JP4915993B2

JP4915993B2 - 識別部品の保持部材及び基板収納容器

Info

Publication number: JP4915993B2
Application number: JP2006248128A
Authority: JP
Inventors: 順也戸田
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority date: 2006-09-13
Filing date: 2006-09-13
Publication date: 2012-04-11
Anticipated expiration: 2026-09-13
Also published as: JP2008068888A

Description

本発明は、半導体ウエーハ等の精密基板を収納する基板収納容器に関し、特には、基板収納容器に取り付けられる識別部品の保持部材に関する。

従来、半導体の生産工場に精密基板（以下、単に基板と言うこともある）を運び込んだり、半導体生産工場内の工程間の搬送や保管に使用される基板収納容器が知られている。
こうした基板収納容器には、工程管理用カードを保持するカードホルダーを備えるものも用いられてきた（特許文献１参照）。工程管理カードに限らず、バーコードや、ＲＦＩＤタグ、インフォパッドなどの各種の識別部品も用いられてきているが、識別部品の保持部材や、工程連絡表などを収納するカードケースが、基板収納容器を使用する工場の仕様に個別に合わせて取り付けられて使用されていた。これらの保持部材やカードケースにおいては、単一の識別部品やカードケース（以下、併せて識別部品という）を保持・収納するものであって、企業・工場・ライン毎に別個のものを用意する必要があった。

複数の識別部品に対応することができる保持部材やカードケースを用いる試みもなされてきた。例えば、基板収納容器の背面に複数のカードに対応可能なカードケースを取り付ける試み（特許文献２参照）や、応答器（ＩＤタグ）（非接触型情報媒体）の向きを複数の方向に変更可能としたもの（特許文献３参照）などである。
しかし、これらの試みも、同一の識別部品に対応するものであって、異なる識別部品を取り付けることは、未だ試みられてこなかった。

こうした基板収納容器には、複数の識別部品を取り付けて使用することがあり、その場合使用する識別部品の種類の分の保持部品やカードホルダー（カードケース、以下、併せて取付部品または保持部品という）を用意する必要があった。
複数種の取付部品を準備しておくことは、管理上の手間が掛かるし、急な仕様変更に対応できないといった問題があった。また、従来の取付部品では、洗浄した後の水切り性が考慮されていなかったために、洗浄後の乾燥に時間がかかるといった問題や、残った水分が基板収納容器に悪影響を及ぼすといったことが懸念されていた。

特開平４−２２５２５７号公報特開２００４−５５８６８号公報国際公開ＷＯ０４／０７９８１８号公報

本発明は、上記の事情に鑑みて、複数の識別部品を取り付けることができる、基板収納容器に着脱可能な識別部品の保持部材を提供し、また、洗浄等に便利な水切貫通孔を備えた識別部品の保持部材を提供することを課題とする。

本発明の識別部品の保持部材は、上記した課題を解決するためのものであり、精密基板を収納する基板収納容器に取り付けられる識別部品の保持部材であって、前記保持部材が、基部、該基部の一端側にＵ字状切欠部、他端側から立ち上がる前面壁部および該基部の両側部に立設されて向き合う側壁部を有し、該側壁部には、基板収納容器に前記保持部材を固定するための係止部が設けられており、前記前面壁部には、バーコードを表示する壁面と、カードケースを保持する一対のカードケース保持部が立設され、該一対のカードケース保持部の間に、バーコード表示壁面の裏面側に位置して、カードケース側に向かって突出する突起を側部に有しカードケースを保持する一対の支柱部が設けられていることを特徴
とする。
前記カードケース保持部が、上面視Ｌ字状をしたカードケース保持面を有し、前記カードケース保持面はカードケースの一方の面と両側面とを接触可能に保持していて、該カードケースを他方の面から支える支柱部をさらに有すること、さらに、前記カードケース保持部と、前記支柱部との間には、基板収納容器に収納された精密基板を視認可能な間隙部が形成されていることが好ましい。

