TWI614193B - 物品保管設備及物品保管方法（二） - Google Patents

物品保管設備及物品保管方法（二） Download PDF

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Description

物品保管設備及物品保管方法(二) 發明領域
本發明係有關一種物品保管設備、及利用這樣的物品保管設備之物品保管方法，該物品保管設備係具備：收納收容基板的搬送容器之複數個收納部；對於前述複數個收納部搬送前述搬送容器之搬送裝置；對於前述各複數個收納部供給惰性氣體之惰性氣體供給路；及將利用前述惰性氣體供給路供給到前述收納部的惰性氣體吐出到收納在該收納部之前述搬送容器的內部之吐出部，前述複數個收納部係區分成複數個區域，前述惰性氣體供給路係具備：將惰性氣體供給到前述各複數個區域之區域用供給部份、及將利用前述區域用供給部份供給到前述區域的惰性氣體分歧供給到該區域中的前述各複數個收納部之收納部用供給部份。
發明背景
在日本特開2010-182747號公報(專利文獻1)中，揭示有像上述的物品保管設備之一例。專利文獻1之物品保管設備所具備之附淨化機能的物品保管棚係構成為具備複 數個收納收容半導體晶圓之FOUP等搬送容器的收納部，對於該各個收納部利用惰性氣體供給路供給例如氮氣或氬氣等惰性氣體，將該惰性氣體利用吐出部吐出到搬送容器的內部。
在上述專利文獻1中，在收納部收納搬送容器時，從吐出部將惰性氣體吐出到搬送容器的內部，將對於基板為不適當的氧氣或水蒸氣等從搬送容器內排出，而使收納在收納部之搬送容器成為內部以惰性氣體予以充滿的狀態。藉此，抑制發生收容在搬送容器的基板之氧化等不合宜情形。
然而，在上述的專利文獻1的物品保管設備中，即使在根據區域用供給部份的破損或設置在區域用供給部份與收納部用供給部份的連接處之流量調整閥等機器的故障，而無法將惰性氣體適切供給到收納部的情況下，仍然持續將搬送容器收納在該收納部的狀態。為此，在無法將將惰性氣體適切供給到收納部的情況下，根據外氣流入到搬送容器內等而使搬送容器內的環境惡化，恐怕對於搬送容器內的基板會產生不合宜情形。
鑑於上述背景，即使在對於收納部無法適切供給惰性氣體的情況下，也期許可以對於收納在該收納部之搬送容器內的基板發生不合宜情形防範未然之物品保管設備 的實現。
關於本發明之物品保管設備，其係具備以下：收納收容基板的搬送容器之複數個收納部；對於前述複數個收納部搬送前述搬送容器之搬送裝置；對於前述各複數個收納部供給惰性氣體之惰性氣體供給路；及將利用前述惰性氣體供給路供給到前述收納部的惰性氣體吐出到收納在該收納部之前述搬送容器的內部之吐出部，其中，前述複數個收納部係區分成複數個區域，前述惰性氣體供給路係具備：將惰性氣體供給到前述各複數個區域之區域用供給部份、及將利用前述區域用供給部份供給到前述區域之惰性氣體分歧供給到該區域中之前述各複數個收納部之收納部用供給部份，且設有使前述複數個收納部用供給部份之中的2個以上之前述收納部用供給部份彼此連通之旁通部份；及可切換前述旁通部份中的惰性氣體為能夠流通的打開狀態、與前述旁通部份中的惰性氣體為不能流通的關閉狀態之旁通用切換閥。
根據上述構成，藉由將旁通用切換閥切換為打開狀態，可以使惰性氣體在相互連通的複數個收納部用供給部份彼此之間流通。因此，在發生根據區域用供給部份的破損或設置在區域用供給部份與收納部用供給部份的連接 處之流量調整閥等機器的故障而使供給到收納部的惰性氣體從適當供給量減少的事態、或者、完全沒有將惰性氣體供給到收納部的事態之情況下，藉由將旁通用切換閥切換為打開狀態，可以將惰性氣體透過旁通部份流動到未適切供給惰性氣體之區域的收納部用供給部份。該結果為可以抑制對於收納在收納部之搬送容器的基板產生不合宜情形。
本發明之物品保管設備的技術性特徵係也可以適用於物品保管方法，本發明也可以將那樣的辺法作為權利對象。在該物品保管方法中亦同，可以得到在上述物品保管設備所產生的作用效果。
即，關於本發明之物品保管方法，其係為利用物品保管設備的方法，該物品保管設備係具備：收納收容基板的搬送容器之複數個收納部；對於前述複數個收納部搬送前述搬送容器之搬送裝置；對於前述各複數個收納部供給惰性氣體之惰性氣體供給路；及將利用前述惰性氣體供給路供給到前述收納部的惰性氣體吐出到收納在該收納部之前述搬送容器的內部之吐出部，前述複數個收納部係區分成複數個區域，前述惰性氣體供給路係具備：將惰性氣體供給到前述各複數個區域之區域用供給部份、及將利用前述區域用供 給部份供給到前述區域之惰性氣體分歧供給到該區域中之前述各複數個收納部之收納部用供給部份，在前述物品保管設備設有：使前述複數個收納部用供給部份之中的2個以上之前述收納部用供給部份彼此連通之旁通部份；可切換前述旁通部份中的惰性氣體為能夠流通的打開狀態、與前述旁通部份中的惰性氣體為不能流通的關閉狀態之旁通用切換閥；檢測對於前述各複數個區域的惰性氣體供給狀態之區域用供給狀態檢測裝置；檢測前述旁通用切換閥的切換狀態之切換狀態檢測裝置；及依據前述區域用供給狀態檢測裝置的檢測資訊，進行是否適切供給惰性氣體的判定，也就是供給狀態判定之控制裝置，前述物品保管方法，其係包含根據前述控制裝置執行的以下步驟：根據前述供給狀態判定，將判定為未適切供給惰性氣體的前述區域成為對象區域，依據前述切換狀態檢測裝置的檢測資訊，將設置在與前述對象區域的前述收納部用供給部份連通的前述旁通部份之前述旁通用切換閥為前述的關閉狀態作為條件，而將歸屬於該對象區域的前述收納部作為禁止搬送容器的收納之禁止收納部進行管理之收納部管理步驟。
