KR102179872B1

KR102179872B1 - 물품 보관 설비

Info

Publication number: KR102179872B1
Application number: KR1020140070761A
Authority: KR
Inventors: 히로시 오쓰카; 신스케 가와무라; 다다히로 요시모토
Original assignee: 가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date: 2013-06-26
Filing date: 2014-06-11
Publication date: 2020-11-17
Also published as: SG10201403210VA; CN104249899A; JP5892113B2; US20150000765A1; US9679795B2; TW201506331A; TWI610866B; KR20150001622A; CN104249899B; JP2015012041A

Abstract

간소한 구성이면서, 구역 단위로 설치되어 있는 기기의 유지보수 작업을 행하기 용이한 물품 보관 설비를 제공한다. 복수의 구역용 공급 부분의 각각에 제1 전환 밸브를 설치하고, 복수의 수납부용 공급 부분의 각각에 제2 전환 밸브를 설치하고, 복수의 릴리프로를, 불활성 기체 공급로에서의 제1 전환 밸브가 설치되어 있는 위치보다 기체 공급 방향의 하류이며 또한 제2 전환 밸브가 설치되어 있는 위치보다 기체 공급 방향의 상류측에 접속하고, 복수의 릴리프로의 각각에 구역용 릴리프 전환 밸브를 설치한다.

Description

물품 보관 설비{ARTICLE STORAGE FACILITY}

본 발명은, 용기를 수납하는 복수의 수납부와, 상기 복수의 수납부의 각각에 불활성 기체(氣體)를 공급하는 불활성 기체 공급로와, 상기 불활성 기체 공급로에 의해 상기 수납부에 공급된 불활성 기체를 상기 수납부에 수납된 상기 용기의 내부로 토출(吐出)하는 토출부(吐出部)가 설치되고, 상기 복수의 수납부가, 복수의 구역으로 구분되어 있는 물품 보관 설비에 관한 것이다.

일본 공개특허 1999―168135호 공보(특허 문헌 1)에는, 상기와 같은 물품 보관 설비의 일례가 개시되어 있다. 특허 문헌 1의 물품 보관 설비는, 용기를 수납하는 복수의 수납부와, 복수의 수납부의 각각에 질소 가스나 아르곤 가스 등의 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급로를 구비하여, 불활성 기체 공급로에 의해 불활성 기체를 토출부에 공급하고, 상기 토출부로부터 불활성 기체를 토출하여 수납부에 수납되어 있는 용기 내에 불활성 기체를 공급하도록 구성되어 있다.

상기 특허 문헌 1의 물품 보관 설비에서는, 용기를 수납부에 수납했을 때 불활성 기체를 용기 내에 공급한다. 이로써, 반도체 기판의 품질 관리에 부적합한 산소 가스나 수증기 등을 용기 내로부터 배출시켜, 용기에 수용된 반도체 기판의 산화 등의 문제점이 생기는 것을 억제한다.

이와 같이, 수납부에 수납되어 있는 용기 내에 불활성 기체를 공급하여, 용기 내의 물품의 품질 열화의 방지를 도모하는 물품 보관 설비가 알려져 있다.

상기 특허 문헌 1의 물품 보관 설비에서는, 6개의 수납부가 형성되어 있고, 그 6개의 수납부가, 2개의 구역으로 구분되어 있다. 그리고, 2개의 구역의 각각에 대하여 별개로 불활성 기체 공급로가 설치되어 있다. 그러므로, 2경로의 불활성 기체 공급로의 각각에 대하여 불활성 기체의 공급원이 설치되어 있고, 이 2개의 공급원으로부터 2경로의 불활성 기체 공급로에 별개로 불활성 기체가 공급되고 있다.

이와 같은 물품 보관 설비에 있어서, 2경로의 불활성 기체 공급로를 공통의 기간(基幹) 공급 부분에 접속하고, 단일의 가스 공급원으로부터 2구역에 속하는 수납부에 불활성 기체를 공급함으로써, 공급원의 수를 줄여 물품 보관 설비의 구성의 간소화를 도모하는 것을 생각할 수 있다.

일본 공개특허 1999―168135호 공보

전술한 바와 같이 물품 보관 설비를 구성한 경우, 예를 들면, 구역 단위로 설치되어 있는 메인 밸브(21)에 고장이 생겼기 때문에 상기 메인 밸브(21)를 교환할 때, 메인 밸브(21)가 설치되어 있는 불활성 기체 공급로에 대한 불활성 기체의 공급을 정지시키는 동시에, 상기 불활성 기체 공급로에 압축된 상태로 잔류하고 있는 불활성 기체의 일부를 외부로 배출시켜 불활성 기체 공급로 내의 압력을 외부의 압력에 맞출[배압(排壓)시킬] 필요가 있다. 그러나, 2경로의 불활성 기체 공급로는 공통의 기간 공급 부분에 접속되어 있으므로, 불활성 기체의 공급을 정지시키기 위해 기간 공급 부분에서의 불활성 기체의 공급을 정지시키면, 2경로에도 불활성 기체의 공급이 정지된다. 그 결과, 물품 보관 설비의 모든 수납부에 대한 불활성 기체의 공급이 정지된다. 그러므로, 구역 단위로 설치되어 있는 기기(機器)를 교환하는 경우라도, 물품 보관 설비의 모든 수납부에 대한 불활성 기체의 공급을 정지시킬 필요가 있다.

또한, 전술한 바와 같이 기기를 교환했을 때 불활성 기체 공급로에 불순물이 혼입되어 있을 우려가 있으므로, 운전 재개 전에 불활성 기체 공급로에 불활성 기체를 통류(通流)시켜, 불활성 기체와 함께 불순물을 외부로 배출시키는 예비 운전을 행할 필요가 있다. 이 때, 불활성 기체 공급로를 통류시킨 불활성 기체를 토출부로부터 토출시키면, 수납부에 용기가 수납되어 있으면 토출부로부터 토출하는 불활성 기체와 함께 불순물이 용기에 혼입될 우려가 있다. 그러므로, 예비 운전을 행할 때는, 용기를 수납부로부터 인출하여 둘 필요가 있어, 예비 운전을 위한 사전 준비의 작업이 번거롭다는 문제가 있었다.

이와 같이, 전술한 바와 같이 물품 보관 설비를 구성한 경우, 물품 보관 설비를 간소하게 구성할 수 있을뿐, 구역 단위로 설치되어 있는 기기를 교환하는 경우에는, 상기 기기가 설치되어 있는 구역 이외의 구역에도 영향이 생기므로, 기기의 유지보수 작업을 행하기 어려운 것으로 된다.

상기 문제점을 해결하기 위해, 간소한 구성이면서, 구역 단위로 설치되어 있는 기기의 유지보수 작업을 행하기 용이한 물품 보관 설비의 실현이 요구된다.

