Flansch 36 über einen im Flansch 36 angeordneten O-Ring 34 luftdicht an dem Rohrteil 22 an. In einem zweiten, dem Gehäusedeckel 16 abgewandten Endbereich des Flansches weist der Durchlass einen grösseren Durchmesser als der äussere Durchmesser des Rohrteils 22 auf, um eine Umfangsausnehmung 38 auszubilden, welche dazu bestimmt ist, die Aufnahme eines kreiszylinderförmigen Plattenträgers 30 zu ermöglichen.

[0118] Ferner umfasst das Gehäuse 6 den kreiszylinderförmigen Plattenträger 30, an dem eine Abdeckplatte 40 über einen weiteren O-Ring 42 luftdicht und auswechselbar angeordnet ist. Der Plattenträger 30 ist auf den Rohrteil 22 aufgeschoben, in die Umfangsausnehmung 38 hineingeschoben und liegt im montierten Zustand über einen weiteren, im Flansch 36 angeordneten O-Ring 44 luftdicht an dem Rohrteil 22 an.

[0119] Die Kammer 4 weist einen Vakuumanschluss 46 zur Verbindung mit einer Vakuumquelle auf.

[0120] Die Abdeckplatte 40 weist einen Durchlass 50 auf und die der Kammer 4 abgewandte Oberfläche der Abdeckplatte 40 bildet eine Stützfläche 52 für einen mit Chips versehenen Träger, welcher in Fig. 1 nicht dargestellt ist. Die Stützfläche 52 verläuft rechtwinklig zur Längsachse L des Gehäuses 6 des Chip-Auswerfers 2. Ferner weist die Abdeckplatte 40 eine Vielzahl von durchgehenden, um den Durchlass 50 herum angeordneten Löchern 54 auf, die dazu dienen, den Träger anzusaugen, wenn die Kammer 4 mit Vakuum beaufschlagt ist, sodass der Träger während des Ablösens und Entnehmens der Chips fest auf der Abdeckplatte 40 gehalten ist.

[0121] Weiter umfasst der Chip-Auswerfer 2 eine Vielzahl im Innern der Kammer 4, parallel zueinander und parallel zur Längsachse L des Gehäuses 6 angeordneter Platten 56, welche zwischen jeweils einer Anfangsposition 58 und einer Arbeitsposition 60 hin und her in einer Bewegungsrichtung B in Richtung der Längsachse L bewegbar sind. Die Plattenebene der Platten 56 ist rechtwinklig zur Abdeckplatte 40 und zu den Seitenwänden 14 bzw. 14' ausgerichtet. Konstruktionsbedingt ist folglich die Plattenebene parallel zur Längsachse L.

[0122] Der Gehäusedeckel 16 weist auf seiner dem Innere des Gehäuseteils 8 zugewandten Seite zwei parallel zu den Seitenwänden verlaufende, symmetrisch bezüglich einer die Längsachse L umfassenden Längssymmetrieebene der Platten 4 angeordnete Einbauausnehmungen 18 bzw. 18' auf, in welchen je ein mehrteiliger Magnet 20 angeordnet ist. Ein weiterer mehrteiliger Magnet 10 ist am Boden angeordnet.

[0123] Der Arbeitsposition 60 ist der Magnet 20 und der Anfangsposition 58 ist der weitere Magnet 10 zugeordnet. Der Magnet 20 und der weitere Magnet 10 erstrecken sich rechtwinklig zur Plattenebene und sind in entgegengesetzten, durch S-N bzw. N-S gekennzeichneten Polarisationsrichtungen permanent polarisiert, welche wenigstens parallel zur Bewegungsrichtung B sind. Somit üben das magnetische Feld des Magneten und des weiteren Magneten 20 bzw. 10 jeweils eine im Wesentlichen parallel zur Bewegungsrichtung B gerichtete Anziehungskraft F bzw. F' auf die Platten 56 aus.