以下，針對本發明之適合的實施形態之例示進行說明。
在關於本發明之物品保管設備的實施形態中，前述旁通部份係設置為將前述複數個收納部用供給部份之中的2個成為1組，並使成為1組之2個前述收納部用供給部份彼此連通為佳。
根據該構成，與使3個以上的收納部用供給部份彼此連通的方式設置旁通部份的情況相比，可以圖謀旁通部份的構成簡單化。
在關於本發明之物品保管設備的實施形態中，設置將前述收納部在上下方向及左右方向並列配置之保管棚，前述旁通部份係設置為將在上下方向或左右方向鄰接之前述區域的前述收納部用供給部份彼此連通為佳。
根據該構成，與使在上下方向或左右方向分開之區域的收納部用供給部份彼此連通的方式設置旁通部份的情況相比，可以縮短旁通部份的長度。
在關於本發明之物品保管設備的實施形態中，設置：檢測對於前述各複數個區域的惰性氣體供給狀態之區域用供給狀態檢測裝置；檢測前述旁通用切換閥的切換狀態之切換狀態檢測裝置；及依據前述區域用供給狀態檢測裝置的檢測資訊，進行是否適切供給惰性氣體的判定，也就是供給狀態判定之控制裝置，根據前述供給狀態判定，將判定為未適切供給惰性氣體的前述區域成為對象區域，前述控制裝置係構成為依據前述切換狀態檢測裝置的檢測 資訊，將設置在與前述對象區域的前述收納部用供給部份連通的前述旁通部份之前述旁通用切換閥為前述的關閉狀態作為條件，而將歸屬於該對象區域的前述收納部作為禁止搬送容器的收納之禁止收納部進行管理為佳。
根據上述構成，在發生根據區域用供給部份的破損或設置在區域用供給部份與收納部用供給部份的連接處之流量調整閥等機器的故障而使供給到收納部的惰性氣體從適當供給量減少的事態、或者、完全沒有將惰性氣體供給到收納部的事態之情況下，利用區域用供給狀態檢測裝置檢測到對於該區域(以下稱為「對象區域」。)未適切供給惰性氣體。再者，在設置於與對象區域的收納部用供給部份連通的旁通部份之旁通用切換閥為關閉狀態的情況下，將歸屬於該對象區域的收納部作為禁止收納部進行管理。為此，例如在將搬送容器收納到收納部時，藉由回避選擇未適切供給惰性氣體的收納部，並選擇可適切供給惰性氣體的收納部作為收納對象的收納部，可以將惰性氣體供給到已收納在該收納部的搬送容器內而對於收容在搬送容器的基板產生不合宜的情形防範未然。
又，在將設置於與對象區域的收納部用供給部份連通的旁通部份之旁通用切換閥切換為打開狀態的情況下，對於該對象區域，可以從旁通部份供給惰性氣體。在該情況下，由於旁通用切換閥並不是關閉狀態，歸屬於該對象區域的收納部並不會作為禁止收納部進行管理。為此，在將搬送容器收納在收納部時，雖然是歸屬於對象區 域，但是可以將搬送容器收納在從旁通部份供給惰性氣體的收納部，可以有效運用收納部。
在關於本發明之物品保管設備的實施形態中，前述控制裝置係構成為執行依據前述區域用供給狀態檢測裝置的檢測資訊，將收納在根據惰性氣體的供給狀態變化而切換為前述禁止收納部之前述收納部的前述搬送容器，搬送到並非作為前述禁止收納部進行管理的前述收納部之退避用搬送處理。
根據上述構成，由於即使在對於收納部無法適切供給惰性氣體的情況下，也可以將收納在該收納部之搬送容器搬送到可適切供給惰性氣體的收納部，因此，可以對於該搬送容器內的基板產生不合宜情形防範未然。
關於本發明之物品保管方法的實施形態中，作為根據前述控制裝置執行的步驟，進一步包含：依據前述區域用供給狀態檢測裝置的檢測資訊，將收納在根據惰性氣體的的供給狀態變化而切換為前述禁止收納部之前述收納部的前述搬送容器，搬送到並非作為前述禁止收納部進行管理的前述收納部之退避用搬送處理步驟為佳。
10‧‧‧保管棚
10a‧‧‧檢測載置支撐部
10b‧‧‧定位突起
10o‧‧‧排氣用通氣體
10i‧‧‧吐出噴嘴(吐出部)
10S‧‧‧收納部
10z‧‧‧受載感測器
20‧‧‧堆高式起重機(搬送裝置)
21‧‧‧行走台車
22‧‧‧桅杆
23‧‧‧上部框架
24‧‧‧昇降台
25‧‧‧移載裝置
40‧‧‧質量流量控制器(流通調整裝置、流通異常檢測裝置)
50‧‧‧搬送容器
51‧‧‧殼體
50i‧‧‧給氣口
50o‧‧‧排氣口
52‧‧‧頂凸緣
60‧‧‧氮氣供給路(惰性氣體供給路)
61‧‧‧主供給部份
62,62a,62b‧‧‧區域用供給部份
63,63a,63b,63c‧‧‧收納部用供給部份
65‧‧‧主閥門
66‧‧‧區域用閥門
67‧‧‧壓力調整用閥門(壓力調整裝置)
68‧‧‧壓力檢測感測器(壓力檢測裝置)
69‧‧‧收納部用閥門(流量調整裝置)
70‧‧‧流量調整用閥門(流通調整裝置)
71‧‧‧流量檢測感測器
72‧‧‧旁通部份
73‧‧‧旁通用切換閥
74‧‧‧歧管
75‧‧‧監視器
90‧‧‧切換狀態檢測感測器(切換狀態檢測裝置)
A‧‧‧IO擴充模組(中繼裝置)
CV‧‧‧入出庫輸送機
