KR20130080419A - 물품 보관 설비 및 물품 보관 방법 - Google Patents

물품 보관 설비 및 물품 보관 방법 Download PDF

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Abstract

물품 보관 설비는, 불활성 기체 공급부의 유량 조절 장치의 작동을 제어하는 제어 장치와, 복수의 불활성 기체 공급부 중 일부 또는 전부를 특정 공급부로서 선택하는 특정 공급부 선택부를 구비한다. 제어 장치가, 반송 용기가 수납된 수납부의 불활성 기체 공급부에서, 미리 정해진 공급 형태로 반송 용기에 대하여 불활성 기체를 공급하는 모드인 용기 보관 모드에 따라, 유량 조절 장치를 작동시키도록 구성되며, 또한 특정 공급부 선택부에 의해 선택된 특정 공급부에서, 불활성 기체 공급부의 배출구로부터 특정 공급부용 공급 형태로 불활성 기체를 공급하는 모드인 특정 공급부용 공급 모드에 따라, 유량 조절 장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.

Description

물품 보관 설비 및 물품 보관 방법{ARTICLE STORAGE FACILITY AND ARTICLE STORAGE METHOD}
본 발명은, 기판을 수용하는 반송 용기를 수납하는 복수의 수납부와, 상기 복수의 수납부에 대하여 상기 반송 용기를 반송하는 반송 장치와, 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기의 내부에 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급부와, 상기 반송 장치의 작동 및 상기 불활성 기체 공급부의 유량 조절 장치의 작동을 제어하는 제어 장치를 구비한 물품 보관 설비, 및 이와 같은 물품 보관 설비를 이용한 물품 보관 방법에 관한 것이다.
상기와 같은 물품 보관 설비의 일례로서, 다음과 같은 퍼지(purge) 기능을 가지는 물품 보관 선반을 구비한 물품 보관 설비가 알려져 있다. 이 물품 보관 선반은, 반도체 웨이퍼를 수용하는 FOUP 등의 반송 용기를 수납하는 복수의 수납부를 구비하고, 수납부의 각각에, 예를 들면, 질소 가스나 아르곤 가스 등의 불활성 기체를 반송 용기의 내부에 공급하는 불활성 기체 공급부로서의 공급 노즐이 구비되어 있다.
일본공개특허 제2010-6199호 공보(특허 문헌 1)에는, 이와 같은 물품 보관 설비의 일례가 개시되어 있고, 상기 물품 보관 설비에서는, 반송 용기가 수납부에 수납되어 있는 경우와 수납되어 있지 않은 경우에, 공급 노즐로부터 배출하는 불활성 기체의 유량을 변경한다.
구체적으로는, 상기 특허 문헌 1에서는, 반송 용기가 수납부에 수납되어 있지 않은 경우의 불활성 기체의 유량을 반송 용기가 수납부에 수납되어 있는 경우의 유량보다 작게 하도록 구성되어 있다. 즉, 반송 용기가 수납부에 수납되어 있는 경우에서의 불활성 기체의 유량이, 반송 용기 내에 충분한 불활성 기체를 공급하기 위해 필요한 유량(제1 유량이라고 함)에 설정된다. 한편, 반송 용기가 수납부에 수납되어 있지 않은 경우에서의 배출 유량은, 상기 공급 노즐에 불순물 입자가 축적하는 것을 방지하기 위해, 상기 제1 유량보다 적은 유량(제2 유량이라고 함)에 설정된다. 이로써, 반송 용기가 수납부에 수납되어 있지 않은 경우에도 공급 노즐로부터 제1 유량의 불활성 기체를 배출하는 경우와 비교하여, 퍼지에 요하는 불활성 기체의 소비량을 억제하여 비용을 저감할 수 있다.
그러나 상기 특허 문헌 1에 있어서는, 물품 보관 선반의 모든 수납부에 대하여, 제1 유량의 불활성 기체를 공급하는 상태와 제2 유량의 불활성 기체를 공급하는 상태를 전환한다고 하는 1개의 공급 형태로 불활성 기체가 공급된다. 그리고 반송 용기가 수납되어 있지 않은 경우에서의 불활성 기체의 유량은, 비교적 소량의 제2 유량에 설정된다. 그러므로 예를 들면, 불활성 기체 공급부로서의 공급 노즐 등을 교환한 후에 그 불활성 기체 공급부에 부착된 불순물 입자를 제거하기 위해 불활성 기체의 통류를 행하는 것을 고려한 경우, 불활성 기체의 유량은 제2 유량에 설정되므로, 불활성 기체의 유량이 적기 때문에 불활성 기체 공급부를 충분히 청소할 수 있는지, 또는 할 수 있다고 해도, 불순물 입자를 충분히 제거할 때까지 긴 시간을 요하는 우려가 있다.
상기 배경을 감안해서, 필요로 하는 유량의 불활성 기체를 각각의 수납부에 공급하는 것이 용이한 물품 보관 설비의 실현이 요구된다.
본 발명에 관한 물품 보관 설비는,
기판을 수용하는 반송 용기를 수납하는 복수의 수납부;
상기 복수의 수납부에 대하여 상기 반송 용기를 반송하는 반송 장치;
상기 복수의 수납부의 각각에 대하여 설치되고, 불활성 기체를 배출하는 배출구와, 상기 배출구로부터 배출하는 상기 불활성 기체의 유량을 조절할 수 있는 유량 조절 장치를 구비하여, 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기의 내부에 상기 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급부;
상기 반송 장치와 상기 유량 조절 장치의 작동을 제어하는 제어 장치; 및
복수의 상기 불활성 기체 공급부 중 일부 또는 전부를 특정 공급부로서 선택하는 특정 공급부 선택부
를 포함하며,
여기서, 상기 제어 장치가, 상기 반송 용기가 수납된 상기 수납부의 상기 불활성 기체 공급부에서, 미리 정해진 공급 형태로 상기 반송 용기에 대하여 상기 불활성 기체를 공급하는 모드인 용기 보관 모드에 따라, 상기 유량 조절 장치를 작동시키도록 구성되며, 또한 상기 특정 공급부 선택부에 의해 선택된 상기 특정 공급부에서, 상기 배출구로부터 특정 공급부용 공급 형태로 상기 불활성 기체를 공급하는 모드인 특정 공급부용 공급 모드에 따라, 상기 유량 조절 장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
상기한 구성에 의하면, 복수의 불활성 기체 공급부 중, 특정 공급부 선택부에 의해 선택된 특정 공급부에 있어서는, 용기 보관 모드에서의 공급 형태와는 다른, 상기 특정 공급부에 있어 적절한 공급 형태로, 불활성 기체를 공급할 수 있다.
설명을 추가하면, 불활성 기체를 공급할 때 용기 보관 모드에 따라 불활성 기체 공급부를 작동시키는 것밖에 할 수 없는 경우에는, 용기 보관 모드에서의 유량보다 많거나 적은 유량의 불활성 기체를 필요로 하는 불활성 기체 공급부에서, 필요한 유량의 불활성 기체를 공급할 수 없다.
이에 대하여, 상기한 구성에 의하면, 특정 공급부에 있어서 특정 공급부용 공급 형태로 불활성 기체를 공급할 수 있으므로 특정 공급부용 공급 형태로서 특정 공급부에서 필요로 하는 불활성 기체의 공급 형태를 설정함으로써, 상기한 바와 같이 특정 공급부에서 필요한 유량의 불활성 기체를 공급할 수 없는 상황의 발생을 억제할 수 있다.
즉, 상기한 구성에 의하면, 복수의 불활성 기체 공급부 중 선택된 불활성 기체 공급부에서의 불활성 기체의 공급 형태를 변경할 수 있어, 결과적으로, 필요로 하는 유량의 불활성 기체를 각각의 수납부에 공급하는 것이 용이한 물품 보관 설비를 제공할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 보관 설비의 기술적 특징은, 물품 보관 방법에도 적용 가능하며, 본 발명은 그와 같은 방법도 권리의 대상으로 할 수 있다. 이 물품 보관 방법에 대해서도, 전술한 물품 보관 설비에 관한 작용 효과를 얻을 수 있다.
즉, 본 발명에 관한 물품 보관 방법은,
기판을 수용하는 반송 용기를 수납하는 복수의 수납부와,
상기 복수의 수납부에 대하여 상기 반송 용기를 반송하는 반송 장치와,
상기 복수의 수납부의 각각에 대하여 설치되고, 불활성 기체를 배출하는 배출구와, 상기 배출구로부터 배출하는 상기 불활성 기체의 유량을 조절할 수 있는 유량 조절 장치를 구비하여, 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기의 내부에 상기 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급부와,
상기 반송 장치와 상기 유량 조절 장치의 작동을 제어하는 제어 장치와,
복수의 상기 불활성 기체 공급부 중 일부 또는 전부를 특정 공급부로서 선택하는 특정 공급부 선택부를 구비한 물품 보관 설비를 이용한 방법이며,
상기 제어 장치에 의해 실행되는 공정은,
상기 반송 용기가 수납된 상기 수납부의 상기 불활성 기체 공급부에서, 미리 정해진 공급 형태로 상기 반송 용기에 대하여 상기 불활성 기체를 공급하는 모드인 용기 보관 모드에 따라, 상기 유량 조절 장치를 작동시키는 제1 공급 공정;
상기 특정 공급부 선택부에 의해 선택된 상기 특정 공급부에서, 상기 배출구로부터 특정 공급부용 공급 형태로 상기 불활성 기체를 공급하는 모드인 특정 공급부용 공급 모드에 따라, 상기 유량 조절 장치의 작동을 제어하는 제2 공급 공정
을 포함한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예의 예에 대하여 설명한다.
본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시예에서는, 상기 불활성 기체를 통류시켜 상기 불활성 기체 공급부를 청소하는 공급 형태가, 청소용 공급 형태이며, 상기 특정 공급부 선택부가, 상기 청소용 공급 형태로 불활성 기체를 공급하는 청소 지령을 인위적인 조작으로 지령하는 청소 지령 장치인 것이 바람직하다.
상기한 구성에 의하면, 청소 지령 장치에 의해 청소 지령이 지령되었을 때는, 청소 대상의 불활성 기체 공급부인 특정 공급부에서, 제거 대상물을 적절히 청소할 수 있는 유량의 불활성 기체를 통류시켜, 적절히 불활성 기체 공급부를 청소할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시예에서는, 상기 제어 장치가, 상기 불활성 기체 공급부의 상기 불활성 기체의 공급 유량을 제1 목표 유량값으로 조정하기 위해 상기 유량 조절 장치를 작동시키는 제1 공급 상태와, 상기 불활성 기체 공급부의 상기 불활성 기체의 공급 유량을 상기 제1 목표 유량값보다 작은 제2 목표 유량값으로 조정하기 위해 상기 유량 조절 장치를 작동시키는 제2 공급 상태를, 전환 가능하도록 구성되며, 상기 반송 용기가 상기 수납부에 반송되었을 때, 상기 수납부의 상기 불활성 기체 공급부에서, 상기 반송 용기가 상기 수납부에 수납된 시점을 시작점으로 상기 제1 공급 상태로 하고, 그 후, 상기 제2 공급 상태로 전환하는 패턴인 절약 공급 패턴에 따라, 상기 유량 조절 장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
상기한 구성에 의하면, 반송 용기가 상기 수납부에 수납된 시점을 시작점으로 제1 공급 상태로 함으로써, 반송 용기를 수납부에 수납한 초기 단계에 있어서, 반송 용기 내에 존재하는 불활성 기체 이외의 기체를 신속히 불활성 기체에 치환하고, 그 후, 제2 공급 상태로 전환함으로써, 고가의 불활성 기체(예를 들면, 질소 가스 등)의 사용량을 저감할 수 있다.