[0124] Die Platten 56 sind zweiteilig ausgebildet und umfassen jeweils eine Basisplatte 68, die eine Antriebsausnehmung 70 enthält, und eine Aufsetzplatte 72, welche auf die Basisplatte 68 aufgesetzt ist und durch eine mechanische Verbindung 73 mit der Basisplatte 68 verbunden ist. Die Antriebsausnehmungen aller Basisplatten 68 sind gleich ausgebildet.

[0125] Die Basisplatten 68 sind T-förmig ausgebildet und weisen jeweils einen Längsbereich 75, an welchem die Aufsetzplatten 72 befestigt sind, und einen Querbalken 74 auf. Der Querbalken 74 bildet einen Ankerabschnitt 74. Die dem weiteren Magneten 10 zugewandte Seite 66 des Querbalkens 74 verläuft parallel zu der dem Querbalken 74 zugewandten Oberfläche des weiteren Magneten 10 und die dem Magneten 20 zugewandte Seite 64 des Querbalkens 74 verläuft parallel zu der dem Querbalken 74 zugewandten Oberfläche des Magneten 20.

[0126] Der der Abdeckplatte 40 zugewandte Randbereich der Aufsetzplatten 72 bildet einen Stossrand 77, welcher dazu bestimmt ist, mit dem Träger zusammenzuwirken, um die Entnahme der Chips vom Träger zu unterstützen. Die Aufsetzplatten 72 weisen jeweils eine Anschlagausnehmung 76 auf, welche von einem Anschlagelement 78 durchgriffen sind. Die Anschlagausnehmungen 76 aller Aufsetzplatten 72 sind gleich ausgebildet.

[0127] Das Anschlagelement 78 ist als ein abgeflachter Bolzen ausgebildet, welcher die Anschlagausnehmung 76 der jeweiligen Platten 56 durchgreift. Der abgeflachte Bolzen weist eine erste abgeflachte Anschlagseite 78a und eine parallel zur ersten Anschlagseite ausgebildeten zweite Anschlagseite 78b auf. Die Anschlagausnehmung 76 erstreckt sich, in Richtung der Längsachse L gesehen, über eine Länge, welche der Summe der Dicke des Anschlagelements 78 und des Hubs der Platte 56 entspricht.

[0128] Ferner umfassen die Basisplatten 74 jeweils zwei in ihrem Ankerabschnitt ausgebildete, weitere Anschlagausnehmungen 80, welche von einem als Bolzen ausgebildeten weiteren Anschlagelement 82 durchgriffen sind. Die Basisplatten 68 umfassen ebenfalls jeweils eine langlochartige Ausnehmung 84 in ihrem Längsbereich 75, welche von einem stiftförmigen Führungselement 86 durchgriffen ist. Die Ausnehmung 84 dient dazu, die Bewegung des Längsbereichs 75 zu führen, sodass die Bewegungsrichtung B der Platten 56 parallel zur Längsachse L bleibt. Die Ausnehmungen 84 aller Basisplatten 68 sind gleich ausgebildet.

[0129] Zur Führung der Basisplatten 68 sind zwei an den Seitenwänden 14 bzw. 14' gegenüberliegend angeordnete, kammartige Aufnahmeschienen 90 angeordnet, deren Einschnitte auf der dem Innere der Kammer zugewandten Seite der Aufnahmeschienen 90, parallel zur Bewegungsrichtung B verlaufen. Die Einschnitte nehmen jeweils einen parallel zur Bewegungsrichtung verlaufenden Randbereich der Basisplatten 68 auf und sind derart voneinander beabstandet, dass ein vorbestimmter Abstand zwischen den Basisplatten 68 beim Bewegen der Platten 56 sichergestellt wird.

[0130] Zur Führung der Basisplatten 68 umfasst ferner der Rohrteil 22 ebenfalls zwei gleich wie die Aufnahmeschienen 90 ausgebildete, gegenüberliegend angeordnete weitere Aufnahmeschienen 92.

[0131] Die Antriebsausnehmungen 70 sind von einem Antriebselement 100 durchgriffen und weisen jeweils einen Antriebsbereich 102 und einen weiteren Antriebsbereich 104 auf. Das Antriebselement 100 ist als eine Nockenwelle 100 ausgebildet, deren zahnartigen Nocken 106 mit dem Antriebsbereich 102 und dem weiteren Antriebsbereich 104 der zu bewegenden Platten 56 zusammenwirken.