CH‧‧‧區域
D‧‧‧搬送車
H‧‧‧控制裝置
P‧‧‧可程式邏輯控制器(中繼異常檢測裝置)
S‧‧‧供給狀態檢測裝置
S1‧‧‧區域用供給狀態檢測裝置
S2‧‧‧收納部用供給狀態檢測裝置
W‧‧‧收容基板
圖1係為物品保管設備的縱剖側面圖，圖2係為顯示同設備之一部份的縱剖正面圖，圖3係為收納部的立體圖，圖4係為載置容器狀態之收納部的正面圖，圖5係為未載置容器狀態之收納部的正面圖， 圖6係為顯示對於區域之惰性氣體的供給形態之圖面，圖7係為顯示對於收納部之惰性氣體的供給形態之圖面，圖8係為控制方塊圖，圖9係為顯示根據控制裝置之收納部管理狀態的一例之圖面，圖10係為顯示根據控制裝置之收納部管理狀態的其他一例之圖面，圖11係為顯示根據控制裝置之收納部管理狀態的另外一例之圖面，圖12係為顯示在旁通用切換閥為關閉狀態情況下的惰性氣體供給狀態之圖面，圖13係為顯示在旁通用切換閥為打開狀態情況下的惰性氣體供給狀態之圖面，圖14係為流程圖。
用以實施發明之形態
依據圖面說明將本發明適用於附淨化機能之物品保管設備情況下的實施形態。
(整體構成)
物品保管設備係如圖1及圖2所示，利用自動倉庫予以構成，該自動倉庫係具備：將收納以密閉狀態收容基板W之搬送容器50(以下略稱為容器50)的收納部10S在上下方向及左右方向並列設置之保管棚10；及對於複數個收納部10S 及入出庫輸送機CV搬送容器50之作為搬送裝置的堆高式起重機20。又，在本實施形態中，基板W為半導體晶圓，收容該半導體晶圓之FOUP(Front Opening Unified Pod；前開式晶圓盒)為保管對象之容器50。
(容器50的構成)
如圖4所示，容器50係具備：具備用以使基板W出入的開口之殼體51、及關閉殼體51的開口之可自由裝拆的蓋體(未圖示)。
如圖1、圖2及圖4所示，在殼體51的上面中係形成利用吊車式的搬送車D加以握持之頂凸緣52，在殼體51的底部中係如後述所示，為了注入作為惰性氣體之氮氣而設置給氣口50i及排氣口50o。雖然省略圖示，在給氣口50i設置注入側開關閥，在排氣口50o設置排出側開關閥。
也就是說，容器50係藉由在收容基板W的狀態下利用蓋體關閉開口，同時將給氣口50i及排氣口50o的各開關閥成為關閉狀態，而以密閉狀態收容基板W。
注入側開關閥係構成為利用彈簧等推壓構件朝關閉方向推壓，並且當供給到給氣口50i的氮氣吐出壓力成為比大氣壓更高設定值之設定開閥壓力以上時，藉由該壓力進行打開操作。
又，排出側開關閥係構成為利用彈簧等推壓構件朝關閉方向推壓，並且當容器50內的壓力成為比大氣壓更高設定值之設定開閥壓力以上時，藉由該壓力進行打開操作。
(堆高式起重機20的構成)
如圖1所示，堆高式起重機20係具備：順著設在保管棚10前面側底部之行走軌道而可自由行走移動之行走台車21、直立設置在該行走台車21的桅杆22、設置在桅杆22上端並與未圖示之上部導引軌道卡合之上部框架23、及在被引導到上述桅杆22的狀態下可自由昇降移動之昇降台24。
在昇降台24中係裝設有對於收納部10S或入出庫輸送機CV移載容器50的移載裝置25。
再者，堆高式起重機20係構成為利用行走台車21的行走移動、昇降台24的昇降移動、及移載裝置25的移載動作，執行將入出庫輸送機CV上的容器50搬送到收納部10S的入庫作業、將收納部10S的容器50搬送到入出庫輸送機CV上之出庫作業、及將收納部10S的容器50搬送到其他收納部10S的退避作業。
(收納部10S的構成)
如圖2所示，在保管棚10中於上下方向使收納部10S呈複數段(在本例中為8段)並列設置，於左右方向使收納部10S呈複數列(在本例中為9列，在圖2中係只圖示4列)並列設置，以保管棚10的整體，收納部10S為設置72處。再者，如圖6所示，將由在上下方向並列設置的4段收納部10S、及在左右方向並列設置的3列收納部10S構成之合計12處的收納部10S成為1個區域CH，區分為使72處的收納部10S歸屬於6個區域CH之任一個。如此一來，設置在保管棚10的複數個收納部10S係區分為複數個區域CH。
如圖3所示，在各複數個收納部10S中具備載置支 撐容器50的載置支撐部10a，收納部10S係在將容器50載置支撐在載置支撐部10a的狀態下收納該容器50。
又在載置支撐部10a中設置：與形成在容器50下面部之被卡合部(未圖示)卡合而用以將該容器50定位在規定位置之3個定位突起10b；及檢測載置支撐部10a上是否載置容器50(也就是說，收納部10S是否收納容器50)之2個受載感測器10z。
又，如圖3及圖5所示，在載置支撐部10a中設置：將作成惰性氣體之氮氣供給到收納在收納部10S的容器50內部之作為吐出部的吐出噴嘴10i、及流通從容器50內部排出的氣體之排出用通氣體10o。
如圖4所示，吐出噴嘴10i係設置在當容器50載置在載置支撐部10a上的規定位置的狀態下，與該容器50的下面部具備的給氣口50i嵌合之處。又，排出用通氣體10o係設置在當容器50載置在載置支撐部10a上的規定位置的狀態下，與該容器50的下面部具備的排氣口50o嵌合之處。