また、前記基部及び／又は前記前面壁部には、ＲＦＩＤタグを保持する保持部が少なくとも１箇所形成されていること、前記基部には、貫通孔が設けられ、この貫通孔には、貫通孔を塞ぐプラグ状で識別情報を保持するインフォパッド部品が取り付け可能であること、前記基部の基部から突出するリブにより区画された部分には、１又は複数の水切用の水切貫通孔が備えられていることが好ましい。
また、本発明の基板収納容器は、上記したような識別部品の保持部材を固定可能な係止部を有し、前記保持部材に前記識別部材が取り付けられていることを特徴とする。

本発明によれば、異なる種類の複数の識別部品や工程管理表を一つの部品（保持部材）で保持することが可能となり、コストダウンができるし、部品の在庫や製品管理が容易で、急な仕様変更にも対応可能となる。また、水切貫通孔を随所に形成したので、洗浄後の水切性が良好であり、生産性が向上する。

本発明は、基板収納容器に２種類以上の識別部品を備えさせることを可能とすることを基本とする。本発明で適用可能な識別部品の種類としては、格別制限されず、常用のバーコードや、ＲＦＩＤタグ、インフォパッド、さらには工程連絡表などが対象とされ得る。ここにおいて、バーコードは、棒状のバーコードの他にも、ＰＤＦ、ＱＲ、ＤＡＴＡＭＡＴＲＩＸ等の二次元バーコードでも良い。また、バーコードは、ラベルに印刷したものを壁面に貼り付けたり、レーザーマーキングで直接加工しても良く、こうしたバーコード表面にさらに透明な保護フィルムを熱シールや超音波シールにて被覆しても良い。

ＲＦＩＤは、Radio Frequency Identificationの略であり、電波を使用してデータの読み取り・書き込みを行う電子デバイスである。ＲＦＩＤを使ったシステムは、基板収納容器にＲＦＩＤタグを個別に取り付けて応答器とし、半導体生産工程内に、ホストコンピュータやワークステーション、質問器（リーダー／ライター）等を配置して構成される。
質問器は、コントローラ、送受信器、及びアンテナから構成され、ホストコンピュータやワークステーションとその制御下で情報を交換する。この質問器は、応答器の情報を読み込んで確認したり、書き込みする機能を有し、基板収納容器の使用される装置や工程内の所定装置に設置される。

ＲＦＩＤタグ（応答器）は、アンテナ、送受信器、及びメモリーから構成され、精密基板収納容器に設置されて半導体ウエーハのロット、工程内の加工、あるいは処理経過等を記憶（記録）している。
こうした、ＲＦＩＤシステムでは、ＲＦＩＤタグのデータを読み取って、確認と書き換えを行いながら工程を管理することが可能となる。ＲＦＩＤタグは、アンテナ、送受信器、及びメモリーをガラスや樹脂等の筒状筺体に封入したものや、二層のフィルムに挟まれたフィルム状のものが使用される。

インフォパッドは、基板収納容器を基板の加工装置に搭載したときに、基板収納容器の種類や、基板の収納枚数等を検出するためのもので、基板の加工装置の所定位置に配置されるセンサーが、容器本体の所定位置にセンサーが非検出となる貫通孔や凹部があるのか、あるいは貫通孔や凹部がインフォパッドプラグにより塞がれて検出されるのかを検出し、これらのＯＮ−ＯＦＦの結果の組み合わせによって、基盤収納容器の仕様を確認するためのものである。
インフォパッドプラグは、貫通孔や凹部の周縁又は近傍に係止可能で、センサーにより検出される被検出面を有していれば良い。

インフォパッドは、被検出面となる円板と円板の被検出面とは反対側に突出する少なくとも二つの係止爪を有するものや、被検出面となる円板とこの円板よりも小さな径を有し、被検出面と反対側に延びる円筒状の部材でも良い。
円筒状の端部は開口となっていて、端部の少なくとも一部には、係止爪が形成されていて、貫通孔周縁を円板との協動によって挟持するものであっても良い。或いは、被検出面と被検出面と反対側に延びる円筒部材であり、これを基板収納容器の所定位置に設けられた係止爪に噛み合わせたりしても良い。

本発明の基板収納容器は、正面、平面あるいは底面の少なくとも一箇所に開口を有する筺体からなり、内部に基板を水平又は垂直に収納可能な容器である。また、前記した筺体の開口を蓋体でシール可能に閉鎖した密封容器や、基板を収納するカセットや治具を筺体に収容して密封する容器などが使用できる。蓋体は、マニュアルで開閉するもの、外部から自動操作可能なラッチ機構を内蔵したもののどちらも使用できる。