이와 같이, 상기한 구성에 의하면, 불활성 기체의 사용량을 억제하면서, 기판이 오염 또는 손상하는 리스크가 낮은 상태를 적절히 유지할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시예에서는, 상기 제어 장치가, 복수 종류의 상기 절약 공급 패턴을 기억 가능하도록 구성되며, 상기 반송 용기의 수납 상태에서, 상기 복수 종류의 절약 공급 패턴 중 어느 것을 사용할지를 선택하는 패턴 선택부가 설치되고, 상기 제어 장치가, 상기 복수 종류의 절약 공급 패턴 중 상기 패턴 선택부에 의해 선택된 절약 공급 패턴에 따라, 상기 유량 조절 장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
상기한 구성에 의하면, 제어 장치가 단일의 절약 공급 패턴만을 기억하는 경우에 비하여, 반송 용기의 종별이나 수용되고 있는 기판의 상태에 따른 적절한 패턴을 사용하여, 불활성 기체를 공급할 수 있다.
그리고 복수 종류의 절약 공급 패턴 중 어느 것을 사용할지를 선택하는 구성으로서, 제어 장치에 의해 자동적으로 선택하는 구성과, 인위적인 조작에 의해 선택하는 구성이 고려된다.
제어 장치에 의해 자동적으로 선택하는 경우로 하여, 예를 들면, 반송 용기의 종별이나 수용하고 있는 기판의 상태에 따라서, 상기 복수의 절약 공급 패턴 중 적절한 절약 공급 패턴으로 선택적으로 변경하는 것이 고려된다. 또한, 인위적인 조작에 의해 선택하는 경우에는, 복수의 절약 공급 패턴 중, 반송 용기 내의 환경을 오염 또는 손상 리스크의 낮은 내부 환경으로 하기 위해 적절한 절약 공급 패턴으로 설정하도록, 시험적으로 절약 공급 패턴을 변경하는 것이 생각된다.
이와 같이, 상기한 구성에 의하면, 복수 종류의 절약 공급 패턴을 선택하여 전환할 수 있으므로, 불활성 기체의 사용량을 최대한 억제하면서, 반송 용기의 내부에 수용되고 있는 기판에 유리한 절약 공급 패턴에 따라 불활성 기체를 공급하는 것이 가능하고, 반송 용기 내에 수용한 기판을, 최대한 열화되지 않는 상태로 보관하는 것이 가능해진다.
본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시예에서는, 상기 패턴 선택부가, 상기 복수 종류의 절약 공급 패턴 중 어느 것을 사용할지를, 인위적으로 선택 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.
상기한 구성에 의하면, 작업자가, 필요한 타이밍에서 절약 공급 패턴을 변경하는 것이 가능해져, 절약 공급 패턴과 기판의 오염 또는 손상과의 관계를 조사하는 등의 시험이 행하기 쉬워진다.
본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시예에서는, 상기 절약 공급 패턴을 특정하는 패턴 특정 파라미터로서, 상기 불활성 기체 공급부로부터 상기 불활성 기체를 상기 반송 용기에 공급하는 공급 시간과, 상기 불활성 기체 공급부로부터 상기 불활성 기체를 상기 반송 용기에 공급하는 공급 유량이 변경 설정 가능하며, 상기 패턴 특정 파라미터를 인위적으로 설정 입력하는 설정 입력 장치가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
상기한 구성에 의하면, 단지 복수 종류의 절약 공급 패턴 중에서 목적으로 하는 절약 공급 패턴을 선택하는 경우와 비교하여, 패턴 특정 파라미터를 필요에 따라 적절히 변경하여 적절히 절약 공급 패턴을 설정할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시예에서는, 상기 불활성 기체의 공급원이, 상기 복수의 수납부 중 일군의 수납부에 대응하는 일군의 상기 불활성 기체 공급부에 대하여, 상기 불활성 기체를 공급하도록 설치되고, 상기 공급원으로부터 상기 일군의 불활성 기체 공급부에 공급 가능한 최대 허용 유량이 설정되고, 상기 제어 장치가, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 상기 불활성 기체의 목표 유량의 합계가 상기 최대 허용 유량 이상으로 되는 경우에는, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 일부 또는 모든 상기 불활성 기체의 목표 유량을 저감시키는 유량 억제 처리를 실행하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
예를 들면, 일군의 불활성 기체 공급부에 속하는 불활성 기체 공급부의 각각에 대하여 설정되어 있는 목표 유량의 합계가, 공급원으로부터 일군의 불활성 기체 공급부에 공급 가능한 최대 허용 유량 이상으로 되는 경우에는, 실제로 일군의 불활성 기체 공급부의 각각이 공급 가능한 불활성 기체의 유량이, 설정된 목표 유량보다 낮은 상태로 될 우려가 있다.
또한, 예를 들면, 공급원으로부터 불활성 기체 공급부에 이를 때까지의 배관 저항이 큰 불활성 기체 공급부와 작은 불활성 기체 공급부가 존재하는 경우, 공급원으로부터 공급되는 불활성 기체는 배관 저항이 작은 불활성 기체 공급부에 우선적으로 통류하고, 배관 저항이 큰 불활성 기체 공급부의 유량이 목표 유량에 대하여 부족한 우려가 있다.
상기한 구성에 의하면, 일군의 불활성 기체 공급부의 불활성 기체의 목표 유량의 합계가 최대 허용 유량 이상으로 되는 경우에는, 유량 억제 처리가 실행되어, 일군의 불활성 기체 공급부의 일부 또는 모든 유량 조절 장치에 대하여, 종전의 목표 유량보다 작은 새로운 목표 유량이 지령된다. 이로써, 불활성 기체 공급부의 일부 또는 전부로부터 배출되는 불활성 기체의 배출 유량을 저감시켜, 각 불활성 기체 공급부로부터의 불활성 기체의 배출 유량이, 배출 유량 조절 장치에 대하여 제어 장치가 지령하고 있는 목표 유량을 하회하는 현상을 방지할 수 있다.
그리고 제어 장치에 의해 지령된 목표 유량의 불활성 기체를 공급하기 위해 제어되는 유량 조절 장치가, 실제로 공급하는 유량이 목표 유량보다 낮은 상태가 설정 시간 계속된 상태(유량 부족 상태와 칭함)에 빠졌을 때 에러를 출력하는 기능을 구비하는 경우가 있다. 이와 같은 경우라도, 상기한 구성에 의하면, 유량 부족 상태에 빠지기까지, 제어 장치가 일군의 불활성 기체 공급부의 일부 또는 모든 불활성 기체의 목표 유량을 저감시키도록 유량 조절 장치에 지령함으로써, 에러의 발생을 억제하여 설비를 정상적으로 운전할 수 있다.
또한, 상기와 같은 유량 조절 장치에서는, 장치 자체에 장해가 생기지 않아도, 공급원의 공급기능 힘을 초과하는 유량이 요구된 것에 기인하는 유량 부족 상태에 따라서 에러를 발생할 우려가 있다. 상기한 구성에 의하면, 일군의 불활성 기체 공급부에 대한 절약 공급 패턴에 따라 설정되는 불활성 기체의 목표 유량의 합계가, 공급원으로부터 일군의 불활성 기체 공급부에 공급 가능한 최대 허용 유량 이하가 되도록 제어함으로써, 유량 조절 장치가 불필요한 에러를 출력하는 것을 방지하고, 장치의 운전을 원활하게 행할 수 있다.
그리고 일군의 불활성 기체 공급부에 대한 절약 공급 패턴에 따라 설정되는 불활성 기체의 목표 유량의 합계가, 공급원으로부터 일군의 불활성 기체 공급부에 공급 가능한 최대 허용 유량 이상으로 되어 에러가 출력된 경우에, 그 에러를 리셋하는 동시로 제어 장치가 일군의 불활성 기체 공급부의 일부 또는 모든 목표 유량을 저감시키도록 유량 조절 장치에 지령하도록 구성해도 된다.
복수 종류의 절약 공급 패턴을 선택하여 전환하거나, 또는 절약 공급 패턴의 패턴 특정 파라미터를 변경 설정한 경우, 일군의 불활성 기체 공급부에 속하는 불활성 기체 공급부의 각각에 대하여 설정되는 목표 유량의 합계가, 전환 전 또는 변경 전보다 커지도록 변경 설정될 가능성이 있다. 이와 같은 경우에 있어서는, 전환 전 또는 변경 전에는 목표 유량의 합계가 최대 허용 유량 이하로 되어 있었다고 해도, 전환 후 또는 변경 후에는 목표 유량의 합계가 최대 허용 유량 이상으로 될 우려가 있다. 이 점을 감안하여, 상기한 구성과 같은 일군의 불활성 기체 공급부의 일부 또는 모든 목표 유량을 저감시키는 구성은 특히 유효하다.
본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시예에서는, 상기 제어 장치가, 상기 유량 억제 처리에 있어서, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 모두에 대해 상기 목표 유량을 일정한 저감율로 저감시키도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
상기한 구성에 의하면, 불활성 기체 공급부에서의 불활성 기체의 공급 상태를 고려하지 않으며, 간단한 구성이고, 각 불활성 기체 공급부로부터의 불활성 기체의 배출 유량이, 배출 유량 조절 장치에 대하여 제어 장치가 지령하고 있는 목표 유량을 하회하는 현상을 방지할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시예에서는, 상기 불활성 기체를 통류시켜 상기 불활성 기체 공급부를 청소하는 공급 형태가, 청소용 공급 형태이며, 상기 특정 공급부 선택부가, 상기 청소용 공급 형태로 불활성 기체를 공급하는 청소 지령을, 인위적인 조작으로 지령하는 청소 지령 장치인 것이 바람직하다.
본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시예에서는, 상기 불활성 기체 공급부의 상기 불활성 기체의 공급 유량을 제1 목표 유량값으로 조정하기 위해 상기 유량 조절 장치를 작동시키는 공급 상태가 제1 공급 상태이며, 상기 불활성 기체 공급부의 상기 불활성 기체의 공급 유량을 상기 제1 목표 유량값보다 작은 제2 목표 유량값으로 조정하기 위해 상기 유량 조절 장치를 작동시키는 공급 상태가 제2 공급 상태이며, 상기 제1 공급 공정에서는, 상기 반송 용기가 상기 수납부에 반송되었을 때, 상기 수납부의 상기 불활성 기체 공급부에서, 상기 반송 용기가 상기 수납부에 수납된 시점을 시작점으로 상기 제1 공급 상태로 하고, 그 후, 상기 제2 공급 상태로 전환하는 패턴인 절약 공급 패턴에 따라, 상기 유량 조절 장치의 작동을 제어하는 것이 바람직하다.
