TW201343496A - 物品保管設備及物品保管方法（二） - Google Patents

物品保管設備及物品保管方法（二） Download PDF

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Abstract

物品保管設備係具備有：控制惰性氣體供給部的流量調節裝置的作動的控制裝置；及選擇複數惰性氣體供給部之中之一部分或全部作為特定供給部的特定供給部選擇部。控制裝置構成為：在收納有搬送容器的收納部的惰性氣體供給部中，按照以預先設定的供給形態，對搬送容器供給惰性氣體的模式亦即容器保管模式，使流量調節裝置作動，而且構成為：在藉由特定供給部選擇部所選擇的特定供給部中，按照由惰性氣體供給部的吐出口以特定供給部用供給形態供給惰性氣體的模式亦即特定供給部用供給模式，來控制流量調節裝置的作動。

Description

物品保管設備及物品保管方法(二) 發明領域
本發明係關於具備有：收納收容基板的搬送容器的複數收納部；對前述複數收納部搬送前述搬送容器的搬送裝置；對被收納在前述收納部的前述搬送容器的內部供給惰性氣體的惰性氣體供給部；及控制前述搬送裝置的作動及前述惰性氣體供給部的流量調節裝置的作動的控制裝置的物品保管設備、及利用如上所示之物品保管設備的物品保管方法。
發明背景
以如上所述之物品保管設備之一例而言，已知一種具備有如以下所示之附沖洗功能的物品保管架的物品保管設備。該物品保管架係具備有收納收容半導體晶圓之FOUP等搬送容器的複數收納部，在收納部的各個具備有例如將氮氣或氬氣等惰性氣體供給至搬送容器之內部之作為惰性氣體供給部的供給噴嘴。
在日本特開2010-16199號公報(專利文獻1)係揭 示如上所示之物品保管設備之一例，在該物品保管設備中，依搬送容器被收納在收納部的情形與未被收納的情形，來變更由供給噴嘴所吐出的惰性氣體的流量。
具體而言，在上述專利文獻1中，係構成為使搬送容器未被收納在收納部時之惰性氣體的流量小於搬送容器被收納在收納部時的流量。亦即，搬送容器被收納在收納部時的惰性氣體的流量被設定為用以在搬送容器內供給充分的惰性氣體所需的流量(稱為第1流量)。另一方面，搬送容器未被收納在收納部時的吐出流量係被設定為小於上述第1流量的流量(稱為第2流量)，俾以防止雜質粒子蓄積在上述供給噴嘴。藉此，即使在搬送容器未被收納在收納部的情形下，與由供給噴嘴吐出第1流量的惰性氣體的情形相比，可抑制沖洗所需惰性氣體的消耗量而減低成本。
但是，在上述專利文獻1中，係對物品保管架的全部收納部，在切換供給第1流量的惰性氣體的狀態與供給第2流量的惰性氣體的狀態的1個供給形態下供給惰性氣體。接著，未收納有搬送容器時的惰性氣體的流量係被設定為較為少量的第2流量。因此，例如，若考慮在交換作為惰性氣體供給部的供給噴嘴等之後，為了去除附著在該惰性氣體供給部的雜質粒子，而進行惰性氣體之通流時，惰性氣體的流量由於設定為第2流量，因此惰性氣體的流量較少而無法進行惰性氣體供給部的充分清掃，或即使可充分清掃，亦會有至充分去除雜質粒子為止需要較長時間之虞。
發明概要
鑑於上述背景，期望實現一種輕易對各收納部供給所需流量的惰性氣體的物品保管設備。
本發明之物品保管設備係具備有以下：複數收納部，其係收納收容基板的搬送容器；搬送裝置，其係對前述複數收納部搬送前述搬送容器；惰性氣體供給部，其係針對前述複數收納部的各個而設，具備有：吐出惰性氣體的吐出口、及可調節由前述吐出口所吐出的前述惰性氣體的流量的流量調節裝置，對被收納在前述收納部的前述搬送容器的內部供給前述惰性氣體；控制裝置，其係控制前述搬送裝置與前述流量調節裝置的作動；及特定供給部選擇部，其係選擇複數前述惰性氣體供給部之中之一部分或全部作為特定供給部，在此，前述控制裝置構成為：在收納有前述搬送容器的前述收納部的前述惰性氣體供給部中，按照在預先設定的供給形態下對前述搬送容器供給前述惰性氣體的模式亦即容器保管模式，使前述流量調節裝置作動，而且，構成為：在藉由前述特定供給部選擇部所被選擇的前述特定供給部中，按照由前述吐出口在特定供給部用供給形態下供給前述惰性氣體的模式亦即特定供給部用供給模式，控制 前述流量調節裝置的作動。
藉由上述構成，在複數惰性氣體供給部之中，在藉由特定供給部選擇部所被選擇的特定供給部中，可以對有別於容器保管模式中的供給形態的其他該特定供給部而言為適當的供給形態供給惰性氣體。
若進一步說明，在供給惰性氣體時只能按照容器保管模式來使惰性氣體供給部作動時，係可在必須要有比容器保管模式中的流量為多或少的流量的惰性氣體的惰性氣體供給部中，供給所需流量的惰性氣體。
相對於此，藉由上述構成，由於可在特定供給部中在特定供給部用供給形態下供給惰性氣體，因此藉由在特定供給部中設定所需的惰性氣體的供給形態，作為特定供給部用供給形態，如上所述可抑制在特定供給部中無法供給所需流量的惰性氣體的狀況發生。
亦即，藉由上述構成，可提供可變更複數惰性氣體供給部之中所被選擇的惰性氣體供給部中的惰性氣體的供給形態，結果可輕易地將所需流量的惰性氣體供給至各收納部的物品保管設備。
本發明之物品保管設備之技術特徵亦可適用於物品保管方法，本發明係如上所示之方法亦可作為權利的對象。在該物品保管方法中，亦可獲得有關上述物品保管設備的作用效果。
亦即，本發明之物品保管方法係利用物品保管設備的物品保管方法，該物品保管設備係具備有： 複數收納部，其係收納收容基板的搬送容器；搬送裝置，其係對前述複數收納部搬送前述搬送容器；惰性氣體供給部，其係針對前述複數收納部的各個而設，具備有：吐出惰性氣體的吐出口、及可調節由前述吐出口所吐出的前述惰性氣體的流量的流量調節裝置，對被收納於前述收納部的前述搬送容器的內部供給前述惰性氣體；控制裝置，其係控制前述搬送裝置與前述流量調節裝置的作動；及特定供給部選擇部，其係選擇複數前述惰性氣體供給部之中的一部分或全部來作為特定供給部，包含藉由前述控制裝置所被執行的以下步驟：第1供給步驟，其係在收納有前述搬送容器的前述收納部的前述惰性氣體供給部中，按照在預先設定的供給形態下對前述搬送容器供給前述惰性氣體的模式亦即容器保管模式，使前述流量調節裝置作動；及第2供給步驟，其係在藉由前述特定供給部選擇部所被選擇的前述特定供給部中，按照由前述吐出口在特定供給部用供給形態下供給前述惰性氣體的模式亦即特定供給部用供給模式，控制前述流量調節裝置的作動。
以下說明本發明之較適實施形態之例。
本發明之物品保管設備之實施形態中，較佳為使前述惰性氣體通流來清掃前述惰性氣體供給部的供給形態 為清掃用供給形態，前述特定供給部選擇部係以人為操作發出在前述清掃用供給形態下供給惰性氣體的清掃指令的清掃指令裝置。
藉由上述構成，藉由清掃指令裝置而被發出清掃指令時，在作為清掃對象的惰性氣體供給部的特定供給部中，使得可適當清掃除去對象物的流量的惰性氣體通流，而可適當地清掃惰性氣體供給部。
本發明之物品保管設備之實施形態中，較佳為前述控制裝置構成為可切換：使前述流量調節裝置作動，俾將前述惰性氣體供給部的前述惰性氣體的供給流量調整為第1目標流量值的供給狀態為第1供給狀態；及使前述流量調節裝置作動，俾將前述惰性氣體供給部的前述惰性氣體的供給流量調整為小於前述第1目標流量值的第2目標流量值的供給狀態為第2供給狀態，且構成為：當前述搬送容器被搬送至前述收納部時，在該收納部的前述惰性氣體供給部中，以前述搬送容器被收納在前述收納部的時點為始點而設為前述第1供給狀態，之後，按照切換成前述第2供給狀態的模式亦即節約供給模式，來控制前述流量調節裝置的作動。