[0132] Der Antriebsbereich 102 und der weitere Antriebsbereich 104 sind jeweils durch eine an der Platte 56 ausgebildete, quer zur Bewegungsrichtung B der Platte 56 verlaufende Schulter 102 bzw. weitere Schulter 104 ausgebildet.

[0133] Die Nockenwelle 100 wird von einem Motor in einer Drehrichtung D angetrieben.

[0134] Die in Fig. 2 dargestellte Nockenwelle 100 umfasst einen kreiszylindrischen Wellenteil 110 mit einer ersten und einer zweiten Wellennabe 112 bzw. 114. Im montierten Zustand ist die erste Wellennabe 112 drehbar gleitend in der Stirnwand und ist die zweite Wellennabe 114 drehbar gleitend in der Rückwand des Gehäuses 6 gelagert.

[0135] Zwischen der ersten und der zweiten Wellennabe 112 bzw. 114 stehen die Nocken 106 radial auswärts bezüglich des Wellenteils 110 hervor. Die Nocken 106 sind bezüglich einer durch einen zentral angeordneten Nocken, rechtwinklig zu einer Drehachse H der Nockenwelle 100 verlaufenden Spiegelebene symmetrisch angeordnet. Die Nocken 106, in der Abwicklung der Nockenwelle 100 gesehen, weisen eine V-förmige Anordnung auf, wobei der zentrale Nocken die Spitze der V-Form bildet und die Nocken 106, in Drehrichtung gesehen, nach vorne versetzt sind.

[0136] Die Nocken 106 weisen jeweils, in Drehrichtung D gesehen, eine vorlaufende Stossseite 116 auf, deren Form eine Evolventenform ist. Die Stossseiten 116 zweier sukzessiven Nocken 106 weisen einen in Umfangsrichtung gemessene Abstand A auf.

[0137] Die in Fig. 1 dargestellte Anordnung der Platten 56 entspricht einer momentanen Aufnahme des Chips-Auswerfers 2, wobei alle Platten 56 in der Arbeitsposition 60 liegen und am Anschlagelement 78 anliegen. Die Stossränder 77 ragen über die Stützfläche 52 vor. Beim Drehen der Nockenwelle 100 in Drehrichtung D wirken die Stossseiten 116 mit der jeweiligen Schulter 102 zusammen, um die zu bewegenden Platten 56 aus der Arbeitsposition 60 in Richtung der Anfangsposition 58 zu bewegen.

[0138] Die Anordnung der Stossseiten 116 der Nocken 106 relativ zueinander bestimmt die Reihenfolge der Zusammenwirkung der Stossseiten 116 mit den Schultern 102. Da die Antriebsausnehmungen aller Basisplatten 68 gleich ausgebildet sind und die Nocken 106, in der Abwicklung der Nockenwelle 100 gesehen, eine V-förmige Anordnung aufweisen, werden zuerst die zwei symmetrisch zu der dem zentral angeordneten Nocken zugeordneten Platte 56 äussersten Platten 56 von der Arbeitsposition 60 in Richtung der Anfangsposition 58 bewegt. Die Zusammenwirkung der Stossseiten 116 mit der Schulter 102 erfolgt wenigstens bis die Anziehungskraft F des weiteren Magneten 10 grösser als die Anziehungskraft F' des Magneten 20 ist. Die Platten 56 bewegen sich dann unter Anziehungskraft F des weiteren Magneten 10 in Richtung der Anfangsposition 58.

[0139] Beim weiteren Drehen der Nockenwelle 100 wirken die nächsten, in Umfangsrichtung der Nockenwelle 100 gesehen, Stossseiten 116 mit der Schulter 102 der zwei symmetrisch zu der dem zentral angeordneten Nocken zugeordneten Platte 56 zweit äussersten Platten 56 zusammen, und bewegen diese von der Arbeitsposition 60 in Richtung der Anfangsposition 58.

[0140] Zuletzt wird die dem zentral angeordneten Nocken zugeordneten Platte 56 von der Arbeitsposition 60 in Richtung der Anfangsposition 58 bewegt.