본 발명에 관한 물품 보관 설비는,

용기를 수납하는 복수의 수납부;

상기 복수의 수납부의 각각에 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급로; 및

상기 불활성 기체 공급로에 의해 상기 수납부에 공급된 불활성 기체를 상기 수납부에 수납된 상기 용기의 내부로 토출하는 토출부;를 포함하고,

여기서, 상기 복수의 수납부가, 복수의 구역으로 구분되고,

상기 불활성 기체 공급로가, 기간 공급 부분과, 상기 기간 공급 부분으로부터 상기 복수의 구역마다 분기되어 상기 기간 공급 부분을 통류하는 불활성 기체를 상기 복수의 구역마다 공급하는 복수의 구역용 공급 부분과, 상기 구역용 공급 부분을 통류하는 불활성 기체를 상기 구역용 공급 부분에 대응하는 상기 구역에 속하는 상기 복수의 수납부에 별개로 공급하여 상기 토출부로부터 불활성 기체를 토출시키는 복수의 수납부용 공급 부분을 포함하고,

상기 물품 보관 설비는, 또한

상기 복수의 구역용 공급 부분의 각각에 설치되고, 불활성 기체가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능한 제1 전환 밸브;

상기 복수의 구역용 공급 부분의 각각에서의 상기 제1 전환 밸브가 설치되어 있는 위치보다 기체 공급 방향의 하류측에 설치되거나, 또는 상기 복수의 수납부용 공급 부분의 각각에 설치되고, 불활성 기체가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능한 제2 전환 밸브; 및

상기 복수의 구역용 공급 부분의 각각에 접속되어 상기 구역용 공급 부분으로부터 불활성 기체를 배출하기 위한 복수의 릴리프로(relief path);를 구비하고,

상기 복수의 릴리프로가, 상기 불활성 기체 공급로에서의 상기 제1 전환 밸브가 설치되어 있는 위치보다 상기 기체 공급 방향의 하류측이며 또한 상기 제2 전환 밸브가 설치되어 있는 위치보다 상기 기체 공급 방향의 상류측에 접속되고,

상기 복수의 릴리프로의 각각에, 불활성 기체가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능한 구역용 릴리프 전환 밸브가 설치되어 있다.

상기한 구성에 의하면, 불활성 기체 공급로는, 기간 공급 부분으로부터의 불활성 기체를 복수의 구역용 공급 부분에 의해 복수의 구역마다 공급하고, 구역용 공급 부분의 각각에 대하여, 구역용 공급 부분을 통류하는 불활성 기체를 복수의 수납부용 공급 부분에 의해 복수의 수납부에 별개로 공급한다. 그러므로, 1개의 불활성 기체 공급로에 의해 복수의 구역에 속하는 복수의 수납부의 각각에 불활성 기체를 공급할 수 있으므로, 복수의 구역의 각각에 대하여 별개로 불활성 기체 공급로를 설치한 경우와 비교하여, 물품 보관 설비의 구성의 간소화를 도모할 수 있다.

그리고, 구역용 공급 부분에 제1 전환 밸브가 설치되고, 또한 구역용 공급 부분 또는 복수의 수납부용 공급 부분의 각각에, 제2 전환 밸브가 설치되어 있다.

그러므로, 제1 전환 밸브로 구역용 공급 부분에 설치되어 있는 제2 전환 밸브 또는 복수의 수납부용 공급 부분의 각각에 설치되어 있는 제2 전환 밸브를, 폐쇄 상태와 개방 상태로 전환함으로써, 수납부에 불활성 기체를 공급하는 상태와 공급하지 않는 상태로 구역 단위로 전환할 수 있다.

제1 전환 밸브가 설치되어 있는 위치보다 기체 공급 방향의 하류측이며 또한 제2 전환 밸브가 설치되어 있는 위치보다 기체 공급 방향의 상류측의 부분(이하, 구역의 대상 부분이라고 함)에, 릴리프로가 접속되어 있다. 그러므로, 제1 전환 밸브 및 제2 전환 밸브를 폐쇄 상태로 전환하여, 구역 단위로 수납부에 대한 불활성 기체의 공급을 정지하고, 구역용 릴리프 전환 밸브를 개방 상태로 전환함으로써, 구역의 대상 부분에 잔류하는 불활성 기체를 릴리프로로부터 배출하여 구역의 대상 부분만을 배압할 수 있다.

이와 같이, 구역의 대상 부분에 설치된 기기를 교환하는 경우에, 해당하는 구역에 대한 불활성 기체의 공급을 정지하여 배압시키면서, 다른 구역에 대한 불활성 기체의 공급을 계속하여 행할 수 있다.

또한, 제1 전환 밸브 및 구역용 릴리프 전환 밸브를 개방 상태로 전환하고, 제2 전환 밸브를 폐쇄 상태로 전환함으로써, 기간 공급 부분으로부터 구역의 대상 부분에 공급된 불활성 기체를 릴리프로로부터 배출할 수 있다. 따라서, 예를 들면, 구역 단위로 설치되어 있는 기기를 교환한 경우에, 상기 교환 시에 혼입된 불순물을 없애기 위해, 운전 재개 전에 불활성 기체 공급로의 구역의 대상 부분에 불활성 기체를 통류시켜, 불활성 기체와 함께 불순물을 외부로 배출시키는 예비 운전을 행하는 경우에, 불활성 기체가 토출부로부터 토출되지 않으므로, 토출부로부터 토출하는 불활성 기체와 함께 불순물이 용기에 혼입되어 버리는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 예비 운전 시 등에 수납부에 수납되어 있는 용기를 인출할 필요가 없어, 사전 준비의 작업의 번거로움을 저감할 수 있다.

이와 같이, 물품 보관 설비를 간소하게 구성할 수 있는 동시에, 구역 단위로 설치되어 있는 기기를 교환하는 경우에, 상기 기기가 설치되어 있는 구역 이외의 구역에 대한 영향을 저감할 수 있으므로, 기기의 교환 등의 유지보수 작업을 행하기 용이하다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태의 예에 대하여 설명한다.

본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기 복수의 수납부가 설치되는 설치 공간을 덮는 벽체가 설치되고,

상기 구역용 릴리프 전환 밸브가, 인위적인 조작에 의해 상기 개방 상태와 상기 폐쇄 상태로 전환하는 인위적인 조작식의 전환 밸브에 의해 구성되는 동시에, 상기 벽체의 외부에 설치되어 있으면 바람직하다.

상기한 구성에 의하면, 작업자가 구역용 릴리프 전환 밸브를 개방 상태로 전환함으로써, 구역용 공급 부분에 공급된 불활성 기체를 릴리프로로부터 배출시켜, 상기 구역용 공급 부분을 통류하고 있는 불활성 기체의 샘플링을 행할 수 있다.

또한, 설치 공간에는 용기로부터 배출되는 불활성 기체가 충만해 있는 경우가 있지만, 구역용 릴리프 전환 밸브를 벽체의 외부에 설치함으로써, 작업자는 설치 공간에 진입하지 않고 구역용 릴리프 전환 밸브를 전환할 수 있다.

본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기 복수의 릴리프로의 각각에서의 상기 구역용 릴리프 전환 밸브가 설치된 위치보다 상기 기체 배출 방향의 하류측에 접속된 합류용 릴리프로가 설치되고,

상기 합류용 릴리프로에, 인위적인 조작에 의해 불활성 기체가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능한 합류용 릴리프 전환 밸브가 설치되고,

상기 합류용 릴리프 전환 밸브가, 상기 벽체의 외부에 설치되어 있으면 바람직하다.