也就是說，當容器50收納在收納部10S並載置在載置支撐部10a時，利用定位突起10b將該容器50定位在規定位置，使吐出噴嘴10i與給氣口50i連接為嵌合狀態，而且，排出用通氣體10o與排氣口50o連接為嵌合狀態。
再者，在將容器50載置支撐在載置支撐部10a的狀態中，構成為藉由從吐出噴嘴10i吐出比大氣壓更高設定值以上的壓力之氮氣，從容器50的給氣口50i將氮氣注入到容器50內部，從容器50的排氣口50o將容器內的氣體排出到外部。
(氮氣的供給構成)
如圖6及圖7所示，在物品保管設備中設置將氮氣供給到複數個收納部10S之作為惰性氣體供給路的氮氣供給路60。其次，針對該氮氣供給路60進行說明。又，圖6係為顯示對於各區域CH供給氮氣的構成之圖面，圖7係為顯示對於各收納部10S供給氮氣的構成之圖面。又，在圖7中係只顯示在上下方向並列的2個區域CH。
如圖6及圖7所示，氮氣供給路60係具備：主供給部份61、將利用主供給部份61供給的氮氣分歧供給到各複數個區域CH之區域用供給部份62、及將利用區域用供給部份62供給到區域CH的氮氣分歧供給到該區域CH中之各複數個收納部10S之收納部用供給部份63。
如圖6所示，區域用供給部份62係具備：與主供給部份61連接之上流區域用供給部62a、及從上流區域用供給部62a分歧的複數個下流區域用供給部62b。在上流區域用供給部62a中係連接有與區域CH個數相同之6路線的下流區域用供給部62b。
又，上流區域用供給部62a係形成為與主供給部份61相同的配管尺寸，下流區域用供給部62b係形成為比上流區域用供給部62a更細的配管尺寸。
收納部用供給部份63係設有與區域CH個數相同的6路線，如圖7所示，各收納部用供給部份63係具備：與區域用供給部份62連接之上流收納部用供給部63a、從上流收納部用供給部63a分歧之中流收納部用供給部63b、及從 中流收納部用供給部63b分歧之下流收納部用供給部63c。在上流收納部用供給部63a中係連接有與區域CH中之收納部10S的段數相同之4路線的中流收納部用供給部63b，在中流收納部用供給部63b中係連接有與區域CH中之收納部10S的列數相同之3路線的下流收納部用供給部63c。
又，上流收納部用供給部63a、及中流收納部用供給部63b係形成為與下流區域用供給部62b相同的配管尺寸，下流收納部用供給部63c係形成為比上流收納部用供給部63a、及中流收納部用供給部63b更細的配管尺寸。
如圖6所示，在主供給部份61與區域用供給部份62的連接處中，設置可切換氮氣從主供給部份61到區域用供給部份62能夠流通的打開狀態與不能流通的關閉狀態之主閥門65。藉由操作該主閥門65，構成為能夠以保管棚10的單位，切換供給氮氣的狀態與不供給的狀態。
如圖6及圖7所示，分別在區域用供給部份62與複數個收納部用供給部份63的連接處中，設置：可切換氮氣從區域用供給部份62到收納部用供給部份63能夠流通的打開狀態與不能流通的關閉狀態之區域用閥門66；藉由調整從區域用供給部份62流通到收納部用供給部份63的氮氣流通量而調整收納部用供給部份63中的氮氣壓力之作為壓力調整裝置的壓力調整用閥門67；及檢測收納部用供給部份63中的氮氣壓力之作為壓力檢測裝置的壓力檢測感測器68。藉由操作區域用閥門66，構成為能夠以區域CH的單位，切換供給氮氣的狀態與不供給的狀態。
如圖7所示，在收納部用供給部份63與吐出噴嘴10i的連接處中，設置：可切換氮氣從收納部用供給部份63到吐出噴嘴10i能夠流通的打開狀態與不能流通的關閉狀態之收納部用閥門69；及質量流量控制器40。藉由操作收納部用閥門69，構成為能夠以收納部10S的單位，切換供給氮氣的狀態與不供給的狀態。
在質量流量控制器40中具備：如在圖7中只以符號所示，調整從收納部用供給部份63供給到吐出噴嘴10i的氮氣流通量之流量調整閥門70、及檢測從收納部用供給部份63流通到吐出噴嘴10i的氮氣流量之流量檢測感測器71。也就是說，質量流量控制器40(流量調整閥門70)係相當於調整供給到吐出噴嘴10i的氮氣流量之流通調整裝置。
如圖7所示，在本實施形態中，將複數個收納部用供給部份63之中的2個成為1組，並且以成為1組的2個收納部用供給部份63彼此連通的方式設置旁通部份72。又，在圖6中係省略旁通部份72。
該旁通部份72係在本實施形態中，設置成使歸屬於上下方向鄰接的2個區域CH之收納部用供給部份63彼此連通，對於6個區域CH合計設置3路線。
又，在旁通部份72中，設置可切換旁通部份72中的氮氣能夠流通的打開狀態與旁通部份72中的氮氣不能流通的關閉狀態之旁通用切換閥73。旁通用切換閥73基本上係切換在關閉狀態。為此，在以下中只要沒另外限定，旁通用切換閥73的狀態係成為關閉狀態。
又，旁通部份72係形成為上流收納部用供給部63a等相同的配管尺寸。
(控制構成)
如圖8所示，控制裝置H係構成為管理保管棚10中的容器50之在庫狀態等，同時依據來自圖外的上位控制器之入庫指令及出庫指令控制堆高式起重機20的動作。
當進一步說明時，控制裝置H係構成為當從上位控制器被指示入庫指令時，依據在庫狀態選擇1個沒有收納容器50之空的收納部10S作為收納對象的收納部10S，並且執行將容器50從入出庫輸送機CV搬送到收納對象的收納部10S之控制堆高式起重機20動作的入庫搬送處理。又，控制裝置H係當從上位控制器被指示出庫指令時，依據在庫狀態，執行將出庫對象的容器50從收納其之收納部10S搬送到入出庫輸送機CV之控制堆高式起重機20動作的出庫搬送處理。