藉由上述構成，藉由將搬送容器被收納在前述收納部的時點為始點而設為第1供給狀態，在將搬送容器收納在收納部的初期階段，將存在於搬送容器內的惰性氣體以外的氣體迅速地置換成惰性氣體，之後藉由切換成第2供給狀態，可減低昂貴的惰性氣體(例如氮氣等)的使用量。
如上所示，藉由上述構成，可一面抑制惰性氣體的使用量，一面適當維持基板污損風險低的狀態。
本發明之物品保管設備之實施形態中，較佳為前述控制裝置構成為可記憶複數種前述節約供給模式，且設有模式選擇部，其係在前述搬送容器的收納狀態中，選擇要使用前述複數種節約供給模式之中的何者，前述控制裝置構成為按照前述複數種節約供給模式之中以前述模式選擇部所選擇的節約供給模式，來控制前述流量調節裝置的作動。
藉由上述構成，與控制裝置僅記憶單一節約供給模式的情形相比，可使用對應搬送容器的類別或所收容的基板的狀態的適當模式，來供給惰性氣體。
其中，以選擇要使用複數種節約供給模式之中之任一者的構成而言，考慮有藉由控制裝置來自動選擇的構成、及藉由人為操作來進行選擇的構成。
以藉由控制裝置來自動選擇的情形而言，考慮例如依搬送容器的類別或所收容的基板的狀態，選擇性地變更上述複數節約供給模式之中的適當的節約供給模式。此外，在藉由人為操作來進行選擇時，在複數節約供給模式之中，設定為適當的節約供給模式，俾以將搬送容器內的環境形成為污損風險低的內部環境，考慮試驗性變更節約供給模式。
如上所示，藉由上述構成，由於可選擇複數種節約供給模式來作切換，因此可一面盡量抑制惰性氣體的使用 量，一面按照對被收容在搬送容器的內部的基板而言為有利的節約供給模式來供給惰性氣體，可將收容在搬送容器內的基板，在盡量不劣化的狀態下進行保管。
本發明之物品保管設備之實施形態中，較佳為前述模式選擇部構成為可以人為選擇要使用前述複數種節約供給模式之中的何者。
藉由上述構成，作業人員可以所需時序來變更節約供給模式，調查節約供給模式與基板污損的關係等試驗變得較容易進行。
本發明之物品保管設備之實施形態中，較佳為設有設定輸入裝置，其係由前述惰性氣體供給部將前述惰性氣體供給至前述搬送容器的供給時間、及由前述惰性氣體供給部將前述惰性氣體供給至前述搬送容器的供給流量為可變更設定，來作為特定前述節約供給模式的模式特定參數，且以人為設定輸入前述模式特定參數。
藉由上述構成，與僅由複數種節約供給模式之中選擇目的節約供給模式的情形相比，可將模式特定參數視需要作適當變更而適當地設定節約供給模式。
本發明之物品保管設備之實施形態中，較佳為前述惰性氣體的供給源係設為對與前述複數收納部之中之一群收納部相對應的一群前述惰性氣體供給部供給前述惰性氣體，設定有由前述供給源可對前述一群惰性氣體供給部供給的最大容許流量，前述控制裝置係構成為若前述一群惰性氣體供給部的前述惰性氣體的目標流量的合計為前述 最大容許流量以上時，執行使前述一群惰性氣體供給部的一部分或全部的前述惰性氣體的目標流量減低的流量抑制處理。
例如，若針對屬於一群惰性氣體供給部的惰性氣體供給部的各個所設定的目標流量的合計成為由供給源可對一群惰性氣體供給部供給的最大容許流量以上時，會有實際上一群惰性氣體供給部的各個可供給的惰性氣體的流量成為低於所設定的目標流量的狀態之虞。
此外，例如若存在由供給源至惰性氣體供給部為止的配管阻力較大的惰性氣體供給部、及較小的惰性氣體供給部時，會有由供給源所被供給的惰性氣體係優先通流至配管阻力小的惰性氣體供給部，配管阻力大的惰性氣體供給部的流量相對於目標流量為不足之虞。
藉由上述構成，若一群惰性氣體供給部的惰性氣體的目標流量的合計成為最大容許流量以上時，流量抑制處理被執行，對一群惰性氣體供給部的一部分或全部的流量調節裝置，發出小於從前的目標流量的新的目標流量的指令。藉此，使由惰性氣體供給部的一部分或全部吐出的惰性氣體的吐出流量減低，防止來自各惰性氣體供給部的惰性氣體的吐出流量低於控制裝置對吐出流量調節裝置所發出指令的目標流量的事態。
其中，為了供給藉由控制裝置所被發出指令的目標流量的惰性氣體而被控制的流量調節裝置會有具備陷於實際供給的流量低於目標流量的狀態持續設定時間的狀態 (稱為流量不足狀態)時輸出錯誤的功能的情形。在如上所示之情形下，亦藉由上述構成，至陷於流量不足狀態為止，以控制裝置使一群惰性氣體供給部的一部分或全部的惰性氣體的目標流量減低的方式對流量調節裝置發出指令，藉此可抑制錯誤發生而將設備正常運轉。
亦即，在如上所述之流量調節裝置中，即使在裝置本身未發生障礙，亦會有藉由因被要求超出供給源的供給能力而起的流量不足狀態而發生錯誤之虞。藉由上述構成，按照針對一群惰性氣體供給部的節約供給模式所被設定的惰性氣體的目標流量的合計以成為由供給源可對一群惰性氣體供給部供給的最大容許流量以下的方式進行控制，藉此防止輸出流量調節裝置所不需要的錯誤，而可平順地進行裝置的運轉。
其中，若按照針對一群惰性氣體供給部的節約供給模式所設定的惰性氣體的目標流量的合計成為由供給源可對一群惰性氣體供給部供給的最大容許流量以上而被輸出錯誤時，亦可構成為以將該錯誤重置並且控制裝置使一群惰性氣體供給部的一部分或全部的目標流量減低的方式來對流量調節裝置發出指令。
若選擇複數種節約供給模式且進行切換、或變更設定節約供給模式的模式特定參數時，針對屬於一群惰性氣體供給部的惰性氣體供給部的各個所被設定的目標流量的合計有以比切換前或變更前為更大的方式予以變更設定的可能性。在如上所示之時，在切換前或變更前，即使目 標流量的合計在最大容許流量以下，在切換後或變更後，亦會有目標流量的合計成為最大容許流量以上之虞。鑑於該情形，如上述構成所示，使一群惰性氣體供給部的一部分或全部的目標流量減低的構成尤其有效。
本發明之物品保管設備之實施形態中，較佳為前述控制裝置構成為在前述流量抑制處理中，使針對前述一群惰性氣體供給部的全部的前述目標流量以一定的減低率減低。
藉由上述構成，無須考慮惰性氣體供給部中的惰性氣體的供給狀態，可以簡單的構成，防止來自各惰性氣體供給部的惰性氣體的吐出流量低於控制裝置對於吐出流量調節裝置發出指令的目標流量的事態。
本發明之物品保管方法之實施形態中，較佳為使前述惰性氣體通流來清掃前述惰性氣體供給部的供給形態為清掃用供給形態，前述特定供給部選擇部係以人為操作發出在前述清掃用供給形態下供給惰性氣體的清掃指令的清掃指令裝置。
本發明之物品保管方法之實施形態中，較佳為使前述流量調節裝置作動，俾將前述惰性氣體供給部的前述惰性氣體的供給流量調整為第1目標流量值的供給狀態為第1供給狀態，使前述流量調節裝置作動，俾將前述惰性氣體供給部的前述惰性氣體的供給流量調整為小於前述第1目標流量值的第2目標流量值的供給狀態為第2供給狀態，在前述第1供給步驟中，係當前述搬送容器被搬送至前述收 納部時，在該收納部的前述惰性氣體供給部中，以前述搬送容器被收納在前述收納部的時點為始點而設為前述第1供給狀態，之後，按照切換成前述第2供給狀態的模式亦即節約供給模式，來控制前述流量調節裝置的作動。