상기 구성에 의하면, 작업자는 설치 공간에 진입하지 않고 구역용 릴리프 전환 밸브 및 합류용 릴리프 전환 밸브를 전환할 수 있고, 이들 구역용 릴리프 전환 밸브 및 합류용 릴리프 전환 밸브를 개방 상태로 전환함으로써, 불활성 기체를 구역 단위로 배출할 수 있다.

그리고, 구역용 릴리프 전환 밸브와 합류용 릴리프 전환 밸브로 인위적인 조작식의 전환 밸브가 이중으로 형성되어 있고, 2개의 전환 밸브 중 적어도 한쪽을 폐쇄 상태로 전환하면 불활성 기체의 배출을 정지시킬 수 있으므로, 전환 밸브를 폐쇄 상태로 전환하는 것을 인위적인 불찰로 잊는 것에 의한 불활성 기체의 배출을 억제할 수 있다.

본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시형태에 있어서는, 상기 기간 공급 부분에 접속된 기간용 릴리프로가 설치되고,

상기 기간용 릴리프로에, 불활성 기체가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능한 기간용 릴리프 전환 밸브가 구비되어 있는 것이 바람직하다.

상기 구성에 의하면, 작업자가 기간용 릴리프 전환 밸브를 개방 상태로 전환함으로써, 기간 공급 부분에 공급된 불활성 기체를 기간용 릴리프로로부터 배출시켜, 기간용 공급 부분을 통류하고 있는 불활성 기체의 샘플링을 행할 수 있다.

그리고, 구역 단위로 설치된 릴리프로로부터 배출된 샘플링에 기초한 검출 결과와 기간용 릴리프로로부터 배출된 샘플링에 기초한 검출 결과에 기초하여, 기간 공급 부분에 오염원이 있는지 구역용 공급 부분에 오염원이 있는지를 판단하여, 오염원을 특정하는데 유리한 정보를 얻을 수 있다.

도 1은 물품 보관 설비의 종단 측면도이다.
도 2는 동 설비의 일부를 나타낸 종단 정면도이다.
도 3은 수납부의 사시도이다.
도 4는 수납부의 정면도이다.
도 5는 구역에의 불활성 기체의 공급 형태를 나타낸 도면이다.
도 6은 기간 공급 부분과 기간용 릴리프로를 나타낸 도면이다.
도 7은 구역용 공급 부분과 구역용 릴리프로를 나타낸 도면이다.
도 8은 수납부용 공급 부분을 나타낸 도면이다.
도 9는 제어 블록도이다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.

[전체 구성]

도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 보관 설비에는, 용기(50)를 수납하는 수납부(10S)를 복수 구비한 보관 선반(10)과, 용기(50)를 반송(搬送)하는 스태커 크레인(stacker crane)(20)과, 보관 선반(10)[복수의 수납부(10S)]과 스태커 크레인(20)이 설치되는 설치 공간을 덮는 벽체(K)와, 벽체(K)를 관통하는 상태로 설치되어 용기(50)를 탑재 반송하는 입출고 컨베이어(CV)가 설치되어 있다.

그리고, 보관 선반(10)은 대향하는 상태로 한 쌍 설치되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 보관 선반(10)은, 반도체 기판(W)[이하, 기판(W)이라고 함]을 수용하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 용기(50)로서 보관하고 있다.

[용기(50)의 구성]

도 4에 나타낸 바와 같이, 용기(50)는, 기판(W)을 출입시키기 위한 개구를 구비한 케이싱(51)과, 케이싱(51)의 개구를 폐쇄하는 착탈 가능한 커버체(52)를 구비하고 있다.

도 1, 도 2 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 케이싱(51)의 상면에는, 호이스트식(hoist type)의 반송차(搬送車)(D)에 의해 파지(把持)되는 탑 플랜지(53)가 형성되어 있다. 또한, 케이싱(51)의 바닥면에는, 불활성 기체로서의 질소 가스를 용기(50) 내에 주입하기 위한 급기구(50i) 및 질소 가스를 용기(50) 내로부터 배출하기 위한 배기구(50o)가 설치되어 있다. 도시는 생략하지만, 급기구(50i)에는 주입측 개폐 밸브가 설치되고, 배기구(50o)에는 배출측 개폐 밸브가 설치되어 있다.

즉, 용기(50)는, 기판(W)을 수용한 상태로 개구가 커버체(52)에 의해 폐쇄되고, 급기구(50i) 및 배기구(50o)의 각각이 개폐 밸브에 의해 폐쇄됨으로써, 기밀성을 가지도록 구성되어 있다.

급기구(50i)의 주입측 개폐 밸브는, 스프링 등의 가압체에 의해 밸브 폐쇄측으로 가압되어 있고, 급기구(50i)에 공급되는 질소 가스의 토출 압력이 대기압보다 높은 값으로 설정된 설정 밸브 개방 압력 이상으로 되면, 그 압력에 의해 밸브를 개방한다.

또한, 배기구(50o)의 배출측 개폐 밸브는, 스프링 등의 가압체에 의해 밸브 폐쇄측으로 가압되어 있고, 용기(50) 내부의 압력이 대기압보다 높은 값으로 설정된 설정 밸브 개방 압력 이상으로 되면, 그 압력에 의해 밸브를 개방한다.

[스태커 크레인(20)의 구성]

도 1에 나타낸 바와 같이, 스태커 크레인(20)은, 보관 선반(10)의 전면측을 보관 선반(10)의 선반 가로 폭 방향을 따라 주행 이동하는 주행 대차(carriage)(21)와, 그 주행 대차(21)에 세워 설치된 마스트(mast)(22)와, 마스트(22)의 상단에 설치되어 도시하지 않은 상부 가이드 레일과 걸어맞추어지는 상부 프레임(23)과, 상기 마스트(22)에 안내되는 상태로 승강 이동하는 승강대(24)를 구비하고 있다.

승강대(24)에는, 수납부(10S)나 입출고 컨베이어(CV)에 대하여 용기(50)를 이송탑재(transfer)하는 이송탑재 장치(25)가 장비되어 있다.

그리고, 스태커 크레인(20)은, 주행 대차(21)의 주행 이동, 승강대(24)의 승강 이동 및 이송탑재 장치(25)의 이송탑재 작동에 의해, 입출고 컨베이어(CV) 상의 용기(50)를 수납부(10S)에 반송하는 입고 작업, 수납부(10S)의 용기(50)를 입출고 컨베이어(CV) 상으로 반송하는 출고 작업, 및 수납부(10S)의 용기(50)를 다른 수납부(10S)로 반송하는 퇴피 작업을 실행한다.

[수납부(10S)의 구성]

도 2에 나타낸 바와 같이, 보관 선반(10)에는, 수납부(10S)가 상하 방향 및 선반 가로 폭 방향으로 복수 병설되어 있다. 설명을 추가하면, 본 실시형태에서는, 보관 선반(10)에는, 수납부(10S)가 상하 방향으로 8단, 선반 가로 폭 방향으로 9열(도 2에는 4열만 도시하고 있음) 병설되어 있다. 즉, 보관 선반(10)에는, 72개소의 수납부(10S)가 설치되어 있다.