以下に、添付図面を参照しながら、本発明を詳細に説明する。
図１は、本発明の実施形態の基板収納容器を表す展開斜視図である。
図２は、本発明の実施形態の識別部品保持部材を表す斜視図である。
図３は、本発明の実施形態の識別部品保持部材を表す正面図である。
図４は、本発明の実施形態の識別部品保持部材を表す平面図である。
図５は、本発明の識別部品の保持部のコーナー部拡大説明斜視図である。
図６は、本発明の実施形態の識別部品保持部材を容器本体に取り付けた状態を表す底面図である。
図７は、（ａ）は本発明の一実施の形態の識別部品（インフォパッド）を表す斜視図であり、（ｂ）は本発明の他の実施の形態の識別部品（インフォパッド）を表す斜視図である。
図８は、（ａ）は本発明の一実施の形態の識別部品（ＲＦＩＤタグ）を表す平面図と断面図であり、（ｂ）は本発明の他の実施の形態の識別部品（ＲＦＩＤタグ）を表す説明立面図である。
図９は、本発明の実施形態の識別部品保持部材にカードケースを取り付けた状態を表す説明斜視図である。

図１において、基板収納容器は、正面に開口を有し、精密基板（図示省略）を水平に一定間隔で支持する一対の基板支持部３を有する容器本体１と、容器本体１の開口を閉鎖する蓋体２とからなり、背面に識別部品保持部材４が取り付け可能となっている。容器本体１の底面には、識別部品保持部材４を固定するための一対の係止溝５（図６）が底面から突出するように形成されている。

識別部品保持部材４は、図２に斜視図で、図３に正面図で、図４に平面図で、図５にコーナー部拡大説明斜視図で、示すように、容器本体１（図１）の底面に平行に取り付けられる板状の基部６と、容器本体１の背面側の側壁に平行になるように、基部６の一方の端部から立ち上がる前面壁部７と、一対の側壁部８からなる。基部と前面壁部７とのコーナー部には、基板収納容器を梱包するラミネート袋が衝撃にあっても破れないように、Ｒ２〜Ｒ２０の曲面にしておくことが好ましい。
基部６の両側壁部８は、基部６の端部から突出し、基板収納容器の係止溝５（図６）に係合する係止爪１０を有する一対の固定部９が形成されている。これにより識別部品保持部材４は基板収納容器に固定される。

基部６の平面部には、幅方向の中央線に沿って略Ｕ字状をしたＵ字状切欠部１１が形成されていて、このＵ字状切欠部１１により左右に分離された板状の基部６には、異なる半径をした複数の貫通孔１２が対称に形成されていて、インフォパッド（部品）１６（図７）が、必要に応じて、これらの貫通孔１２を塞ぐように取り付けられる。
貫通孔１２は、図２に示すように、同芯状である、大きな径をした外周円１３と、小さな径の内周円１４とを有していて、外周円１３と内周円１４との間には段差部１５が形成されている。

本発明の識別部材の一つであるインフォパッド（部品）１６の例を図７に示す。図７（ａ）に示す一実施の形態のものでは、貫通孔１２の内周円１４よりも大きな径をし、被検出部となる平坦部１７と、内周円１４よりも小さな径をした円筒部１８とを有し、円筒部１８の端部には、段差部を挟み込むように半径方向外向きに突出する固定爪１９が全周に渡って形成されている。図７（ｂ）は、他の実施の形態のインフォパッド部品１６を表しており、固定爪１９は全周ではなく部分的に複数箇所に形成されている例である。
この場合、平坦部から延びる円筒部の替わりに、固定爪を支えるための支持部２０を複数本設けておき、そこに固定爪１９を設けておく例である。