本發明之物品保管方法之實施形態中，較佳為前述控制裝置構成為可記憶複數種前述節約供給模式，在前述物品保管設備設有在前述搬送容器的收納狀態中，選擇要使用前述複數種節約供給模式之中的何者的模式選擇部，在前述第1供給步驟中，係按照前述複數種節約供給模式之中以前述模式選擇部所被選擇的節約供給模式，來控制前述流量調節裝置的作動。
本發明之物品保管方法之實施形態中，較佳為前述模式選擇部構成為可以人為選擇要使用前述複數種節約供給模式之中的何者。
本發明之物品保管方法之實施形態中，較佳為在前述物品保管設備設有設定輸入裝置，其係由前述惰性氣體供給部將前述惰性氣體供給至前述搬送容器的供給時間、及由前述惰性氣體供給部將前述惰性氣體供給至前述搬送容器的供給流量為可變更設定，來作為特定前述節約供給模式的模式特定參數，且以人為設定輸入前述模式特定參數。
本發明之物品保管方法之實施形態中，較佳為在前述物品保管設備係以對與前述複數收納部之中的一群收納部相對應的一群前述惰性氣體供給部供給前述惰性氣體 的方式，設有前述惰性氣體的供給源，設定有由前述供給源可對前述一群惰性氣體供給部供給的最大容許流量，在前述第1供給步驟中，若前述一群惰性氣體供給部的前述惰性氣體的目標流量的合計為前述最大容許流量以上時，執行使前述一群惰性氣體供給部的一部分或全部的前述惰性氣體的目標流量減低的流量抑制處理。
本發明之物品保管方法之實施形態中，較佳為前述流量抑制處理係使針對前述一群惰性氣體供給部的全部的前述目標流量以一定的減低率減低的處理。
10‧‧‧保管架
10a‧‧‧載置支持部
10b‧‧‧定位銷
10i‧‧‧吐出口
10o‧‧‧排出用通氣體
10S‧‧‧收納部
10z‧‧‧庫存感測器
20‧‧‧搬送裝置
21‧‧‧行走台車
22‧‧‧桅桿
23‧‧‧上部框
24‧‧‧升降台
25‧‧‧移載裝置
25A‧‧‧載置支持體
40‧‧‧流量調節裝置
40i‧‧‧流入側埠
40o‧‧‧吐出側埠
50‧‧‧搬送容器
50i‧‧‧供氣口
50o‧‧‧排氣口
51‧‧‧殼體
52‧‧‧頂部凸緣
53‧‧‧基板支持體
A‧‧‧IO擴張模組
C1‧‧‧網路
C2‧‧‧控制匯流排
C3‧‧‧訊號線
CH1‧‧‧第1通道
CH2‧‧‧第2通道
CV‧‧‧入出庫運送機
D‧‧‧起重機式搬送車
E‧‧‧行走軌條
F‧‧‧惰性氣體供給部
G‧‧‧導軌
H‧‧‧控制裝置
H1‧‧‧沖洗控制器
H2‧‧‧儲藏櫃控制器
H3‧‧‧起重機控制器
H11‧‧‧同時供給算出部
HS‧‧‧模式選擇部、清掃指令裝置
K‧‧‧壁體
Lb1、Lb2‧‧‧供給源
Lbp‧‧‧旁通配管
Li‧‧‧供給配管
Lm‧‧‧原氣體供給配管
Lmax‧‧‧最大容許流量
LM0‧‧‧收納前目標流量
LM1‧‧‧第1目標流量
LM2‧‧‧第2目標流量
Lo‧‧‧排出管
Ls‧‧‧供給配管
Lα‧‧‧第1目標流量值
Lβ‧‧‧第2目標流量值
N‧‧‧同時供給最大數
P‧‧‧可程式邏輯控制器
P3~P6‧‧‧節約供給模式
V1‧‧‧原氣體開閉閥
V21‧‧‧第1電磁開閉閥
V22‧‧‧第2電磁開閉閥
Vb‧‧‧旁通閥
Vi‧‧‧開閉閥
W‧‧‧基板
#11~#18‧‧‧步驟
#21~#29‧‧‧步驟
圖1係物品保管設備的縱剖側面圖。
圖2係顯示同設備的一部分的縱剖正面圖。
圖3係收納部的斜視圖。
圖4係顯示收納部與搬送容器的關係的概略構成圖。
圖5係表示惰性氣體對複數收納部的供給形態圖。
圖6係控制裝置的連接構成圖。
圖7係顯示惰性氣體之供給量的控制形態的說明圖。
圖8係表示沖洗模式設定處理的流程圖。
圖9係表示設備的運轉處理的流程圖。
用以實施發明之形態
根據圖示，說明將本發明應用在附沖洗功能之物品保管設備時之實施形態。
(全體構成)
如圖1及圖2所示，物品保管設備係具備有：保管在密閉狀態下收容基板的搬送容器50(以下簡稱為容器50)的保管架10；作為搬送裝置的堆高式起重機20；及作為容器50之入出庫部的入出庫運送機CV。
保管架10及堆高式起重機20被配設在以壁體K覆蓋外周部的設置空間內，在貫穿壁體K的狀態下配設有入出庫運送機CV。
保管架10係構成為在朝上下方向及左右方向排列的狀態下配備複數個作為支持容器50的支持部的收納部10S，在複數收納部10S的各個收納容器50，其詳細內容將於後述。
接著，本實施形態中，如圖1所示，構成為：裝備有沿著舖設在設置有物品保管設備的清淨室的頂棚部的導軌G行走的起重機式搬送車D，藉由該起重機式搬送車D，對入出庫運送機CV搬入及搬出容器50。
(容器50的構成)
容器50係依據SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute，半導體設備材料產業協會)規格的合成樹脂製的氣密容器，被使用在用以收納作為基板的半導體晶圓W(參照圖4)，被稱為FOUP(Front Opening Unified Pod，前開式通用容器)。接著，雖省略詳細說明，在容器50的前面係形成有以安裝卸下自如的蓋體予以開閉的基板出入用開口，在容器50的上面係形成有藉由起重機式搬送車D予以把持的頂部凸緣52。在容器50的底面係形成有供 定位銷10b(參照圖3)扣合的3個扣合溝(未圖示)。
亦即，如圖4所示，容器50係具備有：在內部具備有可以上下方向載置複數半導體晶圓W的基板支持體53的殼體51；及未圖示的蓋體。容器50係在殼體51裝設有蓋體的狀態下，構成為內部空間被密閉成氣密狀態，接著，在被收納在收納部10S的狀態下，構成為藉由定位銷10b予以定位。
此外，如圖4所示，在容器50的底部，如後所述，係為了注入作為惰性氣體的氮氣，而設有供氣口50i、及排氣口50o。雖省略圖示，在供氣口50i係設有注入側開閉閥，在排氣口50o係設有排出側開閉閥。
注入側開閉閥係構成為：藉由彈簧等彈壓構件而朝關閉方向予以彈壓，若被供給至供氣口50i的氮氣的吐出壓力成為比大氣壓為高設定值的設定開閥壓力以上時，藉由該壓力進行打開操作。
此外，排出側開閉閥係構成為：藉由彈簧等彈壓構件而朝關閉方向予以彈壓，若容器50內部的壓力成為比大氣壓為高設定值的設定開閥壓力以上時，藉由該壓力進行打開操作。
(堆高式起重機20的構成)
堆高式起重機20係具備有：可沿著被設在保管架10之前面側之地板部的行走軌條E行走移動的行走台車21；被立設在該行走台車21的桅桿22；及可在被桅桿22導引的狀態下作升降移動的升降台24。
其中，雖未圖示，構成為：被設在桅桿22之上端的上部框23係扣合在被設在以壁體K覆蓋外周部的設置空間的頂棚側的上部導軌來進行移動。
在升降台24係裝備有對收納部10S移載容器50的移載裝置25。
移載裝置25係以可在朝收納部10S的內部突出的突出位置、與引退至升降台24側的引退位置進行出退的方式配備載置支持容器50的板狀載置支持體25A。具備有移載裝置25的堆高式起重機20係構成為：藉由載置支持體25A的出退作動及升降台24的升降作動，進行將載置於載置支持體25A的容器50卸下至收納部10S的下降處理、及取出收納在收納部10S的容器50的取出處理。
亦即，容器50係藉由搬送車D而被載置於入出庫運送機CV上，藉由該入出庫運送機CV，由壁體K的外部被搬送至內部後，藉由堆高式起重機20而被搬送至複數收納部10S的任一者。
亦即，作為搬送裝置的堆高式起重機20構成為對複數收納部10S搬送容器50。