[0141] Beim weiteren Drehen der Nockenwelle 100 in Drehrichtung D wirken die Stossseiten 116 mit der weiteren Schulter 104 zusammen, um die zu bewegenden Platten 56 aus der Anfangsposition 58 in Richtung der Arbeitsposition 60 zu bewegen. Wie bereits erklärt, mutatis mutandis, werden zuerst die zwei symmetrisch zu der dem zentral angeordneten Nocken zugeordneten Platte 56 äussersten Platten 56 von der Anfangsposition 58 in Richtung der Arbeitsposition 60 bewegt.

[0142] In einer zweiten Ausführungsform des Chip-Auswerfers 2 gemäss Fig. 3 ist das Gehäuse 6 gleich ausgebildet wie in Fig. 1, jedoch ist lediglich der Gehäuseteil 8 mit dem Inneren der Kammer 4 und den Platten 56 dargestellt. Für gleich wirkende Teile werden im Folgenden dieselben Referenznummern verwendet wie bei der ersten Ausführungsform. Des Weiteren ist die zweite Ausführungsform ähnlich wie die erste Ausführungsform aufgebaut. Daher werden nachfolgend hauptsächlich die Unterschiede beschrieben.

[0143] Die in Fig. 3 dargestellte Anordnung der Platten 56 entspricht einer momentanen Aufnahme des Chips-Auswerfers, wobei die dargestellte Platte 56 in der Arbeitsposition 60 liegt. Die Stützfläche 52 ist in Fig. 3 lediglich gestrichelt dargestellt.

[0144] Der Arbeitsposition 60 der Platten 56 ist der mehrteilige Magnet 20 zugeordnet, welcher in den Einbauausnehmungen 18 bzw. 18' angeordnet ist. Im Unterschied zum Chip-Auswerfer gemäss Figur 1 ist der Boden 12 des Chip-Auswerfers gemäss Figur 3 frei vom weiteren Magneten, der Anfangsposition 58 ist also kein weiterer Magnet zugeordnet. Somit übt das magnetische Feld des Magneten 20 jeweils eine im Wesentlichen parallel zur Bewegungsrichtung B gerichtete Anziehungskraft F' auf die Platten 56 aus. Ein Spalt 118 ist zwischen dem Magneten 20 und der Platte 56 vorhanden, welche durch das Anschlagelement 78 in der Arbeitsposition 60 gestoppt wurde und durch den Magneten 20 in der Arbeitsposition 60 gehalten wird.

[0145] Die Antriebsausnehmungen 70 sind von einem Antriebselement 100 durchgriffen und weisen jeweils einen Antriebsbereich 102 auf. Das Antriebselement 100 ist als eine Welle 100 ausgebildet, welche mit dem Antriebsbereich 102 der zu bewegenden Platten 56 an einem Kontaktpunkt 103 zusammenwirkt, und von einem Motor angetrieben.

[0146] Der Antriebsbereich 102 ist jeweils durch eine an der Platte 56 ausgebildete, rechtwinklig zur Bewegungsrichtung B der Platte 56 verlaufende Schulter 102 ausgebildet.

[0147] Die Ausbildung der Welle 100 wird in Zusammenhang mit Fig. 4 näher erläutert. Die Welle 100 umfasst einen kreiszylindrischen Wellenteil 110, welcher zwischen einer ersten und einer zweiten Wellennabe 112 bzw. 114 angeordnet ist. Im montierten Zustand ist die erste Wellennabe 112 drehbar gleitend in der Stirnwand und ist die zweite Wellennabe 114 drehbar gleitend in der Rückwand gelagert.

[0148] Der Aussenumfang des Wellenteils 110 bildet in rechtwinklig zur Drehachse H verlaufenden Ebenen liegende Steuerkurven 122, welche dazu bestimmt sind, jeweils mit dem Antriebsbereich 102 einer Platte 56 an dem Kontaktpunkt 103 zusammenzuwirken. Die Steuerkurven 122 sind bezüglich einer durch eine zentral angeordnete Steuerkurve, rechtwinklig zur Drehachse H der Welle 100 verlaufenden Spiegelebene paarweise symmetrisch ausgebildet.