그리고, 도 5에 나타낸 바와 같이, 상하 방향으로 병설된 4단, 선반 가로 폭 방향으로 병설된 3열의 합계 12개소의 수납부(10S)를 1개의 구역(CH)에 속하는 수납부(10S)로 하여, 72개소의 수납부(10S)가 6개의 구역(CH) 중 어느 하나에 속하도록 구분되어 있다. 이와 같이, 보관 선반(10)에 설치된 복수의 수납부(10S)가, 복수(본 예에서는 6개)의 구역(CH)으로 구분되어 있다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 복수의 수납부(10S)의 각각에는, 용기(50)를 탑재 지지하는 탑재 지지부(10a)가 구비되어 있다. 그리고, 수납부(10S)는, 탑재 지지부(10a)에 탑재 지지한 상태로 용기(50)를 수납하게 되어 있다.

또한, 탑재 지지부(10a)에는, 용기(50)의 하면부에 형성된 복수(본 예에서는 3개)의 피걸어맞춤부(도시하지 않음)에 걸어맞추어져 상기 용기(50)를 규정 위치에 위치결정하기 위한 복수(본 예에서는 3개)의 위치 결정 돌기(10b)와, 탑재 지지부(10a) 상에 용기(50)가 탑재되어 있는지의 여부[즉, 용기(50)가 수납부(10S)에 수납되었는지의 여부]를 검출하는 재고 센서(10z)가 설치되어 있다. 본 예에서는, 2개의 재고 센서(10z)가 탑재 지지부(10a)에 설치되어 있다.

또한, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 탑재 지지부(10a)에는, 수납부(10S)에 수납된 용기(50)의 내부에 질소 가스를 공급하는 토출부로서의 토출 노즐(10i)과, 용기(50)의 내부로부터 배출된 기체를 통류하는 배출용 통기체(10o)가 설치되어 있다.

도 4에 나타낸 바와 같이, 토출 노즐(10i)은, 탑재 지지부(10a) 상의 규정 위치에 용기(50)가 탑재된 상태에서, 그 용기(50)의 하면부에 구비된 급기구(50i)에 끼워맞추어지는 개소(箇所)에 설치되어 있다. 또한, 배출용 통기체(10o)는, 탑재 지지부(10a) 상의 규정 위치에 용기(50)가 탑재된 상태에서, 그 용기(50)의 하면부에 구비된 배기구(50o)에 끼워맞추어지는 개소에 설치되어 있다.

즉, 용기(50)가 수납부(10S)에 수납되어 탑재 지지부(10a)에 탑재되면, 위치 결정 돌기(10b)에 의해 수평 방향에서의 위치가 규정 위치에 위치결정되고, 또한 토출 노즐(10i)이 급기구(50i)에 끼워맞추어진 상태로 접속되고, 또한 배출용 통기체(10o)가 배기구(50o)에 끼워맞추어진 상태로 접속된다.

그리고, 용기(50)가 탑재 지지부(10a)에 탑재 지지된 상태에 있어서, 토출 노즐(10i)로부터 대기압보다 높은 값으로 설정된 설정값 이상의 높은 압력의 질소 가스를 토출시킴으로써, 용기(50)의 급기구(50i)로부터 질소 가스를 용기(50)의 내부에 주입하고, 용기(50)의 배기구(50o)로부터 용기(50) 내의 기체를 외부로 배출시킨다.

[질소 가스의 공급 구성]

도 5∼도 8에 나타낸 바와 같이, 물품 보관 설비에는, 복수의 수납부(10S)에 질소 가스를 공급하는 불활성 기체 공급로로서의 질소 가스 공급로(60)가 설치되어 있다. 그리고, 이 질소 가스 공급로(60)는, 한 쌍의 보관 선반(10)의 한쪽에 대하여만 형성되어 있고, 그 한쪽의 보관 선반(10)에만 질소 가스를 공급하게 되어 있다. 다음에, 이 질소 가스 공급로(60)에 대하여 설명한다. 질소 가스 공급로(60)는, 도시하지 않은 질소 가스의 공급원에 접속된 기간 공급 부분(61)과, 그 기간 공급 부분(61)으로부터 구역(CH)에 대응하여 분기되는 구역용 공급 부분(62), 그 구역용 공급 부분(62)으로부터 또한 수납부(10S)에 대응하여 분기되는 수납부용 공급 부분(63)을 구비하고 있다.

또한, 도 5는, 구역(CH)의 각각에 대하여 질소 가스를 공급하는 구성을 나타낸 도면이다. 도 6∼도 8은, 질소 가스 공급로(60)를 부분적으로 나타낸 도면이다. 또한, 도 6 및 도 7에서는, 질소 가스 공급로(60)를 다른 바이패스로(bypass path)(77)나 질소 가스 릴리프로(80)[기간용 릴리프로(81) 및 구역용 릴리프로(82)]에 비해 굵은 선으로 도시하고 있다.

그리고, 질소 가스 공급로(60)를 설명하는 데 있어서, 공급원으로부터 토출 노즐(10i)을 향해 질소 가스가 통류하는 방향을 기체 공급 방향이라고 하고, 그 기체 공급 방향의 흐름에 기초하여, 기체 공급 방향의 상류 및 하류를 정의하여 설명한다.

[기간 공급 부분]

도 6에 나타낸 바와 같이, 기간 공급 부분(61)의 기간 설치부(61a)에는, 기체 공급 방향의 상류로부터 순차로, 제1 기간용 수동 밸브(65), 기간용 제어 밸브(66), 제2 기간용 수동 밸브(67)가 설치되어 있다. 또한, 기간 공급 부분(61)에서는, 도 6에 화살표 A로 나타내는 방향이 기체 공급 방향으로 되어 있다.

제1 기간용 수동 밸브(65), 기간용 제어 밸브(66), 제2 기간용 수동 밸브(67)의 각각은, 기간 공급 부분(61)으로부터 구역용 공급 부분(62)에 질소 가스가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다. 기간용 제어 밸브(66)는, 제어 장치(H)의 제어 지령에 기초하여 개방 상태와 폐쇄 상태로 별개로 전환 조작된다. 또한, 제1 기간용 수동 밸브(65) 및 제2 기간용 수동 밸브(67)는, 작업자의 인위적인 조작에 의해 폐쇄 상태와 개방 상태로 전환 조작된다.

그리고, 제1 기간용 수동 밸브(65), 기간용 제어 밸브(66) 및 제2 기간용 수동 밸브(67)의 각각을 개방 상태로 전환함으로써, 기간 공급 부분(61)으로부터 구역용 공급 부분(62)으로의 질소 가스의 통류가 가능한 상태로 되어, 제1 기간용 수동 밸브(65), 기간용 제어 밸브(66) 및 제2 기간용 수동 밸브(67) 중 1개 이상을 폐쇄 상태로 전환함으로써, 기간 공급 부분(61)으로부터 구역용 공급 부분(62)으로의 질소 가스의 통류가 불가능한 상태로 된다.