在堆高式起重機20，雖未圖示，係裝備有：檢測行走路徑上的行走位置的行走位置檢測裝置、及檢測升降台24的升降位置的升降位置檢測裝置。作為控制堆高式起重機20的作動的控制裝置H的起重機控制器H3係構成為：根據行走位置檢測裝置及升降位置檢測裝置的檢測資訊，來控制堆高式起重機20的作動。
亦即，起重機控制器H3係構成為：以進行將被搬入至入出庫運送機CV的容器50收納於收納部10S的入庫作業、及將被收納於收納部10S的容器50取出至入出庫運送機CV的出庫作業的方式，控制行走台車21的行走作動及升降台24的升降作動、以及移載裝置25中的載置支持體25A的出退作動。
(收納部10S的構成)
如圖3及圖4所示，複數收納部10S的各個係具備有載置支持容器50的板狀載置支持部10a。
該載置支持部10a係被形成為俯視形狀呈U字狀，俾以形成移載裝置25的載置支持體25A以上下通過的空間，在其上面係在上述定位銷10b朝上方突出的狀態下予以裝備。
此外，在載置支持部10a係設有檢測是否載置有容器50(亦即，容器50是否被收納在收納部10S)的2個庫存感測器10z，該等檢測資訊係構成為被輸入至管理後述作為流量調節裝置的質流控制器40的運轉之作為控制裝置H的沖洗控制器H1(參照圖6)。
在載置支持部10a係設有：將作為惰性氣體的氮氣供給至容器50的內部之作為吐出口的吐出噴嘴10i；及將由容器50的內部所被排出的氣體進行通流的排出用通氣體10o。接著，在吐出噴嘴10i係連接有使來自質流控制器40的氮氣流動的供給配管Li，在排出用通氣體10o係連接有端部被形成開口的排出管Lo。
此外，如圖1及圖2所示，在俯視下，在各收納部10S的裏側，而且，在架左右方向，在成為容器50之端部近傍的位置，裝備有控制氮氣之供給的質流控制器40。在俯視下的各收納部10S的裏側係與取出放入容器50的開口(取出放入口)相對向的端部側。
收納部10S係以被分為以上下方向排列的複數層的方式被配置在保管架10，質流控制器40係被設在與被設在其他層的任一收納部10S的質流控制器40在俯視下相重複的位置。配設有質流控制器40的部位係在俯視下不存在載置支持部10a及支持該部之柱材等的部位，而且在容器50收納時，亦不存在容器50的部位。因此，在質流控制器40的近傍，係形成有由保管架10的下端遍及上端相連通且可以上下方向通流空氣的空間。
藉此，質流控制器40所發生的熱所產生的氣流係由保管架10的下端至上端不會被障礙物阻礙地進行流動，抑制由質流控制器40所被放散的熱滯留的情形，而可抑制因質流控制器40的熱所造成之錯誤作動等障礙。
其中，上述氣流可通流的空間係若例如保管架10因惰性氣體或潔淨空氣的下向流而被保持為清淨時，可在阻力小的狀態下使該下向流通流。此時亦使質流控制器40藉由下向流而被適當冷卻。
若容器50被載置支持於載置支持部10a，構成為：吐出噴嘴10i被連接成與容器50的供氣口50i相嵌合狀態，而且排出用通氣體10o被連接成與容器50的排氣口50o 相嵌合狀態。
接著，在容器50被載置支持於載置支持部10a的狀態下，由吐出噴嘴10i使得比大氣壓為高設定值以上的壓力的氮氣吐出，藉此在由容器50的排氣口50o使容器內的氣體排出至外部的狀態下，可由容器50的供氣口50i將氮氣注入至容器50的內部。
在本實施形態中，主要由質流控制器40、供給配管Li、及吐出噴嘴10i來構成惰性氣體供給部F。
亦即，惰性氣體供給部F係構成為：具備有：吐出惰性氣體的吐出噴嘴10i；及可調節由該吐出噴嘴10i吐出的惰性氣體的流量的質流控制器40，對被收納在收納部10S的容器50的內部供給惰性氣體。接著，惰性氣體供給部F係針對複數收納部10S的各個而設。
其中，如圖3所示，在供給配管Li係裝備有手動操作式的開閉閥Vi，構成為在質流控制器40發生故障的緊急時等，可切換成停止供給氮氣的狀態。
(氮氣的供給構成)
如圖5所示，以用以對保管架10中的惰性氣體供給部F的各個供給氮氣的氮氣供給源而言，配備有原氣體供給配管Lm。在由該原氣體供給配管Lm進行2分歧的狀態下，具備有第1分歧供給配管Lb1及第2分歧供給配管Lb2。在原氣體供給配管Lm設有原氣體開閉閥V1，可以保管架10單位來切換氮氣的供給及供給停止。
第1分歧供給配管Lb1及第2分歧供給配管Lb2的 各個係另外被分歧成12支供給配管Ls，該等供給配管Ls的各個係與質流控制器40的流入側埠40i相連接。以下將由第1分歧供給配管Lb1被供給氮氣的一群惰性氣體供給部F稱為第1通道(CH1)，將由第2分歧供給配管Lb2被供給氮氣的一群惰性氣體供給部F稱為第2通道(CH2)。
在第1分歧供給配管Lb1設有第1電磁開閉閥V21，在第2分歧供給配管Lb2設有第2電磁開閉閥V22。接著，該等第1電磁開閉閥V21及第2電磁開閉閥V22係構成為：透過後述的IO擴張模組A，與後述的沖洗控制器H1作電性連接，沖洗控制器H1控制第1電磁開閉閥V21及第2電磁開閉閥V22的開閉。
此外，第1分歧供給配管Lb1及第2分歧供給配管Lb2的各個係在第1電磁開閉閥V21及第2電磁開閉閥V22的下游側以旁通配管Lbp相互連接，在旁通配管Lbp係設有可以手動進行開閉操作的旁通閥Vb。因此，若將旁通閥Vb開放，第1通道CH1與第2通道CH2係可以相互供給氮氣的方式相連接。
在本實施形態中，通道CH1、CH2的各個相當於與複數收納部之中之一群收納部相對應的一群惰性氣體供給部F，第1分歧供給配管Lb1及第2分歧供給配管Lb2的各個相當於對一群惰性氣體供給部F供給氮氣的供給源。
(質流控制器40的構成)
如圖3及圖4所示，質流控制器40係具備有：流入側埠40i、及吐出側埠40o。在吐出側埠40o係與上述供給配管Li 相連接，在流入側埠40i係連接有導引來自作為氮氣供給源的第1分歧供給配管Lb1或第2分歧供給配管Lb2的氮氣的供給配管Ls。
其中，在氮氣供給源係裝備有：將氮氣的供給壓力調整為比大氣壓為高設定值以上的設定壓力的調節器、或間斷供給氮氣的手動操作式開閉閥等。
在質流控制器40係裝備有：將在由流入側埠40i朝向吐出側埠40o的內部流路流動的氮氣的流量進行變更調節的流量調節閥、計測在內部流路流動的氮氣的流量的流量感測器、及控制流量調節閥的作動的內部控制部。
接著，內部控制部構成為根據流量感測器的檢測資訊，控制流量調節閥，俾以將對容器50的供給流量調整為由上述沖洗控制器H1所被發出指令的目標流量。亦即，沖洗控制器H1構成為控制質流控制器40的作動。
(控制裝置H的構成)
如圖6所示，控制裝置H係具備有：控制質流控制器40的沖洗控制器H1、管理保管架10中的容器50的庫存狀態等的儲藏櫃控制器H2、及控制堆高式起重機20的作動的起重機控制器H3。沖洗控制器H1、儲藏櫃控制器H2、及起重機控制器H3係由例如以蓄積程式方式處理資訊的電腦所構成，以LAN等網路C1相互連接。此外，可程式邏輯控制器P及IO擴張模組A以可與上述控制裝置H進行通訊的方式與網路C1相連接。
在可程式邏輯控制器P係經由控制匯流排C2而 連接有12台質流控制器40。此外，在IO擴張模組A係分別以訊號線C3連接有與具備有上述12台質流控制器40的收納部10S相對應的庫存感測器10z。