[0149] Der Abschnitt der Steuerkurve 122, in welchem die Steuerkurve beim Drehen der Welle 100 in Kontakt mit dem Antriebsbereich 102 der betreffenden Platte 56 ist, wird als wirksamer Abschnitt 124 der Steuerkurve 122 bezeichnet.

[0150] Die wirksamen Abschnitte 124 der Steuerkurven 122 weisen, in der Abwicklung der Welle gesehen, eine V-förmige Anordnung auf, wobei der zentrale wirksame Abschnitt die Spitze der V-Form bildet und die übrigen wirksamen Abschnitte 124, in Drehrichtung S von der Arbeitsdrehlage in die Anfangsdrehlage gesehen, nach vorne bezüglich der Spitze der V-Form versetzt sind. Die Drehrichtung W bezeichnet die Drehrichtung von der Anfangsdrehlage in die Arbeitsdrehlage.

[0151] Im wirksamen Abschnitt 124 der Steuerkurve, welche sich auf Fig. 4 vom Punkt A bis zum Punkt C erstreckt, nimmt der Radius R von einem dem Punkt A entsprechenden, ersten Radius R1 auf einem grösseren dem Punkt C entsprechenden, zweiten Radius R2 kontinuierlich zu. Der Radius R1 und R2 sind der Arbeitsposition 60 bzw. der Anfangsposition 58 der betreffenden Platte 56 zugeordnet. Der wirksame Abschnitt 124 bildet einen im Wesentlichen spiralförmigen Bogen der Steuerkurve 122.

[0152] Eine Stirnseite 128 der Welle 100 weist eine zur Drehachse H zentrische, kreisbogenförmige Nute 130 zur Aufnahme eines relativ zur Kammer ortsfest angeordneten Stifts 131 auf. Ein Ende 132 der Nute 130 bildet einen der Arbeitsdrehlage zugeordneten ersten Drehanschlag 134 der Welle 100 und das andere Ende 136 bildet einen der Anfangsdrehlage zugeordneten zweiten Drehanschlag 138 der Welle 100.

[0153] Zur Überführung der Platten 56 aus der Arbeitsposition 60 in die Anfangsposition 58 wird die Welle 100 in einer Drehrichtung S aus einer Arbeitsdrehlage, in welcher sich die Platten 56 in Arbeitsposition 60 befinden, in eine Anfangsdrehlage, in welcher sich die Platten 56 in Anfangsposition 58 befinden, gedreht. In der Fig. 3 ist die Welle 100 in der Arbeitsdrehlage dargestellt.

[0154] Die Steuerkurven 122 sind so ausgebildet, dass der Radius der jeweiligen Steuerkurven beim Drehen der Welle 100 von der Arbeitsdrehlage zur Anfangsdrehlage zunimmt. Der Radius nimmt zwischen der Arbeitsdrehlage und der Anfangsdrehlage kontinuierlich zu, um eine kontinuierliche Bewegung der Platten 56 beim Drehen der Welle 100 zu erlauben.

[0155] Beim Drehen der Welle 100 aus der Arbeitsdrehlage in die Anfangsdrehlage kommt die Steuerkurve 122 in Kontakt mit dem Antriebsbereich 102 der betreffenden Platte 56.

[0156] Beim weiteren Drehen der Welle 100 drückt daher die Steuerkurve die ihr zugeordnete Platte 56 immer weiter in Richtung Anfangsposition 58, wobei gleichzeitig der Magnet 20 eine Anziehungskraft F' in Richtung Arbeitsposition 60 weiter ausübt. Folglich werden die Platten 56 aus der Arbeitsposition 60 abgesenkt und bleiben die Platten 56 in Kontakt mit der betreffenden Steuerkurve 122.

[0157] Zur Bewegung der Platten 56 aus der Anfangsposition 58 in die Arbeitsposition 60 wird die Welle 100 in die der Drehrichtung S umgekehrte Drehrichtung gedreht.