본 발명에 관한 물품 보관 방법의 실시예에서는, 상기 제어 장치가, 복수 종류의 상기 절약 공급 패턴을 기억 가능하도록 구성되며, 상기 반송 용기의 수납 상태에서, 상기 복수 종류의 절약 공급 패턴 중 어느 것을 사용할지를 선택하는 패턴 선택부가, 상기 물품 보관 설비에 설치되고, 상기 제1 공급 공정에서는, 상기 복수 종류의 절약 공급 패턴 중 상기 패턴 선택부에 의해 선택된 절약 공급 패턴에 따라, 상기 유량 조절 장치의 작동을 제어하는 것이 바람직하다.
본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시예에서는, 상기 패턴 선택부가, 상기 복수 종류의 절약 공급 패턴 중 어느 것을 사용할지를, 인위적으로 선택 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시예에서는, 상기 절약 공급 패턴을 특정하는 패턴 특정 파라미터로서, 상기 불활성 기체 공급부로부터 상기 불활성 기체를 상기 반송 용기에 공급하는 공급 시간과, 상기 불활성 기체 공급부로부터 상기 불활성 기체를 상기 반송 용기에 공급하는 공급 유량이 변경 설정 가능하며, 상기 패턴 특정 파라미터를 인위적으로 설정 입력하는 설정 입력 장치가, 상기 물품 보관 설비에 설치되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시예에서는, 상기 물품 보관 설비에는, 상기 불활성 기체의 공급원이, 상기 복수의 수납부 중 일군의 수납부에 대응하는 일군의 상기 불활성 기체 공급부에 대하여, 상기 불활성 기체를 공급하도록 설치되고, 상기 공급원으로부터 상기 일군의 불활성 기체 공급부에 공급 가능한 최대 허용 유량이 설정되고, 상기 제1 공급 공정에서는, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 상기 불활성 기체의 목표 유량의 합계가 상기 최대 허용 유량 이상으로 되는 경우에는, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 일부 또는 모든 상기 불활성 기체의 목표 유량을 저감시키는 유량 억제 처리를 실행하는 것이 바람직하다.
본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시예에서는, 상기 유량 억제 처리는, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 모두에 대해 상기 목표 유량을 일정한 저감율로 저감시키는 처리인 것이 바람직하다.
도 1은 물품 보관 설비의 종단 측면도이다.
도 2는 동 설비의 일부를 나타낸 종단 정면도이다.
도 3은 수납부의 사시도이다.
도 4는 수납부와 반송 용기와의 관계를 나타낸 개략적인 구성도이다.
도 5는 복수의 수납부로의 불활성 기체의 공급 형태를 나타낸 도면이다.
도 6은 제어 장치의 접속 구성도이다.
도 7은 불활성 기체의 공급량의 제어 형태를 나타낸 설명도이다.
도 8은 퍼지 패턴 설정 처리를 나타낸 플로차트이다.
도 9는 설비의 운전 처리를 나타낸 흐름도이다.
본 발명을 퍼지 기능을 가지는 물품 보관 설비에 적용한 경우의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.
(전체 구성)
물품 보관 설비는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 기판을 밀폐 상태로 수용하는 반송 용기(50)(이하, 용기(50)라고 칭함)을 보관하는 보관 선반(10), 반송 장치로서의 스태커 크레인(stacker crane)(20), 및 용기(50)의 입출고부로서의 입출고 컨베이어 CV를 구비하고 있다.
보관 선반(10) 및 스태커 크레인(20)이, 벽체 K에 의해 외주부가 덮인 설치 공간 내에 설치되고, 입출고 컨베이어 CV가, 벽체 K를 관통하는 상태로 설치되어 있다.
보관 선반(10)은, 용기(50)를 지지하는 지지부로서의 수납부(10S)를, 상하 방향 및 좌우 방향으로 배열되는 상태로 복수 구비하여, 복수의 수납부(10S)의 각각에, 용기(50)를 수납하도록 구성되어 있고, 그 자세한 것은 후술한다.
그리고 본 실시예에서는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 보관 설비가 설치된 청정실의 천장부에 부설의 가이드 레일 G에 따라 주행하는 호이스트(hoist) 식의 반송차 D가 장비되어, 이 호이스트 식의 반송차 D에 의해, 입출고 컨베이어 CV에 대하여 용기(50)가 반입 및 반출되도록 구성되어 있다.
(용기(50)의 구성)
용기(50)는, SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute) 규격에 따른 합성 수지제의 기밀 용기이며, 기판으로서의 반도체 웨이퍼 W(도 4 참조)를 수납하기 위해 사용되고, FOUP(Front 0pening Unified Pod)로 호칭되어 있다. 그리고 상세한 설명은 생략하지만, 용기(50)의 전면에는, 착탈 가능한 덮개체에 의해 개폐되는 기판 출입용의 개구가 형성되고, 용기(50)의 상면에는, 호이스트 식의 반송차 D에 의해 파지되는 탑 플랜지(52)가 형성되어 있다. 용기(50)의 바닥면에는, 위치결정핀(10b)(도 3 참조)이 걸어맞추어지는 3개의 걸어맞춤홈(도시하지 않음)이 형성되어 있다.
즉, 용기(50)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 내부에 상하 방향으로 복수의 반도체 웨이퍼 W를 탑재 가능한 기판 지지체(53)를 구비한 케이싱(51)과 도시하지 않은 덮개체를 구비하고 있다. 용기(50)는, 케이싱(51)에 덮개체를 장착한 상태에 있어서는, 내부 공간이 기밀형태로 밀폐되도록 구성되며, 그리고 수납부(10S)에 수납된 상태에 있어서는, 위치결정핀(10b)에 의해 위치 결정되도록 구성되어 있다.
또한, 도 4에 나타낸 바와 같이, 용기(50)의 바닥부에는, 후술하는 바와 같이, 불활성 기체로서의 질소 가스를 주입하기 위해, 급기구(50i), 및 배기구(50o)가 설치되어 있다. 도시는 생략하지만, 급기구(50i)에는 주입측 개폐 밸브가 설치되고, 배기구(50o)에는 배출측 개폐 밸브가 설치되어 있다.
주입측 개폐 밸브는, 스프링 등의 가세 부재에 의해 폐쇄 방향으로 가세되어 있고, 급기구(50i)에 공급되는 질소 가스의 배출 압력이, 대기압보다 설정값 높은 설정 밸브 개방 압력 이상이 되면, 그 압력에 의해 열림 조작되도록 구성되어 있다.
또한, 배출측 개폐 밸브는, 스프링 등의 가세 부재에 의해 폐쇄 방향으로 가세되어 있고, 용기(50) 내부의 압력이, 대기압보다 설정값 높은 설정 밸브 개방 압력 이상이 되면, 그 압력에 의해 열림 조작되도록 구성되어 있다.
(스태커 크레인(20)의 구성)
스태커 크레인(20)은, 보관 선반(10)의 전면측의 바닥부에 설치된 주행 레일 E에 따라 주행 이동 가능한 주행 대차(carriage)(21)와, 그 주행 대차(21)에 세워서 설치된 마스트(22)와, 마스트(22)로 안내되는 상태로 승강 이동 가능한 승강대(24)를 구비하고 있다.
그리고 도시하지 않지만, 마스트(22)의 상단에 설치된 상부 틀(23)이, 벽체 K에 의해 외주부가 덮인 설치 공간의 천장 측에 설치된 상부 가이드 레일에 걸어맞추어져 이동하도록 구성되어 있다.
승강대(24)에는, 수납부(10S)에 대하여 용기(50)를 이송탑재하는 이송탑재 장치(25)가 장비되어 있다.
이송탑재 장치(25)는, 용기(50)를 탑재 지지하는 판형의 탑재 지지체(25A)를, 수납부(10S)의 내부로 돌출하는 돌출 위치와 승강대(24) 측에 퇴피한 퇴피 위치로 출퇴 가능하게 구비하고 있다. 이송탑재 장치(25)를 구비한 스태커 크레인(20)은, 탑재 지지체(25A)의 출퇴 작동 및 승강대(24)의 승강 작동에 의해, 탑재 지지체(25A)에 탑재한 용기(50)를 수납부(10S)로 내리는 끌어내림 처리, 및 수납부(10S)에 수납되어 있는 용기(50)를 인출하는 들어올림 처리를 행하도록 구성되어 있다.
즉, 용기(50)는, 반송차 D에 의해 입출고 컨베이어 CV 상에 탑재되고, 상기 입출고 컨베이어 CV에 의해 벽체 K의 외부로부터 내부에 반송된 후, 스태커 크레인(20)에 의해 복수의 수납부(10S) 중 어느 하나에 반송된다.
즉, 반송 장치로서의 스태커 크레인(20)이, 복수의 수납부(10S)에 대하여 용기(50)를 반송하도록 구성되어 있다.
스태커 크레인(20)에는, 도시하지 않지만, 주행 경로 상의 주행 위치를 검출하는 주행 위치 검출 장치, 및 승강대(24)의 승강 위치를 검출하는 승강 위치 검출 장치가 장비되어 있다. 스태커 크레인(20)의 작동을 제어하는 제어 장치 H로서의 크레인 컨트롤러 H3이, 주행 위치 검출 장치 및 승강 위치 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 스태커 크레인(20)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
즉, 크레인 컨트롤러 H3이, 입출고 컨베이어 CV에 반입된 용기(50)를 수납부(10S)에 수납하는 입고 작업, 및 수납부(10S)에 수납되어 있는 용기(5Q)를 입출고 컨베이어 CV에 인출하는 출고 작업을 행하도록, 주행 대차(21)의 주행 작동 및 승강대(24)의 승강 작동, 및 이송탑재 장치(25)에서의 탑재 지지체(25A)의 출퇴 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
(수납부(10S)의 구성)
도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 복수의 수납부(10S)의 각각은, 용기(50)를 탑재 지지하는 판형의 탑재 지지부(10a)를 구비하고 있다.
이 탑재 지지부(10a)는, 이송탑재 장치(25)의 탑재 지지체(25A)가 상하로 통과하는 공간을 형성하기 위해, 평면에서 볼 때 형상이 U자형으로 되도록 형성되고, 그 상면에는, 전술한 위치결정핀(10b)이 위쪽으로 돌출하는 상태로 장비되어 있다.
또한, 탑재 지지부(10a)에는, 용기(50)가 탑재되어 있는지의 여부(즉, 용기(50)가 수납부(10S)에 수납되어 있는지의 여부)를 검출하는 2개의 재고 센서(10z)가 설치되고, 이들 검출 정보는, 후술하는 유량 조절 장치로서의 매스 플로 컨트롤러(40)의 운전을 관리하는, 제어 장치 H로서의 퍼지 컨트롤러 Hl(도 6 참조)에 입력되도록 구성되어 있다.