[구역용 공급 부분]

도 5에 나타낸 바와 같이, 구역용 공급 부분(62)은, 기간 공급 부분(61)의 기간 설치부(61a)보다 하류측에 위치하는 기간 접속부(61b)에 접속되어 있다. 설명을 추가하면, 질소 가스 공급로(60)에는, 구역(CH)의 수와 같은 경로 수의 구역용 공급 부분(62)이 구비되어 있고, 본 예에서는, 기간 공급 부분(61)의 기간 접속부(61b)에는, 구역용 공급 부분(62)이 6경로 접속되어 있다. 그리고, 구역용 공급 부분(62)의 각각에서의 구역용 접속부(62b)는, 구역(CH)에서의 수납부(10S)의 단수(段數)와 같은 4경로로 분기되어 있다. 또한, 구역용 공급 부분(62)에서는, 도 7에 화살표 A로 나타내는 방향이 기체 공급 방향으로 되어 있다. 또한, 구역용 공급 부분(62)은, 기간 공급 부분(61)보다 가는 배관 사이즈로 되어 있다.

도 7에 나타낸 바와 같이, 구역용 공급 부분(62)의 구역용 설치부(62a)에는, 기체 공급 방향의 상류로부터 순차로, 구역용 수동 밸브(69), 압력 조정 밸브(70), 압력 검출 센서(71), 구역용 제어 밸브(72)가 설치되어 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 구역용 수동 밸브(69)가 본 발명의 제1 전환 밸브에 상당한다.

구역용 수동 밸브(69) 및 구역용 제어 밸브(72)는, 구역용 공급 부분(62)으로부터 수납부용 공급 부분(63)에 질소 가스가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다. 구역용 제어 밸브(72)는, 제어 장치(H)의 제어 지령에 기초하여 개방 상태와 폐쇄 상태로 별개로 전환 조작된다. 또한, 구역용 수동 밸브(69)는, 작업자의 인위적인 조작에 의해 폐쇄 상태와 개방 상태로 전환 조작된다.

그리고, 구역용 수동 밸브(69) 및 구역용 제어 밸브(72)의 각각을 개방 상태로 전환함으로써, 구역용 공급 부분(62)으로부터 수납부용 공급 부분(63)으로의 질소 가스의 통류가 가능한 상태로 되어, 구역용 수동 밸브(69) 및 구역용 제어 밸브(72) 중 1개 이상을 폐쇄 상태로 전환함으로써, 구역용 공급 부분(62)으로부터 수납부용 공급 부분(63)으로의 질소 가스의 통류가 불가능한 상태로 된다.

또한, 압력 조정 밸브(70)는, 구역용 공급 부분(62)으로부터 수납부용 공급 부분(63)에 통류하는 질소 가스의 통류량을 조정함으로써 수납부용 공급 부분(63)에서의 질소 가스의 압력을 조정한다. 압력 검출 센서(71)는, 수납부용 공급 부분(63)에서의 질소 가스의 압력을 검출한다.

[수납부용 공급 부분]

도 5에 나타낸 바와 같이, 수납부용 공급 부분(63)은, 구역용 공급 부분(62)의 구역용 접속부(62b)에 접속되어 있다. 설명을 추가하면, 질소 가스 공급로(60)에는, 수납부(10S)의 수와 같은 경로 수(본 예에서는 72경로)의 수납부용 공급 부분(63)이 구비되어 있고, 본 예에서는, 구역용 공급 부분(62)의 하나의 구역용 접속부(62b)에는, 수납부용 공급 부분(63)이 3경로 접속되어 있다.

또한, 수납부용 공급 부분(63)에서는, 도 8에 화살표 A로 나타내는 방향이 기체 공급 방향으로 되어 있다. 또한, 수납부용 공급 부분(63)은, 구역용 공급 부분(62)보다 가는 배관 사이즈로 되어 있다.

도 8에 나타낸 바와 같이, 수납부용 공급 부분(63)에는, 기체 공급 방향의 상류로부터 순차로, 수납부용 수동 밸브(74), 수납부용 제어 밸브(75), 매스플로우(mass flow) 컨트롤러(40)가 형성되어 있고, 수납부용 공급 부분(63)의 하류측 단부(端部)에는 토출 노즐(10i)이 접속되어 있다.

그리고, 본 실시형태에서는, 수납부용 수동 밸브(74)가 본 발명의 제2 전환 밸브에 상당한다.

수납부용 수동 밸브(74) 및 수납부용 제어 밸브(75)는, 수납부용 공급 부분(63)으로부터 토출 노즐(10i)에 질소 가스가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다. 수납부용 제어 밸브(75)는, 제어 장치(H)의 제어 지령에 기초하여 개방 상태와 폐쇄 상태로 별개로 전환 조작된다. 또한, 수납부용 수동 밸브(74)는, 작업자의 인위적인 조작에 의해 폐쇄 상태와 개방 상태로 전환 조작된다.

그리고, 수납부용 수동 밸브(74) 및 수납부용 제어 밸브(75)의 각각을 개방 상태로 전환함으로써, 수납부용 공급 부분(63)으로부터 토출 노즐(10i)로의 질소 가스의 통류가 가능한 상태로 되어, 수납부용 수동 밸브(74) 및 수납부용 제어 밸브(75) 중 1개 이상을 폐쇄 상태로 전환함으로써, 수납부용 공급 부분(63)으로부터 토출 노즐(10i)로의 질소 가스의 통류가 불가능한 상태로 된다.

또한, 매스플로우 컨트롤러(40)에는, 수납부용 공급 부분(63)으로부터 토출 노즐(10i)로 통류하는 질소 가스의 통류량을 조정하는 유량 조정 밸브와, 수납부용 공급 부분(63)으로부터 토출 노즐(10i)로 통류하는 질소 가스의 유량을 검출하는 유량 검출 센서의 기능이 구비되어 있다.

기간용 제어 밸브(66), 구역용 제어 밸브(72) 및 수납부용 제어 밸브(75)의 각각의 제어 밸브는, 제어 장치(H)의 제어 지령에 기초하여 개방 상태와 폐쇄 상태로 별개로 전환 조작된다.

또한, 제1 기간용 수동 밸브(65), 제2 기간용 수동 밸브(67), 구역용 수동 밸브(69) 및 수납부용 수동 밸브(74)의 각각의 수동 밸브는, 작업자의 인위적인 조작에 의해 폐쇄 상태와 개방 상태로 전환 조작된다.

[제어 구성]

도 9에 나타낸 바와 같이, 제어 장치(H)는, 재고 센서(10z)의 검출 정보가 입력되고, 또한 스태커 크레인(20)과 통신 가능하게 접속되어 있다. 이로써, 제어 장치(H)는, 보관 선반(10)에서의 용기(50)의 재고 상태 등을 관리하는 동시에, 도시하지 않은 상위 컨트롤러로부터의 입고 지령 및 출고 지령에 기초하여 스태커 크레인(20)의 작동을 제어한다.

설명을 추가하면, 제어 장치(H)는, 상위 컨트롤러로부터 입고 지령이 지령되면, 입고 반송 처리를 실행한다. 입고 반송 처리에서는, 재고 상태에 기초하여, 용기(50)가 수납되어 있지 않은 빈 수납부(10S) 중 하나를 수납 대상의 수납부(10S)로서 선택하고, 용기(50)를 입출고 컨베이어(CV)로부터 수납 대상의 수납부(10S)에 반송하기 위해 스태커 크레인(20)의 작동을 제어한다. 또한, 제어 장치(H)는, 상위 컨트롤러로부터 출고 지령이 지령되면, 출고 반송 처리를 실행한다. 출고 반송 처리에서는, 출고 대상의 용기(50)를 그것이 수납되어 있는 수납부(10S)로부터 입출고 컨베이어(CV) 상으로 반송하기 위해 스태커 크레인(20)의 작동을 제어한다.