沖洗控制器H1係經由可程式邏輯控制器P，對與複數收納部10S的各個相對應設置的質流控制器40發出目標流量的指令。
其中，在沖洗控制器H1係裝備有用以輸入各種資訊的操作桌HS。
以沖洗控制器H1所發出指令的目標流量而言，係有：在容器50被收納在收納部10S的狀態下，為了將氮氣注入至容器50的內部，而對質流控制器40所被發出指令的保管用的目標流量；在容器50被收納在收納部10S的瞬前，用以將吐出噴嘴10i清淨化所被發出指令的噴嘴淨化用的目標流量；及在保管架10設置時等，用以將吐出噴嘴10i或供給配管Li等清淨化所被發出指令的清洗用的目標流量。
亦即，如圖7所示，沖洗控制器H1記憶有噴嘴沖洗模式P1、清洗模式P2、及4個保管用沖洗模式P3~P6，來作為設定目標流量與供給時間的複數沖洗模式。
接著，在保管架10設置時等，若以操作桌HS而被發出清洗開始指令時，沖洗控制器H1係按照清洗模式P2來控制質流控制器40的作動。此時，氮氣的供給形態係成為使氮氣通流來清掃惰性氣體供給部F的供給形態亦即清掃用供給形態，目標流量被設定為清洗用的清掃用流量，並且供給時間被設定為清洗用的清掃用時間。
其中，操作桌HS係構成為可選擇必須清掃的惰性氣體供給部F，構成為對所被選擇的惰性氣體供給部F發出清洗開始指令。
亦即，操作桌HS作為以人為操作來發出使氮氣通流來清掃惰性氣體供給部F的清掃指令的清掃指令裝置來發揮功能。亦即，操作桌HS係構成為：根據人為操作，選擇複數惰性氣體供給部F之中之一部分或全部作為特定供給部，對所選擇的特定供給部發出清洗開始指令。亦即，在本實施形態中，操作桌HS相當於特定供給部選擇部。
亦即，在本實施形態中係構成為：沖洗控制器H1以操作桌HS發出清掃指令時，在容器50未被收納在收納部10S的狀態下，在惰性氣體供給部F中，僅以清掃用時間使清掃用流量的惰性氣體通流。
此外，控制裝置H係構成為：若容器50被搬入至入出庫運送機CV時，按照噴嘴沖洗模式P1來對噴嘴淨化用的目標流量發出指令。
在本實施形態中，控制裝置H係構成為由控制起重機式搬送車D的運轉的搬送車控制器(未圖示)來對收納指令進行通訊，藉此判別容器50被搬入至入出庫運送機CV的時點。
亦即，搬送車控制器構成為當搬送車D將容器50搬入至入出庫運送機CV時，對控制裝置H發出收納指令。
此外，控制裝置H係構成為：當2個庫存感測器10z檢測出容器50時，係在作為節約供給模式的4個保管用 沖洗模式P3~P6之中，根據以操作桌HS預先選擇出的一個模式，來發出保管用的目標流量(供給流量)的指令。
順帶一提，噴嘴沖洗模式P1及清洗模式P2中的目標流量與供給時間係指預先被設定為基準狀態，但是4個保管用沖洗模式P3~P6的各個的目標流量與供給時間係在設備設置時，由使用者所設定。其中，上述基準狀態係構成為可由作為設定輸入裝置的操作桌HS來進行變更設定。
亦即，使用者係針對4個保管用沖洗模式P3~P6的各個，一面以操作桌HS來變更設定由惰性氣體供給部F對容器50供給惰性氣體的目標流量、與由惰性氣體供給部F對容器50供給惰性氣體的供給時間，作為模式特定參數，一面試驗性地使用4個保管用沖洗模式P3~P6的各個。接著，使用者係設定針對4個保管用沖洗模式P3~P6之中之較適模式的目標流量與供給時間，而且選擇該較適模式。亦即，在本實施形態中，操作桌HS相當於以人為設定輸入模式特定參數的設定輸入裝置。
(沖洗模式)
接著，根據圖7，說明噴嘴沖洗模式P1、清洗模式P2、及、4個保管用沖洗模式P3~P6的各個。
噴嘴沖洗模式P1係被設定為由被發出上述收納指令的時點，作為收納前供給時間所被設定的供給時間t1的期間，以作為噴嘴淨化用的目標流量所被設定的目標流量L1，供給氮氣的模式。
供給時間t1係例如設定為5秒，目標流量L1係例如設定 為30公升/分鐘。
清洗模式P2係被設定為由以操作桌HS被發出清洗開始指令之後，作為設置初期供給時間所被設定的供給時間t2的期間，以作為清洗用的目標流量所被設定的目標流量L2，供給氮氣的模式。
供給時間t2係例如設定為1800秒，目標流量L2係例如設定為20公升/分鐘。
關於4個保管用沖洗模式P3~P6的各個，設定有初期目標流量值L α、及小於該初期目標流量值L α之定常目標流量值L β，來作為保管用的目標流量。
初期目標流量值L α係例如設定為50公升/分鐘，定常目標流量值L β係例如設定為5公升/分鐘。如上所述，初期目標流量值L α或定常目標流量值L β係依使用者來進行變更設定。
接著，4個保管用沖洗模式P3~P6的各個係當對容器50供給氮氣時，首先，在將目標流量值設定為初期目標流量值L α，之後，將目標流量值設定變更為定常目標流量值L β方面為共通，但是被設定為互相不同的模式。
以下將4個保管用沖洗模式P3~P6記載為第1保管用沖洗模式P3、第2保管用沖洗模式P4、第3保管用沖洗模式P5、及第4保管用沖洗模式P6，針對各模式進行說明。
第1保管用沖洗模式P3係設定為將在收納部10S收納容器50已完成的容器收納完成時點設為始點，由容器收納完成時點至設定供給時間t3的期間，以作為初期目標 流量值L α的供給流量L31供給氮氣，之後繼續以一對庫存感測器10z檢測出存在容器50的期間，以作為定常目標流量值L β的供給流量L32供給氮氣的模式。
其中，設定供給時間t3係被設定為例如5分鐘作為初期值。如上所述，設定供給時間t3係依使用者來進行變更設定。
第2保管用沖洗模式P4係設定為在由容器收納完成時點至設定供給時間t41的期間，以作為初期目標流量值L α的供給流量L41供給氮氣，之後係繼續在一對庫存感測器10z檢測出存在容器50的期間，以作為定常目標流量值L β的供給流量L42間歇式供給氮氣的模式。
亦即，第2保管用沖洗模式P4係設定為在將目標流量由作為初期目標流量值L α的供給流量L41變更為作為定常目標流量值L β的供給流量L42之後，若經過設定供給時間t43，反覆進行以設定休止時間的期間停止供給氮氣的模式。
亦即，在將目標流量由作為初期目標流量值L α的供給流量L41變更為作為定常目標流量值L β的供給流量L42之後，在反覆周期t42之中的設定供給時間t43的期間，係以供給流量L42供給氮氣，在設定休止時間t42-t43的期間係停止供給氮氣，此在以一對庫存感測器10z檢測出容器50的期間反覆執行。
其中，設定供給時間t41係被設定為例如5分鐘作為初期值，反覆周期t42係被設定為例如10分鐘作為初期值， 設定供給時間t43係被設定為例如5分鐘作為初期值。如上所述，設定供給時間t41、反覆周期t42、及設定供給時間t43係依使用者來進行變更設定。
第3保管用沖洗模式P5係將在由容器收納完成時點至設定供給時間t51的期間，以作為初期目標流量值L α的供給流量L51供給氮氣，接著，在設定供給時間t52的期間，以作為定常目標流量值L β的供給流量L52供給氮氣作為基本模式，將該基本模式設定為在一對庫存感測器10z檢測出存在容器50的期間，反覆進行的模式。
其中，設定供給時間t51係被設定為例如5分鐘作為初期值，設定供給時間t52係被設定為例如5分鐘作為初期值。如上所述，設定供給時間t51及設定供給時間t52係依使用者來進行變更設定。