탑재 지지부(10a)에는, 불활성 기체로서의 질소 가스를 용기(50)의 내부에 공급하는 배출구로서의 배출 노즐(10i)과, 용기(50)의 내부로부터 배출되는 기체를 통류시키는 배출용 통기체(10o)가 설치되어 있다. 그리고 배출 노즐(10i)에는, 매스 플로 컨트롤러(40)로부터의 질소 가스를 유동시키는 공급 배관 Li가 접속되고, 배출용 통기체(10o)에는, 단부가 개구된 배출관 Lo가 접속되어 있다.
또한, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 평면에서 볼 때 각각의 수납부(10S)의 안쪽으로, 또한 선반 좌우 방향에 있어서 용기(50)의 단부 근방으로 되는 위치에, 질소 가스의 공급을 제어하는 매스 플로 컨트롤러(40)가 장비되어 있다. 평면에서 볼 때의 각각의 수납부(10S)의 안쪽은, 용기(50)가 출입되는 개구(출입구)에 대향하는 단부측이다.
수납부(10S)는, 상하 방향으로 배열된 복수의 층으로 나누어지도록 보관 선반(10)에 배치되어 있고, 매스 플로 컨트롤러(40)는, 타층 중 어느 하나의 수납부(10S)에 설치된 매스 플로 컨트롤러(40)와, 평면에서 볼 때 중복되는 위치에 설치되어 있다. 매스 플로 컨트롤러(40)의 설치되는 개소는, 평면에서 볼 때 탑재 지지부(10a) 및 그것을 지지하는 기둥재 등이 존재하지 않는 개소이고, 또한 용기(50)의 수납 시에 있어서도, 용기(50)가 존재하지 않는 개소이다. 따라서, 매스 플로 컨트롤러(40)의 근방에는, 보관 선반(10)의 하단으로부터 상단에 걸쳐 연통되고, 상하 방향으로 공기가 통류 가능한 공간이 형성되어 있다.
이로써, 매스 플로 컨트롤러(40)가 발생하는 열에 의해 생기는 기류는, 보관 선반(10)의 하단으로부터 상단에 이를 때까지 장애물에 저해됨이 없이 유동하고, 매스 플로 컨트롤러(40)로부터 방산되고 열이 체류하는 것을 억제하여, 매스 플로 컨트롤러(40)의 열에 의한 오작동 등의 장해를 억제할 수 있다.
그리고 상기한 기류가 통류 가능한 공간은, 예를 들면, 보관 선반(10)이 불활성 기체 또는 클린 에어의 다운플로에 의해 청정하게 유지되는 경우에, 그 다운플로를 저항이 적은 상태로 통류시키는 것을 가능하게 한다. 이 경우에도, 매스 플로 컨트롤러(40)가 다운플로에 의해 적절히 냉각된다.
용기(50)가 탑재 지지부(10a)에 탑재 지지되면, 배출 노즐(10i)이 용기(50)의 급기구(50i)에 끼워맞춤 상태로 접속되고, 또한 배출용 통기체(10o)가 용기(50)의 배기구(50o)에 끼워맞춤 상태로 접속되도록 구성되어 있다.
그리고 용기(50)가 탑재 지지부(10a)에 탑재 지지된 상태에서, 배출 노즐(10i)로부터 대기압보다 설정값 이상 높은 압력의 질소 가스를 배출시킴으로써, 용기(50)의 배기구(50o)보다 용기 내의 기체를 외부에 배출시키는 상태로, 용기(50)의 급기구(50i)보다 질소 가스를 용기(50)의 내부에 주입 가능하도록 구성되어 있다.
본 실시예에서는, 주로 매스 플로 컨트롤러(40), 공급 배관 Li, 및 배출 노즐(10i)로부터 불활성 기체 공급부 F가 구성된다.
즉, 불활성 기체 공급부 F는, 불활성 기체를 배출하는 배출 노즐(10i)과, 그 배출 노즐(10i)로부터 배출하는 불활성 기체의 유량을 조절 가능한 매스 플로 컨트롤러(40)를 구비하고, 수납부(10S)에 수납된 용기(50)의 내부에 불활성 기체를 공급하도록 구성되어 있다. 그리고 불활성 기체 공급부 F는, 복수의 수납부(10S)의 각각에 대하여 설치되어 있다.
그리고 도 3에 나타낸 바와 같이, 공급 배관 Li에는, 수동 조작식의 개폐 밸브 Vi가 장비되어 있고, 매스 플로 컨트롤러(40)가 고장나는 등의 긴급 시에는, 질소 가스의 공급을 정지하는 상태로 전환할 수 있도록 구성되어 있다.
(질소 가스의 공급 구성)
도 5에 나타낸 바와 같이, 보관 선반(10)에서의 불활성 기체 공급부 F의 각각에 질소 가스를 공급하기 위한 질소 가스의 공급원으로서, 원료 가스 공급 배관 Lm이 구비되어 있다. 그 원료 가스 공급 배관 Lm으로부터 2분기하는 상태로, 제1 분기 공급 배관 Lb1 및 제2 분기 공급 배관 Lb2가 구비되어 있다. 원료 가스 공급 배관 Lm에는 원료 가스 개폐 밸브 V1이 설치되고, 보관 선반(10) 단위로 질소 가스의 공급 및 공급 정지를 전환할 수 있다.
제1 분기 공급 배관 Lb1 및 제2 분기 공급 배관 Lb2의 각각은 또한, 12개의 공급 배관 Ls에 분기되어 있고, 이들 공급 배관 Ls의 각각이, 매스 플로 컨트롤러(40)의 유입측 포트(40i)에 접속된다. 이하, 제1 분기 공급 배관 Lb1로부터 질소 가스가 공급되는 일군의 불활성 기체 공급부 F를 제1 채널(CHl)이라 하고, 제2 분기 공급 배관 Lb2로부터 질소 가스가 공급되는 일군의 불활성 기체 공급부 F를 제2 채널(CH2)이라 한다.
제1 분기 공급 배관 Lb1에는 제1 전자 개폐 밸브 V21이 설치되고, 제2 분기 공급 배관 Lb(2)에는 제2 전자 개폐 밸브 V22가 설치되어 있다. 그리고 이들 제1 전자 개폐 밸브 V21 및 제2 전자 개폐 밸브 V22는, 후술하는 IO 확장 모듈 A를 통하여 후술하는 퍼지 컨트롤러 H1에 전기적으로 접속되어 있고, 퍼지 컨트롤러 H1이 제1 전자 개폐 밸브 V21 및 제2 전자 개폐 밸브 V22의 개폐를 제어하도록 구성되어 있다.
또한, 제1 분기 공급 배관 Lb1 및 제2 분기 공급 배관 Lb2 각각은, 제1 전자 개폐 밸브 V21 및 제2 전자 개폐 밸브 V22의 하류측으로 바이패스 배관 Lbp에 의해 서로 접속되고, 바이패스 배관 Lbp에는 수동으로 개폐 조작 가능한 바이패스 밸브 Vb가 설치되어 있다. 따라서, 바이패스 밸브 Vb를 개방하면 제1 채널 CH1과 제2 채널 CH2는 서로 질소 가스를 공급할 수 있도록 접속된다.
본 실시예에서는, 채널 CH1, CH2 각각이, 복수의 수납부 중 일군의 수납부에 대응하는 일군의 불활성 기체 공급부 F에 상당하고, 제1 분기 공급 배관 Lb1 및 제2 분기 공급 배관 Lb2의 각각이, 일군의 불활성 기체 공급부 F에 질소 가스를 공급하는 공급원에 상당한다.
(매스 플로 컨트롤러(40)의 구성)
도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 매스 플로 컨트롤러(40)는, 유입측 포트(40i)와 배출측 포트(40o)를 구비하고 있다. 배출측 포트(40o)에는, 전술한 공급 배관 Li가 접속되고, 유입측 포트(40i)에는, 질소 가스의 공급원으로서의 제1 분기 공급 배관 Lb1 또는 제2 분기 공급 배관 Lb2로부터의 질소 가스를 안내하는 공급 배관 Ls가 접속되어 있다.
그리고 질소 가스 공급원에는, 질소 가스의 압력을 대기압보다 설정값 이상 높은 설정 압력에 조정하는 거버너(governor)나, 질소 가스의 공급을 단속하는 수동 조작식의 개폐 밸브 등이 장비된다.
매스 플로 컨트롤러(40)에는, 유입측 포트(40i)로부터 배출측 포트(40o)로 향하여 내부 유로를 유동하는 질소 가스의 유량을 변경 조절하는 유량 조절 밸브, 내부 유로를 유동하는 질소 가스의 유량을 계측하는 유량 센서, 및 유량 조절 밸브의 작동을 제어하는 내부 제어부가 장비되어 있다.
그리고 내부 제어부가, 유량 센서의 검출 정보에 기초하여, 용기(50)로의 공급 유량을 전술한 퍼지 컨트롤러 H1로부터 지령되는 목표 유량에 조정하도록 유량 조절 밸브를 제어하도록 구성되어 있다. 즉, 퍼지 컨트롤러 H1이, 매스 플로 컨트롤러(40)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
(제어 장치 H의 구성)
도 6에 나타낸 바와 같이, 제어 장치 H는, 매스 플로 컨트롤러(40)를 제어하는 퍼지 컨트롤러 H1, 보관 선반(10)에서의 용기(50)의 재고 상태 등을 관리하는 스토커 컨트롤러 H2, 및 스태커 크레인(20)의 작동을 제어하는 크레인 컨트롤러 H3을 구비하고 있다. 퍼지 컨트롤러 H1, 스토커 컨트롤러 H2, 및 크레인 컨트롤러 H3은, 예를 들면, 축적 프로그램 방식으로 정보를 처리하는 컴퓨터로 구성되며, 서로 LAN 등의 네트워크 C1에 접속되어 있다. 또한, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P 및 IO 확장 모듈 A가, 상기 제어 장치 H와 통신 가능하게 네트워크 C1에 접속되어 있다.
프로그래머블 로직 컨트롤러 P에는, 제어 버스 C2를 경유하여 12대의 매스 플로 컨트롤러(40)가 접속되어 있다. 또한, IO 확장 모듈 A에는, 상기 12대의 매스 플로 컨트롤러(40)가 구비되어 있는 수납부(10S)에 대응하는 재고 센서(10z)가 각각 신호선 C3에 접속되어 있다.
퍼지 컨트롤러 H1은, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P를 경유하여, 복수의 수납부(10S)의 각각에 대응하여 설치된 매스 플로 컨트롤러(40)에 대하여 목표 유량을 지령한다.
그리고 퍼지 컨트롤러 H1에는, 각종 정보를 입력하기 위한 조작탁자 HS가 장비되어 있다.
퍼지 컨트롤러 H1이 지령하는 목표 유량으로서는, 용기(50)가 수납부(10S)에 수납되어 있는 상태에서, 용기(50)의 내부에 질소 가스를 주입하기 위해, 매스 플로 컨트롤러(40)에 대하여 지령되는 보관용의 목표 유량, 용기(50)가 수납부(10S)에 수납되기 직전에, 배출 노즐(10i)을 청정화하기 위해 지령되는 노즐 정화용의 목표 유량, 및 보관 선반(10)의 설치 시 등에 있어서, 배출 노즐(10i)이나 공급 배관 Li 등을 청정화하기 위해 지령되는 클리닝용의 목표 유량이 있다.