또한, 제어 장치(H)에는, 프로그래머블 로직 컨트롤러(P)와 복수의 IO 확장 모듈(A)이 통신 가능하게 통신선에 의해 접속되어 있다. 프로그래머블 로직 컨트롤러(P)에는, 복수의 매스플로우 컨트롤러(40)가 접속되어 있다. IO 확장 모듈(A)에는, 대응하는 구역(CH)에 속하는 재고 센서(10z), 압력 검출 센서(71), 및 매니폴드(87)가 접속되어 있다.

그리고, 제어 장치(H)는, 기간용 제어 밸브(66)의 작동을 제어하는 동시에, 프로그래머블 로직 컨트롤러(P)에 질소 가스의 공급량이나 질소 가스를 공급하는 수납부(10S)를 나타내는 공급 정보를 송신한다. 프로그래머블 로직 컨트롤러(P)는, 제어 장치(H)로부터의 공급 정보에 기초하여, 매스플로우 컨트롤러(40)(유량 조정 밸브)의 작동을 제어하는 동시에, IO 확장 모듈(A)을 통하여 매니폴드(87)에 지령 정보를 송신한다. 매니폴드(87)는 지령 정보에 기초하여 작동하고, 질소 가스를 공급하는 공급 대상의 수납부(10S)에 대하여 질소 가스를 공급하기 위해 구역용 제어 밸브(72) 및 수납부용 제어 밸브(75)를 작동시킨다.

이와 같이, 제어 장치(H)는, 프로그래머블 로직 컨트롤러(P)나 IO 확장 모듈(A) 등을 통하여, 기간용 제어 밸브(66), 구역용 제어 밸브(72), 수납부용 제어 밸브(75) 및 매스플로우 컨트롤러(40)의 작동을 제어한다.

[바이패스로]

도 5에 나타낸 바와 같이, 복수의 구역용 공급 부분(62) 중 2개를 조로 하고, 상기 조가 되는 2개의 구역용 공급 부분(62)끼리를 연통시키는 상태로, 바이패스로(77)가 설치되어 있다.

본 예에서는, 이 바이패스로(77)는, 상하 방향으로 인접하는 2개의 구역(CH)의 각각에 대응하는 구역용 공급 부분(62)끼리를 연통시키도록 형성되어 있고, 6개의 구역(CH)에 대하여 3경로 설치되어 있다. 그리고, 바이패스로(77)는, 구역용 공급 부분(62)과 같은 배관 사이즈로 되어 있다.

도 7에 나타낸 바와 같이, 바이패스로(77)에는, 바이패스로(77)를 질소 가스가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능한 하이패스용 수동 밸브(78)가 설치되어 있다. 이 하이패스용 수동 밸브(78)는, 작업자의 인위적인 조작에 의해 폐쇄 상태와 개방 상태로 전환 조작된다.

[릴리프로]

도 5에 나타낸 바와 같이, 질소 가스 공급로(60)에 접속되어 질소 가스 공급로(60)로부터 질소 가스를 배출하기 위한 질소 가스 릴리프로(80)가 설치되어 있다. 그리고, 이 질소 가스 릴리프로(80)로서, 도 5∼도 7에 나타낸 바와 같이, 기간 공급 부분(61)에 접속되어 기간 공급 부분(61)으로부터 질소 가스를 배출하기 위한 기간용 릴리프로(81)와, 복수의 구역용 공급 부분(62)에 접속되어 구역용 공급 부분(62)으로부터 질소 가스를 배출하기 위한 구역용 릴리프로(82)가 설치되어 있다. 그리고, 질소 가스 릴리프로(80)를 설명하는 데 있어서, 질소 가스 공급로(60)로부터의 질소 가스가 통류하는 방향을 기체 배출 방향이라고 하고, 그 기체 배출 방향의 흐름에 기초하여, 기체 배출 방향의 상류 및 하류를 정의하여 설명한다.

[기간 릴리프]

도 6에 나타낸 바와 같이, 기간용 릴리프로(81)는, 기간 공급 부분(61)의 기간 설치부(61a)에서의 제1 기간용 수동 밸브(65) 및 기간용 제어 밸브(66)가 설치된 위치보다 기체 공급 방향의 하류측이며, 또한 제2 기간용 수동 밸브(67)가 설치된 위치보다 기체 공급 방향의 상류측에 접속되어 있다. 그리고, 기간용 릴리프로(81)는, 구역용 공급 부분(62)과 같은 배관 사이즈로 되어 있다.

그리고, 기간용 릴리프로(81)에는, 기체 배출 방향의 상류측으로부터 순차로, 릴리프용 압력 조정 밸브(86), 불활성 기체가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능한 기간용 릴리프 수동 밸브(83)가 설치되어 있다. 릴리프용 압력 조정 밸브(86)는 압력 조정 밸브(70)와 마찬가지로 구성되어 있다. 기간용 릴리프 수동 밸브(83)는, 작업자의 인위적인 조작에 의해 폐쇄 상태와 개방 상태로 전환 조작된다. 그리고, 본 실시형태에서는, 기간용 릴리프 수동 밸브(83)가 본 발명의 기간용 릴리프 전환 밸브에 상당한다.

그러므로, 제1 기간용 수동 밸브(65) 및 제2 기간용 수동 밸브(67)를 개방 상태로 전환하고, 기간용 릴리프 수동 밸브(83)를 폐쇄 상태로 전환함으로써, 도시하지 않은 공급원으로부터의 질소 가스의 모두를 구역용 공급 부분(62)에 유동시킬 수 있다.

또한, 제1 기간용 수동 밸브(65), 제2 기간용 수동 밸브(67) 및 기간용 릴리프 수동 밸브(83)를 개방 상태로 전환함으로써, 공급원으로부터의 질소 가스를 구역용 공급 부분(62)으로 유동시키면서, 공급원으로부터의 질소 가스의 일부를 기간용 릴리프로(81)으로 유동시켜 외부로 배출시킬 수 있어, 공급원으로부터의 질소 가스의 샘플링 등을 행할 수 있다.

또한, 제1 기간용 수동 밸브(65)를 개방 상태로 전환하고, 제2 기간용 수동 밸브(67)를 폐쇄 상태로 전환하고, 기간용 릴리프 수동 밸브(83)를 개방 상태로 전환함으로써, 공급원으로부터의 질소 가스의 모두를 기간용 릴리프로(81)에 유동시킬 수 있어, 공급원과 기간 공급 부분(61)과의 사이에 질소 가스를 통류시킬 수 있다.

또한, 제1 기간용 수동 밸브(65)를 폐쇄 상태로 전환하고, 제2 기간용 수동 밸브(67) 및 기간용 릴리프 수동 밸브(83)를 개방 상태로 전환함으로써, 기간 공급 부분(61)의 질소 가스를 기간용 릴리프로(81)에 유동시킬 수 있어, 기간 공급 부분(61)의 배압을 행할 수 있다.

또한, 기간용 릴리프로(81)에서는, 도 6에 화살표 B로 나타내는 방향이 기체 배출 방향으로 되어 있다.