図２（上面側）および図４（下面側）に示されるとおり、識別部品保持部材４の基部６の平坦面２１（図４ではその下面）の上面には、補強用のリブ２２（図２）が形成されていて、これらのリブ２２で囲まれた区画には、それぞれ洗浄したときの水切性を向上させるための三角形状や四角形状の水切穴２３（水切貫通孔）が、１又は複数形成されている。
基部６の、Ｕ字状切欠部１１が設けられた一端側の反対側、すなわち他端側には、左右方向の中心線を跨いで、その中心線に沿って、図８（ａ）に示すように、ＲＦＩＤタグ２４を保持するために、中心線の近傍に底面方向へ突出する第一の保持溝２５（図９も参照）が形成されている。

第一の保持溝２５は、円筒状のＲＦＩＤタグ２４を収納し、これを保持するための係止突起２６が左右の側壁から中心線方向に向くように形成されていて、ＲＦＩＤタグ２４を中心線方向に固定している。
また、図８（ｂ）に示すように、基部６の一端部にはＲＦＩＤタグを中心線と垂直な向きに保持するための、係止突起２８で形成された第二の保持溝２７を備えている。図示例では、第一の保持溝は基部の下面の一端部分に、第二の保持溝は基部の上面の一端部分に、それぞれ設けた例として示されているが、設置位置はこれらに限られるものではなく、基部の上下面を逆にしても差し支えなく、また、一端ではなく、内部部分でも差し支えない。
このように、ＲＦＩＤタグの指向性を変えて保持することができるので、ＲＦＩＤタグの送受信の設備仕様（送受信方向）の異なる工場でも、ＲＦＩＤタグの向きを変えることで対応可能となる。

上記ＲＦＩＤタグは、円筒状のＲＦＩＤタグであり、これを保持するための保持溝を設けたが、フィルム状のＲＦＩＤ（図示せず）を使用する場合は、基部の平坦部や前面壁部の平坦部に熱シールや、超音波シールあるいは、接着剤を介して、貼り付けることができる。また、こうしたフィルム状のＲＦＩＤタグを覆うように、保護フィルムを設けることもできる。

基部の一端の中央部付近には、ここからほぼ垂直に立ち上がるバーコード表示壁面２９（図３）が形成されている。このバーコード表示壁面２９には、バーコードラベルを貼り付けたり、レーザーマーキングで直接書き込んだりすることもできる。バーコードは、ＰＤＦ、ＱＲ、ＤＡＴＡＭＡＴＲＩＸ等の二次元バーコードでも良い。
また、バーコードラベルの表面に保護フィルムを加熱シール等で貼り付けても良い。

基部６の一端の両側には、バーコード表示壁面２９よりも高い位置でこれを取り囲むように直立した一対のカードケース保持部３０と、バーコード表示壁面２９の裏面側に位置して、カードケース保持部３０に指し込まれたカードケース３３（図５）が抜け落ちないようにこれを支える一対の支柱部３１を有する。支柱部のカードケースの下端部近傍には、保持部との間でカードケースを撓ませて保持するためにカードケースに向かって突出する突起３４を設けることができる（図５）。この突起の突出量によってカードケースの保持力を調整することができる。また、バーコード表示壁面の上辺の内側もカードケース中央部の撓みを防止することができる。カードケース保持部３０と支柱部３１との間に形成されている細長い間隙部３２を介して基板収納容器内を透視することができ、基板収納容器の背面から内部に収納された基板を全数確認可能となる。

図９は、識別部品保持部材にカードケース３３を取り付けた状態を表すものであり、一対のカードケース保持部３０の上面視Ｌ字状をしたカードケース保持面に挟持されて、カードケース３３が保持されて示されている。カードケースは、一端に開口を有する透明なシート状の筐体と、開口部から筐体に挿入されるカード状の工程連絡表や、工程管理表からなる。このように、カードケースを使って連絡表などを表示することで、小ロットや、緊急試作等の場合の作業員の確認ミスを防止することができる。

図示例では、バーコードを表示する表示壁面２９、カードケースを保持するカードケース保持部３０、ＲＦＩＤタグを保持する保持部（第１および第２の保持溝２５，２７）、インフォパッド（部品）１６を保持する貫通孔１２を全て兼ね備え、且つ水切貫通孔２３をも備えた例を示しているが、必ずしもこれに限られるものではなく、識別部品の任意の２種類以上に対応することでも、コストダウンや、部品の在庫や製品管理が容易で、急な仕様変更にも対応可能となる効果が得られるのは言うまでもない。また、識別部品の２種類以上に対応していれば、水切貫通孔の有無に関係なく、効果は得られる。