즉, 퍼지 컨트롤러 H1이, 도 7에 나타낸 바와 같이, 목표 유량과 공급 시간을 정한 복수의 퍼지 패턴으로서, 노즐 퍼지 패턴 P1, 클리닝 패턴 P2, 및 4개의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6을 기억하고 있다.
그리고 보관 선반(10)의 설치 시 등에 있어서, 조작탁자 HS에 의해 클리닝 개시 지령이 지령되면, 퍼지 컨트롤러 H1은, 클리닝 패턴 P2에 따라 매스 플로 컨트롤러(40)의 작동을 제어한다. 이때, 질소 가스의 공급 형태는, 질소 가스를 통류시켜 불활성 기체 공급부 F를 청소하는 공급 형태인 청소용 공급 형태로 되고, 목표 유량이 클리닝용의 청소용 유량에 설정되고, 또한 공급 시간이 클리닝용의 청소용 시간에 설정된다.
그리고 조작탁자 HS는, 청소가 필요한 불활성 기체 공급부 F를 선택 가능하게 구성되며, 선택된 불활성 기체 공급부 F에 대하여 클리닝 개시 지령을 지령하도록 구성되어 있다.
또한, 조작탁자 HS가, 질소 가스를 통류시켜 불활성 기체 공급부 F를 청소하는 청소 지령을 인위적인 조작으로 지령하는 청소 지령 장치로서 기능한다. 즉, 조작탁자 HS는, 인위적인 조작에 기초하여 복수의 불활성 기체 공급부 F 중 일부 또는 전부를 특정 공급부로서 선택하고, 선택한 특정 공급부에 대하여 클리닝 개시 지령을 지령하도록 구성되어 있다. 즉, 본 실시예에서는 조작탁자 HS가 특정 공급부 선택부에 상당한다.
즉, 본 실시예에서는, 퍼지 컨트롤러 H1이, 조작탁자 HS에 의해 청소 지령이 지령되었을 때, 용기(50)가 수납부(10S)에 수납되어 있지 않은 상태로, 불활성 기체 공급부 F에 있어서 청소용 시간 동안 청소용 유량의 불활성 기체를 통류시키도록 구성되어 있다.
또한, 제어 장치 H는, 용기(50)가 입출고 컨베이어 CV에 반입되면 노즐 퍼지 패턴 P1에 따라 노즐 정화용의 목표 유량을 지령하도록 구성되어 있다.
본 실시예에서는, 제어 장치 H는, 용기(50)가 입출고 컨베이어 CV에 반입된 시점을, 호이스트 식의 반송차 D의 운전을 제어하는 반송차 컨트롤러(도시하지 않음)로부터 수납 지령이 통신되는 것에 의해 판별하도록 구성되어 있다.
즉, 반송차 컨트롤러가, 반송차 D가 용기(50)를 입출고 컨베이어 CV에 반입하였을 때, 수납 지령을 제어 장치 H에 지령하도록 구성되어 있다.
또한, 제어 장치 H는, 2개의 재고 센서(10z)가 용기(50)를 검출하고 있을 때는, 절약 공급 패턴으로서의 4개의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6 중, 조작탁자 HS에 의해 미리 선택된 1개의 패턴에 기초하여 보관용의 목표 유량(공급 유량)을 지령하도록 구성되어 있다.
또한, 노즐 퍼지 패턴 P1 및 클리닝 패턴 P2에서의 목표 유량과 공급 시간은, 미리 기준 상태로 설정되어 있지만, 4개의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6의 각각의 목표 유량과 공급 시간, 설비의 설치 시에 사용자가 설정한다. 그리고 상기 기준 상태는 설정 입력 장치로서의 조작탁자 HS로부터 변경 설정 가능하게 구성되어 있다.
즉, 사용자는, 4개의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6의 각각에 대하여, 패턴 특정 파라미터로서, 불활성 기체 공급부 F로부터 불활성 기체를 용기(50)에 공급하는 목표 유량과 불활성 기체 공급부 F로부터 불활성 기체를 용기(50)에 공급하는 공급 시간을 조작탁자 HS에서, 변경 설정하면서, 4개의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6의 각각을 시험적으로 사용한다. 그리고 사용자는 4개의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6 중 바람직한 패턴에 대한 목표 유량과 공급 시간을 설정하고, 또한 그 바람직한 패턴을 선택한다. 즉, 본 실시예에서는, 조작탁자 HS가 패턴 특정 파라미터를 인위적으로 설정 입력하는 설정 입력 장치에 상당한다.
(퍼지 패턴)
다음에, 노즐 퍼지 패턴 P1, 클리닝 패턴 P2, 및 4개의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6의 각각에 대하여, 도 7에 기초하여 설명한다.
노즐 퍼지 패턴 P1은, 전술한 수납 지령이 지령된 시점으로부터 수납전 공급 시간으로서 설정된 공급 시간 t1의 사이, 노즐 정화용의 목표 유량으로서 설정된 목표 유량 11에 의해 질소 가스를 공급하는 패턴으로서 정해져 있다.
공급 시간 t1은, 예를 들면, 5초에 설정되고, 목표 유량 11은, 예를 들면, 30리터/분에 설정된다.
클리닝 패턴 P2는, 조작탁자 HS에 의해 클리닝 개시 지령이 지령되고 나서 설치 초기 공급 시간으로서 설정된 공급 시간 t2의 사이, 클리닝용의 목표 유량으로서 설정된 목표 유량 L2에 의해 질소 가스를 공급하는 패턴으로서 정해져 있다.
공급 시간 t2는, 예를 들면, 1800초에 설정되고, 목표 유량 L2는, 예를 들면, 20리터/분에 설정된다.
4개의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6 각각에 대해서는, 보관용의 목표 유량으로서, 초기 목표 유량값 Lα와, 그 초기 목표 유량값 Lα보다도 작은 정상 목표 유량값 Lβ가 설정되어 있다.
초기 목표 유량값 Lα는, 예를 들면, 50리터/분에 설정되고, 정상 목표 유량값 Lβ는 예를 들면, 5리터/분에 설정된다. 전술한 바와 같이, 초기 목표 유량값 Lα는 및 정상 목표 유량값 Lβ는 사용자에 의해 변경 설정된다.
그리고 4개의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6의 각각은, 용기(50)에 질소 가스를 공급할 때는, 먼저, 목표 유량값을 초기 목표 유량값 Lα에 설정하고, 그 후, 목표 유량값을 정상 목표 유량값 Lβ에 설정 변경하는 점이 공통되지만, 서로 다른 패턴으로 정해져 있다.
이하, 4개의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6을, 제1 보관용 퍼지 패턴 P3, 제2 보관용 퍼지 패턴 P4, 제3 보관용 퍼지 패턴 P5, 및 제4 보관용 퍼지 패턴 P6로 기재하여, 각각의 패턴에 대하여 설명한다.
제1 보관용 퍼지 패턴 P3은, 용기(50)를 수납부(10S)에 수납하는 것이 완료한 용기 수납 완료 시점을 시작점으로 하고, 용기 수납 완료 시점으로부터 설정 공급 시간 t3의 사이, 초기 목표 유량값 Lα로서의 공급 유량 L31에 의해 질소 가스를 공급하고, 그 후, 한 쌍의 재고 센서(10z)가 용기(50)의 존재를 검출하고 있는 동안, 정상 목표 유량값 Lβ로서의 공급 유량 L32에 의해 질소 가스를 공급하는 것을 계속하는 패턴으로서 정해져 있다.
그리고 설정 공급 시간 t3은 초기값으로서 예를 들면, 5분에 설정된다. 전술한 바와 같이, 설정 공급 시간 t3은 사용자에 의해 변경 설정된다.
제2 보관용 퍼지 패턴 P4는, 용기 수납 완료 시점으로부터 설정 공급 시간 t41의 사이, 초기 목표 유량값 Lα로서의 공급 유량 L41에 의해 질소 가스를 공급하고, 그 후에는, 한 쌍의 재고 센서(10z)가 용기(50)의 존재를 검출하고 있는 동안, 정상 목표 유량값 Lβ로서의 공급 유량 L42에 의해 질소 가스를 간헐적으로 공급하는 것을 계속하는 패턴으로 정해져 있다.
즉, 제2 보관용 퍼지 패턴 P4는, 목표 유량을, 초기 목표 유량값 Lα로서의 공급 유량 L41로부터 정상 목표 유량값 Lβ로서의 유량 L42로 변경한 후에는, 설정 공급 시간 t43이 경과하면 질소 가스의 공급을 설정 휴지 시간 동안 정지하는 것을 반복하는 패턴으로 정해져 있다.
즉, 목표 유량을, 초기 목표 유량값 Lα로서의 공급 유량 L41로부터 정상 목표 유량값 Lβ로서의 공급 유량 L42로 변경한 후에는, 반복 주기 t42 중, 설정 공급 시간 t43의 사이는, 공급 유량 L42에 의해 질소 가스를 공급하고, 설정 휴지 시간 t42 - t43의 사이는, 질소 가스의 공급을 정지하는 것이, 한 쌍의 재고 센서(10z)에 의해 용기(50)를 검출하고 있는 동안, 반복 실행된다.
그리고 설정 공급 시간 t41은 초기값으로서 예를 들면, 5분에 설정되고, 반복 주기 t42는 초기값으로서 예를 들면, 10분에 설정되고, 설정 공급 시간 t43은 초기값으로서 예를 들면, 5분에 설정된다. 전술한 바와 같이, 설정 공급 시간 t41, 반복 주기 t42, 및 설정 공급 시간 t43은 사용자에 의해 변경 설정된다.
제3 보관용 퍼지 패턴 P5는, 용기 수납 완료 시점으로부터 설정 공급 시간 t51의 사이, 초기 목표 유량값 Lα로서의 공급 유량 L51에 의해 질소 가스를 공급하고, 이어서, 설정 공급 시간 t52의 사이, 정상 목표 유량값 Lβ로서의 공급 유량 L52에 의해 질소 가스를 공급하는 것을 기본 패턴으로 하고, 이 기본 패턴을, 한 쌍의 재고 센서(10z)가 용기(50)의 존재를 검출하고 있는 동안, 반복하는 패턴으로 정하고 있다.
그리고 설정 공급 시간 t51은 초기값으로서 예를 들면, 5분에 설정되고, 설정 공급 시간 t52는 초기값으로서 예를 들면, 5분에 설정된다. 전술한 바와 같이, 설정 공급 시간 t51 및 설정 공급 시간 t52는 사용자에 의해 변경 설정된다.
제4 보관용 퍼지 패턴 P6는, 용기 수납 완료 시점으로부터 설정 공급 시간 t61의 사이, 초기 목표 유량값 Lα로서의 공급 유량 L61에 의해 질소 가스를 공급하고, 이어서, 설정 공급 시간 t64 - t61의 사이, 정상 목표 유량값 Lβ로서의 공급 유량 L62에 의해 질소 가스를 간헐적으로 공급하는 것을 기본 패턴으로 하고, 이 기본 패턴을, 한 쌍의 재고 센서(10z)가 용기(50)의 존재를 검출하고 있는 동안, 계속하는 패턴으로 정해져 있다.