[구역 릴리프]

도 7에 나타낸 바와 같이, 구역용 릴리프로(82)는, 복수의 구역용 공급 부분(62)의 각각에 접속되어 구역용 공급 부분(62)으로부터 질소 가스를 배출하기 위한 복수의 구역용 릴리프 부분(82a)(본 발명의 릴리프로에 상당)과, 복수의 구역용 릴리프 부분(82a)의 각각에 접속된 합류용 릴리프 부분(82b)(본 발명의 합류용 릴리프로에 상당)을 구비하고 있다. 그리고, 구역용 릴리프로(82)는, 수납부용 공급 부분(63)과 같은 배관 사이즈로 되어 있다.

구역용 릴리프 부분(82a)은, 구역(CH)의 수와 같은 경로 수(본 예에서는 6경로) 구비되어 있고, 상기 각각의 경로의 구역용 릴리프 부분(82a)의 각각에는, 구역용 릴리프 수동 밸브(84)가 설치되어 있다. 이 구역용 릴리프 수동 밸브(84)는, 작업자의 인위적인 조작에 의해 질소 가스가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 구역용 릴리프 수동 밸브(84)가 본 발명의 구역용 릴리프 전환 밸브에 상당한다.

그리고, 복수의 구역용 릴리프 부분(82a)은, 구역용 공급 부분(62)의 구역용 설치부(62a)에서의 구역용 수동 밸브(69)가 설치된 위치보다 기체 공급 방향의 하류측에 접속되어 있다. 이와 같이 구역용 릴리프 부분(82a)은, 질소 가스 공급로(60)에서의 구역용 수동 밸브(69)가 설치된 위치보다 기체 공급 방향의 하류측이며 또한 수납부용 수동 밸브(74)가 설치되어 있는 위치보다 기체 공급 방향의 상류측에 접속되어 있다.

또한, 합류용 릴리프 부분(82b)은, 복수의 구역용 릴리프 부분(82a)의 각각에서의 구역용 릴리프 수동 밸브(84)가 설치된 위치보다 기체 배출 방향의 하류측에 접속되어 있고, 합류용 릴리프 부분(82b)에는, 작업자의 인위적인 조작에 의해 질소 가스가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능한 합류용 릴리프 수동 밸브(85)가 설치되어 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 합류용 릴리프 수동 밸브(85)가 본 발명의 합류용 릴리프 전환 밸브에 상당한다.

그러므로, 구역용 수동 밸브(69) 및 수납부용 수동 밸브(74)를 개방 상태로 전환함으로써, 기간 공급 부분(61)으로부터의 질소 가스를 토출 노즐(10i)로부터 토출시키는 것이 가능하다.

또한, 구역용 수동 밸브(69) 및 수납부용 수동 밸브(74)를 개방 상태로 전환하고, 또한 대응하는 구역용 릴리프 수동 밸브(84) 및 합류용 릴리프 수동 밸브(85)를 개방 상태로 전환함으로써, 기간 공급 부분(61)으로부터의 질소 가스를 토출 노즐(10i)로부터 토출시키면서, 기간 공급 부분(61)으로부터의 질소 가스의 일부를 구역용 릴리프로(82)에 유동시켜 외부로 배출시킬 수 있어, 구역 단위로 질소 가스의 샘플링 등을 행할 수 있다.

또한, 수납부용 수동 밸브(74)를 폐쇄 상태로 전환하고, 구역용 수동 밸브(69), 구역용 릴리프 수동 밸브(84) 및 합류용 릴리프 수동 밸브(85)를 개방 상태로 전환함으로써, 기간 공급 부분(61)으로부터의 질소 가스의 모두를 구역용 릴리프로(82)에 유동시킬 수 있어, 구역 단위로 질소 가스를 통류시킬 수 있다.

또한, 구역용 수동 밸브(69) 및 수납부용 수동 밸브(74)를 폐쇄 상태로 전환하고, 또한 구역용 릴리프 수동 밸브(84) 및 합류용 릴리프 수동 밸브(85)를 개방 상태로 전환함으로써, 구역용 공급 부분(62)[특히, 구역용 수동 밸브(69)가 설치되어 있는 위치보다 기체 공급 방향의 하류측이며 또한 수납부용 수동 밸브(74)가 설치되어 있는 위치보다 기체 공급 방향의 상류측의 부분인 구역의 대상 부분]의 질소 가스를 구역용 릴리프로(82)에 유동시킬 수 있어, 구역용 공급 부분(62)(구역의 대상 부분)의 배압을 행할 수 있다.

또한, 구역용 릴리프로(82)에서는, 도 7에 화살표 B로 나타내는 방향이 기체 배출 방향으로 되어 있다.

이와 같이 본 실시형태의 물품 보관 설비에서는, 복수의 구역용 공급 부분(62)의 각각에 구역용 수동 밸브(69)를 설치하고, 복수의 수납부용 공급 부분(63)의 각각에 수납부용 수동 밸브(74)가 설치되어 있다. 또한, 질소 가스 공급로(60)에서의 구역용 수동 밸브(69)보다 하류에서 또한 수납부용 수동 밸브(74)보다 상류에, 구역용 릴리프로(82)가 접속되어 있다. 그러므로, 구역 단위에서의 배압이나 샘플링, 질소 가스의 통류를 행할 수 있다.

[다른 실시형태]

(1) 상기 실시형태에서는, 제1 전환 밸브, 제2 전환 밸브, 구역용 릴리프 전환 밸브, 합류용 릴리프 전환 밸브 및 기간용 릴리프 전환 밸브의 모두를, 작업자의 인위적인 조작에 의해 전환하는 수동 밸브에 의해 구성하였지만, 이들 전환 밸브의 일부 또는 전부를, 제어 장치(H)의 제어 지령에 기초하여 전환하는 제어 밸브에 의해 구성해도 된다.

구체적으로는, 예를 들면, 구역용 릴리프 전환 밸브와 합류용 릴리프 전환 밸브를 제어 밸브에 의해 구성하여, 조작 테이블에 의해 구역(CH)를 지정하는 동시에 모두 샘플링 개시를 입력하면, 제어 장치(H)의 제어 지령에 기초하여 해당하는 구역(CH)의 구역용 릴리프 전환 밸브와 합류용 릴리프 전환 밸브가 개방 조작되고, 설정 시간 경과하거나 또는 조작 테이블에 의해 샘플링 종료를 입력하면, 제어 장치(H)의 제어 지령에 기초하여 해당하는 구역용 릴리프 전환 밸브와 합류용 릴리프 전환 밸브가 폐쇄 조작되도록 구성해도 된다.

(2) 상기 실시형태에서는, 복수의 구역용 릴리프 부분(82a)과 합류용 릴리프 부분(82b)을 설치하여, 구역용 릴리프로(82)로부터 배출하는 불활성 기체를 1개소로부터 배출하도록 구성하였지만, 복수의 구역용 릴리프 부분(82a)과 합류용 릴리프 부분(82b) 중 복수의 구역용 릴리프 부분(82a)만을 설치하여, 구역용 릴리프로(82)로부터 배출하는 불활성 기체를 구역(CH)마다 다른 개소로부터 배출하도록 구성해도 된다.