第4保管用沖洗模式P6係將在容器收納完成時點至設定供給時間t61的間，以作為初期目標流量值L α的供給流量L61供給氮氣，接著，在設定供給時間t64-t61的期間，以作為定常目標流量值L β的供給流量L62間歇供給氮氣作為基本模式，將該基本模式設定為在一對庫存感測器10z檢測出存在容器50的期間繼續進行的模式。
亦即，在第4保管用沖洗模式P6係設定有反覆以作為初期目標流量值L α的供給流量L61供給氮氣的周期亦即第1反覆周期t64、及反覆以作為定常目標流量值L β的供給流量L62間歇性供給氮氣的周期亦即第2反覆周期t62。
接著，在容器收納完成時點及第1反覆周期t64的 開始時點，在設定供給時間t61的間，以作為初期目標流量值L α的供給流量L61供給氮氣，以作為初期目標流量值L α的供給流量L61的氮氣供給結束之後，係交替反覆執行：在設定供給時間t63的期間，以作為定常目標流量值L β的供給流量L62供給氮氣；及在設定休止時間t62-t63的期間，停止氮氣的供給。
其中，設定供給時間t61係被設定為例如5分鐘作為初期值，第1反覆周期t64係被設定為例如30分鐘作為初期值，第2反覆周期t62係設定為例如5分鐘作為初期值。
在該第4保管用沖洗模式P6中，第1反覆周期t64、及第2反覆周期t62亦依使用者進行變更設定。
在本實施形態中，按照保管用沖洗模式P3~P6之中的任何沖洗模式來執行沖洗的形態，相當於以預先設定的供給形態，對容器50供給惰性氣體的模式亦即容器保管模式。
亦即，沖洗控制器H1係構成為執行第1供給步驟，其係在收納有容器50的收納部10S中的惰性氣體供給部F中，按照容器保管模式，使質流控制器40作動。
在本實施形態中，藉由作為清掃指令裝置的操作桌HS所被選擇的清掃對象的惰性氣體供給部F相當於特定供給部。此外，按照清洗模式P2來執行沖洗的形態相當於由吐出噴嘴10i，以特定供給部用供給形態供給惰性氣體的模式亦即特定供給部用供給模式。
亦即，沖洗控制器H1係構成為執行第2供給步驟，其 係在藉由操作桌HS所被選擇的特定供給部中，按照特定供給部用供給模式來控制質流控制器40的作動。
此外，在本實施形態中，初期目標流量值Lα相當於第1目標流量值，定常目標流量值Lβ相當於第2目標流量值。
亦即，控制裝置H係構成為在切換：使質流控制器40作動，俾以將對被收納在收納部10S的容器50的惰性氣體的供給流量調整為初期目標流量值Lα的第1供給狀態、及使質流控制器40作動，俾以將該供給流量調整為小於初期目標流量值Lα的定常目標流量值Lβ的第2供給狀態的形態下，控制質流控制器40的作動。
接著，控制裝置H構成為：當容器50被搬送至收納部10S時，在該收納部10S的惰性氣體供給部F中，將容器50被收納在收納部10S的時點為始點而設為第1供給狀態，之後，按照切換成第2供給狀態的模式亦即節約供給模式，來控制質流控制器40的作動。
(藉由控制裝置H所為之沖洗模式的選擇)
在本實施形態中，作為控制裝置H的沖洗控制器H係構成為可記憶包含作為節約供給模式的保管用沖洗模式P3~P6的複數沖洗模式(P1~P6)。
操作桌HS係構成為在將容器50收納於收納部10S的收納狀態下，顯示有關保管用沖洗模式P3~P6的資訊，藉由未圖示的輸入裝置(滑鼠、鍵盤等)，可以人為來選擇使用哪一個保管用沖洗模式。亦即，構成為：以人為選擇使用 保管用沖洗模式P3~P6之中之何者的模式選擇部而言，設置操作桌HS，沖洗控制器H1按照複數保管用沖洗模式P3~P6之中以操作桌HS預先所被選擇的節約供給模式，來控制質流控制器40的作動，對容器50內供給惰性氣體。
接著，根據圖8及圖9，來說明控制裝置H所執行的控制。
在設置物品保管設備而使系統起動時，沖洗控制器H1係首先執行沖洗模式設定處理，俾使使用者進行沖洗模式的選擇及設定。
該沖洗模式設定處理係如圖8所示，首先使使用者確認「是否需要對噴嘴沖洗模式P1進行模式特定參數的設定輸入」(步驟#11)。若在步驟#11選擇Yes，沖洗控制器H1係對操作桌HS，發出顯示指令的指令，作為針對噴嘴沖洗模式P1的模式特定參數，俾以顯示促使目標流量(供給流量)與供給時間之輸入的輸入畫面，使用者係在所被顯示的輸入畫面中，設定輸入目標流量(供給流量)與供給時間(步驟#12)。
在步驟#11中選擇No時，或接續步驟#12的設定輸入的完成，沖洗控制器H1係使使用者確認「是否需要對清洗模式P2進行模式特定參數的設定輸入」(步驟#13)。若在步驟#13選擇Yes，沖洗控制器H1係對操作桌HS，發出顯示指令的指令，作為針對清洗模式P2的模式特定參數，俾以顯示促使目標流量(供給流量)與供給時間的輸入的輸入畫面，使用者係在所被顯示的輸入畫面中，設定輸入目標 流量(供給流量)與供給時間(步驟#14)。
在步驟#13中被選擇No時，或接續步驟#14的設定輸入的完成，沖洗控制器H1係針對保管用沖洗模式，執行確認已被選擇出使用P3~P6的何者的選擇確認處理(步驟#15)。若在步驟#15中判別未被選擇出使用P3~P6的何者時，沖洗控制器H1係對操作桌HS，發出顯示指令的指令，俾以顯示促使使用保管用沖洗模式P3~P6的何者的選擇的選擇輸入畫面，使用者係在所被顯示的選擇輸入畫面中，選擇輸入在保管用沖洗模式P3~P6之中所使用的沖洗模式(步驟#16)。
在步驟#15中被判別為Yes時，或接續步驟#16的設定輸入的完成，沖洗控制器H1係使使用者確認「是否必須對所被選擇的保管用沖洗模式進行模式特定參數的設定輸入」(步驟#17)。若在步驟#17被選擇Yes時，沖洗控制器H1係對操作桌HS，發出顯示指令的指令，作為針對所被選擇的沖洗模式(P3~P6的任一者)的模式特定參數，俾以顯示促使目標流量(供給流量)與供給時間的輸入的輸入畫面，使用者係在所被顯示的輸入畫面，設定輸入目標流量(供給流量)與供給時間(步驟#18)。
其中，上述沖洗模式設定處理係除了設置物品保管設備而起動系統時以外，亦藉由使用者的更新設定指令予以執行。
接著，根據圖9的流程圖，說明表示物品保管設備設置後的設備運轉的處理流程。
首先，沖洗控制器H1係判別是否藉由清掃指令裝置(在本例中為操作桌HS)而被發出清掃開始的指令(步驟#21)。在步驟#21中被判別出未發出清掃開始的指令時，接著，判別是否已被發出收納容器50的收納指令(步驟#22)。若在步驟#22中被判別出已被發出收納指令時，沖洗控制器H1係按照作為噴嘴沖洗模式P1所被設定的模式來控制質流控制器40，來將吐出噴嘴10i清淨化(步驟#23)。藉由噴嘴沖洗模式P1所為之沖洗係繼續作為收納前用設定時間的供給時間t1的期間(步驟#24)。接著，若被判別出已經過供給時間t1時，沖洗控制器H1係對質流控制器40發出結束沖洗的沖洗結束指令，且將沖洗完成訊號輸出至儲藏櫃控制器H2(步驟#25)。
接著，沖洗控制器H1係按照在步驟#16(參照圖8)中所被選擇的沖洗模式，控制與收納有容器50的收納部10S相對應的質流控制器40，來對該容器50供給氮氣(步驟#26)。在步驟#26中所被發出指令的沖洗係在收納部10S存在有容器50的期間繼續(步驟#27)。在步驟#27中，若被判別出容器50不存在於收納部10S的狀態時，沖洗控制器H1係對與該收納部10S相對應的質流控制器40，發出結束沖洗的沖洗結束指令，且將沖洗完成訊號輸出至儲藏櫃控制器H2(步驟#28)。