즉, 제4 보관용 퍼지 패턴 P6에는, 초기 목표 유량값 Lα로서의 공급 유량 L61에 의해 질소 가스를 공급하는 것을 반복하는 주기인 제1 반복 주기 t64, 및 정상 목표 유량값 Lβ로서의 공급 유량 L62에 의해 질소 가스를 간헐적으로 공급하는 것을 반복하는 주기인 제2 반복 주기 t62가 설정되어 있다.
그리고 용기 수납 완료 시점 및 제1 반복 주기 t64의 개시 시점에서는, 설정 공급 시간 t61의 사이, 초기 목표 유량값 Lα로서의 공급 유량 L61에 의해 질소 가스가 공급되고, 초기 목표 유량값 Lα로서의 공급 유량 L61에서의 질소 가스의 공급이 종료된 후에는, 설정 공급 시간 t63의 사이, 정상 목표 유량값 Lβ로서의 공급 유량 L62에 의해 질소 가스를 공급하는 것과, 설정 휴지 시간 t62 - t63의 사이, 질소 가스의 공급을 정지하는 것이 교대로 반복 실행된다.
그리고 설정 공급 시간 t61은 초기값으로서 예를 들면, 5분에 설정되고, 제1 반복 주기 t64는 초기값으로서 예를 들면, 30분에 설정되고, 제2 반복 주기 t62는 초기값으로서 예를 들면, 5분에 설정된다.
이 제4 보관용 퍼지 패턴 P6에 있어서는, 제1 반복 주기 t64, 및 제2 반복 주기 t62도 사용자에 의해 변경 설정된다.
본 실시예에서는, 보관용 퍼지 패턴 P3~P6 중 어느 하나의 퍼지 패턴에 따라 퍼지를 실행하는 형태가, 미리 정해진 공급 형태로 용기(50)에 대하여 불활성 기체를 공급하는 모드인 용기 보관 모드에 상당한다.
즉, 퍼지 컨트롤러 H1은, 용기(50)가 수납된 수납부(10S)에서의 불활성 기체 공급부 F에 있어서, 용기 보관 모드에 따라 매스 플로 컨트롤러(40)를 작동시키는 제1 공급 공정을 실행하도록 구성되어 있다.
본 실시예에서는, 청소 지령 장치로서의 조작탁자 HS에 의해 선택된 청소 대상의 불활성 기체 공급부 F가 특정 공급부에 상당한다. 또한, 클리닝 패턴 P2에 따라 퍼지를 실행하는 형태가, 배출 노즐(10i)로부터 특정 공급부용 공급 형태로 불활성 기체를 공급하는 모드인 특정 공급부용 공급 모드에 상당한다.
즉, 퍼지 컨트롤러 H1은, 조작탁자 HS에 의해 선택된 특정 공급부에서, 특정 공급부용 공급 모드에 따라 매스 플로 컨트롤러(40)의 작동을 제어하는 제2 공급 공정을 실행하도록 구성되어 있다.
또한, 본 실시예에서는, 초기 목표 유량값 Lα가 제1 목표 유량값에 상당하여, 정상 목표 유량값 Lβ가 제2 목표 유량값에 상당한다.
즉, 제어 장치 H는, 수납부(10S)에 수납된 용기(50)에 대한 불활성 기체의 공급 유량을 초기 목표 유량값 Lα에 조정하기 위해 매스 플로 컨트롤러(40)를 작동시키는 제1 공급 상태와, 상기 공급 유량을 초기 목표 유량값 Lα보다 작은 정상 목표 유량값 Lβ에 조정하기 위해 매스 플로 컨트롤러(40)를 작동시키는 제2 공급 상태를 전환하는 형태로, 매스 플로 컨트롤러(40)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
그리고 제어 장치 H는, 용기(50)가 수납부(10S)에 반송되었을 때, 상기 수납부(10S)의 불활성 기체 공급부 F에 있어서, 용기(50)가 수납부(10S)에 수납된 시점을 시작점으로 제1 공급 상태로 하고, 그 후, 제2 공급 상태로 전환하는 패턴인 절약 공급 패턴에 따라, 매스 플로 컨트롤러(40)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
(제어 장치 H에 의한 퍼지 패턴의 선택)
본 실시예에서는, 제어 장치 H로서의 퍼지 컨트롤러 H1이, 절약 공급 패턴으로서의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6을 포함하는, 복수의 퍼지 패턴(P1~P6)을 기억 가능하도록 구성되어 있다.
조작탁자 HS는, 용기(50)를 수납부(10S)에 수납한 수납 상태에서, 보관용 퍼지 패턴 P3~P6에 관한 정보를 표시하고, 도시하지 않은 입력 장치(마우스, 키보드 등)에 의해, 어느 보관용 퍼지 패턴을 사용할지를 인위적으로 선택할 수 있도록 구성되어 있다. 즉, 보관용 퍼지 패턴 P3~P6 중 어느 것을 사용할지를 인위적으로 선택하는 패턴 선택부로서 조작탁자 HS가 설치되고, 퍼지 컨트롤러 H1이, 복수의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6 중 조작탁자 HS에 의해 미리 선택된 절약 공급 패턴에 따라 매스 플로 컨트롤러(40)의 작동을 제어하여, 용기(50) 내에 불활성 기체를 공급하도록 구성되어 있다.
다음에, 제어 장치 H가 실행하는 제어에 대하여, 도 8 및 도 9에 기초하여 설명한다.
물품 보관 설비가 설치되어 시스템이 기동 되었을 때, 퍼지 컨트롤러 H1은, 먼저, 사용자에 퍼지 패턴의 선택 및 설정을 시키기 위해 퍼지 패턴 설정 처리를 실행한다.
이 퍼지 패턴 설정 처리는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 먼저 「노즐 퍼지 패턴 P1에 대하여 패턴 특정 파라미터의 설정 입력이 필요한가 아닌가」를 사용자에 확인한다(스텝#11). 스텝#11에 의해 Yes가 선택되면, 퍼지 컨트롤러 H1은, 조작탁자 HS에 대하여, 노즐 퍼지 패턴 P1에 대한 패턴 특정 파라미터로서 목표 유량(공급 유량)과 공급 시간과의 입력을 촉구하는 입력 화면을 표시하게 하는 표시 지령을 지령하고, 사용자는, 표시된 입력 화면에서, 목표 유량(공급 유량)과 공급 시간을 설정 입력한다(스텝#12).
스텝#11에 있어서 No가 선택된 경우, 또는 스텝#12의 설정 입력의 완료에 계속하여, 퍼지 컨트롤러 H1은, 「클리닝 패턴 P2에 대하여 패턴 특정 파라미터의 설정 입력이 필요한가 아닌가」를 사용자에 확인한다(스텝#13). 스텝#13에 의해 Yes가 선택되면, 퍼지 컨트롤러 H1은, 조작탁자 HS에 대하여, 클리닝 패턴 P2에 대한 패턴 특정 파라미터로서 목표 유량(공급 유량)과 공급 시간과의 입력을 촉구하는 입력 화면을 표시하게 하는 표시 지령을 지령하고, 사용자는, 표시된 입력 화면에서, 목표 유량(공급 유량)과 공급 시간을 설정 입력한다(스텝#14).
스텝#13에서 No가 선택된 경우, 또는 스텝#14의 설정 입력의 완료에 계속하여, 퍼지 컨트롤러 H1은, 보관용 퍼지 패턴에 대해, P3~P6 중 어느 것을 사용할지가 선택되어 있는지를 확인하는 선택 확인 처리를 실행한다(스텝#15). 스텝#15에 의해 P3~P6 중 어느 것을 사용할지가 선택되어 있지 않은 것으로 판별되면, 퍼지 컨트롤러 H1은, 조작탁자 HS에 대하여, 보관용 퍼지 패턴 P3~P6 중 어느 것을 사용할지의 선택을 촉구하는 선택 입력 화면을 표시하게 하는 표시 지령을 지령하고, 사용자는, 표시된 선택 입력 화면에서, 보관용 퍼지 패턴 P3~P6 중 사용할 퍼지 패턴을 선택 입력한다(스텝#16).
스텝#15에 있어서 Yes로 판별된 경우, 또는 스텝#16의 설정 입력의 완료에 계속하여, 퍼지 컨트롤러 H1은, 「선택된 보관용 퍼지 패턴에 대하여 패턴 특정 파라미터의 설정 입력이 필요한가 아닌가」를 사용자에 확인한다(스텝#17). 스텝#17에 의해 Yes가 선택되면, 퍼지 컨트롤러 H1은, 조작탁자 HS에 대하여, 선택된 퍼지 패턴(P3~P6 중 어느 하나)에 대한 패턴 특정 파라미터로서 목표 유량(공급 유량)과 공급 시간과의 입력을 촉구하는 입력 화면을 표시하게 하는 표시 지령을 지령하고, 사용자는, 표시된 입력 화면에서, 목표 유량(공급 유량)과 공급 시간을 설정 입력한다(스텝#18).
그리고 상기한 퍼지 패턴 설정 처리는, 물품 보관 설비가 설치되어 시스템이 기동 되었을 때 외에, 사용자의 갱신 설정 지령에 의해서도 실행된다.
다음에, 도 9의 흐름도에 기초하여, 물품 보관 설비의 설치 후에서의 설비의 운전을 나타내는 처리의 흐름을 설명한다.
먼저, 퍼지 컨트롤러 H1은, 청소 지령 장치(본 예에서는 조작탁자 HS)에 의해 청소 개시가 지령되었는지의 여부를 판별한다(스텝#21). 스텝#21에서 청소 개시가 지령되어 있지 않은 것으로 판별되면, 계속해서 용기(50)를 수납하는 수납 지령이 지령되었는지의 여부를 판별한다(스텝#22). 스텝#22에서 수납 지령이 지령된 것으로 판별되면, 퍼지 컨트롤러 H1은, 노즐 퍼지 패턴 P1로서 설정된 패턴에 따라서 매스 플로 컨트롤러(40)를 제어하여, 배출 노즐(10i)을 청정화한다(스텝#23). 노즐 퍼지 패턴 P1에 의한 퍼지는, 수납전 설정 시간으로서의 공급 시간 t1 사이에 계속된다(스텝#24). 그리고 공급 시간 t1이 경과한 것으로 판별되면, 퍼지 컨트롤러 H1은, 매스 플로 컨트롤러(40)에 대하여 퍼지를 종료하는 퍼지 종료 지령을 지령하고, 퍼지 완료 신호를 스토커 컨트롤러 H2에 출력한다(스텝#25).