控制裝置H係構成為將顯示氮氣的供給量或供給氮氣的收納部10S之供給資訊傳送到可程式邏輯控制器P而控制區域用閥門66、收納部用閥門69、及流量調整用閥門70(質量流量控制器40)的動作。其次，針對控制該區域用閥門66、收納部用閥門69、及流量調整用閥門70的動作之控制構成進行說明。
壓力調整閥門67及旁通用切換閥73係在本實施形態中構成為根據手動進行操作。
在控制裝置H中係利用通訊線可通訊連接可程式邏輯控制器P與IO擴充模組A。
在可程式邏輯控制器P中係連接6區域分的質量流量控制器40。在本實施形態中，由於12台的質量流量控制器40係歸屬於1個區域CH，因此合計有72台的質量流量控制器40與可程式邏輯控制器P連接。
IO擴充模組A係設置為與各複數個區域CH對應，設置與區域CH個數相同的6台。在IO擴充模組A中係連接歸屬於對應的區域CH之受載感測器10z、壓力檢測感測器68、及、歧管74。
受載感測器10z係如上述所示對於各收納部10S設置2個，對於1個區域CH設置24個。該24個受載感測器10z係與IO擴充模組A連接。
又，壓力檢測感測器68及歧管74係設置為與各複數個區域CH對應，使1個壓力檢測感測器68與1個歧管74係與IO擴充模組A連接。即，歧管74係構成為可切換歸屬於對應的區域CH之1個區域用閥門66及12個收納部用閥門69。
再者，可程式邏輯控制器P係構成為依據來自控制裝置H的供給資訊，並透過IO擴充模組A將指令資訊傳送到歧管74。歧管74係構成為依據指令資訊進行動作而對於氮氣的供給對象之收納部10S供給氮氣。即，控制裝置H係透過IO擴充模組A執行控制歧管74的動作及收納部用閥門69的切換之流量調整步驟。
又，可程式邏輯控制器P係構成為依據來自控制裝置H的供給資訊，將指令資訊傳送到質量流量控制器40。質量流量控制器40係構成為以達到因應指令資訊的流量的方式使 流量調整閥門70動作，調整從吐出噴嘴10i吐出的氮氣流量。
質量流量控制器40係構成為由於流量調整用閥門70發生異常等而使利用流量檢測感測器71檢測的流量未達到因應指令資訊的流量之狀態為在設定時間持續之情況下，將流通異常訊號傳送到可程式邏輯控制器P。該流通異常訊號係從可程式邏輯控制器P傳送到控制裝置H。
又，質量流量控制器40係相當於檢測流量調整用閥門70(質量流量控制器40)的異常之流通異常檢測裝置，也相當於檢測對於各複數個收納部10S的氮氣供給狀態之收納部用供給狀態檢測裝置S2、及檢測對於複數個收納部10S之氮氣供給狀態之供給狀態檢測裝置S。
IO擴充模組A係構成為對於來自可程式邏輯控制器P的指令資訊輸出回應訊號。可程式邏輯控制器P係在沒有從IO擴充模組A得到對於指令資訊的回應訊號之情況下，構成為將IO異常訊號傳送到控制裝置H。
又，可程式邏輯控制器P係相當於檢測IO擴充模組A的異常之中繼異常檢測裝置，也相當於檢測對於各複數個區域CH的氮氣供給狀態之區域用供給狀態檢測裝置S1、及檢測對於複數個收納部10S的氮氣供給狀態之供給狀態檢測裝置S。
歧管74係構成為對於來自可程式邏輯控制器P的指令資訊輸出回應訊號。可程式邏輯控制器P係在沒有從歧管74得到對於指令資訊的回應訊號之情況下，構成為將流量異常訊號傳送到控制裝置H。
又，利用歧管74與收納部用閥門69而構成流量調整裝置，IO擴充模組A係相當於中繼控制裝置H與歸屬於區域CH的複數個流量調整裝置的通訊之中繼裝置。
壓力檢測感測器68係構成為將檢測資訊輸出到可程式邏輯控制器P。可程式邏輯控制器P係在利用壓力檢測感測器68檢測的壓力為對於因應指令資訊的壓力超過設定壓力以上的離異之情況下，即，對於利用壓力調整閥門67進行調整的壓力在而利用壓力檢測感測器68檢測到異常的壓力之情況下，構成為對於控制裝置H傳送壓力異常訊號。
又，壓力檢測感測器68係相當於檢測對於各複數個區域CH的氮氣供給狀態之區域用供給狀態檢測裝置S1、及檢測對於複數個收納部10S的氮氣供給狀態之供給狀態檢測裝置S。
控制裝置H係依據供給狀態檢測裝置S的檢測資訊，執行收納部管理步驟。在收納部管理步驟中，進行是否有適切供給氮氣的判定之供給狀態判定，並區分成判定為未適切供給氮氣的收納部10S之禁止收納部、及除此之外的收納部10S之允許收納部而管理複數個收納部。即，控制裝置H係區分成適切供給氮氣之允許收納部與未適切供給氮氣之禁止收納部而管理複數個收納部10S。再者，控制裝置H係在根據氮氣的供給狀態變化而從允許收納部切換成禁止收納部的收納部10S收納有容器50的情況下，執行退避用搬送處理步驟。在退避用搬送處理步驟中，執行將收納在根據氮氣的供給狀態變化而從允許收納部切換成禁止收 納部的收納部10S的容器50搬送到作為允許收納部進行管理的收納部10S之退避用搬送處理。
針對根據控制裝置H之複數個收納部10S的管理追加說明。又，圖9係顯示將氮氣適切供給到歸屬於區域CH的所有收納部10S之區域CH，圖10係顯示未將氮氣適切供給到歸屬於區域CH的所有收納部10S之區域CH，圖11係例示未將氮氣適切供給到歸屬於區域CH的一部份收納部10S之區域CH。在圖10及圖11中，在發生故障的機器(在圖10中為壓力調整用閥門67)及作為禁止收納部進行管理之收納部10S塗上陰影線。