此外，在步驟#21中，若被判別出已發出清掃開始的指令時，按照作為清洗模式P2所被設定的模式來控制質流控制器40，而將吐出噴嘴10i或供給配管Li等清淨化 (步驟#29)。
若被判別出接續步驟#28的處理的完成或步驟#29的處理的完成，或在步驟#22中未被發出收納指令時，即完成上述流程且返回。
(關於流量抑制處理)
在本實施形態中，沖洗控制器H1係構成為記憶可對屬於第1通道CH1的全部惰性氣體供給部F供給的最大容許流量Lmax。
接著，沖洗控制器H1係若按照針對一群惰性氣體供給部F(在本例中係屬於第1通道CH1的全部惰性氣體供給部F)的節約供給模式所被設定的氮氣的目標流量的合計Ltotal為最大容許流量Lmax以上時，係執行流量抑制處理。在本實施形態中，流量抑制處理係使針對該一群惰性氣體供給部F的全部的目標流量減低的處理，具體而言，按照下式(1)來更新目標流量。
目標流量=目標流量×(最大容許流量Lmax)/(目標流量的合計Ltotal)...(1)
亦即，沖洗控制器H1係構成為若例如針對一群惰性氣體供給部F而按照節約供給模式所被設定的氮氣的目標流量的合計為最大容許流量以上時，或者存在由第1分歧供給配管Lb1至惰性氣體供給部F為止的配管阻力較大的惰性氣體供給部F與較小的惰性氣體供給部F，由於由第1分歧供給配管Lb1所被供給的惰性氣體優先通流至配管阻力小的惰性氣體供給部F，配管阻力大的惰性氣體供給部F的流 量相對目標流量為不足時，係執行流量抑制處理，使針對一群惰性氣體供給部F的全部的惰性氣體的目標流量以一定的減低率減低。
本實施形態的情形下，上述減低率係被設定為一群惰性氣體供給部F的全部目標流量的合計成為最大容許流量Lmax。
其中，在上述說明中係說明將第1通道CH1作為對象的情形，關於第2通道CH2亦同。
[其他實施形態]
(1)在上述實施形態中，係例示將搬送容器50設為FOUP，將所收容的基板設為半導體晶圓W，對搬送容器供給氮氣作為惰性氣體的構成，但是本發明之實施形態並非限定於如上所示之構成。例如，亦可將所收容的基板作為光罩，且將搬送容器50作為光罩容器。此外，以供給至搬送容器的惰性氣體而言，除了氮氣以外，可使用氬氣等對所收容的基板為反應性低的各種氣體。
(2)在上述實施形態中，係例示在將流量檢測裝置內置於質流控制器40的狀態下設置的構成，但是本發明之實施形態並非限定於如上所示之構成。例如，亦可形成為將流量檢測裝置配備在供給配管Li的構成。
(3)在上述實施形態中，係例示特定供給部選擇部為以人為操作發出清掃指令的清掃指令裝置的構成，但是可採用清掃指令裝置以外的各種選擇裝置作為特定供給部選擇部。考慮例如特定供給部選擇部為選擇試驗惰性氣 體的通流狀態時的試驗對象的惰性氣體供給部作為特定供給部的試驗用供給部選擇裝置的構成等各種構成。
(4)在上述實施形態中，係例示使用作為模式選擇部的操作桌HS來人為選擇使用保管用沖洗模式P3~P6之中之何者的構成，但是本發明之實施形態並非限定於如上所示之構成。亦可構成為例如沖洗控制器H1按照所被收納的容器50的類別或所被收納的容器50所收容的基板的狀態，來判別使用保管用沖洗模式P3~P6之中的哪一個，按照該判別結果，來選擇使用保管用沖洗模式P3~P6之中的哪一個。此時，模式選擇部係作為程式模組而被配備在沖洗控制器H1。
(5)上述實施形態中，係構成為對保管用沖洗模式P3~P6，可變更設定由惰性氣體供給部F對容器50供給惰性氣體的供給時間、及由惰性氣體供給部F對容器50供給惰性氣體的供給流量來作為模式特定參數，但是除了上述保管用沖洗模式P3~P6以外，關於噴嘴沖洗模式P1及清洗模式P2，亦可構成為可變更設定作為模式特定參數的供給時間及供給流量。
(6)在上述實施形態中，係構成為沖洗控制器H1在流量抑制處理中，使針對一群惰性氣體供給部F的全部的目標流量以一定的減低率減低，但是本發明之實施形態並非限定於如上所示之構成。亦可例如構成為僅針對設定初期目標流量值Lα作為供給流量值的惰性氣體供給部F，使目標流量減低，或管理被收容在容器50的半導體晶圓W 的狀態，選擇即使使惰性氣體的供給量減低，亦與收納有半導體晶圓W的污損或劣化進展之虞較少的容器50的收納部10S相對應的惰性氣體供給部F，來使目標流量減低等，針對使目標流量減低的惰性氣體供給部F的選擇方法，只要對於被收容在容器50的半導體晶圓W的影響限制在容許限度內，即可設定各種方法。
(7)在上述實施形態中，係形成為根據式(1)更新目標流量來作為流量抑制處理的構成，但是本發明之實施形態並非限定於如上所示之構成。亦可構成為例如將減低率固定在一定值(例如15%)，若按照針對一群惰性氣體供給部F的節約供給模式所被設定的氮氣的目標流量的合計Ltotal成為最大容許流量Lmax以上，使針對一群惰性氣體供給部F的全部的目標流量以上述一定值減低。
(8)在上述實施形態中，係構成為將對容器50所供給的惰性氣體的目標流量設定為第1目標流量值、及小於該第1目標流量值的第2目標流量值的2階段，但是本發明之實施形態並非限定於如上所示之構成。亦可構成為例如將惰性氣體的目標流量分為3階段或其以上的階段來進行設定，在第1目標流量值之後依序切換成第2目標流量值、第3目標流量值(或其以上的目標流量值)的狀態下使質流控制器40作動。
(9)在上述實施形態中，係構成為沖洗控制器H1按照針對一群惰性氣體供給部F的節約供給模式所設定的氮氣的目標流量的合計Ltotal為最大容許流量Lmax以上 時，係執行使針對一群惰性氣體供給部F的全部的目標流量減低的流量抑制處理，但是本發明之實施形態並非限定於如上所示之構成。亦可構成為例如在未變更目標流量的狀態下供給氮氣，若質流控制器40形成為流量不足狀態而輸出錯誤時，係將該錯誤重置，並且以藉由沖洗控制器H1來使一群惰性氣體供給部F的一部分或全部的惰性氣體的目標流量減低的方式對質流控制器40發出指令。
(10)在上述實施形態中，係構成為在將由第1分歧供給配管Lb1供給氮氣的12個惰性氣體供給部F設為第1通道CH1，將由第2分歧供給配管Lb2供給氮氣的12個惰性氣體供給部F設為第2通道CH2的狀態下，沖洗控制器H1將該等第1通道CH1或第2通道CH2作為對象，若按照節約供給模式所被設定的氮氣的目標流量的合計Ltotal為最大容許流量Lmax以上時，執行使針對一群惰性氣體供給部F的全部的目標流量減低的流量抑制處理，但是本發明之實施形態並非限定於如上所示之構成。亦可構成為例如以包含由第1分歧供給配管Lb1供給氮氣的12個惰性氣體供給部F、與由第2分歧供給配管Lb2供給氮氣的12個惰性氣體供給部F之雙方的方式來設定一群惰性氣體供給部F。此外，在上述實施形態中，係說明具備有2個通道的構成，但是亦可構成為具備有單一或3個以上的通道。此外，若為僅具備有1個通道的構成，亦可形成為供給配管Ls由原氣體供給配管Lm分歧的構成。
(11)在上述實施形態中，係例示保管架10的收 納部10S，作為收納容器50的收納部，但是以收納部而言，亦可為設在例如起重機式搬送車D之導軌G的橫側脇的收納部。
(12)在上述實施形態中，係例示4個保管用沖洗模式P3~P6，但是以保管用沖洗模式而言，亦可使用例如間歇式進行以初期目標流量值Lα供給惰性氣體的模式等各種模式。
#21~#29‧‧‧步驟

Claims (16)