[0158] Die Welle 100 wird von einem Motor zwischen der Anfangsdrehlage und der Arbeitsdrehlage hin und her angetrieben.

Claims (16)

1. Chip-Auswerfer (2) umfassend eine mit Vakuum beaufschlagbare Kammer (4) mit einer einen Durchlass aufweisenden Abdeckplatte (40), deren der Kammer (4) abgewandte Oberfläche eine Stützfläche (52) für einen mit Chips versehenen Träger bildet, eine Vielzahl im Innern der Kammer (4) angeordneter, zwischen jeweils einer Anfangsposition (58) und einer Arbeitsposition (60) hin und her bewegbarer, eine Antriebsausnehmung (70) aufweisender Platten (56), deren Plattenebene quer zur Abdeckplatte (40) ausgerichtet ist und deren der Abdeckplatte zugewandter, wenigstens annähernd rechtwinklig zur Bewegungsrichtung verlaufender Randbereich einen Stossrand (77) bildet, welcher dazu bestimmt ist, mit dem Träger zusammenzuwirken, um die Entnahme der Chips vom Träger zu unterstützen, wobei die Anfangsposition (58) bezüglich der Arbeitsposition (60) in Richtung ins Innere der Kammer (4) zurückversetzt ist, und ein durch einen Motor antreibbares Antriebselement (100), welches die Antriebsausnehmungen (70) durchgreift, wobei die Antriebsausnehmungen (70) jeweils einen Antriebsbereich (102) aufweisen, welcher derart ausgebildet ist, dass das Antriebselement (100) mit dem Antriebsbereich (102) zusammenwirkt, um die zu bewegenden Platten (56) aus der Arbeitsposition (60) in Richtung der Anfangsposition (58) zu bewegen, dadurch gekennzeichnet, dass ein mit Ankerabschnitten (74) der Platten (56) zusammenwirkender Magnet (20) auf die Platten (56) eine in Richtung zur Arbeitsposition (60) gerichtete Anziehungskraft (F') ausübt und ein Anschlagelement (78) die Bewegung der Platten (56) in der Arbeitsposition (60) stoppt, wobei die Platten (56) in Arbeitsposition (60) am Anschlagelement (78) anliegen.

2. Chip-Auswerfer (2) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Anschlagelement (78) auch die Bewegung der Platten (56) in ihrer Anfangsposition (58) stoppt.

3. Chip-Auswerfer (2) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Anschlagelement (78) als ein vorzugsweise abgeflachter Bolzen ausgebildet ist und eine Anschlagausnehmung (70) der Platten (56) durchgreift.

4. Chip-Auswerfer (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Magneten (20) und den Platten (56) immer ein Luftspalt vorhanden ist.

5. Chip-Auswerfer (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Platten (56) T-förmig ausgebildet sind und der Querbalken der T-förmigen Platte den Ankerabschnitt (74) bildet, wobei die dem Magneten (20) zugewandte Seite des Querbalkens wenigstens annähernd parallel zur dem Ankerabschnitt (74) zugewandten Oberfläche des Magneten (20) verläuft.

6. Chip-Auswerfer (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebsausnehmungen (70) jeweils einen weiteren Antriebsbereich (104) aufweisen, welcher derart ausgebildet ist, dass das Antriebselement (100) mit dem weiteren Antriebsbereich (104) zusammenwirkt, um die zu bewegenden Platten (56) aus der Anfangsposition (58) in Richtung der Arbeitsposition (60) zu bewegen, dass der Anfangsposition (58) ein weiterer Magnet (10) zugeordnet ist und zwischen dem Magneten (20) und dem weiteren Magneten (10) sich der Ankerabschnitt (74) befindet, und dass das Antriebselement (100) den Ankerabschnitt (74) der jeweils zu bewegenden Platten (56) aus der Anfangsposition (58) in Richtung der Arbeitsposition (60) vom weiteren Magnet (10) weg in Richtung zum Magneten (20) bewegt, wenigstens bis die Anziehungskraft (F') des Magneten (20) grösser als jene (F) des weiteren Magneten (10) ist, und die zu bewegenden Platten (56) sich dann unter Anziehungskraft (F') des Magneten (20) in die Arbeitsposition (60) bewegen, und umgekehrt für die Bewegung der Platten (56) aus der Arbeitsposition (60) in Richtung der Anfangsposition (58) vom Magneten (20) weg in Richtung zum weiteren Magneten (10) .