控制裝置H係構成為對於利用壓力調整用閥門67調整的壓力在利用壓力檢測感測器68檢測到異常壓力，並從可程式邏輯控制器P傳送壓力異常訊號的情況下，將歸屬於與檢測到該異常壓力之區域用供給部份62對應之區域CH的全部收納部10S作為禁止收納部進行管理(參照圖10)。即，控制裝置H係依據壓力檢測感測器68的檢測資訊，進行對於利用壓力調整用閥門67調整的壓力是否利用壓力檢測感測器68檢測到異常壓力的判定作為供給狀態判定。控制裝置H係以從可程式邏輯控制器P已傳送壓力異常訊號為條件，判定為利用壓力檢測感測器68檢測到異常壓力，並且將與該壓力檢測感測器68對應之區域CH判定為未適切供給氮氣的區域CH。控制裝置H係將歸屬於判定為未適切供給氮氣的區域CH之所有收納部10S判定為未適切供給氮氣的收納部10S，並作為禁止收納部進行管理。
控制裝置H係構成為在檢測到IO擴充模組A的異常，並從可程式邏輯控制器P傳送IO異常訊號的情況下，將歸屬於與該IO擴充模組A對應之區域CH的所有收納部10S作為禁止收納部進行管理。即，控制裝置H係依據可程式邏輯控制器P的檢測資訊，進行利用可程式邏輯控制器P是否檢測到IO擴充模組A的異常之判定作為供給狀態判定。控制裝置H係以從可程式邏輯控制器P已傳送IO異常訊號為條件，判定為檢測到IO擴充模組A的異常，並且將與該IO擴充模組A對應之區域CH判定為對象區域。控制裝置H係將歸屬於該對象區域之所有收納部10S判定為未適切供給氮氣的收納部10S，並作為禁止收納部進行管理。
控制裝置H係構成為在檢測到歧管74的異常，並從可程式邏輯控制器P傳送流量異常訊號的情況下，將歸屬於與該歧管74對應之區域CH的所有收納部10S作為禁止收納部進行管理。即，控制裝置H係依據可程式邏輯控制器P的檢測資訊，進行利用可程式邏輯控制器P是否檢測到歧管74的異常之判定作為供給狀態判定。控制裝置H係以從可程式邏輯控制器P已傳送流量異常訊號為條件，判定為檢測到歧管74的異常，並且將與該歧管74對應之區域CH判定為對象區域。控制裝置H係將歸屬於該對象區域之所有收納部10S判定為未適切供給氮氣的收納部10S，並作為禁止收納部進行管理。
控制裝置H係構成為在檢測到質量流量控制器40的異常，並從可程式邏輯控制器P傳送流通異常訊號的情 況下，將透過該質量流量控制器40供給氮氣之收納部10S作為禁止收納部進行管理(參照圖11)。即，控制裝置H係依據質量流量控制器40的檢測資訊，進行利用質量流量控制器40是否檢測到流量調整用閥門70的異常之判定作為供給狀態判定。控制裝置H係以從可程式邏輯控制器P已傳送流通異常訊號為條件，判定為檢測到流量調整用閥門70(質量流量控制器40)的異常。控制裝置H係將透過該質量流量控制器40供給氮氣之收納部10S判定為未適切供給氮氣的收納部10S，並作為禁止收納部進行管理。
如此一來，控制裝置H係構成為依據區域用供給狀態檢測裝置S1的檢測資訊，將歸屬於已判定為未適切供給氮氣的區域CH(對象區域)之所有收納部10S作為禁止收納部進行管理，同時依據收納部用供給狀態檢測裝置S2的檢測資訊，將已判定為未適切供給氮氣的收納部10S作為禁止收納部進行管理。再者，控制裝置H係構成為將未作為禁止收納部進行管理的收納部10S作為允許收納部進行管理。
其次，針對利用控制裝置H執行的退避用搬送處理進行說明。
如圖14所示，控制裝置H係在利用供給狀態檢測裝置S檢測到對於複數個收納部10S之任一個的惰性氣體供給狀態有所變化時(步驟#01：是)，構成為可以依據該變化切換收納部10S的管理狀態(步驟#02)。也就是說，控制裝置H係構成為針對作為允許收納部進行管理之收納部10S，當傳送壓力異常訊號、流通異常訊號、流量異常訊號、及IO異常訊 號的任一個異常訊號時，將該收納部10S的管理狀態切換為禁止收納部，針對作為禁止收納部進行管理的收納部10S，當不再傳送任何的異常訊號時，將該收納部10S的管理狀態切換為允許收納部。
再者，控制裝置H係依據在庫狀態，在根據氮氣的供給狀態變化而使管理狀態從允許收納部切換為禁止收納部之收納部10S收納有容器50的情況下，執行退避用搬送處理，將該容器50搬送到作為允許收納部進行管理之收納部10S(步驟#03)。
即，針對作為禁止收納部進行管理的收納部10S，在執行入庫搬送處理時不會選擇作為搬入對象的收納部10S，構成為在作為禁止收納部進行管理的收納部10S中不會收納容器50。
具體而言，例如圖9所示，在歸屬於區域CH的所有收納部10S都是作為允許收納部進行管理的情況中，在由於壓力調整用閥門67故障而利用壓力檢測感測器68檢測到異常壓力，並將壓力異常訊號傳送到控制裝置H的情況下，如圖10所示，使歸屬於該區域CH的所有收納部10S變成為禁止收納部進行管理的狀態。在這樣的情況下，將收納在歸屬於該區域CH的收納部10S之所有容器50搬送到在其他區域CH中作為允許收納部進行管理的收納部10S。