이어서, 퍼지 컨트롤러 H1은, 스텝#16(도 8 참조)에서 선택된 퍼지 패턴에 따라 용기(50)가 수납된 수납부(10S)에 대응하는 매스 플로 컨트롤러(40)를 제어하여, 상기 용기(50)에 질소 가스를 공급한다(스텝#26). 스텝#26에서 지령된 퍼지는, 수납부(10S)에 용기(50)가 존재하는 동안 계속된다(스텝#27). 스텝#27에서, 수납부(10S)에 용기(50)가 존재하지 않는 상태인 것으로 판별되면, 퍼지 컨트롤러 H1은, 그 수납부(10S)에 대응하는 매스 플로 컨트롤러(40)에 대하여 퍼지를 종료하는 퍼지 종료 지령을 지령하고, 퍼지 완료 신호를 스토커 컨트롤러 H2에 출력한다(스텝#28).
또한, 스텝#21에서, 청소 개시가 지령된 것으로 판별되면, 클리닝 패턴 P2로서 설정된 패턴에 따라서 매스 플로 컨트롤러(40)를 제어하여, 배출 노즐(10i)이나 공급 배관 Li 등을 청정화한다(스텝#29).
스텝#28의 처리의 완료 또는 스텝#29의 처리의 완료에 계속해서, 또는 스텝#22에서 수납 지령이 지령되어 있지 않은 것으로 판별된 경우에는, 상기 플로우를 완료하고 리턴한다.
(유량 억제 처리에 대하여)
본 실시예에서, 퍼지 컨트롤러 H1은, 제1 채널 CH1에 속하는 모든 불활성 기체 공급부 F에 대하여 공급 가능한 최대 허용 유량 Lmax를 기억하도록 구성되어 있다.
그리고 퍼지 컨트롤러 H1은, 일군의 불활성 기체 공급부 F(본 예에서는, 제1 채널 CH1에 속하는 모든 불활성 기체 공급부 F)에 대한 절약 공급 패턴에 따라 설정되는 질소 가스의 목표 유량의 합계 Ltotal이, 최대 허용 유량 Lmax 이상으로 되는 경우에는, 유량 억제 처리를 실행한다. 본 실시예에서는, 유량 억제 처리는, 상기 일군의 불활성 기체 공급부 F의 모두에 대한 목표 유량을 저감시키는 처리이며, 구체적으로는, 다음의 식(1)에 따라 목표 유량을 갱신한다.
목표 유량=목표 유량×(최대 허용 유량 Lmax)/(목표 유량의 합계 Ltotal) ....(1)
즉, 퍼지 컨트롤러 H1이, 예를 들면, 일군의 불활성 기체 공급부 F에 대하여 절약 공급 패턴에 따라 설정되는 질소 가스의 목표 유량의 합계가 최대 허용 유량 이상으로 되는 경우, 또는 제1 분기 공급 배관 Lb1로부터 불활성 기체 공급부 F에 이를 때까지의 배관 저항이 큰 불활성 기체 공급부 F와 작은 불활성 기체 공급부 F가 존재하고, 제1 분기 공급 배관 Lb1로부터 공급되는 불활성 기체가 배관 저항이 작은 불활성 기체 공급부 F에 우선적으로 통류함으로써 배관 저항이 큰 불활성 기체 공급부 F의 유량이 목표 유량에 대하여 부족한 경우에는, 유량 억제 처리를 실행하여, 일군의 불활성 기체 공급부 F의 모두에 대한 불활성 기체의 목표 유량을 일정한 저감율로 저감시키도록 구성되어 있다.
본 실시예의 경우, 상기 저감율은, 일군의 불활성 기체 공급부 F의 모든 목표 유량의 합계가 최대 허용 유량 Lmax로 되도록 설정된다.
그리고 상기 설명에서는 제1 채널 CH1를 대상으로 하는 경우를 설명하였으나, 제2 채널 CH2에 대해서도 마찬가지이다.
〔다른 실시예〕
(1) 상기 실시예에서는, 반송 용기(50)를 FOUP으로 하고, 수용하는 기판을 반도체 웨이퍼 W로 하고, 불활성 기체로서 반송 용기에 질소 가스를 공급하는 구성을 예시했지만, 본 발명의 실시예는 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 수용하는 기판을 레티클(reticle)로 하고, 반송 용기(50)를 레티클 용기로 해도 된다. 또한, 반송 용기에 공급하는 불활성 기체로서는, 질소 가스 이외에도 아르곤 가스 등, 수용되는 기판에 대하여 반응성이 낮은 각종 기체를 사용할 수 있다.
(2) 상기 실시예에서는, 유량 검출 장치를 매스 플로 컨트롤러(40)에 내장하는 상태로 설치하는 구성을 예시했지만, 본 발명의 실시예는 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 유량 검출 장치를 공급 배관 Li에 구비하는 구성으로 해도 된다.
(3) 상기 실시예에서는, 특정 공급부 선택부가, 청소 지령을 인위적인 조작으로 지령하는 청소 지령 장치인 구성을 예시했지만, 특정 공급부 선택부로서, 청소 지령 장치 이외의 각종 선택 장치를 채용할 수 있다. 예를 들면, 특정 공급부 선택부가, 불활성 기체의 통류 상태를 시험할 때의 시험 대상의 불활성 기체 공급부를 특정 공급부로서 선택하는 시험용 공급부 선택 장치인 구성 등, 각종 구성이 고려된다.
(4) 상기 실시예에서는, 보관용 퍼지 패턴 P3~P6 중 어느 것을 사용할지를, 패턴 선택부로서의 조작탁자 HS를 사용하여 인위적으로 선택하는 구성을 예시했지만, 본 발명의 실시예는 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 퍼지 컨트롤러 H1이, 수납되는 용기(50)의 종별이나 수납되는 용기(50)에 수용되는 기판의 상태에 따라 보관용 퍼지 패턴 P3~P6 중 어느 것을 사용할지를 판별하고, 그 판별 결과에 따라 보관용 퍼지 패턴 P3~P6 중 어느 것을 사용할지를 선택하도록 구성해도 된다. 이 경우, 패턴 선택부는, 퍼지 컨트롤러 H1에 프로그램 모듈(module)로서 구비된다.
(5) 상기 실시예에서는, 보관용 퍼지 패턴 P3~P6에 대하여, 패턴 특정 파라미터로서, 불활성 기체 공급부 F로부터 불활성 기체를 용기(50)에 공급하는 공급 시간과 불활성 기체 공급부 F로부터 불활성 기체를 용기(50)에 공급하는 공급 유량을 변경 설정 가능하게 구성하였지만, 상기 보관용 퍼지 패턴 P3~P6에 더하여, 노즐 퍼지 패턴 P1 및 클리닝 패턴 P2에 대해서도, 패턴 특정 파라미터로서의 공급 시간 및 공급 유량을 변경 설정 가능하게 구성할 수 있다.
(6) 상기 실시예에서는, 퍼지 컨트롤러 H1이, 유량 억제 처리에서, 일군의 불활성 기체 공급부 F의 모두에 대한 목표 유량을 일정한 저감율로 저감시키도록 구성하였지만, 본 발명의 실시예는 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 공급 유량값으로서 초기 목표 유량값 Lα가 설정되어 있는 불활성 기체 공급부 F에 대하여만 목표 유량을 저감시키도록 구성하거나, 용기(50)에 수용되고 있는 반도체 웨이퍼 W의 상태를 관리하고, 불활성 기체의 공급량을 저감시켜도 반도체 웨이퍼 W의 오염 또는 손상이나 열화가 진행할 우려가 적은 용기(50)가 수납되어 있는 수납부(10S)에 대응하는 불활성 기체 공급부 F를 선택하여 목표 유량을 저감시키는 등, 목표 유량을 저감시키는 불활성 기체 공급부 F의 선택 방법에 대해서는 용기(50)에 수용되는 반도체 웨이퍼 W에 대한 영향이 허용 한도 내에 안정되는 한에 있어서 다양한 방법을 설정할 수 있다.
(7) 상기 실시예에서는, 유량 억제 처리로서, 식(1)에 기초하여 목표 유량을 갱신하는 구성으로 하였으나, 본 발명의 실시예는 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 저감율을 일정값(예를 들면, 15%)에 고정하고, 일군의 불활성 기체 공급부 F에 대한 절약 공급 패턴에 따라 설정되는 질소 가스의 목표 유량의 합계 Ltotal이 최대 허용 유량 Lmax 이상으로 되는 경우에는, 일군의 불활성 기체 공급부 F의 모두에 대한 목표 유량을 상기 일정값만큼 저감시키도록 구성해도 된다.
(8) 상기 실시예에서는, 용기(50)에 대하여 공급하는 불활성 기체의 목표 유량을 제1 목표 유량값과 상기 제1 목표 유량값보다 작은 제2 목표 유량값의 2단계로 설정하도록 구성하였지만, 본 발명의 실시예는 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 불활성 기체의 목표 유량을 3단계 또는 그 이상의 단계로 나누어 설정하고, 제1 목표 유량값의 후에 제2 목표 유량값, 제3 목표 유량값(또는 그 이상의 목표 유량값)을 순서대로 전환하는 상태로 매스 플로 컨트롤러(40)를 작동시키도록 구성해도 된다.
(9) 상기 실시예에서는, 퍼지 컨트롤러 H1이, 일군의 불활성 기체 공급부 F에 대한 절약 공급 패턴에 따라 설정되는 질소 가스의 목표 유량의 합계 Ltota1이 최대 허용 유량 Lmax 이상으로 되는 경우에는, 일군의 불활성 기체 공급부 F의 모두에 대한 목표 유량을 저감시키는 유량 억제 처리를 실행하도록 구성하였지만, 본 발명의 실시예는 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 목표 유량을 변경시키지 않는 상태로 질소 가스를 공급하고, 매스 플로우 컨트롤러(40)가 유량 부족 상태로서 에러를 출력한 경우에, 그 에러를 리셋하는 동시에, 퍼지 컨트롤러 H1에 의해 일군의 불활성 기체 공급부 F의 일부 또는 모든 불활성 기체의 목표 유량을 저감시키도록 매스 플로 컨트롤러(40)에 지령하도록 구성해도 된다.
(10) 상기 실시예에서는, 제1 분기 공급 배관 Lb1로부터 질소 가스를 공급하는 12개의 불활성 기체 공급부 F를 제1 채널 CH1로 하고, 제2 분기 공급 배관 Lb2로부터 질소 가스를 공급하는 12개의 불활성 기체 공급부 F를 제2 채널 CH2로 하는 상태로, 퍼지 컨트롤러 H1이, 이들 제1 채널 CH1 또는 제2 채널 CH2를 대상으로 하여, 절약 공급 패턴에 따라 설정되는 질소 가스의 목표 유량의 합계 Ltota1이 최대 허용 유량 Lmax 이상으로 되는 경우에는, 일군의 불활성 기체 공급부 F의 모두에 대한 목표 유량을 저감시키는 유량 억제 처리를 실행하도록 구성하였지만, 본 발명의 실시예는 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제1 분기 공급 배관 Lb1로부터 질소 가스가 공급되는 12개의 불활성 기체 공급부 F와 제2 분기 공급 배관 Lb2로부터 질소 가스가 공급되는 12개의 불활성 기체 공급부 F의 양쪽을 포함하도록 일군의 불활성 기체 공급부 F를 설정해도 된다. 또한, 상기 실시예에서는, 채널을 2개 구비하는 구성을 설명하였으나, 채널을 단일 또는 3개 이상 구비하는 구성으로 해도 된다. 또한, 채널을 1개만 구비하는 구성인 경우, 원료 가스 공급 배관 Lm으로부터 공급 배관 Ls가 분기하는 구성으로 해도 된다.