7. Chip-Auswerfer (2) nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebselement (100) eine um ihre Achse mittels des Motors drehbar angetriebene Nockenwelle (100) umfasst, deren Nocken (106) dazu bestimmt sind, mit dem Antriebsbereich (102) und dem weiteren Antriebsbereich (104) der zu bewegenden Platten (56) zusammenzuwirken.

8. Chip-Auswerfer (2) nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Nocken (106), in Umfangsrichtung der Nockenwelle (100), derart angeordnet sind, dass die Platten (56) in einer vorbestimmten Reihenfolge zwischen der Anfangsposition (58) und der Arbeitsposition (60) und umgekehrt bewegt werden.

9. Chip-Auswerfer (2) nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Nocken (106) eine Evolventenform aufweisen.

10. Chip-Auswerfer (2) nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Antriebsbereich (102) und der weitere Antriebsbereich (104) jeweils durch eine an der betreffenden Platte (56) ausgebildete Schulter (102, 104), welche quer zur Bewegungsrichtung der Platte (56) verläuft, ausgebildet sind und der der betreffenden Platte (56) zugeordnete Nocken (106) beim Drehen der Nockenwelle (100) die betreffende Schulter stosst.

11. Chip-Auswerfer (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebselement (100) eine um ihre Achse mittels des Motors drehbar angetriebene Welle (100) umfasst, deren Aussenumfang in rechtwinklig zur Achse verlaufenden Ebenen liegende Steuerkurven (122) bildet, und die Welle (100) zur Überführung der Platten (56) aus der Arbeitsposition (60) in die Anfangsposition (58) aus einer Arbeitsdrehlage, in welcher sich die Platten (56) in Arbeitsposition befinden, in eine Anfangsdrehlage, in welcher sich die Platten (56) in Anfangsposition befinden, gedreht wird, wobei jeweils eine Steuerkurve (122) mit dem Antriebsbereich (102) einer zugeordneten Platte oder zugeordneter Platten zusammenwirkt, um die Platte bzw. Platten (56) entgegen die Anziehungskraft (F') des Magneten (20) in Richtung Anfangsposition (58) infolge Zunahme des Radius der Steuerkurve (122) zu stossen.

12. Chip-Auswerfer (2) nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass in der Arbeitsdrehlage jeweils ein Spalt zwischen dem Antriebsbereich (102) der Platte und der Steuerkurve (122) vorhanden ist.

13. Chip-Auswerfer (2) nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Welle (100) zwischen der Anfangsdrehlage und der Arbeitsdrehlage hin und her angetrieben ist.

14. Chip-Auswerfer (2) nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass eine Stirnseite (128) der Welle eine zur Achse zentrische, kreisbogenförmige und nutenförmige Ausnehmung (130) zur Aufnahme eines relativ zur Kammer ortsfest angeordneten Stifts (131) aufweist, ein Ende der Ausnehmung (130) einen der Arbeitsdrehlage zugeordneten ersten Drehanschlag (134) der Welle bildet und das andere Ende einen der Anfangsdrehlage zugeordneten zweiten Drehanschlag (138) der Welle bildet.

15. Chip-Auswerfer (2) nach einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerkurven (122) derart ausgebildet sind, dass die Platten (56) in einer vorbestimmten Reihenfolge zwischen der Anfangsposition (58) und der Arbeitsposition (60) und umgekehrt bewegt werden.

16. Chip-Auswerfer (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Platten (56) mehrteilig ausgebildet sind, vorzugsweise zweiteilig mit einer den Ankerabschnitt (74) und die Antriebsausnehmung (70) aufweisenden (68) Basisplatte und einer (72) Aufsetzplatte, welche auf die Basisplatte (68) aufsetzbar ist und den Stossrand (77) bildet und das Anschlagelement (78) mit der Aufsetzplatte (72) zusammenwirkt.