藉由如此執行退避用搬送處理，將容器50搬送到作為允許收納部進行管理的收納部10S，由於對於該收納部10S係適切供給惰性氣體，因此可以將惰性氣體供給到容器 50內。為此，即使在對於收納部10S無法適切供給惰性氣體的情況下，也可以對於收納在收納部10S的容器50內的基板W發生不合宜情形防範未然。
再者，在本實施形態中，當利用退避用搬送處理將收納在歸屬於區域CH的收納部10S的所有容器50搬送到其他區域CH時，在有利用收納部用供給狀態檢測裝置S2檢測到未適切供給氮氣之收納部10S、及利用收納部用供給狀態檢測裝置S2檢測到適切供給氮氣之收納部10S的情況下，構成為將收納在前者收納部10S之容器50優先搬送到作為允許收納部進行管理的收納部10S。其中，前者收納部10S係為利用依據收納部用供給狀態檢測裝置S2的檢測資訊之供給狀態判定，判定為未適切供給氮氣的收納部10S，後者收納部10S係為除此之外的收納部10S。
控制裝置H係控制監視器75的動作，構成為將顯示複數個收納部10S的管理狀態或發生異常的機器之資訊顯示在監視器75。
如上述所示，在本實施形態中，以成為1組之2個收納部用供給部份63彼此連通的方式設置旁通部份72，在監視器75中係在退避用搬送處理結束後，顯示旁通用切換閥73的操作順序等說明顯示。
操作者係從監視器75的顯示內容、及氮氣供給路60的狀態以及設置在其中途之機器的狀態進行判斷，而可以手動操作旁通用切換閥73。
如圖12及圖13所示，設置檢測旁通用切換閥73 的切換狀態之作為切換狀態檢測裝置的切換狀態檢測感測器90。再者，控制裝置H係構成為依據切換狀態檢測感測器90的檢測資訊，以設置在與對象區域的收納部用供給部份63連通的旁通部份72之旁通用切換閥73為關閉狀態作為條件，將歸屬於該對象區域的收納部10S作為禁止收納部進行管理。其中，所謂對象區域係如上述所示，其為利用依據區域用供給狀態檢測裝置S1的檢測資訊之供給狀態判定，判定為未適切供給氮氣的區域CH。即，控制裝置H係構成為依據區域用供給狀態檢測裝置S1的檢測資訊與切換狀態檢測感測器90的檢測資訊，將歸屬於特定區域CH的收納部10S作為禁止收納部進行管理。其中，所謂特定區域CH係為未適切供給氮氣的區域CH，且與該區域CH的收納部用供給部份63連通的旁通部份72為不能流通氮氣的狀態之區域CH。
換言之，例如圖12所示，在由於與上側的區域CH對應之壓力調整用閥門67故障而將壓力異常訊號傳送到控制裝置H的情況下，將歸屬於該區域CH的所有收納部10S作為禁止收納部進行管理。在這樣的狀態下，當將設置在與上側的區域CH連接的旁通部份72之旁通用切換閥73切換操作為打開狀態時，如圖13所示，可以從利用旁通部份72連接之下側的區域CH，對於上側的區域CH供給氮氣。
藉由將旁通用切換閥73打開操作，上側的區域CH係變成非上述之特定區域CH，而使歸屬於上側的區域CH之收納部10S的管理狀態從禁止收納部切換為允許收納部。因此， 可以利用容器搬入處理選擇作為收納對象的收納部10S收納容器50，同時在其他收納部10S的管理狀態切換為禁止收納部的情況下，也可以接受收納在該收納部10S的容器50。
又，控制裝置H係在依據區域用供給狀態檢測裝置S1的檢測資訊與切換狀態檢測感測器90的檢測資訊，將旁通用切換閥73打開操作的情況下，形成為以歸屬於未適切供給氮氣的區域CH(對象區域)的區域用閥門66切換為關閉狀態的方式，控制區域用閥門66的動作之構成亦可。
如此一來，在將旁通用切換閥73切換成關閉狀態的狀態下，能夠以區域CH的單位，分別調整供給到收納部10S之氮氣的流量。一邊形成為這樣的構成，一邊可以在根據氮氣供給路60的破損或機器等的故障而發生供給到收納部10S的惰性氣體比適當供給量更為減少的事態、或者、將惰性氣體完全未供給到收納部10S的事態之情況下，藉由將旁通用切換閥73切換成打開狀態而將惰性氣體從適切供給氮氣的區域CH之收納部用供給部份63流動到未適切供給氮氣的區域CH之收納部用供給部份63。
[其他實施形態]
(1)在上述實施形態中，雖然是以在上下方向鄰接的區域CH之收納部用供給部份63彼此連通的方式設置旁通部份72，但是將旁通部份72設置為使在左右方向鄰接的區域CH之收納部用供給部份63彼此連通亦可。又，以使在上下方向或左右方向分開(之間介在有其他區域CH)的區域CH之收納部用供給部份63彼此連通的方式設置旁通部份72亦 可。
(2)在上述實施形態中，雖然是將複數個收納部用供給部份63之中的2個成為1組，並將成為1組的2個收納部用供給部份63彼此連通的方式設置旁通部份72，但是使複數個收納部用供給部份63之中的3個以上或全部成為1組，並將成為1組的3個以上或全部的收納部用供給部份63彼此連通的方式設置旁通部份72亦可。
(3)在上述實施形態中，設置切換狀態檢測感測器90作為檢測旁通用切換閥73的切換狀態之切換狀態檢測裝置，並且將控制裝置H構成為依據切換狀態檢測裝置的檢測資訊，判別旁通部份72為可流通或不可流通惰性氣體的狀態。作為這樣的切換狀態檢測裝置，取代感測器(例如開閉感測器等)，使用間接檢測旁通用切換閥73的開閉狀態之裝置亦可。例如，可以形成將在操作旁通用切換閥73時作業者所輸入操作的輸入裝置設置為切換狀態檢測裝置，該輸入裝置係依據作業者的輸入操作，檢測旁通用切換閥73的開閉狀態，並將該檢測資訊傳送到控制裝置H的構成。即，在這樣的構成中，控制裝置H係依據來自該輸入裝置的輸入資訊，判別旁通部份72為可流通或不可流通惰性氣體的狀態。