(3) 상기 실시형태에서는, 기간용 릴리프 전환 밸브, 구역용 릴리프 전환 밸브 및 합류용 릴리프 전환 밸브를 벽체(K)의 외부에 설치하였으나, 이들 릴리프 전환 밸브의 일부 또는 전부를 벽체(K)의 내부에 설치해도 된다.

또한, 벽체(K)의 외부는, 보관 선반(10)이나 스태커 크레인(20)이 설치되어 있는 설치 공간의 외부이면 되고, 예를 들면, 벽체(K)를, 설치 공간과 제어 장치(H)를 설치하는 제2 공간과의 2개의 공간을 형성하도록 구성한 경우에는, 제2 공간을 외부로 하여 상기 제2 공간에 상기 릴리프 전환 밸브를 설치해도 된다.

또한, 벽체(K)의 외부에 설치하는 데 있어서, 적어도 상기 릴리프 전환 밸브의 일부(구체적으로는, 작업자가 조작하는 조작 레버 등의 조작 부분)를 벽체(K)의 외부에 설치하고 있으면 되고, 상기 릴리프 전환 밸브의 전체를 벽체(K)의 외부에 설치하고 있지 않아도 된다.

(4) 상기 실시형태에서는, 제2 전환 밸브를, 복수의 수납부용 공급 부분(63)의 각각에 설치하였으나, 제2 전환 밸브를, 복수의 구역용 공급 부분(62)의 각각에 설치해도 된다. 이 경우, 제2 전환 밸브는, 구역용 공급 부분(62)에서의 제1 전환 밸브가 설치되어 있는 위치 및 구역용 릴리프로(82)[구역용 릴리프 부분(82a)]이 접속되어 있는 위치보다 기체 공급 방향의 하류측에 설치하면 된다.

(5) 상기 실시형태에서는, 용기(50)가, 반도체 기판을 수용하는 FOUP인 구성을 예시했지만, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 레티클(reticle)을 수용하는 레티클 용기로 해도 된다. 또한, 불활성 기체를 질소 가스로 하였지만, 불활성 기체로서는, 질소 가스 이외에도 아르곤 가스 등, 수용되는 기판(W)에 대하여 반응성이 낮은 각종 기체를 사용할 수 있다. 또한, 용기(50)에 수용하는 물품으로서는, 공업제품, 식품, 의약품 등에 폭넓게 적용할 수 있다.

(6) 상기 실시형태에서는, 물품 보관 설비에 설치한 한 쌍의 보관 선반(10) 중, 한쪽의 보관 선반(10)에 대하여만 불활성 기체 공급로를 설치하였으나, 양쪽의 보관 선반(10)에 대하여 불활성 기체 공급로를 설치해도 된다. 또한, 양쪽의 보관 선반(10)에 대하여 불활성 기체 공급로를 설치한 경우에, 양쪽의 보관 선반(10)에 대하여 기간 공급 부분(61)이나 공급원을 별개로 설치해도 되고, 또한 양쪽의 보관 선반(10)에 의해 기간 공급 부분(61)이나 공급원을 공용하도록 설치해도 된다.

(7) 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시로서, 본 발명의 범위는 이들에 의해 한정되지 않는다. 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위에서, 적절히 개변(改變)이 가능하다. 따라서, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위에서 개변된 다른 실시형태도, 당연히, 본 발명의 범위에 포함된다.

10i 토출부
10S 수납부
50 용기
60 불활성 기체 공급로
61 기간 공급 부분
62 구역용 공급 부분
63 수납부용 공급 부분
69 제1 전환 밸브
74 제2 전환 밸브
81 기간용 릴리프로
82a 릴리프로
82b 합류용 릴리프로
83 기간용 릴리프 전환 밸브
84 구역용 릴리프 전환 밸브
85 합류용 릴리프 전환 밸브
K 벽체
W 기판
CH 구역

Claims

용기를 수납하는 복수의 수납부;
상기 복수의 수납부의 각각에 불활성 기체(氣體)를 공급하는 불활성 기체 공급로; 및
상기 불활성 기체 공급로에 의해 상기 수납부에 공급된 불활성 기체를 상기 수납부에 수납된 상기 용기의 내부로 토출(吐出)하는 토출부;
를 포함하고,
상기 복수의 수납부가, 복수의 구역으로 구분되어 있는 물품 보관 설비로서,
상기 불활성 기체 공급로가, 기간(基幹) 공급 부분과, 상기 기간 공급 부분으로부터 상기 복수의 구역마다 분기되어 상기 기간 공급 부분을 통류(通流)하는 불활성 기체를 상기 복수의 구역마다 공급하는 복수의 구역용 공급 부분과, 상기 구역용 공급 부분을 통류하는 불활성 기체를 상기 구역용 공급 부분에 대응하는 상기 구역에 속하는 상기 복수의 수납부에 별개로 공급하여 상기 토출부로부터 불활성 기체를 토출시키는 복수의 수납부용 공급 부분을 구비하고,
상기 복수의 구역용 공급 부분의 각각에, 상기 불활성 기체가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능한 제1 전환 밸브가 설치되고,
상기 복수의 구역용 공급 부분의 각각에서의 상기 제1 전환 밸브가 설치되어 있는 위치보다 기체 공급 방향의 하류측에, 또는 상기 복수의 수납부용 공급 부분의 각각에, 상기 불활성 기체가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능한 제2 전환 밸브가 설치되고,
상기 복수의 구역용 공급 부분의 각각에 접속되어 상기 구역용 공급 부분으로부터 불활성 기체를 배출하기 위한 복수의 릴리프로(relief path)가 설치되고,
상기 복수의 릴리프로가, 상기 불활성 기체 공급로에서의 상기 제1 전환 밸브가 설치되어 있는 위치보다 상기 기체 공급 방향의 하류측이며 또한 상기 제2 전환 밸브가 설치되어 있는 위치보다 상기 기체 공급 방향의 상류측에 접속되고,
상기 복수의 릴리프로의 각각에, 불활성 기체가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능한 구역용 릴리프 전환 밸브가 설치되어 있는,
물품 보관 설비.
제1항에 있어서,
상기 복수의 수납부가 설치되는 설치 공간을 덮는 벽체가 설치되고,
상기 구역용 릴리프 전환 밸브가, 인위적인 조작에 의해 상기 개방 상태와 상기 폐쇄 상태로 전환하는 인위적인 조작식의 전환 밸브에 의해 구성되는 동시에, 상기 벽체의 외부에 설치되어 있는, 물품 보관 설비.
제2항에 있어서,
상기 복수의 릴리프로의 각각에서의 상기 구역용 릴리프 전환 밸브가 설치된 위치보다 기체 배출 방향의 하류측에 접속된 합류용 릴리프로가 설치되고,
상기 합류용 릴리프로에, 인위적인 조작에 의해 불활성 기체가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능한 합류용 릴리프 전환 밸브가 설치되고,
상기 합류용 릴리프 전환 밸브가, 상기 벽체의 외부에 설치되어 있는, 물품 보관 설비.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 기간 공급 부분에 접속된 기간용 릴리프로가 설치되고,
상기 기간용 릴리프로에, 상기 불활성 기체가 통류 가능한 개방 상태와 통류 불가능한 폐쇄 상태로 전환 가능한 기간용 릴리프 전환 밸브가 구비되어 있는, 물품 보관 설비.