本発明によれば、他種類の識別部品に対応することができるので、企業・工場・ラインにおける識別システムの差異に拘わらず、キャリアケースを兼用することができるので、キャリアケースの保管・管理に気を遣う必要が無くなり、基板を移送・保管等を行う技術分野に裨益する処大である。

本発明の実施形態の基板収納容器を表す展開斜視図である。本発明の実施形態の識別部品保持部材を表す斜視図である。本発明の実施形態の識別部品保持部材を表す正面図である。本発明の実施形態の識別部品保持部材を表す平面図である。本発明の識別部品の保持部のコーナー部拡大説明斜視図である。本発明の実施形態の識別部品保持部材を容器本体に取り付けた状態を表す底面図である。（ａ）は本発明の一実施の形態の識別部品（インフォパッド）を表す斜視図であり、（ｂ）は本発明の他の実施の形態の識別部品（インフォパッド）を表す斜視図である。（ａ）は本発明の一実施の形態の識別部品（ＲＦＩＤタグ）を表す平面図と断面図であり、（ｂ）は本発明の他の実施の形態の識別部品（ＲＦＩＤタグ）を表す説明立面図である。本発明の実施形態の識別部品保持部材にカードケースを取り付けた状態を表す説明斜視図である。

１：容器本体
２：蓋体
３：基板支持部
４：（識別部品の）保持部材
５：係止溝
６：基部
７：前面壁部
８：側壁部
９：固定部
１０：係止爪
１１：Ｕ字状切欠部
１２：貫通孔
１３：外周円
１４：内周円
１５：段差部
１６：インフォパッド（部品）
１７：平坦部
１８：円筒部
１９：固定爪
２０：支持部
２１：（基部の）平坦面
２２：リブ
２３：水切穴（水切貫通孔）
２４：ＲＦＩＤタグ
２５：第一の保持溝
２６：（第一の保持溝用の）係止突起
２７：第二の保持溝
２８：（第二の保持溝用の）係止突起
２９：バーコード表示壁面
３０：カードケース保持部
３１：支柱部
３２：間隙部
３３：カードケース
３４：突起

Claims

精密基板を収納する基板収納容器に取り付けられる識別部品の保持部材であって、前記保持部材が、基部、該基部の一端側にＵ字状切欠部、他端側から立ち上がる前面壁部および該基部の両側部に立設されて向き合う側壁部を有し、該側壁部には、基板収納容器に前記保持部材を固定するための係止部が設けられており、前記前面壁部には、バーコードを表示する壁面と、カードケースを保持する一対のカードケース保持部が立設され、該一対のカードケース保持部の間に、バーコード表示壁面の裏面側に位置して、カードケース側に向かって突出する突起を側部に有しカードケースを保持する一対の支柱部が設けられていることを特徴とする識別部品の保持部材。
前記カードケース保持部が、上面視Ｌ字状をしたカードケース保持面を有し、前記カードケース保持面はカードケースの一方の面と両側面とを接触可能に保持していて、該カードケースを他方の面から支える支柱部をさらに有する請求項１に記載の識別部品の保持部材。
前記カードケース保持部と、前記支柱部との間には、基板収納容器に収納された精密基板を視認可能な間隙部が形成されている請求項１又は２に記載の識別部品の保持部材。
前記基部及び／又は前記前面壁部には、ＲＦＩＤタグを保持する保持部が少なくとも１箇所形成されている請求項１〜３の何れか１項に記載の識別部品の保持部材。
前記基部には、貫通孔が設けられ、この貫通孔には、貫通孔を塞ぐプラグ状で識別情報を保持するインフォパッド部品が取り付け可能である請求項１〜４の何れか１項に記載の識別部品の保持部材。
前記基部の基部から突出するリブにより区画された部分には、１又は複数の水切用の水切貫通孔が備えられている請求項１〜５の何れか１項に記載の識別部品の保持部材。
精密基板を収納する基板収納容器において、請求項１〜６の何れか１項に記載の識別部品の保持部材を固定可能な係止部を有し、前記保持部材に前記識別部材が取り付けられていることを特徴とする基板収納容器。