(4)在上述實施形態中，雖然以基板W為半導體晶圓，搬送容器50為FOUP之構成予以例示，但是並不限於這樣的構成，例如，以基板W為中間掩膜，搬送容器50為中間掩膜容器亦可。又，雖然惰性氣體為氮氣，但是就惰性 氣體而言，除了氮氣以外也可以使用氬氣等對於被收容的基板W反應性為低的各種氣體。
10S‧‧‧收納部
40‧‧‧質量流量控制器
67‧‧‧壓力調整用閥門
74‧‧‧歧管
A‧‧‧IO擴充模組
CH‧‧‧區域

Claims (7)

  1. 一種物品保管設備，係具備：收納收容基板的搬送容器之複數個收納部；對於前述複數個收納部搬送前述搬送容器之搬送裝置；對於前述各複數個收納部供給惰性氣體之惰性氣體供給路；及將利用前述惰性氣體供給路供給到前述收納部的惰性氣體吐出到收納在該收納部之前述搬送容器的內部之吐出部，前述複數個收納部係區分成複數個區域，前述惰性氣體供給路係具備：將惰性氣體供給到前述各複數個區域之區域用供給部份、及將利用前述區域用供給部份供給到前述區域之惰性氣體分歧供給到該區域中之前述各複數個收納部之收納部用供給部份，該物品保管設備設有使複數個前述收納部用供給部份之中的2個以上之前述收納部用供給部份彼此連通之旁通部份；及可切換前述旁通部份中的惰性氣體為能夠流通的打開狀態、與前述旁通部份中的惰性氣體為不能流通的關閉狀態之旁通用切換閥。
  2. 如申請專利範圍第1項之物品保管設備，其中，前述旁通部份係設置為將前述複數個收納部用供給部份之中 的2個成為1組，並使成為1組之2個前述收納部用供給部份彼此連通。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之物品保管設備，其中，設有將前述收納部在上下方向及左右方向並列配置之保管棚，前述旁通部份係設置為將在上下方向或左右方向鄰接的前述區域之前述收納部用供給部份彼此連通。
  4. 如申請專利範圍第1或2項之物品保管設備，其中，設有檢測對於前述各複數個區域的惰性氣體供給狀態之區域用供給狀態檢測裝置；檢測前述旁通用切換閥的切換狀態之切換狀態檢測裝置；及依據前述區域用供給狀態檢測裝置的檢測資訊，進行是否適切供給惰性氣體的判定，也就是供給狀態判定之控制裝置，根據前述供給狀態判定，將判定為未適切供給惰性氣體的前述區域成為對象區域，前述控制裝置係構成為依據前述切換狀態檢測裝置的檢測資訊，將設置在與前述對象區域的前述收納部用供給部份連通之前述旁通部份的前述旁通用切換閥為前述之關閉狀態作為條件，而將歸屬於該對象區域的前述收納部作為禁止搬送容器的收納之禁止收納部進行管理。
  5. 如申請專利範圍第4項之物品保管設備，其中，前述控 制裝置係構成為執行依據前述區域用供給狀態檢測裝置的檢測資訊，將收納在根據惰性氣體的供給狀態變化而切換為前述禁止收納部之前述收納部的前述搬送容器，搬送到並非作為前述禁止收納部進行管理的前述收納部之退避用搬送處理。
  6. 一種物品保管方法，係利用物品保管設備之方法，前述物品保管設備係具備：收納收容基板的搬送容器之複數個收納部；對於前述複數個收納部搬送前述搬送容器之搬送裝置；對於前述各複數個收納部供給惰性氣體之惰性氣體供給路；及將利用前述惰性氣體供給路供給到前述收納部的惰性氣體吐出到收納在該收納部之前述搬送容器的內部之吐出部，前述複數個收納部係區分成複數個區域，前述惰性氣體供給路係具備：將惰性氣體供給到前述各複數個區域之區域用供給部份、及將利用前述區域用供給部份供給到前述區域之惰性氣體分歧供給到該區域中之前述各複數個收納部之收納部用供給部份，在前述物品保管設備設有：使複數個前述收納部用供給部份之中的2個以上之前述收納部用供給部份彼此連通之旁通部份；可切換前述旁通部份中的惰性氣體為能夠流通的 打開狀態、與前述旁通部份中的惰性氣體為不能流通的關閉狀態之旁通用切換閥；檢測對於前述各複數個區域的惰性氣體供給狀態之區域用供給狀態檢測裝置；檢測前述旁通用切換閥的切換狀態之切換狀態檢測裝置；及依據前述區域用供給狀態檢測裝置的檢測資訊，進行是否適切供給惰性氣體的判定，也就是供給狀態判定之控制裝置，作為由前述控制裝置執行的步驟，包含：根據前述供給狀態判定，將判定為未適切供給惰性氣體的前述區域成為對象區域，依據前述切換狀態檢測裝置的檢測資訊，將設置在與前述對象區域的前述收納部用供給部份連通之前述旁通部份的前述旁通用切換閥為前述之關閉狀態作為條件，而將歸屬於該對象區域的前述收納部作為禁止搬送容器的收納之禁止收納部進行管理之收納部管理步驟。
  7. 如申請專利範圍第6項之物品保管方法，其中，作為由前述控制裝置執行的步驟，進一步包含：依據前述區域用供給狀態檢測裝置的檢測資訊，將收納在根據惰性氣體的供給狀態變化而切換為前述禁止收納部之前述收納部的前述搬送容器，搬送到並非作為前述禁止收納部進行管理的前述收納部之退避用搬送處理步驟。
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