(11) 상기 실시예에서는, 용기(50)를 수납하는 수납부로서, 보관 선반(10)의 수납부(10S)를 예시했지만, 수납부로서는, 예를 들면, 호이스트 식의 반송차 D의 가이드 레일 G의 가로측 옆부분에 설치한 수납부이어도 좋다.
(12) 상기 실시예에서는, 4개의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6을 예시했지만, 보관용 퍼지 패턴으로서는, 예를 들면, 초기 목표 유량값 Lα에 의해 불활성 가스를 공급하는 것을 간헐적으로 행하는 패턴 등, 각종 패턴을 사용하도록 해도 된다.
10S 수납부
10i 배출구
20 반송 장치
40 유량 조절 장치
50 반송 용기
F 불활성 기체 공급부
H 제어 장치
HS 패턴 선택부, 청소 지령 장치
Lα 제1 목표 유량값
Lβ 제2 목표 유량값
Lmax 최대 허용 유량
Lb1, Lb2 공급원
P3~P6 절약 공급 패턴

Claims (16)

  1. 기판을 수용하는 반송 용기를 수납하는 복수의 수납부와,
    상기 복수의 수납부에 대하여 상기 반송 용기를 반송하는 반송 장치와,
    상기 복수의 수납부의 각각에 대하여 설치되고, 불활성 기체를 배출하는 배출구와, 상기 배출구로부터 배출하는 상기 불활성 기체의 유량을 조절할 수 있는 유량 조절 장치를 구비하여, 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기의 내부에 상기 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급부와,
    상기 반송 장치와 상기 유량 조절 장치의 작동을 제어하는 제어 장치를 구비한 물품 보관 설비로서,
    복수의 상기 불활성 기체 공급부 중 일부 또는 전부를 특정 공급부로서 선택하는 특정 공급부 선택부가 설치되고,
    상기 제어 장치가, 상기 반송 용기가 수납된 상기 수납부의 상기 불활성 기체 공급부에서, 미리 정해진 공급 형태로 상기 반송 용기에 대하여 상기 불활성 기체를 공급하는 모드인 용기 보관 모드에 따라, 상기 유량 조절 장치를 작동시키도록 구성되며, 또한
    상기 특정 공급부 선택부에 의해 선택된 상기 특정 공급부에서, 상기 배출구로부터 특정 공급부용 공급 형태로 상기 불활성 기체를 공급하는 모드인 특정 공급부용 공급 모드에 따라, 상기 유량 조절 장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있는 물품 보관 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 불활성 기체를 통류시켜 상기 불활성 기체 공급부를 청소하는 공급 형태가 청소용 공급 형태이며,
    상기 특정 공급부 선택부가, 상기 청소용 공급 형태로 불활성 기체를 공급하는 청소 지령을 인위적인 조작으로 지령하는, 물품 보관 설비.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제어 장치가, 상기 불활성 기체 공급부의 상기 불활성 기체의 공급 유량을 제1 목표 유량값으로 조정하기 위해 상기 유량 조절 장치를 작동시키는 제1 공급 상태와, 상기 불활성 기체 공급부의 상기 불활성 기체의 공급 유량을 상기 제1 목표 유량값보다 작은 제2 목표 유량값으로 조정하기 위해 상기 유량 조절 장치를 작동시키는 제2 공급 상태를, 전환 가능하도록 구성되며,
    상기 반송 용기가 상기 수납부에 반송되었을 때, 상기 수납부의 상기 불활성 기체 공급부에서, 상기 반송 용기가 상기 수납부에 수납된 시점을 시작점으로 상기 제1 공급 상태로 하고, 그 후, 상기 제2 공급 상태로 전환하는 패턴인 절약 공급 패턴에 따라, 상기 유량 조절 장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제어 장치가, 복수 종류의 상기 절약 공급 패턴을 기억 가능하도록 구성되며,
    상기 반송 용기의 수납 상태에서, 상기 복수 종류의 절약 공급 패턴 중 어느 것을 사용할지를 선택하는 패턴 선택부가 설치되고,
    상기 제어 장치가, 상기 복수 종류의 절약 공급 패턴 중 상기 패턴 선택부에 의해 선택된 절약 공급 패턴에 따라, 상기 유량 조절 장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 패턴 선택부가, 상기 복수 종류의 절약 공급 패턴 중 어느 것을 사용할지를, 인위적으로 선택 가능하게 구성되어 있는, 물품 보관 설비.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 절약 공급 패턴을 특정하는 패턴 특정 파라미터로서, 상기 불활성 기체 공급부로부터 상기 불활성 기체를 상기 반송 용기에 공급하는 공급 시간과, 상기 불활성 기체 공급부로부터 상기 불활성 기체를 상기 반송 용기에 공급하는 공급 유량이 변경 설정 가능하며, 상기 패턴 특정 파라미터를 인위적으로 설정 입력하는 설정 입력 장치가 설치되어 있는, 물품 보관 설비.
  7. 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 불활성 기체의 공급원이, 상기 복수의 수납부 중 일군의 수납부에 대응하는 일군의 상기 불활성 기체 공급부에 대하여, 상기 불활성 기체를 공급하도록 설치되고,
    상기 공급원으로부터 상기 일군의 불활성 기체 공급부에 공급 가능한 최대 허용 유량이 설정되고,
    상기 제어 장치가, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 상기 불활성 기체의 목표 유량의 합계가 상기 최대 허용 유량 이상으로 되는 경우에는, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 일부 또는 모든 상기 불활성 기체의 목표 유량을 저감시키는 유량 억제 처리를 실행하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제어 장치가, 상기 유량 억제 처리에 있어서, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 모두에 대해 상기 목표 유량을 일정한 저감율로 저감시키도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.
  9. 물품 보관 설비를 이용한 물품 보관 방법으로서,
    상기 물품 보관 설비는,
    기판을 수용하는 반송 용기를 수납하는 복수의 수납부와,
    상기 복수의 수납부에 대하여 상기 반송 용기를 반송하는 반송 장치와,
    상기 복수의 수납부의 각각에 대하여 설치되고, 불활성 기체를 배출하는 배출구와, 상기 배출구로부터 배출하는 상기 불활성 기체의 유량을 조절할 수 있는 유량 조절 장치를 구비하여, 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기의 내부에 상기 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급부와,
    상기 반송 장치와 상기 유량 조절 장치의 작동을 제어하는 제어 장치와,
    복수의 상기 불활성 기체 공급부 중 일부 또는 전부를 특정 공급부로서 선택하는 특정 공급부 선택부를 구비하며,
    상기 제어 장치에 의해 실행되는 공정으로서,
    상기 반송 용기가 수납된 상기 수납부의 상기 불활성 기체 공급부에서, 미리 정해진 공급 형태로 상기 반송 용기에 대하여 상기 불활성 기체를 공급하는 모드인 용기 보관 모드에 따라, 상기 유량 조절 장치를 작동시키는 제1 공급 공정과,
    상기 특정 공급부 선택부에 의해 선택된 상기 특정 공급부에서, 상기 배출구로부터 특정 공급부용 공급 형태로 상기 불활성 기체를 공급하는 모드인 특정 공급부용 공급 모드에 따라, 상기 유량 조절 장치의 작동을 제어하는 제2 공급 공정을 포함하는 물품 보관 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 불활성 기체를 통류시켜 상기 불활성 기체 공급부를 청소하는 공급 형태가, 청소용 공급 형태이며,
    상기 특정 공급부 선택부가, 상기 청소용 공급 형태로 불활성 기체를 공급하는 청소 지령을, 인위적인 조작으로 지령하는 청소 지령 장치인, 물품 보관 방법.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 불활성 기체 공급부의 상기 불활성 기체의 공급 유량을 제1 목표 유량값으로 조정하기 위해 상기 유량 조절 장치를 작동시키는 공급 상태가 제1 공급 상태이고, 상기 불활성 기체 공급부의 상기 불활성 기체의 공급 유량을 상기 제1 목표 유량값보다 작은 제2 목표 유량값으로 조정하기 위해 상기 유량 조절 장치를 작동시키는 공급 상태가 제2 공급 상태이며,
    상기 제1 공급 공정에서는, 상기 반송 용기가 상기 수납부에 반송되었을 때, 상기 수납부의 상기 불활성 기체 공급부에서, 상기 반송 용기가 상기 수납부에 수납된 시점을 시작점으로 상기 제1 공급 상태로 하고, 그 후, 상기 제2 공급 상태로 전환하는 패턴인 절약 공급 패턴에 따라, 상기 유량 조절 장치의 작동을 제어하는, 물품 보관 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제어 장치가, 복수 종류의 상기 절약 공급 패턴을 기억 가능하도록 구성되며,
    상기 반송 용기의 수납 상태에서, 상기 복수 종류의 절약 공급 패턴 중 어느 것을 사용할지를 선택하는 패턴 선택부가, 상기 물품 보관 설비에 설치되고,
    상기 제1 공급 공정에서는, 상기 복수 종류의 절약 공급 패턴 중 상기 패턴 선택부에 의해 선택된 절약 공급 패턴에 따라, 상기 유량 조절 장치의 작동을 제어하는, 물품 보관 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 패턴 선택부가, 상기 복수 종류의 절약 공급 패턴 중 어느 것을 사용할지를 인위적으로 선택 가능하게 구성되어 있는, 물품 보관 방법.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 절약 공급 패턴을 특정하는 패턴 특정 파라미터로서, 상기 불활성 기체 공급부로부터 상기 불활성 기체를 상기 반송 용기에 공급하는 공급 시간과, 상기 불활성 기체 공급부로부터 상기 불활성 기체를 상기 반송 용기에 공급하는 공급 유량이 변경 설정 가능하며, 상기 패턴 특정 파라미터를 인위적으로 설정 입력하는 설정 입력 장치가 상기 물품 보관 설비에 설치되어 있는, 물품 보관 방법.
  15. 제11항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 물품 보관 설비에는, 상기 불활성 기체의 공급원이, 상기 복수의 수납부 중 일군의 수납부에 대응하는 일군의 상기 불활성 기체 공급부에 대하여, 상기 불활성 기체를 공급하도록 설치되고,
    상기 공급원으로부터 상기 일군의 불활성 기체 공급부에 공급 가능한 최대 허용 유량이 설정되고,
    상기 제1 공급 공정에서는, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 상기 불활성 기체의 목표 유량의 합계가 상기 최대 허용 유량 이상으로 되는 경우에는, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 일부 또는 모든 상기 불활성 기체의 목표 유량을 저감시키는 유량 억제 처리를 실행하는, 물품 보관 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 유량 억제 처리는, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 모두에 대해 상기 목표 유량을 일정한 저감율로 저감시키는 처리인, 물품 보관 방법.
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