  1. 一種物品保管設備，其係具備有：複數收納部，其係收納收容基板的搬送容器；搬送裝置，其係對前述複數收納部搬送前述搬送容器；惰性氣體供給部，其係針對前述複數收納部的各個而設，具備有：吐出惰性氣體的吐出口、及可調節由前述吐出口所吐出的前述惰性氣體的流量的流量調節裝置，對被收納在前述收納部的前述搬送容器的內部供給前述惰性氣體；及控制裝置，其係控制前述搬送裝置與前述流量調節裝置的作動，該物品保管設備設有選擇複數前述惰性氣體供給部之中之一部分或全部作為特定供給部的特定供給部選擇部，前述控制裝置構成為：在收納有前述搬送容器的前述收納部的前述惰性氣體供給部中，按照在預先設定的供給形態下對前述搬送容器供給前述惰性氣體的模式亦即容器保管模式，使前述流量調節裝置作動，而且，構成為：在藉由前述特定供給部選擇部所被選擇的前述特定供給部中，按照由前述吐出口在特定供給部用供給形態下供給前述惰性氣體的模式亦即特定供給部用供給模式，控制前述流量調節裝置的作動。
  2. 如申請專利範圍第1項之物品保管設備，其中，使前述惰性氣體通流來清掃前述惰性氣體供給部的供給形態為清掃用供給形態，前述特定供給部選擇部係以人為操作發出在前述清掃用供給形態下供給惰性氣體的清掃指令的清掃指令裝置。
  3. 如申請專利範圍第1項之物品保管設備，其中，前述控制裝置構成為可切換：使前述流量調節裝置作動，俾將前述惰性氣體供給部的前述惰性氣體的供給流量調整為第1目標流量值的第1供給狀態；及使前述流量調節裝置作動，俾將前述惰性氣體供給部的前述惰性氣體的供給流量調整為小於前述第1目標流量值的第2目標流量值的第2供給狀態，且構成為：當前述搬送容器被搬送至前述收納部時，在該收納部的前述惰性氣體供給部中，以前述搬送容器被收納在前述收納部的時點為始點而設為前述第1供給狀態，之後，按照切換成前述第2供給狀態的模式亦即節約供給模式，來控制前述流量調節裝置的作動。
  4. 如申請專利範圍第3項之物品保管設備，其中，前述控制裝置構成為可記憶複數種前述節約供給模式，且設有模式選擇部，其係在前述搬送容器的收納狀態中，選擇要使用前述複數種節約供給模式之中的何者，前述控制裝置構成為按照前述複數種節約供給模 式之中以前述模式選擇部所選擇的節約供給模式，來控制前述流量調節裝置的作動。
  5. 如申請專利範圍第4項之物品保管設備，其中，前述模式選擇部構成為可以人為選擇要使用前述複數種節約供給模式之中的何者。
  6. 如申請專利範圍第4項之物品保管設備，其中，設有設定輸入裝置，其係由前述惰性氣體供給部將前述惰性氣體供給至前述搬送容器的供給時間、及由前述惰性氣體供給部將前述惰性氣體供給至前述搬送容器的供給流量為可變更設定，來作為特定前述節約供給模式的模式特定參數，且以人為設定輸入前述模式特定參數。
  7. 如申請專利範圍第3項至第6項中任一項之物品保管設備，其中，前述惰性氣體的供給源係設為對與前述複數收納部之中之一群收納部相對應的一群前述惰性氣體供給部供給前述惰性氣體，設定有由前述供給源可對前述一群惰性氣體供給部供給的最大容許流量，前述控制裝置係構成為若前述一群惰性氣體供給部的前述惰性氣體的目標流量的合計為前述最大容許流量以上時，執行使前述一群惰性氣體供給部的一部分或全部的前述惰性氣體的目標流量減低的流量抑制處理。
  8. 如申請專利範圍第7項之物品保管設備，其中，前述控制裝置構成為在前述流量抑制處理中，使針對前述一群 惰性氣體供給部的全部的前述目標流量以一定的減低率減低。
  9. 一種物品保管方法，其係利用物品保管設備的物品保管方法，前述物品保管設備係具備有：複數收納部，其係收納收容基板的搬送容器；搬送裝置，其係對前述複數收納部搬送前述搬送容器；惰性氣體供給部，其係針對前述複數收納部的各個而設，具備有：吐出惰性氣體的吐出口、及可調節由前述吐出口所吐出的前述惰性氣體的流量的流量調節裝置，對被收納於前述收納部的前述搬送容器的內部供給前述惰性氣體；控制裝置，其係控制前述搬送裝置與前述流量調節裝置的作動；及特定供給部選擇部，其係選擇複數前述惰性氣體供給部之中的一部分或全部來作為特定供給部，以藉由前述控制裝置所被執行的步驟而言，包含有：第1供給步驟，其係在收納有前述搬送容器的前述收納部的前述惰性氣體供給部中，按照在預先設定的供給形態下對前述搬送容器供給前述惰性氣體的模式亦即容器保管模式，使前述流量調節裝置作動；及第2供給步驟，其係在藉由前述特定供給部選擇部 所被選擇的前述特定供給部中，按照由前述吐出口在特定供給部用供給形態下供給前述惰性氣體的模式亦即特定供給部用供給模式，控制前述流量調節裝置的作動。
  10. 如申請專利範圍第9項之物品保管方法，其中，使前述惰性氣體通流來清掃前述惰性氣體供給部的供給形態為清掃用供給形態，前述特定供給部選擇部係以人為操作發出在前述清掃用供給形態下供給惰性氣體的清掃指令的清掃指令裝置。
  11. 如申請專利範圍第9項之物品保管方法，其中，使前述流量調節裝置作動，俾將前述惰性氣體供給部的前述惰性氣體的供給流量調整為第1目標流量值的供給狀態為第1供給狀態，使前述流量調節裝置作動，俾將前述惰性氣體供給部的前述惰性氣體的供給流量調整為小於前述第1目標流量值的第2目標流量值的供給狀態為第2供給狀態，在前述第1供給步驟中，係當前述搬送容器被搬送至前述收納部時，在該收納部的前述惰性氣體供給部中，以前述搬送容器被收納在前述收納部的時點為始點而設為前述第1供給狀態，之後，按照切換成前述第2供給狀態的模式亦即節約供給模式，來控制前述流量調節裝置的作動。
  12. 如申請專利範圍第11項之物品保管方法，其中，前述控 制裝置構成為可記憶複數種前述節約供給模式，在前述物品保管設備設有在前述搬送容器的收納狀態中，選擇要使用前述複數種節約供給模式之中的何者的模式選擇部，在前述第1供給步驟中，係按照前述複數種節約供給模式之中以前述模式選擇部所選擇的節約供給模式，來控制前述流量調節裝置的作動。
  13. 如申請專利範圍第12項之物品保管方法，其中，前述模式選擇部構成為可以人為選擇要使用前述複數種節約供給模式之中的何者。
  14. 如申請專利範圍第12項之物品保管方法，其中，在前述物品保管設備設有設定輸入裝置，其係由前述惰性氣體供給部將前述惰性氣體供給至前述搬送容器的供給時間、及由前述惰性氣體供給部將前述惰性氣體供給至前述搬送容器的供給流量為可變更設定，來作為特定前述節約供給模式的模式特定參數，且以人為設定輸入前述模式特定參數。
  15. 如申請專利範圍第11項至第14項中任一項之物品保管方法，其中，在前述物品保管設備係以對與前述複數收納部之中的一群收納部相對應的一群前述惰性氣體供給部供給前述惰性氣體的方式，設有前述惰性氣體的供給源，設定有由前述供給源可對前述一群惰性氣體供給部供給的最大容許流量， 在前述第1供給步驟中，若前述一群惰性氣體供給部的前述惰性氣體的目標流量的合計為前述最大容許流量以上時，執行使前述一群惰性氣體供給部的一部分或全部的前述惰性氣體的目標流量減低的流量抑制處理。
  16. 如申請專利範圍第15項之物品保管方法，其中，前述流量抑制處理係使針對前述一群惰性氣體供給部的全部的前述目標流量以一定的減低率減低的處理。
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